KR102648893B1 - 외부 감속기를 제거한 전동 액츄에이터 - Google Patents

외부 감속기를 제거한 전동 액츄에이터 Download PDF

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KR102648893B1
KR102648893B1 KR1020230181414A KR20230181414A KR102648893B1 KR 102648893 B1 KR102648893 B1 KR 102648893B1 KR 1020230181414 A KR1020230181414 A KR 1020230181414A KR 20230181414 A KR20230181414 A KR 20230181414A KR 102648893 B1 KR102648893 B1 KR 102648893B1
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가수현
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Abstract

본 발명은 외부 감속기를 제거한 전동 액츄에이터에 관한 것으로, 웨이퍼증착 설비에 적용되는 전동 액츄에이터에 있어서, 인출 또는 인입 작동되어 길이가 조절되는 로드가 전단부에 결합된 실린더유닛부; 상기 실린더유닛부의 후단부에 장착되는 커버와, 커버의 내부에 형성되며, 상기 로드의 후단에 연결되는 출력측 기어와, 상기 출력측 기어에 치차 결합되는 연동기어와, 상기 연동기어에 치차 결합되는 입력측 기어가 구비된 동력전달부; 상기 입력측 기어에 연결되어 회전력을 제공하는 구동원;을 포함하고, 상기 로드에 기구물이 연결되고, 로드의 인출 또는 인입 작동에 의해 기구물이 이동되도록 한다.

Description

외부 감속기를 제거한 전동 액츄에이터{Electric actuator without external reducer}
본 발명은 외부 감속기를 제거한 전동 액츄에이터에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자나 디스플레이 소자 혹은 태양 전지를 제조하기 위해서는 진공 분위기의 공정 챔버를 포함하는 기판 처리 장치에서 각종 공정이 수행된다.
공정 챔버 내에 기판을 로딩하고 기판 상에 박막을 증착하거나 박막을 식각하는 등의 공정이 진행될 수 있다. 기판은 공정 챔버 내에 설치된 기판 지지 조립체에 의해서 지지되며, 기판 지지 조립체와 대향되도록 설치된 가스 분사부를 통해 공정 가스를 기판으로 분사할수 있다.
이러한 기판 처리 장치에 있어서, 기판을 균일하게 처리하기 위해서 기판을 회전시키면서 기판을 처리할 필요가 있다.
기판이 공정 가스에 노출되는 동안 기판을 자전시킴으로써 균일한 기판 처리를 도모할 수 있다.
기판을 자전시키기 위해서, 기판 지지 조립체는 새틀라이트(Satellite)를 이용하여 기판을 상승시킨 상태로서 회전 시키게 된다.
기판 지지 조립체에 관한 선행기술을 도 7에 나타내었다.
도 7을 참조하면, 기판 지지 조립체는 서셉터 플레이트(110), 새틀라이트(130) 및 업다운 유닛(150)을 포함할 수 있다.
서셉터 플레이트(110)는 기판(S)이 안착되는 적어도 하나의 기판 안착부(120)를 포함할 수 있다.
샤프트(154)는 서셉터 플레이트(110)에 결합된다.
새틀라이트(130)의 상면 상에 기판(S)이 안착될 수 있다.
업다운 유닛(150)은 기판(S)을 로딩하거나 또는 언로딩하기 위해서 설치될 수 있다.
업다운 유닛(150)은 서셉터 플레이트(110) 및 새틀라이트(130)를 관통하여 배치되고, 서셉터 플레이트(130)에 대해서 상하로 상대적으로 이동되어 기판(S)을 새틀라이트(130)로 로딩 또는 언로딩 할수 있다.
업다운 유닛(150)은 기판(S)을 지지하기 위한 헤드부(152) 및 헤드부(152)에 결합되는 하부지지부(154)를 포함할 수 있다.
한편 도 8을 참조하면, 업다운 유닛의 일 예로서, 출몰작동되어 길이가 신축되는 로드(22')와, 로드(22')의 단부에 연결된 종동풀리(P2')와, 종동풀리(P2')와 타이밍벨트(T')로 연결되는 주동풀리(P1')가 구비된 회전축을 갖는 모터(M')를 포함하여 이루어진다.
모터의 회전속도를 최적의 속도로 저감시키기 위해 모터의 회전축과 종동풀리를 연결하는 감속기(R')를 적용하였다.
통상 모터의 회전속도를 90%까지 감속시키기 위해 감속기(R')가 사용된다.
그러나 종래 기술은 로드에 고하중의 기구물이 장착될 경우 타이밍벨트의 슬립현상이 발생되면서 정밀 작동을 방해하는 오류가 발생되는 문제점이 있었다.
한국특허출원 10-2020-0094211호
본 발명은 종래 기술의 문제점을 해소하기 위해 안출된 것으로, 웨이퍼증착 설비에 적용되어 고하중의 기구물을 승강시키는 과정에서 슬립현상을 방지할 수 있어 로드의 정밀 작동이 가능하고, 장비에 요구되는 최적의 감속비를 구현할 수 있어 작업효율이 향상될 수 있도록 하는 외부 감속기를 제거한 전동 액츄에이터를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기한 본 발명의 목적은, 웨이퍼증착 설비에 적용되는 전동 액츄에이터에 있어서, 인출 또는 인입 작동되어 길이가 조절되는 로드가 전단부에 결합된 실린더유닛부; 상기 실린더유닛부의 후단부에 장착되는 커버와, 커버의 내부에 형성되며, 상기 로드의 후단에 연결되는 출력측 기어와, 상기 출력측 기어에 치차 결합되는 연동기어와, 상기 연동기어에 치차 결합되는 입력측 기어가 구비된 동력전달부; 상기 입력측 기어에 연결되어 회전력을 제공하는 구동원;을 포함하고, 상기 로드에 기구물이 연결되고, 로드의 인출 또는 인입 작동에 의해 기구물이 이동되도록 하는 전동 액츄에이터에 의해 달성될 수 있다.
상기 동력전달부는 입력측 기어와 출력측 기어의 기어비는 9:1로 설정되는 것을 특징으로 한다.
상기 출력측 기어에 연결되며 일측 외주면에 나사산이 형성된 출력샤프트와, 상기 출력샤프트에 나사결합되는 커플러를 포함하고, 상기 커플러에 로드의 일단이 연결되는 것을 특징으로 한다.
상기 실린더유닛부는 내부에 공간이 형성되고, 일단부에는 로드가 관통되는 통공이 형성되며, 타단부에는 동력전달부의 커버가 장착되는 개구부가 형성되며, 상기 내부의 공간에는 커플러의 외주면에 접촉지지되도록 형성된 제1 베어링과, 상기 제1 베어링과 소정 간격 이격되어 상기 통공에 인접되게 형성되어 로드의 외주면에 결합되는 제2 베어링을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 실린더유닛부의 내부의 공간의 양측에 이격되게 형성되어 커플러의 전진 한계점을 감지하는 제1 센서와 후진 한계점을 감지하는 제2 센서를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 연동기어는 탈착 가능하도록 커버에 연동기어가 삽입 또는 이탈되는 탈착수단;이 더 포함되는 것을 특징으로 한다.
상기 탈착수단은 커버의 외면에 형성된 삽입공과, 삽입공을 개폐하는 덮개; 상기 삽입공에 통하며 커버의 내측으로 수평하게 소정 길이로 형성되어 연동기어의 축봉이 안내되는 레일과, 상기 레일의 단부에 형성되어 연동기어의 축봉이 안착되는 걸림홈을 구비한 장착부; 상기 커버의 외면에는 상기 레일과 통하는 장공이 형성되어 연동기어의 축봉이 삽입될 수 있고, 외부에서 상기 축봉을 이동시켜 연동기어를 탈착시킬 수 있도록 연동기어의 축봉에 나사결합되고 커버의 외면에 밀착 또는 이격되는 조임핸들;을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
상기 입력측 기어 또는 출력측 기어가 상하로 탄력 구동될 수 있는 탄력지지수단;을 더 포함하고, 상기 탄력지지수단은 커버의 측벽에 형성된 기어축 관통공에 매립되어 상기 기어의 축봉이 결합되는 베어링과, 베어링의 외면을 탄력지지하는 탄성부재를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 웨이퍼증착 설비에 적용되어 고하중의 기구물을 승강시키는 과정에서 슬립현상을 방지할 수 있어 로드의 정밀 작동이 가능하고, 장비에 요구되는 최적의 감속비를 구현할 수 있어 작업효율이 향상될 수 있도록 하는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 외부 감속기를 제거한 전동 액츄에이터를 나타낸 사시도,
도 2는 본 발명에 따른 외부 감속기를 제거한 전동 액츄에이터의 내부를 나타낸 사시도,
도 3은 본 발명에 따른 외부 감속기를 제거한 전동 액츄에이터를 나타낸 측단면도,
도 4는 본 발명에 따른 외부 감속기를 제거한 전동 액츄에이터에서 '탈착수단'을 보여주는 사시도,
도 5는 상기 도 4의 '탈착수단'을 나타낸 정단면도,
도 6은 상기 도 4의 '탈착수단'을 나타낸 측단면도,
도 7은 종래 기판 지지 조립체를 나타낸 단면도,
도 8은 종래 업다운 유닛을 나타낸 도면.
이하에서, 첨부된 도면을 참조하여 실시예들을 상세하게 설명한다. 그러나, 실시예들에는 다양한 변경이 가해질 수 있어서 특허출원의 권리 범위가 이러한 실시예들에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 실시예들에 대한 모든 변경, 균등물 내지 대체물이 권리 범위에 포함되는 것으로 이해되어야 한다.
실시예들에 대한 특정한 구조적 또는 기능적 설명들은 단지 예시를 위한 목적으로 개시된 것으로서, 다양한 형태로 변경되어 실시될 수 있다. 따라서, 실시예들은 특정한 개시형태로 한정되는 것이 아니며, 본 명세서의 범위는 기술적 사상에 포함되는 변경, 균등물, 또는 대체물을 포함한다.
제1 또는 제2 등의 용어를 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 이런 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 해석되어야 한다. 예를 들어, 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소는 제1 구성요소로도 명명될 수 있다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
실시예에서 사용한 용어는 단지 설명을 목적으로 사용된 것으로, 한정하려는 의도로 해석되어서는 안된다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 실시예가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
또한, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 도면 부호에 관계없이 동일한 구성 요소는 동일한 참조부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 실시예를 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 실시예의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
본 발명의 실시예들에서, 별도로 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 발명의 실시예에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
본 발명의 실시예를 설명하기 위한 도면에 개시된 형상, 크기, 비율, 각도, 개수 등은 예시적인 것이므로 본 발명이 도시된 사항에 한정되는 것은 아니다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다. 본 명세서 상에서 언급된 ‘포함한다’, ‘갖는다’, ‘이루어진다’ 등이 사용되는 경우 ‘~만’이 사용되지 않는 이상 다른 부분이 추가될 수 있다. 구성 요소를 단수로 표현한 경우에 특별히 명시적인 기재 사항이 없는 한 복수를 포함하는 경우를 포함한다.
구성 요소를 해석함에 있어서, 별도의 명시적 기재가 없더라도 오차 범위를 포함하는 것으로 해석한다.
위치 관계에 대한 설명일 경우, 예를 들어, ‘~상에’, ‘~상부에’, ‘~하부에’, ‘~옆에’ 등으로 두 부분의 위치 관계가 설명되는 경우, ‘바로’ 또는 ‘직접’이 사용되지 않는 이상 두 부분 사이에 하나 이상의 다른 부분이 위치할 수도 있다.
소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층"위(on)"로 지칭되는 것은 다른 소자 바로 위에 또는 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 도시된 것이며, 본 발명이 도시된 구성의 크기 및 두께에 반드시 한정되는 것은 아니다.
본 발명의 여러 실시예들의 각각 특징들이 부분적으로 또는 전체적으로 서로 결합 또는 조합 가능하며, 당업자가 충분히 이해할 수 있듯이 기술적으로 다양한 연동 및 구동이 가능하며, 각 실시예들이 서로에 대하여 독립적으로 실시 가능할 수도 있고 연관 관계로 함께 실시 가능할 수도 있다.
첨부된 도면 중에서, 도 1은 본 발명에 따른 외부 감속기를 제거한 전동 액츄에이터를 나타낸 사시도, 도 2는 본 발명에 따른 외부 감속기를 제거한 전동 액츄에이터의 내부를 나타낸 사시도, 도 3은 본 발명에 따른 외부 감속기를 제거한 전동 액츄에이터를 나타낸 측단면도, 도 4는 본 발명에 따른 외부 감속기를 제거한 전동 액츄에이터에서 '탈착수단'을 보여주는 사시도, 도 5는 상기 도 4의 '탈착수단'을 나타낸 정단면도, 도 6은 상기 도 4의 '탈착수단'을 나타낸 측단면도이다.
본 발명에 따른 외부 감속기를 제거한 전동 액츄에이터는,
웨이퍼증착 설비에 적용되는 전동 액츄에이터에 있어서,
인출 또는 인입 작동되어 길이가 조절되는 로드(22)가 전단부에 결합된 실린더유닛부(2);
실린더유닛부(2)의 후단부에 장착되는 커버(42)와, 커버(42)의 내부에 형성되며, 상기 로드(22)의 후단에 연결되는 출력측 기어(G3)와, 상기 출력측 기어(G3)에 치차 결합되는 연동기어(G2)와, 상기 연동기어(G2)에 치차 결합되는 입력측 기어(G1)가 구비된 동력전달부(4);
입력측 기어(G1)에 연결되어 회전력을 제공하는 구동원(6);을 포함하고,
로드(22)에 기구물(미도시)이 연결되고, 로드(22)의 인출 또는 인입 작동에 의해 기구물이 이동되도록 하는 것이다.
기구물은 100kg ~ 800kg의 하중을 갖는 구조물일 수 있다.
구동원(6)은 모터일 수 있다.
바람직하게는 동력전달부(4)는 입력측 기어(G1)와 출력측 기어(G3)의 기어비는 9:1로 설정된다. 물론 이는 하나의 예시이고, 필요에 따라서는 기어비가 변경될 수 있음은 당연하다.
출력측 기어(G3), 연동기어(G2), 입력측 기어(G1)는 스퍼기어가 바람직하다. 물론 반드시 이에 한정되지 않고 경우에 따라서 다른 형태의 기어로도 적용될 수 있음은 당연할 것이다.
상기 실린더유닛부(2)는 내부에 공간이 형성되고, 일단부에는 로드(22)가 관통되는 통공(20)이 형성되며, 타단부에는 동력전달부(4)의 커버(42)가 장착되는 측판(21)이 형성되어 이루어진다.
실린더유닛부(2)의 내부에는 출력측 기어(G3)에 연결되며 일측 외주면에 나사산이 형성된 출력샤프트(3)와, 상기 출력샤프트(3)에 나사결합되는 커플러(5)가 장착된다.
커플러(5)에 로드(22)의 일단이 연결되고 로드(22)는 실린더유닛부(2)의 통공(20)을 통해 출몰 작동된다.
실린더유닛부(2)는 내부의 공간에 커플러(5)의 외주면에 접촉지지되도록 형성된 제1 베어링(25)과, 제1 베어링(25)과 소정 간격 이격되어 상기 통공(20)에 인접되게 형성되어 로드(22)의 외주면에 결합되는 제2 베어링(27)을 더 포함하여 이루어진다.
제1 베어링(25)이 커플러(5)를 지지하여 회전을 안정적으로 유지해줄 수 있고, 제2 베어링(27)이 로드(22)를 지지하여 회전을 안정적으로 유지해줄 수 있다.
한편 실린더유닛부(2)의 내부의 공간의 양측에 이격되어 제1 센서(S1)와 제2 센서(S2)가 형성된다.
즉, 커플러(5)의 전진 한계점을 제1 센서(S1)가 감지할 수 있다. 전진 한계점은 로드(22)가 가장 길게 인출된 위치에 해당된다.
커플러(5)의 후진 한계점을 제2 센서(S2)가 감지할 수 있다. 후진 한계점은 로드(22)가 가장 깊이 인입된 위치에 해당된다.
제1 센서(S1) 및 제2 센서(S2)는 커플러(5)의 접촉을 감지하는 터치센서일 수 있다.
상기 연동기어(G2)는 탈착 가능하도록 커버(42)에 연동기어(G2)가 삽입 또는 이탈되는 탈착수단;이 더 포함될 수 있다.
이렇게 연동기어(G2)를 탈거하여 치차 갯수가 상이한 다른 연동기어로 교체함으로써 동력전달부(4)의 기어비를 변경시킬 수 있을 것이다.
탈착수단은, 커버(42)의 외면에 형성된 삽입공(420)과, 삽입공(420)을 개폐하는 덮개(72); 삽입공(420)에 통하며 커버(42)의 내측으로 수평하게 소정 길이로 형성되어 연동기어(G2)의 축봉(G2-1)이 안내되는 레일(74)과, 상기 레일(74)의 단부에 형성되어 연동기어(G2)의 축봉(G2-1)이 안착되는 걸림홈(742)을 구비한 장착부; 커버(42)의 외면에는 상기 레일(74)과 통하는 장공(440)이 형성되어 연동기어(G2)의 축봉(G2-1)이 삽입될 수 있고, 외부에서 상기 축봉(G2-1)을 이동시켜 연동기어(G2)를 탈착시킬 수 있도록 연동기어(G2)의 축봉(G2-1)에 나사결합되고 커버(42)의 외면에 밀착 또는 이격되는 조임핸들(43);을 포함하여 이루어진다.
삽입공(420)은 연동기어(G2)가 삽입될 수 있도록 직사각형으로 형성되고, 레일(74)은 삽입공(420)의 양 끝단에 통하도록 양측에 각기 수평하게 형성된다.
레일(74)은 끝단이 하방으로 처지게 형성되며 말단에 걸림홈(742)이 형성된다.
양 레일(74)의 각 걸림홈(742)에 연동기어(G2)의 양측 축봉(G2-1)이 삽입되어 고정된다.
이렇게 연동기어(G2)가 삽입공(420)과 레일(74)을 통해 삽입된후 말단에 도달하여 걸림홈(742)에 걸려져 고정되면 상,하에 구비된 입력측 기어(G1)와 출력측 기어(G3) 사이에 치차 결합된다.
이때 입력측 기어(G1)와 출력측 기어(G3)는 그 사이에 끼어드는 연동기어(G2)에 의해 소정 간격으로 밀려났다가 치차 결합된 후 다시 원래상태로 복원되도록 한다.
따라서 입력측 기어(G1) 또는 출력측 기어(G3)가 상하로 탄력 구동될 수 있는 탄력지지수단(8);을 더 포함할 수 있다.
상기 탄력지지수단(8)은 커버(42)의 측벽에 형성된 기어축 관통공(20)에 매립되어 상기 입력측 기어(G1) 또는 출력측 기어(G3)의 축봉(G1-1,G3-1)이 결합되는 베어링(82)과, 베어링(82)의 외면을 탄력지지하는 탄성부재(84)를 포함하여 이루어진다.
따라서 입력측 기어(G1)와 출력측 기어(G3) 사이에 연동기어(G2)를 밀어넣는 과정에서 간극이 벌어지도록 탄력지지수단(8)이 작동한 후 연동기어(G2)와 입력측 기어(G1) 및 출력측 기어(G3)가 치차 결합되면 다시 원상태로 복원된다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 더욱 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 반드시 이러한 실시예로 국한되는 것은 아니고, 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형 실시될 수 있다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
그러므로, 다른 구현들, 다른 실시예들 및 특허청구범위와 균등한 것들도 후술하는 청구범위의 범위에 속한다.
2 : 실린더유닛부 4 : 동력전달부
5 : 커플러 6 : 구동원
22 : 로드 25 : 제1 베어링
27 : 제2 베어링 42 : 커버

Claims (5)

  1. 웨이퍼증착 설비에 적용되는 전동 액츄에이터에 있어서,
    인출 또는 인입 작동되어 길이가 조절되는 로드가 전단부에 결합된 실린더유닛부;
    상기 실린더유닛부의 후단부에 장착되는 커버와, 커버의 내부에 형성되며, 상기 로드의 후단에 연결되는 출력측 기어와, 상기 출력측 기어에 치차 결합되는 연동기어와, 상기 연동기어에 치차 결합되는 입력측 기어가 구비된 동력전달부;
    상기 입력측 기어에 연결되어 회전력을 제공하는 구동원;을 포함하고,
    상기 로드에 기구물이 연결되고, 로드의 인출 또는 인입 작동에 의해 기구물이 이동되도록 하는 전동 액츄에이터에 있어서,
    상기 동력전달부는 입력측 기어와 출력측 기어의 기어비는 9:1로 설정되고,
    상기 출력측 기어에 연결되며 일측 외주면에 나사산이 형성된 출력샤프트와, 상기 출력샤프트에 나사결합되는 커플러를 포함하고, 상기 커플러에 로드의 일단이 연결되며,
    상기 실린더유닛부는 내부에 공간이 형성되고, 일단부에는 로드가 관통되는 통공이 형성되며, 타단부에는 동력전달부의 커버가 장착되는 측판이 형성되며,
    상기 내부의 공간에는 커플러의 외주면에 접촉지지되도록 형성된 제1 베어링과,
    상기 제1 베어링과 소정 간격 이격되어 상기 통공에 인접되게 형성되어 로드의 외주면에 결합되는 제2 베어링을 포함하고,
    상기 실린더유닛부의 내부의 공간의 양측에 이격되게 형성되어 커플러의 전진 한계점을 감지하는 제1 센서와 후진 한계점을 감지하는 제2 센서를 포함하고,
    상기 연동기어는 탈착 가능하도록 커버에 연동기어가 삽입 또는 이탈되는 탈착수단;을 포함하고,
    상기 탈착수단은
    커버의 외면에 형성된 삽입공과, 삽입공을 개폐하는 덮개; 상기 삽입공에 통하며 커버의 내측으로 수평하게 소정 길이로 형성되어 연동기어의 축봉이 안내되는 레일과, 상기 레일의 단부에 형성되어 연동기어의 축봉이 안착되는 걸림홈을 구비한 장착부; 상기 커버의 외면에는 상기 레일과 통하는 장공이 형성되어 연동기어의 축봉이 삽입될 수 있고, 외부에서 상기 축봉을 이동시켜 연동기어를 탈착시킬 수 있도록 연동기어의 축봉에 나사결합되고 커버의 외면에 밀착 또는 이격되는 조임핸들;을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 전동 액츄에이터.
  2. 삭제
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  4. 삭제
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