KR19990039624U - 반도체 저압화학기상증착장비의 튜브셔터구조 - Google Patents

Abstract

본 고안에 의한 반도체 저압화학기상증착장비의 튜브셔터구조는 보트가 튜브밖에 있을 때 상기 튜브 주입구를 막도록 튜브의 하단에 설치한 셔터와, 그 셔터를 수평방향으로 이동시키는 수평모터를 포함하여 구성된 저압화학기상증착장비의 튜브셔터구조에 있어서, 상기 수평모터를 장착한 셔터의 일측에 수직모터를 장착하여 셔터의 수평이동후 수직이동이 가능하도록 하여 튜브의 주입구를 밀폐시키도록 함으로써, 온도손실과 튜브내의 산소가스유입을 억제하도록 하였다.

Description

반도체 저압화학기상증착장비의 튜브셔터구조

본 고안은 반도체 저압화학기상증착장비의 튜브셔터구조에 관한 것으로, 보트의 언로드상태에서 튜브주입구를 밀폐시켜 튜브내의 온도가 밖으로 빠져나가는 것을 방지하고 산소가스의 유입을 억제하도록 한 반도체 저압화학기상증착장비의 튜브셔터구조에 관한 것이다.

종래의 기술에 의한 저압화학기상증착장비는 도 1에 도시한 바와 같이, 아웃터튜브(1)와, 그 아웃터튜브(1)의 내부에 설치된 인너튜브(2)와, 상기 인너튜브(2)내로 공정가스를 주입하는 공정가스유입라인(3)과, 상기 아웃터튜브(1)의 일측에 형성하여 공정을 마친 인너튜브(2)내의 공정가스를 배출하는 공정가스배기라인(4)과, 상기 인너튜브(2)내에 승강 가능하게 삽입되며, 웨이퍼를 탑재하는 보트(5)와, 상기 보트(5)가 삽입되지 않았을 때 즉 언로딩상태에서 상기 튜브의 주입구를 밀폐시키는 셔터(6)와, 그 셔터(6)를 구동하는 수평모터(7)로 구성된다. 도면중 미설명 부호 8은 캡을 나타내고, 9는 플랜지를 나타내며, 10과 11은 오링을 나타낸다.

이와 같이 구성된 저압화학기상증착장비의 동작중에서 본 고안의 요지인 셔터(6)의 작용효과를 설명하면, 보트(5)가 상기 튜브내에 있지 않을 경우 셔터(6)가 튜브주입구를 막게 된다. 이는 튜브의 낮은온도 영역을 유지하기 위해서이고, 튜브밖의 산소가 튜브내로 들어가지 못하게 하기 위함이다. 이때 셔터(6)는 수평모터(7)의 동작에 의해 수평으로 이동하여 튜브의 주입구를 막게 되며, 하부에 위치한 보트(5)에 웨이퍼가 탑재된 후 튜브내로 로딩될 때 상기 셔터(6)가 수평으로 이동하며 열리게 되고, 보트(5)가 승강하여 튜브내에 삽입되면서 튜브와 외부는 격리되어 진공상태를 유지하게 되어 공정을 진행한다.

그러나, 이러한 종래의 기술에서는 셔터(6)와 튜브가 완전히 밀봉되지 못하는 문제가 있다. 이로 인해 튜브내로 공정가스인 산소가스가 유입되게 되고, 그 산소가스의 유입으로 인해 튜브내에 자연산화막이 자라나게 되며, 보트(5)로딩전 튜브내의 온도가 상당히 떨어져 원하는 공정온도까지 도달하는 공정시간이 늘어나게 되며 히터에 의해 가열을 해주어야 하는 문제점이 있다.

따라서, 본 고안의 목적은 상기와 같은 문제점을 고려하여 안출한 것으로, 셔터의 밀봉을 확실하게 하여 온도손실과 튜브내의 산소가스유입을 억제하도록 한 반도체 저압화학기상증착장비의 튜브셔터구조를 제공함에 있다.

도 1은 종래의 기술에 의한 반도체 저압화학기상증착장비의 보트 및 튜브를 나타내는 단면도.

도 2는 본 고안에 의한 반도체 저압화학기상증착장비의 보트 및 튜브를 나타내는 단면도.

(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)

1 ; 아웃터튜브 2 ; 인너튜브

6 ; 셔터 7 ; 수평모터

9 ; 플랜지 10,11 ; 오링

21 ; 수직모터

이러한, 본 고안의 목적은 보트가 튜브밖에 있을 때 상기 튜브 주입구를 막도록 튜브의 하단에 설치한 셔터와, 그 셔터를 수평방향으로 이동시키는 수평모터를 포함하여 구성된 저압화학기상증착장비의 튜브셔터구조에 있어서, 상기 수평모터를 장착한 셔터의 일측에 수직모터를 장착하여 셔터의 수평이동후 수직이동이 가능하도록 하여 튜브의 주입구를 밀폐시키도록 함으로써 달성된다.

이하, 본 고안에 의한 반도체 저압화학기상증착장비의 튜브셔터구조를 첨부도면에 도시한 실시예에 따라서 설명한다.

도 2는 본 고안에 의한 반도체 저압화학기상증착장비의 보트 및 튜브를 나타내는 단면도를 보인 것으로, 이에 도시한 바와 같이, 본 고안은 보트가 튜브밖에 있을 때 상기 튜브 주입구를 막도록 튜브의 하단에 설치한 셔터와, 그 셔터를 수평방향으로 이동시키는 수평모터를 포함하여 구성된 저압화학기상증착장비의 튜브셔터구조에 있어서, 상기 수평모터(7)를 장착한 셔터(6)의 일측에 수직모터(21)를 장착하여 셔터(6)의 수평이동후 수직이동이 가능하도록 하여 튜브의 주입구를 밀폐시키도록 한다. 구조는 종전과 같으나, 셔터(6)와 튜브를 완전히 밀봉시키기 위해 수평모터의 일측에 수직모터(21)를 장착시킨 것이다. 종래구성과 동일부분에 대하여는 동일 부호를 부여하였다.

이와 같이 구성된 본 고안에 의한 반도체 저압화학기상증착장비의 튜브셔터구조의 작용효과를 설명한다. 보트(5)의 언로딩상태에서 셔터(6)가 튜브주입구를 막는 역할을 할 때, 기존의 수평이동만으로 셔터(6)를 움직이는것과 달리 먼저 수평이동을 하여 튜브주입구의 가운데 부분에 위치하게 한 다음, 수직모터(21)를 구동하여 수직이동하므로 튜브 주입구와 맞닿게 하여 튜브를 밀폐시킨다. 보트(5)가 로딩시엔 위의 과정을 반대로 진행하여 튜브를 개방한다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 고안에 의한 반도체 저압화학기상증착장비의 튜브셔터구조는 보트가 튜브밖에 있을 때 상기 튜브 주입구를 막도록 튜브의 하단에 설치한 셔터와, 그 셔터를 수평방향으로 이동시키는 수평모터를 포함하여 구성된 저압화학기상증착장비의 튜브셔터구조에 있어서, 상기 수평모터를 장착한 셔터의 일측에 수직모터를 장착하여 셔터의 수평이동후 수직이동이 가능하도록 하여 튜브의 주입구를 밀폐시키도록 함으로써, 온도손실과 튜브내의 산소가스유입을 억제하도록 한 효과가 있다.

Claims (1)

1. 보트가 튜브밖에 있을 때 상기 튜브 주입구를 막도록 튜브의 하단에 설치한 셔터와, 그 셔터를 수평방향으로 이동시키는 수평모터를 포함하여 구성된 저압화학기상증착장비의 튜브셔터구조에 있어서, 상기 수평모터를 장착한 셔터의 일측에 수직모터를 장착하여 셔터의 수평이동후 수직이동이 가능하도록 하여 튜브의 주입구를 밀폐시키도록 한 것을 특징으로 하는 반도체 저압화학기상증착장비의 튜브셔터구조.