KR19980066504A - 자외선(uv) 노광기 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 광원과 기판을 고정하고 그 사이에 광의 각도 및 방향을 변경시킬 수 있는 광경로 변경수단을 구비함으로써 기구적인 구성을 간단히 하고, 기계적인 오차의 발생을 방지할 수 있는 자외선(UV) 노광기에 관한 것으로서, 수직 아래 방향으로 빔을 출사하는 광원과, 상기 광원에서 출사된 빔을 통과시키는 원판과, 기판을 고정하는 진공척과, 상기 광원에서 출사되어 기판으로 입사되는 빔의 경로가 소정의 각도로 기울어지도록 변경하는 동시에 방향을 변경할 수 있도록 회전하는 광경로 변경수단을 포함한다. 이때, 상기 광경로 변경수단은 회전중심이 되어 상기 광원에서 출사되는 빔의 경로를 수평방향으로 변경하는 제1 미러(mirror)와, 상기 제1 미러와 소정의 간격을 갖도록 이격되어 설치되고 그 설치되는 경사각도에 따라 상기 제1 미러에서 반사된 빔이 소정 각도의 경사를 갖고 기판으로 입사되도록 하는 제2 미러로 구성된다.
Description
본 발명은 자외선(UV) 노광기에 관한 것으로서, 특히, 광시야각을 4방향으로 형성하기 위한 자외선(UV) 노광기에 관한 것이다.
일반적으로 액정 표시 소자(LCD : Liquid Crystal Display)의 시야각을 넓히기 위해서 액정의 상하 기판 사이에 일정한 방향으로 액정을 배열시킬 필요가 있다. 그러므로, LCD의 액정 배열 공정은 협소한 시야각을 개선시키기 위해 거치지 않으면 안되는 공정이다.
이하, 종래의 자외선(UV) 노광기를 첨부한 도면을 참조하여 설명한다.
도 1은 종래의 자외선(UV) 노광기를 나타내는 도면으로서, LCD의 기판에 4방향으로 빛을 조사하여 액정 표시 소자의 액정을 배열한다.
도 1을 참조하면, 소정의 각도를 유지하도록 빔을 출사하는 광원(10)과, 상기 광원(10)에서 출사된 빔을 통과시키는 원판(20)과, 기판(30)이 고정되어 안착되는 진공척(40)과, 상기 진공척(40)을 상하로 이동시키는 상하 위치 조정부(51)와, 상기 진공척(40)을 전후로 이동시키는 전후 위치 조정부(52)와, 상기 진공척(40)을 좌우로 이동시키는 좌우 위치 조정부(53)와, 상기 원판(20)과 진공척(40)을 360°회전시킬 수 있는 회전 조정부(54)와, 상기 원판(20)을 상기 회전 조정부(54)에 고정 연결하는 축(60)을 포함하여 구성된다.
상기와 같이 구성된 종래의 자외선(UV) 노광기에서는 먼저, 상기 상하 위치 조정부(51)를 사용하여 원판(20)과 기판(30) 사이의 갭을 조정하고, 요구되는 갭의 조정이 완료되면 상기 회전 조정부(54)를 사용하여 자세를 조정하고, 상기 전후 위치 조정부(52) 및 좌우 위치 조정부(53)를 사용하여 정렬을 수행한다. 이때, 기판(30)은 상기 진공척(40) 위에 고정되어 있다.
상기 원판(20)과 기판(30)의 갭과 정렬의 조정이 완료되면 일정한 각도를 유지하는 광원(10)의 동작에 의해 도 2의 (A)에 도시된 바와 같이 기판의 1/4 부분에 대한 1차 노광을 실시한다.
1차 노광이 완료되면, 상기 광원(10)을 차단하고 상기 상하 위치 조정부(51)를 사용하여 기판(30)을 하강시켜 상기 회전 조정부(54)의 회전 운동이 충분해지도록 갭을 확보한 후 상기 회전 조정부(54)를 사용하여 원판(20)과 기판(30)을 동시에 90°회전시킨다.
회전이 완료되면, 다시 상기 상하 위치 조정부(52)를 사용하여 1차 노광시와 동일한 갭을 확보하도록 위치 제어를 실시하고, 도 2 (B)에 도시된 바와 같이 2차 노광을 실시한다.
동일한 방법에 의해, 도 2 (C)에 도시된 바와 같이 3차 노광은 180°회전한 상태에서 실시하고, 도 2 (D)에 도시된 바와 같이 4차 노광은 270°회전한 상태에서 실시한다.
이상에서 설명한 바와 같은 종래의 자외선(UV) 노광기는 기판을 고정하고 있는 진공척을 90°씩 회전하기 때문에 위치결정정도를 ±1㎛ 이하로 하기 위하여 레이저 간섭계(laser interferometer)를 사용하는 시스템에서는 적은 충격에도 기계적인 오차가 발생하여 적용할 수 없게 되는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 그 목적은 광원과 기판을 고정하고 그 사이에 광의 각도 및 방향을 변경시킬 수 있는 광경로 변경수단을 구비함으로써 기구적인 구성을 간단히 하고, 기계적인 오차의 발생을 방지할 수 있는 자외선(UV) 노광기를 제공하는데 있다.
도 1은 종래 기술에 의한 자외선(UV) 노광기의 구성을 나타내는 도면,
도 2는 노광의 결과를 나타내는 도면,
도 3은 본 발명에 의한 자외선(UV) 노광기의 구성을 나타내는 도면.
도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
110 : 광원 120 : 원판
130 : 기판 140 : 스테이지(stage)
150 : 미러 박스(mirror box)
151 : 제1 미러 152 : 제2 미러
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 수직 아래 방향으로 빔을 출사하는 광원과, 상기 광원에서 출사된 빔을 통과시키는 원판과, 기판을 고정하는 진공척과, 상기 광원에서 출사되어 기판으로 입사되는 빔의 경로가 소정의 각도로 기울어지도록 변경하는 동시에 방향을 변경할 수 있도록 회전하는 광경로 변경수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 자외선(UV) 노광기를 제공한다.
본 발명의 실시예에 의하면, 상기 광경로 변경수단은 회전중심이 되어 상기 광원에서 출사되는 빔의 경로를 수평방향으로 변경하는 제1 미러(mirror)와, 상기 제1 미러와 소정의 간격을 갖도록 이격되어 설치되고 그 설치되는 경사각도에 따라 상기 제1 미러에서 반사된 빔이 소정 각도의 경사를 갖고 기판으로 입사되도록 하는 제2 미러로 구성된다.
이하, 본 발명에 의한 자외선(UV) 노광기의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 3은 본 발명에 의한 자외선(UV) 노광기의 구성을 나타내는 도면이다.
도 3을 참조하면, 수직 아래 방향으로 빔을 출사하는 광원(110)과, 상기 광원(110)에서 출사된 빔을 통과시키는 원판(120)과, 기판(130)을 고정하는 스테이지(stage)(140)와, 상기 광원(110)에서 출사되어 기판(130)으로 입사되는 빔의 경로가 소정의 각도로 기울어지도록 변경하는 동시에 방향을 변경할 수 있도록 90°의 간격으로 회전하는 미러 박스(mirror box)(150)를 포함하여 구성된다.
상기 미러 박스(150)는 회전중심이 되어 상기 광원(110)에서 출사되는 빔의 경로를 수평방향으로 변경하는 제1 미러(mirror)(151)와, 상기 제1 미러(151)와 소정의 간격을 갖도록 이격되어 설치되고 그 설치되는 경사각도에 따라 상기 제1 미러(151)에서 반사된 빔이 소정 각도의 경사를 갖고 상기 기판(130)으로 입사되도록 하는 제2 미러(152)로 구성된다.
상기와 같이 구성된 본 발명은, 상기 미러 박스(150)를 90°의 간격으로 회전시키면서 4차의 노광을 실시함으로서 도 2의 (A), (B), (C), (D)에 도시된 바와 같은 결과를 얻을 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의한 자외선(UV) 노광기는 기판과 광원을 고정하기 때문에 기계적인 충격에 의한 오차를 방지할 수 있기 때문에 종래의 위치결정을 위한 수단들이 필요없게 되어 구성이 간단하게 되는 효과가 있으며, 정확한 노광을 수행할 수 있게 되는 효과가 있다.
Claims (2)
- 수직 아래 방향으로 빔을 출사하는 광원과, 상기 광원에서 출사된 빔을 통과시키는 원판과, 기판을 고정하는 진공척과, 상기 광원에서 출사되어 기판으로 입사되는 빔의 경로가 소정의 각도로 기울어지도록 변경하는 동시에 방향을 변경할 수 있도록 회전하는 광경로 변경수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 자외선(UV) 노광기.
- 제1 항에 있어서,상기 광경로 변경수단은 회전중심이 되어 상기 광원에서 출사되는 빔의 경로를 수평방향으로 변경하는 제1 미러(mirror)와, 상기 제1 미러와 소정의 간격을 갖도록 이격되어 설치되고 그 설치되는 경사각도에 따라 상기 제1 미러에서 반사된 빔이 소정 각도의 경사를 갖고 기판으로 입사되도록 하는 제2 미러로 구성된 것을 특징으로 하는 자외선(UV) 노광기.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019970002092A KR19980066504A (ko) | 1997-01-24 | 1997-01-24 | 자외선(uv) 노광기 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019970002092A KR19980066504A (ko) | 1997-01-24 | 1997-01-24 | 자외선(uv) 노광기 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR19980066504A true KR19980066504A (ko) | 1998-10-15 |
Family
ID=65953039
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| KR1019970002092A KR19980066504A (ko) | 1997-01-24 | 1997-01-24 | 자외선(uv) 노광기 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR19980066504A (ko) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20170026086A (ko) * | 2015-08-28 | 2017-03-08 | 우시오덴키 가부시키가이샤 | 자외선 조사기 및 자외선 조사 장치 |
| KR20200092004A (ko) * | 2019-01-24 | 2020-08-03 | ㈜ 엘에이티 | 노광장치 및 이를 이용한 파인 메탈 마스크 제조방법 |
-
1997
- 1997-01-24 KR KR1019970002092A patent/KR19980066504A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| KR20170026086A (ko) * | 2015-08-28 | 2017-03-08 | 우시오덴키 가부시키가이샤 | 자외선 조사기 및 자외선 조사 장치 |
| KR20190082706A (ko) * | 2015-08-28 | 2019-07-10 | 우시오덴키 가부시키가이샤 | 자외선 조사 장치 |
| KR20200092004A (ko) * | 2019-01-24 | 2020-08-03 | ㈜ 엘에이티 | 노광장치 및 이를 이용한 파인 메탈 마스크 제조방법 |
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