KR19980020495A - 반도체 제조 설비의 레벨 조정 장치 - Google Patents

반도체 제조 설비의 레벨 조정 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반도체 제조 설비의 레벨 조정 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체 제품이 생산되는 생산 라인 내에 설치되는 반도체 제조 장치에 있어서, 이 반도체 제조 설비를 생산 라인 내에 설치할 경우 라인 내의 바닥면과 수평이 이루어지도록 높이를 자동으로 보다 확실하게 조절할 수 있는 반도체 제조 설비의 레벨 조정 장치에 관한 것으로, 본 발명에 의한 반도체 제조 설비의 레벨 조정 장치는 소정 위치에 나사 구멍이 형성된 플레이트와, 상기 나사 구멍과 동일 직경의 나사 구멍을 가지며 상기 플레이트 하부면에 형성된 지지 부재와, 상기 지지 부재와 상기 플레이트의 나사 구멍을 통하여 삽입되고 외측에 나사산이 형성된 지지대와, 상기 플레이트를 상하 이동시키는 높이 조절 수단을 갖는 반도체 제조 설비의 레벨 조정 장치에 있어서, 상기 높이 조절 수단은 상기 구동에 연결되어 회전하는 구동기어와, 상기 지지대에 끼워지고 상기 구동 기어에 맞물려 회전하는 종동 기어를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

반도체 제조 설비의 레벨 조정 장치
본 발명은 반도체 제조 설비의 레벨 조정 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체 제품이 생산되는 생산 라인 내에 설치되는 반도체 제조 장치에 있어서, 이 반도체 제조 설비를 생산 라인 내에 설치할 경우 라인 내의 바닥면과 수평이 이루어지도록 높이를 자동으로 보다 확실하게 조절할 수 있는 반도체 제조 설비의 레벨 조정 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 제품은 산화 공정, 확산 공정, 이온 주입 공정, 화학 기상 증착 공정, 사진 식각 공정, 금속 공정 및 시험 공정 등이 진행되는 생산 라인 등에 설치되어 있는 반도체 제조 설비에 의해 생산되게 된다.
반도체 제조 설비가 외부 환경에 의해 수평 상태로 유지되지 못하고 기울어져 있는 상태가 계속 지속되면, 상기에 기술된 공정이 원할하게 진행되지 못하게 되어 반도체 제품의 품질이 떨어지게 된다. 이를 방지하기 위해 반도체 제조 설비를 생산 라인 내의 지정된 위치에 설치할 경우, 항상 수평 상태로 유지되어 있어야한다.
반도체 제조 설비를 수평 상태 즉, 설비의 높이를 조절하기 위한 방법으로 스패너 등의 조임 공구를 이용한 스크류(screw)방식의 레벨 조정 장치가 사용되고 있는 바, 그 일례로 도 1에 종래의 반도체 제조 설비의 일부를 절개하여 개략적으로 도시하였다.
도시된 바와 같이, 반도체 제조 설비(1)는 본체(2)와, 본체(2)를 다른 위치로 이송시키기 위하여 본체(2) 하부면에 설치되는 로울러(3)와, 로울러(3)에 의해 이송된 반도체 제조 설비(1)를 지지함과 동시에 높이를 조절할 수 있도록 본체(3) 하부면의 가장 자리 4 지점에 설치되는 레벨 조정 장치(4)와, 반도체 제조 설비의 높이가 제대로 조절이 되었는지를 작업자가 판단할 수 있도록 본체(2)의 외벽 일측에 부착되는 수평계(미도시)로 구성된다.
레벨 조정 장치(4)는 도 2에 도시된 바와 같이, 플레이트(5)의 가장자리에는 소정 길이의 지지 부재(6)가 용접 등의 방법을 이용하여 결합되어 있고, 이 플레이트(5)와 지지 부재(6)에는 상호 연결되는 나사공(7)이 관통 형성되어 있다. 이 나사공(7)에는 고정 너트(9)가 부착된 지지대(8)가 나사 결합되어 있는 바, 지지대(8)의 선단 일부가 플레이트(5)의 상부면으로 노출되도록 나사 결합되어 있다. 너트의 하부면과 이 너트의 하부면으로 돌출된 지지대(8)의 후단은 받침대(10)의 내부에 회전 가능하게 메립되어 있다.
고정 너트(9)는 받침대(10)의 상부면 위치에서 지지대(8)와 용접 등으로 고정 결합되어 플레이트(5)의 높이 조절시, 스패너 등의 조임 공구에 의해 수동으로 지지대(8)를 상, 하 이동시키는 역할을 한다.
이와 같이 구성된 종래의 반도체 제조 설비의 레벨 조정 장치의 작용을 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 2(A),(B)는 반도체 제조 설비를 지지하는 레벨 조정 장치의 작동 상태도를 나타내는 도면으로, 도 2(A)는 반도체 제조 설비를 생산 라인(미도시)내에 설치하기 전의 레벨 조정 장치를 나타낸 것이고, 도 2(B)는 반도체 제조 설비를 생산 라인(미도시)내에 설치완료된 상태의 레벨 조정 장치를 나타낸 것이다.
반도체 제조 설비(1)를 생산 라인(미도시)에 설치하기 위한 작업은 먼저, 생산 라인 내부의 정해진 위치까지 로울러(3)의 로울링으로 이동시킨다. 이 상태에서의 레벨 조정 장치의 지지대(8)는 본체 내부로 상당부분이 조임 공구에 의해 이동되어 있다. 이후 반도체 제조 장치(1)를 생산 라인 내부에서 수평으로 조절(adjust)하는 레벨 조정 작업을 시행한다. 이 레벨 조정 작업은 생산 라인의 환경에 따라 반도체 제조 설비가 기울지거나, 반도체 제조 장치의 설치 위치가 변경될 경우에 시행되는 바, 먼저 조임 공구 등을 사용하여 고정 너트(9)를 풀림 방향 또는 조임 방향중 어느 한 방향으로 회전시킨다.
그에 따라, 지지대(8)는 고정 너트(9)의 회전 방향과 같은 방향으로 회전되어 지지대(8)는 플레이트(5)의 나사공(7) 내부로부터 회전하면서 후퇴하게 된다. 이와 같이, 조임 공구를 이용하여 반도체 제조 설비 하부면의 가장 자리 4 지점에 설치되어 있는 레벨 조정 장치를 순서적으로 조정하는 바, 이때, 본체(2)의 외벽 일측에 부착되어 있는 수평계(미도시)를 작업자가 관찰하면서 반도체 제조설비를 수평 상태가 유지되도록 한다.
그러나, 상기와 같은 종래의 레벨 조정 장치는 작업자에 의해 수동으로 조절되기 때문에 반도체 제조 설비를 생산 라인 내에 설치하는 시간이 많이 소요되며, 인력이 많이 소비된다.
또한, 반도체 제조 설비 자체의 중량으로 인해 반도체 제조 설비를 지지하고 있는 레벨 조정 장치가 파손됨에 따라 반도체 제조 설비를 수리하는 시간이 길어 지고,그에 따라 반도체 제품 양산 증대에 큰 손실이 초래되는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 반도체 제조 장치를 생산 라인 내에 설치할 경우 라인 내의 바닥면과 수평이 이루어지도록 높이를 자동으로 보다 확실하게 조절할 수 있는 반도체 제조 설비의 레벨 조정 장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.
도 1은 종래의 반도체 제조 설비의 레벨 조정 장치를 개략적으로 도시한 사시도
도 2(A),(B)는 종래의 반도체 제조 설비를 지지하는 레벨 조절 장치의 작동 상태를 나타내는 단면도
도 3은 본 발명에 의한 레벨 조정 장치를 도시한 사시도
도 4(A),(B)는 본 발명에 의한 반도체 제조 설비를 지지하는 레벨 조절 장치의 작동 상태를 나타내는 단면도
도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
15 : 플레이트 16 : 지지 부재 17 : 나사공
19 : 워엄 20 : 워엄 휘일
21 : 구동부 22 : 지지대 23 : 회전체
24 : 반침판 25 : 구동축 26 : 워엄 기어
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면에 따라 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 3은 본 발명에 의한 레벨 조정 장치를 나타내는 사시도이고, 도 4(A),(B)는 본 발명에 의한 레벨 조정 장치의 작동 상태를 나타내는 도면이다. 본 실시예에 따른 레벨 조정 장치는 종래에서처럼, 본체 하부면의 가장 자리 4 지점에 설치되는 것으로, 반도체 제조 설비의 플레이트(15)의 하부면 자장 자리에는 소정 길이의 지지 부재(16)가 용접 등의 방법에 의해 결합되어 있고, 이 플레이트(15)과 지지 부재(16)에는 상호 연결되는 나사공(17)이 관통 형성되어 있다.
이 나사공(17)에는 워엄 기어(26)의 종동 기어인 워엄 휘일(20)과 지지대(22)가 나사 결합되어 있는 바, 지지대(22)의 상측 일부가 플레이트(15)의 상부면으로 돌출되도록 나사 결합되어 있고, 지지대(22)의 후측 단부는 받침대(24)의 내부에 메몰되어 있는 회전체, 예를 들면 베어링(23)에 억지 끼움으로 삽입되어 있으며, 이는 지지대(22)가 전진 및 후진하는 경우 지지대(22)의 회전이 용이하도록 하기 위한 것이다. 워엄 기어(26)의 종동 기어인 워엄 휘일(20)에는 구동 기어인 워엄(19)이 맞물려 있고, 이 워엄(19)에 구동부인 모터(21)의 회전축(25)이 억지 끼움으로 삽입되어 있다.
여기서, 워엄 휘일(20)과 지지대(22)의 결합 관계는 워엄 휘일(20)의 내벽면에 나사부가 형성되어 있고, 이 나사부에 지지대(22)의 외주면에 형성된 나사부가 상호 나사 결합되어 있는 것으로, 모터(21)에 의해 구동되는 워엄 기어(26)의 워엄(19)의 회전에 따라 종동 기어인 워엄 휘일(20)이 소정 방향으로 회전하게 되면, 이 워엄 휘일(20)의 회전력에 의해 지지대(22)가 전진 또는 후진되도록 하는 역할을 한다.
이와 같이 구성되는 반도체 제조 설비의 레벨 조정 장치의 동작 및 작용을 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 4(A)는 반도체 제조 설비의 작동 전의 상태이고, 도 4(B)는 반도체 제조 설비의 작동 후의 상태이다.
반도체 제조 설비를 생산 라인(미도시)에 설치하기 위한 작업은 먼저, 생산 라인 내부의 정해진 위치까지 로울러(도 1의 3)의 로울링으로 이동시킨다. 이 상태에서의 레벨 조정 장치의 지지대(22)는 본체 내부로 상당 부분이 상승되어 있어, 작업자가 리모콘 등의 제어 장치(미도시)를 사용하여 반도체 제조 설비의 플레이트 하부면의 4 모서리에 설치되어 있는 레벨 조정 장치(30)의 모터(21)를 구동시켜 지지대(22)의 받침대(24)가 생산 라인(미도시) 내의 바닥면과 접촉하도록 한다.
이와 같은 상태에서, 반도체 제조 장치를 생산 라인 내부에서 수평으로 조절(adjust)하는 레벨 조정 작업을 시행한다. 이 레벨 조정 작업은 생산 라인의 환경에 따라 반도체 제조 설비가 기울어지거나, 반도체 제조 장치의 설치 위치가 변경될 경우에 시행되는 것으로, 작업자는 본체 외벽 일측에 부착되어 있는 수평계(미도시)를 보면서 반도체 제조 설비가 수평이 되도록 하기 위해서 제어 장치로 레벨 조정 장치(30)를 순서적으로 조정해 나간다.
제어 장치로부터 인가된 신호에 의해 모터(21)가 소정 각도 회전하게 되어, 이 모터(21)의 회전축(25)에 축설된 워엄(19)이 회전하게 됨에 따라 이에 맞물린 워엄 휘일(20)도 따라서 회전하게 된다. 이 워엄 휘일(20)의 회전력에 의해 지지대(22)는 풀림 방향으로 회전하게 되어 지지대(22)의 상측 일부가 본체의 플레이트(15)과 지지 부재(16)에 형성된 나사공(17)으로부터 나사 빠짐된다. 이때 지지대(22)의 나사 빠짐은 받침대(24)의 내부에 메몰된 베어링(23)에 의해 원할하게 진행된다. 따라서, 반도체 제조 설비가 생산 라인 내의 바닥면과 수평이 이루어지도록 레벨 조정 작업을 자동으로 보다 확실하게 조절할 수 있다.
이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명에 의한 레벨 조정 장치에 따르면, 반도체 제조 설비를 생산 라인 내에 설치할 경우 라인 내의 바닥면과 수평이 이루어지도록 높이를 조정하는 레벨 조정 작업을 자동으로 보다 확실하게 조절할 수 있어 종래에서 처럼, 작업자에 의해 수동으로 조절되기 때문에 반도체 제조 설비를 생산 라인 내에 설치하는 시간이 많이 소요되며, 인력이 많이 소비되는 문제점을 해결할 수 있다.
또한, 반도체 제조 설비 자체의 중량으로 인해 반도체 제조 설비를 지지하고 있는 레벨 조정 장치가 파손됨에 따라 반도체 제조 설비를 수리하는 시간이 길어 지고,그에 따라 반도체 제품 양산 증대에 큰 손실이 초래되되는 문제점을 해결할 수 있는 효과가 있다.

Claims (7)

  1. 소정 위치에 나사 구멍이 형성된 플레이트와, 상기 나사 구멍과 동일 직경의 나사 구멍을 가지며 상기 플레이트 하부면에 형성된 지지 부재와, 상기 지지 부재와 상기 플레이트의 나사 구멍을 통하여 삽입되고 외측에 나사산이 형성된 지지대와, 상기 플레이트를 상하 이동시키는 높이 조절 수단을 갖는 반도체 제조 설비의 레벨 조정 장치에 있어서, 상기 높이 조절 수단은 상기 구동에 연결되어 회전하는 구동기어와, 상기 지지대에 끼워지고 상기 구동 기어에 맞물려 회전하는 종동 기어를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비의 레벨 조정 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 종동 기어는 워엄 기어의 워엄 휘일인 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비의 레벨 조정 장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 구동 기어는 워엄 기어의 워엄인 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비의 레벨 조정 장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 지지대의 하단은 베어링을 개재하여 받침대에 고정된 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비의 레벨 조정 장치.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 구동부는 모터인 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비의 레벨 조정 장치.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 모터는 스테핑 모터인 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비의 레벨 조정 장치.
  7. 제 5 항 또는 제 6 항에 있어서, 상기 모터는 리모콘에 의해 작동되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비의 레벨 조정 장치.
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