JP2008215903A - 基板表面高さ測定装置および基板表面高さ測定方法、作業装置、作業方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板表面の測点に対して空気の塊を衝突させて衝撃荷重を印加する空気発砲装置8と、印加された衝撃荷重により基板表面に励起された振動から生じる振動波を所定の高さ位置で検知する超音波センサ9と、基板表面に衝撃荷重を印加してから振動波を検知するまでの経過時間に基づいて測点の基板基準面に対する高さh1を測定する制御部10と、基板基準面を基準として予め設定された実装高さh2から測点の基板基準面に対する高さh1を減じて実装高さh3を算出し、この実装高さh3に基づいてノズル7の高さ制御を行う実装高さ制御部13を備えた。
【選択図】図2
Description
8 空気発砲装置
9 超音波センサ
10 制御部
11 出力部
12 入力部
13 実装高さ制御部
Claims (5)
- 基板表面の任意個所に対して衝撃荷重を印加する衝撃荷重印加手段と、印加された衝撃荷重により基板表面に励起された振動から生じる振動波を所定の高さ位置で検知する振動波検知手段と、基板表面に衝撃荷重を印加してから振動波を検知するまでの経過時間に基づいて基板表面の任意個所の高さを測定する測定手段を備えた基板表面高さ測定装置。
- 前記衝撃荷重印加手段が、空気の塊を基板表面の任意個所に衝突させることで衝撃荷重を印加する請求項1に記載の基板表面高さ測定装置。
- 基板表面の任意個所に対して衝撃荷重を印加する工程と、印加された衝撃荷重により基板表面に励起された振動から生じる振動波を所定の高さ位置で検知する工程と、基板表面に衝撃荷重を印加してから振動波を検知するまでの経過時間に基づいて基板表面の任意個所の高さを測定する工程を含む基板表面高さ測定方法。
- 前記測定手段により測定された基板表面の任意個所の高さに基づいて基板表面の任意個所に対して作業する作業部の高さ制御を行う作業装置。
- 前記測定手段により測定された基板表面の任意個所の高さに基づいて基板表面の任意個所に対して作業する作業部の高さ制御を行う作業方法。
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