KR102636291B1 - Apparatus and method for tray recognition using reference point - Google Patents

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KR102636291B1 KR1020230114269A KR20230114269A KR102636291B1 KR 102636291 B1 KR102636291 B1 KR 102636291B1 KR 1020230114269 A KR1020230114269 A KR 1020230114269A KR 20230114269 A KR20230114269 A KR 20230114269A KR 102636291 B1 KR102636291 B1 KR 102636291B1
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한복우
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Abstract

기준점을 이용한 트레이 인식 장치 및 방법이 개시되며, 본원의 일 실시예에 따른 기준점을 이용한 트레이 인식 방법은, 반도체 패키지가 안착되는 복수의 수용 공간을 형성하는 트레이를 대상으로 촬영된 검사 이미지를 획득하는 단계, 상기 검사 이미지에서 상기 트레이에 대하여 미리 설정되는 복수의 기준점을 식별하는 단계 및 상기 식별된 복수의 기준점 사이의 변위 정보를 이용하여 상기 트레이의 실측 규격 정보를 도출하는 단계를 포함할 수 있다.A tray recognition device and method using a reference point are disclosed, and the tray recognition method using a reference point according to an embodiment of the present application includes obtaining an inspection image taken on a tray forming a plurality of receiving spaces in which a semiconductor package is seated. It may include a step of identifying a plurality of reference points preset for the tray in the inspection image, and deriving actual measurement specification information of the tray using displacement information between the identified plurality of reference points.

Description

기준점을 이용한 트레이 인식 장치 및 방법{APPARATUS AND METHOD FOR TRAY RECOGNITION USING REFERENCE POINT}Tray recognition device and method using reference point {APPARATUS AND METHOD FOR TRAY RECOGNITION USING REFERENCE POINT}

본원은 기준점을 이용한 트레이 인식 장치 및 방법에 관한 것이다.This application relates to a tray recognition device and method using a reference point.

패키지 제조 시스템은, 복수개의 패키지들이 형성된 스트립에서 개별 패키지로 절단하는 절단 공정, 절단 공정에서 절단된 패키지를 세척하는 세척 공정, 세척 공정에서 세척된 패키지를 건조하는 건조 공정, 건조가 완료된 패키지의 불량 여부를 검사하는 패키지 검사 공정 및 검사 결과에 따라 불량 여부 검사를 통과한 패키지와 통과하지 못한 패키지를 분류하는 오프로드 공정 등을 순차적으로 수행하여 반도체 패키지를 제조할 수 있다.The package manufacturing system includes a cutting process of cutting strips on which a plurality of packages are formed into individual packages, a washing process of washing the packages cut in the cutting process, a drying process of drying the packages washed in the washing process, and defects in the dried packages. Semiconductor packages can be manufactured by sequentially performing a package inspection process to check for defects and an offload process to classify packages that passed the defect inspection and those that did not, depending on the inspection results.

그런데, 종래의 패키지 제조 시스템은, 위와 같은 필수 공정을 수행하는 개별 모듈이 산발적으로 위치하고 있어 작업자의 작업 동선에 비효율이 발생하거나 작업 쓰루풋이 저하되고, 작업 오류가 꾸준히 발생하는 문제 등이 있었다. 따라서, 작업 에러율을 최소화 하면서 보다 향상된 작업 효율을 확보하기 위한 새로운 패키지 제조 시스템, 싱귤레이션 시스템의 개발이 필요한 상황이다.However, in the conventional package manufacturing system, individual modules that perform the above essential processes are located sporadically, resulting in inefficiencies in the worker's work flow, reduced work throughput, and problems such as constant occurrence of work errors. Therefore, there is a need to develop a new package manufacturing system and singulation system to secure improved work efficiency while minimizing the work error rate.

특히, 반도체 패키지가 안착되는 트레이의 실제 규격을 파악하여 트레이에 패키지를 적재하는 픽커 모듈이 보다 정밀하게 제어되도록 할 수 있는 모니터링 및 최적화 기법의 개발이 요구된다.In particular, there is a need for the development of monitoring and optimization techniques that can determine the actual size of the tray on which the semiconductor package is placed so that the picker module that loads the package on the tray can be controlled more precisely.

본원의 배경이 되는 기술은 한국등록특허공보 제10-2185074호에 개시되어 있다.The technology behind this application is disclosed in Korean Patent Publication No. 10-2185074.

본원은 전술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 반도체 패키지가 안착되는 트레이의 실측 규격을 정밀하게 파악할 수 있는 기준점을 이용한 트레이 인식 장치 및 방법을 제공하려는 것을 목적으로 한다.The purpose of the present application is to solve the problems of the prior art described above, and to provide a tray recognition device and method using a reference point that can accurately determine the actual measurement specifications of the tray on which the semiconductor package is mounted.

다만, 본원의 실시예가 이루고자 하는 기술적 과제는 상기된 바와 같은 기술적 과제들로 한정되지 않으며, 또 다른 기술적 과제들이 존재할 수 있다.However, the technical challenges sought to be achieved by the embodiments of the present application are not limited to the technical challenges described above, and other technical challenges may exist.

상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 기술적 수단으로서, 본원의 일 실시예에 따른 기준점을 이용한 트레이 인식 방법은, 반도체 패키지가 안착되는 복수의 수용 공간을 형성하는 트레이를 대상으로 촬영된 검사 이미지를 획득하는 단계, 상기 검사 이미지에서 상기 트레이에 대하여 미리 설정되는 복수의 기준점을 식별하는 단계 및 상기 식별된 복수의 기준점 사이의 변위 정보를 이용하여 상기 트레이의 실측 규격 정보를 도출하는 단계를 포함할 수 있다.As a technical means for achieving the above-described technical problem, the tray recognition method using a reference point according to an embodiment of the present application is to obtain an inspection image taken on a tray forming a plurality of receiving spaces in which a semiconductor package is seated. It may include a step of identifying a plurality of reference points preset for the tray in the inspection image, and deriving actual measurement specification information of the tray using displacement information between the identified plurality of reference points.

또한, 상기 검사 이미지는, 상기 복수의 수용 공간 중 미리 설정된 타겟 수용 공간에 소정의 구조체가 삽입된 상태에서 촬영될 수 있다.Additionally, the inspection image may be captured with a predetermined structure inserted into a preset target accommodating space among the plurality of accommodating spaces.

또한, 상기 복수의 기준점을 식별하는 단계는, 상기 검사 이미지에서 상기 구조체에 대응하는 영역인 타겟 영역 내에서 상기 기준점을 식별할 수 있다.Additionally, the step of identifying the plurality of reference points may identify the reference points within a target area, which is an area corresponding to the structure in the inspection image.

또한, 상기 복수의 수용 공간은 각각이 상호 간격을 두고 복수의 행 및 복수의 열을 이루는 격자 구조로 이루어질 수 있다.Additionally, the plurality of accommodating spaces may be formed in a lattice structure with a plurality of rows and a plurality of columns spaced apart from each other.

또한, 상기 타겟 수용 공간은, 상기 복수의 수용 공간 중 상기 격자 구조의 코너 영역에 대응하는 셋 이상의 수용 공간을 포함하도록 설정될 수 있다.Additionally, the target accommodation space may be set to include three or more accommodation spaces corresponding to corner areas of the grid structure among the plurality of accommodation spaces.

또한, 본원의 일 실시예에 따른 기준점을 이용한 트레이 인식 방법은, 상기 복수의 행의 수와 상기 복수의 열의 수를 포함하는 트레이 형태 정보를 획득하는 단계를 포함할 수 있다.Additionally, the tray recognition method using a reference point according to an embodiment of the present application may include obtaining tray shape information including the number of the plurality of rows and the number of the plurality of columns.

또한, 상기 실측 규격 정보를 도출하는 단계는, 상기 트레이 형태 정보 및 상기 변위 정보를 이용하여, 상기 복수의 수용 공간 사이의 길이 방향 간격에 해당하는 제1실측 피치 정보와 상기 복수의 수용 공간 사이의 폭 방향 간격에 해당하는 제2실측 피치 정보를 산출할 수 있다.In addition, the step of deriving the actual measurement standard information includes first actual measurement pitch information corresponding to a longitudinal interval between the plurality of receiving spaces and the plurality of receiving spaces using the tray shape information and the displacement information. Second actual pitch information corresponding to the width direction spacing can be calculated.

또한, 본원의 일 실시예에 따른 기준점을 이용한 트레이 인식 방법은, 상기 트레이의 제작 시 적용된 상기 길이 방향 간격에 해당하는 제1제작 피치 정보 및 상기 폭 방향 간격에 해당하는 제2제작 피치 정보를 포함하는 제작 규격 정보를 획득하는 단계 및 상기 제1제작 피치 정보와 상기 제1실측 피치 정보 간의 편차 및 상기 제2제작 피치 정보와 상기 제2실측 피치 정보 간의 편차를 연산하는 단계를 포함할 수 있다.In addition, the tray recognition method using a reference point according to an embodiment of the present application includes first manufacturing pitch information corresponding to the longitudinal spacing applied when manufacturing the tray and second manufacturing pitch information corresponding to the widthwise spacing. It may include obtaining production standard information and calculating a deviation between the first production pitch information and the first actual measured pitch information and a deviation between the second production pitch information and the second actual measured pitch information.

또한, 본원의 일 실시예에 따른 기준점을 이용한 트레이 인식 방법은, 상기 실측 규격 정보를 이용하여, 상기 복수의 수용 공간 각각에 상기 반도체 패키지를 안착시키는 픽커 모듈과 연계된 제어 정보를 생성하는 단계를 포함할 수 있다.In addition, the tray recognition method using a reference point according to an embodiment of the present application includes the step of using the actual measurement standard information to generate control information associated with a picker module for seating the semiconductor package in each of the plurality of receiving spaces. It can be included.

또한, 상기 구조체는, 상기 복수의 수용 공간 각각의 단면적 대비 작은 단면적으로 구비되는 판형의 제1부재 및 상기 제1부재의 상면 중심부에 배치되고, 상기 제1부재 대비 작은 단면적으로 구비되는 판형의 제2부재를 포함할 수 있다.In addition, the structure includes a plate-shaped first member having a small cross-sectional area compared to the cross-sectional area of each of the plurality of accommodation spaces, and a plate-shaped member disposed at the center of the upper surface of the first member and having a small cross-sectional area compared to the first member. It may include two members.

또한, 상기 제1부재의 외면과 상기 제2부재의 외면의 형상이 서로 구분될 수 있다.Additionally, the shapes of the outer surface of the first member and the outer surface of the second member may be distinguished from each other.

한편, 본원의 일 실시예에 따른 기준점을 이용한 트레이 인식 장치는, 반도체 패키지가 안착되는 복수의 수용 공간을 형성하는 트레이를 대상으로 촬영된 검사 이미지를 획득하는 수집부, 상기 검사 이미지에서 상기 트레이에 대하여 미리 설정되는 복수의 기준점을 식별하는 기준점 인식부 및 상기 식별된 복수의 기준점 사이의 변위 정보를 이용하여 상기 트레이의 실측 규격 정보를 도출하는 규격 분석부를 포함할 수 있다.Meanwhile, a tray recognition device using a reference point according to an embodiment of the present application includes a collection unit that acquires an inspection image taken on a tray forming a plurality of receiving spaces on which a semiconductor package is seated, and a collection unit that acquires an inspection image taken from the inspection image to the tray. It may include a reference point recognition unit that identifies a plurality of preset reference points and a standard analysis unit that derives actual measurement standard information of the tray using displacement information between the identified plurality of reference points.

또한, 상기 기준점 인식부는, 상기 검사 이미지에서 상기 구조체에 대응하는 영역인 타겟 영역 내에서 상기 기준점을 식별할 수 있다.Additionally, the reference point recognition unit may identify the reference point within a target area, which is an area corresponding to the structure, in the inspection image.

또한, 상기 수집부는, 상기 복수의 행의 수와 상기 복수의 열의 수를 포함하는 트레이 형태 정보를 획득할 수 있다.Additionally, the collection unit may obtain tray shape information including the number of rows and the number of columns.

또한, 상기 규격 분석부는, 상기 트레이 형태 정보 및 상기 변위 정보를 이용하여, 상기 복수의 수용 공간 사이의 길이 방향 간격에 해당하는 제1실측 피치 정보와 상기 복수의 수용 공간 사이의 폭 방향 간격에 해당하는 제2실측 피치 정보를 산출할 수 있다.In addition, the standard analysis unit uses the tray shape information and the displacement information to determine first actual pitch information corresponding to the longitudinal spacing between the plurality of accommodating spaces and the widthwise spacing between the plurality of accommodating spaces. Second actual pitch information can be calculated.

상술한 과제 해결 수단은 단지 예시적인 것으로서, 본원을 제한하려는 의도로 해석되지 않아야 한다. 상술한 예시적인 실시예 외에도, 도면 및 발명의 상세한 설명에 추가적인 실시예가 존재할 수 있다.The above-described means of solving the problem are merely illustrative and should not be construed as intended to limit the present application. In addition to the exemplary embodiments described above, additional embodiments may be present in the drawings and detailed description of the invention.

전술한 본원의 과제 해결 수단에 의하면, 반도체 패키지가 안착되는 트레이의 실측 규격을 정밀하게 파악할 수 있는 기준점을 이용한 트레이 인식 장치 및 방법을 제공할 수 있다.According to the means for solving the problem of the present application described above, it is possible to provide a tray recognition device and method using a reference point that can accurately determine the actual measurement specifications of the tray on which the semiconductor package is mounted.

다만, 본원에서 얻을 수 있는 효과는 상기된 바와 같은 효과들로 한정되지 않으며, 또 다른 효과들이 존재할 수 있다.However, the effects that can be obtained herein are not limited to the effects described above, and other effects may exist.

도 1은 본원의 일 실시예에 따른 패키지 절단 및 소팅 시스템의 개략적인 개념 평면도이다.
도 2는 본원의 일 실시예에 따른 패키지 절단 및 소팅 시스템의 개략적인 동작 흐름을 설명하기 위한 블록도이다.
도 3은 본원의 일 실시예에 따른 패키지 절단 및 소팅 시스템의 트레이 운반 모듈 및 가이드 모듈을 나타낸 사시도이다.
도 4는 기준점을 이용한 트레이 인식 프로세스를 설명하기 위한 개념도이다.
도 5는 트레이의 수용 공간에 삽입되는 구조체에 대한 개략적인 사시도이다.
도 6은 본원의 일 실시예에 따른 기준점을 이용한 트레이 인식 장치의 개략적인 구성도이다.
도 7은 본원의 일 실시예에 따른 기준점을 이용한 트레이 인식 방법에 대한 동작 흐름도이다.
1 is a schematic conceptual plan view of a package cutting and sorting system according to an embodiment of the present application.
Figure 2 is a block diagram for explaining the schematic operation flow of a package cutting and sorting system according to an embodiment of the present application.
Figure 3 is a perspective view showing a tray transport module and a guide module of a package cutting and sorting system according to an embodiment of the present application.
Figure 4 is a conceptual diagram to explain the tray recognition process using a reference point.
Figure 5 is a schematic perspective view of a structure inserted into the receiving space of the tray.
Figure 6 is a schematic configuration diagram of a tray recognition device using a reference point according to an embodiment of the present application.
Figure 7 is an operation flowchart of a tray recognition method using a reference point according to an embodiment of the present application.

아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본원이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본원의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본원은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본원을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.Below, with reference to the attached drawings, embodiments of the present application will be described in detail so that those skilled in the art can easily implement them. However, the present application may be implemented in various different forms and is not limited to the embodiments described herein. In order to clearly explain the present application in the drawings, parts that are not related to the description are omitted, and similar reference numerals are assigned to similar parts throughout the specification.

본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 "전기적으로 연결" 또는 "간접적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. Throughout this specification, when a part is said to be “connected” to another part, this means not only “directly connected” but also “electrically connected” or “indirectly connected” with another element in between. "Includes cases where it is.

본원 명세서 전체에서, 어떤 부재가 다른 부재 "상에", "상부에", "상단에", "하에", "하부에", "하단에" 위치하고 있다고 할 때, 이는 어떤 부재가 다른 부재에 접해 있는 경우뿐 아니라 두 부재 사이에 또 다른 부재가 존재하는 경우도 포함한다.Throughout this specification, when a member is said to be located “on”, “above”, “at the top”, “below”, “at the bottom”, or “at the bottom” of another member, this means that a member is located on another member. This includes not only cases where they are in contact, but also cases where another member exists between two members.

본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성 요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.Throughout the specification of the present application, when a part "includes" a certain component, this means that it may further include other components rather than excluding other components unless specifically stated to the contrary.

본원은 기준점을 이용한 트레이 인식 장치 및 방법에 관한 것이다.This application relates to a tray recognition device and method using a reference point.

도 1은 본원의 일 실시예에 따른 트레이 인식 장치를 포함하는 패키지 절단 및 소팅 시스템의 개략적인 개념 평면도이고, 도 2는 본원의 일 실시예에 따른 패키지 절단 및 소팅 시스템의 개략적인 동작 흐름을 설명하기 위한 블록도이다.FIG. 1 is a schematic conceptual plan view of a package cutting and sorting system including a tray recognition device according to an embodiment of the present application, and FIG. 2 illustrates a schematic operational flow of the package cutting and sorting system according to an embodiment of the present application. This is a block diagram to do this.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본원의 일 실시예에 따른 패키지 절단 및 소팅 시스템(1000)(이하, '본 시스템(1000)'이라 한다.)은 투입 모듈(10), 절단 모듈(20), 세척 모듈(30), 건조 모듈(40), 제1픽커 모듈(50), 테이블(60), 제2픽커 모듈(70), 검사 모듈(80) 및 분류 모듈(900)을 포함할 수 있다. 또한, 본 시스템(1000)은 트레이 인식 장치(100)를 구비할 수 있다.Referring to Figures 1 and 2, the package cutting and sorting system 1000 (hereinafter referred to as 'this system 1000') according to an embodiment of the present application includes an input module 10 and a cutting module 20. , it may include a washing module 30, a drying module 40, a first picker module 50, a table 60, a second picker module 70, an inspection module 80, and a classification module 900. . Additionally, the system 1000 may be equipped with a tray recognition device 100.

먼저, 본 시스템(1000)의 투입 모듈(10)은 반도체 스트립을 공급하도록 구비될 수 있다. 구체적으로 반도체 스트립이 적재된 매거진은 투입 모듈(10)의 매거진 안착 모듈(111)에 적재될 수 있고, 매거진 안착 모듈(111)에 적재된 매거진은 매거진 파지 모듈(112)에 의해 파지되어 준비 위치로 이동되고, 준비 위치로 이동된 매거진으로부터 반출되는 반도체 스트립은 스트립 검사 모듈(113)로 이송될 수 있다. 또한, 스트립 검사 모듈(113)로 이송된 반도체 스트립은 스트립 픽커(미도시)를 구비하는 스마트 정렬부(12)에 의해 척 테이블(13)로 이송될 수 있다. 참고로, 투입 모듈(10)에 의해 본 시스템(1000) 내로 유입된 반도체 스트립 중 후술하는 절단 모듈(20)에 이송되기 전에 불량 판정 받거나 추가 공정이 필요한 것으로 판단된 반도체 스트립에 해당하는 회수 스트립은 매거진 안착 모듈(111)로 반송될 수 있고, 회수 스트립으로 판정되지 않은 반도체 스트립은 스마트 정렬부(12)를 통해 절단 모듈(20)로 이송될 수 있다.First, the input module 10 of the system 1000 may be equipped to supply a semiconductor strip. Specifically, the magazine loaded with the semiconductor strip may be loaded on the magazine seating module 111 of the input module 10, and the magazine loaded on the magazine seating module 111 may be held by the magazine gripping module 112 and placed in the ready position. The semiconductor strip moved to and unloaded from the magazine moved to the preparation position may be transferred to the strip inspection module 113. Additionally, the semiconductor strip transferred to the strip inspection module 113 may be transferred to the chuck table 13 by the smart alignment unit 12 equipped with a strip picker (not shown). For reference, among the semiconductor strips introduced into the system 1000 by the input module 10, the recovery strip corresponding to the semiconductor strip judged to be defective or in need of additional processing before being transferred to the cutting module 20, which will be described later. Semiconductor strips that can be returned to the magazine seating module 111 and are not determined to be collection strips can be transferred to the cutting module 20 through the smart alignment unit 12.

또한, 본 시스템(1000)은 반도체 스트립을 패키지로 커팅하는 절단 모듈(20)을 포함할 수 있다. 스마트 정렬부(12)에 의해 척 테이블(13)로 이송된 반도체 스트립은 절단 모듈(20)로 이송되어 절단 모듈(20)에서 개별 패키지로 커팅(분리)될 수 있다.Additionally, the system 1000 may include a cutting module 20 that cuts the semiconductor strip into a package. The semiconductor strip transferred to the chuck table 13 by the smart alignment unit 12 may be transferred to the cutting module 20 and cut (separated) into individual packages in the cutting module 20.

또한, 본 시스템(1000)은 커팅된 패키지를 세척하는 세척 모듈(30)을 포함할 수 있다. 즉, 절단 모듈(20)에서 반도체 스트립이 커팅되어 형성된 패키지는 세척 모듈(30)로 이송되어 세척될 수 있다.Additionally, the system 1000 may include a cleaning module 30 that cleans the cut package. That is, the package formed by cutting the semiconductor strip in the cutting module 20 can be transferred to the cleaning module 30 and cleaned.

또한, 본 시스템(1000)은 세척된 패키지를 건조하는 건조 모듈(40)을 포함할 수 있다. 세척 모듈(30)에서 세척된 패키지는 건조 모듈(40)로 이송되어 드라이될 수 있다.Additionally, the system 1000 may include a drying module 40 that dries the cleaned package. The package washed in the cleaning module 30 may be transferred to the drying module 40 and dried.

또한, 본 시스템(1000)은 건조된 패키지가 안착되는 테이블(60) 및 건조 모듈(40)에서 건조된 패키지를 테이블(60)로 이송하는 제1픽커 모듈(50)을 포함할 수 있다. 건조 모듈(40)에서 건조된 패키지는 제1픽커 모듈(50)에 의해 테이블(60)로 이송될 수 있다. 예를 들면, 제1픽커 모듈(50)은 그리드 픽커일 수 있다.Additionally, the system 1000 may include a table 60 on which the dried package is placed and a first picker module 50 that transfers the dried package from the drying module 40 to the table 60. The package dried in the drying module 40 may be transferred to the table 60 by the first picker module 50. For example, the first picker module 50 may be a grid picker.

또한, 제2픽커 모듈(70)은 테이블(60)에 안착된 복수의 패키지 중 적어도 일부를 파지하여 이송하도록 구비될 수 있다. 이와 관련하여, 복수의 패키지가 안착되는 테이블(60)은 제1픽커 모듈(50)로부터 건조된 패키지가 공급되는 위치와 제2픽커 모듈(70)이 안착된 패키지를 파지할 수 있는 위치 사이를 왕복 이동(예를 들면, 도 1 기준 12시 방향에서 6시 방향을 왕복하여 이동) 가능하도록 구비될 수 있다.Additionally, the second picker module 70 may be provided to grasp and transfer at least some of the plurality of packages seated on the table 60. In this regard, the table 60 on which a plurality of packages are placed is positioned between the position where the dried package is supplied from the first picker module 50 and the position where the second picker module 70 can hold the mounted package. It may be provided to enable reciprocating movement (for example, moving back and forth from the 12 o'clock direction to the 6 o'clock direction based on FIG. 1).

또한, 본 시스템(1000)은 패키지의 불량 여부를 검사하는 검사 모듈(80)을 포함할 수 있다. 패키지는 검사 모듈(80)로 이송되어 불량 여부를 판정받을 수 있다.Additionally, the system 1000 may include an inspection module 80 that inspects whether the package is defective. The package can be transferred to the inspection module 80 to determine whether it is defective.

또한, 본 시스템(1000)은 검사 모듈(80)에 의한 검사 결과에 따라 복수의 패키지 각각이 수용되는 수용 공간을 구비하는 분류 모듈(900)을 포함할 수 있다.Additionally, the system 1000 may include a classification module 900 having a receiving space in which each of a plurality of packages is accommodated according to the inspection result by the inspection module 80.

또한, 이와 관련하여 제2픽커 모듈(70)은 검사 모듈(80)의 검사 결과에 따라 복수의 패키지 각각을 분류 모듈(900)에 구분 형성되는 복수의 수용 공간 중 어느 하나로 이송하도록 동작할 수 있다.In addition, in relation to this, the second picker module 70 may operate to transfer each of a plurality of packages to one of a plurality of receiving spaces separately formed in the classification module 900 according to the inspection result of the inspection module 80. .

예를 들어, 분류 모듈(900)은 검사 모듈(80)에 의해 정상(양품) 패키지 또는 비정상(불량) 패키지로 분류된 각각의 패키지를 수용하기 위한 수용 공간을 형성하는 트레이(91) 및 리젝트 빈(92) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.For example, the classification module 900 includes a tray 91 that forms a receiving space for receiving each package classified as a normal (good) package or an abnormal (defective) package by the inspection module 80, and a reject It may include at least one of the bins 92.

예를 들어, 복수 개의 트레이(91a, 91b, 91c) 중 일부의 트레이에 양품 패키지가 적재되고, 불량 패키지로 분류된 패키지는 복수 개의 트레이(91a, 91b, 91c) 중 나머지 트레이에 적재될 수 있으나, 이에만 한정되는 것은 아니며, 본 시스템(1000)의 운용 방식에 따라 양품 패키지는 트레이(91)로 이송되어 적재되고, 불량 패키지는 후술하는 리젝트 빈(92)으로 이송되어 리젝트 빈(92)에 형성된 복수의 수용 공간 각각에 불량 패키지에 대하여 판단된 불량 유형에 따라 나뉘어 적재되는 오프로딩 방식 역시 적용될 수 있다.For example, good packages may be loaded on some of the plurality of trays (91a, 91b, 91c), and packages classified as defective packages may be loaded on the remaining trays of the plurality of trays (91a, 91b, 91c). , It is not limited to this, and according to the operation method of the system 1000, good quality packages are transferred to the tray 91 and loaded, and defective packages are transferred to the reject bin 92, which will be described later, and are placed in the reject bin 92. ) An offloading method in which defective packages are divided and loaded into each of the plurality of receiving spaces formed in the package according to the determined defect type can also be applied.

한편, 패키지 적재가 완료된 트레이(91)가 안착되는 트레이 운반 모듈(920)이 이동됨으로써 트레이 수용 모듈(930)에 적재될 수 있고, 트레이 운반 모듈(920)에는 새로운 트레이 구조체가 안착될 수 있다.Meanwhile, the tray transport module 920 on which the tray 91 on which package loading is completed is moved so that it can be loaded on the tray receiving module 930, and a new tray structure can be seated on the tray transport module 920.

이와 같은, 본 시스템(1000)에 의하면, 패키지가 하나의 자동화된 시스템에 의해 제조될 수 있으므로, 종래의 제조 공정을 수행하는 개별 모듈이 산발적으로 위치하고 있어 작업자의 작업 동선에 비효율이 발생하거나 작업 쓰루풋이 저하되고, 작업 오류가 꾸준히 발생하던 패키지 제조 시스템 대비 작업 에러율을 최소화 하면서 보다 향상된 작업 효율을 확보할 수 있다.According to this system 1000, since the package can be manufactured by one automated system, individual modules that perform the conventional manufacturing process are located sporadically, causing inefficiency in the worker's work flow or reducing work throughput. Compared to the package manufacturing system, where work errors consistently occur, the work error rate can be minimized and improved work efficiency can be secured.

본원에서 개시하는 분류 모듈(900)은 검사 모듈(80)에 의한 검사 결과에 따라 복수의 패키지 각각이 수용되는 수용 공간을 구비할 수 있다. 이와 관련하여 제2픽커 모듈(80)은 검사 모듈(80)에 의한 검사 결과에 기초하여 파지한 복수의 패키지 각각을 분류 모듈(900)에 형성된 수용 공간으로 이송할 수 있다.The classification module 900 disclosed herein may be provided with a receiving space where each of a plurality of packages is accommodated according to the results of the inspection by the inspection module 80. In this regard, the second picker module 80 may transfer each of the plurality of packages held based on the inspection results by the inspection module 80 to the receiving space formed in the classification module 900.

구체적으로 검사 모듈(80)은 제2픽커 모듈(80)이 파지하는 복수의 패키지 각각을 정상 패키지 또는 불량 패키지로 분류하는 불량 유무 정보 및 불량 패키지로 분류된 패키지의 불량 유형에 대한 분류 유형 정보를 검사 결과로서 도출할 수 있다.Specifically, the inspection module 80 provides information on the presence or absence of defects that classifies each of the plurality of packages held by the second picker module 80 as a normal package or a defective package, and classification type information on the defect type of the package classified as a defective package. It can be derived as a test result.

달리 말해, 검사 모듈(80)은 각 패키지를 정상 패키지 또는 불량 패키지로 분류하는 검사를 수행할 뿐만 아니라, 불량 패키지로 분류된 패키지의 불량 유형을 판단하는 기능까지 제공할 수 있다.In other words, the inspection module 80 not only performs an inspection to classify each package as a normal package or a defective package, but also provides a function to determine the defect type of the package classified as a defective package.

예시적으로 불량 유형 정보는 오염, 치수(사이즈) 불량, 볼 부착 불량 등을 포함할 수 있으나, 이에만 한정되는 것은 아니고, 본원의 구현예에 따라서 다양한 유형으로 설정될 수 있으며, 본원에서 개시하는 분류 모듈(900)에 구비되는 수용 공간은 불량 유무 정보 및 감지된 불량에 대한 분류 유형 정보에 따른 복수의 수용 공간을 포함할 수 있다.By way of example, the defect type information may include contamination, dimension (size) defect, ball attachment defect, etc., but is not limited thereto, and may be set to various types according to implementation examples of the present application, and disclosed herein The accommodating space provided in the classification module 900 may include a plurality of accommodating spaces according to defect presence information and classification type information for the detected defect.

도 3은 본원의 일 실시예에 따른 패키지 패키지 절단 및 소팅 시스템의 트레이 운반 모듈 및 가이드 모듈을 나타낸 사시도이다.Figure 3 is a perspective view showing a tray transport module and a guide module of a package cutting and sorting system according to an embodiment of the present application.

도 3을 참조하면, 분류 모듈(900)은 가이드 모듈(910), 트레이 운반 모듈(920), 트레이 수용 모듈(930) 및 트레이 파지 모듈(940)을 포함할 수 있다. 이와 관련하여 가이드 모듈(910), 트레이 운반 모듈(920), 트레이 수용 모듈(930) 및 트레이 파지 모듈(940)은 트레이 구조체(91)를 이용한 패키지 적재 방식에 관여하는 분류 모듈(900)의 하위 구성일 수 있다.Referring to FIG. 3 , the classification module 900 may include a guide module 910, a tray transport module 920, a tray receiving module 930, and a tray gripping module 940. In this regard, the guide module 910, the tray transport module 920, the tray receiving module 930, and the tray gripping module 940 are subordinate parts of the classification module 900 involved in the package loading method using the tray structure 91. It may be a configuration.

트레이 운반 모듈(920)은 복수의 반도체 패키지가 적재되는 트레이 구조체(91)를 이송하도록 구비될 수 있다.The tray transport module 920 may be provided to transport the tray structure 91 on which a plurality of semiconductor packages are loaded.

또한, 본원의 실시예에 관한 설명에서 트레이 운반 모듈(920)은 복수의 반도체 패키지 각각에 대한 검사 결과에 따라 복수의 반도체 패키지 각각이 구분되어 적재되기 위하여 필요한 트레이 구조체(91)의 개수를 고려하여 복수 개 구비될 수 있다. 예를 들어, 도 3에 도시된 바와 같이 트레이 운반 모듈(920)은 3개의 트레이 운반 모듈(920a, 920b, 930c)을 포함할 수 있으나, 이에만 한정되는 것은 아니다.In addition, in the description of the embodiment of the present application, the tray transport module 920 takes into account the number of tray structures 91 required to classify and load each of the plurality of semiconductor packages according to the inspection results for each of the plurality of semiconductor packages. A plurality of them may be provided. For example, as shown in FIG. 3, the tray transport module 920 may include three tray transport modules 920a, 920b, and 930c, but is not limited thereto.

가이드 모듈(910)은 반도체 패키지를 트레이(91)에 대하여 적재하는 공정이 수행되는 제1영역 및 트레이(91)에 대한 공급 또는 회수 공정이 수행되는 제2영역 사이를 트레이 운반 모듈(920)이 왕복 이동하도록 제1영역과 제2영역 사이에 연장 형성될 수 있다.The guide module 910 is a tray transport module 920 between the first area where the process of loading the semiconductor package on the tray 91 is performed and the second area where the supply or recovery process for the tray 91 is performed. It may be formed to extend between the first area and the second area to move back and forth.

또한, 복수 개 구비되는 트레이 운반 모듈(920) 각각은 상호 독립적으로 가이드 모듈(910)을 통해 제1영역과 제2영역 사이를 왕복 이동할 수 있다. 예를 들어, 도 3에 도시된 3개의 트레이 운반 모듈(920a, 920b, 930c) 각각은 독립적으로 제1영역과 제2영역 사이를 왕복 이동할 수 있다. 달리 말해, 제1트레이 운반 모듈(920a)은 제2트레이 운반 모듈(920b) 및 제3트레이 운반 모듈(920c)의 제1영역과 제2영역 사이에서의 이동과 연동되지 않고, 별개로 제1영역과 제2영역 사이를 왕복 이동하도록 구비될 수 있으며, 이는 제2트레이 운반 모듈(920b)과 제3트레이 운반 모듈(920c)에 대하여도 동일하게 적용될 수 있다.In addition, each of the plurality of tray transport modules 920 may independently move back and forth between the first area and the second area through the guide module 910. For example, each of the three tray transport modules 920a, 920b, and 930c shown in FIG. 3 can independently move back and forth between the first and second areas. In other words, the first tray transport module 920a is not linked to the movement of the second tray transport module 920b and the third tray transport module 920c between the first and second areas, but is separately operated by the first tray transport module 920a. It may be provided to move back and forth between the area and the second area, and this can be equally applied to the second tray transport module 920b and the third tray transport module 920c.

참고로, 본원의 구현예에 따라서 트레이 구조체(91)는 '트레이(91)' 달리 지칭될 수 있다. 달리 말해, 본원의 실시예에 관한 설명에서 도면부호 '91'은 트레이 구조체(91) 및 트레이(91)에 대하여 혼용될 수 있다.For reference, according to the implementation example of the present application, the tray structure 91 may be referred to as 'tray 91'. In other words, in the description of the embodiments of the present application, reference numeral '91' may be used interchangeably for the tray structure 91 and the tray 91.

또한, 본원의 실시예에 관한 설명에서 '제1영역'은 '패키지 로드 영역'으로 달리 지칭되고, '제2영역'은 '트레이 교환 영역'으로 달리 지칭될 수 있다.Additionally, in the description of the embodiments of the present application, the 'first area' may be referred to as a 'package load area', and the 'second area' may be referred to as a 'tray exchange area'.

이하에서는 도 4를 참조하여 트레이 인식 장치(100)의 구체적인 기능 및 동작에 대해 설명하도록 한다.Hereinafter, specific functions and operations of the tray recognition device 100 will be described with reference to FIG. 4.

도 4는 기준점을 이용한 트레이 인식 프로세스를 설명하기 위한 개념도이다.Figure 4 is a conceptual diagram to explain the tray recognition process using a reference point.

도 4를 참조하면, 트레이 인식 장치(100)는 반도체 패키지가 안착되는 복수의 수용 공간을 형성하는 트레이(91)를 대상으로 촬영된 검사 이미지를 획득할 수 있다.Referring to FIG. 4 , the tray recognition device 100 may acquire an inspection image captured on a tray 91 forming a plurality of receiving spaces on which semiconductor packages are seated.

예시적으로 전술한 트레이 운반 모듈(920)에 의해 가이드 모듈(910)을 따라 빈 상태의 트레이(91)가 제1영역(패키지 로드 영역)으로 이송되면, 이송된 빈 트레이(91)의 상측에 배치된 카메라 모듈(미도시)이 하측에 배치된 트레이(91)의 상면 이미지를 검사 이미지로서 촬영하고, 촬영된 검사 이미지가 트레이 인식 장치(100)로 전달(전송)되는 것일 수 있다.For example, when an empty tray 91 is transferred to the first area (package load area) along the guide module 910 by the above-described tray transport module 920, the empty tray 91 is placed on the upper side of the transferred empty tray 91. The placed camera module (not shown) may capture the top image of the tray 91 disposed below as an inspection image, and the captured inspection image may be transmitted (transmitted) to the tray recognition device 100.

또한, 예시적으로 검사 이미지의 촬영을 위한 카메라 모듈(미도시)은 복수의 패키지 중 적어도 일부를 파지하여 이송하도록 구비되는 제2픽커 모듈(70) 상에 구비되는 것일 수 있으나, 이에만 한정되는 것은 아니다.In addition, as an example, a camera module (not shown) for capturing inspection images may be provided on the second picker module 70, which is provided to grip and transport at least a portion of the plurality of packages, but is not limited to this. That is not the case.

또한, 본원의 일 실시예에 따르면, 트레이(91)에 대한 검사 이미지의 촬영 프로세스와, 이하에서 상세히 설명하는 검사 이미지를 이용한 트레이 인식 장치(100)의 트레이(91)의 실측 규격 정보를 도출하는 프로세스는 제1영역(패키지 로드 영역)에 새로운 트레이(91)(달리 말해, 패키지가 적재되지 않은 빈 상태의 트레이(91) 등)가 공급될 때마다 반복적으로 수행되는 것일 수 있다.In addition, according to an embodiment of the present application, a process of capturing an inspection image for the tray 91 and deriving actual measurement specification information of the tray 91 of the tray recognition device 100 using the inspection image described in detail below The process may be repeatedly performed each time a new tray 91 (in other words, an empty tray 91 without a package loaded on it, etc.) is supplied to the first area (package load area).

또한, 이에 따라 제1영역(패키지 로드 영역)으로 새로이 공급된 트레이(91)에 대하여 반도체 패키지를 안착시키는 제2픽커 모듈(70)은 트레이 인식 장치(100)에 의해 파악된 실측 규격 정보를 고려하여 트레이(91)에 형성된 수용 공간 내부의 올바른 위치에 패키지가 정확도 높게 안착될 수 있도록 해당 트레이(91)에 대한 패키지의 적재 작업을 정밀하게 수행할 수 있게 된다.In addition, the second picker module 70, which places the semiconductor package on the tray 91 newly supplied to the first area (package load area), considers the actual standard information identified by the tray recognition device 100. As a result, the loading of the package on the corresponding tray 91 can be carried out precisely so that the package can be seated with high accuracy in the correct position within the receiving space formed in the tray 91.

한편, 트레이 인식 장치(100)는 트레이(91)에 형성된 복수의 수용 공간 중 미리 설정된 타겟 수용 공간에 소정의 구조체(1)가 삽입된 상태에서 촬영된 검사 이미지를 획득할 수 있다.Meanwhile, the tray recognition device 100 may acquire an inspection image taken while the predetermined structure 1 is inserted into a preset target receiving space among the plurality of receiving spaces formed in the tray 91.

이와 관련하여 도 4를 참조하면, 트레이(91)에 형성되는 복수의 수용 공간은 각각이 상호 간격을 두고 복수의 행 및 복수의 열을 이루는 격자 구조로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 도 4는 10개의 행과 28개의 열로 이루어진 격자 구조로 설계된 트레이(91)를 대상으로 촬영된 검사 이미지(Image)를 나타낸 것일 수 있다.In relation to this, referring to FIG. 4, the plurality of receiving spaces formed in the tray 91 may be formed in a grid structure in which a plurality of rows and a plurality of columns are spaced apart from each other. For example, FIG. 4 may show an inspection image taken of a tray 91 designed in a grid structure consisting of 10 rows and 28 columns.

또한, 도 4를 참조하면, 구조체(1)가 삽입되는 타겟 수용 공간은 트레이(91)에 형성된 복수의 수용 공간 중 격자 구조의 코너 영역에 대응하는 셋 이상의 수용 공간을 포함하도록 설정될 수 있다.Additionally, referring to FIG. 4 , the target receiving space into which the structure 1 is inserted may be set to include three or more receiving spaces corresponding to corner areas of the lattice structure among the plurality of receiving spaces formed in the tray 91.

예를 들어, 도 4에 도시된 사항을 기준으로, 우측 상단의 코너 영역이 제1타겟 수용 공간으로, 우측 하단의 코너 영역이 제2타겟 수용 공간으로, 좌측 하단의 코너 영역이 제3타겟 수용 공간으로 각각 설정되고, 제1타겟 수용 공간 내부에 제1구조체(1a)가 삽입되고, 제2타겟 수용 공간 내부에 제2구조체(1b)가 삽입되고, 제3타겟 수용 공간 내부에 제3구조체(1c)가 삽입된 상태에서 트레이(91)에 대한 검사 이미지가 촬영되는 것일 수 있으나, 이에만 한정되는 것은 아니다.For example, based on what is shown in Figure 4, the upper right corner area is the first target receiving space, the lower right corner area is the second target receiving space, and the lower left corner area is the third target receiving space. Each space is set, and the first structure (1a) is inserted into the first target accommodating space, the second structure (1b) is inserted into the second target accommodating space, and the third structure is inserted into the third target accommodating space. An inspection image of the tray 91 may be captured while (1c) is inserted, but it is not limited to this.

이와 관련하여 본원의 일 실시예에 따르면, 트레이 인식 장치(100)는 카메라 모듈(미도시)에 의해 촬영되어 전달된 이미지 내에서 트레이(91) 및/또는 구조체(1)가 식별되는지 여부에 따라 해당 이미지를 후술하는 트레이 실측 정보 도출을 위한 검사 이미지로 선정할 수 있다. 예를 들어, 카메라 모듈(미도시)로부터 전송된 이미지 내에서 트레이(91)가 미식별되거나 구조체(1)의 식별 개수가 미리 설정된 임계 개수(예를 들면, 3개 등) 미만으로 식별되는 경우, 해당 이미지는 검사 이미지로 채택되지 않을 수 있다.In this regard, according to an embodiment of the present application, the tray recognition device 100 depends on whether the tray 91 and/or the structure 1 is identified in the image captured and transmitted by a camera module (not shown). The image can be selected as an inspection image for deriving actual tray measurement information, which will be described later. For example, when the tray 91 is identified in an image transmitted from a camera module (not shown) or the identified number of structures 1 is less than a preset threshold number (e.g., 3, etc.) , the image may not be selected as an inspection image.

도 5는 트레이의 수용 공간에 삽입되는 구조체에 대한 개략적인 사시도이다.Figure 5 is a schematic perspective view of a structure inserted into the receiving space of the tray.

도 5를 참조하면, 트레이(91)에 반도체 패키지가 내부에 안착되도록 형성되는 수용 공간에 삽입 가능한 규격으로 구비되는 구조체(1)는 복수의 수용 공간 각각의 단면적 대비 작은 단면적으로 구비되는 판형의 제1부재(101) 및 제1부재(101)의 상면 중심부에 배치되고, 제1부재(101) 대비 작은 단면적으로 구비되는 판형의 제2부재(102)를 포함하는 적층 구조로 구비될 수 있다.Referring to FIG. 5, the structure 1, which is provided in a standard that can be inserted into the receiving space formed in the tray 91 so that the semiconductor package is seated therein, is a plate-shaped structure having a small cross-sectional area compared to the cross-sectional area of each of the plurality of receiving spaces. It may be provided as a stacked structure including a first member 101 and a plate-shaped second member 102 disposed at the center of the upper surface of the first member 101 and having a smaller cross-sectional area than the first member 101.

또한, 도 5를 참조하면, 구조체(1)는 제1부재(101)의 외면과 제2부재(102)의 외면의 형상(예를 들면, 색상, 조도 등)이 서로 구분되도록 제작될 수 있으며, 이는 검사 이미지에서 구조체(1)에 대응하는 영역인 타겟 영역 내에서 기준점을 식별하는 과정에서 상대적으로 내측에 배치되는 제2부재(102)를 촬영한 국부 영역이 제1부재(101)를 촬영한 경계 영역과 검사 이미지 상에서 명확하게 구분되도록 하여 트레이(91)의 하측에서 방사되는 임의의 광이 트레이(91)에 형성된 수용 공간 중 일부를 통과하여 검사 이미지에 영향을 미치는 경우(예를 들면, 검사 이미지 내의 불측의 아티팩트가 형성되는 경우 등)에도 기준점을 특정하기 위한 타겟 영역이 제2부재(102)를 촬영한 국부 영역 내에서 명확하게 주변의 경계 영역과 명확하게 구분되도록 하기 위한 것일 수 있다.In addition, referring to FIG. 5, the structure 1 may be manufactured so that the outer surface of the first member 101 and the outer surface of the second member 102 have different shapes (e.g., color, illuminance, etc.). , This means that in the process of identifying a reference point within the target area, which is the area corresponding to the structure 1 in the inspection image, the local area where the second member 102, which is placed relatively inside, is photographed is the first member 101. One boundary area is clearly distinguished on the inspection image so that any light radiating from the lower side of the tray 91 passes through part of the receiving space formed in the tray 91 and affects the inspection image (for example, Even in cases where unexpected artifacts are formed in the inspection image, etc.), the target area for specifying the reference point may be clearly distinguished from the surrounding boundary area within the local area where the second member 102 is photographed. .

또한, 본원의 일 실시예에 따르면, 트레이 인식 장치(100)는 격자 구조로 이루어지는 트레이(91)의 복수의 수용 공간에 대한 복수의 행의 수와 복수의 열의 수를 포함하는 트레이 형태 정보를 획득할 수 있다.In addition, according to an embodiment of the present application, the tray recognition device 100 obtains tray shape information including the number of rows and the number of columns for the plurality of accommodation spaces of the tray 91 formed in a grid structure. can do.

또한, 본원의 일 실시예에 따르면, 트레이 인식 장치(100)는 트레이(91)의 제작 시 적용된 길이 방향 간격에 해당하는 제1제작 피치 정보 및 폭 방향 간격에 해당하는 제2제작 피치 정보를 포함하는 제작 규격 정보를 획득할 수 있다.In addition, according to an embodiment of the present application, the tray recognition device 100 includes first manufacturing pitch information corresponding to the longitudinal spacing applied when manufacturing the tray 91 and second manufacturing pitch information corresponding to the widthwise spacing. You can obtain production specification information.

보다 구체적으로, 제1제작 피치 정보는 트레이(91)의 길이 방향(도 4에 도시된 사항을 기준으로 3시에서 9시 방향)을 기준으로 상호 인접한 두 개의 수용 공간 사이의 간격에 관하여 트레이(91)의 제작 시 적용(설정)된 수치 등을 의미하고, 제2제작 피치 정보는 트레이(91)의 폭 방향(도 4에 도시된 사항을 기준으로 12시에서 6시 방향)을 기준으로 상호 인접한 두 개의 수용 공간 사이의 간격에 관하여 트레이(91)의 제작 시 적용(설정)된 수치 등을 의미할 수 있다.More specifically, the first production pitch information is the tray ( 91) refers to the value applied (set) during production, and the second production pitch information is mutually based on the width direction of the tray 91 (from 12 o'clock to 6 o'clock based on the information shown in FIG. 4). This may mean a value applied (set) when manufacturing the tray 91 regarding the gap between two adjacent accommodation spaces.

또한, 트레이 인식 장치(100)는 획득한 검사 이미지에서 트레이(91)에 대하여 미리 설정되는 복수의 기준점을 식별할 수 있다. 구체적으로 트레이 인식 장치(100)는 검사 이미지에서 구조체(1)에 대응하는 영역인 타겟 영역 내에서 기준점을 식별할 수 있다.Additionally, the tray recognition device 100 may identify a plurality of reference points preset for the tray 91 in the acquired inspection image. Specifically, the tray recognition device 100 may identify a reference point within the target area, which is the area corresponding to the structure 1 in the inspection image.

또한, 본원의 일 실시에예 따르면, 트레이 인식 장치(100)는 전술한 구조체(1)의 제2부재(102)에 대응하는 국부 영역 내에서 기준점의 위치(좌표)를 식별할 수 있다. 예를 들어, 기준점의 위치(좌표)는 제2부재(102)의 중심점의 위치(좌표)를 의미할 수 있으나, 이에만 한정되는 것은 아니다.Additionally, according to an embodiment of the present application, the tray recognition device 100 may identify the location (coordinates) of a reference point within a local area corresponding to the second member 102 of the above-described structure 1. For example, the location (coordinates) of the reference point may mean the location (coordinates) of the center point of the second member 102, but is not limited thereto.

또한, 트레이 인식 장치(100)는 식별된 복수의 기준점 사이의 변위 정보를 이용하여 트레이(91)의 실측 규격 정보를 도출할 수 있다.Additionally, the tray recognition device 100 may derive actual measurement standard information of the tray 91 using displacement information between a plurality of identified reference points.

구체적으로 트레이 인식 장치(100)는 트레이 형태 정보 및 변위 정보를 이용하여, 트레이(91)의 복수의 수용 공간 사이의 길이 방향 간격에 해당하는 제1실측 피치 정보와 폭 방향 간격에 해당하는 제2실측 피치 정보를 산출할 수 있다.Specifically, the tray recognition device 100 uses tray shape information and displacement information to provide first actual pitch information corresponding to the longitudinal spacing between the plurality of receiving spaces of the tray 91 and second actual pitch information corresponding to the widthwise spacing. Actual pitch information can be calculated.

예를 들어 도 4를 참조하면, 트레이 인식 장치(100)는 길이 방향을 따라 상호 간격을 두고 배치된 구조체(1) 사이의 변위 정보에 해당하는 길이 방향 변위 정보(도 4의 A)를 미리 파악된 트레이(91)에 대한 트레이 형태 정보에 따른 열의 수로 나누어 제1실측 피치 정보를 산출하고, 마찬가지로 폭 방향을 따라 상호 간격을 두고 배치된 구조체(1) 사이의 변위 정보에 해당하는 길이 방향 변위 정보(도 4의 B)를 미리 파악된 트레이(91)에 대한 트레이 형태 정보에 따른 행의 수로 나누어 제2실측 피치 정보를 산출할 수 있다.For example, referring to FIG. 4, the tray recognition device 100 determines in advance the longitudinal displacement information (A in FIG. 4) corresponding to the displacement information between the structures 1 arranged at mutual intervals along the longitudinal direction. The first actual pitch information is calculated by dividing the tray shape information for the tray 91 by the number of rows, and similarly, longitudinal displacement information corresponding to the displacement information between the structures 1 arranged at mutual intervals along the width direction. The second actual pitch information can be calculated by dividing (B in FIG. 4) by the number of rows according to the tray shape information for the previously identified tray 91.

보다 구체적으로 예시하면, 도 4에 도시된 바와 같이 10 X 28 형태의 트레이(91)의 경우, 제1실측 피치 정보(a)는 'A/28'의 값으로 연산되고, 제2실측 피치 정보(b)는 'B/10'의 값으로 연산될 수 있다.To be more specific, as shown in FIG. 4, in the case of the tray 91 in the form of 10 (b) can be calculated as the value of 'B/10'.

또한, 본원의 일 실시예에 따르면, 트레이 인식 장치(100)는 트레이(91)에 대하여 미리 파악된 제1제작 피치 정보와 트레이(91)에 대하여 도출된 제1실측 피치 정보 간의 편차를 연산할 수 있다. 이와 대응되게, 트레이 인식 장치(100)는 트레이(91)에 대하여 미리 파악된 제2제작 피치 정보와 트레이(91)에 대하여 도출된 제2실측 피치 정보 간의 편차를 연산할 수 있다.In addition, according to an embodiment of the present application, the tray recognition device 100 calculates the deviation between the first production pitch information previously known for the tray 91 and the first actual measured pitch information derived for the tray 91. You can. Correspondingly, the tray recognition device 100 may calculate the deviation between the second production pitch information previously known for the tray 91 and the second actual measured pitch information derived for the tray 91.

또한, 트레이 인식 장치(100)는 도출된 실측 규격 정보를 이용하여, 복수의 수용 공간 각각에 반도체 패키지를 안착시키는 픽커 모듈과 연계된 제어 정보를 생성할 수 있다. 예를 들어, 트레이 인식 장치(100)는 제1제작 피치 정보와 제1실측 피치 정보의 편차에 따라 제2픽커 모듈(70)이 각각의 패키지를 트레이(91)에 형성된 수용 공간에 연속적으로 안착시키기 위하여 거동하여야 하는 길이 방향 거동 범위에 관하여 기 적용된 설정값을 조정하고, 마찬가지로 제2제작 피치 정보와 제2실측 피치 정보의 편차에 따라 제2픽커 모듈(70)이 각각의 패키지를 트레이(91)에 형성된 수용 공간에 연속적으로 안착시키기 위하여 거동하여야 하는 폭 방향 거동 범위에 관하여 기 적용된 설정값을 조정할 수 있다.Additionally, the tray recognition device 100 may use the derived actual measurement standard information to generate control information associated with a picker module that places the semiconductor package in each of the plurality of receiving spaces. For example, the tray recognition device 100 has the second picker module 70 successively seat each package in the receiving space formed in the tray 91 according to the deviation between the first production pitch information and the first actual measured pitch information. In order to achieve this, the already applied setting value is adjusted with respect to the longitudinal movement range that must be moved, and similarly, the second picker module 70 selects each package in the tray 91 according to the deviation between the second production pitch information and the second actual measured pitch information. ) It is possible to adjust the already applied setting value regarding the width direction movement range that must be moved in order to continuously seat in the receiving space formed in ).

도 6은 본원의 일 실시예에 따른 기준점을 이용한 트레이 인식 장치의 개략적인 구성도이다.Figure 6 is a schematic configuration diagram of a tray recognition device using a reference point according to an embodiment of the present application.

도 6을 참조하면, 트레이 인식 장치(100)는 수집부(110), 기준점 인식부(120) 및 규격 분석부(130)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 6 , the tray recognition device 100 may include a collection unit 110, a reference point recognition unit 120, and a standard analysis unit 130.

수집부(110)는 반도체 패키지가 안착되는 복수의 수용 공간을 형성하는 트레이(91)를 대상으로 촬영된 검사 이미지를 획득할 수 있다.The collection unit 110 may acquire an inspection image captured on the tray 91 forming a plurality of receiving spaces on which the semiconductor package is seated.

구체적으로 수집부(110)는 트레이(91)에 형성된 복수의 수용 공간 중 미리 설정된 타겟 수용 공간에 소정의 구조체(1)가 삽입된 상태에서 촬영된 검사 이미지를 획득할 수 있다.Specifically, the collection unit 110 may acquire an inspection image taken while the predetermined structure 1 is inserted into a preset target receiving space among the plurality of receiving spaces formed in the tray 91.

또한, 본원의 일 실시예에 따르면, 수집부(110)는 격자 구조로 이루어지는 트레이(91)의 복수의 수용 공간에 대한 복수의 행의 수와 복수의 열의 수를 포함하는 트레이 형태 정보를 획득할 수 있다.In addition, according to an embodiment of the present application, the collection unit 110 acquires tray shape information including the number of rows and the number of columns for the plurality of accommodation spaces of the tray 91 formed in a grid structure. You can.

또한, 본원의 일 실시예에 따르면, 수집부(110)는 트레이(91)의 제작 시 적용된 길이 방향 간격에 해당하는 제1제작 피치 정보 및 폭 방향 간격에 해당하는 제2제작 피치 정보를 포함하는 제작 규격 정보를 획득할 수 있다.In addition, according to an embodiment of the present application, the collection unit 110 includes first manufacturing pitch information corresponding to the longitudinal spacing applied when manufacturing the tray 91 and second manufacturing pitch information corresponding to the widthwise spacing. You can obtain production specification information.

기준점 인식부(120)는 획득한 검사 이미지에서 트레이(91)에 대하여 미리 설정되는 복수의 기준점을 식별할 수 있다.The reference point recognition unit 120 may identify a plurality of reference points preset for the tray 91 in the acquired inspection image.

구체적으로 기준점 인식부(120)는 검사 이미지에서 구조체(1)에 대응하는 영역인 타겟 영역 내에서 기준점을 식별할 수 있다.Specifically, the reference point recognition unit 120 may identify a reference point within the target area, which is the area corresponding to the structure 1 in the inspection image.

규격 분석부(130)는 식별된 복수의 기준점 사이의 변위 정보를 이용하여 트레이(91)의 실측 규격 정보를 도출할 수 있다.The standard analysis unit 130 may derive actual standard information of the tray 91 using displacement information between a plurality of identified reference points.

구체적으로 규격 분석부(130)는 트레이 형태 정보 및 변위 정보를 이용하여, 트레이(91)의 복수의 수용 공간 사이의 길이 방향 간격에 해당하는 제1실측 피치 정보와 폭 방향 간격에 해당하는 제2실측 피치 정보를 산출할 수 있다.Specifically, the standard analysis unit 130 uses the tray shape information and displacement information to determine first actual pitch information corresponding to the longitudinal spacing between the plurality of receiving spaces of the tray 91 and second actual pitch information corresponding to the widthwise spacing. Actual pitch information can be calculated.

또한, 본원의 일 실시예에 따르면, 규격 분석부(130)는 트레이(91)에 대하여 미리 파악된 제1제작 피치 정보와 트레이(91)에 대하여 도출된 제1실측 피치 정보 간의 편차를 연산할 수 있다. 이와 대응되게, 규격 분석부(130)는 트레이(91)에 대하여 미리 파악된 제2제작 피치 정보와 트레이(91)에 대하여 도출된 제2실측 피치 정보 간의 편차를 연산할 수 있다.In addition, according to an embodiment of the present application, the standard analysis unit 130 calculates the deviation between the first production pitch information determined in advance for the tray 91 and the first actual measured pitch information derived for the tray 91. You can. Correspondingly, the standard analysis unit 130 may calculate the deviation between the second production pitch information previously known for the tray 91 and the second actual measured pitch information derived for the tray 91.

또한, 규격 분석부(130)는 도출된 실측 규격 정보를 이용하여, 복수의 수용 공간 각각에 반도체 패키지를 안착시키는 픽커 모듈(도 1의 제2픽커 모듈(70) 등)과 연계된 제어 정보를 생성할 수 있다.In addition, the standard analysis unit 130 uses the derived actual measurement standard information to provide control information associated with a picker module (such as the second picker module 70 in FIG. 1) that places the semiconductor package in each of the plurality of receiving spaces. can be created.

이하에서는 상기에 자세히 설명된 내용을 기반으로, 본원의 동작 흐름을 간단히 살펴보기로 한다.Below, we will briefly look at the operation flow of the present application based on the details described above.

도 7은 본원의 일 실시예에 따른 기준점을 이용한 트레이 인식 방법에 대한 동작 흐름도이다.Figure 7 is an operation flowchart of a tray recognition method using a reference point according to an embodiment of the present application.

도 7에 도시된 기준점을 이용한 트레이 인식 방법은 앞서 설명된 트레이 인식 장치(100)에 의하여 수행될 수 있다. 따라서, 이하 생략된 내용이라고 하더라도 트레이 인식 장치(100)에 대하여 설명된 내용은 기준점을 이용한 트레이 인식 방법에 대한 설명에도 동일하게 적용될 수 있다.The tray recognition method using the reference point shown in FIG. 7 can be performed by the tray recognition device 100 described above. Therefore, even if the content is omitted below, the content described with respect to the tray recognition device 100 can be equally applied to the description of the tray recognition method using a reference point.

도 7을 참조하면, 단계 S11에서 수집부(110)는 반도체 패키지가 안착되는 복수의 수용 공간을 형성하는 트레이(91)를 대상으로 촬영된 검사 이미지를 획득할 수 있다.Referring to FIG. 7 , in step S11, the collection unit 110 may acquire an inspection image taken of the tray 91 forming a plurality of receiving spaces on which the semiconductor package is seated.

구체적으로 단계 S11에서 수집부(110)는 트레이(91)에 형성된 복수의 수용 공간 중 미리 설정된 타겟 수용 공간에 소정의 구조체(1)가 삽입된 상태에서 촬영된 검사 이미지를 획득할 수 있다.Specifically, in step S11, the collection unit 110 may acquire an inspection image taken while the predetermined structure 1 is inserted into a preset target receiving space among the plurality of receiving spaces formed in the tray 91.

또한, 본원의 일 실시예에 따르면, 단계 S11에서 수집부(110)는 격자 구조로 이루어지는 트레이(91)의 복수의 수용 공간에 대한 복수의 행의 수와 복수의 열의 수를 포함하는 트레이 형태 정보를 획득할 수 있다.In addition, according to an embodiment of the present application, in step S11, the collection unit 110 provides tray shape information including the number of rows and the number of columns for the plurality of receiving spaces of the tray 91 formed in a grid structure. can be obtained.

또한, 본원의 일 실시예에 따르면, 단계 S11에서 수집부(110)는 트레이(91)의 제작 시 적용된 길이 방향 간격에 해당하는 제1제작 피치 정보 및 폭 방향 간격에 해당하는 제2제작 피치 정보를 포함하는 제작 규격 정보를 획득할 수 있다.In addition, according to an embodiment of the present application, in step S11, the collection unit 110 provides first production pitch information corresponding to the longitudinal spacing applied when manufacturing the tray 91 and second manufacturing pitch information corresponding to the widthwise spacing. Production specification information including can be obtained.

다음으로 단계 S12에서 기준점 인식부(120)는 획득한 검사 이미지에서 트레이(91)에 대하여 미리 설정되는 복수의 기준점을 식별할 수 있다.Next, in step S12, the reference point recognition unit 120 may identify a plurality of reference points preset for the tray 91 in the acquired inspection image.

구체적으로 단계 S12에서 기준점 인식부(120)는 검사 이미지에서 구조체(1)에 대응하는 영역인 타겟 영역 내에서 기준점을 식별할 수 있다.Specifically, in step S12, the reference point recognition unit 120 may identify a reference point within the target area, which is the area corresponding to the structure 1 in the inspection image.

다음으로 단계 S13에서 규격 분석부(130)는 식별된 복수의 기준점 사이의 변위 정보를 이용하여 트레이(91)의 실측 규격 정보를 도출할 수 있다.Next, in step S13, the standard analysis unit 130 may derive actual measurement standard information of the tray 91 using displacement information between a plurality of identified reference points.

구체적으로 단계 S13에서 규격 분석부(130)는 트레이 형태 정보 및 변위 정보를 이용하여, 트레이(91)의 복수의 수용 공간 사이의 길이 방향 간격에 해당하는 제1실측 피치 정보와 폭 방향 간격에 해당하는 제2실측 피치 정보를 산출할 수 있다.Specifically, in step S13, the standard analysis unit 130 uses the tray shape information and displacement information to determine first actual pitch information corresponding to the longitudinal spacing between the plurality of receiving spaces of the tray 91 and the widthwise spacing. Second actual pitch information can be calculated.

또한, 본원의 일 실시예에 따르면, 단계 S13에서 규격 분석부(130)는 트레이(91)에 대하여 미리 파악된 제1제작 피치 정보와 트레이(91)에 대하여 도출된 제1실측 피치 정보 간의 편차를 연산할 수 있다. 마찬가지로, 단계 S13에서 규격 분석부(130)는 트레이(91)에 대하여 미리 파악된 제2제작 피치 정보와 트레이(91)에 대하여 도출된 제2실측 피치 정보 간의 편차를 연산할 수 있다.In addition, according to an embodiment of the present application, in step S13, the standard analysis unit 130 determines the difference between the first production pitch information previously identified for the tray 91 and the first actual measurement pitch information derived for the tray 91. can be calculated. Likewise, in step S13, the standard analysis unit 130 may calculate the deviation between the second production pitch information previously known for the tray 91 and the second actual measured pitch information derived for the tray 91.

다음으로 단계 S14에서 규격 분석부(130)는 단계 S13을 통해 도출된 실측 규격 정보를 이용하여, 복수의 수용 공간 각각에 반도체 패키지를 안착시키는 픽커 모듈(도 1의 제2픽커 모듈(70) 등)과 연계된 제어 정보를 생성할 수 있다.Next, in step S14, the standard analysis unit 130 uses the actual measurement standard information derived through step S13 to install a picker module (second picker module 70 in FIG. 1, etc.) that places the semiconductor package in each of the plurality of receiving spaces. ) can generate control information linked to .

상술한 설명에서, 단계 S11 내지 S14는 본원의 구현예에 따라서, 추가적인 단계들로 더 분할되거나, 더 적은 단계들로 조합될 수 있다. 또한, 일부 단계는 필요에 따라 생략될 수도 있고, 단계 간의 순서가 변경될 수도 있다.In the above description, steps S11 to S14 may be further divided into additional steps or combined into fewer steps, depending on the implementation of the present disclosure. Additionally, some steps may be omitted or the order between steps may be changed as needed.

본원의 일 실시예에 따른 기준점을 이용한 트레이 인식 방법은 다양한 컴퓨터 수단을 통하여 수행될 수 있는 프로그램 명령 형태로 구현되어 컴퓨터 판독 가능 매체에 기록될 수 있다. 상기 컴퓨터 판독 가능 매체는 프로그램 명령, 데이터 파일, 데이터 구조 등을 단독으로 또는 조합하여 포함할 수 있다. 상기 매체에 기록되는 프로그램 명령은 본 발명을 위하여 특별히 설계되고 구성된 것들이거나 컴퓨터 소프트웨어 당업자에게 공지되어 사용 가능한 것일 수도 있다. 컴퓨터 판독 가능 기록 매체의 예에는 하드 디스크, 플로피 디스크 및 자기 테이프와 같은 자기 매체(magnetic media), CD-ROM, DVD와 같은 광기록 매체(optical media), 플롭티컬 디스크(floptical disk)와 같은 자기-광 매체(magneto-optical media), 및 롬(ROM), 램(RAM), 플래시 메모리 등과 같은 프로그램 명령을 저장하고 수행하도록 특별히 구성된 하드웨어 장치가 포함된다. 프로그램 명령의 예에는 컴파일러에 의해 만들어지는 것과 같은 기계어 코드뿐만 아니라 인터프리터 등을 사용해서 컴퓨터에 의해서 실행될 수 있는 고급 언어 코드를 포함한다. 상기된 하드웨어 장치는 본 발명의 동작을 수행하기 위해 하나 이상의 소프트웨어 모듈로서 작동하도록 구성될 수 있으며, 그 역도 마찬가지이다.The tray recognition method using a reference point according to an embodiment of the present application may be implemented in the form of program instructions that can be executed through various computer means and recorded on a computer-readable medium. The computer-readable medium may include program instructions, data files, data structures, etc., singly or in combination. Program instructions recorded on the medium may be those specifically designed and configured for the present invention, or may be known and usable by those skilled in the art of computer software. Examples of computer-readable recording media include magnetic media such as hard disks, floppy disks, and magnetic tapes, optical media such as CD-ROMs and DVDs, and magnetic media such as floptical disks. -Includes optical media (magneto-optical media) and hardware devices specifically configured to store and execute program instructions, such as ROM, RAM, flash memory, etc. Examples of program instructions include machine language code, such as that produced by a compiler, as well as high-level language code that can be executed by a computer using an interpreter, etc. The hardware devices described above may be configured to operate as one or more software modules to perform the operations of the present invention, and vice versa.

또한, 전술한 기준점을 이용한 트레이 인식 방법은 기록 매체에 저장되는 컴퓨터에 의해 실행되는 컴퓨터 프로그램 또는 애플리케이션의 형태로도 구현될 수 있다.Additionally, the tray recognition method using the above-described reference point may also be implemented in the form of a computer program or application executed by a computer stored in a recording medium.

전술한 본원의 설명은 예시를 위한 것이며, 본원이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본원의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.The description of the present application described above is for illustrative purposes, and those skilled in the art will understand that the present application can be easily modified into other specific forms without changing its technical idea or essential features. Therefore, the embodiments described above should be understood in all respects as illustrative and not restrictive. For example, each component described as unitary may be implemented in a distributed manner, and similarly, components described as distributed may also be implemented in a combined form.

본원의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본원의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.The scope of the present application is indicated by the claims described below rather than the detailed description above, and all changes or modified forms derived from the meaning and scope of the claims and their equivalent concepts should be construed as being included in the scope of the present application.

1000: 패키지 절단 및 소팅 시스템
100: 기준점을 이용한 트레이 인식 장치
110: 수집부
120: 기준점 인식부
130: 규격 분석부
10: 투입 모듈
11: 스트립 회수부
12: 스마트 정렬부
20: 절단 모듈
30: 세척 모듈
40: 건조 모듈
41: 적재부
42: 플립부
43: 에어 나이프부
50: 제1픽커 모듈
60: 테이블
70: 제2픽커 모듈
80: 검사 모듈
90: 분류 모듈
91: 트레이
92: 리젝트 빈
1000: Package cutting and sorting system
100: Tray recognition device using reference points
110: Collection department
120: Reference point recognition unit
130: Specification analysis unit
10: input module
11: Strip recovery unit
12: Smart alignment unit
20: cutting module
30: cleaning module
40: drying module
41: loading part
42: flip part
43: Air knife section
50: first picker module
60: table
70: Second picker module
80: Inspection module
90: Classification module
91: tray
92: Reject bin

Claims (11)

기준점을 이용한 트레이 인식 방법에 있어서,
반도체 패키지가 안착되는 복수의 수용 공간을 형성하는 트레이를 대상으로 촬영된 검사 이미지를 획득하는 단계;
상기 검사 이미지에서 상기 트레이에 대하여 미리 설정되는 복수의 기준점을 식별하는 단계; 및
상기 식별된 복수의 기준점 사이의 변위 정보를 이용하여 상기 트레이의 실측 규격 정보를 도출하는 단계,
를 포함하고,
상기 검사 이미지는,
상기 복수의 수용 공간 중 미리 설정된 타겟 수용 공간에 소정의 구조체가 삽입된 상태에서 촬영되되,
상기 검사 이미지를 획득하는 단계는,
미리 설정된 패키지 로드 영역으로 이송된 상기 트레이의 상면 이미지를 획득하는 단계; 및
상기 상면 이미지 내에서의 상기 트레이의 식별 여부 및 상기 구조체의 식별 개수를 기초로 하여 상기 상면 이미지를 상기 검사 이미지로 선정하는 단계,
를 포함하고,
상기 복수의 기준점을 식별하는 단계는,
상기 검사 이미지에서 상기 구조체에 대응하는 영역인 타겟 영역 내에서 상기 기준점을 식별하는 것이고,
상기 트레이 인식 방법은,
상기 패키지 로드 영역에 상기 반도체 패키지가 적재되지 않은 빈 상태의 상기 트레이가 공급될 때마다 반복 수행되는 것인, 인식 방법.
In the tray recognition method using a reference point,
Obtaining an inspection image taken on a tray forming a plurality of receiving spaces on which a semiconductor package is seated;
Identifying a plurality of reference points preset for the tray in the inspection image; and
Deriving actual measurement specification information of the tray using displacement information between the identified plurality of reference points,
Including,
The inspection image is,
Photographed with a predetermined structure inserted into a preset target receiving space among the plurality of receiving spaces,
The step of acquiring the inspection image is,
Obtaining a top image of the tray transported to a preset package loading area; and
Selecting the upper image as the inspection image based on whether the tray is identified and the number of identified structures in the upper image,
Including,
The step of identifying the plurality of reference points is,
Identifying the reference point within a target area, which is an area corresponding to the structure in the inspection image,
The tray recognition method is,
A recognition method that is repeatedly performed each time the tray in an empty state without the semiconductor package is supplied to the package load area.
삭제delete 제1항에 있어서,
상기 복수의 수용 공간은 각각이 상호 간격을 두고 복수의 행 및 복수의 열을 이루는 격자 구조로 이루어지되,
상기 타겟 수용 공간은,
상기 복수의 수용 공간 중 상기 격자 구조의 코너 영역에 대응하는 셋 이상의 수용 공간을 포함하도록 설정되는 것인, 인식 방법.
According to paragraph 1,
The plurality of accommodating spaces are each composed of a grid structure consisting of a plurality of rows and a plurality of columns at mutual intervals,
The target receiving space is,
A recognition method set to include three or more accommodation spaces corresponding to corner areas of the grid structure among the plurality of accommodation spaces.
제3항에 있어서,
상기 복수의 행의 수와 상기 복수의 열의 수를 포함하는 트레이 형태 정보를 획득하는 단계,
를 더 포함하고,
상기 실측 규격 정보를 도출하는 단계는,
상기 트레이 형태 정보 및 상기 변위 정보를 이용하여, 상기 복수의 수용 공간 사이의 길이 방향 간격에 해당하는 제1실측 피치 정보와 상기 복수의 수용 공간 사이의 폭 방향 간격에 해당하는 제2실측 피치 정보를 산출하는 것인, 인식 방법.
According to paragraph 3,
Obtaining tray shape information including the number of the plurality of rows and the number of the plurality of columns,
It further includes,
The step of deriving the actual measurement standard information is,
Using the tray shape information and the displacement information, first actual pitch information corresponding to the longitudinal spacing between the plurality of accommodating spaces and second actual measured pitch information corresponding to the widthwise spacing between the plurality of accommodating spaces are generated. A recognition method that calculates.
제4항에 있어서,
상기 트레이의 제작 시 적용된 상기 길이 방향 간격에 해당하는 제1제작 피치 정보 및 상기 폭 방향 간격에 해당하는 제2제작 피치 정보를 포함하는 제작 규격 정보를 획득하는 단계; 및
상기 제1제작 피치 정보와 상기 제1실측 피치 정보 간의 편차 및 상기 제2제작 피치 정보와 상기 제2실측 피치 정보 간의 편차를 연산하는 단계,
를 더 포함하는 것인, 인식 방법.
According to clause 4,
Obtaining manufacturing standard information including first manufacturing pitch information corresponding to the longitudinal spacing and second manufacturing pitch information corresponding to the widthwise spacing applied when manufacturing the tray; and
calculating a deviation between the first production pitch information and the first actual measured pitch information and a deviation between the second production pitch information and the second actual measured pitch information;
A recognition method further comprising:
제1항에 있어서,
상기 실측 규격 정보를 이용하여, 상기 복수의 수용 공간 각각에 상기 반도체 패키지를 안착시키는 픽커 모듈과 연계된 제어 정보를 생성하는 단계,
를 더 포함하는 것인, 인식 방법.
According to paragraph 1,
Using the actual measurement standard information, generating control information associated with a picker module for seating the semiconductor package in each of the plurality of receiving spaces,
A recognition method further comprising:
제1항에 있어서,
상기 구조체는,
상기 복수의 수용 공간 각각의 단면적 대비 작은 단면적으로 구비되는 판형의 제1부재 및 상기 제1부재의 상면 중심부에 배치되고, 상기 제1부재 대비 작은 단면적으로 구비되는 판형의 제2부재를 포함하고,
상기 제1부재의 외면과 상기 제2부재의 외면의 형상이 서로 구분되는 것을 특징으로 하는, 인식 방법.
According to paragraph 1,
The structure is,
It includes a plate-shaped first member having a small cross-sectional area compared to the cross-sectional area of each of the plurality of accommodation spaces, and a plate-shaped second member disposed at the center of the upper surface of the first member and having a small cross-sectional area compared to the first member,
A recognition method, characterized in that the shapes of the outer surface of the first member and the outer surface of the second member are distinct from each other.
기준점을 이용한 트레이 인식 장치에 있어서,
반도체 패키지가 안착되는 복수의 수용 공간을 형성하는 트레이를 대상으로 촬영된 검사 이미지를 획득하는 수집부;
상기 검사 이미지에서 상기 트레이에 대하여 미리 설정되는 복수의 기준점을 식별하는 기준점 인식부; 및
상기 식별된 복수의 기준점 사이의 변위 정보를 이용하여 상기 트레이의 실측 규격 정보를 도출하는 규격 분석부,
를 포함하고,
상기 검사 이미지는,
상기 복수의 수용 공간 중 미리 설정된 타겟 수용 공간에 소정의 구조체가 삽입된 상태에서 촬영되되,
상기 수집부는,
미리 설정된 패키지 로드 영역으로 이송된 상기 트레이의 상면 이미지를 획득하고, 상기 상면 이미지 내에서의 상기 트레이의 식별 여부 및 상기 구조체의 식별 개수를 기초로 하여 상기 상면 이미지를 상기 검사 이미지로 선정하는 것이고,
상기 기준점 인식부는,
상기 검사 이미지에서 상기 구조체에 대응하는 영역인 타겟 영역 내에서 상기 기준점을 식별하는 것이고,
상기 트레이 인식 장치는,
상기 패키지 로드 영역에 상기 반도체 패키지가 적재되지 않은 빈 상태의 상기 트레이가 공급될 때마다 상기 실측 규격 정보를 도출하는 프로세스를 반복 수행하는 것인, 인식 장치.
In the tray recognition device using a reference point,
a collection unit that acquires inspection images taken on a tray forming a plurality of receiving spaces on which a semiconductor package is seated;
a reference point recognition unit that identifies a plurality of reference points preset for the tray in the inspection image; and
a standard analysis unit that derives actual measurement standard information of the tray using displacement information between the identified plurality of reference points;
Including,
The inspection image is,
Photographed with a predetermined structure inserted into a preset target receiving space among the plurality of receiving spaces,
The collection department,
Obtaining a top image of the tray transported to a preset package loading area, and selecting the top image as the inspection image based on whether the tray is identified in the top image and the number of identified structures,
The reference point recognition unit,
Identifying the reference point within a target area, which is an area corresponding to the structure in the inspection image,
The tray recognition device,
A recognition device that repeatedly performs the process of deriving the actual measurement standard information each time the tray in an empty state without the semiconductor package is supplied to the package load area.
삭제delete 제8항에 있어서,
상기 복수의 수용 공간은 각각이 상호 간격을 두고 복수의 행 및 복수의 열을 이루는 격자 구조로 이루어지되,
상기 타겟 수용 공간은,
상기 복수의 수용 공간 중 상기 격자 구조의 코너 영역에 대응하는 셋 이상의 수용 공간을 포함하도록 설정되는 것인, 인식 장치.
According to clause 8,
The plurality of accommodating spaces are each composed of a grid structure consisting of a plurality of rows and a plurality of columns at mutual intervals,
The target receiving space is,
A recognition device set to include three or more accommodating spaces corresponding to corner areas of the grid structure among the plurality of accommodating spaces.
제10항에 있어서,
상기 수집부는,
상기 복수의 행의 수와 상기 복수의 열의 수를 포함하는 트레이 형태 정보를 획득하고,
상기 규격 분석부는,
상기 트레이 형태 정보 및 상기 변위 정보를 이용하여, 상기 복수의 수용 공간 사이의 길이 방향 간격에 해당하는 제1실측 피치 정보와 상기 복수의 수용 공간 사이의 폭 방향 간격에 해당하는 제2실측 피치 정보를 산출하는 것인, 인식 장치.
According to clause 10,
The collection department,
Obtaining tray shape information including the number of the plurality of rows and the number of the plurality of columns,
The standard analysis unit,
Using the tray shape information and the displacement information, first actual pitch information corresponding to the longitudinal spacing between the plurality of accommodating spaces and second actual measured pitch information corresponding to the widthwise spacing between the plurality of accommodating spaces are generated. A recognition device that produces results.
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