KR102644252B1 - Electronic substrate manufacturing method using transparent polyimide sheet containing fluorine and electronic substrate manufactured thereof - Google Patents
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Abstract
본 발명은 전자기판 제조방법에 관한 것으로서, 상세하게는 불소가 함유된 투명 폴리이미드(Polyimide; PI)를 기판으로 사용하여 200℃ 이상에서 녹는 납의 사용이 가능하도록 함으로써 전자부품 부착 강도를 높여 제품의 안정성을 높이도록 하는 불소가 포함된 투명 폴리이미드 시트를 이용한 전자기판 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method of manufacturing an electronic board. Specifically, it uses transparent polyimide (PI) containing fluorine as a substrate to enable the use of lead, which melts above 200°C, thereby increasing the adhesion strength of electronic components to improve the product's quality. This relates to a method of manufacturing an electronic board using a transparent polyimide sheet containing fluorine to increase stability.
Description
본 발명은 전자기판 제조방법에 관한 것으로서, 상세하게는 불소가 함유된 투명 폴리이미드(Polyimide; PI)를 기판으로 사용하여 200℃ 이상에서 녹는 납의 사용이 가능하도록 함으로써 전자부품 부착 강도를 높여 제품의 안정성을 높이도록 하는 불소가 포함된 투명 폴리이미드 시트를 이용한 전자기판 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method of manufacturing an electronic board. Specifically, it uses transparent polyimide (PI) containing fluorine as a substrate to enable the use of lead, which melts above 200°C, thereby increasing the adhesion strength of electronic components to improve the product's quality. This relates to a method of manufacturing an electronic board using a transparent polyimide sheet containing fluorine to increase stability.
투명 기판은 다양한 용도로 사용되고 있다. 특히 스마트폰, 테블릿 PC, 노트북 PC, AIO(All-In-One) PC, LCD 모니터, TV, 광고판, 터치패널 등 전자제품을 포함하여 다양한 분야에 윈도우 커버 기판 또는 보호필름으로 적용되며, 또는 내부 물품을 보호하는 보호판의 용도로 투명기판이 사용되고 있다.Transparent substrates are used for various purposes. In particular, it is applied as a window cover substrate or protective film in various fields, including electronic products such as smartphones, tablet PCs, laptop PCs, AIO (All-In-One) PCs, LCD monitors, TVs, billboards, and touch panels. Transparent substrates are used as protective plates to protect internal items.
투명기판의 일예로는 유리가 대표적이나 취성(잘 깨지는 성질)이 강하여 플라스틱 재질의 투명기판들이 널리 사용되고 있다.A typical example of a transparent substrate is glass, but transparent substrates made of plastic are widely used due to their strong brittleness (breakability).
플라스틱 재질의 투명기판으로는 PC(폴리카보네이트), PET. PE 또는 PMMA가 사용되고 있다.Transparent plastic substrates include PC (polycarbonate) and PET. PE or PMMA are used.
최근들어 미세 선폭을 갖는 전극을 구비한 투명 기판의 개발이 활발히 이루어지고 있다. 투명 기판에는, 예를 들어, LED가 실장될 수 있고, 이와 같은 투명 LED 기판의 경우, 각종 시각적 정보를 사용자에게 제공하는 디스플레이 장치(예: LED 사이니지)로 활용될 수 있다.Recently, the development of transparent substrates equipped with electrodes with fine line widths has been actively conducted. For example, LEDs can be mounted on a transparent substrate, and such a transparent LED substrate can be used as a display device (eg, LED signage) that provides various visual information to users.
이러한 투명 기판의 일례로, 국내 공개특허 제10-2017-0009553호인 투명전극 기판 및 이의 제조방법, 국내 등록특허 제10-2490506호인 수축률이 저감된 투명 디스플레이 기판 제조방법 및 이로부터 제조된 투명 디스플레이 기판 등이 개시되어 이 있다.Examples of such transparent substrates include Korea Patent Publication No. 10-2017-0009553, a transparent electrode substrate and its manufacturing method, and Korea Patent No. 10-2490506, a transparent display substrate manufacturing method with reduced shrinkage, and a transparent display substrate manufactured therefrom. etc. are disclosed.
상기 투명전극 기판 및 이의 제조방법은 모재를 준비하는 단계; 상기 모재 상에 합금재료층을 형성하는 단계; 및 상기 합금재료층 상에 투명전도층을 형성하는 단계;를 포함하고, 상기 합금재료층을 형성하는 단계는, 50~80℃ 온도에서 스퍼터링으로 합금재료층을 형성하고, 상기 합금재료층은, 지코늄카파(ZrCu)를 포함하며, 상기 모재는 50~300㎛의 두께를 갖고, 폴리에틸렌테레프탈레이트(Poly Ethylene Terephthalte; PET), 폴리우레탄(Polyurethane; PU), 폴리이미드(Polyimide; PI), 폴리에테르술폰(Poly Ether Sulfone; PES) 및 폴리카보네이트 (Polycarbonate; PC)로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상을 포함한다.The transparent electrode substrate and its manufacturing method include preparing a base material; Forming an alloy material layer on the base material; and forming a transparent conductive layer on the alloy material layer, wherein the step of forming the alloy material layer includes forming the alloy material layer by sputtering at a temperature of 50 to 80° C., and the alloy material layer includes, It contains ziconium kappa (ZrCu), and the base material has a thickness of 50 to 300㎛, and is made of polyethylene terephthalate (PET), polyurethane (PU), polyimide (PI), poly It includes at least one selected from the group consisting of ether sulfone (PES) and polycarbonate (PC).
상기 수축률이 저감된 투명 디스플레이 기판 제조방법 및 이로부터 제조된 투명 디스플레이 기판은 플렉서블한 폴리머 소재의 두께 100~300㎛인 투명 베이스 기판을 준비하는 단계; 및 상기 투명 베이스 기판을 150~198℃에서 1~5분 동안 사전 어닐링하는 단계;를 포함하고, 상기 어닐링을 수행하기 이전 투명 베이스 기판의 최대 수축률과 상기 어닐링을 수행한 이후 투명 베이스 기판의 최대 수축률의 비는 6~7 : 1을 만족하며, 상기 어닐링을 수행한 이후 투명 베이스 기판의 자체 평균 수축률은 0.1~0.2%이고, 상기 투명 베이스 기판은 폴리에틸렌나프탈렌(Poly Ethylene Naphthalene, PEN), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(Poly Ethylene Terephthalate, PET), 폴리에틸렌(Poly Ethylene, PE) 및 폴리카보네이트(Polycarbonate, PC)로 이루어지는 군으로부터 선택되는 어느 하나이다.The method of manufacturing a transparent display substrate with reduced shrinkage and the transparent display substrate manufactured therefrom include the steps of preparing a transparent base substrate of a flexible polymer material with a thickness of 100 to 300 ㎛; and pre-annealing the transparent base substrate at 150 to 198° C. for 1 to 5 minutes, wherein the maximum shrinkage rate of the transparent base substrate before performing the annealing and the maximum shrinkage rate of the transparent base substrate after performing the annealing The ratio satisfies 6 to 7: 1, and the average shrinkage rate of the transparent base substrate after performing the annealing is 0.1 to 0.2%, and the transparent base substrate is made of polyethylene naphthalene (PEN) or polyethylene terephthalate. (Poly Ethylene Terephthalate, PET), polyethylene (PE), and polycarbonate (PC).
그러나, 이러한 투명 기판의 제조시 일반적으로 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET)에 구리(Cu)를 증착하고, 도금하여 사용하였는 데, 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET)의 경우 녹는점이 낮아 전자부품을 솔더링(Soldering)시 낮은 온도에서 녹는 납을 사용해야만 하므로, 전자부품 부착 강도가 낮고 고온에서 사용이 제한되는 문제점이 있다.However, when manufacturing such transparent substrates, copper (Cu) is generally deposited on polyethylene terephthalate (PET) and plated. Polyethylene terephthalate (PET) has a low melting point, so it is used when soldering electronic components. Since lead that melts at low temperatures must be used, there is a problem in that the adhesion strength of electronic components is low and use at high temperatures is limited.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 불소가 함유된 투명 폴리이미드(Polyimide; PI)를 기판으로 사용하여 200℃ 이상에서 녹는 납의 사용이 가능하도록 함으로써 전자부품 부착 강도를 높여 제품의 안정성을 높이도록 하는 불소가 포함된 투명 폴리이미드 시트를 이용한 전자기판 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention is intended to solve the above problems, and uses transparent polyimide (PI) containing fluorine as a substrate to enable the use of lead, which melts above 200°C, thereby increasing the adhesion strength of electronic components and improving product stability. The purpose is to provide a method of manufacturing an electronic board using a transparent polyimide sheet containing fluorine to increase .
또한, 본 발명은 불소가 함유된 투명 폴리이미드(Polyimide; PI)인 기판에 금속을 증착 전에 전자빔으로 표면 처리를 수행하여 표면 장력을 높여 부착력을 증대시키도록 하는 불소가 포함된 투명 폴리이미드 시트를 이용한 전자기판 제조방법을 제공하는데 다른 목적이 있다.In addition, the present invention provides a transparent polyimide sheet containing fluorine that increases adhesion by increasing surface tension by performing surface treatment with an electron beam before depositing a metal on a transparent polyimide (PI) substrate containing fluorine. There is another purpose in providing a method of manufacturing an electronic board using the present invention.
또한, 본 발명은 기판의 열팽창 계수(CTE)가 낮아 온도변화가 심한 곳에서 사용을 하더라도 크랙이 발생하는 것을 방지하도록 하는 불소가 포함된 투명 폴리이미드 시트를 이용한 전자기판 제조방법을 제공하는데 또 다른 목적이 있다.In addition, the present invention provides a method of manufacturing an electronic board using a transparent polyimide sheet containing fluorine, which prevents cracks from occurring even when used in places with severe temperature changes due to the low coefficient of thermal expansion (CTE) of the board. There is a purpose.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징은,The features of the present invention for achieving the above object are,
불소가 포함된 투명 폴리이미드 시트인 기판의 저면에 보호 필름인 OCA 필름을 부착하는 보호 필름 부착 공정과; 상기 OCA 필름이 저면에 부착된 상기 기판을 진공 챔버에 투입하고, 아르곤 가스를 전자빔을 이용해서 가열하여 상기 기판의 표면에 충돌시켜 표면을 처리하여 표면 장력을 증대시키는 표면 처리 공정과; 표면 처리된 상기 기판의 상면에 접착 강도를 높이기 위해 상기 기판을 진공 챔버에 투입하고, 합금을 전자빔으로 증발시켜 상기 기판에 합금을 증착하여 1차 증착층을 형성하는 1차 증착 공정과; 상기 1차 증착층이 증착된 상기 기판을 진공 챔버에 투입하고, 구리(Cu)를 전자빔으로 증발시켜 상기 기판에 구리(Cu)를 증착하여 2차 증착층을 형성하는 2차 증착 공정과; 상기 제 1, 2차 증착층이 증착된 상기 기판을 전해 도금을 통해 구리(Cu) 도금층을 형성하는 1차 도금 공정과; 상기 제 1, 2증착층 및 구리 도금층을 한번에 습식 에칭하여 금속 회로 패턴을 형성하는 에칭 공정; 및 상기 금속 회로 패턴 상면의 구리 도금층 상에 상기 구리 도금층의 색상을 커버하기 위해 전해 도금을 통해 주석(Sn) 도금층을 형성하는 2차 도금 공정으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.A protective film attachment process of attaching an OCA film, which is a protective film, to the bottom of a substrate that is a transparent polyimide sheet containing fluorine; A surface treatment process of placing the substrate with the OCA film attached on the bottom into a vacuum chamber, heating argon gas using an electron beam and colliding with the surface of the substrate to treat the surface to increase surface tension; A primary deposition process of placing the substrate in a vacuum chamber to increase adhesion strength to the surface-treated upper surface of the substrate, evaporating the alloy with an electron beam, and depositing the alloy on the substrate to form a primary deposition layer; A secondary deposition process of putting the substrate on which the primary deposition layer is deposited into a vacuum chamber, evaporating copper (Cu) with an electron beam, and depositing copper (Cu) on the substrate to form a secondary deposition layer; a primary plating process of forming a copper (Cu) plating layer through electrolytic plating on the substrate on which the first and secondary deposition layers are deposited; An etching process of wet etching the first and second deposition layers and the copper plating layer at once to form a metal circuit pattern; and a secondary plating process of forming a tin (Sn) plating layer on the copper plating layer on the upper surface of the metal circuit pattern through electrolytic plating to cover the color of the copper plating layer.
여기에서, 상기 기판은 그 두께가 25~60㎛이고, 투명도가 85~95%이며, 열팽창계수가 3~10PPM이다.Here, the substrate has a thickness of 25 to 60㎛, transparency of 85 to 95%, and thermal expansion coefficient of 3 to 10 PPM.
여기에서 또한, 상기 OCA 필름은 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET) 재질이고, 그 두께가 20~200㎛이다.Here, the OCA film is made of polyethylene terephthalate (PET) and has a thickness of 20 to 200 μm.
여기에서 또, 상기 1차 증착층의 합금은 니켈(Ni)-구리(Cu) 또는 니켈(Ni)-크롬(Cr)이다.Here again, the alloy of the primary deposition layer is nickel (Ni)-copper (Cu) or nickel (Ni)-chromium (Cr).
여기에서 또, 상기 1차 증착층의 합금이 니켈(Ni)-구리(Cu)인 경우 비율이 50~70 : 30~50 중량%이다.Here again, when the alloy of the primary deposition layer is nickel (Ni)-copper (Cu), the ratio is 50 to 70:30 to 50% by weight.
여기에서 또, 상기 1차 증착층의 합금이 니켈(Ni)-크롬(Cr)인 경우 비율이 70~98 : 2~30 중량%이다.Here again, when the alloy of the primary deposition layer is nickel (Ni)-chromium (Cr), the ratio is 70 to 98:2 to 30% by weight.
여기에서 또, 상기 1차 증착층은 그 증착 두께가 0.01~0.05㎛이고, 상기 2차 증착층은 그 증착 두께가 0.05~0.2㎛이다.Here again, the primary deposition layer has a deposition thickness of 0.01 to 0.05 μm, and the secondary deposition layer has a deposition thickness of 0.05 to 0.2 μm.
여기에서 또, 상기 1차 도금 공정은 2회에 걸쳐 구리(Cu) 도금층을 형성하되, 첫 번째 도금시 5~13㎛ 두께, 두 번째 도금시 14~22㎛ 두께로 도금한다.Here again, the first plating process forms a copper (Cu) plating layer twice, with a thickness of 5 to 13 μm for the first plating and a thickness of 14 to 22 μm for the second plating.
여기에서 또, 상기 주석(Sn) 도금층은 그 도금 두께가 0.5~2㎛이다.Here again, the tin (Sn) plating layer has a plating thickness of 0.5 to 2 μm.
본 발명의 다른 특징은,Another feature of the present invention is,
상기의 불소가 포함된 투명 폴리이미드 시트를 이용한 전자기판 제조방법에 의해 제조된 전자기판을 특징으로 한다.It features an electronic board manufactured by the electronic board manufacturing method using the above-mentioned transparent polyimide sheet containing fluorine.
상기와 같이 구성되는 본 발명인 불소가 포함된 투명 폴리이미드 시트를 이용한 전자기판 제조방법에 따르면, 불소가 함유된 투명 폴리이미드(Polyimide; PI)를 기판으로 사용하여 200℃ 이상에서 녹는 납의 사용이 가능하도록 함으로써 전자부품 부착 강도를 높여 제품의 안정성을 높일 수 있다.According to the method of manufacturing an electronic board using a transparent polyimide sheet containing fluorine, which is configured as described above, it is possible to use lead that melts above 200°C by using transparent polyimide (PI) containing fluorine as a substrate. By doing so, the stability of the product can be improved by increasing the attachment strength of electronic components.
또한, 본 발명에 따르면 불소가 함유된 투명 폴리이미드(Polyimide; PI)인 기판에 금속을 증착 전에 전자빔으로 표면 처리를 수행하여 표면 장력을 높여 부착력을 증대시킬 수 있다.In addition, according to the present invention, surface treatment can be performed with an electron beam before depositing a metal on a fluorine-containing transparent polyimide (PI) substrate to increase surface tension and thereby increase adhesion.
또한, 본 발명에 따르면 기판의 열팽창 계수(CTE)가 낮아 온도변화가 심한 곳에서 사용을 하더라도 크랙이 발생하는 것을 방지할 수 있다.In addition, according to the present invention, the coefficient of thermal expansion (CTE) of the substrate is low, so cracks can be prevented even when used in places where temperature changes are severe.
도 1은 본 발명에 따른 불소가 포함된 투명 폴리이미드 시트를 이용한 전자기판 제조방법을 개략적으로 나타낸 공정도이다.
도 2 및 도 3은 본 발명에 따른 불소가 포함된 투명 폴리이미드 시트를 이용한 전자기판 제조방법을 설명하기 위한 설명도이다.Figure 1 is a process diagram schematically showing a method of manufacturing an electronic substrate using a transparent polyimide sheet containing fluorine according to the present invention.
Figures 2 and 3 are explanatory diagrams to explain a method of manufacturing an electronic substrate using a transparent polyimide sheet containing fluorine according to the present invention.
이하, 본 발명에 따른 불소가 포함된 투명 폴리이미드 시트를 이용한 전자기판 제조방법을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the method of manufacturing an electronic substrate using a transparent polyimide sheet containing fluorine according to the present invention will be described in detail with reference to the attached drawings.
하기에서 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 것이다. 그리고 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.In the following description of the present invention, if it is determined that a detailed description of a related known function or configuration may unnecessarily obscure the gist of the present invention, the detailed description will be omitted. The terms described below are defined in consideration of the functions in the present invention, and may vary depending on the intention or custom of the user or operator. Therefore, the definition should be made based on the contents throughout this specification.
도 1은 본 발명에 따른 불소가 포함된 투명 폴리이미드 시트를 이용한 전자기판 제조방법을 개략적으로 나타낸 공정도이고, 도 2 및 도 3은 본 발명에 따른 불소가 포함된 투명 폴리이미드 시트를 이용한 전자기판 제조방법을 설명하기 위한 설명도이다.Figure 1 is a process diagram schematically showing a method of manufacturing an electronic substrate using a transparent polyimide sheet containing fluorine according to the present invention, and Figures 2 and 3 are a schematic diagram showing an electronic substrate manufacturing method using a transparent polyimide sheet containing fluorine according to the present invention. This is an explanatory diagram to explain the manufacturing method.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 불소가 포함된 투명 폴리이미드 시트를 이용한 전자기판 제조방법은 보호 필름 부착 공정(S10)과, 표면 처리 공정(S20)과, 1차 증착 공정(S30)과, 2차 증착 공정(S40)과, 1차 도금 공정(S50)과, 에칭 공정(S60) 및 2차 도금 공정(S70)으로 이루어진다.1 to 3, the method of manufacturing an electronic substrate using a transparent polyimide sheet containing fluorine according to the present invention includes a protective film attachment process (S10), a surface treatment process (S20), and a primary deposition process ( It consists of a second deposition process (S40), a first plating process (S50), an etching process (S60), and a second plating process (S70).
《보호 필름 부착 공정-S10》《Protective film attachment process-S10》
먼저, 도 2의 (a)에 도시된 바와 같이 불소가 포함된 투명 폴리이미드 시트인 기판(10)의 저면에 보호 필름인 OCA 필름(20)을 부착한다.First, as shown in (a) of FIG. 2, the OCA
이때, 기판(10)은 그 두께가 25~60㎛이고, 투명도가 85~95%이며, 200℃ 이상에서 녹는 납의 사용시에도 열팽창계수가 낮아 클랙이 발생하는 것을 방지하도록 열팽창계수가 3~10PPM인 것이 바람직하고, OCA 필름(20)은 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET) 재질이고, 그 두께가 20~200㎛이다.At this time, the
《표면 처리 공정-S20》《Surface Treatment Process-S20》
OCA 필름(20)의 부착이 완료되면, OCA 필름(20)이 저면에 부착된 기판(10)을 진공 챔버에 투입하고, 도 2의 (b)에 도시된 바와 같이 아르곤 가스를 전자빔을 이용해서 가열하여 기판(10)의 표면에 충돌시켜 표면을 처리하여 표면 장력을 증대시킨다.When attachment of the
즉, 기판(10)으로 사용되는 투명 폴리이미드 필름은 열안정성, 내화학성 및 기계적 강도가 우수한 소재로 각광받고 있는 고분자 재료로 연성 회로 기판(Flexible Printed Circuit Board) 분야에 적용이 확대되고 있는 추세에 있다. 하지만 표면에 극성기가 없기 때문에 금속과의 접착력이 저하되는 단점이 있다.In other words, the transparent polyimide film used as the
이러한 단점을 개선하기 위하여 본 발명에서는 기판(10) 표면에 극성기를 갖는 미세한 굴곡을 형성시켜 증착층과의 밀착성을 향상시키고, 표면 장력을 증대시킨다.In order to improve this disadvantage, in the present invention, fine curves with polar groups are formed on the surface of the
《1차 증착 공정-S30》《Primary deposition process-S30》
기판(10)의 표면 처리가 완료되면, 도 2의 (c)에 도시된 바와 같이 표면 처리된 기판(10)의 상면에 접착 강도를 높이기 위해 기판(10)을 진공 챔버에 투입하고, 합금을 전자빔으로 증발시켜 기판(10)에 합금을 증착하여 1차 증착층(30)을 형성한다.When the surface treatment of the
이때, 1차 증착층(30)의 합금은 니켈(Ni)-구리(Cu) 또는 니켈(Ni)-크롬(Cr)이고, 니켈(Ni)-구리(Cu)인 경우 비율이 50~70 : 30~50 중량%이며, 니켈(Ni)-크롬(Cr)인 경우 비율이 70~98 : 2~30 중량%이며, 그 증착 두께가 0.01~0.05㎛인 것이 바람직하다.At this time, the alloy of the
《2차 증착 공정-S40》《Secondary deposition process-S40》
1차 증착이 완료되면, 도 2의 (d)에 도시된 바와 같이 1차 증착층(30)이 증착된 기판(10)을 진공 챔버에 투입하고, 구리(Cu)를 전자빔으로 증발시켜 기판(10)에 구리(Cu)를 증착하여 2차 증착층(40)을 형성한다.When the primary deposition is completed, as shown in (d) of FIG. 2, the
이때, 2차 증착층(40)은 그 증착 두께가 0.05~0.2㎛인 것이 바람직하다.At this time, the
《1차 도금 공정-S50》《First plating process-S50》
2차 증착이 완료되면, 도 3의 (a)에 도시된 바와 같이 제 1, 2차 증착층(30, 40)이 증착된 기판(10)을 전해 도금을 통해 구리(Cu) 도금층(50)을 형성한다.When secondary deposition is completed, as shown in (a) of FIG. 3, the
이때, 1차 도금 공정(S50)은 2회에 걸쳐 구리(Cu) 도금층(50)을 형성하되, 첫 번째 도금시 5~13㎛ 두께, 두 번째 도금시 14~22㎛ 두께로 도금하는 데, 1회 도금시 도금 두께가 10~14㎛까지가 가능하기 때문에 2회에 걸쳐 도금을 수행한다.At this time, the first plating process (S50) forms the copper (Cu) plating
《에칭 공정-S60》《Etching Process-S60》
1차 도금이 완료되면, 도 3의 (b)에 도시된 바와 같이 제 1, 2증착층(30, 40) 및 구리 도금층(50)을 한 번에 습식 에칭하여 금속 회로 패턴(P)을 형성하는 데, 통상의 방식과 같이 금속 회로 패턴(P)에 포토레지스터를 부착하고, 황산으로 에칭하여 세척한다.When the first plating is completed, the first and second deposition layers 30 and 40 and the
《2차 도금 공정-S70》《Second plating process-S70》
에칭이 완료되면, 도 3의 (c)에 도시된 바와 같이 기판(10) 상에 형성된 금속 회로 패턴(P) 상면의 구리 도금층(50) 상에 구리 도금층(50)의 색상을 커버하기 위해 전해 도금을 통해 주석(Sn) 도금층(60)을 형성한다.When etching is completed, electrolysis is applied to cover the color of the
이때, 주석(Sn) 도금층(60)은 그 도금 두께가 0.5~2㎛인 것이 바람직하다.At this time, the tin (Sn) plating
본 발명은 다양하게 변형될 수 있고 여러 가지 형태를 취할 수 있으며 상기 발명의 상세한 설명에서는 그에 따른 특별한 실시 예에 대해서만 기술하였다. 하지만 본 발명은 상세한 설명에서 언급되는 특별한 형태로 한정되는 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 오히려 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.The present invention can be modified in various ways and can take various forms, and in the detailed description of the invention, only special embodiments thereof have been described. However, it should be understood that the present invention is not limited to the particular form mentioned in the detailed description, but rather is understood to include all modifications, equivalents and substitutes within the spirit and scope of the present invention as defined by the appended claims. It has to be.
10 : 기판 20 : OCA 필름
30 : 1차 증착층 40 : 2차 증착층
50 : 구리 도금층 60 : 주석 도금층10: Substrate 20: OCA film
30: primary deposition layer 40: secondary deposition layer
50: copper plating layer 60: tin plating layer
Claims (10)
상기 OCA 필름이 저면에 부착된 상기 기판을 진공 챔버에 투입하고, 아르곤 가스를 전자빔을 이용해서 가열하여 상기 기판의 표면에 충돌시켜 표면을 처리하여 표면 장력을 증대시키는 표면 처리 공정과;
표면 처리된 상기 기판의 상면에 접착 강도를 높이기 위해 상기 기판을 진공 챔버에 투입하고, 합금을 전자빔으로 증발시켜 상기 기판에 합금을 0.01~0.05㎛의 두께로 증착하여 1차 증착층을 형성하는 1차 증착 공정과;
상기 1차 증착층이 증착된 상기 기판을 진공 챔버에 투입하고, 구리(Cu)를 전자빔으로 증발시켜 상기 기판에 구리(Cu)를 0.05~0.2㎛의 두께로 증착하여 2차 증착층을 형성하는 2차 증착 공정과;
상기 제 1, 2차 증착층이 증착된 상기 기판을 전해 도금을 통해 구리(Cu) 도금층을 형성하는 1차 도금 공정과;
상기 제 1, 2증착층 및 구리 도금층을 한번에 습식 에칭하여 금속 회로 패턴을 형성하는 에칭 공정; 및
상기 금속 회로 패턴 상면의 구리 도금층 상에 상기 구리 도금층의 색상을 커버하기 위해 전해 도금을 통해 주석(Sn) 도금층을 형성하는 2차 도금 공정으로 이루어지며,
상기 1차 도금 공정은,
2회에 걸쳐 구리(Cu) 도금층을 형성하되, 첫 번째 도금시 5~13㎛ 두께, 두 번째 도금시 14~22㎛ 두께로 도금하는 것을 특징으로 하는 불소가 포함된 투명 폴리이미드 시트를 이용한 전자기판 제조방법.It is a transparent polyimide sheet containing fluorine, its thickness is 25 to 60㎛, transparency is 85 to 95%, and the bottom of the substrate with a thermal expansion coefficient of 3 to 10 PPM is made of polyethylene terephthalate (PET). A protective film attachment process of attaching an OCA film, a 20-200㎛ protective film;
A surface treatment process of placing the substrate with the OCA film attached on the bottom into a vacuum chamber, heating argon gas using an electron beam and colliding with the surface of the substrate to treat the surface to increase surface tension;
In order to increase the adhesion strength to the upper surface of the surface-treated substrate, the substrate is placed in a vacuum chamber, the alloy is evaporated with an electron beam, and the alloy is deposited on the substrate to a thickness of 0.01 to 0.05 ㎛ to form a primary deposition layer. secondary deposition process;
The substrate on which the primary deposition layer is deposited is placed in a vacuum chamber, copper (Cu) is evaporated with an electron beam, and copper (Cu) is deposited on the substrate to a thickness of 0.05 to 0.2 μm to form a secondary deposition layer. secondary deposition process;
a primary plating process of forming a copper (Cu) plating layer through electrolytic plating on the substrate on which the first and secondary deposition layers are deposited;
An etching process of wet etching the first and second deposition layers and the copper plating layer at once to form a metal circuit pattern; and
It consists of a secondary plating process of forming a tin (Sn) plating layer on the upper surface of the metal circuit pattern through electrolytic plating to cover the color of the copper plating layer,
The first plating process is,
Electronics using a transparent polyimide sheet containing fluorine, which forms a copper (Cu) plating layer twice, with a thickness of 5-13㎛ for the first plating and a thickness of 14-22㎛ for the second plating. Substrate manufacturing method.
상기 1차 증착층의 합금은,
니켈(Ni)-구리(Cu) 또는 니켈(Ni)-크롬(Cr)인 것을 특징으로 하는 불소가 포함된 투명 폴리이미드 시트를 이용한 전자기판 제조방법.According to claim 1,
The alloy of the primary deposition layer is,
A method of manufacturing an electronic board using a transparent polyimide sheet containing fluorine, characterized in that it is nickel (Ni)-copper (Cu) or nickel (Ni)-chromium (Cr).
상기 1차 증착층의 합금이 니켈(Ni)-구리(Cu)인 경우 비율이 50~70 : 30~50 중량%인 것을 불소가 포함된 투명 폴리이미드 시트를 이용한 전자기판 제조방법.According to claim 4,
When the alloy of the primary deposition layer is nickel (Ni)-copper (Cu), the ratio is 50 to 70: 30 to 50% by weight. A method of manufacturing an electronic board using a transparent polyimide sheet containing fluorine.
상기 1차 증착층의 합금이 니켈(Ni)-크롬(Cr)인 경우 비율이 70~98 : 2~30 중량%인 것을 불소가 포함된 투명 폴리이미드 시트를 이용한 전자기판 제조방법.According to claim 1,
When the alloy of the primary deposition layer is nickel (Ni)-chromium (Cr), the ratio is 70 to 98: 2 to 30% by weight. A method of manufacturing an electronic substrate using a transparent polyimide sheet containing fluorine.
상기 주석(Sn) 도금층은,
그 도금 두께가 0.5~2㎛인 것을 특징으로 하는 불소가 포함된 투명 폴리이미드 시트를 이용한 전자기판 제조방법.According to claim 1,
The tin (Sn) plating layer is,
A method of manufacturing an electronic board using a transparent polyimide sheet containing fluorine, characterized in that the plating thickness is 0.5 to 2㎛.
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