KR102639844B1 - Light emitting device - Google Patents

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KR102639844B1 KR1020180131230A KR20180131230A KR102639844B1 KR 102639844 B1 KR102639844 B1 KR 102639844B1 KR 1020180131230 A KR1020180131230 A KR 1020180131230A KR 20180131230 A KR20180131230 A KR 20180131230A KR 102639844 B1 KR102639844 B1 KR 102639844B1
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정성호
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    • H01L33/62Arrangements for conducting electric current to or from the semiconductor body, e.g. lead-frames, wire-bonds or solder balls

Abstract

실시 예는, 제1 도전형 반도체층 상에 이격 배치되는 복수 개의 발광부; 상기 제1 도전형 반도체층과 전기적으로 연결되는 제1 전극; 상기 복수 개의 발광부와 전기적으로 연결되는 복수 개의 제2 전극; 상기 제1 전극과 상기 복수 개의 제2 전극 상에 배치되는 절연층; 상기 절연층 상에 배치되는 제1 패드 및 제2 패드를 포함하고, 상기 복수 개의 발광부는 각각 활성층, 및 제2 도전형 반도체층을 포함하고, 상기 제1 전극은 상기 복수 개의 발광부 중 적어도 하나의 발광부를 감싸며 배치되고, 상기 제2 패드는 상기 절연층을 관통하여 상기 복수 개의 제2 전극과 전기적으로 연결되고, 상기 제1 패드는 상기 제1 전극과 전기적으로 연결되는 발광소자를 개시한다.The embodiment includes a plurality of light emitting units spaced apart from each other on a first conductivity type semiconductor layer; a first electrode electrically connected to the first conductive semiconductor layer; a plurality of second electrodes electrically connected to the plurality of light emitting units; an insulating layer disposed on the first electrode and the plurality of second electrodes; It includes a first pad and a second pad disposed on the insulating layer, the plurality of light emitting units each include an active layer and a second conductivity type semiconductor layer, and the first electrode is at least one of the plurality of light emitting units. is disposed surrounding the light-emitting portion, the second pad penetrates the insulating layer and is electrically connected to the plurality of second electrodes, and the first pad initiates a light-emitting device that is electrically connected to the first electrode.

Description

발광소자{LIGHT EMITTING DEVICE}Light emitting device {LIGHT EMITTING DEVICE}

실시 예는 발광소자에 관한 것이다.The embodiment relates to a light emitting device.

GaN, AlGaN 등의 화합물을 포함하는 반도체 소자는 넓고 조정이 용이한 밴드 갭 에너지를 가지는 등의 많은 장점을 가져서 발광 소자, 수광 소자 및 각종 다이오드 등으로 다양하게 사용될 수 있다.Semiconductor devices containing compounds such as GaN and AlGaN have many advantages, such as having a wide and easily adjustable band gap energy, and can be used in a variety of ways, such as light emitting devices, light receiving devices, and various diodes.

특히, 반도체의 3-5족 또는 2-6족 화합물 반도체 물질을 이용한 발광 다이오드(Light Emitting Diode)나 레이저 다이오드(Laser Diode)와 같은 발광소자는 박막 성장 기술 및 소자 재료의 개발로 적색, 녹색, 청색 및 자외선 등 다양한 색을 구현할 수 있으며, 형광 물질을 이용하거나 색을 조합함으로써 효율이 좋은 백색 광선도 구현이 가능하며, 형광등, 백열등 등 기존의 광원에 비해 저소비전력, 반영구적인 수명, 빠른 응답속도, 안전성, 환경 친화성의 장점을 가진다. In particular, light-emitting devices such as light emitting diodes and laser diodes using group 3-5 or group 2-6 compound semiconductor materials have been developed into red, green, and green colors through the development of thin film growth technology and device materials. Various colors such as blue and ultraviolet rays can be realized, and efficient white light can also be realized by using fluorescent materials or combining colors. Compared to existing light sources such as fluorescent lights and incandescent lights, it has low power consumption, semi-permanent lifespan, and fast response speed. , has the advantages of safety and environmental friendliness.

뿐만 아니라, 광검출기나 태양 전지와 같은 수광 소자도 반도체의 3-5족 또는 2-6족 화합물 반도체 물질을 이용하여 제작하는 경우 소자 재료의 개발로 다양한 파장 영역의 빛을 흡수하여 광 전류를 생성함으로써 감마선부터 라디오 파장 영역까지 다양한 파장 영역의 빛을 이용할 수 있다. 또한 빠른 응답속도, 안전성, 환경 친화성 및 소자 재료의 용이한 조절의 장점을 가져 전력 제어 또는 초고주파 회로나 통신용 모듈에도 용이하게 이용할 수 있다.In addition, when light-receiving devices such as photodetectors or solar cells are manufactured using group 3-5 or group 2-6 compound semiconductor materials, the development of device materials absorbs light in various wavelength ranges to generate photocurrent. By doing so, light of various wavelengths, from gamma rays to radio wavelengths, can be used. In addition, it has the advantages of fast response speed, safety, environmental friendliness, and easy control of device materials, so it can be easily used in power control, ultra-high frequency circuits, or communication modules.

따라서, 반도체 소자는 광 통신 수단의 송신 모듈, LCD(Liquid Crystal Display) 표시 장치의 백라이트를 구성하는 냉음극관(CCFL: Cold Cathode Fluorescence Lamp)을 대체하는 발광 다이오드 백라이트, 형광등이나 백열 전구를 대체할 수 있는 백색 발광 다이오드 조명 장치, 자동차 헤드 라이트 및 신호등 및 Gas나 화재를 감지하는 센서 등에까지 응용이 확대되고 있다. 또한, 반도체 소자는 고주파 응용 회로나 기타 전력 제어 장치, 통신용 모듈에까지 응용이 확대될 수 있다.Therefore, semiconductor devices can replace the transmission module of optical communication means, the light emitting diode backlight that replaces the cold cathode fluorescence lamp (CCFL) that constitutes the backlight of LCD (Liquid Crystal Display) display devices, and fluorescent or incandescent light bulbs. Applications are expanding to include white light-emitting diode lighting devices, automobile headlights and traffic lights, and sensors that detect gas or fire. Additionally, the applications of semiconductor devices can be expanded to high-frequency application circuits, other power control devices, and communication modules.

특히, 자외선 파장 영역의 광을 방출하는 발광소자는 경화작용이나 살균 작용을 하여 경화용, 의료용, 및 살균용으로 사용될 수 있다.In particular, light-emitting devices that emit light in the ultraviolet wavelength range have a curing or sterilizing effect and can be used for curing, medical purposes, and sterilization.

최근 자외선 발광소자에 대한 연구가 활발하나, 아직까지 자외선 발광소자는 플립칩으로 구현하기 어려운 문제가 있다.Recently, research on ultraviolet light-emitting devices has been active, but it is still difficult to implement ultraviolet light-emitting devices with flip chips.

실시 예는 플립칩 타입의 자외선 발광소자를 제공한다.The embodiment provides a flip chip type ultraviolet light emitting device.

또한, 발광 효율이 향상된 발광소자를 제공한다.Additionally, a light emitting device with improved luminous efficiency is provided.

실시 예에서 해결하고자 하는 과제는 이에 한정되는 것은 아니며, 아래에서 설명하는 과제의 해결수단이나 실시 형태로부터 파악될 수 있는 목적이나 효과도 포함된다고 할 것이다.The problem to be solved in the embodiment is not limited to this, and it will also include means of solving the problem described below and purposes and effects that can be understood from the embodiment.

본 발명의 일 특징에 따른 발광소자는, 제1 도전형 반도체층 상에 이격 배치되는 복수 개의 발광부; 상기 제1 도전형 반도체층과 전기적으로 연결되는 제1 전극; 상기 복수 개의 발광부와 전기적으로 연결되는 복수 개의 제2 전극; 상기 제1 전극과 상기 복수 개의 제2 전극 상에 배치되는 절연층; 상기 절연층 상에 배치되는 제1 패드 및 제2 패드를 포함하고, 상기 복수 개의 발광부는 각각 활성층, 및 제2 도전형 반도체층을 포함하고, 상기 제1 전극은 상기 복수 개의 발광부 중 적어도 하나의 발광부를 감싸며 배치되고, 상기 제2 패드는 상기 절연층을 관통하여 상기 복수 개의 제2 전극과 전기적으로 연결되고, 상기 제1 패드는 상기 제1 전극과 전기적으로 연결된다.A light emitting device according to an aspect of the present invention includes a plurality of light emitting units spaced apart from each other on a first conductivity type semiconductor layer; a first electrode electrically connected to the first conductive semiconductor layer; a plurality of second electrodes electrically connected to the plurality of light emitting units; an insulating layer disposed on the first electrode and the plurality of second electrodes; It includes a first pad and a second pad disposed on the insulating layer, the plurality of light emitting units each include an active layer and a second conductivity type semiconductor layer, and the first electrode is at least one of the plurality of light emitting units. is disposed surrounding the light emitting portion, the second pad penetrates the insulating layer and is electrically connected to the plurality of second electrodes, and the first pad is electrically connected to the first electrode.

상기 복수 개의 발광부는 상기 제1 패드와 수직 방향으로 중첩되는 적어도 하나의 제1 발광부 및 상기 제2 패드와 수직 방향으로 중첩되는 복수 개의 제2 발광부를 포함하고, 상기 제1 전극은 상기 적어도 하나의 제1 발광부 상으로 연장되는 연장부를 포함하고, 상기 제1 패드는 상기 절연층을 관통하여 상기 연장부와 전기적으로 연결될 수 있다.The plurality of light emitting units include at least one first light emitting unit vertically overlapping with the first pad and a plurality of second light emitting units vertically overlapping with the second pad, and the first electrode includes the at least one light emitting unit. and an extension part extending onto the first light emitting part, and the first pad may penetrate the insulating layer and be electrically connected to the extension part.

상기 제1 발광부의 면적은 상기 복수 개의 제2 발광부의 면적보다 클 수 있다.The area of the first light emitting unit may be larger than the area of the plurality of second light emitting units.

상기 제1 패드의 면적은 상기 제2 패드의 면적의 10% 내지 30%일 수 있다.The area of the first pad may be 10% to 30% of the area of the second pad.

상기 복수 개의 발광부는 원 형상 또는 다각 형상을 가질 수 있다.The plurality of light emitting units may have a circular shape or a polygonal shape.

상기 복수 개의 발광부는 원 형상을 갖고, 상기 복수 개의 발광부의 직경은 30㎛ 내지 70㎛일 수 있다.The plurality of light emitting units may have a circular shape, and the diameter of the plurality of light emitting units may be 30 μm to 70 μm.

상기 제1 도전형 반도체층, 활성층, 및 상기 제2 도전형 반도체층의 알루미늄 조성은 40% 이상일 수 있다.The aluminum composition of the first conductive semiconductor layer, the active layer, and the second conductive semiconductor layer may be 40% or more.

상기 복수 개의 발광부의 크기는 서로 상이할 수 있다.The sizes of the plurality of light emitting units may be different from each other.

상기 복수 개의 발광부에 배치된 활성층의 전체 면적은 발광소자 최대 면적의 50% 내지 90%일 수 있다.The total area of the active layer disposed in the plurality of light emitting units may be 50% to 90% of the maximum area of the light emitting device.

상기 제1 도전형 반도체층, 활성층, 및 상기 제2 도전형 반도체층의 알루미늄 조성은 40% 이상이고, 상기 복수 개의 발광부의 직경은 30㎛ 내지 70㎛일 수 있다.The aluminum composition of the first conductive semiconductor layer, the active layer, and the second conductive semiconductor layer may be 40% or more, and the diameter of the plurality of light emitting parts may be 30 μm to 70 μm.

상기 활성층은 100nm 내지 310nm에서 메인 피크를 갖는 광을 출사할 수 있다.The active layer may emit light having a main peak between 100 nm and 310 nm.

상기 제1 패드와 상기 제2 패드 사이에 배치되는 격벽을 포함하고, 상기 절연층은 상기 격벽 상에 배치될 수 있다.It may include a barrier rib disposed between the first pad and the second pad, and the insulating layer may be disposed on the barrier rib.

상기 제1 패드 상면과 상기 격벽 상에 배치된 절연층의 높이비는 1: 0.8 내지 1:1일 수 있다.The height ratio of the upper surface of the first pad and the insulating layer disposed on the partition may be 1:0.8 to 1:1.

상기 격벽은 상기 제1 패드와 상기 제2 패드 사이의 쇼트를 방지할 수 있다.The partition wall can prevent short circuit between the first pad and the second pad.

본 발명의 다른 특징에 따른 발광소자는, 제1 도전형 반도체층 상에 이격 배치되는 복수 개의 발광부를 포함하고, 상기 복수 개의 발광부는 각각 활성층 및 상기 활성층 상에 배치되는 제2 도전형 반도체층을 포함하는 발광 구조물; 상기 제1 도전형 반도체층 상에 배치되는 제1 전극; 상기 복수 개의 발광부 상에 배치되는 복수 개의 제2 전극; 상기 제1 전극과 상기 복수 개의 제2 전극 상에 배치되는 제1 절연층; 상기 제1 절연층 상에 배치되는 제2 절연층; 상기 제1 절연층과 상기 제2 절연층 사이에 배치되는 채널전극; 상기 제1 전극과 전기적으로 연결되는 제1 패드; 및 상기 제2 전극과 전기적으로 연결되는 제2 패드를 포함하고, 상기 복수 개의 발광부는 상기 제1 패드와 수직 방향으로 중첩되는 제1 발광부 및 상기 제2 패드와 수직 방향으로 중첩되는 제2 발광부를 포함하고, 상기 채널전극은 상기 제1 발광부와 상기 제2 발광부를 전기적으로 연결하고, 상기 제2 절연층은 상기 채널전극과 상기 제1 패드 사이에 배치될 수 있다.A light emitting device according to another feature of the present invention includes a plurality of light emitting units spaced apart on a first conductivity type semiconductor layer, and the plurality of light emitting units each include an active layer and a second conductivity type semiconductor layer disposed on the active layer. A light emitting structure comprising; a first electrode disposed on the first conductive semiconductor layer; a plurality of second electrodes disposed on the plurality of light emitting units; a first insulating layer disposed on the first electrode and the plurality of second electrodes; a second insulating layer disposed on the first insulating layer; a channel electrode disposed between the first insulating layer and the second insulating layer; a first pad electrically connected to the first electrode; and a second pad electrically connected to the second electrode, wherein the plurality of light emitting units include a first light emitting unit that overlaps the first pad in a vertical direction and a second light emitting unit that overlaps the second pad in the vertical direction. The channel electrode may electrically connect the first light emitting unit and the second light emitting unit, and the second insulating layer may be disposed between the channel electrode and the first pad.

상기 제1 패드의 면적은 상기 제2 패드의 면적의 10% 내지 30%일 수 있다.The area of the first pad may be 10% to 30% of the area of the second pad.

상기 제2 패드의 면적은 상기 제1 패드와 동일할 수 있다.The area of the second pad may be the same as the first pad.

실시 예에 따르면, 플립칩 타입의 자외선 발광소자를 제작할 수 있다. According to the embodiment, a flip chip type ultraviolet light emitting device can be manufactured.

또한, 발광 효율을 개선할 수 있다. Additionally, luminous efficiency can be improved.

본 발명의 다양하면서도 유익한 장점과 효과는 상술한 내용에 한정되지 않으며, 본 발명의 구체적인 실시형태를 설명하는 과정에서 보다 쉽게 이해될 수 있을 것이다.The various and beneficial advantages and effects of the present invention are not limited to the above-described content, and may be more easily understood through description of specific embodiments of the present invention.

도 1은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 발광소자의 평면도이고,
도 2는 도 1의 A-A 방향 단면도이고,
도 3a는 제1 전극과 제2 전극을 보여주는 평면도이고,
도 3b는 도 2의 변형예이고,
도 4a는 도 1의 제1 변형예이고,
도 4b는 도 2의 제2 변형예이고,
도 5는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 발광소자의 단면도이고,
도 6은 도 5의 B-B 방향 단면도이고,
도 7은 본 발명의 제3 실시 예에 따른 발광소자의 평면도이고,
도 8은 도 7의 C-C 방향 단면도이고,
도 9는 본 발명의 제4 실시 예에 따른 발광소자의 평면도이고,
도 10은 도 9의 D-D 방향 단면도이고,
도 11은 도 9의 E-E 방향 단면도이고,
도 12는 제1 전극과 활성층의 평면도이고,
도 13은 본 발명의 제5 실시 예에 따른 발광소자의 평면도이고,
도 14는 도 13의 F-F 방향 단면도이고,
도 15는 제1 전극과 활성층의 평면도이고,
도 16은 도 13을 다른 방향에서 본 단면도이고,
도 17은 본 발명의 제6 실시 예에 따른 발광소자의 평면도이고,
도 18은 본 발명의 제7 실시 예에 따른 발광소자의 평면도이고,
도 19는 본 발명의 일 실시 예에 따른 발광소자 패키지의 단면도이다.
1 is a plan view of a light emitting device according to a first embodiment of the present invention;
Figure 2 is a cross-sectional view taken along the AA direction of Figure 1;
3A is a plan view showing the first electrode and the second electrode;
Figure 3b is a modified example of Figure 2,
Figure 4a is a first modified example of Figure 1;
Figure 4b is a second modification of Figure 2,
Figure 5 is a cross-sectional view of a light emitting device according to a second embodiment of the present invention;
Figure 6 is a cross-sectional view in the BB direction of Figure 5,
Figure 7 is a plan view of a light emitting device according to a third embodiment of the present invention;
Figure 8 is a cross-sectional view in the CC direction of Figure 7,
Figure 9 is a plan view of a light emitting device according to a fourth embodiment of the present invention;
Figure 10 is a cross-sectional view in the DD direction of Figure 9;
Figure 11 is a cross-sectional view in the EE direction of Figure 9;
12 is a top view of the first electrode and the active layer;
Figure 13 is a plan view of a light emitting device according to a fifth embodiment of the present invention;
Figure 14 is a cross-sectional view in the FF direction of Figure 13,
15 is a top view of the first electrode and the active layer;
Figure 16 is a cross-sectional view of Figure 13 seen from another direction;
Figure 17 is a plan view of a light emitting device according to a sixth embodiment of the present invention;
Figure 18 is a plan view of a light emitting device according to a seventh embodiment of the present invention;
Figure 19 is a cross-sectional view of a light emitting device package according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the attached drawings.

다만, 본 발명의 기술 사상은 설명되는 일부 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있고, 본 발명의 기술 사상 범위 내에서라면, 실시 예들간 그 구성 요소들 중 하나 이상을 선택적으로 결합, 치환하여 사용할 수 있다.However, the technical idea of the present invention is not limited to some of the described embodiments, but may be implemented in various different forms, and as long as it is within the scope of the technical idea of the present invention, one or more of the components may be optionally used between the embodiments. It can be used by combining and replacing.

또한, 본 발명의 실시 예에서 사용되는 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는, 명백하게 특별히 정의되어 기술되지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 일반적으로 이해될 수 있는 의미로 해석될 수 있으며, 사전에 정의된 용어와 같이 일반적으로 사용되는 용어들은 관련 기술의 문맥상의 의미를 고려하여 그 의미를 해석할 수 있을 것이다.In addition, terms (including technical and scientific terms) used in the embodiments of the present invention, unless specifically defined and described, are generally understood by those skilled in the art to which the present invention pertains. It can be interpreted as meaning, and the meaning of commonly used terms, such as terms defined in a dictionary, can be interpreted by considering the contextual meaning of the related technology.

또한, 본 발명의 실시 예에서 사용된 용어는 실시 예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다.Additionally, the terms used in the embodiments of the present invention are for describing the embodiments and are not intended to limit the present invention.

본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함할 수 있고, "A 및(와) B, C 중 적어도 하나(또는 한 개 이상)"로 기재되는 경우 A, B, C로 조합할 수 있는 모든 조합 중 하나 이상을 포함할 수 있다.In this specification, the singular may also include the plural unless specifically stated in the phrase, and when described as "at least one (or more than one) of A and B and C", it is combined with A, B, and C. It can contain one or more of all possible combinations.

또한, 본 발명의 실시 예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제1, 제2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다.Additionally, when describing the components of an embodiment of the present invention, terms such as first, second, A, B, (a), and (b) may be used.

이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등으로 한정되지 않는다.These terms are only used to distinguish the component from other components, and are not limited to the essence, sequence, or order of the component.

그리고, 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 '연결', '결합' 또는 '접속'된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성 요소에 직접적으로 연결, 결합 또는 접속되는 경우뿐만 아니라, 그 구성 요소와 그 다른 구성 요소 사이에 있는 또 다른 구성 요소로 인해 '연결', '결합' 또는 '접속' 되는 경우도 포함할 수 있다.And, when a component is described as being 'connected', 'coupled' or 'connected' to another component, the component is not only directly connected, coupled or connected to that other component, but also is connected to that component. It can also include cases where other components are 'connected', 'combined', or 'connected' due to another component between them.

또한, 각 구성 요소의 "상(위) 또는 하(아래)"에 형성 또는 배치되는 것으로 기재되는 경우, 상(위) 또는 하(아래)는 두 개의 구성 요소들이 서로 직접 접촉되는 경우뿐만 아니라, 하나 이상의 또 다른 구성 요소가 두 개의 구성 요소들 사이에 형성 또는 배치되는 경우도 포함한다. 또한, "상(위) 또는 하(아래)"로 표현되는 경우 하나의 구성 요소를 기준으로 위쪽 방향뿐만 아니라 아래쪽 방향의 의미도 포함할 수 있다.Additionally, when described as being formed or disposed "above" or "below" each component, "above" or "below" refers not only to cases in which two components are in direct contact with each other; It also includes cases where one or more other components are formed or disposed between two components. In addition, when expressed as "top (above) or bottom (bottom)", it may include not only the upward direction but also the downward direction based on one component.

도 1은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 발광소자의 평면도이고, 도 2는 도 1의 A-A 방향 단면도이고, 도 3a는 제1 전극과 제2 전극을 보여주는 평면도이고, 도 3b는 도 2의 변형예이다.FIG. 1 is a plan view of a light emitting device according to a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional view in the direction A-A of FIG. 1, FIG. 3A is a plan view showing a first electrode and a second electrode, and FIG. 3B is a plan view of a light emitting device according to a first embodiment of the present invention. This is a modified example.

도 1 및 도 2를 참조하면, 실시 예에 따른 발광소자는, 제1 도전형 반도체층(124) 상에 이격 배치되는 복수 개의 발광부(120a, 120b)를 포함하고, 복수 개의 발광부(120a, 120b)는 각각 활성층(126) 및 제2 도전형 반도체층(127)을 포함하는 발광 구조물(120), 제1 도전형 반도체층(124) 상에 배치되는 제1 전극(142), 복수 개의 발광부(120a, 120b) 상에 배치되는 복수 개의 제2 전극(146), 제1 전극(142)과 복수 개의 제2 전극(146) 상에 배치되는 절연층(160), 및 제1 패드(171)와 제2 패드(172)를 포함한다.Referring to Figures 1 and 2, the light emitting device according to the embodiment includes a plurality of light emitting parts 120a and 120b spaced apart on the first conductive semiconductor layer 124, and a plurality of light emitting parts 120a , 120b) is a light emitting structure 120 including an active layer 126 and a second conductive semiconductor layer 127, a first electrode 142 disposed on the first conductive semiconductor layer 124, and a plurality of A plurality of second electrodes 146 disposed on the light emitting units 120a and 120b, an insulating layer 160 disposed on the first electrode 142 and the plurality of second electrodes 146, and a first pad ( 171) and a second pad 172.

본 발명의 실시 예에 따른 발광 구조물(120)은 자외선 파장대의 광을 출력할 수 있다. 예시적으로 발광 구조물(120)은 근자외선 파장대의 광(UV-A)을 출력할 수도 있고, 원자외선 파장대의 광(UV-B)을 출력할 수 도 있고, 심자외선 파장대의 광(UV-C)을 출력할 수 있다.The light emitting structure 120 according to an embodiment of the present invention can output light in the ultraviolet wavelength range. For example, the light emitting structure 120 may output light in the near-ultraviolet wavelength range (UV-A), light in the far-ultraviolet wavelength range (UV-B), or light in the deep ultraviolet wavelength range (UV- C) can be output.

예시적으로, 근자외선 파장대의 광(UV-A)은 320nm 내지 390nm 범위에서 메인 피크를 가질 수 있고, 원자외선 파장대의 광(UV-B)은 280nm 내지 320nm 범위에서 메인 피크를 가질 수 있으며, 심자외선 파장대의 광(UV-C)은 100nm 내지 280nm 범위에서 메인 피크를 가질 수 있다. 메인 피크란 발광하는 전체 영역에서 가장 강도가 센 지점일 수 있다.For example, light in the near-ultraviolet wavelength range (UV-A) may have a main peak in the range of 320 nm to 390 nm, and light in the far-ultraviolet wavelength range (UV-B) may have a main peak in the range of 280 nm to 320 nm, Light in the deep ultraviolet wavelength range (UV-C) may have a main peak in the range of 100 nm to 280 nm. The main peak may be the point with the highest intensity in the entire luminescent area.

발광 구조물(120)이 자외선 파장대의 광을 발광할 때, 발광 구조물(120)의 각 반도체층은 알루미늄을 포함하는 Alx1Ga1 - x1N(0<x1≤1) 물질을 포함할 수 있다. 여기서, Al의 조성은 Ga 원자량 및 Al 원자량을 포함하는 전체 원자량과 Al 원자량의 비율로 나타낼 수 있다. 예를 들어, Al 조성이 40%인 경우 Ga 의 조성은 60%인 Al40Ga60N일 수 있다. When the light emitting structure 120 emits light in the ultraviolet wavelength range, each semiconductor layer of the light emitting structure 120 may include Al x1 Ga 1 - x1 N (0<x1≤1) material containing aluminum. Here, the composition of Al can be expressed as the ratio of the total atomic weight including Ga atomic weight and Al atomic weight and Al atomic weight. For example, if the Al composition is 40%, the Ga composition may be 60% Al 40 Ga 60 N.

기판(110)은 사파이어(Al2O3), SiC, GaAs, GaN, ZnO, Si, GaP, InP 및 Ge 중 선택된 물질로 형성될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다. 기판(110)은 자외선 파장대의 광을 투과할 수 있는 투광기판일 수 있다. 이때, 기판(110)의 상면 가장자리(110a)는 에칭 공정에 의해 발광 구조물(120)의 외측으로 노출될 수 있다. 따라서, 기판(110)이 발광 구조물(120)보다 더 넓어져 광학적 특성 및/또는 신뢰성이 개선될 수 있다.The substrate 110 may be formed of a material selected from sapphire (Al 2 O 3 ), SiC, GaAs, GaN, ZnO, Si, GaP, InP, and Ge, but is not limited thereto. The substrate 110 may be a light transmitting substrate capable of transmitting light in the ultraviolet wavelength range. At this time, the top edge 110a of the substrate 110 may be exposed to the outside of the light emitting structure 120 through an etching process. Accordingly, the substrate 110 may be wider than the light emitting structure 120 to improve optical characteristics and/or reliability.

버퍼층(미도시)은 기판(110)과 반도체층들 사이의 격자 부정합을 완화할 수 있다. 버퍼층은 Ⅲ족과 Ⅴ족 원소가 결합된 형태이거나 AlN, AlGaN, InAlGaN, AlInN 중에서 어느 하나를 포함할 수 있다. 본 실시 예는 버퍼층은 AlN일 수 있으나 이에 한정하지 않는다. 버퍼층은 도펀트를 포함할 수도 있으나 이에 한정하지 않는다.A buffer layer (not shown) may alleviate lattice mismatch between the substrate 110 and the semiconductor layers. The buffer layer may be a combination of group III and group V elements or may include any one of AlN, AlGaN, InAlGaN, and AlInN. In this embodiment, the buffer layer may be AlN, but is not limited thereto. The buffer layer may include, but is not limited to, a dopant.

제1 도전형 반도체층(124)은 Ⅲ-Ⅴ족, Ⅱ-Ⅵ족 등의 화합물 반도체로 구현될 수 있으며, 제1도펀트가 도핑될 수 있다. 제1 도전형 반도체층(124)은 Inx1Aly1Ga1 -x1-y1N(0≤x1<1, 0<y1≤1, 0≤x1+y1≤1)의 조성식을 갖는 반도체 재료, 예를 들어 AlGaN, AlN, InAlGaN 등에서 선택될 수 있다. 그리고, 제1도펀트는 Si, Ge, Sn, Se, Te와 같은 n형 도펀트일 수 있다. 제1도펀트가 n형 도펀트인 경우, 제1도펀트가 도핑된 제1 도전형 반도체층(124)은 n형 반도체층일 수 있다.The first conductive semiconductor layer 124 may be implemented as a compound semiconductor such as group III-V or group II-VI, and may be doped with a first dopant. The first conductive semiconductor layer 124 is a semiconductor material with a composition formula of In For example, it may be selected from AlGaN, AlN, InAlGaN, etc. And, the first dopant may be an n-type dopant such as Si, Ge, Sn, Se, or Te. When the first dopant is an n-type dopant, the first conductive semiconductor layer 124 doped with the first dopant may be an n-type semiconductor layer.

활성층(126)은 제1 도전형 반도체층(124)과 제2 도전형 반도체층(127) 사이에 배치될 수 있다. 활성층(126)은 제1 도전형 반도체층(124)을 통해서 주입되는 전자(또는 정공)와 제2 도전형 반도체층(127)을 통해서 주입되는 정공(또는 전자)이 만나는 층이다. 활성층(126)은 전자와 정공이 재결합함에 따라 낮은 에너지 준위로 천이하며, 자외선 파장을 가지는 빛을 생성할 수 있다.The active layer 126 may be disposed between the first conductive semiconductor layer 124 and the second conductive semiconductor layer 127. The active layer 126 is a layer where electrons (or holes) injected through the first conductive semiconductor layer 124 and holes (or electrons) injected through the second conductive semiconductor layer 127 meet. The active layer 126 transitions to a low energy level as electrons and holes recombine, and can generate light having an ultraviolet wavelength.

활성층(126)은 단일 우물 구조, 다중 우물 구조, 단일 양자 우물 구조, 다중 양자 우물(Multi Quantum Well; MQW) 구조, 양자점 구조 또는 양자선 구조 중 어느 하나의 구조를 가질 수 있으며, 활성층(126)의 구조는 이에 한정하지 않는다.The active layer 126 may have any one of a single well structure, a multi-well structure, a single quantum well structure, a multi quantum well (MQW) structure, a quantum dot structure, or a quantum wire structure, and the active layer 126 The structure is not limited to this.

활성층(126)은 복수 개의 우물층(미도시)과 장벽층(미도시)을 포함할 수 있다. 우물층과 장벽층은 Inx2Aly2Ga1 -x2- y2N(0≤x2≤1, 0<y2≤1, 0≤x2+y2≤1)의 조성식을 가질 수 있다. 우물층은 발광하는 파장에 따라 알루미늄 조성이 달라질 수 있다. 알루미늄 조성이 높아질수록 우물층에서 발광하는 파장은 짧아질 수 있다.The active layer 126 may include a plurality of well layers (not shown) and a barrier layer (not shown). The well layer and the barrier layer may have a composition formula of In x2 Al y2 Ga 1 -x2- y2 N (0≤x2≤1, 0<y2≤1, 0≤x2+y2≤1). The aluminum composition of the well layer may vary depending on the wavelength of light emission. As the aluminum composition increases, the wavelength emitted from the well layer can become shorter.

제2 도전형 반도체층(127)은 활성층(126) 상에 형성되며, Ⅲ-Ⅴ족, Ⅱ-Ⅵ족 등의 화합물 반도체로 구현될 수 있으며, 제2 도전형 반도체층(127)에 제2도펀트가 도핑될 수 있다. The second conductive semiconductor layer 127 is formed on the active layer 126 and may be implemented with a compound semiconductor such as group III-V or group II-VI, and the second conductive semiconductor layer 127 has a second Dopants may be doped.

제2 도전형 반도체층(127)은 Inx5Aly2Ga1 -x5- y2N (0≤x5<1, 0<y2≤1, 0≤x5+y2≤1)의 조성식을 갖는 반도체 물질 또는 AlGaN, AlN, InAlGaN 중 선택된 물질로 형성될 수 있다. 제2도펀트가 Mg, Zn, Ca, Sr, Ba 등과 같은 p형 도펀트인 경우, 제2도펀트가 도핑된 제2 도전형 반도체층(127)은 p형 반도체층일 수 있다.The second conductive semiconductor layer 127 is a semiconductor material with a composition formula of In x5 Al y2 Ga 1 -x5- y2 N (0≤x5<1, 0<y2≤1, 0≤x5+y2≤1) or AlGaN. , AlN, and InAlGaN. When the second dopant is a p-type dopant such as Mg, Zn, Ca, Sr, Ba, etc., the second conductive semiconductor layer 127 doped with the second dopant may be a p-type semiconductor layer.

발광 구조물(120)은 제1 도전형 반도체층(124) 상에 배치되는 복수 개의 발광부(120a, 120b)를 포함할 수 있다. 서로 이격된 복수 개의 발광부(120a, 120b)는 활성층(126)과 제2 도전형 반도체층(127)을 포함할 수 있다. 즉, 복수 개로 분할된 활성층(126)이 이격 배치되고, 복수 개의 활성층(126) 상에는 제2 도전형 반도체층(127)이 각각 배치될 수 있다.The light emitting structure 120 may include a plurality of light emitting units 120a and 120b disposed on the first conductive semiconductor layer 124. The plurality of light emitting units 120a and 120b spaced apart from each other may include an active layer 126 and a second conductive semiconductor layer 127. That is, the active layers 126 divided into multiple pieces may be spaced apart, and the second conductive semiconductor layer 127 may be disposed on the multiple active layers 126, respectively.

발광 구조물(120)이 자외선 광을 생성하는 경우, 높은 밴드갭 에너지를 갖기 때문에 발광 구조물(120)의 전류 분산 특성이 떨어질 수 있고, 유효 발광 영역이 작을 수 있다. 또한, 활성층(126)에서 생성되는 자외선 광은 대부분 측면으로 발광하는 TM 모드 발광이므로 활성층(126)의 측면을 최대한 노출하는 것이 바람직할 수 있다. 따라서, 복수 개의 발광부(120a, 120b)를 이격 배치시키는 경우 활성층(126)의 측면 둘레를 증가시킬 수 있다.When the light emitting structure 120 generates ultraviolet light, since it has a high band gap energy, the current dispersion characteristics of the light emitting structure 120 may be poor and the effective light emitting area may be small. In addition, since most of the ultraviolet light generated in the active layer 126 is TM mode emission, which emits light from the side, it may be desirable to expose the side of the active layer 126 as much as possible. Accordingly, when the plurality of light emitting units 120a and 120b are spaced apart, the side perimeter of the active layer 126 can be increased.

발광부의 면적은 칩 최대 면적의 50% 내지 90%일 수 있다. 면적이 50%보다 작은 경우 발광면적이 작아져 발광효율이 감소할 수 있다. 또한, 면적이 90%보다 커지는 경우 제1 전극(142)의 면적이 작아져 발광효율이 감소할 수 있다. 따라서, 각각의 활성층(126)의 직경은 발광부의 상기 면적 범위를 만족하는 범위 내에서 발광부의 개수에 따라 적절히 조절될 수 있다.The area of the light emitting portion may be 50% to 90% of the maximum area of the chip. If the area is less than 50%, the light emitting area may become smaller and the light emitting efficiency may decrease. Additionally, when the area becomes larger than 90%, the area of the first electrode 142 becomes smaller and the luminous efficiency may decrease. Accordingly, the diameter of each active layer 126 can be appropriately adjusted according to the number of light emitting units within a range that satisfies the above area range of the light emitting units.

제1 전극(142)은 제1 도전형 반도체층(124) 상에 배치되고, 제2 전극(146)은 제2 도전형 반도체층(127)상에 배치될 수 있다.The first electrode 142 may be disposed on the first conductive semiconductor layer 124, and the second electrode 146 may be disposed on the second conductive semiconductor layer 127.

제1 전극(142)과 제2 전극(146)은 오믹 전극일 수 있다. 제1 전극(142)과 제2 전극(146)은 ITO(indium tin oxide), IZO(indium zinc oxide), IZTO(indium zinc tin oxide), IAZO(indium aluminum zinc oxide), IGZO(indium gallium zinc oxide), IGTO(indium gallium tin oxide), AZO(aluminum zinc oxide), ATO(antimony tin oxide), GZO(gallium zinc oxide), IZON(IZO Nitride), AGZO(Al-Ga ZnO), IGZO(In-Ga ZnO), ZnO, IrOx, RuOx, NiO, RuOx/ITO, Ni/IrOx/Au, 또는 Ni/IrOx/Au/ITO, Ag, Ni, Cr, Ti, Al, Rh, Pd, Ir, Sn, In, Ru, Mg, Zn, Pt, Au, Hf 중 적어도 하나를 포함하여 형성될 수 있으나, 이러한 재료에 한정되는 않는다. 예시적으로, 제1 전극(142)은 복수의 금속층(예: Cr/Al/Ni)을 갖고, 제2 전극(146)은 ITO일 수 있다.The first electrode 142 and the second electrode 146 may be ohmic electrodes. The first electrode 142 and the second electrode 146 are made of indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), indium zinc tin oxide (IZTO), indium aluminum zinc oxide (IAZO), and indium gallium zinc oxide (IGZO). ), IGTO (indium gallium tin oxide), AZO (aluminum zinc oxide), ATO (antimony tin oxide), GZO (gallium zinc oxide), IZON (IZO Nitride), AGZO (Al-Ga ZnO), IGZO (In-Ga ZnO), ZnO, IrOx, RuOx, NiO, RuOx/ITO, Ni/IrOx/Au, or Ni/IrOx/Au/ITO, Ag, Ni, Cr, Ti, Al, Rh, Pd, Ir, Sn, In, It may be formed including at least one of Ru, Mg, Zn, Pt, Au, and Hf, but is not limited to these materials. By way of example, the first electrode 142 may have a plurality of metal layers (eg, Cr/Al/Ni), and the second electrode 146 may be ITO.

복수 개의 발광부(120a, 120b)는 제1 패드(171)와 수직 방향으로 중첩되는 제1 발광부(120a) 및 제2 패드(172)와 수직 방향으로 중첩되는 제2 발광부(120b)를 포함할 수 있다. 제2 패드(172)의 면적이 제1 패드(171)의 면적보다 큰 경우 제2 발광부(120b)의 개수는 제1 발광부(120a)보다 많을 수 있다. 일반적으로 P 반도체층에서 열이 상대적으로 많이 발생하므로 제2 패드(172)의 면적이 넓어지면 방열 효과가 개선될 수 있다.The plurality of light emitting units 120a and 120b include a first light emitting unit 120a vertically overlapping with the first pad 171 and a second light emitting unit 120b vertically overlapping with the second pad 172. It can be included. When the area of the second pad 172 is larger than the area of the first pad 171, the number of second light emitting units 120b may be greater than that of the first light emitting units 120a. Generally, a relatively large amount of heat is generated in the P semiconductor layer, so the heat dissipation effect can be improved by increasing the area of the second pad 172.

제1 패드(171)의 면적은 상기 제2 패드(172)의 면적의 10% 내지 30%일 수 있다. 제1 패드(171)의 면적이 제2 패드(172)의 면적의 10% 보다 작은 경우 제1 패드(171)의 면적이 작아져 충분한 전류 주입이 어려울 수 있다. 또한, 제1 패드(171)의 면적이 제2 패드(172)의 면적의 30% 보다 큰 경우 제2 패드(172)의 면적이 작아져 방열 성능이 악화될 수 있다.The area of the first pad 171 may be 10% to 30% of the area of the second pad 172. If the area of the first pad 171 is smaller than 10% of the area of the second pad 172, the area of the first pad 171 becomes small, making it difficult to inject sufficient current. Additionally, if the area of the first pad 171 is larger than 30% of the area of the second pad 172, the area of the second pad 172 may become small and heat dissipation performance may deteriorate.

제1 발광부(120a)는 제2 패드(172)와 전기적으로 연결되지 않아 발광하지 않을 수 있다. 따라서, 제1 발광부(120a)는 상대적으로 개수가 적은 것이 유리할 수 있다. 이하에서는 제1 발광부(120a)의 개수가 1개인 것으로 설명하나 이에 제한되지 않는다.The first light emitting unit 120a may not emit light because it is not electrically connected to the second pad 172. Therefore, it may be advantageous to have a relatively small number of first light emitting units 120a. Hereinafter, the number of first light emitting units 120a will be described as one, but the number is not limited thereto.

복수 개의 발광부(120a, 120b)의 형상은 원형일 수 있다. 그러나, 복수 개의 발광부(120a, 120b)의 형상은 다양하게 변형될 수 있다. 예시적으로 발광부의 형상은 다각 형상일 수도 있다. 즉, 활성층(126)의 측면 둘레를 증가시키기 위한 다양한 형상이 적용될 수 있다.The plurality of light emitting units 120a and 120b may have a circular shape. However, the shape of the plurality of light emitting units 120a and 120b may be modified in various ways. For example, the shape of the light emitting unit may be a polygonal shape. That is, various shapes can be applied to increase the side perimeter of the active layer 126.

제1 전극(142)은 제1 발광부(120a) 상에 배치되는 연장부(142a)를 포함할 수 있다. 연장부(142a)는 제1 도전형 반도체층(124) 상에 배치되는 제1 전극(142)과 전기적으로 연결될 수 있다. 연장부(142a)는 제1 전극(142) 중에서 제1 발광부(120a)와 수직 방향으로 중첩되는 영역으로 정의할 수 있다. 연장부(142a)는 의 상면에 배치될 수 있으나 반드시 이에 한정하지 않는다.The first electrode 142 may include an extension portion 142a disposed on the first light emitting portion 120a. The extension portion 142a may be electrically connected to the first electrode 142 disposed on the first conductive semiconductor layer 124. The extension portion 142a may be defined as an area of the first electrode 142 that overlaps the first light emitting portion 120a in the vertical direction. The extension portion 142a may be disposed on the upper surface of , but is not necessarily limited thereto.

도 3a를 참조하면, 제1 전극(142)은 복수 개의 제2 발광부(120b)의 주위를 둘러싸는 홀이 형성될 수 있다. 또한, 연장부(142a)는 제1 발광부(120a) 상에 전체적으로 형성될 수 있다.Referring to FIG. 3A, holes may be formed in the first electrode 142 surrounding the plurality of second light emitting units 120b. Additionally, the extension portion 142a may be formed entirely on the first light emitting portion 120a.

다시 도 2를 참조하면, 절연층(160)은 제1 전극(142) 및 제2 전극(146) 상에 배치될 수 있다. 절연층(160)은 SiO2, SixOy, Si3N4, SixNy, SiOxNy, Al2O3, TiO2, AlN 등으로 이루어진 군에서 적어도 하나가 선택되어 형성될 수 있다. 절연층(160)이 반사 재질을 포함하는 경우 절연층(160)으로 방출된 광은 기판(110)을 향해 반사될 수 있다.Referring again to FIG. 2 , the insulating layer 160 may be disposed on the first electrode 142 and the second electrode 146 . The insulating layer 160 may be formed by selecting at least one from the group consisting of SiO 2 , SixOy, Si 3 N 4 , SixNy, SiOxNy, Al 2 O 3 , TiO 2 , AlN, etc. When the insulating layer 160 includes a reflective material, light emitted from the insulating layer 160 may be reflected toward the substrate 110.

제1 패드(171)는 절연층(160)을 관통하여 연장부(142a)와 접촉할 수 있다. 따라서, 제1 패드(171)에 주입된 전류는 연장부(142a)를 통해 제1 도전형 반도체층(124)에 주입될 수 있다.The first pad 171 may penetrate the insulating layer 160 and contact the extension portion 142a. Accordingly, the current injected into the first pad 171 may be injected into the first conductive semiconductor layer 124 through the extension portion 142a.

제2 패드(172)는 절연층(160)을 관통하여 복수 개의 제2 전극(146)과 접촉할 수 있다. 따라서, 제2 패드(172)에 주입된 전류는 복수 개의 제2 전극(146)을 통해 제2 도전형 반도체층(127)에 주입될 수 있다.The second pad 172 may penetrate the insulating layer 160 and contact the plurality of second electrodes 146. Accordingly, the current injected into the second pad 172 may be injected into the second conductive semiconductor layer 127 through the plurality of second electrodes 146.

만약, 제1 발광부(120a)가 없이 제1 패드(171)가 형성되는 경우 제2 패드(172)와의 높이를 맞추기 위해 제1 패드(171)를 상대적으로 더 두껍게 형성할 필요가 있다. 따라서, 공정이 복잡해지는 문제가 있다. 그러나, 실시 예에 따르면, 제2 발광부(120b)와 동일한 높이를 갖는 제1 발광부(120a) 상에 제1 패드(171)가 배치되므로 제1 패드(171)를 일부러 두껍게 제작하지 않아도 제1 패드(171)와 제2 패드(172)는 동일한 높이를 가질 수 있다.If the first pad 171 is formed without the first light emitting part 120a, the first pad 171 needs to be formed relatively thicker in order to match the height with the second pad 172. Therefore, there is a problem that the process becomes complicated. However, according to the embodiment, the first pad 171 is disposed on the first light emitting unit 120a having the same height as the second light emitting unit 120b, so the first pad 171 does not have to be made thick on purpose. The first pad 171 and the second pad 172 may have the same height.

도 3b를 참조하면, 제1 패드(171)와 수직 방향으로 중첩되는 제1 발광부(120a)는 복수 개일 수 있다. 전술한 바와 같이 제1 패드(171)의 면적은 제2 패드(172)의 면적의 10% 내지 30%일 수 있다. 즉, 제1 패드(171)를 통한 방열 및 전류 주입 효율을 고려하여 제1 패드(171)와 제2 패드(172)는 적정한 면적비를 가질 필요가 있다. 따라서, 제1 패드(171)가 일정 면적을 이상을 확보해야 하므로 복수 개의 제1 발광부(120a)가 제1 패드(171)와 중첩될 수 있다. 따라서, 제1 전극(142)의 연장부(142a)는 복수 개의 제1 발광부(120a)를 덮도록 배치될 수 있다.Referring to FIG. 3B, there may be a plurality of first light emitting units 120a perpendicular to the first pad 171. As described above, the area of the first pad 171 may be 10% to 30% of the area of the second pad 172. That is, considering heat dissipation and current injection efficiency through the first pad 171, the first pad 171 and the second pad 172 need to have an appropriate area ratio. Accordingly, since the first pad 171 must secure more than a certain area, a plurality of first light emitting units 120a may overlap with the first pad 171. Accordingly, the extension portion 142a of the first electrode 142 may be arranged to cover the plurality of first light emitting portions 120a.

도 4a는 도 1의 제1 변형예이고, 도 4b는 도 2의 제2 변형예이다.FIG. 4A is a first modified example of FIG. 1, and FIG. 4B is a second modified example of FIG. 2.

도 4a를 참조하면, 복수 개의 발광부(120a, 120b)의 형상은 다각 형상일 수 있다. 예시적으로 복수 개의 발광부(120a, 120b)는 사각 형상을 가질 수 있다. 복수 개의 발광부(120a, 120b)의 형상이 사각 형상인 경우 발광부의 면적을 최대화할 수 있다. 따라서, 발광 면적이 증가하므로 발광 효율이 개선될 수 있다. 그러나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니고 발광부의 형상은 다양하게 변형될 수 있다. 예시적으로 복수 개의 발광부(120a, 120b)는 오각형 또는 육각형 형상을 가질 수도 있다.Referring to FIG. 4A, the plurality of light emitting units 120a and 120b may have a polygonal shape. For example, the plurality of light emitting units 120a and 120b may have a square shape. When the plurality of light emitting units 120a and 120b are square in shape, the area of the light emitting units can be maximized. Accordingly, since the light emitting area increases, the light emitting efficiency can be improved. However, it is not necessarily limited to this, and the shape of the light emitting unit may be modified in various ways. For example, the plurality of light emitting units 120a and 120b may have a pentagonal or hexagonal shape.

도 4b를 참조하면, 복수 개의 발광부(120a, 120b)는 직경이 작게 형성되어 많은 개수로 배치될 수 있다. 어느 하나의 발광부와 가장 인접하게 배치되는 발광부의 개수는 6개일 수 있다. 이웃한 발광부의 중심을 연결하면 육각 형상(E1)을 이룰 수 있다. 이 경우 발광부의 간격을 조밀하게 배치할 수 있어 발광 효율이 개선될 수 있다. 그러나, 반드시 이에 한정하는 것은 아니고 가장 인접하게 배치되는 발광부의 개수는 적절히 변형될 수 있다. 예시적으로 어느 하나의 발광부와 가장 인접하게 배치되는 발광부의 개수는 4개, 8개, 또는 10개일 수도 있다. Referring to FIG. 4B, the plurality of light emitting units 120a and 120b have small diameters and can be arranged in large numbers. The number of light emitting units disposed closest to any one light emitting unit may be six. By connecting the centers of adjacent light emitting units, a hexagonal shape (E1) can be formed. In this case, the spacing of the light emitting parts can be arranged closely, so the light emitting efficiency can be improved. However, it is not necessarily limited to this, and the number of light emitting units arranged closest to each other may be appropriately modified. Illustratively, the number of light emitting units disposed closest to any one light emitting unit may be 4, 8, or 10.

또한, 제1 전극(142)에서 주입되는 전류의 확산 거리를 고려하여 균일한 전류 밀도를 갖도록 복수 개의 발광부(120a, 120b)는 상면의 면적이 서로 다른 발광부를 적어도 하나 이상 포함할 수 있다.Additionally, in consideration of the diffusion distance of the current injected from the first electrode 142, the plurality of light emitting units 120a and 120b may include at least one light emitting unit with a different upper surface area to have a uniform current density.

복수 개의 발광부(120a, 120b)의 직경은 30㎛ 내지 70㎛일 수 있다. 자외선 발광소자의 경우 각 반도체층의 알루미늄 조성이 40% 이상이 될 수 있으므로 전류 분산 효율이 상대적으로 좋지 않을 수 있다. 따라서, 복수 개의 직경이 70㎛보다 커지는 경우 가장자리 부분에는 전류가 분산되지 못하여 발광하지 않거나 미약하게 발광할 수 있다. 또한, 발광부의 직경이 30㎛ 보다 작은 경우 발광부의 개수가 증가하는 만큼 발광부가 제거된 영역도 증가하여 발광 효율이 감소할 수 있다.The diameter of the plurality of light emitting units 120a and 120b may be 30 μm to 70 μm. In the case of ultraviolet light-emitting devices, the aluminum composition of each semiconductor layer may be more than 40%, so current dispersion efficiency may be relatively poor. Therefore, when the diameter of the plurality of pieces is larger than 70㎛, the current may not be distributed to the edge portion and may not emit light or may emit light only weakly. In addition, when the diameter of the light emitting part is smaller than 30㎛, as the number of light emitting parts increases, the area from which the light emitting part is removed also increases, which may reduce luminous efficiency.

제2 발광부(120b)는 모두 발광에 참여하는데 반해, 제1 발광부(120a)는 발광에 참여하지 않을 수 있다. 따라서, 제1 발광부(120a)는 30㎛ 내지 70㎛보다 크게 제작될 수도 있다.While all of the second light emitting units 120b participate in light emission, the first light emitting unit 120a may not participate in light emission. Accordingly, the first light emitting portion 120a may be manufactured to be larger than 30㎛ to 70㎛.

그러나, 반드시 이에 한정하는 것은 아니고 후술하는 바와 같이 제1 패드(171)와 중첩하는 제1 발광부(120a) 역시 채널 전극 등을 이용하여 발광할 수 있다. 이 경우 제1 발광부(120a)의 직경과 제2 발광부(120b)의 직경은 동일할 수 있다.However, it is not necessarily limited to this, and as will be described later, the first light emitting unit 120a overlapping the first pad 171 may also emit light using a channel electrode or the like. In this case, the diameter of the first light emitting unit 120a and the diameter of the second light emitting unit 120b may be the same.

도 5는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 발광소자의 단면도이고, 도 6은 도 5의 B-B 방향 단면도이다.Figure 5 is a cross-sectional view of a light emitting device according to a second embodiment of the present invention, and Figure 6 is a cross-sectional view taken along the line B-B of Figure 5.

도 5 및 도 6을 참조하면, 발광 구조물(120)은 제1 도전형 반도체층(124) 상에 배치되는 복수 개의 발광부(120a, 120b)를 포함할 수 있다. 복수 개의 발광부(120a, 120b)는 각각 활성층(126)과 제2 도전형 반도체층(127)을 포함할 수 있다. 즉, 복수 개로 분할된 활성층(126)이 이격 배치되고, 복수 개의 활성층(126) 상에는 각각 분할된 제2 도전형 반도체층(127)이 배치될 수 있다.Referring to FIGS. 5 and 6 , the light emitting structure 120 may include a plurality of light emitting units 120a and 120b disposed on the first conductivity type semiconductor layer 124. Each of the plurality of light emitting units 120a and 120b may include an active layer 126 and a second conductive semiconductor layer 127. That is, the active layers 126 divided into multiple pieces may be spaced apart from each other, and the divided second conductive semiconductor layers 127 may be disposed on the multiple active layers 126 .

복수 개의 발광부(120a, 120b)는 제1 패드(171)와 수직 방향으로 중첩되는 제1 발광부(120a) 및 제2 패드(172)와 수직 방향으로 중첩되는 복수 개의 제2 발광부(120b)를 포함할 수 있다. 제2 패드(172)의 면적이 제1 패드(171)의 면적보다 큰 경우 제2 발광부(120b)의 개수는 제1 발광부(120a)보다 많을 수 있다.The plurality of light emitting units 120a and 120b include a first light emitting unit 120a vertically overlapping with the first pad 171 and a plurality of second light emitting units 120b vertically overlapping with the second pad 172. ) may include. When the area of the second pad 172 is larger than the area of the first pad 171, the number of second light emitting units 120b may be greater than that of the first light emitting units 120a.

제1 전극(142)은 제1 도전형 반도체층(124) 상에 배치되고, 제2 전극(146)은 제2 도전형 반도체층(127) 상에 배치될 수 있다. 이때, 제1 전극(142)은 제1 발광부(120a) 상에 배치되는 연장부(142a)를 포함할 수 있다. 예시적으로, 제1 전극(142)은 복수의 금속층(예: Cr/Al/Ni)을 갖고, 제2 전극(146)은 ITO일 수 있으나 반드시 이에 한정하지 않는다.The first electrode 142 may be disposed on the first conductive semiconductor layer 124, and the second electrode 146 may be disposed on the second conductive semiconductor layer 127. At this time, the first electrode 142 may include an extension portion 142a disposed on the first light emitting portion 120a. By way of example, the first electrode 142 may have a plurality of metal layers (eg, Cr/Al/Ni), and the second electrode 146 may be ITO, but is not necessarily limited thereto.

제1 패드(171)는 절연층(160)을 관통하여 연장부(142a)와 전기적으로 연결될 수 있고, 제2 패드(172)는 절연층(160)을 관통하여 복수 개의 제2 전극(146)과 전기적으로 연결될 수 있다.The first pad 171 may penetrate the insulating layer 160 and be electrically connected to the extension portion 142a, and the second pad 172 may penetrate the insulating layer 160 to form a plurality of second electrodes 146. can be electrically connected to.

쇼트를 방지하기 위해 제1 패드(171)와 제2 패드(172)는 소정 간격으로 이격될 수 있다. 그러나, 제1 패드(171)와 제2 패드(172) 사이의 간격이 커지면 쇼트 방지 효과는 개선될 수 있으나 발광 면적이 상대적으로 줄어들 수 있다. 따라서, 제1 패드(171)와 제2 패드(172)를 최대한 가깝게 배치하면서도 쇼트를 방지할 필요가 있다.To prevent short circuit, the first pad 171 and the second pad 172 may be spaced apart at a predetermined interval. However, if the gap between the first pad 171 and the second pad 172 increases, the short circuit prevention effect may be improved, but the light emitting area may be relatively reduced. Therefore, it is necessary to prevent short circuit while arranging the first pad 171 and the second pad 172 as close as possible.

실시 예에 따르면, 제1 발광부(120a)와 제2 발광부(120b) 사이에는 격벽(173)이 배치될 수 있다. 즉, 격벽(173)은 제1 패드(171)와 제2 패드(172) 사이에 배치될 수 있다.According to an embodiment, a partition 173 may be disposed between the first light emitting unit 120a and the second light emitting unit 120b. That is, the partition 173 may be disposed between the first pad 171 and the second pad 172.

이러한 구조에 의하면 발광소자를 회로기판(미도시)에 부착할 때, 격벽(173)에 의해 쇼트가 방지될 수 있다. 이를 위해 제1 패드(171)의 상면의 높이와 격벽(173) 상에 배치된 절연층(160)의 높이의 비는 1:0.8 내지 1:1일 수 있다. 높이의 비가 1:0.8보다 작으면 격벽(173)이 회로기판에 도포된 솔더를 효과적으로 차단하지 못해 쇼트가 발생할 수 있으며, 높이비가 1:1 보다 커지면(예: 1:1.2), 격벽(173)이 돌출되어 회로기판에 솔더링시 접착 불량이 발생할 수 있다.According to this structure, when attaching a light emitting device to a circuit board (not shown), a short circuit can be prevented by the partition wall 173. To this end, the ratio between the height of the top surface of the first pad 171 and the height of the insulating layer 160 disposed on the partition wall 173 may be 1:0.8 to 1:1. If the height ratio is less than 1:0.8, the partition wall 173 may not effectively block the solder applied to the circuit board, which may cause a short circuit. If the height ratio is greater than 1:1 (e.g., 1:1.2), the partition wall 173 This protrusion may cause adhesion failure when soldering to the circuit board.

이때, 격벽(173)과 제1 패드(171) 사이의 거리(W13)는 약 5㎛ 내지 15㎛일 수 있고, 격벽(173)과 제2 패드(172) 사이의 거리(W12)는 약 5㎛ 내지 15㎛일 수 있다. 또한, 격벽(173)의 폭(W11)은 3㎛ 내지 10㎛일 수 있다. 따라서, 제1 패드(171)와 제2 패드(172) 사이 거리(W14)를 20㎛ 내지 30㎛로 가깝게 배치할 수 있으므로 발광 면적을 증가시킬 수 있다.At this time, the distance W13 between the partition wall 173 and the first pad 171 may be about 5㎛ to 15㎛, and the distance W12 between the partition wall 173 and the second pad 172 may be about 5㎛. It may be ㎛ to 15㎛. Additionally, the width W11 of the partition wall 173 may be 3 μm to 10 μm. Accordingly, the distance W14 between the first pad 171 and the second pad 172 can be placed as close as 20 μm to 30 μm, thereby increasing the light emitting area.

격벽(173)은 제1 전극(142) 및/또는 제2 전극(146)과 동일한 재질을 포함할 수 있다. 예시적으로 격벽(173)의 제1층(173a)은 제1 전극(142) 형성시 형성하고, 격벽(173)의 제2층(173b)은 제2 전극(146) 형성시 형성할 수 있다. 따라서, 제1층(173a)은 제1 전극(142)층의 두께와 동일할 수 있고, 제2 층은 제2 전극(146)층의 두께와 동일할 수 있다. The partition wall 173 may include the same material as the first electrode 142 and/or the second electrode 146. For example, the first layer 173a of the partition 173 may be formed when forming the first electrode 142, and the second layer 173b of the partition 173 may be formed when forming the second electrode 146. . Accordingly, the first layer 173a may be the same as the thickness of the first electrode 142 layer, and the second layer may be the same as the thickness of the second electrode 146 layer.

그러나, 반드시 이에 한정하는 것은 아니고 격벽(173)의 제1층(173a)은 제2 전극(146) 형성시 일부를 형성하고, 격벽(173)의 제2층(173b)은 제1 전극(142) 형성시 일부를 형성할 수 있다. However, it is not necessarily limited to this, and the first layer 173a of the partition 173 forms a part of the second electrode 146, and the second layer 173b of the partition 173 forms a part of the first electrode 142. ) can form part of it when formed.

격벽(173)의 제3층(173c)은 추가적인 공정을 통해 형성할 수 있다. 격벽(173)의 제3층(173c)은 금속 재질을 포함할 수도 있고 고분자 수지를 포함할 수 있다. The third layer 173c of the partition wall 173 can be formed through an additional process. The third layer 173c of the partition wall 173 may include a metal material or a polymer resin.

또 다른 방법으로 격벽(173)은 더미 발광부 상에 배치될 수도 있다. 즉, 제1 발광부(120a)와 같이 더미 역할을 수행하는 발광부를 형성한 후 그 위에 격벽을 형성할 수도 있다.Alternatively, the partition wall 173 may be disposed on the dummy light emitting unit. That is, it is possible to form a light emitting part that acts as a dummy, such as the first light emitting part 120a, and then form a partition thereon.

도 7은 본 발명의 제3 실시 예에 따른 발광소자의 평면도이고, 도 8은 도 7의 C-C 방향 단면도이다.Figure 7 is a plan view of a light emitting device according to a third embodiment of the present invention, and Figure 8 is a cross-sectional view taken along the line C-C of Figure 7.

도 7을 참조하면, 발광 구조물(120)은 제1 도전형 반도체층(124) 상에 배치되는 복수 개의 발광부(120b)를 포함할 수 있다. 복수 개의 발광부(120b)는 각각 활성층(126)과 제2 도전형 반도체층(127)을 포함할 수 있다. 즉, 복수 개로 분할된 활성층(126)이 이격 배치되고, 복수 개의 활성층(126) 상에는 각각 분할된 제2 도전형 반도체층(127)이 배치될 수 있다.Referring to FIG. 7 , the light emitting structure 120 may include a plurality of light emitting units 120b disposed on the first conductive semiconductor layer 124. Each of the plurality of light emitting units 120b may include an active layer 126 and a second conductive semiconductor layer 127. That is, the active layers 126 divided into multiple pieces may be spaced apart from each other, and the divided second conductive semiconductor layers 127 may be disposed on the multiple active layers 126 .

복수 개의 발광부(120b)는 제2 패드(172)와 수직 방향으로 중첩되나 제1 패드(171)와 수직 방향으로 중첩되지 않을 수 있다. 즉, 제1 패드(171)가 배치되는 영역에는 발광부가 제거되어 제1 도전형 반도체층(124)이 노출될 수 있다.The plurality of light emitting units 120b may overlap in the vertical direction with the second pad 172 but may not overlap in the vertical direction with the first pad 171. That is, the light emitting part may be removed in the area where the first pad 171 is disposed, and the first conductivity type semiconductor layer 124 may be exposed.

제1 전극(142)은 제1 도전형 반도체층(124) 상에 배치되고, 제2 전극(146)은 제2 도전형 반도체층(127) 상에 배치될 수 있다. The first electrode 142 may be disposed on the first conductive semiconductor layer 124, and the second electrode 146 may be disposed on the second conductive semiconductor layer 127.

제1 패드(171)는 절연층(160)을 관통하여 제1 전극(142)과 전기적으로 연결될 수 있고, 제2 패드(172)는 절연층(160)을 관통하여 복수 개의 제2 전극(146)과 전기적으로 연결될 수 있다. 이때, 도 5 및 도 6에서 설명한 격벽의 구성을 포함할 수도 있다.The first pad 171 may penetrate the insulating layer 160 and be electrically connected to the first electrode 142, and the second pad 172 may penetrate the insulating layer 160 to form a plurality of second electrodes 146. ) can be electrically connected to. At this time, the configuration of the partition described in FIGS. 5 and 6 may be included.

도 9는 본 발명의 제4 실시 예에 따른 발광소자의 평면도이고, 도 10은 도 9의 D-D 방향 단면도이고, 도 11은 도 9의 E-E 방향 단면도이고, 도 12는 제1 전극과 활성층의 평면도이다.FIG. 9 is a plan view of a light emitting device according to a fourth embodiment of the present invention, FIG. 10 is a cross-sectional view in the D-D direction of FIG. 9, FIG. 11 is a cross-sectional view in the E-E direction of FIG. 9, and FIG. 12 is a plan view of the first electrode and the active layer. am.

도 9 내지 도 10을 참조하면, 발광 구조물(120)은 제1 도전형 반도체층(124) 상에 배치되는 복수 개의 발광부(120a, 120b)를 포함할 수 있다. 복수 개의 발광부(120a, 120b)는 각각 활성층(126)과 제2 도전형 반도체층(127)을 포함할 수 있다. 즉, 복수 개로 분할된 활성층(126)이 이격 배치되고, 복수 개의 활성층(126) 상에는 각각 분할된 제2 도전형 반도체층(127)이 배치될 수 있다.Referring to FIGS. 9 and 10 , the light emitting structure 120 may include a plurality of light emitting units 120a and 120b disposed on the first conductive semiconductor layer 124. Each of the plurality of light emitting units 120a and 120b may include an active layer 126 and a second conductive semiconductor layer 127. That is, the active layers 126 divided into multiple pieces may be spaced apart from each other, and the divided second conductive semiconductor layers 127 may be disposed on the multiple active layers 126 .

복수 개의 발광부(120a, 120b)는 제1 패드(171)와 수직 방향으로 중첩되는 제1 발광부(120a) 및 제2 패드(172)와 수직 방향으로 중첩되는 제2 발광부(120b)를 포함할 수 있다. 제2 패드(172)의 면적이 제1 패드(171)의 면적이 동일한 경우 제1 발광부(120a)와 제2 발광부(120b)의 개수는 동일할 수 있다.The plurality of light emitting units 120a and 120b include a first light emitting unit 120a vertically overlapping with the first pad 171 and a second light emitting unit 120b vertically overlapping with the second pad 172. It can be included. When the area of the second pad 172 is the same as that of the first pad 171, the number of first light emitting units 120a and the second light emitting units 120b may be the same.

제1 전극(142)은 제1 도전형 반도체층(124) 상에 배치되고, 제2 전극(146)은 제2 도전형 반도체층(127) 상에 배치될 수 있다. 예시적으로, 제1 전극(142)은 복수의 금속층(예: Cr/Al/Ni)을 갖고, 제2 전극(146)은 ITO일 수 있으나 반드시 이에 한정하지 않는다.The first electrode 142 may be disposed on the first conductive semiconductor layer 124, and the second electrode 146 may be disposed on the second conductive semiconductor layer 127. By way of example, the first electrode 142 may have a plurality of metal layers (eg, Cr/Al/Ni), and the second electrode 146 may be ITO, but is not necessarily limited thereto.

제1 절연층(161)은 제1 전극(142)과 제2 전극(146) 상에 배치될 수 있다. 절연층(160)은 제1 전극(142) 및 제2 전극(146) 상에 배치될 수 있다. 절연층(160)은 SiO2, SixOy, Si3N4, SixNy, SiOxNy, Al2O3, TiO2, AlN 등으로 이루어진 군에서 적어도 하나가 선택되어 형성될 수 있다. 절연층(160)은 반사 재질을 포함하는 경우, 절연층(160)으로 방출된 광은 기판(110)을 향해 반사될 수 있다.The first insulating layer 161 may be disposed on the first electrode 142 and the second electrode 146. The insulating layer 160 may be disposed on the first electrode 142 and the second electrode 146. The insulating layer 160 may be formed by selecting at least one from the group consisting of SiO 2 , SixOy, Si 3 N 4 , SixNy, SiOxNy, Al 2 O 3 , TiO 2 , AlN, etc. When the insulating layer 160 includes a reflective material, light emitted from the insulating layer 160 may be reflected toward the substrate 110.

채널전극(147)은 제1 절연층(161)을 관통하여 제1 발광부(120a)와 제2 발광부(120b)를 전기적으로 연결할 수 있다. 따라서, 제2 패드(172)를 통해 주입된 전류는 제1 발광부(120a)와 제2 발광부(120b)에 주입될 수 있다.The channel electrode 147 may penetrate the first insulating layer 161 to electrically connect the first light emitting unit 120a and the second light emitting unit 120b. Accordingly, the current injected through the second pad 172 may be injected into the first light emitting unit 120a and the second light emitting unit 120b.

채널전극(147) 상에는 제2 절연층(162)이 배치될 수 있다. 제2 절연층(162)은 제1 절연층(161)과 동일한 재질일 수 있으나 반드시 이에 한정하지 않는다. 제2 절연층(162)은 채널 전극 상에만 배치될 수 있으나 반드시 이에 한정되는 것은 아니고 제1 절연층(161)과 채널 전극 상에 전체적으로 형성될 수도 있다.A second insulating layer 162 may be disposed on the channel electrode 147. The second insulating layer 162 may be made of the same material as the first insulating layer 161, but is not necessarily limited thereto. The second insulating layer 162 may be disposed only on the channel electrode, but is not necessarily limited thereto, and may be formed entirely on the first insulating layer 161 and the channel electrode.

제2 절연층(162)은 발광 소자의 신뢰성을 개선하기 위해 SixNy를 적용할 수 있다. 이 경우, 제2 절연층(162)은 제1 절연층(161)과 서로 다른 물질이 적용될 수 있다. 예를 들어, 제1 절연층(161)은 SixOy 재질이고, 제2 절연층(162)은 SixNy 재질일 수 있다. 이 경우, 제1 절연층(161)과 제2 절연층(162) 사이에 반사층(미도시)이 배치되는 경우, 투광성인 제1 절연층(161)과 반사층(미도시)에 의해 광추출 효율을 개선하면서 제2 절연층(162)에 의한 발광 소자의 신뢰성을 개선할 수 있다. 또한, 반사를 위해 굴절률을 고려하는 경우 SiOxNy, TiO2 , 물질 등이 적용되어 DBR (Distribute Bragg Reflector) 기능을 할 수도 있다.The second insulating layer 162 may be made of Si x N y to improve the reliability of the light emitting device. In this case, the second insulating layer 162 may be made of a different material from the first insulating layer 161. For example, the first insulating layer 161 may be made of a Si x O y material, and the second insulating layer 162 may be made of a Si x N y material. In this case, when a reflective layer (not shown) is disposed between the first insulating layer 161 and the second insulating layer 162, light extraction efficiency is achieved by the light-transmitting first insulating layer 161 and the reflective layer (not shown). While improving, the reliability of the light emitting device by the second insulating layer 162 can be improved. Additionally, when considering the refractive index for reflection, SiO x N y , TiO 2 , materials, etc. may be applied to function as a Distribute Bragg Reflector (DBR).

도 11을 참조하면, 제1 패드(171)는 제1 절연층(161)과 제2 절연층(162)을 관통하여 제1 전극(142)과 전기적으로 연결될 수 있다. 또한, 제2 패드(172)는 복수 개의 제2 전극(146) 및 채널전극(147)과 전기적으로 연결될 수 있다.Referring to FIG. 11, the first pad 171 may penetrate the first insulating layer 161 and the second insulating layer 162 and be electrically connected to the first electrode 142. Additionally, the second pad 172 may be electrically connected to a plurality of second electrodes 146 and the channel electrode 147.

도 12를 참조하면, 활성층(126)은 서로 이격 배치될 수 있으며, 제1 전극(142)은 활성층(126)이 배치된 영역을 제외한 나머지 영역에 전체적으로 배치될 수 있다. 제1 패드(171)를 통해 주입된 전류는 제1 도전형 반도체층(124)에 균일하게 전류를 분산시킬 수 있다.Referring to FIG. 12, the active layers 126 may be spaced apart from each other, and the first electrode 142 may be disposed entirely in the remaining area excluding the area where the active layer 126 is disposed. The current injected through the first pad 171 may uniformly distribute the current to the first conductivity type semiconductor layer 124.

도 13은 본 발명의 제5 실시 예에 따른 발광소자의 평면도이고, 도 14는 도 13의 F-F 방향 단면도이고, 도 15는 제1 전극과 활성층의 평면도이고, 도 16은 도 13을 다른 방향에서 본 단면도이다.FIG. 13 is a top view of a light emitting device according to a fifth embodiment of the present invention, FIG. 14 is a cross-sectional view in the direction F-F of FIG. 13, FIG. 15 is a top view of the first electrode and the active layer, and FIG. 16 is a view of FIG. 13 from another direction. This is a cross-sectional view.

도 13 및 도 14를 참조하면, 복수 개의 발광부(120a, 120b)는 제1 패드(171)와 수직 방향으로 중첩되는 제1 발광부(120a) 및 제2 패드(172)와 수직 방향으로 중첩되는 제2 발광부(120b)를 포함할 수 있다. 제2 패드(172)의 면적이 제1 패드(171)의 면적보다 큰 경우 제2 발광부(120b)의 개수는 제1 발광부(120a)의 개수보다 많을 수 있다. 일반적으로 P 반도체층에서 열이 상대적으로 많이 발생하므로 제2 패드(172)의 면적이 넓어지면 방열 효과가 개선될 수 있다.13 and 14, the plurality of light emitting units 120a and 120b overlap in the vertical direction with the first light emitting unit 120a and the second pad 172, which overlap in the vertical direction with the first pad 171. It may include a second light emitting unit 120b. When the area of the second pad 172 is larger than the area of the first pad 171, the number of second light emitting units 120b may be greater than the number of first light emitting units 120a. Generally, a relatively large amount of heat is generated in the P semiconductor layer, so the heat dissipation effect can be improved by increasing the area of the second pad 172.

제1 전극(142)은 제1 도전형 반도체층(124) 상에 배치되고, 제2 전극(146)은 제2 도전형 반도체층(127) 상에 배치될 수 있다. 예시적으로, 제1 전극(142)은 복수의 금속층(예: Cr/Al/Ni)을 갖고, 제2 전극(146)은 ITO일 수 있으나 반드시 이에 한정하지 않는다.The first electrode 142 may be disposed on the first conductive semiconductor layer 124, and the second electrode 146 may be disposed on the second conductive semiconductor layer 127. By way of example, the first electrode 142 may have a plurality of metal layers (eg, Cr/Al/Ni), and the second electrode 146 may be ITO, but is not necessarily limited thereto.

제1 절연층(161)은 제1 전극(142)과 제2 전극(146) 상에 배치될 수 있다. 절연층(160)은 제1 전극(142) 및 제2 전극(146) 상에 배치될 수 있다. 절연층(160)은 SiO2, SixOy, Si3N4, SixNy, SiOxNy, Al2O3, TiO2, AlN 등으로 이루어진 군에서 적어도 하나가 선택되어 형성될 수 있다. 절연층(160)은 반사 재질을 포함하는 경우, 절연층(160)으로 방출된 광은 기판(110)을 향해 반사될 수 있다.The first insulating layer 161 may be disposed on the first electrode 142 and the second electrode 146. The insulating layer 160 may be disposed on the first electrode 142 and the second electrode 146. The insulating layer 160 may be formed by selecting at least one from the group consisting of SiO 2 , SixOy, Si 3 N 4 , SixNy, SiOxNy, Al 2 O 3 , TiO 2 , AlN, etc. When the insulating layer 160 includes a reflective material, light emitted from the insulating layer 160 may be reflected toward the substrate 110.

채널전극(미도시)은 제1 절연층(161)을 관통하여 제1 발광부(120a)와 제2 발광부(120b)를 전기적으로 연결할 수 있다(도 10 구조와 동일). 따라서, 제2 패드(172)를 통해 주입된 전류는 제1 발광부(120a)와 제2 발광부(120b)에 주입될 수 있다.A channel electrode (not shown) may penetrate the first insulating layer 161 to electrically connect the first light emitting unit 120a and the second light emitting unit 120b (same structure as in FIG. 10). Accordingly, the current injected through the second pad 172 may be injected into the first light emitting unit 120a and the second light emitting unit 120b.

제1 절연층(161)상에는 제2 절연층(162)이 배치될 수 있다. 제2 절연층(162)은 제1 절연층(161)과 동일한 재질일 수 있으나 반드시 이에 한정하지 않는다. 제2 절연층(162)은 채널 전극 상에만 배치될 수 있으나 반드시 이에 한정되는 것은 아니고 제1 절연층(161)과 채널 전극 상에 전체적으로 형성될 수도 있다.A second insulating layer 162 may be disposed on the first insulating layer 161. The second insulating layer 162 may be made of the same material as the first insulating layer 161, but is not necessarily limited thereto. The second insulating layer 162 may be disposed only on the channel electrode, but is not necessarily limited thereto, and may be formed entirely on the first insulating layer 161 and the channel electrode.

제1 패드(171)는 제1 절연층(161)과 제2 절연층(162)을 관통하여 제1 전극(142)과 전기적으로 연결될 수 있다. 도 15를 참조하면, 활성층(126)은 서로 이격 배치될 수 있으며, 제1 전극(142)은 활성층(126)이 배치된 영역을 제외한 나머지 영역에 전체적으로 배치될 수 있다. 제1 패드(171)를 통해 주입된 전류는 제1 도전형 반도체층(124)에 균일하게 전류를 분산시킬 수 있다.The first pad 171 may penetrate the first insulating layer 161 and the second insulating layer 162 and be electrically connected to the first electrode 142. Referring to FIG. 15, the active layers 126 may be spaced apart from each other, and the first electrode 142 may be disposed entirely in the remaining area excluding the area where the active layer 126 is disposed. The current injected through the first pad 171 may uniformly distribute the current to the first conductivity type semiconductor layer 124.

도 16을 참조하면, 채널전극(147)은 제1 절연층(161)을 관통하여 제1 발광부(120a)와 제2 발광부(120b)를 전기적으로 연결할 수 있다. 따라서, 제2 패드(172)를 통해 주입된 전류는 제1 발광부(120a)와 제2 발광부(120b)에 주입될 수 있다.Referring to FIG. 16, the channel electrode 147 may penetrate the first insulating layer 161 and electrically connect the first light emitting unit 120a and the second light emitting unit 120b. Accordingly, the current injected through the second pad 172 may be injected into the first light emitting unit 120a and the second light emitting unit 120b.

채널전극(147) 상에는 제2 절연층(162)이 배치될 수 있다. 제2 절연층(162)은 제1 절연층(161)과 동일한 재질일 수 있으나 반드시 이에 한정하지 않는다. 제2 절연층(162)은 채널 전극 상에만 배치될 수 있으나 반드시 이에 한정되는 것은 아니고 제1 절연층(161)과 채널 전극 상에 전체적으로 형성될 수도 있다. A second insulating layer 162 may be disposed on the channel electrode 147. The second insulating layer 162 may be made of the same material as the first insulating layer 161, but is not necessarily limited thereto. The second insulating layer 162 may be disposed only on the channel electrode, but is not necessarily limited thereto, and may be formed entirely on the first insulating layer 161 and the channel electrode.

실시 예에 따르면 제1 절연층(161)과 제2 절연층(162)이 적층되므로 외부 오염물질을 효율적으로 차단할 수 있는 장점이 있다. 또한, 제1 절연층(161)과 제2 절연층(162)의 재질을 다르게 제작하여 굴절률 차이를 이용한 반사 기능을 수행할 수 있다. 이 경우 활성층(126)에서 생성된 자외선 광이 반사되어 광 추출 효율이 개선될 수 있다.According to the embodiment, the first insulating layer 161 and the second insulating layer 162 are stacked, so there is an advantage in efficiently blocking external contaminants. In addition, the first insulating layer 161 and the second insulating layer 162 can be made of different materials to perform a reflection function using a difference in refractive index. In this case, ultraviolet light generated in the active layer 126 is reflected and light extraction efficiency may be improved.

제2 절연층(162)은 발광 소자의 신뢰성을 개선하기 위해 SixNy를 적용할 수 있다. 이 경우, 제2 절연층(162)은 제1 절연층(161)과 서로 다른 물질이 적용될 수 있다. 예를 들어, 제1 절연층(161)은 SixOy 재질이고, 제2 절연층(162)은 SixNy 재질일 수 있다. 이 경우, 제1 절연층(161)과 제2 절연층(162) 사이에 반사층(미도시)이 배치되는 경우, 투광성인 제1 절연층(161)과 반사층(미도시)에 의해 광추출 효율을 개선하면서 제2 절연층(162)에 의한 발광 소자의 신뢰성을 개선할 수 있다. 또한, 반사를 위해 굴절률을 고려하는 경우 SiOxNy, TiO2 , 물질 등이 적용되어 DBR (Distribute Bragg Reflector) 기능을 할 수도 있다.The second insulating layer 162 may be made of Si x N y to improve the reliability of the light emitting device. In this case, the second insulating layer 162 may be made of a different material from the first insulating layer 161. For example, the first insulating layer 161 may be made of a Si x O y material, and the second insulating layer 162 may be made of a Si x N y material. In this case, when a reflective layer (not shown) is disposed between the first insulating layer 161 and the second insulating layer 162, light extraction efficiency is achieved by the light-transmitting first insulating layer 161 and the reflective layer (not shown). While improving, the reliability of the light emitting device by the second insulating layer 162 can be improved. Additionally, when considering the refractive index for reflection, SiO x N y , TiO 2 , materials, etc. may be applied to function as a Distribute Bragg Reflector (DBR).

도 17은 본 발명의 제6 실시 예에 따른 발광소자의 평면도이고, 도 18은 본 발명의 제7 실시 예에 따른 발광소자의 평면도이다.Figure 17 is a plan view of a light emitting device according to a sixth embodiment of the present invention, and Figure 18 is a plan view of a light emitting device according to a seventh embodiment of the present invention.

도 17을 참조하면, 발광 구조물(120)은 복수 개의 발광부(120a, 120b)를 포함할 수 있다. 복수 개의 발광부(120a, 120b)는 제1 패드(171)와 수직 방향으로 중첩되는 제1 발광부(120a) 및 제2 패드(172)와 수직 방향으로 중첩되는 제2 발광부(120b)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 17, the light emitting structure 120 may include a plurality of light emitting units 120a and 120b. The plurality of light emitting units 120a and 120b include a first light emitting unit 120a vertically overlapping with the first pad 171 and a second light emitting unit 120b vertically overlapping with the second pad 172. It can be included.

이때, 제1 패드(171)는 서로 마주보는 2개의 제2 패드(172) 사이에 배치될 수 있다. 예시적으로 제2 패드(172)는 삼각 형상을 갖고 서로 마주보도록 배치되고 라인 형상의 제1 패드(171)가 제2 패드(172)의 사이에 배치될 수 있다.At this time, the first pad 171 may be disposed between two second pads 172 facing each other. For example, the second pads 172 may have a triangular shape and be arranged to face each other, and the line-shaped first pad 171 may be arranged between the second pads 172 .

이때, 제1 발광부(120a)와 제2 발광부(120b)는 채널 전극에 의해 서로 연결될 수 있다. 이러한 구조에 의하면 제1 발광부(120a)와 제2 발광부(120b)가 모두 발광할 수 있으므로 발광 효율이 개선될 수 있다.At this time, the first light emitting unit 120a and the second light emitting unit 120b may be connected to each other by a channel electrode. According to this structure, both the first light emitting unit 120a and the second light emitting unit 120b can emit light, so light emission efficiency can be improved.

도 18을 참조하면, 발광 구조물(120)은 제1 도전형 반도체층(124) 상에 배치되는 복수 개의 발광부(120a, 120b)를 포함할 수 있다. 복수 개의 발광부(120a, 120b)는 제1 패드(171)와 수직 방향으로 중첩되는 제1 발광부(120a) 및 제2 패드(172)와 수직 방향으로 중첩되는 제2 발광부(120b)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 18 , the light emitting structure 120 may include a plurality of light emitting units 120a and 120b disposed on the first conductivity type semiconductor layer 124. The plurality of light emitting units 120a and 120b include a first light emitting unit 120a vertically overlapping with the first pad 171 and a second light emitting unit 120b vertically overlapping with the second pad 172. It can be included.

이때, 제2 패드(172)와 중첩하는 복수 개의 제1 발광부(120a)를 직경이 상이할 수 있다. 예시적으로 복수 개의 제1 발광부(120a)는 상대적으로 직경이 큰 제1-1 발광부(120b-1)와 상대적으로 직경이 작은 제1-2 발광부(120b-2)를 포함할 수 있다. 이러한 구성에 의하면 발광부 사이의 간격을 좁힐 수 있으므로 발광 면적을 증가시킬 수 있다. At this time, the plurality of first light emitting units 120a overlapping with the second pad 172 may have different diameters. Exemplarily, the plurality of first light emitting units 120a may include a 1-1 light emitting unit 120b-1 with a relatively large diameter and a 1-2 light emitting unit 120b-2 with a relatively small diameter. there is. According to this configuration, the gap between light emitting units can be narrowed, and thus the light emitting area can be increased.

제1-1 발광부(120b-1)와 제1-2 발광부(120b-2)의 형상은 상이할 수도 있다. 예시적으로 제1-1 발광부(120b-1)는 원 형상이고, 제1-2 발광부(120b-2)는 십자 형상일 수도 있다. 즉, 발광 면적을 넓히기 위해 발광부의 형상은 다양하게 변형될 수 있다.The shapes of the 1-1 light emitting unit 120b-1 and the 1-2 light emitting unit 120b-2 may be different. For example, the 1-1 light emitting unit 120b-1 may have a circular shape, and the 1-2 light emitting unit 120b-2 may have a cross shape. That is, the shape of the light emitting unit can be modified in various ways to expand the light emitting area.

도 19는 본 발명의 일 실시 예에 따른 발광소자 패키지의 단면도이다.Figure 19 is a cross-sectional view of a light emitting device package according to an embodiment of the present invention.

도 19를 참조하면, 실시 예에 따른 발광소자 패키지는, 몸체(1) 및 몸체(1)의 내부에 배치되는 발광소자를 포함할 수 있다. 발광소자는 전술한 구성을 모두 포함할 수 있다. Referring to FIG. 19, a light emitting device package according to an embodiment may include a body 1 and a light emitting device disposed inside the body 1. The light emitting device may include all of the above-described configurations.

몸체(1)는 발광소자가 배치되는 캐비티(2)를 포함할 수 있으나, 반드시 이에 한정하지 않는다. 예시적으로 몸체(1)는 기판 형상일 수도 있다.The body 1 may include a cavity 2 in which a light emitting device is disposed, but is not necessarily limited thereto. For example, the body 1 may have a substrate shape.

몸체(1)의 내부에는 발광소자(100)와 전기적으로 연결되는 회로패턴이 배치될 수 있다. 그러나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니고 몸체(1) 자체가 도성성 재질로 제작될 수도 있다. 예시적으로 몸체(1)는 알루미늄 재질로 제작될 수 있다. 몸체(1) 상에는 투광 기판(3)이 배치될 수 있다. 투광 기판(3)은 자외선 광을 투과할 수 있는 다양한 재질을 포함할 수 있다. 예시적으로 투광 기판은 SUS 재질일 수 있으나 반드시 이에 한정하지 않는다.A circuit pattern electrically connected to the light emitting device 100 may be disposed inside the body 1. However, it is not necessarily limited to this, and the body 1 itself may be made of a conductive material. For example, the body 1 may be made of aluminum. A light transmitting substrate 3 may be disposed on the body 1. The light transmitting substrate 3 may include various materials capable of transmitting ultraviolet light. For example, the light transmitting substrate may be made of SUS, but is not necessarily limited thereto.

발광소자는 다양한 종류의 광원 장치에 적용될 수 있다. 예시적으로 광원장치는 살균 장치, 경화 장치, 조명 장치, 및 표시 장치 및 차량용 램프 등을 포함하는 개념일 수 있다. 즉, 발광소자는 케이스에 배치되어 광을 제공하는 다양한 전자 디바이스에 적용될 수 있다.Light emitting devices can be applied to various types of light source devices. For example, the light source device may include a sterilizing device, a curing device, a lighting device, a display device, and a vehicle lamp. In other words, the light emitting device can be applied to various electronic devices that are placed in a case and provide light.

살균 장치는 실시 예에 따른 발광소자를 구비하여 원하는 영역을 살균할수 있다. 살균 장치는 정수기, 에어컨, 냉장고 등의 생활 가전에 적용될 수 있으나 반드시 이에 한정하지 않는다. 즉, 살균 장치는 살균이 필요한 다양한 제품(예: 의료 기기)에 모두 적용될 수 있다.The sterilizing device is equipped with a light emitting device according to the embodiment and can sterilize a desired area. The sterilizing device may be applied to household appliances such as water purifiers, air conditioners, and refrigerators, but is not necessarily limited thereto. In other words, the sterilization device can be applied to a variety of products that require sterilization (e.g., medical devices).

예시적으로 정수기는 순환하는 물을 살균하기 위해 실시 예에 따른 살균 장치를 구비할 수 있다. 살균 장치는 물이 순환하는 노즐 또는 토출구에 배치되어 자외선을 조사할 수 있다. 이때, 살균 장치는 방수 구조를 포함할 수 있다.Exemplarily, a water purifier may be equipped with a sterilizing device according to an embodiment to sterilize circulating water. The sterilizing device may be placed at a nozzle or outlet through which water circulates and irradiate ultraviolet rays. At this time, the sterilizing device may include a waterproof structure.

경화 장치는 실시 예에 따른 발광소자를 구비하여 다양한 종류의 액체를 경화시킬 수 있다. 액체는 자외선이 조사되면 경화되는 다양한 물질을 모두 포함하는 최광의 개념일 수 있다. 예시적으로 경화장치는 다양한 종류의 레진을 경화시킬 수 있다. 또는 경화장치는 매니큐어와 같은 미용 제품을 경화시키는 데 적용될 수도 있다.The curing device is equipped with a light emitting device according to the embodiment and can cure various types of liquids. Liquid may be the broadest concept that includes all various substances that harden when irradiated with ultraviolet rays. For example, the curing device can cure various types of resin. Alternatively, the curing device may be applied to harden beauty products such as nail polish.

조명 장치는 기판과 실시 예의 발광소자를 포함하는 광원 모듈, 광원 모듈의 열을 발산시키는 방열부 및 외부로부터 제공받은 전기적 신호를 처리 또는 변환하여 광원 모듈로 제공하는 전원 제공부를 포함할 수 있다. 또한, 조명 장치는, 램프, 해드 램프, 또는 가로등 등을 포함할 수 있다. The lighting device may include a light source module including a substrate and the light emitting device of the embodiment, a heat dissipation unit that dissipates heat from the light source module, and a power supply unit that processes or converts an electrical signal provided from the outside and provides the light source module to the light source module. Additionally, the lighting device may include a lamp, head lamp, or street lamp.

표시 장치는 바텀 커버, 반사판, 발광 모듈, 도광판, 광학 시트, 디스플레이 패널, 화상 신호 출력 회로 및 컬러 필터를 포함할 수 있다. 바텀 커버, 반사판, 발광 모듈, 도광판 및 광학 시트는 백라이트 유닛(Backlight Unit)을 구성할 수 있다.The display device may include a bottom cover, a reflector, a light emitting module, a light guide plate, an optical sheet, a display panel, an image signal output circuit, and a color filter. The bottom cover, reflector, light emitting module, light guide plate, and optical sheet may constitute a backlight unit.

반사판은 바텀 커버 상에 배치되고, 발광 모듈은 광을 방출할 수 있다. 도광판은 반사판의 전방에 배치되어 발광 모듈에서 발산되는 빛을 전방으로 안내하고, 광학 시트는 프리즘 시트 등을 포함하여 이루어져 도광판의 전방에 배치될 수 있다. 디스플레이 패널은 광학 시트 전방에 배치되고, 화상 신호 출력 회로는 디스플레이 패널에 화상 신호를 공급하며, 컬러 필터는 디스플레이 패널의 전방에 배치될 수 있다.The reflector is disposed on the bottom cover, and the light emitting module can emit light. The light guide plate is disposed in front of the reflector and guides the light emitted from the light emitting module to the front, and the optical sheet includes a prism sheet, etc. and may be disposed in front of the light guide plate. A display panel may be disposed in front of the optical sheet, an image signal output circuit may supply an image signal to the display panel, and a color filter may be disposed in front of the display panel.

발광소자는 표시장치의 백라이트 유닛으로 사용될 때 에지 타입의 백라이트 유닛으로 사용되거나 직하 타입의 백라이트 유닛으로 사용될 수 있다.When used as a backlight unit of a display device, the light emitting element can be used as an edge-type backlight unit or a direct-type backlight unit.

이상에서 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.Although the above description focuses on the examples, this is only an example and does not limit the present invention, and those skilled in the art will be able to You will see that various variations and applications are possible. For example, each component specifically shown in the examples can be modified and implemented. And these variations and differences in application should be construed as being included in the scope of the present invention as defined in the appended claims.

Claims (20)

제1 도전형 반도체층 상에 이격 배치되는 복수 개의 발광부;
상기 제1 도전형 반도체층과 전기적으로 연결되는 제1 전극;
상기 복수 개의 발광부와 전기적으로 연결되는 복수 개의 제2 전극;
상기 제1 전극과 상기 복수 개의 제2 전극 상에 배치되는 절연층;
상기 절연층 상에 배치되는 제1 패드 및 제2 패드; 및
상기 제1 패드와 상기 제2 패드 사이에 배치되는 격벽을 포함하고,
상기 복수 개의 발광부는 각각 활성층, 및 제2 도전형 반도체층을 포함하고,
상기 제1 전극은 상기 복수 개의 발광부 중 적어도 하나의 발광부를 감싸며 배치되고,
상기 제2 패드는 상기 절연층을 관통하여 상기 복수 개의 제2 전극과 전기적으로 연결되고,
상기 제1 패드는 상기 제1 전극과 전기적으로 연결되고,
상기 절연층은 상기 격벽 상에 배치되고,
상기 절연층의 상면의 높이는 상기 제1 패드의 상면의 높이와 상기 제2 패드의 상면의 높이보다 작거나 같은 발광소자.

a plurality of light emitting units spaced apart from each other on the first conductive semiconductor layer;
a first electrode electrically connected to the first conductive semiconductor layer;
a plurality of second electrodes electrically connected to the plurality of light emitting units;
an insulating layer disposed on the first electrode and the plurality of second electrodes;
a first pad and a second pad disposed on the insulating layer; and
It includes a partition wall disposed between the first pad and the second pad,
The plurality of light emitting units each include an active layer and a second conductivity type semiconductor layer,
The first electrode is disposed surrounding at least one light emitting unit among the plurality of light emitting units,
The second pad penetrates the insulating layer and is electrically connected to the plurality of second electrodes,
The first pad is electrically connected to the first electrode,
The insulating layer is disposed on the partition wall,
A light emitting device wherein the height of the top surface of the insulating layer is less than or equal to the height of the top surface of the first pad and the height of the top surface of the second pad.

제1항에 있어서,
상기 복수 개의 발광부는 상기 제1 패드와 수직 방향으로 중첩되는 적어도 하나의 제1 발광부 및 상기 제2 패드와 수직 방향으로 중첩되는 복수 개의 제2 발광부를 포함하고,
상기 제1 전극은 상기 적어도 하나의 제1 발광부 상으로 연장되는 연장부를 포함하고,
상기 제1 패드는 상기 절연층을 관통하여 상기 연장부와 전기적으로 연결되는 발광소자.
According to paragraph 1,
The plurality of light emitting units include at least one first light emitting unit vertically overlapping with the first pad and a plurality of second light emitting units vertically overlapping with the second pad,
The first electrode includes an extension portion extending onto the at least one first light emitting portion,
The first pad is a light emitting device that penetrates the insulating layer and is electrically connected to the extension portion.
제2항에 있어서,
상기 제1 발광부의 면적은 상기 복수 개의 제2 발광부의 면적보다 큰 발광소자.
According to paragraph 2,
A light emitting device in which an area of the first light emitting unit is larger than an area of the plurality of second light emitting units.
제1항에 있어서,
상기 제1 패드의 면적은 상기 제2 패드의 면적의 10% 내지 30%인 발광소자.
According to paragraph 1,
A light emitting device wherein the area of the first pad is 10% to 30% of the area of the second pad.
제1항에 있어서,
상기 복수 개의 발광부는 원 형상 또는 다각 형상을 갖는 발광소자.
According to paragraph 1,
A light emitting device wherein the plurality of light emitting units have a circular or polygonal shape.
제5항에 있어서,
상기 복수 개의 발광부는 원 형상을 갖고,
상기 복수 개의 발광부의 직경은 30㎛ 내지 70㎛인 발광소자.
According to clause 5,
The plurality of light emitting units have a circular shape,
A light emitting device wherein the plurality of light emitting parts have a diameter of 30㎛ to 70㎛.
제6항에 있어서,
상기 제1 도전형 반도체층, 활성층, 및 상기 제2 도전형 반도체층의 알루미늄 조성은 40% 이상인 발광소자.
According to clause 6,
A light emitting device wherein the aluminum composition of the first conductive semiconductor layer, the active layer, and the second conductive semiconductor layer is 40% or more.
제5항에 있어서,
상기 복수 개의 발광부의 크기는 서로 상이한 발광소자.
According to clause 5,
A light emitting device in which the sizes of the plurality of light emitting parts are different from each other.
제1항에 있어서,
상기 복수 개의 발광부에 배치된 활성층의 전체 면적은 발광소자 전체 면적의 50% 내지 90%인 발광소자.
According to paragraph 1,
A light emitting device wherein the total area of the active layer disposed in the plurality of light emitting units is 50% to 90% of the total area of the light emitting device.
제9항에 있어서,
상기 제1 도전형 반도체층, 활성층, 및 상기 제2 도전형 반도체층의 알루미늄 조성은 40% 이상이고,
상기 복수 개의 발광부의 직경은 30㎛ 내지 70㎛인 발광소자.
According to clause 9,
The aluminum composition of the first conductive semiconductor layer, the active layer, and the second conductive semiconductor layer is 40% or more,
A light emitting device wherein the plurality of light emitting parts have a diameter of 30㎛ to 70㎛.
제9항에 있어서,
상기 활성층은 100nm 내지 310nm에서 메인 피크를 갖는 광을 출사하는 발광소자.
According to clause 9,
The active layer is a light emitting device that emits light with a main peak at 100 nm to 310 nm.
삭제delete 제1항에 있어서,
상기 제1 패드의 상기 상면과 상기 격벽 상에 배치된 상기 절연층의 상기 상면의 높이비는 1: 0.8 내지 1:1인 발광소자.
According to paragraph 1,
A light emitting device wherein a height ratio between the upper surface of the first pad and the upper surface of the insulating layer disposed on the partition is 1:0.8 to 1:1.
삭제delete 제1 도전형 반도체층 상에 이격 배치되는 복수 개의 발광부를 포함하고, 상기 복수 개의 발광부는 각각 활성층 및 상기 활성층 상에 배치되는 제2 도전형 반도체층을 포함하는 발광 구조물;
상기 제1 도전형 반도체층 상에 배치되는 제1 전극;
상기 복수 개의 발광부 상에 배치되는 복수 개의 제2 전극;
상기 제1 전극과 상기 복수 개의 제2 전극 상에 배치되는 제1 절연층;
상기 제1 절연층 상에 배치되는 제2 절연층;
상기 제1 절연층과 상기 제2 절연층 사이에 배치되는 채널전극;
상기 제1 전극과 전기적으로 연결되는 제1 패드; 및
상기 제2 전극과 전기적으로 연결되는 제2 패드를 포함하고,
상기 복수 개의 발광부는 상기 제1 패드와 수직 방향으로 중첩되는 제1 발광부 및 상기 제2 패드와 수직 방향으로 중첩되는 제2 발광부를 포함하고,
상기 채널전극은 상기 제1 발광부와 상기 제2 발광부를 전기적으로 연결하고,
상기 제2 절연층은 상기 채널전극과 상기 제1 패드 사이에 배치되는 발광소자.
A light emitting structure comprising a plurality of light emitting units spaced apart from each other on a first conductive semiconductor layer, wherein the plurality of light emitting units each include an active layer and a second conductive semiconductor layer disposed on the active layer;
a first electrode disposed on the first conductive semiconductor layer;
a plurality of second electrodes disposed on the plurality of light emitting units;
a first insulating layer disposed on the first electrode and the plurality of second electrodes;
a second insulating layer disposed on the first insulating layer;
a channel electrode disposed between the first insulating layer and the second insulating layer;
a first pad electrically connected to the first electrode; and
It includes a second pad electrically connected to the second electrode,
The plurality of light emitting units include a first light emitting unit that overlaps the first pad in a vertical direction and a second light emitting unit that overlaps the second pad in a vertical direction,
The channel electrode electrically connects the first light emitting unit and the second light emitting unit,
The second insulating layer is a light emitting device disposed between the channel electrode and the first pad.
제15항에 있어서,
상기 제1 패드의 면적은 상기 제2 패드의 면적의 10% 내지 30%인 발광소자.
According to clause 15,
A light emitting device wherein the area of the first pad is 10% to 30% of the area of the second pad.
제15항에 있어서,
상기 제2 패드의 면적은 상기 제1 패드와 동일한 발광소자.
According to clause 15,
A light emitting device wherein the second pad has the same area as the first pad.
제15항에 있어서,
상기 활성층은 100nm 내지 310nm에서 메인 피크를 갖는 광을 출사하는 발광소자.
According to clause 15,
The active layer is a light emitting device that emits light with a main peak at 100 nm to 310 nm.
제15항에 있어서,
상기 제1 패드는 상기 제1 절연층과 상기 제2 절연층을 관통하여 상기 제1 전극과 전기적으로 연결되는 발광소자.
According to clause 15,
The first pad is a light emitting device that penetrates the first insulating layer and the second insulating layer and is electrically connected to the first electrode.
몸체;
상기 몸체 상에 배치되는 발광소자를 포함하고,
상기 발광소자는,
제1 도전형 반도체층 상에 이격 배치되는 복수 개의 발광부;
상기 제1 도전형 반도체층과 전기적으로 연결되는 제1 전극;
상기 복수 개의 발광부와 전기적으로 연결되는 복수 개의 제2 전극;
상기 제1 전극과 상기 복수 개의 제2 전극 상에 배치되는 절연층;
상기 절연층 상에 배치되는 제1 패드 및 제2 패드; 및
상기 제1 패드와 상기 제2 패드 사이에 배치되는 격벽을 포함하고,
상기 복수 개의 발광부는 각각 활성층, 및 제2 도전형 반도체층을 포함하고,
상기 제1 전극은 상기 복수 개의 발광부 중 적어도 하나의 발광부를 감싸며 배치되고,
상기 제2 패드는 상기 절연층을 관통하여 상기 복수 개의 제2 전극과 전기적으로 연결되고,
상기 제1 패드는 상기 제1 전극과 전기적으로 연결되고,
상기 절연층은 상기 격벽 상에 배치되고,
상기 절연층의 상면의 높이는 상기 제1 패드의 상면의 높이와 상기 제2 패드의 상면의 높이보다 작거나 같은 발광소자 패키지.
body;
Includes a light emitting element disposed on the body,
The light emitting device is,
a plurality of light emitting units spaced apart from each other on the first conductive semiconductor layer;
a first electrode electrically connected to the first conductive semiconductor layer;
a plurality of second electrodes electrically connected to the plurality of light emitting units;
an insulating layer disposed on the first electrode and the plurality of second electrodes;
a first pad and a second pad disposed on the insulating layer; and
It includes a partition wall disposed between the first pad and the second pad,
The plurality of light emitting units each include an active layer and a second conductivity type semiconductor layer,
The first electrode is disposed surrounding at least one light emitting unit among the plurality of light emitting units,
The second pad penetrates the insulating layer and is electrically connected to the plurality of second electrodes,
The first pad is electrically connected to the first electrode,
The insulating layer is disposed on the partition wall,
A light emitting device package wherein the height of the top surface of the insulating layer is less than or equal to the height of the top surface of the first pad and the height of the top surface of the second pad.
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