KR19990029784A

KR19990029784A - 가스 실린더와 다기관용 환기되는 격납고

Info

Publication number: KR19990029784A
Application number: KR1019980037904A
Authority: KR
Inventors: 벤자민 리 헤르츨러; 조셉 지아나코바
Original assignee: 마쉬 윌리엄 에프; 에어 프로덕츠 앤드 케미칼스, 인코오포레이티드
Priority date: 1997-09-17
Filing date: 1998-09-15
Publication date: 1999-04-26
Also published as: JP3128065B2; JPH11173498A; US5964659A; KR100301683B1

Abstract

본 발명은, 예를 들어 가스 캐비넷, 밸브 다기관 박스 또는 가스 차단 박스와 같은 위험한 물질의 분배 격납고 내에 포함된 가스 분배 계통을 지나 소제 가스가 유동함에 따라, 소제 가스의 속도를 증가시키기 위한 방법과 장치에 관한 것이다. 가스 분배 계통 내에 비용접 또는 비납땜 끼워맞춤부 또는 연결부에 병치된 선택적으로 개폐되는 개공부가 마련된 배기구는 상기 격납고 내부 또는 위에 배치되어, 비납땜 또는 비용접 끼워맞춤부 또는 연결부를 지나 가속되고 지향된 소제 가스의 흐름을 생성한다.

Description

가스 실린더와 다기관용 환기되는 격납고

본 발명은 위험한 물질을 저장, 분배 및 배급하는 데 사용되는 가스 실린더, 분배 도관 및 다기관을 수용하기 위한 격납고에 관한 것으로서, 이러한 격납고는 본 산업 분야에서 가스 캐비넷, 밸브 다기관 박스(VMB: valve manifold box)와 가스 차단 박스(GIB: gas isolation box)라 부르고 있다.

반도체 장치의 제조에는 기체 상태의 실란(silane)과 같은 위험한 물질이 사용된다. 기체 상태의 물질은 통상적으로 실린더에 넣어 반도체 장치 제조 현장(FAB)으로 수송하고, 여기서 빼내어 반도체 장치의 제조에 사용한다. 주변 환경을 보호하기 위해, 실린더로부터 가스를 빼내는 데 관련된 다기관에서의 누설이 있는 경우에, 실린더는 환기되는 격납고 또는 가스 캐비넷에 배치된다. 가스 캐비넷에는 실린더로부터 물질을 선택적으로 빼내어 중앙 파이프 라인으로 보내서 실제 반도체 제조 작업에서 이산시키커나 또는 VMB 또는 GIB를 통하여 FAB에서 재분배하기 위한 모든 필요한 배관 및 제어부가 포함되어 있다. 종래의 가스 캐비넷에는 도입관과 도출관이 구비되어 있어 캐비넷을 통하여 주변 대기를 연속적으로 흡입하고 배출할 수 있으므로, 어떠한 위험한 물질도 실린더 또는 관련된 배관과 제어계로부터 FAB의 배기 계통으로 내보낸다.

가스 캐비넷, 밸브 다기관 박스 및 가스 차단 박스는 산업 분야에서 널리 사용된다. 미국 펜실베니아 알렌타운에 소재하는 에어 프러덕트 앤드 케미칼사의 여러 가지 모델을 입수할 수 있다.

미국 특허 제4,625,627호에는 위험한 가스 물질을 취급하고 분배하는 데 사용하기 위한 환기되는 가스 캐비넷이 예시되어 있다.

미국 특허 제4,866,594호, 제4,989,160호, 제5,220,517호, 제5,497,316호 및 제5,508,947호에는 실린더에 있는 물질을 빼내어 사용할 곳으로 보내기 위한 가스 캐비넷과 방법이 더 기재되어 있다.

공지의 가스 캐비넷의 하나의 문제점은, 캐비넷을 적절히 환기시키기 위해 캐비넷을 통과하는 주변 대기 흐름에 대한 요구가 조정력에 의해 끊임없이 변화된다는 것이다. 가장 통상적인 가스 캐비넷은 주변 대기가 캐비넷을 통하여 분당 약 50 내지 100 피트의 속도로 흐르도록 설정된다. 캐비넷의 안쪽, 특히 위험한 물질의 분배에 관련된 비납땜 또는 비용접 파이프 또는 끼워맞춤 조인트 근처에서 분당 최소 200 피트의 유속을 요하도록 조정되었다. 종래의 가스 캐비넷에서 이러한 종류의 흐름을 얻기 위해서는, 상당히 증대된 용량의 팬 또는 송풍기가 사용자측 배출 계통에 사용될 필요가 있다. 단지 대기의 전체 체적의 속도만을 증가시키는 것은 가스 캐비넷의 사용자측에게 심각한 문제를 야기시킬 수 있다. 이러한 문제들은 많은 자본, 에너지 요구와 유지 비용과 같은 여러 가지 운영비와 설비용의 추가 공간에 대한 것들이다.

현존하는 가스 캐비넷, 밸브 다기관 박스 및 가스 차단 박스를 개선하고, 이러한 장치가 연속적으로 주변 대기를 소제(掃除)하고, 비납땜 또는 비용접 끼워맞춤부가 있는 장치의 영역에서 주변 대기의 흐름을 촉진하기 위하여, 실린더로부터 위험한 물질을 빼내거나 분배하거나 위험한 물질의 흐름을 다시 지향(指向)시키는 데 사용하는 배관, 밸브, 분배관 등이 수용된 장치의 뒷부분에서 장치의 배기가 이루어져야 한다는 사실을 발견하였다. 종래의 가스 캐비넷, 밸브 다기관 박스 또는 가스 차단 박스에 있어서, 밸브 다기관, 관련된 장치, 연결된 배관을 가스 패널이라 지칭하는 것은 통상적인 것이다. 배기구는 구멍에 의해 변경되어 선택적으로 개폐 가능하므로, 열려 있는 상기 구멍 부근에서 주변 대기가 장치를 통과하고, 그 결과 비납땜 또는 비용접 끼워맞춤부가 있는 가스 패널의 일부 위로 흐르는 것을 가속화한다. 별법으로서, 치수가 정해져 있고 방향이 정해져 있는 개공부가 있는 판체를 장치의 배기 통로 또는 천공된 패널에서 타발 띠(blanking strap)가 있거나 없는 비용접 끼워맞춤부에 인접한 천공부를 통과하는 공기 흐름을 지향시키는 데 사용될 수 있다.

도 1은 본 발명에 적합한 종래의 가스 캐비넷의 정면도이고,

도 2는 도 1의 가스 캐비넷 내부의 일부가 도시된 도면이며,

도 3은 본 발명에 따른 배기구 위치가 개략적으로 도시된 측면도이고,

도 4는 본 발명의 변형예의 개략적 측면도이며,

도 5는 가스 캐비넷의 배기구를 통한 흐름을 제어하는 하나의 수단이 도시된 가스 캐비넷의 내벽 분해 정면도이고,

도 6은 가스 캐비넷의 배기구를 통한 흐름을 제어하는 또 다른 수단이 도시된 가스 캐비넷 내벽의 분해 정면도이다.

따라서, 하나의 특징에 의하면, 본 발명은 공정 가스를 사용 장소까지 가압 하에 분배하기 위한 가스 저장 및/또는 가스 분배 계통을 수용하고, 상기 격납고의 내부에 부주의로 분출된 공정 가스를 제거하기 위해 주변 대기로 연속적으로 소제하도록 된 격납고로서, 주변 대기가 상기 격납고로 들어가 상기 격납고에 수용된 가스 분배 또는 유량 제어 장치를 지나 그 주위로 도입되도록 지향시키는 수단을 포함하고, 이 수단은 상기 격납고 내의 분배 또는 유량 제어 장치에 있는 비납땜 또는 비용접 연결부의 상부 및 주위에서의 주변 대기의 흐름을 촉진하는 것이다.

다른 특징에 의하면, 본 발명은 전자 장치 제조에 사용되는 가스용 저장 용기와 반도체 산업에서 사용하기 위한 것이며 분배 계통에 사용하는 가스 캐비넷에 있어서, 주변 대기로 상기 캐비넷의 내부를 연속적으로 소제하는 수단이 포함된 가스 캐비넷이며, 주변 대기가 상기 가스 캐비넷으로 들어가 상기 가스 캐비넷에 수용된 가스 분배 또는 유량 제어 장치를 지나 그 둘레로 들어가도록 지향시키도록 되어 있는 수단을 포함하고, 상기 수단은 상기 가스 캐비넷 내의 분배 또는 유량 제어 장치에 있는 비납땜 또는 비용접 연결부의 상부 및 주위에서의 주변 대기의 흐름을 촉진하는 것이다.

또 다른 특징에 있어서, 본 발명은 가스 저장 및/또는 가스 분배 계통을 내부에 배치하여 수용하고, 상기 가스 저장 및/또는 가스 분배 계통으로부터 누설된 가스를 제거하는 데 사용되는 소제 가스를 도입하고 제거하는 수단이 구비된 격납고의 제조 방법으로서, 상기 격납고의 일부에서 상기 가스 분배 장치 근처에 배치되어 있는 배기구에 소제 가스를 공급하는 단계와, 상기 배기구에 유량 제어 수단을 장착하여 가속된 소제 가스 흐름을 상기 배기구를 통과하기 전에 상기 가스 분배 장치의 선택된 일부를 지나도록 지향시키는 단계를 포함하는 것이다.

본 발명의 다른 특징은, 가스 저장 및/또는 가스 분배 계통을 내부에 배치하여 수용하는 데 사용되는 격납고로부터 누설되는 가스를 제거하는 데 사용되는 소제 가스의 유량을 증가시키는 방법으로서, 상기 격납고의 일부 내에서 상기 가스 분배 장치 근처에 배치된 배기구로 소제 가스를 공급하는 단계와, 상기 배기구 내에 장착된 유량 제어 수단을 이용하여 상기 배기구 내로 통과하기 전에 상기 가스 분배 장치의 선택된 일부에 걸쳐 소제 가스의 가속된 흐름을 지향시키는 단계를 포함하는 소제 가스의 유량 증가 방법이다.

본 발명의 최대의 목적은 반도체 산업에서 사용되는 가스 캐비넷, 밸브 다기관 박스 또는 가스 차단 박스에 요하는 공기의 체적 유량을 최소화하는 것이다. 이러한 장치에 널리 요구되는 환기 장치 때문에 최종 사용자, 즉 반도체 칩의 제조자는 상당한 비용이 든다. 환기 장치의 필요성은 엄격하므로, 환기 장치 비용은 현존하는 FAB의 운영 비용과 새로운 반도체 FABs의 운영 비용의 상당한 부분을 차지한다.

과거에는, 환기 장치의 필요성을 경감하려는 대부분의 노력은 캐비넷 내부의 차폐, 바닥이 솟아오르고 천공된 분배판, 캐비넷 내부의 배치(솟아오른 공간 등), 솟아오른 바닥 등과 같은 것이었다.

도 1을 참조하면, 가스 캐비넷(10)은 기본적으로 직립의 길이가 긴 박스로서, 금속판으로 된 격납고이고, 주변 대기가 캐비넷으로 들어가는 미늘살 또는 입구(14)가 마련된 문과 배기관(16)이 구비되어 있다. 가스 캐비넷에는 제어 패널(20)과 관찰구(22)와 문 빗장과 자물쇠 기구(24)가 구비되어 있다.

도 2에 나타낸 바와 같이, 캐비넷(10)의 내부는 위험한 화학 물질을 수용하거나, 하나는 위험한 화학 물질을 다른 하나에는 퍼지 가스를 수용하는 데 사용할 수 있는 가스 실린더(30 및 32)를 넣을 수 있도록 되어 있다. 상기 각 실린더에는 실린더의 배출 유량을 제어하는 데 사용되는 실린더 제어 밸브(각각 34, 36)가 구비되어 있다. 상기 실린더 밸브(34, 36)는 차례로 유량 제어 장치(38)에 연결되어 있는데, 상기 유량 제어 장치 중의 하나는 실린더(30)의 밸브(34)와 결합되어 있다. 가스 캐비넷에는 하나 이상의 가스 패널(40, 42)이 포함되어 있는데, 이들 가스 패널(40, 42)은 여러 가지 수동 및 자동 제어 밸브, 관련된 배관, 공압 작동 장치 등을 지지하거나 이들로 구성되고, 이것은 당업계에 공지된 것이다. 본 명세서에서 사용되는 가스 패널이라는 용어는 배관, 밸브 및 관련된 끼워맞춤부가 배치된 가스 캐비넷의 일부, 밸브 다기관 박스 또는 가스 차단 박스를 가리키는 것이다. 이들 물품은 본 발명의 내용상 가스 캐비넷의 벽일 수도 있는 판 위에 장착될 수 있다. 종래의 가스 캐비넷, 밸브 다기관 박스 또는 가스 차단 박스에 있어서, 배관과 여러 요소들 사이의 대부분의 연결부는 끼워맞춤부에서의 위험한 물질의 누설을 방지하기 위한 용접 또는 납땜 공정에 의해 이루어졌다. 그러나, 보닛(bonnets), 조정 기기, 밸브 등에서와 같이 모두 납땜 또는 용접에 의한 끼워맞춤이 항상 가능한 것은 아니고, 때로는 가스 캐비넷, 밸브 다기관 박스 또는 밸브 분리 박스 내에서 나사 또는 그 밖의 비납땜 또는 비용접 끼워맞춤이 여러 가지로 연결하는 데 사용되어야 한다. 이러한 기법은 여러 가지 요소의 배치로서 당업계에 잘 알려진 것이다.

도 3을 참조하면, 가스 캐비넷(10)에는 모든 필수적인 밸브, 끼워맞춤부, 연결부 및 내부 배관(예를 들어, 가스 패널(40))의 주요 부분이 캐비넷(10)의 내부에 배치된 배기 장치 또는 배기구(덕트)(50)에 체결되어 배열되어 있다. 배기구(50)에는 벽에 복수의 개공부 또는 구멍(54)이 형성되어 있으며, 이하에서 충분히 설명하는 바와 같이, 이들 개공부 또는 구멍은 선택적으로 개폐 가능하다. 가스 배기구(50)는 차례로 사용자 쪽의 환기 계통(미도시)에 연결된 배기 굴뚝(16)과 연통되어 있다. 미늘살(14)을 통하여 가스 캐비넷(10)으로 들어간 주변 대기는, 화살표(56)로 나타낸 바와 같이, 캐비넷(10)을 통하여 위로 올라가 배기구(50)를 통하여 나간다. 그러나, 배기구(50)에 들어가기 전에, 대기의 방향과 속도가 배기구(50)에 형성되어 있는 개공부 또는 구멍(54)에 의해 변화한다. 임의의 개공부 또는 구멍(54)의 위치를 선택함으로써 주변 대기의 속도와 방향을 제어하여 대기가 가스 패널 및/또는 가스 패널의 특정 부분을 지나 흘러감에 따라 가속된다. 이러한 구조는 우선적으로 패널의 주요부, 예를 들어 비납땜 또는 비용접 연결 부위가 있는 곳, 가스 캐비넷(10)에 가스 누설을 일으킬 가능성이 있는 덮개 또는 보닛이 구비된 조절 기기나 유량 제어 장치 또는 밸브 다기관 박스 또는 가스 차단 박스가 있는 곳과 같은 배기 또는 배관과 관련된 끼워맞춤부의 근처에서 주변 대기의 속도를 분당 200 피트까지 상승시킬 수 있다. 이에 의해 당업계에 공지된 환기 시스템에 의해 얻는 통상의 결과보다 높은 주변 대기 유속을 얻는다.

도 4에는, 배기구(60)가 캐비넷(10)의 바깥 쪽에 배치되고, 개공부 또는 구멍(54)이 배기구(60)의 앞벽을 이루거나 캐비넷(10) 벽의 배기공을 닫는 데 사용되는 판 또는 덮개로서 만들어질 수도 있는 캐비넷(10)의 뒷벽(13) 부분에 배치되어 있는 변형예가 도시되어 있다. 개공부 또는 구멍(54)의 위치를 선택함으로써 대기의 속도와 방향이, 화살표(56)로 나타낸 바와 같이, 캐비넷(10)의 가스 패널(40)을 지나 통과함에 따라 제어될 수 있다.

도 5에는 배기 장치 또는 캐비넷의 벽에 개공부를 형성하는 하나의 방법이 도시되어 있다. 도 5에 나타낸 바와 같이, 참조 부호62는 차례로 가스 캐비넷용 배기 계통과 연통되는 배기구에 연결되어 있는 가스 캐비넷, 밸브 다기관 박스 또는 가스 차단 박스의 개공부를 밀폐시키는 데 사용될 수 있는 판 또는 배기구(도 3의 50)의 내향 벽 또는 배기구(60)와 면하는 가스 캐비넷(도 4의 10)의 뒷벽(13)의 상부를 나타내고 있다. 가스 캐비넷, 밸브 다기관 박스 또는 가스 차단 박스의 판(62) 또는 그 일부에는, 예를 들어 밸브(70, 72, 74)와 같은 끼워맞춤부와 병치되거나 인접하게 배치된 복수 개의 구멍(54)이 형성되어 있는데, 상기 밸브는 비납땜 또는 비용접 연결부, 예를 들어 당업계에 공지되어 있는 강제 끼워맞춤, 면 밀봉 끼워맞춤 또는 나사 커플링과 같은 기계적 끼워맞춤법에 의해 배관 내에 배치되어 있다. 따라서, 주변 대기가 가스 캐비넷(10)을 통하여 이동함에 따라, 주변 대기는, 미국 주정부 규칙 또는 연방 정부 규칙에 의해 요구되는 체적 유량을 제공하도록 입구(76)에서 출구(78, 80)로의 공정 가스의 유량 제어를 위한 배관에 대한 비납땜 또는 비용접 끼워맞춤 결합 밸브(70, 72, 74)에 인접한 개공부(54)에 의해 즉시 가속된다. 도 5에 도시된 사항은, 구조 부재(62)가 가스 캐비넷의 뒤쪽이거나 그 밖의 분리 장치일 수 있거나 그러한 장치의 배기 공간의 내면일 수 있음을 나타내는 것으로 해석되어야 한다.

가스 캐비넷, 밸브 다기관 박스 또는 가스 차단 박스 내에 배치된 비납땜 또는 비용접 끼워맞춤부에 병치되어 있는 배기 장치의 뒷판 또는 벽(82)도 역시 예를 들어 도 6에 나타낸 직사각형 패턴과 같은 정규 패턴에 정렬되고 미리 드릴로 뚫은 구멍(84)에 연속하여 설치될 수 있다. 사용자가, 예를 들어 장치 내부의 밸브(86, 88)와 같은 장치의 정확한 위치를 결정하는 경우, 비납땜 또는 비용접 연결부에 병치되지 않은 구멍은 하나 이상의 블랭킹 판(90. 92) 또는 도 6에 나타낸 것과 같은 그 밖의 유사한 장치에 의해 밀폐될 수 있다. 제조자는 미리 드릴로 뚫은 구멍의 배열에 의해 최대한의 신축성을 가질 수 있다. 가스 캐비넷, 밸브 다기관 박스 또는 가스 차단 박스의 벽에 미리 드릴로 뚫은 구멍을 사용함으로써 여러 가지 치수의 장치를 용이하게 제조할 수 있다.

앞에 나타내고 설명한 바와 같이, 분배 도관, 밸브, 다기관 및/또는 위험한 가스의 저장 및 분배용 실린더 등을 수용하는 데 사용하는 본 발명에 따른 가스 캐비넷, 밸브 다기관 박스 또는 가스 차단 박스는 가스 패널의 바로 뒤에서 가스 캐비넷의 뒤쪽을 통하여 환기된다. 환기구는 배출되는 공기가 장치에 있을 수 있는 (가스 패널 위에 있는) 어떠한 기계적 끼워맞춤부도 지나 바로 흐르도록 설계되고 제조된다.

본 발명의 주요 특징은 배출되는 공기가 바로 가스 페널 위에 있는 어떠한 기계적 끼워맞춤 부위도 가로지를 수 있다는 것이다. 따라서, 주변 대기의 특정한 최소 유속이 가스 캐비넷 안의 모든 비용접 또는 비납땜 연결부를 가로질러 유지될 수 있다. 이는 넓은 차폐물과 높은 환기율에 의하지 않고는 종래의 가스 캐비넷에서는 달성할 수 없는 것이다.

본 발명에 따르면, 가스 캐비넷의 배기구는 비용접 또는 비납땜의 끼워맞춤부의 바로 뒤에 배치됨으로써, 공기 흐름이 국부적으로 끼워맞춤부를 지나게 지향되도록 하고, 이에 따라 캐비넷 내에서의 공기 흐름에 대한 요구가 최소화하고 사용자의 전체 운영 비용이 절감된다.

본 발명에 대해 전술한 것은 특허권에 의해 보호되기를 원하는 것이며, 첨부된 특허 청구 범위의 사상과 범위 내에서의 모든 변경을 포함하는 것이다.

Claims

공정 가스를 사용 장소까지 가압하에 분배하기 위한 가스 저장 및/또는 가스 분배 계통의 하나를 수용하고, 부주의로 상기 격납고의 내부에 분출된 공정 가스를 제거하기 위해 주변 대기로 연속적으로 소제하도록 된 격납고에 있어서,

상기 격납고로 들어가는 주변 대기가 상기 격납고에 수용된 가스 분배 또는 유량 제어 장치를 지나 그 둘레로 들어가도록 지향시키는 수단을 포함하고, 이 수단은 상기 격납고 내의 분배 또는 유량 제어 장치에 있는 비납땜 또는 비용접 연결부의 상부 및 주위에서 주변 대기의 흐름을 가속하는 것을 특징으로 하는 격납고.
청구항 1에 있어서, 상기 주변 대기의 지향 수단에는 상기 분배 또는 유량 제어 장치의 바로 뒤에서 상기 격납고의 뒷부분에 마련되는 배기구가 포함되고, 상기 배기구에는 비용접 또는 비납땜 연결부가 포함된 상기 유량 제어 장치의 일부를 지나 주변 대기가 흐르도록 선택적으로 개폐 가능한 개공부가 형성된 벽이 마련되는 것을 특징으로 하는 격납고.
청구항 1에 있어서, 상기 주변 대기의 지향 수단에는 상기 분배 또는 유량 제어 장치의 바로 뒤에서 상기 격납고의 뒷부분에 마련되는 배기구가 포함되고, 상기 배기구에는 상기 비용접 또는 비납땜 연결부의 상부 및 주위에서 주변 대기의 흐름을 가속하도록 상기 가스 분배 또는 유량 제어 장치 내의 비용접 또는 비납땜 연결부에 병치된 구멍이 마련되는 것을 특징으로 하는 격납고.
위험한 가스용 저장 용기와 분배 계통을 수용하는 데 사용하기 위한 가스 캐비넷으로서, 주변 대기로 상기 캐비넷의 내부를 연속적으로 소제하는 수단이 포함된 가스 캐비넷에 있어서,

주변 대기가 상기 가스 캐비넷으로 들어가 상기 가스 캐비넷에 수용된 가스 분배 또는 유량 제어 장치를 지나 그 주위로 들어가도록 지향시키는 수단을 포함하고, 상기 수단은 상기 가스 캐비넷 내의 분배 또는 유량 제어 장치에 있는 비납땜 또는 비용접 연결부의 상부 및 주위에서의 주변 대기의 흐름을 촉진하는 것을 특징으로 하는 가스 캐비넷.
청구항 4에 있어서, 상기 주변 대기의 지향 수단에는 상기 가스 패널의 바로 뒤에서 상기 가스 캐비넷의 뒷부분에 마련되는 배기구가 포함되고, 상기 배기구에는 가속된 주변 대기가 상기 유량 제어 장치 내의 비용접 또는 비납땜 연결부를 지나 흐르도록 지향시키기 위하여 선택적으로 개폐 가능한 개공부가 마련되는 것을 특징으로 하는 가스 캐비넷.
청구항 4에 있어서, 상기 주변 대기의 지향 수단에는 상기 분배 또는 유량 제어 장치의 바로 뒤에서 상기 가스 캐비넷의 뒤쪽 상부에 마련되는 배기구가 포함되고, 상기 배기구에는 상기 비용접 또는 비납땜 연결부의 상부에서 주변 대기의 흐름을 가속하도록 상기 가스 분배 또는 유량 제어 장치 내의 비용접 또는 비납땜 연결부에 병치된 구멍이 마련되는 것을 특징으로 하는 가스 캐비넷.
가스 저장 및/또는 가스 분배 계통 중의 하나를 내부에 배치하여 수용하고, 상기 가스 저장 및/또는 가스 분배 계통으로부터 누설된 가스를 제거하는 데 사용되는 소제 가스를 도입하는 수단이 구비된 격납고의 제조 방법에 있어서,

상기 격납고의 일부에 상기 가스 분배 장치에 인접하여 배치되는 소제 가스 배기구를 설치하는 단계와,

상기 배기구에 유량 제어 수단을 장착하여 가속된 소제 가스 흐름을 상기 배기구를 통과하기 전에 상기 가스 분배 장치의 선택된 일부를 지나도록 지향시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 격납고의 제조 방법.
청구항 7에 있어서, 상기 소제 가스는 상기 배기구에 들어가기 전에 상기 가스 분배 장치의 선택된 일부를 분당 200 피트에 달하는 유속으로 통과하는 것을 특징으로 하는 격납고의 제조 방법.
청구항 7에 있어서, 상기 배기구 내의 상기 유량 제어 수단은 상기 가스 분배 장치의 선택된 일부에 걸쳐 소제 가스의 흐름을 가속하도록 선택적으로 개폐 가능한 개공부가 마련된 패널을 장착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 격납고의 제조 방법.
청구항 7에 있어서, 상기 가스 분배 장치 내에 비납땜 또는 비용접 끼워맞춤부 또는 연결부 근처에 구멍이 배치된 패널을 장착하여 상기 비납땜 또는 비용접 끼워맞춤부 또는 연결부를 지나 소제 가스의 가속된 흐름을 지향시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 격납고의 제조 방법.
가스 저장 및/또는 가스 분배 계통 중의 하나를 내부에 배치하여 수용하는 데 사용되는 격납고로부터 누설되는 가스를 제거하는 데 사용되는 소제 가스의 유량을 증가시키는 방법에 있어서,

상기 격납고의 일부에 상기 가스 분배 장치에 인접하여 배치되는 소제 가스 배기구를 설치하는 단계와,

상기 배기구 내에 장착된 유량제어 수단을 이용하여 소제 가스의 가속된 흐름을 상기 배기구 내로 통과하기 전에 상기 가스 분배 장치의 선택된 일부를 지나도록 지향시키는 단계

를 포함하는 것을 특징으로 하는 소제 가스의 유량을 증가시키는 방법
청구항 7에 있어서, 상기 소제 가스는 상기 배기구에 들어가기 전에 상기 가스 분배 장치의 상기 선택된 일부를 분당 200 피트에 달하는 유속으로 통과하는 것을 특징으로 하는 소제 가스의 유량을 증가시키는 방법.
청구항 7에 있어서, 상기 배기구 내의 상기 유량 제어 수단은 상기 가스 분배 장치의 선택된 일부를 지나 소제 가스의 흐름을 가속함에 따라 선택적으로 개폐 가능한 개공부가 마련된 패널을 지나 상기 소제 가스를 흘리는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 격납고의 제조 방법.
청구항 7에 있어서, 상기 비납땜 또는 비용접 끼워맞춤부 또는 연결부를 지나는 소제 가스의 가속된 흐름을 지향시키기 위하여 상기 가스 분배 장치 내의 비납땜 또는 비용접 끼워맞춤부 또는 연결부 근처에 배치된 구멍이 마련된 패널을 지나 상기 소제 가스를 흘리는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 격납고의 제조 방법.