KR19990036453U - 반도체 공정용 약품공급 시스템 - Google Patents

Abstract

본 고안은 반도체 공정용 약품공급 시스템에 관한 것으로서, 팹(FAB)내의 각 장비에 신호발생부를 설치하고 메인배관에는 상기 각 장비의 신호발생부와 신호선을 통해 연결되어 약품공급요구신호를 전달받는 약품조절밸브를 메인배관의 후단부에 설치하여, 장비가 약품공급을 필요로 하는 경우와 그렇지 않은 경우를 구분하여 메인배관을 순환하여 약품탱크로 귀환하는 약품의 양을 조절하도록 하므로써, 필요한 경우 약품을 장비로 빠른시간내에 공급할 수 있어 생산준비시간을 단축하여 생산성이 향상되도록 한 것이다.

Description

반도체 공정용 약품공급 시스템

본 고안은 반도체 공정용 약품공급 시스템에 관한 것으로서, 특히 팹(FAB)내의 장비들에 빠른 시간내에 필요한 양만큼 약품을 공급하는 것이 가능하여 생산준비시간을 단축할 수 있는 반도체 공정용 약품공급 시스템에 관한 것이다.

도 1 은 종래의 반도체 공정용 약품공급 시스템의 일례를 도시한 장치도로서, 종래에는 각각 특정한 약품이 담긴 약품탱크(1)가 약품공급실에 수개 설치되고, 그 각각의 약품탱크(1)에는 하나의 메인배관(2)이 연결되며, 메인배관(2)에는 약품공급펌프(P)가 설치되어 메인배관(2)을 통해 약품이 순환되어 약품탱크(1)로 되돌아 가도록 구동하였다. 그리고 상기 메인배관(1)에는 수개의 분지배관(3)이 설치되고 각각의 분지배관(3)은 팹(FAB)내의 장비(4,5,6,7)로 연결되어 있어 각각의 장비(4,5,6,7)가 자체 밸브(미도시)를 개방하여 메인배관(2)을 순환하여 흐르는 약품의 일부를 필요에 따라 공급받도록 구성된다.

상기 도 1 에 도시된 구성은 하나의 약품탱크(1)에 대한 것으로 약품공급실에는 수개의 약품탱크가 있어, 상기와 유사한 구성으로 팹내의 장비에 각각의 약품탱크가 약품을 공급할 수 있도록 구성된다.

그런데, 상기한 바와 같은 구조로 되는 종래의 반도체 공정용 약품공급 시스템에는 다음과 같은 문제점이 있었다.

즉, 약품공급펌프(P)에 의해 구동되어 메인배관(2)을 통해 계속적으로 순환하는 약품의 일부가, 약품을 공급받기 위해 자체 밸브를 개방한, 장비(4,5,6,7)로 분지배관(3)을 통해 공급되도록 되는데, 이렇게 약품이 장비(4,5,6,7)로 공급되는 동안에도 메인배관(2)을 통해 흐르는 주된 흐름이 따로 제어되지 않으므로 해서 특히 한꺼번에 많은 수의 장비(4,5,6,7)로 약품을 공급하는 경우 필요한 양의 약품을 공급하는데 적지않은 시간이 소요되는 등, 생산준비시간이 길어져 생산성이 낮아지는 문제점이 있었던 것이다.

따라서 상기한 바와 같은 문제점을 인식하여 안출된 본 고안의 목적은 팹내의 장비로 빠른 시간내에 필요한 양만큼 약품을 공급하므로써 생산준비시간을 단축할 수 있어 생산성이 향상되는 반도체 공정용 약품공급 시스템을 제공하고자 하는 것이다.

도 1 은 종래의 반도체 공정용 약품공급 시스템의 일례를 도시한 장치도.

도 2 는 본 고안의 일실시례에 의한 반도체 공정용 약품공급 시스템의 일례를 도시한 장치도.

(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)

1;약품탱크 2;메인배관

3;분지배관 8,9,10,11;장비

12;신호선 V;유량조절밸브

P;약품공급펌프

상기한 바와 같은 본 고안의 목적을 달성하기 위하여, 약품공급실 내의 약품탱크에 양단이 연결되는 메인배관과, 상기 메인배관에 설치되어 약품탱크의 약품이 메인배관을 통해 순환하도록 구동하는 약품공급펌프와, 상기 메인배관 일측에서 분지되어 팹내의 장비들로 일대일로 연결되는 수개의 분지배관과, 상기 분지배관과 연결된 각 장비에 설치되어 장비에서 약품공급을 필요로 할 때 상기 분지배관과 연결된 장비의 자체 밸브를 여는 것과 동시에 신호선을 통해 약품공급요구신호를 보내도록 하는 신호발생부와, 상기 메인배관의 후단에 설치되는 것으로 신호발생부에 일단이 연결된 신호선의 타단에 연결되어 신호발생부의 신호에 의해 메인배관을 순환한 후 약품탱크로 귀환하는 약품의 유량을 감소시키도록 하는 유량조절밸브를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 공정용 약품공급 시스템이 제공된다.

이하, 첨부도면에 도시한 본 고안의 일실시례에 의거하여 본 고안을 상세히 설명하기로 한다.

도 2 는 본 고안의 일실시례에 의한 반도체 공정용 약품공급 시스템의 일례를 도시한 장치도이다.

이에 도시한 바와 같이, 본 고안에 의한 반도체 공정용 약품공급 시스템은 메인배관(2)이 약품공급실 내의 약품탱크(1)에 양단이 연결되고, 상기 메인배관(2)에는 약품공급펌프(P)가 설치되어 약품탱크(1)의 약품이 순환하도록 구동하며, 상기 메인배관(2) 일측에는 수개의 분지배관(3)이 팹내의 장비(8,9,10,11)들과 일대일로 연결되는 점에서는 종래의 것과 동일하다. 그러나 상기 분지배관(3)과 연결된 각 장비(8,9,10,11)에는 종래와 같은 자체 밸브(미도시)외에도 장비(8,9,10,11)가 약품공급을 필요로 할 때 분지배관(3)과 연결된 자체 밸브를 여는 것과 함께 신호선(12)을 통해 약품공급요구신호를 보내도록 하는 신호발생부(미도시)가 설치되며, 이와 관련하여 상기 메인배관(2)의 후단에는 신호발생부에 일단이 연결된 신호선(12)의 타단에 연결되어 신호발생부의 신호에 의해 메인배관(2)을 순환한 후 약품탱크(1)로 귀환하는 약품의 유량을 감소시키도록 하는 유량조절밸브(V)가 설치되게 된다.

상기한 바와 같은 구조로 되는 본 고안에 의한 반도체 공정용 약품공급 시스템의 작용을 설명하면 다음과 같다.

약품공급펌프(P)의 구동에 의해 약품탱크(1)에 연결된 메인배관(2)을 통해 약품이 순환하게 되는데 이때는 상기 유량조절밸브(V)는 충분한 유량이 메인배관(2)을 통해 약품탱크(1)로 귀환하도록 충분히 개방된 상태에 있게 된다. 이러한 상태에서 분지배관(3)에 연결된 장비(8,9,10,11)중 하나 이상에 약품이 공급될 필요가 있는 경우에는 약품공급을 필요로 하는 장비의 분지배관(3)에 연결된 자체 밸브가 개방되는 것과 동시에 그 장비의 신호발생부에서 약품공급요구신호가 발생하여 신호선(12)을 통해 상기 유량조절밸브(V)로 신호가 전달되게 된다. 이러한 신호에 의해 유량조절밸브(V)는 약품탱크(1)로 귀환하는 유량을 감소시키는 방향으로 작용하게 되며, 이때 약품공급펌프(P)에 의해 메인배관(2)으로 보내지는 유량은 일정하므로 분지배관(3)을 통해 장비(8,9,10,11)로 들어가는 약품의 유량은 증가하게 된다. 이때 상기 유량조절밸브(V)는 약품공급요구신호를 보내는 장비의 개수를 신호의 크기로 파악하여 유량이 자동적으로 조절되도록 하는 것이 바람직하며, 유량을 자동으로 조정하는데 드는 비용을 절감하기 위해서는 신호가 있는 경우와 없는 경우를 구분하여 유량이 큰 값과 작은 값 두 개의 값중 하나가 되도록 조절되도록 하고 많은 장비에서 약품을 필요로 하는 경우 작업자가 약품조절밸브(V)의 개폐정도를 수동으로 조절할 수 있도록 하는 것도 바람직하다.

상기한 바와 같은 구조로 되는 본 고안에 의한 반도체 공정용 약품공급 시스템은 팹(FAB)내의 장비가 약품공급을 필요로 하는 경우와 그렇지 않은 경우를 구분하여 메인배관을 순환하여 약품탱크로 귀환하는 약품의 양이 조절되도록 하므로써, 필요한 경우 약품을 장비로 빠른시간내에 공급할 수 있어 생산준비시간을 단축하여 생산성이 향상되는 효과가 있다.

Claims (1)

1. 약품공급실 내의 약품탱크에 양단이 연결되는 메인배관과, 상기 메인배관에 설치되어 약품탱크의 약품이 메인배관을 통해 순환하도록 구동하는 약품공급펌프와, 상기 메인배관 일측에서 분지되어 팹내의 장비들로 일대일로 연결되는 수개의 분지배관과, 상기 분지배관과 연결된 각 장비에 설치되어 장비에서 약품공급을 필요로 할 때 상기 분지배관과 연결된 장비의 자체 밸브를 여는 것과 동시에 신호선을 통해 약품공급요구신호를 보내도록 하는 신호발생부와, 상기 메인배관의 후단에 설치되는 것으로 신호발생부에 일단이 연결된 신호선의 타단에 연결되어 신호발생부의 신호에 의해 메인배관을 순환한 후 약품탱크로 귀환하는 약품의 유량을 감소시키도록 하는 유량조절밸브를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 공정용 약품공급 시스템.