KR19980066297A - 튀저걸이 구조 - Google Patents

Abstract

본 발명은 튀저걸이 구조에 관한 것으로, 보다 상세하게는 진공튀저를 위치에 관계없이 걸어둘 수 있고 이전과 설치가 간편한 튀저걸이 구조에 관한 것이다.

본 발명에 따르면, 몸체와, 몸체의 일측으로부터 돌출 형성된 걸이부와, 몸체의 타측으로부터 돌출 형성되어 벽체에 진공흡착되는 적어도 하나 이상의 흡착부로 이루어진 것을 특징으로 하는 튀저걸이가 개시된다.

Description

튀저걸이 구조

본 발명은 튀저걸이 구조에 관한 것으로, 보다 상세하게는 진공튀저를 위치에 관계없이 걸어둘 수 있고 이전과 설치가 간편한 튀저걸이 구조에 관한 것이다.

반도체 제조공정에 있어서, 일반적으로 웨이퍼를 집는데에는 튀저(tweezer)가 사용된다. 튀저는 일종의 핀셋으로 스텐레스 스틸이나 테플론(teflon)으로 만들어지는데 주로 스텐레스 스틸제의 튀저가 사용된다. 튀저의 끝은 넓적하게 가공하여 판형상의 웨이퍼를 안정하게 집을 수 있도록 되어 있다. 통상 튀저는 웨이퍼와 직접 접촉하기 때문에 항상 깨끗한 상태를 유지해야 하며, 특히 튀저의 끝부분, 즉 웨이퍼와 접촉하는 부분은 손에 닿아서는 안된다.

그러나 이러한 튀저를 사용하여 웨이퍼를 집는 경우 웨이퍼의 가장자리가 파손되는 것은 피할 수 없다. 이는 튀저 자체가 스테인레스 스틸로 만들어졌기 때문에 웨이퍼를 집는 튀저에 가하는 힘을 아무리 정교하게 조절한다 해도 두께가 얇고 약한 재질의 웨이퍼가 깨지는 것은 당연하다고 할 수 있다.

따라서 이와 같은 단점을 보완하기 위해 개선된 것이 진공튀저이다. 도 1을 참조하여 진공튀저에 대해 설명한다.

진공튀저는 진공 탭(10)과 몸체(20) 및 몸체에 부착된 진공 스위치(미도시)로 구성된다. 진공 탭(10)에는 단일의 진공 홀(12)이 형성되어 있고, 몸체(20)는 진공 탭(10)에 연결되고 통상 플라스틱 재질로 이루어지며 내부에는 진공라인(미도시)이 형성되어 외부 진공라인(24)과 단부(22)를 통해 접속된다. 또한 몸체의 소정위치에는 진공 스위치가 부착되어 진공라인을 개폐시키는 역할을 한다.

이와 같은 구조의 진공튀저를 이용하여 웨이퍼를 취급하는 방법을 설명하면 다음과 같다.

먼저 진공 탭(10)을 웨이퍼의 뒷면에 대고 진공 스위치를 오픈시켜 웨이퍼를 흡착하다. 이때, 진공 홀(12)을 통하여 공기가 흡입됨으로써 웨이퍼는 진공 탭(10)에 흡착된다. 이어 원하는 위치로 웨이퍼를 옮긴 다음 진공 스위치를 오프시키면 웨이퍼가 탈착된다.

이와 같이 각 라인에서 웨이퍼를 취급하는데 사용되는 진공튀저를 보관하는 경우에는 벽체에 부착된 튀저걸이에 걸어두는 것이 일반적이다.

일반적으로 튀저걸이는 벽체에 부착되는 몸체(3a)와 몸체로부터 돌출형성된 걸이부(3b)로 구성되어 있다. 이와 같은 구조의 튀저걸이가 벽체에 부착되는 형태에 대해 설명하면, 일예로 도 2A를 참조하면, 튀저걸이(3)의 몸체(3a)는 소정의 접착제(2)에 의해 벽체(1)에 부착되어 있다. 또한 다른 예로 도 2B를 참조하면, 튀저걸이(3)의 몸체(3a)는 다수의 나사(4)에 의해 벽체(1)에 고정된다.

이와 같이 튀저걸이(3)를 벽체에 부착한 후에 진공튀저를 사용하지 않는 경우에는 진공튀저의 뒷면에 형성된 홈(미도시)에 상기 튀저걸이(3)의 걸이부(3b)를 끼워 보관하게 된다.

그러나 이러한 종래의 부착형태는 몇 가지 문제점을 갖고 있다. 즉, 접착제를 이용하여 부착하는 경우에는 다른 장소로 이전하기 위해 떼어내면 그 자리에 지저분한 자국이 남고, 떼어내는 과정에서 실수를 하게되는 경우 튀저걸이 자체를 사용하지 못하게 된다. 또한 나사를 이용하는 경우에는 설비나 기타 금속으로 된 부분에는 설치할 수 없다는 문제점이 있다.

본 발명은 이러한 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 위치에 관계없이 부착할 수 있고, 이전 및 설치가 간편한 튀저걸이를 제공하는데 있다.

도 1은 일반적인 진공튀저의 정면도 및 측면도

도 2는 종래의 튀저걸이의 부착 상태도

도 3A는 본 발명에 의한 튀저걸이의 부착 상태도

도 3B는 본 발명의 흡착부의 부분 절단 사시도

본 발명의 튀저걸이에 따르면, 몸체와, 몸체의 일측으로부터 돌출 형성된 걸이부와, 몸체의 타측으로부터 돌출 형성되어 벽체에 진공흡착되는 적어도 하나 이상의 흡착부로 이루어진 것을 특징으로 한다.

바람직하게 흡착부는 하부 중앙이 움푹파인 접시형상으로 하부로 갈수록 측벽의 두께가 얇아지고 상부에서 소정의 접착제를 개재하여 몸체의 타측에 부착 고정된다. 또한 바람직하게 흡착부의 재질은 고무이다.

본 발명의 튀저걸이를 이용하는 경우 다른 장소로 이전하기 위해 튀저걸이를 떼어내도 그 자리에 아무런 자국을 남기지 않으며 또한 떼어내기가 매우 용이하다. 또한 나사를 이용하여 설치하지 못하는 설비나 기타 금속으로 된 부분에도 간단하게 설치할 수 있다는 이점이 있다.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.

도 3A를 참조하면, 본 발명의 튀저걸이 구조는 몸체(3b)와 몸체의 일측으로부터 돌출 형성된 걸이부(3b) 및 몸체(3b)의 타측으로부터 돌출 형성된 적어도 하나 이상의 흡착부(3c)로 구성된다.

흡착부(3c)는 도 3B에 도시된 바와 같이 하부 중앙이 움푹파인 접시형상으로 하부로 갈수록 측벽의 두께가 얇아진다. 바람직하게 흡착부(3c)의 재질은 고무로써 상부에 힘을 가하게 되면 하부단부는 외부로 밀려난다. 또한 흡착부(3c)는 상부에 소정의 접착제를 개재하여 몸체(3b)의 타측에 부착 고정된다.

이와 같은 구조의 튀저걸이(3)를 벽체에 부착하는 방법을 설명하면 다음과 같다. 먼저 튀저걸이(3)의 흡착부(3c)를 벽체에 접촉시킨다. 이어 몸체(3b)에 힘을 가하여 흡착부(3c)가 벽체를 압박하도록 한다. 이에 따라 흡착부(3c)내의 공기가 빠져나가며, 이후 가하던 힘을 제거하게 되면 흡착부(3c) 자체의 복원력에 의해 흡착부와 벽체 사이에는 부분적인 진공이 형성되어 벽체에 고정된다.

바람직하게는 상기한 바와 같이 흡착부(3c)의 상부에 힘을 가하게 되면 하부단부가 외부로 원활하게 밀려나도록 힘을 가하기 전에 흡착부(3c)에 수분을 도포할 수도 있다.

또한 벽체로부터 튀저걸이를 떼어내는 경우에는 먼저 흡착부(3c)의 일부분을 들어올려 진공을 해제하게 되면 용이하게 떼어낼 수 있다.

이와 같이 하여 본 발명의 튀저걸이는 설비나 금속으로 된 부분에도 간단히 설치할 수 있을 뿐아니라 다른 곳으로 이전하는 경우에도 용이하게 착탈할 수 있다.

상기한 바와 같이, 본 발명의 튀저걸이를 이용하는 경우 다른 장소로 이전하기 위해 튀저걸이를 떼어내도 그 자리에 아무런 자국을 남기지 않으며 또한 떼어내기가 매우 용이하다. 또한 나사를 이용하여 설치하지 못하는 설비나 기타 금속으로 된 부분에도 간단하게 설치할 수 있다는 이점이 있다.

Claims (4)

1. 몸체와,

   상기 몸체의 일측으로부터 돌출 형성된 걸이부와, 상기 몸체의 타측으로부터 돌출 형성되어 벽체에 진공흡착되는 적어도 하나 이상의 흡착부로 이루어진 것을 특징으로 하는 튀저걸이 구조.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 흡착부는 하부 중앙이 움푹파인 접시형상으로 상기 하부로 갈수록 측벽의 두께가 얇아지고 상부에서 소정의 접착제를 개재하여 상기 몸체의 타측에 부착 고정되는 것을 특징으로 하는 튀저걸이 구조.
3. 제 2 항에 있어서, 상기 흡착부의 재질은 고무인 것을 특징으로 하는 튀저걸이 구조.
4. 제 1 항 내지 제 3 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 튀저는 진공튀저인 것을 특징으로 하는 튀저걸이 구조.