KR19990008973A - 반도체 절연막 형성장비의 린스액 공급장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 절연막 형성장비의 린스액 공급장치에 관한 것으로, 종래에는 캐니스터에 작업자가 직접 린스액을 보틀에 담아서 이동하므로 힘이들고, 시간이 많이 소요되어 생산성이 저하되는 문제점이 있었다. 본 발명 반도체 절연막 형성장비의 린스액 공급장치는 린스액(10)을 저장하는 린스액 저장부(11)에서 캐니스터(12)로 린스액(10)을 자동으로 공급할 수 있도록 함으로서, 종래와 같이 린스액을 작업자가 보틀에 담아서 이동하는 경우보다 힘이들지 않으며, 시간도 절약되어 생산성이 향상되는 효과가 있다.

Description

반도체 절연막 형성장비의 린스액 공급장치

본 발명은 반도체 절연막 형성장비의 린스(RINSE)액 공급장치에 관한 것으로, 특히 자동으로 메탈올(METHANOL)을 공급할 수 있도록 하는데 적합한 반도체 절연막 형성장비의 린스액 공급장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 웨이퍼 제조공정 중 에스 오 지(SOG) 절연막 형성공정을 진행한 다음에는 웨이퍼의 에지부분 또는 뒷면에 부착되어 있는 부유물들을 제거하는 린스공정을 진행하는데, 이와 같은 린스 공정을 도 1을 참고하여 설명하면 다음과 같다.

도 1은 종래 린스액을 공급하는 방법으로 보인 상태도로서, 도시된 바와 같이, 종래에는 린스액으로 쓰이는 메탄올을 작업자가 20리터 보틀(BOTTLE)(1) 담아서 이동하고, 린스장비의 18리터 캐니스터(CANISTER)(2)에 옮겨 넣은 다음, 캐니스터(2)에 담긴 메탄올을 린스공정을 진행하는 공정부로 공급하여 린스작업을 실시하였다.

그러나, 상기와 같은 종래 린스액 공급방법은 작업자가 직접 무게가 무거운 보틀(1)을 이동하여야 하므로 힘이들고, 시간이 많이 소요되어 생산성저하의 요인이되는 문제점이 있었다.

상기와 같은 문제점을 감안하여 안출한 본 발명의 목적은 린스장비의 캐니스터에 린스액을 자동으로 공급할 수 있도록 하는데 적합한 반도체 절연막 형성장비의 린스액 공급장치를 제공함에 있다.

도 1은 종래 린스액을 공급하는 방법으로 보인 상태도.

도 2는 본 발명 반도체 절연막 형성장비의 린스액 공급장치를 보인 구성도.

도 3는 본 발명 반도체 절연막 형성장비의 린스액 공급장치의 동작을 설명하기 위한 상태도.

* * 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 * *

10 : 린스액 11 : 린스액 저장부

12 : 캐니스터 15 : 플로트 센서

16 : 프로그램 로직 콘트롤러

상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 린스액을 수납하기 위한 캐니스터와, 그 캐니스터에 공급하는 린스액을 저장하기 위한 린스액 저장부와, 그 린스액 저장부에서 캐니스터로 공급되는 린스액을 조절하기 위한 프로그램 로직 콘트롤러를 구비하여서 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 절연막 형성장비의 린스액 공급장치가 제공된다.

이하, 상기와 같이 구성되는 본 발명 반도체 절연막 형성장비의 린스액 공급장치를 첨부된 도면의 실시예를 참고하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 2는 본 발명 반도체 절연막 형성장비의 린스액 공급장치를 보인 구성도로서, 도시된 바와 같이, 린스액(10)이 저장되어 있는 린스액 저장부(11)와 공정부에 린스액(10)을 공급하기 위한 캐니스터(12)가 연결라인(13)으로 연결되어 있고, 그 연결라인(13) 상에는 연결라인(13)으로 흐르는 린스액(10)을 콘트롤하기 위한 제1 자동밸브(14)가 설치되어 있다.

그리고, 상기 캐니스터(12)에는 린스액(10)의 양을 감지하기 위한 플로트 센서(15)가 설치되어 있고, 그 플로트 센서(FLOAT SENSOR)(15)에는 캐니스터(12)에 저장되는 린스액(10)의 양에 따라 린스액 저장부(11)에서 캐니스터(12)로 공급되는 린스액(10)의 양을 조절하기 위한 프로그램 로직 콘트롤러(PROGRAM LOGIC CONTROLLER)(16)가 연결설치되어 있다.

또한, 상기 캐니스터(12)에는 캐니스터(12)에 질소를 가압하기 위한 질소가압라인(17)이 연결설치되어 있고, 그 질소가압라인(17)에는 밴트라인(18)이 연결설치되어 있으며, 그 밴트라인(VENT LINE)(18) 상에는 제2 자동밸브(19)가 설치되어 있다.

도면중 미설명 부호 20은 공정부로 린스액을 공급하기 위한 공급라인이다.

상기와 같이 구성되는 본 발명 반도체 절연막 형성장비의 린스액 공급장치의 동작을 설명하면 다음과 같다.

캐니스터(12)에 수납되는 린스액(10)의 양을 플로트 센서(15)에서 감지하여 린스액(10)이 L이하로 감지되면 프로그램 로직 콘트롤러(16)의 프로그램에 의하여 제2 자동밸브(19)가 열리도록 지시한다. 그리고, 제2 자동밸브(19)가 열리고 5초후에 제1 자동밸브(14)가 열리어 린스액 저장부(11)로 부터 캐니스터(12)에 린스액(10)이 공급되도록 한다.

캐니스터(12)에 공급되는 린스액(10)이 플로트 센서(15)의 H이상이 되면 프로그램 로직 콘트롤러(16)에서 프로그램에 의하여 제1 자동밸브(14)를 닫고, 린스액 저장부(11)에서 캐니스터(12)로 린스액(10)의 공급이 중단되며, 제1 자동밸브(14)가 닫히고 난후 2초후에 제2 자동밸브(19)가 닫힌다.

상기와 같이 제2 자동밸브(19)가 닫힌 다음에는 질소가압라인(17)을 통하여 캐니스터(12)에 질소가스를 가압함으로서 공급라인(20)을 통하여 린스액(10)을 공정부로 보내지게 된다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 발명 반도체 절연막 형성장비의 린스액 공급장치는 린스액을 저장하는 린스액 저장부에서 캐니스터로 린스액을 자동으로 공급할 수 있도록 함으로서, 종래와 같이 린스액을 작업자가 보틀에 담아서 이동하는 경우보다 힘이들지 않으며, 시간도 절약되어 생산성이 향상되는 효과가 있다.

Claims (2)

1. 린스액을 수납하기 위한 캐니스터와, 그 캐니스터에 공급하는 린스액을 저장하기 위한 린스액 저장부와, 그 린스액 저장부에서 캐니스터로 공급되는 린스액을 조절하기 위한 프로그램 로직 콘트롤러를 구비하여서 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 절연막 형성장비의 린스액 공급장치.
2. 제 1항에 있어서, 상기 캐니스터에는 린스액의 양을 측정하기 위한 플로트 센서가 설치된 것을 특징으로 하는 반도체 절연막 형성장비의 린스액 공급장치.