KR102647430B1 - Anti-loosening clamp for piping - Google Patents
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Abstract
개시된 내용은 진공펌프의 가동으로 인한 진동 발생에도 불구하고 클램핑볼트의 풀림이 방지됨에 따라 플랜지에 대한 가압고정력과 이로 인해 공정가스 배관라인의 기밀한 진공상태가 유지될 수 있도록 한 배관연결용 풀림방지 클램프에 관한 것이다.
개시된 내용은 플랜지가 구비된 배관의 상호 연결 시에 서로 대응되는 플랜지를 가압고정하는 배관연결용 클램프에 있어서, 내측 상단에는 상부클램핑후크가 구비되고 외측 하단에는 가이드돌기가 돌출형성되는 상부클램핑바디와, 상측은 상기 상부클램핑바디를 수직으로 관통하여 회전가능하게 결합되고 하측은 상기 상부클램핑바디의 하부로 돌출되며 하측 외주면에는 수나사산이 형성되는 클램핑볼트와, 상기 클램핑볼트의 하측에 나사결합되어 상기 클램핑볼트의 회전에 따라 상하이동되며 내측 하단에는 하부클램핑후크가 구비되고 외측 상단에는 상기 가이드돌기가 삽입되는 가이드단턱이 함입형성되는 하부클램핑바디와, 상기 상부클램핑바디의 상부클램핑후크에 결합되어 상기 클램핑볼트의 상측면을 가압하는 클램핑볼트가압부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 배관연결용 풀림방지 클램프를 일 실시예로 제시한다.The disclosed content is a pressure fixing force on the flange by preventing loosening of the clamping bolt despite vibration caused by the operation of the vacuum pump, and thereby preventing loosening for piping connections to maintain an airtight vacuum state in the process gas piping line. It's about clamps.
The disclosed content is a pipe connection clamp that pressurizes and secures corresponding flanges when piping with flanges are interconnected, comprising: an upper clamping body provided with an upper clamping hook at the inner upper end and a guide protrusion protruding at the outer lower end; , the upper side is rotatably coupled to penetrate vertically through the upper clamping body, the lower side protrudes to the lower part of the upper clamping body, and a clamping bolt is formed with a male thread on the lower outer circumferential surface, and is screwed to the lower side of the clamping bolt. A lower clamping body that moves up and down according to the rotation of the clamping bolt and is provided with a lower clamping hook at the inner lower end and a guide step into which the guide protrusion is inserted is formed at the outer upper end, and is coupled to the upper clamping hook of the upper clamping body. An anti-loosening clamp for piping connection, characterized by including a clamping bolt pressing member that pressurizes the upper side of the clamping bolt, is presented as an embodiment.
Description
개시된 내용은 예를 들어 반도체 제조공정의 공정가스 배관라인 등에서 배관의 플랜지 연결에 적용되는 배관연결용 클램프에 관한 것이다.The disclosed content relates to a clamp for piping connection, which is applied to flange connection of piping in, for example, a process gas piping line in a semiconductor manufacturing process.
본 명세서에서 달리 표시하지 않는 한, 이 섹션에 설명되는 내용들은 이 출원의 청구항들에 대한 종래 기술이 아니며, 이 섹션에 포함된다고 하여 종래 기술이라고 인정되는 것은 아니다.Unless otherwise indicated herein, the material described in this section is not prior art to the claims of this application, and is not admitted to be prior art by inclusion in this section.
통상 반도체의 제조는 D램, SD램, 플래시메모리, 실리콘반도체 등 반도체의 종류에 따라 상당한 차이가 있기는 하지만, 통상 웨이퍼 제조공정과, 회로설계 및 마스크 제작공정과, 산화, 감광, 노광, 현상, 에칭, 에싱, 화학적기상증착(CVD) 등을 포함하는 웨이퍼 가공공정과, 패키지 공정을 거쳐 이루어진다. 예를 들어 FPD와 같은 디스플레이의 제조도 전술한 반도체 제조공정이 적용된다.Although there are significant differences depending on the type of semiconductor such as DRAM, SD RAM, flash memory, and silicon semiconductor, the manufacturing of semiconductors usually involves wafer manufacturing process, circuit design and mask manufacturing process, oxidation, photosensitization, exposure, and development. , a wafer processing process including etching, ashing, and chemical vapor deposition (CVD), and a package process. For example, the semiconductor manufacturing process described above is applied to the manufacture of displays such as FPD.
반도체 제조공정의 경우에는 고순도의 H2, SiH4(모노실란) 또는 SiHCl3(삼염화실) 등과 같은 공정가스가 사용되고, 화학적기상증착에는 고순도의 SiH4, SiH2Cl2, SiHCl3, SiCl4, GeH4, B2H6, BBr3, BCl3, AsH3, PH3, TeH2, SnCl4, GeCl4, WF6, NH3, CH4, Cl2, MoF6 등의 특수 공정가스가 사용되며 운반기체(carrier gas)로서 고순도 수소(H2)와 질소(N2)가 사용된다. 또한 플라즈마 에칭에는 SiF4, CF4, C3F8, C2F6, CHF3, CClF3, O2 등의 공정가스가 사용되고, 이온빔 에칭에는 C3F8, CHF3, CClF3, CF4 등의 특수 공정가스가 사용된다. In the case of semiconductor manufacturing processes, process gases such as high purity H 2 , SiH 4 (monosilane) or SiHCl 3 (trichlorosilane) are used, and for chemical vapor deposition, high purity SiH 4 , SiH 2 Cl 2 , SiHCl 3 and SiCl 4 are used. , GeH 4 , B 2 H 6 , BBr 3 , BCl 3 , AsH 3 , PH 3 , TeH 2, SnCl 4 , GeCl 4 , WF 6 , NH 3, CH 4 , Cl 2 , MoF 6, etc. High purity hydrogen (H 2 ) and nitrogen (N 2 ) are used as carrier gas. In addition, process gases such as SiF 4 , CF 4 , C 3 F 8 , C 2 F 6 , CHF 3 , CClF 3 , and O 2 are used for plasma etching, and C 3 F 8 , CHF 3 , CClF 3 , and CF are used for ion beam etching. Special process gases such as 4 are used.
한편, 반도체 제조에 사용되는 공정가스는 유독성, 가연성 및 부식성 등의 특성이 강하며 휘발성유기화합물(VOCS; Volatile Organic Compounds)과 같은 유해성분을 포함한다. 여기서 휘발성유기화합물은 증기압이 높아 대기 중으로 쉽게 증발되는 액체 또는 기체상 유기화합물의 총칭으로, 대기 중에서 광화학반응을 일으켜 오존 등 광화학 산화성물질을 생성시켜 광화학스모그를 유발하고. 대기오염 뿐만 아니라 지구온난화의 원인물질일 뿐만 아니라 발암성 물질로도 알려져 있다. Meanwhile, process gases used in semiconductor manufacturing are highly toxic, flammable, and corrosive and contain harmful ingredients such as volatile organic compounds (VOC S ). Here, volatile organic compounds are a general term for liquid or gaseous organic compounds that easily evaporate into the atmosphere due to their high vapor pressure. They cause photochemical reactions in the atmosphere to generate photochemical oxidizing substances such as ozone, causing photochemical smog. It is not only a cause of air pollution but also global warming, and is also known to be a carcinogen.
이러한 공정가스는 제조설비 내에서 일부만 반응에 참여하고, 나머지 90% 정도의 공정가스는 미반응 상태로 제조설비로부터 배출된다. 이렇게 배출되는 공정가스(이하 '폐공정가스'라 합니다)가 별도의 정화과정 없이 대기중에 그대로 방출될 경우 주변 제조설비의 손상과 심각한 환경오염 및 작업자의 안전사고를 초래하게 되므로 각 제조설비에는 배기덕트로 연결된 가스 배출라인 상에 폐가스를 기준치 이하로 분해 또는 정화처리시키는 가스처리설비가 설치된다.Only a portion of these process gases participate in reactions within the manufacturing facility, and the remaining 90% of the process gas is discharged from the manufacturing facility in an unreacted state. If the process gas discharged in this way (hereinafter referred to as 'waste process gas') is released into the atmosphere without a separate purification process, it will cause damage to surrounding manufacturing facilities, serious environmental pollution, and safety accidents for workers. Therefore, each manufacturing facility must have an exhaust gas Gas processing equipment is installed on the gas discharge line connected to the duct to decompose or purify the waste gas to a level below the standard level.
이러한 가스처리설비는 폐가스의 특성 다시 말해서, 공기와의 접촉시 폭발적으로 반응하는 성질, 연소되는 성질, 가스 처리제와 반응하는 성질 및 물에 용해되는 성질 등을 이용하여 폐가스를 분해 또는 정화처리하는 것으로. 크게 열분해 또는 고온 플라즈마 방식의 건식 스크러버, 세정액 분사를 이용하는 습식 스크러버, 건식과 습식을 병행하는 혼합식 스크러버로 구분된다.These gas treatment facilities decompose or purify waste gas using the characteristics of waste gas, that is, the property of reacting explosively upon contact with air, the property of combustion, the property of reacting with gas treatment agents, and the property of dissolving in water. . It is largely divided into dry scrubbers using thermal decomposition or high-temperature plasma methods, wet scrubbers using cleaning liquid spray, and mixed scrubbers that combine dry and wet scrubbers.
한편, 반도체 제조공정의 공정가스 배관라인은 배관과 배관이 서로 연결되어 형성되고, 서로 연결되는 배관에는 서로 대응되는 플랜지가 구비된다. 단부에 플랜지가 구비된 2개의 배관을 연결하는 데 있어 서로 대응되는 플랜지에는 배관연결용 클램프가 기밀 유지 및 진공해제 방지를 위해 결합된다.Meanwhile, the process gas piping line in the semiconductor manufacturing process is formed by connecting pipes to each other, and the pipes connected to each other are provided with corresponding flanges. When connecting two pipes with flanges at the ends, clamps for pipe connection are attached to the corresponding flanges to maintain airtightness and prevent vacuum release.
이러한 배관연결용 클램프의 일 예로, 대한민국 특허공개 제10-2015-0011539호(2015.02.02. 공개)에는 배관파이프의 링 플랜지의 평탄면에 설치되어 한쌍의 링 플랜지를 파지하는 반도체 배관 연결 클램프로, 일면에 "┓"자형 걸고리가 형성되고, 나사홀이 형성된 제 1 뭉치와, 일면에 "┛"자형 걸고리가 형성되고, 볼트가 삽입 관통되는 홀이 형성된 제 2 뭉치와, 상기 홀을 관통하여 나사홀에 체결되어 제 1 및 제 2 뭉치가 링 플랜지를 파지하도록 하는 볼트로 이루어지며, 상기 평탄면에 접면하도록 제 1 및 제 2 뭉치가 위치함과 더불어 볼트의 체결 시 걸고리의 끝단이 링형 홈에 삽입되어 링 클램프의 파지에 의해 한 쌍의 배관파이프가 연결 고정되도록 하는 반도체 배관 연결 클램프가 개시된다.As an example of such a clamp for piping connection, Republic of Korea Patent Publication No. 10-2015-0011539 (published on February 2, 2015) is a semiconductor piping connection clamp that is installed on the flat surface of the ring flange of the piping pipe and holds a pair of ring flanges. , a first bundle in which a “┓”-shaped hook is formed on one side and a screw hole is formed, a second bundle in which a “┛”-shaped hook is formed on one side and a hole through which a bolt is inserted, and a second bundle in which a hole is inserted through the hole. It is made of a bolt that is fastened to a screw hole so that the first and second bundles grip the ring flange. In addition, the first and second bundles are positioned so as to contact the flat surface, and when the bolt is fastened, the end of the hook has a ring-shaped groove. A semiconductor pipe connection clamp is disclosed that is inserted into and allows a pair of pipe pipes to be connected and fixed by gripping the ring clamp.
또한 대한민국 특허등록 제10-1539540호(2015.07.24. 공고)에는 배관용 덕트를 연이어 설치할 수 있도록 상기 덕트의 끝단 접합부위에 서로 대응되게 절곡 형성된 플랜지부를 포함하는 덕트 연결용 플랜지 조립체에 있어서, 상기 플랜지부를 사이에 두고 일면이 대향되게 걸림 배치될 수 있도록 상기 덕트의 외주연에 결합되는 적어도 한 쌍의 끼움형 플랜지와, 상기 플랜지부 사이에 개재되는 기밀유지용 개스킷과, 상기 대향되게 배치된 끼움형 플랜지의 타면에 양단이 제각기 걸림 결합될 수 있도록 걸고리가 구비된 적어도 두 개의 블럭으로 분할 형성되되, 체결부재의 체결을 통해 상기 한 쌍의 끼움형 플랜지를 개스킷 측으로 가압 고정해주는 클램프를 포함하는 덕트 연결용 플랜지 조립체가 개시된다.In addition, Republic of Korea Patent Registration No. 10-1539540 (announced on July 24, 2015) discloses a flange assembly for duct connection including flange portions bent to correspond to each other at the end joints of the ducts so that piping ducts can be installed in succession, At least one pair of fitting flanges coupled to the outer periphery of the duct so that one surface can be positioned facing each other with the flange part interposed therebetween, an airtight gasket interposed between the flange parts, and the opposingly arranged It is divided into at least two blocks provided with hooks so that both ends can be individually hooked to the other side of the fitting flange, and includes a clamp that pressurizes and secures the pair of fitting flanges to the gasket side through fastening of the fastening member. A flange assembly for duct connection is disclosed.
통상 반도체 제조공정의 공정가스 배관라인은 진공펌프와 연통되게 설치됨에 따라 진공펌프의 가동으로 인한 진동으로 인해 공정가스 배관라인이 지속적으로 진동하게 된다.Typically, the process gas piping line in a semiconductor manufacturing process is installed in communication with a vacuum pump, so the process gas piping line continuously vibrates due to vibration caused by the operation of the vacuum pump.
그러나 전술한 바와 같은 종래의 배관연결용 클램프의 경우에는 진공펌프의 가동으로 인한 진동 발생시에 클램핑볼트가 풀리게 되면서 플랜지에 대한 가압고정력이 약해지면서 공정가스 배관라인의 기밀한 진공상태가 해제되는 문제점이 있었다.However, in the case of the conventional clamp for piping connection as described above, when vibration occurs due to the operation of the vacuum pump, the clamping bolt is loosened, the pressurizing force on the flange is weakened, and the airtight vacuum state of the process gas piping line is released. there was.
진공펌프의 가동으로 인한 진동 발생에도 불구하고 클램핑볼트의 풀림이 방지됨에 따라 플랜지에 대한 가압고정력과 이로 인해 공정가스 배관라인의 기밀한 진공상태가 유지될 수 있도록 한 배관연결용 풀림방지 클램프를 제공하고자 한다.Despite the vibration caused by the operation of the vacuum pump, loosening of the clamping bolt is prevented, providing a pressure-fixing force to the flange and an anti-loosening clamp for piping connections that maintains an airtight vacuum state in the process gas piping line. I want to do it.
또한 상술한 바와 같은 기술적 과제들로 한정되지 않으며, 이하의 설명으로부터 또 다른 기술적 과제가 도출될 수도 있음은 자명하다.Additionally, it is not limited to the technical challenges described above, and it is obvious that other technical challenges may be derived from the description below.
개시된 내용은 플랜지가 구비된 배관의 상호 연결 시에 서로 대응되는 플랜지를 가압고정하는 배관연결용 클램프에 있어서, 내측 상단에는 상부클램핑후크가 구비되고 외측 하단에는 가이드돌기가 돌출형성되는 상부클램핑바디와, 상측은 상기 상부클램핑바디를 수직으로 관통하여 회전가능하게 결합되고 하측은 상기 상부클램핑바디의 하부로 돌출되며 하측 외주면에는 수나사산이 형성되는 클램핑볼트와, 상기 클램핑볼트의 하측에 나사결합되어 상기 클램핑볼트의 회전에 따라 상하이동되며 내측 하단에는 하부클램핑후크가 구비되고 외측 상단에는 상기 가이드돌기가 삽입되는 가이드단턱이 함입형성되는 하부클램핑바디와, 상기 상부클램핑바디의 상부클램핑후크에 결합되어 상기 클램핑볼트의 상측면을 가압하는 클램핑볼트가압부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 배관연결용 풀림방지 클램프를 일 실시예로 제시한다.The disclosed content is a pipe connection clamp that pressurizes and secures corresponding flanges when piping with flanges are interconnected, comprising an upper clamping body provided with an upper clamping hook at the inner upper end and a guide protrusion protruding at the outer lower end; , the upper side is rotatably coupled to penetrate vertically through the upper clamping body, the lower side protrudes to the lower part of the upper clamping body, and a clamping bolt is formed with a male thread on the lower outer peripheral surface, and is screwed to the lower side of the clamping bolt. A lower clamping body that moves up and down according to the rotation of the clamping bolt and is provided with a lower clamping hook at the inner lower end and a guide step into which the guide protrusion is inserted is formed at the outer upper end, and is coupled to the upper clamping hook of the upper clamping body. An anti-loosening clamp for piping connection, characterized by including a clamping bolt pressing member that pressurizes the upper side of the clamping bolt, is presented as an embodiment.
상기 클램핑볼트에 관통결합되어 상기 클램핑볼트의 볼트머리와 상기 상부클램핑바디 사이에 개재되는 풀림방지와셔를 더 포함한다.It further includes an anti-loosening washer that is coupled through the clamping bolt and is interposed between the bolt head of the clamping bolt and the upper clamping body.
개시된 내용의 바람직한 특징에 따르면, 상기 클램핑볼트가압부재는 상기 상부클램핑바디의 상부클램핑후크에 나사결합되는 무두볼트형 볼플런저로 형성된다.According to a preferred feature of the disclosed content, the clamping bolt pressing member is formed of a headless bolt-type ball plunger screwed to the upper clamping hook of the upper clamping body.
개시된 내용의 바람직한 특징에 따르면, 상기 클램핑볼트의 상측 둘레에는 상기 클램핑볼트가압부재의 단부가 삽입되는 수직선형그루브가 연속형성된다.According to a preferred feature of the disclosed content, a vertical linear groove into which the end of the clamping bolt pressing member is inserted is continuously formed around the upper side of the clamping bolt.
개시된 일 실시예에 따른 배관연결용 풀림방지 클램프에 의하면, 상부클램핑바디의 상부클램핑후크에 결합되는 클램핑볼트가압부재에 의해 클램핑볼트의 상측면이 가압되면서 클램핑볼트의 풀림이 방지됨에 따라 진공펌프의 가동으로 인한 진동 발생에도 불구하고 플랜지에 대한 가압고정력이 유지되고 이로 인해 공정가스 배관라인의 기밀한 진공상태가 유지될 수 있는 장점이 있다.According to the anti-loosening clamp for piping connection according to the disclosed embodiment, the upper side of the clamping bolt is pressed by the clamping bolt pressing member coupled to the upper clamping hook of the upper clamping body, thereby preventing loosening of the clamping bolt, thereby preventing the vacuum pump from loosening. Despite the occurrence of vibration due to operation, the pressure fixing force on the flange is maintained, which has the advantage of maintaining an airtight vacuum state in the process gas piping line.
개시된 일 실시예에 따른 배관연결용 풀림방지 클램프에 의하면, 전술한 클램핑볼트가압부재에 의한 클램핑볼트의 가압 구성 이외에 클램핑볼트의 볼트머리와 상부클램핑바디 사이에 풀림방지와셔가 추가적으로 개재됨에 따라 클램핑볼트의 풀림으로 인해 공정가스 배관라인의 진공상태가 해제되는 현상이 미연에 방지될 수 있는 장점이 있다.According to the anti-loosening clamp for piping connection according to the disclosed embodiment, in addition to the pressing configuration of the clamping bolt by the clamping bolt pressing member described above, an anti-loosening washer is additionally interposed between the bolt head of the clamping bolt and the upper clamping body, so that the clamping bolt It has the advantage of being able to prevent the phenomenon of the vacuum state in the process gas piping line being released due to loosening.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The effects of the present invention are not limited to the effects mentioned above, and other effects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the description of the claims.
도 1은 개시된 내용의 실시예에 따른 배관연결용 풀림방지 클램프의 사용상태도.
도 2는 개시된 내용의 일 실시예에 따른 배관연결용 풀림방지 클램프의 사시도.
도 3은 개시된 내용의 일 실시예에 따른 배관연결용 풀림방지 클램프의 분해사시도.
도 4는 개시된 내용의 일 실시예에 따른 배관연결용 풀림방지 클램프의 단면구조도.
도 5는 개시된 내용의 일 실시예에 따른 배관연결용 풀림방지 클램프의 작동도.1 is a diagram illustrating a state of use of an anti-loosening clamp for piping connection according to an embodiment of the disclosed content.
Figure 2 is a perspective view of an anti-loosening clamp for piping connection according to an embodiment of the disclosed content.
Figure 3 is an exploded perspective view of an anti-loosening clamp for piping connection according to an embodiment of the disclosed content.
Figure 4 is a cross-sectional structural diagram of an anti-loosening clamp for piping connection according to an embodiment of the disclosed content.
Figure 5 is an operation diagram of an anti-loosening clamp for piping connection according to an embodiment of the disclosed content.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 바람직한 실시예의 구성 및 작용효과에 대하여 살펴본다. 참고로, 이하 도면에서, 각 구성요소는 편의 및 명확성을 위하여 생략되거나 개략적으로 도시되었으며, 각 구성요소의 크기는 실제 크기를 반영하는 것은 아니다. 또한 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성요소를 지칭하며 개별 도면에서 동일 구성에 대한 도면 부호는 생략하기로 한다.Hereinafter, the configuration and effects of the preferred embodiment will be examined with reference to the attached drawings. For reference, in the drawings below, each component is omitted or schematically shown for convenience and clarity, and the size of each component does not reflect the actual size. In addition, the same reference numerals refer to the same components throughout the specification, and reference numerals for the same components in individual drawings will be omitted.
도 1은 개시된 내용의 실시예에 따른 배관연결용 풀림방지 클램프의 개략설치구조도이다.1 is a schematic installation structure diagram of an anti-loosening clamp for piping connection according to an embodiment of the disclosed content.
개시된 내용의 실시예에 따른 배관연결용 풀림방지 클램프(1)는 도 1에 도시되는 바와 같이 예를 들어 반도체 제조공정의 공정가스 배관라인 등에서 단부에 플랜지(5)가 구비된 배관(3)의 상호 연결 시에 서로 대응되는 플랜지(5)를 가압고정하여 양 배관(3)을 기밀적으로 연결하는 역할을 한다.As shown in FIG. 1, the anti-loosening clamp (1) for piping connection according to an embodiment of the disclosed content is, for example, a pipe (3) provided with a flange (5) at the end in a process gas piping line of a semiconductor manufacturing process, etc. When interconnecting, it serves to airtightly connect both pipes (3) by pressurizing and fixing the corresponding flanges (5).
개시된 내용의 실시예에 따른 배관연결용 풀림방지 클램프(1)는 서로 대응되는 플랜지(5) 둘레에 다수개가 설치되되, 일정 각도간격마다 1개씩 설치되는 것이 바람직하다.A plurality of anti-loosening clamps (1) for piping connection according to an embodiment of the disclosed content are installed around the corresponding flanges (5), and it is preferable that one is installed at a certain angular interval.
도 2는 개시된 내용의 일 실시예에 따른 배관연결용 풀림방지 클램프의 사시도이고, 도 3은 개시된 내용의 일 실시예에 따른 배관연결용 풀림방지 클램프의 분해사시도이며, 도 4는 개시된 내용의 일 실시예에 따른 배관연결용 풀림방지 클램프의 단면도이다.FIG. 2 is a perspective view of an anti-loosening clamp for piping connection according to an embodiment of the disclosure, FIG. 3 is an exploded perspective view of an anti-loosening clamp for piping connection according to an embodiment of the disclosure, and FIG. 4 is an example of the disclosure. This is a cross-sectional view of an anti-loosening clamp for piping connection according to an embodiment.
개시된 내용의 실시예에 따른 배관연결용 풀림방지 클램프(1)는 도 1 내지 도 4에 도시되는 바와 같이, 내측 상단에는 상부클램핑후크(11)가 구비되고 외측 하단에는 가이드돌기(13)가 돌출형성되는 상부클램핑바디(10)와, 상측은 상부클램핑바디(10)를 수직으로 관통하여 회전가능하게 결합되고 하측은 상부클램핑바디(10)의 하부로 돌출되며 하측 외주면에는 수나사산(21)이 형성되는 클램핑볼트(20)와, 클램핑볼트(20)의 하측에 나사결합되어 클램핑볼트(20)의 회전에 따라 상하이동되며 내측 하단에는 하부클램핑후크(33)가 구비되고 외측 상단에는 가이드돌기(13)가 삽입되는 가이드단턱(35)이 함입형성되는 하부클램핑바디(30)와, 상부클램핑바디(10)의 상부클램핑후크(11)에 결합되어 클램핑볼트(20)의 상측면을 가압하는 클램핑볼트가압부재(40)를 포함한다.As shown in Figures 1 to 4, the anti-loosening clamp (1) for piping connection according to an embodiment of the disclosed content is provided with an upper clamping hook (11) at the inner upper end and a guide protrusion (13) protruding at the outer lower end. The
여기서, 상부클램핑바디(10)는 단부에 플랜지(5)가 구비된 배관(3)의 상호 연결 시에 양 배관(3) 중 하나의 플랜지(5)를 걸어 양 배관(3) 중 다른 하나의 플랜지(5)로 가압밀착시키는 역할을 한다.Here, the upper clamping body (10) hangs the flange (5) of one of the two pipes (3) when interconnecting the pipes (3) having flanges (5) at the ends to connect the other one of the two pipes (3). It serves to pressurize and adhere with the flange (5).
이러한 상부클램핑바디(10)의 내측 상단에는 양 배관(3) 중 하나의 플랜지(5)에 걸려지는 상부클램핑후크(11)가 구비된다. 또한 상부클램핑바디(10)의 외측 하단에는 차후에 설명될 하부클램핑바디(30)의 가이드단턱(35)과 함께 하부클램핑바디(30)의 직선 상하이동을 안내하기 위한 가이드돌기(13)가 돌출형성된다.An upper clamping hook (11) that is hung on the flange (5) of one of the two pipes (3) is provided at the inner top of the upper clamping body (10). In addition, a
전술한 상부클램핑바디(10)에는 클램핑볼트(20)가 관통 결합된다. 클램핑볼트(20)는 상부클램핑바디(10)에 대해 차후에 설명될 하부클램핑바디(30)를 직선 상하이동시키기 위한 일종의 리드스크류봉에 해당하는 것으로, 상측은 상부클램핑바디(10)를 수직으로 관통하여 회전가능하게 결합되고 하측은 상부클램핑바디(10)의 하부로 돌출되며 하측 외주면에는 하부클램핑바디(30)가 나사결합되는 수나사산(21)이 형성된다.A clamping
또한 클램핑볼트(20)의 상측 둘레에는 차후에 설명될 클램핑볼트가압부재(40)의 단부가 삽입되는 수직선형그루브(23)가 연속형성된다.In addition, a vertical
전술한 수나사산(21)이 형성된 클램핑볼트(20)의 하측에는 하부클램핑바디(30)가 나사결합된다. 하부클램핑바디(30)는 클램핑볼트(20)의 회전에 따라 상하이동되면서 단부에 플랜지(5)가 구비된 배관(3)의 상호 연결 시에 양 배관(3) 중 다른 하나의 플랜지(5)를 걸어 양 배관(3) 중 하나의 플랜지(5)로 가압밀착시키는 역할을 한다.The
이러한 하부클램핑바디(30)에는 수나사산(21)이 형성된 클램핑볼트(20)의 하측에 나사결합되는 암나사공(31)이 형성된다. 또한 하부클램핑바디(30)의 내측 하단에는 양 배관(3) 중 다른 하나의 플랜지(5)에 걸려지는 하부클램핑후크(33)가 구비된다. 또한 하부클램핑바디(30)의 외측 상단에는 상부클램핑바디(10)의 가이드돌기(13)가 삽입됨에 따라 클램핑볼트(20)의 회전시에 하부클램핑바디(30)가 상부클램핑바디(10)에 대해 회전되지 않고 직선으로 상하이동되도록 가이드단턱(35)이 함입형성된다.In this
전술한 상부클램핑바디(10)의 상부클램핑후크(11)에는 클램핑볼트가압부재(40)가 결합된다. 클램핑볼트가압부재(40)는 클램핑볼트(20)의 상측면, 특히 클램핑볼트(20)의 상측 둘레에 연속 형성된 수직선형그루브(23) 중 하나에 단부가 가압밀착되면서 클램핑볼트(20)가 임의로 회전되지 않도록, 다시 말해서 임의로 풀리지 않도록 하는 역할을 한다. A clamping
이러한 클램핑볼트가압부재(40)는 상부클램핑바디(10)의 상부클램핑후크(11)에 수평방향으로 나사결합되는 무두볼트형 볼플런저로 형성 가능하다. 무두볼트형 볼플런저로 형성되는 클램핑볼트가압부재(40)는 무두볼트 형태의 하우징의 단부에 가압볼(41)이 돌출되되, 무두볼트 형태의 하우징 내의 코일스프링(43)에 의해 탄성지지되는 것이 바람직하다. This clamping
또한 클램핑볼트가압부재(40)는 무두볼트형 볼플런저 대신에 일반 무두볼트로도 형성 가능하다.Additionally, the clamping
또한 클램핑볼트(20)의 볼트머리와 상부클램핑바디(10) 사이에는 풀림방지와셔(50)가 클램핑볼트(20)에 관통결합되어 개재되는 것이 바람직하다. 이러한 풀림방지와셔(50)는 클램핑볼트가압부재(40)와 함께 클램핑볼트(20)의 임의 회전으로 인한 볼트풀림을 방지하는 역할을 하는 것으로, 공지의 노드락(Nord-Lock) 쐐기형 풀림방지와셔로 형성 가능하다. In addition, it is preferable that a
도 5는 개시된 내용의 일 실시예에 따른 배관연결용 풀림방지 클램프의 작동도이다. 이하, 도 1 내지 도 5를 참조하여 개시된 내용의 일 실시예에 따른 배관연결용 풀림방지 클램프의 전체 작동을 설명하면 다음과 같다:Figure 5 is an operation diagram of an anti-loosening clamp for piping connection according to an embodiment of the disclosed content. Hereinafter, the overall operation of the anti-loosening clamp for piping connection according to an embodiment of the disclosed content will be described with reference to FIGS. 1 to 5 as follows:
도 5에 도시되는 바와 같이, 예를 들어 반도체 제조공정의 공정가스 배관라인 등에서 단부에 플랜지(5)가 구비된 배관(3)을 서로 연결하고자 하는 경우에 서로 대응되는 플랜지(5) 둘레에 개시된 내용의 실시예에 따른 배관연결용 풀림방지 클램프(1)를 일정 각도간격마다 1개씩 설치한다.As shown in FIG. 5, for example, in a process gas piping line of a semiconductor manufacturing process, etc., when piping 3 having
상부클램핑바디(10)의 상부클램핑후크(11)는 양 배관(3) 중 하나의 플랜지(5)에 걸려지고 하부클램핑바디(30)의 하부클램핑후크(33)는 양 배관(3) 중 하나의 플랜지(5)의 하부에 위치되도록 한 상태에서 클램핑볼트(20)를 일방향으로 회전시키면, 수나사산(21)이 형성된 클램핑볼트(20)의 하측에 나사결합된 하부클램핑바디(30)가 상부클램핑바디(10) 측으로 직선 이동되면서 하부클램핑바디(30)의 하부클램핑후크(33)가 양 배관(3) 중 다른 하나의 플랜지(5)를 걸어 가압고정하면서 양 배관(3)이 기밀적으로 연결된다. 이 때 상부클램핑바디(10)의 외측 하단에 가이드돌기(13)와 하부클램핑바디(30)의 외측 상단에 형성된 가이드단턱(35)의 상호 조합에 의해 상부클램핑바디(10)에 대한 하부클램핑바디(30)의 직선 상하이동이 안내된다.The upper clamping hook (11) of the upper clamping body (10) is caught on the flange (5) of one of the two pipes (3), and the lower clamping hook (33) of the lower clamping body (30) is connected to one of the two pipes (3). When the clamping bolt (20) is rotated in one direction while positioned at the lower part of the flange (5), the lower clamping body (30) screwed to the lower side of the clamping bolt (20) on which the male thread (21) is formed is attached to the upper part. As it moves straight toward the clamping body (10), the lower clamping hook (33) of the lower clamping body (30) hooks and pressurizes the flange (5) of the other one of the two pipes (3), making both pipes (3) airtight. connected. At this time, the lower clamping body for the upper clamping body (10) is formed by the mutual combination of the guide protrusion (13) on the outer lower side of the upper clamping body (10) and the guide step (35) formed on the outer upper side of the lower clamping body (30). The straight vertical motion of (30) is guided.
그 다음에 상부클램핑바디(10)의 상부클램핑후크(11)에 결합되는 클램핑볼트가압부재(40)를 일방향으로 회전시키면 클램핑볼트가압부재(40)의 단부가 클램핑볼트(20)의 상측면에 가압밀착되면서 클램핑볼트(20)의 풀림이 방지된다.Then, when the clamping
따라서 개시된 일 실시예에 따른 배관연결용 풀림방지 클램프(1)는, 상부클램핑바디(10)의 상부클램핑후크(11)에 결합되는 클램핑볼트가압부재(40)에 의해 클램핑볼트(20)의 상측면이 가압되면서 클램핑볼트(20)의 풀림이 방지됨에 따라 진공펌프의 가동으로 인한 진동 발생에도 불구하고 플랜지(5)에 대한 가압고정력이 유지되고 이로 인해 공정가스 배관라인의 기밀한 진공상태가 유지될 수 있게 된다.Therefore, the anti-loosening clamp (1) for piping connection according to the disclosed embodiment is configured to secure the top of the clamping bolt (20) by the clamping bolt pressing member (40) coupled to the upper clamping hook (11) of the upper clamping body (10). As the side is pressurized and loosening of the clamping bolt (20) is prevented, the pressurized fixing force to the flange (5) is maintained despite vibration caused by the operation of the vacuum pump, thereby maintaining an airtight vacuum state in the process gas piping line. It becomes possible.
또한 개시된 일 실시예에 따른 배관연결용 풀림방지 클램프(1)의 경우에는, 전술한 클램핑볼트가압부재(40)에 의한 클램핑볼트(20)의 가압 구성 이외에 클램핑볼트(20)의 볼트머리와 상부클램핑바디(10) 사이에 풀림방지와셔(50)가 추가적으로 개재됨에 따라 클램핑볼트(20)의 풀림으로 인해 공정가스 배관라인의 진공상태가 해제되는 현상이 미연에 방지될 수 있게 된다.In addition, in the case of the anti-loosening clamp (1) for piping connection according to the disclosed embodiment, in addition to the pressing configuration of the clamping bolt (20) by the clamping bolt pressing member (40) described above, the bolt head and upper part of the clamping bolt (20) As the
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였지만, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 하고, 본 발명의 범위는 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.Although preferred embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, the embodiments described in this specification and the configuration shown in the drawings are only one of the most preferred embodiments of the present invention and do not represent the entire technical idea of the present invention. Since this is not the case, it should be understood that there may be various equivalents and modifications that can replace them at the time of filing this application. Therefore, the embodiments described above should be understood in all respects as illustrative and not restrictive, and the scope of the present invention is indicated by the claims described later rather than the detailed description, and the meaning and scope of the claims and their All changes or modified forms derived from the equivalent concept should be construed as falling within the scope of the present invention.
1 : 배관연결용 풀림방지 클램프
3 : 배관
5 : 플랜지
7 : 패킹링
10 : 상부클램핑바디
11 : 상부클램핑후크
13 : 가이드돌기
20 : 클램핑볼트
21 : 수나사산
23 : 수직선형그루브
30 : 하부클램핑바디
31 : 암나사공
33 : 하부클램핑후크
35 : 가이드단턱
40 : 클램핑볼트가압부재
41 : 가압볼
43 : 코일스프링
50 : 풀림방지와셔1: Anti-loosening clamp for piping connection
3: Plumbing
5: Flange
7: Packing ring
10: Upper clamping body
11: Upper clamping hook
13: Guide projection
20: Clamping bolt
21: Male thread
23: vertical linear groove
30: Lower clamping body
31: Female thread hole
33: Lower clamping hook
35: Guide step
40: Clamping bolt pressing member
41: Pressure ball
43: coil spring
50: Anti-loosening washer
Claims (4)
내측 상단에는 상부클램핑후크가 구비되고 외측 하단에는 가이드돌기가 돌출형성되는 상부클램핑바디;
상측은 상기 상부클램핑바디를 수직으로 관통하여 회전가능하게 결합되고 하측은 상기 상부클램핑바디의 하부로 돌출되며 하측 외주면에는 수나사산이 형성되는 클램핑볼트;
상기 클램핑볼트의 하측에 나사결합되어 상기 클램핑볼트의 회전에 따라 상하이동되며 내측 하단에는 하부클램핑후크가 구비되고 외측 상단에는 상기 가이드돌기가 삽입되는 가이드단턱이 함입형성되는 하부클램핑바디;
상기 상부클램핑바디의 상부클램핑후크에 결합되어 상기 클램핑볼트의 상측면을 가압하는 클램핑볼트가압부재; 및
상기 클램핑볼트에 관통결합되어 상기 클램핑볼트의 볼트머리와 상기 상부클램핑바디 사이에 개재되는 풀림방지와셔를 포함하며,
상기 클램핑볼트의 상측 둘레에는 상기 클램핑볼트가압부재의 단부가 삽입되는 수직선형그루브가 연속형성되고,
상기 클램핑볼트가압부재는 상기 상부클램핑바디의 상부클램핑후크에 나사결합되는 무두볼트형 볼플런저로 형성되며, 무두볼트 형태의 하우징의 단부에 가압볼이 돌출되되, 상기 하우징 내에 구비되는 코일스프링에 의해 탄성지지되는 것을 특징으로 하는 배관연결용 풀림방지 클램프.In the pipe connection clamp that pressurizes and secures corresponding flanges when connecting pipes with flanges,
An upper clamping body provided with an upper clamping hook at the inner upper end and a guide protrusion protruding at the outer lower end;
A clamping bolt whose upper side is rotatably coupled to penetrate vertically through the upper clamping body and whose lower side protrudes toward the lower part of the upper clamping body and has a male thread formed on the lower outer peripheral surface;
A lower clamping body that is screwed to the lower side of the clamping bolt and moves up and down according to the rotation of the clamping bolt, and is provided with a lower clamping hook at the inner lower end and a guide step into which the guide protrusion is inserted is formed at the outer upper end.
A clamping bolt pressing member coupled to the upper clamping hook of the upper clamping body and pressing the upper side of the clamping bolt; and
It includes an anti-loosening washer that is coupled through the clamping bolt and is interposed between the bolt head of the clamping bolt and the upper clamping body,
A vertical linear groove into which the end of the clamping bolt pressing member is inserted is continuously formed on the upper circumference of the clamping bolt,
The clamping bolt pressing member is formed of a headless bolt-type ball plunger screwed to the upper clamping hook of the upper clamping body, and a pressure ball protrudes from the end of the headless bolt-shaped housing, by a coil spring provided in the housing. An anti-loosening clamp for piping connection, characterized by elastic support.
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2021
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