KR19990031613A - 반도체장치 제조설비의 유체역류 방지 시스템 - Google Patents

Abstract

반도체장치 제조공정에서 사용된 케미컬 및 순수 등의 유체가 설비내부로 역류되지 않고 배출되도록 하는 반도체장치 제조설비의 유체역류 방지 시스템에 관한 것이다.

본 발명은, 유체를 사용하여 반도체장치를 제조하는 설비를 제어하는 설비제어부와, 상기 설비에 연결되어 유체가 공급되는 공급관 및 유체가 배출되는 배출관을 구비한 반도체장치 제조설비에 있어서, 상기 배출관에 연통되게 설치하여 역류되는 유체의 수위가 파악되는 수상관, 상기 수상관의 단부에 설치하여 유체의 수위를 감지하는 센싱수단, 상기 센싱수단의 센싱신호를 입력받아 경보를 발생하는 경보부, 상기 센싱수단의 센싱신호를 입력받아 상기 설비제어부에 제어신호를 출력하는 제어부 및 상기 제어부의 제어신호 상태에 의하여 상기 공급관 및 상기 배출관의 개폐를 수행하는 개폐수단을 구비하여 이루어진다.

따라서, 본 발명에 의하면 폐액의 역류에 의한 제조설비 내부로의 유입을 감지하고, 유입시 경보 및 설비정지 동작이 이루어져서 공정이 중단되어서 유체역류에 의한 공정사고를 사전에 방지하는 효과가 있다.

Description

반도체장치 제조설비의 유체역류 방지 시스템

본 발명은 반도체장치 제조설비의 유체역류 방지 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체장치 제조공정에서 사용된 케미컬 및 순수 등의 유체가 설비내부로 역류되지 않고 배출되도록 하는 반도체장치 제조설비의 유체역류 방지 시스템에 관한 것이다.

종래의 반도체장치 제조설비(10)는 도1에서 보는 바와 같이 주공급관(12) 및 주배출관(14)으로부터 유체 공급관(16)과 배출관(18)이 설비제어부(20)가 포함되어 있는 제조설비(10)에 직접연결되어 있었다. 설비로부터 케미컬이나 냉각수가 사용되면 사용된 이들 유체는 배출되는데, 배출관(18)을 통해 주배출관(14)으로 배출되어 폐액처리된다.

유체의 배출은 외부의 가압이나 외력에 의해 이루어지지 않고, 자연적인 높이차에 의한 흐름에 의해 배출된다. 그러나 배관 내부에 쌓이는 오염물(22)에 의해 배관이 막히거나 내부압력에 의해 유체가 배출되지 않고 오히려 역류되는 경우가 발생된다. 그러면 역류된 유체는 설비내부로 유입되어서 전기계통에 영향을 미쳐 설비가 파손되거나 공정이 중단되는 사고를 유발시킨다.

따라서, 종래에는 전술한 바와 같이 사용된 유체의 역류에 의해 공정이 진행중인 설비에 영향을 미쳐서 공정사고를 부르는 요인으로 작용하는 문제점이 있었다.

본 발명의 목적은, 반도체장치 제조설비의 배출관에 역류되는 유체의 수위를 감지하는 센서를 설치하여 경보를 발생하고, 설비에 치명적인 영향을 주는 수위에 임박하였을 경우에는 설비의 동작을 정지하도록 하는 반도체장치 제조설비의 유체역류 방지 시스템을 제공하는 데 있다.

도1은 종래의 반도체장치 제조설비의 유체공급 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다.

도2는 본 발명에 따른 반도체장치 제조설비의 유체역류 방지 시스템의 실시예를 나타내는 도면이다.

※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

10, 32 : 제조설비 12, 36 : 주공급관

14, 40 : 주배출관 16, 34 : 공급관

18, 38 : 배출관 20, 30 : 설비제어부

22 : 오염물 42, 44 : 솔레노이드밸브

46 : 스위칭제어부 48 : 하부수상관

50 : 상부수상관 52, 54 : 볼

56, 58 : 광센서 60 : 제 1 센서부

62 : 제 2 센서부 64 : 경보부

66 : 제어부

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체장치 제조설비의 유체역류 방지 시스템은, 반도체 제조공정에 이용된 유체가 배출되는 배수관이 구비된 반도체장치 제조설비에 있어서, 상기 배수관에 분기된 수상관, 상기 수상관의 단부에 설치되어 상기 유체 역류시 수위를 감지하는 센싱수단 및 상기 센싱수단의 센싱신호를 입력받아 경보를 발생하는 경보부를 구비하여 이루어진다.

그리고, 상기 수상관은 소정영역이 투명재질로 이루어진다.

그리고, 상기 수상관의 하부에는 유체가 유입되어 수위가 상승함에 따라서 부상하는 센싱용 볼이 구비된다.

또한, 상기 볼은 불투명 재질로 이루어진다.

그리고, 상기 센싱수단은 발광부와 수광부를 갖는 광센서 또는 유체의 수위를 감지하는 레벨센서로 이루어진다.

또한, 상기 경보부는 센싱신호 입력시 경보음을 발생하는 부저를 구비함이 바람직하다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체장치 제조설비의 유체역류 방지 시스템은, 유체를 사용하여 반도체장치를 제조하는 설비를 제어하는 설비제어부와, 상기 설비에 연결되어 유체가 공급되는 공급관 및 유체가 배출되는 배출관을 구비한 반도체장치 제조설비에 있어서, 상기 배출관에 연통되게 설치하여 역류되는 유체의 수위가 파악되는 수상관, 상기 수상관의 단부에 설치하여 유체의 수위를 감지하는 센싱수단, 상기 센싱수단의 센싱신호를 입력받아 경보를 발생하는 경보부, 상기 센싱수단의 센싱신호를 입력받아 상기 설비제어부에 제어신호를 출력하는 제어부 및 상기 제어부의 제어신호 상태에 의하여 상기 공급관 및 상기 배출관의 개폐를 수행하는 개폐수단을 구비하여 이루어진다.

그리고, 상기 개폐수단은 상기 공급관 및 배출관에는 유체의 흐름을 개폐하는 솔레노이드밸브, 상기 제어신호의 인가에 따라 상기 솔레노이드밸브를 개폐시키는 스위칭제어부가 더 설치됨이 바람직하다.

이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

실시예는 도2에 의하면, 설비제어부(30)를 포함하는 제조설비(32)는 유체가 공급되는 공급관(34)이 주공급관(36)에 연결되어 있고, 유체가 배출되는 배출관(38)이 주배출관(40)에 연결되어 있다. 공급관(34) 및 배출관(38)과 주공급관(36) 및 주배출관(40) 사이에는 유체흐름을 단속하는 각각의 솔레노이드밸브(42, 44)가 설치되어 있고, 이들 각각은 스위칭제어부(46)에 연결되어 있다.

배출관(38)에는 연통되어 있는 투명재질의 두 개의 수상관(48, 50)이 설치되는데, 높이에 차이를 두고 하부수상관(48)과 상부수상관(50)이 각각의 솔레노이드밸브(42, 44) 전단에 설치되어 있다. 상,하부수상관(50, 48) 각각의 내부에는 불투명재질의 볼(52, 54)이 설치되어 있고, 단부에는 광센서(56, 58)가 각각 설치되어 있다. 각각의 광센서(56, 58)는 제 1 센서부(60)와 제 2 센서부(62)에 연결되어 있다.

제 1 센서부(60)는 경보부(64)에 연결되어 있고, 제 2 센서부(62)는 경보부(64)와 제어부(66)에 병렬로 연결되어 있다.

제어부(66)에는 설비제어부(30)와 스위칭제어부(46)가 연결되어 있어서 제조설비(32)를 정지시키거나 솔레노이드밸브를 개폐하도록 이루어져 있다.

전술한 바와 같이 구성된 본 발명에 따른 실시예는, 사용된 유체가 역류되어 하부수상관(48)에 설치된 볼(52)이 상승하여 광센서(56)가 온되면 경보부(64)에서 경보가 발생된다. 계속해서 유체가 역류되면 상부수상관(50)에 설치된 볼(54)이 상승하여 광센서(58)가 온되면 경보가 발생되고, 제어부(66)의 작동으로 솔레노이드밸브(42, 44)가 닫혀서 유체의 공급 및 배출이 이루어지지 않으며, 설비가 정지되어서 공정이 중단된다.

구체적으로 배출관(38) 내부가 오염되어 막히거나, 주배출관(40) 이상 등의 원인으로 배출관(38)을 통해서 유체가 역류되면 먼저 하부수상관(48)에 유체가 유입된다. 하부수상관(48)에 설치되어 있는 불투명재질의 볼(52)이 수위에 따라 상승하여 광센서(56)가 설치되어 있는 높이에 도달하면 광센서(56)가 이를 감지한다. 그에 따라서 제 1 센서부(60)의 센싱신호는 경보부(64)에 인가되어서 유체의 역류를 알리는 경보를 발생한다. 이에 작업자는 유체가 역류되었음을 판단하여 배관을 확인하는 등의 적절한 조치를 취한다.

그런데 유체역류 속도가 빠르거나 상기한 조치가 이루어지지 않을 경우에는 유체의 역류가 지속된다. 유체의 수위가 상승하면서 상부수상관(50)에 이르면 볼(54)이 상승하여 전술한 바와 같이 광센서(58)가 작동하여 제 2 센서부(62)에서 센싱신호가 경보부(64) 및 제어부(66)에 인가된다.

경보부(64)에서는 경보를 발생하고, 제어부(66)는 먼저 스위칭제어부(46)에 신호를 인가하여 솔레노이드밸브(42)가 닫혀서 제조설비(32)에 유체공급이 중단되고, 역류를 막기 위해 솔레노이드밸브(44)가 닫힌다. 또한 제어부(66)는 설비제어부(30)에 제어신호를 인가하여 설비작동이 정지되어 공정이 중단된다.

전술한 바와 같이 본 발명에 따른 실시예에 의하면, 사용된 유체의 역류를 감지하여 경보를 발생하고, 위험수위에 달하면 유체의 유입을 막음은 물론 설비를 제어하여 공정사고를 방지하는 이점이 있다.

따라서, 본 발명에 의하면 폐액의 역류에 의한 제조설비 내부로의 유입을 감지하고, 유입시 경보 및 설비정지 동작이 이루어져서 공정이 중단되어서 유체역류에 의한 공정사고를 사전에 방지하는 효과가 있다.

이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims (9)

1. 반도체 제조공정에 이용된 유체가 배출되는 배수관이 구비된 반도체장치 제조설비에 있어서,

   상기 배수관에 분기된 수상관;

   상기 수상관의 단부에 설치되어 상기 유체 역류시 수위를 감지하는 센싱수단; 및

   상기 센싱수단의 센싱신호를 입력받아 경보를 발생하는 경보부;

   를 구비함을 특징으로 하는 반도체장치 제조설비의 유체역류 방지 시스템.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 수상관은,

   소정영역이 투명재질로 이루어짐을 특징으로 하는 상기 반도체장치 제조설비의 유체역류 방지 시스템.
3. 제 1 항에 있어서, 상기 수상관의 하부에는,

   유체가 유입되어 수위가 상승함에 따라서 부상하는 센싱용 볼이 구비됨을 특징으로 하는 상기 반도체장치 제조설비의 유체역류 방지 시스템.
4. 제 3 항에 있어서, 상기 볼은,

   불투명 재질로 이루어짐을 특징으로 하는 상기 반도체장치 제조설비의 유체역류 방지 시스템.
5. 제 3 항에 있어서, 상기 센싱수단은,

   발광부와 수광부를 갖는 광센서로 이루어짐을 특징으로 하는 상기 반도체장치 제조설비의 유체역류 방지 시스템.
6. 제 1 항에 있어서, 상기 센싱수단은,

   유체의 수위를 감지하는 레벨센서로 이루어짐을 특징으로 하는 상기 반도체장치 제조설비의 유체역류 방지 시스템.
7. 제 1 항에 있어서, 상기 경보부는,

   센싱신호 입력시 경보음을 발생하는 부저를 구비함을 특징으로 하는 상기 반도체장치 제조설비의 유체역류 방지 시스템.
8. 유체를 사용하여 반도체장치를 제조하는 설비를 제어하는 설비제어부와, 상기 설비에 연결되어 유체가 공급되는 공급관 및 유체가 배출되는 배출관을 구비한 반도체장치 제조설비에 있어서,

   상기 배출관에 연통되게 설치하여 역류되는 유체의 수위가 파악되는 수상관;

   상기 수상관의 단부에 설치하여 유체의 수위를 감지하는 센싱수단;

   상기 센싱수단의 센싱신호를 입력받아 경보를 발생하는 경보부;

   상기 센싱수단의 센싱신호를 입력받아 상기 설비제어부에 제어신호를 출력하는 제어부; 및

   상기 제어부의 제어신호 상태에 의하여 상기 공급관 및 상기 배출관의 개폐를 수행하는 개폐수단;

   을 구비함을 특징으로 하는 반도체장치 제조설비의 유체역류 방지 시스템.
9. 제 8 항에 있어서, 상기 개폐수단은,

   상기 공급관 및 배출관에는 유체의 흐름을 개폐하는 솔레노이드밸브;

   상기 제어신호의 인가에 따라 상기 솔레노이드밸브를 개폐시키는 스위칭제어부;

   가 더 설치됨을 특징으로 하는 상기 반도체장치 제조설비의 유체역류 방지 시스템.