KR19990011404A - 수동지침이 장착된 압력계 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 제조 설비에 장착되어 있는 압력계에 수동지침을 부착하여 압력의 변화를 작업자가 육안으로 용이하게 확인할 수 있도록 하는 수동지침이 장착된 압력계에 관한 것으로서, 몸체부 하부면에서부터 상부면 바늘 상부까지 관통하여 중심축이 설치되고, 바늘의 상부면 위치의 중심축에 수동 지침이 고정되는 한편 몸체부 하부면의 중심축에는 손잡이가 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 수동 지침이 장착된 압력계를 제공하여 압력의 변화를 육안으로 신속하게 확인할 수 있어 압력의 변화로 인한 누출 및 장비의 고장 등에 신속하게 대처할 수 있다.

Description

수동지침이 장착된 압력계(Pressure gauge having a manual guide)

본 발명은 반도체 제조 설비에 가장 보편적으로 사용되고 있는 압력계(pressure gauge)에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체 제조 설비에 장착되어 있는 압력계에 수동지침을 부착하여 압력의 변화를 작업자가 육안으로 용이하게 확인할 수 있도록 하는 수동지침이 장착된 압력계에 관한 것이다.

오늘날 반도체 산업은 산업의 쌀이라고 불려질 만큼 중요한 위치를 차지하게 되었으며, 전자 및 정보화 사회의 초석이 되었다. 이러한 반도체 소자를 생산하기 위한 제조 공정 및 장치에서 가장 많이 사용되는 장치 중에 하나가 압력계이며, 압력계는 반도체 장치 및 장치에 원료를 공급하는 배관망 등에 설치되어 그 배관 내를 흐르는 유체(流體) 압력을 지시하는 계기로 활용되고 있다.

반도체 공정 특성상 이와 같은 기체 또는 액체 상태의 유체가 많이 사용되고 있으며, 이와 같이 사용상 유체의 상태를 확인하기 위하여 압력계를 많이 이용하고 있고 때에 따라 압력계로 읽어들인 값을 기준으로 하여 반도체 제조 공정 조정도 실시하고 있다.

이하, 도 1을 참조하여 종래 기술에 의한 일반적인 압력계에 관하여 설명하면, 먼저 배관 또는 압력을 측정하고자 하는 대상물에 연결될 수 있도록 연결부(20)가 형성되어 있고, 연결부(20)와 연결된 압력계(10)의 몸체부(11)에는 측정된 압력의 변화에 의해 연동 되는 바늘(40)과, 일정한 압력을 수치로 나타내는 지시판(30)을 갖고 있다. 이와 같은 압력계(10)는 공지 기술로 알려져 있고 널리 사용되고 있으므로 여기서는 상세한 설명은 생략하기로 한다.

현재 이와 같이 사용되고 있는 압력계는 현재의 사용압력 값만을 읽어 들일 수 있도록 되어 있으며, 압력의 변동 사항을 읽어 들일 수 없다. 즉, 종전의 압력과 현재의 압력의 차이를 읽기 위해서는 종래의 압력을 기록 보관하거나, 압력계의 유리 기판에 싸인 펜 등으로 표시하는 방법으로 종전의 압력과 현재의 압력을 비교하는 방법을 사용하였다. 이러한 방법은 매우 번거로울 뿐만이 아니라 작업자의 확인 시간이 오래 걸린다는 단점이 있다. 또한, 압력의 변화에 민감한 장치와 연결되어 있는 경우 압력의 변화를 늘 확인한다는 것은 매우 어려운 일이다.

따라서, 본 발명의 목적은 반도체 제조 공정 및 장치에서 가장 많이 사용되고 있는 압력계의 압력을 확인하기 곤란하던 종래의 단점을 극복하기 위한 수동지침이 장착된 압력계를 제공하여 종래의 압력과 현재의 압력을 용이하게 확인 할 수 있도록 하는 수동지침이 장착된 압력계를 제공하는데 있다.

도 1은 종래 기술에 의한 일반적인 압력계를 나타내는 정면도,

도 2는 본 발명에 의한 수동지침이 장착된 압력계를 나타내는 분해 사시도이다.

* 도면의 주요 부호에 대한 부호의 설명

10, 12 : 압력계 11, 14 : 몸체부

16, 17 : 커버 20, 22 : 연결부

30, 44 : 지시판 32 : 지시눈금

40, 42 : 바늘 52 : 수동지침

54 : 중심축 56 : 손잡이

상기 목적을 달성하기 위하여 압력을 측정하기 위한 소정의 장치가 내장되어 있는 몸체부가 있고, 상기 몸체부 일측에 연결부가 형성되어 압력을 측정할 대상물에 연결되고, 상기 몸체부 상부면에 측정된 압력을 나타내기 위한 지시판과 바늘이 구비되어 있고, 상기 지시판과 바늘을 보호하기 위해 상기 몸체부 상부면에 고정되는 투명 뚜껑을 포함하고 있는 압력계에 있어서, 상기 몸체부 하부면에서부터 상부면 바늘 상부까지 관통하여 중심축이 설치되고, 상기 바늘의 상부면 위치의 중심축에 수동 지침이 고정되는 한편 상기 몸체부 하부면의 중심축에는 손잡이가 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 수동 지침이 장착된 압력계를 제공한다.

이하, 도 2를 참조하여 본 발명에 관하여 보다 상세하게 설명하고자 한다.

먼저, 소정의 압력을 측정하기 위한 측정 장치가 내장되어 있는 몸체부(14)가 있고, 몸체부(14)의 일측에는 압력을 측정하고자 하는 대상과 연결되기 위한 연결부(22)가 형성되어 있다. 몸체부(14) 상부면에는 측정된 압력을 나타내기 위한 지시판(44)과 바늘(42)이 형성되어 있고, 몸체부(14) 상부면의 지시판(44)과 바늘(42)을 보호하기 위한 투명 커버(16)가 장착되어 있다.

그리고, 중심축(54)이 몸체부(14) 하부면에서부터 바늘(42)의 상부면까지 관통하여 형성되어 있고, 바늘(42) 상부면의 위로 돌출된 중심축(54)의 말단에는 수동 지침(52)이 고정되어 있다. 또한, 몸체부(14) 하부면에 돌출된 중심축(54)에는 손잡이(56)가 고정되어 있으며, 손잡이(56)를 이용하여 중심축(54)의 다른 말단에 고정된 수동 지침(52)을 움직일 수 있도록 되어 있다.

이를 좀더 설명하면, 압력계 몸체부(14)를 관통하고 있는 중심축(54)은 압력계 몸체부(14) 내부에 압력을 측정하기 위한 장치에 전혀 영향을 미치지 않도록 되어 있으며, 중심축(54)은 단지 몸체부(14)의 하부의 손잡이(56)와 수동 지침(52) 만을 연결하는 역할을 하도록 되어 있다.

즉, 압력계 몸체부(14)의 중심을 관통하여 장착되는 중심축(54)은 압력계의 작동에 영향을 미치지 않도록 관통되어 장착되고, 중심축(54)의 지시판(44) 상부면으로 돌출된 말단부에 수동 지침(52)을 고정한 것이다.

또한, 중심축(54)은 몸체부(14)에 끼움 고정되어 있어 작업자가 손잡이(56)를 돌려 손잡이(56)와 연결된 수동 지침(52)을 움직일 수 있도록 되어 있다.

지시판(44)에는 소정의 압력을 표시하는 눈금 및 숫자가 표기되어 있으며, 바늘(42)이 가리키는 위치에 따라 표시된 압력을 작업자가 용이하게 읽을 수 있도록 되어 있다.

이와 같이 수동 지침이 장착된 압력계의 사용방법을 설명하면, 압력을 측정하기 위한 대상에 수동 지침 압력계를 설치하고, 각 장치에 따른 소정의 압력을 걸어 장치를 사용한다. 그러면, 압력계는 측정하고자 하는 대상물에 따라 각 압력을 바늘이 가리키게 되고, 이때 압력계 몸체부 하부에 장착된 손잡이를 회전시켜 수동 지침을 현재 바늘이 가리키고 있는 위치와 일치시킨다. 그후 작업자가 사용되고 있는 압력을 확인할 때 수동 지침과 압력계의 바늘이 서로 어긋나 있으면 압력의 변화가 발생한 것이다.

이와 같이 압력의 변화를 작업자가 쉽게 육안으로 파악할 수 있도록 되어 있으며, 수동 지침과 압력계의 바늘이 일치하지 않는 경우가 발생하면, 사용하고 있는 장치에 압력의 변화가 발생하였다는 것이다. 압력의 변화는 작동 상태의 이상 및 누출이 발생하였다는 것을 나타내는 것이므로 압력의 변화에 대한 적절한 대책을 빨리 취할 수 있다.

따라서, 본 발명에 의한 수동 지침이 장착된 압력계는 일정한 압력을 사용하고 있는 장치에 장착하여 압력의 변화를 기록 등의 확인을 통하지 않고 육안으로 간단하게 비교 판단할 수 있어 압력의 변화로 인한 누출 및 장비의 이상을 긴급히 파악할 수 있다. 이는 압력의 변화로 인한 누출 및 장비의 이상을 신속하게 파악하여 대처할 수 있는 이점을 제공한다.

Claims (2)

1. 압력을 측정하기 위한 소정의 장치가 내장되어 있는 몸체부가 있고, 상기 몸체부 일측에 연결부가 형성되어 압력을 측정할 대상물에 연결되고, 상기 몸체부 상부면에 측정된 압력을 나타내기 위한 지시판과 바늘이 구비되어 있고, 상기 지시판과 바늘을 보호하기 위해 상기 몸체부 상부면에 고정되는 투명 뚜껑을 포함하고 있는 압력계에 있어서,

   상기 몸체부 하부면에서부터 상부면 바늘 상부까지 관통하여 중심축이 설치되고, 상기 바늘의 상부면 위치의 중심축에 수동 지침이 고정되는 한편 상기 몸체부 하부면의 중심축에는 손잡이가 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 수동 지침이 장착된 압력계.
2. 제 1항에 있어서, 상기 중심축은 상기 몸체부의 압력측정 장치 및 바늘과 개별적으로 움직이도록 장착되어 있는 것을 특징으로 하는 수동 지침이 장착된 압력계.