KR19980038042A - 액정표시장치의 제조방법 및 그 제조방법으로 제조되는 액정표시장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 액정표시장치는 게이트버스라인, 데이터버스라인 및 스위칭소자를 덮는 보호막이 벤조싸이클로부텐(benzocyc1obutene:BCB) 등의 유기절연막으로 형성되고, 상기 스위칭소자의 드레인전극 부분의 보호막에는 콘택홀이 형성된다. 상기 콘택홀을 통하여 스위칭소자의 드레인전극과 연결된 화소전극이 보호막 위에 형성되고, 상기 스위칭소자의 드레인전극과 화소전극이 연결된 콘택홀 부분에 도전성 수지가 채워진다.

Description

액정표시장치의 제조방법 및 그 제조방법으로 제조되는 액정표시장치
본 발명의 목적은 유기절연막을 보호막으로 사용할 때 콘택홀 부분에서 집중적으로 발생하는 화소전극의 단선불량을 방지하는데 있다.defect(포인트 디팩트)불량을 방지하는 제조방법 및 그 제조방법에 의하여 제조되는 액정표시장치의 구조에 관한 것이다.홀(31)을 통하여 드레인전극(15b)과 접촉되는 화소전극(4)이 보호막(26) 위에 형성되어 있다.
수 있는 유기절연막을 사용함으로써 보호막 위에 형성되는 화소전극을 데이터버스라인 등에 중첩하여 고개구율의 액정표시장치를 구성할 수 있다.
그런데 도 2와 같이 구성되는 종래의 액정표시장치는 유기절연막으로 된 보호막 위에 화소전극이 되는 투명전극 즉, 예를들어 ITO막을 패터닝하면 유기절연막의 열팽창계수와 ITO막의 열팽창계수의 차이 때문에 도 2의 콘택홀(31)의 A부분에서 집중적으로 ITO막의 단선이 발생한다.결되는 화소전극을 형성한 후 상기 콘택홀에 도전성 수지를 채워넣는다.
도 1은 종래의 액정표시장치의 평면도이고,
도 2는 종래의 액정표시장치의 단면도이고,
도 3은 본 발명의 액정표시장치의 단면도이고,
도 4a∼도 4h는 본 발명의 제조공정도이다.
본 발명의 액정표시장치는 게이트버스라인, 데이타버스라인 및 스위칭소자를 포함하여 덮는 보호막에 콘택홀이 형성되고, 상기 콘택홀을 통하여 상기 스위칭소자와 연결되는 화소전극이 상기 보호막 위에 형성되고, 상기 콘택홀 부분에 상기 화소전극과 접촉되는 도전성 물질이 채워지는 구조를 포함하는 것을 특징으로 한다.레탄(urethane) 등의 열경화성 수지, 폴리카보네이트(polycarbonate),폴리에틸렌 (polyethylene), 폴리스틸렌(polystyrene) 등의 열가소성 수지를 사용할 수 있으며, 아래 표1-1의 벤조싸이클로부텐(benzocyclobutene:BCB), F첨가 폴리이미드(polyimide:PI) 등의 유기절연막과, 퍼플로오르사이클로부텐(perfluorocyclobutane:PFCB), 플로오르폴리알릴레이 드(Fluoropolyallylether:FPAE), 등의 유기절연막을 사용할 수 있다.
본 발명에서 보호막은 하나의 예로 벤조싸이클로부텐(benzocyclobutene:BCB)을 사용하였다.이하 실시예에서 본 발명의 액정표시장치의 제조방법 등에 대하여 상세히 설명한다.
(실시예)+ + +에 에칭하여 오믹접촉층(125)과 반도체층(122)을 형성한다(도 4d).+따라서 본 발명은 유전율이 작은 유기절연막을 보호막으로 사용하기 때문에 전압왜곡현상 및 크로스토크현상은 발생하지 않는다. 또한 상기 보호막(126)은 기판면을 평탄화 할 수 있어서 셀겝(cell gap)을 균일하게 하는데 유리하며, 배향막의 러빙공정에서 불량이 발생하지 않는 장점이 있다.레지스트 공정을 생략하고, 마스크를 사용한 노광공정에 의하여 패터닝한다.
본 발명의 액정표시장치는 게이트버스라인, 데이타버스라인 및 스위칭소자를 포함하여 덮는 보호막을 BCB막으로 형성하고, 상기 보호막에 형성되는 콘택홀에 도전성 수지를 채워넣음으로써, 상기 콘택홀 부분에서 집중적으로 발생하는 화소전극의 단선불량을 방지한다. 상기와 같은 특징을 갖는 본 발명의 액정표시장치는 고개구율의 특성을 살리면서도 콘택홀 부분에서 화소전극이 단선되지 않기 때문에 화면이 선명하고,점결함이 거의 발생하지 않는 효과가 있다.

Claims (18)

  1. 투명기판 위에 게이트버스라인, 데이타버스라인 및 스위칭소자를 형성하는 공정과, 상기 게이트버스라인, 데이타버스라인 및 스위칭소자를 포함하여 덮도록 보호막을 형성하는 공정과, 상기 보호막에 콘택홀을 형성하는 공정과, 상기 콘택홀이 형성된 보호막 위에 상기 스위칭소자와 연결되는 화소전극을 형성하는 공정과, 상기 콘택홀 부분에 도전성 물질을 채워넣는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
  2. 청구항 1에 있어서; 상기 보호막은 유기절연막인 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
  3. 청구항 2에 있어서; 상기 유기절연막은 폴리이미드계 수지, 아크릴계 수지, 열경화성 수지, 열가소성 수지 중 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
  4. 청구항 2에 있어서; 상기 유기절연막은 벤조싸이클로부텐, F첨가 폴리이미드, 퍼플로오르사이클로부텐, 플로오르폴리알릴레이드 중 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
  5. 청구항 2 내지 청구항 4 중 어느 한항에 있어서; 상기 유기절연막은 감광성 유기절연막인 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
  6. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서; 상기 도전성 물질은 수지로 된 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
  7. 청구항 6에 있어서; 상기 수지는 감광성인 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
  8. 청구항 1에 있어서; 상기 화소전극은 상기 게이트버스라인, 상기 데이터버스라인에 선택적으로 중첩되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
  9. 청구항 1에 있어서; 상기 화소전극은 ITO막으로 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
  10. 게이트버스라인, 데이타버스라인 및 스위칭소자를 포함하여 덮는 보호막에 콘택홀이 형성되고, 상기 콘택홀을 통하여 상기 스위칭소자와 연결되는 화소전극이 상기 보호막 위에 형성되고, 상기 콘택홀 부분에 상기 화소전극과 접촉되는 도전성 물질이 채워지는 구조를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  11. 청구항 10에 있어서; 상기 보호막은 유기절연막인 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  12. 청구항 11에 있어서; 상기 유기절연막은 폴리이미드계 수지, 아크릴계 수지, 열경화성 수지, 열가소성 수지 중 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  13. 청구항 11에 있어서; 상기 유기 절연막은 벤조싸이클로부텐, F첨가 폴리이미드, 퍼플로오르사이클로부텐, 플로오르폴리알릴레이드 중 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  14. 청구항 11 내지 청구항 13 중 어느 한항에 있어서; 상기 유기절연막은 감광성 유기절연막인 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  15. 청구항 10 내지 청구항 13 중 어느 한 항에 있어서; 상기 도전성 물질은 수지로 된 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  16. 청구항 15에 있어서; 상기 수지는 감광성인 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  17. 청구항 10에 있어서; 상기 화소전극은 상기 게이트버스라인, 상기 데이터버스라인에 선택적으로 중첩되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  18. 청구항 10에 있어서; 상기 화소전극은 ITO막으로 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
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