KR19980070412A - 바륨을 고수율로 수득하는 프릿가능한 증발성 게터 장치 - Google Patents

바륨을 고수율로 수득하는 프릿가능한 증발성 게터 장치 Download PDF

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KR19980070412A
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다니엘레 마르텔리
루이사 만토바니
스테파노 트리벨라토
기우세페 우루소
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마시모델라포타
사에스게터스에스.페.아.
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Abstract

본 발명은 통상적이거나 또는 평평한 디스플레이의 수상관에서 사용하여 적어도 300mg양의 바륨을 배출할수 있고 프릿 밀봉될수 있는 증발성 게터 장치에 관한것으로서, 이 장치는 반경방향의 리세스의 수가 변화될수 있는 상부 표면상에서 패킷의 형태로 BaAl4합금 및 니켈 분말의 혼합물이 제공되는 용기를 포함하고 있고, 불연속 금속 부재가 상기 패킷내에 제공되어 있다.

Description

바륨을 고수율로 수득하는 프릿가능한 증발성 게터 장치
본 발명은 바륨을 고수율로 수득하는 프릿가능한(frittable) 증발성 게터 장치에 관한 것이다. 공지된 바와 같이, 증발성 게터 재료는 텔레비젼 셋트용 수상관 및 컴퓨터 스크린의 내면에서 진공을 유지하기 위해 사용되고 있다. 현재 상당한 수준으로 개선되어 있지만, 한편으로는 평평한 디스플레이의 내면에서 증발성 게터 재료를 사용하는 것이 연구중에 있다.
수상관에서 통상적으로 사용되고 있는 게터 재료로는 관의 내부 벽상에 얇은 필름의 형태로 증착되는 금속 바륨이다. 이러한 필름을 수득하기 위해서는, 제조하는 동안 관내에 도입되는 증발성 게터 장치 분야에서 공지된 바와 같은 장치를 사용한다. 이들 장치는 바륨 및 알루미늄 화합물 분말, 약 1 : 1의 중량비의 BaAl4, 및 니켈 분말을 포함하는 개방 금속 용기를 포함한다. 바륨은 또한 '플래시(flash)'로서 규정된 활성화 공정에서 수상관의 외면에서 코일 수단에 의해 장치를 가열 유도함에 의해 증발을 일으키며, 분말의 온도가 800 내지 850℃의 범위 값에 이르게 될 때, 다음과 같은 반응이 발생된다.
BaAl4+ 4Ni → Ba + 4NiAl (Ⅰ)
이 반응은 강한 발열 반응이고 분말의 온도를 약 1200℃로 상승시키는데, 이 온도에서 바륨이 관 벽상으로 증발되고 바륨 증기는 금속 필름을 형성하도록 튜브 벽상에 승화된다. 증발성 게터 장치는 당해 기술 분야에서 널리 공지되어 있으며, 예를들어, 미국 특허 5,118,988호에는 수개의 리세스가 원주 방향으로의 패킷내에서 열 전파를 지체시키도록 분말의 패킷(packet)의 자유 표면에서 형성되어, 바륨 플래쉬를 제어하도록 하는 게터 장치가 기술되어 있다. 미국 특허 3,588,962호에는 금속 부재, 바람직하게는 와이어 네트가 분말의 패킷 내면에서 온도를 보다 균일하게 하도록 할 목적으로 일반적인 위치에서 분말의 패킷내에 침치되는 게터 장치가 기술되어 있다.
종래의 평평한 타입의 수상관을 제조하는 방법은 약 450℃의 용융 온도로 유리 페이스트를 용융되게 하거나 또는 공기의 존재하에 2개 부분사이에서 연성화하도록 하여, 소위 '프릿 밀봉(frit sealing)'조작에서 수행되는 서로 다른 2개의 유리 부분을 용접하는 단계를 포함한다. 종래의 수상관에 있어서, 게터 장치는 목부분을 통한 프릿 밀봉이 전자 총을 하우징하도록 제공된후 도입될수도 있고, 그러나, 이러한 경우에 게터 장치의 크기는 목부분의 지름에 의해 조건이 조정되고 그리고 수상관내의 장치의 정확한 위치 조정이 곤란하다. 반면에, 평평한 디스플레이의 경우에는, 프릿 밀봉 단계이후에 게터 장치를 위치시키는 것은 실제적으로 불가능하다. 이에따라, 수상관 제조업자가 프릿 밀봉하기전에 게터 장치를 삽입하는 경향이 증가하고 있다. 이 프릿 밀봉 단계 동안에, 게터 장치는 약 450℃의 온도에서, 대기 가스에 대해 그리고 저 용융 유리 페이스트에 의해 배출된 증기에 대해 노출된다. 주요한 결과로는 니켈의 표면이 산화된다는 것이다. 바륨 플래쉬동안에, 니켈 산화물은 알루미늄과 함께 강한 발열 반응을 일으켜서, 조절하는 것이 곤란하며, 이것은 분말 패킷을 상승되게 하거나, 이것으로부터 패킷을 칩을 배출시키거나 또는 용기를 부분적으로 용융시켜서, 게터 장치와 관 전체의 정확한 조작에 손상을 가한다. 이러한 문제는 이론적으로 플래쉬 조작동안에 적은 동력을 장치에 공급하여 극복될수 있고, 이것은 바륨 증발의 제어를 더욱 용이하게 할수 있지만, 증발 시간이 길어져서, 수상관 산업 분야에서는 용인될수 없다.
증발성 게터 장치는 개조하지 않거나 또는 상술한 단점을 야기하지 않고서 프릿 밀봉을 견뎌낼수 있는 증발성 게터 장치는 '프릿가능한'것으로 형성되어야 한다.
프릿가능한 게터 장치는 이미 제조되어 시판되고 있다. 이들 장치는 일부의 임계값을 초과하지 않는한 종래의 기술로 제조될수 있으며, 특히, 분말의 패킷이 특정 두께를 초과하여 사용하는 것이 불가능한데, 이것은 매우 큰 두께를 사용할 경우, 분말의 패킷 본체내에 생성된 열량이 단지 천천히 방산되어, 상술한 문제를 일으키기 때문이다. 실험상으로 장치내에 포함된 mg의 양과 mm의 장치 지름사이의 비가 약 10을 초과해서는 안된다는 것을 발견하였다. 수상관의 제조와 관련된 이유로 인해, 종래 기술을 사용하여 제조된 프릿가능한 게터 장치로부터 증발될수 있는 바륨의 최대 양이 약 200mg이 될 수 있도록 게터 장치의 최대의 가능 지름이 20mm이다. 그러나 큰 크기의 수상관은 적어도 300mg의 증발된 바륨양을 필요로 하여 종래 기술에 따른 프릿가능한 장치에 의해서는 이러한 요구가 충족될수 없다. 다음의 설명 및 청구범위에서, 200mg이상의 바륨 양을 증발시킬수 있는 프릿가능한 게터 장치는 '고수율 타입'이다.
비 프릿가능한 게터 장치의 경우에 뛰어난 결과를 수득하도록 하는 종래 기술의 해결책을 재분류하더라도, 고수율 프릿가능한 게터 장치를 수득하는 것은 불가능하며, 사실상 미국 특허 5,118,988호에 언급된 바와 같이 기술된 분말 패킷의 표면상에서 반경 방향의 리세스를 제조하더라도, 프릿 밀봉후에 바륨 증발의 조작은 패킷 그 자체의 팽창을 야기하거나 또는 그것으로부터 부스러기가 발생되도록 한다. 미국 특허 3,558,962에 따른 장치에 있어서, 바람직하게는 와이어 네트는 일반적인 위치에서 분말 패킷내에 침지된다. 네트가 용기 바닥에 접촉되거나 또는 바닥 그자체에 용접되거나, 또는 분말 패킷의 자유 표면내에서 압착된다. 또한 이경우에 있어서 네트의 이들 문제 모두는 프릿가능한 게터 장치를 수득하는 것이 곤란하여, 상술한바와 같은 문제를 일으킨다.
크기 제한이 없는 프릿가능한 게터 장치와 이에따라 고수율 장치를 제조하는 것이 여러 특허들의 목적이다.
미국 특허 4,127,361호에는 유기 실란의 보호 층 수단에 의해 프릿가능하게 제조될수 있는 게터 장치에 관해 기술되어 있는데, 이것의 효율에도 불구하고, 이 커버링 공정은 매우 느려서 산업적으로 제조하는 것은 용인될수 없다.
미국 특허 4,342,662 및 일본 특허 헤이 2-6185에는 7%의 이하의 실리콘 산화물을 포함하는 붕소 산화물의 유리 형 필름으로 분말 패킷의 전체를 커버링하거나 또는 단지 붕소 산화물의 유리 형 필름으로 단지 각각의 니켈을 커버링하여 수득된 (다음의 설명에서는 또한 프릿가능한 장치로서 간단하게 규정된) 프릿가능한 증발성 게터 장치가 기술되어 있다. 그러나 이들 장치를 제조하는 것은 어려운데, 이것은 필름이 제어되고 재생성가능한 두께를 가져야만 하기 때문이다.
도 1은 본 발명의 장치에서 사용될수 있는 불연속 금속 부재의 일부 가능한 실시예를 도시한 도면.
도 2-6은 본 발명에 따른 게터 장치의 일부 가능한 실시예를 부분적으로 도시한 도면.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
20, 30, 40 : 게터 장치, 21, 31, 41 : 용기
22, 32, 42 : 분말 23, 33, 43 : 금속 부재
44 : 융기부 26, 26', 37, 37', 47, 47' : 반경 방향 리세스
본 발명의 목적은 종래기술의 단점을 극복한 증발성 게터 장치를 제공하는 것이다.
본 발명에 따르면 이러한 목적은
a) 상단이 개방된 금속 용기와,
b) 반경 방향의 리세스가 적용되어 있는 상부 표면상에 패킷으로서 형성된, 용기내의 BaAl4와 니켈 분말의 혼합물과, 그리고
c) 형태가 평면이고 용기 바닥에 평행한 불연속 금속 부재를 포함하는 바륨을 고수율로 수득하는 프릿가능한 증발성 게터 장치에 있어서,
상기 금속 부재가 상기 용기의 바닥으로 이격되어 있는 위치에서 분말 패킷내에서 패킷 그자체의 자유 표면에 노출되지 않도록 침지되는 것을 특징으로 하는 프릿가능한 증발성 게터 장치를 제공함에 의해 달성된다.
본 발명의 목적을 달성하기 위해서는, 금속 부재가 바닥으로부터 이격되도록 그리고 표면에 노출되지 않도록하는 위치에서 분말 패킷내에 침지되는 것이 필요하다. 이러한 사실로 인해 게터 장치의 유도 가열은 주로 용기와 분말내에 침지된 금속 부재의 특징에 의해 주로 발생하며, 이후에 분말은 열을 게터 재료의 분말에 전달한다. 금속 부재와 용기 바닥사이의 접촉 면적에서 분말로의 열전달 효율이 떨어지고 그리고 국지적으로 과열이 발생되는 것이 관측되었다. 만약 이들 접촉 면적이 매우 많거나 또는 과도하게 연장된다면, 비 전파된 열이 분말의 패킷이 상승되도록 하고 일부의 경우에는 장치 부품이 용융되도록 한다. 반면에 금속 부재가 패킷의 자유 표면상에서 노출된다면, 표면 그 자체는 서로간의 결합이 열악하고 그리고 플래쉬 조작동안 수상관내에서 배출되게되는 면적으로 나누어진다.
금속 부재는 철 합금, 니켈 합금 또는 알루미늄 합금과 같은 다양한 금속으로 제조될수 있으며, 냉각 작업 능력이 용이한 강 AISI 304를 사용하는 것이 바람직하다.
금속 부재는 불연속적이고 본질적으로 평면이라면 다른 형태를 갖출수도 있다.
상기 부재는 이 부재 그자체와 용기 바닥사이에서 분말 부분내에서 생성된 바륨 증기의 배출을 방지할수 없기 때문에 불연속 조건이 필요하다. 이러한 조건은 대부분의 다른 기하적 형태에 의해 달성될수 있다. 일부의 가능한 실시예를 도 1에 도시하였다. 예를들어 금속 부재는 기저 분말로부터 바륨의 배출을 돕는 중앙 홀을 도시한 도면에서 요소(10)와 같은 바퀴살 형태를 갖는 금속 커트 블랭크(cut blank)로서 형성될수도 있다. 이것은 부재(12)로 예시된 바와 같이, 불규칙하거나 또는 규칙적인 방법으로 표면상에 다수의 홀이 분포되어 있는 커트 블랭크일수도 있거나, 또는 미국 특허 3,558,962호에 언급되어 기술된 바와 같은 와이어 네트일수도 있다.
이 부재는 본질적으로 분말 패킷내에 침지될수 있도록 평평하여야만 하는데, 이것은 일반적으로 용기 바닥과 접촉하지 않고 그리고 분말의 표면으로 나오지 않도록 수밀리미터의 두께를 갖추고 있다. 금속 부재가 용기의 바닥과 접촉되지 않아야만 한다는 조건은 다양한 방법으로 수득될수 있다. 일부의 실시예는 도 2-6에 다양한 금속 부재가 바닥으로부터 일정 거리에서 이들을 유지하도록 사용되는 다양한 방법에 따라 나타내어 지는 것을 도시하였지만, 각각의 다양한 형태의 부재(바퀴살 형태의 커트 블랭크, 구멍이 형성된 블랭크, 와이어등)는 다음에 설명된 배치들중 하나에서 사용될수 있다. 본 발명의 가능한 게터 장치는 도 2에 단면을 도시하였고, 이러한 장치(20)는 용기(21)의 바닥상에 분말의 제 1 부분(22)을 부어넣고, 이것의 상부 표면상에 평평한 금속 부재(23)를 배치하고 그리고 이 부재를 분말의 나머지 부분(24)으로 덮음에 의해 달성된다. 최종적으로 상기 분말은 패킷의 상부 표면(25)상에서 반경 방향의 리세스(26, 26')가 형성되도록 되어 있는 형태의 펀치로 용기내에서 압착된다. 금속 부재(23)의 위치조정 전후의 용기내에 배치된 분말 양의 중량비는 상기 패킷내에서 동일 부재의 수준을 결정하고 그리고 이에따라 리세스(26, 26')가 위치되어 있지 않은 곳일지라도 부재가 표면상에 노출되지 않도록 하는 방법으로 선택된다. 일반적으로 우수한 결과는 이러한 비가 약 1 : 2 내지 1 : 3 일 때 얻어진다. 도 3a에 예시된바와 같이, 다른 가능한 실시예에서, 금속 부재(33)는 구역적으로 변형되어 그상부에 일부의 '피트(feet)'를 수득한다. 본 발명에 따른 게터 장치(30)를 단면으로 나타낸 도 3b에 도시된 바와 같이, 부재(33)가 분말(32)이 존재하는 용기(31)내에 배치될 때, 피트(34)는 이것을 용기의 바닥(35)으로부터 예정된 거리에서 유지된다. 또한, 이 경우에, 분말 패킷의 상부 표면(36)상에는 반경 방향의 리세스(37, 37')가 제공된다. 또한, 본 발명의 다른 가능한 게터 장치의 단면을 도시한 도 4에 예시된 바와 같이, 분말(42)이 존재하는 용기(41)의 측벽(45)내에서 변형부(44)를 수득하고 그리고 금속 부재(43)를 변형부(44)상에 배치하는 것이 가능하다. 분말 패킷의 상부 표면(46)에는, 리세스(47, 47')이 형성 된다. 최종적으로, 도 5에서 본 발명에 따른 또 다른 가능한 게터 장치(50)를 단면으로 도시한바와 같이, 분말(52)을 포함하는 용기(51)의 바닥(55)상에 융기부(54)를 획득하여, 금속 부재가 놓여지는 지지부가 형성되는 것이 가능하다. 또한, 이 경우에, 분말 패킷의 상부 표면(56)에는 리세스(57, 57')가 형성된다. 이러한 후자의 가능성은 용기가 미국 특허 4,642,516에 기술되고 도 6에 도시된바와 같이 분말 패킷을 기계식으로 고정시키는 요소를 갖추어서 사용하는 경우에 바람직하다. 이 경우에, 사실상, 금속 부재(63)는 단지 평평하고 기계식 고정부(64)의 부품상에 놓여지는 것일수도 있다. 도 2-6에 예시된 바와 같은 경우에, 용기와 금속 부재의 변형부의 위치 및 크기는 금속 부재의 위치를 결정하고, 그리고 이것이 반경방향의 리세스가 위치되지 않는 곳이 아닐지라도, 분말 패킷의 상부 표면상에서 노출되지 않도록 하는 방법으로 형성된다.
본 발명에 따른 장치의 용기는 종래 기술의 용기중 하나일수도 있다. 이것은 일반적으로는, 압축에 의한 냉각 조작작업성을 용이하게 하고 그리고 수상관 프릿 밀봉 조작 동안 산화 조건에 대한 우수한 저항성을 위한 강, 바람직하게는 AISI 304 및 305이다. 상기 용기의 형태는 바닥은 차단되고 상단은 개방되어 있는 짧은 원통형이지만, 예컨데, 이미 기술한바와 같이 측벽의 바닥의 변형부와 같은, 이 기초 형태의 다양한 변형부가 가능하다.
분말 패킷은 분말 BaAl4과 분말 니켈의 혼합물로 구성된다. BaAl4의 입자 크기는 일반적으로 약 250㎛이다. 니켈 분말의 입자 크기는 일반적으로 약 60㎛이다. 두 재료사이의 중량비는 일반적으로 약 1.2 : 1 내지 1 : 1.2이다. 바람직하게는 이 중량비는 약 1 : 1 이다. 분말 패킷은 용기내에 느슨한 분말 혼합물을 부어넣고 그리고 이것을 적절한 펀치로 압축함에 의해 구역적으로 형성된다. 패킷의 상부 표면에 미국 특허 5,118,988호에 언급된 바와 같이 2 내지 8의 변수로 일부 리세스가 반경방향으로 형성된다.
또한, 본 발명의 장치는 질소 함유 변형체에서 제조될수도 있다. 이 분야에서 철 질화물, Fe4N, 게르마늄 질화물, Ge3N4또는 철 및 게르마늄의 중간체 질화물과 같은 소량의 질소 화합물을 포함하는 장치를 사용하는 것은 널리 공지되어 있다. 이 성분의 목적은 바륨 플래쉬 조작 단계 동안에 수상관내에서 적은 압력의 질소를 생성하여, 보다 더 연장되고 균일한 바륨 증착물을 수득하는 것이다.
본 발명은 다음 실예에서 더 예시될 것이다. 이들 실례는 제한된 것은 아니며 본 발명을 어떻게 실행하는지를 기술하였고 그리고 최적의 형태로 본발명을 적용할수 있도록 일부 실시예를 기술하였다.
실례 1
게터 장치는 바닥에 도 5에 도시된 바와 같은 1mm 높이의 융기부가 형성된 지름 20mm 이고 높이가 4mm인 강 AISI 304의 용기를 사용한다. 용기내에는 바닥 융기부상에 놓여지는 폭이 1.5mm의 매쉬를 갖는 강 AISI 304의 네트가 위치시켰다. 바륨의 전체 함량이 403mg에 대응하는 775mg의 분말 BaAl4및 875mg의 분말 니켈로 구성된 균질 혼합물을 용기에 부어넣었다. 이어서 분말 혼합물은 패킷(4)의 표면에서 반경방향의 리세스를 형성하도록 하는 형태로 된 펀치를 사용하여 용기의 내면상에서 압축하였다. 이에따라 수득된 샘플을 프릿 밀봉 조건하에서 실험하도록 공기내에서 1 시간동안 450℃에서 처리하였다. 이어서 샘플을 펌프 장치에 연결되어 있는 유리 플라스크에 배치하고, 이 플라스크를 비우고 그리고 바륨 증발 시험을 표준 ASTM F 111-72에 기술된 방법에 따라 수행하는 한편 가열이 시작된후 15s에 증발이 시작하도록 하는 동력을 사용하여 35s 동안 고주파 수단에 의해 장치를 가열시켰다. 시험 결과를 증발에 관련하여 상세하게 기록하였고, 나머지 사항 및 증발된 바륨의 양을 표 1에 기록하였다.
실례 2
785mg의 니켈과, 825mg의 분말 BaAl4및 40mg의 Fe4N로 형성되고, 질소 디스펜서를 포함하는 혼합물로 실례 1의 시험과 같이 반복하였다. 이 시험 결과를 표 1에 기록하였다.
(비교)실례 3
분말 패킷내에 와이어 네트를 부가하는 것을 제외하고 실례 1의 시험과 같이 반복하였다. 이 실례의 결과를 표 1에 기록하였다.
(비교)실례 4
패킷의 표면이 반경 방향의 리세스를 보이지 않도록 평평한 펀치로 용기내의 분말을 압축하도록 하여 실례 1의 시험을 반복하였다. 이 실례의 결과를 표 1에 기록하였다.
(비교)실례 5
평평한 바닥을 갖춘 용기를 사용하고 와이어 네트가 그것의 바닥에 놓여지도록 하여 실례 1의 시험을 반복하였다. 이 시험의 결과를 표 1에 기록하였다.
(비교)실례 6
분말 패킷의 표면에서 네트가 노출되도록 샘플을 사용하여 실례 1의 시험을 반복하였다. 이 샘플은 분말 혼합물을 용기에 부어넣고, 분말상에 네트를 배치하고, 그리고 평평한 펀치 수단에 의해 전체를 압축하여 수득하였다. 이 시험 결과를 표 1에 기록하였다.
표 1
실 례 비 고
1 패킷 손상무, 용기 손상무, 바륨 증발: 300mg
2 패킷 손상무, 용기 손상무, 바륨 증발: 330mg
3 분말 패킷 배출, 바륨 증발 : 탐색되지 않음
4 분말 패킷 중앙이 상당히 부품, 바륨 증발:300mg
5 용기 용융, 바륨 증발 : 탐색되지 않음
6 패킷 분말 표면에서 부스러기 배출, 바륨 증발 : 탐색되지 않음
상기 표에서 알수 있듯이, 본 발명(실례 1 및 2)에 따른 장치는 프릿가능한 것을 알수있는데, 이것은 이들이 분말 패킷 부풀림 또는 배출 또는 용기 용융과 관련된 문제를 보이지 않기 때문이며, 이외에도 이 장치는 300mg 이상의 바륨의 수율을 수득한다. 반면에, 모든 다른 장치에 있어서는, 전체 또는 부분적으로 분말을 부풀리거나 또는 배출되거나 또는 전체 장치가 용융이 발생하도록 하는 문제가 발생한다.

Claims (15)

  1. a) 상단이 개방된 금속 용기와,
    b) 상부 표면상에 반경 방향의 리세스가 형성되어 있는 패킷 형태의 용기내에 제공된 BaAl4와 니켈 분말의 혼합물과, 그리고
    c) 형태가 평면이고 상기 용기의 바닥에 평행한 불연속 금속 부재를 포함하고 있는, 바륨을 고수율로 수득하는 프릿가능한 증발성 게터 장치에 있어서,
    상기 금속 부재가 상기 용기의 바닥으로부터 이격되어 있는 위치에서 상기 분말의 패킷내에서 패킷 자체의 자유 표면에 노출되지 않도록 침지되어 있는 것을 특징으로 하는 프릿가능한 증발성 게터 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 분말 패킷내에 침지된 금속 부재가 바퀴살 형태를 갖추고 있는 금속 커트 블랭크(10)로서 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 프릿가능한 증발성 게터 장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 분말 패킷내에 침지된 금속 부재가 다수의 홀이 그것의 표면상에 분포되어 있는 커트 블랭크(12)로서 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 프릿가능한 증발성 게터 장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 분말 패킷내에 침지된 금속 부재가 와이어 네트로서 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 프릿가능한 증발성 게터 장치.
  5. 제 1 항에 있어서, 상부 개방 용기(21)와, 상기 용기의 바닥상에 BaAl4와 니켈 분말 패킷의 제 1 부분(22)과, 상기 분말의 제 1 부분상에 배치되고 BaAl4와 니켈 분말 패킷의 나머지 부분(24)을 덮는 평평한 금속 부재(23)와, 상기 분말 패킷의 상부 표면(25)상의 반경방향의 리세스(26, 26'...)를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 프릿가능한 증발성 게터 장치.
  6. 제 1 항에 있어서, 상부 개방 용기(31)와, 상기 용기(31)내에 삽입되는 BaAl4와 니켈 분말 패킷(32)과, 분말 패킷내에 침지된 피트(34)형태의 구역 변형부를 갖추어서 상기 피트가 상기 용기의 바닥(35)과 접촉되도록 구성되어 있는 금속 부재(33)와, 그리고 상기 분말 패킷의 상부 표면(37)상의 반경방향의 리세스(36, 36'...)를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 프릿가능한 증발성 게터 장치.
  7. 제 1 항에 있어서, 측벽(45)상에서 변형부(44)를 갖추고 있는 상부 개방 용기와, 용기내의 BaAl4와 니켈 분말 패킷(42)과, 상기 변형부에 의해 지지된 평평한 금속 부재(43)와, 그리고 상기 분말 패킷의 상부 표면(46)에서의 반경방향의 리세스(47, 47'...)를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 프릿가능한 증발성 게터 장치.
  8. 제 1 항에 있어서, 융기부(54)가 제공되어 있는 바닥(55)상의 상부 개방 용기(51)와, 상기 용기내의 BaAl4와 니켈 분말 패킷(52)과, 상기 융기부상에 놓여진 평평한 금속 부재(53)와, 그리고 상기 분말 패킷의 상부 표면(56)상의 반경 방향의 리세스(57, 57'...)를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 프릿가능한 증발성 게터 장치.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 용기 바닥상의 상기 융기부가 원형의 형태(64)를 갖추고 있는 것을 특징으로 하는 프릿가능한 증발성 게터 장치.
  10. 제 1 항에 있어서, 상기 BaAl4분말이 250㎛이하의 입자 크기를 갖추고 있는 것을 특징으로 하는 프릿가능한 증발성 게터 장치.
  11. 제 1 항에 있어서, 상기 니켈 분말이 60㎛이하의 입자 크기를 갖추고 있는 것을 특징으로 하는 프릿가능한 증발성 게터 장치.
  12. 제 1 항에 있어서, 상기 BaAl4과 니켈 분말의 중량비가 1.2 : 1 내지 1 : 1.2인 것을 특징으로 하는 프릿가능한 증발성 게터 장치.
  13. 제 12 항에 있어서, 상기 BaAl4과 니켈 분말의 중량비가 1 : 1 인 것을 특징으로 하는 프릿가능한 증발성 게터 장치.
  14. 제 1 항에 있어서, 상기 분말 표면에서의 리세스의 수가 2 내지 8인 것을 특징으로 하는 프릿가능한 증발성 게터 장치.
  15. 제 1 항에 있어서, 상기 분말 혼합물이 철 질화물, 게르마늄 질화물, 또는 철과 게르마늄의 중간체 질화물 중에서 선택된 질소 디스펜서 화합물을 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 프릿가능한 증발성 게터 장치.
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