KR101952075B1 - Adaptor for connecting pipes - Google Patents

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KR101952075B1 KR1020180089706A KR20180089706A KR101952075B1 KR 101952075 B1 KR101952075 B1 KR 101952075B1 KR 1020180089706 A KR1020180089706 A KR 1020180089706A KR 20180089706 A KR20180089706 A KR 20180089706A KR 101952075 B1 KR101952075 B1 KR 101952075B1
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    • F16L41/14—Joining pipes to walls or pipes, the joined pipe axis being perpendicular to the plane of the wall or to the axis of another pipe by screwing an intermediate part against the inside or outside of the wall

Abstract

The present invention relates to an adaptor for a discharge system capable of simply and strongly installing a branch pipe branched from a main duct applied to semiconductor and LCD manufacturing equipment. According to the present invention, the adaptor comprises: an inner coupling member (110); a rectangular washer member (120) having a bottom surface coming in contact with a surface of the main duct (10) corresponding to the thickness of the main duct (10); and a fixing nut member (130) having a plurality of operation grooves (133) disposed on an outer circumference.

Description

반도체 및 엘씨디 제조장비의 배기시스템용 연결구{Adaptor for connecting pipes}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a connector for an exhaust system of a semiconductor and an LCD manufacturing apparatus,

본 발명은 배기시스템용 연결구에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 및 엘씨디 제조장비의 배기시스템에 적용되는 배기덕트를 용이하게 시공할 수 있는 배기시스템용 연결구에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a connector for an exhaust system, and more particularly, to a connector for an exhaust system that can easily mount an exhaust duct applied to an exhaust system of semiconductor and LCD manufacturing equipment.

일반적으로, 반도체 및 엘씨디 제조공정에서 다양한 종류의 반응가스가 사용된다. 이러한 반응가스는 산화성분, 인화성분 및 유독성분을 포함하고 있다. 따라서 사용을 마친 폐가스를 그대로 대기중에 방출할 경우 인체에 유해할 뿐만 아니라 환경 오염의 원인이 된다.Generally, various kinds of reaction gases are used in semiconductor and LCD manufacturing processes. This reaction gas contains an oxidizing component, a burning component and a toxic component. Therefore, when the used waste gas is directly discharged into the air, it is harmful to the human body and causes environmental pollution.

이에 따라, 폐가스의 유해성분함량을 허용농도 이하로 낮추는 정화처리과정을 거쳐 대기중으로 배출시키게 되며, 이를 위해 폐가스를 배기시키는 반도체 및 엘씨디 제조장비의 배기라인에는 폐가스의 유독성분을 제거하기 위한 가스 스크러버가 설치된다. 이러한 가스 스크러버는 가스유입관이 배기라인에 연결되어 폐가스를 공급받은 후 여러 가지 방식에 의해 폐가스를 세정하게 된다.The exhaust line of the semiconductor and LCD manufacturing equipment that exhausts the waste gas is provided with a gas scrubber for removing the toxic components of the used gas, Respectively. The gas scrubber is connected to the exhaust line of the gas inlet pipe to supply the waste gas, and then the waste gas is cleaned by various methods.

이 경우 상기 배기라인은 소정의 길이로 이루어진 배관용 파이프 복수 개를 연이어 설치하는 방식으로 구성된다. 파이프를 연결하기 위한 방법으로 보통 플랜지 형상의 연결구를 이용한 이음 방식을 사용하게 된다.In this case, the exhaust line is constructed in such a manner that a plurality of pipes for piping having a predetermined length are installed successively. As a method for connecting pipes, a joint method using a flange-shaped connector is generally used.

한편, 폐가스의 처리효율을 향상시킬 수 있도록 메인덕트에 복수의 분기관을 설치 시공하는 경우가 있다. 이러한 '분기관 설치용 연결구'에 대하여 종래 대한민국 등록특허 제10-1575187호(공고일: 2015.12.08) 등으로 선 출원된 바 있다.On the other hand, in order to improve the treatment efficiency of the waste gas, a plurality of branch pipes may be installed and installed in the main duct. Such a "branch connector attachment" has been previously filed in Korean Registered Patent No. 10-1575187 (public announcement date: 2015.12.08).

구체적으로, 도 1을 참조하여 종래의 분기관 설치용 연결구(3)를 설치하는 과정에 대해 설명해보면, 먼저 FRP나 PVC 재질의 메인덕트(1)에 분기관 설치용 구멍(1a)을 천공한다.Specifically, referring to FIG. 1, a conventional process for installing a branch pipe mounting connector 3 will be described. First, a branch pipe mounting hole 1a is formed in the main duct 1 made of FRP or PVC.

그런 다음, 상기 구멍(1a)에 연결구(3)의 플랜지부(3a)를 맞댄 상태에서 비스(vis)(5)를 플랜지부(3a)에 체결해주는 방식으로 연결구(3)를 메인덕트(1)의 외주면에 고정해준다.Then the connecting port 3 is connected to the main duct 1 in such a manner that the vis 5 is fastened to the flange portion 3a while the flange portion 3a of the connecting port 3 is in contact with the hole 1a. As shown in Fig.

그런 후, 메인덕트(1)에 고정된 연결구(3)의 사이 틈새를 통해 가스가 누출되는 것을 방지할 수 있도록 레진(7)을 부착 시공해주면 분기관 설치용 연결구(3)의 설치가 완료된다.Then, when the resin 7 is attached so as to prevent the gas from leaking through the gap between the connector 3 fixed to the main duct 1, the installation of the branch tube mounting connector 3 is completed.

그러나 종래와 같은 분기관 설치용 연결구(3)는, 수작업을 통해 메인덕트(1)의 외주면에 복수의 비스(5)를 직결 시공하는 구조임에 따라 견고한 고정이 이루어지기 어렵다. 특히 메인덕트(1) 내부의 가스가 체결된 비스(5)의 틈새를 통해 누출될 수 있으며, 이로 인해 메인덕트(1)와 연결구(3)의 연결부위가 부식될 수 있다.However, the conventional branch pipe mounting connector 3 has a structure in which a plurality of screws 5 are directly connected to the outer circumferential surface of the main duct 1 through manual operation, so that it is difficult to firmly fix the connector. The gas inside the main duct 1 may leak through the clearance of the fastened screw 5 so that the connecting portion between the main duct 1 and the connecting port 3 may be corroded.

또한 메인덕트(1)의 외주면과 연결구(3)의 접합부위에 평탄도가 맞지 않은 경우 가스 누출이 발생할 수 있는 우려가 있다.In addition, there is a possibility that gas leakage may occur when the flatness does not fit on the joint between the outer circumferential surface of the main duct 1 and the connection port 3. [

또한 상기와 같은 종래의 연결구(3)는 복수의 비스(5)를 체결한 후 레진(7)을 부착 시공하는 과정을 거쳐야 하므로 작업시간이 많이 소요된다. 특히 레진(7) 시공 시 오염(냄새 등)이 발생하게 됨에 따라 작업 환경이 좋지 않은 문제점이 있다.In addition, since the conventional connector 3 as described above requires a process of attaching the resin 7 after fastening a plurality of screws 5, it takes a long time to work. Particularly, there is a problem that the working environment is poor due to pollution (odor and the like) occurring when the resin 7 is applied.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, 반도체 및 엘씨디 제조장비의 배기시스템에 적용되는 메인덕트로부터 분기되는 분기관을 간단하면서 견고하게 시공할 수 있는 배기시스템용 연결구를 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide a connector for an exhaust system that can be simply and firmly installed on a branch pipe branched from a main duct applied to an exhaust system of semiconductor and LCD manufacturing equipment. have.

상술한 바와 같은 목적을 구현하기 위한 본 발명의 배기시스템용 연결구는, 메인덕트에 분기관을 설치하기 위한 배기시스템용 연결구에 있어서, 상기 메인덕트의 외주면에 형성된 설치공의 내측에서 외측으로 삽입 결합되는 중공 형상의 내부결합부재; 상기 설치공의 외측으로 노출된 상기 내부결합부재의 외주면에 끼움 결합되는 와셔부재; 및 상기 내부결합부재의 외주면에 나사 결합되어 상기 와셔부재를 메인덕트의 외주면 측으로 가압 고정해주는 고정너트부재;를 포함한다.The connector for an exhaust system according to the present invention for realizing the above object is a connector for an exhaust system for installing a branch pipe in a main duct, A hollow inner joining member; A washer member fitted to the outer circumferential surface of the inner engagement member exposed to the outside of the installation hole; And a fixing nut member screwed to the outer circumferential surface of the inner joint member to press-fix the washer member to the outer circumferential surface side of the main duct.

이상과 같은 구성의 본 발명에 따른 연결구는, 메인덕트의 설치공 내에 끼움 결합되는 내부결합부재에 와셔부재 및 고정너트부재를 매개로 체결하는 방식을 통해 고정됨으로써, 종래와 같이 별도의 체결부재(vis)를 체결하거나 용접 등의 방법을 통해 고정하는 방식에 비해 간단하면서도 견고하게 고정해줄 수 있으며, 이에 따라 작업 공정 및 시간을 줄일 수 있다.The connector according to the present invention having the above structure is fixed to the inner joint member fitted into the installation hole of the main duct through the washer member and the fixing nut member, vis can be fixed simply and firmly compared with a method of fastening or fixing by means of welding or the like, thereby reducing the work process and time.

또한 연결구를 구성하는 요소 간에 가스켓이나 오링 등을 이용한 다중 실링구조를 적용해줌으로써 가스의 누출을 방지할 수 있다.In addition, gas leakage can be prevented by applying a multi-sealing structure using gaskets or o-rings between the elements constituting the connector.

도 1은 종래의 분기관 설치용 연결구의 설치상태를 보여주는 측단면도,
도 2는 도 1의 평면도,
도 3은 본 발명에 따른 배기시스템용 연결구의 사시도,
도 4는 본 발명에 따른 배기시스템용 연결구의 결합구조를 보여주는 측단면도,
도 5는 본 발명에 다른 배기시스템용 연결구의 분해사시도,
도 6은 본 발명에 따른 아답터의 측단면도,
도 7은 본 발명에 따른 연결구에 밀폐용 마개가 결합된 상태의 측단면도,
도 8a 내지 도 8e는 본 발명에 따른 연결구의 설치과정을 보여주는 도면,
도 9의 (a) 내지 (c)는 본 발명에 따른 다양한 분기관에 연결되는 아답터의 다른 실시예이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a side cross-sectional view showing a state in which a conventional branch pipe mounting connector is installed,
Fig. 2 is a plan view of Fig. 1,
3 is a perspective view of a connector for an exhaust system according to the present invention,
4 is a side cross-sectional view showing a coupling structure of a connector for an exhaust system according to the present invention,
5 is an exploded perspective view of a connector for an exhaust system according to the present invention,
6 is a side cross-sectional view of an adapter according to the present invention,
7 is a side cross-sectional view of the connector according to the present invention in a state where a sealing cap is coupled to the connector,
8A to 8E are views showing a process of installing a connector according to the present invention;
9 (a) to 9 (c) show another embodiment of an adapter connected to various branches according to the present invention.

이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예에 대한 구성 및 작용을 상세히 설명하면 다음과 같다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will now be described more fully hereinafter with reference to the accompanying drawings, in which preferred embodiments of the invention are shown.

여기서, 각 도면의 구성요소들에 대해 참조부호를 부가함에 있어서 동일한 구성요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호로 표기되었음에 유의하여야 한다.In the drawings, the same reference numerals as in the drawings denote the same elements in the drawings, unless they are indicated on other drawings.

도 3은 본 발명에 따른 배기시스템용 연결구의 사시도이고, 도 4는 본 발명에 따른 배기시스템용 연결구의 결합구조를 보여주는 측단면도이다.FIG. 3 is a perspective view of a connector for an exhaust system according to the present invention, and FIG. 4 is a side sectional view showing a coupling structure of a connector for an exhaust system according to the present invention.

도 3을 참조하면, 본 발명은 메인덕트(10)에 분기관(20)을 용이하게 설치할 수 있도록 한 것으로, 이러한 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 배기시스템용 연결구(100)는, 내부결합부재(110), 와셔부재(120), 고정너트부재(130)를 포함한다.Referring to FIG. 3, the branch duct 20 can be easily installed on the main duct 10, and the connection port 100 for the exhaust system according to the preferred embodiment of the present invention is configured such that, Member 110, washer member 120, and fixing nut member 130.

이러한 본 발명의 구성에 대해 구체적으로 설명하면 다음과 같다.The configuration of the present invention will be described in detail as follows.

도 4를 참조하면, 내부결합부재(110)는 메인덕트(10)의 외주면에 천공된 설치공(11) 내에 설치되는 것으로, 구체적으로 내부결합부재(110)는 상기 설치공(11)의 내측에서 외측 방향으로 삽입되는 방식으로 결합된다. 이러한 내부결합부재(110)는 후술할 분기관 연결용 아답터(140)와 연통될 수 있도록 중공(中空) 형상으로 형성된다.4, the inner joining member 110 is installed in the installation hole 11 formed in the outer circumferential surface of the main duct 10, and specifically, the inner joining member 110 is disposed inside the installation hole 11 In the outward direction. The inner coupling member 110 is formed in a hollow shape so as to communicate with a branch pipe coupling adapter 140 to be described later.

이 경우 상기 내부결합부재(110)는, 설치공(11)을 통해 메인덕트(10)의 내주면에 걸림 고정되는 플랜지부(111)와, 상기 플랜지부(111)의 일면에 일체로 형성되며 후술할 고정너트부재(130)가 나사 결합될 수 있도록 적어도 설치공(11)의 외측으로 노출된 외주면에 제1나사산(113a)이 형성되는 결합부(113)를 포함한다.In this case, the inner coupling member 110 includes a flange portion 111 which is fixed to an inner circumferential surface of the main duct 10 through an installation hole 11, a flange portion 111 formed integrally on one surface of the flange portion 111, And a coupling portion 113 having a first thread 113a formed on an outer circumferential surface exposed to the outside of the mounting hole 11 so that the fixing nut member 130 can be screwed.

또한 상기 메인덕트(10)에 천공된 설치공(11)은 사각 형상으로 형성된다. 그리고 상기 플랜지부(111)는 사각 형상의 설치공(11) 내에 끼움 결합될 수 있도록 사각 형상의 단턱부(111a)가 대응되게 형성된다.Further, the installation hole (11) formed in the main duct (10) is formed in a rectangular shape. The flange portion 111 is formed to correspond to a rectangular step portion 111a so that the flange portion 111 can be fitted into the mounting hole 11 of a rectangular shape.

이러한 구조의 플랜지부(111)는 단턱부(111a)가 설치공(11) 내에 안착됨에 따라 고정너트부재(130)의 나사 결합 시 내부결합부재(110)의 회동을 방지해줄 수 있다.The flange portion 111 having such a structure can prevent the rotation of the inner coupling member 110 when the fixing nut member 130 is screwed together as the step portion 111a is seated in the installation hole 11. [

이 경우 상기 내부결합부재(110)는 플랜지부(111)가 사각형상(도 5 참조)으로 형성됨에 따라 내부결합부재(110) 전체를 설치공(11)을 통해 메인덕트(10) 내부로 집어넣을 수 있다.In this case, since the flange portion 111 of the inner joint member 110 is formed in a rectangular shape (see FIG. 5), the entire inner joint member 110 is put into the main duct 10 through the installation hole 11 Can be inserted.

즉 사각형상으로 형성된 설치공(11)은 네 변 각각의 길이보다 설치공(11)의 내부 대각선 길이가 더 길게 형성된다.That is, the installation holes 11 formed in a square shape are formed such that the installation diagonal length of the installation hole 11 is longer than the length of each of the four sides.

다시 말해 상기 플랜지부(111)의 폭 길이보다 설치공(11) 내부의 대각선 길이가 더 길다. 따라서, 내부결합부재(110)를 수직으로 세운 상태에서 설치공(11)의 내부 대각선 방향으로 내부결합부재(110)를 삽입하는 방식으로 상기 내부결합부재(110) 전체를 메인덕트(10) 내부에 집어넣을 수가 있다.In other words, the diagonal length of the inside of the installation hole 11 is longer than the width of the flange portion 111. The inner joint member 110 is inserted into the main duct 10 by inserting the inner joint member 110 in the inner diagonal direction of the installation hole 11 in a state where the inner joint member 110 is vertically erected, .

이에 따라 메인덕트(10) 내부로 집어넣은 상기 내부결합부재(110)의 결합부(113)를 설치공(11)의 내측에서 외측 방향을 향하도록 삽입 결합하는 것이 가능하다. 만약 상기 설치공(11)과 플랜지부(111)가 원형으로 형성된 경우라면 플랜지부(111)의 직경이 설치공(11) 보다 크게 형성됨에 따라 내부결합부재(110)를 설치공(11)의 내부로 집어넣는 것 자체가 불가능하다.It is possible to insert and engage the engaging portion 113 of the inner engaging member 110 inserted into the main duct 10 from the inside of the mounting hole 11 toward the outward direction. If the mounting hole 11 and the flange portion 111 are formed in a circular shape, the diameter of the flange portion 111 is formed to be larger than the mounting hole 11, It is impossible to put it inside.

한편, 상기 플랜지부(111)와 메인덕트(10)의 내주면 사이에는 가스켓(115)이 개재된다. 따라서 상기 플랜지부(111)와 메인덕트(10)의 결합 시 발생하는 사이 틈새를 막아 기밀을 유지해줄 수 있다.A gasket 115 is interposed between the flange 111 and the inner circumferential surface of the main duct 10. Therefore, the gap between the flange portion 111 and the main duct 10 can be blocked to maintain airtightness.

이 경우 본 발명에서는 메인덕트(10)가 원형 파이프 형상으로 형성됨에 따라 메인덕트(10)의 내주면과 맞닿게 되는 플랜지부(111)의 접합면이 라운드진 형상으로 형성된다.In this case, in the present invention, since the main duct 10 is formed in the shape of a circular pipe, the joint surface of the flange portion 111 to be brought into contact with the inner circumferential surface of the main duct 10 is rounded.

와셔부재(120)는 설치공(11)의 외측으로 노출된 내부결합부재(110)의 외주면에 끼움 결합된다. 이러한 와셔부재(120)는 메인덕트(10)의 외주면과 후술할 고정너트부재(130)의 사이에 개재되어 메인덕트(10)의 외주면에 가해지는 압력을 분산시켜준다. 이에 따라 고정너트부재(130)의 체결 시 메인덕트(10)의 표면을 보호해줌과 아울러, 상기 고정너트부재(130)가 풀리는 것을 방지해줄 수 있다.The washer member 120 is fitted to the outer circumferential surface of the inner joint member 110 exposed to the outside of the installation hole 11. The washer member 120 is interposed between the outer circumferential surface of the main duct 10 and the fixing nut member 130 to be described later to disperse the pressure applied to the outer circumferential surface of the main duct 10. [ Accordingly, it is possible to protect the surface of the main duct 10 when the fixing nut member 130 is fastened and prevent the fixing nut member 130 from being loosened.

이 경우 상기 와셔부재(120)는 플랜지부(111)와 마찬가지로 원형 파이프 형상의 메인덕트(10) 외주면에 맞닿게 되는 접합면이 라운드진 형상으로 대응되게 형성된다.In this case, like the flange portion 111, the washer member 120 is formed so that the abutment surfaces to be brought into contact with the outer circumferential surface of the circular duct-shaped main duct 10 are rounded.

본 발명에서는 상기 메인덕트(10)의 단면이 원형인 경우의 일례를 들어 도시하고 설명하였으나 이에 한정되지 않으며, 만약 상기 메인덕트(10)의 단면이 사각형상일 경우 상기 메인덕트(10)의 내주면과 외주면에 맞닿게 되는 상기 플랜지부(111)와 와셔부재(120)의 접합면은 평탄면으로 대응되게 형성될 수 있다.In the present invention, the main duct 10 has a circular cross-section, but the present invention is not limited thereto. If the main duct 10 has a rectangular cross-section, The joint surfaces of the flange portion 111 and the washer member 120 that come into contact with the outer circumferential surface may be formed to correspond to each other on a flat surface.

고정너트부재(130)는 내부결합부재(110)의 결합부(113) 외주면에 나사 결합되는 것으로, 상기 와셔부재(120)를 메인덕트(10)의 외주면 측으로 가압 고정해준다.The fixing nut member 130 is screwed to the outer circumferential surface of the engaging portion 113 of the inner engaging member 110 to press and fix the washer member 120 to the outer circumferential surface side of the main duct 10.

도 5를 참조하면, 고정너트부재(130)의 내주면에는 결합부(113) 외주면의 제1나사산(113a)에 나사 결합될 수 있도록 암나사(131)가 형성된다.5, a female screw 131 is formed on the inner circumferential surface of the fixing nut member 130 so as to be screwed to the first screw thread 113a on the outer circumferential surface of the engaging portion 113. As shown in FIG.

또한 고정너트부재(130)의 외주면에는 고정너트부재(130)의 체결 시 별도의 공구를 끼움 결합하여 회동 조작할 수 있도록 복수의 조작홈(133)이 일정각도 이격되게 형성된다.Further, a plurality of operating grooves 133 are formed on the outer circumferential surface of the fixing nut member 130 so as to be rotatable by engaging a separate tool when the fixing nut member 130 is fastened.

이러한 구조의 고정너트부재(130)는 내부결합부재(110)에 나사 결합되는 방식을 통해 고정됨으로써, 종래와 같이 별도의 체결부재(vis)를 체결하거나 용접 등의 방법을 통해 고정하는 방식에 비해 간단하면서도 견고하게 고정해줄 수 있으며, 이에 따라 작업 공정 및 시간을 줄일 수 있다.The fixing nut member 130 having such a structure is fixed to the inner coupling member 110 through a method of screwing the same so that the fixing nut member 130 is fixed to the inner coupling member 110 through a method such as fastening or welding It can be fixed simply and firmly, thereby reducing the work process and time.

이와 같은 구조로 이루어진 연결구(100)는 내화학성을 가진 합성수지 또는 금속재질로 형성된다. 이에 따라 연결구(100)의 시공 후 장기간 동안 사용하더라도 연결부위가 부식되는 것을 방지할 수 있다.The connector 100 having such a structure is formed of synthetic resin or metal having chemical resistance. Accordingly, it is possible to prevent the connection portion from being corroded even if the connector 100 is used for a long period of time after the construction.

다시 도 4 및 도 6을 참조하면, 상기 내부결합부재(110)의 결합부(113) 내주면에는 분기관 연결용 아답터(140)가 결합된다. 이 경우 결합부(113)의 내주면에는 분기관 연결용 아답터(140)가 나사 결합될 수 있도록 제2나사산(113b)이 형성된다.4 and 6, the branch pipe connecting adapter 140 is coupled to the inner peripheral surface of the coupling portion 113 of the inner coupling member 110. As shown in FIG. In this case, the second thread 113b is formed on the inner circumferential surface of the coupling part 113 so that the branch connecting adapter 140 can be screwed.

구체적으로, 분기관 연결용 아답터(140)의 외주면에는 결합부(113)의 제2나사산(113b)에 나사 결합될 수 있도록 나사산이 형성되는 제1지점(140a)과, 제1지점(140a)이 나사 결합됨과 아울러 상기 결합부(113)의 내주면 사이에 밀착 개재되는 오링(미도시)이 구비되는 제2지점(140b)(도 6 참조)을 포함한다. 이 경우 제2지점(140b)에는 오링 설치용 홈(미도시)이 구비될 수 있다.Specifically, a first point 140a on which threads are formed so as to be screwed to the second thread 113b of the coupling portion 113, a first point 140a formed on the outer circumferential surface of the branch pipe connecting adapter 140, And a second point 140b (see FIG. 6) provided with an O-ring (not shown) which is tightly interposed between the inner circumferential surface of the engaging portion 113 and the inner circumferential surface of the engaging portion 113. In this case, an O-ring mounting groove (not shown) may be provided at the second point 140b.

즉 상기 나사 결합되는 제1지점(140a)과 오링에 의해 밀착되는 제2지점(140b)을 통해 분기관 연결용 아답터(140)의 결합 시 이중 실링 구조를 구현할 수 있다. 이에 따라 상기 내부결합부재(110)에 결합되는 아답터(140)의 사이 틈새를 밀폐시켜줌으로써 가스가 누출되는 것을 방지할 수 있다.That is, the double sealing structure can be realized when the branch pipe connecting adapter 140 is coupled through the first point 140a which is threaded and the second point 140b which is closely contacted by the O-ring. Accordingly, it is possible to prevent the gas from leaking by sealing the gap between the adapter 140 coupled to the inner joint member 110.

이와 같은 분기관 연결용 아답터(140)는 상기한 실시 예에 한정되는 것은 아니며, 상기 분기관 연결용 아답터(140)는 연결되는 분기관(20)의 종류에 따라 다양한 형상과 구조로 변경될 수 있다.The branch pipe connecting adapter 140 is not limited to the above-described embodiment, and the branch pipe connecting adapter 140 can be changed into various shapes and structures according to the type of the branch pipe 20 to be connected. have.

도 7을 참조하면, 내부결합부재(110)의 내주면에는 분기관 연결용 아답터(140) 및 분기관(20)의 미설치 시 내부결합부재(110)의 내주면에 나사 결합되어 개구를 막아주는 밀폐용 마개(150)가 구비될 수 있다.Referring to FIG. 7, an adapter 140 for connecting the branch pipe and an inner peripheral surface of the inner pipe coupling member 110 are screwed to an inner circumferential surface of the inner pipe coupling member 110, A cap 150 may be provided.

그러면, 이상과 같은 구성의 본 발명에 따른 배기시스템용 연결구(100)의 설치과정에 대하여 도 8a 내지 도 8e를 참조하여 설명해 보기로 한다.Hereinafter, an installation process of the exhaust system connector 100 according to the present invention will be described with reference to FIGS. 8A to 8E.

먼저, 메인덕트(10)에 분기관 설치용 연결구(100)를 설치할 수 있도록 메인덕트(10)의 외주면에 사각형상의 설치공(11)을 천공한다(도 8a 참조).First, a rectangular mounting hole 11 is formed in the outer circumferential surface of the main duct 10 so as to install the branch mounting attachment port 100 in the main duct 10 (see FIG. 8A).

그리고 상기 천공된 설치공(11)을 통해 내부결합부재(110) 전체를 메인덕트(10) 내부로 집어넣은 후, 내부결합부재(110)의 결합부(113)를 설치공(11)의 내측에서 외측 방향으로 안착시키는 방식으로 가결합한다.After the entire inner joint member 110 is inserted into the main duct 10 through the perforated installation hole 11, the engagement portion 113 of the inner joint member 110 is inserted into the inner side of the installation hole 11 So as to be seated in the outward direction.

도 8b를 참조하면, 이 경우 상기 내부결합부재(110)는 플랜지부(111)가 메인덕트(10)의 내주면에 접합됨과 동시에 단턱부(111a)가 설치공(11) 내에 안착됨에 따라 내부결합부재(110)가 유동되는 것을 방지할 수 있다.8B, in this case, since the flange portion 111 is joined to the inner circumferential surface of the main duct 10 and the step portion 111a is seated in the installation hole 11, It is possible to prevent the member 110 from flowing.

또한 메인덕트(10)의 내주면과 플랜지부(111)의 접촉면 사이에는 가스켓(115)이 개재된 상태이다.Further, a gasket 115 is interposed between the inner circumferential surface of the main duct 10 and the contact surface of the flange portion 111.

그런 다음, 상기 설치공(11)을 통해 메인덕트(10)의 외부로 돌출된 내부결합부재(110)의 결합부(113) 외주면에 와셔부재(120)를 끼움 결합한다(도 8c 참조).Then, the washer member 120 is fitted to the outer circumferential surface of the engaging portion 113 of the inner engaging member 110 protruding out of the main duct 10 through the installation hole 11 (see FIG. 8C).

그런 후, 상기 결합부(113)의 외주면에 고정너트부재(130)를 체결하여 와셔부재(120)를 메인덕트(10)의 외주면에 가압하는 방식으로 내부결합부재(110)의 위치를 고정한다(도 8d 참조).The fixing nut member 130 is fastened to the outer circumferential surface of the coupling portion 113 to fix the position of the inner coupling member 110 by pressing the washer member 120 against the outer circumferential surface of the main duct 10 (See FIG.

상기와 같은 과정을 통해 본 발명에 따른 연결구(100)의 설치가 완료되면, 분기관 연결용 아답터(140)를 내부결합부재(110)의 결합부(113) 내주면에 결합한 후(도 4 참조), 도 8e에서와 같이 상기 아답터(140)에 클램프(200)를 매개로 분기관(20)을 연결하는 방식으로 배관 시공하면, 본 발명에 따른 연결구(100)를 이용한 분기관(20)의 설치가 완료된다.After the connector 100 according to the present invention is completed through the above process, the branch pipe connecting adapter 140 is coupled to the inner circumferential surface of the coupling portion 113 of the inner coupling member 110 (see FIG. 4) The pipe 20 is connected to the adapter 140 through the clamp 200 as shown in FIG. 8E. In this case, when the pipe 20 is installed by using the connector 100 according to the present invention, Is completed.

이 경우 본 발명에서는 상기 아답터(140)와 분기관(20)을 연결 고정해주는 부자재로 클램프(200)를 사용한 경우의 일례를 들어 도시하고 설명하였으나, 이에 한정되지 않으며 다양한 구조로 변경 적용될 수 있음은 물론이다.In this case, in the present invention, the clamp 200 is used as a supplementary material for connecting and fixing the adapter 140 and the branch pipe 20, but the present invention is not limited thereto, Of course.

예컨대, 도 9의 (a) 내지 (c)에 도시된 바와 같이, 상기 연결구(100)에 다양한 구조의 분기관(20)을 설치할 수 있도록 상기 아답터(140)의 플랜지부에 복수의 볼트 체결공(141)이 이격되게 구비된 볼트 고정형이나, 소켓 결합형 등 다양한 연결 구조로 변경 적용할 수 있다.9 (a) to 9 (c), a flange portion of the adapter 140 is provided with a plurality of bolt fasteners (not shown) A bolt fixed type, a socket type, or the like, which are provided so as to be spaced apart from each other.

이상에서는 본 발명을 특정의 구체적인 실시 예를 들어 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시 예에 한정되지 않으며 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변경과 수정이 가능함은 물론이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the invention.

10 : 메인덕트 11 : 설치공
20 : 분기관 100 : 연결구
110 : 내부결합부재 111 : 플랜지부
111a : 단턱부 113 : 결합부
113a : 제1나사산 113b : 제2나사산
115 : 가스켓 120 : 와셔부재
130 : 고정너트부재 131 : 암나사
133 : 조작홈 140 : 아답터
140a : 제1지점 140b : 제2지점
150 : 밀폐용 마개 200 : 클램프10: Main duct 11: Installation hole
20: branch tube 100: end tube
110: Inner coupling member 111: flange portion
111a: step portion 113:
113a: first screw thread 113b: second screw thread
115: gasket 120: washer member
130: Fixing nut member 131: Female thread
133: Operation groove 140: Adapter
140a: first point 140b: second point
150: Closing cap 200: Clamp

Claims (8)

메인덕트(10)에 분기관(20)을 설치하기 위한 반도체 및 엘씨디 제조장비의 배기시스템용 연결구에 있어서,
상기 메인덕트(10)의 외주면에 형성된 사각 형상의 설치공(11) 내부로 끼워진 상태에서 상기 설치공(11) 안쪽에 걸려 고정될 수 있도록 하측에 사각의 플랜지부(111)가 형성되고, 상기 플랜지부(111)의 상측에는 단차를 이루며 사각의 단턱부(111a)가 형성되어 외측둘레가 상기 설치공(11)의 내측둘레에 정합되며, 상기 단턱부(111a)의 중심에는 상기 설치공(11)의 외부에 소정 높이로 돌출되고 내주면과 외주면에는 제2나사산(113b) 및 제1나사산(113a)이 구비된 원통형의 결합부(113)가 형성되는 내부결합부재(110);
중심에 구멍이 형성되어 상기 결합부(113)의 외측둘레로 끼워지며, 상기 메인덕트(10)의 두께에 대응하여 저면이 상기 메인덕트(10)의 표면과 접면되는 사각의 와셔부재(120); 및
상기 결합부(113)의 제1나사산(113a)에 체결되어 상기 와셔부재(120)를 상기 메인덕트(10)의 표면에 가압 고정시킬 수 있도록 내측둘레에 암나사(131)가 형성되고 외측둘레에는 복수의 조작홈(133)이 구비된 고정너트부재(130);를 포함하며,
상기 플랜지부(111)의 상면과 상기 메인덕트(10)의 이면 사이에 사각 고리의 형상을 가지는 판형의 가스켓(115)이 설치되고,
상기 결합부(113)의 제2나사산(113b)에는 분기관 연결용 아답터(140)가 나사결합되며,
상기 연결구는 내화학성을 가진 합성수지로 구성되는 것인 배기시스템용 연결구.
1. A connector for an exhaust system of a semiconductor and LCD manufacturing equipment for installing a branch pipe (20) in a main duct (10)
A rectangular flange 111 is formed on the lower side of the main duct 10 so as to be caught and fixed inside the installation hole 11 in a state of being inserted into a rectangular installation hole 11 formed on the outer circumferential surface of the main duct 10, A rectangular step portion 111a is formed on the upper side of the flange portion 111 so that an outer circumference thereof is aligned with the inner circumference of the installation hole 11, An inner engaging member 110 protruding from the outer circumference of the outer circumferential surface of the inner circumferential surface 11a and having a cylindrical threaded portion 113 having a second thread 113b and a first thread 113a formed on the inner circumferential surface and the outer circumferential surface;
A square washer member 120 having a hole at its center and fitted around an outer periphery of the coupling portion 113 and having a bottom surface in contact with the surface of the main duct 10 corresponding to the thickness of the main duct 10, ; And
A female thread 131 is formed on the inner circumference so as to be fastened to the first thread 113a of the engaging portion 113 to press-fix the washer member 120 to the surface of the main duct 10, And a fixing nut member (130) having a plurality of operating grooves (133)
A plate-shaped gasket 115 having a rectangular ring shape is provided between an upper surface of the flange portion 111 and a rear surface of the main duct 10,
The branch pipe connecting adapter 140 is screwed to the second thread 113b of the coupling part 113,
Wherein said connector is made of a synthetic resin having chemical resistance.
삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 분기관 연결용 아답터(140)는,
외주면에 상기 결합부(113)의 제2나사산(113b)에 나사 결합되는 제1지점(140a)과, 상기 결합부(113)의 내주면 사이에 밀착 개재되도록 오링을 포함하는 제2지점(140b)이 구비되어 이중 실링 구조를 가지고,
상기 분기관 연결용 아답터(140)와 상기 분기관(20)은 클램프(200)를 매개로 서로 결합되는 것인 배기시스템용 연결구.
The method according to claim 1,
The branch pipe connecting adapter (140)
A second point 140b including an O-ring so as to be closely contacted between the first point 140a screwed to the second screw thread 113b of the engaging portion 113 and the inner circumferential surface of the engaging portion 113, And has a double sealing structure,
Wherein the branch pipe connecting adapter (140) and the branch pipe (20) are coupled to each other via a clamp (200).
제1항에 있어서,
상기 내부결합부재(110)의 내주면에는,
상기 분기관(20)의 미결합 시 내부결합부재(110)의 개구를 막아주는 밀폐용 마개(150);가 나사 결합되는 것을 더 포함하는 배기시스템용 연결구.The method according to claim 1,
On the inner circumferential surface of the inner engagement member 110,
And a sealing cap (150) for blocking an opening of the inner joining member (110) when the branch pipe (20) is not engaged. 삭제delete
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