KR102663892B1 - 로드 포트 모듈 - Google Patents

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로버트 칼슨
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브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드
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Abstract

기판 로딩 장치는, 상기 기판 로딩 장치를 기판 처리 장치에 연결하도록 된 프레임으로서, 상기 프레임은 기판이 상기 기판 로딩 장치와 상기 기판처리 장치 사이에서 이송되는 이송 개구를 갖는, 프레임; 상기 이송 개구를 통하여 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너를 향하여 그리고 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너로부터 기판을 이송하기 위하여 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너를 홀딩하도록 프레임에 연결되는 카세트 지지부; 및 상기 카세트 지지부 상에 배치된 하나 이상의 퍼징 포트 노즐 위치를 가진 카세트 지지부 퍼징 포트로써, 각각의 하나 이상의 퍼징 포트 노즐 위치는 퍼징 포트 노즐 위치의 퍼징 포트 노즐이 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너의 적어도 하나의 퍼징 포트에 연결되도록 된, 카세트 지지부 퍼징 포트;를 포함하되, 각각의 퍼징 포트 노즐 위치는 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스를 획정하여, 상이한 소정의 퍼징 포트 노즐 구조를 각각 가지는 상이한 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈에 대응하는 상이한 교체 가능한 퍼징 포트 노즐은 상이한 퍼징 포트 특징부를 가지는 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너의 상이한 기판 카세트 컨테이너 중 적어도 하나의 퍼징 포트의 상이한 포트에 부합하여 결합하게 되는, 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈의 상이한 소정의 퍼징 포트 노즐 구조에 대응하는 하나 이상의 퍼징 포트 노즐 위치의 각각의 퍼징 포트 노즐 인터페이스에 제거 가능하게 장착된다.

Description

로드 포트 모듈
본 정규 출원은 2018년 11월 28일에 출원된 미국 가출원 번호 제62/772,481호에 대하여 우선권을 주장하며, 그 개시 내용은 그 전체가 여기에 참조로 편입된다.
본 발명의 실시예는 일반적으로 기판 처리 장치에 관한 것이고, 특히 기판 처리 장치를 위한 개선된 로드 포트 모듈에 관한 것이다
일반적으로, 반도체 제조에 사용되는 세정 건조 공기/가스 가능 로드 포트는 FOUPS(Front Opening Unified Pods)와 같은 기판 캐리어 컨테이너(본 명세서에서는 컨테이너라고 함)를 퍼징(purging)하는 데 사용된다. 퍼징 옵션이 있는 FOUPS는 일반적으로 전면 및/또는 후면(예를 들어, 컨테이너 기판 통로 개구에 대해) 포트 위치를 포함한다. 예를 들어, 퍼징 옵션이 있는 300mm FOUPS는 Entegris, Inc., Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. 및 Miraial Co., Ltd. 등 다양한 제조사에 의해 제조되지만, 이에 한정되는 것은 아니며, 컨테이너의 FOUP 퍼징 포트 위치에 대한 산업 표준은 없다.
퍼징 포트 위치에 대한 산업 표준이 없기 때문에 퍼징 포트 위치는 제조업체마다 다를 수 있다. 예를 들어, 위에서 언급한 제조업체 사이에는 전면 퍼징 포트에 대해 세 개의 다른 위치가 있고 후면 퍼징 포트에 대해 두 개의 다른 위치가 있을 수 있다. 퍼징 포트의 수도 제조업체마다 다를 수 있다. 퍼징 포트의 수도 동일한 제조업체의 제품마다 다를 수 있다. 예를 들어, 일부 FOUPS에는 2 개의 전면 퍼징 포트만 있는 반면 다른 FOUPS에는 2 개의 전면 퍼징 포트와 2 개의 후면 퍼징 포트가 있다. FOUP로 들어가고 나가는 퍼징 가스의 흐름은 또한 FOUPS에 있는 퍼징 포트의 입력 포트 및/또는 배기 포트 지정이 다를 수 있다는 점에서 달라질 수 있다.
퍼징 포트 결합 인터페이스(즉, 로드 포트의 퍼징 노즐과 결합되는 퍼징 포트 부분)는 제조업체 간에 또 다른 변수이다. 예를 들어, 일부 FOUPS에는 하드 플라스틱 퍼징 포트 결합 인터페이스가 있다. 다른 FOUPS에는 다른 유형의 인터페이스 중에서 불소 탄성체(예: DuPont Performance Elastomers LLC의 상표명 VitonTM으로 판매) 퍼징 포트 결합 인터페이스가 있다.
본 발명에 의하면 개선된 기판 로딩 장치가 제공된다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 기판 로딩 장치는, 기판 로딩 장치를 기판 처리 장치에 연결하도록 된 프레임으로서, 상기 프레임은 기판이 기판 로딩 장치와 기판처리 장치 사이에서 이송되는 이송 개구를 갖는, 프레임; 상기 이송 개구를 통하여 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너에 대하여 기판을 이송하기 위한 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너를 홀딩하도록 프레임에 연결되는 카세트 지지부; 및 카세트 지지부 상에 배치된 하나 이상의 퍼징 포트 노즐 위치를 가진 카세트 지지부 퍼징 포트로써, 각각의 하나 이상의 퍼징 포트 노즐 위치는 퍼징 포트 노즐 위치의 퍼징 포트 노즐이 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너의 적어도 하나의 퍼징 포트에 연결되도록 된, 카세트 지지부 퍼징 포트;를 포함하되, 각각의 퍼징 포트 노즐 위치는 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스를 획정하여, 상이한 소정의 퍼징 노즐 구조를 각각 가지는 상이한 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈에 대응하는 상이한 교체 가능한 퍼징 포트 노즐은 상이한 퍼징 포트 특징부를 가지는 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너의 상이한 기판 카세트 컨테이너의 적어도 하나의 퍼징 포트의 상이한 포트에 부합하여 결합하게 되는, 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈의 상이한 소정의 퍼징 노즐 구조에 대응하는 하나 이상의 퍼징 포트 노즐 위치의 각각의 퍼징 포트 노즐 인터페이스에 제거 가능하게 장착된다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 각각의 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스는 카세트 지지부의 소정의 데이텀에 대해 소정의 위치를 갖도록 배치되어, 각각의 퍼징 포트 노즐 인터페이스는 각각의 상이한 기판 카세트 컨테이너의 소정의 데이텀에 대하여 결정적으로 위치된다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 각각의 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스 및 각각의 서로 다른 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈의 서로 다른 소정의 퍼징 노즐 구성은 각각의 상이한 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈 중 각각의 하나를 다른 상이한 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈에 신속 교환 장착하도록 된다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 각각의 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스는 상이한 퍼징 포트 특징을 갖는 상이한 기판 카세트 컨테이너의 적어도 하나의 퍼징 포트 각각을 결정적으로 나타내는 노즐 위치 설정 데이텀을 획정한다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 각각의 퍼징 포트 노즐은 대응하는 퍼징 포트 노즐 모듈의 다른 퍼징 포트 노즐과 독립적인 유닛으로서 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스에 제거 가능하게 장착되고, 대응하는 퍼징 포트 노즐 모듈의 각각 독립적으로 장착된 퍼징 포트 노즐은 대응하는 퍼징 포트 노즐 모듈을 상이한 대응하는 퍼징 포트 노즐 모듈과 교체하기 위하여 상이한 대응하는 퍼징 포트 노즐 모듈의 상이한 퍼징 포트 노즐과 독립적으로 교체된다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 각각의 퍼징 포트 노즐은 대응하는 퍼징 포트 노즐 모듈의 다른 퍼징 포트 노즐과 독립적인 유닛으로서 퍼징 포트 노즐 인터페이스에 제거 가능하게 장착되고, 대응하는 퍼징 포트 노즐 모듈은 서로 다른 대응하는 퍼징 포트 노즐이 있는 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈로 노즐별로 교체된다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 각각의 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈은 모듈 프레임에 장착된 각각의 대응하는 퍼징 포트 노즐을 구비한 모듈 프레임을 구비하여, 상기 모듈 프레임은 각각의 대응하는 퍼징 포트 노즐에 공통으로 되며, 상기 모듈 프레임은 카세트 지지부에 연결된 공통 제거 가능한 장착 커플링을 형성하여, 카세트 지지부에 모듈 프레임을 제거 가능하게 장착하는 것은 공통 모듈 유닛으로서 각각의 퍼징 포트 노즐 인터페이스에 각각의 퍼징 포트 노즐을 장착하게 된다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 대응하는 퍼징 포트 노즐을 상부에 갖는 각각의 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈의 모듈 프레임은 대응하는 상이한 퍼징 포트 노즐을 상부에 구비한 각각의 다른 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈의 다른 프레임 모듈과 모듈 유닛으로서 교체된다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 각각의 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈은 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너 중 상이한 컨테이너들의 상이한 소정의 퍼징 포트 특징부에 대응한다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 기판 로딩 장치는, 상기 기판 로딩 장치를 기판 처리 장치에 연결하는 프레임으로서, 상기 프레임은 기판이 상기 기판 로딩 장치와 기판 처리 장치 사이로 이송되는 이송 개구를 구비하는, 프레임; 상기 이송 개구를 통하여 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너에 대하여 기판을 이송하도록 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너를 홀딩하도록 상기 프레임에 연결되는 카세트 지지부; 및 상기 카세트 지지부 상에 배치된 하나 이상의 퍼징 포트 노즐 위치를 가진 선택적으로 구성 가능한 카세트 지지부 퍼징 포트로서, 각각의 하나 이상의 퍼징 포트 노즐 위치는 퍼징 포트 노즐 위치에서의 퍼징 포트 노즐이 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너의 적어도 하나의 퍼징 포트에 연결하도록 되며, 각각의 퍼징 포트 위치는 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스를 획정하는, 카세트 지지부 퍼징 포트;를 포함하되, 적어도 하나의 퍼징 포트 노즐을 가지며 다수의 상이한 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈로부터 선택될 수 있는 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈로서, 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스에 모듈식으로 장착하기 위하여 상이한 소정의 퍼징 포트 노즐 구조를 각각 구비하여, 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈을 선택적으로 장착하는 것은 선택 가능하게 구조될 수 있는 카세트 지지부 퍼징 포트의 구조를 제 1 소정의 퍼징 포트 특징을 가지는 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너의 제 1 컨테이너와 부합하여 연결되게 되는 퍼징 포트 노즐 위치에 퍼징 포트 노즐을 가지는 제 1 구조로부터 제 1 소정의 퍼징 포트 특징과 다른 제 2 소정의 퍼징 포트 특징을 갖는 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너의 제 2 컨테이너에 부합하여 연결되는 퍼징 포트 노즐 위치에 퍼징 포트 노즐을 가지는 제 2 구조로 변화시킨다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스는 카세트 지지부의 소정의 데이텀에 대해 소정의 위치를 갖도록 배치되어, 교체 가능한 퍼징 노즐 인터페이스에 장착된 상이한 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈의 각각의 퍼징 포트 노즐은 각각의 상이한 기판 카세트 컨테이너의 소정의 데이텀에 대해 결정적으로 위치된다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스는 카세트 지지부의 소정의 데이텀에 대해 소정의 위치를 갖도록 배치되어, 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈의 선택 가능한 장착이 각각의 상이한 기판 카세트 컨테이너의 소정의 데이텀에 대하여 교체 가능한 퍼징 노즐 인터페이스에 장착된 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈의 장착에 실질적으로 일치하는 각 퍼징 포트 노즐의 결정적인 위치 설정을 한다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 각각의 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스는 카세트 지지부의 소정의 데이텀에 대해 소정의 위치를 갖도록 배치되어, 각각의 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스가 각각의 상이한 기판 카세트 컨테이너의 소정의 데이텀에 대해 결정적으로 위치한다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 각각의 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스 및 각각의 서로 다른 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈의 서로 다른 소정의 퍼징 노즐 구성은 상이한 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈 중 각각의 하나를 상이한 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈 중 다른 하나에 신속 장착하도록 된다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 각각의 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스는 상이한 퍼징 포트 특징을 갖는 상이한 기판 카세트 컨테이너의 적어도 하나의 퍼징 포트 각각을 결정적으로 나타내는 노즐 위치 설정 데이텀을 획정한다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 각각의 퍼징 포트 노즐은 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈의 다른 퍼징 포트 노즐에 독립적인 단위로서 교체 가능한 포트 노즐 인터페이스에 제거 가능하게 장착되며, 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈의 각각 독립적으로 장착된 퍼징 포트 노즐은 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈을 다른 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈과 교체하기 위하여 다수의 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈로부터 다른 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈의 상이한 퍼징 포트 노즐과 독립적으로 교체된다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 각각의 퍼징 포트 노즐은 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈의 다른 퍼징 포트 노즐과 독립적인 유닛으로서 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스에 제거 가능하게 장착되고, 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈은 상이한 대응하는 퍼징 포트 노즐이 있는 다른 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈로 노즐별로 교체된다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 다수의 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈로부터의 각각의 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈은 모듈 프레임이 각각의 대응하는 퍼징 포트 노즐에 공통으로 되도록 모듈 프레임에 장착된 각각의 대응하는 퍼징 포트 노즐을 갖는 모듈 프레임을 구비하며, 모듈 프레임은 카세트 지지부에 대한 공통 제거 가능한 장착 커플링을 형성하여, 모듈 프레임을 카세트 지지부에 제거 가능하게 결합하면 각 퍼징 포트 노즐을 공통 모듈 유닛으로서 각각의 퍼징 포트 노즐 인터페이스에 장착하게 된다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 대응하는 퍼징 포트 노즐을 상부에 갖는 각각의 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈의 모듈 프레임은 대응하는 상이한 퍼징 포트 노즐을 상부에 구비한 복수의 상이한 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈로부터 각각의 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈의 다른 모듈 프레임과 모듈 유닛으로서 교체된다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 다수의 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈로부터의 각각의 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈은 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너 중 상이한 컨테이너의 상이한 소정의 퍼징 포트 특징에 대응한다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따라 방법이 제공된다. 상기 방법은 기판 로딩 장치를 기판 처리 장치에 연결하도록 된 기판 로딩 장치의 프레임을 제공하는 단계로서, 상기 프레임은 기판이 기판 로딩 장치 및 기판 처리 장치 사이로 이송되는 이송 개구를 가지는, 프레임을 제공하는 단계; 상기 이송 개구를 통하여 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너에 대하여 기판을 이송하도록 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너를 홀딩하도록 프레임에 연결되는 카세트 지지부를 제공하는 단계; 및 상이한 교체 가능한 퍼징 포트 노즐을 기판 로딩 장치에 선택적으로 장착하는 단계로서, 하나 이상의 퍼징 포트 노즐 위치를 가진 카세트 지지부 퍼징 포트는 카세트 지지부 상에 배치되되, 각각의 하나 이상의 퍼징 포트 노즐 위치는 퍼징 포트 노즐 위치에서의 퍼징 포트 노즐이 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너의 적어도 하나의 퍼징 포트에 연결되도록 되어, 각각의 퍼징 포트 노즐 위치는 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스를 획정하여, 상이한 소정의 퍼징 노즐 구조를 각각 가지는 상이한 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈에 대응하는 상이한 교체 가능한 퍼징 포트 노즐은 상이한 퍼징 포트 특징을 가지는 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너의 상이한 기판 카세트 컨테이너의 적어도 하나의 퍼징 포트 중 상이한 포트에 부합하여 연결되는 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈의 상이한 소정의 퍼징 노즐 구조에 대응하는 하나 이상의 퍼징 포트 노즐 위치의 각 퍼징 포트 노즐 인터페이스에 제거 가능하게 장착되는, 상이한 교체 개능한 퍼징 포트 노즐을 기판 로딩 장치에 선택적으로 장착하는 단계;를 포함한다.
본 발명의 하나 이상의 실시예는 각각의 퍼징 포트 노즐 인터페이스가 각각의 상이한 기판 카세트 컨테이너의 소정의 데이텀에 대하여 결정적으로 위치하도록, 카세트 지지부의 소정의 데이텀에 대해 소정의 위치를 갖도록, 각각의 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스를 배치하는 단계를 추가로 포함한다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 서로 다른 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈 중 다른 하나와 서로 다른 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈 중 각각의 하나를 신속 교환 장착하는 단계를 추가로 포함한다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 각각의 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스는 상이한 퍼징 포트 특징부를 갖는 상이한 기판 카세트 컨테이너의 적어도 하나의 퍼징 포트 각각을 결정적으로 나타내는 노즐 위치 설정 데이텀을 획정한다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 각각의 퍼징 포트 노즐은 대응하는 퍼징 포트 노즐 모듈의 다른 퍼징 포트 노즐과 독립적인 유닛으로서 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스에 제거 가능하게 장착되고, 대응하는 퍼징 포트 노즐 모듈의 각각 독립적으로 장착된 퍼징 포트 노즐은 상이한 대응하는 퍼징 포트 노즐 모듈의 상이한 퍼징 포트 노즐과 독립적으로 교체되며, 상기 방법은 대응하는 퍼징 포트 노즐 모듈을 상이한 대응하는 퍼징 포트 노즐 모듈과 교체하는 단계를 추가로 포함한다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 각각의 퍼징 포트 노즐은 대응하는 퍼징 포트 노즐 모듈의 다른 퍼징 포트 노즐과 독립적인 유닛으로서 퍼징 포트 노즐 인터페이스에 제거 가능하게 장착되고, 상기 방법은 대응하는 퍼징 포트 노즐 모듈을 상이한 대응하는 퍼징 포트 노즐을 가진 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈과 노즐간에 교체하는 단계를 추가로 포함한다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 각각의 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈은 모듈 프레임에 장착된 각각의 대응하는 퍼징 포트 노즐을 구비한 모듈 프레임을 구비하여, 상기 모듈 프레임은 각각의 대응하는 퍼징 포트 노즐에 공통으로 되며, 상기 모듈 프레임은 카세트 지지부에 연결된 공통 제거 가능한 장착 커플링을 형성하여, 상기 방법은 각각의 퍼징 포트 노즐을 공통 모듈 유닛으로서 각각의 퍼징 포트 노즐 인터페이스에 장착하도록 카세트 지지부에 모듈 프레임을 제거 가능하게 연결하는 단계를 추가로 포함한다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 대응하는 퍼징 포트 노즐을 그 상부에 갖는 각각의 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈의 모듈 프레임은 대응하는 상이한 퍼징 포트 노즐을 그 상부에 가진 각각의 다른 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈의 다른 모듈 프레임과 모듈 유닛으로서 교체된다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 각각의 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈은 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너 중 상이한 컨테이너들의 상이한 소정의 퍼징 포트 특징부에 대응한다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따라 방법이 제공된다. 이 방법은, 기판 로딩 장치를 기판 처리 장치에 연결하도록 구성된 기판 로딩 장치의 프레임을 제공하는 단계로서, 상기 프레임은 기판 로딩 장치와 기판 처리 장치 사이에서 기판이 이송되는 이송 개구를 가지는, 프레임을 제공하는 단계; 상기 이송 개구를 통하여 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너에 대하여 기판의 이송을 위한 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너를 홀딩하도록 프레임에 연결되는 카세트 지지부를 제공하는 단계; 상기 카세트 지지부 상에 배치된 적 어도 하나의 퍼징 포트 노즐 위치를 가진 선택적으로 구성될 수 있는 카세트 지지부 퍼징 포트를 제공하는 단계로서, 각각의 하나 이상의 퍼징 포트 노즐 위치는 퍼징 포트 노즐 위치에서의 퍼징 포트 노즐이 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너의 적어도 하나의 퍼징 포트에 연결되도록 되되, 각각의 퍼징 포트 노즐 위치는 교체 가능한 ㅍ징 포트 노즐 인터페이스를 획정하는, 카세트 지지부 퍼징 포트를 제공하는 단계; 및 복수의 상이한 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈로부터 적어도 하나의 퍼징 포트 노즐을 가지는 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈을 선택하는 단계로서, 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스에 모듈식으로 장착되도록 상이한 소정의 퍼징 포트 노즐 구조를 각각 구비하는, 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈을 선택하는 단계;를 포함하되, 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈의 선택 가능한 장착은 선택 가능하게 구조되는 카세트 지지부 퍼징 포트의 구조를 퍼징 포트 노즐 위치에서의 퍼징 포트 노즐이 제 1 소정의 퍼징 포트 특징을 갖는 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너의 제 1 컨테이너에 부합하여 연결되는 제 1 구조에서 퍼징 포트 노즐 위치에서의 퍼징 포트 노즐이 제 1 소정의 퍼징 포트 특징과는 다른 제 2 소정의 퍼징 포트 특징을 갖는 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너 중 제 2 컨테이너 부합하여 연결되는 제 2 구조로 변화한다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스는 카세트 지지부의 소정의 데이텀에 대해 소정의 위치를 갖도록 배치되어, 교체 가능한 퍼징 노즐 인터페이스에 장착된 상이한 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈의 각각의 퍼징 포트 노즐은 각각의 상이한 기판 카세트 컨테이너의 소정의 데이텀에 대해 결정적으로 위치된다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스는 카세트 지지부의 소정의 데이텀에 대해 소정의 위치를 갖도록 배치되어, 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈의 선택 가능한 장착이 각각의 상이한 기판 카세트 컨테이너의 소정의 데이텀에 대하여 교체 가능한 퍼징 노즐 인터페이스에 장착된 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈의 장착에 실질적으로 일치하는 각 퍼징 포트 노즐의 결정적인 위치 설정을 한다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 각각의 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스는 카세트 지지부의 소정의 데이텀에 대해 소정의 위치를 갖도록 배치되어, 각각의 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스가 각각의 상이한 기판 카세트 컨테이너의 소정의 데이텀에 대해 결정적으로 위치한다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 서로 다른 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈 중 다른 하나와 서로 다른 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈 중 각각의 하나를 신속 교환 장착하는 단계를 추가로 포함한다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 각각의 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스는 상이한 퍼징 포트 특징부를 갖는 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너의 각 컨테이너의 적어도 하나의 퍼징 포트 각각을 결정적으로 나타내는 노즐 위치 설정 데이텀을 획정한다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 각각의 퍼징 포트 노즐은 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈의 다른 퍼징 포트 노즐에 독립적인 단위로서 교체 가능한 포트 노즐 인터페이스에 제거 가능하게 장착되며, 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈의 각각 독립적으로 장착된 퍼징 포트 노즐은 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈을 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈과 교체하기 위하여 다수의 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈로부터 다른 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈의 상이한 퍼징 포트 노즐과 독립적으로 교체된다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 각각의 퍼징 포트 노즐은 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈의 다른 퍼징 포트 노즐과 독립적인 유닛으로서 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스에 제거 가능하게 장착되고, 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈은 서로 다른 대응하는 퍼징 포트 노즐이 있는 다른 퍼징 포트 노즐 모듈로 노즐별로 교체된다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 다수의 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈로부터의 각각의 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈은 모듈 프레임이 각각의 대응하는 퍼징 포트 노즐에 공통으로 되도록 모듈 프레임에 장착된 각각의 대응하는 퍼징 포트 노즐을 갖는 모듈 프레임을 구비하며, 상기 모듈 프레임은 카세트 지지부에 대한 공통 제거 가능한 장착 커플링을 형성하여, 모듈 프레임을 카세트 지지부에 제거 가능하게 결합하면 각 퍼징 포트 노즐을 공통 모듈 유닛으로서 각각의 퍼징 포트 노즐 인터페이스에 장착하게 된다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 대응하는 퍼징 포트 노즐을 상부에 갖는 각각의 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈의 모듈 프레임은 대응하는 상이한 퍼징 포트 노즐을 상부에 구비한 복수의 상이한 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈로부터 각각의 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈의 다른 모듈 프레임과 모듈 유닛으로서 교체된다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 다수의 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈로부터의 각각의 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈은 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너 중 상이한 컨테이너의 상이한 소정의 퍼징 포트 특징부에 대응한다.
본 발명의 전술한 특징들 및 다른 특징들은 첨부 도면들과 관련하여 다음 설명에서 설명된다.
도 1a는 본 발명의 실시예에 따른 기판 프로세싱 장치의 개략적인 사시도이다.
도 1b는 본 발명의 양상들에 따른 기판 처리 장치의 개략도이다.
도 1c는 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치의 개략도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 도 1a 내지 도 1c의 임의의 기판 처리 장치의 로드 포트 모듈의 개략도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 도 2의 로드 포트 모듈의 개략도이다.
도 4a-4d는 본 발명의 실시예에 따른 도 2의 로드 포트 모듈의 일부의 개략도이다.
도 5는 본 발명의 특징에 따른 도 2의 로드 포트 모듈의 일부의 개략도이다.
도 6a 및 6b는 기판 이송 컨테이너의 개략도이다.
도 7a 및 7b는 본 발명의 실시예에 따른 도 1a-1c 중 어느 하나의 기판 처리 장치의 일부의 개략도이다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 도 2의 로드 포트 모듈의 일부의 예시적인 평면도이다.
도 9a는 본 발명의 실시예들에 따른 도 2의 로드 포트 모듈의 일부의 개략도이다.
도 9b는 본 발명의 실시예들에 따른 도 2의 로드 포트 모듈의 일부의 개략도이다.
도 9c-9g는 본 발명의 실시예들에 따른 도 2의 로드 포트 모듈의 일부의 개략도이다.
도 10은 본 발명의 실시예에 따른 도 2의 로드 포트 모듈의 일부의 개략도이다.
도 11a 및 11b는 본 발명의 실시예들에 따른 도 2의 로드 포트 모듈의 일부의 개략도이다.
도 12a 및 12b는 본 발명의 실시예들에 따른 도 2의 로드 포트 모듈의 일부의 개략도이다.
도 13은 본 발명의 실시예들에 따른 도 2의 로드 포트 모듈의 일부의 개략도이다.
도 14는 본 발명의 실시예들에 따른 도 2의 로드 포트 모듈의 일부의 개략도이다.
도 15는 본 발명의 실시예들에 따른 예시적인 순서도이다.
도 16은 본 발명의 실시예들에 따른 예시적인 순서도이다.
도 17은 본 발명의 실시예들에 따른 예시적인 순서도이다.
도 1a를 참조하면, 본 발명 내용의 특징을 포함하는 기판 처리 장치(10)의 사시도가 도시되어 있다. 본 발명은 도면에 도시된 특징를 참조하여 설명될 것이지만, 본 발명은 많은 다른 형태의 특징으로 구체화될 수 있음을 이해해야한다. 또한 적절한 크기, 모양 또는 유형의 요소 또는 재료를 사용할 수 있다.
도 1a에 예시된 특징에서, 장치(10)는 단지 예시적인 목적으로 일반적인 기판 배치 프로세싱 툴 구성을 갖는 것으로 도시되었다. 대안적인 실시예에서, 기판 처리 장치는 임의의 다른 적절한 구성을 가질 수 있는데, 아래에서 더욱 자세하게 설명되는 바와 같이, 본 발명의 특징은 도 1b 및 도 1c에 도시되어 있고, 2006년 5월 26일에 출원된 "선형 분산 반도체 공작물 처리 도구"라는 명칭으로 되며 그 전체 내용이 본원에 편입된 미국 특허 출원 번호 제11/442,511호에 설명된 바와 같은 개별 기판 처리 및/도는 선형 툴 스테이션에 대한 도구를 포함하는 임의의 기판 처리 툴 구조에도 동일하게 적용될 수 있다. 상기 장치(10)는 200mm 또는 300mm 반도체 웨이퍼, 반도체 패키징 기판(예: 고밀도 상호 연결), 반도체 제조 공정 이미징 플레이트(예: 마스크 또는 레티클) 및 평판 디스플레이에 대한 기판과 같은 임의의 원하는 유형의 평판 또는 기판을 취급하고 처리할 수 있다. 상기 장치(10)는 일반적으로 전방 섹션(12) 및 후방 섹션(14)을 포함할 수 있다. 전방 섹션(12)(전방이라는 용어는 예시적인 기준 프레임을 식별하기 위해 편의를 위해 여기서 사용되며, 대안적인 실시예에서 장치의 전방은 장치의 임의의 원하는 측면에 설정될 수 있다). 전방 섹션(12)은 팹에서 장치(10)의 내부로 기판을 가져올 수 있는 인터페이스를 제공하는 시스템(아래에서 더 자세히 설명됨)을 갖는다. 전방 섹션(12)은 또한 일반적으로 하우징(16) 및 후방 섹션(14)과 외부에 대한 전방 섹션 인터페이스 사이의 하우징 핸들링 기판에 위치된 자동화 구성 요소를 갖는다. 후방 섹션(14)은 전방 섹션의 하우징(16)에 연결된다. 상기 장치의 후방 섹션(14)은 제어된 분위기(예를 들어, 진공, 불활성 가스)를 가질 수 있고 일반적으로 기판을 처리하기위한 처리 시스템을 포함한다. 예를 들어, 후방 섹션은 일반적으로 기판 이송 장치가 있는 중앙 이송 챔버 및 장치 내의 기판에 원하는 제조 공정(예: 에칭, 재료 증착, 세척, 베이킹, 검사 등)을 수행하기위한 주변 처리 모듈을 포함할 수 있다. 기판은 팹 내에서 용기(T)(캐리어라고도 함)에 있는 처리 장치(10)로 이송될 수 있다. 용기(T)는 전방 섹션 인터페이스 상에 또는 그 부근에 위치할 수 있다. 용기로부터, 상기 기판은 전방 섹션의 자동화 구성 요소를 사용하여 BOLTS(Box Opener/Loader to Tool Standard)와 같은 인터페이스를 통해 전방 섹션(12)으로 이송될 수 있다. 기판은 하나 이상의 처리 모듈에서 처리하기 위해 로드 록(load locks)을 통해 대기 제어 후방 섹션으로 이송될 수 있다. 그 다음, 처리된 기판은 실질적으로 반전된 방식으로 전방 섹션(12)으로 반환된 다음, 제거를 위해 이송 용기(T)로 반환될 수 있다.
그렇지 않으면, 환경 프런트 단부 모듈 또는 EFEM으로 지칭될 수 있는 전방 섹션(12)은 팹 내에서 기판을 이송하는데 사용되는 이송 용기(T) 및 후방 처리 섹션(14)에서 제어된 대기에 대한 유입을 제공하는 로드 록(14L) 간의 잠재적 오염 가능성을 가지면서 기판이 접근되거나 처리되는 보호된 환경 또는 최소 환경을 획정하는 쉘 또는 케이싱을 가진다. 로드 포트 또는 로드 포트 모듈(24)(아래에서 추가로 설명될 하나 이상)은 전방 섹션과 FAB 사이의 인터페이스를 제공하는 전방 섹션의 하나 이상의 측면에 위치한다. 로드 포트 모듈은 2014 년 9 월 2 일에 발행되었고 '로트 포트 모듈'이라는 명칭으로 되며 그 전체가 본원에 참조로 편입되는 미국 특허 번호 8,821,099에 설명되어 있는 것과 실질적으로 유사 할 수 있다. 로드 포트 모듈(24)은 EFEM 내부와 외부 사이에 BOLTS 인터페이스와 같은 폐쇄 가능한 인터페이스를 형성하는 폐쇄 가능한 포트(30P)를 가질 수 있다. 도 1a에 도시된 바와 같이, 로드 포트 모듈은 기판 이송 용기(T)를 위한 지지 영역을 가질 수 있다. 이송 컨테이너가 일시적으로 완충될 수 있는 지지 구역 아래에 보조 보관 구역이 제공될 수도 있다. 이송 컨테이너 지지 영역은 그 위에 지지된 이송 컨테이너(T)를 최종 위치 또는 도킹 위치로 자동으로 이동시킬 수 있다. 로드 포트 모듈의 포트 도어는 이송 컨테이너를 열기 위해 도킹된 위치에 있을 때 이송 컨테이너와 맞 물릴 수 있으면서 로드 포트 프레임에서 액세스 포트(30P)를 개방하여, 이송 컨테이너 내의 기판에 대한 접근 및 컨테이너와 EFEM 내부 사이에서 기판을 이송하기위한 접근도 재공하게 된다. 포트 도어와 이송 컨테이너 사이의 결합은 미국 특허 번호 8,821,099에 설명된 대로 독립적으로 작동 가능한 키(key)에 의해 수행될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 여기에 설명된 로드 포트 모듈(24)은 재구성 가능한 퍼징 노즐 구성을 제공하는 세정 건조 공기/가스 가능 로드 포트 모듈이다(다른 퍼징 포트 노즐 위치(800A, 800B, 801A, 801B, 802A, 802B, 803A, 803B, 804A, 804B)를 도시하는 도 8 참조). 퍼징 노즐 구성은 예를 들어 로드 포트 모듈(24)에 결합될 컨테이너(T)의 구성에 따라 다수의 상이한 퍼징 노즐 구성으로부터 선택 가능하다. 통상적으로 로드 포트 제조업체는 소정의 퍼징 포트 구성을 갖는 단일 유형의 컨테이너에 맞춰진 로드 포트에 단일 퍼징 노즐 구성을 제공한다. 본 발명의 실시예에 따른 로드 포트(24)는 로드 포트 모듈(24)의 퍼징 노즐(900-903)(도 9a)이 모듈식으로 재구성되어 반도체 제조업체가 단일 컨테이너 제조업체의 단일 유형의 컨테이너 만 사용하도록 제한되지 않도록 한다는 점에서 유연성이 있는 로드 포트(24)를 제공한다. 본 발명의 로드 포트 모듈(24)은 각 컨테이너 퍼징 포트 구성에 대해 상이한 로드 포트 모듈을 제조하는 비용 및 물류없이 상이한 퍼징 포트 구성을 갖는 컨테이너의 사용을 제공한다. 본 발명의 로드 포트 모듈(24)은 또한 퍼징 노즐(900-903)(도 9a) 위치, 다수의 퍼징 노즐(900-903) 및 입력 노즐 및 출력 노즐로서 퍼징 노즐의 지정을 즉석(또는 그렇지 않으면 신속 교환(swap)으로 지칭 됨) 재구성하여 제공할 수 있다. 즉석 재구성은 퍼징 노즐(900-903)이 반도체 제조 환경 내에서 특정 시간에 사용되는 컨테이너 유형에 따라 로드 포트 제조업체 및/또는 최종 사용자/고객이 원하는 대로 재구성/재배치되되, 여기서 퍼징 노즐 모듈(1910T, 1910TA, 1910TB, 1910TC, 1910TD, 1910TE, 1910TF, 1910TG, 1910TH, 1910TI, 1910TJ, 1910TFLU, 1910TAFLU, 1910TBFLU, 1910TCFLU, 1910TDFLU, 1910THFLU, 1910TIFLU, 1910TFFLU, 1910TFFLU , 1910TJFLU)(본 명세서에서 일반적으로 퍼징 노즐 모듈 1910으로 지칭 됨 - 도 9b, 9c, 9f, 9g 참조) 및 퍼징 노즐 모듈(910T, 910TA, 910TB, 910TC, 910TD, 910TE, 910TF, 910TG, 910TH, 910TI, 910TJ, 910T1, 910TA1, 910TB1, 910TC1, 910TD1, 910TE1, 910TF1, 910TG1, 910TH1, 910TI1, 910TJ1)(본 명세서에서는 일반적으로 퍼징 노즐 모듈 910으로 칭함 -도 9a 참조)은 빠르게 교체되고, 로드 포트(24)에 퍼징 노즐 모듈(1910, 910)을 결합한 이후에 로드 포트(24) 상의 퍼징 노즐(900-903)의 현장 위치 조절 없이 컨테이너(T)의 소정의 퍼징 노즐 구조에 대응하는 소정의 고정 위치에 배치된다. 본 명세서에 설명된 바와 같이, 서로 다른 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈(1910, 910) 각각의 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스 및 서로 다른 소정의 퍼징 노즐 구성은 서로 다른 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈(1910, 910) 중 각각의 하나를 서로 다른 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈(1910, 910) 중 다른 하나에 신속하게 교체하여 장착하도록 구성된다. 본 발명의 실시예와 함께 사용될 수 있는 적합한 컨테이너(T)(또한 컨테이너(TA-TJ) 참조)는 Entegris, Inc., Shin-Etsu Polymer Co. Ltd., 및 Miraial Co., Ltd. 에 의해 제조된 FOUPS이다(예를 들어, 컨테이너(T-TJ)는 Shin-Etsu Polymer Co. Ltd. CT-CF-S_SHIN_ETSY, T-CF-S_SHIN_ETSY, CF-A_SHIN-ENSY, OB-CB_SHIN_ETSY; Entegris, Inc. SpectraTM, A300, F300; 및 Mirial co., Ltd. 4 포트, 2 포트와 같은 FOUPS에 대응할 수 있다).
본 명세서에서 설명되는 바와 같이, 로드 포트(24)의 각 퍼징 노즐(900-903)은 작업자에 의해 다수의 소정의 퍼징 포트 노즐 위치(800A, 800B, 801A, 801B, 802A, 802B, 803A, 803B, 804A, 804B(도 8)) 중 어느 하나로 이동될 수 있다. 가요성 유체 호스(10020-10023)(도 10)는 적어도 부분적으로 각 퍼징 노즐(900-903)(도 9)을 입력 가스 매니폴드(10030)(도 10) 또는 배기 가스 매니폴드(10040)(도 10)에 선택적으로 연결한다. 퍼징 노즐 구성의 한 유형(예를 들어, 컨테이너(T)의 경질 플라스틱 구성 퍼징 포트와 인터페이스하기 위하여, 컨테이너(T)의 퍼징 포트를 구성하는 불소 탄성체(예: DuPont Performance Elastomers LLC의 상품명 VitonTM으로 판매됨) 또는 컨테이너(T)의 다른 적절하게 구성된 퍼징 포트)는 또한 로드 포트(24)와 함께 사용하기 위해 선택된 컨테이너(T)의 퍼징 노즐 결합 인터페이스에 따라 다수의 서로 다른 교체 가능한 퍼징 노즐 구성으로부터 선택될 수 있다. 본 발명의 실시예가 FOUP(front opening unified pod) 스타일 컨테이너(T)와 관련하여 설명되었지만, 본 발명의 실시예는 SMIF 컨테이너를 포함하지만 이에 한정되는 것은 아니며 그렇지 않은 임의의 원하는 유형의 운송 컨테이너와의 고용을 위해 동일하게 확장될 수 있음에 유의한다.
이제 도 1b를 참조하면, 도구 인터페이스 섹션(2012)이 전달 챔버 모듈(3018)에 장착되어 인터페이스 섹션(2012)이 일반적으로, 예를 들어, 내부를 향하지만 이송 챔버(3018)의 종축(X)로부터 오프셋되어 있는 선형 기판 처리 시스템(2010)의 개략적 인 평면도가 도시되어 있다. 이송 챔버 모듈(3018)은 본원에 참고로 편입되는 미구 특허 출원 11/442,511호에 설명된 바와 같이, 다른 이송 챔버 모듈(3018A, 3018I, 3018J)을 인터페이스(2050, 2060, 2070)에 부착함으로써 임의의 적절한 방향으로 연장될 수 있다. 각각의 이송 챔버 모듈(3018, 3019A, 3018I, 3018J)은 프로세싱 시스템(2010) 전체에 걸쳐 예를 들어 처리 모듈(PM)의 내외부로 기판을 이송하기위한 기판 이송부(2080)을 포함한다. 알 수 있는 바와 같이, 각 챔버 모듈은 격리, 제어 또는 밀폐된 대기(예: N2, 세정 공기, 진공)를 유지할 수 있다.
도 1c를 참조하면, 선형 이송 챔버(416)의 종축(X)을 따라 취해질 수 있는 예시적인 처리 도구(410)의 개략적인 입면도가 도시된다. 일 특징에서, 도 1c에 도시된 바와 같이, 도구 인터페이스 섹션(12)은 대표적으로 이송 챔버(416)에 연결될 수 있다. 이 특징에서, 인터페이스 섹션(12)은 도구 이송 챔버(416)의 일 단부를 획정할 수 있다. 도 1c에 도시된 바와 같이, 이송 챔버(416)는 예를 들어 인터페이스 섹션(12)의 반대쪽 단부에 또 다른 작업물 진입/출구 스테이션(412)을 가질 수 있다. 다른 특징에서, 공구 이송 챔버(416)의 단부 사이 에서와 같이, 이송 챔버로부터 작업물을 삽입/제거하기 위한 다른 진입/출구 스테이션이 제공될 수 있다. 본 발명의 일 특징에서, 인터페이스 섹션(12) 및 진입/출구 스테이션(412)은 도구로부터 작업물의 로딩 및 언로딩을 허용할 수 있다. 다른 측면에서, 공작물은 한쪽 끝에서 도구에 로드되고 다른 쪽 끝에서 제거될 수 있다. 일 특징에서, 이송 챔버(416)는 하나 이상의 이송 챔버 모듈(18B, 18i)을 가질 수 있다. 각 챔버 모듈은 격리, 제어 또는 밀폐된 대기(예: N2, 세정 공기, 진공)를 유지할 수 있다. 앞서 언급한 바와 같이, 도 1c에 도시된 이송 챔버(416)를 형성하는 이송 챔버 모듈(18B, 18i), 로드 락 모듈(56A, 56B) 및 공작물 스테이션의 구성/배열은 단지 예시일 뿐이며, 다른 측면에서 이송 챔버는 임의의 원하는 모듈식 배열로 배치된 더 많거나 적은 모듈을 포함한다. 일 특징에서, 스테이션(412)은 로드 락일 수 있다. 다른 특징들에서, 로드 락 모듈은(스테이션(412)과 유사한) 단부 입구/출구 스테이션 사이에 위치할 수 있거나, 인접한 이송 챔버 모듈(모듈(18i)과 유사함)이 로드 락으로서 작동하도록 구성 될 수 있다. 또한 전술한 바와 같이, 이송 챔버 모듈(18B, 18i)은 내부에 하나 이상의 대응하는 이송 장치(26B, 26i)를 구비한다. 각각의 이송 챔버 모듈(18B, 18i)의 이송 장치(26B, 26i)는 협력하여 이송 챔버에 선형으로 분포된 공작물 이송 시스템(420)을 제공할 수 있다. 다른 특징에서, 이송 챔버 모듈(18B)은 임의의 적절한 이송 카트(미도시)가 선형 이송 챔버(416)의 길이의 적어도 일부를 따라 이송 챔버 모듈(18B) 사이를 이동할 수 있도록 구성될 수 있다. 알 수 있는 바와 같이, 이송 카트(900)는 여기에 장착된 임의의 적합한 이송 장치를 포함할 수 있고 여기에 설명된 이송 장치와 실질적으로 유사할 수 있다. 도 1c에 도시된 바와 같이, 일 특징에서, 이송 장치(26B)의 아암은 또한 다음에서 자세하게 설명되는 바와 같이 이송 장치가 픽/플레이스 위치로부터 웨이퍼를 신속하게 스왑할 수 있도록 하는 고속 스왑 배열로 지칭될 수 있는 것을 제공하도록 배열 될 수 있다. 이송 아암(26B)은 종래의 구동 시스템과 비교하여 단순화된 구동 시스템으로부터 3 자유도(예를 들어, Z 축 운동을 갖는 어깨 및 팔꿈치 관절에 대한 독립적 회전)를 각 암에 제공하기 위한 적절한 구동 섹션을 가질 수 있다. 다른 특징에서, 구동 섹션은 3 자유도보다 많거나 적은 자유도를 가진 암을 제공할 수 있다. 도 1c에 도시된 바와 같이, 일 특징에서, 상기 모듈(56A, 56, 30i)은 이송 챔버 모듈(18B, 18i) 사이에 위치할 수 있고, 적절한 처리 모듈, 로드 락, 버퍼 스테이션, 계측 스테이션 또는 다른 원하는 스테이션을 획정 할 수 있다. 예를 들어, 로드 록(56A, 56) 및 공작물 스테이션(30i)과 같은 틈새 모듈은 이송 챔버의 선형 축(X)을 따라 이송 챔버의 길이를 통하여 이송을 하게 할 이송 암 또는 작업물과 함께 작동하게 되는 고정 작업물 지지체/선반((56S, 56S1, 56S2, 30S1, 30S2)을 각각 가질 수 있다. 예를 들어, 작업물은 인터페이스 섹션(12)에 의해 이송 챔버(416)로 로딩 될 수 있다. 작업물은 인터페이스 섹션의 이송 암(15)과 함께 로드 락 모듈(56A)의 지지체 상에 위치될 수 있다. 로드 락 모듈(56A)의 작업물은 모듈(18B)의 이송 암(26B)에 의해 로드 락 모듈(56A)과 로드 락 모듈(56) 사이에서, 그리고 로드 락(56)과(모듈(18i) 내의) 아암(26i)을 구비한 작업물 스테이션(30i) 사이에서, 그리고 스테이션(30i)과 모듈(18i)의 아암(26i)을 구비한 스테이션(412) 사이에서 유사하고 연속적인 방식으로 이동할 수 있다. 이 프로세스는 전체 또는 일부를 역전시켜 작업물을 반대 방향으로 이동할 수 있다. 따라서, 일 특징에서, 작업물은 축(X)를 따라 임의의 방향으로 그리고 이송 챔버를 따라 임의의 위치로 이동될 수 있고, 이송 챔버와 연통하는 임의의 원하는 모듈(가공 또는 기타)에 로딩 및 언로딩될 수 있다. 다른 실시예에서, 정적 공작물 지지체 또는 선반을 갖는 간극 이송 챔버 모듈은 이송 챔버 모듈(18B, 18i) 사이에 제공되지 않을 수 있다. 본 발명의 이러한 실시예에서, 인접한 이송 챔버 모듈의 이송 암은 엔드 이펙터 또는 하나의 이송 암에서 다른 이송 암의 엔드 이펙터로 직접(또는 버퍼 스테이션의 사용을 통해) 작업물을 통과시켜 이송 챔버를 통하여 작업물을 움직이게 된다. 처리 스테이션 모듈은 기판 상에 전기 회로 또는 다른 원하는 구조를 형성하기 위해 다양한 증착, 에칭, 또는 다른 유형의 프로세스를 통해 기판상에서 작동 할 수 있다. 처리스테이션 모듈은 이송 챔버 모듈에 연결되어 기판이 이송 챔버에서 처리 스테이션으로 또는 그 반대로 통과될 수 있도록 한다. 도 1c에 도시된 처리 장치와 유사한 일반적인 특징을 가진 처리 도구의 적절한 예가 본원에 그 전체가 참고로 편입되어 있는 미국 특허 출원 번호 11/442,511에 설명되고 있다.
도 1a 및 도 2(본 발명의 이러한 예시적인 실시예에 따른 처리 장치의 로드 포트 모듈(24)의 사시도)를 참고하면, 로드 포트 모듈(24)은 로드 포트 모듈(24)을 임의의 적절한 처리 장치에 연결하도록 된 프레임(29)를 구비한다. 상기 로드 포트 모듈(24)의 프레임(29)은 일반적으로(이전에 언급된 바와 같이) 이송 컨테이너 보유 또는 지지 영역(28) 및 기판이 전방 섹션 하우징(16)의 내측에서 미니 환경 안팎으로 이송되는 폐쇄가능한 포트(30P)(또는 이송 개구)를 획정한다(다른 실시예에서, 폐쇄가능한 포트(30P)는 기판이 로드 포트 모듈(24)과 EFEM, 처리 모듈, 이송 챔버 등과 같은 임의의 적절한 처리 장치 사이에서 이동되는 이송 개구이다). 로드 포트 모듈(24)은 "로드 포트 모듈"이라는 제목으로 2014년 9월 2일에 발행된 미국 특허 번호 8,821,099에 설명된 것과 실질적으로 유사 할 수 있으며, 그 개시 내용은 그 전체가 여기에 참조로 편입된다. EFEM의 하우징(16) 및 로드 포트 모듈(24)은 아래에서 추가로 설명되는 바와 같이 연결되어, 외부로부터 실질적으로 폐쇄된 챔버 또는 공간(25)을 형성하고, 이전에 언급된 바와 같이, 전방 섹션(12)(EFEM으로 지칭됨) 내부에 제어된 또는 미니 환경을 제공한다. 예를 들어, 전방 섹션은 미립자 오염물이 전방 섹션(12)의 미니 환경으로 유입되는 것을 방지하기 위해, 통풍구, 루버, 층류 시스템과 같은 제어 된 공기 유동 시스템(미도시)을 포함할 수 있다. 도 1a 및 도 2에 도시된 바와 같이, 로드 포트 모듈(24)의 이송 컨테이너 고정 영역(28)은 주 또는 제 1 스테이션(36) 및 보조 스테이션(34)을 가질 수 있다. 이러한 특징에서, 보관 영역(28)의 각 스테이션(36, 34)은 이송 컨테이너(T)를 보관할 수 있지만, 대안적인 실시예에서 이송 컨테이너 보관 영역은 더 많거나 적은 보관 스테이션을 가질 수 있으며, 각 보관 스테이션은 원하는 수의 기판 이송 컨테이너를 지원할 수 있다. 지지 (또는 카테스 지지부) 스테이션(36, 34)에 안착된 이송 컨테이너(T)(도 1a)는 예시적인 목적을 위해 FOUP(전방 개방 통합 포트: front opening unified pods) 스타일 컨테이너인 것으로 도시되어 있지만, 대안적인 실시예에서, 로드 포트 지지 영역의 지지 스테이션은 SMIF 컨테이너와 같은 원하는 유형의 이송 컨테이너를 지지할 수 있다.
도 1a에 도시된 실시예에서, 전방 섹션(12)은 예시를 위해 전방 섹션(12)의 전 방면(12F) 상에 위치 된 로드 포트 모듈(24)을 갖는다. 이 위치에서, 로드 포트 모듈(24)은 임의의 적절한 자동화된 자재 취급 시스템(AMHS)을 사용하여 로드 포트 모듈 지지 영역(28)의 적어도 하나의 지지 (또는 카세트 지지부) 스테이션(34, 36)에 이송 컨테이너(T)의 배치 및 제거를 용이하게 하도록 위치될 수 있다 (미도시). 도 1a 내지 도 2에 도시된 바와 같이, 로드 포트 모듈 지지 영역(28)은 전방 섹션의 면(12F)에서 전방으로 돌출하고, AMHS를 사용하여 고정 영역(28)으로의 이송 컨테이너(T)를 제거/배치하기위한 접근이 상단 또는 전방에서 있을 수 있다. 대안적인 실시예에서, 로드 포트 모듈은 원하는 대로 전면 섹션의 다른 측면에 위치할 수 있다. 또 다른 대안적인 실시예에서, 로드 포트 모듈은 전방 섹션(12)의 2 개 이상의 측면에 위치할 수 있다. 도 2에 도시된 바와 같이, 이러한 예시적인 실시예의 로드 포트 모듈(24)은 로드 포트 모듈(24)의 베이스 플레이트로부터 외측으로 돌출하는 연장 구역(38)을 가질 수 있다.
다시, 도 1a-3에 도시된 바와 같이, 로드 포트 모듈(24)의 이송 컨테이너 지지 영역(28)은 상부 지지 스테이션(36) 및 하부 지지 스테이션(34)을 모두 가질 수 있고, 각각의 지지 스테이션(36, 34)은 도 1에 도시된 바와 같이 이송 컨테이너(T)를 홀딩하거나 지지할 수 있다. 이 실시예에서, 하부 스테이션(34)은 일반적으로 상부 스테이션(36) 아래에 위치된다. 하부 스테이션(34)은, 하부 스테이션(34)에 배치될 때, 이송 컨테이너가 부재(34L)로부터 지지되도록, 이송 컨테이너(T)의 구조체에 컨포멀하게 맞물릴 수 있는 대향 부재(34L)(도 3에서 하나만 도시됨)를 포함할 수 있다. 도 6a 내지 6b는 각각 예시적인 기판 이송 컨테이너(T)의 정면 및 하부 사시도이다. 도 6a-6b의 컨테이너(T)는 FOUP 유형 구성을 갖는 것으로 도시되어 있다. 대안적인 실시예에서, 기판 컨테이너는 도 6a에서 가장 잘 보이는 바와 같이, 임의의 다른 원하는 구성을 가질 수 있으며, 이송 컨테이너(T)는 일반적으로 케이싱(T2) 및 케이싱에 제거 가능하게 연결된 케이싱 커버 또는 도어(T4)를 갖는다. 케이싱(T4)은 그로부터 돌출된 고정구(T8)를 갖는 상부 표면(T6)을 구비한다. 고정구(T8)는 케이싱의 상부 표면(T6)으로부터 거리를 두고 오프셋되는 측면 플랜지 또는 외측으로 돌출된 안착 표면(T10)을 포함할 수 있다. 안착 표면(T10)은 SEMI; E47.1-1001를 준수하는 핸들링 플랜지의 일부일 수 있다. 안착 표면(T10)은 자동화된 자재 취급 시스템의 컨테이너 이송기의 결합 부분(미도시)과 결합하여 이송기로부터 컨테이너를 지지하는 역할을 할 수 있다. 도 2-3에서, 로드 포트 모듈 지지 영역(28)상의 하부 스테이션(34)의 지지 부재(34L)는 이러한 실시예에서 각도 또는 일반적인 L 자형 구성을 갖는 것으로 도시된다. 상기 부재(34L)는 도시된 바와 같이 내부 돌출 플랜지(34F)를 갖는다. 대안적인 실시예에서, 지지 부재(34L)는 임의의 다른 적절한 형상을 가질 수 있다. 지지 부재(34L)는 예를 들어 금속, 플라스틱 또는 임의의 다른 적절한 재료일 수 있고, 도 3에 도시된 바와 같이, 로드 포트 프레임(29)의 지지 구조(296)에 연결될 수 있다. 안쪽으로 향하는 플랜지(34F)는 이송 컨테이너상의 안착 표면(T10)(도 6a 참조)과 컨테이너의 상부 표면(T6) 사이에 들어갈 수 있는 크기이다. 대향 부재(34L)의 플랜지(34F)는 대응하는 플랜지(34F)에(적어도 부분적으로) 돌출된 외측 돌출 안착 표면(T10)을 갖는 플랜지 사이에 컨테이너(T)의 지지 고정구(T8)의 삽입을 허용하도록 충분히 분리된다. 따라서, 하부 스테이션(34)에 로딩될 때, 이송 컨테이너(T)는 플랜지(34F)에 안착 된 안착면(T10)에 의해 지지된다.
이 실시예에서, 이송 컨테이너(T)는 고정구(T8)가 플랜지(34F) 사이로 이동되도록 컨테이너를 삽입함으로써(도 2에서 화살표로 표시된 방향으로), 작업자에 의해 하부 스테이션(34) 상에 수동으로 위치될 수 있다. 대안적인 실시예에서, 하부 지지 스테이션의 지지 부재는 이송 컨테이너가 임의의 다른 원하는 방향으로부터 위치될 수 있도록 임의의 다른 원하는 방향을 가질 수 있다. 하부 스테이션(34)으로부터 이송 컨테이너(T)를 제거하는 것은 사용자가 설치로부터 반대 방향으로 컨테이너를 수동으로 인출하는 방식으로 실질적으로 반대 방식으로 달성될 수 있다. 하부 지지 스테이션(34)은 상부 지지 스테이션(36)이 이송 컨테이너(T)가 상부 스테이션에 배치되는 것을 방지하는 다른 이송 컨테이너에 의해 점유되거나 어떤 상태(테스트와 같은)에 있을 때, 사용자가 이송 컨테이너(T)를 배치할 수 있는 다른 컨테이너 적재 위치를 로드 포트 모듈에 제공한다. 전술한 바와 같이, 대안적인 실시예에서, 로드 포트 모듈은 이송 컨테이너 보관 영역(28)에 하부 지지 스테이션을 갖지 않을 수 있다.
이제 다시 도 2를 참조하면, 로드 포트 모듈(24)상의 이송 컨테이너 지지 영역(28)의 상부 지지 스테이션(36)은 일반적으로 베이스 지지대 또는 선반(50) 및 선반(50)에 이동 가능하게 장착된 캐리지 또는 셔틀(52)을 포함한다. 셔틀 구동 시스템(54)은 셔틀(52)을 선반(50)에 작동 가능하게 연결하고 선반(50)상에서 셔틀(52)을 이동할 수 있다. 구동 시스템(54)은 셔틀을 제 1 위치와 제 2 위치 사이에서(도 2에서 화살표 M으로 표시된 방향으로) 이동시킨다. 아래에서 더 설명되는 바와 같이, 셔틀(52)은 그 위에 이송 컨테이너(T)의 배치를 허용하도록 구성된다. 제 1 셔틀 위치는 이송 컨테이너(T)가 자동화된 자재 취급 시스템(미도시)에 의해 캐리지 상에 자동으로 위치(또는 픽업)될 수 있도록 배치될 수 있다. 셔틀(52)이 이동될 수 있는 제 2 위치는 셔틀상의 이송 컨테이너(T)가 아래에서 더 설명되는 바와 같이 도어(30D)(도 1a 참조)에 도킹될 수 있도록 위치된다. 셔틀이 이러한 제 2 위치에 있을 때, 그 위에 있는 이송 컨테이너(T)는 편의를 위해 도킹된 위치로 언급되는 곳에 위치한다. 제어기(400)는 아래에서 더 설명되는 바와 같이 셔틀 및 구동 시스템의 센서에 통신 가능하게 연결된다.
도 1a에 도시된 바와 같이, 이송 컨테이너(T)는 컨테이너의 바닥면이 셔틀에 안착된 상태로 셔틀(52) 상에 배치된다. 따라서, 셔틀(52)은 이송 컨테이너(T)의 바닥에 컨포멀하게 맞물리도록 아래에서 더 설명되는 바와 같이 구성된다. 도 6b는 예시적인 기판 이송 컨테이너(T)의 바닥(T3)의 특징을 도시하는 저면도이다. 이 실시예에서, 이송 컨테이너의 바닥(T3)는 일반적으로 SEMI E47.1의 사양을 따르는 특징을 가지고 있다. 대안적인 실시예에서, 기판 이송 컨테이너의 바닥은 임의의 다른 원하는 특징을 가질 수 있다. 이 경우 바닥(T3)은 일반적으로 컨테이너 감지 패드(T12), FEOL(라인이 전방 단부: front end of line) 및 BEOL(라인의 후방 단부: back end of line) 정보 패드(T14, T16), 컨테이너 용량(즉, 기판 지지 위치 수) 정보 패드(T18) 및 상자 또는 카세트 정보 패드(T20)을 포함한다. 컨테이너 바닥(T3)은 셔틀(52) 상에 위치/운동 학적 결합 핀(66)에 의한 결합을 위한 슬롯(T22)을 더 포함할 수 있다. 알 수 있는 바와 같이, 운동학적 커플링 핀(66)은 로딩 포트 모듈(24) 주변부의 이송 컨테이너 지지 영역 및 아래에서 설명될 연결된 컨테이너 특징부 사이에 결정적인 위치 설정 데이텀을 획정한다. 바닥 표면으로의 제 1 리세스(T24)는 제 1 보유 특징부로서 제공된다. 용기의 바닥에는 또한 내부에 형성된 제 2 보유 특징부(T26)이 있다. 제 2 보유 특징부는 일반적으로 실질적으로 사각 오프 에지(T34)(결합 립(T36)를 형성함)를 갖는 외부 개구(T32)를 구비하는 바닥에 형성된 대체로 원형의 리세스(T30)를 포함한다.
도 4a-4d는 각각 셔틀(52) 및 셔틀이 놓이는 지지 선반 구조(지지 선반 구조(50)는 도 4c-4d에서만 볼 수 있다)의 일부의 개략적인 투시도, 평면도, 정면 및 측면 입면도이다. 셔틀(52)은 일반적으로 섀시 또는 프레임(55) 및 섀시 위에 위치된 커버(56)를 포함한다. 셔틀(52)은 또한 일반적으로 컨테이너(T)를 셔틀 상에 적절하게 위치시키는 것을 돕는 위치 설정 특징부(58), 안착된 컨테이너(T)를 셔틀에 확실하게 결합하기위한 결합 특징부(60), 및 셔틀(52) 상에서 컨테이너의 존재 및 정확한 배치를 검출하기위한 검출 시스템(62)을 가질 수 있다. 이제셔틀(52)의 부분절개도를 도시하는 도 5를 참조하면, 섀시(55)는 임의의 적절한 형상을 가질 수 있으며, 임의의 적절한 재료로 만들어 질 수 있으며, 셔틀 상에서 이송 컨테이너(T)를 배치하고 제거하며, 제 1 위치와 제 2 위치 사이에서 컨테이너와 셔틀의 움직임에 관련된 정적이고 동적인 로드를 지지할 수 있다. 섀시(55)는 로드 포트 모듈 프레임의 지지 선반(50)에 대해 셔틀(52)(도 2에서 화살표 M으로 표시된 방향으로)의 자유로운 이동을 허용하는 롤러 또는 슬라이드와 같은 운동 시스템(미도시)을 구비할 수 있다. 부분적으로 도 5에 도시된 지지 선반(50)(도 2 참조)은 프레임(29)의 지지 구조체(296)(도 3 참조)에 의해 형성될 수 있다. 선반(50)은 섀시(55)의 운동 시스템이 타는 프레임 구조(296)(예를 들어, 상부 플레이트(296H) 또는 측면 플레이트(296E)) 상에 또는 그로부터 형성된 트랙 또는 레일(미도시)을 포함할 수 있다. 컨테이너 위치 설정 특징부(58), 결합 특징부(60), 검출 시스템(62) 및 커버(56)는 섀시(55)에 장착된다.
도 4a-4b에 도시된 바와 같이, 이 실시예에서 셔틀(52)상의 컨테이너 위치 설정 특징부(58)는 돌출 결합 부재(64)를 포함할 수 있다. 이 실시예에서, 결합 부재(64)는 일반적으로 컨테이너의 바닥(T3)에 위치하는 리세스(T24)(도 6b 참조)의 형상과 컨포멀한 일반적인 절두형 피라미드 형상을 가질 수 있다. 결합 부재(64)는 섀시(55)에 고정될 수 있으며, 컨테이너(T)가 셔틀(52)에 안착될 때 컨테이너의 위치 결정 리세스(T24)와 맞물리도록 커버의 상부 표면(56U) 위로 충분히 커버(56)의 적절한 개구를 통해 돌출될 수 있다. 맞물림 부재(64)는 컨테이너(T)의 셔틀 상으로의 적절한 자동 위치 설정을 돕기 위해 컨테이너 위치 결정 특징부의 에지와 협력하기위한 캠 표면(64C)을 가질 수 있다. 대안적인 실시예에서, 셔틀은 부재(64)와 같은 결합 부재를 갖지 않을 수 있다. 이 실시예에서, 셔틀(52)은 위치 결정 포스트(운동학적 결합 핀이라고도 함)(66)를 가질 수 있다. 포스트(66)는 셔틀(52)상의 컨테이너(T)의 정확한 위치 설정을 돕고, 컨테이너(T)를 셔틀(52)에 포지티브 커플링(즉, 운동학적 커플링) 수단을 제공하는 것 둘 모두의 역할을 할 수 있다. 도면에서 알 수 있듯이. 도 4b 및도 6b에 도시된 바와 같이, 포스트(66)는 컨테이너 바닥(T3)의 슬롯(T22)과 협력하도록 셔틀(52) 상에 위치된다. 금속 또는 플라스틱과 같은 임의의 적절한 재료로 형성될 수 있는 포스트(66)는 도 5에 도시된 바와 같이 셔틀의 섀시(54)에 직접 고정될 수 있다. 포스트(66)는 슬롯(T22)(도 6B 참조)에서 컨테이너의 바닥과 맞물리도록 커버(56)(의 적절한 구멍)를 통해 돌출될 수 있다. 이 실시예에서, 포스트(66)는 셔틀 상의 이송 컨테이너(T)를 위한 지지 평면을 획정할 수 있다. 포스트(66)의 단부 또는 팁(66T)은 도 4d 및 도 5에 도시된 바와 같이 일반적으로 원추형 또는 둥근 형상을 가질 수 있다. 이는 셔틀 상의 컨테이너에 대한 지지 평면의 정확하고 반복 가능한 정의를 위해 셔틀(52)과 컨테이너의 바닥 사이에 원하는 3 개의 접촉 지점을 제공한다. 알 수 있는 바와 같이, 포스트(66)는 컨테이너(T)의 중량을 지지하므로, 컨테이너 중량을 섀시에 분배하기 위해 도 5에 도시된 방사상 플랜지와 같은 구성을 갖는다. 포스트(66)의 원추형 상부(66T)는 셔틀 상의 컨테이너의 원하는 위치(슬롯(T22) 및 상부(66T)의 형상에 의해 영향을 받는)가 될 때까지 지지 평면을 따라 컨테이너를 기계적으로 안내하는 컨테이너 바닥의 슬롯(T22)의 경사면에 대한 캠 표면으로서 작동할 수 있다.
셔틀(52)의 검출 시스템(62)은 일반적으로 셔틀 영역에 분포된 다수의 스위치(68)를 포함한다. 스위치(68)는 컨테이너의 바닥에 있는 컨테이너 감지 패드(T12), FEOL 및 BEOL 정보 패드(T14, T16), 컨테이너 용량 및 카세트 정보 패드(T18, T20)와 협력하기 위해 셔틀(52)에 위치할 수 있다. 도 4b는 커버(56) 및 셔틀(52)의 스위치(68) 상에 포개져서 놓인 컨테이너(T)의 바닥상의 패드(T12-T20)의 위치를 도시한다. 이 실시예에서, 스위치(68)는 일반적으로 동일한 유형이고 서로 유사하며 대표적인 스위치를 참조하여 아래에서 설명될 것이다. 대안적인 실시예에서, 컨테이너(T)의 상이한 정보 패드(T16-T20)에 의해 주어진 스위치에 중계될 수 있는 상이한 유형의 정보에 대응하는 셔틀상의 상이한 위치에서 상이한 종류의 스위치가 사용될 수 있다. 대표적인 스위치(68)의 구조는 도 5에서 가장 잘 도시되고 있다. 이 실시예에서, 스위치(68)는 일반적으로 베이스 또는 센서부(68O) 및 작동부(68I)를 포함하는 전기 광학 스위치일 수 있다. 작동부(68I)는 아래에서 더 설명되는 바와 같이 스프링이 장착되어 있으며, 용기 바닥상의 대응하는 패드와 접촉하여 작동된다. 센서부(68O)는 제어 시스템에 신호를 보내는 작동부의 작동을 감지한다. 도 5에 도시된 바와 같이, 센서부(68O)는 셔틀의 섀시(55) 상에 위치된 PCB(74) 상에 장착될 수 있다. PCB(74)는 전력 및 신호 전송 모두를 위해 내부에 형성된 트레이스(68E)를 가질 수 있다. 트레이스(68E)는 전자 부품의 접점 단자가 원하는대로 연결될 수 있는 적절한 표면 접점(미도시)까지 이어질 수 있다(플러시 웨이브 솔더링을 포함하여 전자 부품을 PCB에 장착하기 위한 임의의 적절한 수단 사용). 센서부(68O)의 접촉 단자(전력 및 신호 모두)는 유사한 방식으로 PCB(74)의 트레이스(68E)에 연결될 수 있다. 스위치(68)의 센서부(68O)과 같은 전자 부품을 통합 트레이스를 사용하여 PCB(PCB 74와 같은)에 장착하면, 제거하지 않았으면 전원공급부 및 제어 시스템에 구성요소를 연결하는데 사용되는, 섀시 상에 설치하는데 비용과 시간이 많이 소요되는 개별 도체를 제거하는 역할을 하게 된다. PCB의 트레이스(68E)는 예를 들어 가요성 와이어 하니스(72)(도 4d 참조)의 커넥터화 된 단부가 결합될 수 있는 단자 커넥터(미도시)까지 연장될 수 있다. 알 수 있는 바와 같이, 와이어 하니스는 PCB(74)의 트레이스(68E)를 링크할 수 있으며, 따라서 검출기 스위치(68)의 센서부와 같은 전자 부품을 제어 시스템(400)(도 2 참조) 및 전원(미도시)에 연결할 수 있다. 센서부(68O)는 예를 들어 LED와 같은 적절한 광원 및 포토 셀과 같은 광 검출기를 가질 수 있다. 스위치가 활성화되지 않은 상태에서, 광원은 예를 들어 스위치(68)의 비활성화 상태로 인하여 제어 시스템에 이해 해석되는 제어 시스템(400)에 트레이스(68E)를 통하여 센서부(68O)가 신호를 전송하게하는 포토 셀을 비출 수 있다. 예를 들어, 스위치의 작동부(68I)의 일부에 의해 광원이 차단되면, 포토 셀로부터의 신호가 변경되고, 스위치가 현재 작동 상태에 있을 때 제어 시스템에 의해 다시 판독된다. 대안적인 실시예에서, 센서부(68O)는 스위치(68)가 비활성화 상태에 있을 때 광원이 차단되고 활성화 상태에 있을 때 광 검출기를 조명하도록 구성될 수 있다.
도 5에 도시된 바와 같이, 스위치(68)의 작동 부(68I)는 셔틀(52)의 커버(56)에 통합된다. 작동부(68I)를 편향시키는 스프링은 이 실시예에서 커버(56)의 일부에 의해 형성된다. 셔틀(52)의 커버(56)는 예를 들어 플라스틱, 판금 또는 임의의 다른 적절한 재료로 제조될 수 있다. 이 실시예에서, 커버(56)는 일체형 부재(즉, 단일 구조의) 일 수 있다. 커버(56)가 플라스틱 인 경우, 예를 들어 사출 성형 또는 임의의 다른 적절한 공정에 의해 형성될 수 있다. 도 4a 내지 4d에 도시된 바와 같이, 이러한 실시예에서 커버(56)는 상부 표면(56U) 및 상부 표면으로부터 돌출된 주변 벽(56W)을 갖는 일반적인 육면체 형상을 가질 수 있다. 대안적인 실시예에서, 셔틀 커버는 임의의 다른 적절한 형상을 가질 수 있다. 도 2에서 가장 잘 보이는 바와 같이, 섀시(55)에 장착될 때, 커버(56)는 섀시 내부를 실질적으로 둘러싸는 역할을 하지만, 커버 둘레 벽(56W)의 하부 에지와 선반(50) 사이에 약간의 틈이 제공되어 셔틀의 상대적인 자유로운 움직임을 촉진하면서 셔틀 시스템에 먼지 또는 기타 입자가 유입되는 것을 최소화 한다. 커버의 상부 표면(56U)은, 도 4a에 도시된 바와 같이, 그 안에 형성된 관통 구멍(56H)을 갖는다. 구멍(56H)은 포스트(66)가 도 5에서 가장 잘 보이는 바와 같이 커버(56)를 통해 연장되도록 한다. 이 실시예에서 구멍(56H)은 또한 도 5에 도시된 바와 같이 셔틀 섀시(55)에 커버(56)를 위치시키는 역할을 한다(구멍 에지와 대응하는 포스트(66) 사이의 간격이 충분히 작아서 포스트(66)가 섀시(55)에 대하여 커버를 정확하게 위치시킨다). 또한, 이 실시예에서, 구멍(56H)의 림은 도 5에 도시된 바와 같이 포스트(66)의 칼라(66C)에 안착되어, 포스트로부터 커버(56)를 지지한다. 대안적인 실시예에서, 커버는 커버 및 섀시를 부착하기 위한 임의의 다른 원하는 장착 시스템을 가질 수 있다. 도 4a-4b에 도시된 바와 같이, 커버의 상부 표면(56U)은 그 안에 형성된 다수의 탄성적으로 가요성을 가지는 탭 또는 핑거(70)를 구비한다. 탭(70)은 커버(56)의 상부 표면(56U)을 절단하는 것과 같은 임의의 적절한 수단에 의해 형성될 수 있다. 탭(70)의 수는 검출 시스템(62)의 스위치(68)의 수와 일치할 수 있다. 이 실시예에서, 커버의 상부 표면에 8 개의 탭(70)이 형성된다. 대안적인 실시예에서, 커버는 그 안에 형성된 임의의 다른 원하는 수의 가요성 탭을 가질 수 있다. 다른 대안적인 실시예에서, 가요성 탭이 커버의 임의의 다른 원하는 표면에 형성될 수 있다. 도 4a-4b에 도시된 바와 같이, 탭(70)은 서로 실질적으로 유사하고, 따라서 탭(70)은 유사한 탄성적으로 가요성 특성을 가질 수 있다. 대안적인 실시예에서, 상이한 탭의 형상(즉, 길이, 단면)은 상이한 유연성 특성을 갖는 상이한 탭을 제공하기 위해 다양할 수 있다. 이 실시예에서, 탭(70)의 팁(70E)은 커버가 섀시에 장착될 때 각각의 팁(70E)이 실질적으로 대응하는 스위치(68)의 센서부(68O) 위에 위치하도록 커버 상에 위치된다(도 5 참조). 대안적인 실시예에서, 탭의 임의의 다른 원하는 부분(즉, 탭 중간 섹션)이 대응하는 스위치의 센서부 위에 위치하도록 탭이 배치될 수 있다. 커버의 상부 표면(56U)상의 탭 배향은 탭에 제한되지 않은 캔틸레버의 유연성을 제공하도록 원하는 대로 선택될 수 있다. 도 4a-4b에 도시된 탭(70)의 방향은 단지 예시적일 뿐이며, 탭은 임의의 다른 원하는 방향을 가질 수 있다.
도 5에서 가장 잘 볼 수 있는 바와 같이, 이 실시예에서 스위치(68)의 작동부(68I)는 대응하는 탭(70)의 팁(70E) 상에 장착되거나 위치된다. 작동부(68I)는 탭(70)과 일체형으로 구성되거나(예를 들어 커버 상부 표면의 몰딩 프로세스 동안 형성됨) 접착제와 같은 적절한 결합 수단으로 탭(70)에 장착될 수 있다. 작동부(68I)는 덮개의 상부 표면(56U)으로부터 충분히 돌출되어 포스트(66)에 배치된 컨테이너의 대응하는 패드(T12-T20)와 접촉하고, 이 접촉에 의해 스위치(68)의 작동을 일으키도록 작동부의 차단기 플래그부(68F)를 이동시키도록(예를 들어 광원을 차단하도록) 탭(70)을 충분히 편향(deflection) 시키게 된다. 컨테이너(T)가 셔틀(52)로부터 제거될 때, 가요성 탭(70)은 비-편향 위치로 회복되어 스위치를 비-활성화 상태로 되돌린다. 알 수 있는 바와 같이, 컨테이너(T)가 셔틀 상에 적절하게 배치되지 않으면, 컨테이너의 패드(T12-T20)와 스위치(68)의 작동부(68I)의 적어도 일부 사이에 약간의 정렬 불량이 있을 수 있어서 적어도 일부의 스위치는 활성화되지 않는다. 활성화된 일부 스위치와 그렇지 않은 스위치의 신호 조합은 제어 시스템(400)에 의해 셔틀상의 컨테이너(T)의 부적절한 배치의 표시로 해석될 수 있다. 그 후 제어 시스템 프로그래밍은 셔틀(52)의 움직임을 방지하고 셔틀로부터 컨테이너의 배치 또는 제거를 수정하기 위한 수정 조치를 명령할 수 있다.
전술한 바와 같이, 셔틀(52)은 이송 컨테이너(T)를 셔틀에 확실하게 결합하기 위한 결합 특징부(60)를 가질 수 있다. 또한 앞서 언급한 바와 같이, 포스트(66)는 셔틀 모션 동안 셔틀과 컨테이너 사이의 운동학적 결합 수단으로 작용한다. 이 실시예에서, 셔틀 결합 특징부(60)는 또한 그 전체가 본원에 참조로 이전에 포함된 미국 특허 번호 8,821,099에 설명된 것과 실질적으로 유사한 컨테이너 클램핑 시스템(61)을 포함할 수 있다.
도 2 및 도 4a-4d에서, 셔틀(52)은 구동 시스템(54)에 의해 셔틀의 제 1 또는 로딩 위치와 도킹 위치 사이에서(도 2에서 화살표 M으로 표시된 방향으로) 이동될 수 있다. 도 4c-4d에 도시된 바와 같이, 이러한 실시예의 셔틀 구동 시스템(54)은 일반적으로 리드 스크류(57)를 구동하는 전기 모터(53)를 포함한다. 대안적인 실시예에서, 셔틀은 공압 또는 유압 구동 시스템과 같은 임의의 적절한 유형의 구동 시스템을 가질 수 있다. 이 측면에서 전기 모터(53)는 AC 또는 DC 모터, 스테핑 모터, 또는 서보 모터와 같은 임의의 적합한 유형의 모터일 수 있다. 모터(53)는 선반 구조물(50)에 고정적으로 장착될 수 있다. 리드 스크류(57)는 모터의 출력축에 연결된다. 모터는 리드 스크류를 시계 방향과 반시계 방향으로 회전시킬 수 있다. 리드 스크류(57)는 또한 선형 베어링(283)(도 3)을 따라 주행하는 셔틀(52)의 섀시(55)에 구동가능하게 결합된다. 리드 스크류와 섀시 사이의 결합은 예를 들어 섀시에 고정되고 리드 스크류에 의해 나사 결합되는 나사산 부싱과 같은 임의의 적절한 수단에 의해 제공될 수 있다. 모터(53)에 의한 리드 스크류(57)의 회전은 리드 스크류 위의 부싱, 따라서 모터(53)가 고정되는 선반(50)에 대한 섀시 및 셔틀(52)의 축 방향 운동을 야기한다. 도 4c에 도시된 바와 같이, 모터(53)는 적절한 회로(91)에 의해 제어기(400)에 통신 가능하게 연결된다. 제어기(400)는 회로(91)를 통해 모터(53)에 명령 신호 및(적절한 전원으로부터의) 전력을 제공할 수 있다. 모터(54)는 위치 표시 데이터를 제어기에 전송하기 위한 모터 인코더(58E)(도 4d 참조)를 포함할 수 있다. 제어기(400)는 로드 포트상의 셔틀의 위치를 식별하기 위해 모터 인코더 데이터를 처리할 수 있다. 대안적인 실시예에서, 선형 인코더는 이동 중에 셔틀 위치를 식별하기 위해 셔틀과 지지 선반 사이에 장착될 수 있다. 도 4c에 도시된 바와 같이, 이 실시예에서 회로(91)는 또한 셔틀 모션에 대한 장애물을 검출할 수 있는 핀치 보호 회로(90)를 포함할 수 있다. 핀치 보호 회로는 모터(53)에 대한 전류 변화를 측정할 수 있는 임의의 적절한 유형 및 원하는 감도의 전류 센서(92)를 포함할 수 있다. 전류 센서(92)는 회로(91)를 통해 모터(53)에 공급되는 전류를 모니터링하도록 원하는 대로 구성된다. 센서(92)로부터의 측정 신호는 회로(90)에 의해 제어기(400)로 전송된다. 핀치 보호 회로(90)는 필요에 따라 폐쇄 루프 또는 개방 루프 시스템일 수 있다. 알 수 있는 바와 같이, 셔틀이 구동 모터(53)에 의해 전진되고 장애물에 직면할 때, (회로(91)를 통해) 모터에 공급되는 전류는 일반적으로 장애물에 의해 제공되는 셔틀 운동에 대한 저항 수준에 비례하여 증가한다. "과잉" 전류는 센서(92)에 의해 검출되고 정보는 회로(90)를 통해 제어기(400)에 릴레이 된다. 센서(92)는 미가공 또는 미처리 센서 데이터를 제어기(400)로 전송할 수 있다. 제어기는 센서로부터의 데이터를 처리하여 노이즈로부터, 초과 전류, 충분한 레벨 및 장애물을 표시하기에 충분한 지속 시간이 모터(53)에 공급되고 있는지 식별하도록(적절한 알고리즘과 같이) 프로그래밍될 수 있다. 제어기(400)는 자동 역방향 프로그램(402)(도 1A 참조)을 가지며, 과전류(따라서 셔틀 모션에 대한 방해)가 확인되면, 제어기는 명령 신호를 모터(53)에 전송하여 이전에 명령된 작동을 중지하고 모터 방향을 역전시킨다. 따라서 셔틀(52)의 이동에 영향을 미치는 리드 스크류(57)의 회전은 또한 역전되어 셔틀의 이동이 장애물로부터 멀어지도록 역전되게 한다. 셔틀은 인코더(53E) 정보로부터 설정된 소정 거리만큼 반전될 수 있다. 대안적인 실시예에서, 전류 센서(92)는 초과 전류를 검출하기 위해 원하는 세트 포인트를 선택하도록 프로그래밍될 수 있다. 이 경우, 전류 센서는 프로그래밍된 설정 포인트를 초과하는 레벨과 지속 시간을 갖는 과잉 전류가 감지되면 적절한 신호를 제어 장치에 보낼 수 있다. 전류 센서로부터 신호를 수신하면, 제어기는 제어기 메모리의 자동 반전 프로그램(402)에 액세스한다. 이는 편향 가능한(즉, 핀치) 바를 사용하는 기존 시스템보다 저렴한 비용으로 우수한 장애물 감지 및 복구 시스템을 제공한다.
도 2를 참조하면, 도시된 실시예의 로드 포트 모듈은 이송 컨테이너 전진 검출 시스템(110)(도 2에 개략적으로 도시 됨)을 가질 수 있다. 컨테이너 전진 검출 시스템(110)은 셔틀(52)에 장착되어 전진되는 컨테이너(T)의 특징부 검출하고, 셔틀을 정지시켜서, 컨테이너가 도킹 위치에 있을 때 컨테이너의 전면이 서로 다른 컨테이너들 간의 공차 변동에 관계없이 원하는 반복되는 위치에 있도록 한다. 컨테이너와 로드 포트 프레임(29) 사이에 실제 접촉없이 최소한의 간격이 있도록 로드 포트 셔틀 전진 동작을 중지하는 것이 바람직하다. 컨테이너 치수는 특히 제조업체마다 다르기 때문에, 기존 시스템에서는 일반적으로 셔틀 이동이 "최악의 경우"에 맞게 조정되어 대부분의 경우 지나치게 큰 간격을 허용한다. 로드 포트 모듈(24)의 컨테이너 전진 감지 시스템(110)은 최소 간극을 제공하는 위치(L1)에서 전면으로 상이한 컨테이너가 정지될 수 있도록 하는 종래 시스템의 문제를 극복한다. 이 실시예에서 검출 시스템(110)은 방사 에너지의 방사기 또는 소스 및 방사기로부터 방사 에너지를 검출하기 위한 검출기를 갖는 "스루 빔" 센서 구성을 갖는다. 예를 들어, 이 실시예에서 검출 시스템(110)은 적절한 원격 광원에 연결된 광섬유의 말단부에 LED 또는 레이저 다이오드와 같은 광원(112)을 가질 수 있다. 시스템(110)은 또한 광원(112)으로부터의 광 빔을 감지하기 위한 포토 셀과 같은 적절한 광 감지 부분(114)을 가질 수 있다. 도 2에 도시된 바와 같이, 광원(112) 및 센서(114)는 셔틀(52)의 반대편에 그리고 원하는 높이에 위치하여 셔틀(52)에 의해 장착되고 이송되는 컨테이너(T)가 광원(112)에 의해 방출되고 센서(114)의 적어도 센서부를 조사하는 광선(B)을 차단할 것이다. 도 2에 도시되지 않았지만, 광원(112) 및 센서(114)는 접촉 및 미립자 보호를 위해 그리고 셔틀(52)에 의해 이송되는 컨테이너 이외의 물체에 의한 빔의 부주의 한 중단을 방지하기 위해 적절한 커버에 수용될 수 있다. 도 2에 도시된 바와 같이, 센서(112, 114)는, 셔틀에 의해 도킹 된 위치로 이동했을 때, 광 빔(B)이 컨테이너(T)의 전방면의 위치(L1)로부터 원하는 거리 d만큼 이격되도록 셔틀 이동 방향(도 2에서 화살표 M으로 표시됨)으로 오프셋 거리에 위치한다. 알 수 있듯이, 셔틀에 의해 전진하는 컨테이너(T)의 전면은 도킹된 위치 위치(L1)로부터 거리 d에 있을 때 빔(B)을 차단한다. 제어기(400)는 거리 d로 프로그래밍된다. 제어기(400)는 또한 모터 인코더(53E)(도 4d 참조)에 의해 제어기에 제공될 수 있는 셔틀 이동 정보 및 셔틀 상의 컨테이너(T)의 전방면이 위치(L1)에 있게 하도록 셔틀 전진 움직임이 정지될 때를 결정하는 거리(d)를 사용하는 알고리즘(도 1a의 프로그램 모듈(401))로 프로그래밍된다. 따라서, 전진 컨테이너(T)의 전방 표면이 빔(B)을 차단할 때, 센서(114)는 적절한 신호를 제어기(400)에 전송하여 컨테이너 전방 표면의 검출을 제어기에 알린다. 그 다음, 제어기(400)는 전술한 바와 같이 셔틀 전진에 언제 정지를 명령할지를 결정할 수 있고, 정확한 시간에 셔틀 구동 섹션(54)에 명령을 전송할 수 있다. 이러한 방식으로, 셔틀에 의해 이송되는 각 컨테이너(T)는 컨테이너 간의 치수 변화에 관계없이 위치(L1)에 컨테이너 전면을 갖도록 도킹된 위치에 적절하게 위치된다.
도 1a에 도시된 바와 같이, 컨테이너(T)가 도킹 위치에 있는 상태에서, 컨테이너의 도어(T4)는 로드 포트 모듈 액세스 포트(30P)의 도어(30D)에 의해 결합될 수 있다. 컨테이너(T)의 전면에 있는 도어(T4)는 도 6a에 개략적으로 도시되어 있다. 도어(T4)는 결합될 때 컨테이너 박스에 도어(T4)를 유지하는 래치 시스템(T40, T42)을 포함할 수 있다. 컨테이너 도어용 래치 시스템의 예는 1998 년 6 월 30 일 발행된 미국 특허 제5,772,386호에 설명되고 있으며 그 전체가 본 명세서에 참조로 편입된다. 도어 래치 시스템(T40, T42)은 래치 탭(T46)이 관절식으로 연결될 수 있는 회전 가능한 허브(T44)를 포함할 수 있다. 허브(T44)의 회전은 래치 탭(T46)의 작동으로 인해 컨테이너 하우징에 결합 및 분리시키게 된다. 래치 허브(T44)는 도어(T4)의 래치 키 액세스 구멍(T50)을 통해 액세스 할 수 있다. 컨테이너 도어(T4)는 또한 도 6a에 도시된 바와 같이 로케이터 핀 홀(T52)을 가질 수 있다. 도 2를 참조하면, 로드 포트 모듈의 액세스 포트 도어(30D)는 컨테이너의 도어(T4)에 있는 로케이터 핀 구멍(T52) 및 래치 키 액세스 구멍(T50)과 상보적이거나 일치하는 구성으로 로케이터 핀(120) 및 래치 키(122)를 갖는다. 포트 도어(30D)의 로케이터 핀(120) 및 래치 키(122)는 앞서 본 발명에 편입된 미국 특허 제5,772,386호의 로케이터 핀 및 래치 키와 유사하다. 포트 도어(30D)의 래치 키(122)는 컨테이너 도어의 키 액세스 구멍(T50) 및 래칭 시스템의 허브(T44)의 키 구멍의 형상을 따른다. 포트 도어(30D)가 컨테이너 도어(T4)에 맞물리면, 액세스 도어(30D)의 래치 키(122)가 키 액세스 구멍(T50)을 통해 컨테이너의 허브(T44)에 형성된 키 구멍으로 들어간다. 래치 키(122)의 회전은 허브(T44)의 회전 및 래치 시스템의 작동이 래치 탭을 결합/해제함으로써, 컨테이너로부터 컨테이너 도어(T4)를 잠그거나 잠금 해제하도록 한다. 래치 키(122)는 액세스 도어 구조에 회전 가능하게 장착되고 미국 특허 제 8,821,099호에 설명된 것과 실질적으로 유사한 방식으로 작동되며, 그 개시 내용은 이전에 그 전체가 참조로 여기에 편입된다.
도 7a 및 도 7b에는 다른 예시적인 실시예에 따라 기판 처리 장치 또는 도구(1002) 및 그에 연결된 컨테이너(T)의 개략적인 입면도가 도시되어 있다. 도 7a에 도시된 예시적인 실시예의 처리 장치(1002)는 일반적으로 도 1a, 1b, 1c에 도시된 기판 처리 도구와 유사하다. 처리 도구(process tool: 1002)는 일반적으로 처리 섹션(1006) 및 EFEM(1004)을 가질 수 있다(설명을 위해 웨이퍼가 정면에서 툴에 로딩되는 것으로 간주될 수 있는 참조 번호가 계속 사용됨). 예시적인 실시예에서, 처리 섹션(1006) 및 EFEM(1004)은 공통 제어 환경 또는 분위기(예를 들어, 불활성 가스(N2, Ar) 또는 매우 깨끗한 건조 공기)를 공유할 수 있다. 처리 섹션(1006)은 개략적으로 도시되고, EFEM(1004)에 연결된 하나 이상의 처리 섹션 또는 모듈을 포함할 수 있다(도 7a에 도시된 배열은 단지 예시적이며 EFEM 및 처리 섹션 모듈은 다른 실시예에서 임의의 원하는 배열로 서로 연결됨). 처리 섹션 또는 모듈(1006)은 폐쇄 가능한 개구(예를 들어, 게이트 밸브)와 같이 EFEM(1004)으로부터 격리될 수 있다. 따라서, 처리 섹션은 또한 EFEM 분위기와 다른 처리 분위기로 제공될 수 있다. 대안적인 실시예에서, 처리 섹션(1006)은 상이한 분위기를 갖는 처리 모듈을 허용하거나 이하에서 추가로 설명되는 바와 같이 EFEM에 연결되도록 진공을 유지하는 로드 록을 포함할 수 있다.
도 7a에 도시된 예시적인 실시예의 EFEM(1004)은 달리 언급된 것을 제외하고는 전술한 것과 유사할 수 있다. EFEM(1004)은 기판이 처리 섹션(1006)으로 및 그로부터 이송될 때 EFEM에서 원하는 제어 된 환경 또는 분위기를 유지하기위한 적절한 환경 제어를 포함할 수 있다. 예를 들어, EFEM(1004)는 제어기(31000)(위에 설명된 제어기(400)와 실질적으로 유사할 수 있음), 하나 이상의 유체 제어 밸브(31010, 31020, 압력 릴리프 또는 체크 밸브(31030) 및 센서(예: 압력 센서(31040), 오염 센서(31041) 및 온도 센서(31042))를 포함할 수 있다. 제어기는 EFEM(및 처리 섹션(1006)) 내의 제어된 환경의 온도 압력 및 가스 유동 속도(31050)와 같은 속성을 조정하거나 조절하도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 제어기(31000)는 압력 센서(31040), 온도 센서(31042) 및 환경 오염 센서(31041)로부터 신호를 수신할 수 있다. 이러한 신호의 환경 정보에 따라 제어기는 적절한 밸브(31010, 31030)를 작동하여 EFEM 내에서 압력을 해제 또는 증가시키고 EFEM 내에서 공기 유동(31050)을 증가 또는 감소시킬 수 있다. 제어기(31000)는 또한 온도 센서(31042)에 의해 제공된 온도 판독값에 기초하여(예를 들어 라디에이터(31060)를 통한 냉각수 유동을 조정함으로써) EFEM 내의 가스의 온도를 증가 또는 감소시키도록 구성될 수 있다. 알 수 있는 바와 같이, 제어기(31000) 및 관련 밸브 및 센서는 도 7a 및 도 7b에 도시되어 있고, 제어기(31000)는 본 명세서에 개시된 다른 실시예들의 환경을 제어하기 위해 사용될 수 있다.
EFEM(1004)은 기판을 잡고 이송할 수 있는 기판 이송 장치 또는 로봇(1004R)(알 수 있는 바와 같이, 로봇은 임의의 원하는 유형일 수 있음)을 포함할 수 있다. 전술한 것과 유사하게, EFEM(1004)은 하나 이상의 컨테이너(T)를 도구(1002)에 인터페이싱하고 기판이 도구(1002)에 로딩 및 언로딩될 수 있도록 하기 위한 로드 포트(24)(본원에 설명된 바와 같음)를 포함할 수 있다. EFEM(1004)의 로드 포트(24) 및 컨테이너(T)의 대응하는 보완 인터페이스부(본 명세서에 설명됨)은 EFEM(1004) 및 처리 섹션(1006)에서 제어된 환경의 저하없이 컨테이너와 EFEM 사이에서 기판의 로딩 및 언로딩을 가능하게 하도록 구성될 수 있다. EFEM 로드 포트(24) 및 컨테이너(T)의 보완 인터페이스부(총괄적으로 컨테이너 대 EFEM 인터페이스로 지칭될 수 있음)는 EFEM에 인터페이스 된 컨테이너(T)가 도구에 통합되도록 배열될 수 있다. 예를 들어, 로드 포트(24)를 통해 통합된 컨테이너(T)는 EFEM과 동일한 제어된 분위기를 공유하고 따라서 EFEM과 동일한 제어된 분위기에서 기판을 유지할 수 있는 챔버를 획정할 수 있어서, EFEM 이송 로봇(1004R)에 의해 기판이 컨테이너(T)로부터 처리 섹션 또는 처리 모듈로 직접 이송될 수 있다. 이전에 설명된 본 발명의 측면과 유사하게, 도 7a에 도시된 예시적인 실시예의 EFEM 인터페이스에 대한 컨테이너는 EFEM 내부로의 인터페이스를 통하여 그리고 처리 섹션을 통하여 컨테이너 챔버 내에서 그로부터 세정 터널로서 전술한 것(EFEM 및 처리 섹션 전체와 실질적으로 동일한 세정)을 정의한다. 세정 터널은 닫히고(예: 컨테이너가 로드 포트에서 제거될 때) 세정 터널로 저하되지 않고 자유롭게 개방될 수 있다. 도 7a에 도시된 실시예에서, EFEM 에 대한 컨테이너 인터페이스는 2015년 8월 11일 발행된 "측면 개구 퉁합 포트"라는 명칭이며 그 전체가 여기에 참고로 편입된 미국 특허 제9,105,673호에 설명된 것과 실질적으로 유사한 방식으로 인터페이싱되기 이전에 컨테이너의 환경에 독립적인 도구(실질적으로 전술함)와 컨테이터(T)를 직접 통합할 수 있도록 배치될 수 있다. 따라서, 도 7a에 예시된 실시예에서, 컨테이너(T)는 서로 상이하거나 다른 환경(예: 세정 공기에서 불활성 가스 환경으로 또는 세정 공기에서 진공으로)을 갖는 처리 도구와 직접 인터페이스되고 통합된 다음 서로 상이한 환경을 가지며 하기에서 설명되는 바와 같이 다시 도구에 인터페이스 되고 통합되는 도구들 사이에서 직접 이송한다. 따라서, 제어된 환경을 가진 하나의 도구에 있는 기판은 서로 상이하고 다른 제어된 환경을 가진 다른 도구의 EFEM(EFEM(1004에 유사함)애 직접 인터페이스외고 이송되는 용기(T) 내부로 세정 터널을 통하여 처리 섹션(처리 섹션(1006)에 유사함)으로부터 EFEM 로봇(1004R)으로써 직접 이송되며, 상기 기판은 다른 처리 도구에서의 제어된 환경의 저하 없이 처리 섹션에 대하여 다른 도구에서 이제 정의된 세정 터널을 통하여 EDEM 로봇으로써 직접 이송된다. 실제로 컨테이너와 결합된 EDEM에 대한 컨테이너 인터페이스는 외부 로드 락 또는 컨테이너 로드 락을 정의하는 것으로 간주될 수 있다.
도 7a에 도시된 실시예에서, 로드 포트(24)는 예시 목적으로 하나의 컨테이너(T)와 인터페이스하는 것으로 도시되어 있지만, 대안적인 실시예에서 로드 포트는 임의의 원하는 컨테이너의 수와 인터페이스하도록 배열될 수 있다. 예를 들어, 대안적인 측면에서, 로드 포트는 미국 특허 제9,105,673호에 설명 된 것과 유사한 스택에 배열된 다수의 컨테이너와 인터페이스 할 수 있는 일반적으로 스택된 구성을 가질 수 있으며, 그 개시 내용은 그 전체가 여기에 참고로 편입된다. 본 발명 내용에 따르면, 컨테이너가로드 포트에 있을 때, 로드 포트(24)는 컨테이너를 펌핑하기 위해, 예를 들어 컨테이너 내부 및 그 내부의 기판으로부터 분자 오염물을 세정하기 위해 로드 포트에 고정된 컨테이너(T)에 통신 가능하게 연결될 수 있는 진공 소스(1010V)를 가질 수 있다. 반대로, 컨테이너는 로드 포트에서 진공 소스(1010V)와 통신 가능하게 인터페이스하고 컨테이너가 진공 상태로 펌핑될 때 컨테이너 케이스의 대기압을 견디도록 임의의 적절한 방식으로 배열 될 수 있다(예: 미국 특허 제9,105,673호 참조).
컨테이너(T)는 적합한 통로 및 오리피스 또는 포트(776)(진공 포트, 퍼지 가스 포트를 가지며 또는 포트가 진공 및 퍼지 가스 소스 모두에 공통일 수 있음)를 가져서, 컨테이너를 로드 포트(24)에 연결 또는 커플링시, 로드 포트의 진공 소스(1010V)는 컨테이너 하우징에 자동으로 결합되고 컨테이너 내부와 통신한다. 알 수 있는 바와 같이, 컨테이너 시일(예를 들어, 도 9의 도어 시일(940) 참조)은 시일을 가로 질러 진공을 견디기 위해 원하는 무결성을 갖는다.
도 7a에 도시된 바와 같이, 예시된 예시적인 실시예에서, 컨테이너(T)는 또한 벤트 또는 퍼지 가스의 공급원과 같은 가스 공급원에 통신 가능하게 연결되도록 구성될 수 있다. 도 7a에 도시된 예시적인 실시예에서, 컨테이너(T)는 로드 포트(24)의 컨테이너 지지부에 안착될 때 가스 소스/공급부(1010G)에 통신 가능하게 연결될 수 있다. 알 수 있는 바와 같이, 컨테이너(T)는 컨테이너가 로드 포트 지지 표면 상에 배치될 때와 같이 가스 공급부(1010G)의 노즐에(예를 들어 자동으로) 결합하기 위해 적절한 유입 포트(776)(플러그)(및 컨테이너 내부를 연결하는 적절한 가스 채널)를 가질 수 있다. 도 7a에 도시된 로드 포트와 컨테이너 사이의 가스 소스 인터페이스의 배열은 단지 예시일 뿐이며, 다른 실시예에서 컨테이너와 로드 포트 사이의 가스 소스 인터페이스는 임의의 다른 원하는 위치 및 구성을 가질 수 있다. 전술한 바와 같이, 가스 소스(1010G)는 예를 들어 퍼지 및/또는 배기 가스를 로드 포트(24) 상에 안착되거나 위치된 컨테이너에 제공할 수 있다. 예를 들어 로드 포트(24)에 적절하게 배치된(예를 들어, 오버 헤드 이송부에서) 컨테이너(T), 및 컨테이너 하우징에 가스를 공급하기 위해 컨테이너에 연결된 가스 공급 노즐을 사용하면, (로드 포트에 위치되고 환경이 EFEM 에 유지된다면, 컨테이너의 내부 분위기에 따라) 퍼지 가스(예: N2)는 원하는 경우 컨테이너에 공급된다. 따라서, 예를 들어 컨테이너에 일부 처리 대기(예: 이전 도구와의 인터페이스)가 포함되어 있고, EFEM(1004)이 불활성 가스 또는 매우 세정 공기 대기로 유지될 수 있으며 이는 컨테이너 대기와 유사하지 않을 수 있는데, 컨테이너를 로드 포트에 배치할 때, 원하는 퍼지 가스는 가스 공급부(1010G)를 통해 컨테이너로 공급되어, 컨테이너 대기를 퍼징하게 되어, 컨테이너는 로드 포트 개구와 인터페이스되고 도구(1002)에 통합되며, 이는 전술한 바와 같다. 또한, 컨테이너 대기가 EFEM 환경과 호환되지 않거나 원치 않는 오염물질을 제공하는 것으로 간주되는 경우, 컨테이너를 로드 포트에 배치할 때(예를 들어 컨테이너 내부를 EFEM 환경에 개방하기 전), 컨테이너 내부가 진공 소스(1010V)를 통해 충분한 진공으로 펌핑되고, EFEM의 환경과 유사한 불활성 가스(예: N2, 매우 세정 공기)로 채워져 컨테이너(T)에서 잠재적인 오염 물질을 세척하고 컨테이너(T)의 내부를 전술한 바와 같이 도구에 통합된다. 알 수 있는 바와 같이, 하나 이상의 포트(776)는 진공 소스(1010V)에 결합될 수 있고, 하나 이상의 다른 포트(776)는 용기(T)의 퍼징을 수행하기 위해 퍼지 가스 소스(1010G)에 결합될 수 있다.
전술한 바와 같이, 퍼지 가스 공급부(1010G)는 진공 소스(1010V)에 추가로 또는 대신하여 전술한 것과 실질적으로 유사한 방식으로 액추에이터(5000)를 작동시킬 수 있다. 컨테이너 대기에 관한 정보는 RFID(무선 주파수 식별) 태그 또는 기타 적절한 데이터 저장 장치에 기록될 수 있으며, 컨테이너가 로딩되어 있는 로드 포트(24)에서 또는 이에 근접한 적절한 판독기에 의해 판독(또는 액세스) 될 수 있다. 따라서, 용기 내부에 관한 적절한 정보는 도구 제어기에 의해 획득될 수 있고, 원하는 프로토콜로 검토될 수 있으며, 원하는 경우 용기가 로드 포트(24)에 위치할 때 이전에 설명된 바와 같이 펌핑 및 배출될 수 있다. 예를 들어, 컨테이너 대기에 관한 정보는 컨테이너가 적재 포트에 도킹 될 때 또는 다른 적절한 시간에 컨테이너 이송 저장 장치에 기록될 수 있다. 이러한 정보는 원하는 경우 FAB 와이드 제어기에 의해 추적될 수도 있다. 알 수 있는 바와 같이, 컨테이너(T)는 또한 진공 및 가스 공급 연결부를 갖지 않을 수 있는 EFEM과 인터페이스될 수 있다. 대안적인 실시예에서, 컨테이너는 미국 특허 제 9,105,673 호에 설명된 바와 같이 내부 또는 온보드 퍼지 가스 공급원을 포함하여 로드 포트에 위치할 때 컨테이너를 정화할 수 있다. 알 수 있는 바와 같이, 다른 실시예에서, 컨테이너와 인터페이싱하는 로드 포트 인터페이스에는 진공 연결부가 제공되고, 가스 공급부가 없을 수 있으며, 그 가스는 예를 들어 컨테이너상의 가스 공급원으로부터 제공된다. 따라서, 알 수 있는 바와 같이, 컨테이너는 이제 도구의 기판 세정 챔버로서 기능할 수 있고, 기판이 세정을 수행하도록 도구에서 저장된다. 알 수 있는 바와 같이, 컨테이너 펌프/벤트 작업은 컨테이너(T)를 다른 도구로 재배치할 때와 같이 로드 포트(24)로부터 컨테이너(T)를 제거하기 전에 수행될 수도 있다.
[0006] 전술한 바와 같이, 도 7a에 도시된 도구 인터페이스에 대한 로드 포트 및 컨테이너의 배열은 단지 예시적인 것일 뿐이며, 다른 실시예에서, 인터페이스는 임의의 다른 원하는 구성을 가질 수 있다. 예를 들어, 가스 공급부는 컨테이너 내부가 펌핑된 후 EFEM 환경에서 컨테이너로 가스를 배출하도록 원하는 대로 위치될 수 있다.
도 2, 6, 8 및 9a를 참고하면, 로드 포트 모듈(24)의 지지 스테이션(36)은 지지 스테이션(36)과 같은 컨테이너(T) 지지부 상에 배치된 하나 이상의 퍼징 포트 노즐 위치(800A, 800B, 801A, 801B, 802A, 802B, 803A, 803B, 804A, 804B)가 있는 선택 가능하게 구성 가능한 카세트 지지 퍼징 포트(810, 811)를 포함한다. 하나 이상의 퍼징 포트 노즐 위치(800A, 800B, 801A, 801B, 802A, 802B, 803A, 803B, 804A, 804B) 각각은 각각의 퍼징 포트 노즐 위치(800A, 800B, 801A, 801B, 802A, 802B, 803A, 803B, 804A, 804B)에 있는 퍼징 노즐(900-903)이 컨테이너(T-TJ)의 적어도 하나의 퍼징 포트(600-609)에 연결되도록 구성된다. 각각의 퍼징 포트 노즐 위치(800A, 800B, 801A, 801B, 802A, 802B, 803A, 803B, 804A, 804B)는 교체 가능한 퍼징 노즐 인터페이스 820-831(도 8 및 9a)를 획정하여, 서로 다른 교체 가능한 퍼징 노즐 모듈(1910, 910)에 대응하는 서로 다른 교체 가능한 퍼징 노즐(900-903)(아래에서 설명 됨)이(동일한 로드 포트 모듈에서 다른 특성을 가진 서로 다른 컨테이너를 짝짓기 위해) 원하는 위치에서 퍼징 노즐로써 즉석으로 로드 포트 모듈을 재구성하는 서로 다른 퍼징 노즐 위치 간에 신속하게 교체될 수 있다. 서로 다른 교체 가능한 퍼징 노즐 모듈(1910, 910) 각각은 서로 다른 소정의 퍼징 노즐 구성(예를 들어, 로드 포트(24)에 결합될 컨테이너(T)의 소정의 퍼징 포트 구성에 대응)을 갖는다. 서로 다른 교체 가능한 퍼징 노즐 모듈(1910, 910) 각각은 교체 가능한 퍼징 노즐 모듈(1910, 910)의 상이한 소정의 퍼징 노즐 구성에 대응하는 하나 이상의 퍼징 포트 노즐 위치(800A, 800B, 801A, 801B, 802A, 802B, 803A, 803B, 804A, 804B)의 각각의 퍼징 노즐 인터페이스(820-831)에 제거 가능하게 장착된다. 서로 다른 교체 가능한 퍼징 노즐 모듈(1910, 910) 각각은 상이한 퍼징 포트(600-609) 특징부를 갖는 적어도 하나의 컨테이너(T-TJ)의 서로 다른 컨테이너(T-TJ)(도 6B)의 하나 이상의 퍼징 포트(600-609)의 서로 다른 퍼징 포트(600-603)와 일치하고 그에 결합된다.
도 2, 6, 8, 및 9a를 참고하면, 교체 가능한 퍼징 노즐 모듈(1910, 910) 각각은 적어도 하나의 퍼징 노즐(900-903)을 가지며, 다수의 서로 다른 교체 가능한 퍼징 노즐 모듈(1910, 910)로부터 선택될 수 있다. 교체 가능한 퍼징 노즐 인터페이스(820-831)에 모듈식 장착을 위한 서로 다른 소정의 퍼징 노즐 구성을 갖는 각각의 퍼징 노즐 모듈(1910, 910)에서, 교체 가능한 퍼징 노즐 모듈(1910, 910)의 선택 가능한 장착은 카세트 지지 퍼징부(810, 811)의 구조를 제 1 구조에서 제 2 구조로 변경하게 되는데, 여기서, 제 1 구조에서, 퍼징 포트 노즐 위치(800A, 800B, 801A, 801B, 802A, 802B, 803A, 803B, 804A, 804B)에서 적어도 하나의 퍼징 노즐(900-903)은 소정의 제 1 퍼징 포트 특징부를 가지는 컨테이너(T-TJ) 중 제 1 컨테이너와 부합(conformal)하고 이에 결합되어 있으며, 제 2 구조에서, 퍼징 포트 노즐 위치(800A, 800B, 801A, 801B, 802A, 802B, 803A, 803B, 804A, 804B)에서 퍼징 포트 노즐(900-903)은 소정의 제 1 퍼징 포트 특징부와는 다른 소정의 제 2 퍼징 포트 특징부를 갖는 컨테이너(T-TJ) 중 제 2 컨테이너와 부합하고 이에 결합되어 있다. 예를 들어, 도 6b에 도시된 바와 같이, 컨테이너(T-TJ)의 서로 상이한 퍼징 포트 특징부는 각각의 컨테이너(T-TJ)의 운동학적 위치 설정 특징부(예를 들어, 슬롯(T22))에 대한 퍼징 포트(600-609)의 위치/구성이다. 예를 들어, 컨테이너(T, TA, TD)의 퍼징 포트(600, 601)는 본 명세서에서 좁은 외부 전방 퍼징 포트(예: Shin-Etsu Polymer Co. Ltd. OB-CB_SHIN_ETSY FOUP) 및 로드 포트(24)의 퍼징 포트 노즐 위치(801A, 801B)에 해당한다. 컨테이너(TG, TH, TJ)의 퍼징 포트(606, 607)는 여기에서 넓은 외부 전방 퍼징 포트로 지칭되며(예: Entegris, Inc. SpectraTM 및 F300 FOUPS, Miraial Co., Ltd. 4 포트 및 2 포트 FOUPS 및 Shin-Etsu Polymer Co. Ltd. CT-CF-S_SHIN_ETSY 및 T-CF-S_SHIN_ETSY FOUP), 로드 포트(24)의 퍼징 포트 노즐 위치(802A, 802B)에 대응한다. 컨테이너(TE, TF, TI)의 퍼징 포트(608, 609)는 본 명세서에서 내부 전면 퍼징 포트로 지칭되며(예: Entegris, Inc. A300 FOUP 및 Shin-Etsu Polymer Co. Ltd. CF-A_SHIN-ENSY FOUP), 로드 포트(24)의 퍼징 포트 노즐 위치(800A, 800B)에 대응한다. 컨테이너(T, TB, TE, TJ)의 퍼징 포트(602, 603)는 본 명세서에서 전방 후방 퍼징 포트로 지칭되며(예: Entegris, Inc. SpectraTM FOUP, Miraial Co., Ltd. 4 포트 FOUP 및 Shin-Etsu Polymer Co. Ltd. CT-CF-S_SHIN_ETSY 및 T-CF-S_SHIN_ETSY FOUP), 로드 포트(24)의 퍼징 포트 노즐 위치(803A, 803B)에 대응한다. 컨테이너(TC, TD, TH, TI)의 퍼징 포트(604, 605)는 본 명세서에서 후방 후방 퍼징 포트로 지칭되며(예: Entegris, Inc. A300 FOUP 및 Shin-Etsu Polymer Co. Ltd. CF-A_SHIN-ENSY FOUP), 로드 포트(24)의 퍼징 포트 노즐 위치(804A, 804B)와 대응한다. 이와 같이, 각 컨테이너(T-TJ)는 다른 컨테이너(T-TJ)의 퍼징 포트 구성과 다른 각각의 퍼징 포트 구성을 갖는다.
교체 가능한 퍼징 노즐 모듈(1910, 910)은 물리적 퍼징 노즐 모듈, 가상 퍼징 노즐 모듈, 또는 물리적 퍼징 노즐 모듈과 가상 퍼징 노즐 모듈의 조합일 수 있다. 각각의 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈(1910, 910)(가상 모듈(910)은 물리적 모듈(1910)과 유사한 구성을 가지며 언급된 것을 제외하고는 유사한 도면 번호가 부여됨)은 예를 들어 위치(예: 넓은 외부 전방 퍼징 포트, 좁은 외부 전방 퍼징 포트, 내부 전방 퍼징 포트, 전방 후방 퍼징 포트, 후방 후방 퍼징 포트) 및/또는 컨테이너(T)의 퍼징 포트(600-609)의 구성(예를 들어, 경질 플라스틱 퍼징 포트 결합 인터페이스, 플루오로 엘라스토머 퍼징 포트 인터페이스)과 같은 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너(T-TJ 중 서로 상이한 것들의 서로 상이한 소정의 퍼징 포트 특징부에 대응한다(컨테이너(T-TJ)의 특정 측면이 언급되지 않는 한 일반적으로 컨테이너(T)라고 함).
도 9a-9g에서, 물리적 퍼징 노즐 모듈(1900)의 예는 퍼징 노즐 모듈(1910T, 1910TA, 1910TB, 1910TC, 1910TD, 1910TE, 1910TF, 1910TG, 1910TH, 1910TI, 1910TJ 및 퍼징 노즐 모듈 1910TFLU, 1910TAFLU, 1910TBFLU, 1910TCFLU, 1910TDFLU , 1910TEFLU, 1910TFFLU, 1910TGFLU, 1910THFLU, 1910TIFLU, 1910TJFLU) 인데(퍼징 노즐 모듈(1910TFLU, 1910TAFLU, 1910TBFLU, 1910TCFLU, 1910TDFLU, 1910TEFLU, 1910TFFLU, 1910TJFLU)은 퍼징 노즐 모듈(1910T, 1910TA, 1910TB, 1910TC, 1910TD, 1910TE, 1910TF, 1910TG, 1910TH, 1910TI, 1910TJ) 중 대응하는 하나에 실질적으로 유사하다는 것에 주목)(예: 1910TFLU는 1910T에 대응, 1910TAFLU는 1910TA에 대응), 그러나, 퍼징 노즐(1910T, 1910TA, 1910TB, 1910TC, 1910TD, 1910TE, 1910TF, 1910TG, 1910TH, 1910TI, 1910TJ) 중 대응하는 것과는 다른 유형의 퍼징 노즐 커플러부(도 9a의 커플러부(934A, 934B) 참조)을 갖는다. 도 9a 및 도 9b에 도시된 퍼징 노즐 모듈(1910TB, 1910TC)을 참조하면, 퍼징 노즐 모듈(1910TB, 1910TC)은 셔틀(52)의 후방(로드 포트(24) 프레임(29)의 개구(30O) 반대쪽)에 인접하여 상호 교체 가능하게 배치되어, 각각 대응하는 전방 후방 퍼징 포트(602, 603) 또는 대응하는 컨테이터(TB, TC)의 후방 후방 퍼징 포트(604, 605)와 인터페이싱한다. 각각의 서로 다른 물리적 퍼징 포트 노즐 모듈(1910TB, 1910TC)은 각각의 베이스(950)에 장착된 각각의 대응하는 퍼징 포트 노즐(902, 903)을 가진 모듈 프레임(예를 들어, 가상 퍼징 포트 노즐 모듈(910)에 존재하지 않는 베이스/프레임(950) 참조)을 가져서, 베이스(950)는 각각의 대응하는 퍼징 포트 노즐(902, 903)에 공통으로 되며, 이러한 베이스(950)는 지지 스테이션(36)에 공통인 제거 가능한 장착 커플링을 형성하여, 지지 스테이션(36)에 베이스(950)를 제거 가능하게 연결하는 것은 각각의 퍼징 포트 노즐(902, 903)을 공통 모듈 유닛으로서 각각의 퍼징 포트 노즐 인터페이스(826-830)에 장착하게 된다. 다른 실시예에서, 베이스(950)는 본 명세서에 설명된 가상 퍼징 포트 노즐 모듈(910)과 함께 사용하기 위해 컨테이너 지지부(36)에 고정될 수 있으며, 여기서 베이스(950)는 지지 스테이션(36)에 부착된 상태로 유지된다.
퍼징 노즐 모듈(1910TB, 1910TC, 1910TBFLU, 1910TCFLU)은 퍼징 노즐 모듈(1910TB)과 관련하여 설명될 것이다. 퍼징 노즐 모듈(1910TC, 1910TBFLU, 1910TCFLU)은 달리 명시되지 않는 한 퍼징 노즐 모듈(1910TB)와 실질적으로 유사하다. 그 상부에 대응하는 퍼징 포트 노즐(902, 903)을 갖는 각각의 서로 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈(1910TB, 1910TC, 1910TBFLU, 1910TCFLU)의 베이스(950)는 본 명세서에서 설명되는 바와 같이, 대응하는 서로 다른 퍼징 포트 노즐(902, 903)을 그 상부에 가지는 각각의 서로 다른 퍼징 포트 노즐 모듈(1910TC, 1910TBFLU, 1910TCFLU)의 다른 모듈 프레임(950)을 가진 모듈 유닛으로서 교체 가능하다. 퍼징 노즐 모듈(1910TB)은 베이스(950) 및 상기 베이스(950)에 이동 가능하게 결합된 노즐 지지부(951)를 포함한다. 노즐 지지부(951)는(선형 가이드(955)와 같은) 임의의 적절한 방식으로 베이스(950)에 이동 가능하게 결합되어, 적어도(위치/운동학적 결합 핀(66)에 의해 정의되는 바와 같이 컨테이너(T)의 지지 평면에 실질적으로 수직인 방향인) 방향(999)로 이동하게 된다. 셔틀 표면(52S) 위의 퍼징 노즐(902, 903)의 높이(1200)(도 12a)를 제한하기 위해 임의의 적절한 물리적 제한 정지부(946, 947)가 베이스(950) 및/또는 노즐 지지부(951)에 제공될 수 있다(높이(1200)는 대표적인 것이며, 하나 이상의 퍼징 노즐 모듈의 높이(1200)는 상이한 대응 높이를 가질 수 있다). 선형 액츄에이터(985)가 제공되고, 컨트롤러(400)에 통신 가능하게 결합되며, 여기서 제어기(400)의 명령에 따라 선형 액츄에이터(985)는 노즐 지지부(951) 및 퍼징 포트 노즐(902, 903)을 그 상부에서 위로 올리거나 내려서, 퍼징 포트 노즐(902, 903)은 컨테이너(T)에 결합하거나 분리된다. 제어기(400)는 임의의 적절한 방식으로 액츄에이터 결합/분리 포즈를 교시할 수 있으며, 상기 포즈는 일부 실시예에서 퍼징 노즐 모듈(1910TB, 1910TC)(및 1910TBFLU, 1910TBTCFLU)과 컨테이너(TB, TC) 사이에서 달라질 수 있다. 각각의 서로 상이한 액츄에이터 결합/해제 포즈는 제어기(400)에 교시되고, 제어기 선택기 테이블(403)(도 1a 참조)에 프로그래밍 되어, 서로 상이한 퍼징 노즐 모듈(1910TB, 1910TC)(및 1910TBFLU, 1910TCFLU)의 교환시에, 새로 설치된 퍼징 노즐 모듈이 제어기에 의해 검출/식별되고(또는 작업자가 제어기에 새로 설치된 퍼징 노즐 모듈의 식별 정보를 입력 함), 제어기(400)는 해당 액츄에이터 결합/분리 포즈를 제어기 선택기 테이블(403)로부터 선택한다. 임의의 적절한 편향 부재(biasing memeber: 954)가 각 컨테이너(TB)의 전방 후방 퍼징 포트(602, 603)으로부터(예를 들어 선형 액츄에이터(985)가 컨테이터(T)를 향하여 노즐 지지부(951)를 들어올릴 때) 또는 이에 대항하여(예를 들어 선행 액츄에이터(985)가 컨테이너(T)로부터 노즐 지지부(951)를 하강할 때) 퍼징 노즐 모듈(1910TB)에 결합된 적어도 하나의 퍼징 노즐(902, 903)을 평향시키도록 제공된다. 편향 부재(954)가 전방 후방 퍼징 포트(602, 603)에 대해 적어도 하나의 퍼징 노즐(902, 903)을 편향하는 경우, 상기 편향 부재(954)는 소정의 결합력을 제공할 수 있다(퍼징 노즐 모듈(1910TC)의 적어도 하나의 퍼징 노즐(902, 903)은 컨테이너(TC)의 후방 후방 퍼징 포트(604, 605)에 대해 편향된다).
각각의 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스(820-831)(도 8 및 9a)는 카세트 지지 스테이션(36)의 소정의 데이텀(예를 들어, 운동학적 위치 설정 핀(66))에 대해 소정의 위치를 갖도록 배치되어, 각각의 퍼징 포트 노즐 인터페이스(820-831)는 각각의 서로 상이한 기판 카세트 컨테이너(T)의 소정의 데이텀(예: 슬롯(T22))에 대해 결정적으로 위치된다. 즉, 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스(826-830)는 지지 스테이션(36)의 소정의 데이텀(예를 들어, 핀(66))에 대한 소정의 위치를 가지도록 배치되어, 교체 가능한 퍼징 노즐 인터페이스(826-830)에 장착된 서로 다른 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈(1910TB, 1910TC, 1910TBFLU, 1910TCFLU) 중 각각의 퍼징 포트 노즐(902, 903)는 각각의 서로 다른 기판 카세트 컨테이너(T)의 소정의 데이텀(예를 들어 슬롯(T22))에 대하여 결정적으로 위치된다. 예를 들어, 베이스(950)는 퍼징 노즐 모듈(1910TB, 1910TC, 1910TBFLU, 1910TCFLU)이 셔틀(52)의 임의의 적절한 데이텀(예를 들어, 운동학적 위치 설정(66))에 대해 상호 교체 가능하고 반복적으로 배치될 수 있도록 셔틀(52)의 대응하는 핀(957)과 결합하는 구멍/어퍼쳐와 같은 임의의 적절한 위치 설정 특징부(956)를 포함한다. 다른 실시예에서, 베이스(950)는 셔틀(52)에 결합될 수 있고, 예를 들어 위치 설정 핀(66)과 인터페이스하는 임의의 적절한 위치 지그(967), 예를 들어 위치 설정 핀(66)에 대하여 셔틀(52) 상에서 베이스(950)를 위치시키도록 베이스(950)의 위치 특징부(956)(또는 다른 적절한 위치 특징부)와 같은 임의의 적절한 방식으로 셔틀(52)의 임의의 적절한 데이텀(예를 들어, 운동학적 위치 설정 핀(66))에 대하여 교체되어 반복적으로 위치될 수 있다. 운동학적 위치 설정 핀(66)에 대한 퍼징 노즐 모듈(1910TB, 1910TC, 1910TBFLU, 1910TCFLU)의 반복 가능한 위치 설정은 퍼징 노즐 모듈(1910TB, 1910TC, 1910TBFLU, 1910TCFLU) 및 셔틀(52)에 퍼징 노즐 모듈(1910TB, 1910TC, 1910TBFLU, 1910TCFLU)을 실질적으로 연결할 때 퍼징 포트(602-604)에 대하여 이에 연결된 적어도 하나의 퍼징 노즐(902, 903)을 위치시킨다(예를 들어, 셔틀(52)을 연결시킨 후에 퍼징 노즐(902, 903) 또는 모듈(1910TB, 1910TC, 1910TBFLU, 1910TCFLU)의 추가 위치 설정없이). 따라서, 퍼징 노즐 모듈(1910TB, 1910TC, 1910TBFLU, 1910TCFLU)은 컨테이너(TB, TC) 퍼징 포트 구성에 상응하는 각각의 서로 상이한 퍼징 노즐 모듈 구성 사이에서 로드 포트(24) 배열이 즉석에서 재구성될 수 있도록 신속하게 교환될 수 있다.
도 9a, 9b, 13 및 14를 참고하면, 각각의 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스(826-829)는 서로 상이한 퍼징 포트 특징부(예를 들어, 유입구, 유출구 위치부, 등)를 가지는 서로 다른 기판 카세트 컨테이너(TB, TC)의 적어도 하나의 퍼징 포트(602-605)를 각각 결정적으로 나타내는 노즐 위치 설정 데이텀(또는 퍼징 노즐 데이텀)(952, 953)을 획정한다. 예를 들어, 노즐 지지부(951)는 퍼징 포트 노즐 위치(803A, 803B, 804A, 804B)를 획정하기 위해 노즐 지지부(951)에 결합되는 퍼징 노즐 데이텀(952, 953)을 포함한다. 데이텀(952, 953)은 퍼징 노즐(902, 903)이 결합되는(예를 들어, 각각의 퍼징 노즐 위치 특징부(1300)에 삽입되는 적절한 핀(1400)(도 9a)) 임의의 적절한 퍼징 노즐 위치 설정 특징부(1300)(예를 들어 구멍/어퍼쳐)를 포함한다. 핀(1400)과 퍼징 노즐 위치 설정 특징부(1300) 사이의 끼워 맞춤은 퍼징 노즐(902, 903)이 셔틀(52) 상에 유지되도록 하여 로드 포트(24)가 처리 장치에 대하여 컨테이너(T)를 로딩 및 언로딩 하도록 작동할 수 있다. 다른 실시예에서, 퍼징 노즐(902, 903)은 임의의 적절한 방식(예를 들어, 파스너, 클립, 탭 등)으로 셔틀(52)에 유지될 수 있다.
또한 도 10을 참조하면, 퍼징 노즐(902, 903)은 임의의 적절한 방식으로 입력 가스 매니폴드(10030) 또는 배기 가스 매니폴드(10040)에 결합될 수 있다. 일실시예에서, 퍼징 노즐(902, 903)은 각각의 유체 경질/강성 라인 또는 그에 결합된 유체 파이프(990, 991)를 가질 수 있으며, 여기서 유체 파이프(990, 991)의 각각의 커플링(992)은 컨테이너지지 스테이션(36) 아래로 연장된다. 각각의 가요성 호스(호스 1020-1023 참조)는 퍼징 노즐(902, 903)을 입력 가스 매니폴드(10030) 또는 배기 가스 매니폴드(10040)에 연결하기 위해 각각의 커플링(992)을 유체 파이프(990, 991)에 결합할 수 있다. 다른 실시예에서, 각각의 가요성 호스는 개재 유체 파이프(990, 991) 없이 퍼징 노즐(902, 903)을 유입 가스 매니폴드(10030) 또는 배기 가스 매니폴드(10040)에 결합할 수 있다.
퍼징 노즐 모듈은 로드 포트(24)에 결합되게 되는 컨테이터(TB, TC)의 퍼징 노즐 특징에 따라 퍼징 노즐 모듈(1910TB, 1910TBFLU)(전방 후방 퍼징 포트(602, 603)와 인터페이스) 또는 퍼징 노즐 모듈(1910TC, 1910TCFLU)(후방 후방 퍼징 포트(604, 605)와 인터페이스)로 구성될 수 있다. 각각의 퍼징 노즐(902, 903)은 대응하는 퍼징 포트 노즐 모듈(1910TB, 1910TC, 1910TBFLU, 1910TCFLU)의 다른 퍼징 포트 노즐(902, 903)과 독립적인 유닛으로서 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스(826-829)에 제거 가능하게 장착되고, 대응하는 퍼징 포트 노즐 모듈(1910TB, 1910TC, 1910TBFLU, 1910TCFLU)의 각각의 독립적으로 장착된 퍼징 포트 노즐(902, 903)은 서로 다른 대응 퍼징 포트 노즐 모듈(1910TB, 1910TC, 1910TBFLU, 1910TCFLU)의 서로 다른 퍼징 포트 노즐(902, 903)과 독립적으로 교체되어, 대응하는 퍼징 포트 노즐 모듈(1910TB, 1910TC, 1910TBFLU, 1910TCFLU)을 다른 대응하는 퍼징 포트 노즐 모듈(1910TB, 1910TC, 1910TBFLU, 1910TCFLU)와 교체하게 된다. 예를 들어, 각각의 퍼징 노즐 데이텀(952, 953)은 각각의 위치 설정 파스너(905, 906)와 인터페이스 하는 데이텀 정지부(1302, 1303)를 형성하는 슬롯(1305) 세트를 포함한다. 퍼징 노즐 데이텀(952, 953)을 퍼징 포트(602, 603)와 인터페이스하기 위한 위치(예: 전방 위치)로 이동하고, 퍼징 노즐 모듈(1910TB, 1910TBFLU)로서 퍼징 노즐 모듈을 구성하기 위해, 위치 설정 파스너(905, 906)는 느슨해져서, 퍼징 노즐 데이텀(952, 953)을 방향(1401)으로 슬라이딩하여, 데이텀 정지부(1303)가(도 14에 도시된 바와 같이) 위치 설정 파스너(905)에 실질적으로 접촉하고 안착하도록 한다. 여기서, 전방 위치에 있는 퍼징 노즐 모듈(1910TB, 1910TBFLU)의 퍼징 노즐(902, 903)은 퍼징 포트 노즐 위치(803A, 803B)에 위치한다. 유사하게, 퍼징 노즐 모듈(1910TC, 1910TCFLU)로 퍼징 노즐 모듈을 구성하여, 퍼징 포트(604, 605)와 인터페이스하기 위해, 위치 설정 파스너(905, 906)를 느슨하게 되어, 퍼징 포트(604, 605)와 인터페이스 하기 위하여 퍼징 노즐 데이텀(952, 953)을 제 위치(예를 들어, 보상 위치)로 슬라이딩하도록 제공하게 되며, 여기서 퍼징 노즐 데이텀(952, 953)은 방향(1301)으로 이동되어, 데이텀 정지부(1302)가(도 13에 도시된 바와 같이) 위치 설정 파스너(906)에 실질적으로 접촉하고 안착한다. 여기서, 후방 위치에 있는 퍼징 노즐 모듈(1910TC, 1910TCFLU)의 퍼징 노즐(902, 903)은 퍼징 포트 노즐 위치(803A, 803B)에 위치한다.
도 8, 9a 및 9c-9e에 도시된 바와 같이, 퍼징 노즐 모듈(1910TG, 1910TA, 1910TF, 1910TGFLU, 1910TAFLU, 1910TFFLU)은 셔틀(52)의 전방측에 인접하게(로드 포트(24) 프레임(29)의 개구(30O)에 인접하게) 상호 교체 가능하게 배치되어, 대응하는 좁은 외부 전방 퍼징 포트(600, 601) 또는 넓은 외부 전방 퍼징 포트(606, 607) 또는 대응하는 컨테이너(TA, TG, TF)의 내부 전방 퍼징 포트(608, 609)와 인터페이스하게 된다. 각각의 다른 퍼징 포트 노즐 모듈(1910TG, 1910TA, 1910TF, 1910TGFLU, 1910TAFLU, 1910TFFLU)은 각각의 베이스(970)에 장착된 각각의 대응하는 퍼징 포트 노즐(900, 901)을 구비한 모듈 프레임(예를 들어, 베이스/프레임(970) 참조)을 구비하여, 베이스(970)는 각각의 대응하는 퍼징 포트 노즐(900, 901)에 공통이고, 베이스(970)는 지지 스테이션(36)에 대한 공통의 제거 가능한 마운트 커플링을 형성하여, 베이스(970)를 지지 스테이션(36)에 제거 가능하게 커플링 하는 것은 각각의 퍼징 포트 노즐(900, 901)를 공통 모듈 유닛으로서 각각의 퍼징 포트 노즐 인터페이스(820-825)에 장착하게 한다. 다른 실시예에서, 베이스(970)는 본 명세서에 설명된 가상 퍼징 포트 노즐 모듈과 함께 사용하기 위해 컨테이너 지지부(36)에 고정될 수 있다.
퍼징 노즐 모듈(1910TG, 1910TA, 1910TF, 1910TGFLU, 1910TAFLU, 1910TFFLU)은 퍼징 노즐 모듈(1910TG)과 관련하여 설명될 것이다. 퍼징 노즐 모듈(1910TA, 1910TF, 1910TGFLU, 1910TAFLU, 1910TFFLU)은 달리 명시되지 않는 한 퍼징 노즐 모듈(1910TG)와 실질적으로 유사하다. 대응하는 퍼징 포트 노즐(900, 901)이 있는 각각의 다른 퍼징 포트 노즐 모듈(1910TG, 1910TA, 1910TF, 1910TGFLU, 1910TAFLU, 1910TFFLU)의 베이스(970)는 여기에 설명 된 바와 같이 대응하는 다른 퍼징 포트 노즐(900, 901)을 그 상부에 갖는 각각의 서로 다른 퍼징 포트 노즐 모듈(1910TG, 1910TA, 1910TF, 1910TGFLU, 1910TAFLU, 1910TFFLU)의 다른 모듈 프레임(970)과 모듈 유닛으로서 교체 가능하다. 퍼징 노즐 모듈(1910TG)은 베이스(970), 상기 베이스(970)에 이동 가능하게 결합된 노즐 지지부(971) 및 지지 브리지(972)를 포함한다. 상기 지지 브리지(972)는 노즐 지지부(971)에 결합되고 이에 의해 운반된다. 상기 노즐 지지부(971)는(선형 가이드(975)와 같은) 임의의 적절한 방식으로 베이스(970)에 이동 가능하게 결합되어,(위치 설정/운동학적 커플링 핀(66)에 의해 정의되는 바와 같이 컨테이너(T)의 지지 평면에 실질적으로 수직인 방향인) 적어도 방향(999)으로 이동하게 된다. 상기 지지 브리지(972)는 셔틀(52)의 표면(52S) 위의 퍼징 노즐(900, 901)의 높이(1201)를 제어하기 위해 셔틀(52)의 내부 표면(1202)(도 12A)과 맞물리도록 구성될 수 있다(높이(1201)는 대표적이며, 하나 이상의 퍼징 노즐 모듈의 높이(1201)는 서로 상이한 대응 높이를 가질 수 있다). 전술한 것과 유사한 방식으로, 선형 액츄에이터(985)가 제공되고 제어기(400)에 통신 가능하게 결합되어, 노즐 지지부(971) 및 그 위의 퍼징 포트 노즐(900, 901)을 상승(또는 하강)하여, 퍼징 포트 노즐(900, 901)이 컨테이너(T)에 결합 또는 분리된다. 위에서 설명한 것과 유사한 방식으로, 제어기는 새로 설치된 퍼징 노즐 모듈91910TG, 1910TGFLU, 1910TA, 1910TAFLU, 1910TF, 1910TFFLU0를 검출/식별하게 되어(또는 작업자가 새로 설치된 퍼징 노즐 모듈의 ID를 수동으로 입력할 수 있음), 제어기(400)가 퍼징 노즐 모듈의 교체시 컨트롤러 선택기 테이블(403)로부터 대응하는 액츄에이터 결합/해제 포즈를 선택하게 된다. 임의의 적절한 편향 부재(974)가 퍼징 노즐 모듈(1910TG)(및 퍼징 노즐 모듈(1910TGFLU))에 결합된 적어도 하나의 퍼징 노즐(900, 901)을 각 컨테이너의 넓은 외측 전방 퍼징 포트(606, 607)로부터 멀리(예를 들어, 선형 액츄에이터(985)는 컨테이너(T)를 향하여 노즐 지지부를 들어올림) 또는 이에 대하여(예를 들어 선형 액츄에이너(985)는 컨테이너(T)로부터 멀리 노즐 지지부(951)를 하강함) 편향시키도록 제공된다. 편향 부재(974)가 넓은 외부 전면 퍼징 포트(606, 607)에 대해 적어도 하나의 퍼징 노즐(900, 901)을 편향시키는 경우, 상기 편향 부재(974)는 소정의 결합력을 제공할 수 있다(퍼징 노즐 모듈(1910TA, 1910TAFLU)의 적어도 하나의 퍼징 노즐(900, 901)은 좁은 외부 전면 퍼징 포트(600, 601)에 대해 편향되고, 퍼징 노즐 모듈(1910TF, 1910TFFLU)의 적어도 하나의 퍼징 노즐(900, 901)은 내부 전면 퍼징 포트(608, 609)에 대해 편향된다.
위에서 언급한 바와 같이, 각각의 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스(820-831)(도 8 및 9A)는 카세트 지지 스테이션(36)의 소정의 데이텀(예를 들어, 운동학적 위치 설정 핀(66))에 대해 소정의 위치를 갖도록 배치되어, 각각의 퍼징 포트 노즐 인터페이스(820-831)는 각각의 서로 상이한 기판 카세트 컨테이너(T)의 소정의 데이텀(슬롯(T22)와 같은)에 대해 결정적으로 배치된다. 즉, 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스(820-825, 831)는 지지부 스테이션(36)의 소정의 데이텀(예를 들어 핀(66))에 대하여 소정의 위치를 가지도록 배치되어서, 교체 가능한 퍼징 노즐 인터페이스(820-025)에 장착된 서로 다른 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈(1910TG, 1910TA, 1910TF, 1910TGFLU, 1910TAFLU, 1910TFFLU)의 각각의 퍼징 포트 노즐(900, 901)은 각각의 서로 다른 기판 카세트 컨테이너(T)의 소정의 데이텀(예를 들어 슬롯(T22))에 대하여 결정적으로 배치된다. 예를 들어, 베이스(970)는 퍼징 노즐 모듈(1910TG, 1910TA, 1910TF, 1910TGFLU, 1910TAFLU, 1910TFFLU)이 셔틀(52)의 임의의 적절한 데이텀(예를 들어, 운동학적 위치 설정 핀(66))에 대하여 교체 가능하고 반복적으로 위치될 수 있도록 셔틀(52)의 대응하는 핀(977)과 짝을 이루는 구멍/어퍼쳐와 같은 임의의 적절한 위치 특징부(976)를 포함한다. 다른 실시예에서, 베이스(970)는 셔틀(52)에 결합될 수 있고, 예를 들어 위치 설정 핀(66)에 인터페이스하는 임의의 적절한 위치 설정 지그(968), 예를 들어 위치 설정 핀(66)에 대하여 셔틀(52) 상에 베이스(970)를 위치시키도록 베이스(970)의 위치 특징부(976)(또는 다른 적절한 위치 설정 특징부)와 같은 임의의 적절한 방식으로 셔틀(52)의 임의의 적절한 데이텀(예를 들어 운동학적 위치 설정 핀(66))에 대하여 교체되고 반복적으로 위치될 수 있다. 운동학적 위치 설정 핀(66)에 대한 퍼징 노즐 모듈(1910TG, 1910TA, 1910TF, 1910TGFLU, 1910TAFLU, 1910TFFLU)의 반복 가능한 위치 설정은 실질적으로 퍼징 노즐 모듈(1910TG, 1910TA, 1910TF, 1910TGFLU, 1910TAFLU, 1910TFFLU)을 셔틀(52)에 결합할 때 퍼징 포트(600, 601, 606-609)에 대해 결합된 적어도 하나의 퍼징 노즐(900, 901) 및 퍼징 노즐 모듈(1910TG, 1910TA, 1910TF, 1910TGFLU, 1910TAFLU, 1910TFFLU)을 위치 설정한다(즉, 셔틀(52)에 결합한 후에 퍼징 노즐(900, 901) 또는 모듈(1910TG, 1910TA, 1910TF, 1910TGFLU, 1910TAFLU, 1910TFFLU 52)을 추가로 위치 설정하지 않고서). 따라서, 퍼징 노즐 모듈(1910TG, 1910TA, 1910TF, 1910TGFLU, 1910TAFLU, 1910TFFLU)은 신속하게 교환되어, 로드 포트(24) 배열은 컨테이너(TG, TA, TC) 상응하는 각각의 서로 다른 퍼징 노즐 모듈 구조 간에 즉각적으로 재구성된다.
도 9a, 9c-9e, 13 및 14에서, 위에서 언급한 바와 같이, 각각의 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스(820-825)는 서로 다른 퍼징 포트 특징부(예를 들어 유입부, 유출부, 등)를 가지는 서로 다른 기판 카테트 컨테이너(T)의 적어도 하나의 퍼징 포트(600, 601, 606-6090의 각각을 결정적으로 나타내는 노즐 위치 설정 데이텀(또는 퍼징 노즐 데이텀)(980A, 980B, 981A, 981B, 982A, 982B)을 획정한다. 예를 들어, 노즐 지지부(971)는 퍼징 포트 노즐 위치(801A, 801B, 802A, 802B, 800A, 800B)를 획정하기 위해 노즐 지지부(971)에 결합된 퍼징 노즐 데이텀(980A, 980B, 981A, 981B, 982A, 982B)을 포함한다. 데이텀(980A, 980B, 981A, 981B, 982A, 982B)은 퍼징 노즐(900, 901)이 결합되는(예를 들어, 각각의 퍼징 노즐 위치 설정 특징부(1300)에 삽입되는 적절한 핀(1400)(도 9A)) 임의의 적합한 퍼징 노즐 위치 특징(1300)(예: 구멍/구멍)을 포함한다. 핀(1400)과 퍼징 노즐 위치 설정 특징부(1300) 간의 끼워 맞춤은 퍼징 노즐(900, 901)이 셔틀(52) 상에 유지되도록 하여, 로드 포트(24)가 처리 장치에 대하여 컨테이너(T)를 로딩 및 언로딩 하도록 작동할 수 있다. 다른 실시예에서, 퍼징 노즐(900, 901)은 임의의 적절한 방식(예를 들어, 파스너, 클립, 탭 등)으로 셔틀(52)에 유지될 수 있다. 또한 도 10을 참조하면, 퍼징 노즐(900, 901)은 임의의 적절한 방식으로 입력 가스 매니폴드(10030) 또는 배기 가스 매니폴드(10040)에 결합될 수 있다. 일 실시예에서, 퍼징 노즐(900, 901)은 유체 파이프(993, 994)의 각각의 커플링(995)이 컨테이너 지지 스테이션(36) 아래로 연장되는 각각의 유체 경질/강성 라인 또는 유체 파이프(993, 994)를 가질 수 있다. 각각의 가요성 호스(호스(1020-1023) 참조)는 퍼징 노즐(900, 901)을 유입 가스 매니폴드(10030) 또는 배기 가스 매니폴드(10040)에 연결하기 위해 유체 파이프(993, 994)의 각각의 커플링(995)에 결합될 수 있다. 다른 실시예에서, 각각의 가요성 호스는 개재 유체 파이프(993, 994)없이 퍼징 노즐(900, 901)을 유입 가스 매니폴드(10030) 또는 배기 가스 매니폴드(10040)에 결합할 수 있다.
퍼징 노즐 모듈은, 로드 포트(24)와 결합될 컨테이너(T)의 퍼징 노즐 특징부에 따라, 퍼징 노즐 모듈(1910TG, 1910TGFLU)(넓은 외부 전방 퍼징 포트(606, 607)와 인터페이스 됨), 퍼징 노즐 모듈(1910TA, 1910TAFLU)(좁은 외부 전방 퍼징 포트(600, 601)과 인터페이스 됨), 퍼징 노즐 모듈(1910TF, 1910TFFLU)(내부 전방 퍼징 포트 608, 609와 인터페이스 됨)로서 구성될 수 있다. 각각의 퍼징 노즐(900, 901)은 대응하는 퍼징 포트 노즐 모듈(1910TG, 1910TA, 1910TF, 1910TGFLU, 1910TAFLU, 1910TFFLU)의 다른 퍼징 포트 노즐(900, 901)과 독립적인 유닛으로서 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스(820-825)에 제거 가능하게 장착되며, 대응하는 퍼징 포트 노즐 모듈(1910TG, 1910TA, 1910TF, 1910TGFLU, 1910TAFLU, 1910TFFLU)의 각각 독립적으로 장착된 퍼징 포트 노즐(900, 901)은 서로 다른 대응 퍼징 포트 노즐 모듈(1910TG, 1910TA, 1910TF, 1910TGFLU, 1910TAFLU, 1910TFFLU)과 독립적으로 교체되어, 서로 다른 대응 퍼징 포트 노즐 모듈(1910TG, 1910TA, 1910TF, 1910TGFLU, 1910TAFLU, 1910TFFLU)와 대응 퍼징 포트 노즐 모듈(1910TG, 1910TA, 1910TF, 1910TGFLU, 1910TAFLU)를 교체하게 된다. 예를 들어, 데이텀(980A, 980B, 981A, 981B, 982A, 982B) 및 퍼징 노즐(900, 901)의 위치 설정 특징부(1300)는 퍼징 노즐(900, 901)이 각 데이텀(980A, 980B, 981A, 981B, 982A, 982B)에 의해 획정된 하나 이상의 퍼징 포트 노즐 위치(800A, 800B, 801A, 801B, 802A, 802B)에서 선택적으로 교환가능하게 위치된다. 여기서, 퍼징 노즐 모듈을 퍼징 노즐 모듈(1910TG, 1910TGFLU)로 구성하기 위해, 퍼징 노즐(900, 901)은 퍼징 포트 노즐 위치(802A, 802B)에 해당하는 데이텀(980A, 980B)에 연결되며, 예를 들어, 퍼징 노즐 위치 설정 특징부(1300) 및 핀(1400)(도 9a) 간의 인터페이스는 셔틀(52)의 임의의 적절한 데이텀(예를 들어, 운동학적 위치 설정 핀(66))에 대해 퍼징 노즐(900, 901)을 상호 교체 가능하고 반복적으로 위치시킨다. 운동학적 위치 설정 핀(66)에 대한 퍼징 노즐(900, 901)의 반복 가능한 위치는 실질적으로 퍼징 노즐 모듈(1910TG, 1910TA, 1910TF, 1910TGFLU, 1910TAFLU, 1910TFFLU)을 셔틀(52)에 결합할 때(즉, 셔틀(52)과 결합한 이후에 퍼징 노즐(900, 901) 또는 모듈(1910TG, 1910TA, 1910TF, 1910TGFLU, 1910TAFLU, 1910TFFLU)의 추가 위치 설정없이), 퍼징 포트(600, 601)에 대해 결합된 적어도 하나의 퍼징 노즐(900, 901) 및 퍼징 노즐 모듈(1910TG, 1910TA, 1910TF, 1910TGFLU, 1910TAFLU, 1910TFFLU)을 위치시킨다.
물리적 상호 교체 가능한 퍼징 노즐 모듈(1910TA, 1910TF, 1910TG, 1910TB, 1910TC, 1910TAFLU, 1910TFFLU, 1910TGFLU, 1910TBFLU, 1910TCFLU)는 두 개의 퍼징 포트가 있는 컨테이너(TA, TF, TG, TB, TC)와의 결합을 위해 구성되는 것으로 설명되며, 물리적 상호 교체 가능한 퍼징 노즐 모듈(1910T, 1910TD, 1910TE, 1910TH, 1910TI, 1910TJ, 1910TFLU, 1910TDFLU, 1910TEFLU, 1910THFLU, 1910TIFLU, 1910TJFLU)은 또한 도 9f 및 도 9g 에 도시된 바와 같은 4개의 퍼징 포트를 가진 컨테이너(T, TD, TE, TH, TI, TJ)와의 결합을 수행하기 위해 전면 및 후면 부분을 포함할 수 있다. 퍼징 노즐 모듈(1910T, 1910TD, 1910TE, 1910TH, 1910TI, 1910TJ, 1910TFLU, 1910TDFLU, 1910TEFLU, 1910THFLU, 1910TIFLU, 1910TJFLU)의 전면 및 후면 부분은 각각 독립적으로/분리적으로 컨테이너 지지부(36)에 결합되는 별도의 부분일 수 있으며, 또는 다른 또는 실시예에서, 전방 및 후방 부분은 단일 유닛으로서 컨테이너 지지부(36)에 결합되는 단일 모듈일 수 있다. 퍼징 노즐 모듈(1910T, 1910TD, 1910TE, 1910TH, 1910TI, 1910TJ, 1910TFLU, 1910TDFLU, 1910TEFLU, 1910THFLU, 1910TIFLU, 1910TJFLU)는 또한 로드 포트(24) 배열은 컨테이너(T-TJ) 퍼징 포트 구성에 상응하는 각각의 서로 다른 퍼징 노즐 모듈 구성 간에 즉석에서 재구성될 수 있도록 빠른 교환될 수 있다.
퍼징 노즐 모듈(1910T)(및 퍼징 노즐 모듈(1910T)과 실질적으로 유사한 퍼징 노즐 모듈(1910TFLU))은 컨테이너(T)의 4 개의 퍼징 포트(600, 601, 602, 603)와 결합하도록 구성된다. 퍼징 노즐 모듈(1910T)은 좁은 외부 전면 퍼징 포트(600, 601)와 결합하기 위한 퍼징 노즐 모듈(1910TA)과 실질적으로 유사한 전방 부분(1910T1)을 포함한다. 퍼징 노즐 모듈(1910T)은 또한 전방 후방 퍼징 포트(602, 603)와 결합하기 위한 퍼징 노즐 모듈(1910TB)과 실질적으로 유사한 후방 부분(1910T2)을 포함한다.
퍼징 노즐 모듈(1910TD)(및 퍼징 노즐 모듈(1910TD)과 실질적으로 유사한 퍼징 노즐 모듈(1910TDFLU))은 컨테이너(TD)의 4 개의 퍼징 포트(600, 601, 604, 605)와 결합하도록 구성된다. 퍼징 노즐 모듈(1910TD)은 좁은 외부 전면 퍼징 포트(600, 601)와 결합하기 위한 퍼징 노즐 모듈(1910TA)과 실질적으로 유사한 전면 부분(1910TD1)을 포함한다. 퍼징 노즐 모듈(1910TD)은 또한 후방 후방 퍼징 포트(604, 605)와 결합하기 위한 퍼징 노즐 모듈(1910TC)과 실질적으로 유사한 후방 부분(1910TD2)을 포함한다.
퍼징 노즐 모듈(1910TE)(및 퍼징 노즐 모듈(1910TE)과 실질적으로 유사한 퍼징 노즐 모듈(1910TEFLU))은 컨테이너(TE)의 4 개의 퍼징 포트(608, 609, 602, 603)와 결합하도록 구성된다. 퍼징 노즐 모듈(1910TE)은 내부 전방 퍼징 포트(608, 609)와 결합하기 위한 퍼징 노즐 모듈(1910TF)과 실질적으로 유사한 전방 부분(1910TE1)을 포함한다. 퍼징 노즐 모듈(1910TE)은 또한 전방 후방 퍼징 포트(602, 603)와 결합하기 위한 퍼징 노즐 모듈(1910TB)과 실질적으로 유사한 후방 부분(1910TE2)을 포함한다.
퍼징 노즐 모듈(1910TH)(및 퍼징 노즐 모듈(1910TH)과 실질적으로 유사한 퍼징 노즐 모듈(1910THFLU))은 컨테이너(TH)의 4 개의 퍼징 포트(606, 607, 604, 605)와 결합하도록 구성된다. 퍼징 노즐 모듈(1910TH)은 넓은 외부 전면 퍼징 포트(606, 607)와 결합하기 위한 퍼징 노즐 모듈(1910TG)과 실질적으로 유사한 전방 부분(1910TH1)을 포함한다. 퍼징 노즐 모듈(1910TH)은 또한 후방 후방 퍼징 포트(604, 605)와 결합하기 위한 퍼징 노즐 모듈(1910TC)과 실질적으로 유사한 후방 부분(1910TH2)을 포함한다.
퍼징 노즐 모듈(1910TI)(및 퍼징 노즐 모듈(1910TI)과 실질적으로 유사한 퍼징 노즐 모듈(1910TIFLU))은 컨테이너(TI)의 4 개의 퍼징 포트(608, 609, 604, 605)와 결합하도록 구성된다. 퍼징 노즐 모듈(1910TI)은 내부 전면 퍼징 포트(608, 609)와 결합하기 위한 퍼징 노즐 모듈(1910TF)과 실질적으로 유사한 전방 부분(1910TI1)을 포함한다. 퍼징 노즐 모듈(1910TI)은 또한 후방 후방 퍼징 포트(604, 605)와 결합하기위한 퍼징 노즐 모듈(1910TC)과 실질적으로 유사한 후방 부분(1910TI2)을 포함한다.
퍼징 노즐 모듈(1910TJ)(및 퍼징 노즐 모듈(1910TJ)과 실질적으로 유사한 퍼징 노즐 모듈(1910TJFLU))은 컨테이너(T)J의 4 개의 퍼징 포트(606, 607, 602, 603)와 결합하도록 구성된다. 퍼징 노즐 모듈(1910TJ)은 넓은 외부 전면 퍼징 포트(606, 607)와 결합하기 위한 퍼징 노즐 모듈(1910TG)과 실질적으로 유사한 전방 부분(1910TJ1)을 포함한다. 퍼징 노즐 모듈(1910TJ)은 또한 전방 후방 퍼징 포트(602, 603)와 결합하기 위한 퍼징 노즐 모듈(1910TB)과 실질적으로 유사한 후방 부분(1910TJ2)을 포함한다.
퍼징 노즐 모듈 1910T-1910TJ(및 본 명세서에 설명된 바와 같이 1910T-1910TJ와 실질적으로 유사한 1910TFLU-1910TJFLU)는 베이스부(936)(도 9a 및 9b 참조) 및 커플러부(934A)를 포함하는 퍼징 노즐(900-903)을 갖는 것으로 예시된다. 베이스부(936)는 모든 퍼징 노즐(900-903)에 대해 실질적으로 유사할 수 있다. 커플러부(934A)는 임의의 적절한 방식(예를 들어, 클립, 나사산, 스냅 또는 임의의 다른 해제 가능한 파스너)으로 베이스부(936)과 제거 가능하게 결합되고, 각각의 퍼징 포트(600-609)와 인터페이스하도록 구성되어(지지부 스테이션(36) 상의 퍼징 노즐의 위치에 따라), 각각의 퍼징 포트(600-609)와 퍼징 노즐(900-903) 사이에 밀봉을 실질적으로 형성하게 된다. 커플러부(934A)는 퍼징 포트를 구성하는 경질 플라스틱(또는 다른 적절한 경질 재료)과 인터페이스 하도록 구성될 수 있으며, 퍼징 포트를 구성하는 경질 플라스틱(또는 기타 적절한 경질 재료)과 실질적으로 접촉하는 밀봉 부재(935A)(예를 들어, 도 9a, 9b에 도시된 플루오로 엘라스토머 O- 링)를 포함한다. 다른 실시예에서, 퍼징 노즐 모듈(1910T-1910TJ)의 커플러부(934A)는 플루오로 엘라스토머로 구성된 퍼징 포트와 인터페이스하도록 구성된 커플러부(934B)로 대체될 수 있으며(예를 들어, 아래에 설명된 것과 유사한 방식으로 교체될 수 있음), 플루오로 엘라스토머로 구성된 퍼징 포트와 실질적으로 접촉하고 밀봉하는 실질적으로 경질의 표면(935B)(도 9a)을 포함한다. 또 다른 실시예에서, 퍼징 노즐 모듈(1910TFLU-1910TJFLU)(도 9g 참조)이 제공될 수 있으며, 여기서 퍼징 노즐 모듈(1910TFLU-1910TJFLU)은 대응하는 퍼징 노즐 모듈(1910T-1910T1)과 실질적으로 유사지만, 퍼징 노즐 모듈(1910T1-1910TJ)은 커플러부(934A) 대신에 커플러부(934B)로 구성된다.
위에서 언급한 바와 같이, 교체 가능한 퍼징 노즐 모듈(1910, 910)은 물리적 퍼징 노즐 모듈, 가상 퍼징 노즐 모듈, 또는 물리적 퍼징 노즐 모듈과 가상 퍼징 노즐 모듈의 조합 일 수 있다. 가상 퍼징 노즐 모듈(910)의 예는 도 9a에 도시된 가상 퍼징 노즐 모듈(910T, 910TA, 910TB, 910TC, 910TD, 910TE, 910TF, 910TG, 910TH, 910TI, 910TJ, 910T1, 910TA1, 910TB1, 910TC1, 910TD1, 910TE1, 910TF1, 910TG1 , 910TH1, 910TI1, 910TJ1)를 포함한다. 가상 퍼징 노즐 모듈(910)은 퍼징 포트 노즐 위치(801A, 801B, 802A, 802B, 801A, 801B, 802A, 802B, 800A, 800B, 803A, 803B, 804A, 804B) 중 각각에서 퍼징 포트 노즐 인터페이스(820-829)에 교체 가능하게 연결되는 퍼징 노즐(900-903)의 세트일 수 있다. 예를 들어, 가상 퍼징 노즐 모듈(910T, 1910T1)은 컨테이너(T)의 퍼징 포트 구성에 대응하며(퍼징 포트 좁은 외측 전방 퍼징 포트(600, 601) 및 전방 후방 퍼징 포트(602, 603603)를 가짐); 가상 퍼징 노즐 모듈(910TD, 910TD1)은 컨테이너(TD)의 퍼징 포트 구성에 대응하며(좁은 외부 전면 퍼징 포트(600, 601) 및 후방 후방 퍼징 포트(604, 605)를 가짐); 가상 퍼징 노즐 모듈(910TE, 910TE1)은 컨테이너(TE)의 퍼징 포트 구성에 대응하며(내부 전면 퍼징 포트(602, 603), 전방 후방 퍼징 포트(602, 603)를 포함); 가상 퍼징 노즐 모듈(910TH, 910TH1)은 컨테이너(TH)의 퍼징 포트 구성에 대응하며(넓은 외부 전면 퍼징 포트(606, 607) 및 후방 후방 퍼징 포트(604, 605)를 가짐); 가상 퍼징 노즐 모듈(910TI, 910TI1)은 컨테이너(TI)의 퍼징 포트 구성에 대응하며(내부 전면 퍼징 포트(608, 609) 및 후방 후방 퍼징 포트(604, 605)를 가짐); 가상 퍼징 노즐 모듈(910TJ, 910TJ1)은 컨테이너(TJ)의 퍼징 포트 구성에 대응한다(넓은 외부 전방 퍼징 포트(606, 607) 및 전방 후방 퍼징 포트(602, 603)를 가짐).
가상 퍼징 노즐 모듈(910TA, 910TA1)은 컨테이너(TA)의 퍼징 포트 구성(좁은 외부 전방 퍼징 포트(606, 607)을 가짐)에 대응한다. 가상 퍼징 노즐 모듈(910TF, 910TF1)은 컨테이너(TF)의 퍼징 포트 구성(내부 전면 퍼징 포트(608, 609)을 가짐)에 대응한다. 가상 퍼징 노즐 모듈(910TG, 910TG1)은 컨테이너(TG)의 퍼징 포트 구성(넓은 외부 전면 퍼징 포트(606, 607)를 가짐)에 대응한다.
가상 퍼징 노즐 모듈(910TB, 910TB1)은 컨테이너(TB)의 퍼징 포트 구성(전방 후방 퍼징 포트(602, 603)을 가짐)에 대응한다. 가상 퍼징 노즐 모듈(910TC, 910TC1)은 컨테이너(TC)의 퍼징 포트 구성(후방 후방 퍼징 포트(604, 605)을 가짐)에 대응한다.
알 수 있는 바와 같이, 일 실시예에서, 퍼징 노즐(900-903, 900A-903A)은 전방 컨테이너 퍼징 포트와 결합하도록 의도된 퍼징 노즐(900, 901, 900A, 901A)이 컨테이너 지지부(36) 상에 위치되어 후방 컨테이너 퍼징 포트와 인터페이스 되도록 서로 대체 가능/교체 가능하며, 후방 컨테이너 퍼징 포트와 결합하기 위한 퍼징 노즐(902, 903, 902A, 903B)은 컨테이너 지지부(36)에 위치하여 전방 컨테이너 퍼징 포트와 인터페이싱하게 된다. 또한, 퍼징 노즐(902, 903)은 프레임(950)이 컨테이너 지지부(36)에 부착된 상태로 유지되는 동안 본 명세서에 기재된 바와 같이 퍼징 노즐 데이텀(952, 953)을 이동시킴으로써 퍼징 포트 노즐 위치(803A, 803B, 804A, 804B) 사이에서 이동 될 수 있다.
다른 실시예에서, 컨테이너의 퍼징 포트(600-609)가 서로 상이한 커플링 특징부(예: 경질 플라스틱 구성 퍼징 포트 또는 플루오로 엘라스토머로 구성된 퍼징 포트)을 가지는 컨테이너(T-TJ)(전술함)의 하나 이상(또는 각각)에 대응하는 상이한 가상 퍼징 노즐 모듈(910T-910TJ, 910T1-910TJ1)가 존재한다. 예를 들어, 도 9a 및 9b 및 위에서 언급한 바와 같이, 각각의 퍼징 노즐(900-903, 900A-903A)은 베이스부(936)(예를 들어, 도 9d 참조) 및 커플러부(934A, 934B)(예를 들어, 도 9a 및 9b 참조)을 포함한다. 베이스부(936)는 모든 퍼징 노즐(900-903, 900A-903A)에 대해 실질적으로 유사하여서, 상이한 커플러부(934A, 934B)는 퍼징 노즐(900-903, 900A-903A) 및 퍼징 노즐 위치(801A, 801B, 802A, 802B, 800A, 800B, 803A, 803B, 804A, 804B) 각각과 상호 교체될 수 있다. 베이스부(936)는 예를 들어, 여기에 설명된 바와 같이 각각의 퍼징 노즐 위치 설정 특징부(1300)에 삽입되는 핀(1400)(도 9a)을 포함한다. 베이스부(936)는 또한 각각의 가요성 호스(호스(1020-1023) 참조) 및/또는 각각의 유체 파이프(990, 991, 993, 994)와 결합하도록 구성된다.
커플러부(934A, 934B)는 임의의 적절한 방식(예를 들어, 클립, 나사, 스냅 또는 임의의 다른 해제 가능한 파스너)으로 베이스부(936)와 제거 가능하게 결합되고(지지부 스테이션(36) 상의 퍼징 노즐이 위치에 따라) 각각의 퍼징 포트(600-609)와 인터페이스 하도록 구성되어, 각각의 퍼징 포트(600-609)와 퍼징 노즐(900-903, 900A-903A) 사이에 밀봉을 실질적으로 형성하게 된다. 커플러부(934A)는 퍼징 포트를 구성하는 경질 플라스틱(또는 다른 적절한 경질 재료)과 인터페이스 하도록 구성될 수 있으며, 퍼징 포트를 구성하는 경질 플라스틱(또는 기타 적절한 경질 재료)과 실질적으로 접촉하는 밀봉 부재(935A)(예를 들어, 도 9a, 9b에 도시된 플루오로 엘라스토머 O-링)를 포함한다. 커플러부(934B)는 플루오로 엘라스토머로 구성된 퍼징 포트와 인터페이스 하도록 구성될 수 있고, 플루오로 엘라스토머 구성 퍼징 포트와 실질적으로 접촉하고 밀봉하는 실질적으로 경질의 표면(935B)(도 9a)을 포함한다. 본 명세서에 설명된 퍼징 노즐(900-903, 900A-903A)의 구성은 예시적이며, 퍼징 노즐은 임의의 적절한 용기의 임의의 적절한 퍼징 포트와 결합하기위한 임의의 다른 적절한 구성을 가질 수 있다.
가상 퍼징 노즐 모듈(910T-910TJ, 910T1-910TJ1)의 각각의 퍼징 노즐(900-903, 900A-903A)은 분리되고 별개의 퍼징 노즐(즉, 모듈(1910TG, 1910TB)에서와 같은 프레임 상의 컨테이너 지지부(36)에 설치 및/또는 그로부터 제거된 개별 퍼징 노즐)이어서, 각 퍼징 포트 노즐(900-903, 900A-903A)은 대응하는 퍼징 포트 노즐 모듈(910T-910TJ, 910T1-910TJ1)의 다른 퍼징 포트 노즐(900-903, 900A-903A)과 독립적인 유닛으로 퍼징 포트 노즐 인터페이스(820-829)에 제거 가능하게 장착된다. 대응하는 퍼징 포트 노즐 모듈(910T-910TJ, 910T1-910TJ1)은 또한 다른 대응하는 퍼징 포트 노즐(900-903, 900A-903A)을 갖는 다른 퍼징 포트 노즐 모듈(910T-910TJ, 910T1-910TJ1)과 교체될 수 있다. 예를 들어, 가상 퍼징 노즐 모듈(910TG)이 가상 퍼징 노즐 모듈(910T) 대신에 컨테이너 지지부(36)에 결합되는 경우, 가상 퍼징 노즐 모듈(910T)의 각각의 퍼징 노즐(900-903)은 임의의 적절한 순서로 컨테이너 지지부(36)로부터 개별적으로 제거/결합 해제된다. 가상 퍼징 노즐 모듈(910T)의 퍼징 노즐(900-903)을 제거한 후, 가상 퍼징 노즐 모듈(910TG)의 퍼징 노즐(900A, 901A)은 임의의 적절한 순서로 컨테이너 지지부(36)에 개별적으로 설치/결합된다. 다른 실시예에서, 퍼징 노즐(900, 901) 전체를 교체하는 대신, 가상 퍼징 노즐 모듈(910T)의 커플러부(934A)가 제거되고 커플러부(934B)로 대체되어 가상 퍼징 노즐 모듈(910T)을 가상 퍼징 노즐 모듈(910T1)로 재구성할 수 있다. 본 명세서에 설명된 바와 같이, 퍼징 노즐(900-903, 900A-903A)은 컨테이너(T)의 퍼징 포트 특징부에 따라 임의의 다른 퍼징 포트 노즐 위치(800A, 800B, 801A, 801B, 802A, 802B, 803A, 803B, 804A, 804B)에서 컨테이너 지지부(36)에 연결될 수 있다.
전술한 바와 같이, 퍼징 노즐(900-903, 900A-903A)이 결합 된 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스(820-829)는 카세트 지지부(36)의 소정의 데이텀(예: 핀(66))에 대해 소정의 위치를 갖도록 배치되어, 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈(912-914, 912A-914A)의 선택 가능한 장착은 각각의 서로 다른 기판 카세트 컨테이너(T)의 소정이 데이텀(예를 들어 슬롯(T22))에 대하여 교체 가능한 퍼징 노즐 인터페이스(820-829)에 장착된 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈(910T-910TJ, 910T1-910TJ1)의 퍼징 포트 노즐(900-903, 900A-903A)의 각각의 장착된 결정적인 위치에 실질적으로 일치한다.
도 11a-14에서, 용기 지지부(36)는 퍼징 노즐(900-903) 및/또는 퍼징 노즐 모듈(1910TG, 1910TA, 1910TF, 1910TB, 1910TC)과 함께 다른 구성으로 도시되어있다(퍼징 노즐(900-903)은 도시되어 있지만 퍼징 노즐(900A-903A)은 퍼징 노즐(900-903) 대신에 또는 이와 조합하여 사용될 수 있다). 도 11a-14에 도시된 구조는 본 명세서에 설명된 구성을 모두 포함하지 않는다. 예를 들어, 도 11a 및 11b는 퍼징 포트 노즐 위치(802A, 802B)(예를 들어, 넓은 외부 전방 퍼징 포트(606, 607)와 인터페이스하기 위해)에 위치한 퍼징 노즐(900, 901) 및 퍼징 노즐 위치(804A, 804B)(예를 들어, 후방 후방 퍼징 포트(604, 605)와 인터페이스하기 위해)에 위치한 퍼징 노즐(902, 903)을 도시한다. 전술한 바와 같이, 일 실시예에서, 퍼징 노즐(900-903)은 가상 퍼징 노즐 모듈(910TH, 910TH1) 또는 가상 퍼징 노즐 모듈(910TG, 910TG1 및 910TC, 910TC1)의 조합으로 구성될 수 있다. 다른 측면에서, 퍼징 노즐(902-903)은 물리적 퍼징 노즐 모듈(1910TC, 1910TCFLU)(후방 후방 퍼징 포트(604, 605-도 6b 참조)와 인터페이스하기 위해)의 일부일 수 있고, 퍼징 노즐(900-901)은 퍼징 노즐 모듈(1910TG, 1910TGFLU)로서 구성될 수 있다(넓은 외부 전면 퍼징 포트 606, 607과 인터페이스하기 위해 - 도 6b 참조). 또다른 실시예에서, 퍼징 노즐(900, 901)은 가상 퍼징 노즐 모듈(910TG, 910TG1)로서 구성될 수 있는 반면, 퍼징 노즐(902, 903)은 물리적 퍼징 노즐 모듈(1910TC, 1910TCFLU)로서 구성된다. 다른 실시예에서, 퍼징 노즐(900, 901)은 물리적 퍼징 노즐 모듈(1910TG, 1910TGFLU)로서 구성될 수 있는 반면, 퍼징 노즐(902, 903)은 가상 퍼징 노즐 모듈(910TC, 910TC1)로서 구성된다.
도 12a 및 12b는 퍼징 포트 노즐 위치(800A, 800B)에 위치한 퍼징 노즐(900, 901)(예를 들어, 내부 전면 퍼징 포트(600, 601과 인터페이스 함)) 및 퍼징 노즐 위치(803A, 803B)에 위치한 퍼징 노즐(902, 903)(예를 들어, 전방 후방 퍼징 포트(602, 603)과 인터페이스 함)을 포시한다. 전술한 바와 같이, 일 실시예에서, 퍼징 노즐(900-903)은 가상 퍼징 노즐 모듈(910TE, 910TEFLU) 또는 가상 퍼징 노즐 모듈(910TF, 910TF1 및 910TB, 910TB1)의 조합으로 구성될 수 있다. 다른 측면에서, 퍼징 노즐(902-903)은 물리적 퍼징 노즐 모듈(1910TB, 1910TBFLU)(전방 후방 퍼징 포트(602, 603-도 6B 참조)와 인터페이스 함)의 일부일 수 있고, 퍼징 노즐(900-901)은 퍼징 노즐 모듈(1910TF, 1910TFFLU)(전방 퍼징 포트 608, 609 내부 퍼징와 인터페이스 함-그림 6b 참조)로서 구성된다. 또다른 실시예에서, 퍼징 노즐(900, 901)은 가상 퍼징 노즐 모듈(910TF, 910TF1)로서 구성될 수 있는 반면, 퍼징 노즐(902, 903)은 물리적 퍼징 노즐 모듈(1910TB)로서 구성된다. 다른 실시예에서, 퍼징 노즐(900, 901)은 물리적 퍼징 노즐 모듈(1910TF, 1910TFFLU)로서 구성될 수 있는 반면, 퍼징 노즐(902, 903)은 가상 퍼징 노즐 모듈(910TB, 910TB1)로서 구성된다.
도 13은 퍼징 포트 노즐 위치(801A, 801B)에 위치한 퍼징 노즐(900-901)을 도시한다(예를 들어, 좁은 외부 전면 퍼징 포트(600, 601)와 인터페이스 함). 이 실시예에서, 베이스(950) 및 노즐 지지부(951)는, 가상 퍼징 노즐 모듈(910TC, 910TC1)과 함께 사용하기 위하여, 컨테이너 지지부(36)에 고정되는 것으로 도시되어 있지만(배출 포트 노즐 위치(804A, 804B)에 배치된 위치 설정 특징부(1300)는 후방 후방 퍼징 포트(604, 605)와 인터페이스 함);도 13에 도시된 퍼징 노즐 구성에서는 가상 퍼징 노즐 모듈(910TC, 910TC1)이 사용되지 않는다. 전술한 바와 같이, 일 실시예에서, 퍼징 노즐(900, 901)은 가상 퍼징 노즐 모듈(910TA, 910TA1) 중 하나로 구성될 수 있다. 다른 실시예에서, 퍼징 노즐(900, 901)은 물리적 퍼징 노즐(1910TA, 1910TAFLU)의 일부일 수 있다(좁은 외부 전방 퍼징 포트(600, 601)와 인터페이스 함-도 6b 참조).
도 14는 퍼징 포트 노즐 위치(802A, 802B)에 위치한 퍼징 노즐(900-901)을 도시한다(예를 들어, 넓은 외부 전면 퍼징 포트(606, 607)와 인터페이스 함). 이 실시예에서, 베이스(950) 및 노즐 지지부(951)는, 가상 퍼징 노즐 모듈 910TB, 910TB1과 함께 사용하기 위하여, 컨테이너 지지부(36)에 고정되는 것으로 도시되어 있지만(퍼징 포트 노즐 위치(803A, 803B)에 배치된 위치 설정 특징부(1300)가 전방 후방 퍼징 포트(602, 603)와 인터페이스 함),도 13에 도시된 퍼징 노즐 구성에서는 가상 퍼징 노즐 모듈(910TB, 910TB1)이 사용되지 않는다. 전술한 바와 같이, 일 실시예에서, 퍼징 노즐(900, 901)은 가상 퍼징 노즐 모듈(910TG, 910TG1) 중 하나로 구성될 수 있다. 다른 실시예에서, 퍼징 노즐(900, 901)은 물리적 퍼징 노즐(1910TG, 1910TGFLU)의 일부일 수 있다(넓은 외부 전방 퍼징 포트(606, 607)와 인터페이스 함-도 6b 참조).
도 8 및 10을 참고하여, 전술한 바와 같이, 가요성 유체 호스(10020-10023)는 적어도 부분적으로 각각의 퍼징 노즐(900-903)을 입력 가스 매니폴드(10030) 또는 배기 가스 매니폴드(10040)에 선택적으로 결합한다. 본 발명의 실시예에 따르면, 상이한 퍼징 포트 노즐 위치(800A, 800B, 801A, 801B, 802A, 802B, 803A, 803B, 804A, 804B) 중 임의의 하나에 위치된 퍼징 노즐(900-903) 중 어느 하나는 입력 노즐(예를 들어, 컨테이너 지지부(36)에 결합된 컨테이너(T)에 가스/유체를 유입하기 위함) 또는 출력 노즐(예를 들어, 컨테이너 지지부(36)에 연결된 컨테이너(T)로부터 가스/유체를 배출하기 위함)로서 입력 가스 매니폴드(10030) 또는 배기 가스 매니폴드(10040) 중 하나와 커플링을 통해 구성된다. 예를 들어, 입력 가스 매니폴드(10030)는 하나 이상의 퍼징 노즐(900-903)을 임의의 적절한 가스 공급원(10031)에 결합하기 위한 임의의 적절한 수의 결합 포트(10010-10013)를 포함할 수 있다. 출력 가스 매니폴드(10040)는 하나 이상의 퍼징 노즐(900-903)을 임의의 적절한 진공/흡입 소스(10041)에 결합하기 위한 임의의 적절한 수의 결합 포트(10001-10004)를 포함할 수 있다.
각각의 입력 가스 매니폴드(10030) 및 출력 가스 매니폴드는 4 개의 연결 포트(10010-10013, 1001-1004)로 도시되어 있지만, 다른 실시예에서, 입력 가스 매니폴드(10030) 및 출력 가스 매니폴드(10040) 중 하나 이상에는 예를 들어, 용기 지지부(36)에 결합될 다수의 퍼징 노즐에 따라 4 개보다 많거나 적은 결합 포트가 제공될 수 있다. 일실시예에서, 입력 가스 매니폴드(10030) 연결 포트의 수는 용기 지지부(36)의 퍼징 포트 노즐 위치의 수와 동일할 수 있다. 일실시예에서, 출력 가스 매니폴드(10040) 연결 포트의 수는 컨테이너 지지부(36)의 퍼징 포트 노즐 위치의 수와 동일 할 수 있다. 전술한 바에 따라, 입력 가스 매니폴드(10030) 및 출력 가스 매니폴드(10040)는 입력 노즐 및 출력 노즐의 임의의 적절한 조합을 지원하도록 구성된다. 예를 들어, 입력 가스 매니폴드(10030)는 상이한 퍼징 포트 노즐 위치(800A, 800B, 801A, 801B, 802A, 802B, 803A, 803B, 804A, 804B) 중 하나 이상(또는 그 전체)에 위치된 모든 퍼징 노즐(900-901)이 입력 노즐이 되도록 임의의 적합한 수의 커플링 포트를 포함 할 수 있다(다시 주목할 것은, 퍼징 노즐이 4 개보다 많거나 적을 수 있음). 배출 가스 매니폴드(10040)는 임의의 적절한 수의 커플 링 포트를 포함할 수 있어서, 상이한 퍼징 포트 노즐 위치(800A, 800B, 801A, 801B, 802A, 802B, 803A, 803B, 804A, 804B) 중 하나 이상(또는 그 전체)에 위치된 모든 퍼징 노즐(900-901)이 배출 노즐이 되도록 임의의 적절한 커플링부를 포함할 수 있다(다시 언급하면, 퍼징 노즐이 4 개보다 많거나 적을 수 있음). 다른 예로서, 입력 및 출력 노즐의 임의의 적절한 조합이 입력 가스 매니폴드(10030) 및/또는 출력 가스 매니폴드(10040)에 의해 제공될 수 있다.
도 8, 9a-9c, 10 및 15를 참고하면, 본 발명의 실시예에 따라 예시적인 방법이 설명될 것이다. 일실시예에서, 다수의 상이한 상호 교체 가능한 퍼징 노즐 모듈(1910T-1910TJ, 1910TFLU-1910TJFLU, 910T-910TJ, 910T1-910TJ1)로부터의 적어도 하나의 교체 가능한 퍼징 노즐 모듈(1910T-1910TJ, 1910TFLU-1910TJFLU, 910T-910TJ, 910T1-910TJ1)은 로드 포트(24)의 컨테이너 지지부(36)에 선택적으로 결합된다(도 15, 블록(1500)). 일실시예에서, 적어도 하나의 교체 가능한 퍼징 노즐 모듈(1910T-1910TJ, 1910TFLU-1910TJFLU)을 컨테이너 지지부(36)에 결합하는 것은 모듈식 유닛으로서 컨테이너 지지부(36)에 하나 이상의 퍼징 노즐(900-903)을 결합하는 것을 포함하되(도 15, 블록(1505)), 여기서 설명된 바와 같이, 하나 이상의 퍼징 노즐(900-903)이 공통 프레임(950, 970)에 장착된다. 다른 실시예에서, 적어도 하나의 교체 가능한 퍼징 노즐 모듈(910T-910TJ, 910T1-910TJ1)을 컨테이너 지지부(36)에 결합하는 것은 하나 이상의 퍼징 노즐(900-903)을 노즐에 의해 컨테이너 지지부(36) 노즐에 결합하는 것을 포함하되(도 15, 블록(1510)), 하나 이상의 퍼징 노즐(900-903)은 전술한 바와 같이 하나 이상의 퍼징 노즐(900-903)의 다른 퍼징 노즐과 독립적으로 컨테이너 지지부(36)에 결합된 분리된 개별 노즐이다. 일실시예에서, 적어도 하나의 교체 가능한 퍼징 노즐 모듈(1910T-1910TJ, 1910TFLU-1910TJFLU) 중 적어도 하나는 모듈식 유닛으로서 컨테이너 지지부(36)에 연결되되(도 15, 블록(1505)), 적어도 하나의 퍼징 노즐 모듈(910T-910TJ, 910T1-910TJ1) 중 다른 하나는 노즐에 의해 용기 지지부(36) 노즐에 연결된다(도 15, 블록(1510)).
일실시예에서, 하나 이상의 퍼징 노즐(900-901) 중 적어도 하나는 입력 가스 매니폴드(10030)(도 15, 블록 1515)에 통신 가능하게 결합되어, 여기에 설명된 입력 노즐로서 하나 이상의 퍼징 노즐(900-903) 중 하나 이상을 구성한다. 다른 실시예에서, 하나 이상의 퍼징 노즐(900-901) 중 적어도 하나는 출력 가스 매니폴드(10040)(도 15, 블록 1520)에 통신 가능하게 연결되어, 여기에 설명된 출력 노즐로서 하나 이상의 퍼징 노즐(900-903) 중 하나 이상을 구성한다. 또 다른 실시예에서, 하나 이상의 퍼징 노즐(900-901) 중 적어도 하나는 입력 가스 매니폴드(10030)(도 15, 블록 1515)에 통신 가능하게 결합되는 반면, 하나 이상의 퍼징 노즐(900-901) 중 다른 하나는 출력 가스 매니폴드(10040)에 통신 가능하게 연결된다(도 15, 블록(1520)).
적어도 하나의 교체 가능한 퍼징 노즐 모듈(1910T-1910TJ, 1910TFLU-1910TJFLU, 910T-910TJ, 910T1-910TJ1)은 컨테이너 지지부(36)로부터 제거/분리되고(도 15, 블록(1525)), 다른 교체 가능한 퍼징 노즐 모듈(1910T-1910TJ, 1910TFLU-1910TJFLU, 910T-910TJ, 910T1-910TJ1)은 컨테이너 지지부(36)에 결합될 컨테이너(T)의 퍼징 포트 특징부에 따라 선택될 수 있다(도 15, 블록(1530)). 다른 실시예에서, 적어도 하나의 퍼징 노즐 모듈(1910T-1910TJ, 1910TFLU-1910TJFLU, 910T-910TJ, 910T1-910TJ1)]중 적어도 하나의 퍼징 노즐(900-903)의 적어도 하나의 커플러부(934A, 934B)는 각각의 퍼징 노즐(900-903)의 각각의 베이스부(936)으로부터 분리/제거되며(도 15, 블록(1535)), 다른 상이한 커플러부(934A, 934B)는 컨테이너 지지부(36)에 연결되는 컨테이너(T)의 퍼징 포트 특징부에 기초하여 선택될 수 있다(도 15, 블록(1540)). 다른 커플러부(934A, 934B)는 커플러부(934A, 934B)가 분리/제거된 적어도 하나의 퍼징 노즐(900-903)에 연결된다(도 15, 블록(1545)). 본 발명의 실시예에 따르면, 각각의 퍼징 노즐(900-901)은 예를 들어 컨테이너(T)의 퍼징 포트 특징부에 따라 필요에 따라 입력 가스 매니폴드(10030) 및 출력 가스 매니폴드(10040)에 연결, 분리 및 재연결될 수 있다.
도 8, 9a-9c, 10 및 16을 참조하여 예시적인 방법(1600)이 본 발명의 실시예들에 따라 설명될 것이다. 이러한 방법(1600)은 기판 로딩 장치를 기판 처리 장치(10)에 연결하도록 구성된 기판 로딩 장치(도 16, 블록(1601))의 프레임을 제공하는 단계를 포함하며, 상기 프레임은 기판 로딩 장치 및 기판 처리 장치(10) 사이에서 기판이 이송되는 이송 개구(30P)를 갖는다. 카세트 지지부(36)가 제공되고(도 16, 블록(1602)), 이송 개구(30P)를 통해 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너(T)로 그리고 그로부터 기판을 이송하기 위해 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너(T)를 유지하기 위한 프레임에 연결된다. 하나 이상의 퍼징 포트 노즐 위치(800A, 800B, 801A, 801B, 802A, 802B, 803A, 803B, 804A, 804B)로 카세트 지지 퍼징 포트(810, 811)가 카세트 지지부(36) 상에 배치되는 기판 로딩 장치(도 16, 블록(1603))에 서로 다른 교체 가능한 퍼징 포트 노즐(900-903)이 선택적으로 장착된다. 하나 이상의 퍼징 포트 노즐 위치(800A, 800B, 801A, 801B, 802A, 802B, 803A, 803B, 804A, 804B) 각각은 퍼징 포트 노즐 위치(800A, 800B, 801A, 801B, 802A, 802B, 803A, 803B, 804A, 804B)의 퍼징 포트 노즐(900-903)이 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너(T)의 적어도 하나의 퍼징 포트(600-609)에 연결되도록 구성된다. 각각의 퍼징 포트 노즐 위치(800A, 800B, 801A, 801B, 802A, 802B, 803A, 803B, 804A, 804B)는 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스(820-831)를 획정하여, 서로 다른 소정의 퍼징 노즐 구조를 각각 가지는 서로 다른 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈(1910-910)에 대응하는 서로 다른 교체 가능한 퍼징 포트 노즐(900-903)는 상이한 퍼징 포트 특징을 가지는 하나 이상의 기판 카세트 컨테이너(T) 중 서로 다른 기판 카세트 컨테이너(T)의 적어도 하나의 퍼징 포트(600-609) 중 서로 다른 포트에 부합하여 연결되는 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈(1910-910)의 서로 다른 소저으이 퍼징 노즐 구조에 대응하는 하나 이상의 퍼징 포트 노즐 위치(800A, 800B, 801A, 801B, 802A, 802B, 803A) 중 각 퍼징 포트 노즐 인터페이스(820-831)에 제거 가능하게 장착된다.
도 8, 9a-9c, 10 및 17에서 예시적인 방법(1700)이 본 발명의 실시예들에 따라 설명될 것이다. 상기 방법(1700)은 기판 로딩 장치를 기판 처리 장치(10)에 연결하도록 구성된 기판 로딩 장치(도 17, 블록(1701))의 프레임을 제공하는 단계를 포함하고, 상기 프레임은 기판 로딩 장치와 기판 처리 장치(10) 사이에서 기판이 이송되는 이송 개구(30P)를 갖는다. 카세트 지지부(36)가 제공되고(도 17, 블록(1702)), 이송 개구(30P)를 통해 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너(T)로 그리고 그로부터 기판을 이송하기 위해 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너(T)를 유지하기 위한 프레임에 연결된다. 선택적으로 구성 가능한 카세트 지지부 퍼징 포트(810, 811)가 제공된다(도 17, 블록(1703)). 선택 가능하게 구성 가능한 카세트 지지부 퍼징 포트(810, 811)는 카세트 지지부(36) 상에 배치된 하나 이상의 퍼징 포트 노즐 위치(800A, 800B, 801A, 801B, 802A, 802B, 803A, 803B, 804A, 804B)를 갖는다. 하나 이상의 퍼징 포트 노즐 위치(800A, 800B, 801A, 801B, 802A, 802B, 803A, 803B, 804A, 804B) 각각은 퍼징 포트 노즐 위치(800A, 800B, 801A, 801B, 802A, 802B, 803A, 803B, 804A, 804B)의 퍼징 포트 노즐(900-903)이 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너(T)의 적어도 하나의 퍼징 포트(600-609)에 연결되도록 구성된다. 각 퍼징 포트 노즐 위치(800A, 800B, 801A, 801B, 802A, 802B, 803A, 803B, 804A, 804B)는 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스(820-831)를 획정한다. 적어도 하나의 퍼징 포트 노즐을 갖는 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈이 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스(820-831)에 모듈식으로 장착하기 위한 상이한 소정의 퍼징 포트 노즐 구조를 각각 가지는 다수의 서로 다른 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈(1910-910)로부터 선택되며(도 17, 블록(1704)), 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈을 선택적으로 장착하는 것은 퍼징 포트 노즐 위치(800A, 800B, 801A, 801B, 802A, 802B, 803A, 803B, 804A, 804B)에서 퍼징 포트 노즐이 제 1 소정의 퍼징 포트 특징을 가지는 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너(T) 중 제 1 컨테이너와 부합하여 결합하게 되는 제 1 구조로부터 퍼징 포트 노즐 위치(800A, 800B, 801A, 801B, 802A, 802B, 803A, 803B, 804A, 804B)에서의 퍼징 포트 노즐이 상기 제 1 소정의 퍼징 포트 특징부와는 다른 제 2 소정의 퍼징 포트 특징부를 가지는 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너(T) 중 제 2 컨테이너에 부합하여 결합하게 되는 제 2 구조로 선택 가능하게 구조될 수 있는 카세트 지지부 퍼징 포트(810, 811)의 구조를 변화시킨다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 기판 로딩 장치는, 기판 로딩 장치를 기판 처리 장치에 연결하도록 된 프레임으로서, 상기 프레임은 기판이 기판 로딩 장치와 기판처리 장치 사이에서 이송되는 이송 개구를 갖는, 프레임; 상기 이송 개구를 통하여 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너에 대하여 기판을 이송하기 위한 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너를 홀딩하도록 프레임에 연결되는 카세트 지지부; 및 카세트 지지부 상에 배치된 하나 이상의 퍼징 포트 노즐 위치를 가진 카세트 지지부 퍼징 포트로써, 각각의 하나 이상의 퍼징 포트 노즐 위치는 퍼징 포트 노즐 위치의 퍼징 포트 노즐이 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너의 적어도 하나의 퍼징 포트에 연결되도록 된, 카세트 지지부 퍼징 포트;를 포함하되, 각각의 퍼징 포트 노즐 위치는 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스를 획정하여, 상이한 소정의 퍼징 노즐 구조를 각각 가지는 상이한 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈에 대응하는 상이한 교체 가능한 퍼징 포트 노즐은 상이한 퍼징 포트 특징부를 가지는 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너의 상이한 기판 카세트 컨테이너의 적어도 하나의 퍼징 포트의 상이한 포트에 부합하여 결합하게 되는, 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈의 상이한 소정의 퍼징 노즐 구조에 대응하는 하나 이상의 퍼징 포트 노즐 위치의 각각의 퍼징 포트 노즐 인터페이스에 제거 가능하게 장착된다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 각각의 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스는 카세트 지지부의 소정의 데이텀에 대해 소정의 위치를 갖도록 배치되어, 각각의 퍼징 포트 노즐 인터페이스는 각각의 상이한 기판 카세트 컨테이너의 소정의 데이텀에 대하여 결정적으로 위치된다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 각각의 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스 및 각각의 서로 다른 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈의 서로 다른 소정의 퍼징 노즐 구성은 각각의 상이한 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈 중 각각의 하나를 다른 상이한 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈에 신속 교환 장착하도록 된다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 각각의 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스는 상이한 퍼징 포트 특징을 갖는 상이한 기판 카세트 컨테이너의 적어도 하나의 퍼징 포트 각각을 결정적으로 나타내는 노즐 위치 설정 데이텀을 획정한다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 각각의 퍼징 포트 노즐은 대응하는 퍼징 포트 노즐 모듈의 다른 퍼징 포트 노즐과 독립적인 유닛으로서 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스에 제거 가능하게 장착되고, 대응하는 퍼징 포트 노즐 모듈의 각각 독립적으로 장착된 퍼징 포트 노즐은 대응하는 퍼징 포트 노즐 모듈을 상이한 대응하는 퍼징 포트 노즐 모듈과 교체하기 위하여 상이한 대응하는 퍼징 포트 노즐 모듈의 상이한 퍼징 포트 노즐과 독립적으로 교체된다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 각각의 퍼징 포트 노즐은 대응하는 퍼징 포트 노즐 모듈의 다른 퍼징 포트 노즐과 독립적인 유닛으로서 퍼징 포트 노즐 인터페이스에 제거 가능하게 장착되고, 대응하는 퍼징 포트 노즐 모듈은 서로 다른 대응하는 퍼징 포트 노즐이 있는 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈로 노즐별로 교체된다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 각각의 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈은 모듈 프레임에 장착된 각각의 대응하는 퍼징 포트 노즐을 구비한 모듈 프레임을 구비하여, 상기 모듈 프레임은 각각의 대응하는 퍼징 포트 노즐에 공통으로 되며, 상기 모듈 프레임은 카세트 지지부에 연결된 공통 제거 가능한 장착 커플링을 형성하여, 카세트 지지부에 모듈 프레임을 제거 가능하게 장착하는 것은 공통 모듈 유닛으로서 각각의 퍼징 포트 노즐 인터페이스에 각각의 퍼징 포트 노즐을 장착하게 된다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 대응하는 퍼징 포트 노즐을 상부에 갖는 각각의 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈의 모듈 프레임은 대응하는 상이한 퍼징 포트 노즐을 상부에 구비한 각각의 다른 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈의 다른 프레임 모듈과 모듈 유닛으로서 교체된다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 각각의 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈은 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너 중 상이한 컨테이너들의 상이한 소정의 퍼징 포트 특징부에 대응한다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 기판 로딩 장치는, 상기 기판 로딩 장치를 기판 처리 장치에 연결하는 프레임으로서, 상기 프레임은 기판이 상기 기판 로딩 장치와 기판 처리 장치 사이로 이송되는 이송 개구를 구비하는, 프레임; 상기 이송 개구를 통하여 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너에 대하여 기판을 이송하도록 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너를 홀딩하도록 상기 프레임에 연결되는 카세트 지지부; 및 상기 카세트 지지부 상에 배치된 하나 이상의 퍼징 포트 노즐 위치를 가진 선택적으로 구성 가능한 카세트 지지부 퍼징 포트로서, 각각의 하나 이상의 퍼징 포트 노즐 위치는 퍼징 포트 노즐 위치에서의 퍼징 포트 노즐이 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너의 적어도 하나의 퍼징 포트에 연결하도록 되며, 각각의 퍼징 포트 위치는 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스를 획정하는, 카세트 지지부 퍼징 포트;를 포함하되, 적어도 하나의 퍼징 포트 노즐을 가지며 다수의 상이한 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈로부터 선택될 수 있는 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈로서, 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스에 모듈식으로 장착하기 위하여 상이한 소정의 퍼징 포트 노즐 구조를 각각 구비하여, 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈을 선택적으로 장착하는 것은 선택 가능하게 구조될 수 있는 카세트 지지부 퍼징 포트의 구조를 제 1 소정의 퍼징 포트 특징을 가지는 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너의 제 1 컨테이너와 부합하여 연결되게 되는 퍼징 포트 노즐 위치에 퍼징 포트 노즐을 가지는 제 1 구조로부터 제 1 소정의 퍼징 포트 특징과 다른 제 2 소정의 퍼징 포트 특징을 갖는 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너의 제 2 컨테이너에 부합하여 연결되는 퍼징 포트 노즐 위치에 퍼징 포트 노즐을 가지는 제 2 구조로 변화시킨다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스는 카세트 지지부의 소정의 데이텀에 대해 소정의 위치를 갖도록 배치되어, 교체 가능한 퍼징 노즐 인터페이스에 장착된 상이한 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈의 각각의 퍼징 포트 노즐은 각각의 상이한 기판 카세트 컨테이너의 소정의 데이텀에 대해 결정적으로 위치된다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스는 카세트 지지부의 소정의 데이텀에 대해 소정의 위치를 갖도록 배치되어, 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈의 선택 가능한 장착이 각각의 상이한 기판 카세트 컨테이너의 소정의 데이텀에 대하여 교체 가능한 퍼징 노즐 인터페이스에 장착된 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈의 장착에 실질적으로 일치하는 각 퍼징 포트 노즐의 결정적인 위치 설정을 한다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 각각의 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스는 카세트 지지부의 소정의 데이텀에 대해 소정의 위치를 갖도록 배치되어, 각각의 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스가 각각의 상이한 기판 카세트 컨테이너의 소정의 데이텀에 대해 결정적으로 위치한다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 각각의 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스 및 각각의 서로 다른 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈의 서로 다른 소정의 퍼징 노즐 구성은 상이한 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈 중 각각의 하나를 상이한 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈 중 다른 하나에 신속 장착하도록 된다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 각각의 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스는 상이한 퍼징 포트 특징을 갖는 상이한 기판 카세트 컨테이너의 적어도 하나의 퍼징 포트 각각을 결정적으로 나타내는 노즐 위치 설정 데이텀을 획정한다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 각각의 퍼징 포트 노즐은 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈의 다른 퍼징 포트 노즐에 독립적인 단위로서 교체 가능한 포트 노즐 인터페이스에 제거 가능하게 장착되며, 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈의 각각 독립적으로 장착된 퍼징 포트 노즐은 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈을 다른 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈과 교체하기 위하여 다수의 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈로부터 다른 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈의 상이한 퍼징 포트 노즐과 독립적으로 교체된다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 각각의 퍼징 포트 노즐은 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈의 다른 퍼징 포트 노즐과 독립적인 유닛으로서 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스에 제거 가능하게 장착되고, 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈은 상이한 대응하는 퍼징 포트 노즐이 있는 다른 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈로 노즐별로 교체된다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 다수의 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈로부터의 각각의 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈은 모듈 프레임이 각각의 대응하는 퍼징 포트 노즐에 공통으로 되도록 모듈 프레임에 장착된 각각의 대응하는 퍼징 포트 노즐을 갖는 모듈 프레임을 구비하며, 모듈 프레임은 카세트 지지부에 대한 공통 제거 가능한 장착 커플링을 형성하여, 모듈 프레임을 카세트 지지부에 제거 가능하게 결합하면 각 퍼징 포트 노즐을 공통 모듈 유닛으로서 각각의 퍼징 포트 노즐 인터페이스에 장착하게 된다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 대응하는 퍼징 포트 노즐을 상부에 갖는 각각의 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈의 모듈 프레임은 대응하는 상이한 퍼징 포트 노즐을 상부에 구비한 복수의 상이한 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈로부터 각각의 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈의 다른 모듈 프레임과 모듈 유닛으로서 교체된다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 다수의 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈로부터의 각각의 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈은 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너 중 상이한 컨테이너의 상이한 소정의 퍼징 포트 특징에 대응한다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따라 방법이 제공된다. 상기 방법은 기판 로딩 장치를 기판 처리 장치에 연결하도록 된 기판 로딩 장치의 프레임을 제공하는 단계로서, 상기 프레임은 기판이 기판 로딩 장치 및 기판 처리 장치 사이로 이송되는 이송 개구를 가지는, 프레임을 제공하는 단계; 상기 이송 개구를 통하여 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너에 대하여 기판을 이송하도록 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너를 홀딩하도록 프레임에 연결되는 카세트 지지부를 제공하는 단계; 및 상이한 교체 가능한 퍼징 포트 노즐을 기판 로딩 장치에 선택적으로 장착하는 단계로서, 하나 이상의 퍼징 포트 노즐 위치를 가진 카세트 지지부 퍼징 포트는 카세트 지지부 상에 배치되되, 각각의 하나 이상의 퍼징 포트 노즐 위치는 퍼징 포트 노즐 위치에서의 퍼징 포트 노즐이 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너의 적어도 하나의 퍼징 포트에 연결되도록 되어, 각각의 퍼징 포트 노즐 위치는 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스를 획정하여, 상이한 소정의 퍼징 노즐 구조를 각각 가지는 상이한 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈에 대응하는 상이한 교체 가능한 퍼징 포트 노즐은 상이한 퍼징 포트 특징을 가지는 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너의 상이한 기판 카세트 컨테이너의 적어도 하나의 퍼징 포트 중 상이한 포트에 부합하여 연결되는 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈의 상이한 소정의 퍼징 노즐 구조에 대응하는 하나 이상의 퍼징 포트 노즐 위치의 각 퍼징 포트 노즐 인터페이스에 제거 가능하게 장착되는, 상이한 교체 개능한 퍼징 포트 노즐을 기판 로딩 장치에 선택적으로 장착하는 단계;를 포함한다.
본 발명의 하나 이상의 실시예는 각각의 퍼징 포트 노즐 인터페이스가 각각의 상이한 기판 카세트 컨테이너의 소정의 데이텀에 대하여 결정적으로 위치하도록, 카세트 지지부의 소정의 데이텀에 대해 소정의 위치를 갖도록, 각각의 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스를 배치하는 단계를 추가로 포함한다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 서로 다른 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈 중 다른 하나와 서로 다른 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈 중 각각의 하나를 신속 교환 장착하는 단계를 추가로 포함한다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 각각의 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스는 상이한 퍼징 포트 특징부를 갖는 상이한 기판 카세트 컨테이너의 적어도 하나의 퍼징 포트 각각을 결정적으로 나타내는 노즐 위치 설정 데이텀을 획정한다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 각각의 퍼징 포트 노즐은 대응하는 퍼징 포트 노즐 모듈의 다른 퍼징 포트 노즐과 독립적인 유닛으로서 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스에 제거 가능하게 장착되고, 대응하는 퍼징 포트 노즐 모듈의 각각 독립적으로 장착된 퍼징 포트 노즐은 상이한 대응하는 퍼징 포트 노즐 모듈의 상이한 퍼징 포트 노즐과 독립적으로 교체되며, 상기 방법은 대응하는 퍼징 포트 노즐 모듈을 상이한 대응하는 퍼징 포트 노즐 모듈과 교체하는 단계를 추가로 포함한다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 각각의 퍼징 포트 노즐은 대응하는 퍼징 포트 노즐 모듈의 다른 퍼징 포트 노즐과 독립적인 유닛으로서 퍼징 포트 노즐 인터페이스에 제거 가능하게 장착되고, 상기 방법은 대응하는 퍼징 포트 노즐 모듈을 상이한 대응하는 퍼징 포트 노즐을 가진 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈과 노즐간에 교체하는 단계를 추가로 포함한다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 각각의 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈은 모듈 프레임에 장착된 각각의 대응하는 퍼징 포트 노즐을 구비한 모듈 프레임을 구비하여, 상기 모듈 프레임은 각각의 대응하는 퍼징 포트 노즐에 공통으로 되며, 상기 모듈 프레임은 카세트 지지부에 연결된 공통 제거 가능한 장착 커플링을 형성하여, 상기 방법은 각각의 퍼징 포트 노즐을 공통 모듈 유닛으로서 각각의 퍼징 포트 노즐 인터페이스에 장착하도록 카세트 지지부에 모듈 프레임을 제거 가능하게 연결하는 단계를 추가로 포함한다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 대응하는 퍼징 포트 노즐을 그 상부에 갖는 각각의 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈의 모듈 프레임은 대응하는 상이한 퍼징 포트 노즐을 그 상부에 가진 각각의 다른 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈의 다른 모듈 프레임과 모듈 유닛으로서 교체된다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 각각의 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈은 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너 중 상이한 컨테이너들의 상이한 소정의 퍼징 포트 특징부에 대응한다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따라 방법이 제공된다. 이 방법은, 기판 로딩 장치를 기판 처리 장치에 연결하도록 구성된 기판 로딩 장치의 프레임을 제공하는 단계로서, 상기 프레임은 기판 로딩 장치와 기판 처리 장치 사이에서 기판이 이송되는 이송 개구를 가지는, 프레임을 제공하는 단계; 상기 이송 개구를 통하여 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너에 대하여 기판의 이송을 위한 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너를 홀딩하도록 프레임에 연결되는 카세트 지지부를 제공하는 단계; 상기 카세트 지지부 상에 배치된 적 어도 하나의 퍼징 포트 노즐 위치를 가진 선택적으로 구성될 수 있는 카세트 지지부 퍼징 포트를 제공하는 단계로서, 각각의 하나 이상의 퍼징 포트 노즐 위치는 퍼징 포트 노즐 위치에서의 퍼징 포트 노즐이 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너의 적어도 하나의 퍼징 포트에 연결되도록 되되, 각각의 퍼징 포트 노즐 위치는 교체 가능한 ㅍ징 포트 노즐 인터페이스를 획정하는, 카세트 지지부 퍼징 포트를 제공하는 단계; 및 복수의 상이한 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈로부터 적어도 하나의 퍼징 포트 노즐을 가지는 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈을 선택하는 단계로서, 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스에 모듈식으로 장착되도록 상이한 소정의 퍼징 포트 노즐 구조를 각각 구비하는, 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈을 선택하는 단계;를 포함하되, 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈의 선택 가능한 장착은 선택 가능하게 구조되는 카세트 지지부 퍼징 포트의 구조를 퍼징 포트 노즐 위치에서의 퍼징 포트 노즐이 제 1 소정의 퍼징 포트 특징을 갖는 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너의 제 1 컨테이너에 부합하여 연결되는 제 1 구조에서 퍼징 포트 노즐 위치에서의 퍼징 포트 노즐이 제 1 소정의 퍼징 포트 특징과는 다른 제 2 소정의 퍼징 포트 특징을 갖는 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너 중 제 2 컨테이너 부합하여 연결되는 제 2 구조로 변화한다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스는 카세트 지지부의 소정의 데이텀에 대해 소정의 위치를 갖도록 배치되어, 교체 가능한 퍼징 노즐 인터페이스에 장착된 상이한 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈의 각각의 퍼징 포트 노즐은 각각의 상이한 기판 카세트 컨테이너의 소정의 데이텀에 대해 결정적으로 위치된다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스는 카세트 지지부의 소정의 데이텀에 대해 소정의 위치를 갖도록 배치되어, 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈의 선택 가능한 장착이 각각의 상이한 기판 카세트 컨테이너의 소정의 데이텀에 대하여 교체 가능한 퍼징 노즐 인터페이스에 장착된 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈의 장착에 실질적으로 일치하는 각 퍼징 포트 노즐의 결정적인 위치 설정을 한다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 각각의 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스는 카세트 지지부의 소정의 데이텀에 대해 소정의 위치를 갖도록 배치되어, 각각의 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스가 각각의 상이한 기판 카세트 컨테이너의 소정의 데이텀에 대해 결정적으로 위치한다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 서로 다른 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈 중 다른 하나와 서로 다른 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈 중 각각의 하나를 신속 교환 장착하는 단계를 추가로 포함한다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 각각의 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스는 상이한 퍼징 포트 특징부를 갖는 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너의 각 컨테이너의 적어도 하나의 퍼징 포트 각각을 결정적으로 나타내는 노즐 위치 설정 데이텀을 획정한다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 각각의 퍼징 포트 노즐은 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈의 다른 퍼징 포트 노즐에 독립적인 단위로서 교체 가능한 포트 노즐 인터페이스에 제거 가능하게 장착되며, 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈의 각각 독립적으로 장착된 퍼징 포트 노즐은 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈을 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈과 교체하기 위하여 다수의 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈로부터 다른 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈의 상이한 퍼징 포트 노즐과 독립적으로 교체된다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 각각의 퍼징 포트 노즐은 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈의 다른 퍼징 포트 노즐과 독립적인 유닛으로서 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스에 제거 가능하게 장착되고, 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈은 서로 다른 대응하는 퍼징 포트 노즐이 있는 다른 퍼징 포트 노즐 모듈로 노즐별로 교체된다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 다수의 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈로부터의 각각의 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈은 모듈 프레임이 각각의 대응하는 퍼징 포트 노즐에 공통으로 되도록 모듈 프레임에 장착된 각각의 대응하는 퍼징 포트 노즐을 갖는 모듈 프레임을 구비하며, 상기 모듈 프레임은 카세트 지지부에 대한 공통 제거 가능한 장착 커플링을 형성하여, 모듈 프레임을 카세트 지지부에 제거 가능하게 결합하면 각 퍼징 포트 노즐을 공통 모듈 유닛으로서 각각의 퍼징 포트 노즐 인터페이스에 장착하게 된다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 대응하는 퍼징 포트 노즐을 상부에 갖는 각각의 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈의 모듈 프레임은 대응하는 상이한 퍼징 포트 노즐을 상부에 구비한 복수의 상이한 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈로부터 각각의 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈의 다른 모듈 프레임과 모듈 유닛으로서 교체된다.
본 발명의 하나 이상의 실시예에 따르면, 다수의 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈로부터의 각각의 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈은 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너 중 상이한 컨테이너의 상이한 소정의 퍼징 포트 특징에 대응한다.
전술한 설명은 본 발명의 실시예들을 단지 예시하는 것임을 이해해야 한다. 본 발명의 실시예로부터 벗어나지 않고 통상의 기술자에 의해 다양한 대안 및 수정이 고안될 수 있다. 따라서, 본 발명 내용의 실시예는 여기에 첨부된 임의의 청구항의 범위 내에 속하는 모든 그러한 대안, 수정 및 변형을 포함하도록 의도된다. 또한, 여기에 첨부될 수 있는 서로 다른 특징들이 서로 다른 종속항 또는 독립항에서 인용된다는 단순한 사실은 이러한 특징들의 조합이 유리하게 사용될 수 없음을 나타내지 않으며, 그러한 조합은 본 발명의 특징들의 범위 내에 남아있다.
10: 장치 12: 전방 섹션
14: 후방 섹션 T: 컨테이너
24: 로드 포트 모듈

Claims (29)

  1. 기판 로딩 장치에 있어서, 상기 기판 로딩 장치는,
    상기 기판 로딩 장치를 기판 처리 장치에 연결하도록 된 프레임으로서, 상기 프레임은 기판이 상기 기판 로딩 장치와 상기 기판 처리 장치 사이에서 이송되는 이송 개구를 갖는, 프레임;
    상기 이송 개구를 통하여 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너를 향하여 그리고 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너로부터 기판을 이송하기 위하여 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너를 홀딩하도록 프레임에 연결되는 카세트 지지부; 및
    상기 카세트 지지부 상에 배치된 하나 이상의 퍼징 포트 노즐 위치를 가진 카세트 지지부 퍼징 포트로서, 각각의 하나 이상의 퍼징 포트 노즐 위치는 퍼징 포트 노즐 위치의 퍼징 포트 노즐이 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너의 적어도 하나의 퍼징 포트에 연결되도록 된, 카세트 지지부 퍼징 포트;를 포함하되,
    각각의 퍼징 포트 노즐 위치는 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스를 획정하여, 상이한(different) 소정의 퍼징 포트 노즐 구조를 각각 가지는 상이한 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈에 대응하는 상이한 교체 가능한 퍼징 포트 노즐은 상이한 퍼징 포트 특징부(characteristics)를 가지는 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너 중 상이한 기판 카세트 컨테이너의 적어도 하나의 퍼징 포트 중 상이한 포트에 부합하여 결합하게 되는, 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈의 상이한 소정의 퍼징 포트 노즐 구조에 대응하는 하나 이상의 퍼징 포트 노즐 위치의 각각의 퍼징 포트 노즐 인터페이스에 제거 가능하게 장착되는 것을 특징으로 하는 기판 로딩 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    각각의 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스는 카세트 지지부의 소정의 데이텀(datum)에 대해 소정의 위치를 갖도록 배치되어, 각각의 퍼징 포트 노즐 인터페이스는 각각의 상이한 기판 카세트 컨테이너의 소정의 데이텀에 대하여 확정적으로 위치되는 것을 특징으로 하는 기판 로딩 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    각각의 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스 및 각각의 상이한 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈의 상이한 소정의 퍼징 포트 노즐 구성은 각각의 상이한 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈 중 각각의 하나를 상이한 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈 중 다른 하나(another one)에 신속 교환 장착하도록 된 것을 특징으로 하는 기판 로딩 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    각각의 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스는 상이한 퍼징 포트 특징부를 갖는 상이한 기판 카세트 컨테이너의 적어도 하나의 퍼징 포트 각각을 확정적으로 나타내는 노즐 위치 설정 데이텀을 획정하는 것을 특징으로 하는 기판 로딩 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    각각의 퍼징 포트 노즐은 대응하는 퍼징 포트 노즐 모듈의 다른 퍼징 포트 노즐과 독립적인 유닛으로서 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스에 제거 가능하게 장착되고, 대응하는 퍼징 포트 노즐 모듈의 각각 독립적으로 장착된 퍼징 포트 노즐은 대응하는 퍼징 포트 노즐 모듈을 상이한 대응하는 퍼징 포트 노즐 모듈과 교체하기 위하여 상이한 대응하는 퍼징 포트 노즐 모듈의 상이한 퍼징 포트 노즐과 독립적으로 교체되는 것을 특징으로 하는 기판 로딩 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    각각의 퍼징 포트 노즐은 대응하는 퍼징 포트 노즐 모듈의 다른 퍼징 포트 노즐과 독립적인 유닛으로서 퍼징 포트 노즐 인터페이스에 제거 가능하게 장착되고, 대응하는 퍼징 포트 노즐 모듈은 상이한 대응하는 퍼징 포트 노즐이 있는 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈로 노즐별(nozzle by nozzle)로 교체되는 것을 특징으로 하는 기판 로딩 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    각각의 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈은 모듈 프레임에 장착된 각각의 대응하는 퍼징 포트 노즐을 구비한 모듈 프레임을 구비하여, 상기 모듈 프레임은 각각의 대응하는 퍼징 포트 노즐에 공통으로 되며, 상기 모듈 프레임은 카세트 지지부에 연결된 공통 제거 가능한 장착 커플링을 형성하여, 카세트 지지부에 모듈 프레임을 제거 가능하게 장착하는 것은 공통 모듈 유닛으로서 각각의 퍼징 포트 노즐 인터페이스에 각각의 퍼징 포트 노즐을 장착하게 되는 것을 특징으로 하는 기판 로딩 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    대응하는 퍼징 포트 노즐을 그 상부에 갖는 각각의 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈의 모듈 프레임은 대응하는 상이한 퍼징 포트 노즐을 그 상부에 구비한 각각의 다른 상이한(other different) 퍼징 포트 노즐 모듈의 다른 프레임 모듈과 모듈 유닛으로서 교체되는 것을 특징으로 하는 기판 로딩 장치.
  9. 제 1 항에 있어서,
    각각의 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈은 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너 중 상이한 컨테이너들의 상이한 소정의 퍼징 포트 특징부에 대응하는 것을 특징으로 하는 기판 로딩 장치.
  10. 기판 로딩 장치에 있어서, 상기 기판 로딩 장치는,
    상기 기판 로딩 장치를 기판 처리 장치에 연결하는 프레임으로서, 상기 프레임은 기판이 상기 기판 로딩 장치와 기판 처리 장치 사이로 이송되는 이송 개구를 구비하는, 프레임;
    상기 이송 개구를 통하여 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너를 향하여 그리고 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너로부터 기판을 이송하도록 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너를 홀딩하도록 상기 프레임에 연결되는 카세트 지지부; 및
    상기 카세트 지지부 상에 배치된 하나 이상의 퍼징 포트 노즐 위치를 가진 선택적으로 구성 가능한 카세트 지지부 퍼징 포트로서, 각각의 하나 이상의 퍼징 포트 노즐 위치는 퍼징 포트 노즐 위치에서의 퍼징 포트 노즐이 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너의 적어도 하나의 퍼징 포트에 연결하도록 된, 카세트 지지부 퍼징 포트;를 포함하되,
    각각의 퍼징 포트 노즐 위치는 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스를 획정하며;
    적어도 하나의 퍼징 포트 노즐을 가지며 다수의 상이한 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈로부터 선택될 수 있는 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈로서, 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스에 모듈식으로 장착하기 위하여 상이한 소정의 퍼징 포트 노즐 구조를 각각 구비하여, 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈을 선택적으로 장착하는 것은 선택 가능하게 구성될 수 있는 카세트 지지부 퍼징 포트의 구조를 제 1 소정의 퍼징 포트 특징부를 가지는 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너의 제 1 컨테이너와 부합하여 연결되게 되는 퍼징 포트 노즐 위치에 퍼징 포트 노즐을 가지는 제 1 구조로부터 제 1 소정의 퍼징 포트 특징부와 다른 제 2 소정의 퍼징 포트 특징부를 갖는 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너의 제 2 컨테이너에 부합하여 연결되는 퍼징 포트 노즐 위치에 퍼징 포트 노즐을 가지는 제 2 구조로 변화시키는 것을 특징으로 하는 기판 로딩 장치.
  11. 제 10 항에 있어서,
    교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스는 카세트 지지부의 소정의 데이텀에 대해 소정의 위치를 갖도록 배치되어, 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스에 장착된 상이한 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈의 각각의 퍼징 포트 노즐은 각각의 상이한 기판 카세트 컨테이너의 소정의 데이텀에 대해 확정적으로 위치되는 것을 특징으로 하는 기판 로딩 장치.
  12. 제 10 항에 있어서,
    교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스는 카세트 지지부의 소정의 데이텀에 대해 소정의 위치를 갖도록 배치되어, 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈의 선택 가능한 장착이 각각의 상이한 기판 카세트 컨테이너의 소정의 데이텀에 대하여 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스에 장착된 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈의 장착에 일치하는 각 퍼징 포트 노즐의 확정적인 위치 설정을 하게 되는 것을 특징으로 하는 기판 로딩 장치.
  13. 제 10 항에 있어서,
    각각의 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스는 카세트 지지부의 소정의 데이텀에 대해 소정의 위치를 갖도록 배치되어, 각각의 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스가 각각의 상이한 기판 카세트 컨테이너의 소정의 데이텀에 대해 확정적으로 위치되는 것을 특징으로 하는 기판 로딩 장치.
  14. 제 10 항에 있어서,
    각각의 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스 및 각각의 서로 다른 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈의 서로 다른 소정의 퍼징 포트 노즐 구조는 상이한 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈 중 각각의 하나를 상이한 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈 중 다른 하나에 신속 장착하게 되는 것을 특징으로 하는 기판 로딩 장치.
  15. 제 10 항에 있어서,
    각각의 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스는 상이한 퍼징 포트 특징부를 갖는 상이한 기판 카세트 컨테이너의 적어도 하나의 퍼징 포트 각각을 확정하여 나타내는 노즐 위치 설정 데이텀을 획정하는 것을 특징으로 하는 기판 로딩 장치.
  16. 제 10 항에 있어서,
    각각의 퍼징 포트 노즐은 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈의 다른 퍼징 포트 노즐에 독립적인 단위로서 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스에 제거 가능하게 장착되며, 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈의 각각 독립적으로 장착된 퍼징 포트 노즐은 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈을 다른 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈과 교체하기 위하여 다수의 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈로부터 다른 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈의 상이한 퍼징 포트 노즐과 독립적으로 교체되는 것을 특징으로 하는 기판 로딩 장치.
  17. 제 10 항에 있어서,
    각각의 퍼징 포트 노즐은 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈의 다른 퍼징 포트 노즐과 독립적인 유닛으로서 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스에 제거 가능하게 장착되고, 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈은 상이한 대응하는 퍼징 포트 노즐이 있는 다른 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈로 노즐별로 교체되는 것을 특징으로 하는 기판 로딩 장치.
  18. 제 10 항에 있어서,
    다수의 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈로부터의 각각의 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈은 모듈 프레임이 각각의 대응하는 퍼징 포트 노즐에 공통으로 되도록 모듈 프레임에 장착된 각각의 대응하는 퍼징 포트 노즐을 갖는 모듈 프레임을 구비하며, 모듈 프레임은 카세트 지지부에 대한 공통 제거 가능한 장착 커플링을 형성하여, 모듈 프레임을 카세트 지지부에 제거 가능하게 결합하면 각 퍼징 포트 노즐을 공통 모듈 유닛으로서 각각의 퍼징 포트 노즐 인터페이스에 장착하게 되는 것을 특징으로 하는 기판 로딩 장치.
  19. 제 18 항에 있어서,
    대응하는 퍼징 포트 노즐을 상부에 갖는 각각의 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈의 모듈 프레임은 대응하는 상이한 퍼징 포트 노즐을 상부에 구비한 복수의 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈로부터 각각의 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈의 다른 모듈 프레임과 모듈 유닛으로서 교체되는 것을 특징으로 하는 기판 로딩 장치.
  20. 제 10 항에 있어서,
    다수의 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈로부터의 각각의 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈은 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너 중 상이한 컨테이너의 상이한 소정의 퍼징 포트 특징부에 대응하는 것을 특징으로 하는 기판 로딩 장치
  21. 기판 로딩 장치를 기판 처리 장치에 연결하도록 된 기판 로딩 장치의 프레임을 제공하는 단계로서, 상기 프레임은 기판이 기판 로딩 장치 및 기판 처리 장치 사이로 이송되는 이송 개구를 가지는, 프레임을 제공하는 단계;
    상기 이송 개구를 통하여 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너를 향하여 그리고 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너로부터 기판을 이송하도록 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너를 홀딩하기 위하여 프레임에 연결되는 카세트 지지부를 제공하는 단계; 및
    상이한 교체 가능한 퍼징 포트 노즐을 기판 로딩 장치에 선택적으로 장착하는 단계로서, 하나 이상의 퍼징 포트 노즐 위치를 가진 카세트 지지부 퍼징 포트는 카세트 지지부 상에 배치되되, 각각의 하나 이상의 퍼징 포트 노즐 위치는 퍼징 포트 노즐 위치에서의 퍼징 포트 노즐이 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너의 적어도 하나의 퍼징 포트에 연결되도록 되어, 각각의 퍼징 포트 노즐 위치는 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스를 획정하여, 상이한 소정의 퍼징 포트 노즐 구조를 각각 가지는 상이한 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈에 대응하는 상이한 교체 가능한 퍼징 포트 노즐은 상이한 퍼징 포트 특징부를 가지는 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너 중 상이한 기판 카세트 컨테이너의 적어도 하나의 퍼징 포트 중 상이한 포트에 부합하여 연결되는 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈의 상이한 소정의 퍼징 포트 노즐 구조에 대응하는 하나 이상의 퍼징 포트 노즐 위치의 각 퍼징 포트 노즐 인터페이스에 제거 가능하게 장착되는, 상이한 교체 가능한 퍼징 포트 노즐을 기판 로딩 장치에 선택적으로 장착하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  22. 제 21 항에 있어서,
    각각의 퍼징 포트 노즐 인터페이스가 각각의 상이한 기판 카세트 컨테이너의 소정의 데이텀에 대하여 확정적으로 위치하도록, 카세트 지지부의 소정의 데이텀에 대해 소정의 위치를 갖도록, 각각의 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스를 배치하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  23. 제 21 항에 있어서,
    상이한 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈 중 각각의 하나를 상이한 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 모듈 중 각각의 다른 하나와 신속 교환 장착하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  24. 제 21 항에 있어서,
    각각의 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스는 상이한 퍼징 포트 특징부를 갖는 상이한 기판 카세트 컨테이너의 적어도 하나의 퍼징 포트 각각을 확정적으로 나타내는 노즐 위치 설정 데이텀을 획정하는 것을 특징으로 하는 방법.
  25. 제 21 항에 있어서,
    각각의 퍼징 포트 노즐은 대응하는 퍼징 포트 노즐 모듈의 다른 퍼징 포트 노즐과 독립적인 유닛으로서 교체 가능한 퍼징 포트 노즐 인터페이스에 제거 가능하게 장착되고, 대응하는 퍼징 포트 노즐 모듈의 각각 독립적으로 장착된 퍼징 포트 노즐은 상이한 대응하는 퍼징 포트 노즐 모듈의 상이한 퍼징 포트 노즐과 독립적으로 교체되며, 상기 방법은 대응하는 퍼징 포트 노즐 모듈을 상이한 대응하는 퍼징 포트 노즐 모듈과 교체하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  26. 제 21 항에 있어서,
    각각의 퍼징 포트 노즐은 대응하는 퍼징 포트 노즐 모듈의 다른 퍼징 포트 노즐과 독립적인 유닛으로서 퍼징 포트 노즐 인터페이스에 제거 가능하게 장착되고, 상기 방법은 대응하는 퍼징 포트 노즐 모듈을 상이한 대응하는 퍼징 포트 노즐을 가진 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈과 노즐간에 교체하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  27. 제 21 항에 있어서,
    각각의 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈은 모듈 프레임에 장착된 각각의 대응하는 퍼징 포트 노즐을 구비한 모듈 프레임을 구비하여, 상기 모듈 프레임은 각각의 대응하는 퍼징 포트 노즐에 공통으로 되며, 상기 모듈 프레임은 카세트 지지부에 연결된 공통 제거 가능한 장착 커플링을 형성하며, 상기 방법은 각각의 퍼징 포트 노즐을 공통 모듈 유닛으로서 각각의 퍼징 포트 노즐 인터페이스에 장착하도록 카세트 지지부에 모듈 프레임을 제거 가능하게 연결하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  28. 제 27 항에 있어서,
    대응하는 퍼징 포트 노즐을 그 상부에 갖는 각각의 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈의 모듈 프레임은 대응하는 상이한 퍼징 포트 노즐을 그 상부에 가진 각각의 다른 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈의 다른 모듈 프레임과 모듈 유닛으로서 교체되는 것을 특징으로 하는 방법.
  29. 제 21 항에 있어서,
    각각의 상이한 퍼징 포트 노즐 모듈은 적어도 하나의 기판 카세트 컨테이너 중 상이한 컨테이너들의 상이한 소정의 퍼징 포트 특징부에 대응하는 것을 특징으로 하는 방법.
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