KR19990007330A

KR19990007330A - 표시장치

Info

Publication number: KR19990007330A
Application number: KR1019980024078A
Authority: KR
Inventors: 요시오 마키타; 겐이치 혼다; 유이치 고구레; 요시히코 히라타; 다케시 도네가와
Original assignee: 니시무로 아츠시; 후다바 덴시 고교 가부시키가이샤
Priority date: 1997-06-25
Filing date: 1998-06-25
Publication date: 1999-01-25
Also published as: TW374194B; KR100306465B1; FR2765391B1; JP3044609B2; FR2765391A1; JPH1116523A

Abstract

(과제) 고전압이 인가되는 애노드 인출전극의 봉착부의 리크를 방지한다.

(해결수단) 애노드 전극(15)에 접속되는 애노드 인출전극(21)을 글라스 튜브(20)에 의하여 둘러싸인다. 이로서, 애노드 인출전극(21)은 봉착부에 있어서 시일재(7)에 직접 접촉하지 않으므로 시일재(7)의 절연 특성이 나쁘더라도 이부분에 있어서 리크가 발생하는 일은 없다.

Description

표시장치

본 발명은 전계방출 캐소드를 구비하는 표시장치에 관한 것이고, 특히 애노드 전극에 고전압을 인가하는 표시장치에 관한 것이다.

종래의 전계방출 캐소드를 구비하는 표시장치의 단면도의 일예를 도 9에 도시한다.

도 9에 도시하는 표시장치는 풀컬러의 표시장치로 되어 있고, 예를 들면, 스트라이프형상으로 형성된 다수개의 애노드 전극(106)이 애노드 기판(101)의 내면에 형성되어 있다. 이 애노드 전극(106) 상에는 R, G, B를 발광하는 형광체가 순차 피착되어 있다. 또, 캐소드 기판(102)상에는 다수의 전계방출 캐소드(FEC)로 이루어지는 FEC 어레이(105)가 형성되어 있다. 이 FEC 어레이(105)로 부터는 전자가 전계방출되어 있고, 이 방출된 전자가 애노드 전극(106)에 의하여 포착되는 것으로, 포착된 애노드 전극(106)에 피착된 형광체가 발광하도록 되어 있다.

여기서 전계방출에 대하여 개략 설명하면, 금속 또는 반도체 표면의 인가전압을 10⁹[V/m] 정도로 하면, 터널 효과에 의하여 전자가 장벽을 통과하여 상온에서도 진공중에 전자방사가 행해지도록 된다. 이를 전계방출(Field Emission)이라 부르고, 이와 같은 원리로 전자를 방사하는 캐소드를 전계방출 캐소드(Field Emission Cathode), 혹은 전계방출 소자라 부르고 있다.

근년, 반도체 미세 가공 기술을 구사하여 미크론 사이즈의 전계방출 캐소드로 이루어지는 면방사형의 전계방출 캐소드를 제작하는 것이 가능하게 되어 있고, 전계방출 캐소드를 기판상에 다수개 형성한 FEC 어레이는 그의 각 이미터로부터 방사된 전자를 형광면에 조사함으로서 평면형의 표시장치나 각종의 전자장치를 구성하는 전자 공급수단으로서 사용하는 것이 가능하게 되어 있다.

이와 같은 전계방출 캐소드의 일예로서 스핀트(Spindt) 형이라 불리우는 전계방출 캐소드(이하 「FEC」라함)가 알려져 있다.

도 9로 되돌아가서, 캐소드 기판(102)으로부터 방출되는 전자의 제어는 일반적으로, FEC 어레이(105)에서 행해지고, FEC 어레이(105)로부터 방출된 전자는 지주(104)에 의하여 소정 간격을 유지하여 이격대향된 애노드 기판(101)으로 향하여 비상하여 간다. 이와같은 동작을 가능하게 하기 위하여, 애노드 기판(101)과 캐소드 기판(102)과의 사이에 형성되는 공간은 진공 분위기로 되어 있다. 그리고, 진공분위기를 유지하기 위하여, 애노드 기판(101)과 캐소드 기판(102)와의 둘레 가장자리부가 시일재(103)에 의하여 봉착(封着)되어 있다.

더욱이, 애노드 기판(101)과 캐소드 기판(102)과의 간격(t)은 예를 들면 수백 ㎛로 되고, 이경우에는 애노드 전극(106)에 수백 V의 애노드 전압이 인가되고 있다.

또, 애노드 전극(106)은 도시하지 않는 애노드 인출전극에 의하여 표시장치의 외부에 위치하는 표시제어장치에 접속되어, 표시제어장치에 의하여 소정 타이밍으로 애노드 전압이 인가되어 있다. 더욱이, FEC 어레이(105)에 있어서 캐소드 전극이나 게이트 전극도 도시하지 않는 캐소드 인출전극이나 게이트 인출전극에 의하여 표시장치의 외부에 위치하는 표시제어장치에 접속되어 표시제어장치에 의하여 소정타이밍으로 캐소드 전압이나 게이트 전압이 인가되어 있다.

그런데, 애노드 전극(106)에 피착되는 형광체로서는 현재의 경우 수백 V의 저전압용으로서 발광 효율이 높은 형광체는 개발되어 있지 않다. 그래서, 수천 V의 고전압용의 형광체로서, 양호한 휘도 특성의 형광체가 존재하고 있는 사정에서, 휘도가 높은 표시장치로 하는 수단의 하나로서 애노드 전극에 수천 V의 고전압을 인가하는 것이 고려된다.

이 경우, 애노드 전극에는 시일재를 통하여 인출되는 애노드 인출 전극에 의하여 애노드 전압이 인가되는 것으로 된다.

그런데, 시일재는 글라스가 주성분으로 되어 있기 때문에, 저융점으로 하기 위하여 혼입된 조성물에 의하여, 그의 절연 저항이 낮다라는 특성을 갖고 있다. 그리하면, 시일재를 통하여 인출된 애노드 인출전극에 고전압을 인가하였을 경우에, 시일재를 통하여 인출되어 있는 캐소드 전극 혹은 게이트 전극간에 있어서, 시일재를 통하여 누설전류가 흐르게 되고, 표시장치가 정상으로 기능하지 않게 될 염려가 생긴다라고 하는 문제점이 있었다.

또, 애노드 전극과 캐소드 전극간에 고전압을 인가하는데는 애노드 전극과 캐소드 전극과의 이격거리를 크게할 필요가 있다. 그리하면, 캐소드 전극으로부터 방출된 전자의 퍼짐각이 약 30도로 되는 것으로, 전자가 확산된 상태에서 애노드 전극에 도달하게 되기 때문에, 정밀하고 세밀한 화소피치의 경우는 애노드 전극간에서 누설발광이 생길 염려가 있다라고 하는 문제점이 생긴다.

그래서, 본 발명은 애노드 전극에 고전압을 인가하더라도 시일재의 부분에 있어서, 누설전류가 흐르는 일이 없는 표시장치를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.

더욱이, 본 발명은 애노드 전극에 고전압을 인가하더라도 애노드 전극에 도달하는 전자가 확산하지 않도록 표시장치를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.

도 1은 본 발명의 표시장치의 실시형태의 구성을 도시하는 단면도이다.

도 2는 도 1에 도시하는 본 발명의 표시장치의 일부 확대도이다.

도 3은 본 발명의 표시장치에 관한 집속전극의 구성을 도시하는 도면이다.

도 4는 본 발명의 표시장치에 관한 애노드 인출전극의 구성을 도시하는 도면이다.

도 5는 본 발명의 표시장치에 관한 애노드 인출전극의 구성을 도시하는 도면이다.

도 6은 본 발명의 표시장치의 제조 프로세스 플로우를 도시하는 도면이다.

도 7은 본 발명의 표시장치의 전체 구성을 도시하는 평면도이다.

도 8은 본 발명의 표시장치의 전체 구성을 도시하는 단면도이다.

도 9는 종래의 표시장치의 일구성예를 도시하는 단면도이다.

(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)

1: 애노드 기판 2: 캐소드 기판 4: 지주

5: 집속전극 6: FEC 어레이 7: 시일재

8: 캐소드 전극 10: 집속전극판 11: 이미터콘

12: 제1절연층 13: 게이트전극 14: 제2절연층

20: 글라스 튜브 21: 애노드 인출전극 22: 캐소드 인출전극

100: 표시장치

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 표시장치는 전자를 전계방출하는 전계방출 캐소드가 형성되어 있는 캐소드 기판과, 이 캐소드 기판으로부터 방출된 전자를 포착하는 형광체가 피착된 애노드 전극이 형성되어 있는 애노드 기판과, 상기 애노드 기판과 상기 캐소드 기판과의 간격이 소정간격이 되도록 상기 애노드 기판과 상기 캐소드 기판과의 사이에 배치된 지주와, 상기 애노드 기판과 상기 캐소드 기판으로 형성되는 공간이 진공분위기를 유지하도록 상기 애노드 기판과 상기 캐소드 기판의 둘레 가장자리부 끼리를 봉착하는 시일재와, 이 시일재를 통하여 상기 애노드 기판과 상기 캐소드 기판으로 형성되는 공간으로부터 인출되고 있는 상기 애노드 전극에 접속된 애노드 인출전극과를 적어도 구비하고, 상기 시일재에 직접 접촉하지 않도록 상기 시일재 위치에 있어서 상기 애노드 인출전극이 절연재에 의하여 둘러싸여 있다.

또 상기 표시장치에 있어서, 상기 전계방출 캐소드상에 형성된 절연 박막상에 금속판으로 이루어지는 집속전극을 배열설치하도록 하고 있다.

더욱이, 상기 애노드 인출전극을 둘러싸고 있는 절연재가 글라스로 되어 있다.

이와같은 본 발명에 의하면, 애노드 인출전극이 직접 절연 특성이 좋지 않는 시일재에 접촉하는 일이 없으므로, 애노드 인출전극을 통하여 애노드 전극에 고전압을 인가하더라도 시일재의 부분에 있어서 누설전류가 흐르는 것을 방지할 수가 있다. 따라서, 발광특성의 양호한 형광체를 사용할 수가 있고, 고휘도의 표시장치로 할 수가 있다.

또, 집속전극을 설치하도록 하였으므로, 애노드 전극과 캐소드 전극과의 이격거리가 크게 되어도, 캐소드 전극으로부터 방출된 전자의 퍼짐을 억제할 수가 있다. 따라서 누설발광을 방지할 수 있는 고정밀의 표시장치로 할 수가 있다.

(발명의 실시형태)

본 발명의 표시장치의 실시형태의 구성을 도시하는 단면도를 도 1에 도시한다.

도 1은 본 발명의 표시장치의 단면의 일부를 도시하는 도면이고, 예를 들면 글라스제로 된 투명의 애노드 기판(1)과, 예를들면 글라스제로된 절연성의 캐소드 기판(2)이 소정거리 이격되어 대향 배치되어 있다. 그리고, 애노드 기판(1)의 내표면에는 R(적), G(녹), B(청)의 형광체가 순차 피착되어 있는 애노드 전극(15)이 다수조 형성되어 있고 R,G,B 일조로 1화소가 형성되어 있다. 또, 캐소드 기판(2)의 내표면에는 전계방출 캐소드(FEC) 어레이(6)가 다수형성되어 있다. 더욱이, FEC 어레이(6)는 각형광체의 피착된 애노드 전극(15)에 대향하도록 형성되어 있다.

또, FEC 어레이(6)상에는 절연층을 통하여 집속전극(5)이 배열설치되어 있고, FEC 어레이(6)로부터 방출되는 전자빔을 집속하도록 하고 있다. 더욱이 애노드 기판(1)과 캐소드 기판(2)에 의하여 형성되는 공간이 진공분위기로 되므로 애노드 기판(1)과 캐소드 기판(2)이 대기압에 맞서서 전면에 걸쳐서 소정거리를 유지하도록, 애노드 기판(1)과 캐소드 기판(2)과의 사이에 다수개의 지주(4)가 설치되어 있다. 이 지주(4)는 예를 들면 직경 75㎛의 글라스 파이버재를 대략 1.2㎜의 길이로 절단함으로서 제작되어 있고, 예를들면, R, G, B로 이루어지는 화소마다 각각 배열설치되어 있다.

또한, 애노드 기판(1)과 캐소드 기판(2)과의 간격은 예를 들면 대략 1.2㎜로 되어 있다.

더욱이, 애노드 기판(1)과 캐소드 기판(2)을 봉착하고 있는 둘레 가장자리부의 위치에 있어서, 애노드 전극(15)에 접속되어 있는 애노드 인출전극(21)이 외부에 인출되어 있다. 이 경우에, 애노드 인출전극(21)은 후술하는 글라스 튜브(20)에 의하여 둘러싸여 있다. 따라서 애노드 인출전극(21)은 글라스 튜브(20)를 애노드 기판(1) 혹은 캐소드 기판(2)에 용착하고 있는 시일재(7)와 직접 접촉하지 않게 된다. 또 애노드 인출전극(21)과 애노드 전극(15)과의 접속은 예를 들면 애노드 기판(1)과 글라스 튜브(20)에 의하여 애노드 인출전극(21)의 선단이 끼워 지지 되는 것으로 인하여 행해지고, 이 끼움 지지력은 대기압에 의하여 생기고 있다.

더욱이, 애노드 인출전극(21)에는 예를 들면 2kV∼5kV의 애노드 전압이 인가되지만, 애노드 인출전극(21)은 시일재(7)에 접촉하고 있지 않으므로 시일재(7)의 부분에서 누설 전류가 흐르는 일은 없다.

이와같은 표시장치에 있어서 캐소드 기판(2)의 상세한 구성을 도 2에 도시한다. 도 2는 캐소드 기판의 일부를 확대하여 도시한 단면도이다.

도 2에 도시하는 바와같이, 캐소드 기판(2)상에는 다수의 FEC 어레이(6)가 형성되어 있고, FEC 어레이(6)은 스핀트형의 전계방출 캐소드에 의하여 구성되어 있다. 이 스핀트형의 전계방출 캐소드는 캐소드 기판(2)상에 형성된 캐소드 전극(8)의 박막과, 이 캐소드 전극(8)상에 제1절연층(12) 및 게이트전극(13)의 박막이 순차로 막을 이루고 있다. 그리고 게이트 전극(13) 및 제1절연층(12)에 형성된 개구내에 원뿔상의 이미터콘(11)이 형성되고, 이 이미터콘(11)의 선단부분이 게이트 전극(13)의 개구부로부터 면하고 있다.

또한, 캐소드 전극(8)상에 저항층을 형성하고, 이 저항층상에 이미터콘(11)을 형성하도록 하여도 좋다. 이 구성에 의하면, 이미터콘(11)으로부터 안정하여 전자를 방출할 수 있다.

또, 이 전계방출 캐소드(FEC)는 집적회로를 제조하는 미세 가공기술을 사용함으로서 제작되어 있고, 이미터콘(11)과 게이트전극(13)과의 거리를 서브미크론으로서 제조할 수 있기 때문에, 이미터콘(11)과 게이트 전극(13) 사이에 불과 수십 볼트의 전압을 인가함으로서, 이미터콘(11)으로부터 전자를 방사시킬 수가 있다.

따라서, 도 1에 도시하는 바와 같이, 상기의 FEC가 어레이상으로 다수개 형성되어 있는 캐소드 기판(2)의 상방에 형광재료가 피착되어 있는 애노드 기판(1)를 배치하여 게이트 전극(13)과 이미터콘(11) 사이와 애노드 전극(15)에 각각 전압 V_GE, V_A를 인가하면, 이미터콘(11)으로부터 방출된 전자에 의하여 애노드 전극(15)상의 형광재를 발광시킬 수가 있다.

또, 본 발명의 표시장치에 있어서는 게이트 전극(13)상에 제2절연층(14)을 형성하고, 이 제2절연층(14)상에 집속전극(5)을 배열설치하도록 하고 있다. 이 접속전극(5)은 FEC 어레이(6)를 둘러싸도록 배열설치되어 있으므로, 집속전극(5)에 소정레벨의 전압을 인가함으로서, FEC 어레이(6)로부터 방출된 전자(e^-)를 도 2에 도시하는 바와 같이 집속할 수가 있다. 이 집속전극(5)은 후술하는 바와 같이, 예를들면 30㎛ 이상의 두께의 얇은 금속판을 에칭 혹은 펀칭함으로서 형성된다.

더욱이, 집속전극(5)상에는 지주(4)가 입설된다.

이와같이, 본 발명의 표시장치에 있어서는 애노드 전극(15)과 캐소드 전극(8)과의 간격을 약 1.2㎜로 하였으므로, 애노드 전압을 2kV∼5kV의 고전압으로 할 수가 있다. 이 때문에 애노드전극(15)에 피착되는 형광체는 발광특성이 양호한 고전압용의 형광체를 사용할 수 있게 된다. 따라서, 표시장치의 휘도를 향상할 수 있게 된다. 더욱이, 애노드전극(15)에 고전압을 인가하더라도, 애노드 인출전극(21)은 절연 특성이 그다지 좋지 않는 시일재(7)에 직접 접촉하고 있지 않으므로, 그 부분에 있어서 누설 전류가 흐르는 것을 방지할 수가 있다.

또, 애노드 전극(15)과 캐소드 전극(8)과의 간격을 약 1.2㎜로, 종래의 간격 보다 넓혀도 집속전극(15)을 설치하도록 하였으므로, FEC 어레이(6)로부터 방출되는 전자를 집속할 수가 있다. 따라서, 애노드 전극(15)에 도달하였을 때의 전자의 넓어짐을 억제할 수 있으므로, 화소피치를 작게하는 것이 가능하게 되고 고정밀한 표시장치로 할 수 있다.

다음에 집속전극(5)을 형성하고 있는 집속전극판(10)의 구성을 도 3a, 도 3b에 도시한다. 도 3a는 집속 전극판(10)의 평면도이고, 금속판으로 이루어지는 집속 전극판(10)에는 에칭 혹은 펀칭 등에 의하여 다수의 직 4각형상의 구멍부(10-1)가 형성되어 있다. 이 구멍부(10-1)는 상기한 FEC 어레이(6)에 위치맞추어져 형성되어 있다. 즉 구멍부(10-1)는 화소 단위로 형성되어 있고, 구멍부(10-1)의 주위의 집속전극판(10)에 의하여 집속전극(5)이 형성되는 것으로 된다. 더욱이, 집속전극판(10)의 옆가장자리에는 집속전압을 인가하기 위한 인출전극(10-2)이 형성되어 있다.

도 3a에 도시하는 A부를 확대하여 동도 b에 도시하는데, 구멍부(10-1)는 R, G, B의 화소에 대응하여 형성되어 있고, 예를 들면 구멍부(10-1)의 폭(t3)이 대략 60㎛, 구멍부(10-1) 끼리의 가로방향의 간격(t4)도 대략 60㎛, 구멍부(10-1) 끼리의 세로방향의 간격(t2)이 대략 50㎛, 구멍부(10-1)의 세로방향의 피치(t5)가 대략 0.31㎜, R, G, B를 일조로 하는 트리오피치(t1)가 대략 0.31㎜로 되어 있다. 이로서 0.28×0.08㎜의 화소피치에 대응하는 0.26×0.06㎜ 정도의 전자방출범위(구멍부 10-1의 면적)를 얻을 수가 있다.

또, 집속전극(5)을, 도시하는 바와 같이 사선을 그어 도시하고 있다.

다음에, 애노드 인출전극(21)을 글라스튜브(20)로 둘러싸는 방법을 도 4 및 도 5를 사용하여 설명한다.

도 4a, 도 4b에 도시하는 바와같이 대략 중앙에 관통구멍(20-1)이 형성되어 있는 글라스 튜브(20)의 관통구멍(20-1)내에 애노드 인출전극(21)으로 되는 선재를 삽통시킨다. 그리고, 선재의 선단부를 도시하는 바와 같이 절곡한다. 이 상태에서, 전체에 가열성형을 실시함으로서 도 5a, 도 5b에 도시하는 바와같이, 관통구멍(20-1)이 눌러찌부러 뜨러져서 밀착된 상태로 한다. 이와 같이 성형함으로서, 애노드 인출전극(21)은 글라스 튜브(20)에 의하여 둘러싸이게 된다. 그리고, 이상태에 있어서 애노드 기판(1)과 캐소드 기판(2)으로 끼워지지되도록 그의 둘레 가장자리부에 배치한다. 그리고, 캐소드 기판(2)과 애노드 기판(1)과를 봉착하도록 가열함으로서 양기판(1, 2)의 둘레 가장자리부에 도포된 시일재에 의하여 용착된다. 이상태가 상기 도 1에 도시되어 있다. 더욱이 글라스 튜브(20)의 길이는 대략 2.5㎜∼3.0㎜ 정도로 되어 있다.

다음에, 본 발명의 표시장치의 제조 프로세스 플로우를 도 6a∼도 6e에 도시하고, 그 설명을 행한다.

우선, 도 6a에 도시하는 바와 같이, 애노드 기판(1)의 일면에 도전성의 박막을 형성하고, 패터닝을 박막에 실시함으로서 애노드 전극(15)을 형성한다. 더욱이, 애노드전극(15)에 R, G, B의 형광체를 피착한다.

다음에, 도 6b에 도시하는 바와 같이 복수의 지주(4)를 애노드 기판(1)의 일면에 입설한다.

더욱이, 도 6c에 도시하는 바와 같이 애노드 기판(1)의 가장자리부에 시일재(7)가 주위에 도포되어 있음과 동시에, 대략 중앙에 애노드 인출전극(21)이 삽통되어 있는 글라스 튜브(20)를 배치한다.

한편, 캐소드 기판(2)에는 도 6d에 도시하는 바와 같이, 그의 일면에 FEC 어레이(6)를 형성한다.

다음에, 도 6e에 도시하는 바와 같이 FEC 어레이(6)상에 집속 전극판(10)을 위치 맞춤시켜 가고정한다. 이로서, 집속전극(5)이 FEC 어레이(6)상에 형성된다.

다음에, 상기 애노드 기판(1)과 상기 캐소드 기판(2)과를 위치 맞춤시켜 팽팽하게 맞추어서, 가열로에 수납하여 가열함으로서, 애노드 기판(1)과 캐소드 기판(2)과를 봉착하고 있다. 이와같은 봉착된 표시장치가 상기 도 1에 도시되어 있다.

다음에, 이와같이하여 제작한 표시장치(100)의 외관의 일예를 도 7 및 도 8에 도시하다. 더욱이, 도 7은 표시장치(100)의 평면도이고, 도 8은 그의 A-A 선으로 절단한 단면을 도시하는 도면이다.

이들 도면에 도시하는 바와 같이, 캐소드 기판(2)의 외표면에는 배기를 위한 구성이 설치되어 있다. 이 구성은 게터 박스(24)와 게터 박스(24)에 용착된 배기관(25)으로 구성되어 있다. 또, 게터 박스(24)내에는 게터(27)가 수납되어 있고, 게터박스(24)는 봉착시에 캐소드 기판(2)에 시일부재(28)에 의하여 용착된다.

배기관(25)은 캐소드 기판(2)에 형성된 배기구멍(26)을 통하여 애노드 기판(1)과 캐소드 기판(2)으로 형성된 공간과 연통하여 있고, 봉착후에 배기관(25)을 통하여 배기함으로서, 표시장치(100)의 내부공간을 진공분위기로 하고 있다.

더욱이, 게터박스(24)내에 수납된 게터(27)는 링형상의 금속부재내에 수납된 Ba-Al 합금을 게터 재료로 하는 증발형 게터로 되어 있다. 그리고, 외부로부터 고주파에 의하여 링형상부가 유도가열되므로서, Ba-Al 합금이 가열되어 증발하고, 게터 박스(24)의 내부벽면에 증착된다. 이 증착막은 거울 처럼 보이는 것으로 게터 미러라 불리운다.

더욱이, 게터 미러는 배기관(25)을 봉지(封止)한 후에, 게터(27)를 증발시키므로서 형성되어 있고, 이 게터미러에 의하여 표시장치(100)의 내부의 진공분위기 상태를 유지할 수 있게 된다.

더욱이, 도시하는 바와같이 애노드 기판(1)과 캐소드 기판(2)과의 둘레 가장자리부에 사이드판(3)을 개재시켜, 애노드 기판(1)과 캐소드 기판(2)과를 봉착하도록 하여도 된다. 또 애노드 기판(1)과 캐소드 기판(2)과의 둘레 가장자리부로 부터는 상술한 방법에 의하여 애노드 인출전극(21)이 인출되어 있음과 동시에, 캐소드 인출전극(22)도 인출되어 있다.

본 발명은 상기한 바와 같이 구성되어 있으므로, 애노드 인출전극이 직접 절연 특성이 좋지 않는 시일재에 접촉하는 일이 없으므로, 애노드 인출전극을 통하여 애노드 전극에 고전압을 인가하더라도 시일재의 부분에 있어서 누설 전류가 흐르는 것을 방지할 수가 있다. 따라서 발광특성이 양호한 형광체를 사용할 수가 있어 고휘도의 표시장치로 할 수가 있다.

또 집속전극을 설치하도록 하였으므로, 애노드 전극과 캐소드 전극와의 이격거리가 크게 되더라도, 캐소드 전극으로부터 방출된 전자의 넓어짐을 억제할 수가 있다. 따라서 누설발광을 방지할 수 있으므로, 화소피치를 작게하는 것이 가능하게 되고, 고정밀의 표시장치로 할 수가 있다.

Claims

전자를 전계방출하는 전계방출 캐소드가 형성되어 있는 캐소드 기판과,

이 캐소드 기판으로부터 방출된 전자를 포착함과 동시에 형광체가 피착되어 있는 애노드 전극이 형성되어 있는 애노드 기판과,

상기 애노드 기판과 상기 캐소드 기판과의 간격이 소정간격이 되도록 상기 애노드 기판과 상기 캐소드 기판과의 사이에 배치된 지주와,

상기 애노드 기판과 상기 캐소드 기판으로 형성되는 공간이 진공분위기를 유지하도록 상기 애노드 기판과 상기 캐소드 기판의 둘레 가장자리부 끼리를 봉착하는 시일재와,

이 시일재를 통하여 상기 애노드 기판과 상기 캐소드 기판으로 형성되는 공간으로부터 인출됨과 동시에, 상기 애노드 전극에 접속된 애노드 인출전극을 적어도 구비하고,

상기 시일재에 직접 접촉하지 않도록 상기 시일재 위치에 있어서 상기 애노드 인출전극이 절연재에 의하여 둘러싸여 있는 것을 특징으로 하는 표시장치.
제 1 항에 있어서, 상기 전계방출 캐소드상에 형성된 절연 박막상에 금속판으로 이루어지는 집속전극을 배열설치하는 것을 특징으로 하는 표시장치.
제 1 항에 있어서, 상기 애노드 인출전극을 둘러싸고 있는 절연재가 글라스로 되어 있는 것을 특징으로 하는 표시장치.