KR102032088B1 - Adaptor for connecting pipes - Google Patents

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KR102032088B1 KR1020190018742A KR20190018742A KR102032088B1 KR 102032088 B1 KR102032088 B1 KR 102032088B1 KR 1020190018742 A KR1020190018742 A KR 1020190018742A KR 20190018742 A KR20190018742 A KR 20190018742A KR 102032088 B1 KR102032088 B1 KR 102032088B1
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    • F16L41/14—Joining pipes to walls or pipes, the joined pipe axis being perpendicular to the plane of the wall or to the axis of another pipe by screwing an intermediate part against the inside or outside of the wall

Abstract

The present invention relates to a connector for an exhaust system, which is possible to simply and rigidly construct a branching pipe branching from a main duct applied to an exhaust system of semiconductor and LCD manufacturing devices. The connector for an exhaust system includes an inner coupling member, a washer member and a fixing nut member.

Description

반도체 및 엘씨디 제조장비의 배기시스템용 연결구{Adaptor for connecting pipes}Connector for exhaust system of semiconductor and LCD manufacturing equipment {Adaptor for connecting pipes}

본 발명은 배기시스템용 연결구에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 및 엘씨디 제조장비의 배기시스템에 적용되는 배기덕트를 용이하게 시공할 수 있는 배기시스템용 연결구에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an exhaust system connector, and more particularly, to an exhaust system connector capable of easily constructing an exhaust duct applied to an exhaust system of semiconductor and LCD manufacturing equipment.

일반적으로, 반도체 및 엘씨디 제조공정에서 다양한 종류의 반응가스가 사용된다. 이러한 반응가스는 산화성분, 인화성분 및 유독성분을 포함하고 있다. 따라서 사용을 마친 폐가스를 그대로 대기중에 방출할 경우 인체에 유해할 뿐만 아니라 환경 오염의 원인이 된다.Generally, various kinds of reaction gases are used in semiconductor and LCD manufacturing processes. This reaction gas contains an oxidizing component, a ignition component and a toxic component. Therefore, if used waste gas is released into the atmosphere as it is, it is not only harmful to the human body, but also causes environmental pollution.

이에 따라, 폐가스의 유해성분함량을 허용농도 이하로 낮추는 정화처리과정을 거쳐 대기중으로 배출시키게 되며, 이를 위해 폐가스를 배기시키는 반도체 및 엘씨디 제조장비의 배기라인에는 폐가스의 유독성분을 제거하기 위한 가스 스크러버가 설치된다. 이러한 가스 스크러버는 가스유입관이 배기라인에 연결되어 폐가스를 공급받은 후 여러 가지 방식에 의해 폐가스를 세정하게 된다.Accordingly, the exhaust gas is discharged to the atmosphere through a purification process for lowering the harmful component content of the waste gas below the allowable concentration. For this purpose, a gas scrubber for removing toxic components of the waste gas is disposed in the exhaust line of semiconductor and LCD manufacturing equipment which exhausts the waste gas. Is installed. The gas scrubber is used to clean the waste gas in various ways after the gas inlet pipe is connected to the exhaust line to receive the waste gas.

이 경우 상기 배기라인은 소정의 길이로 이루어진 배관용 파이프 복수 개를 연이어 설치하는 방식으로 구성된다. 파이프를 연결하기 위한 방법으로 보통 플랜지 형상의 연결구를 이용한 이음 방식을 사용하게 된다.In this case, the exhaust line is configured in such a way that a plurality of pipes having a predetermined length are installed in series. As a method for connecting pipes, a joint method using a flange-shaped connector is usually used.

한편, 폐가스의 처리효율을 향상시킬 수 있도록 메인덕트에 복수의 분기관을 설치 시공하는 경우가 있다. 이러한 '분기관 설치용 연결구'에 대하여 종래 대한민국 등록특허 제10-1575187호(공고일: 2015.12.08) 등으로 선 출원된 바 있다.On the other hand, a plurality of branch pipes may be installed in the main duct so as to improve the treatment efficiency of the waste gas. Such a 'connector for installing the branch pipe' has been previously filed in the Republic of Korea Patent No. 10-1575187 (Date: 2015.12.08) and the like.

구체적으로, 도 1을 참조하여 종래의 분기관 설치용 연결구(3)를 설치하는 과정에 대해 설명해보면, 먼저 FRP나 PVC 재질의 메인덕트(1)에 분기관 설치용 구멍(1a)을 천공한다.Specifically, referring to FIG. 1, a process of installing a conventional branch pipe installation connector 3 will be described. First, the branch pipe installation hole 1a is drilled into the main duct 1 of FRP or PVC material.

그런 다음, 상기 구멍(1a)에 연결구(3)의 플랜지부(3a)를 맞댄 상태에서 비스(vis)(5)를 플랜지부(3a)에 체결해주는 방식으로 연결구(3)를 메인덕트(1)의 외주면에 고정해준다.Then, the connector 3 is connected to the main duct 1 by fastening the vis 5 to the flange portion 3a in a state where the flange portion 3a of the connector 3 is brought into contact with the hole 1a. ) To the outer circumferential surface.

그런 후, 메인덕트(1)에 고정된 연결구(3)의 사이 틈새를 통해 가스가 누출되는 것을 방지할 수 있도록 레진(7)을 부착 시공해주면 분기관 설치용 연결구(3)의 설치가 완료된다.Then, when the resin (7) is attached to the construction to prevent the leakage of gas through the gap between the connector (3) fixed to the main duct (1) installation of the branch pipe installation connector (3) is completed.

그러나 종래와 같은 분기관 설치용 연결구(3)는, 수작업을 통해 메인덕트(1)의 외주면에 복수의 비스(5)를 직결 시공하는 구조임에 따라 견고한 고정이 이루어지기 어렵다. 특히 메인덕트(1) 내부의 가스가 체결된 비스(5)의 틈새를 통해 누출될 수 있으며, 이로 인해 메인덕트(1)와 연결구(3)의 연결부위가 부식될 수 있다.However, as the conventional branch pipe installation connector 3 is a structure in which a plurality of screws 5 are directly connected to the outer circumferential surface of the main duct 1 through manual labor, it is difficult to achieve a firm fixing. In particular, the gas inside the main duct 1 may leak through the gap between the fastened bis 5, which may corrode the connection portion between the main duct 1 and the connector 3.

또한 메인덕트(1)의 외주면과 연결구(3)의 접합부위에 평탄도가 맞지 않은 경우 가스 누출이 발생할 수 있는 우려가 있다.In addition, there is a fear that gas leakage may occur when the flatness of the outer circumferential surface of the main duct 1 and the junction of the connector 3 do not match.

또한 상기와 같은 종래의 연결구(3)는 복수의 비스(5)를 체결한 후 레진(7)을 부착 시공하는 과정을 거쳐야 하므로 작업시간이 많이 소요된다. 특히 레진(7) 시공 시 오염(냄새 등)이 발생하게 됨에 따라 작업 환경이 좋지 않은 문제점이 있다.In addition, the conventional connector 3 as described above requires a lot of work time since the process of attaching the resin 7 after fastening the plurality of bis (5). In particular, when the resin (7) construction is contaminated (smell, etc.), there is a problem that the working environment is not good.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, 반도체 및 엘씨디 제조장비의 배기시스템에 적용되는 메인덕트로부터 분기되는 분기관을 간단하면서 견고하게 시공할 수 있는 배기시스템용 연결구를 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide a connector for an exhaust system that can easily and robustly construct a branch pipe branched from a main duct applied to an exhaust system of a semiconductor and an LCD manufacturing apparatus. have.

상술한 바와 같은 목적을 구현하기 위한 본 발명의 배기시스템용 연결구는, 메인덕트에 분기관을 설치하기 위한 배기시스템용 연결구에 있어서, 상기 메인덕트의 외주면에 형성된 설치공의 내측에서 외측으로 삽입 결합되는 중공 형상의 내부결합부재; 상기 설치공의 외측으로 노출된 상기 내부결합부재의 외주면에 끼움 결합되는 와셔부재; 및 상기 내부결합부재의 외주면에 나사 결합되어 상기 와셔부재를 메인덕트의 외주면 측으로 가압 고정해주는 고정너트부재;를 포함한다.Exhaust system connector of the present invention for realizing the object as described above, in the exhaust system connector for installing the branch pipe in the main duct, the insertion coupling from the inner side to the outside of the installation hole formed on the outer peripheral surface of the main duct An inner coupling member having a hollow shape; A washer member fitted to an outer circumferential surface of the inner coupling member exposed to the outside of the installation hole; And a fixing nut member which is screwed to the outer circumferential surface of the inner coupling member to press-fix the washer member to the outer circumferential surface of the main duct.

이상과 같은 구성의 본 발명에 따른 연결구는, 메인덕트의 설치공 내에 끼움 결합되는 내부결합부재에 와셔부재 및 고정너트부재를 매개로 체결하는 방식을 통해 고정됨으로써, 종래와 같이 별도의 체결부재(vis)를 체결하거나 용접 등의 방법을 통해 고정하는 방식에 비해 간단하면서도 견고하게 고정해줄 수 있으며, 이에 따라 작업 공정 및 시간을 줄일 수 있다.The connector according to the present invention of the configuration as described above, is fixed by the method of fastening the washer member and the fixing nut member to the inner coupling member to be fitted in the installation hole of the main duct, a separate fastening member ( vis) can be fixed simply and firmly compared to the method of fastening or welding, thus reducing the work process and time.

또한 연결구를 구성하는 요소 간에 가스켓이나 오링 등을 이용한 다중 실링구조를 적용해줌으로써 가스의 누출을 방지할 수 있다.In addition, it is possible to prevent the leakage of gas by applying a multi-sealing structure using a gasket or O-ring between the elements constituting the connector.

도 1은 종래의 분기관 설치용 연결구의 설치상태를 보여주는 측단면도,
도 2는 도 1의 평면도,
도 3은 본 발명에 따른 배기시스템용 연결구의 사시도,
도 4는 본 발명에 따른 배기시스템용 연결구의 결합구조를 보여주는 측단면도,
도 5는 본 발명에 다른 배기시스템용 연결구의 분해사시도,
도 6은 본 발명에 따른 아답터의 측단면도,
도 7은 본 발명에 따른 연결구에 밀폐용 마개가 결합된 상태의 측단면도,
도 8a 내지 도 8e는 본 발명에 따른 연결구의 설치과정을 보여주는 도면,
도 9의 (a) 내지 (c)는 본 발명에 따른 다양한 분기관에 연결되는 아답터의 다른 실시예이다.Figure 1 is a side cross-sectional view showing the installation state of a conventional branch pipe installation connector,
2 is a plan view of FIG.
3 is a perspective view of a connector for an exhaust system according to the present invention;
Figure 4 is a side cross-sectional view showing a coupling structure of the connector for the exhaust system according to the present invention,
5 is an exploded perspective view of a connector for an exhaust system according to the present invention;
6 is a side cross-sectional view of the adapter according to the present invention;
Figure 7 is a side cross-sectional view of the sealing plug is coupled to the connector according to the invention,
8a to 8e is a view showing the installation process of the connector according to the invention,
9 (a) to 9 (c) show another embodiment of an adapter connected to various branch pipes according to the present invention.

이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예에 대한 구성 및 작용을 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail the configuration and operation of the specific embodiment of the present invention.

여기서, 각 도면의 구성요소들에 대해 참조부호를 부가함에 있어서 동일한 구성요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호로 표기되었음에 유의하여야 한다.Here, it should be noted that in adding reference numerals to the elements of each drawing, the same elements are denoted by the same reference numerals as much as possible even if they are shown on different drawings.

도 3은 본 발명에 따른 배기시스템용 연결구의 사시도이고, 도 4는 본 발명에 따른 배기시스템용 연결구의 결합구조를 보여주는 측단면도이다.Figure 3 is a perspective view of the connector for the exhaust system according to the present invention, Figure 4 is a side cross-sectional view showing a coupling structure of the connector for the exhaust system according to the present invention.

도 3을 참조하면, 본 발명은 메인덕트(10)에 분기관(20)을 용이하게 설치할 수 있도록 한 것으로, 이러한 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 배기시스템용 연결구(100)는, 내부결합부재(110), 와셔부재(120), 고정너트부재(130)를 포함한다.3, the present invention is to facilitate the installation of the branch pipe 20 in the main duct 10, the connector 100 for the exhaust system according to a preferred embodiment of the present invention, the inner coupling The member 110, the washer member 120, and the fixing nut member 130 are included.

이러한 본 발명의 구성에 대해 구체적으로 설명하면 다음과 같다.Referring to the configuration of the present invention in detail as follows.

도 4를 참조하면, 내부결합부재(110)는 메인덕트(10)의 외주면에 천공된 설치공(11) 내에 설치되는 것으로, 구체적으로 내부결합부재(110)는 상기 설치공(11)의 내측에서 외측 방향으로 삽입되는 방식으로 결합된다. 이러한 내부결합부재(110)는 후술할 분기관 연결용 아답터(140)와 연통될 수 있도록 중공(中空) 형상으로 형성된다.Referring to FIG. 4, the inner coupling member 110 is installed in the installation hole 11 drilled on the outer circumferential surface of the main duct 10. Specifically, the inner coupling member 110 is located inside the installation hole 11. In a manner that is inserted in the outward direction. The inner coupling member 110 is formed in a hollow shape so as to be able to communicate with the adapter 140 for branch pipe connection to be described later.

이 경우 상기 내부결합부재(110)는, 설치공(11)을 통해 메인덕트(10)의 내주면에 걸림 고정되는 플랜지부(111)와, 상기 플랜지부(111)의 일면에 일체로 형성되며 후술할 고정너트부재(130)가 나사 결합될 수 있도록 적어도 설치공(11)의 외측으로 노출된 외주면에 제1나사산(113a)이 형성되는 결합부(113)를 포함한다.In this case, the inner coupling member 110 is integrally formed on one surface of the flange portion 111 and the flange portion 111 is fixed to the inner circumferential surface of the main duct 10 through the installation hole 11 and will be described later The fixing nut member 130 includes a coupling part 113 having a first screw thread 113a formed on at least an outer circumferential surface of the installation hole 11 so that the fixing nut member 130 can be screwed.

또한 상기 메인덕트(10)에 천공된 설치공(11)은 사각 형상으로 형성된다. 그리고 상기 플랜지부(111)는 사각 형상의 설치공(11) 내에 끼움 결합될 수 있도록 사각 형상의 단턱부(111a)가 대응되게 형성된다.In addition, the installation hole 11 drilled in the main duct 10 is formed in a square shape. In addition, the flange portion 111 is formed to correspond to the square stepped portion (111a) to be fitted in the square-shaped installation hole (11).

이러한 구조의 플랜지부(111)는 단턱부(111a)가 설치공(11) 내에 안착됨에 따라 고정너트부재(130)의 나사 결합 시 내부결합부재(110)의 회동을 방지해줄 수 있다.The flange portion 111 of this structure can prevent the rotation of the inner coupling member 110 when screwing the fixing nut member 130 as the stepped portion (111a) is seated in the installation hole (11).

이 경우 상기 내부결합부재(110)는 플랜지부(111)가 사각형상(도 5 참조)으로 형성됨에 따라 내부결합부재(110) 전체를 설치공(11)을 통해 메인덕트(10) 내부로 집어넣을 수 있다.In this case, the inner coupling member 110, as the flange portion 111 is formed in a rectangular shape (see Fig. 5) to pick up the entire inner coupling member 110 into the main duct 10 through the installation hole (11). I can put it.

즉 사각형상으로 형성된 설치공(11)은 네 변 각각의 길이보다 설치공(11)의 내부 대각선 길이가 더 길게 형성된다.That is, the mounting holes 11 formed in a quadrangular shape have an inner diagonal length longer than that of each of the four sides.

다시 말해 상기 플랜지부(111)의 폭 길이보다 설치공(11) 내부의 대각선 길이가 더 길다. 따라서, 내부결합부재(110)를 수직으로 세운 상태에서 설치공(11)의 내부 대각선 방향으로 내부결합부재(110)를 삽입하는 방식으로 상기 내부결합부재(110) 전체를 메인덕트(10) 내부에 집어넣을 수가 있다.In other words, the diagonal length inside the installation hole 11 is longer than the width of the flange portion 111. Therefore, the entire inner coupling member 110 inside the main duct 10 in such a manner that the inner coupling member 110 is inserted into the inner diagonal direction of the installation hole 11 while the inner coupling member 110 is upright. You can put it in

이에 따라 메인덕트(10) 내부로 집어넣은 상기 내부결합부재(110)의 결합부(113)를 설치공(11)의 내측에서 외측 방향을 향하도록 삽입 결합하는 것이 가능하다. 만약 상기 설치공(11)과 플랜지부(111)가 원형으로 형성된 경우라면 플랜지부(111)의 직경이 설치공(11) 보다 크게 형성됨에 따라 내부결합부재(110)를 설치공(11)의 내부로 집어넣는 것 자체가 불가능하다.Accordingly, the coupling portion 113 of the inner coupling member 110 inserted into the main duct 10 can be inserted into the mounting hole 11 so as to face outward. If the installation hole 11 and the flange portion 111 is formed in a circular shape, as the diameter of the flange portion 111 is formed larger than the installation hole 11, the inner coupling member 110 of the installation hole 11 It's impossible to put it inside.

한편, 상기 플랜지부(111)와 메인덕트(10)의 내주면 사이에는 가스켓(115)이 개재된다. 따라서 상기 플랜지부(111)와 메인덕트(10)의 결합 시 발생하는 사이 틈새를 막아 기밀을 유지해줄 수 있다.Meanwhile, a gasket 115 is interposed between the flange 111 and the inner circumferential surface of the main duct 10. Therefore, the gap between the flange portion 111 and the main duct 10 may be prevented to maintain the airtightness.

이 경우 본 발명에서는 메인덕트(10)가 원형 파이프 형상으로 형성됨에 따라 메인덕트(10)의 내주면과 맞닿게 되는 플랜지부(111)의 접합면이 라운드진 형상으로 형성된다.In this case, in the present invention, as the main duct 10 is formed in the shape of a circular pipe, the joining surface of the flange portion 111 which is in contact with the inner circumferential surface of the main duct 10 is formed in a rounded shape.

와셔부재(120)는 설치공(11)의 외측으로 노출된 내부결합부재(110)의 외주면에 끼움 결합된다. 이러한 와셔부재(120)는 메인덕트(10)의 외주면과 후술할 고정너트부재(130)의 사이에 개재되어 메인덕트(10)의 외주면에 가해지는 압력을 분산시켜준다. 이에 따라 고정너트부재(130)의 체결 시 메인덕트(10)의 표면을 보호해줌과 아울러, 상기 고정너트부재(130)가 풀리는 것을 방지해줄 수 있다.The washer member 120 is fitted to the outer circumferential surface of the inner coupling member 110 exposed to the outside of the installation hole (11). The washer member 120 is interposed between the outer circumferential surface of the main duct 10 and the fixing nut member 130 to be described later to distribute the pressure applied to the outer circumferential surface of the main duct 10. Accordingly, when the fixing nut member 130 is fastened, the surface of the main duct 10 may be protected, and the fixing nut member 130 may be prevented from loosening.

이 경우 상기 와셔부재(120)는 플랜지부(111)와 마찬가지로 원형 파이프 형상의 메인덕트(10) 외주면에 맞닿게 되는 접합면이 라운드진 형상으로 대응되게 형성된다.In this case, the washer member 120 is formed to correspond to the rounded shape of the joint surface which is in contact with the outer peripheral surface of the main duct 10 of the circular pipe shape, similar to the flange portion 111.

본 발명에서는 상기 메인덕트(10)의 단면이 원형인 경우의 일례를 들어 도시하고 설명하였으나 이에 한정되지 않으며, 만약 상기 메인덕트(10)의 단면이 사각형상일 경우 상기 메인덕트(10)의 내주면과 외주면에 맞닿게 되는 상기 플랜지부(111)와 와셔부재(120)의 접합면은 평탄면으로 대응되게 형성될 수 있다.In the present invention, the cross section of the main duct 10 is shown and described as an example of a circular shape, but the present invention is not limited thereto. If the cross section of the main duct 10 is a quadrangle, the inner circumferential surface of the main duct 10 The joint surface of the flange portion 111 and the washer member 120 in contact with the outer circumferential surface may be formed to correspond to the flat surface.

고정너트부재(130)는 내부결합부재(110)의 결합부(113) 외주면에 나사 결합되는 것으로, 상기 와셔부재(120)를 메인덕트(10)의 외주면 측으로 가압 고정해준다.The fixing nut member 130 is screwed to the outer circumferential surface of the coupling portion 113 of the inner coupling member 110, and fixes the washer member 120 to the outer circumferential surface side of the main duct 10.

도 5를 참조하면, 고정너트부재(130)의 내주면에는 결합부(113) 외주면의 제1나사산(113a)에 나사 결합될 수 있도록 암나사(131)가 형성된다.Referring to FIG. 5, a female screw 131 is formed on the inner circumferential surface of the fixing nut member 130 to be screwed to the first screw thread 113a of the outer circumferential surface of the coupling portion 113.

또한 고정너트부재(130)의 외주면에는 고정너트부재(130)의 체결 시 별도의 공구를 끼움 결합하여 회동 조작할 수 있도록 복수의 조작홈(133)이 일정각도 이격되게 형성된다.In addition, a plurality of operation grooves 133 are formed on the outer circumferential surface of the fixing nut member 130 so as to be spaced apart by a predetermined angle so that a separate tool can be fitted and rotated when the fixing nut member 130 is fastened.

이러한 구조의 고정너트부재(130)는 내부결합부재(110)에 나사 결합되는 방식을 통해 고정됨으로써, 종래와 같이 별도의 체결부재(vis)를 체결하거나 용접 등의 방법을 통해 고정하는 방식에 비해 간단하면서도 견고하게 고정해줄 수 있으며, 이에 따라 작업 공정 및 시간을 줄일 수 있다.The fixing nut member 130 of such a structure is fixed by a method of screwing to the inner coupling member 110, as compared to the method of fastening a separate fastening member (vis) or fixing by welding or the like as conventionally It can be fixed simply and securely, thus reducing work processes and time.

이와 같은 구조로 이루어진 연결구(100)는 내화학성을 가진 합성수지 또는 금속재질로 형성된다. 이에 따라 연결구(100)의 시공 후 장기간 동안 사용하더라도 연결부위가 부식되는 것을 방지할 수 있다.The connector 100 having such a structure is formed of a synthetic resin or metal material having chemical resistance. Accordingly, even if used for a long time after the construction of the connector 100 can be prevented from corroding the connection portion.

다시 도 4 및 도 6을 참조하면, 상기 내부결합부재(110)의 결합부(113) 내주면에는 분기관 연결용 아답터(140)가 결합된다. 이 경우 결합부(113)의 내주면에는 분기관 연결용 아답터(140)가 나사 결합될 수 있도록 제2나사산(113b)이 형성된다.4 and 6, the adapter 140 for branch connection is coupled to the inner circumferential surface of the coupling part 113 of the inner coupling member 110. In this case, a second screw thread 113b is formed on the inner circumferential surface of the coupling part 113 so that the adapter 140 for branch connection can be screwed together.

구체적으로, 분기관 연결용 아답터(140)의 외주면에는 결합부(113)의 제2나사산(113b)에 나사 결합될 수 있도록 나사산이 형성되는 제1지점(140a)과, 제1지점(140a)이 나사 결합됨과 아울러 상기 결합부(113)의 내주면 사이에 밀착 개재되는 오링(미도시)이 구비되는 제2지점(140b)(도 6 참조)을 포함한다. 이 경우 제2지점(140b)에는 오링 설치용 홈(미도시)이 구비될 수 있다.Specifically, the first point 140a and the first point 140a having a thread formed on the outer circumferential surface of the adapter 140 for connecting the branch pipe to be screwed to the second screw thread 113b of the coupling part 113. The screw is coupled to the second point 140b (see Fig. 6) is provided with an O-ring (not shown) in close contact between the inner peripheral surface of the coupling portion 113. In this case, the second branch 140b may be provided with an O-ring installation groove (not shown).

즉 상기 나사 결합되는 제1지점(140a)과 오링에 의해 밀착되는 제2지점(140b)을 통해 분기관 연결용 아답터(140)의 결합 시 이중 실링 구조를 구현할 수 있다. 이에 따라 상기 내부결합부재(110)에 결합되는 아답터(140)의 사이 틈새를 밀폐시켜줌으로써 가스가 누출되는 것을 방지할 수 있다.That is, the double sealing structure may be implemented when the adapter 140 for branch pipe connection is coupled through the first point 140a to be screwed and the second point 140b to be in close contact by the O-ring. Accordingly, by closing the gap between the adapter 140 coupled to the inner coupling member 110, it is possible to prevent the gas from leaking.

이와 같은 분기관 연결용 아답터(140)는 상기한 실시 예에 한정되는 것은 아니며, 상기 분기관 연결용 아답터(140)는 연결되는 분기관(20)의 종류에 따라 다양한 형상과 구조로 변경될 수 있다.The adapter 140 for connecting the branch pipes is not limited to the above-described embodiment, and the adapter 140 for connecting the branch pipes may be changed in various shapes and structures according to the type of the branch pipe 20 to be connected. have.

도 7을 참조하면, 내부결합부재(110)의 내주면에는 분기관 연결용 아답터(140) 및 분기관(20)의 미설치 시 내부결합부재(110)의 내주면에 나사 결합되어 개구를 막아주는 밀폐용 마개(150)가 구비될 수 있다.Referring to FIG. 7, the inner circumferential surface of the inner coupling member 110 is screwed to the inner circumferential surface of the inner coupling member 110 to prevent the opening when the adapter 140 and the branch pipe 20 are not installed. The stopper 150 may be provided.

그러면, 이상과 같은 구성의 본 발명에 따른 배기시스템용 연결구(100)의 설치과정에 대하여 도 8a 내지 도 8e를 참조하여 설명해 보기로 한다.Then, the installation process of the connector 100 for the exhaust system according to the present invention having the above configuration will be described with reference to FIGS. 8A to 8E.

먼저, 메인덕트(10)에 분기관 설치용 연결구(100)를 설치할 수 있도록 메인덕트(10)의 외주면에 사각형상의 설치공(11)을 천공한다(도 8a 참조).First, the rectangular installation hole 11 is drilled on the outer circumferential surface of the main duct 10 to install the branch pipe installation connector 100 in the main duct 10 (see FIG. 8A).

그리고 상기 천공된 설치공(11)을 통해 내부결합부재(110) 전체를 메인덕트(10) 내부로 집어넣은 후, 내부결합부재(110)의 결합부(113)를 설치공(11)의 내측에서 외측 방향으로 안착시키는 방식으로 가결합한다.Then, the entire inner coupling member 110 is inserted into the main duct 10 through the perforated mounting hole 11, and then the coupling portion 113 of the inner coupling member 110 is placed inside the installation hole 11. Proceed in such a way as to seat in the outward direction.

도 8b를 참조하면, 이 경우 상기 내부결합부재(110)는 플랜지부(111)가 메인덕트(10)의 내주면에 접합됨과 동시에 단턱부(111a)가 설치공(11) 내에 안착됨에 따라 내부결합부재(110)가 유동되는 것을 방지할 수 있다.Referring to FIG. 8B, in this case, the inner coupling member 110 is coupled to the inner portion as the flange portion 111 is joined to the inner circumferential surface of the main duct 10 and the stepped portion 111a is seated in the installation hole 11. It is possible to prevent the member 110 from flowing.

또한 메인덕트(10)의 내주면과 플랜지부(111)의 접촉면 사이에는 가스켓(115)이 개재된 상태이다.In addition, the gasket 115 is interposed between the inner circumferential surface of the main duct 10 and the contact surface of the flange portion 111.

그런 다음, 상기 설치공(11)을 통해 메인덕트(10)의 외부로 돌출된 내부결합부재(110)의 결합부(113) 외주면에 와셔부재(120)를 끼움 결합한다(도 8c 참조).Then, the washer member 120 is fitted to the outer circumferential surface of the coupling portion 113 of the inner coupling member 110 protruding to the outside of the main duct 10 through the installation hole 11 (see FIG. 8C).

그런 후, 상기 결합부(113)의 외주면에 고정너트부재(130)를 체결하여 와셔부재(120)를 메인덕트(10)의 외주면에 가압하는 방식으로 내부결합부재(110)의 위치를 고정한다(도 8d 참조).Then, the fixing nut member 130 is fastened to the outer circumferential surface of the coupling part 113 to fix the position of the inner coupling member 110 by pressing the washer member 120 to the outer circumferential surface of the main duct 10. (See FIG. 8D).

상기와 같은 과정을 통해 본 발명에 따른 연결구(100)의 설치가 완료되면, 분기관 연결용 아답터(140)를 내부결합부재(110)의 결합부(113) 내주면에 결합한 후(도 4 참조), 도 8e에서와 같이 상기 아답터(140)에 클램프(200)를 매개로 분기관(20)을 연결하는 방식으로 배관 시공하면, 본 발명에 따른 연결구(100)를 이용한 분기관(20)의 설치가 완료된다.When the installation of the connector 100 according to the present invention is completed through the above process, after coupling the adapter 140 for branch pipe connection to the inner peripheral surface of the coupling portion 113 of the inner coupling member 110 (see Fig. 4) , If the pipe construction by connecting the branch pipe 20 via the clamp 200 to the adapter 140 as shown in Figure 8e, the installation of the branch pipe 20 using the connector 100 according to the present invention Is completed.

이 경우 본 발명에서는 상기 아답터(140)와 분기관(20)을 연결 고정해주는 부자재로 클램프(200)를 사용한 경우의 일례를 들어 도시하고 설명하였으나, 이에 한정되지 않으며 다양한 구조로 변경 적용될 수 있음은 물론이다.In this case, the present invention has been illustrated and described as an example of the case where the clamp 200 is used as a subsidiary material for connecting and fixing the adapter 140 and the branch pipe 20, but the present invention is not limited thereto. Of course.

예컨대, 도 9의 (a) 내지 (c)에 도시된 바와 같이, 상기 연결구(100)에 다양한 구조의 분기관(20)을 설치할 수 있도록 상기 아답터(140)의 플랜지부에 복수의 볼트 체결공(141)이 이격되게 구비된 볼트 고정형이나, 소켓 결합형 등 다양한 연결 구조로 변경 적용할 수 있다.For example, as shown in (a) to (c) of FIG. 9, a plurality of bolt fastening holes in the flange portion of the adapter 140 to install the branch pipe 20 of various structures in the connector 100 141 may be applied to a variety of connection structures, such as a bolt fixed type or a socket coupling type provided spaced apart.

이상에서는 본 발명을 특정의 구체적인 실시 예를 들어 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시 예에 한정되지 않으며 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변경과 수정이 가능함은 물론이다.In the above, the present invention has been illustrated and described with reference to specific embodiments, but the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various changes and modifications may be made without departing from the technical spirit of the present invention.

10 : 메인덕트 11 : 설치공
20 : 분기관 100 : 연결구
110 : 내부결합부재 111 : 플랜지부
111a : 단턱부 113 : 결합부
113a : 제1나사산 113b : 제2나사산
115 : 가스켓 120 : 와셔부재
130 : 고정너트부재 131 : 암나사
133 : 조작홈 140 : 아답터
140a : 제1지점 140b : 제2지점
150 : 밀폐용 마개 200 : 클램프10: main duct 11: installation worker
20: branch pipe 100: connector
110: internal coupling member 111: flange portion
111a: stepped portion 113: coupling portion
113a: 1st screw thread 113b: 2nd screw mount
115: gasket 120: washer member
130: fixing nut member 131: female thread
133: operation groove 140: adapter
140a: first point 140b: second point
150: sealing stopper 200: clamp

Claims (9)

메인덕트(10)에 분기관(20)을 설치하기 위한 반도체 및 엘씨디 제조장비의 배기시스템용 연결구에 있어서,
상기 메인덕트(10)의 외주면에 형성된 사각 형상의 설치공(11) 내주면에 걸림 고정되도록 하측에 사각의 플랜지부(111)가 형성되고, 상기 플랜지부(111)의 상면 중심에는 사각의 단턱부(111a)가 형성되어 상기 단턱부(111a)의 외측둘레가 상기 설치공(11)의 내측둘레에 정합되며, 상기 단턱부(111a)의 중심에는 상기 설치공(11)의 외측으로 소정 높이 노출되도록 원통형의 결합부(113)가 돌출 형성되되 상기 결합부(113)의 외주면 전체와 내주면 하측 일부에는 각각 제1나사산(113a) 및 제2나사산(113b)이 형성되는 중공 형상의 내부결합부재(110);
상기 설치공(11)의 외측으로 노출된 상기 결합부(113)의 외주면으로 끼움 결합되되 상면은 평평하며, 저면은 상기 메인덕트(10)의 외주면에 접면하도록 만곡지게 형성되는 사각의 와셔부재(120); 및
내주면에 암나사(131)가 형성되어 상기 결합부(113)의 제1나사산(113a)에 나사 결합되면서 상기 와셔부재(120)를 메인덕트(10)의 외주면에 가압 고정해주며, 외축둘레에는 복수의 조작홈(133)이 구비된 고정너트부재(130);를 포함하며,
상기 메인덕트(10)의 설치공(11)으로 상기 내부결합부재(110)의 플랜지부(111)가 끼워진 상태에서 상기 플랜지부(111)와 상기 메인덕트(10)의 내주면 사이에 사각 고리 형상을 가지는 판형의 가스켓(115)이 설치되되,
상기 가스켓(115)의 상면과 저면 전체가 각각 상기 메인덕트(10)의 내주면과 상기 플랜지부(111)의 상면에 밀착 접면되도록 하고,
상기 연결구는 내화학성을 가진 합성수지 재질로 형성된 것인 배기시스템용 연결구.In the connector for the exhaust system of semiconductor and LCD manufacturing equipment for installing the branch pipe 20 to the main duct 10,
A rectangular flange portion 111 is formed on the lower side of the main duct 10 so as to be locked to the inner circumferential surface of the square installation hole 11 formed on the outer circumferential surface of the main duct 10. (111a) is formed so that the outer periphery of the stepped portion (111a) is matched to the inner periphery of the installation hole 11, the center of the stepped portion (111a) exposed a predetermined height to the outside of the installation hole (11) The hollow coupling portion 113 is formed to protrude so that the first screw thread 113a and the second screw thread 113b are formed on the entire outer circumferential surface and the lower portion of the inner circumferential surface of the coupling portion 113, respectively. 110);
Fit into the outer circumferential surface of the coupling portion 113 exposed to the outside of the installation hole 11, the top surface is flat, the bottom surface of the rectangular washer member is formed to be curved to contact the outer circumferential surface of the main duct 10 ( 120); And
A female screw 131 is formed on an inner circumferential surface thereof and is screwed to the first screw thread 113a of the coupling part 113 to press-fix the washer member 120 to the outer circumferential surface of the main duct 10. Includes; the fixing nut member 130 is provided with the operation groove 133 of,
Square ring shape between the flange portion 111 and the inner circumferential surface of the main duct 10 in a state in which the flange portion 111 of the inner coupling member 110 is fitted into the installation hole 11 of the main duct 10. Plate-shaped gasket 115 is installed,
The entire upper and lower surfaces of the gasket 115 are in close contact with the inner circumferential surface of the main duct 10 and the upper surface of the flange 111, respectively.
The connector is an exhaust system connector that is formed of a synthetic resin material with chemical resistance. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 결합부(113)의 제2나사산(113b)에 나사 결합되는 분기관 연결용 아답터(140);를 더 포함하는 것인 배기시스템용 연결구. The method of claim 1,
Exhaust system connector further comprises a; adapter for connecting the branch pipe screwed to the second screw thread (113b) of the coupling portion (113). 제3항에 있어서,
상기 분기관 연결용 아답터(140)의 외주면에는,
상기 결합부(113)의 제2나사산(113b)에 나사 결합되도록 나사산이 형성된 제1지점(140a);과,
상기 결합부(113)의 내주면 사이에 밀착 개재되도록 오링이 구비된 오링 설치용 홈을 포함하는 제2지점(140b);을 포함하여,
이중 실링 구조로 결합되는 것인 배기시스템용 연결구.The method of claim 3,
On the outer circumferential surface of the adapter 140 for connecting the branch pipe,
A first point 140a formed with a screw thread to be screwed to the second screw thread 113b of the coupling part 113;
And a second point 140b including an O-ring installation groove provided with an O-ring so as to be interposed between the inner circumferential surfaces of the coupling part 113.
A connector for an exhaust system, which is combined in a double sealing structure. 삭제delete 제3항에 있어서,
상기 분기관 연결용 아답터(140)과 분기관(20)은 클램프(200)를 매개로 서로 결합되는 것인 배기시스템용 연결구.The method of claim 3,
The connector for the exhaust pipe connection system 140 and the branch pipe 20 is coupled to each other via a clamp (200). 제3항에 있어서,
상기 분기관 연결용 아답터(140)의 플랜지부에는 볼트 체결공(141)이 이격되게 구비되어 분기관(20)과 볼트를 매개로 서로 결합되는 것인 배기시스템용 연결구.The method of claim 3,
The flange portion of the adapter for connecting the branch pipe 140 is provided with a bolt fastening hole (141) spaced apart is connected to each other via the branch pipe (20) and the bolt. 제3항에 있어서,
상기 분기관 연결용 아답터(140)과 분기관(20)은 소켓을 매개로 서로 결합되는 것인 배기시스템용 연결구.The method of claim 3,
The connector for the exhaust pipe connecting the adapter 140 and the branch pipe 20 is connected to each other via a socket. 제1항에 있어서,
상기 내부결합부재(110)의 내주면에는,
상기 분기관(20)의 미결합 시 내부결합부재(110)의 개구를 막아주는 밀폐용 마개(150);가 나사 결합되는 것을 더 포함하는 배기시스템용 연결구.
The method of claim 1,
On the inner circumferential surface of the inner coupling member 110,
Exhaust system stopper for blocking the opening of the inner coupling member (110) when the non-combination of the branch pipe (20); Exhaust system connector further comprising a screw coupling.
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