KR19990028748U

KR19990028748U - 보트 받침대

Info

Publication number: KR19990028748U
Application number: KR2019970041385U
Authority: KR
Inventors: 김노현
Original assignee: 구본준; 엘지반도체 주식회사
Priority date: 1997-12-27
Filing date: 1997-12-27
Publication date: 1999-07-15

Abstract

본 고안은 보트 받침대에 관한 것으로, 종래 기술은 보트의 수평상태가 어긋났을 경우 엘리베이터 구동축 전체의 수평조절을 하거나, 플랜지를 수평조절해야 하는데, 이럴 경우 수평조절작업이 용이하지 않는 동시에 무척 번거로운 바, 이에 본 고안은 보트 몸체의 저면에 밀착 설치되는 상부 플레이트와, 그 상부 플레이트의 하측에 소정의 간격을 두고 설치되는 하부 플레이트와, 그 하부 플레이트에 형성된 다수개의 나사공을 관통하여 상기 상부 플레이트의 저면에 밀착되어 상부 플레이트의 수평을 조정하는 수평조절나사로 구성되는 것을 특징으로 하는 보트 받침대를 제공함으로써, 하부 플레이트에 설치된 수평조절나사에 의해 상부 플레이트의 위치를 조정하여 용이하고 신속하게 수평 상태를 조정함으로써 시간 절약 및 장비의 가동효율 증가에 기여할 수 있다.

Description

보트 받침대

본 고안은 반도체 웨이퍼 증착용 보트에 관한 것으로, 특히 보트의 수평 상태 조절을 용이하게 할 수 있도록 한 보트 받침대에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 제조공정 중에는 증착공정, 확산공정 등 공정에 따른 소정의 고온을 유지하여 진행하는 공정들이 있는데, 이러한 공정에서 고온을 만들고 이를 유지하기 위한 목적으로 사용되는 장비를 노(FURNACE)라 하며, 반도체 제조공정에서는 주로 옴의 법칙에 따른 발열을 이용하는 전기로를 사용하는 것이 보통이다.

이러한 노는 형태에 따라 종형로(VERTICAL FURNACE)와 수평로(HORIZONTAL FURNACE)로 나눌 수 있는데, 상기 종형로의 경우 장비의 규격을 작게 할 수 있다는 장점과 반응가스의 흐름을 상측에서 하측으로 흐르도록 할 수 있어 중력의 영향에 의해 보다 용이하게 반응가스가 흐를 수 있다는 점에 있어서, 대부분의 공정에서 종형로가 사용되고 있다.

이와 같은 종형로에 로딩되어 공정을 진행하기 위한 보트가 도 1에 도시되어 있는바, 이에 대해 설명하면 다음과 같다.

도 1은 종래 기술에 의한 보트 받침대가 구비된 보트를 보인 단면도로서, 이에 도시된 바와 같이, 종래 보트는 내부에 웨이퍼(W)가 탑재될 수 있도록 수개의 슬롯(1a)이 구비된 보트 몸체(1)가 설치되고, 그 보트 몸체(1)의 저면에는 캡(2)이 설치되며, 그 캡(2)의 저면에는 보트 받침대(3)가 상기 보트 몸체(1)의 수평을 유지하기 위해 고정 설치되며, 그 보트 받침대(3)에는 증착공정 진행시 증착균일도를 향상시키기 위해 상기 보트 몸체(1)를 소정의 속도로 회전시키는 회전축(5a)이 고정 결합되고, 상기 보트 받침대(3)의 일정 간격 하측에는 종형로에 로딩시 종형로의 지지대에 밀착되어 종형로 내부를 진공상태로 유지하기 위해 오링(4a)이 구비된 플랜지(4)가 설치되어 있고, 그 플랜지(4)의 저면에는 상기 회전축(5a)과 연결 설치되어 그 회전축(5a)에 회전력을 부여하기 위한 회전모터(5)가 설치되며, 그 회전모터(5)의 저면에는 엘리베이터(미도시)의 구동시 상기 보트를 상승 하강시키는 구동축(6)이 설치된다.

상기와 같이 구성된 종래 기술에 의한 보트가 종형로에 로딩되어 증착공정을 진행하기 위한 동작을 설명하면 다음과 같다.

공정진행을 위해 웨이퍼 카세트(미도시)에 수납되어 이송된 다수개의 웨이퍼(W)를 트위저 등의 치구를 이용하여 대기중인 보트(1)의 슬롯(미도시)으로 이송한다.

그후, 종형로(7)의 내부로 웨이퍼(W)가 탑재된 보트(1)가 상승하여 보트(1)의 하부에 고정 설치된 플랜지(4)가 상기 종형로(7)의 지지대(8) 저면에 밀착되어 종형로(7)의 내부가 진공상태를 유지하게 되면, 상기 종형로(7)의 일측에 설치된 반응가스공급라인(9)으로부터 공정가스가 주입되어 소정 시간 공정을 진행하며, 이러한 소정의 공정진행이 완료되면 반응가스는 반응가스배출라인(10)으로 배출되며, 상술한 순서와 반대로 보트를 종형로(7)의 하측으로 이탈시켜 웨이퍼를 다음공정으로 이동시킨다.

한편, 일정 기간 사용한 종형로(7)의 경우 보트를 상기 종형로(7)에서 분리하여 종형로(7) 및 보트(1)를 세정한 후, 다시 재장착하여 사용하게 되는데 이때 보트(1)의 재장착시 외란 등에 의해 보트 받침대(3)의 수평 상태가 불량해지는 경우가 발생한다.

이와 같은 경우 종래 기술은 도 3a에 도시된 바와 같이, 보트의 수평상태가 어긋났을 경우 엘리베이터 구동축(6) 전체의 수평조절을 하거나, 플랜지(4)를 수평조절해야 하는데, 이럴 경우 수평조절작업이 용이하지 않는 동시에 무척 번거로운 작업이 될 수 있다.

그리고 보트의 상태가 일측으로 기울어진 상태로 공정을 진행할 경우 수직방향으로 설치된 내측튜브(7a)와 반응가스공급라인(9)의 간격이 일정하지 않으므로 공정 진행시 웨이퍼내 증차균일도가 떨어지게 되고, 이와 같은 수평 상태가 심할 경우에는 보트가 내측튜브(8a) 또는 반응가스공급라인(9)에 접촉하게 되어 웨이퍼(W)에 스크래치(SCRATCH)를 유발하는 문제점이 있었다.

또한, 도 3b에 도시된 바와 같이 보트가 기울어진 상태로 이재기(R)에 의해 보트(1)의 슬롯(1a)에 웨이퍼(W)를 이재할 경우 보트(1)의 슬롯(1a)에 웨이퍼(W)가 접촉되어 스크래치를 유발하는 문제점이 있었다.

따라서, 본 고안은 상술한 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 보트의 수평 상태를 용이하게 조정함으로써 웨이퍼에 스크래치가 발생하는 등의 문제점을 방지하는데 그 목적이 있다.

도 1은 종래 기술에 의한 보트 받침대가 구비된 보트를 보인 단면도,

도 2는 도 1의 "A"부를 상세히 보인 확대도,

도 3은 종래 기술에 의한 문제점을 보인 도면으로서,

(a)는 보트가 챔버 내부에 로딩시 발생할 수 있는 문제점을 보인 단면도,

(b)는 보트에 웨이퍼가 탑재될 때 발생할 수 있는 문제점을 보인 단면도,

도 4는 본 고안에 의한 보트 받침대를 보인 단면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

11 : 보트12 : 상부 플레이트

13 : 하부 플레이트14 : 수평조절나사

상기와 같은 본 고안의 목적을 달성하기 위하여, 보트 몸체의 저면에 밀착 설치되는 상부 플레이트와, 그 상부 플레이트의 하측에 소정의 간격을 두고 설치되는 하부 플레이트와, 그 하부 플레이트에 형성된 다수개의 나사공을 관통하여 상기 상부 플레이트의 저면에 밀착되어 상부 플레이트의 수평을 조정하는 수평조절나사로 구성되는 것을 특징으로 하는 보트 받침대가 제공된다.

이하, 본 고안에 의한 보트 받침대를 첨부된 도면에 의거하여 설명하면 다음과 같다.

도 4는 본 고안에 의한 보트 받침대를 보인 단면도로서, 이에 도시된 바와 같이, 본 고안에 의한 보트 받침대의 구성을 보면, 보트 몸체(11)의 저면에 원판 형상의 상부 플레이트(12)를 밀착 설치하고, 그 상부 플레이트(12)의 하측에는 소정의 간격을 두고 하부 플레이트(13)를 평행선상으로 설치하는데, 상기 하부 플레이트(13)에는 방사선상으로 다수개의 나사공(미도시)을 형성하며, 그 각각의 나사공에는 수평조절나사(14)가 체결 관통된다.

이때, 상기 각각이 수평조절나사(14)의 머리는 하부 플레이트(13)의 저면에 위치하고, 몸통은 나사공을 관통하여 상기 상부 플레이트(12)의 저면에 밀착되어 상기 상부 플레이트(12)의 수평을 조정하게 된다.

그리고 상기 하부 플레이트(13)의 하부에는 종래와 동일하게 회전축(15)이 고정 결합되고, 그 회전축(15)의 하부에는 플랜지가 고정 설치되어 공정 진행시 종형로를 밀폐시키고, 그 플랜지의 하부에는 엘리베이터와 연결된 구동축이 연결 설치된다.

상기와 같이 구성된 본 고안에 의한 보트 받침대의 작용을 설명하면 다음과 같다.

공정을 진행하던 중 또는 보트의 수평 위치가 어긋난 상태로 종형로의 내측으로 보트가 로딩되었을 때, 기울어진 방향에 위치한 하부 플레이트(13)에 체결된 수평조절나사(14)를 올림 방향으로 회전시켜 보트(11)가 기울어진 쪽의 상부 플레이트(12)를 상승시킴으로써 보트(11)의 수평 상태를 용이하게 조정할 수 있다.

또한, 보트(11)가 일측 방향으로 기울어졌을 때 그 기울어진 반대측의 수평조절나사(14)를 내림 방향으로 회전시키면, 그 수평조절나사(14)에 의해 지지되고 있던 상부 플레이트(12)의 위치가 하강하게 되어 보트(11)의 수평 상태를 조정할 수도 있다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 고안에 의한 보트 받침대는 보트의 수평상태가 부정확하게 이루어졌을 경우 하부 플레이트에 설치된 수평조절나사에 의해 상부 플레이트의 위치를 조정하여 용이하고 신속하게 수평 상태를 조정함으로써 시간 절약 및 장비의 가동효율 증가에 기여할 수 있다.

Claims

보트 몸체의 저면에 밀착 설치되는 상부 플레이트와, 그 상부 플레이트의 하측에 소정의 간격을 두고 설치되는 하부 플레이트와, 그 하부 플레이트에 형성된 다수개의 나사공을 관통하여 상기 상부 플레이트의 저면에 밀착되어 상부 플레이트의 수평을 조정하는 수평조절나사로 구성되는 것을 특징으로 하는 보트 받침대.