KR20140033877A - Locking apparatus - Google Patents

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KR20140033877A
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Abstract

The present invention relates to a linking apparatus for linking multiple pipes with each other, wherein the linking apparatus comprises: a body for surrounding a linking part of the pipes from the outsides of the pipes; a hole formed through the body outward from an inner wall of the body; and a sensing member installed to face the hole and responding to oil leaking from the pipes. Therefore, according to the embodiments of the present invention, reaction gas leaking from the pipe linking part can be easily sensed. The gas leakage is sensed in advance, so that the cause of the gas leakage can be recognized and the initial coping with the gas leakage is possible. For example, when the level of the pipe linking part is not maintained, or the pipe is aged, that is, when errors occur in equipment, the error of equipment is found in the initial stage, so that the equipment is repaired in advance, thereby improving efficiency of the device and productivity.

Description

체결 장치{Locking apparatus}[0001]

본 발명은 체결 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 유체가 통과하는 복수의 배관 연결부로부터 유체가 누설되는 것을 감지하기 위한 체결 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a fastening device, and more particularly, to a fastening device for detecting leakage of fluid from a plurality of pipe connection parts through which fluid passes.

일반적으로, 반도체 소자 제조 공정에서는 산화성, 인화성 및 유독성 등의 성질을 보유한 다양한 종류의 반응 가스를 공정 챔버 내부로 공급하여 기판 상에 박막을 형성하는 박막 공정, 기판 상에 형성된 박막을 식각하는 식각 공정을 통해 제조된다. Generally, in a semiconductor device manufacturing process, a thin film process for forming a thin film on a substrate by supplying various kinds of reaction gases having properties such as oxidizing property, flammability and toxicity to a process chamber, an etching process for etching a thin film formed on the substrate ≪ / RTI >

이때, 박막 형성 또는 식각을 위한 공정 가스가 이송되는 배관은 연결부가 없는 하나의 배관으로 연결하는 것이 누설 방치 측면에서 바람직하다. 그러나 이는 현실적으로 불가능하며, 실제로는 복수개의 배관을 서로 연결하여 사용하게 된다. 복수개의 배관을 서로 연결하기 위해 연결부에 클램프와 같은 체결 장치를 이용하여 고정한다. At this time, it is preferable that the piping to which the process gas for forming the thin film or the etching is transferred is connected by one pipe without a connection portion in terms of leakage. However, this is practically impossible, and actually, a plurality of pipes are connected to each other. To connect a plurality of pipelines to each other, a fastening device such as a clamp is used to fix the connection parts.

그러나 클램프를 이용하여 고정한 후에도 배관 연결부의 수평이 맞지 않거나 배관의 노화, 혹은 체결 장치의 노화로 인해 연결부가 완전히 밀폐되지 않아 공정 가스가 외부로 누출되는 문제점이 있었다. 이러한 공정 가스는 유독성의 가스로 미량이 누설되더라도 작업자에게 치명적인 상해를 입힐 수 있으며 환경오염을 유발한다. However, even after fixing using the clamp, the connection part is not completely closed due to the horizontal alignment of the pipe connection part, the aging of the pipe, or the aging of the fastening device, and the process gas leaks to the outside. These process gases are poisonous gases that can cause fatal injuries to workers and cause environmental pollution.

한편, 한국공개특허 제2004-0013409호에는 2개의 배관이 이어진 이음 부위를 한쪽이 힌지 결합된 제 1, 제 2 체결 장치 몸체로 감싼 후 제 1, 제 2 체결 장치 몸체의 고정부에 양쪽에 나사산이 형성되고 각 나사산에 나비 너트를 나사 체결하여 양쪽에서 나비 너트를 조임으로써 제 1, 제 2 체결 장치를 견고하게 체결하고, 이로써, 2개의 배관의 이음 부위에 원하지 않는 유독 가스의 누설이 발생하지 않도록 하는 체결 장치가 개시되어 있다. In Korean Patent Laid-Open Publication No. 2004-0013409, after a joint part where two pipes are connected is wrapped around a hinge-coupled first and second fastening bodies, the fastening parts of the first and second fastening bodies are screwed And the first and second fastening devices are firmly fastened by tightening the butterfly nuts on both sides by screwing the butterfly nuts into the respective threads so that leakage of toxic gas is not generated in the joints of the two pipes Of the fastening device.

한국공개특허 제2004-0013409호Korean Patent Publication No. 2004-0013409

본 발명은 유체의 누설을 감지하는 감지부를 포함하는 체결 장치를 제공한다.The present invention provides a fastening device including a sensing portion for sensing leakage of fluid.

본 발명은 복수의 배관을 상호 체결하는 체결 장치로서, 상기 복수의 배관 외측에서 복수의 배관 사이의 연결부를 감싸도록 설치된 몸체; 상기 몸체의 내벽에서 외측으로 관통하도록 형성된 홀; 상기 홀과 대향하도록 설치되며, 상기 복수의 배관으로부터 누설되는 유체에 의해 반응하는 감지 부재를 포함한다.According to the present invention, there is provided a fastening device for fastening a plurality of pipes to each other, the pipe fastening device comprising: a body installed to surround a connection portion between a plurality of pipes outside the plurality of pipes; A hole formed to penetrate outwardly from the inner wall of the body; And a sensing member provided to face the hole and reacting by the fluid leaking from the plurality of pipes.

상기 몸체는 상기 배관의 형상과 대응하는 중공형의 형상으로 형성된다.The body is formed in a hollow shape corresponding to the shape of the pipe.

상기 몸체는 상기 복수의 배관 사이의 연결부를 일부 둘러싸도록 설치된다.The body is installed so as to partially surround the connection portion between the plurality of pipes.

상기 몸체는 그 단면의 형상이 한글 자음의 'ㄷ'자 형상으로 형성된다.The shape of the cross section of the body is formed in a 'C' shape of a Korean consonant.

상기 홀은 복수개로 형성된다.The holes are formed in a plurality of holes.

상기 홀은 상기 복수의 배관이 연장되는 방향과 교차되는 방향으로 형성된다.The holes are formed in a direction intersecting with a direction in which the plurality of pipes extend.

상기 몸체의 외측에서 내측으로 오목하게 형성되는 삽입홈을 포함하고, 상기 삽입홈은 상기 홀과 대응하도록 위치한다.And an insertion groove formed concavely inward from the outside of the body, and the insertion groove is positioned to correspond to the hole.

상기 삽입홈은 상기 감지 부재를 지지하는 지지 부재가 설치된다.The insertion groove is provided with a supporting member for supporting the sensing member.

상기 홀에 대향하는 위치에서 상기 삽입홈의 개구를 덮도록 설치되는 투명 부재를 포함한다.And a transparent member disposed to cover the opening of the insertion groove at a position opposite to the hole.

상기 감지 부재는 상기 삽입홈에 삽입되어 상기 투명 부재와 상기 홀 사이에 설치된다.The sensing member is inserted into the insertion groove and is installed between the transparent member and the hole.

상기 투명 부재를 감싸도록 형성되는 단턱부를 포함한다.And a stepped portion formed to surround the transparent member.

상기 감지 부재는 유체에 반응하는 수용성 잉크 라벨지로 이루어진다.The sensing member is made of a water-soluble ink label paper that reacts with the fluid.

본 발명의 실시예에 따른 체결 장치는 배관 연결부에서 유체가 누출되는 것을 용이하게 감지할 수 있다. 유체가 누출되는 것을 감지함으로써 원인을 파악하여 초기에 대처할 수 있게 된다. 예를 들면, 복수의 배관 사이의 연결부의 수평이 맞지 않거나, 배관이 노화됐을 경우와 같이 장비에 이상이 있을 경우 초기에 발견하여 유지보수가 가능하고, 이로 인해 장치의 효율성이 향상됨은 물론 생산성이 향상될 수 있다. The fastening device according to the embodiment of the present invention can easily detect that the fluid leaks from the pipe connection portion. By detecting fluid leaks, it is possible to identify the cause and cope with it early on. For example, if there is an abnormality in the equipment, such as when the connection between the plurality of pipes is not leveled or when the pipe is aged, it is possible to detect and maintain the equipment at an early stage, Can be improved.

도 1은 일반적인 반도체 제조 장치를 도시한 단면도
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 체결 장치가 배관에 결합되어 있는 상태를 도시한 사시도
도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 체결 장치를 도시한 사시도
도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 체결 장치가 배관에 결합되어 있는 상태를 도시한 단면도
도 5는 도 4에 도시된 A부분을 확대하여 제 1 실시예의 변형예에 따른 체결장치를 도시한 단면도
도 6은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 체결 장치를 도시한 사시도1 is a cross-sectional view showing a general semiconductor manufacturing apparatus
2 is a perspective view showing a state in which the fastening device according to the first embodiment of the present invention is coupled to a pipe;
3 is a perspective view illustrating a fastening apparatus according to the first embodiment of the present invention.
4 is a sectional view showing a state in which the fastening device according to the first embodiment of the present invention is coupled to a pipe;
5 is a cross-sectional view of a fastening device according to a modification of the first embodiment,
6 is a perspective view illustrating a fastening apparatus according to a second embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 더욱 상세히 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. It will be apparent to those skilled in the art that the present invention may be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, It is provided to let you know. Wherein like reference numerals refer to like elements throughout.

도 1은 일반적인 반도체 제조 장치를 도시한 단면도이다. 1 is a sectional view showing a general semiconductor manufacturing apparatus.

도 1을 참조하면, 일반적인 반도체 제조 장치는 기판(S)의 처리 공간을 제공하는 챔버(100)와, 챔버(100) 내부에서 승하강 및 회전가능하게 설치되며, 기판(S)이 안착되는 서셉터(300)와, 서셉터(300)를 지지하는 구동축(310)과, 서셉터(300)의 상측에 배치되어 챔버(100) 내에 공정에 요구되는 공정 가스를 공급하는 가스 공급 유닛(200)과, 기판(S) 처리 공간의 공정 가스 및 부산물을 배출하기 위한 배기 장치(400)를 포함한다. Referring to FIG. 1, a general semiconductor manufacturing apparatus includes a chamber 100 for providing a processing space for a substrate S, a substrate 100 for mounting and lowering the substrate S, A susceptor 300, a driving shaft 310 supporting the susceptor 300, a gas supply unit 200 disposed above the susceptor 300 and supplying a process gas required for the process in the chamber 100, And an exhaust device 400 for exhausting the process gas and by-products in the substrate S processing space.

챔버(100)는 기판의 처리 공정을 위해 내부 공간을 가지는 사각 박스 형상 또는 블럭 형상으로 이루어진다. 하지만, 챔버(100)의 형상은 이에 한정되지 않고 기판의 처리 공간을 가지는 다양한 형상으로 변형시킬 수 있다. 또한, 도시되지는 않았지만, 챔버(100)의 일측에는 기판(S)이 출입하는 출입구인 기판 출입구(미도시)가 마련된다. The chamber 100 is formed in a rectangular box shape or a block shape having an inner space for a substrate processing process. However, the shape of the chamber 100 is not limited thereto, but can be modified into various shapes having a processing space of the substrate. Although not shown, a substrate entrance (not shown) is provided at one side of the chamber 100, which is an entrance through which the substrate S enters and exits.

서셉터(300)는 챔버(100)의 내부 공간에서 기판(S)이 안착될 수 있도록 평판 형상으로 형성되며, 서셉터(300)의 상부면에는 기판(S)이 안착되는 안착면이 복수로 형성되어 있다. 서셉터(300)는 구동축(310)에 결합되어, 승하강 및 회전 가능하도록 설치된다.The susceptor 300 is formed in a flat plate shape so that the substrate S can be seated in the inner space of the chamber 100. The susceptor 300 has a plurality of seating surfaces on which the substrate S is seated, Respectively. The susceptor 300 is coupled to the drive shaft 310, and is installed to be able to move up and down and rotate.

가스 공급 유닛(200)은 서셉터(300)의 상측에 배치되며 복수의 배관(211, 212)으로 이루어져 챔버(100) 내에 공정 가스를 공급하는 가스 공급관(210)과, 상기 가스 공급관(210)의 끝단에서 연장되어 가스를 챔버(100) 내부에 분사하는 가스 분사부(220) 및 복수의 배관(211, 212) 사이의 연결부(213)를 감싸도록 설치되어 가스 누출을 감지하는 체결 장치(500)를 포함한다. 가스 공급관(210)은 일단이 공정에 요구되는 공정 가스가 저장된 가스 저장부(미도시)와 연결되며, 가스 저장부(미도시)에서 제공된 가스는 가스 공급관(210) 내로 이동하며 가스 분사부(220)를 통해 챔버(100) 내부로 분사된다. 여기서 공정 가스는 기판(S)을 처리하는 다양한 종류의 가스, 예컨대, 박막 증착용 가스, 식각(etching) 가스 등을 포함한다. The gas supply unit 200 includes a gas supply pipe 210 disposed on the upper side of the susceptor 300 and composed of a plurality of pipes 211 and 212 to supply a process gas into the chamber 100, A gas injector 220 for injecting gas into the chamber 100 and a connection unit 213 for connecting the plurality of pipes 211 and 212 to detect a gas leakage ). The gas supply pipe 210 is connected to a gas storage unit (not shown), which temporarily stores the process gas required for the process. The gas supplied from the gas storage unit (not shown) moves into the gas supply pipe 210, 220 to the inside of the chamber 100. Here, the process gas includes various kinds of gases for processing the substrate S, for example, thin film deposition gas, etching gas, and the like.

상기에서는 가스 공급관(210)이 2개의 배관(211, 212)으로 연결된 것으로 설명하였으나 이에 한정되지 않고, 2개 이상의 배관으로 연결될 수 있다.In the above description, the gas supply pipe 210 is connected to the two pipes 211 and 212. However, the gas supply pipe 210 may be connected to two or more pipes.

배기 장치(400)는 챔버(100)의 바닥면에 연결되며, 복수의 배관(411, 412)으로 이루어져 기판(S) 처리 공간의 공정 가스 및 부산물을 챔버(100) 외부로 배출하는 배기관(410)과, 배기관(410)의 일단에 연결되어 흡입력을 발생시키는 펌프(420) 및 복수의 배관(411, 412) 사이의 연결부(413)를 감싸도록 설치되어 가스 누출을 감지하는 체결 장치(500)를 포함한다. 상기에서는 배기관(410)이 챔버(100)의 하부에 마련되어 하부 배기 구조로 이루어지는 것을 설명하였으나 이에 한정되지 않고 챔버(100)의 측벽에 배기관(410)이 구비될 수도 있다. The exhaust device 400 is connected to the bottom surface of the chamber 100 and includes a plurality of pipes 411 and 412 to exhaust the process gas and byproducts from the chamber S to the outside of the chamber 100 A pump 420 connected to one end of the exhaust pipe 410 to generate a suction force and a coupling device 500 installed to surround the connection portion 413 between the plurality of pipes 411 and 412 to sense gas leakage, . The exhaust pipe 410 is provided in the lower part of the chamber 100 to have a lower exhaust structure. However, the present invention is not limited to this, and the exhaust pipe 410 may be provided on the side wall of the chamber 100.

또한, 상기에서는 배기관(410)이 2개의 배관(411, 412)으로 연결된 것으로 설명하였으나 이에 한정되지 않고, 2개 이상의 배관으로 연결될 수 있다.In the above description, the exhaust pipe 410 is connected to the two pipes 411 and 412. However, the present invention is not limited to this, and may be connected by two or more pipes.

하기에서는 복수의 배관(211, 212)으로 연결된 가스 공급관(210) 사이에 설치된 체결 장치(500)를 설명하기로 한다. The fastening device 500 installed between the gas supply pipes 210 connected by the plurality of pipes 211 and 212 will be described.

도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 체결 장치가 배관에 결합되어 있는 상태를 도시한 사시도이다. 도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 체결 장치를 도시한 사시도이다. 도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 체결 장치가 배관에 결합되어 있는 상태를 도시한 단면도이다.2 is a perspective view showing a state in which the fastening device according to the first embodiment of the present invention is coupled to a pipe. 3 is a perspective view illustrating a fastening apparatus according to a first embodiment of the present invention. 4 is a cross-sectional view illustrating a fastening device according to a first embodiment of the present invention coupled to a pipe.

도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 체결 장치(500)는 제 1 몸체(510)와, 상기 제 1 몸체(510)와 대칭되도록 형성되는 제 2 몸체(520)와, 제 1 몸체(510)의 일측과 제 2 몸체(520)의 일측을 결합하는 결합 부재(530)와, 결합 부재(530)의 맞은 편에서 제 1 몸체(510)와 제 2 몸체(520)를 조여주는 조임 부재(540)와, 결합 부재(530)의 양측 및 조임 부재(540)의 일측을 지지 고정하는 고정핀(550)과, 제 1 몸체(510) 및 제 2 몸체(520)에 마련되어 가스 누출을 감지하는 감지부(560)를 포함한다.2 to 4, the fastening apparatus 500 according to the first embodiment of the present invention includes a first body 510, a second body 520 formed to be symmetrical with respect to the first body 510, A coupling member 530 coupling one side of the first body 510 and one side of the second body 520 and a coupling member 530 coupling the first body 510 and the second body 520 A fixing pin 550 for supporting both sides of the coupling member 530 and one side of the tightening member 540 and a fixing pin 550 for fixing the first body 510 and the second body 520, And a sensing unit 560 provided in the sensing unit 560 for sensing gas leakage.

하기에서는 복수의 배관(211, 212)이 서로 연결되어 이어지는 부분을 연결부(213)라 정의한다. Hereinafter, a portion where the plurality of pipes 211 and 212 are connected to each other is defined as a connection portion 213.

제 1 몸체(510) 및 제 2 몸체(520)는 복수의 배관(211, 212) 외주면과 대응할 수 있도록 각각 반원형으로 제작되며, 제 1 몸체(510)와 제 2 몸체(520)는 원형으로 결합될 수 있도록 서로 대칭을 이루어 복수의 배관(211, 212) 외측에서 복수의 배관(211, 212) 사이의 연결부(213)를 감싸도록 설치된다. 이때, 제 1 몸체(510) 및 제 2 몸체(520)가 환형으로 결합 시 만나게 되는 두 부분은 각각 조임 부재(540)와 결합 부재(530)에 의해 결합된다. 그리고 제 1 몸체(510) 및 제 2 몸체(520)의 내주면에는 복수의 배관(211, 212)의 연결 시 복수의 배관(211, 212) 사이의 연결부(213)에 상응할 수 있도록 홈이 형성된다. 또한, 제 1 몸체(510)와 제 2 몸체(520)는 제 1 몸체(510)와 제 2 몸체(520)의 내벽에서 외측으로 관통하도록 형성된 복수의 홀(521)과, 제 1 및 제 2 몸체(510, 520)의 외측에서 내측으로 오목하게 형성되는 삽입홈(522)을 포함한다.The first body 510 and the second body 520 are respectively formed in a semicircular shape so as to correspond to the outer circumferential surfaces of the plurality of pipes 211 and 212. The first body 510 and the second body 520 are circular- 212 are symmetrically arranged so as to surround the connection portion 213 between the plurality of pipes 211, 212 from the outside of the plurality of pipes 211, 212. At this time, the two parts that the first body 510 and the second body 520 meet when they are annularly coupled are coupled by the fastening member 540 and the engaging member 530, respectively. A groove is formed on the inner circumferential surface of the first body 510 and the second body 520 so as to correspond to the connection portion 213 between the plurality of pipes 211 and 212 when the plurality of pipes 211 and 212 are connected. do. The first body 510 and the second body 520 may have a plurality of holes 521 formed to penetrate outwardly from the inner walls of the first body 510 and the second body 520, And an insertion groove 522 which is recessed inward from the outside of the bodies 510 and 520.

홀(521)은 제 1 몸체(510) 및 제 2 몸체(520)의 내주면과 외주면을 관통하도록 구비되며, 복수의 배관(211, 212)이 연장되는 방향과 교차되는 방향으로 형성되어 복수의 배관(211, 212) 사이의 연결부(213)에서 가스가 누설되면, 가스가 누설되는 것을 감지할 수 있도록 외부로 방출하는 역할을 한다.The holes 521 are formed to penetrate the inner peripheral surface and the outer peripheral surface of the first body 510 and the second body 520 and are formed in a direction intersecting the direction in which the plurality of pipes 211 and 212 extend, When the gas is leaked from the connecting portion 213 between the first and second connecting portions 211 and 212, the gas discharges the gas to the outside so as to sense leakage.

삽입홈(522)은 제 1 및 제 2 몸체(510, 520)의 외측에서 내측으로 오목하게 형성되고, 상기 홀(521)과 대응하도록 위치한다. The insertion groove 522 is recessed inwardly from the outside of the first and second bodies 510 and 520 and is positioned to correspond to the hole 521.

결합 부재(530)는 제 1 몸체(510)와 제 2 몸체(520)를 결합하며, 이러한 결합 부재(530)에는 각각의 제 1 몸체(510) 및 제 2 몸체(520)를 관통하는 관통홀(미도시)에 상응하도록 홀(미도시)이 구비되어 있다. 이에, 제 1 몸체(510)의 일단에 형성된 관통홀(미도시)과 결합 부재(530)의 일측에 형성된 홀(미도시)을 일치시킨 후 고정핀(550b)을 삽입하여 결합하고, 상기와 마찬가지로, 제 2 몸체(520)의 일단에 형성된 관통홀(미도시)과 결합 부재(530)의 타측에 형성된 홀(미도시)을 일치시킨 후 고정핀(550c)을 삽입하여 결합한다.The coupling member 530 couples the first body 510 and the second body 520 to the coupling member 530. The coupling member 530 has through holes 530 passing through the first body 510 and the second body 520, (Not shown) so as to correspond to a hole (not shown). A through hole (not shown) formed at one end of the first body 510 and a hole (not shown) formed at one side of the coupling member 530 are aligned with each other and then a fixing pin 550b is inserted and coupled, Similarly, a through hole (not shown) formed at one end of the second body 520 is aligned with a hole (not shown) formed at the other side of the coupling member 530, and then a fixing pin 550c is inserted and coupled.

조임 부재(540)는 결합 부재(530)의 맞은 편에서 제 1 몸체(510)와 제 2 몸체(520)를 조여주는 역할을 하며, 이러한 조임 부재(540)는 별도의 공구를 사용하지 않고 수작업으로 용이하게 연결 부분의 길이를 조절할 수 있는 구조, 예컨대 볼트와 너트의 조합 등으로 형성될 수 있다. 이때, 볼트는 일단에 고정부가 마련되고, 그로부터 일방향으로 연장 형성되어 제 2 몸체(520)의 타단에 형성된 관통홀(미도시)로부터 삽입된 고정핀(550a)에 의해 고정된다. 또한, 너트는 작업자가 직접 풀고 조일 수 있는 육각형의 형상이다. 하지만, 너트의 형상은 이에 한정되지 않고 볼트를 조여 복수의 배관(211, 212)을 고정시킬 수 있는 다양한 형상의 너트를 사용할 수 있다. 또한, 상기에서는 조임 부재(540)를 제 2 몸체(520)에서 고정시키는 것을 설명하였다. 하지만, 이에 한정되지 않고 조임 부재(540)를 제 1 몸체(510)에서 고정시킬 수 있음은 물론이다.The tightening member 540 serves to tightly fasten the first body 510 and the second body 520 on opposite sides of the engaging member 530. The tightening member 540 can be manually operated For example, a combination of a bolt and a nut, and the like. At this time, the bolt has a fixing part at one end, and is fixed by the fixing pin 550a inserted from a through hole (not shown) formed at the other end of the second body 520 and extending from the bolt in one direction. In addition, the nut is a hexagonal shape that can be loosened and tightened by the operator. However, the shape of the nut is not limited to this, and it is possible to use a nut having various shapes to fix the plurality of pipes 211 and 212 by tightening the bolts. Also, in the above description, the fastening member 540 is fixed on the second body 520. However, it is needless to say that the fastening member 540 can be fixed to the first body 510.

감지부(560)는 제 1 몸체(510)의 외주면과 제 2 몸체(520)의 외주면에 마련되며, 각각의 감지부(560)는 서로 대향하도록 위치한다. 이러한 감지부(560)는 제 1 및 제 2 몸체(510, 520)에 마련된 삽입홈(522)의 개구를 덮도록 설치되는 투명 부재(561)와, 제 1 및 제 2 몸체(510, 520)의 삽입홈(522)에 삽입되는 감지 부재(562)를 포함한다. The sensing unit 560 is provided on the outer circumferential surface of the first body 510 and the outer circumferential surface of the second body 520, and the sensing units 560 are positioned to face each other. The sensing unit 560 includes a transparent member 561 disposed to cover the opening of the insertion groove 522 formed in the first and second bodies 510 and 520 and the first and second bodies 510 and 520, And a sensing member 562 which is inserted into the insertion groove 522 of the base plate 522.

투명 부재(561)는 제 1 몸체(510) 및 제 2 몸체(520)의 외주면에 마련된 삽입홈(522)의 개구를 덮도록 설치되며, 상기한 복수의 홀(521)에 대향하는 위치에 설치된다. 이러한 투명 부재(561)는 예컨대, 석영, 플라스틱과 같은 투명성의 재질로 이루어진다. The transparent member 561 is installed so as to cover the openings of the insertion holes 522 provided on the outer surfaces of the first body 510 and the second body 520 and is provided at a position opposed to the plurality of holes 521 do. The transparent member 561 is made of a transparent material such as quartz or plastic.

감지 부재(562)는 상기한 삽입홈(522) 바닥면에 삽입되어 투명 부재(561)와 홀(521) 사이에 설치되며 복수의 배관(211, 212) 사이의 연결부(213)로부터 가스가 누설되는지 여부를 확인하는 역할을 한다. 이러한 감지 부재(562)는 가스에 반응하는 수용성 잉크 라벨지, 예컨대, 리트머스 종이일 수 있다. 또한, 감지 부재(562)는 복수의 배관(211, 212) 사이의 연결부(213)와 대응되는 방향, 즉 상하 방향 및 복수의 배관(211, 212) 사이의 연결부(213)와 교차되는 방향으로 교체될 수 있다. The sensing member 562 is inserted between the transparent member 561 and the hole 521 and is inserted into the bottom surface of the insertion groove 522. The sensing member 562 is disposed between the transparent member 561 and the hole 521, And whether or not it is possible. This sensing member 562 may be a water-soluble ink labeling paper, such as litmus paper, that is responsive to a gas. The sensing member 562 is disposed in a direction corresponding to the connection portion 213 between the plurality of pipes 211 and 212 or in a direction intersecting the connection portion 213 between the plurality of pipes 211 and 212 Can be replaced.

만약 복수의 배관(211, 212) 사이의 연결부(213)에서 가스가 누설되면 감지 부재(562)가 번지게 되거나 색이 변하게 되며, 복수의 배관(211, 212) 사이의 연결부(213)에서 가스가 누설되지 않으면 감지 부재(562)는 아무런 변화가 없으므로 감지 부재(562)의 변화를 통해 복수의 배관(211, 212) 사이의 연결부(213)에서 가스가 누설하는지 여부를 확인할 수 있다. If the gas leaks from the connecting portion 213 between the plurality of piping 211 and 212, the sensing member 562 may be smeared or changed in color, and the connection portion 213 between the plurality of piping 211 and 212 may gas It is possible to confirm whether or not the gas leaks from the connection portion 213 between the plurality of pipes 211 and 212 through the change of the sensing member 562 because there is no change in the sensing member 562.

상기에서는 제 1 몸체(510) 및 제 2 몸체(520)에 감지부(560)가 마련되는 것을 설명하였다. 하지만, 이에 한정되지 않고 제 1 몸체(510) 및 제 2 몸체(520) 중 어느 하나에만 감지부(560)가 마련되어도 무방하다.In the above description, the sensing unit 560 is provided on the first body 510 and the second body 520. However, the present invention is not limited thereto, and the sensing unit 560 may be provided in only one of the first body 510 and the second body 520.

한편, 본 발명의 제 1실시예에 따른 체결 장치는 도 5에 도시된 바와 같이 형성될 수도 있다.The fastening device according to the first embodiment of the present invention may be formed as shown in FIG.

도 5는 도 4에 도시된 A부분을 확대하여 제 1 실시예의 변형예에 따른 체결장치를 도시한 단면도이다.Fig. 5 is a cross-sectional view showing a fastening device according to a modification of the first embodiment, in which the portion A shown in Fig. 4 is enlarged.

도 5의 (a)를 참조하면, 도 5의 (a)에 도시된 제 1실시예의 변형예에 따른 체결 장치(500a)는 도 2 내지 도 4에 도시된 체결 장치(500)와 유사한 구조를 가지나, 삽입홈(522)과 투명 부재(561) 사이에 감지 부재(562)를 지지하는 지지 부재(523)가 추가로 설치되어 홀(521)과 감지 부재(562)의 사이에 이격 공간이 형성될 수 있으며, 이로 인해, 감지 부재(562)가 삽입홈(522)의 바닥면에서 이격되도록 설치되어 유체를 감지할 수 있는 영역이 넓어질 수 있다.5A, a fastening device 500a according to a modification of the first embodiment shown in FIG. 5A has a structure similar to the fastening device 500 shown in FIGS. 2 to 4 A supporting member 523 for supporting the sensing member 562 is additionally provided between the insertion groove 522 and the transparent member 561 so that a spacing space is formed between the hole 521 and the sensing member 562 Whereby the sensing member 562 can be spaced apart from the bottom surface of the insertion groove 522 to widen the sensing area of the fluid.

도 5의 (b)를 참조하면, 도 5의 (b)에 도시된 제 1실시예의 변형예에 따른 체결 장치(500b)는 도 2 내지 도 4에 도시된 체결 장치(500)와 유사한 구조를 가지나, 투명 부재(561)의 외주면을 감싸도록 단턱부(524)가 형성되어 투명 부재(561)와 감지 부재(562)가 분리되는 것을 보호할 수 있다.5 (b), a fastening device 500b according to a modification of the first embodiment shown in FIG. 5 (b) has a structure similar to the fastening device 500 shown in FIGS. 2 to 4 A step portion 524 may be formed to surround the outer circumferential surface of the transparent member 561 to protect the transparent member 561 and the sensing member 562 from being separated from each other.

상기에서는 도 5의 (a)에서 지지 부재(563)가 추가로 설치되고, 도 5의 (b)에서 단턱부(564)가 추가로 형성되는 것을 설명하였다. 하지만, 이에 한정되지 않고 지지 부재(563)와 단턱부(564)가 동시에 추가될 수 있음은 물론이다. In the above description, the support member 563 is additionally provided in FIG. 5A and the step 564 is additionally formed in FIG. 5B. Needless to say, however, the support member 563 and the step 564 can be added at the same time.

도 6은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 체결 장치를 도시한 사시도이다.6 is a perspective view illustrating a fastening apparatus according to a second embodiment of the present invention.

도 6을 참조하면, 제 2 실시예에 따른 체결 장치(500')는 제 1 몸체(510')와, 상기 제 1 몸체(510')의 하부에 연결되는 제 2 몸체(520')와, 제 1 몸체(510')의 상부에서 제 1 몸체(510')와 제 2 몸체(520')를 조여주는 조임 부재(540')와, 제 1 몸체(510')의 외주면에 마련되어 가스 누출을 감지하는 감지부(560')를 포함한다. Referring to FIG. 6, the fastening apparatus 500 'according to the second embodiment includes a first body 510', a second body 520 'connected to a lower portion of the first body 510' A tightening member 540 'for tightening the first body 510' and the second body 520 'at the upper portion of the first body 510' and a gasket 540 'provided at the outer peripheral surface of the first body 510' And a sensing unit 560 '

제 1 몸체(510')는 그 단면의 형상이 한글 자음의 'ㄱ'자에 대칭되는 형상이며, 제 2 몸체(520')는 제 1 몸체(510')의 하부에 연결되어 조임 부재(540')와 함께 복수의 배관(211, 212)을 조여주는 역할을 한다. 상기 제 1 몸체(510') 및 제 2 몸체(520')가 서로 결합되었을 때는 복수의 배관(211, 212)이 삽입될 수 있도록 전면에 홈을 가진 형상으로, 복수의 배관(211, 212) 외측에서 복수의 배관(211, 212) 사이의 연결부(213)를 감싸도록 설치된다. 제 1 몸체(510') 및 제 2 몸체(520')가 완전히 결합하게 되면 예컨대, 그 단면의 형상이 한글 자음의 'ㄷ'자 형상이며, 조임 부재(540')가 결합될 수 있도록 내부공간을 가진다. 또한, 제 1 몸체(510')는 제 1 몸체(510')를 내벽에서 외측으로 관통하는 복수의 홀(511')과, 제 1 몸체(510')의 외측에서 내측으로 오목하게 형성되는 삽입홈(512')을 포함한다. The second body 520 'is connected to the lower portion of the first body 510' and is connected to the fastening member 540 '. The first body 510' has a shape in cross section symmetrical to the ' 'Together with a plurality of pipes 211 and 212. When the first body 510 'and the second body 520' are coupled to each other, a plurality of pipes 211 and 212 are formed in a shape having a groove on the front so that a plurality of pipes 211 and 212 can be inserted. And a connection portion 213 between the plurality of pipes 211 and 212 from the outside. When the first body 510 'and the second body 520' are completely engaged, for example, the cross-sectional shape of the first body 510 'and the second body 520' is a 'C' shape of a Korean consonant, and the fastening member 540 ' . The first body 510 'includes a plurality of holes 511' extending outwardly from the inner wall of the first body 510 'and a plurality of holes 511' extending inwardly from the outer side of the first body 510 ' Groove 512 '.

홀(511')은 제 1 몸체(510')의 내주면과 외주면을 관통하도록 구비되며, 복수의 배관(211, 212)이 연장되는 방향과 교차되는 방향으로 형성되어 복수의 배관(211, 212) 사이의 연결부(213)에서 가스가 누설되면, 가스가 누설되는 것을 감지할 수 있도록 외부로 방출하는 역할을 한다.The holes 511 'are provided so as to pass through the inner peripheral surface and the outer peripheral surface of the first body 510' and are formed in a direction intersecting the extending direction of the plurality of pipes 211 and 212, When the gas is leaked from the connecting portion 213 between the first and second electrodes 213 and 214, the gas can be leaked to the outside.

삽입홈(512')은 제 1 몸체(510')의 외측에서 내측으로 오목하게 형성되고, 상기 홀(511')과 대응하도록 위치한다. The insertion groove 512 'is recessed inwardly from the outside of the first body 510', and is positioned to correspond to the hole 511 '.

조임 부재(540')는 제 1 몸체(510')의 상부에 위치하며, 제 1 몸체(510')를 관통하여 제 2 몸체(520')를 조여주는 역할을 한다. 이러한 조임 부재(540')는 별도의 공구를 사용하지 않고 수작업으로 용이하게 연결 부분의 길이를 조절할 수 있는 구조, 예컨대 볼트와 너트의 조합 등으로 형성할 수 있다. 이때, 볼트는 일단에 고정부가 마련되고, 그로부터 일 방향으로 연장 형성되어 제 2 몸체(520')에 의해 고정된다. 또한, 너트는 작업자가 직접 풀고 조일 수 있는 육각형의 형상이다. 하지만, 너트의 형상은 이에 한정되지 않고 원기둥을 조여 복수의 배관(211, 212)을 고정시킬 수 있는 다양한 형상의 너트를 사용할 수 있다.The tightening member 540 'is located on the upper portion of the first body 510' and serves to tighten the second body 520 'through the first body 510'. The fastening member 540 'can be formed by a structure that can easily adjust the length of the connecting portion by hand without using a separate tool, for example, a combination of a bolt and a nut. At this time, the bolt is provided with a fixing part at one end, extended from the bolt in one direction, and fixed by the second body 520 '. In addition, the nut is a hexagonal shape that can be loosened and tightened by the operator. However, the shape of the nut is not limited to this, and a nut having various shapes capable of fixing a plurality of pipes 211 and 212 by tightening a cylinder can be used.

감지부(560')는 제 1 몸체(510')의 외주면에 마련되며, 이러한 감지부(560')는 삽입홈(563')에 마련된 복수의 홀(562')을 외측에서 감싸도록 설치되는 투명 부재(561') 및 삽입홈(563')과 투명 부재(561') 사이에 삽입되어 가스가 누설되는 것을 확인하는 감지 부재(562')를 포함한다. The sensing part 560 'is provided on the outer peripheral surface of the first body 510' and the sensing part 560 'is installed to surround the plurality of holes 562' provided in the insertion groove 563 'from the outside And a sensing member 562 'inserted between the transparent member 561' and the insertion groove 563 'and the transparent member 561' to confirm gas leakage.

투명 부재(561')는 제 1 몸체(510') 외주면에 마련된 삽입홈(512')의 개구를 덮도록 설치되며, 상기한 복수의 홀(511')에 대향하는 위치에 설치된다. 이러한 투명 부재(561')는 예컨대, 석영, 플라스틱과 같은 투명성의 재질로 이루어진다. The transparent member 561 'is installed so as to cover the opening of the insertion groove 512' provided on the outer peripheral surface of the first body 510 'and is provided at a position facing the plurality of holes 511'. The transparent member 561 'is made of a transparent material such as quartz or plastic.

감지 부재(562')는 상기한 삽입홈(512')의 바닥면에 삽입되어 투명 부재(561')와 홀(511') 사이에 설치되며 복수의 배관(211, 212) 사이의 연결부(213)로부터 가스가 누설되는지 여부를 확인하는 역할을 한다. 이러한 감지 부재(562')는 가스에 반응하는 수용성 잉크 라벨지, 예컨대, 리트머스 종이일 수 있다. 또한, 감지 부재(562')는 복수의 배관(211, 212) 사이의 연결부(213)와 대응되는 방향, 즉 상하 방향 및 복수의 배관(211, 212) 사이의 연결부(213)와 교차되는 방향으로 교체될 수 있다. The sensing member 562 'is inserted into the bottom surface of the insertion groove 512' and is disposed between the transparent member 561 'and the hole 511' and has a connection portion 213 between the plurality of pipes 211 and 212 (Not shown). This sensing member 562 'may be an aqueous ink labeling paper, such as litmus paper, that is responsive to gas. In addition, the sensing member 562 'is disposed in a direction corresponding to the connection portion 213 between the plurality of pipes 211 and 212, that is, a direction crossing the connection portion 213 between the plurality of pipes 211 and 212 . ≪ / RTI >

만약 복수의 배관(211, 212) 사이의 연결부(213)에서 가스가 누설되면 감지 부재(562')가 번지게 되거나 색이 변하게 되며, 복수의 배관(211, 212) 사이의 연결부(213)에서 가스가 누설되지 않으면 감지 부재(562')는 아무런 변화가 없으므로 감지 부재(562')의 변화를 통해 복수의 배관(211, 212) 사이의 연결부(213)에서 가스가 누설하는지 여부를 확인할 수 있다. If the gas leaks from the connection portion 213 between the plurality of pipes 211 and 212, the sensing member 562 'may be smeared or changed in color, and the connection portion 213 between the plurality of pipes 211 and 212 If the gas is not leaked, there is no change in the sensing member 562 ', so that it is possible to check whether or not the gas leaks from the connecting portion 213 between the plurality of pipes 211 and 212 through the change of the sensing member 562' .

한편, 전술한 변형예에 따른 체결 장치(500a, 500b)는 제 2 실시예에서도 적용될 수 있다.On the other hand, the fastening devices 500a and 500b according to the modified example described above can also be applied to the second embodiment.

이와 같이, 본 발명에서는 감지부(560, 560')를 포함하는 체결 장치(500')를 복수의 배관(211, 212) 사이의 연결부(213)에 설치함으로써, 복수의 배관(211, 212) 사이의 연결부(213)에서 가스가 누출되는 것을 용이하게 감지할 수 있다. 가스가 누출되는 것을 감지함으로써 원인을 파악하여 초기에 대처할 수 있게 된다. 예를 들면, 복수의 배관(211, 212) 사이의 연결부(213)의 수평이 맞지 않거나, 복수의 배관(211, 212)이 노화되었을 경우와 같이 장비에 이상이 있을 경우 초기에 발견하여 유지보수가 가능하고, 이로 인해 장치의 효율성이 향상됨은 물론 생산성이 향상될 수 있다. As described above, in the present invention, the fastening device 500 'including the sensing portions 560 and 560' is provided in the connection portion 213 between the plurality of pipes 211 and 212, It is possible to easily detect that the gas leaks from the connecting portion 213 between the gasket and the gasket. By detecting gas leaks, it is possible to identify the cause and cope with it early on. For example, if there is an abnormality in the equipment such as a case where the connection portion 213 between the plurality of piping 211 and 212 is not leveled or a plurality of piping 211 and 212 are aged, Thereby improving the efficiency of the apparatus and improving the productivity.

상기에서는 본 발명의 실시예에 따른 체결 장치(500, 500')가 복수의 배관(211, 212)으로 이루어진 가스 공급관(210)의 연결부(213, 413)에 설치되어 가스가 누출되는 것을 감지하는 장치로 설명하였다. 하지만, 이에 한정되지 않고, 복수의 배관(411, 412)으로 이루어진 배기관(410) 및 가스가 이동할 수 있도록 복수개의 배관이 연결되는 각종 라인에 설치되어도 무방하다. 또한, 상기에서는 체결 장치(500, 500')를 가스가 누설되는 것을 감지하는 수단으로 설명하였으나, 이에 한정되지 않고 유체가 누설되는 것을 감지할 수 있다. The fastening devices 500 and 500 'according to the embodiment of the present invention are installed in the connection portions 213 and 413 of the gas supply pipe 210 including the plurality of pipes 211 and 212 to detect gas leakage Device. However, the present invention is not limited to this, and the exhaust pipe 410 formed of the plurality of pipes 411 and 412 and the various lines in which a plurality of pipes are connected to allow the gas to move may be provided. In the above description, the fastening devices 500 and 500 'have been described as means for detecting leakage of the gas. However, the present invention is not limited to this, and it is possible to detect leakage of the fluid.

또한, 상기에서는 체결 장치(500, 500')의 몸체가 복수개로 이루어진 것으로 설명하였으나, 이에 한정되지 않고 단일체로 이루어질 수 있음은 물론이다.In the above description, the fastening devices 500 and 500 'have a plurality of bodies. However, it is needless to say that the fastening devices 500 and 500' may be made of a single body.

본 발명을 첨부 도면과 전술된 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였으나, 본 발명은 그에 한정되지 않으며, 후술되는 특허청구범위에 의해 한정된다. 따라서, 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 후술되는 특허청구범위의 기술적 사상에서 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 변형 및 수정할 수 있다.Although the present invention has been described with reference to the accompanying drawings and the preferred embodiments described above, the present invention is not limited thereto but is limited by the following claims. Accordingly, those skilled in the art will appreciate that various modifications and changes may be made thereto without departing from the spirit of the following claims.

510: 제 1 몸체 520: 제 2 몸체
530: 결합 부재 540: 조임 부재
550: 고정핀 560: 감지부510: first body 520: second body
530: coupling member 540: fastening member
550: fixing pin 560: sensing part

Claims (12)

복수의 배관을 상호 체결하는 체결 장치로서,
상기 복수의 배관 외측에서 복수의 배관 사이의 연결부를 감싸도록 설치된 몸체;
상기 몸체의 내벽에서 외측으로 관통하도록 형성된 홀;
상기 홀과 대향하도록 설치되며, 상기 복수의 배관으로부터 누설되는 유체에 의해 반응하는 감지 부재를 포함하는 체결 장치.A fastening device for fastening a plurality of pipes to each other,
A body installed to surround a connection portion between a plurality of pipes outside the plurality of pipes;
A hole formed to penetrate outwardly from the inner wall of the body;
And a sensing member installed to face the hole and reacting with a fluid leaking from the plurality of pipes. 청구항 1에 있어서,
상기 몸체는 상기 배관의 형상과 대응하는 중공형의 형상으로 형성되는 체결 장치.The method according to claim 1,
Wherein the body is formed in a hollow shape corresponding to the shape of the pipe. 청구항 1에 있어서,
상기 몸체는 상기 복수의 배관 사이의 연결부를 일부 둘러싸도록 설치되는 체결 장치.The method according to claim 1,
And the body is installed so as to partially surround the connection portion between the plurality of pipes. 청구항 3에 있어서,
상기 몸체는 그 단면의 형상이 한글 자음의 'ㄷ'자 형상으로 형성되는 체결 장치.The method according to claim 3,
Wherein a cross-sectional shape of the body is formed in a 'C' shape of a Korean consonant. 청구항 1에 있어서,
상기 홀은 복수개로 형성되는 체결 장치. The method according to claim 1,
And the holes are formed in a plurality of holes. 청구항 1 또는 청구항 5에 있어서,
상기 홀은 상기 복수의 배관이 연장되는 방향과 교차되는 방향으로 형성되는 체결 장치.The method according to claim 1 or 5,
Wherein the hole is formed in a direction intersecting with a direction in which the plurality of pipes extend. 청구항 1에 있어서,
상기 몸체의 외측에서 내측으로 오목하게 형성되는 삽입홈을 포함하고,
상기 삽입홈은 상기 홀과 대응하도록 위치하는 체결 장치.The method according to claim 1,
An insertion groove is formed to be concave inward from the outside of the body,
And the insertion groove is positioned to correspond to the hole. 청구항 7에 있어서,
상기 삽입홈은 상기 감지 부재를 지지하는 지지 부재가 설치되는 체결 장치.The method of claim 7,
Wherein the insertion groove is provided with a supporting member for supporting the sensing member. 청구항 7에 있어서,
상기 홀에 대향하는 위치에서 상기 삽입홈의 개구를 덮도록 설치되는 투명 부재를 포함하는 체결 장치.The method of claim 7,
And a transparent member installed to cover the opening of the insertion groove at a position opposite to the hole. 청구항 9에 있어서,
상기 감지 부재는 상기 삽입홈에 삽입되어 상기 투명 부재와 상기 홀 사이에 설치되는 체결 장치.The method of claim 9,
The sensing member is inserted into the insertion groove is installed between the transparent member and the hole. 청구항 9에 있어서,
상기 투명 부재를 감싸도록 형성되는 단턱부를 포함하는 체결 장치.The method of claim 9,
And a stepped portion formed to surround the transparent member. 청구항 1 또는 청구항 10에 있어서,
상기 감지 부재는 유체에 반응하는 수용성 잉크 라벨지로 이루어진 체결 장치.The method according to claim 1 or 10,
Wherein the sensing member comprises a water-soluble ink label paper responsive to the fluid.
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