KR19990019614A - Field emission display device and manufacturing method thereof - Google Patents
Field emission display device and manufacturing method thereof Download PDFInfo
- Publication number
- KR19990019614A KR19990019614A KR1019970043008A KR19970043008A KR19990019614A KR 19990019614 A KR19990019614 A KR 19990019614A KR 1019970043008 A KR1019970043008 A KR 1019970043008A KR 19970043008 A KR19970043008 A KR 19970043008A KR 19990019614 A KR19990019614 A KR 19990019614A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- graphite
- cathode
- display device
- emission display
- field emission
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J1/00—Details of electrodes, of magnetic control means, of screens, or of the mounting or spacing thereof, common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
- H01J1/02—Main electrodes
- H01J1/30—Cold cathodes, e.g. field-emissive cathode
- H01J1/304—Field-emissive cathodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/02—Manufacture of electrodes or electrode systems
- H01J9/022—Manufacture of electrodes or electrode systems of cold cathodes
- H01J9/025—Manufacture of electrodes or electrode systems of cold cathodes of field emission cathodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2201/00—Electrodes common to discharge tubes
- H01J2201/34—Photoemissive electrodes
- H01J2201/342—Cathodes
- H01J2201/3421—Composition of the emitting surface
Abstract
목적 : 흑연으로 음극을 형성하여 공정의 단순화와 음극의 물성 안정화를 도모하고, 낮은 전계에서도 전자 방출이 이루어지는 전계 방출 표시소자와 그 제조 방법을 제공한다.Purpose: To provide a field emission display device and a method of manufacturing the same, which form a cathode from graphite to simplify the process, stabilize the properties of the cathode, and emit electrons even at a low electric field.
구성 : 기판 글라스(4) 상에 소정의 패턴으로 적층 형성된 음전극(10)의 상면으로 페이스트상의 흑연 분말 및/또는 흑연 화이버 등을 스크린 인쇄하여 흑연층(14)이 적층되게 하고, 이를 소성하거나 절연성 스페이서(6)의 일부에 매립되도록 하여 안정화시킨 다음 전면 글라스(2)와 대향되게 겹쳐서 봉합한 구성으로 된다.Composition: Screen printed paste-like graphite powder and / or graphite fibers on the upper surface of the negative electrode 10 formed by laminating a predetermined pattern on the substrate glass 4 so that the graphite layer 14 is laminated and fired or insulated. It is made to be embedded in a part of the spacer 6 to stabilize, and then overlapped with the front glass 2 so as to be sealed.
효과 : 음극을 페이스트상의 흑연 분말로 스크린 인쇄함에 따라 복잡하고 난해한 증착이나 레이저 엡레이션 등을 거치지 않고도 간단하게 음극을 형성할 수 있고, 이렇게 형성된 음극은 물성이 안정적이어서 가스 이온이나 아크 등의 충격에도 내구성을 가지므로 사용 수명이 연장되는 한편 낮은 전계에서 충분히 전자 방출을 일으키게 된다.Effect: By screen-printing the cathode with paste-like graphite powder, it is possible to easily form the cathode without going through complicated and difficult deposition or laser ablation.The cathode thus formed is stable in physical properties, and thus is resistant to impacts such as gas ions and arcs. Its durability extends its service life while sufficiently generating electrons at low electric fields.
Description
본 발명은 전계 방출 표시소자에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 흑연을 음극소재로 하여 전자 비임의 방출량이 많고 음극 형성 공정을 간편히 한 전계 방출 표시소자에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a field emission display device, and more particularly, to a field emission display device having a large amount of electron beam emission and a simple cathode formation process using graphite as a cathode material.
전계 방출 표시소자는 상호 대향 배치되어 기밀스럽게 밀봉되는 글라스 사이로 음극과 형광체를 배열한 구성을 포함하는 것이며, 상기 음극과 형광체는 각각 일정의 패턴을 이루게 되어 있다. 이러한 구성에서 상기 음극과 양극의 방출면 사이가 높은 전압 구배로 되게 하면 쇼트키 효과에 의한 직접 전자 방출이 일어나고, 발생된 전자 방출은 형광체를 여기시켜 빛을 발하게 되는 영상표시소자이다.The field emission display device includes a structure in which a cathode and a phosphor are arranged between glass which is disposed to face each other and is hermetically sealed, and the cathode and the phosphor form a predetermined pattern, respectively. In such a configuration, when the emission surface of the cathode and the anode has a high voltage gradient, direct electron emission occurs due to the Schottky effect, and the generated electron emission excites phosphors to emit light.
이러한 전계 방출 표시소자는 구조에 따라 2극관과 3극관이 공지되어 있고, 3극관은 음극과 양극 사이로 그리드가 더 추가된 구성으로 되어 있다.The field emission display device is known as a dipole and a triode according to its structure, and the triode has a configuration in which a grid is further added between the cathode and the anode.
상기 전계 방출 표시소자는 대화면용 표시소자에 적합할 뿐만 아니라 전력소비가 작고 양질의 화상을 얻을 수 있는 이점이 있다.The field emission display device is not only suitable for a large display device, but also has an advantage of low power consumption and high quality images.
전계 방출 표시소자에서 화면의 밝기는 음극으로부터 방출되는 전자의 량에 좌우되고 전자의 방출량이 큰 음극은 요철면에 의해 표면적이 극대화된 특징을 가진다.In the field emission display device, the brightness of the screen depends on the amount of electrons emitted from the cathode, and the cathode having a large emission amount of electrons has a feature of maximizing its surface area by the uneven surface.
초기에 전계 방출 표시소자의 음극은 기판에 텅스텐, 몰리브덴 등의 고융점 금속 박막을 형성하고 이를 에칭 처리하여 날카로운 팁이 형성되게 하여 왔으나, 이 방법은 정교하게 노광하고 에칭해야 하는 고난도의 공정을 거쳐야 하므로 넓은 화면을 가지는 전계 방출 표시소자에는 적당치 않다. 또 상기와 같이 하여 형성된 팁은 가스 이온이나 아크의 충격에 취약하여 사용 수명이 짧으며 동작 전압도 높은 문제점이 있다.Initially, the cathode of the field emission display device has formed a high melting point metal thin film such as tungsten and molybdenum on a substrate and then etched it to form a sharp tip. However, this method requires a highly difficult process of exposing and etching delicately. Therefore, it is not suitable for the field emission display device having a wide screen. In addition, the tip formed as described above is vulnerable to the impact of gas ions or arc has a short service life and high operating voltage.
한편, 마루오에 의해 제안된 미국 특허 제5,382,867호는 톱니모양의 표면을 가지는 음극 구조를 개시하고 있지만, 이것은 복잡하고 난해한 금속 박막의 팁을 톱니모양으로 하는 것이므로 여전히 정교한 노광과 에칭 작업을 거쳐야 한다.On the other hand, U.S. Patent No. 5,382,867 proposed by Maruo discloses a cathodic structure with a serrated surface, but this is a sawtooth of a complicated and difficult metal thin film, which still requires sophisticated exposure and etching operations. .
또 케인에 의해 제안된 미국 특허 제5,430,348호는 다이아몬드 면으로 된 음극에 반전층을 형성한 구조를 개시하고 있고, 다른 한편으로 커마에 의해 제안된 미국 특허 제5,548,185호와 제5,601,966호는 아모르픽 다이아몬드 필름을 사용한 전계 방출 표시소자를 개시하고 있다.U.S. Patent No. 5,430,348 proposed by Kane discloses a structure in which an inversion layer is formed on a diamond faced cathode, while U. S. Patent Nos. 5,548, 185 and 5,601, 966 proposed by Kerma are amorphous diamonds. A field emission display device using a film is disclosed.
다이아몬드는 탄소가 주성분으로 된 가장 안정적인 물질의 하나로 되는 것이고, 이것은 도 8으로 나타내고 있듯이 육각형 구조의 (111)면을 가지고 있는 결정체로 되어 있다. 그런데 상기 (111)면에 보론, 질소 등을 불순물로 도핑하면 NEA(Negative Electron Affinity) 현상이 발생하여 전도대의 에너지 레벨이 진공 중의 자유전자가 가지는 에너지 레벨보다 높아져 자발적인 전자 방출이 일어나게 되고 이 현상은 저전압 구동을 가능케 하는 특징이 있다.Diamond is one of the most stable materials mainly composed of carbon, which is a crystal having a (111) plane of a hexagonal structure as shown in FIG. However, when doping boron, nitrogen, etc. with impurities on the (111) plane generates NEA (Negative Electron Affinity) phenomenon, the energy level of the conduction band is higher than the energy level of free electrons in the vacuum, and spontaneous electron emission occurs. There is a feature that enables low voltage driving.
그러나 다이아몬드 또는 다이아몬드에 유사한 카본을 음극으로 형성하려면 플라즈마 증착하여 소정 두께의 박막을 얻고, 이를 레이저 엡레이션으로 미세 가공해야 하기 때문에 상기 금속 박막과 마찬가지로 고난도의 공정을 거쳐야 하며, 특히 원자재 값이 비싸 전계 방출 표시소자의 보급을 어렵게 하는 요인으로 작용한다.However, in order to form a diamond or a carbon similar to diamond as a cathode, plasma deposition is required to obtain a thin film having a predetermined thickness, which must be finely processed by laser ablation. It acts as a factor that makes diffusion of the emission display element difficult.
한편, 흑연은 상기 다이아몬드와 마찬가지로 흑연이 주성분으로 되는 물질이고, 도 9로 나타낼 수 있듯이 다이아몬드의 결정에 유사한 육각형의 (0001)면을 포함하고 있으나, 상기 (0001)면의 방향은 강한 이중 결합으로 되어 있고 그 면 사이는 약한 반데르발스 결합으로 되어 있어서 물리적으로 강한 이방성을 가지는 특성이 있다. 또한 상기 (0001)면으로는 전기, 열 등의 전도도가 양호하지만 그 직각 방향으로는 좋지 않고 게다가 상기 (0001)면 사이의 약한 결합상태로 인하여 쉽게 깨지는 단점이 있다.On the other hand, graphite is a material composed mainly of graphite like diamond, and as shown in FIG. 9, the graphite contains hexagonal (0001) faces similar to diamond crystals, but the direction of the (0001) plane is a strong double bond. It has a weak van der Waals bond between the surfaces, and has physically strong anisotropy. In addition, the (0001) plane is good in conductivity, such as electricity, heat, but is not good in the right direction thereof, and also has the disadvantage of being easily broken due to the weak bonding state between the (0001) plane.
그러나 흑연 분말의 표면에는 강한 공유 결합을 하는 (0001)면의 모서리가 무수히 존재하고 있으며 이 모서리들은 천연적인 전자 방출 팁으로 이용될 수 있다.However, the surface of the graphite powder has a myriad of (0001) edges with strong covalent bonds, which can be used as natural electron emission tips.
게다가 흑연 분말은 외력을 받아 깨지더라도 그 파단면은 여전히 (0001)면의 새로운 모서리로 형성되어 일종의 자기 회복성을 가지므로 이를 통한 전자 방출도 지속적으로 행해질 수 있고, 어느 정도의 질소 불순물도 함유하고 있기 때문에 상기 NEA 현상이 야기되어 저전계 전자 방출도 기대할 수 있다.In addition, even if the graphite powder is broken under external force, its fracture surface is still formed as a new corner of the (0001) plane, which has a kind of self-healing property, and thus electron emission can be continuously performed, and it contains some nitrogen impurities. As a result, the NEA phenomenon can be caused and low field electron emission can be expected.
따라서 본 발명의 목적은 흑연으로 음극을 형성하여 공정의 단순화와 음극의 물성 안정화를 도모함과 동시에 구조적으로 전자 비임의 방출량이 많고 저전계 구동이 가능한 2극관형 전계 방출 표시소자를 제공함에 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a bipolar tube type field emission display device capable of forming a cathode from graphite to simplify the process and stabilize the properties of the cathode, and at the same time emit a large amount of electron beams and drive a low electric field.
본 발명의 다른 목적은 흑연으로 음극을 형성하여 공정의 단순화와 음극의 물성 안정화를 도모함과 동시에 구조적으로 전자 비임의 방출량이 많고 저전계 구동이 가능한 2극관형 전계 방출 표시소자의 제조 방법을 제공함에 있다.Another object of the present invention is to provide a method of manufacturing a bipolar tube type field emission display device which can form a cathode from graphite to simplify the process and stabilize the properties of the cathode and at the same time have a large amount of electron beam emission and low electric field driving. have.
상기의 목적에 따라 본 발명은 양전극을 가지는 전면 글라스에 대향 배치되는 기판 글라스의 내측면 상에, 소정 패턴으로 음전극을 ITO 증착 또는 은 페이스트에 의한 인쇄 소성으로 적층 형성하고, 상기 음전극의 상면으로 흑연 화이버를 무기질 바인더와 혼합하여 일정의 패턴으로 도포하고, 상기 흑연 화이버의 상면으로 흑연분말과 무기질 바인더의 혼합물을 인쇄 도포한 다음 소성해서 흑연층이 상기 음전극의 상면에 적층 형성되게 한 구성으로 된다.In accordance with the above object of the present invention, the negative electrode is laminated on the inner surface of the substrate glass disposed opposite to the front glass having the positive electrode in a predetermined pattern by ITO deposition or printing firing by silver paste, and graphite is formed on the upper surface of the negative electrode. The fibers are mixed with an inorganic binder and coated in a predetermined pattern, and a mixture of graphite powder and an inorganic binder is printed and coated on the upper surface of the graphite fiber, and then fired to laminate the graphite layer on the upper surface of the negative electrode.
상술한 구성의 본 발명에서 흑연 화이버는 직경 1∼5μ이고 길이는 5∼50㎛ 범위 내로 함이 좋다.In the present invention having the above-described configuration, the graphite fiber may have a diameter of 1 to 5 µm and a length of 5 to 50 µm.
상기 무기질 바인더와 흑연 화이버 또는 흑연 분말의 혼합비는 5∼30 중량％가 적당하다.As for the mixing ratio of the said inorganic binder, graphite fiber, or graphite powder, 5-30 weight% is suitable.
상기와 같은 구조의 2극관형 전계 방출 표시소자는 기판 글라스 상에 ITO 증착 또는 실버 페이스트를 소정의 패턴에 따라 인쇄하여 음전극을 형성하는 공정과, 상기 음전극의 상면으로 흑연 화이버와 무기질 바인더의 혼합물을 도포하는 공정과, 상기 흑연 화이버의 상면으로 흑연 분말과 무기질 바인더의 혼합물을 인쇄 도포하여 전체로서 흑연층이 형성되게 하는 공정과, 상기 기판 글라스를 소성하여 음전극의 상면에 적층된 흑연층을 안정화 시키는 공정과, 상기 흑연층의 주변으로 절연성 스페이서를 인쇄하여 적층 형성하는 공정을 통해 얻을 수 있다.The bipolar field emission display device having the above structure has a process of forming a negative electrode by printing ITO deposition or silver paste on a substrate glass according to a predetermined pattern, and using a mixture of graphite fibers and an inorganic binder on the upper surface of the negative electrode. Coating process, printing and coating a mixture of graphite powder and inorganic binder on the upper surface of the graphite fiber to form a graphite layer as a whole, and firing the substrate glass to stabilize the graphite layer laminated on the upper surface of the negative electrode. It can be obtained through a step of forming a laminate by printing an insulating spacer around the graphite layer.
이와 같은 구성의 본 발명은 전자 비임이 상기 흑연층을 통해 방사되는 것이고, 이 때 흑연층은 종래의 다이아몬드 박막이 가지고 있는 방사 특성을 고루 갖추고 있어서 고휘도의 전계 방출 표시소자를 제공하게 됨과 아울러 스크린 인쇄에 의해 적층 형성되는 것이므로 공정이 간편 용이하며, 또 가스 이온 등의 충격으로 인해 파손되어 새롭게 노출되는 결정 조직도 파손된 것과 동일한 결정으로 됨에 따라 전계 방출 표시소자의 사용 수명이 연장되고, 흑연이 가지는 NEA 현상에 의해 저전압에서의 구동이 가능하게 되는 장점이 있다.According to the present invention, the electron beam is radiated through the graphite layer. At this time, the graphite layer has the radiation characteristics of the conventional diamond thin film, thereby providing a high brightness field emission display device and screen printing. Due to the lamination process, the process is easy and the crystal structure newly broken due to the impact of gas ions is also the same as that of the broken body. As a result, the service life of the field emission display device is extended, and NEA has graphite. There is an advantage in that driving at low voltage is possible by the phenomenon.
도 1은 본 발명이 적용된 2극관형 전계 방출 표시소자의 일 실시예를 나타내 는 개략 측단면도.1 is a schematic side cross-sectional view showing one embodiment of a bipolar tube type field emission display device to which the present invention is applied.
도 2는 도 1에 도시한 음전극의 흑연 화이버 도포 패턴을 도시하는 부분 사 시도.Fig. 2 is a partial trial showing a graphite fiber coating pattern of the negative electrode shown in Fig. 1.
도 3은 도 2의 흑연 화이버 상면에 흑연 분말을 도포하는 예를 나타내는 분 해 사시도.3 is an exploded perspective view showing an example of applying graphite powder on the upper surface of the graphite fiber of FIG.
도 4는 다이아몬드의 결정 구조도.4 is a crystal structure diagram of diamond;
도 5는 흑연의 결정 구조도.5 is a crystal structure diagram of graphite.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
2 : 전면 글라스 4 : 기판 글라스2: front glass 4: substrate glass
6 : 절연성 스페이서 8 : 양전극6 insulating spacer 8 positive electrode
10 : 음전극 12 : 형광체10 negative electrode 12 phosphor
14 : 흑연층 16 : 망포14 graphite layer 16 mesh cloth
18 : 스텐실 20 : 슬릿18: stencil 20: slit
상술한 구성의 본 발명을 첨부 도면에 따른 바람직한 실시 예로서 상세히 설명하면 다음과 같다.The present invention having the above-described configuration will be described in detail with reference to preferred embodiments according to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 관련된 전계 방출 표시소자의 구성을 나타내는 측단면도이며, 전면 글라스(2)와 기판 글라스(4)는 절연성 스페이서(6)에 의해 그 판 면이 소정의 패턴을 이루도록 다수 구획되어 있고, 이들 절연성 스페이서(6) 사이의 공간으로는 각각 대응하는 양전극(8)과 음전극(10)이 적층 형성되어 있다. 절연성 스페이서(6)는 글라스 성분의 페이스트에 의해 약 60㎛의 높이로 적층 형성되는 것이다.1 is a side cross-sectional view showing the configuration of a field emission display device according to an embodiment of the present invention, wherein the front glass 2 and the substrate glass 4 have a predetermined pattern by the insulating spacer 6. A plurality of compartments are formed, and corresponding positive electrodes 8 and negative electrodes 10 are stacked in a space between the insulating spacers 6, respectively. The insulating spacers 6 are laminated by a glass component paste at a height of about 60 mu m.
상기 전면 글라스(2)의 양전극(8)은 ITO 증착 또는 은 페이스트에 의해 적층 배열되고, 그 위로는 형광체(12)가 소정의 패턴을 이루도록 도포되어 있으며, 이것에 대응하는 기판 글라스(4)의 음전극(10)도 역시 ITO 증착 또는 은 페이스트에 의해 적층 배열되는 것이다.The positive electrode 8 of the front glass 2 is laminated and arranged by ITO deposition or silver paste, and a phosphor 12 is coated thereon to form a predetermined pattern, and the substrate glass 4 corresponding thereto The negative electrode 10 is also laminated by ITO deposition or silver paste.
상기와 같은 구성에서 양전극(8)과 음전극(10)은 ITO인 경우에 절연성 스페이서(6)의 적층 공정 이전에 행해지는 포토 레지스트법에 의한 증착으로, 또한 은 페이스트인 경우에는 절연성 스페이서(6)의 적층 공정 이전에 스크린 인쇄하고 소성하여 형성되는 것이며, 그 다음 공정에서 상기 절연성 스페이서(6)가 전면 글라스(2)와 기판 글라스(4)의 소정 부위로 인쇄된 후에 소성을 통해 완성되는 것이다.In the above configuration, the positive electrode 8 and the negative electrode 10 are deposited by the photoresist method performed before the lamination process of the insulating spacer 6 in the case of ITO, and the insulating spacer 6 in the case of silver paste. It is formed by screen printing and baking before the lamination process, and after the insulating spacer 6 is printed to predetermined portions of the front glass 2 and the substrate glass 4 in the following process, it is completed by firing.
다음에 양전극(8)의 상면에는 형광체(12)가 통상의 방법으로 도포되는 한편, 상기 음전극(10)의 상면에는 흑연 화이버(14a)가 소정의 패턴을 이루게 도포된다.Next, the phosphor 12 is coated on the upper surface of the positive electrode 8 by a conventional method, while the graphite fiber 14a is coated on the upper surface of the negative electrode 10 to form a predetermined pattern.
흑연 화이버(14a)는 1∼5μ의 직경을 가지고 길이는 5∼50μ 정도로 된 것이 적합하게 이용된다. 또한, 상기 흑연 화이버(14a)는 무기질 바인더와 함께 도포됨으로써 일정의 패턴을 벗어나지 않게 고착되며, 도 2는 도포된 흑연 화이버(14a)가 일정의 폭을 벗어나지 않도록 길이 방향으로 불규칙하게 배열된 예를 묘사하고 있다. 이 예에서 흑연 화이버(14a)의 배열 폭은 7㎛ 정도이다.Graphite fibers 14a preferably have a diameter of 1 to 5 µm and a length of about 5 to 50 µm. In addition, the graphite fiber 14a is fixed together not to deviate from a predetermined pattern by being coated with an inorganic binder, and FIG. 2 shows an example in which the coated graphite fiber 14a is irregularly arranged in the longitudinal direction so as not to deviate from a predetermined width. It is depicted. In this example, the array width of the graphite fibers 14a is about 7 μm.
상기 흑연 화이버(14a)의 상면에는 흑연 분말(14b)이 스크린 인쇄법으로 도포되어 전체로서 흑연층(14)을 형성하게 된다.The graphite powder 14b is applied to the upper surface of the graphite fiber 14a by screen printing to form the graphite layer 14 as a whole.
상기 흑연 화이버(14a)는 직경 1∼5㎛이고 길이 5∼50㎛로 된 것이 적당하며, 이것은 다이아몬드와 동일한 6각 결정 구조를 가지는 (0001)면을 포함하고 있는 것이다.The graphite fiber 14a preferably has a diameter of 1 to 5 µm and a length of 5 to 50 µm, which includes a (0001) plane having a hexagonal crystal structure identical to that of diamond.
상기 흑연 화이버(14a)의 상면으로 인쇄 도포되는 흑연 분말(14b)은 무기질 바인더와 혼합되어 페이스트상으로 된 것이며, 이것은 도 3으로 묘사하고 있듯이 기판 글라스(4)의 상면에 μ 단위로 직조된 망포(網布; 16)가 씌워지고, 이 망포(16)의 상면으로는 다시 스텐실(18)이 놓여진 다음, 상기 흑연 분말(14b)을 스크라이빙하는 스크린 인쇄에 의해 도포되는 것이다.Graphite powder 14b, which is printed and coated on the upper surface of the graphite fiber 14a, is mixed with an inorganic binder to form a paste, which is a cloth fabric woven in μ units on the upper surface of the substrate glass 4 as illustrated in FIG. (16) is covered, and the stencil 18 is placed on the upper surface of the mesh cloth 16, and then applied by screen printing for scribing the graphite powder 14b.
상기 스텐실(18)에는 상기 흑연 화이버(14a)의 배열 폭에 일치하는 μ 단위의 폭으로 된 슬릿(20)이 형성되어 있다. 이 때문에 흑연 분말(14b)은 스텐실(18)의 상면에서 행해지는 스크라이빙에 의해 상기 슬릿(20)을 타고 흘러 내려 망포(16)를 관통하도록 가압됨으로써 상기 흑연 화이버(14a)의 상면으로 도포되어 소정의 흑연층(14)을 형성하게 되는 것이다.The stencil 18 is formed with slits 20 having a width in μ units corresponding to the array width of the graphite fiber 14a. For this reason, the graphite powder 14b is applied to the upper surface of the graphite fiber 14a by being pressed through the slit 20 by the scribing performed on the upper surface of the stencil 18 to penetrate the mesh cloth 16. Thus, a predetermined graphite layer 14 is formed.
이와 같이 흑연층(14)의 형성이 종료된 기판 글라스(4)는 소성로를 거쳐 소성됨에 따라 상기 흑연층(14)은 안정화된다. 이렇게 흑연층(14)이 안정화된 기판 글라스(4)에는 절연성 스페이서(6)가 도포 형성된 다음, 전면 글라스(2)와 대향하도록 겹쳐져서 봉합(封合)된다.As described above, the substrate glass 4 in which the formation of the graphite layer 14 is finished is fired through the firing furnace, and thus the graphite layer 14 is stabilized. Insulating spacers 6 are coated on the substrate glass 4 in which the graphite layer 14 is stabilized, and then overlapped and sealed to face the front glass 2.
상기의 봉합에 의해 양전극(8)과 음전극(10)은 매트릭스상의 전극 패턴을 형성하게 됨과 동시에 상호 교차되는 부분의 절연성 스페이서(6)는 대응하는 양전극(8)과 음전극(10)을 구획시켜 주는 절연벽체로 된다.By the sealing, the positive electrode 8 and the negative electrode 10 form an electrode pattern on the matrix, and the insulating spacer 6 at the portion intersecting with each other partitions the corresponding positive electrode 8 and the negative electrode 10. It becomes an insulating wall.
이에 따라 상기 음전극(10)으로 전계가 인가되었을 때에 흑연층(14)을 통해 방사되는 전자 비임이 대응하는 양전극(8)의 형광체(12)를 여기시켜서 소망의 빛이 발광하게 되는 것이며, 이 때 발생되는 전자 비임은 절연성 스페이서(6)에 의해 구획된 공간으로 충만하게 되어 주변 측으로의 유실이 방지된다.Accordingly, when an electric field is applied to the negative electrode 10, the electron beam radiated through the graphite layer 14 excites the phosphor 12 of the positive electrode 8 to emit light of a desired light. The generated electron beam is filled with the space partitioned by the insulating spacer 6 to prevent loss to the peripheral side.
또 전자 비임의 방사가 행해지는 흑연층(14)은 표면에 첨예부(尖銳部)가 다수 형성된 결정을 가지는 흑연 분말을 주성분으로 하고 있는 것이기 때문에 이 부분을 통한 전자 비임의 방사량이 많아지게 되어 전계 방출 표시소자의 휘도가 좋아지게 된다.In addition, since the graphite layer 14 to which the electron beam is radiated is mainly composed of graphite powder having crystals in which a large number of sharp parts are formed on the surface, the amount of radiation of the electron beam through this portion is increased. The luminance of the emission display device is improved.
또 가스 이온 충격을 받아 표면이 파손되더라도 새롭게 노출되는 면의 결정 구조에도 동일하게 첨예부가 다량 형성되어 있어서 전자 비임의 방사 특성이 저하되지 않으며, 상기 흑연으로부터 나타나는 NEA 현상에 의해 저전압에서도 구동이 가능하게 된다.In addition, even if the surface is damaged due to gas ion bombardment, a large amount of sharp parts are formed in the crystal structure of the newly exposed surface, and thus the radiation characteristics of the electron beam are not deteriorated. do.
이상 설명한 바와 같이 본 발명은 흑연 화이버와 흑연 분말로 형성되는 흑연층으로 전자 방출 물질층을 형성함에 따라 이를 통한 전자 비임의 방사량과 저전계 구동 등의 효과가 종래의 값비싼 다이아몬드 박막으로 된 것에 비견되는 것이면서도 그 형성 공정이 대단히 간편 용이하게 되어 제조에 소요되는 설비비 및 원가를 절감할 수 있는 효과를 가지는 한편, 가스 이온에 의한 파손을 입더라도 새롭게 노출되는 면의 전자 비임 방사 특성이 변화되지 않아 사용 수명이 길어지게 되며, 또한 이로 인하여 전계 방출 표시소자의 내부 진공도를 현저하게 낮추어 제조하는 것도 가능하게 되는 효과가 있다.As described above, the present invention forms an electron emitting material layer with a graphite layer formed of graphite fibers and graphite powder, and thus the effects of electron beam radiation and low electric field driving are compared to those of conventional diamond films. In addition, the formation process is very simple and easy to reduce the equipment cost and cost required for manufacturing, while the electron beam radiation characteristics of the newly exposed surface does not change even if damaged by gas ions The service life becomes long, and this also makes it possible to manufacture by significantly lowering the internal vacuum degree of the field emission display device.
Claims (4)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019970043008A KR100477727B1 (en) | 1997-08-29 | 1997-08-29 | Field emission display device and manufacturing method thereof |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019970043008A KR100477727B1 (en) | 1997-08-29 | 1997-08-29 | Field emission display device and manufacturing method thereof |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR19990019614A true KR19990019614A (en) | 1999-03-15 |
| KR100477727B1 KR100477727B1 (en) | 2005-06-07 |
Family
ID=37302819
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019970043008A KR100477727B1 (en) | 1997-08-29 | 1997-08-29 | Field emission display device and manufacturing method thereof |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR100477727B1 (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100431211B1 (en) * | 2000-09-01 | 2004-05-12 | 캐논 가부시끼가이샤 | Electron-emitting device, electron-emitting apparatus, image display apparatus, and light-emitting apparatus |
| KR100491703B1 (en) * | 2000-09-01 | 2005-05-27 | 캐논 가부시끼가이샤 | Electron-emitting device, electron source, image-forming apparatus, and method for producing electron-emitting device and electron-emitting apparatus |
| KR100560532B1 (en) * | 1999-11-04 | 2006-03-15 | 삼성에스디아이 주식회사 | Field emission display device and manufacturing method of the same |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2923980B2 (en) * | 1989-07-12 | 1999-07-26 | 松下電器産業株式会社 | Method of manufacturing field emission cold cathode |
| US5602439A (en) * | 1994-02-14 | 1997-02-11 | The Regents Of The University Of California, Office Of Technology Transfer | Diamond-graphite field emitters |
| US5473218A (en) * | 1994-05-31 | 1995-12-05 | Motorola, Inc. | Diamond cold cathode using patterned metal for electron emission control |
| KR100343214B1 (en) * | 1995-03-28 | 2002-11-13 | 삼성에스디아이 주식회사 | manufacturing method of field emission device |
| JPH0963460A (en) * | 1995-08-24 | 1997-03-07 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | Electric field emitting cold cathode, and manufacture of the cold cathode |
| KR100268242B1 (en) * | 1997-07-30 | 2000-10-16 | 김순택 | Two pole tube-type fed |
| KR100254825B1 (en) * | 1997-08-04 | 2000-05-01 | 손욱 | Tripod type fed |
| KR19990018950A (en) * | 1997-08-28 | 1999-03-15 | 손욱 | Dipole-type field emission display device and its manufacturing method |
-
1997
- 1997-08-29 KR KR1019970043008A patent/KR100477727B1/en not_active IP Right Cessation
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100560532B1 (en) * | 1999-11-04 | 2006-03-15 | 삼성에스디아이 주식회사 | Field emission display device and manufacturing method of the same |
| KR100431211B1 (en) * | 2000-09-01 | 2004-05-12 | 캐논 가부시끼가이샤 | Electron-emitting device, electron-emitting apparatus, image display apparatus, and light-emitting apparatus |
| KR100491703B1 (en) * | 2000-09-01 | 2005-05-27 | 캐논 가부시끼가이샤 | Electron-emitting device, electron source, image-forming apparatus, and method for producing electron-emitting device and electron-emitting apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR100477727B1 (en) | 2005-06-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TW583707B (en) | Flat-panel display and flat-panel display cathode manufacturing method | |
| US20070152563A1 (en) | Electron emission device, backlight unit (BLU) including the electron emission device, flat display apparatus including the BLU, and method of driving the electron emission device | |
| KR100258714B1 (en) | Flat panel display having field emission cathode | |
| KR100477727B1 (en) | Field emission display device and manufacturing method thereof | |
| US7795794B2 (en) | Electron emission source, electron emission device using the same, and composition for the same | |
| KR20010062703A (en) | Field emission cathode, electron emission device and electron emission device manufacturing method | |
| US20060267919A1 (en) | Backlight unit having surface luminescence structure | |
| KR100268242B1 (en) | Two pole tube-type fed | |
| KR100254825B1 (en) | Tripod type fed | |
| KR100254826B1 (en) | Tripod type fed | |
| KR100216484B1 (en) | Manufacture of triode structure field emission display | |
| KR100258715B1 (en) | Flat panel display having field emission cathode | |
| KR20070036910A (en) | Method of preparing electron emission display device | |
| KR100477722B1 (en) | Surface Emission Field Emission Display | |
| JP3822757B2 (en) | Field emission device and display device using the same | |
| KR19990018947A (en) | Dipole-type field emission display device | |
| KR19990018948A (en) | Triode type field emission display device | |
| TW388058B (en) | Fidle electron emission materials and devices | |
| KR19990018950A (en) | Dipole-type field emission display device and its manufacturing method | |
| KR19990018949A (en) | Triode type field emission display device | |
| KR19990052609A (en) | Flat panel display having cathode for field emission and manufacturing method thereof | |
| KR100300312B1 (en) | Flat panel display with field emission cathode | |
| KR100612271B1 (en) | Field emission display device and method for manufacturing thereof | |
| KR100301759B1 (en) | Thick film-type electroluminescence device | |
| KR101009982B1 (en) | Field Emission Display Device and Process of The Same |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20110228 Year of fee payment: 7 |
|
| LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |