KR19990026071A

KR19990026071A - Storage room for semiconductor manufacturing line

Info

Publication number: KR19990026071A
Application number: KR1019970048042A
Authority: KR
Inventors: 박범천; 임용일
Original assignee: 윤종용; 삼성전자 주식회사
Priority date: 1997-09-22
Filing date: 1997-09-22
Publication date: 1999-04-15

Abstract

본 발명은 반도체 제조 라인용 저장고에 관한 것으로, 저장고내에 저장된 웨이퍼 캐리어가 출고되기 전에 저장고내에 설치된 얼라인수단에 의해 웨이퍼 캐리어내의 웨이퍼들이 얼라인된 다음, 웨이퍼 캐리어를 출고하여 생산 설비에 로딩함으로써, 웨이퍼 캐리어의 흠름이 원할하게 이루어져 제품의 생산량 상승을 기대할 수 있다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a storage for a semiconductor manufacturing line, wherein the wafers in the wafer carrier are aligned by an alignment means installed in the storage before the wafer carriers stored in the storage are shipped, and then the wafer carriers are shipped and loaded into the production facility. Smooth scratches on the wafer carrier can be expected to increase product yield.

Description

Storage room for semiconductor manufacturing line

본 발명은 반도체 제조 라인용 저장고에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 저장고내에 설치된 웨이퍼 얼라인 수단에 의해 웨이퍼 캐리어내에 수납된 웨이퍼들이 얼라인된 후 웨이퍼 캐리어가 출고될 수 있도록 한 반도체 제조 라인용 저장고에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a storage for semiconductor manufacturing lines, and more particularly to a storage for semiconductor manufacturing lines in which a wafer carrier can be shipped after the wafers stored in the wafer carrier are aligned by wafer alignment means installed in the storage. It is about.

일반적으로 양호한 기능의 반도체 제품을 제조하기 위해 반도체 제조 라인내의 공간은 온도, 습도, 파티클 등이 인위적으로 조절 관리되는 청정한 상태로 유지되며, 이러한 청정 상태의 반도체 제조 라인내에서 반도체 생산공정의 대부분이 이루어진다.Generally, the space in the semiconductor manufacturing line is kept in a clean state where temperature, humidity, and particles are artificially controlled to manufacture a semiconductor product having a good function. Is done.

이러한 반도체 제조 라인은 단위 공정별로 영역이 나누어져 있고, 각각의 영역은 공정 진행을 위한 복수의 베이(bay)이로 이루어져 있으며, 각각의 베이에는 공정 진행을 위한 각종 설비가 설치되어 있다.The semiconductor manufacturing line is divided into regions for each unit process, each region includes a plurality of bays for process progress, and each bay is provided with various equipments for process progress.

또한, 선행 공정을 완료한 웨이퍼들을 로트 단위로 적재한 웨이퍼 캐리어는 자동반송 시스템 및 작업자의 수작업에 의해 베이내에 위치해 있는 저장고에 다음 공정을 위해 입고된다.In addition, the wafer carriers in which the wafers, which have completed the preceding process, in the unit of lot are loaded into the storage located in the bay for the next process by the automatic transfer system and the manual operation of the operator.

이후, 다음 공정을 진행하기 위해서 작업자의 콘트롤러 제어에 의해 웨이퍼 캐리어는 해당 설비로 이송되기 위해 저장고로부터 출고되는 바, 이때, 저장고내의 웨이퍼 캐리어의 웨이퍼들에 대한 테이터는 라인의 자동화를 위해 데이터 베이스에 저장된다.Then, the wafer carrier is released from the reservoir to be transferred to the facility by the operator's controller control in order to proceed to the next process, wherein the data on the wafers of the wafer carrier in the reservoir is stored in a database for line automation. Stored.

출고된 웨이퍼 캐리어는 다음 공정 진행을 위해 소정의 설비로 이송된다.The shipped wafer carrier is transferred to a predetermined facility for the next process.

그러나, 복수개의 웨이퍼들이 수납된 웨이퍼 캐리어가 소정의 반도체 제조 설비내로 로딩되기 전에 작업자는 상기 웨이퍼 캐리어내의 웨이퍼들을 얼라인 장치를 이용하여 얼라인한 후 소정의 제조 설비로 웨이퍼 캐리어를 로딩하는 바, 이때, 작업자는 얼라인 장치에 수작업으로 웨이퍼 캐리어를 로딩한 다음, 얼라인 장치를 구동시켜 웨이퍼 캐리어내의 웨이퍼를 얼라인함으로써 웨이퍼 캐리어의 원할한 흐름이 저하되어 생산량이 저하되는 문제점이 있었다.However, before a wafer carrier containing a plurality of wafers is loaded into a predetermined semiconductor manufacturing facility, an operator aligns the wafers in the wafer carrier using an alignment device and then loads the wafer carrier into the predetermined manufacturing facility. The operator manually loads the wafer carrier into the alignment device, and then drives the alignment device to align the wafers in the wafer carrier, thereby reducing the smooth flow of the wafer carrier, thereby lowering the yield.

따라서, 본 발명의 목적은 저장고내로부터 웨이퍼 캐리어가 출고되기 전에 스토커내에서 웨이퍼 캐리어내의 웨이퍼들을 얼라인할 수 있도록 한 반도체 제조 라인용 저장고를 제공하는데 있다.It is therefore an object of the present invention to provide a reservoir for a semiconductor manufacturing line that allows the wafers in the wafer carrier to be aligned in the stocker before the wafer carrier is shipped from the reservoir.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 제조 라인용 저장고를 개략적으로 나타낸 개념도.1 is a conceptual diagram schematically showing a reservoir for a semiconductor manufacturing line according to an embodiment of the present invention.

이와 같은 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은 복수개의 웨이퍼를 수납하는 웨이퍼 캐리어를 외부로부터 내부로 입고하는 인풋 콘베이어와;In order to achieve the above object, the present invention comprises an input conveyor for receiving a wafer carrier for receiving a plurality of wafers from the outside to the inside;

상기 인풋 콘베이어로부터 입고되는 상기 웨이퍼 캐리어를 이송하여 소정의 저장 공간에 로딩하는 이송수단과;Transfer means for transferring the wafer carrier received from the input conveyor and loading the wafer carrier into a predetermined storage space;

상기 입고된 웨이퍼 캐리어를 외부로 출고하는 아웃풋 콘베이어와;An output conveyor for shipping the received wafer carrier to the outside;

상기 웨이퍼 캐리어내의 웨이퍼들을 얼라인하는 얼라인수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.And alignment means for aligning wafers in the wafer carrier.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 반도체 제조 라인용 저장고를 개략적으로 나타낸 개념도이다.1 is a conceptual diagram schematically showing a reservoir for a semiconductor manufacturing line of the present invention.

도시된 바와 같이, 로트 단위의 웨이퍼(미도시)들을 수납하는 웨이퍼 캐리어(미도시)를 일시적으로 저장하는 저장고(stocker : 10)가 배치되어 있다.As shown, a stocker 10 for temporarily storing a wafer carrier (not shown) that houses wafers in a lot unit (not shown) is disposed.

이때, 저장고(10)내에는 웨이퍼 캐리어를 각각 저장할 수 있는 공간이 형성되어 있다.In this case, a space for storing the wafer carriers is formed in the storage 10.

또한, 선행 공정을 완료한 웨이퍼 캐리어를 저장고(10)내로 입고 및 출고할 수 있도록 저장고(10)에는 인풋 콘베이어(input conveyor; 12)와 아웃풋 콘베이어(output conveyor; 13)가 설치되어 있으며, 저장고(10)내에는 인풋 콘베이어(12)에 로딩된 웨이퍼 캐리어를 저장고(10)내의 소정 위치에 로딩하는 이송수단, 예를 들어 이송로봇(11)이 설치되어 있다.In addition, an input conveyor 12 and an output conveyor 13 are installed in the storage 10 so that wafer carriers having completed the preceding process can be received and shipped into the storage 10. 10, a transfer means for loading the wafer carrier loaded on the input conveyor 12 to a predetermined position in the storage 10, for example, a transfer robot 11 is installed.

이때, 이송로봇(11)은 웨이퍼 캐리어를 적재한 후, 이 웨이퍼 캐리어를 저장고(10)내의 소정 위치에 로딩할 수 있도록 가이드 레일(미도시)을 따라 상하좌우로 이동 가능하게 설치되어 있다.At this time, the transfer robot 11 is mounted to be movable up, down, left, and right along a guide rail (not shown) so that the wafer carrier is loaded and then loaded at a predetermined position in the storage 10.

또한, 저장고(10)내의 소정 영역에는 아웃풋 콘베이어(13)를 통해 웨이퍼 캐리어가 저장고(10) 외부로 언로딩되기 전에 얼라인이 이루어질 수 있도록 얼라인수단(14)이 설치되어 있다.In addition, an alignment means 14 is provided in a predetermined region of the reservoir 10 so that the wafer carrier can be aligned before the wafer carrier is unloaded out of the reservoir 10 through the output conveyor 13.

이와 같은 반도체 제조 라인용 저장고의 작용을 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the reservoir for the semiconductor manufacturing line in more detail as follows.

먼저, 소정의 공정을 완료한 웨이퍼들을 수납한 웨이퍼 캐리어는 다음 공정을 진행하기 위해 인풋 콘베이어(12)를 통해 저장고(10)내로 일시적으로 저장된다. 이때, 저장고(10)의 콘트롤러(미도시)에서는 일시저장된 웨이퍼 캐리어의 다음 공정을 파악하는 한편, 인풋 콘베이어(12)를 통해 입고된 웨이퍼 캐리어는 이송로봇(11)에 의해 이송되어 소정의 저장 공간에 저장된다.First, a wafer carrier containing wafers that have completed a predetermined process is temporarily stored into the storage 10 through the input conveyor 12 to proceed to the next process. At this time, the controller (not shown) of the storage 10 identifies the next process of the temporarily stored wafer carrier, while the wafer carrier received through the input conveyor 12 is transferred by the transfer robot 11 to have a predetermined storage space. Are stored in.

이렇게 저장된 웨이퍼 캐리어에 대해 차후에 다음 공정을 진행하기 위해서 소정의 저장 공간에 저장된 웨이퍼 캐리어는 이송로봇(11)에 의해 이송되어 얼라인수단(14)에 놓여진다.The wafer carrier stored in the predetermined storage space is transferred by the transfer robot 11 and placed on the aligning means 14 in order to proceed with the next process later on the stored wafer carrier.

그러면, 얼라인수단(14)은 놓여진 웨이퍼 캐리어내의 웨이퍼들에 대해 얼라인을 실시한다.The aligning means 14 then align the wafers in the placed wafer carrier.

여기서, 얼라인 과정을 살펴보면, 웨이퍼들이 세로로 위치할 수 있도록 놓여진 웨이퍼 캐리어의 하부면으로부터 회전롤러(미도시)가 상승하여 웨이퍼들의 테두리면을 면접한다.Here, looking at the alignment process, the rotating roller (not shown) is raised from the lower surface of the wafer carrier placed so that the wafers are positioned vertically to interview the edges of the wafers.

이어서, 회전롤러의 회전에 따라 웨이퍼들은 회전하면서 웨이퍼의 플랫존 부분이 일치되면서 얼라인된다.Subsequently, as the rotary roller rotates, the wafers are aligned while the flat zone portion of the wafer is matched while rotating.

이렇게 얼라인을 완료한 웨이퍼를 수납한 웨이퍼 캐리어는 이송로봇(11)에 의해 아웃풋 콘베이어(13)에 놓여져 다음 공정 진행 설비로 이송된다.The wafer carrier containing the aligned wafers is placed on the output conveyor 13 by the transfer robot 11 and transferred to the next process progress facility.

이와 같이 저장고내에 저장된 웨이퍼 캐리어가 출고되어 다음 공정 진행 설비로 이동하기 전에 저장고내에서 얼라인수단에 의해 얼라인된 다음 출고되어 정렬된 상태로 웨이퍼 캐리어가 설비에 로딩됨으로써, 저장고로부터 공정 설비로 웨이퍼 캐리어의 원할한 흐름에 따라 제품의 생산량이 향상된다.As such, the wafer carriers stored in the warehouse are loaded by the alignment means in the storage and then loaded and aligned in the storage prior to moving to the next process equipment. The smooth flow of carriers increases the yield of the product.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명은 저장고내에 저장된 웨이퍼 캐리어가 출고되기 전에 저장고내에 설치된 얼라인수단에 의해 웨이퍼 캐리어내의 웨이퍼들이 얼라인된 다음 웨이퍼 캐리어를 출고하여 생산 설비에 로딩함으로써, 웨이퍼 캐리어의 흠름이 원할하게 이루어져 제품의 생산량이 상승하는 효과가 있다.As described above, in the present invention, before the wafer carriers stored in the warehouse are shipped, the wafer carriers are aligned by the aligning means installed in the warehouse, and then the wafer carriers are shipped and loaded into the production facility, whereby the wafer carriers are scratched. This is made smoothly has the effect of increasing the output of the product.

Claims

An input conveyor for receiving a wafer carrier containing a plurality of wafers from the outside into the inside;

Transfer means for transferring the wafer carrier received from the input conveyor and loading the wafer carrier into a predetermined storage space;

An output conveyor for shipping the received wafer carrier to the outside;

And alignment means for aligning wafers in the wafer carrier.

A storage cell for a semiconductor manufacturing line according to claim 1, wherein the aligning means is provided in relation to the output conveyor.