KR19980076919A

KR19980076919A - U-shaped electrode formation method of color plasma display panel

Info

Publication number: KR19980076919A
Application number: KR1019970013825A
Authority: KR
Inventors: 김건우
Original assignee: 구자홍; 엘지전자 주식회사
Priority date: 1997-04-15
Filing date: 1997-04-15
Publication date: 1998-11-16

Abstract

칼라 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Pannel)의 전극 형성방법에 관한 것으로서, 하부기판 상에 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 U자형 전극 형성방법에 있어서, 상기 하부기판 상에 격벽을 형성하는 단계와, 상기 하부기판 및 격벽 상에 전극물질을 증착하는 단계와, 상기 전극물질 상에 감광막을 전면에 도포하고, 상기 감광막 상에 소정 간격으로 마스크를 장착하여 현상하는 단계와, 상기 격벽 상면의 전극물질을 에칭하는 단계와, 상기 전극물질 상에 남아 있는 감광막을 제거하는 단계를 포함하여 제거하는 단계를 포함하여 방전상태, 수명 및 휘도를 향상시키는데 있다.A method of forming an electrode of a color plasma display panel, the method comprising: forming a U-shaped electrode of a color plasma display panel on a lower substrate, forming a partition on the lower substrate; Depositing an electrode material on the partition wall, applying a photoresist film to the entire surface of the electrode material, developing a mask by mounting a mask on the photoresist at predetermined intervals, and etching the electrode material on the upper surface of the partition wall; And removing the photoresist film remaining on the electrode material to improve the discharge state, lifetime, and brightness.

Description

U-shaped electrode formation method of color plasma display panel

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Pannel)에 관한 것으로서, 특히 하부기판의 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 U자형 전극 형성방법에 관한 것이다.The present invention relates to a plasma display panel, and more particularly, to a method of forming a U-shaped electrode of a color plasma display panel of a lower substrate.

일반적으로 플라즈마 디스플레이 패널은 상판기판과 하판기판 사이에 서스테인(Sustain) 전극과 어드레스(Address) 전극을 매트릭스 형태로 형성하여 화소를 구동하고, 이 전극 사이에 방전을 일으켜 여기서 발생한 자외선을 이용하여 화상을 구현하는 평판 디스플레이 소자이다.In general, a plasma display panel drives a pixel by forming a sustain electrode and an address electrode in a matrix form between an upper substrate and a lower substrate, and generates discharge therebetween to generate an image using ultraviolet rays generated therein. A flat panel display device to implement.

도 1은 일반적인 플라즈마 디스플레이 패널의 단위 셀 단면구조를 나타낸 도면이다.1 is a diagram illustrating a unit cell cross-sectional structure of a typical plasma display panel.

도 1를 참조하면, 일반적인 플라즈마 디스플레이 패널은 상부기판(10)의 동일면 상에 일정한 폭과 높이를 갖는 한쌍의 서스테인 전극(11)을 형성하고, 서스테인 전극(11) 상에 유전층(12)을 인쇄법을 이용하여 형성하며, 서스테인 전극(11) 상에 형성된 유전층(12) 상에 보호층(13)을 형성한 상부구조와. 하부기판(14) 상에 일정한 폭과 높이를 갖는 어드레스 전극(15)를 형성하고, 어드레스 전극(15)에서 일어나는 인접한 셀(Cell)간의 크로스토크(Crosstalk)현상을 방지하기 위하여 격벽(16)을 형성하며, 격벽(16) 측벽면과 어드레스 전극(15) 상에 형광체(17)를 형성한 하부구조로 구성된다.Referring to FIG. 1, a typical plasma display panel forms a pair of sustain electrodes 11 having a constant width and height on the same surface of the upper substrate 10, and prints the dielectric layer 12 on the sustain electrodes 11. And an upper structure formed by a method, wherein the protective layer 13 is formed on the dielectric layer 12 formed on the sustain electrode 11. In order to form an address electrode 15 having a predetermined width and height on the lower substrate 14, and to prevent crosstalk between adjacent cells occurring in the address electrode 15, the partition wall 16 is formed. And a substructure having phosphors 17 formed on the sidewalls of the partition walls 16 and the address electrodes 15.

상기 상부구조와 하부구조의 사이에 불활성 가스를 봉입하여 방전영역(18)을 가지도록 형성한다.An inert gas is enclosed between the upper structure and the lower structure to form a discharge region 18.

이와 같이 구성되는 플라즈마 디스플레이 패널의 동작을 설명하면 다음과 같다.The operation of the plasma display panel configured as described above is as follows.

서스테인 전극(11)에 구동전압을 인가하면 유전층(12)과 보호층(13) 표면의 방전영역(18)에서 면방전이 일어나서 자외선(19)이 발생한다.When a driving voltage is applied to the sustain electrode 11, surface discharge occurs in the discharge region 18 on the surfaces of the dielectric layer 12 and the protective layer 13 to generate ultraviolet rays 19.

상기 발생한 자외선(19)에 의해 주위 형광체(17)의 형광물질이 여기(excitation)됨에 따라 칼라(Color) 표시가 이루어진다.Color display is performed as the fluorescent material of the surrounding phosphor 17 is excited by the generated ultraviolet light 19.

즉, 방전셀 내부에 존재하는 우존전자(space charge)들이 인가된 구동전압에 의해 가속하면서, 상기 방전셀안에 400 ∼ 500 torr 정도의 압력으로 채워진 불활성 혼합가스 즉, 헬륨(He)을 주성분으로 하여 크세논(Xe), 네온(Ne) 가스등을 첨가한 페닝 혼합가스와 충돌하여 상기 불활성 가스가 여기되면서 147㎚의 자외선이 발생한다.That is, the main component (space charge) existing in the discharge cell is accelerated by the applied driving voltage, the inert mixed gas filled with a pressure of about 400 to 500 torr in the discharge cell, that is, helium (He) as a main component 147 nm ultraviolet rays are generated when the inert gas is excited by colliding with a phenning mixed gas containing xenon (Xe), neon (Ne) gas, and the like.

상기 자외선(19)이 어드레스 전극(15)과 격벽(16) 주위를 둘러싸고 있는 형광체(17)와 충돌함에 따라 가시광이 발생한다.Visible light is generated when the ultraviolet rays 19 collide with the phosphor 17 surrounding the address electrode 15 and the partition wall 16.

이와 같이 구성되는 플라즈마 디스플레이 패널의 전극 형성방법은 다음과 같다.The electrode forming method of the plasma display panel configured as described above is as follows.

먼저, 상부기판(10) 상에 서스테인 전극(11)을 형성한다.First, the sustain electrode 11 is formed on the upper substrate 10.

상기 서스테인 전극(11)은 구리(Cu) 또는 금(Au)등이다.The sustain electrode 11 is copper (Cu), gold (Au), or the like.

또한, 하부기판(14) 상에 어드레스 전극(15)으로 니켈(Ni)이나, 알루미늄(Al)과 같은 금속전도체를 인쇄기법으로 도포하여 형성한다.In addition, a metal conductor such as nickel (Ni) or aluminum (Al) is formed on the lower substrate 14 by the address electrode 15 by a printing method.

이와 같이 형성된 상/하부 기판을 실런트에 의해 봉합하면 밀봉된 공간이 형성된다.When the upper and lower substrates thus formed are sealed with the sealant, a sealed space is formed.

이때, 상/하부 구조를 실런트에 의해 밀봉된 공간에 방전 가스를 봉입하는데 하부의 모서리부에 뚫어 둔 구멍(도면 미표시)과 가스 주입 유리관(도면 미도시)을 결합시켜 이 구멍을 통해 밀봉된 패널부의 공기를 빼내며 그 배기할때 진공도는 보통 10^-6∼ 10^-8torr 정도이다.At this time, the upper / lower structure seals the discharge gas into the space sealed by the sealant, and the panel sealed through the hole by combining a hole (not shown) and a gas injection glass tube (not shown) drilled in the lower corner portion. When evacuating the negative air and evacuating it, the degree of vacuum is usually about 10 ^-6 to 10 ^-8 torr.

그리고 가스 주입장치에 의해 가스를 주입하며 유리관을 열로 봉합시켜 방전가스가 완전히 밀봉된 패널이 만들어진다.The gas is injected by the gas injection device and the glass tube is sealed with heat to form a panel in which the discharge gas is completely sealed.

이와 같이 구성된 플라즈마 디스플레이 패널은 인쇄기법에 의해 하부전극이 형성되기 때문에 기판과 결합력이 약하고, 기판을 고온으로 열 처리 할 경우 팽창율이 크게 달라서 기판과 접촉면에서 계면크랙이 발생하기 때문에 플라즈마 디스플레이패널의 방전이 불완전하게 나타나고, 수명이 짧아지는 문제점이 있다.The plasma display panel configured as described above has a weak bonding force with the substrate because the lower electrode is formed by a printing technique, and when the substrate is heat-treated at a high temperature, the expansion rate is significantly different, so that an interface crack occurs at the contact surface with the substrate. There is a problem that this appears incompletely and the life is shortened.

본 발명은 이와 같은 종래기술에 따른 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로서, 본 발명의 목적은 기판에 고부착력을 갖는 전극을 형성하여 방전상태, 수명 및 휘도를 향상시키는 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 U자형 전극 형성방법을 제공함에 있다.The present invention has been made to solve the problems according to the prior art, an object of the present invention is to form an electrode having a high adhesion to the substrate to improve the discharge state, life and brightness of the U-shaped electrode of the color plasma display panel It is to provide a formation method.

도 1은 일반적인 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 단위 셀 단면구조를 나타낸 도면,1 is a view showing a unit cell cross-sectional structure of a general color plasma display panel;

도 2a 내지 도 2f는 본 발명에 따른 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 하부기판 상에 U자형 전극이 형성되는 실시예를 나타낸 순서도,2A to 2F are flowcharts illustrating an embodiment in which a U-shaped electrode is formed on a lower substrate of a color plasma display panel according to the present invention;

도면의 주요부분에 대한 부호의 설명Explanation of symbols for main parts of the drawings

10 : 상부기판11 : 서스테인 전극10: upper substrate 11: sustain electrode

12 : 유전층13 : 보호층12 dielectric layer 13 protective layer

14 : 하부기판15 : 어드레스 전극14: lower substrate 15: address electrode

16 : 격벽17 : 형광체16 bulkhead 17 phosphor

18 : 방전영역19 : 자외선18: discharge area 19: ultraviolet light

20 : 그루브21 : 전극20 groove 21 electrode

22 : 감광막23 : 마스크22: photosensitive film 23: mask

본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 U자형 전극 형성방법의 특징은, 하부기판 상에 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 U자형 전극 형성방법에 있어서, 상기 하부기판 상에 격벽을 형성하는 단계와, 상기 하부기판 및 격벽 상에 전극물질을 증착하는 단계와, 상기 전극물질 상에 감광막을 전면에 도포하고, 상기 감광막 상에 소정 간격으로 마스크를 장착하여 현상하는 단계와, 상기 격벽 상면의 전극물질을 에칭하는 단계와, 상기 전극물질 상에 남아 있는 감광막을 제거하는 단계를 포함하여 전극을 형성하는데 있다.The U-shaped electrode forming method of the plasma display panel according to the present invention is characterized in that the U-shaped electrode forming method of the color plasma display panel on the lower substrate, forming a partition on the lower substrate, the lower substrate and Depositing an electrode material on the partition wall, applying a photoresist film to the entire surface of the electrode material, developing a mask by mounting a mask on the photoresist at predetermined intervals, and etching the electrode material on the upper surface of the partition wall; And removing the photoresist film remaining on the electrode material.

이하, 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 U자형 전극 형성방법의 바람직한 실시예를 설명한다.Hereinafter, a preferred embodiment of the U-shaped electrode forming method of the plasma display panel according to the present invention.

도 2a 내지 도 2f는 본 발명에 따른 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 하부기판 상에 U자형 전극을 형성하는 순서도이다.2A to 2F are flowcharts of forming a U-shaped electrode on a lower substrate of a color plasma display panel according to the present invention.

도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 하부기판 상에 U자형 전극이 형성되는 순서는 도 2a에 나타낸 바와 같이, 먼저 하부기판(14) 상에 소정 간격으로 격벽(16)을 형성한다.Referring to FIG. 2, the order in which the U-shaped electrodes are formed on the lower substrate of the color plasma display panel according to the present invention is as shown in FIG. 2A. First, the partition walls 16 are first formed on the lower substrate 14 at predetermined intervals. Form.

이때, 그루브(20)의 형상은 U자형이다.At this time, the shape of the groove 20 is U-shaped.

이어, 도 2b에 나타낸 바와 같이, 상기 하부기판(14) 및 격벽(16) 상에 전극(21)을 증착한다.Subsequently, as illustrated in FIG. 2B, an electrode 21 is deposited on the lower substrate 14 and the partition 16.

상기 전극(21)은 박막증착, 전자빔 증착, 전기도금법에 의해 형성된다.The electrode 21 is formed by thin film deposition, electron beam deposition, electroplating.

이때, 상기 전극(21)의 두께는 5㎛정도이다.At this time, the thickness of the electrode 21 is about 5㎛.

상기 전극(21)은 크롬(Cr)층과 금(AU)층으로 이루어진 금속 박막이다.The electrode 21 is a metal thin film made of a chromium (Cr) layer and a gold (AU) layer.

이어, 도 2c에 나타낸 바와 같이, 상기 전극(21) 상에 감광막(22)을 전면에 도포하고, 상기 감광막(22) 상에 소정 간격으로 마스크(23)를 장착한다.Next, as shown in FIG. 2C, the photosensitive film 22 is coated on the entire surface of the electrode 21, and the mask 23 is mounted on the photosensitive film 22 at predetermined intervals.

이때, 상기 감광막(22)의 두께는 3㎛정도이다.At this time, the thickness of the photosensitive film 22 is about 3㎛.

이어, 도 2d에 나타낸 바와 같이, 상기 격벽(16) 상면에만 감광막(22)이 없는 형상으로 현상한 후, 도 2e에 나타낸 바와 같이, 상기 격벽(16) 상면에 잔존해 있는 금속 박막 전극(21)을 에칭한다.Subsequently, as illustrated in FIG. 2D, the photosensitive film 22 is developed on the upper surface of the partition wall 16 only. Then, as shown in FIG. 2E, the metal thin film electrode 21 remaining on the upper surface of the partition wall 16. ) Is etched.

또한, 상기 격벽(16) 상면에 잔존해 있는 금속 박막 전극(21)은 표면연마로 제거할 수 있다.In addition, the metal thin film electrode 21 remaining on the upper surface of the partition 16 may be removed by surface polishing.

이어, 도 2f에 나타낸 바와 같이, 상기 잔존해 있는 감광막(22)을 제거한다.Next, as shown in FIG. 2F, the remaining photosensitive film 22 is removed.

그리고 상/하부 구조를 실런트에 의해 밀봉된 공간에 방전 가스를 봉입하는데 하부의 모서리부에 뚫어 둔 구멍(도면 미표시)과 가스 주입 유리관(도면 미도시)을 결합시켜 이 구멍을 통해 밀봉된 패널부의 공기를 빼내며 그 배기할때 진공도는 보통 10^-6∼ 10^-8torr 정도이다.The upper and lower structures seal the discharge gas into the space sealed by the sealant, and the panel portion sealed through the hole by combining a hole (not shown) and a gas injection glass tube (not shown) drilled in the lower edge portion thereof. When evacuating air and evacuating it, the degree of vacuum is usually about 10 ^-6 to 10 ^-8 torr.

본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 U자형 전극 형성방법은 하부기판 상 및 격벽 측면에 계면 결합력이 우수한 크롬을 사용하기 때문에 방전특성이 향상되고, 수명이 향상되는 효과가 있다.The U-shaped electrode forming method of the plasma display panel according to the present invention uses chromium having excellent interfacial bonding force on the lower substrate and the sidewalls of the lower substrate, thereby improving discharge characteristics and improving lifetime.

또한, 그루브에 전극을 형성하므로서 발광하는 빛을 반사시켜 휘도를 높이는 효과가 있으며, 또한 어드레스 신호 인가시 전극간의 거리가 짧으므로 방전이 쉽게 발생하는 효과가 있다.In addition, by forming an electrode in the groove, it is effective to reflect the light emitted by the light, thereby increasing the brightness, and also to discharge easily since the distance between the electrodes is short when the address signal is applied.

따라서, 저 가격 및 고해상도의 플라즈마 디스플레이 패널을 제작할 수 있다.Therefore, a low cost and high resolution plasma display panel can be manufactured.

Claims

In the U-shaped electrode forming method of the color plasma display panel on the lower substrate,

Forming a partition on the lower substrate;

Depositing an electrode material on the lower substrate and the partition wall;

Applying a photoresist film on the entire surface of the electrode material, and developing a mask by mounting a mask on the photoresist at predetermined intervals;

Etching the electrode material on the upper surface of the partition wall;

Forming a U-shaped electrode of the color plasma display panel, comprising removing the photoresist film remaining on the electrode material.

The method of claim 1,

The electrode material is a U-shaped electrode forming method of the color plasma display panel, characterized in that consisting of chromium and gold.

Forming a partition on the lower substrate;

Depositing an electrode material on the lower substrate and the partition wall;

And removing the electrode material on the upper surface of the partition wall.

The method of claim 3, wherein

And the electrode material is removed by surface polishing.