KR19990053755A

KR19990053755A - 플라즈마 디스플레이 패널의 제조장치 및 이를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법

Info

Publication number: KR19990053755A
Application number: KR1019970073449A
Authority: KR
Inventors: 손홍균
Original assignee: 김영환; 현대전자산업 주식회사
Priority date: 1997-12-24
Filing date: 1997-12-24
Publication date: 1999-07-15

Abstract

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 패널의 제조 공정을 인-라인(In-Line)시킬 수 있는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조장치 및 이를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명은 우선, 배면 및 전면기판을 제 1 챔버 내에 장입시킨 후, 챔버 내부를 진공 상태로 만든다. 그런 다음, 배면 및 전면기판을 고진공 상태로 유지된 제 2 챔버로 이송시켜 각 기판들에 흡착되어 있는 불순물 가스를 제거한 후, 배면 및 전면기판을 진공을 유지하는 제 3 챔버로 이송시킨다. 이어서, 제 3 챔버로 이송된 기판들을 정확하게 얼라인시킨 후, 이들을 봉착시켜 패널을 완성한다. 이때, 제 3 챔버 내의 분위기를 원하는 방전가스 분위기와 동일하게 유지시킴으로써, 기판들의 봉착시에 상기 기판들 사이의 방전공간에 방전가스가 존재하도록 만든다. 그리고 나서, 완성된 패널을 진공 상태인 제 4 챔버로 이송시켜 상기 패널을 상온으로 냉각시킨 후, 패널을 진공인 제 5 챔버로 이송시키고, 이어서, 제 5 챔버의 진공을 해제시킨 상태에서 완성된 패널을 챔버로부터 반출시킨다.

Description

플라즈마 디스플레이 패널의 제조장치 및 이를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 패널의 제조 공정을 인-라인(In-Line)시킬 수 있는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조장치 및 이를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법에 관한 것이다.

평판 디스플레이 장치의 하나인 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel : 이하, PDP)은 독립적인 방전공간을 정의함은 물론 화소들간의 크로스토크(Crosstalk)를 억제시키는 격벽(Barrier Rib)이 형성되고 상기 격벽에 의해 정의된 방전공간 내에 방전을 위한 제 1 전극 및 컬러화를 실현하기 위한 형광체가 도포된 배면기판과, 방전을 일으키기 위한 제 2 전극이 형성된 전면기판이 봉착되고, 이들 사이의 방전공간에는 방전가스가 봉입된 형태를 이루고 있다.

상기와 같은 형태를 갖는 PDP는 그의 전체적인 두께를 1cm 이하로 제작할 수 있기 때문에 전자총을 사용하는 브라운관 디스플레이 장치에 비해 그 두께 및 무게를 현저하게 감소시킬 수 있고, 또한, 액정표시소자가 갖는 시야각의 협소함을 개선할 수 있는 잇점이 있으며, 아울러, 대화면의 디스플레이 장치의 제작이 용이한 잇점을 가지고 있다.

도 1 은 종래 기술에 따른 PDP의 제조장치 및 이를 이용한 PDP의 제조방법을 설명하기 위한 도면으로써, 우선, 프릿트(Frit)를 사용하여 배면기판(1)에 구비되어 있는 구멍에 진공 시스템을 연결하기 위한 팁 관(Tip tub : 2)을 부착시키고, 이어서, 상기 팁 관(2)이 부착된 배면기판(1) 및 실 페이스트(Seal Paste : 4)가 도포된 전면기판(3)을 봉착로(6) 내부에 장입시킨 후, 상기 배면기판(1)에 부착된 팁 관(2)에 진공 시스템(7)을 연결한다.

그런 다음, 봉착로(6) 내부에 구비된 히터(도시않됨)로 배면 및 전면기판(1, 3)을 가열하면서, 상기 전면기판(3) 상에 형성된 실 페이스트(4)를 이용하여 상기 배면 및 전면기판(1, 3)을 봉착시킨 후, 진공 시스템(7)을 이용하여 각 기판들의 표면과 그들 사이 및 상기 각 기판들 상에 형성된 구조물들 표면에 흡착되어 있는 불순물 가스들을 배기시킨다.

계속해서, 기판들(1, 3) 사이의 방전공간에 방전가스의 주입 및 배기 공정을 반복·실시하여 상기 기판들(1, 3) 사이의 방전공간 내에 원하는 조성의 방전가스를 주입시킨 후, 배면기판(1)에 구비되어 있는 구멍을 완전히 막는 팁-오프(Tip-Off) 공정을 실시한다.

한편, 도시되지는 않았지만, 팁-오프 공정후에는 팁 관(2)과 진공 시스템(7)과의 연결을 해제시키고, 아울러, 봉착 및 방전가스가 봉입된 패널을 봉착로(6)로부터 반출시켜 PDP의 제조를 완성한다.

그러나, 상기와 같은 종래 기술에 따른 PDP의 제조장치 및 이를 이용한 PDP의 제조방법은 팁 관에 진공 시스템을 연결하는 공정과, 방전공간 내에 방전가스를 주입하는 공정 및 상기 팁 관을 제거하는 팁-오프 공정 등의 일련의 제조 공정들을 인-라인(In-Line)시킬 수 없기 때문에 PDP의 제조시간이 많이 소요되는 문제점이 있었다.

또한, 패널의 제조 공정 동안에 배면기판 상에 형성된 구멍에서 크랙이 발생되어 배면기판 및 전면기판의 봉착시에 패널이 파괴될 수 있고, 아울러, 팁 관을 제거하기 위한 팁-오프 공정을 별도로 실시해야함은 물론 이러한 팁-오프 공정이 수 작업으로 진행됨으로써, PDP의 신뢰성 및 수율이 저하되는 문제점이 있었다.

게다가, 패널 내부의 간극이 약 150㎛ 정도로 매우 작기 때문에 배면 및 전면기판을 봉착한 후에 패널 내에 함유된 불순물 가스를 배기시킬 경우, 불순물 가스의 배기가 완전하게 이루어지지 못하여 PDP의 화질 및 수명이 저하되는 문제점이 있었다.

따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 패널 제조공정을 인-라인 시킴으로써, 그의 제조공정 시간을 단축시킴은 물론 생산성을 향상시킬 수 있는 PDP의 제조장치 및 이를 이용한 PDP의 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.

또한, 본 발명은 방전가스를 주입하기 위하여 배면기판에 구멍을 형성하지 않으며, 아울러, 팁 관의 부착 및 팁-오프 공정을 제거함으로써, PDP의 신뢰성 및 제조 수율을 향상시킬 수 있는 PDP의 제조장치 및 이를 이용한 PDP의 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.

아울러, 본 발명은 불순물 가스의 배기 공정을 진공 챔버 내에서 실시하여 불순물 가스를 완전히 배기시킴으로써, PDP의 화질 및 수명을 개선시킬 수 있는 PDP의 제조장치 및 이를 이용한 PDP의 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.

도 1 은 종래 기술에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조장치 및 이를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법을 설명하기 위한 단면도.

도 2 는 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조장치 및 이를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법을 설명하기 위한 단면도.

(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)

11 : 제 1 챔버 12 : 제 2 챔버

12a,13a : 히터 13 : 제 3 챔버

14 : 제 4 챔버 15 : 제 5 챔버

16a,16b,16c,16d : 게이트 밸브 20 : 배면기판

30 : 전면기판 31 : 실 페이스트

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 패널의 제조공정을 모두 진공 챔버 내에서 진행시킨다. 우선, 배면 및 전면기판을 제 1 챔버 내에 장입시킨 후, 챔버 내부를 진공 상태로 만든다. 그런 다음, 배면 및 전면기판을 고진공 상태로 유지된 제 2 챔버로 이송시켜 각 기판들에 흡착되어 있는 불순물 가스를 제거한 후, 배면 및 전면기판을 진공을 유지하는 제 3 챔버로 이송시킨다.

이어서, 제 3 챔버로 이송된 기판들을 정확하게 얼라인시킨 후, 이들을 봉착시켜 패널을 완성한다. 이때, 제 3 챔버 내의 분위기를 원하는 방전가스 분위기와 동일하게 유지시킴으로써, 기판들의 봉착시에 상기 기판들 사이의 방전공간에 방전가스가 존재하도록 만든다.

그리고 나서, 완성된 패널을 진공 상태인 제 4 챔버로 이송시켜 상기 패널을 상온으로 냉각시킨 후, 패널을 진공인 제 5 챔버로 이송시키고, 이어서, 제 5 챔버의 진공을 해제시킨 상태에서 완성된 패널을 챔버로부터 반출시킨다.

본 발명에 따르면, 패널의 제조공정을 인-라인 공정으로 실시함으로써, PDP 제조 공정 시간을 단축시킬 수 있음은 물론 생산성 및 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도 2 를 참조하여 보다 상세하게 설명하도록 한다.

도 2 는 본 발명에 따른 PDP의 제조장치를 설명하기 위한 도면으로서, 본 발명에 따른 PDP 제조장치는 배면기판(20) 및 실 페이스트(31)가 도포된 전면기판(30)이 장입되는 제 1 챔버(11)와, 상기 제 1 챔버(11)로부터 이송된 배면 및 전면기판(20, 30)에 함유된 불순물 가스를 제거하는 제 2 챔버(12)와, 상기 제 2 챔버(12)로부터 이송된 배면기판(20)과 전면기판(30)을 얼라인시킴과 동시에 그들을 봉착시켜 패널을 제조하는 제 3 챔버(13)와, 상기 제 3 챔버(13)로부터 이송된 패널을 냉각시키는 제 4 챔버(14), 및 상기 제 4 챔버(14)로부터 이송된 패널을 반출시키기 위한 제 5 챔버(15)로 구성된다.

이하, 상기와 같은 장치를 이용한 PDP의 제조방법을 설명한다.

먼저, 배면기판(20)과 접착제인 실 페이스트(31)가 도포된 전면기판(30)을 제 1 챔버(11)에 장입시킨 후, 배면 및 전면기판(20, 30)이 장입된 제 1 챔버(11)를 진공으로 만든다.

그런 다음, 제 1 게이트 밸브(16a)를 오픈시켜 제 1 챔버(11) 내의 배면 및 전면기판들(20, 30)을 상기 제 1 챔버(11)의 진공 상태보다 더 높은 고진공을 유지하는 제 2 챔버(12)로 이송시킨 후, 고진공이 유지된 제 2 챔버(12)에서 상기 기판들(20, 30)에 흡착된 불순물 가스를 제거한다. 이때, 제 2 챔버(12) 내에 구비된 히터(12a)로 기판들(20, 30)을 가열하여 불순물 가스의 배기를 향상시킴과 동시에 실 페이스트(31)를 건조시켜 상기 실 페이스트(31)에 함유된 용제를 함께 제거한다. 이어서, 제 2 게이트 밸브(16b)를 오픈시켜 불순물 가스가 제거된 기판들(20, 30)을 진공 상태인 제 3 챔버(13)로 이송시킨다.

계속해서, 제 3 챔버(13)에 이송된 기판들(20, 30)간을 정확하게 얼라인시킨 상태에서, 챔버 내에 구비된 히터(13a)로 기판들(20, 30)을 가열시켜 전면기판(30)에 도포된 실 페이스트(31)를 통해 상기 배면 및 전면기판(20, 30)을 봉착시킨다. 이때, 제 3 챔버(13) 내의 분위기는 PDP에 주입할 가스 조성과 같이 유지시킴으로써, 기판들(20, 30)의 봉착시에 그들 사이의 방전공간에 가스 주입이 동시에 이루어지게 한다.

여기서, 종래 기술과 비교할 때, 방전공간에 가스를 주입하기 위하여 배면기판에 형성되는 구멍과 이에 부착되는 팀 관이 필요 없기 때문에 제조 공정을 단순화시킬 수 있음은 물론 PDP의 신뢰성을 확보할 수 있게 된다.

계속해서, 제 3 게이트 밸브(16c)를 오픈시켜 기판들(20, 30)이 봉착됨은 물론 그들 사이에 방전가스가 주입된 패널을 진공 상태인 제 4 챔버(14)로 이송시킨 후, 패널의 온도를 상온으로 냉각시킨다. 그리고 나서, 제 4 게이트 밸브(16d)를 오픈시켜 냉각된 패널을 진공 상태를 유지하는 제 5 챔버(15)로 이송시킨 후, 상기 제 5 챔버(15) 내의 진공을 해제시킨 상태에서 완성된 패널을 반출시킨다.

이상에서와 같이, 본 발명에 따른 PDP의 제조장치 및 이를 이용한 PDP의 제조방법은 전체적인 PDP의 제조 공정을 인-라인시킴으로써, 공정 시간을 단축시킬 수 있음은 물론 생산성을 향상시킬 수 있다.

또한, 불순물 가스의 배기 공정을 진공 챔버 내에서 실시하여 상기 불순물 가스의 제거율을 높임으로써, PDP의 화질 및 수명을 향상시킬 수 있다.

게다가, 불순물 가스의 배기 및 방전가스의 주입을 위하여 배면기판에 구멍을 형성할 필요가 없으며, 수작업으로 실시되는 팁-오프 공정이 필요 없기 때문에 PDP의 신뢰성 및 제조 수율을 향상시킬 수 있다.

한편, 여기에서는 본 발명의 특정 실시예에 대하여 설명하고 도시하였지만, 당업자에 의하여 이에 대한 수정과 변형을 할 수 있다. 따라서, 이하, 특허청구의 범위는 본 발명의 진정한 사상과 범위에 속하는 한 모든 수정과 변형을 포함하는 것으로 이해할 수 있다.

Claims

배면기판 및 실 페이스트가 도포된 전면기판이 장입되는 제 1 챔버;

상기 제 1 챔버로부터 이송된 배면 및 전면기판에 함유된 불순물 가스를 제거하는 제 2 챔버;

상기 제 2 챔버로부터 이송된 배면기판과 전면기판을 얼라인시킴과 동시에 그들을 봉착시켜 패널을 제조하는 제 3 챔버;

상기 제 3 챔버로부터 이송된 패널을 상온으로 냉각시키는 제 4 챔버; 및

상기 제 4 챔버로부터 이송된 패널을 챔버 밖으로 반출시키기 위한 제 5 챔버를 포함하며,

상기 각 챔버들은 진공 상태인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조장치.
제 1 항에 있어서, 상기 각 챔버들 사이에 게이트 밸브가 더 구비된 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조장치.
제 1 항에 있어서, 상기 제 2 챔버는 상기 제 1 챔버보다 높은 고진공 상태인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조장치.
제 1 항에 있어서, 상기 제 2 챔버는 그의 내부에 상기 기판들을 가열시키기 위한 히터가 더 구비된 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조장치.
제 1 항에 있어서, 상기 제 3 챔버는 적어도 그의 일측면에 상기 배면기판과 전면기판을 얼라인시키기 위한 얼라인용 뷰 포트가 구비된 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조장치.
제 1 항 또는 제 5 항에 있어서, 상기 제 3 챔버는 상기 기판들을 가열시키기 위한 히터가 더 구비된 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조장치.
배면기판 및 실 페이스트가 도포된 전면기판을 제 1 챔버에 장입시킨 후, 상기 제 1 챔버를 진공 상태로 만드는 단계;

상기 제 1 챔버에 장입된 배면 및 전면기판을 진공 상태인 제 2 챔버로 이송하는 단계;

상기 제 2 챔버에 이송된 기판들을 상기 제 2 챔버에 구비된 히터로 가열하면서 상기 기판들에 흡착된 불순물 가스를 배기시키는 단계;

상기 불순물 가스가 제거된 배면 및 전면기판을 진공 상태인 제 3 챔버로 이송하는 단계;

상기 이송된 배면 및 전면기판을 얼라인시킴과 동시에 상기 기판들을 봉착시켜 패널을 제조하는 단계;

상기 패널을 진공 상태인 제 4 챔버로 이송한 후, 이를 상온으로 냉각시키는 단계;

상기 냉각된 패널을 진공 상태인 제 5 챔버로 이송하는 단계; 및

상기 제 5 챔버로 이송된 패널을 반출시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.
제 7 항에 있어서, 상기 기판들은 챔버들 사이에 구비된 게이트 밸브를 통하여 이웃하는 챔버들로 이송되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.
제 7 항에 있어서, 상기 제 2 챔버는 상기 제 1 챔버보다 고진공을 유지하도록 하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.
제 7 항에 있어서, 상기 제 3 챔버는 그의 분위기를 패널에 주입할 가스조성과 동일하게 유지시키는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.
제 7 항에 있어서, 상기 제 3 챔버는 기판들을 얼라인시키기 위한 얼라인용 뷰 포트가 구비된 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.
제 7 항 또는 제 11 항에 있어서, 상기 제 3 챔버는 상기 기판들을 가열시키기 위한 히터가 구비된 것을 특징으로 하는 플라즈마 다시플레이 패널의 제조방법.