KR19980076383A - Electrode, Electrode Arrangement and Electrode Formation Method of Color Plasma Display Panel - Google Patents

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KR19980076383A
KR19980076383A KR1019970013072A KR19970013072A KR19980076383A KR 19980076383 A KR19980076383 A KR 19980076383A KR 1019970013072 A KR1019970013072 A KR 1019970013072A KR 19970013072 A KR19970013072 A KR 19970013072A KR 19980076383 A KR19980076383 A KR 19980076383A
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김건우
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구자홍
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Abstract

칼라 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Pannel)의 전극, 전극배열 및 전극 형성방법에 관한 것으로서, 격벽과 격벽 사이에 형성된 다수개의 그루브를 갖는 플라즈마 디스플레이 패널에 있어서, 상기 그루브 상에 소정 두께로 형성된 박막 전극을 포함하여 이루어지는 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 전극과, 격벽과 격벽 사이에 형성된 다수개의 그루브를 갖는 플라즈마 디스플레이 패널에 있어서, 상기 그루브 상에 형성된 제 1 칼라 전극, 제 2 칼라 전극 및 제 3 칼라 전극이 반복적으로 배열 되어 이루어짐을 특징으로 하는 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 전극배열과, 전극의 형성방법은 하부기판 상에 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 전극을 형성방법에 있어서, 상기 하부기판 상에 균일한 두께로 격벽층을 형성하는 단계와, 상기 격벽층 상에 포토레지스트를 형성하고 불필요한 부분을 제거하여 격벽을 형성하는 단계와, 상기 격벽과 격벽사이 및 포토레지스트 상에 소정 두께로 박막 전극을 증착하는 단계와, 상기 격벽 상에 남아 있는 포토레지스트와 상기 박막 전극의 불필요한 부분을 제거하여 전극을 형성하는 단계를 포함하여 하부기판에 고부착력을 갖는 전극배열 및 전극을 형성하는데 있다.The present invention relates to an electrode, an array of electrodes, and a method for forming an electrode of a color plasma display panel, comprising: a plasma display panel having a plurality of grooves formed between the partition walls and the partition walls, wherein A plasma display panel having an electrode of a color plasma display panel comprising a plurality of grooves and a plurality of grooves formed between the partition walls and the partition walls, wherein the first color electrode, the second color electrode, and the third color electrode formed on the groove are repeatedly The arrangement of electrodes of the color plasma display panel and the method of forming the electrode are formed in the method of forming the electrodes of the color plasma display panel on the lower substrate, the barrier layer having a uniform thickness on the lower substrate. And on the partition layer Forming a barrier rib by forming a photoresist and removing unnecessary portions; depositing a thin film electrode to a predetermined thickness between the barrier rib and the barrier rib and on the photoresist; the photoresist remaining on the barrier rib and the thin film electrode Forming an electrode having a high adhesion on the lower substrate, including forming an electrode by removing the unnecessary portion of the electrode.

Description

칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 전극, 전극배열 및 전극 형성방법Electrode, Electrode Arrangement and Electrode Formation Method of Color Plasma Display Panel

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Pannel)에 관한 것으로서, 특히 하부기판의 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 전극, 전극배열 및 전극 형성방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a plasma display panel, and more particularly, to an electrode, an electrode arrangement, and an electrode forming method of a color plasma display panel of a lower substrate.

일반적으로 플라즈마 디스플레이 패널은 상판기판과 하판기판 사이에 서스테인(Sustain) 전극과 어드레스(Address) 전극을 매트릭스 형태로 형성하여 화소를 구동하고, 이 전극 사이에 방전을 일으켜 여기서 발생한 자외선을 이용하여 화상을 구현하는 평판 디스플레이 소자이다.In general, a plasma display panel drives a pixel by forming a sustain electrode and an address electrode in a matrix form between an upper substrate and a lower substrate, and generates discharge therebetween to generate an image using ultraviolet rays generated therein. A flat panel display device to implement.

도 1은 일반적인 플라즈마 디스플레이 패널의 단위 셀 단면구조를 나타낸 도면이다.1 is a diagram illustrating a unit cell cross-sectional structure of a typical plasma display panel.

도 1를 참조하면, 일반적인 플라즈마 디스플레이 패널은 상부기판(10)의 동일면 상에 일정한 폭과 높이를 갖는 한쌍의 서스테인 전극(11)을 형성하고, 서스테인 전극(11) 상에 유전층(12)을 인쇄법을 이용하여 형성하며, 서스테인 전극(11) 상에 형성된 유전층(12) 상에 보호층(13)을 형성한 상부구조와. 하부기판(14) 상에 일정한 폭과 높이를 갖는 어드레스 전극(15)를 형성하고, 어드레스 전극(15)에서 일어나는 인접한 셀(Cell)간의 크로스토크(Crosstalk)현상을 방지하기 위하여 격벽(16)을 형성하며, 격벽(16) 측벽면과 어드레스 전극(15) 상에 형광체(17)를 형성한 하부구조로 구성된다.Referring to FIG. 1, a typical plasma display panel forms a pair of sustain electrodes 11 having a constant width and height on the same surface of the upper substrate 10, and prints the dielectric layer 12 on the sustain electrodes 11. And an upper structure formed by a method, wherein the protective layer 13 is formed on the dielectric layer 12 formed on the sustain electrode 11. In order to form an address electrode 15 having a predetermined width and height on the lower substrate 14, and to prevent crosstalk between adjacent cells occurring in the address electrode 15, the partition wall 16 is formed. And a substructure having phosphors 17 formed on the sidewalls of the partition walls 16 and the address electrodes 15.

상기 상부구조와 하부구조의 사이에 불활성 가스를 봉입하여 방전영역(18)을 가지도록 형성한다.An inert gas is enclosed between the upper structure and the lower structure to form a discharge region 18.

이와 같이 구성되는 플라즈마 디스플레이 패널의 동작을 설명하면 다음과 같다.The operation of the plasma display panel configured as described above is as follows.

서스테인 전극(11)에 구동전압을 인가하면 유전층(12)과 보호층(13) 표면의 방전영역(18)에서 면방전이 일어나서 자외선(19)이 발생한다.When a driving voltage is applied to the sustain electrode 11, surface discharge occurs in the discharge region 18 on the surfaces of the dielectric layer 12 and the protective layer 13 to generate ultraviolet rays 19.

상기 발생한 자외선(19)에 의해 주위 형광체(17)의 형광물질이 여기(excitation)됨에 따라 칼라(Color) 표시가 이루어진다.Color display is performed as the fluorescent material of the surrounding phosphor 17 is excited by the generated ultraviolet light 19.

즉, 방전셀 내부에 존재하는 우존전자(space charge)들이 인가된 구동전압에 의해 가속하면서, 상기 방전셀안에 400 ∼ 500 torr 정도의 압력으로 채워진 불활성 혼합가스 즉, 헬륨(He)을 주성분으로 하여 크세논(Xe), 네온(Ne) 가스등을 첨가한 페닝 혼합가스와 충돌하여 상기 불활성 가스가 여기되면서 147㎚의 자외선이 발생한다.That is, the main component (space charge) existing in the discharge cell is accelerated by the applied driving voltage, the inert mixed gas filled with a pressure of about 400 to 500 torr in the discharge cell, that is, helium (He) as a main component 147 nm ultraviolet rays are generated when the inert gas is excited by colliding with a phenning mixed gas containing xenon (Xe), neon (Ne) gas, and the like.

상기 자외선(19)이 어드레스 전극(15)과 격벽(16) 주위를 둘러싸고 있는 형광체(17)와 충돌함에 따라 가시광이 발생한다.Visible light is generated when the ultraviolet rays 19 collide with the phosphor 17 surrounding the address electrode 15 and the partition wall 16.

이와 같이 구성되는 플라즈마 디스플레이 패널의 전극, 전극배열 및 전극 형성방법은 다음과 같다.An electrode, an electrode array, and an electrode forming method of the plasma display panel configured as described above are as follows.

먼저, 상부기판(10) 상에 서스테인 전극(11)을 형성한다.First, the sustain electrode 11 is formed on the upper substrate 10.

상기 서스테인 전극(11)은 구리(Cu) 또는 금(Au)등이다.The sustain electrode 11 is copper (Cu), gold (Au), or the like.

또한, 하부기판(14) 상에 어드레스 전극(15)으로 니켈(Ni)이나, 알루미늄(Al)과 같은 금속전도체를 인쇄기법으로 도포하여 형성한다.In addition, a metal conductor such as nickel (Ni) or aluminum (Al) is formed on the lower substrate 14 by the address electrode 15 by a printing method.

이와 같이 형성된 상/하부 기판을 실런트에 의해 봉합하면 밀봉된 공간이 형성된다.When the upper and lower substrates thus formed are sealed with the sealant, a sealed space is formed.

이때, 상/하부 구조를 실런트에 의해 밀봉된 공간에 방전 가스를 봉입하는데 하부의 모서리부에 뚫어 둔 구멍(도면 미표시)과 가스 주입 유리관(도면 미도시)을 결합시켜 이 구멍을 통해 밀봉된 패널부의 공기를 빼내며 그 배기할때 진공도는 보통 10-6∼ 10-8torr 정도이다.At this time, the upper / lower structure seals the discharge gas into the space sealed by the sealant, and the panel sealed through the hole by combining a hole (not shown) and a gas injection glass tube (not shown) drilled in the lower corner portion. When evacuating the negative air and evacuating it, the degree of vacuum is usually about 10 -6 to 10 -8 torr.

그리고 가스 주입장치에 의해 가스를 주입하며 유리관을 열로 봉합시켜 방전가스가 완전히 밀봉된 패널이 만들어진다.The gas is injected by the gas injection device and the glass tube is sealed with heat to form a panel in which the discharge gas is completely sealed.

이와 같이 구성된 플라즈마 디스플레이 패널은 인쇄기법에 의해 하부전극이 형성되기 때문에 기판과 결합력이 약하고, 기판을 고온으로 열 처리 할 경우 팽창율이 크게 달라서 기판과 접촉면에서 계면크랙이 발생하기 때문에 플라즈마 디스플레이패널의 방전이 불완전하게 나타나고, 수명이 짧아지는 문제점이 있다.The plasma display panel configured as described above has a weak bonding force with the substrate because the lower electrode is formed by a printing technique, and when the substrate is heat-treated at a high temperature, the expansion rate is significantly different, so that an interface crack occurs at the contact surface with the substrate. There is a problem that this appears incompletely and the life is shortened.

본 발명은 이와 같은 종래기술에 따른 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로서, 본 발명의 목적은 기판에 고부착력을 갖는 전극을 형성하여 방전상태 및 수명을 향상시키고 아울러 반사형 금속전극층을 그루브 전체에 형성하여 휘도를 향상시키는 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 전극, 전극배열 및 전극 형성방법을 제공함에 있다.The present invention has been made to solve the problems according to the prior art, an object of the present invention is to form an electrode having a high adhesion to the substrate to improve the discharge state and life, and also to form a reflective metal electrode layer on the entire groove The present invention provides an electrode, an electrode array, and an electrode forming method of a color plasma display panel to improve luminance.

도 1은 일반적인 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 단위 셀 단면구조를 나타낸 도면,1 is a view showing a unit cell cross-sectional structure of a general color plasma display panel;

도 2a 내지 도 2e는 본 발명에 따른 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 하부기판 상에 전극이 형성되는 일 실시예를 나타낸 순서도,2A to 2E are flowcharts illustrating an embodiment in which electrodes are formed on a lower substrate of a color plasma display panel according to the present invention;

도 3은 본 발명에 따른 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 상부기판과 하부기판을 합쳐 밀봉한 부분도,3 is a partial view of the upper substrate and the lower substrate of the color plasma display panel according to the present invention sealed together;

도 4는 본 발명에 따른 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 하부기판 상에 전극이 형성되는 다른 실시예를 나타낸 도면,4 is a view showing another embodiment in which an electrode is formed on a lower substrate of a color plasma display panel according to the present invention;

도 5는 본 발명에 따른 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 하부기판 상에 전극이 형성되는 또 다른 실시예를 나타낸 도면이다.5 is a view showing another embodiment in which an electrode is formed on a lower substrate of a color plasma display panel according to the present invention.

도면의 주요부분에 대한 부호의 설명Explanation of symbols for main parts of the drawings

10 : 상부기판11 : 서스테인 전극10: upper substrate 11: sustain electrode

12 : 유전층13 : 보호층12 dielectric layer 13 protective layer

14 : 하부기판15 : 어드레스 전극14: lower substrate 15: address electrode

16 : 격벽17, 24 : 형광체16: partition 17, 24: phosphor

18 : 방전영역19 : 자외선18: discharge area 19: ultraviolet light

20 : 격벽층21 : 포토레지스트20 partition wall 21 photoresist

22 : 그루브23 : 전극22 groove 23 electrode

26, 27, 28 : 제 1, 제 2 및 제 3 칼라 전극26, 27, 28: first, second and third color electrodes

본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 전극, 전극배열 및 전극 형성방법의 특징은, 격벽과 격벽 사이에 형성된 다수개의 그루브를 갖는 플라즈마 디스플레이 패널에 있어서, 상기 그루브 상에 소정 두께로 형성된 금속박막 전극을 포함하여 이루어지는 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 전극과, 격벽과 격벽 사이에 형성된 다수개의 그루브를 갖는 플라즈마 디스플레이 패널에 있어서, 상기 그루브 상에 형성된 제 1 칼라 전극, 제 2 칼라 전극 및 제 3 칼라 전극이 반복적으로 배열 되어 이루어짐을 특징으로 하는 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 전극배열과, 그 전극의 형성방법은 하부기판 상에 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 전극을 형성방법에 있어서, 상기 하부기판 상에 균일한 두께로 격벽층을 형성하는 단계와, 상기 격벽층 상에 포토레지스트를 형성하고 불필요한 부분을 제거하여 격벽을 형성하는 단계와, 상기 격벽과 격벽사이에 소정 두께로 박막 전극을 증착하는 단계와, 상기 격벽 상에 남아 있는 포토레지스트와 상기 박막 전극의 불필요한 부분을 제거하여 전극을 형성하는데 있다.In the plasma display panel according to the present invention, an electrode, an array of electrodes, and a method of forming an electrode include a metal thin film electrode having a predetermined thickness on the groove, the plasma display panel having a plurality of grooves formed between the partition walls and the partition walls. In a plasma display panel having an electrode of a color plasma display panel and a plurality of grooves formed between the partition wall and the partition wall, the first color electrode, the second color electrode and the third color electrode formed on the groove are repeatedly arranged. The electrode array of the color plasma display panel and the method of forming the electrode are formed in the method of forming the electrode of the color plasma display panel on the lower substrate, forming a partition layer having a uniform thickness on the lower substrate. And the photoresist on the partition layer. Forming a barrier rib by forming a gist and removing unnecessary portions; depositing a thin film electrode to a predetermined thickness between the barrier rib and the barrier rib; removing photoresist remaining on the barrier rib and unnecessary portions of the thin film electrode; To form an electrode.

이하, 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 전극, 전극배열 및 전극 형성방법의 바람직한 실시예를 설명한다.Hereinafter, a preferred embodiment of the electrode, the electrode arrangement and the electrode forming method of the plasma display panel according to the present invention.

도 2a 내지 도 2e는 본 발명에 따른 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 하부기판 상에 전극을 형성하는 순서도이다.2A to 2E are flowcharts of forming an electrode on a lower substrate of the color plasma display panel according to the present invention.

도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 하부기판 상에 전극이 형성되는 순서는 도 2a에 나타낸 바와 같이, 하부기판(14) 상에 격벽층(20)을 형성한다.Referring to FIG. 2, in order to form electrodes on the lower substrate of the color plasma display panel according to the present invention, as shown in FIG. 2A, the partition layer 20 is formed on the lower substrate 14.

이어, 도 2b에 나타낸 바와 같이, 상기 격벽층(20) 상에 소정간격으로 포토레지스트(Photoresist)(21)를 형성한다.Next, as shown in FIG. 2B, a photoresist 21 is formed on the barrier layer 20 at a predetermined interval.

이어, 도 2c에 나타낸 바와 같이, 노출되는 부분를 에칭하면, 하부기판(14) 상에 격벽이 만들어 진다.Subsequently, as shown in FIG. 2C, when the exposed portion is etched, a partition wall is formed on the lower substrate 14.

이어, 도 2d에 나타낸 바와 같이, 하부기판(14) 상에 소정 두께를 갖는 전극(23)을 증착한다.Subsequently, as illustrated in FIG. 2D, an electrode 23 having a predetermined thickness is deposited on the lower substrate 14.

상기 전극(23)은 박막증착, 전자빔 증착, 전기도금법에 의해 형성된다.The electrode 23 is formed by thin film deposition, electron beam deposition, or electroplating.

상기 전극(23)은 금(AU), 크롬(Cr), 구리(Cu)등의 금속 박막이다.The electrode 23 is a metal thin film such as gold (AU), chromium (Cr), copper (Cu), or the like.

이어, 도 2e에 나타낸 바와 같이, 포토레지스트(21) 상에 형성되어 있는 불필요한 전극(23)을 제거하면, 일정한 패턴의 전극(23)이 형성된다.Subsequently, as shown in FIG. 2E, when the unnecessary electrode 23 formed on the photoresist 21 is removed, the electrode 23 having a predetermined pattern is formed.

이때, 초음파를 이용하여 제거하거나 표면을 연마하여 포토레지스트(21)에 부착된 금속을 제거하고 포토레지스트를 제거한다.At this time, by using ultrasonic waves or by polishing the surface to remove the metal attached to the photoresist 21 and to remove the photoresist.

상기 전극(23)은 도 2e에 나타낸 바와 같이, 레드(Red), 그린(Green), 블루(Blue)의 형광체(24)가 각각 적당한 픽셀(Pixel) 위치에 번갈아 가며 반복적으로 소정 두께로 형성되어 있다.As shown in FIG. 2E, red, green, and blue phosphors 24 are repeatedly formed to have a predetermined thickness alternately at appropriate pixel positions. have.

이때, 형광체(24)는 일렉트로포레시스(electrophoresis) 기법에 의해 도포되며, 인쇄법에 의해서도 형성 가능하다.At this time, the phosphor 24 is applied by an electrophoresis technique, and can also be formed by a printing method.

또한, 상기 형광체(24)는 표준 전자 여기 형광체(24)이다.In addition, the phosphor 24 is a standard electron excitation phosphor 24.

상기 도포된 형광체(24)의 응집력을 높이기 위해 현탁성 부가 물질을 포함하고 있고, 이에 적합한 첨가물은 가루 왁스(Wax), 단일 또는 용융 염(Salt)와의 조합, 산, 용매제 또는 그들의 유체등을 포함하고 있다.Suspended additives are included to increase the cohesion of the applied phosphor 24. Suitable additives include powdered wax, combination with single or molten salt, acids, solvents or fluids thereof. It is included.

상기 형광체(24) 도포는 끝부분에서 서로 상반되는 두 개의 외부연결 피치를 최소화하고 제조시 필요로하는 크로스오버(Crossover) 회로의 연결 수를 줄이기 위해서, 도 3에 나타낸 바와 같이 제 1 칼라 전극(26) 및 제 2 칼라 전극(27)를 1개 그리고 각 두개의 제 3 칼라 전극으로 배열된 전극회로이다.Application of the phosphor 24 minimizes two external connection pitches at opposite ends and reduces the number of connection of the crossover circuit required in manufacturing, as shown in FIG. 3. 26) and an electrode circuit arranged with one and two second color electrodes 27 respectively.

상기 전극(23)의 형상은 도 2e, 4, 5에 나타낸 바와 같이, U자형, 사다리꼴, 반원형등이 있다.The shapes of the electrodes 23 are U-shaped, trapezoidal, semi-circular, and the like as shown in Figs. 2E, 4, and 5.

따라서, 상기 그루브(22) 및 전극(23)의 형상은 여러가지의 형상이 가능하며 그루브의 형상이 방전에 영향을 미치지 않는다.Therefore, the shape of the groove 22 and the electrode 23 can be a variety of shapes, the shape of the groove does not affect the discharge.

또한, 에칭에 의한 격벽 형성은 에칭이 등방성으로 에칭되므로 반원형의 그루브를 형성하는 것이 가장 쉬우며 에칭 조건의 설정을 통해서 그 기울기 정도를 더 날카롭게 할 수 있다.In addition, in the formation of the partition wall by etching, since the etching is isotropically etched, it is easiest to form a semicircular groove, and the degree of inclination can be made more sharp through the setting of the etching conditions.

상기 전극(23)은 도 3에 나타낸 바와 같이, 제 1 칼라 전극, 제 2 칼라 전극 및 제 3 칼라 전극이 반복 적으로 배열되어 있다.As shown in FIG. 3, the electrode 23 is a first color electrode, a second color electrode and a third color electrode repeatedly arranged.

상기 제 1 칼라 전극(26)은 상부기판(10)에서 첫 째끝에서 하부기판(14) 까지 뻗어져 있다.The first color electrode 26 extends from the first end of the upper substrate 10 to the lower substrate 14.

상기 제 2 칼라 전극(27)은 상부기판(10)에서 첫 째끝의 마주보고 있는 하부기판(14) 두 번째 끝까지 뻗어져 있다.The second color electrode 27 extends from the upper substrate 10 to the second end of the lower substrate 14 facing the first end.

상기 제 3 칼라 전극(28)은 번갈아 가며 상부기판(10)에서 하부기판(14)의 첫 번째끝, 두 번째 까지 뻗어져 있다.The third color electrode 28 alternately extends from the upper substrate 10 to the first end and the second of the lower substrate 14.

따라서, 상기 전극(23)의 인접 쌍은 상부기판(10)의 반대 끝까지 뻗어 있고, 외부적으로 적당한 유도회로와 연결되어 있다.Thus, adjacent pairs of the electrodes 23 extend to opposite ends of the upper substrate 10 and are externally connected to suitable induction circuits.

또한, 유사하게 격벽(16)를 포함하는 반대쪽 하부기판(14)의 전극(23)은 외부적으로 각각 적당한 유도 회로에 연결되어 있다.Similarly, the electrodes 23 of the opposite lower substrate 14, including the partition 16, are externally connected to appropriate induction circuits, respectively.

그리고 상/하부 구조를 실런트에 의해 밀봉된 공간에 방전 가스를 봉입하는데 하부의 모서리부에 뚫어 둔 구멍(도면 미표시)과 가스 주입 유리관(도면 미도시)을 결합시켜 이 구멍을 통해 밀봉된 패널부의 공기를 빼내며 그 배기할때 진공도는 보통 10-6∼ 10-8torr 정도이다.The upper and lower structures seal the discharge gas into the space sealed by the sealant, and the panel portion sealed through the hole by combining a hole (not shown) and a gas injection glass tube (not shown) drilled in the lower edge portion thereof. When evacuating air and evacuating it, the degree of vacuum is usually about 10 -6 to 10 -8 torr.

그리고 가스 주입장치에 의해 가스를 주입하며 유리관을 열로 봉합시켜 방전가스가 완전히 밀봉된 패널이 만들어진다.The gas is injected by the gas injection device and the glass tube is sealed with heat to form a panel in which the discharge gas is completely sealed.

본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 금속 전극이 금속 박막구조 이기 때문에 금속의 계면 결합력이 현저히 상승하기 때문에 방전특성이 향상되고, 수명이 향상되는 효과가 있다.Since the metal electrode of the plasma display panel according to the present invention has a metal thin film structure, the interfacial bonding force of the metal is significantly increased, thereby improving discharge characteristics and improving lifetime.

또한, 저 가격 및 고해상도의 플라즈마 디스플레이 패널을 제작할 수 있는 효과가 있다.In addition, there is an effect that can produce a plasma display panel of low cost and high resolution.

또한, 그루브 전체에 전극을 형성하므로서 발광하는 빛을 반사시켜 휘도를 높이는 효과가 있으며, 또한 어드레스 신호 인가시 전극간의 거리가 짧으므로 방전이 쉽게 발생하는 효과가 있다.In addition, the electrode is formed in the entire groove, thereby reflecting the light emitted, thereby increasing the brightness, and the distance between the electrodes is short when the address signal is applied, so that the discharge is easily generated.

또한, 그루브 형상은 여러가지의 형상이 가능하며 그루브의 형상이 방전에 영향을 미치지 않는다.In addition, the groove shape may be various shapes, and the shape of the groove does not affect the discharge.

또한, 에칭에 의한 격벽 형성은 에칭이 등방성으로 에칭되므로 반원형의 그루브를 형성하는 가장 쉬우며 에칭 조건의 설정을 통해서 그 기울기 정도를 더 날카롭게 할 수 있다.In addition, the partition wall formation by etching is the easiest to form a semi-circular groove since the etching is isotropically etched, and the degree of inclination can be further sharpened through the setting of the etching conditions.

Claims (17)

격벽과 격벽 사이에 형성된 다수개의 그루브를 갖는 플라즈마 디스플레이 패널에 있어서,In the plasma display panel having a plurality of grooves formed between the partition wall and the partition wall, 상기 그루브 상에 소정 두께로 형성된 박막 전극을 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 전극.And a thin film electrode formed to a predetermined thickness on the groove. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 박막 전극은 U자형 전극으로 형성됨을 특징으로 하는 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 전극.The thin film electrode may be formed of a U-shaped electrode. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 박막 전극은 사다리꼴 전극으로 형성됨을 특징으로 하는 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 전극.And the thin film electrode is formed of a trapezoidal electrode. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 박막 전극은 반원형 전극으로 형성됨을 특징으로 하는 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 전극.The thin film electrode is a semi-circular electrode, characterized in that the electrode of the color plasma display panel. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 박막 전극은 박막증착, 전자빔 증착, 전기도금법에 의해 증착됨을 특징으로 하는 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 전극.And the thin film electrode is deposited by thin film deposition, electron beam deposition, or electroplating. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 박막 전극은 금, 크롬, 구리중 한개 이상으로 혼합되어 이루어지는 금속박막 전극임을 특징으로 하는 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 전극.And the thin film electrode is a metal thin film electrode which is mixed with at least one of gold, chromium and copper. 격벽과 격벽 사이에 형성된 다수개의 그루브를 갖는 플라즈마 디스플레이 패널에 있어서,In the plasma display panel having a plurality of grooves formed between the partition wall and the partition wall, 상기 그루브 상에 형성된 제 1 칼라 전극, 제 2 칼라 전극 및 제 3 칼라 전극이 반복적으로 배열 되어 이루어짐을 특징으로 하는 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 전극배열.An array of electrodes of a color plasma display panel, wherein the first color electrode, the second color electrode, and the third color electrode formed on the groove are repeatedly arranged. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 제 1 칼라 전극은 상부기판에서 첫 째끝에서 하부기판 까지 배열 되어 있음을 특징으로 하는 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 전극배열.And the first color electrodes are arranged from the first end to the lower substrate of the upper substrate. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 제 2 칼라 전극은 상부기판에서 첫 째끝의 마주보고 있는 하부기판 두 번째 끝까지 배열 되어 있음을 특징으로 하는 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 전극배열.And the second color electrode is arranged from the upper substrate to the second end of the lower substrate facing the first end of the first substrate. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 제 3 칼라 전극은 번갈아 가며 상부기판에서 하부기판의 첫 번째끝, 두 번째 까지 배열 되어 있음을 특징으로 하는 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 전극배열.Wherein the third color electrodes are alternately arranged from the upper substrate to the first end and the second of the lower substrate. 하부기판 상에 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 전극을 형성방법에 있어서,In the method of forming the electrode of the color plasma display panel on the lower substrate, 상기 하부기판 상에 균일한 두께로 격벽층을 형성하는 단계와;Forming a barrier layer with a uniform thickness on the lower substrate; 상기 격벽층 상에 포토레지스트를 형성하고 불필요한 부분을 제거하여 격벽을 형성하는 단계와;Forming a barrier rib by forming a photoresist on the barrier layer and removing unnecessary portions; 상기 격벽과 격벽사이 및 포토레지스트 상에 소정 두께로 박막 전극을 증착하는 단계와;Depositing a thin film electrode with a predetermined thickness between the barrier rib and the barrier rib and on the photoresist; 상기 격벽 상에 남아 있는 포토레지스트와 상기 박막 전극의 불필요한 부분을 제거하여 전극을 형성하는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 전극 형성방법.And forming an electrode by removing an unnecessary portion of the photoresist and the thin film electrode remaining on the partition wall. 제 11 항에 있어서,The method of claim 11, wherein 상기 격벽 상에 남아 있는 포토레지스트는 초음파에 의해 제거됨을 특징으로 하는 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 전극 형성방법.And the photoresist remaining on the barrier rib is removed by ultrasonic waves. 제 11 항에 있어서,The method of claim 11, wherein 상기 격벽은 에칭에 의해 형성됨을 특징으로 하는 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 전극 형성방법.And the partition wall is formed by etching. 제 11 항에 있어서,The method of claim 11, wherein 상기 전극은 금, 크롬, 구리중 한개 이상으로 혼합되어 이루어짐을 특징으로 하는 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 전극 형성방법.The electrode is a method of forming an electrode of a color plasma display panel, characterized in that the mixture is made of one or more of gold, chromium, copper. 격벽과 격벽사이에 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 전극을 형성방법에 있어서,In the method of forming the electrode of the color plasma display panel between the partition wall and the partition wall, 상기 격벽층 상에 포토레지스트를 형성하고 불필요한 부분을 제거하여 격벽을 형성하는 단계와;Forming a barrier rib by forming a photoresist on the barrier layer and removing unnecessary portions; 상기 격벽과 격벽사이 및 포토레지스트 상에 소정 두께로 박막 전극을 증착하는 단계와;Depositing a thin film electrode with a predetermined thickness between the barrier rib and the barrier rib and on the photoresist; 상기 포토레지스트 제거 및 박막 전극의 불필요한 부분을 제거하여 U자형 전극을 형성하는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 전극 형성방법.Forming a U-shaped electrode by removing the photoresist and removing unnecessary portions of the thin film electrode. 격벽과 격벽사이에 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 전극을 형성방법에 있어서,In the method of forming the electrode of the color plasma display panel between the partition wall and the partition wall, 상기 격벽층 상에 포토레지스트를 형성하고 불필요한 부분을 제거하여 격벽을 형성하는 단계와;Forming a barrier rib by forming a photoresist on the barrier layer and removing unnecessary portions; 상기 격벽과 격벽사이 및 포토레지스트 상에 소정 두께로 박막 전극을 증착하는 단계와;Depositing a thin film electrode with a predetermined thickness between the barrier rib and the barrier rib and on the photoresist; 상기 포토레지스트 제거 및 박막 전극의 불필요한 부분을 제거하여 사다리꼴 전극을 형성하는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 전극 형성방법.Forming a trapezoidal electrode by removing the photoresist and removing unnecessary portions of the thin film electrode. 격벽과 격벽사이에 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 전극을 형성방법에 있어서,In the method of forming the electrode of the color plasma display panel between the partition wall and the partition wall, 상기 격벽층 상에 포토레지스트를 형성하고 불필요한 부분을 제거하여 격벽을 형성하는 단계와;Forming a barrier rib by forming a photoresist on the barrier layer and removing unnecessary portions; 상기 격벽과 격벽사이 및 포토레지스트 상에 소정 두께로 박막 전극을 증착하는 단계와;Depositing a thin film electrode with a predetermined thickness between the barrier rib and the barrier rib and on the photoresist; 상기 포토레지스트 제거 및 박막 전극의 불필요한 부분을 제거하여 반원형 전극을 형성하는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 전극 형성방법.Forming a semi-circular electrode by removing the photoresist and removing unnecessary portions of the thin film electrode.
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KR19980085551A (en) * 1997-05-29 1998-12-05 엄길용 Manufacturing Method of Plasma Display Device
KR19980085554A (en) * 1997-05-29 1998-12-05 엄길용 Manufacturing Method of Plasma Display Device
KR100366092B1 (en) * 2000-09-18 2002-12-26 삼성에스디아이 주식회사 Dry film resist and the fabrication method for plasma display panel using the same
KR100378792B1 (en) * 2000-02-29 2003-04-07 엘지전자 주식회사 Electrode in display panel and manufacturing method thereof

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19980085551A (en) * 1997-05-29 1998-12-05 엄길용 Manufacturing Method of Plasma Display Device
KR19980085554A (en) * 1997-05-29 1998-12-05 엄길용 Manufacturing Method of Plasma Display Device
KR100378792B1 (en) * 2000-02-29 2003-04-07 엘지전자 주식회사 Electrode in display panel and manufacturing method thereof
KR100366092B1 (en) * 2000-09-18 2002-12-26 삼성에스디아이 주식회사 Dry film resist and the fabrication method for plasma display panel using the same

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