KR19990039342A - 압력과 온도를 측정하는 혼합 계측기 - Google Patents

Abstract

본 발명은 단일의 계측기에서 온도와 압력을 같이 측정할 수 있도록 한 압력과 온도를 측정하는 혼합 계측기에 관한 것으로, 원형의 몸체부와, 몸체부 내부에 설치되며 외부로부터 유입되는 압력을 측정하여 표시하는 압력측정부와, 몸체부의 소정위치에 설치되고 일단이 압력측정부에 연결되어 압력측정부로 압력이 유입되도록 하는 유입부 및, 몸체부 내부에 설치되며 유입부상에서 온도를 측정하여 표시하는 온도측정부로 이루어진다.

이와 같은 장치에 의해 압력과 온도를 단일의 계측기에서 측정하므로써 설치공간이 줄어들고, 작업자의 온도 및 압력을 확인하는 점검작업이 간소화되도록 한 것이다.

Description

압력과 온도를 측정하는 혼합 계측기(Combination instrument for measuring pressure and temperature)

본 발명은 압력과 온도를 측정하는 혼합 계측기에 관한 것으로, 보다 상세하게는 단일의 계측기에서 온도와 압력을 같이 측정할 수 있도록 한 압력과 온도를 측정하는 혼합 계측기에 관한 것이다.

용량, 속도, 진동, 온도, 압력, 열량, 길이등 양의 크기나 물리적 상태를 양적(수치)으로 포착하여 지시 또는 기록 표시하는 장치가 계측기(Measuring Instruments and Apparatus)이다.

이중 액체 또는 기체의 압력, 또는 중력에 의하여 생기는 압력을 측정하는 계측기로써, 그 측정하는 방법에 따라 기지의 중량과 균형을 이루게 하는 액주압력측정기, 분동식 압력측정기와 탄성체의 탄성력과 균형을 이루게 하는 부르동관 압력측정기, 다이어프램 및 압력에 의해 변화하는 물리현상을 이용하는 전기저항 압력측정기등이 있다.

이러한 많은 압력 계측기중에서 일반적으로 압력을 눈금판에서 바로 볼 수 있고 간편하게 사용할 수 있는 부르동관 압력측정기가 반도체 제조공정에 널리 쓰이고 있다.

그리고 이러한 압력 계측기와 함께 반도체 제조공정의 산화설비 및 확산설비등에서 많이 설치하여 사용하고 있는 온도 계측기에는 두종류의 금속선 양단을 접합시켜 폐회로를 만들고, 양접합점의 온도를 변화시켜 발생되는 열기전력을 이용하여 측정하는 열전온도계와, 수은의 열팽창을 이용한 수은온도계, 그리고 산화성 분위기에 강하고 400도에서 1400도의 고온에서도 측정할 수 있는 공업용으로 가장 널리 사용되는 열전쌍을 이용한 온도센서등이 있다.

도 1은 공정챔버에 일반적인 압력 계측기와 온도 계측기가 설치된 것을 개략적으로 보여주는 단면도이다.

이를 참조하면, 원형의 몸체부(12) 내부에 설치되며 외부로부터 유입되는 압력을 측정하여 표시하는 압력측정부(14)와; 상기 몸체부(12)의 소정위치에 설치되고 일단이 상기 압력측정부(14)에 연결되어 상기 압력측정부(14)로 압력이 유입되도록 하는 압력유입부(16)로 이루어진 압력계측기(10)가 공정챔버(20)에 장착된다.

그리고 온도를 검출하는 검출부(32)와, 상기 검출부(32)로부터 검출된 측정치를 표시하는 표시부(34)로 이루어진 온도 계측기(30)가 상기 공정챔버(20)에 설치된다.

이와 같이 공정챔버(20)등의 여러 설비에는 생산품질과 안전을 위해 온도와 압력을 측정하는 온도 계측기(30) 및 압력 계측기(10)가 다량으로 설치되어 있다.

즉, 온도 계측기(30) 및 압력 계측기(10)를 각각 설치해야 하므로 그 설치공간이 불필요하게 많이 소요되고, 또한 작업자가 각각 설치된 계측기를 모두 확인해야 하므로써 그 점검작업이 매우 번거러워 그 결과 작업성이 떨어지는 문제가 발생된다.

본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 하나의 계측기에서 압력과 온도를 각각 측정할 수 있도록 한 새로운 형태의 압력과 온도를 측정하는 혼합 계측기를 제공하는 것이다.

도 1은 일반적인 압력 계측기와 온도 계측기가 공정챔버에 설치된 것을 개략적으로 보여주는 단면도,

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 압력과 온도를 측정하는 혼합 계측기가 공정챔버에 설치된 것을 나타내는 부분 단면도이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

40 : 혼합계측기 42 : 몸체부

44 : 압력측정부 46 : 유입부

48 : 온도측정부 48a : 검출부

48b : 표시부

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 의하면, 원형의 몸체부와; 상기 몸체부 내부에 설치되며 외부로부터 유입되는 압력을 측정하여 표시하는 압력측정부와; 상기 몸체부의 소정위치에 설치되고 일단이 상기 압력측정부에 연결되어 상기 압력측정부로 압력이 유입되도록 하는 유입부 및; 상기 몸체부 내부에 설치되며 상기 유입부상에서 온도를 측정하여 표시하는 온도측정부를 포함한다.

이하, 본 발명의 실시예에 따른 압력과 온도를 측정하는 혼합 계측기를 첨부된 도면 도 2에 의거하여 상세히 설명하며, 동일한 기능을 수행하는 구성요소에 대해서는 동일한 참조번호를 병기한다.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 압력과 온도를 측정하는 혼합 계측기가 공정챔버에 설치된 것을 나타내는 부분 단면도이다.

이를 참조하면, 본 발명에 따른 압력과 온도를 측정하는 혼합 계측기(40)는, 원형의 몸체부(42) 내부에 외부로부터 유입되는 압력을 측정하여 표시하는 압력측정부(44)가 설치되며, 상기 몸체부(42)의 소정위치에는 일단이 상기 압력측정부(44)에 연결되어 상기 압력측정부(44)로 압력이 유입되도록 하는 유입부(46)가 설치되고, 상기 몸체부(42) 내부에는 상기 유입부(46)상에서 온도를 측정하여 표시하는 온도측정부(48)가 설치된다.

한편, 상기 온도측정부(48)는 온도를 검출하는 검출부(48a)와 검출된 온도를 표시하는 표시부(48b)로 크게 이루어지며, 상기 검출부(48a)는 상기 유입부(46)상에 위치하여 공정챔버(50)내의 액체나 기체의 온도를 검출하게되고, 검출된 온도 측정치는 상기 몸체부(42) 내부에 설치된 표시부(48b)에 표시된다.

이와 같은 구성을 갖는 압력과 온도를 측정하는 혼합 계측기(40)는 공정챔버(50)에 설치되고, 공정챔버(50)내의 압력이 상기 유입부(46)를 통해 유입되어 상기 공정챔버(50)내의 압력을 측정하게 된다.

또한, 상기 유입부(46)상에 위치한 온도측정부(48)의 검출부(48a)로부터 상기 공정챔버(50)의 온도가 측정되어 상기 몸체부내부에 설치된 표시부(48b)에 표시되게 된다.

이와 같이 상기 압력과 온도를 측정하는 혼합 계측기(40)가 상기 공정챔버(50)의 압력과 온도를 측정하게 되므로써 각각의 온도계측기와 압력계측기가 필요 없게 되어 그 설치공간이 줄어들게 된다.

또한 작업자는 상기 압력과 온도를 측정하는 혼합 계측기만 확인하면 온도와 압력을 둘다 점검하게 되는 것이다.

이와 같은 본 발명을 적용하면, 하나의 계측기에서 압력과 온도를 각각 측정하므로써 그 설치공간이 줄어들고, 작업자의 온도 및 압력을 확인하는 점검작업이 간소화되는 효과가 있다.

Claims (1)

1. 원형의 몸체부(42)와;

   상기 몸체부(42) 내부에 설치되며 외부로부터 유입되는 압력을 측정하여 표시하는 압력측정부(44)와;

   상기 몸체부(42)의 소정위치에 설치되고 일단이 상기 압력측정부(44)에 연결되어 상기 압력측정부(44)로 압력이 유입되도록 하는 유입부(46) 및;

   상기 몸체부(42) 내부에 설치되며 상기 유입부(46)상에서 온도를 측정하여 표시하는 온도측정부(48)를 포함하는 압력과 온도를 측정하는 혼합 계측기.