KR200305030Y1 - 온도계측기 겸 압력계측기 - Google Patents

Abstract

본 고안에 따른 온도계측기 겸 압력계측기는, 온도계측부와 압력계측부가 동시에 수용된 케이스로 이루어지고, 상기 압력계측부는 온도계측부의 감지봉에서 온도를 감지함과 동시에 온도계측부의 결합구에 압력을 감지하는 유입구를 형성하여 유체의 압력을 감지하도록 구성되어 있으므로, 하나의 계측기에서 계측하고자 하는 유체를 동일 지점에서 동시에 편리하게 온도와 압력을 계측할 수 있는 이점이 있고, 온도와 압력계의 분리 설치에 따른 공간의 제약, 설치비 증가, 온도와 압력의 계측 지점의 차이로 인한 유체 측정값의 오차 방지할 뿐만 아니라 산업 현장에서는 따로 설치된 온도 및 압력 계측기에서의 온도와 압력의 계측시 보다는 운전자의 안전성을 확보할 수 있으며, 또한, 하나로 통합하여 온도와 압력 계측기를 구성하고 있으므로, 부품수가 감소되어 제조 원가가 절감되는 효과가 있다.

Description

온도계측기 겸 압력계측기{Thermometer and pressure gauge}

본 고안은 하나의 계측기에서 온도 및 압력을 동시에 측정할 수 있도록 한 온도계측기 겸 압력계측기에 관한 것이다.

일반적으로, 용량, 속도, 진동, 온도, 압력, 열량 및 길이 등의 양의 크기나 물리적인 상태를 양적(수치)으로 포착하여 지시 또는 기록 표시하는 장치가 계측기이다.

이중 액체 또는 기체의 압력, 또는, 중력에 의하여 생기는 압력을 측정하는 계측기로서, 그 측정하는 방법에 따라 기지의 중량과 균형을 이루게 하는 액주 압력 측정기, 분동식 압력측정기와 탄성체의 탄성력과 균형을 이루게 하는 부르동관 압력측정기, 다이아프램 및 압력에 의해 변화하는 물리 현상을 이용하는 전기저항 압력 측정기 등이 있다.

이러한 많은 압력 계측기 중에서 일반적으로 압력을 눈금판에서 바로 볼 수 있고 간편하게 사용할 수 있는 부르동관 압력 계측기가 널리 사용되고 있다.

그리고 이러한 압력 계측기와 함께 반도체 제조 공정의 산화 설비 및 확산 설비 등에 많이 설치하여 사용하고 있는 온도 계측기에는 두 종류의 금속선 양단을 접합시켜 폐회로를 만들고 양 접합점의 온도를 변화시켜 발생되는 열기전력을 이용하여 측정하는 열전온도계와, 수은의 열팽창을 이용한 수은온도계, 그리고, 산화성 분위기에 강하고 400℃에서 1400℃의 고온에서 측정할 수 있는 공업용으로 가장 널리 사용되는 열전쌍을 이용한 온도센서 등이 있다.

그러나, 이러한 온도계측기 및 압력계측기는 따로 따로 설치되어 그 설치 공간을 별도로 두어야 하는 단점에 있고, 또한 작업자가 각각 설치된 계측기를 동시에 확인하는 것이 불가능하여 점검 작업이 매우 번거로워 그 결과 작업성이 저하되는 문제점이 있었다.

본 고안은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 고안의 목적은 하나의 계측기의 동일 지점에서 온도와 압력을 각각 측정할 수 있도록 한 새로운 형태의 압력과 온도를 동시에 측정하는 온도계측기 겸 압력계측기를 제공하는 데 있다.

따라서, 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 이루어진 본 고안에 의한 온도계측기 겸 압력계측기는, 온도계측부와 압력계측부가 동시에 수용된 케이스로 이루어지고; 상기 온도계측부는, 온도표시침에 연결된 바이메탈과, 상기 바이메탈을 수용하여 공정챔버내의 유체의 온도를 감지하는 감지봉과, 상기 감지봉의 상단 외측에 결합되어 상기 고정챔버에 고정시키기 위한 결합구로 이루어지며, 상기 압력계측부는, 상기 온도계측부의 결합구의 하부에서 관통되어 유입된 유체의 압력을 감지하여 유체압력을 전달하는 소켓과, 상기 소켓에 부착되어 유체 압력에 따라서 위치가 변화하는 부르동관과, 상기 부르동관의 위치 변화에 따라 연동되면서 압력표시침의 축과 기어 결합된 변환기를 포함하여 구성되며, 상기 압력계측부는 온도계측부의 감지봉에서 온도를 감지함과 동시에 온도계측부의 결합구에 압력을 감지하는 유입구를 형성하여 유체의 압력을 감지하도록 구성된 것을 특징으로 한다.

도1은 본 고안에 따른 온도계측기 겸 압력계측기를 도시한 평면도,

도2는 도1의 A-A선에 따른 단면도,

도3은 본 고안에 따른 또 다른 타입의 온도계측기 겸 압력계측기를 도시한 평면도,

도4는 도3의 B-B 선에 따른 단면도이다.

<도면의 주요 부호에 대한 설명>

10 : 온도계측부 11 : 온도표시침

12 : 바이메탈 13 : 공정 챔버

14 : 감지봉 15 : 결합구

20 : 압력계측부 21 : 소켓

22 : 부르동관(bourdon tube) 23 : 압력표시침

24 : 축 25 : 변환기

26 : 유입구 27 : 모세관

30 : 케이스

이하, 본 고안을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도1은 본 고안에 따른 온도계측기 겸 압력계측기를 도시한 평면도이고, 도2는 도1의 A-A선에 따른 단면도이며, 도3은 본 고안에 따른 또 다른 타입의 온도계측기 겸 압력계측기를 도시한 평면도이며, 도4는 도3의 B-B 선에 따른 단면도이다.

도1 내지 도4에 도시된 바와 같이, 본 고안에 의한 온도계측기 겸 압력계측기는, 온도계측부(10)와 압력계측부(20)가 동시에 수용된 케이스(30)로 이루어진다.

상기 온도계측부(10)는, 온도 표시침(11)에 연결된 바이메탈(12)과, 상기 바이메탈(12)을 수용하여 공정 챔버(13) 내의 유체의 온도를 감지하는 감지봉(14)과, 상기 감지봉(14)의 상단 외측에 결합되어 상기 공정 챔버(13)에 고정시키기 위한 결합구(15)로 이루어지며, 상기 압력계측부(20)는, 상기 온도계측부(10)의 결합구(15)의 하부에서 관통되어 유입된 유입구(26)에서 감지된 유체의 압력을 모세관(27)을 통하여 전달하는 소켓(21)과, 상기 소켓(21)에 부착되어 유체 압력에 따라서 위치가 변화하는 부르동관(22)과, 상기 부르동관(22)의 위치 변화에 따라 연동되면서 압력 표시침(23)의 축(24)과 기어 결합된 변환기(25)를 포함하여 구성되며, 상기 압력계측부(20)는 온도계측부(10)의 감지봉(14)에서 온도를 감지함과 동시에 온도계측부(10)의 결합구(15)에 압력을 감지하는 유입구(26)를 형성하여 유체의 압력을 감지하도록 구성된다.

다음에, 이와 같이 구성된 본 고안의 작용 및 효과를 설명한다.

먼저, 본 고안에 의한 온도계측기 겸 압력계측기에 있어서, 공정 챔버(13)내의 유체 내에 잠겨 있는 감지봉(14)에서 유체의 온도를 감지하게 되는 바, 상기 감지봉(14)의 내부에 설치되어 상기 온도 표시침(11)과 연결된 바이메탈(12)이 팽창 및 수축하면서 온도 표시침(11)을 움직여 온도를 표시하게 된다.

그리고, 이와 동시에 공정 챔버(13) 내의 유체가 상기 결합구(15)의 유입구(26)를 통하여 유체의 압력이 감지되면, 이 압력을 모세관(27)을 통하여 소켓(21)에 전달되고, 이 소켓(21)과 결합된 부르동관(22)이 팽창하면서 그 일단에 결합된 변환기(25)를 이동시키게 된다. 이 변환기(25)는 회전하면서 압력 표시침(23)의 하부에 결합된 축(24)을 회전시켜 압력을 표시하게 된다.

따라서, 본 고안의 온도계측기 겸 압력계측기는 유체의 온도 및 압력의 감지를 결합구(15) 하나로 일원화하였다. 또한 상기 결합구(15)의 결착 방식은 온도계측기 겸 압력계측기에 대하여 수직 또는 수평으로 결착된 형태에 모두 가능하다.

상기한 바와 같이, 본 고안에 따른 온도계측기 겸 압력계측기에 있어서, 상기 압력계측부는 온도계측부의 감지봉에서 온도를 감지함과 동시에 온도계측부의 결합구에 압력을 감지하는 유입구를 형성하여 유체의 압력을 감지하도록 구성되어 있으므로, 하나의 계측기에서 계측하고자 하는 유체를 동일 지점에서 동시에 편리하게 온도와 압력을 계측할 수 있는 이점이 있고, 온도와 압력계의 분리 설치에 따른 공간의 제약, 설치비 증가, 온도와 압력의 계측 지점의 차이로 인한 유체 측정값의 오차 방지할 뿐만 아니라 산업 현장에서는 따로 설치된 온도 및 압력 계측기에서의 온도와 압력의 계측시보다는 운전자의 안전성을 확보할 수 있으며, 또한,하나로 통합하여 온도와 압력 계측기를 구성하고 있으므로, 부품수가 감소되어 제조 원가가 절감되는 효과가 있다.

Claims (1)

1. 온도계측부(10)와 압력계측부(20)가 동시에 수용된 케이스(30)로 이루어지고;

   상기 온도계측부(10)는, 온도 표시침(11)에 연결된 바이메탈(12)과, 상기 바이메탈(12)을 수용하여 공정 챔버(13) 내의 유체의 온도를 감지하는 감지봉(14)과, 상기 감지봉(14)의 상단 외측에 결합되어 상기 공정 챔버(13)에 고정시키기 위한 결합구(15)로 이루어지며;

   상기 압력계측부(20)는, 상기 온도계측부(10)의 결합구(15)의 하부에서 관통되어 유입된 유입구(26)에서 감지된 유체의 압력을 모세관(27)을 통하여 전달하는 소켓(21)과, 상기 소켓(21)에 부착되어 유체 압력에 따라서 위치가 변화하는 부르동관(22)과, 상기 부르동관(22)의 위치 변화에 따라 연동되면서 압력 표시침(23)의 축(24)과 기어 결합된 변환기(25)를 포함하여 구성되며;

   상기 압력계측부(20)는 온도계측부(10)의 감지봉(14)에서 온도를 감지함과 동시에 온도계측부(10)의 결합구(15)에 압력을 감지하는 유입구(26)를 형성하여 유체의 압력을 감지하도록 구성된 것을 특징으로 하는 온도계측기 겸 압력계측기.