KR20000003307A - Rote flow control method of semiconductor manufacturing installation management system - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 반도체 제조설비 관리시스템의 로트 플로우 제어방법에 관한 것으로, 좀더 상세하게는 전체적인 로트의 흐름이 작업자의 개재 없이 자동으로 관리될 수 있도록 하는 반도체 제조설비 관리시스템의 로트 플로우 제어방법에 관한 것이다.The present invention relates to a lot flow control method of a semiconductor manufacturing facility management system, and more particularly, to a lot flow control method of a semiconductor manufacturing facility management system to enable the entire lot flow to be automatically managed without the intervention of the operator. .
일반적으로 반도체 소자를 제조하는 데에는 고도의 정밀성이 요구되며, 이에 따라, 통상의 반도체 생산라인에서는 정밀가공이 가능한 고기능의 설비들을 배치하여 대부분의 반도체 소자 제조공정을 수행하고 있다.In general, manufacturing a semiconductor device requires a high degree of precision, and accordingly, most semiconductor device manufacturing processes are performed by arranging high-performance facilities capable of precision processing in a conventional semiconductor production line.
이와함께, 작업자는 각 설비들의 동작상황을 반도체 제조설비 관리시스템을 통해 면밀히 관찰함으로써, 라인 작업 효율의 향상을 꾀하고 있다.At the same time, the operator closely monitors the operation status of each facility through the semiconductor manufacturing facility management system, thereby improving the line work efficiency.
도 1에 도시된 바와 같이, 생산라인내에는 공정을 실행하는 설비들(3), 예컨대, 일반공정을 위한 설비 1(3a), 계측공정을 위한 계측설비(3b) 등이 배치되며, 이러한 설비들(3)로 로트(10)가 투입되어 해당공정들이 진행된다.As shown in Fig. 1, facilities 3 for executing a process are arranged in the production line, for example, facility 1 3a for a general process, measurement facility 3b for a measurement process, and the like. Lot 10 is injected into the field 3 and the corresponding processes are performed.
여기서, 설비들(3)은 각각 설비서버들(도시않됨)을 통해 호스트(1)와 온라인으로 연결되며, 호스트(1)는 O/I PC(Operater Interface PC:2)와 온라인으로 연결된다.Here, the facilities 3 are connected online with the host 1 via facilities servers (not shown), respectively, and the host 1 is connected online with an O / I PC (Operater Interface PC: 2).
한편, 작업자가 O/I PC(2)를 통해 호스트(1)로 생산기초 데이터, 예컨대, 대상 로트의 아이디, 공정이 진행될 설비의 아이디 등을 설정하여 입력하게 되면, 호스트(1)는 입력된 생산기초 데이터를 토대로 자신의 데이터 베이스를 써치하여 당해 로트에 진행될 적절한 공정조건 데이터를 산출한다.Meanwhile, when an operator sets and inputs production basic data, for example, an ID of a target lot, an ID of a facility to be processed, and the like to the host 1 through the O / I PC 2, the host 1 is inputted. Based on the production basis data, the database is searched to produce the appropriate process condition data for the lot.
이후, 작업자는 이러한 공정조건 데이터를 확인한 후 공정 시작(또는 공정 종료) 명령을 입력하여 설비들(3)로 로트를 신속히 트랙 인/트랙 아웃(Track in/Track out) 시킴으로써, 해당 공정들을 진행한다.Then, the operator checks the process condition data and inputs a process start (or process end) command to quickly track in / out the lot to the facilities 3 to proceed with the processes. .
이때, 해당 설비의 공정이 완료되면, 작업자는 OI/PC(2)를 통해 각 설비들의 정보를 파악한 후, 다음 공정을 양호하게 수행할 수 있는 적정 설비를 선택하여 공정이 완료된 로트로 다음 공정을 진행시킨다.At this time, when the process of the equipment is completed, the operator grasps the information of each equipment through the OI / PC (2), and then select the appropriate equipment that can perform the next process satisfactorily to proceed to the next process to the lot is completed Proceed.
이후, 로트는 해당 공정이 완료될 때 마다 작업자의 지속적인 상황 판단에 의해 자신이 수행받을 다음공정을 지정받음으로써, 일정한 기능을 갖춘 반도체 소자로 제조된다.Thereafter, the lot is manufactured as a semiconductor device having a certain function by designating the next process to be performed by the worker's continuous situation judgment every time the corresponding process is completed.
그러나, 이러한 기능을 수행하는 종래의 반도체 제조설비 관리시스템에는 몇 가지 중대한 문제점이 있다.However, there are some serious problems with the conventional semiconductor manufacturing facility management system that perform this function.
예컨대, 생산라인내에 배치된 설비들은 그 숫자가 대량인데 반해, 이를 관리하는 작업자의 숫자는 한정되어 있기 때문에, 각 개별 설비로 로딩되는 로트를 일일이 관리하기가 매우 힘들다.For example, the number of facilities placed in a production line is large, while the number of workers managing them is limited, making it very difficult to manage the lot loaded into each individual facility individually.
이때, 만약, 작업자의 실수로 로트가 적정 설비로 로딩되지 못하는 경우, 예측하지 못한 공정사고가 발생되거나, 공정시간 딜레이가 발생된다.At this time, if the lot is not loaded into the proper equipment by mistake of an operator, an unexpected process accident occurs or a process time delay occurs.
또한, 작업자가 로트의 흐름을 원활히 관리하기 위해서는 항상 각 개별설비들의 상태를 일일이 확인하여야 하기 때문에, 작업자의 전체적인 작업효율이 현저히 저하된다.In addition, in order for the worker to smoothly manage the flow of the lot, the status of each individual facility must be checked at all times, so that the overall work efficiency of the worker is significantly reduced.
이러한 각 문제점 결과, 전체적인 로트 플로우의 원활한 관리가 어려워진다.As a result of each of these problems, it becomes difficult to manage the entire lot flow smoothly.
따라서, 본 발명의 목적은 작업자의 개재 없이도 각 로트 흐름을 원활히 관리하는데 있다.Accordingly, it is an object of the present invention to smoothly manage each lot flow without operator intervention.
본 발명의 다른 목적은 로트 흐름에 작업자의 개재를 억제시킴으로써, 예측하지 못한 공정사고, 공정시간 딜레이를 저감시키는데 있다.Another object of the present invention is to reduce unforeseen process accidents and process time delays by suppressing operator intervention in the lot flow.
본 발명의 또 다른 목적은 작업자의 전체적인 업무효율을 현저히 향상시키는데 있다.Another object of the present invention is to significantly improve the overall work efficiency of the worker.
본 발명의 또 다른 목적은 전체적인 로트 플로우를 원활하게 관리할 수 있도록 하는데 있다.Another object of the present invention to smoothly manage the overall lot flow.
본 발명의 또 다른 목적들은 다음의 상세한 설명과 첨부된 도면으로부터 보다 명확해질 것이다.Still other objects of the present invention will become more apparent from the following detailed description and the accompanying drawings.
도 1은 종래의 반도체 제조설비 관리시스템을 도시한 개념도.1 is a conceptual diagram showing a conventional semiconductor manufacturing equipment management system.
도 2는 본 발명을 구현하기 위한 반도체 제조설비 관리시스템을 도시한 개념도.2 is a conceptual diagram illustrating a semiconductor manufacturing facility management system for implementing the present invention.
도 3은 본 발명에 따른 반도체 제조설비 관리시스템의 로트 플로우 제어방법을 순차적으로 도시한 순서도.Figure 3 is a flow chart sequentially showing a lot flow control method of a semiconductor manufacturing equipment management system according to the present invention.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명에서는 작업자의 개재 없이 로트 플로우 관리모듈을 통해 각 설비들의 기준정보를 파악하고, 이러한 기준정보를 기초로 하여 공정준비를 완전하게 갖춘 적정 설비로 해당 로트가 로딩되도록 함으로써, 예측하지 못한 공정사고를 미리 방지한다.In order to achieve the above object, the present invention grasps reference information of each facility through a lot flow management module without an operator's intervention, and loads the corresponding lot into an appropriate facility fully equipped with process preparation based on the reference information. This prevents unexpected process accidents.
이 경우, 작업자는 개별 설비들을 일일이 관리하지 않아도 됨으로써, 업무효율이 현저히 향상된다.In this case, the worker does not have to manage the individual facilities one by one, thereby significantly improving work efficiency.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 반도체 제조설비 관리시스템의 로트 플로우 제어방법을 좀더 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a lot flow control method of a semiconductor manufacturing facility management system according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 2에 도시된 바와 같이, 서로 다른 베이, 예컨대, 베이 A와 베이 B에는 각각 적정 기능을 갖춘 다양한 설비들(3,4)이 배치된다.As shown in FIG. 2, different installations 3 and 4 are arranged in different bays, eg, bays A and B, each with appropriate functions.
이때, 호스트(1)와 각 설비들(3,4) 사이에는 각 설비들(3,4)과 관련된 여러 가지 기준정보들, 예컨대, 설비아이디, 설비의 종류, 설비의 작업영역, 설비의 진행가능 공정, 설비와 연계된 스토커 아이디, 장비의 성능 등을 저장하고 있는 로트 플로우 관리모듈(20)이 배치된다.At this time, between the host 1 and each of the facilities 3 and 4, various reference information related to each of the facilities 3 and 4, for example, the facility ID, the type of the facility, the work area of the facility, and the progress of the facility Lot flow management module 20 for storing the possible process, the stocker ID associated with the equipment, the performance of the equipment and the like is disposed.
이러한 로트 플로우 관리모듈(20)은 설비서버를 통해 설비들(3)로부터 업로드되는 가동상태 데이터를 실시간으로 수신한다. 이에 따라, 로트 플로우 관리모듈(20)은 예컨대, 설비 1(3a)에서 공정이 완료되는 경우, 이를 실시간으로 파악할 수 있다.The lot flow management module 20 receives in real time operating state data uploaded from the facilities 3 through the facility server. Accordingly, the lot flow management module 20, for example, when the process is completed in the facility 1 (3a), it can grasp this in real time.
여기서, 작업자는 로트 플로우 관리모듈(20)을 설치할 때에 이와 대응되는 설비들(3,4)에도 적절한 보고 기능을 부여함으로써, 설비들(3,4)의 가동상태가 로트 플로우 관리모듈(20)로 실시간 보고될 수 있도록 한다.In this case, when the worker installs the lot flow management module 20, the operator provides an appropriate reporting function to the facilities 3 and 4 corresponding thereto, so that the operation state of the facilities 3 and 4 is set to the lot flow management module 20. To be reported in real time.
이하, 이러한 구성을 갖는 본 발명의 반도체 제조설비 관리시스템에 의한 로트 플로우 제어방법을 상세히 설명한다.Hereinafter, the lot flow control method by the semiconductor manufacturing equipment management system of the present invention having such a configuration will be described in detail.
도 3에 도시된 바와 같이, 먼저, 로트 플로우 관리모듈(20)은 설비들(3,4)의 가동상태를 실시간으로 파악하여 해당설비에서 진행되던 공정이 완료되었는가의 여부를 판단한다(단계 S11).As shown in FIG. 3, first, the lot flow management module 20 checks the operating states of the facilities 3 and 4 in real time to determine whether the process that has been performed in the corresponding facility is completed (step S11). ).
이때, 아직 공정이 완료되지 않았으면, 로트 플로우 관리모듈(20)은 플로우를 종료하고, 공정이 완전히 완료될 때까지 대기상태를 유지한다.At this time, if the process has not yet completed, the lot flow management module 20 terminates the flow, and maintains the standby state until the process is completely completed.
반면에, 공정이 완전히 완료되어 로트(10)가 해당설비, 예컨대, 설비 1(3a)의 외부로 언로딩된 경우, 로트 플로우 관리모듈(20)은 다음공정이 계측공정인가의 여부를 판단한다(단계 S12).On the other hand, when the process is completely completed and the lot 10 is unloaded outside of the facility, for example, facility 1 (3a), the lot flow management module 20 determines whether the next process is a measurement process. (Step S12).
이때, 다음공정이 계측공정이면, 로트 플로우 관리모듈(20)은 예컨대, 이송로봇(도시않됨)을 제어하여 로트(10)를 핸들링한 후 핸들링된 로트(10)를 계측설비(3b)의 인접부에 배치된 계측설비용 지정 스토커(도시않됨)로 이동시켜 로트(10)를 저장시킨다(단계 S20).At this time, if the next process is a measurement process, the lot flow management module 20 controls the transport robot (not shown), for example, and then handles the lot 10 and then moves the handled lot 10 to the vicinity of the measurement facility 3b. The lot 10 is stored by moving to a designated stocker (not shown) for measurement equipment arranged in the unit (step S20).
여기서, 일정 시간이 경과하여 작업자의 언로딩 명령이 입력되면, 스토커는 자신의 아웃포트로 저장 중인 로트(10)를 언로딩시켜 계측설비(3b)에 의한 일정 단계의 계측공정이 진행되도록 한다.Here, when a predetermined time has elapsed and an unloading command of the worker is input, the stocker unloads the lot 10 which is being stored as its own outport so that the measurement process of the predetermined stage by the measurement facility 3b is performed.
한편, 다음공정이 계측공정이 아니면, 로트 플로우 관리모듈(20)은 해당공정의 동일 베이, 예컨대, 베이 A 내에서 다음공정의 진행이 가능한가의 여부를 다시 판단한다(단계 S30).On the other hand, if the next step is not the measurement step, the lot flow management module 20 determines again whether or not the next step is possible in the same bay, for example, bay A of the step (step S30).
이때, 해당공정의 동일 배이 A 내에서 다음공정의 진행이 가능하면, 로트 플로우 관리모듈(20)은 이송로봇을 제어하여 로트(10)를 핸들링한 후 핸들링된 로트를 동일 베이 A 내의 다음설비, 예컨대, 설비 2(3c)로 이동시켜 다음공정을 진행시킨다(단계 S41,S42).At this time, if it is possible to proceed to the next process in the same batch A of the corresponding process, the lot flow management module 20 controls the transport robot to handle the lot 10 and then handled lot to the next facility in the same bay A, For example, it moves to facility 2 (3c) and advances to the next process (step S41, S42).
반면에, 해당공정의 동일 베이 A 내에 배치된 다른 설비들이 모두 다른 공정을 진행하고 있어, 다음공정의 진행이 불가능하면, 로트 플로우 관리모듈(20)은 자신의 데이터 베이스 영역을 써치하여 다음공정을 진행시킬 수 있는 최적의 다른 베이, 예컨대, 베이 B와, 이러한 베이 B에 배치된 최적의 설비 예컨대, 설비 1´(4a)를 파악하여 결정한다(단계 S51).On the other hand, if all the other facilities arranged in the same bay A of the process is in progress, and the next process is impossible, the lot flow management module 20 searches its own database area to perform the next process. The optimum other bay which can be advanced, for example, bay B, and the optimum equipment arranged in such bay B, for example, facility 1 '(4a), are identified and determined (step S51).
계속해서, 로트 플로우 관리모듈(20)은 이송로봇을 제어하여 로트(10)를 핸들링한 후 핸들링된 로트(10)를 상술한 과정을 통해 결정된 최적의 베이와 설비, 예컨대, 베이 B와, 그곳에 배치된 설비 1´(4a)로 이동시킨다(단계 S52). 물론, 이때, 로트(10)는 설비 1´(4a)로 직접 로딩되지 않고, 설비 1´(4a)에 인접한 설비 1´(4a)의 지정 스토커(도시않됨)로 먼저 로딩되어 설비 1´(4A)의 상황이 가장 양호한 최적의 상태가 될 때까지 대기한다.Subsequently, the lot flow management module 20 controls the transport robot to handle the lot 10, and then the optimal bay and equipment determined by the above-described process, for example, bay B, It moves to the installed equipment 1 '(4a) (step S52). Of course, at this time, the lot 10 is not directly loaded into the equipment 1 '(4a), but is first loaded into the designated stocker (not shown) of the equipment 1' (4a) adjacent to the equipment 1 '(4a) and the equipment 1' ( Wait until the situation in 4A) is at its best and best.
여기서, 일정 시간이 경과하여 설비 1´(4a)의 상황이 최적화되면, 스토커는 자신의 아웃포트로 저장 중인 로트(10)를 언로딩시켜 설비 1´에 의한 일정 단계의 다음공정을 진행시킨다(단계 S53).Here, when a certain time has elapsed and the situation of the equipment 1 '(4a) is optimized, the stocker unloads the lot 10 which is being stored as its own outport and proceeds to the next step of the predetermined stage by the equipment 1' ( Step S53).
종래의 경우, 다수의 설비에 의한 로트의 흐름을 소수의 작업자가 관리하였기 때문에, 예측하지 못한 작업자의 실수가 초래되었고, 만약, 작업자의 실수로 로트가 적정 설비로 로딩되지 못하는 경우, 예측하지 못한 공정사고가 발생되거나, 공정시간 딜레이가 발생되었다.In the conventional case, since a few workers managed the flow of lots by a large number of facilities, an unforeseen operator error was introduced, and if the lot was not loaded into the proper facility by the operator's mistake, it was unexpected. A process accident occurred or a process time delay occurred.
그러나, 본 발명의 경우, 상술한 바와 같이, 다수의 설비에 의한 로트의 흐름은 작업자의 개재없이 로트 플로우 관리모듈에 의하여 자동으로 관리되기 때문에, 예측하지 못한 공정사고, 공정시간 딜레이 등은 미리 방지된다.However, in the case of the present invention, as described above, since the flow of the lot by a plurality of facilities is automatically managed by the lot flow management module without the intervention of the operator, unexpected process accidents, process time delays, etc. are prevented in advance. do.
더욱이, 본 발명의 경우, 작업자는 로트 흐름의 관리를 위한 별도의 작업을 일일이 진행시키지 않아도 되기 때문에, 전체적인 작업자의 업무효율은 현저히 향상된다.Furthermore, in the case of the present invention, since the worker does not have to proceed separately for managing the lot flow, the work efficiency of the overall worker is significantly improved.
이후, 로트 플로우 관리모듈(20)은 각 설비들(3,4)의 공정이 완료될 때마다, 상술한 각 단계를 지속적으로 반복하여, 언로딩되는 로트(10)로 가장 알맞는 다음공정이 진행될 수 있도록 함으로써, 전체적인 공정진행을 최적의 상태로 안정화한다.Thereafter, the lot flow management module 20 continuously repeats each of the above-described steps each time the process of each of the facilities 3 and 4 is completed, so that the next process best suited to the unloaded lot 10 is provided. By allowing it to proceed, the overall process progress is stabilized to an optimal state.
이와 같이, 본 발명에서는 로트 플로우 관리모듈을 통해 전체적인 로트의 흐름을 자동으로 관리함으로써, 예측하지 못한 공정사고를 미리 방지한다.As such, the present invention automatically manages the entire lot flow through the lot flow management module, thereby preventing unforeseen process accidents in advance.
이러한 본 발명은 생산라인내에 배치되어 일정한 관리를 필요로하는 모든 반도체 제조설비에서 전반적으로 유용한 효과를 나타낸다.This invention has an overall useful effect in all semiconductor manufacturing facilities that are placed in a production line and require constant management.
그리고, 본 발명의 특정한 실시예가 설명되고 도시되었지만 본 발명이 당업자에 의해 다양하게 변형되어 실시될 가능성이 있는 것은 자명한 일이다.And while certain embodiments of the invention have been described and illustrated, it will be apparent that the invention may be embodied in various modifications by those skilled in the art.
이와 같은 변형된 실시예들은 본 발명의 기술적사상이나 관점으로부터 개별적으로 이해되어서는 안되며 이와 같은 변형된 실시예들은 본 발명의 첨부된 특허청구의 범위안에 속한다 해야 할 것이다.Such modified embodiments should not be understood individually from the technical spirit or point of view of the present invention and such modified embodiments should fall within the scope of the appended claims of the present invention.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 반도체 제조설비 관리시스템의 로트 플로우 제어방법에서는 작업자의 개재 없이 로트 플로우 관리모듈을 통해 각 설비들의 기준정보를 파악하고, 이러한 기준정보를 기초로 하여 공정준비를 완전하게 갖춘 적정 설비로 해당 로트가 로딩되도록 함으로써, 예측하지 못한 공정사고를 미리 방지한다. 이 경우, 작업자는 개별 설비들을 일일이 관리하지 않아도 됨으로써, 업무효율이 현저히 향상된다.As described in detail above, in the lot flow control method of the semiconductor manufacturing facility management system according to the present invention, the reference information of each facility is grasped through the lot flow management module without an operator's intervention, and the process preparation is performed based on the reference information. By loading the lot into an appropriate facility with full equipment to prevent unforeseen process accidents. In this case, the worker does not have to manage the individual facilities one by one, thereby significantly improving work efficiency.
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| KR1019980024534A KR20000003307A (en) | 1998-06-27 | 1998-06-27 | Rote flow control method of semiconductor manufacturing installation management system |
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| KR1019980024534A KR20000003307A (en) | 1998-06-27 | 1998-06-27 | Rote flow control method of semiconductor manufacturing installation management system |
Publications (1)
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|---|---|
| KR20000003307A true KR20000003307A (en) | 2000-01-15 |
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ID=19541069
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|---|---|---|---|
| KR1019980024534A KR20000003307A (en) | 1998-06-27 | 1998-06-27 | Rote flow control method of semiconductor manufacturing installation management system |
Country Status (1)
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| KR (1) | KR20000003307A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100426757B1 (en) * | 2000-02-28 | 2004-04-13 | 캐논 가부시끼가이샤 | Push-type scheduling for semiconductor fabrication |
| KR100980510B1 (en) * | 2006-11-28 | 2010-09-06 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | Control apparatus of substrate processing apparatus and control method of the same, and recorded medium for storing control program |
| KR101634240B1 (en) | 2015-01-21 | 2016-06-28 | (주)큐디스 | Lighting Device for Trunk of Automobile |
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1998
- 1998-06-27 KR KR1019980024534A patent/KR20000003307A/en not_active Application Discontinuation
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| WITN | Withdrawal due to no request for examination |