KR19990004173A

KR19990004173A - Color Plasma Display Panel and Manufacturing Method Thereof

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Publication number: KR19990004173A
Application number: KR1019970028187A
Authority: KR
Inventors: 하홍주
Original assignee: 구자홍; 엘지전자 주식회사
Priority date: 1997-06-27
Filing date: 1997-06-27
Publication date: 1999-01-15

Abstract

칼라 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Pannel)에 관한 것으로서, 상부기판과 하부기판을 갖는 칼라 플라즈마 디스플레이 패널에 있어서, 상기 하부기판 상에 형성된 전극과, 상기 하부기판 상에 형성된 유전체층과, 상기 전극에 인접한 방전셀들간의 플라즈마 확산을 방지하기 위하여 형성된 격벽과, 상기 인접한 격벽간의 거리는 상기 하부전극의 폭에 1.5배 이상임을 특징으로 하고, 그 제조방법은 상부기판과 하부기판을 갖는 칼라 플라즈마 디스플레이 패널 제조방법에 있어서, 상기 하부기판 상에 전극을 형성하는 단계와, 상기 하부기판 상에 유전체층을 형성한 후, 상기 유전체층 상에 감광막을 도포하는 단계와, 상기 감광막을 마스크로 하여 유전체층을 이상적인 깊이로 직접(Direct)에칭하는 단계를 포함하여 고해상도의 칼라 플라즈마 디스플레이 패널을 제작하는 것이다.A color plasma display panel, comprising: an electrode formed on the lower substrate, a dielectric layer formed on the lower substrate, and a discharge adjacent to the electrode. The distance between the barrier ribs formed to prevent plasma diffusion between the cells and the adjacent barrier ribs is 1.5 times or more the width of the lower electrode. The manufacturing method is a method of manufacturing a color plasma display panel having an upper substrate and a lower substrate. Forming an electrode on the lower substrate, forming a dielectric layer on the lower substrate, and then applying a photoresist on the dielectric layer, and using the photoresist as a mask to direct the dielectric layer to an ideal depth. High resolution color plasma display including etching To produce the panels.

Description

Color Plasma Display Panel and Manufacturing Method Thereof

본 발명은 칼라 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Pannel)에 관한 것으로서, 특히 칼라 플라즈마 디스플레이 패널 및 그 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a color plasma display panel, and more particularly, to a color plasma display panel and a manufacturing method thereof.

일반적으로 칼라 플라즈마 디스플레이 패널은 상부기판과 하부기판 사이에 유지(Sustain)전극과 어드레스(Address)전극을 매트릭스 형태로 형성하여 화소를 구동하고, 이 전극 사이에 방전을 일으켜 여기서 발생한 자외선을 이용하여 화상을 구현하는 평판 디스플레이 소자이다.In general, a color plasma display panel drives a pixel by forming a sustain electrode and an address electrode in a matrix form between an upper substrate and a lower substrate, and generates a discharge therebetween to generate an image using ultraviolet rays generated therein. A flat panel display device that implements the

도 1은 일반적인 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 단위 셀 단면구조를 나타낸 도면이다.1 is a view showing a unit cell cross-sectional structure of a general color plasma display panel.

도 1를 참조하면, 일반적인 칼라 플라즈마 디스플레이 패널은 상부기판(10)의 동일면 상에 일정한 폭과 높이를 갖는 한쌍의 유지전극(11)을 형성하고, 유지전극(11) 상에 유전체층(12)을 인쇄법을 이용하여 형성하며, 유지전극(11) 상에 형성된 유전체층(12) 상에 유전체보호층(13)을 형성한 상부구조와, 하부기판(14) 상에 일정한 폭과 높이를 갖는 어드레스전극(15)를 형성하고, 어드레스전극(15)에서 일어나는 인접한 셀(Cell)간의 크로스토크(Crosstalk)현상을 방지하기 위하여 격벽(16)을 형성하며, 격벽(16) 측벽과 어드레스전극(15) 상에 형광체층(17)를 형성한 하부구조로 구성된다.Referring to FIG. 1, in a general color plasma display panel, a pair of sustain electrodes 11 having a predetermined width and height are formed on the same surface of the upper substrate 10, and a dielectric layer 12 is formed on the sustain electrodes 11. It is formed using a printing method, the upper structure in which the dielectric protective layer 13 is formed on the dielectric layer 12 formed on the sustain electrode 11, and the address electrode having a constant width and height on the lower substrate 14 And forming a barrier rib 16 to prevent crosstalk between adjacent cells occurring in the address electrode 15. The barrier rib 16 is formed on the sidewalls of the barrier rib 16 and the address electrode 15. It is composed of a substructure in which the phosphor layer 17 is formed.

상기 상부구조와 하부구조의 사이에 불활성 가스를 봉입하여 방전영역(18)을 가지도록 형성한다.An inert gas is enclosed between the upper structure and the lower structure to form a discharge region 18.

이와 같이 구성되는 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 동작을 설명하면 다음과 같다.The operation of the color plasma display panel configured as described above is as follows.

유지전극(11)에 구동전압을 인가하면 유전체층(12)과 유전체보호층(13) 표면의 방전영역(18)에서 면방전이 일어나서 자외선(19)이 발생한다.When a driving voltage is applied to the sustain electrode 11, surface discharge occurs in the discharge region 18 on the surface of the dielectric layer 12 and the dielectric protection layer 13 to generate ultraviolet rays 19.

상기 발생한 자외선(19)에 의해 주위 형광체층(17)의 형광물질이 여기(excitation)됨에 따라 칼라(Color) 표시가 이루어진다.Color display is performed as the fluorescent material of the surrounding phosphor layer 17 is excited by the generated ultraviolet light 19.

즉, 방전셀 내부에 존재하는 우존전자(space charge)들이 인가된 구동전압에 의해 가속하면서, 상기 방전셀안에 400 ∼ 500 torr 정도의 압력으로 채워진 불활성 혼합가스 즉, 헬륨(He)을 주성분으로 하여 크세논(Xe), 네온(Ne) 가스등을 첨가한 페닝 혼합가스와 충돌하여 상기 불활성 가스가 여기되면서 147㎚의 자외선이 발생한다.That is, the main component (space charge) existing in the discharge cell is accelerated by the applied driving voltage, the inert mixed gas filled with a pressure of about 400 to 500 torr in the discharge cell, that is, helium (He) as a main component 147 nm ultraviolet rays are generated when the inert gas is excited by colliding with a phenning mixed gas containing xenon (Xe), neon (Ne) gas, and the like.

상기 자외선(19)이 어드레스전극(15)과 격벽(16) 주위를 둘러싸고 있는 형광체층(17)과 충돌함에 따라 가시광이 발생한다.Visible light is generated when the ultraviolet rays 19 collide with the phosphor layer 17 surrounding the address electrode 15 and the partition 16.

이와 같이 구성되는 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법은 다음과 같다.The manufacturing method of the color plasma display panel configured as described above is as follows.

먼저, 도 2a에 나타낸 바와 같이, 하부기판(14) 상에 소정 간격으로 일정한 폭과 높이를 갖는 어드레스전극(15)을 형성한다.First, as shown in FIG. 2A, the address electrodes 15 having a predetermined width and height are formed on the lower substrate 14 at predetermined intervals.

이어, 도 2b에 나타낸 바와 같이, 상기 하부기판(14) 상에 소정 두께로 유전체층(21)을 형성한다.Subsequently, as shown in FIG. 2B, the dielectric layer 21 is formed on the lower substrate 14 to have a predetermined thickness.

이어, 도 2c에 나타낸 바와 같이, 상기 유전체층(20) 상에 감광막(21)을 도포하고, 상기 유전체층(20) 상에 감광막(21)을 마스크로 하여 상기 유전체층(20)을 도 2d에 나타낸 바와 같이, 이상적인 깊이로 만들어 질때까지 직접(Direct)에칭 한다.Next, as shown in FIG. 2C, the photosensitive film 21 is coated on the dielectric layer 20, and the dielectric layer 20 is shown in FIG. 2D using the photosensitive film 21 as a mask on the dielectric layer 20. Similarly, direct etch until the ideal depth is achieved.

따라서, 상기 하부기판(14) 상에 다수개의 그루브(grove)가 형성된다.Thus, a plurality of grooves are formed on the lower substrate 14.

상기 그루브의 형상은 U자형, 사다리꼴, 반원형등 여러가지의 형상이 있다.The groove may have various shapes such as a U shape, a trapezoid, and a semicircle.

여기서, 에칭에 의한 격벽 형성은 반원형의 그루브를 형성하는 것이 가장 쉬우며 에칭 조건의 설정을 통해서 그 기울기 정도를 더 날카롭게 할 수 있다.Here, the partition wall formation by etching is most likely to form a semi-circular groove, and the degree of inclination can be further sharpened by setting the etching conditions.

이어, 도 2e에 나타낸 바와 같이, 격벽 상에 남아 있는 감광막(21)을 제거한다.Next, as shown in FIG. 2E, the photosensitive film 21 remaining on the partition wall is removed.

이어, 상·하부 구조를 실런트에 의해 봉합하면 밀봉된 공간이 형성된다.Then, when the upper and lower structures are sealed with the sealant, a sealed space is formed.

이때, 상/하부 구조를 실런트에 의해 밀봉된 공간에 방전 가스를 봉입하는데 하부의 모서리부에 뚫어 둔 구멍(도면 미표시)과 가스 주입 유리관(도면 미도시)을 결합시켜 이 구멍을 통해 밀봉된 패널부의 공기를 빼내며 그 배기할때 진공도는 보통 10^-6∼ 10^-8torr 정도이다.At this time, the upper / lower structure seals the discharge gas into the space sealed by the sealant, and the panel sealed through the hole by combining a hole (not shown) and a gas injection glass tube (not shown) drilled in the lower corner portion. When evacuating the negative air and evacuating it, the degree of vacuum is usually about 10 ^-6 to 10 ^-8 torr.

그리고 가스 주입장치에 의해 가스를 주입하며 유리관을 열로 봉합시켜 방전가스가 완전히 밀봉된 패널이 만들어진다.The gas is injected by the gas injection device and the glass tube is sealed with heat to form a panel in which the discharge gas is completely sealed.

이와 같이 구성된 칼라 플라즈마 디스플레이 패널은 어드레스 전극폭과 격벽간의 어라인(Align)을 하기 어려운 점이 있다.The color plasma display panel configured as described above is difficult to align between the address electrode width and the partition wall.

본 발명은 이와 같은 종래기술에 따른 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로서, 본 발명의 목적은 하부기판 상에 형성되는 어드레스 전극폭을 조절하여 전극과 격벽간의 어라인을 용이하게 조절 할 수 있는 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 하부 제조 방법을 제공함에 있다.The present invention has been made to solve the problems according to the prior art, an object of the present invention is to adjust the width of the address electrode formed on the lower substrate color plasma that can easily adjust the alignment between the electrode and the partition wall The present invention provides a method of manufacturing a lower portion of a display panel.

도 1은 일반적인 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 단위 셀 단면구조를 나타낸 도면,1 is a view showing a unit cell cross-sectional structure of a general color plasma display panel;

도 2a 내지 도 2e는 종래기술에 따른 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 하부를 제조하는 순서도,2a to 2e is a flow chart for manufacturing the lower portion of the color plasma display panel according to the prior art,

도 3a 내지 도 3e는 본 발명에 따른 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 하부를 제조하는 순서도이다.3A to 3E are flowcharts for manufacturing a lower portion of the color plasma display panel according to the present invention.

도면의 주요부분에 대한 부호의 설명Explanation of symbols for main parts of the drawings

10 : 상부기판 11 : 유지전극10: upper substrate 11: sustain electrode

12 : 유전체층 13 : 유전체보호층12 dielectric layer 13 dielectric protective layer

14 : 하부기판 15 : 어드레스전극14: lower substrate 15: address electrode

16 : 격벽 17 : 형광체층16: partition 17: phosphor layer

18 : 방전영역 19 : 자외선18: discharge area 19: ultraviolet light

20 : 유전체층 21 : 감광막20 dielectric layer 21 photosensitive film

22 : 네가티브 형 감광막22: negative photosensitive film

본 발명에 따른 칼라 플라즈마 디스플레이 패널 및 그 제조방법의 특징은, 상부기판과 하부기판을 갖는 칼라 플라즈마 디스플레이 패널에 있어서, 상기 하부기판 상에 형성된 전극과, 상기 하부기판 상에 형성된 유전체층과, 상기 전극에 인접한 방전셀들간의 플라즈마 확산을 방지하기 위하여 형성된 격벽과, 상기 인접한 격벽간의 거리는 상기 하부전극의 폭에 1.5배 이상 이고, 그 제조방법은 상부기판과 하부기판을 갖는 칼라 플라즈마 디스플레이 패널 제조방법에 있어서, 상기 하부기판 상에 전극을 형성하는 단계와, 상기 하부기판 상에 유전체층을 형성한 후, 상기 유전체층 상에 감광막을 도포하는 단계와, 상기 감광막을 마스크로 하여 유전체층을 이상적인 깊이로 직접(Direct)에칭하는 단계를 포함하여 고해상도의 칼라 플라즈마 디스플레이 패널을 제작하는데 있다.A color plasma display panel and a method of manufacturing the same according to the present invention are characterized in that, in a color plasma display panel having an upper substrate and a lower substrate, an electrode formed on the lower substrate, a dielectric layer formed on the lower substrate, and the electrode The barrier rib formed to prevent plasma diffusion between the discharge cells adjacent to and the distance between the adjacent barrier ribs is at least 1.5 times the width of the lower electrode. Forming an electrode on the lower substrate, forming a dielectric layer on the lower substrate, and then applying a photoresist on the dielectric layer, and using the photoresist as a mask to direct the dielectric layer to an ideal depth. High resolution color plasma display panel including etching It is to the production.

이하, 본 발명에 따른 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 하부 제조 방법의 바람직한 실시예를 설명한다.Hereinafter, a preferred embodiment of a method of manufacturing a lower part of a color plasma display panel according to the present invention will be described.

3를 참조하면, 본 발명에 따른 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 하부는 도 3a에 나타낸 바와 같이, 하부기판(14) 상에 소정 간격으로 일정한 폭과 높이를 갖는 어드레스전극(15)을 형성한다.Referring to FIG. 3, the lower portion of the color plasma display panel according to the present invention forms an address electrode 15 having a predetermined width and height at predetermined intervals on the lower substrate 14 as shown in FIG. 3A.

이어, 도 3b에 나타낸 바와 같이, 상기 하부기판(14) 상에 소정 두께로 유전체층(21)을 형성한다.Subsequently, as shown in FIG. 3B, the dielectric layer 21 is formed on the lower substrate 14 to have a predetermined thickness.

이어, 도 3c에 나타낸 바와 같이, 상기 유전체층(20) 상에 네가티브 형(Negative Type) 감광막(22)을 도포한 후, 상기 네가티브 형 감광막을 배면하여 소정패턴으로 형성하고, 상기 유전체층(20) 상에 네가티브 형 감광막(22)을 마스크로 하여 상기 유전체층(20)을 도 3d에 나타낸 바와 같이, 이상적인 깊이로 만들어 질때까지 직접(Direct) 에칭한다.Subsequently, as shown in FIG. 3C, after applying a negative type photosensitive film 22 on the dielectric layer 20, the negative type photosensitive film is formed on the back surface to form a predetermined pattern, and on the dielectric layer 20. Using the negative photosensitive film 22 as a mask, the dielectric layer 20 is directly etched until it is made to an ideal depth, as shown in FIG. 3D.

이어, 도 3e에 나타낸 바와 같이, 격벽 상에 남아 있는 네가티브 형 감광막(22)을 제거한다.Then, as shown in Fig. 3E, the negative photosensitive film 22 remaining on the partition wall is removed.

그리고 상/하부 구조를 실런트에 의해 밀봉된 공간에 방전 가스를 봉입하는데 하부의 모서리부에 뚫어 둔 구멍(도면 미표시)과 가스 주입 유리관(도면 미도시)을 결합시켜 이 구멍을 통해 밀봉된 패널부의 공기를 빼내며 그 배기할때 진공도는 보통 10^-6∼ 10^-8torr 정도이다.The upper and lower structures seal the discharge gas into the space sealed by the sealant, and the panel portion sealed through the hole by combining a hole (not shown) and a gas injection glass tube (not shown) drilled in the lower edge portion thereof. When evacuating air and evacuating it, the degree of vacuum is usually about 10 ^-6 to 10 ^-8 torr.

본 발명에 따른 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 하부 제조 방법은 어드레스전극 상에 형성된 유전체층을 직접에칭 함으로써 격벽과 어드레스 전폭을 조절하여 어라인을 용이하게 할 수 있다.According to the method of manufacturing a lower portion of the color plasma display panel according to the present invention, by directly etching the dielectric layer formed on the address electrode, the barrier rib and the address width may be adjusted to facilitate the alignment.

따라서, 하부전극과 격벽간의 정확한 어라인을 함으로써 고해상도의 플라즈마 디스플레이 패널을 제작할 수 있다.Therefore, a high-resolution plasma display panel can be manufactured by precisely arranging the lower electrode and the partition wall.

Claims

In the color plasma display panel having an upper substrate and a lower substrate,

An electrode formed on the lower substrate;

A dielectric layer formed on the lower substrate;

Barrier ribs formed to prevent plasma diffusion between discharge cells adjacent to the electrode;

And a distance between the adjacent partition walls is 1.5 times or more the width of the lower electrode.

The method of claim 1,

And the distance between the adjacent partition walls is two to three times the width of the lower electrode.

In the method of manufacturing a color plasma display panel having an upper substrate and a lower substrate,

Forming an electrode on the lower substrate;

Forming a dielectric layer on the lower substrate, and then applying a photoresist on the dielectric layer;

And direct etching the dielectric layer to an ideal depth using the photosensitive film as a mask.

The method of claim 3, wherein

The photosensitive film is a manufacturing method of a color plasma display panel, characterized in that the negative (Negative Type).