KR19990050850A - Process Control Method of Semiconductor Production Control System - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체 생산제어 시스템의 공정 제어방법에 관한 것으로, 본 발명에서는 생산제어 시스템에 소정의 연산기능을 갖는 생산처리 연산모듈을 구비하고, 이를 통해, 설비의 후속생산 가능시점이 정확히 예측되도록 함으로써, 제품의 불필요한 대기시간을 저감시킬 수 있고, 작업자의 개재 없이도, 원할한 제품생산을 이룰 수 있다.The present invention relates to a process control method of a semiconductor production control system. In the present invention, the production control system is provided with a production processing operation module having a predetermined operation function, whereby the subsequent production time of the equipment is accurately predicted. In addition, unnecessary waiting time of the product can be reduced, and smooth production of the product can be achieved without the intervention of the operator.
Description
본 발명은 반도체 생산제어 시스템의 공정 제어방법에 관한 것으로, 좀더 상세하게는 생산제어 시스템에 소정의 생산처리 연산모듈을 구비하고, 이를 통해, 설비의 후속생산 가능시점이 자동으로 산출되도록 함으로써, 로트가 설비 외부에서 장시간 대기하여야 하는 문제점을 미연에 방지할 수 있도록 하는 반도체 생산제어 시스템의 공정 제어방법에 관한 것이다.The present invention relates to a process control method of a semiconductor production control system. More particularly, the production control system includes a predetermined production processing calculation module, and through this, a subsequent production possible point of the facility is automatically calculated, so that the lot The present invention relates to a process control method of a semiconductor production control system that can prevent the problem of waiting for a long time outside the facility.
일반적인 반도체 소자는 그 제조에 고도의 정밀성이 요구되며, 이에 따라, 통상의 반도체 생산라인에서는 정밀가공이 가능한 고기능의 설비를 배치하여 대부분의 반도체 소자 제조공정을 수행하고 있다.In general, semiconductor devices require a high degree of precision, and accordingly, most semiconductor device manufacturing processes are performed by arranging a highly functional facility capable of precision processing in a conventional semiconductor production line.
이때, 작업자는 소정의 반도체 생산제어 시스템을 통해 각 설비의 동작상황을 면밀히 관찰함으로써, 라인 작업 효율의 향상을 꾀하고 있다.At this time, the operator closely monitors the operation status of each facility through a predetermined semiconductor production control system, thereby improving the line work efficiency.
도 1은 이러한 기능을 수행하는 종래의 반도체 생산제어 시스템의 배치형상을 개략적으로 도시한 개념도이다.FIG. 1 is a conceptual diagram schematically showing a layout of a conventional semiconductor production control system that performs this function.
이에 도시된 바와 같이, 생산라인내에는 공정을 실행하는 설비(3)가 그룹을 이루어 배치되며, 이러한 설비(3)에는 로트(미도시)가 투입되어 적절한 반도체 제품으로 제조되고 있다.As shown in the drawing, facilities (3) for executing a process are arranged in a production line, and lots (not shown) are put into these facilities (3) to manufacture appropriate semiconductor products.
여기서, 설비(3)는 설비서버(미도시)를 통해 생산제어 시스템(1)과 온라인으로 연결되며, 이러한 생산제어 시스템(1)은 O/I PC(Operator PC:2)와 온라인으로 연결된다.Here, the facility 3 is connected online with the production control system 1 through an installation server (not shown), and this production control system 1 is connected online with an O / I PC (Operator PC: 2). .
이때, 작업자는 O/I PC(2)를 통해 생산제어 시스템(1)으로 적절한 생산기초 데이터, 예컨대, 설비의 공정 시작시간(또는 공정 종료시간), 대상 로트의 아이디, 공정 진행 설비 아이디, PPID, 설비의 단위 공정 유닛 항목 등을 설정·입력하는 바, 생산제어 시스템(1)은 이와 같이 입력된 생산기초 데이터를 토대로 자신의 데이터 베이스를 써치하여 당해 로트에 진행될 적절한 공정조건 데이터를 산출한다.At this time, the operator can use the O / I PC 2 to the production control system 1 with appropriate production basis data, for example, the process start time (or process end time) of the equipment, the ID of the target lot, the process progress equipment ID, and the PPID. After setting and inputting the unit process unit item of the facility, the production control system 1 searches its own database on the basis of the input production data so as to calculate the appropriate process condition data to be performed on the lot.
이 후, 작업자는 이러한 공정조건 데이터를 확인한 후 공정 시작(또는 공정 종료) 명령을 O/I PC(2)를 통해 입력하여 설비(3)로 로트(10)를 신속히 트랙 인/트랙 아웃 시킴으로써, 이를 양호한 반도체 제품으로 제조한다.The operator then checks this process condition data and then enters a process start (or process end) command through the O / I PC 2 to quickly track in / out the lot 10 to the plant 3. It is produced as a good semiconductor product.
여기서, 작업자는 상술한 O/I PC(2)를 통해 설비의 동작상황을 면밀히 관찰한 후 설비(3)의 가동시간을 예측하여 가동 완료가 예상되는 설비(3)에는 후술하는 AGV(4)를 통해 후속공정이 진행될 로트를 적절히 반송·로딩시킴으로써, 원할한 반도체 제조공정이 이루어지도록 한다.Here, the operator closely observes the operation status of the facility through the above-described O / I PC 2, and then predicts the operating time of the facility 3 to predict the completion of the operation. By appropriately transporting and loading the lot to be carried out through the subsequent process, to ensure a smooth semiconductor manufacturing process.
한편, 생산라인내에는 로트 박스 등을 설비(1) 및 설비(1) 간 또는 베이(Bay) 및 베이 간으로 자동 반송하는 AGV(4)가 배치되는 바, 이러한 AGV(4)는 다양한 제품 반송기능을 수행함으로써, 반도체 제조공정의 무인 자동화 구현에 적절히 기여하고 있다.Meanwhile, in the production line, an AGV 4 for automatically conveying a lot box or the like between the facility 1 and the facility 1 or between bays and bays is disposed, and the AGV 4 carries various products. By performing the function, it contributes appropriately to the unmanned automation of the semiconductor manufacturing process.
여기서, AGV(4)는 상술한 생산제어 시스템(1)과의 온라인 통신에 의해 그 기능이 적절히 제어되며, 생산제어 시스템(1)은 AGV(4)로 필요한 작업 명령을 지속적으로 전송함으로써, AGV(4)가 소정의 기능장애 없이 알맞은 제품 반송기능을 신속히 수행할 수 있도록 한다.Here, the AGV 4 is appropriately controlled by online communication with the above-described production control system 1, and the production control system 1 continuously transmits the necessary work command to the AGV 4, thereby providing AGV. (4) to promptly perform the proper product return function without any functional impairment.
그러나, 이러한 기능을 수행하는 종래의 반도체 생산제어 시스템에는 몇 가지 중대한 문제점이 있다.However, there are some serious problems with conventional semiconductor production control systems that perform these functions.
첫째, 종래의 경우, 설비의 후속생산 가능시점은 작업자의 설비 가동시간 예측에 전적으로 의존하는 바, 이에 따라, 작업자 없이는 원할한 제품 생산처리가 불가능하다.First, in the conventional case, the point of time for the subsequent production of the facility depends entirely on the operator's equipment uptime prediction, and thus, it is impossible to process the product smoothly without the worker.
둘째, 만약, 작업자의 설비 가동시간 예측에 오류가 있는 경우, 전 공정이 완전히 완료되지 않은 상태의 설비에 로트가 로딩되는 결과가 초래되고, 로트는 전 공정이 완료될 때 까지 설비 외부에서 장시간 대기하여야 함으로써, 예측하지 못한 생산손실이 유발된다.Second, if there is an error in the operator's equipment uptime prediction, the result is that the lot is loaded in the facility where the whole process is not completely completed, and the lot waits outside the facility for a long time until the whole process is completed. By doing so, unforeseen loss of production is caused.
따라서, 본 발명의 목적은 생산제어 시스템에 소정의 연산기능을 갖는 생산처리 연산모듈을 구비하고, 이를 통해, 설비의 후속생산 가능시점이 정확히 예측될 수 있도록 함으로써, 제품의 불필요한 대기시간을 저감시킴과 아울러 작업자의 개재 없이도, 원할한 제품생산이 가능하도록 하는 반도체 생산제어 시스템의 공정 제어방법을 제공함에 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a production processing operation module having a predetermined operation function in a production control system, thereby reducing the unnecessary waiting time of a product by accurately predicting a possible future production time of a facility. In addition, the present invention provides a process control method of a semiconductor production control system that enables a smooth product production without an operator's intervention.
도 1은 종래의 반도체 생산제어 시스템의 배치형상을 개략적으로 도시한 개념도.1 is a conceptual diagram schematically showing a layout of a conventional semiconductor production control system.
도 2는 본 발명을 구현하기 위한 반도체 생산제어 시스템의 배치형상을 개략적으로 도시한 개념도.2 is a conceptual diagram schematically showing a layout of a semiconductor production control system for implementing the present invention;
도 3은 본 발명에 따른 반도체 생산제어 시스템의 공정 제어방법을 순차적으로 도시한 순서도.3 is a flowchart sequentially illustrating a process control method of a semiconductor production control system according to the present invention.
도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 반도체 생산제어 시스템의 공정 제어방법을 순차적으로 도시한 순서도.4 is a flowchart sequentially illustrating a process control method of a semiconductor production control system according to a first embodiment of the present invention.
도 5는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 반도체 생산제어 시스템의 공정 제어방법을 순차적으로 도시한 순서도.5 is a flowchart sequentially illustrating a process control method of a semiconductor production control system according to a second embodiment of the present invention.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 각 설비와 관련된 생산기초 데이터를 제 1 수신 및 저장한 후 상기 생산기초 데이터를 저장한 누적기간이 소정의 연산가능 구간에 도달하였는가의 여부를 판단하는 단계와; 상기 누적기간이 상기 연산가능 구간에 도달하지 않았으면, 시작단계로 진행하고, 상기 누적기간이 상기 연산가능 구간에 도달하였으면, 상기 생산기초 데이터를 토대로 상기 설비의 기준 생산시간을 산출한 후 상기 기준 생산시간을 저장하는 단계와; 상기 기준 생산시간을 토대로 상기 설비의 후속생산 가능시점을 연산하는 단계와; 상기 후속생산 가능시점에 따라 상기 설비와 대응되는 소정의 제품을 조합한 후 상기 설비로 소정의 공정조건을 예약 설정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.The present invention for achieving the above object is a step of determining whether the cumulative period for storing the production basis data has reached a predetermined operation period after receiving and storing the production basis data associated with each facility first Wow; If the cumulative period has not reached the operable period, the process proceeds to a start step. If the cumulative period has reached the operable period, the standard production time of the facility is calculated based on the production basis data, and then the standard is calculated. Storing the production time; Calculating a subsequent production time of the facility based on the reference production time; And combining predetermined products corresponding to the facility according to the time point at which the subsequent production is possible, and setting predetermined process conditions to the facility.
바람직하게, 상기 기준 생산시간은 SPC 데이터법에 의해 통계처리되는 것을 특징으로 한다.Preferably, the reference production time is characterized in that the statistical processing by the SPC data method.
바람직하게, 상기 기준 생산시간은 3-sigma 데이터 분석법에 의해 분석되는 것을 특징으로 한다.Preferably, the reference production time is characterized in that it is analyzed by 3-sigma data analysis.
바람직하게, 상기 설비의 후속생산 가능시점을 연산하는 단계는 상기 설비와 관련된 생산기초 데이터를 제 2 수신한 후 상기 설비의 공정 진행시간을 카운팅하는 단계와; 상기 공정 진행시간이 소정의 스펙시간에 도달하였는가의 여부를 판단하는 단계와; 상기 공정 진행시간이 상기 스펙시간에 도달하지 않았으면, 상기 공정 진행시간을 카운팅하는 단계로 진행하고, 상기 공정 진행시간이 상기 스펙시간에 도달하였으면, 상기 기준 생산시간을 써치하여 상기 후속생산 가능시점을 산출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.Preferably, calculating a subsequent production time of the plant comprises: counting a process run time of the plant after receiving a second production basis data associated with the plant; Determining whether the process progress time has reached a predetermined specification time; If the process progress time does not reach the spec time, the process proceeds to counting the process progress time, if the process progress time reaches the spec time, the reference production time is searched for the subsequent production point Comprising the step of calculating the.
바람직하게, 상기 설비로 소정의 공정조건을 예약 설정하는 단계 후에, 상기 후속생산 가능시점이 도래하였는가의 여부를 판단하는 단계와; 상기 후속생산 가능시점이 도래하지 않았으면, 종료하고, 상기 후속생산 가능시점이 도래하였으면, 소정의 반송장치를 가동하여 상기 제품을 상기 설비로 로딩한 후 공정을 진행하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.Preferably, after the step of setting a predetermined process condition to the facility, determining whether the subsequent production time has arrived; If the subsequent production possible time has not arrived, the end, and if the subsequent production possible time has arrived, further comprising the step of operating a predetermined conveying device to load the product into the facility and then proceed with the process; It is done.
이에 따라, 본 발명에서는 설비의 후속생산 가능시점이 자동으로 정확히 관리된다.Accordingly, in the present invention, the subsequent production time of the equipment is automatically and accurately managed.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 반도체 생산제어 시스템의 공정 제어방법을 좀더 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a process control method of a semiconductor production control system according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 2는 본 발명을 구현하기 위한 반도체 생산제어 시스템의 배치형상을 개략적으로 도시한 개념도이다.2 is a conceptual diagram schematically showing a layout of a semiconductor production control system for implementing the present invention.
이에 도시된 바와 같이, 생산제어 시스템(1)에는 생산기초 데이터를 수신·저장한 후 이를 기초로 적절한 후속생산 가능시점을 자동으로 산출하는 생산처리 연산모듈(10)이 구비된다. 이에 따라, 작업자가 설비의 후속생산 가능시점을 일일이 파악하여야 했던 종래의 문제점은 적절히 해결된다.As shown in the drawing, the production control system 1 is provided with a production processing calculation module 10 that automatically receives and stores the production basis data and automatically calculates an appropriate subsequent production time based thereon. Accordingly, the conventional problem that the operator had to grasp the point of time for subsequent production of the facility is solved properly.
이때, 생산제어 시스템(1)은 생산처리 연산모듈(10)에 의해 후속생산 가능시점을 산출한 후에 산출된 후속생산 가능시점에 따라 로트를 알맞은 설비(3)로 신속히 로딩시킴으로써, 로트가 설비(3) 외부에서 장시간 대기하여야하는 문제점을 적절히 해결한다. 이에 따라, 본 발명에서는 전체적인 제품생산의 원할함이 현저히 향상된다.At this time, the production control system 1 calculates the subsequent production possible time by the production processing operation module 10, and then loads the lot into the appropriate facility 3 in accordance with the calculated subsequent production possible time, so that the lot is equipped with equipment ( 3) Solve the problem of waiting for a long time outside. Accordingly, in the present invention, the smoothness of the overall product production is significantly improved.
한편, 도 3은 본 발명에 따른 반도체 생산제어 시스템의 공정 제어방법을 순차적으로 도시한 순서도이고, 도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 반도체 생산제어 시스템의 공정 제어방법을 순차적으로 도시한 순서도이며, 도 5는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 반도체 생산제어 시스템의 공정 제어방법을 순차적으로 도시한 순서도이다.3 is a flowchart sequentially illustrating a process control method of the semiconductor production control system according to the present invention, and FIG. 4 sequentially illustrates a process control method of the semiconductor production control system according to the first embodiment of the present invention. 5 is a flowchart sequentially illustrating a process control method of a semiconductor production control system according to a second embodiment of the present invention.
도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 반도체 생산제어 시스템의 공정 제어방법은 각 설비(3)와 관련된 생산기초 데이터를 제 1 수신 및 저장한 후 생산기초 데이터를 저장한 누적기간이 연산가능 구간에 도달하였는가의 여부를 판단하는 단계 S10와, 누적기간이 연산가능 구간에 도달하지 않았으면, 플로우를 시작단계로 진행하고, 누적기간이 연산가능 구간에 도달하였으면, 생산기초 데이터를 토대로 설비(3)의 기준 생산시간을 산출한 후 산출된 기준 생산시간을 저장하는 단계 S20와, 기준 생산시간을 토대로 설비(3)의 후속생산 가능시점을 연산하는 단계 S30와, 후속생산 가능시점에 따라 설비(3)와 대응되는 소정의 제품을 조합한 후 설비(3)로 일정한 공정조건을 예약 설정하는 단계 S40를 포함한다.As shown in FIG. 3, in the process control method of the semiconductor production control system according to the present invention, the cumulative period in which the production basis data is stored after first receiving and storing the production basis data associated with each facility 3 can be calculated. Step S10 of determining whether or not the interval has been reached, and if the cumulative period has not reached the operable period, the flow proceeds to the start step, and if the cumulative period has reached the operable period, the equipment (based on the production basis data) Step S20 of storing the calculated reference production time after calculating the reference production time of 3), calculating step S30 of calculating the next possible production time of the facility 3 based on the reference production time, and the facility according to the subsequent production time. And a step S40 of setting predetermined process conditions to the facility 3 after combining the predetermined products corresponding to (3).
이하, 이러한 본 발명의 각 단계를 상세히 설명한다.Hereinafter, each step of the present invention will be described in detail.
먼저, 생산제어 시스템(1)은 O/I PC(4)를 통해 작업자가 입력하는 생산기초 데이터를 제 1 수신받은 후 이를 자신의 데이터 베이스 영역에 신속히 저장한다(단계 S11). 이에 따라, 생산제어 시스템(1)의 데이터 베이스 영역에는 설비(3)의 공정 시작시간(또는 공정 종료시간), 대상 로트의 아이디, 공정 진행 설비 아이디, PPID, 설비(3)의 단위 공정 유닛 항목(예컨대, 챔버) 등이 전량 저장된다.First, the production control system 1 first receives the production basis data input by the operator through the O / I PC 4 and then quickly stores it in its database area (step S11). Accordingly, in the database area of the production control system 1, the process start time (or process end time) of the facility 3, the ID of the target lot, the process progress facility ID, the PPID, the unit process unit item of the facility 3 (E.g., chamber) and the like are stored in their entirety.
이어서, 생산제어 시스템(1)은 이와 같이 입력·저장된 생산기초 데이터의 저장 누적기간이 연산가능 구간, 예컨대, 30일에 도달했는가의 여부를 판단한다(단계 S11).Subsequently, the production control system 1 judges whether or not the accumulated storage period of the input / stored production basis data has reached an operable section, for example, 30 days (step S11).
이때, 생산기초 데이터의 저장 누적기간이 연산가능 구간 30일에 도달하지 않았으면, 생산제어 시스템(1)은 당해 플로우를 시작 단계로 진행한다.At this time, if the cumulative storage period of the production basis data does not reach 30 days of the operable period, the production control system 1 proceeds to the start step.
그러나, 반면에 생산기초 데이터의 저장 누적기간이 연산가능 구간 30일에 도달했으면, 생산제어 시스템(1)은 상술한 생산처리 연산모듈(10)을 구동하여 생산기초 데이터를 토대로한 각 설비(3)의 기준 생산시간을 산출한 후 산출된 기준 생산시간을 자신의 데이터 베이스 영역에 저장한다(단계 S20). 이에 따라, 생산제어 시스템(1)의 데이터 베이스에는 각 설비(3)별 또는 각 설비(3)의 단위 공정 유닛별 기준 생산시간이 적절히 산출·저장된다.However, on the other hand, if the cumulative period of storage of the production basis data has reached 30 days of the calculation possible period, the production control system 1 drives the above-described production processing operation module 10 to produce each facility 3 based on the production basis data. After calculating the standard production time of)) and stores the calculated standard production time in its own database area (step S20). Accordingly, the reference production time for each facility 3 or for each unit process unit of each facility 3 is appropriately calculated and stored in the database of the production control system 1.
이때, 본 발명의 특징에 따르면, 상술한 기준 생산시간은 통계처리가 용이한 SPC 데이터법에 의해 산출·처리된다.At this time, according to the feature of the present invention, the above-mentioned reference production time is calculated and processed by the SPC data method which is easy for statistical processing.
또한, 본 발명의 특징에 따르면, 기준 생산시간은 통계 데이터에 높은 신뢰성을 부여할 수 있는 3-sigma 데이터 분석법에 의해 분석·산출된다. 이에 따라, 3-sigma 구간 이외의 데이터들은 기준 생산시간의 산출 대상 데이터에서 적절히 제외된다.Further, according to a feature of the present invention, the reference production time is analyzed and calculated by a 3-sigma data analysis method capable of giving high reliability to statistical data. Accordingly, data outside the 3-sigma interval is appropriately excluded from the calculation target data of the reference production time.
이러한 예로, 생산제어 시스템(1)은 30일 간의 기간 동안 누적·저장된 생산기초 데이터들 중 설비 A(3a)에 부속된 챔버 B(3b)의 누적 생산시간(1.5시간,1.3시간…n시간)을 생산처리 연산모듈(10)을 통해 연산하여 SPC 통계처리함으로써, 설비 A(3a)에 부속된 챔버 B(3b)의 적절한 기준 생산시간인 X시간을 산출·저장한다. 이때, 상술한 바와 같이, 챔버 B(3b)의 누적 생산시간(1.5시간,1.3시간…n시간)들 중 3-sigma 구간 이외의 데이터는 상술한 SPC 통계처리에서 적절히 제외된다.In this example, the production control system 1 is the cumulative production time (1.5 hours, 1.3 hours ... n hours) of the chamber B (3b) attached to the facility A (3a) of the production basis data accumulated and stored for a period of 30 days Is calculated using the production processing calculation module 10 to perform SPC statistical processing, thereby calculating and storing X time, which is an appropriate reference production time of the chamber B 3b attached to the facility A 3a. At this time, as described above, data other than the 3-sigma section among the cumulative production time (1.5 hours, 1.3 hours ... n hours) of the chamber B 3b is appropriately excluded from the above-described SPC statistical processing.
이러한 단계 S20 후, 계속해서, 생산제어 시스템(1)은 생산처리 연산모듈(10)을 통해 상술한 기준 생산시간을 토대로 설비(3)의 후속생산 가능시점을 연산하는 단계 S30를 진행한다.After this step S20, the production control system 1 proceeds to step S30 of calculating a subsequent production possible time point of the facility 3 based on the above-described reference production time through the production processing calculation module 10.
이때, 도 4에 도시된 바와 같이, 기준 생산시간을 토대로 설비(3)의 후속생산 가능시점을 연산하는 단계 S30는 설비(3)와 관련된 생산기초 데이터를 제 2 수신한 후 설비(3)의 공정 진행시간을 카운팅하는 단계 S31,S32와, 공정 진행시간이 일정한 스펙시간에 도달하였는가의 여부를 판단하는 단계 S33와, 공정 진행시간이 스펙시간에 도달하지 않았으면, 공정 진행시간을 카운팅하는 단계로 진행하고, 공정 진행시간이 스펙시간에 도달하였으면, 기준 생산시간을 써치하여 후속생산 가능시점을 산출하는 단계 S34,S35를 포함한다.At this time, as shown in Figure 4, the step S30 of calculating the next possible production time of the facility 3 on the basis of the standard production time after receiving the second production basis data associated with the facility 3 of the facility 3 Steps S31 and S32 for counting the process progress time, step S33 for determining whether the process progress time has reached a constant spec time, and counting the process progress time if the process progress time has not reached the spec time; If the process progress time has reached the specification time, the step S34, S35 for calculating the possible time for subsequent production by searching the reference production time is included.
이하, 이러한 단계 S30를 이루는 각 단계를 상세히 설명한다.Hereinafter, each step of the step S30 will be described in detail.
먼저, 단계 S20 후에, 생산제어 시스템(1)은 O/I PC(2)를 통해 작업자가 입력하는 생산기초 데이터를 제 2 수신받은 후 이를 자신의 데이터 베이스 영역에 신속히 저장한다(단계 S31). 이에 따라, 생산제어 시스템(1)의 데이터 베이스 영역에는 설비(3)의 공정진행과 관련된 생산기초 데이터가 전량 저장된다.First, after step S20, the production control system 1 quickly receives a second production basis data input by the operator via the O / I PC 2 and then stores it quickly in its database area (step S31). Accordingly, the entire production basis data relating to the process progress of the facility 3 is stored in the database area of the production control system 1.
이어서, 생산제어 시스템(1)은 생산처리 연산모듈(10)을 가동하여 설비(3) 또는 설비(3)에 부속된 단위 공정 유닛의 공정 진행시간을 카운팅한다(단계 S32).Subsequently, the production control system 1 operates the production processing operation module 10 to count the process progress time of the facility 3 or the unit process unit attached to the facility 3 (step S32).
계속해서, 생산제어 시스템(1)은 카운팅된 공정 진행시간을 참조하여 이것이 일정한 스펙시간에 도달하였는가의 여부를 판단한다(단계 S33).Subsequently, the production control system 1 refers to the counted process run time to determine whether it has reached a certain specification time (step S33).
이때, 공정 진행시간이 스펙시간에 도달하지 않았으면, 생산제어 시스템(1)은 당해 플로우를 상술한 공정 진행시간을 카운팅하는 단계로 진행한다.At this time, if the process progress time does not reach the specification time, the production control system 1 proceeds to the step of counting the process progress time described above the flow.
그러나, 반면에 공정 진행시간이 스펙시간에 도달하였으면, 생산제어 시스템(1)은 상술한 단계 S20를 통해 산출·저장된 기준 생산시간을 써치하여 적절한 후속생산 가능시점을 산출한다(단계 S34,S35).However, on the other hand, if the process progress time reaches the spec time, the production control system 1 searches the standard production time calculated and stored through the above-described step S20 to calculate an appropriate subsequent production time point (steps S34, S35). .
상술한 예에서, 설비 A(3a)에 부속된 챔버 B(3b)의 공정 진행시간이 스펙시간 c시간에 도달하면, 생산제어 시스템(1)은 챔버 B(3b)의 기준 생산시간 X시간에서 c시간을 제외한 (X-c)시간을 챔버 B(3b)의 잔여 공정 진행시간으로 판단한 후, (X-c)시간후에 챔버 B(3b)의 공정이 완료되리라는 것을 미리 예측하여, 챔버 B(3b)의 후속생산 가능시점을 "(X-c)시간 후"로 산출한다.In the above-described example, when the process progress time of chamber B 3b attached to facility A 3a reaches the spec time c time, the production control system 1 at the reference production time X time of chamber B 3b. After determining the (Xc) time excluding the c time as the remaining process running time of the chamber B (3b), it is predicted in advance that the process of the chamber B (3b) will be completed after the (Xc) time, and subsequent to the chamber B (3b). The production point is calculated as "after (Xc) hours".
이어서, 생산제어 시스템(1)은 상술한 과정에 따라 예측되는 후속생산 가능시점에 맞추어 해당 설비(3)와 대응되는 로트를 조합한다(단계 S41).Subsequently, the production control system 1 combines the lot corresponding to the facility 3 in accordance with the predictable future production point in time according to the above-described process (step S41).
상술한 예에서, 생산제어 시스템(1)은 설비 A(3a)에 부속된 챔버 B(3b)의 후속생산 가능시점인 "(X-c)시간 후"에 진행될 공정에 매칭되는 로트 C를 챔버 B(3b)의 차기 공정진행 제품으로 조합한다. 이에 따라, 로트 C는 "(X-c)시간 후"에 설비 A(3a)의 챔버 B(3b)를 통해 적절한 공정을 수행받을 수 있다.In the above-described example, the production control system 1 selects the lot C which matches the process to be carried out after "(Xc) time", which is a subsequent production point of the chamber B 3b attached to the facility A 3a. Combination into next process progress product of 3b). Accordingly, lot C may be subjected to a suitable process through chamber B 3b of facility A 3a “after (X-c) time”.
계속해서, 생산제어 시스템(1)은 로트와의 조합을 완료하여 차기 공정 진행이 임박한 설비(3)로 일정한 공정조건을 예약 설정한다(단계 S42). 이에 따라, 설비(3)는 차기 공정을 진행할 수 있는 상태로 예비 셋팅된다.Subsequently, the production control system 1 completes the combination with the lot and reserves predetermined process conditions to the facility 3 which is about to proceed with the next process (step S42). Accordingly, the facility 3 is preliminarily set in a state in which the next process can proceed.
상술한 예에서, 생산제어 시스템(1)은 "(X-c)시간 후"에 로트 C를 가공할 설비 A(3a)의 챔버 B(3b)로 공정조건 Y를 예약 설정한다. 이에 따라, 챔버 B(3b)는 후속생산 가능시점 "(X-c)시간 후"에 로트 C를 공정조건 Y에 맞추어 적절히 가공할 수 있다.In the above-described example, the production control system 1 reserves the process condition Y to the chamber B 3b of the facility A 3a to process the lot C "after (X-c) time". Thereby, the chamber B 3b can process the lot C suitably according to process condition Y at the time of the subsequent production "after (X-c) time."
이어서, 생산제어 시스템(1)은 AGV(4)의 가동을 예약 설정하여, 상술한 후속생산 가능시점이 도래하면, AGV(4)가 대상 로트를 설비(3)의 챔버로 신속히 반송처리할 수 있도록 한다(단계 S43).Subsequently, the production control system 1 reserves the operation of the AGV 4 so that, when the above-mentioned subsequent production time arrives, the AGV 4 can quickly convey the target lot to the chamber of the facility 3. (Step S43).
상술한 예에서, 생산제어 시스템(1)은 AGV(4)의 가동을 예약 설정함으로써, "(X-c)시간 후"가 도래하면, AGV(4)가 로트 C를 챔버 B(3b)로 신속히 반송처리할 수 있도록 한다.In the above-described example, the production control system 1 reserves the operation of the AGV 4 so that when "after (Xc) time" arrives, the AGV 4 quickly returns the lot C to the chamber B 3b. To be handled.
한편, 본 발명은 도 5에 도시된 바와 같이, 설비(3)로 공정조건을 예약 설정하는 단계 S40후에, 후속생산 가능시점이 도래하였는가의 여부를 판단하는 단계 S51와, 후속생산 가능시점이 도래하지 않았으면 종료하고, 후속생산 가능시점이 도래하였으면, AGV(4)를 가동하여 로트를 설비(3)로 로딩한 후 공정을 진행하는 단계 S52,S53를 더 포함한다.On the other hand, the present invention, as shown in Figure 5, after the step S40 of setting the process conditions to the facility (3), the step S51 for determining whether the next production possible time has arrived, and the subsequent production possible time arrives If not, the process is terminated. If the next production point is possible, the process further includes steps S52 and S53 for operating the AGV 4 to load the lot into the facility 3 and then proceed with the process.
이하, 이러한 본 발명의 각 단계를 상세히 설명한다.Hereinafter, each step of the present invention will be described in detail.
먼저, 생산제어 시스템(1)은 단계 S40 후에 설비를 관측하여 후속생산 가능시점이 도래하였는가의 여부를 판단한다(단계 S51).First, the production control system 1 observes the equipment after step S40 to determine whether a subsequent production point in time has arrived (step S51).
이때, 후속생산 가능시점이 도래하지 않았으면, 생산제어 시스템(1)은 당해 플로우를 종료한다.At this time, if the subsequent production possible time has not arrived, the production control system 1 ends the flow.
그러나, 반면에, 후속생산 가능시점이 도래하였으면, 생산제어 시스템(1)은 상술한 AGV(4)를 가동하여 로트를 설비(3)로 로딩한 후 예약된 공정조건에 맞추어 공정을 진행한다(단계 S52,S53).On the other hand, if a subsequent production point has arrived, the production control system 1 runs the above-described AGV 4, loads the lot into the plant 3, and proceeds the process according to the reserved process conditions ( Steps S52, S53).
여기서, 상술한 바와 같이, AGV(4) 및 설비(3)에는 생산제어 시스템(1)에 의해 가동 데이터 및 공정조건 데이터가 미리 예약 설정되어 있는 바, 이에 따라, AGV(4) 및 설비(3)는 생산제어 시스템(1)의 제어신호가 송신되는 즉시 로트를 가공할 수 있음으로써, 이를 양호한 반도체 제품으로 제조할 수 있다.As described above, the operation data and the process condition data are preset in the AGV 4 and the facility 3 by the production control system 1, and accordingly, the AGV 4 and the facility 3 are set. Can process the lot as soon as the control signal of the production control system 1 is transmitted, thereby making it a good semiconductor product.
상술한 예에서, 생산제어 시스템(1)은 후속생산 가능시점이 도래하였다고 판단되는 즉시 AGV(4)에 예약되어 있던 가동 데이터를 실행시킴으로써, 로트 C를 설비 A(3a)의 챔버 B(3b)로 로딩함과 아울러 챔버 B(3b)에 예약되어 있던 공정조건 데이터를 실행시킴으로써, 로트 C를 양호한 반도체 제품으로 제조한다.In the above-described example, the production control system 1 executes the operation data reserved in the AGV 4 as soon as it is determined that the subsequent production possible time has arrived, thereby causing the lot C to be loaded into the chamber B 3b of the facility A 3a. Lot C is manufactured into a favorable semiconductor product by loading into the furnace and executing the process condition data reserved in the chamber B 3b.
이 후, 생산제어 시스템(1)은 상술한 각 단계를 지속적으로 반복함으로써, 반도체 제조공정의 원할함을 적절히 달성한다.Thereafter, the production control system 1 continuously repeats each of the above-described steps, thereby appropriately achieving the smoothness of the semiconductor manufacturing process.
이와 같이, 본 발명에서는 생산제어 시스템에 소정의 생산처리 연산모듈을 구비하고, 이를 통해, 설비의 후속생산 가능시점이 자동으로 산출되도록 함으로써, 로트가 설비 외부에서 장시간 대기하여야 하는 문제점을 미연에 방지할 수 있다.Thus, in the present invention, the production control system is provided with a predetermined production processing operation module, and through this, it is possible to prevent the problem that the lot has to wait for a long time outside the equipment by automatically calculating the next possible production time of the equipment. can do.
이러한 본 발명은 생산라인내에 배치되어 소정의 관리를 필요로하는 반도체 제조설비에서 두루 유용한 효과를 나타낸다.This invention exhibits useful effects throughout semiconductor manufacturing facilities that are placed in a production line and require some management.
그리고, 본 발명의 특정한 실시예가 설명 및 도시되었지만 본 발명이 당업자에 의해 다양하게 변형되어 실시될 가능성이 있는 것은 자명한 일이다.And while certain embodiments of the invention have been described and illustrated, it will be apparent that the invention may be embodied in various modifications by those skilled in the art.
이와 같은 변형된 실시예들은 본 발명의 기술적사상이나 관점으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안되며 이와 같은 변형된 실시예들은 본 발명의 첨부된 특허청구의 범위안에 속한다 해야 할 것이다.Such modified embodiments should not be understood individually from the technical spirit or point of view of the present invention and such modified embodiments should fall within the scope of the appended claims of the present invention.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 반도체 생산제어 시스템의 공정 제어방법에서는 생산제어 시스템에 소정의 연산기능을 갖는 생산처리 연산모듈을 구비하고, 이를 통해, 설비의 후속생산 가능시점이 정확히 예측되도록 함으로써, 제품의 불필요한 대기시간을 저감시킬 수 있고, 작업자의 개재 없이도, 원할한 제품생산을 이룰 수 있다.As described in detail above, the process control method of the semiconductor production control system according to the present invention includes a production processing operation module having a predetermined operation function in the production control system, and through this, so that the subsequent production time of the equipment can be accurately predicted. As a result, unnecessary waiting time of the product can be reduced, and smooth product production can be achieved without the intervention of the operator.
Claims (5)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019970070040A KR19990050850A (en) | 1997-12-17 | 1997-12-17 | Process Control Method of Semiconductor Production Control System |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019970070040A KR19990050850A (en) | 1997-12-17 | 1997-12-17 | Process Control Method of Semiconductor Production Control System |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR19990050850A true KR19990050850A (en) | 1999-07-05 |
Family
ID=66090909
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019970070040A KR19990050850A (en) | 1997-12-17 | 1997-12-17 | Process Control Method of Semiconductor Production Control System |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR19990050850A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100763982B1 (en) * | 2000-03-24 | 2007-10-08 | 샤프 가부시키가이샤 | Manufacturing management method and fabrication method of tft substrate |
-
1997
- 1997-12-17 KR KR1019970070040A patent/KR19990050850A/en not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100763982B1 (en) * | 2000-03-24 | 2007-10-08 | 샤프 가부시키가이샤 | Manufacturing management method and fabrication method of tft substrate |
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