KR19990050849A - Process Control Method of Semiconductor Production Control System - Google Patents
Process Control Method of Semiconductor Production Control System Download PDFInfo
- Publication number
- KR19990050849A KR19990050849A KR1019970070039A KR19970070039A KR19990050849A KR 19990050849 A KR19990050849 A KR 19990050849A KR 1019970070039 A KR1019970070039 A KR 1019970070039A KR 19970070039 A KR19970070039 A KR 19970070039A KR 19990050849 A KR19990050849 A KR 19990050849A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- facility
- data
- production
- control system
- production control
- Prior art date
Links
Landscapes
- General Factory Administration (AREA)
- Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
Abstract
본 발명은 반도체 생산제어 시스템의 공정 제어방법에 관한 것으로, 본 발명에서는 생산제어 시스템 및 설비 사이에 소정의 생산처리 모듈을 구비하고, 이를 통해 설비로부터 업로드 되는 제품의 트랙 인/트랙 아웃 정보가 생산제어 시스템으로 실시간 전달되도록 함으로써, 공정 시작(또는 공정 종료)사항이 작업자의 개재 없이 자동으로 조절되도록 하고, 그 결과, 반도체 제조공정의 완전한 무인 자동화를 달성시킬 수 있다.The present invention relates to a process control method of a semiconductor production control system. In the present invention, a predetermined production processing module is provided between a production control system and a facility, whereby track in / track out information of a product uploaded from the facility is produced. By being delivered in real time to the control system, process start (or process end) can be automatically adjusted without operator intervention, resulting in complete unattended automation of the semiconductor manufacturing process.
Description
본 발명은 반도체 제조용 설비의 공정 제어방법에 관한 것으로, 좀더 상세하게는 생산처리 모듈을 통해 설비로부터 송신되는 생산기초 데이터, 공정시작 데이터(공정종료 데이터)를 생산제어 시스템으로 실시간 업로드시킴과 아울러, 생산제어 시스템으로부터 다운로드되는 공정조건 데이터를 설비로 실시간 다운로드시킴으로써, 작업자의 개재 없이도 제품의 트랙 인/트랙 아웃 과정이 자동·처리될 수 있도록 하는 반도체 생산제어 시스템의 공정 제어방법에 관한 것이다.The present invention relates to a process control method for a semiconductor manufacturing facility, and more particularly, uploading the production basic data and the process start data (process end data) transmitted from the facility through a production processing module in real time, The present invention relates to a process control method of a semiconductor production control system which allows the process of track in / track out of a product to be automatically and processed without an operator's intervention by downloading process condition data downloaded from a production control system to a facility in real time.
일반적인 반도체 소자는 그 제조에 고도의 정밀성이 요구되며, 이에 따라, 통상의 반도체 생산라인에서는 정밀가공이 가능한 고기능의 설비를 배치하여 대부분의 반도체 소자 제조공정을 수행하고 있다.In general, semiconductor devices require a high degree of precision, and accordingly, most semiconductor device manufacturing processes are performed by arranging a highly functional facility capable of precision processing in a conventional semiconductor production line.
이때, 작업자는 각 설비의 동작상황을 소정의 생산제어 시스템을 통해 면밀히 관찰함으로써, 라인 작업 효율의 향상을 꾀하고 있다.At this time, the operator closely monitors the operation status of each facility through a predetermined production control system, thereby improving the line work efficiency.
도 1은 이러한 기능을 수행하는 종래의 반도체 생산제어 시스템의 배치형상을 개략적으로 도시한 개념도이다.FIG. 1 is a conceptual diagram schematically showing a layout of a conventional semiconductor production control system that performs this function.
이에 도시된 바와 같이, 생산라인내에는 공정을 실행하는 설비(3)가 배치되며, 이러한 설비(3)에는 로트(미도시)가 투입되어 적절한 반도체 제품으로 제조되고 있다.As shown therein, a facility 3 for executing a process is arranged in the production line, and a lot (not shown) is put into the facility 3 to manufacture a suitable semiconductor product.
이때, 작업자는 설비(3)와 온라인된 O/I PC(Operater Interface PC:2)를 통해 설비의 동작상황을 면밀히 관찰하고 있다.At this time, the operator closely monitors the operation of the facility through the facility 3 and the online O / I PC (Operater Interface PC: 2).
여기서, 설비(3)는 설비서버(미도시)를 통해 생산제어 시스템(1)과 온라인으로 연결되며, 이러한 생산제어 시스템(1)은 O/I PC(2)와 온라인으로 연결된다.Here, the facility 3 is connected online with the production control system 1 via a facility server (not shown), and this production control system 1 is connected online with the O / I PC 2.
이때, 작업자는 O/I PC(2)를 통해 생산제어 시스템(1)으로 적절한 생산기초 데이터, 예컨대, 대상 로트의 아이디, 공정이 진행될 설비 아이디 등을 설정·입력하는 바, 생산제어 시스템(1)은 이와 같이 입력된 생산기초 데이터를 토대로 자신의 데이터 베이스를 써치하여 당해 로트에 진행될 적절한 공정조건 데이터를 산출한다.At this time, the operator sets and inputs the appropriate production basis data, for example, the ID of the target lot, the equipment ID to be processed, and the like through the O / I PC 2 to the production control system 1. ) Searches for its own database based on the inputted production basis data and calculates the appropriate process condition data for the lot.
이 후, 작업자는 이러한 공정조건 데이터를 확인한 후 공정 시작(또는 공정 종료) 명령을 매뉴얼(Manual)로 입력하여 설비(3)로 로트(10)를 신속히 트랙 인/트랙 아웃 시킴으로써, 이를 양호한 반도체 제품으로 제조한다.The operator then checks this process condition data and then manually enters a process start (or process end) command into the manual to quickly track in / out the lot 10 to the facility 3 to obtain a good semiconductor product. To manufacture.
한편, 생산라인내에는 로트 박스 등을 설비(3) 및 설비(3) 간 또는 베이(Bay) 및 베이 간으로 자동 반송하는 AGV(4)가 배치되는 바, 이러한 AGV(4)는 다양한 제품 반송기능을 자동 수행함으로써, 반도체 제조공정의 무인 자동화 구현에 적절히 기여하고 있다.On the other hand, in the production line is arranged AGV (4) for automatically conveying the lot box, etc. between the facility (3) and the facility (3) or between the bay (bay) and the bay, this AGV (4) is a variety of products convey By performing functions automatically, they contribute appropriately to the unmanned automation of semiconductor manufacturing processes.
여기서, AGV(4)는 상술한 생산제어 시스템(1)과의 온라인 통신에 의해 그 기능이 적절히 제어되며, 생산제어 시스템(1)은 AGV(4)로 필요한 작업 명령을 지속적으로 전송함으로써, AGV(4)가 소정의 기능장애 없이 알맞은 제품 반송기능을 신속히 수행할 수 있도록 한다.Here, the AGV 4 is appropriately controlled by online communication with the above-described production control system 1, and the production control system 1 continuously transmits the necessary work command to the AGV 4, thereby providing AGV. (4) to promptly perform the proper product return function without any functional impairment.
그러나, 이러한 기능을 수행하는 종래의 반도체 생산제어 시스템에는 몇 가지 중대한 문제점이 있다.However, there are some serious problems with conventional semiconductor production control systems that perform these functions.
첫째, 종래의 경우, 로트를 설비로 트랙 인/트랙 아웃 시킬 때 마다 작업자의 매뉴얼 작업이 반드시 수행되어야 하는 바, 이에 따라, 반도체 제조공정의 완전한 자동화가 달성되지 못한다.First, in the conventional case, a manual operation of an operator must be performed every time the lot is tracked in and out of the facility, and thus, complete automation of the semiconductor manufacturing process is not achieved.
둘째, 이러한 작업자의 개입으로 인해, AGV를 통한 무인 자동화의 의미가 희석된다.Second, due to this operator intervention, the meaning of unattended automation through AGV is diluted.
셋째, 작업자는 매 공정 스텝마다 설비의 상황을 살펴, 상술한 매뉴얼 입력 작업을 수행하여야 하는 바, 이에 따라, 전체적인 작업자 업무효율이 현저히 저감된다.Third, the operator should look at the status of the facility at every process step to perform the manual input operation described above, accordingly, the overall operator work efficiency is significantly reduced.
따라서, 본 발명의 목적은 생산제어 시스템 및 설비 사이에 소정의 생산처리 모듈을 구비하고, 이를 통해 설비로부터 업로드 되는 제품의 트랙 인/트랙 아웃 정보가 생산제어 시스템으로 실시간 전달되도록 함으로써, 공정 시작(또는 공정 종료)사항이 작업자의 개재 없이 자동으로 조절되도록 하고, 그 결과, 반도체 제조공정의 완전한 무인 자동화를 달성시킬 수 있도록 하는 반도체 생산제어 시스템의 공정 제어방법을 제공함에 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a production process module between a production control system and a facility, and to allow the track in / track out information of a product uploaded from the facility to be delivered to the production control system in real time, thereby starting the process ( Or process termination) is automatically controlled without operator intervention, and as a result, a process control method of the semiconductor production control system can be achieved to achieve complete unmanned automation of the semiconductor manufacturing process.
도 1은 종래의 반도체 생산제어 시스템의 배치형상을 개략적으로 도시한 개념도.1 is a conceptual diagram schematically showing a layout of a conventional semiconductor production control system.
도 2는 본 발명을 구현하기 위한 반도체 생산제어 시스템의 배치형상을 개략적으로 도시한 개념도.2 is a conceptual diagram schematically showing a layout of a semiconductor production control system for implementing the present invention;
도 3은 본 발명에 따른 반도체 생산제어 시스템의 공정 제어방법을 순차적으로 도시한 순서도.3 is a flowchart sequentially illustrating a process control method of a semiconductor production control system according to the present invention.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 설비로부터 소정의 생산기초 데이터를 수신받은 후 상기 생산기초 데이터를 생산제어 시스템으로 업로드하는 단계와; 상기 설비를 관측하여 상기 설비가 공정을 시작할 것인가의 여부를 판단하는 단계와; 상기 설비가 공정을 시작하지 않을 것이면 종료하고, 상기 설비가 공정을 시작할 것이면, 소정의 공정시작 데이터를 상기 설비로부터 수신받아 상기 공정시작 데이터를 상기 생산제어 시스템으로 업로드한 후 상기 생산기초 데이터를 근거로한 소정의 공정조건 데이터를 수신받아 상기 공정조건 데이터를 상기 설비로 다운로드하는 단계와; 상기 설비를 관측하여 상기 설비에서 진행되던 공정이 종료되었는가의 여부를 판단하는 단계와; 상기 설비에서 진행되던 공정이 종료되지 않았으면, 잔여 공정이 진행되도록한 후 종료하고, 상기 설비에서 진행되던 공정이 종료되었으면, 소정의 공정종료 데이터를 상기 설비로부터 수신받아 상기 공정종료 데이터를 상기 생산제어 시스템으로 업로드 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.The present invention for achieving the above object comprises the steps of uploading the production basic data to the production control system after receiving the predetermined production basic data from the facility; Observing the facility to determine whether the facility starts a process; If the equipment does not start the process, it terminates. If the equipment starts the process, it receives the predetermined process start data from the equipment and uploads the process start data to the production control system and then based on the production basic data. Receiving the predetermined process condition data and downloading the process condition data to the facility; Observing the facility to determine whether or not the process in the facility has ended; If the process that has been performed in the facility is not finished, the process is terminated after the remaining process proceeds, and when the process that is performed in the facility is finished, receiving predetermined process end data from the facility to produce the process end data. And uploading to the control system.
바람직하게, 상기 생산기초 데이터는 공정대상 제품의 아이디 및 공정이 이루어지는 상기 설비의 서브 모듈명의 조합으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.Preferably, the production basis data is characterized in that the combination of the ID of the product to be processed and the sub-module name of the facility in which the process is made.
바람직하게, 상기 생산기초 데이터, 공정조건 데이터, 공정시작 데이터, 공정종료 데이터는 SECS-RS232 통신 프로토콜 또는 SECS-Ethernet 통신 프로토콜 또는 TCP/IP-Ethernet 통신 프로토콜에 의해 송·수신되는 것을 특징으로 한다.Preferably, the production basis data, process condition data, process start data, process end data is characterized in that the transmission and reception by the SECS-RS232 communication protocol, SECS-Ethernet communication protocol or TCP / IP-Ethernet communication protocol.
이에 따라, 본 발명에서는 반도체 제조공정의 완전한 자동화가 적절히 달성된다.Accordingly, in the present invention, complete automation of the semiconductor manufacturing process is appropriately achieved.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 반도체 제조설비 관리시스템의 공정 제어방법을 좀더 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a process control method of a semiconductor manufacturing facility management system according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 2는 본 발명을 구현하기 위한 반도체 제조설비 관리시스템의 배치형상을 개략적으로 도시한 개념도이다.2 is a conceptual diagram schematically showing a layout of a semiconductor manufacturing facility management system for implementing the present invention.
이에 도시된 바와 같이, 설비(3) 및 생산제어 시스템(1) 사이에는 본 발명을 구현하기 위한 생산처리 모듈(10)이 온라인으로 연결·개재되며 이러한 생산처리 모듈(10)은 설비(3)로부터 입력되는 생산기초 데이터 및 공정시작/공정종료 데이터를 실시간 수신하여 생산제어 시스템(1)으로 업로드하거나, 생산제어 시스템(1)으로부터 다운로드되는 공정조건 데이터를 실시간 수신하여 설비(3)로 다운로드하는 역할을 수행한다. 이에 따라, 설비(3)는 작업자의 전산처리 없이도 제품을 자동으로 트랙 인/트랙 아웃시킬 수 있다.As shown here, between the plant 3 and the production control system 1, a production processing module 10 for realizing the present invention is connected and interposed online, and this production processing module 10 is installed in the installation 3. Receive real-time production base data and process start / process termination data input from the system and upload them to the production control system 1, or download the process condition data downloaded from the production control system 1 to the facility 3 in real time. Play a role. Accordingly, the facility 3 can automatically track in / track out the product without the computational processing of the operator.
여기서, 작업자는 생산처리 모듈(10)을 설치할 때에 이와 대응되는 설비(3)에 적절한 보고 블록을 인스톨하여 설비(3)의 제품투입 상황이 생산처리 모듈(10)로 실시간 보고될 수 있도록 한다.Here, when the worker installs the production processing module 10, the operator installs an appropriate report block in the facility 3 corresponding thereto so that the product input status of the facility 3 can be reported in real time to the production processing module 10.
여기서, 바람직하게, 생산처리 모듈(10)은 설비(3) 및 생산제어 시스템(1)과 SECS-R S232 통신 프로토콜 또는 SECS-Ethernet 통신 프로토콜 또는 TCP/IP-Ethe rnet 통신 프로토콜을 사용하여 온라인 연결되는 바, 이에 따라, 상술한 생산기초 데이터, 공정조건 데이터, 공정시작 데이터, 공정종료 데이터는 SECS-RS232, SECS-Etherne t, TCP/IP-Ethernet 등의 통신 프로토콜에 의해 설비(3) 또는 생산제어 시스템(1)으로 신속하게 송·수신된다.Here, preferably, the production processing module 10 is connected to the facility 3 and the production control system 1 by using the SECS-R S232 communication protocol or the SECS-Ethernet communication protocol or the TCP / IP-Ethenet communication protocol. Accordingly, the above-described production basic data, process condition data, process start data, and process end data may be produced by the facility 3 or by a communication protocol such as SECS-RS232, SECS-Ethernet, or TCP / IP-Ethernet. It is sent to and received from the control system 1 quickly.
한편, 도 3은 본 발명에 따른 반도체 생산제어 시스템의 공정 제어방법을 순차적으로 도시한 순서도이다.3 is a flowchart sequentially illustrating a process control method of the semiconductor production control system according to the present invention.
이에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 반도체 생산제어 시스템의 공정 제어방법은 설비(3)로부터 생산기초 데이터를 수신받은 후 생산기초 데이터를 생산제어 시스템(1)으로 업로드하는 단계 S10와, 설비(3)를 관측하여 설비(3)가 공정을 시작할 것인가의 여부를 판단하는 단계 S20와, 설비(3)가 공정을 시작하지 않을 것이면 종료하고, 설비(3)가 공정을 시작할 것이면, 공정시작 데이터를 설비(3)로부터 수신받아 공정시작 데이터를 생산제어 시스템(1)으로 업로드한 후 생산기초 데이터를 근거로한 공정조건 데이터를 수신받아 공정조건 데이터를 설비(3)로 다운로드하는 단계 S30와, 설비(3)를 관측하여 설비(3)에서 진행되던 공정이 종료되었는가의 여부를 판단하는 단계 S40와, 설비(3)에서 진행되던 공정이 종료되지 않았으면, 잔여 공정을 진행한 후 종료하고, 설비(3)에서 진행되던 공정이 종료되었으면, 공정종료 데이터를 설비(3)로부터 수신받아 공정종료 데이터를 생산제어 시스템(1)으로 업로드 하는 단계 S50,S60를 포함한다.As shown in the drawing, the process control method of the semiconductor production control system according to the present invention comprises the step S10 of uploading the production basic data to the production control system 1 after receiving the production basic data from the facility 3, and the facility ( 3) step S20 of determining whether the facility 3 will start the process by observing 3), ending if the facility 3 will not start the process, and if the facility 3 will start the process, process start data And receiving the process start data based on the production basis data and receiving the process start data based on the production basis data after receiving the data from the equipment (3) and downloading the process condition data to the equipment (3); Step S40 of observing the facility 3 to determine whether or not the process in the facility 3 is finished, and if the process in the facility 3 is not finished, proceed with the remaining process and then terminate the process. , If the process were in progress at the plant (3) ends, and a step S50, S60 to accept the data received from the process end equipment (3) upload the data process ends with the production control system (1).
이하, 이러한 본 발명의 각 단계를 상세히 설명한다.Hereinafter, each step of the present invention will be described in detail.
먼저, 설비(3)는 공정을 진행할 로트가 로딩되면, 보고 블록을 가동하여 공정과 관련된 생산기초 데이터를 생산처리 모듈(10)로 송신한다. 이러한 송신과정은 로트의 로딩에 따라 실시간으로 이루어진다.First, when the lot 3 to be processed is loaded, the facility 3 activates a reporting block to transmit production basis data related to the process to the production processing module 10. This transmission process takes place in real time according to the loading of the lot.
이어서, 생산처리 모듈(10)은 생산기초 데이터를 수신받은 후 이러한 생산기초 데이터를 생산제어 시스템(1)으로 업로드한다(단계 S11,S12). 이에 따라, 생산제어 시스템(1)의 데이터 베이스에는 설비(3)로부터 송신된 생산기초 데이터가 적절히 저장된다.Subsequently, the production processing module 10 uploads the production basic data to the production control system 1 after receiving the production basic data (steps S11 and S12). Accordingly, the production basis data transmitted from the facility 3 is appropriately stored in the database of the production control system 1.
이때, 바람직하게, 생산기초 데이터는 공정대상 제품의 아이디 및 공정이 이루어지는 설비의 서브 모듈명의 조합으로 이루어진다. 이에 따라, 생산제어 시스템(1)은 설비(3)의 특정 서브 모듈 및 그것이 가공할 로트의 항목을 적절히 파악할 수 있다.In this case, preferably, the production basis data is composed of a combination of the ID of the product to be processed and the submodule name of the facility in which the process is performed. Accordingly, the production control system 1 can properly grasp the specific submodule of the installation 3 and the items of the lot to be processed.
계속해서, 생산처리 모듈(10)은 지속적으로 설비(3)를 관측하여 설비(3)가 공정을 시작할 것인가의 여부를 판단한다(단계 S20).Subsequently, the production processing module 10 continuously observes the facility 3 to determine whether the facility 3 starts the process (step S20).
이때, 설비(3)가 공정을 시작하지 않을 것으로 판단되면, 생산처리 모듈(10)은 당해 플로우를 종료한다.At this time, if it is determined that the facility 3 will not start the process, the production processing module 10 ends the flow.
그러나, 반면에 설비(3)가 공정을 시작할 것으로 판단되면, 생산처리 모듈(10)은 공정시작 데이터를 설비(3)로부터 수신받아 공정시작 데이터를 생산제어 시스템(1)으로 업로드한다(단계 S31). 이에 따라, 생산제어 시스템(1)은 설비(3)가 공정을 시작할 것임을 신속히 파악한 후 자신의 데이터 베이스에 저장된 생산기초 데이터를 써치하여 이를 근거로한 공정조건 데이터를 생산처리 모듈(10)로 신속히 다운로드함으로써, 로트가 설비(3)에 신속히 트랙 인 될 수 있도록 한다.On the other hand, if the facility 3 is determined to start the process, the production processing module 10 receives the process start data from the facility 3 and uploads the process start data to the production control system 1 (step S31). ). Accordingly, the production control system 1 quickly recognizes that the facility 3 will start the process, then searches the production basic data stored in its database and quickly transfers the process condition data based on this to the production processing module 10. By downloading, the lot can be quickly tracked into the installation 3.
계속해서, 생산처리 모듈(10)은 생산제어 시스템(1)으로부터 다운로드되는 공정조건 데이터를 수신받아 이러한 공정조건 데이터를 설비(3)로 다운로드한다(단계 S32,S33).Subsequently, the production processing module 10 receives the process condition data downloaded from the production control system 1 and downloads the process condition data to the facility 3 (steps S32 and S33).
이 후, 설비(3)는 다운로드된 공정조건 데이터에 맞추어 로트를 신속히 트랙 인 한 후 이를 가공함으로써, 적절한 반도체 제품으로 제조한다.Thereafter, the facility 3 quickly tracks the lot in accordance with the downloaded process condition data and processes it to produce a suitable semiconductor product.
이러한 예로, 설비(3)로부터 업로드된 생산기초 데이터가 "설비 A의 챔버 B에서 로트 C를 가공할 것"인 경우, 생산제어 시스템(1)은 이와 매치(Match)되는 공정조건 데이터, 예컨대, 공정온도 a℃, 공정시간 b(sec)등을 파악한 후 이를 생산처리 모듈(10)을 통해 설비(3)로 신속히 다운로드시킴으로써, 설비 A의 챔버 B가 로트 C를 신속히 트랙 인 시킨 후 a℃, b(sec)의 공정조건에 맞추어 적절히 가공시킬 수 있도록 한다. 이에 따라, 공정대상 제품인 로트 C는 설비 A의 챔버 B로 신속히 트랙 인되어 공정조건 a℃, b(sec)에 맞추어 가공된다.In this example, if the production basis data uploaded from plant 3 is "to process lot C in chamber B of plant A", the production control system 1 will match the process condition data, eg, Process temperature a ℃, process time b (sec) and the like is quickly downloaded to the equipment (3) through the production processing module 10, the chamber B of the equipment A quickly tracked in lot C, after the a ℃, It can be processed appropriately according to the process condition of b (sec). As a result, the lot C, which is the product to be processed, is quickly tracked into the chamber B of the facility A and processed according to the process conditions a ° C. and b (sec).
종래의 경우, 이러한 트랙 인 과정은 작업자의 설비 관측을 통한 매뉴얼 작업에 의해 이루어졌던 바, 이에 따라, 반도체 제조공정의 완전한 자동화가 달성되지 못하는 문제점이 유발되었다.In the conventional case, such a track-in process was performed by manual work through observation of a facility of a worker, thus causing a problem that full automation of a semiconductor manufacturing process was not achieved.
그러나, 본 발명의 경우, 이러한 트랙 인 과정은 상술한 바와 같이 생산처리 모듈(10)을 통한 자동화된 온라인 통신에 의해 실시간으로 이루지는 바, 이에 따라, 생산제어 시스템(1)은 작업자의 개재 없이도 설비(3)를 적절히 제어하여, 로트를 양호한 반도체 제품으로 신속히 제조할 수 있다. 그 결과, 반도체 제조공정의 완전한 자동화는 적절히 달성될 수 있다.However, in the case of the present invention, such a track-in process is performed in real time by automated online communication through the production processing module 10 as described above, so that the production control system 1 can be operated without operator intervention. By controlling the installation 3 appropriately, a lot can be manufactured quickly with a favorable semiconductor product. As a result, complete automation of the semiconductor manufacturing process can be properly achieved.
또한, 종래의 경우, 이러한 트랙 인 과정의 작업자 개재로 인해 상술한 AGV(4)의 운영에 있어서도, 그것의 무인 자동화 장치로써의 의미가 상당부분 희석되는 문제점이 유발되었다.In addition, in the related art, in the operation of the above-described AGV 4 due to the operator's intervention in the track-in process, the problem of its meaning as an unmanned automated apparatus is substantially diluted.
그러나, 본 발명의 경우, 상술한 바와 같이, 생산처리 모듈(10)의 운영을 통한 트랙 인 과정의 자동화로 인해, 종래의 작업자 개재가 철저히 배재되도록 함으로써, AGV(4)의 운영에 있어서도, 그것의 무인 자동화 장치로써의 의미가 현저히 극대화될 수 있다.However, in the case of the present invention, as described above, due to the automation of the track-in process through the operation of the production processing module 10, it is also possible to operate the AGV 4 by allowing the conventional operator intervention to be completely excluded. The meaning as an unmanned automated device can be significantly maximized.
한편, 상술한 트랙 인 과정을 통해 설비(3)에서 공정이 진행되면, 생산처리 모듈(10)은 이러한 공정 진행 중의 설비(3)를 지속적으로 관측하여 설비(3)에서 진행되던 공정이 종료되었는가의 여부를 판단한다(단계 S40).On the other hand, if the process is carried out in the facility (3) through the track-in process described above, is the production processing module 10 continuously observed the facility (3) during such a process is the process that was carried out in the facility (3) is finished? It is determined whether or not (step S40).
이때, 설비(3)에서 진행되던 공정이 종료되지 않았으면, 생산처리 모듈(10)은 설비(3)에 의해 잔여 공정이 진행되도록한 후 당해 플로우를 종료한다(단계 S50).At this time, if the process that was carried out in the facility 3 is not finished, the production processing module 10 allows the remaining process to proceed by the facility 3 and ends the flow (step S50).
그러나, 반면에 설비(3)에서 진행되던 공정이 종료되었으면, 생산처리 모듈(10)은 당해 공정이 완료되었음을 신속히 파악한 후 설비(3)로부터 공정종료 데이터를 수신받아 이를 생산제어 시스템(1)으로 업로드한다(단계 S60). 이에 따라, 생산제어 시스템(1)은 설비(3)에서 진행되던 공정이 종료되었음을 파악한 후 생산처리 모듈(10)을 통해 설비(3)를 제어하여 설비(3)로부터 제품이 트랙 아웃되도록 한다. 그 결과, 공정이 완료된 제품은 설비로부터 언로딩된 후 차기 공정으로 신속히 반출된다.On the other hand, on the other hand, if the process that was carried out in the facility (3) is finished, the production processing module 10 quickly grasps that the process is completed, and receives the process end data from the facility (3) to the production control system (1) Upload (step S60). Accordingly, the production control system 1, after grasping the completion of the process in the facility 3, controls the facility 3 through the production process module 10 to track out the product from the facility (3). As a result, the finished product is unloaded from the facility and then quickly taken out to the next process.
종래의 경우, 이러한 트랙 아웃 과정 또한 작업자의 설비 관측을 통한 매뉴얼 작업에 의해 이루어졌던 바, 이에 따라, 반도체 제조공정은 그 자동화를 완전히 달성하지 못하였다.In the conventional case, this track out process was also performed by manual work through the operator's facility observation, and accordingly, the semiconductor manufacturing process did not fully achieve its automation.
그러나, 본 발명의 경우, 상술한 트랙 인 과정과 마찬가지로 트랙 아웃 과정 또한 생산처리 모듈(10)을 통한 자동화된 온라인 통신에 의해 실시간으로 이루지는 바, 이에 따라, 생산제어 시스템(10)은 작업자의 개재 없이도 설비(3)를 적절히 제어하여 로트를 양호한 반도체 제품으로 신속히 제조할 수 있다. 그 결과, 반도체 제조공정의 완전한 자동화는 적절히 달성될 수 있다.However, in the case of the present invention, as in the track in process described above, the track out process is also performed in real time by automated online communication through the production processing module 10, whereby the production control system 10 The lot 3 can be quickly manufactured into a good semiconductor product by appropriately controlling the installation 3 without intervening. As a result, complete automation of the semiconductor manufacturing process can be properly achieved.
이 후, 생산처리 모듈(10)은 상술한 각 단계를 지속적으로 반복함으로써, 자동화된 트랙 인/트랙 아웃 과정을 적절히 반복·실행한다.Thereafter, the production processing module 10 continuously repeats the above-described steps, thereby appropriately repeating and executing the automated track in / track out process.
이와 같이, 본 발명에서는 생산처리 모듈을 통해 설비로부터 송신되는 생산기초 데이터, 공정시작 데이터(공정종료 데이터)가 생산제어 시스템으로 실시간 업로드되도록 하고, 생산제어 시스템으로부터 다운로드되는 공정조건 데이터가 설비로 실시간 다운로드되도록 함으로써, 작업자의 개재 없이도 제품의 트랙 인/트랙 아웃 과정을 자동·처리시킬 수 있다.As such, in the present invention, the production basic data and the process start data (process end data) transmitted from the facility through the production processing module are uploaded to the production control system in real time, and the process condition data downloaded from the production control system is real time to the facility. By downloading, the track in / track out process of the product can be automated and processed without any intervention by the operator.
이러한 본 발명은 생산라인내에 배치되어 소정의 관리를 필요로하는 모든 반도체 제조 설비에서 두루 유용한 효과를 나타낸다.This invention exhibits useful effects throughout all semiconductor manufacturing facilities that are placed in a production line and require some management.
그리고, 본 발명의 특정한 실시예가 설명 및 도시되었지만 본 발명이 당업자에 의해 다양하게 변형되어 실시될 가능성이 있는 것은 자명한 일이다.And while certain embodiments of the invention have been described and illustrated, it will be apparent that the invention may be embodied in various modifications by those skilled in the art.
이와 같은 변형된 실시예들은 본 발명의 기술적사상이나 관점으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안되며 이와 같은 변형된 실시예들은 본 발명의 첨부된 특허청구의 범위안에 속한다 해야 할 것이다.Such modified embodiments should not be understood individually from the technical spirit or point of view of the present invention and such modified embodiments should fall within the scope of the appended claims of the present invention.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 반도체 생산제어 시스템의 공정 제어방법에서는 생산제어 시스템 및 설비 사이에 소정의 생산처리 모듈을 구비하고, 이를 통해 설비로부터 업로드 되는 제품의 트랙 인/트랙 아웃 정보가 생산제어 시스템으로 실시간 전달되도록 함으로써, 공정 시작(또는 공정 종료)사항이 작업자의 개재 없이 자동으로 조절되도록 하고, 그 결과, 반도체 제조공정의 완전한 무인 자동화를 달성시킬 수 있다.As described in detail above, in the process control method of the semiconductor production control system according to the present invention, a predetermined production processing module is provided between the production control system and the facility, and the track in / track out information of the product uploaded from the facility is By being delivered in real time to the production control system, process start (or process end) can be automatically adjusted without operator intervention, resulting in complete unattended automation of the semiconductor manufacturing process.
Claims (5)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019970070039A KR19990050849A (en) | 1997-12-17 | 1997-12-17 | Process Control Method of Semiconductor Production Control System |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019970070039A KR19990050849A (en) | 1997-12-17 | 1997-12-17 | Process Control Method of Semiconductor Production Control System |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR19990050849A true KR19990050849A (en) | 1999-07-05 |
Family
ID=66165880
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019970070039A KR19990050849A (en) | 1997-12-17 | 1997-12-17 | Process Control Method of Semiconductor Production Control System |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR19990050849A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100434435B1 (en) * | 2000-09-29 | 2004-06-04 | 에이시스정보기술 주식회사 | Running method of SECS driver for SECS message exchanging between equipement server part and interface part |
| KR100434433B1 (en) * | 2000-09-29 | 2004-06-04 | 에이시스정보기술 주식회사 | Administration control device for factory automation, and its method |
-
1997
- 1997-12-17 KR KR1019970070039A patent/KR19990050849A/en not_active Application Discontinuation
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100434435B1 (en) * | 2000-09-29 | 2004-06-04 | 에이시스정보기술 주식회사 | Running method of SECS driver for SECS message exchanging between equipement server part and interface part |
| KR100434433B1 (en) * | 2000-09-29 | 2004-06-04 | 에이시스정보기술 주식회사 | Administration control device for factory automation, and its method |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6226563B1 (en) | Method for controlling unit process conditions of semiconductor fabricating equipment arranged in a processing line | |
| CN107934520A (en) | One kind automation feed system, method and storage device | |
| JPH11195574A (en) | Control method of semiconductor manufacturing equipment control system | |
| JPH11238658A (en) | Method for general control semiconductor process data | |
| KR19990050849A (en) | Process Control Method of Semiconductor Production Control System | |
| CN106444600A (en) | Management method and apparatus of heat treatment furnace | |
| CN100476749C (en) | Method for controlling preventive maintenance cycles of semiconductor fabricating equipments arranged in controlling system | |
| KR20010003296A (en) | System for monitoring automization system to produce semiconductor and method using the same | |
| JP2935532B2 (en) | Printed wiring board production line controller | |
| KR19990074696A (en) | How to prevent semiconductor process defects by changing process conditions recipe | |
| JPH06303B2 (en) | Job shop scheduling method using distributed processing system | |
| JP3102069B2 (en) | Numerical control group management method | |
| KR20000001413A (en) | Process parameter managing method for a system managing a semiconductor fabricating equipment | |
| JPH0738370B2 (en) | Method for manufacturing semiconductor device | |
| CN100397562C (en) | Real-time batch sending system and method during manufacturing process | |
| KR19990026500A (en) | Structure and management method for semiconductor manufacturing equipment | |
| KR100464173B1 (en) | Semiconductor manufacturing equipment control system and equipment control method through | |
| CN114488982B (en) | Flexible automatic lamination method based on 5G communication and edge calculation | |
| KR19990026068A (en) | Management Method of Equipment for Semiconductor Manufacturing | |
| KR20000007520A (en) | Method for managing an equipment preventive maintenance period of a semiconductor manufacture equipment managing system | |
| KR19990050858A (en) | Process Data Management Method of In-line Semiconductor Manufacturing Equipment Management System | |
| KR20000003307A (en) | Rote flow control method of semiconductor manufacturing installation management system | |
| JP2739791B2 (en) | Equipment controller control method | |
| CN113780747A (en) | Automatic division, grabbing and scheduling system and method for production line tasks | |
| CN102486640B (en) | Machine tool data acquisition apparatus and method thereof |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| WITN | Withdrawal due to no request for examination |