KR102647242B1 - 서셉터의 발열체 커버 압입 장치 - Google Patents

서셉터의 발열체 커버 압입 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 서셉터의 발열체 커버 압입 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 에어 해머를 통해 발열체 커버를 압입하는 서셉터의 발열체 커버 압입 장치에 관한 것이다. 이를 위해 서셉터의 발열체 커버 패턴과 동일한 패턴의 압입 패턴 경로가 입력되고, 로봇이 압입 패턴 경로를 따라 위치 이동하도록 제어하는 압입 로봇부, 압입 로봇부에 결합됨으로써 압입 로봇부의 위치 이동에 따라 압입 패턴 경로 상에 위치하며, 공압의 분사에 의해 에어 해머의 팁부를 압입 패턴 경로를 따라 발열체 커버의 표면에 타격시킴으로써 발열체 커버가 서셉터에 압입되도록 하는 압입부를 포함하는 것을 특징으로 하는 서셉터의 발열체 커버 압입 장치가 개시된다.

Description

서셉터의 발열체 커버 압입 장치{Air nailer of susceptor}
본 발명은 서셉터의 발열체 커버 압입 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 에어 해머를 통해 발열체 커버를 압입하는 서셉터의 발열체 커버 압입 장치에 관한 것이다.
종래에는 서셉터의 발열체 커버를 압입하기 위해서는 사람이 직접 진행하기 때문에 압입하는 힘의 변화로 인해 압입이 균일하지 못하고, 압입의 불균형으로 인해 국부 발열이 발생되어 단선의 발생 위험이 있어 왔다.
KR 10-0613117
따라서, 본 발명은 전술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 압입 패턴 경로를 따라 에어 해머의 타격에 의해 압입을 함으로써 균등한 압입이 가능하여 국부 발열을 방지하고, 단선 발생 위험을 낮추며, 서셉터의 수명을 연장할 수 있는 발명을 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 에어 해머의 타격에 따른 진동을 흡수함으로써 거리 측정 센서가 흔들리지 않게 되어 표면과의 정확한 거리 측정이 가능하고, 로봇의 압입 위치가 진동에 의해 틀어지지 않고 고정될 수 있는 발명을 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 에어 해머의 타격에 따라 발열체 커버의 평탄도가 변동되며, 이에 따라 에어 해머의 타격 전에 선행하여 발열체 커버의 높이 차를 인식하여 에어 해머의 높이를 조절함으로써 균일한 압입이 가능한 발명을 제공하는데 그 목적이 있다.
그러나, 본 발명의 목적들은 상기에 언급된 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
전술한 본 발명의 목적은, 서셉터의 발열체 커버 패턴과 동일한 패턴의 압입 패턴 경로가 입력되고, 로봇이 압입 패턴 경로를 따라 위치 이동하도록 제어하는 압입 로봇부, 압입 로봇부에 결합됨으로써 압입 로봇부의 위치 이동에 따라 압입 패턴 경로 상에 위치하며, 공압의 분사에 의해 에어 해머의 팁부를 압입 패턴 경로를 따라 발열체 커버의 표면에 타격시킴으로써 발열체 커버가 서셉터에 압입되도록 하는 압입부를 포함하는 것을 특징으로 하는 서셉터의 발열체 커버 압입 장치를 제공함으로써 달성될 수 있다.
또한, 에어 해머의 팁부는,
압입 패턴 경로 상에 배치된 발열체 커버의 폭보다 더 좁게 형성 배치됨으로써 타격에 의해 발열체 커버의 양측이 압입 패턴 경로를 따라 동시에 압입된다.
또한, 에어 해머의 발열체 커버의 표면 타격에 의해 발열체 커버의 양측이 발열체 커버 삽입홈에 압입되어 공간을 메우고, 압입에 의해 발열체와 발열체 커버 사이의 공간의 갭을 메울 수 있어 상대적으로 갭이 있을 때에 비해 발열체의 열전달이 더 좋아진다.
또한, 압입 로봇부의 단부에 결합되는 브라켓부, 브라켓부와 압입부 사이에 배치되어 에어 해머의 타격에 의해 발생되는 진동을 흡수하는 댐퍼부, 댐퍼부와 함께 브라켓부에 결합 고정되며, 압입 패턴 경로 상의 타격 지점에 인접한 서셉터 표면의 높이 차를 측정할 수 있도록 에어 해머의 타격 전 선행하여 또는 타격시에 압입 패턴 경로 상의 서셉터 표면과의 거리를 측정하는 거리 측정부를 더 포함한다.
또한, 댐퍼부는,
에어 해머의 타격에 의해 발생된 진동을 흡수함으로써 거리 측정부의 흔들림을 방지한다.
또한, 압입 로봇부는,
에어 해머의 타격시에 타격 지점에 인접한 서셉터 표면의 평탄도가 변동됨에 따라 거리 측정부의 신호를 기초로 에어 해머의 타격 전에 선행하여 또는 타격시에 타격 지점에 인접한 서셉터 표면의 높이 차를 산출하는 표면 높이차 인식부, 표면 높이차 인식부로부터 전송된 높이 차를 기초로 에어 해머의 높이 조절 값을 산출하는 높이 조절 산출부, 높이 조절 산출부로부터 높이 조절 값을 전송 받고, 높이 차가 발생된 타격 지점의 산출된 높이 조절 값에 따라 에어 해머의 높이를 조절하는 신호를 생성하여 전송하는 에어해머 높이 조절부, 압입 패턴 경로가 저장되는 압입경로 저장부, 압입경로 저장부에서 전송된 압입 패턴 경로를 분석하여 에어 해머의 압입 속도를 조절하는 압입 속도 조절부, 압입경로 저장부에서 전송된 압입 패턴 경로를 분석하여 에어 해머의 압입 간격을 조절하는 압입 간격 조절부, 에어 해머의 동작을 제어하며, 에어해머 높이 조절부의 신호를 기초로 에어 해머의 높이를 조절하는 에어해머 구동부, 압입 패턴 경로에 대응하는 에어 해머의 위치 경로 좌표를 산출하여 압입 로봇부의 위치를 제어하는 로봇 위치 제어부를 포함한다.
또한, 압입 로봇부는,
발열체 커버의 표면 타격에 따라 타격 지점에 인접한 서셉터 표면의 평탄도의 변형을 감지하고, 타격 지점에 인접한 서셉터 표면의 평탄도 변형에 상응하도록 에어 해머의 높낮이를 조절하도록 제어한다.
전술한 바와 같은 본 발명에 의하면 압입 패턴 경로를 따라 에어 해머의 타격에 의해 압입을 함으로써 균등한 압입이 가능하여 국부 발열을 방지하고, 단선 발생 위험을 낮추며, 서셉터의 수명을 연장할 수 있는 효과가 있다.
본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 일실시예를 예시하는 것이며, 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술적 사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석 되어서는 아니 된다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 서셉터의 발열체 커버 압입을 위한 로봇 장치의 대략적인 구성을 나타낸 도면이고,
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 압입 패턴 경로를 도시한 도면이고,
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 압입 로봇부의 제어부의 구성을 도시한 도면이고,
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 발열체와 발열체 커버 간에 갭이 발생한 것을 도시한 도면이고,
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 에어 해머의 타격에 의해 도 4의 갭이 없어진 것을 도시한 도면이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일실시예에 대해서 설명한다. 또한, 이하에 설명하는 일실시예는 특허청구범위에 기재된 본 발명의 내용을 부당하게 한정하지 않으며, 본 실시 형태에서 설명되는 구성 전체가 본 발명의 해결 수단으로서 필수적이라고는 할 수 없다. 또한, 종래 기술 및 당업자에게 자명한 사항은 설명을 생략할 수도 있으며, 이러한 생략된 구성요소(방법) 및 기능의 설명은 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 아니하는 범위내에서 충분히 참조될 수 있을 것이다.
본 발명의 일실시예에 따른 서셉터의 발열체 커버 압입을 위한 로봇 장치는 압입 로봇부(100), 압입부(200), 브라켓부(300), 댐퍼부(400), 거리 측정부(500)를 포함함으로써 발열체 커버를 서셉터에 자동으로 압입할 수 있는 장치이다. 이하에서는 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 일실시예에 따른 서셉터의 발열체 커버 압입을 위한 로봇 장치에 대해 상세히 설명하기로 한다.
도 1에 도시된 바와 같이 본 발명의 일실시예에 따른 압입 로봇부(100)는 제어부(140)의 제어에 따라 도 2에 도시된 압입 패턴 경로 상에 에어 해머(210)가 위치하도록 위치 제어한다. 이를 위해 압입 로봇부(100)는 베이스부(110), 제1 링크부(120) 및 제2 링크부(130)를 포함한다. 베이스부(110)는 로봇의 중심축이 되면서 제1 링크부(120)가 연결 접속된다. 제1,2 링크부(120,130)는 로봇이 적어도 2자유도로 움직일 수 있도록 링크 결합한다. 따라서 자유도의 변경에 따라 추가적인 링크가 더 결합할 수 있다. 이하에서는 제1,2 링크부(120,130)를 통칭하여 로봇 팔이라고 한다.
로봇 팔(120,130)의 단부에는 브라켓부(300)가 결합한다. 브라켓부(300)의 일측에는 댐퍼부(400) 및 거리 측정부(500)가 직접적으로 결합하고 간접적으로 에어 해머(210)가 결합하며, 브라켓부(300)의 타측에는 로봇 팔(120,130)의 단부가 결합한다. 브라켓부(300)는 로봇 팔(120,130)과 에어 해머(210)를 서로 결합시켜 주는 매개체일 수 있다. 따라서 로봇 팔(120,130)의 위치 이동에 따라 에어 해머(210)도 연동하여 위치 이동할 수 있다. 다만, 로봇 팔(120,130)의 위치 제어에 의해 에어 해머(210)의 위치가 기 설정된 위치(이 경우에 압입 패턴 경로 상의 위치)로 좌표 이동하기 위해서는 로봇 팔(120,130)의 위치에 따른 에어 해머(210)의 위치가 서로 좌표 매칭되어 있어야 한다. 따라서 사용자에 의해 압입 패턴 경로가 압입 로봇부(100)에 입력되면, 압입 패턴 경로에 따른 대응하는 에어 해머(210)의 위치 경로 좌표를 산출하여 로봇 팔(120,130)을 위치 제어하는 것이 바람직하다. 이때, 압입 패턴 경로는 제품마다 다를 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따른 압입부(200)는 에어 해머(210)와 팁부(220)로 대략 구성될 수 있다. 압입부(200)는 압입 패턴 경로를 따라 발열체 커버(610)를 발열체 커버 삽입홈(601a)에 압입한다. 즉, 발열체 커버(610)의 폭은 발열체 커버 삽입홈(601a)에 비해 상대적으로 폭이 좁고, 발열체 커버(610)의 폭보다 상대적으로 폭이 좁은 팁부(220)를 발열체 커버(610)의 표면에 타격함으로써 열처리 알루미늄으로 이루어진 발열체 커버(610)가 타격에 의해 발열체 커버 삽입홈(601a)으로 압입되어 공간을 메울 수 있다.
에어 해머(210)는 공압을 이용하여 해머를 수직방향으로 구동하기 때문에, 에어 해머(210)의 팁부(220)가 압입 패턴 경로 상에 있는 발열체 커버(610)의 표면을 타격함으로써 서셉터의 발열체 커버 삽입홈(601a)에 압입이 된다. 한편, 도 1에 도시된 바와 같이 에어 해머(210)의 몸체의 하부에는 팁부(220)가 배치된다.
에어 해머(210)는 타격 대상체에 공압을 이용하여 타격하기 때문에 필수적으로 진동이 발생한다. 이러한 타격에 의한 진동은 압입 패턴 경로 상을 따라 발열체 커버(610)의 타격시에도 발생한다. 발열체 커버(610)에 에어 해머를 타격하면 진동에 의해 에어 해머(210)의 타격 좌표가 틀어질 수 있고, 더 나아가 에어 해머(210)의 타격이 진행될수록 타격 지점에 인접한 서셉터 표면의 평탄도가 변형되어 균일한 압입이 어려울 수 있다. 따라서 본 발명에서는 타격에 의한 진동을 흡수하고, 타격에 의해 평탄도가 변형되더라도 발열체 커버(610)를 균일하게 압입할 수 있도록 댐퍼부(400) 및 거리 측정부(500)를 추가적으로 구성할 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따른 댐퍼부(400)는 브라켓부(300)의 일측과 결합하며, 에어 해머(210)의 몸체는 댐퍼부(400)와 결합한다. 따라서 에어 해머(210)는 브라켓부(300)와 간접적으로 결합한다. 에어 해머(210)가 압입 패턴 경로를 따라 발열체 커버(610)의 표면의 타격시에 발생된 진동은 댐퍼부(400)에 의해 흡수되며, 댐퍼부(400)의 진동 흡수에 따라 에어 해머(210)의 타격 좌표가 정확하게 유지될 수 있다. 댐퍼부(400)는 쇽업 쇼바(shock absorber)에 스프링을 장착하여 진동을 흡수할 수 있으며, 다른 예로서 에어백에 공기를 주입하여 에어백이 완충역할을 하도록 할 수 있다. 한편, 댐퍼부(400)는 후술하는 바와 같이 에어 해머(210)의 진동에 의해 거리 측정부(500)가 흔들리거나 떨리지 않도록 하여 정확한 거리 측정을 할 수 있도록 한다. 상술한 바와 같이 브라켓부(300)를 기준으로 수직 하부에 댐퍼부(400)가 배치되며, 댐퍼부(400)의 수직 하부에 에어 해머(210)의 몸체가 배치된다.
한편, 도 2에 도시된 바와 같이 에어 해머(210)의 팁부(220)는 발열체 커버(610)의 양측을 동시에 압입하도록 팁부(220)의 폭은 발열체 커버(610)의 폭보다 더 작아야 한다. 이에 따라 팁부(220)가 압입 패턴 경로를 따라 발열체 커버(610)의 양측 단부를 타격하여 동시에 압입할 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따른 거리 측정부(500)는 레이저 등을 이용하여 발열체 커버(610)의 표면과의 거리를 측정함으로써 에어 해머(210)의 타격에 의한 평탄도의 변형을 감지할 수 있도록 하고, 타격 지점에 인접한 서셉터 표면의 표면 높이 값의 차이나 변화를 감지할 수 있도록 한다. 이때, 거리 측정부(500)는 에어 해머(210)가 타격하기에 앞서 선행하여 또는 타격시에 압입 패턴 경로를 따라 표면과의 거리를 매 순간 측정하고, 측정된 표면의 높이 차를 제어부(140)로 전송한다.
한편, 도 2에 도시된 바와 같이 팁부(220)를 중심으로 좌측은 에어 해머(21O)의 타격에 의해 압입이 완료된 영역(11)이고, 우측은 앞으로 압입이 예정된 영역(12)이다. 이때, 일예로서, 압입을 위해 일 지점에서 에어 해머(210)가 타격을 시작하면 타격에 따라 타격 지점 또는 타격이 예정된 지점의 서셉터 표면의 평탄도에 변형이 일어날 수 있다. 서셉터 표면의 평탄도 변형은 결국 균일한 압입이 이루어질 수 없음을 시사한다. 따라서 본 발명에서는 에어 해머(210)의 타격 지점을 기준으로 타격이 예상된 지점의 서셉터의 평탄도를 미리 선행하여 측정하거나 또는 타격시에 타격 지점의 서셉터의 평탄도를 측정함으로써 타격 지점에 인접한 서셉터 표면의 높이 차 또는 변형 정도를 산출하고, 높이 차에 따라 에어 해머(210)의 높낮이를 변경함으로써 균일한 압입을 할 수 있다. 즉, 도 1에 도시된 바와 같이 현재 타격 지점(22)과 동일 수평선상에 위치한 서셉터 상부 표면 영역(21)과의 거리 차를 거리 측정부(500)가 측정하고, 이를 통해 평탄도의 변형이나, 높이 차를 제어부(140)가 산출할 수 있다. 에어 해머(210)는 동일한 타격 지점에 여러 번의 타격을 가하기 때문에 평탄도를 미리 선행하여 측정하여도 되고, 또는 타격시에 평탄도를 측정하여 바로 에어 해머(210)의 높낮이를 조절할 수도 있다.
미리 선행하여 높이 차를 측정하는 가장 가까운 타격 예상 지점은 에어 해머(210)의 타격 간격에 따라 설정될 수 있다. 즉 에어 해머(210)의 타격 간격이 일예로서 10mm인 경우에는 10mm 선행하여 타격 예상 지점의 높이 차를 감지할 수 있다. 에어 해머(210)가 타격 예상 지점에 들어서면 해당 압입 좌표에 매칭된 높이 차에 따라 에어 해머(210)의 높이를 제어부(140)가 조절하여 균등한 압입이 이루어지도록 한다. 필요에 따라 거리 측정부(500)를 복수로 구비할 수 있으면, 일예로서 3개의 거리 측정부가 구비된다면, 10mm 간격으로 각각 10mm, 20mm, 30mm 선행하여 한 번에 높이 차를 감지할 수 있고, 이에 대한 각 압입 좌표에서의 평균값을 취함으로써 좀 더 평균화되고 균일한 압입이 이루어질 수 있다.
한편, 도 1에 도시된 바와 같이 거리 측정부(500)도 브라켓부(300)에 결합하기 때문에 에어 해머(210)의 타격에 따라 진동의 영향을 받는다. 따라서 에어 해머(210)의 진동을 흡수할 수 있는 댐퍼부(400)가 브라켓부(300)와 에어 해머(210) 사이에 배치되어 에어 해머의 진동을 흡수해 줌으로써 진동에 흔들리거나 떨리지 않고 발열체 커버(6100의 표면과의 정확한 거리 측정이 가능한다.
한편, 본 발명의 일실시예에 따른 압입 로봇부(100)의 제어부(140)는 표면 높이차 인식부(141)를 포함한다. 표면 높이차 인식부(141)는 에어 해머(210의 타격시에 타격 지점에 인접한 서셉터 표면의 평탄도가 변동됨에 따라 거리 측정부(500)의 신호를 기초로 에어 해머(210)의 타격 전에 선행하여 또는 타격시에 타격 지점에 인접한 서셉터 표면의 높이 차를 산출한다. 이때, 타격 지점에 인접한 서셉터 표면의 지점은 타격 지점과 가장 가까운 서셉터의 상부 표면을 의미한다.
제어부(140)는 높이 조절 산출부(145)를 포함한다. 높이 조절 산출부(145)는 표면 높이차 인식부(141)로부터 전송된 높이 차를 기초로 에어 해머(210)의 높이 조절 값을 산출한다. 즉, 높이 차와 매칭되는 높이 조절 값을 산출한다.
제어부(140)는 에어해머 높이 조절부(142)를 포함한다. 에어해머 높이 조절부(142)는 높이 조절 산출부(145)로부터 높이 조절 값을 전송받고, 높이 차가 발생된 타격 지점의 산출된 높이 조절 값에 따라 에어 해머(210)의 높이를 조절하는 신호를 생성하여 에어해머 구동부(143)로 전송한다.
제어부(140)는 압입경로 저장부(146)를 포함한다. 압입경로 저장부(146)는 사용자로부터 압입 패턴 경로가 입력되어 저장된다.
제어부(140)는 압입 속도 조절부(도면 미도시)를 포함한다. 압입 속도 조절부는 압입경로 저장부(146)에서 전송된 압입 패턴 경로를 분석하여 에어 해머(210)의 압입 속도를 조절한다.
제어부(140)는 압입 간격 조절부(도면 미도시)를 포함한다. 압입 간격 조절부는 압입경로 저장부(146)에서 전송된 압입 패턴 경로를 분석하여 에어 해머(210)의 압입 간격 또는 타격 간격을 조절한다.
제어부(140)는 에어해머 구동부(143)를 포함한다. 에어해머 구동부(143)는 에어 해머(210)의 동작을 제어하며, 에어해머 높이 조절부(142)의 신호를 기초로 에어 해머(210)의 높이를 조절한다.
제어부(140)는 로봇 위치 제어부(144)를 포함한다. 로봇 위치 제어부(144)는 압입 패턴 경로에 대응하는 에어 해머(210)의 위치 경로 좌표를 산출하여 압입 로봇부(100)의 위치를 제어한다.
도 4에 도시된 바와 같이 반도체 웨이퍼 공정 또는 디스플레이 공정에서 사용되는 서셉터는 내부에 발열체(또는 열선,601) 패턴이 삽입된다. 즉, 도 4를 참고하면, 서셉트 플레이트(600)의 내측에는 발열체(601)가 삽입되도록 발열체 삽입홈(601a)이 기 설정된 패턴을 따라 형성된다. 발열체(601)가 삽입홈(601a) 패턴을 따라 삽입되면, 발열체 커버(610)가 발열체(601)의 상부를 감싸도록 씌워지며, 이때 발열체 커버(610)를 에어 해머(210)를 이용하여 압입한다. 발열체 커버(610)를 압입한 후에는, 표면 커버 삽입홈(620a)에 표면 커버(620)를 삽입하여 용접함으로써 마무리를 한다.
이때, 도 4에 도시된 바와 같이 발열체 커버(610)를 발열체(601)에 씌우면 발열체(601)와 발열체 커버(610) 간에 갭(630)이 형성되며, 갭(630)이 있으면 발열체(601)에서 발생한 열이 서셉터 표면으로 전달되기가 어려워 열전달 효율이 떨어진다. 따라서, 본 발명에서는 에어 해머(210)를 통해 발열체 커버(610)를 타격하여 압입 공정을 수행함으로써 도 5에 도시된 바와 같이 갭(630)이 압입에 의해 메워져 발열체의 열전달 효율이 좋아질 수 있다.
본 발명을 설명함에 있어 종래 기술 및 당업자에게 자명한 사항은 설명을 생략할 수도 있으며, 이러한 생략된 구성요소(방법) 및 기능의 설명은 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 아니하는 범위내에서 충분히 참조될 수 있을 것이다. 또한, 상술한 본 발명의 구성요소는 본 발명의 설명의 편의를 위하여 설명하였을 뿐 여기에서 설명되지 아니한 구성요소가 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 아니하는 범위내에서 추가될 수 있다.
상술한 각부의 구성 및 기능에 대한 설명은 설명의 편의를 위하여 서로 분리하여 설명하였을 뿐 필요에 따라 어느 한 구성 및 기능이 다른 구성요소로 통합되어 구현되거나, 또는 더 세분화되어 구현될 수도 있다.
이상, 본 발명의 일실시예를 참조하여 설명했지만, 본 발명이 이것에 한정되지는 않으며, 다양한 변형 및 응용이 가능하다. 즉, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 많은 변형이 가능한 것을 당업자는 용이하게 이해할 수 있을 것이다. 또한, 본 발명과 관련된 공지 기능 및 그 구성 또는 본 발명의 각 구성에 대한 결합관계에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는, 그 구체적인 설명을 생략하였음에 유의해야 할 것이다.
11 : 압입 완료 영역
12 : 압입 예정 영역
21 : 타격지점에 인접한 서셉터 표면
22 : 타격 지점
100 : 압입 로봇부
110 : 베이스부
120 : 제1 링크부
130 : 제2 링크부
140 : 제어부
141: 표면 높이차 인식부
142 : 에어해머 높이 조절부
143 : 에어해머 구동부
144 : 로봇 위치 조절부
145 : 높이 조절 매칭부
146 : 압입경로 저장부
200 : 압입부
210 : 에어 해머
220 : 팁부
300 : 브라켓부
400 : 댐퍼부
500 : 거리 측정부
600 : 서셉트 플레이트
601 : 열선 또는 발열체
601a : 발열체 삽입홈 또는 발열체 커버 삽입홈
610 : 발열체 커버
620 : 표면 커버
620a : 표면 커버 삽입홈
620b : 용접 포인트
630 : 갭

Claims (7)

  1. 서셉터의 발열체 커버 패턴과 동일한 패턴의 압입 패턴 경로가 입력되고, 로봇이 상기 압입 패턴 경로를 따라 위치 이동하도록 제어하는 압입 로봇부,
    상기 압입 로봇부에 결합됨으로써 상기 압입 로봇부의 위치 이동에 따라 상기 압입 패턴 경로 상에 위치하며, 공압의 분사에 의해 에어 해머의 팁부를 상기 압입 패턴 경로를 따라 상기 발열체 커버의 표면에 타격시킴으로써 상기 발열체 커버가 서셉터에 압입되도록 하는 압입부,
    상기 압입 로봇부의 일측 단부에 결합되는 브라켓부,
    상기 브라켓부의 수직 하부에 배치되면서 상기 브라켓부와 상기 압입부의 에어 해머의 사이에 배치되며, 상기 댐퍼부의 수직 하부에 배치된 압입부의 에어 해머의 타격에 의해 발생되는 진동을 흡수하는 댐퍼부,
    상기 댐퍼부와 수평하게 일정 간격 떨어져 상기 브라켓부에 결합 고정됨으로써 상기 에어 해머의 타격에 의한 진동이 상기 댐퍼부에 의해 흡수되어 상기 진동에 의해 흔들리거나 떨리지 않으며, 에어 해머의 타격에 의한 서셉터 표면의 평탄도의 변형을 감지하기 위해 상기 압입 패턴 경로 상의 타격 예정 지점의 서셉터 표면과의 거리 또는 높이차를 에어 해머의 타격 전 선행하여 미리 측정함으로써 상기 타격 예정 지점에서의 상기 에어 해머의 높낮이를 변경하여 균일한 압입이 이루어지도록 하는 거리 측정부를 포함하며,
    상기 에어 해머의 타격 전 선행하여 미리 높이 차를 측정하는 가장 가까운 타격 예정 지점은 상기 에어 해머의 타격 간격에 따라 설정되며,
    상기 발열체 커버의 폭보다 폭이 좁은 상기 팁부를 상기 압입 패턴 경로를 따라 발열체 커버의 표면에 타격함으로써 상기 타격에 의해 발열체 커버의 양측이 상기 압입 패턴 경로를 따라 동시에 압입되며,
    상기 압입 로봇부는,
    상기 에어 해머의 타격시에 타격 지점에 가장 인접한 상기 타격 예정 지점의 서셉터 표면의 평탄도가 변동됨에 따라 상기 거리 측정부의 신호를 기초로 상기 에어 해머의 타격 전에 선행하여 가장 인접한 타격 예정 지점의 서셉터 표면의 높이 차를 산출하는 표면 높이차 인식부,
    상기 표면 높이차 인식부로부터 전송된 높이 차를 기초로 상기 타격 예정 지점의 에어 해머의 높이 조절 값을 산출하는 높이 조절 산출부,
    상기 높이 조절 산출부로부터 높이 조절 값을 전송받고, 높이 차가 발생된 타격 예정 지점의 산출된 높이 조절 값에 따라 에어 해머의 높이를 조절하는 신호를 생성하여 전송하는 에어해머 높이 조절부,
    상기 압입경로 저장부에서 전송된 압입 패턴 경로를 분석하여 에어 해머의 타격 간격을 조절하는 압입 간격 조절부를 포함하는 것을 특징으로 하는 서셉터의 발열체 커버 압입 장치.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 에어 해머의 발열체 커버의 표면 타격에 의해 상기 발열체 커버의 양측이 발열체 커버 삽입홈에 압입되어 공간을 메우고, 압입에 의해 발열체와 발열체 커버 사이의 공간의 갭을 메울 수 있어 상대적으로 갭이 있을 때에 비해 상기 발열체의 열전달이 더 좋아지는 것을 특징으로 하는 서셉터의 발열체 커버 압입 장치.
  4. 삭제
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 댐퍼부는,
    상기 에어 해머의 타격에 의해 발생된 진동을 흡수함으로써 상기 거리 측정부의 흔들림을 방지하는 것을 특징으로 하는 서셉터의 발열체 커버 압입 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 압입 로봇부는,
    압입 패턴 경로가 저장되는 압입경로 저장부,
    상기 압입경로 저장부에서 전송된 압입 패턴 경로를 분석하여 에어 해머의 압입 속도를 조절하는 압입 속도 조절부,
    상기 에어 해머의 동작을 제어하며, 상기 에어해머 높이 조절부의 신호를 기초로 에어 해머의 높이를 조절하는 에어해머 구동부,
    상기 압입 패턴 경로에 대응하는 상기 에어 해머의 위치 경로 좌표를 산출하여 상기 압입 로봇부의 위치를 제어하는 로봇 위치 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 서셉터의 발열체 커버 압입 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 압입 로봇부는,
    발열체 커버의 표면 타격에 따라 타격 지점에 인접한 서셉터 표면의 평탄도의 변형을 감지하고,
    타격 지점에 인접한 서셉터 표면의 평탄도 변형에 상응하도록 상기 에어 해머의 높낮이를 조절하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 서셉터의 발열체 커버 압입 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH07299702A (ja) * 1994-04-28 1995-11-14 Komatsu Ltd ロボットの加工作業線の検出装置
JP3096404B2 (ja) * 1995-05-29 2000-10-10 新キャタピラー三菱株式会社 ロボットハンド装置
JPH09267281A (ja) * 1996-03-29 1997-10-14 Nippon Steel Corp 多軸ロボットの倣い制御装置および倣い制御方法
KR100848378B1 (ko) * 2005-12-15 2008-07-24 주식회사 마이크로텍 서셉터의 열선삽입 구조 및 방법
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