KR100560532B1 - Field emission display device and manufacturing method of the same - Google Patents
Field emission display device and manufacturing method of the same Download PDFInfo
- Publication number
- KR100560532B1 KR100560532B1 KR1019990048646A KR19990048646A KR100560532B1 KR 100560532 B1 KR100560532 B1 KR 100560532B1 KR 1019990048646 A KR1019990048646 A KR 1019990048646A KR 19990048646 A KR19990048646 A KR 19990048646A KR 100560532 B1 KR100560532 B1 KR 100560532B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- emitter
- substrate
- display device
- screen mesh
- field emission
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J1/00—Details of electrodes, of magnetic control means, of screens, or of the mounting or spacing thereof, common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
- H01J1/02—Main electrodes
- H01J1/30—Cold cathodes, e.g. field-emissive cathode
- H01J1/304—Field-emissive cathodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/02—Manufacture of electrodes or electrode systems
- H01J9/022—Manufacture of electrodes or electrode systems of cold cathodes
Abstract
발광 균일도 및 휘도를 향상시키기 위한 전계 방출 표시소자 및 제조 방법으로서, 전계 방출 표시소자는 제 1 및 제 2기판과, 제 1기판의 일면에 스트라이프 패턴으로 형성되는 캐소드 전극과, 제 1기판과 마주하는 제 2기판의 일면에 캐소드 전극과 수직한 스트라이프 패턴으로 형성되는 애노드 전극과, 애노드 전극과 교차하는 캐소드 전극의 화소 영역 내부에 다수개가 독립적으로 배치되면서 각각의 선단부를 형성하고, 전계 형성에 의해 전자를 방출하는 에미터와, 애노드 전극에 형성되며 전자를 제공받아 발광하는 형광막으로 이루어진다. 상기 에미터는 스크린 인쇄로 형성되며, 전압 인가시 에미터 표면에 부분적으로 노출된 입자들의 뾰족한 끝부분과 더불어, 에미터 각각에 형성된 선단부에 전계가 균일하게 집중되면서 전자를 방출시킨다. 이로서 제조 과정이 단순하고 대형 표시소자의 제작에 유리한 후막 공정으로 에미터를 형성하면서, 화면의 발광 균일도 및 휘도를 향상시킬 수 있다.A field emission display device and a manufacturing method for improving light emission uniformity and brightness, the field emission display device comprising: first and second substrates, cathode electrodes formed in a stripe pattern on one surface of the first substrate, and facing the first substrate; On one surface of the second substrate, an anode electrode formed in a stripe pattern perpendicular to the cathode electrode and a plurality of electrodes are arranged independently in the pixel region of the cathode electrode crossing the anode electrode, and each tip portion is formed, thereby forming an electric field. And an emitter emitting electrons and a fluorescent film formed on the anode and receiving electrons to emit light. The emitter is formed by screen printing, and with the pointed ends of the particles partially exposed to the emitter surface upon application of voltage, electrons are emitted while the electric field is uniformly concentrated at the tip formed on each emitter. As a result, the light emitting uniformity and luminance of the screen can be improved while the emitter is formed by a thick film process that is simple in manufacturing and is advantageous for manufacturing a large display device.
전계방출, 에프이디, 필드에미션, 에미터, 캐소드전극, 애노드전극, 스크린인쇄Field emission, FD, field emission, emitter, cathode electrode, anode electrode, screen printing
Description
도 1은 본 발명에 의한 전계 방출 표시소자의 단면도.1 is a cross-sectional view of a field emission display device according to the present invention.
도 2는 캐소드 전극의 부분 확대도.2 is a partially enlarged view of a cathode electrode.
도 3은 본 발명에 의한 전계 방출 표시소자의 제조 방법을 나타낸 공정도.3 is a process chart showing a method of manufacturing a field emission display device according to the present invention.
도 4는 캐소드 전극 형성 단계를 나타낸 개략도.4 is a schematic diagram showing a cathode electrode forming step;
도 5 ∼ 도 7은 에미터 압출부 형성 단계를 나타낸 개략도.5 to 7 are schematic diagrams showing the step of forming the emitter extruded portion.
도 8은 에미터 페이스트 인쇄 단계를 나타낸 개략도.8 is a schematic diagram showing an emitter paste printing step.
도 9는 애노드 전극 형성 단계를 나타낸 개략도.9 is a schematic diagram illustrating an anode electrode forming step.
본 발명은 전계 방출 표시소자에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 후막 공정으로 에미터를 제작하면서도 단위 화소당 독립적으로 존재하며 각각의 선단부를 갖는 에미터를 형성하여 화면의 휘도 및 발광 균일도(uniformity)를 향상시킬 수 있는 전계 방출 표시소자 및 그의 제조 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a field emission display device. More particularly, the present invention relates to a field emission display device, and more specifically, emitters are formed per unit pixel while the emitters are manufactured in a thick film process. The present invention relates to a field emission display device and a method of manufacturing the same.
일반적으로 전계 방출 표시소자(FED; Field Emission Display)는 에미터에 강한 전계를 형성하여 전자를 방출시키고, 방출된 전자는 진공속을 이동하여 애노드 전극에 형성된 형광막에 충돌, 형광막을 발광시킴으로써 소정의 화상을 구현하는 표시소자이다.In general, a field emission display (FED) forms a strong electric field on an emitter to emit electrons, and the emitted electrons move at a vacuum speed to impinge on the fluorescent film formed on the anode electrode and emit a fluorescent film. It is a display element for implementing the image of.
여기서 상기 에미터는 전계 방출 표시소자의 전자 방출원으로서, 표시소자의 구조에 따라 스핀트(spindt) 타입 또는 면 타입으로 형성되는데, 스핀트 타입 에미터는 선단이 뾰족한 콘(cone) 형상으로 주로 3극관 구조에 형성되며, 대게 실리콘이나 몰리브덴 등의 전자 방출 물질을 캐소드 전극 위에 적층시키는 박막 공정으로 제조된다.Here, the emitter is an electron emission source of the field emission display device, and is formed in a spindt type or a plane type according to the structure of the display device. The spin type emitter is a triode tube mainly having a pointed cone shape. It is formed in a structure and is usually manufactured by a thin film process in which electron-emitting materials such as silicon or molybdenum are laminated on a cathode electrode.
이러한 스핀트 타입 에미터는 단위 화소당 수십 내지 수백개가 형성되어 에미터 어레이를 구성하며, 전압 인가시 각각의 에미터 선단부에 전계가 집중되면서 전자를 방출시킨다. 이로서 화면의 휘도 및 발광 균일도가 우수한 장점이 있으나, 제작 과정이 복잡하여 표시소자의 제조 비용을 상승시키고, 대형 표시소자의 제작에 불리한 한계가 있다.These spin type emitters form tens or hundreds of emitter arrays per unit pixel, and emit electrons by concentrating an electric field at each emitter tip when voltage is applied. This has the advantage of excellent brightness and uniformity of the screen, but the manufacturing process is complicated to increase the manufacturing cost of the display device, there is a disadvantage in the manufacturing of a large display device.
한편, 면 타입 에미터는 주로 2극관 구조에 형성되며, 애노드 전극과 교차하는 캐소드 전극 위 화소 영역 전체에 형성되고, 실리콘이나 기타 금속에 비해 상대적으로 낮은 일함수를 갖는 물질로 형성되어 물리적으로 뾰족한 선단부를 형성하지 않아도 전압 인가시 에미터 표면 전체에서 전자를 방출시키게 된다.On the other hand, the surface-type emitter is mainly formed in a bipolar structure, formed over the entire pixel region on the cathode electrode intersecting the anode electrode, and formed of a material having a relatively low work function compared to silicon or other metals, so that the physical pointed tip Even without the formation of electrons, electrons are emitted from the entire emitter surface when voltage is applied.
이러한 면 타입 에미터는 주로 그라파이트, 다이아몬드상 카본(DLC; Diamond Like Carbon), 카본 나노튜브, 카본 파이버 등으로 이루어지며, 화학 기상 증착이나 레이져 어블레이션(laser ablation) 등의 박막 공정으로 제조되거나, 스크린 인 쇄와 같은 후막 공정으로 제조되는데, 이 가운데 후막 공정이 박막 공정에 비해 제작 과정이 단순하여 보다 저가의 공정으로 표시소자를 제작할 수 있으며, 대형 표시소자의 제작에 유리한 장점을 갖는다.These surface type emitters are mainly composed of graphite, diamond like carbon (DLC), carbon nanotubes, carbon fibers, and the like, and are manufactured by thin film processes such as chemical vapor deposition or laser ablation, or screens. It is manufactured by a thick film process such as printing. Among them, the thick film process is simpler than the thin film process, so that the display device can be manufactured at a lower cost and has an advantage in manufacturing a large display device.
그러나 후막 공정으로 제작된 면 타입 에미터는, 에미터를 구성하는 각각의 입자들이 대부분 불규칙적으로 배치되어 입자들의 뾰족한 끝부분이 부분적으로 진공에 노출되는데, 전압 인가시 전계는 이와 같이 진공에 노출된 입자들의 뾰족한 끝부분에 주로 집중되고, 여기서 전자 방출이 이루어지므로, 한 화소내의 에미터 내부에서 전자 방출이 불균일하게 발생한다.However, in the surface type emitter manufactured by the thick film process, most of the particles constituting the emitter are irregularly disposed so that the sharp ends of the particles are partially exposed to vacuum, and when the voltage is applied, the electric field is exposed to the vacuum. The electron emission takes place inside the emitter within a pixel, as it is mainly concentrated at the pointed end of the field, where electron emission takes place.
이와 같이 불균일하게 이루어지는 전자 방출로 인하여, 하나의 화소 내부 뿐만 아니라 화면 전체에 걸쳐 발광 균일도 및 휘도를 저하시키는 원인으로 작용한다.This non-uniform emission of electrons acts as a cause of lowering the uniformity and luminance of light emission not only in one pixel but also throughout the screen.
따라서 본 발명은 상기한 문제점을 해소하기 위하여 고안된 것으로서, 본 발명의 목적은 제조 과정이 비교적 용이한 후막 공정으로 에미터를 제작하면서도 단위 화소당 독립적으로 존재하며 각각의 선단부를 갖는 에미터를 형성하여 화면의 휘도 및 발광 균일도를 향상시키는 전계 방출 표시소자 및 그의 제조 방법을 제공하는데 있다.Therefore, the present invention is designed to solve the above problems, the object of the present invention is to produce an emitter by a thick film process, which is relatively easy to manufacture, while being present independently per unit pixel and forming an emitter having each tip portion The present invention provides a field emission display device and a method of manufacturing the same, which improve screen luminance and light emission uniformity.
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은,In order to achieve the above object, the present invention,
제 1 및 제 2기판과,The first and second substrates,
상기 제 1기판의 일면에 스트라이프 패턴으로 형성되는 캐소드 전극과,A cathode electrode formed on one surface of the first substrate in a stripe pattern;
상기 제 1기판과 마주하는 제 2기판의 일면에 캐소드 전극과 수직한 스트라이프 패턴으로 형성되는 애노드 전극과,An anode formed on one surface of the second substrate facing the first substrate in a stripe pattern perpendicular to the cathode electrode;
상기 애노드 전극과 교차하는 캐소드 전극의 화소 영역 내부에 다수개가 독립적으로 배치되면서 각각의 선단부를 형성하고, 전계 형성에 의해 전자를 방출하는 에미터와,An emitter configured to independently form a plurality of front ends and to emit electrons by forming an electric field while a plurality of electrodes are independently disposed in a pixel region of the cathode electrode crossing the anode electrode;
상기 애노드 전극에 형성되며, 전자를 제공받아 발광하는 형광막을 포함하는 전계 방출 표시소자를 제공한다.A field emission display device is formed on the anode and includes a fluorescent film that receives electrons and emits light.
또한 상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은,In addition, the present invention to achieve the above object,
제 1기판에 캐소드 전극을 형성하는 단계와,Forming a cathode on the first substrate;
스크린 매쉬에 다수개의 에미터 압출부를 형성하는 단계와,Forming a plurality of emitter extrusions in the screen mesh,
상기 스크린 매쉬를 제 1기판 위에 장착하는 단계와,Mounting the screen mesh on a first substrate;
에미터 페이스트를 상기 스크린 매쉬 위에 도포하고 스퀴이즈로 압착하면서 각각의 에미터 압출부를 통하여 일정량의 에미터 페이스트를 상기 캐소드 전극 위 화소 영역에 독립적으로 방출시키는 단계와,Applying an emitter paste onto the screen mesh and pressing with a squeeze to independently release a certain amount of emitter paste into the pixel region above the cathode electrode through each emitter extrusion;
방출된 에미터 페이스트를 건조 및 소성하여 에미터 페이스트 내부의 유기 물질을 제거하는 단계와,Drying and firing the released emitter paste to remove organic matter inside the emitter paste,
제 2기판에 애노드 전극과 형광막을 형성하는 단계와,Forming an anode and a fluorescent film on the second substrate;
상기 제 1 및 제 2기판을 일체로 봉착시키는 단계를 포함하는 전계 방출 표시소자의 제조 방법을 제공한다.It provides a method for manufacturing a field emission display device comprising the step of integrally sealing the first and second substrate.
상기한 스크린 매쉬는 캐소드 전극의 화소 영역 내부에 적어도 하나 이상의 에미터 압출부가 배치되도록 에미터 압출부를 형성하며, 에미터 압출부가 형성된 일면이 제 1기판을 향하도록 배치되고, 상기 에미터 압출부는 스크린 매쉬의 표면에서 멀어질수록 점진적으로 큰 직경으로 형성된다.The screen mesh forms an emitter extruded portion such that at least one emitter extruded portion is disposed in a pixel region of the cathode electrode, and one surface on which the emitter extruded portion is formed faces the first substrate, and the emitter extruded portion is formed of a screen. The further away from the surface of the mesh, the larger the diameter is formed.
이로서 에미터는 캐소드 전극의 화소 영역 내부에 다수개가 독립적으로 형성되면서, 각각의 에미터는 스크린 매쉬에 형성된 에미터 압출부 형상에 따라 중앙이 소정의 높이로 돌출된 선단부를 갖게 된다.As a result, a plurality of emitters are independently formed in the pixel region of the cathode electrode, and each emitter has a tip portion protruding to a predetermined height in the center according to the shape of the emitter extruded portion formed on the screen mesh.
따라서 전압 인가시, 에미터 표면에 부분적으로 노출된 입자들의 뾰족한 끝부분에 전계가 집중되어 전자 방출이 이루어질 뿐만 아니라, 에미터 각각에 형성된 선단부에 전계가 균일하게 집중되면서 전자를 방출시키게 되므로, 단위 화소 및 화면 전체에 걸쳐 발광 균일도를 향상시키고, 증가된 전자 방출량으로 인하여 화면의 휘도를 향상시킬 수 있는 장점을 갖는다.Therefore, when voltage is applied, not only the electric field is concentrated at the sharp ends of the particles partially exposed to the emitter surface, but also electrons are emitted, and the electrons are uniformly concentrated at the tip of each emitter, thereby emitting electrons. It has the advantage of improving the uniformity of light emission throughout the pixel and the screen, and the brightness of the screen due to the increased amount of electron emission.
이하, 첨부한 도면을 참고하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명에 의한 전계 방출 표시소자의 단면도로서, 전계 방출 표시소자는 일정한 간격을 두고 대향 배치되는 제 1 및 제 2기판(10, 20)과, 제 1기판(10)의 일면에 스트라이프 패턴으로 형성되는 캐소드 전극(12)과, 캐소드 전극(12)과 마주하는 제 2기판(20)의 일면에 캐소드 전극(12)과 수직한 스트라이프 패턴으로 형성되는 애노드 전극(22)과, 상기 캐소드 전극(12) 위에 배치되는 다수개의 에미터(14)와, 상기 애노드 전극(22) 표면에 형성되는 형광막(24)을 포함한 다.1 is a cross-sectional view of a field emission display device according to an exemplary embodiment of the present invention, wherein the field emission display device includes first and
상기 캐소드 전극(12)과 애노드 전극(22)의 교차 영역이 하나의 화소를 구성함에 따라, 각각의 화소 구동에 필요한 펄스 신호 전압을 캐소드 전극(12)과 애노드 전극(22)에 인가하면, 이들 캐소드 전극(12)과 애노드 전극(22) 사이에 형성된 강한 전계에 의해 해당 화소 영역 내의 에미터(14)에서 전자(점선으로 도시)를 방출시키며, 방출된 전자는 형광막(24)에 충돌하여 이를 발광시킨다.As the cross region of the
상기한 에미터(14)는 낮은 전계에서도 전자를 용이하게 방출시킬 수 있도록 일함수가 낮은 물질, 일례로 그라파이트, 다이아몬드상 카본, 카본 나노튜브, 카본 파이버 등을 주성분으로 하며, 후막 공정으로 제조된다.The
여기서, 본 실시예에 의한 전계 방출 표시소자는 캐소드 전극(12) 위의 단위 화소 영역 내에 다수개의 에미터(14)가 독립적으로 배치되면서, 각각의 에미터(14)는 중앙이 소정의 높이로 돌출 형성된 선단부를 갖는다.In the field emission display device according to the present exemplary embodiment, a plurality of
상기한 에미터(14)는 일례로 도 2에서 도시하는 바와 같이, 사각 형상의 밑면과 일정 높이의 선단부를 갖는 형상으로 이루어지며, 각각의 에미터(14)는 일정한 간격을 두고 서로 분리된 상태로 존재한다.As shown in FIG. 2, the
이로서 전계 방출 표시소자의 작동시, 캐소드 전극(12)과 애노드 전극(22)에 소정의 전압을 인가하면, 각각의 에미터(14)에 형성된 선단부에 전계가 균일하게 집중되면서 단위 화소 전체에 걸쳐 균일한 전자 방출이 이루어진다. 이와 동시에 에미터(14)를 구성하는 입자들 가운데 진공에 부분적으로 노출된 입자들의 끝부분에서 전자 방출이 이루어지는 것은 물론이다.As a result, when a predetermined voltage is applied to the
따라서 본 실시예에 의한 전계 방출 표시소자는, 화소 영역 내에 다수개의 에미터(14)를 독립적으로 배치시키고, 각각의 에미터(14)가 일정 높이의 선단부를 형성함에 따라, 단위 화소 내의 전자 방출을 균일하게 하여 발광 균일도를 향상시키며, 전자 방출량을 증가시켜 화면의 휘도를 효과적으로 향상시킨다.Therefore, in the field emission display device according to the present embodiment, the plurality of
다음으로, 본 발명에 의한 전계 방출 표시소자의 제조 방법을 설명한다.Next, a method of manufacturing the field emission display device according to the present invention will be described.
도 3은 본 발명에 의한 전계 방출 표시소자의 제조 방법을 순차적으로 나타낸 공정 순서도이다.3 is a process flowchart sequentially illustrating a method of manufacturing a field emission display device according to the present invention.
전계 방출 표시소자를 제작하기 위하여, 먼저 도 4에서 도시한 바와 같이, 제 1기판(10) 위에 인듐 틴 옥사이드(ITO) 또는 은을 스퍼터링하고 이를 부분적으로 에칭하거나, ITO 또는 은 페이스트를 스크린 인쇄하여 스트라이프 패턴의 캐소드 전극(12)을 형성한다. 그리고 캐소드 전극(12) 사이사이로 격벽용 페이스트를 스크린 인쇄하고 열처리하여 하부 격벽(16)을 형성한다.In order to fabricate the field emission display device, first, as shown in FIG. 4, indium tin oxide (ITO) or silver is sputtered on the
다음으로, 에미터(14) 형성을 위하여 스크린 매쉬를 특정 패턴으로 제판한다. 상기 스크린 매쉬는 스테인레스 스틸이나 폴리에스테르 또는 나일론 등의 극히 가느다란 강선들이 미세한 격자 형상으로 조직된 공지의 것을 사용하며, 여기에 포토리소그래피 공정을 이용하여 스크린 매쉬를 제판한다.Next, the screen mesh is plated in a specific pattern to form the
상기 스크린 매쉬를 제판하는 과정을 도 5∼도 7을 참고하여 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다. 먼저 통상의 스크린 매쉬(30)를 준비하고, 스크린 매쉬(30)의 일면에 포지티브 타입의 제판 유제, 즉 포토레지스트 용액을 도포한 다음 건조하여 제 1포토레지스트 필름(32)으로 경화시킨다.The process of making the screen mesh will be described in more detail with reference to FIGS. 5 to 7 as follows. First, a
그리고 스크린 매쉬(30) 위에 다수개의 홀(34a)이 형성된 노광 마스크(34)를 장착하고, 도시하지 않은 노광 램프를 작동시켜 일정 시간 동안 노광을 행한다. 노광 작업에 의해 노광 마스크(34)에 형성된 홀(34a)을 통하여 빛(화살표로 도시)을 조사받은 제 1포토레지스트 필름(32)의 일부분은 화학 반응에 의해 용해도가 증가하게 된다.Then, an
이로서 노광 마스크(34)를 제거하고 제 1포토레지스트 필름(32)을 현상하면 용해도가 증가된 부분이 제거되면서 제 1포토레지스트 필름(32)은 도 6에서 도시한 바와 같이 다수개의 제 1에미터 압출용 홀(32a)을 형성한다.As a result, when the
그리고 도 7에서 도시한 바와 같이, 제 1포토레지스트 필름(32) 표면에 제 2포토레지스트 필름(36)을 형성하고, 이를 부분 노광 및 현상하여 제 1에미터 압출용 홀(32a) 상부에 제 1에미터 압출용 홀(32a)보다 큰 직경을 갖는 제 2에미터 압출용 홀(36a)을 형성한다.As shown in FIG. 7, the
한번의 제판 유제 도포로 형성되는 포토레지스트 필름의 두께가 대략 1∼2 ㎛이므로, 스크린 매쉬(30)에 형성되는 전체 포토레지스트 필름의 두께가 대략 10 ㎛ 정도가 될 때까지 상기한 과정, 즉 포토레지스트 필름의 형성과 부분 노광 및 현상 과정을 적어도 5회 이상 반복 실시한다.Since the thickness of the photoresist film formed by the application of one plate making emulsion is approximately 1 to 2 µm, the above-described process, that is, the photo, is performed until the thickness of the entire photoresist film formed on the
이 때, 각각의 포토레지스트 필름에 형성되는 에미터 압출용 홀의 직경을 먼저 형성된 에미터 압출용 홀의 직경보다 점진적으로 크게 형성하여, 도 8에서 도시한 바와 같이 최종 스크린 매쉬(30)에 형성되는 다층 포토레지스트 필름(38)은 스크린 매쉬(30)의 표면에서 멀어질수록 점진적으로 큰 직경을 갖는 에미터 압출부(38a)를 형성한다.At this time, the diameter of the emitter extrusion hole formed in each photoresist film is gradually formed larger than the diameter of the emitter extrusion hole formed first, and as shown in FIG. 8, the multilayer formed on the
이와 같이 스크린 매쉬(30)를 제판하여 다수개의 에미터 압출부(38a)를 형성하며, 단위 화소 영역 내에 적어도 하나 이상, 보다 바람직하게는 복수개의 에미터 압출부(38a)가 배치되도록 다층 포토레지스트 필름(38)을 패턴화한다.As such, the
다음으로, 패턴화된 스크린 매쉬(30)를 제 1기판(10) 위에 일정한 간격을 두고 장착한다. 특히, 상기 스크린 매쉬(30)는 스퀴이즈(40)의 이동을 원활하게 하고, 각각의 에미터가 에미터 압출부(38a) 형상대로 형성될 수 있도록 상기한 다층 포토레지스트 필름(38)이 형성된 일면이 제 1기판(10)을 향하도록 배치된다.Next, the patterned
그리고 스크린 매쉬(30) 위에 에미터 페이스트(42)를 도포하고, 스퀴이즈(40)를 스크린 매쉬(30)의 일측단부터 반대편 일측단까지 이동시켜 에미터 페이스트(42)를 압착하면서 각각의 에미터 압출부(38a)를 통하여 일정량의 에미터 페이스트(42)를 캐소드 전극(12) 위로 압출시킨다.Then, the
이와 같이 캐소드 전극(12) 위로 인쇄된 에미터 페이스트(42)는 에미터 압출부(38a)의 형상에 따라 중앙부가 일정 높이를 갖는 선단부를 형성하게 되며, 인쇄된 각각의 에미터 페이스트(42)는 인접한 에미터 페이스트와 겹쳐지는 일 없이, 단위 화소 영역 내에 다수개가 독립적으로 배치된다.The
이는 에미터 페이스트(42)의 인쇄 후, 형태가 흐트러지지 않고 선단부 형상을 유지하면서 인접한 에미터 페이스트와 겹쳐지지 않을 정도로, 에미터 페이스트(42)의 점도를 조절하는 것으로 용이하게 실현될 수 있다.This can be easily realized by adjusting the viscosity of the
이상과 같이 캐소드 전극(12) 위에 에미터 페이스트(42)를 인쇄한 다음, 건 조 및 소성 과정을 거쳐 에미터 페이스트(42) 내부의 유기 물질을 제거한다.As described above, the
에미터 페이스트(42)는 일례로 그라파이트를 주성분으로 하며, 인쇄에 적합한 점도를 가지도록 솔벤트와 바인더 등의 첨가제가 혼합되어 이루어지는데, 인쇄 공정 후 행해지는 건조 및 소성 과정에 의해 에미터 페이스트(42) 내부의 유기 물질이 제거되면서 최종 에미터(14)로 완성된다.For example, the
완성된 에미터(14)는 상술한 바와 같이 단위 화소 영역 내에 다수개가 독립적으로 배치되면서 각각의 에미터(14)는 일정한 높이를 갖는 선단부를 형성한다. 이러한 에미터(14)의 제작은 스크린 매쉬(30)의 패턴 형상을 조절하는 것으로 에미터(14)의 형상과 크기, 배치 간격 및 단위 화소 내의 에미터(14) 개수 등을 용이하게 조절할 수 있다.As described above, a plurality of
이어서, 도 9에서 도시한 바와 같이, 투명한 제 2기판(20) 위에 앞서 설명한 캐소드 전극(12)과 동일한 제작 과정으로 스트라이프 패턴의 애노드 전극(22)을 형성하고, 애노드 전극(22) 위에 형광체 페이스트를 도포한 후 열처리하여 형광막(24)을 형성하며, 애노드 전극(22) 사이사이로 공지의 격벽용 페이스트를 인쇄한 다음 열처리하여 상부 격벽(26)을 형성한다.Subsequently, as shown in FIG. 9, a stripe
마지막으로, 공지의 봉착 과정을 거쳐 제 1기판(10)과 제 2기판(20)을 일체로 봉착시키고, 표시소자 내부가 고진공이 되도록 배기시킨 다음, 표시소자를 밀봉함으로써 도 1에서 도시한 것과 같은 전계 방출 표시소자를 완성한다.Finally, the
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited thereto, and various modifications and changes can be made within the scope of the claims and the detailed description of the invention and the accompanying drawings. Naturally, it belongs to the range of.
이와 같이 본 발명은 화소 영역 내에 다수개의 에미터를 독립적으로 배치시키고, 각각의 에미터가 일정 높이의 선단부를 형성함에 따라 단위 화소 내의 전자 방출을 균일하게 하며 전자 방출량을 증가시켜 화면의 발광 균일도 및 휘도를 효과적으로 향상시킬 수 있다.As described above, according to the present invention, a plurality of emitters are independently disposed in the pixel area, and as each emitter forms a tip portion having a predetermined height, the electron emission in the unit pixel is uniformed and the amount of electron emission is increased to increase the uniformity of emission of the screen. The brightness can be effectively improved.
또한 상기 에미터를 후막 공정으로 제작함으로써 표시소자의 제조 비용을 낮추고, 대형 표시소자의 제작에 보다 유리한 장점을 갖는다.In addition, the emitter is manufactured by a thick film process, thereby lowering the manufacturing cost of the display device and having a more advantageous advantage in manufacturing a large display device.
Claims (6)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019990048646A KR100560532B1 (en) | 1999-11-04 | 1999-11-04 | Field emission display device and manufacturing method of the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019990048646A KR100560532B1 (en) | 1999-11-04 | 1999-11-04 | Field emission display device and manufacturing method of the same |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20010045381A KR20010045381A (en) | 2001-06-05 |
KR100560532B1 true KR100560532B1 (en) | 2006-03-15 |
Family
ID=19618554
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019990048646A KR100560532B1 (en) | 1999-11-04 | 1999-11-04 | Field emission display device and manufacturing method of the same |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100560532B1 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004021036A (en) * | 2002-06-18 | 2004-01-22 | Jsr Corp | Antireflection film and display element having same |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6012639A (en) * | 1983-06-30 | 1985-01-23 | Mitsubishi Electric Corp | Manufacture of phosphor screen of cathode-ray tube for light source |
KR19990015280A (en) * | 1997-08-04 | 1999-03-05 | 손욱 | Triode type field emission display device |
KR19990019614A (en) * | 1997-08-29 | 1999-03-15 | 손욱 | Field emission display device and manufacturing method thereof |
KR19990025531A (en) * | 1997-09-12 | 1999-04-06 | 윤종용 | Field effect electron emission device and manufacturing method thereof |
KR19990043891A (en) * | 1997-11-29 | 1999-06-15 | 김영남 | Field emission indicator |
-
1999
- 1999-11-04 KR KR1019990048646A patent/KR100560532B1/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6012639A (en) * | 1983-06-30 | 1985-01-23 | Mitsubishi Electric Corp | Manufacture of phosphor screen of cathode-ray tube for light source |
KR19990015280A (en) * | 1997-08-04 | 1999-03-05 | 손욱 | Triode type field emission display device |
KR19990019614A (en) * | 1997-08-29 | 1999-03-15 | 손욱 | Field emission display device and manufacturing method thereof |
KR19990025531A (en) * | 1997-09-12 | 1999-04-06 | 윤종용 | Field effect electron emission device and manufacturing method thereof |
KR19990043891A (en) * | 1997-11-29 | 1999-06-15 | 김영남 | Field emission indicator |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20010045381A (en) | 2001-06-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7153177B2 (en) | Flat-panel display and flat-panel display cathode manufacturing method | |
JP2001043817A (en) | Electric field emission display device | |
JP2006049287A (en) | Electron emission device and its manufacturing method | |
JP2006049290A (en) | Electron emitter and manufacturing method of same | |
KR20010062703A (en) | Field emission cathode, electron emission device and electron emission device manufacturing method | |
KR100560532B1 (en) | Field emission display device and manufacturing method of the same | |
KR20060124209A (en) | Electron emission device and method for manufacturing the same | |
JP4132502B2 (en) | Flat display and manufacturing method thereof | |
KR100315230B1 (en) | Field emission display device and manufacturing method of the same | |
JP4649739B2 (en) | Method for manufacturing cold cathode field emission device | |
JP2000182508A (en) | Field emission type cathode, electron emitting device, and manufacture of electron emitting device | |
KR100612271B1 (en) | Field emission display device and method for manufacturing thereof | |
JP3239652B2 (en) | Light emitting device and method of manufacturing the same | |
KR20060104654A (en) | Electron emission device and method for manufacturing the same | |
KR20010075970A (en) | Field emission display device and method for making thereof | |
KR20060011665A (en) | Electron emission device and method for manufacturing the same | |
KR100400206B1 (en) | Method for manufacturing spacer of field effect electron emitter | |
KR100303546B1 (en) | Field emission display and manufacturing method of the same | |
KR20070056614A (en) | Method for manufacturing electron emission device | |
KR100258800B1 (en) | Method of fabricating spacer and gate-electrode of fed | |
KR20070039257A (en) | Electron emission device and method for manufacturing the same | |
KR100236657B1 (en) | Mask for fabrication of sealing line and manufacturing method thereof | |
KR20070014624A (en) | Electron emission device and method of manufacturing the same | |
KR20060020021A (en) | Electron emission device and method of manufacturing the same | |
KR20030018490A (en) | Method for printing negative pattern using by cross printing and field emission display device having gate hole made by the same method |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20120221 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130222 Year of fee payment: 8 |
|
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |