KR19980072949A - 해상도 변환기능을 갖는 ic 검사장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 해상도 변환기능을 갖는 IC 검사장치에 관한 것으로서, 특히, 사용자에 의한 입력 데이터에 따라 주변 시스템 전반을 제어하는 제어부; 피측정물을 탑재하기 위한 트레이; 상기 제어부의 제어하에 소정의 펄스신호를 발생하는 펄스발생부; 상기 제어부에서 제공하는 제어신호에 응답하여 분주비를 결정하고, 상기 펄스발생부로부터 제공되는 펄스신호를 상기 선결정된 분주비에 따라 분주하여 분주신호를 발생하는 분주부; 상기 분주신호에 따른 소정의 해상도로 트레이상에 탑재된 피측정물의 높이를 측정하는 측정부; 상기 제어부의 제어하에 상기 피측정물의 높이 및 평면 방향으로 상기 측정부를 이송시키는 이송부; 및 상기 제어부의 제어하에 상기 측정부에서 얻은 데이터로부터 상기 피측정물의 불량을 판정하는 영상처리부를 구비하는 것을 특징으로 한다.
따라서, 본 발명에서는 분주신호에 의해서 라인형 센서의 해상도를 효율적으로 변환하도록 하고, 이를 소프트웨어적으로 제어하도록 구현함으로써, 다품종 소량생산시 검사부품의 측정정도가 상이한 경우 라인형 센서의 교체 및 설치작업이 제거되고, 이로인해 시간 및 경비가 절감되는 효과가 있다.

Description

해상도 변환기능을 갖는 IC 검사장치
본 발명은 해상도 변환기능을 갖는 IC 검사장치에 관한 것으로서, 특히, 피측정 물체인 IC패키지의 표면높이를 측정함에 있어서, 분주신호에 의해서 라인형 레인지센서의 측정 해상도를 효율적으로 변환하여 IC패키지의 검사속도를 향상시킬 수 있는 해상도 변환기능을 갖는 IC패키지 검사장치에 관한 것이다.
일반적으로, IC 검사장치는 피측정물 즉, IC패키지의 표면 높이를 비접촉 방식으로 측정하고, 측정된 데이터로부터 상기 피측정물의 양품 및 불량을 판정하는 장치이다. 다른 응용처로는 주로 산업용으로서, 유리표면의 결함검출 및 3차원 공작기계의 가공후 표면검사 등에 활용될 수 있다.
도 1 은 종래의 IC 검사장치를 설명하기 위한 블록도로서, 도시된 바와 같이, 사용자의 입력 데이터에 따라 시스템 전반을 제어하는 제어부(10)와, 피측정물을 탑재하기 위한 트레이(20)와, 피측정물의 높이를 측정하기 위한 레이저센서(40)와, 제어부(10)의 제어하에 레이저센서(40)를 평면 또는 높이 방향으로 이동시키기 위한 수치제어로봇인 XYZ로봇(60)과, 레이저센서(40)에 의해 측정된 데이터로부터 피측정물의 불량을 판정하는 영상처리기(80)로 구성된다.
상기와 같이 구성된 장치는 미국 뷰(View)사에서 제공하는 IC 패키지 검사장치로서, IC 패키지는 통상적으로 트레이(20)상에 탑재되어 레이저센서(40)의 하부에 공급된다. 이와같은 상황에서, 제어부(10)의 제어하에 XYZ로봇(60)은 레이저센서(40)가 IC패키지의 평면 또는 높이 방향으로 스캐닝하도록 구동하고, 레이저센서(40)는 고해상도로 피측정물을 찰상하여 IC의 리드의 높이를 측정하고, 이에 관련된 데이터를 영상처리기(80)에 보낸다.
그러면 제어부(10)의 제어하에 영상처리기(80)는 레이저센서(40)로부터 얻은 데이터를 계산하여 IC의 리드 휨 등을 판정하게 된다.
그러나, 상기와 같은 종래 기술은 피측정물의 높이를 측정하는 데 있어서, 측정 해상도 변경이 곤란하며, 측정 해상도를 변경하기 위해서는 부득이 고정되어 있는 센서를 교체해야 한다. 특히, 다품종 소량생산에 있어서, 검사부품의 측정정도가 상이한 경우는 센서의 교체작업을 실시해야 하는 데, 이러한 번거로운 작업은 시간 및 경비면에서 큰 부담이 된다.
본 발명의 목적은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 피측정 물체인 IC패키지의 표면높이를 측정함에 있어서, 분주신호에 의해서 라인형 레인지 센서의 측정 해상도를 효율적으로 변환하여 IC패키지의 검사속도를 향상시킬 수 있는 해상도 변환기능을 갖는 IC 검사장치를 제공하는 데 있다.
상기 문제점을 해결하기 위하여 본 발명의 장치는 사용자에 의한 입력 데이터에 따라 주변 시스템 전반을 제어하는 제어부; 피측정물을 탑재하기 위한 트레이; 상기 제어부의 제어하에 소정의 펄스신호를 발생하는 펄스발생부; 상기 제어부에서 제공하는 제어신호에 응답하여 분주비를 결정하고, 상기 펄스발생부로부터 제공되는 펄스신호를 상기 선결정된 분주비에 따라 분주하여 분주신호를 발생하는 분주부; 상기 분주신호에 따른 소정의 해상도로 트레이상에 탑재된 피측정물의 높이를 측정하는 측정부; 상기 제어부의 제어하에 상기 피측정물의 높이 및 평면 방향으로 상기 측정부를 이송시키는 이송부; 및 상기 제어부의 제어하에 상기 측정부에서 얻은 데이터로부터 상기 피측정물의 불량을 판정하는 영상처리부를 구비하는 것을 특징으로 한다.
도 1 은 종래의 IC 검사장치를 설명하기 위한 블록도.
도 2 는 본 발명에 의한 해상도 변환기능을 갖는 IC 검사장치를 설명하기 위한 블록도.
도 3 은 도 2 에서 라인형 레인지 센서의 측정방향을 설명하기 위한 도면
도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
10; 제어부 20; 트레이 40; 펄스발생부
60; 분주부 80; 측정부 100; 이송부
120; 영상처리부
이하, 첨부한 도면을 참고하여 본 발명을 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 2 는 본 발명에 의한 해상도 변환기능을 갖는 IC 검사장치를 설명하기 위한 블록도로서, 도시된 바와 같이, 사용자에 의한 입력 데이터에 따라 주변 시스템 전반을 제어하는 제어부(10)와, 피측정물을 탑재하기 위한 트레이(20)와, 제어부(10)의 제어하에 측정부(80)의 이동에 따라 연계되어 소정의 펄스신호를 발생하는 펄스발생부(40)와, 제어부(10)에서 제공하는 제어신호에 응답하여 분주비를 결정하고, 펄스발생부(40)로부터 제공되는 펄스신호를 상기 선결정된 분주비에 따라 분주하여 분주신호를 발생하는 분주부(60)와, 상기 분주신호에 따른 소정의 해상도로 트레이상에 탑재된 피측정물의 높이를 측정하는 측정부(80)와, 제어부(10)의 제어하에 상기 피측정물의 높이 및 평면 방향으로 측정부(80)를 이동시키는 이송부(100)와, 제어부(10)의 제어하에 측정부(80)에서 얻은 데이터로부터 상기 피측정물의 불량을 판정하는 영상처리부(120)로 구성된다.
상기 이송부(100)는 제어부(10)와 결합된 이동제어기(101)와, 이동제어기(101)와 결합된 서보구동부(102)와, 서보구동부(102)와 결합되고 서보구동부(102)로 인코딩신호를 피드백시키는 모터(104)로 구성된다.
상기 측정부(100)는 피측정물을 평면 및 높이 방향으로 측정하는 라인형 센서로 구성된다.
상기와 같이 구성된 바람직한 실시예에 관한 동작 전반을 설명하면 다음과 같다.
도 2 를 참조하여, 트레이(20)는 통상적으로 측정부(80)의 하부에 공급되고, 이와 같은 상황에서 제어부(10) 즉, 중앙처리장치는 사용자에 의해 입력되는 데이터에 따라 제어신호를 각 부에 발생한다.
이송부(100)는 측정부(80)와 볼스크류(a)에 의해 결합되고, 또한 제어부(10)의 제어하에 볼스크류(a)를 회전시킨다. 이러한 회전운동은 직선운동으로 변환됨으로써, 라인형 레인지센서인 측정부(80)를 피측정물 즉, IC패키지의 평면 또는 높이 방향으로 이동하도록 한다.
펄스발생부(40) 즉, 리니어 스케일(Linear Scale)은 제어부(10)의 제어하에 측정부(80)이 이동함에 따라 이와 연계되어 소정 주파수를 갖는 펄스신호를 발생한다. 여기에서, 펄스발생부(40)는 스위치를 사용하여 구현 가능하다.
분주부(60)는 제어부(10)의 명령에 따라 분주비를 결정하고, 펄스발생부(40)에서 제공하는 펄스신호를 선결정된 분주비로 분주한다.
예를들어, 분주비가 정수 N인 경우 분주부(100)는 입력 펄스신호를 N배 주기로 분주한 분주신호를 출력한다. 즉, 분주비가 1인 경우에 비해 이동거리가 N배가 되어서야 분주부(100)의 출력펄스신호가 발생되고, 이 출력펄스신호가 발생할 때 마다 레인지센서가 피측정물을 측정하게 된다, 이와같이 피측정물의 촬상 빈도수가 줄어들게 됨으로써, 평면의 해상도는 1/N로 줄어들게 된다.
이어서, 상기 측정부(80)에 의해서 얻어진 측정 데이터는 영상처리부(120)에 제공되고, 영상처리부(120)는 이를 근거로 IC패키지의 리드 휨이나 리드 간격 등을 검사하고, 측정된 IC패키지가 양품인지 또는 불량품인지를 판별하게 된다.
통상적으로, IC패키지 검사시 IC의 폭검사가 리드검사 보다 정밀성을 요한다, 도 3 을 참조하여, 라인형 레인지센서(1)는 복수개의 센서가 횡방향으로 나열되어 구성되며, 트래이(20)상에 탑재된 피측정물(2)의 평면방향(4) 또는 높이방향(6)으로 이동하며 피측정물을 스캔닝한다. 이때 이러한 방향으로 측정할 때 센서 자체에서 가지고 있던 최고 분해능이 IC리드폭검사에 적용된다. 따라서, 검사항목에 따라 측정방향의 선정은 매우 중요하다. 본 발명에서는 이 측정방향을 사용자가 명령입력 티칭(Teaching) 작업시 자동선정하면 영상처리부(120)에서 IC리드를 찾아 그 측정 방향을 결정하게 된다.
따라서, 상술한 바와 같이 본 발명에서는 분주신호에 의해서 라인형 센서의 해상도를 효율적으로 변환하고, 소프트웨어적으로 이를 제어하도록 구현함으로써, 다품종 소량생산시 검사부품의 측정정도가 상이한 경우 라인형 센서의 교체 및 설치작업이 제거뿐만 아니라 레인지센서의 해상도를 낮추는 대신 스캐닝 속도를 향상시킬 수 있다. 그 결과로 본 발명은 IC패키지를 검사하는 데 필요한 시간과 경비를 절감할 수 있는 효과가 있다.

Claims (2)

  1. 사용자에 의한 입력 데이터에 따라 주변 시스템 전반을 제어하는 제어부; 피측정물을 탑재하기 위한 트레이; 상기 제어부의 제어하에 소정의 펄스신호를 발생하는 펄스발생부; 상기 제어부에서 제공하는 제어신호에 응답하여 분주비를 결정하고, 상기 펄스발생부로부터 제공되는 펄스신호를 상기 선결정된 분주비에 따라 분주하여 분주신호를 발생하는 분주부; 상기 분주신호에 따른 소정의 해상도로 트레이상에 탑재된 피측정물의 높이를 측정하는 측정부; 상기 제어부의 제어하에 상기 피측정물의 높이 및 평면 방향으로 상기 측정부를 이송시키는 이송부; 및 상기 제어부의 제어하에 상기 측정부에서 얻은 데이터로부터 상기 피측정물의 불량을 판정하는 영상처리부를 구비하는 것을 특징으로 하는 해상도 변환기능을 가진 IC검사장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 측정부는 피측정물을 평면 또는 높이 방향으로 측정하는 라인형 센서로 구성되는 것을 특징으로 하는 해상도 변환기능을 갖는 IC 검사장치.
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