KR102641625B1 - Package cutting and sorting system with reject bin - Google Patents
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- 238000005520 cutting process Methods 0.000 title claims abstract description 91
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 136
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims abstract description 68
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims abstract description 61
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims abstract description 26
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims abstract description 19
- 238000011068 loading method Methods 0.000 claims description 125
- 238000011084 recovery Methods 0.000 claims description 45
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims description 34
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 28
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims description 14
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 14
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 8
- 235000010627 Phaseolus vulgaris Nutrition 0.000 claims 1
- 244000046052 Phaseolus vulgaris Species 0.000 claims 1
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 18
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 description 15
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 11
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 8
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 6
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 3
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000001151 other effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67155—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
- H01L21/67236—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations the substrates being processed being not semiconductor wafers, e.g. leadframes or chips
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67092—Apparatus for mechanical treatment
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
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- H—ELECTRICITY
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67271—Sorting devices
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67721—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations the substrates to be conveyed not being semiconductor wafers or large planar substrates, e.g. chips, lead frames
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Abstract
리젝트 빈을 구비하는 패키지 절단 및 소팅 시스템이 개시되며, 본원의 일 실시예에 따른 본원의 일 실시예에 따른 리젝트 빈을 구비하는 패키지 절단 및 소팅 시스템은, 반도체 스트립을 공급하도록 구비되는 투입 모듈, 상기 반도체 스트립을 복수의 패키지로 절단하는 절단 모듈, 상기 복수의 패키지를 세척하는 세척 모듈, 상기 세척된 복수의 패키지를 건조하는 건조 모듈, 상기 건조된 복수의 패키지가 안착되는 테이블, 상기 복수의 패키지를 상기 건조 모듈로부터 상기 테이블로 이송하는 제1픽커 모듈, 상기 테이블에 안착된 상기 복수의 패키지 중 적어도 일부를 파지하여 이송하도록 구비되는 제2픽커 모듈, 상기 복수의 패키지를 검사하는 검사 모듈 및 상기 검사 모듈에 의한 검사 결과에 따라 상기 복수의 패키지 각각이 수용되는 복수의 수용 공간을 구획 형성하는 리젝트 빈을 포함하는 분류 모듈을 포함할 수 있다.A package cutting and sorting system including a reject bin is disclosed, and a package cutting and sorting system including a reject bin according to an embodiment of the present application is provided to supply a semiconductor strip. module, a cutting module for cutting the semiconductor strip into a plurality of packages, a cleaning module for cleaning the plurality of packages, a drying module for drying the washed plurality of packages, a table on which the dried plurality of packages are placed, and the plurality of packages. A first picker module that transfers the packages from the drying module to the table, a second picker module that is provided to grasp and transfer at least some of the plurality of packages seated on the table, and an inspection module that inspects the plurality of packages. and a classification module including a reject bin that divides a plurality of receiving spaces in which each of the plurality of packages is accommodated according to an inspection result by the inspection module.
Description
본원은 리젝트 빈을 구비하는 패키지 절단 및 소팅 시스템에 관한 것이다.This disclosure relates to a package cutting and sorting system with a reject bin.
패키지 제조 시스템은, 복수개의 패키지들이 형성된 스트립에서 개별 패키지로 절단하는 절단 공정, 절단 공정에서 절단된 패키지를 세척하는 세척 공정, 세척 공정에서 세척된 패키지를 건조하는 건조 공정, 건조가 완료된 패키지의 불량 여부를 검사하는 패키지 검사 공정 및 검사 결과에 따라 불량 여부 검사를 통과한 패키지와 통과하지 못한 패키지를 분류하는 오프로드 공정 등을 순차적으로 수행하여 반도체 패키지를 제조할 수 있다.The package manufacturing system includes a cutting process of cutting strips on which a plurality of packages are formed into individual packages, a washing process of washing the packages cut in the cutting process, a drying process of drying the packages washed in the washing process, and defects in the dried packages. Semiconductor packages can be manufactured by sequentially performing a package inspection process to check for defects and an offload process to classify packages that passed the defect inspection and those that did not, depending on the inspection results.
그런데, 종래의 패키지 제조 시스템은, 위와 같은 필수 공정을 수행하는 개별 모듈이 산발적으로 위치하고 있어 작업자의 작업 동선에 비효율이 발생하거나 작업 쓰루풋이 저하되고, 작업 오류가 꾸준히 발생하는 문제 등이 있었다. 따라서, 작업 에러율을 최소화 하면서 보다 향상된 작업 효율을 확보하기 위한 새로운 패키지 제조 시스템, 싱귤레이션 시스템의 개발이 필요한 상황이다.However, in the conventional package manufacturing system, individual modules that perform the above essential processes are located sporadically, resulting in inefficiencies in the worker's work flow, reduced work throughput, and problems such as constant occurrence of work errors. Therefore, there is a need to develop a new package manufacturing system and singulation system to secure improved work efficiency while minimizing the work error rate.
본원의 배경이 되는 기술은 한국등록특허공보 제10-2185074호에 개시되어 있다.The technology behind this application is disclosed in Korean Patent Publication No. 10-2185074.
본원은 전술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 작업 오류를 최소화하고, 작업 효율을 향상시킬 수 있는 리젝트 빈을 구비하는 패키지 절단 및 소팅 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.The purpose of the present application is to solve the problems of the prior art described above, and to provide a package cutting and sorting system equipped with a reject bin that can minimize work errors and improve work efficiency.
다만, 본원의 실시예가 이루고자 하는 기술적 과제는 상기된 바와 같은 기술적 과제들로 한정되지 않으며, 또 다른 기술적 과제들이 존재할 수 있다.However, the technical challenges sought to be achieved by the embodiments of the present application are not limited to the technical challenges described above, and other technical challenges may exist.
상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 기술적 수단으로서, 본원의 일 실시예에 따른 리젝트 빈을 구비하는 패키지 절단 및 소팅 시스템은, 반도체 스트립을 공급하도록 구비되는 투입 모듈, 상기 반도체 스트립을 복수의 패키지로 절단하는 절단 모듈, 상기 복수의 패키지를 세척하는 세척 모듈, 상기 세척된 복수의 패키지를 건조하는 건조 모듈, 상기 건조된 복수의 패키지가 안착되는 테이블, 상기 복수의 패키지를 상기 건조 모듈로부터 상기 테이블로 이송하는 제1픽커 모듈, 상기 테이블에 안착된 상기 복수의 패키지 중 적어도 일부를 파지하여 이송하도록 구비되는 제2픽커 모듈, 상기 복수의 패키지를 검사하는 검사 모듈 및 상기 검사 모듈에 의한 검사 결과에 따라 상기 복수의 패키지 각각이 수용되는 복수의 수용 공간을 구획 형성하는 리젝트 빈을 포함하는 분류 모듈을 포함할 수 있다.As a technical means for achieving the above-mentioned technical problem, a package cutting and sorting system including a reject bin according to an embodiment of the present application includes an input module provided to supply a semiconductor strip, and the semiconductor strip into a plurality of packages. A cutting module for cutting, a washing module for washing the plurality of packages, a drying module for drying the plurality of washed packages, a table on which the plurality of dried packages are placed, and the plurality of packages from the drying module to the table. A first picker module for transporting, a second picker module for gripping and transporting at least some of the plurality of packages seated on the table, an inspection module for inspecting the plurality of packages, and according to the inspection results by the inspection module. It may include a classification module including a reject bin that divides a plurality of receiving spaces in which each of the plurality of packages is accommodated.
또한, 상기 리젝트 빈은, 상기 분류 유형 정보에 따라 상기 불량 패키지가 구분되어 안착되도록 상기 복수의 수용 공간을 구획 형성할 수 있다.Additionally, the reject bin may partition the plurality of receiving spaces so that the defective packages are classified and placed according to the classification type information.
또한, 상기 복수의 수용 공간 중 적어도 일부에는 상기 정상 패키지가 수용될 수 있다.Additionally, the normal package may be accommodated in at least some of the plurality of accommodation spaces.
또한, 상기 제2픽커 모듈은, 상기 검사 결과를 기초로 하여 파지한 패키지를 상기 복수의 수용 공간 중 어느 하나에 안착되도록 이송할 수 있다.Additionally, the second picker module may transport the package held based on the inspection result so that it is seated in one of the plurality of receiving spaces.
한편, 본원의 일 실시예에 따른 패키지 절단 및 소팅 시스템은, 반도체 스트립을 공급하도록 구비되는 투입 모듈, 상기 반도체 스트립을 복수의 패키지로 절단하는 절단 모듈, 상기 복수의 패키지를 세척하는 세척 모듈, 상기 세척된 복수의 패키지를 건조하는 건조 모듈, 상기 건조된 복수의 패키지가 안착되는 테이블, 상기 복수의 패키지를 상기 건조 모듈로부터 상기 테이블로 이송하는 제1픽커 모듈, 상기 테이블에 안착된 상기 복수의 패키지 중 적어도 일부를 파지하여 이송하도록 구비되는 제2픽커 모듈, 상기 복수의 패키지를 검사하는 검사 모듈 및 상기 검사 모듈에 의한 검사 결과에 따라 상기 복수의 패키지 각각이 수용되는 수용 공간을 구비하는 분류 모듈을 포함할 수 있다.Meanwhile, the package cutting and sorting system according to an embodiment of the present application includes an input module provided to supply a semiconductor strip, a cutting module for cutting the semiconductor strip into a plurality of packages, a cleaning module for cleaning the plurality of packages, A drying module for drying a plurality of washed packages, a table on which the plurality of dried packages are placed, a first picker module for transferring the plurality of packages from the drying module to the table, and the plurality of packages placed on the table. a second picker module provided to hold and transport at least a portion of the packages, an inspection module to inspect the plurality of packages, and a classification module including a receiving space in which each of the plurality of packages is accommodated according to an inspection result by the inspection module. It can be included.
또한, 상기 제2픽커 모듈은 상기 검사 결과에 기초하여 상기 복수의 패키지 각각을 상기 수용 공간으로 이송할 수 있다.Additionally, the second picker module may transfer each of the plurality of packages to the receiving space based on the inspection result.
또한, 상기 검사 모듈은, 상기 복수의 패키지 각각을 정상 패키지 또는 불량 패키지로 분류하는 불량 유무 정보 및 상기 불량 패키지로 분류된 패키지의 불량 유형에 대한 분류 유형 정보를 상기 검사 결과로서 도출할 수 있다.Additionally, the inspection module may derive defect presence information for classifying each of the plurality of packages as a normal package or a defective package and classification type information for the defect type of the package classified as a defective package as the inspection result.
또한, 상기 분류 모듈에 구비되는 상기 수용 공간은, 상기 불량 유무 정보 및 상기 분류 유형 정보에 따른 복수의 수용 공간을 포함할 수 있다.Additionally, the accommodation space provided in the classification module may include a plurality of accommodation spaces according to the defect presence information and the classification type information.
또한, 상기 복수의 수용 공간 중 적어도 일부는 상기 분류된 패키지가 안착되는 트레이에 형성될 수 있다.Additionally, at least a portion of the plurality of receiving spaces may be formed in a tray on which the sorted packages are placed.
또한, 상기 투입 모듈은, 상기 반도체 스트립의 회수 필요 여부를 판단하고, 상기 회수 필요 여부에 대한 판단 결과에 따라 상기 반도체 스트립이 회수되도록 하거나 상기 반도체 스트립을 상기 절단 모듈 측으로 투입시키는 스트립 회수부를 포함할 수 있다.In addition, the input module may include a strip recovery unit that determines whether the semiconductor strip needs to be recovered, and causes the semiconductor strip to be recovered or inputs the semiconductor strip into the cutting module according to the result of the determination as to whether the semiconductor strip needs to be recovered. You can.
또한, 상기 투입 모듈은, 상기 반도체 스트립을 상기 절단 모듈 측으로 이송하되, 상기 반도체 스트립의 투입 위치를 센싱한 결과에 따라 상기 반도체 스트립의 이송 방향을 정렬하는 스마트 정렬부를 포함할 수 있다.In addition, the input module may include a smart alignment unit that transfers the semiconductor strip to the cutting module and aligns the transfer direction of the semiconductor strip according to the result of sensing the input position of the semiconductor strip.
또한, 상기 건조 모듈은, 상기 세척된 복수의 패키지가 안착되는 적재부, 상기 적재부의 상측에 배치되고, 상기 적재부에 안착된 복수의 패키지를 파지하도록 회전 가능하게 구비되는 플립부 및 상기 적재부와 상기 플립부 사이에 개재되고, 건조 기류를 배출하는 슬릿이 형성된 에어 나이프부를 포함할 수 있다.In addition, the drying module includes a loading unit on which the plurality of washed packages are placed, a flip unit disposed on an upper side of the loading unit and rotatably provided to hold the plurality of packages mounted on the loading unit, and the loading unit. and an air knife part interposed between the flip part and having a slit for discharging a dry air stream.
한편, 본원의 일 실시예에 따른 스마트 얼라인 기능을 제공하는 패키지 절단 및 소팅 시스템은, 준비된 반도체 스트립이 적재된 매거진으로부터 반출되어 투입되는 상기 반도체 스트립의 투입 위치를 센싱하는 방향 감지부 및 상기 방향 감지부의 센싱 결과에 따라 미리 설정된 기준 투입 위치에 부합하도록 상기 반도체 스트립의 이송 방향을 변경하는 스트립 조정부를 포함하는 스마트 정렬부를 구비하는 투입 모듈, 상기 반도체 스트립을 복수의 패키지로 절단하는 절단 모듈, 상기 복수의 패키지를 세척하는 세척 모듈, 상기 세척된 복수의 패키지를 건조하는 건조 모듈, 상기 건조된 복수의 패키지가 안착되는 테이블, 상기 복수의 패키지를 상기 건조 모듈로부터 상기 테이블로 이송하는 제1픽커 모듈, 상기 테이블에 안착된 상기 복수의 패키지 중 적어도 일부를 파지하여 이송하도록 구비되는 제2픽커 모듈, 상기 복수의 패키지를 검사하는 검사 모듈 및 상기 검사 모듈에 의한 검사 결과에 따라 상기 복수의 패키지 각각이 수용되는 수용 공간을 구비하는 분류 모듈을 포함할 수 있다.Meanwhile, a package cutting and sorting system that provides a smart alignment function according to an embodiment of the present application includes a direction detection unit that senses the insertion position of the semiconductor strip in which the prepared semiconductor strip is loaded and taken out from the magazine, and the direction. An input module having a smart alignment unit including a strip adjustment unit that changes the transport direction of the semiconductor strip to match a preset reference insertion position according to the sensing result of the detection unit, a cutting module that cuts the semiconductor strip into a plurality of packages, A washing module for washing a plurality of packages, a drying module for drying the plurality of washed packages, a table on which the plurality of dried packages are placed, and a first picker module for transferring the plurality of packages from the drying module to the table. , a second picker module provided to grasp and transport at least some of the plurality of packages seated on the table, an inspection module to inspect the plurality of packages, and each of the plurality of packages according to the inspection result by the inspection module. It may include a classification module having an accommodating space.
또한, 상기 스트립 조정부는, 상기 반도체 스트립을 파지하고, 상기 기준 투입 위치과 상기 센싱된 투입 위치 간의 편차에 따라 상기 파지된 반도체 스트립을 회전시킬 수 있다.Additionally, the strip adjusting unit may hold the semiconductor strip and rotate the held semiconductor strip according to the difference between the reference insertion position and the sensed insertion position.
또한, 상기 기준 투입 위치는 상기 반도체 스트립에 대한 상기 절단 모듈의 절단 패턴을 고려하여 미리 설정될 수 있다.Additionally, the reference insertion position may be set in advance in consideration of the cutting pattern of the cutting module for the semiconductor strip.
또한, 상기 분류 모듈은, 상기 검사 모듈에 의한 검사 결과에 따라 상기 복수의 패키지 각각이 수용되는 복수의 수용 공간을 구획 형성하는 리젝트 빈을 포함할 수 있다.Additionally, the classification module may include a reject bin that divides a plurality of receiving spaces in which each of the plurality of packages is accommodated according to an inspection result by the inspection module.
한편, 본원의 일 실시예에 따른 스트립 백워드 기능을 제공하는 패키지 절단 및 소팅 시스템은, 준비된 반도체 스트립이 적재된 매거진으로부터 공급되는 상기 반도체 스트립의 회수 필요 여부를 판단하고, 상기 회수 필요 여부에 대한 판단 결과에 따라 상기 반도체 스트립을 선택적으로 투입시키는 스트립 회수부를 구비하는 투입 모듈, 상기 반도체 스트립을 복수의 패키지로 절단하는 절단 모듈, 상기 복수의 패키지를 세척하는 세척 모듈, 상기 세척된 복수의 패키지를 건조하는 건조 모듈, 상기 건조된 복수의 패키지가 안착되는 테이블, 상기 복수의 패키지를 상기 건조 모듈로부터 상기 테이블로 이송하는 제1픽커 모듈, 상기 테이블에 안착된 상기 복수의 패키지 중 적어도 일부를 파지하여 이송하도록 구비되는 제2픽커 모듈, 상기 복수의 패키지를 검사하는 검사 모듈 및 상기 검사 모듈에 의한 검사 결과에 따라 상기 복수의 패키지 각각이 수용되는 수용 공간을 구비하는 분류 모듈을 포함할 수 있다.Meanwhile, a package cutting and sorting system that provides a strip backward function according to an embodiment of the present application determines whether the semiconductor strip supplied from a magazine loaded with prepared semiconductor strips needs to be recovered, and determines whether the recovery is necessary. an input module having a strip recovery unit that selectively inputs the semiconductor strip according to a determination result, a cutting module that cuts the semiconductor strip into a plurality of packages, a cleaning module that cleans the plurality of packages, and a plurality of the washed packages. A drying module for drying, a table on which the plurality of dried packages are placed, a first picker module for transferring the plurality of packages from the drying module to the table, and holding at least some of the plurality of packages placed on the table. It may include a second picker module provided for transport, an inspection module for inspecting the plurality of packages, and a classification module having a receiving space in which each of the plurality of packages is accommodated according to an inspection result by the inspection module.
또한, 상기 스트립 회수부는, 상기 반도체 스트립 중 회수가 필요한 것으로 판단된 비정상 스트립이 매거진에 수용되도록 상기 반도체 스트립을 회수하고, 상기 반도체 스트립 중 회수가 불필요한 것으로 판단된 정상 스트립이 상기 절단 모듈 측으로 투입되도록 할 수 있다.In addition, the strip recovery unit recovers the semiconductor strip so that abnormal strips among the semiconductor strips determined to be in need of recovery are accommodated in the magazine, and normal strips among the semiconductor strips determined to be unnecessary for recovery are input into the cutting module. can do.
또한, 상기 스트립 회수부는, 상기 회수 필요 여부가 판단되기 전의 상기 반도체 스트립이 수용되는 제1매거진 및 상기 비정상 스트립이 수용되는 제2매거진을 각각 적재하는 복수의 트레이를 구비하는 매거진 안착 모듈을 포함할 수 있다.In addition, the strip recovery unit may include a magazine seating module having a plurality of trays for loading a first magazine in which the semiconductor strip before the need for recovery is determined and a second magazine in which the abnormal strip is received. You can.
또한, 상기 스트립 회수부는, 상기 제1매거진 또는 상기 제2매거진을 파지하여 상기 복수의 트레이 중 어느 하나로 파지된 매거진을 이송하도록 구비되는 매거진 파지 모듈을 포함할 수 있다.In addition, the strip recovery unit may include a magazine holding module that is provided to hold the first magazine or the second magazine and transfer the held magazine to one of the plurality of trays.
또한, 상기 스트립 회수부는, 상기 제1매거진으로부터 반출된 상기 반도체 스트립이 안착되고, 상기 안착된 반도체 스트립의 식별 정보 및 형상 정보를 이용하여 상기 회수 필요 여부를 판단하는 스트립 검사 모듈을 포함할 수 있다.In addition, the strip recovery unit may include a strip inspection module in which the semiconductor strip taken out from the first magazine is seated and determines whether the recovery is necessary using identification information and shape information of the seated semiconductor strip. .
한편, 본원의 일 실시예에 따른 에어 건조부를 구비한 패키지 절단 및 소팅 시스템은, 반도체 스트립을 공급하도록 구비되는 투입 모듈, 상기 반도체 스트립을 복수의 패키지로 절단하는 절단 모듈, 상기 복수의 패키지를 세척하는 세척 모듈, 상기 세척된 복수의 패키지를 건조하도록 건조 기류를 배출하는 슬릿이 형성된 에어 나이프부를 포함하는 건조 모듈, 상기 건조된 복수의 패키지가 안착되는 테이블, 상기 복수의 패키지를 상기 건조 모듈로부터 상기 테이블로 이송하는 제1픽커 모듈, 상기 테이블에 안착된 상기 복수의 패키지 중 적어도 일부를 파지하여 이송하도록 구비되는 제2픽커 모듈, 상기 복수의 패키지를 검사하는 검사 모듈 및 상기 검사 모듈에 의한 검사 결과에 따라 상기 복수의 패키지 각각이 수용되는 수용 공간을 구비하는 분류 모듈을 포함할 수 있다.Meanwhile, a package cutting and sorting system equipped with an air dryer according to an embodiment of the present application includes an input module provided to supply a semiconductor strip, a cutting module for cutting the semiconductor strip into a plurality of packages, and cleaning the plurality of packages. a washing module, a drying module including an air knife unit with a slit for discharging a dry air stream to dry the plurality of cleaned packages, a table on which the plurality of dried packages are placed, and the plurality of packages are separated from the drying module. A first picker module for transferring to a table, a second picker module for gripping and transferring at least some of the plurality of packages seated on the table, an inspection module for inspecting the plurality of packages, and inspection results by the inspection module. Accordingly, it may include a classification module having a receiving space in which each of the plurality of packages is accommodated.
또한, 상기 건조 모듈은, 상기 세척된 복수의 패키지가 안착되는 적재부 및 상기 적재부의 상측에 배치되고, 상기 적재부에 안착된 복수의 패키지를 파지하도록 회전 가능하게 구비되는 플립부를 포함할 수 있다.In addition, the drying module may include a loading portion on which the plurality of washed packages are mounted, and a flip portion disposed on an upper side of the loading portion and rotatably provided to hold the plurality of packages mounted on the loading portion. .
또한, 상기 에어 나이프부는, 상기 건조 기류를 배출하도록 상기 적재부에 대하여 배치되는 제1에어 나이프부 및 상기 건조 기류를 배출하도록 상기 플립부에 대하여 배치되는 제2에어 나이프부를 포함할 수 있다.Additionally, the air knife unit may include a first air knife unit disposed relative to the loading unit to discharge the dry air stream, and a second air knife unit disposed relative to the flip unit to discharge the dry air stream.
또한, 상기 제1에어 나이프부는 상측 방향을 향하여 상기 건조 기류를 배출할 수 있다.Additionally, the first air knife unit may discharge the dry airflow toward the upward direction.
또한, 상기 제2에어 나이프부는 하측 방향을 향하여 상기 건조 기류를 배출할 수 있다.Additionally, the second air knife unit may discharge the dry air stream in a downward direction.
상술한 과제 해결 수단은 단지 예시적인 것으로서, 본원을 제한하려는 의도로 해석되지 않아야 한다. 상술한 예시적인 실시예 외에도, 도면 및 발명의 상세한 설명에 추가적인 실시예가 존재할 수 있다.The above-described means of solving the problem are merely illustrative and should not be construed as intended to limit the present application. In addition to the exemplary embodiments described above, additional embodiments may be present in the drawings and detailed description of the invention.
전술한 본원의 과제 해결 수단에 의하면, 작업 오류를 최소화하고, 작업 효율을 향상시킬 수 있는 리젝트 빈을 구비하는 패키지 절단 및 소팅 시스템을 제공할 수 있다.According to the means for solving the problem of the present application described above, it is possible to provide a package cutting and sorting system including a reject bin that can minimize work errors and improve work efficiency.
다만, 본원에서 얻을 수 있는 효과는 상기된 바와 같은 효과들로 한정되지 않으며, 또 다른 효과들이 존재할 수 있다.However, the effects that can be obtained herein are not limited to the effects described above, and other effects may exist.
도 1은 본원의 일 실시예에 따른 패키지 절단 및 소팅 시스템의 개략적인 개념 평면도이다.
도 2는 본원의 일 실시예에 따른 패키지 절단 및 소팅 시스템의 개략적인 동작 흐름을 설명하기 위한 블록도이다.
도 3은 본원의 일 실시예에 따른 패키지 절단 및 소팅 시스템의 스트립 회수부를 나타낸 사시도이다.
도 4는 제1클램프 유닛이 준비 위치에 위치하는 것을 설명하기 위한 본원의 일 실시예에 따른 스트립 회수부의 사시도이다.
도 5는 본원의 일 실시예에 따른 스트립 검사 모듈을 내측에서 비스듬하게 내려다보고 도시한 사시도이다.
도 6은 본원의 일 실시예에 따른 스트립 회수부를 외측에서 비스듬하게 내려다보고 도시한 사시도이다.
도 7은 본원의 일 실시예에 따른 스트립 회수부의 일 부분이 제거된 사시도이다.
도 8 및 도 9는 본원의 일 실시예에 따른 스트립 회수부의 그리퍼의 구동을 설명하기 위한 개략적인 개념도이다.
도 10은 본원의 일 실시예에 따른 스트립 회수부의 일부분을 외측에서 비스듬하게 내려다보고 도시한 사시도이다.
도 11은 본원의 일 실시예에 따른 패키지 절단 및 소팅 시스템의 스마트 정렬부를 나타낸 사시도이다.
도 12 및 도 13은 본원의 일 실시예에 따른 패키지 절단 및 소팅 시스템의 건조 모듈을 설명하기 위한 도면이다.
도 14 및 도 15는 본원의 일 실시예에 따른 패키지 절단 및 소팅 시스템의 분류 모듈의 리젝트 빈을 나타낸 도면이다.
도 16 및 도 17은 본원의 일 실시예에 따른 패키지 절단 및 소팅 시스템의 분류 모듈의 트레이를 이용한 패키지 적재 방식을 설명하기 위한 도면이다.1 is a schematic conceptual plan view of a package cutting and sorting system according to an embodiment of the present application.
Figure 2 is a block diagram for explaining the schematic operation flow of a package cutting and sorting system according to an embodiment of the present application.
Figure 3 is a perspective view showing a strip recovery unit of a package cutting and sorting system according to an embodiment of the present application.
Figure 4 is a perspective view of a strip recovery unit according to an embodiment of the present application to explain that the first clamp unit is located in the ready position.
Figure 5 is a perspective view showing the strip inspection module according to an embodiment of the present application, viewed obliquely from the inside.
Figure 6 is a perspective view of the strip recovery unit according to an embodiment of the present application, viewed obliquely from the outside.
Figure 7 is a perspective view with a portion of the strip recovery unit according to an embodiment of the present application removed.
8 and 9 are schematic conceptual diagrams for explaining the operation of the gripper of the strip recovery unit according to an embodiment of the present application.
Figure 10 is a perspective view showing a portion of the strip recovery unit according to an embodiment of the present application viewed obliquely from the outside.
Figure 11 is a perspective view showing the smart alignment part of the package cutting and sorting system according to an embodiment of the present application.
12 and 13 are diagrams for explaining the drying module of the package cutting and sorting system according to an embodiment of the present application.
14 and 15 are diagrams showing a reject bin of a classification module of a package cutting and sorting system according to an embodiment of the present application.
Figures 16 and 17 are diagrams for explaining a package loading method using a tray of a classification module of a package cutting and sorting system according to an embodiment of the present application.
아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본원이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본원의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본원은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본원을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.Below, with reference to the attached drawings, embodiments of the present application will be described in detail so that those skilled in the art can easily implement them. However, the present application may be implemented in various different forms and is not limited to the embodiments described herein. In order to clearly explain the present application in the drawings, parts that are not related to the description are omitted, and similar reference numerals are assigned to similar parts throughout the specification.
본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 "전기적으로 연결" 또는 "간접적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. Throughout this specification, when a part is said to be “connected” to another part, this means not only “directly connected” but also “electrically connected” or “indirectly connected” with another element in between. "Includes cases where it is.
본원 명세서 전체에서, 어떤 부재가 다른 부재 "상에", "상부에", "상단에", "하에", "하부에", "하단에" 위치하고 있다고 할 때, 이는 어떤 부재가 다른 부재에 접해 있는 경우뿐 아니라 두 부재 사이에 또 다른 부재가 존재하는 경우도 포함한다.Throughout this specification, when a member is said to be located “on”, “above”, “at the top”, “below”, “at the bottom”, or “at the bottom” of another member, this means that a member is located on another member. This includes not only cases where they are in contact, but also cases where another member exists between two members.
본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성 요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.Throughout the specification of the present application, when a part "includes" a certain component, this means that it may further include other components rather than excluding other components unless specifically stated to the contrary.
본원은 리젝트 빈을 구비하는 패키지 절단 및 소팅 시스템에 관한 것이다.This disclosure relates to a package cutting and sorting system with a reject bin.
도 1은 본원의 일 실시예에 따른 패키지 절단 및 소팅 시스템의 개략적인 개념 평면도이고, 도 2는 본원의 일 실시예에 따른 패키지 절단 및 소팅 시스템의 개략적인 동작 흐름을 설명하기 위한 블록도이다.FIG. 1 is a schematic conceptual plan view of a package cutting and sorting system according to an embodiment of the present application, and FIG. 2 is a block diagram for explaining a schematic operational flow of the package cutting and sorting system according to an embodiment of the present application.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본원의 일 실시예에 따른 패키지 절단 및 소팅 시스템(1)(이하, '본 시스템(1)'이라 한다.)은 투입 모듈(10), 절단 모듈(20), 세척 모듈(30), 건조 모듈(40), 제1픽커 모듈(50), 테이블(60), 제2픽커 모듈(70), 검사 모듈(80) 및 분류 모듈(90)을 포함할 수 있다.Referring to Figures 1 and 2, the package cutting and sorting system 1 (hereinafter referred to as 'this system 1') according to an embodiment of the present application includes an
먼저, 본 시스템(1)의 투입 모듈(10)은 반도체 스트립을 공급하도록 구비될 수 있다. 구체적으로 반도체 스트립이 적재된 매거진은 투입 모듈(10)의 매거진 안착 모듈(111)에 적재될 수 있고, 매거진 안착 모듈(111)에 적재된 매거진은 매거진 파지 모듈(112)에 의해 파지되어 준비 위치로 이동되고, 준비 위치로 이동된 매거진으로부터 반출되는 반도체 스트립은 스트립 검사 모듈(113)로 이송될 수 있다. 또한, 스트립 검사 모듈(113)로 이송된 반도체 스트립은 스트립 픽커(미도시)를 구비하는 스마트 정렬부(12)에 의해 척 테이블(13)로 이송될 수 있다. 참고로, 투입 모듈(10)에 의해 본 시스템(1) 내로 유입된 반도체 스트립 중 후술하는 절단 모듈(20)에 이송되기 전에 불량 판정 받거나 추가 공정이 필요한 것으로 판단된 반도체 스트립에 해당하는 회수 스트립은 매거진 안착 모듈(111)로 반송될 수 있고, 회수 스트립으로 판정되지 않은 반도체 스트립은 스마트 정렬부(12)를 통해 절단 모듈(20)로 이송될 수 있다.First, the
또한, 본 시스템(1)은 반도체 스트립을 패키지로 커팅하는 절단 모듈(20)을 포함할 수 있다. 스마트 정렬부(12)에 의해 척 테이블(13)로 이송된 반도체 스트립은 절단 모듈(20)로 이송되어 절단 모듈(20)에서 개별 패키지로 커팅(분리)될 수 있다.Additionally, the system 1 may include a cutting module 20 that cuts the semiconductor strip into packages. The semiconductor strip transferred to the chuck table 13 by the smart alignment unit 12 may be transferred to the cutting module 20 and cut (separated) into individual packages in the cutting module 20.
또한, 본 시스템(1)은 커팅된 패키지를 세척하는 세척 모듈(30)을 포함할 수 있다. 즉, 절단 모듈(20)에서 반도체 스트립이 커팅되어 형성된 패키지는 세척 모듈(30)로 이송되어 세척될 수 있다.Additionally, the system 1 may include a cleaning module 30 that cleans the cut package. That is, the package formed by cutting the semiconductor strip in the cutting module 20 can be transferred to the cleaning module 30 and cleaned.
또한, 본 시스템(1)은 세척된 패키지를 건조하는 건조 모듈(40)을 포함할 수 있다. 세척 모듈(30)에서 세척된 패키지는 건조 모듈(40)로 이송되어 드라이될 수 있다.Additionally, the system 1 may include a
또한, 본 시스템(1)은 건조된 패키지가 안착되는 테이블(60) 및 건조 모듈(40)에서 건조된 패키지를 테이블(60)로 이송하는 제1픽커 모듈(50)을 포함할 수 있다. 건조 모듈(40)에서 건조된 패키지는 제1픽커 모듈(50)에 의해 테이블(60)로 이송될 수 있다. 예를 들면, 제1픽커 모듈(50)은 그리드 픽커일 수 있다.Additionally, the system 1 may include a table 60 on which the dried package is placed and a first picker module 50 that transfers the dried package from the drying
또한, 제2픽커 모듈(70)은 테이블(60)에 안착된 복수의 패키지 중 적어도 일부를 파지하여 이송하도록 구비될 수 있다. 이와 관련하여, 복수의 패키지가 안착되는 테이블(60)은 제1픽커 모듈(50)로부터 건조된 패키지가 공급되는 위치와 제2픽커 모듈(70)이 안착된 패키지를 파지할 수 있는 위치 사이를 왕복 이동(예를 들면, 도 1 기준 12시 방향에서 6시 방향을 왕복하여 이동) 가능하도록 구비될 수 있다.Additionally, the second picker module 70 may be provided to grasp and transfer at least some of the plurality of packages seated on the table 60. In this regard, the table 60 on which a plurality of packages are placed is positioned between the position where the dried package is supplied from the first picker module 50 and the position where the second picker module 70 can hold the mounted package. It may be provided to enable reciprocating movement (for example, moving back and forth from the 12 o'clock direction to the 6 o'clock direction based on FIG. 1).
또한, 본 시스템(1)은 패키지의 불량 여부를 검사하는 검사 모듈(80)을 포함할 수 있다. 패키지는 검사 모듈(80)로 이송되어 불량 여부를 판정받을 수 있다.Additionally, the system 1 may include an inspection module 80 that inspects the package for defects. The package can be transferred to the inspection module 80 to determine whether it is defective.
또한, 본 시스템(1)은 검사 모듈(80)에 의한 검사 결과에 따라 복수의 패키지 각각이 수용되는 수용 공간을 구비하는 분류 모듈(90)을 포함할 수 있다.In addition, the system 1 may include a classification module 90 having a receiving space in which each of a plurality of packages is accommodated according to the inspection result by the inspection module 80.
또한, 이와 관련하여 제2픽커 모듈(70)은 검사 모듈(80)의 검사 결과에 따라 복수의 패키지 각각을 분류 모듈(90)에 구분 형성되는 복수의 수용 공간 중 어느 하나로 이송하도록 동작할 수 있다.In addition, in relation to this, the second picker module 70 may operate to transfer each of a plurality of packages to one of a plurality of receiving spaces separately formed in the classification module 90 according to the inspection result of the inspection module 80. .
예를 들어, 분류 모듈(90)은 검사 모듈(80)에 의해 정상(양품) 패키지 또는 비정상(불량) 패키지로 분류된 각각의 패키지를 수용하기 위한 수용 공간을 형성하는 트레이(91) 및 리젝트 빈(92) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 예를 들어, 복수 개의 트레이(91a, 91b, 91c) 중 일부의 트레이에 양품 패키지가 적재되고, 불량 패키지로 분류된 패키지는 복수 개의 트레이(91a, 91b, 91c) 중 나머지 트레이에 적재될 수 있으나, 이에만 한정되는 것은 아니며, 본 시스템(1)의 운용 방식에 따라 양품 패키지는 트레이(91)로 이송되어 적재되고, 불량 패키지는 후술하는 리젝트 빈(92)으로 이송되어 리젝트 빈(92)에 형성된 복수의 수용 공간 각각에 불량 패키지에 대하여 판단된 불량 유형에 따라 나뉘어 적재되는 것일 수 있다.For example, the classification module 90 includes a tray 91 and a reject box that form a receiving space for receiving each package classified as a normal (good) package or an abnormal (defective) package by the inspection module 80. It may include at least one of the
한편, 패키지 적재가 완료된 트레이(91)가 안착되는 트레이부(미도시)는 이동되어 복수의 트레이 적재부(930a, 930b, 930c) 중 하나에 적재될 수 있고, 트레이부에는 새 트레이가 안착될 수 있다.Meanwhile, the tray unit (not shown) on which the tray 91 on which package loading is completed can be moved and loaded on one of the plurality of tray loading units 930a, 930b, and 930c, and a new tray can be placed in the tray unit. You can.
이와 같은, 본 시스템(1)에 의하면, 패키지가 하나의 자동화된 시스템에 의해 제조될 수 있으므로, 종래의 제조 공정을 수행하는 개별 모듈이 산발적으로 위치하고 있어 작업자의 작업 동선에 비효율이 발생하거나 작업 쓰루풋이 저하되고, 작업 오류가 꾸준히 발생하던 패키지 제조 시스템 대비 작업 에러율을 최소화 하면서 보다 향상된 작업 효율을 확보할 수 있다.According to this system 1, since the package can be manufactured by one automated system, individual modules that perform the conventional manufacturing process are located sporadically, causing inefficiency in the worker's work flow or reducing work throughput. Compared to the package manufacturing system, where work errors consistently occur, the work error rate can be minimized and improved work efficiency can be secured.
이하에서는 본 시스템을 이루는 각각의 하위 모듈의 구조 및 동작에 대하여 구체적으로 설명하도록 한다. 먼저 투입 모듈(10)에 대해 설명한다.Below, the structure and operation of each sub-module that makes up this system will be described in detail. First, the
참고로, 이하의 투입 모듈(10)의 설명과 관련하여, 방향이나 위치와 관련된 용어(상측, 하측, 일측, 타측, 내측, 외측 등)는 도 3 내지 도 11에 나타나 있는 각 구성의 배치 상태를 기준으로 설정한 것이다. 예를 들면, 도 3에 도시된 사항을 기준으로 하여 전반적으로 12시 방향이 상측, 전반적으로 6시 방향이 하측, 전반적으로 4시 방향이 일측, 전반적으로 10시 방향이 타측, 전반적으로 2시 방향이 내측, 전반적으로 8시 방향이 외측 등이 될 수 있다.For reference, in relation to the description of the
이하에서는 먼저 도 3내지 도 10을 참조하여 투입 모듈(10)의 스트립 회수부(11)에 대하여 설명하도록 한다. 이와 관련하여 도 3은 본원의 일 실시예에 따른 패키지 절단 및 소팅 시스템의 스트립 회수부를 나타낸 사시도이고, 도 4는 제1클램프 유닛이 준비 위치에 위치하는 것을 설명하기 위한 본원의 일 실시예에 따른 스트립 회수부의 사시도이고, 도 5는 본원의 일 실시예에 따른 스트립 검사 모듈을 내측에서 비스듬하게 내려다보고 도시한 사시도이고, 도 6은 본원의 일 실시예에 따른 스트립 회수부를 외측에서 비스듬하게 내려다보고 도시한 사시도이고, 도 7은 본원의 일 실시예에 따른 스트립 회수부의 일 부분이 제거된 사시도이고, 도 8 및 도 9는 본원의 일 실시예에 따른 스트립 회수부의 그리퍼의 구동을 설명하기 위한 개략적인 개념도이고, 도 10은 본원의 일 실시예에 따른 스트립 회수부의 일부분을 외측에서 비스듬하게 내려다보고 도시한 사시도이다. Hereinafter, the
도 3 및 도 4를 참조하면, 스트립 회수부(11)는 매거진 안착 모듈(111)을 포함할 수 있다. 매거진 안착 모듈(111)은 제1트레이(11a)를 포함할 수 있다. 제1트레이(11a)에는 투입 스트립(110a)이 적재된 매거진(이하 '제1매거진(111a)'이라 함)이 적재(배치)된다. 또한, 매거진 안착 모듈(111)은 제1트레이(11a)의 상측에 구비되는 제2트레이(11b)를 포함할 수 있다. 제2트레이(11b)에는 빈 매거진(111b)(즉, 반도체 스트립이 적재되지 않은 상태의 매거진)이 적재된다. 또한, 매거진 안착 모듈(111)은 제2트레이(11b)의 상측에 구비되는 제3트레이(11c)를 포함할 수 있다. 제3트레이(11c)에는 후술하는 반환 스트립(110b)이 적재된 매거진(이하 '제2매거진(111c)'이라 함)이 적재된다.Referring to Figures 3 and 4, the
참고로, 본원의 실시예에 관한 설명에서 투입 스트립(110a)은, 투입 모듈(10)의 안착부(1131)에 안착되기 전의 스트립 또는 안착부(1131) 상에 로딩된 후 절단 모듈(20)로 이송될 반도체 스트립을 의미할 수 있다. 이와 구분하여, 반환 스트립(110b)은 투입 모듈(10)의 안착부(1131)에 안착된 후 빈 매거진(111b) 또는 제2매거진(111c)에 적재되게 되는 반도체 스트립을 의미할 수 있다.For reference, in the description of the embodiment of the present application, the
보다 구체적으로, 반환 스트립(110b)은 안착부(1131)에 안착(로딩)된 이후 회수 판정을 받아 절단 모듈(20)로 이송되지 않고 빈 매거진(111b) 또는 제2매거진(111c)으로 회수되는 반도체 스트립을 의미할 수 있다.More specifically, the
예를 들어, 안착부(1131)에 안착되어야 할 반도체 스트립이 아닌 다른 반도체 스트립이 안착되면, 해당 반도체 스트립은 회수 판정을 받을 수 있다. 이와 관련하여, 투입되어야 할 반도체 스트립이 아닌 다른 반도체 스트립이 안착되었는지의 여부는 스트립 각각에 기재된 식별코드(바코드)가 투입 모듈(10) 측의 센서부에 의해 인식됨으로써 이루어질 수 있다. 또한, 안착부(1131)에 대한 반도체 스트립의 안착 위치가 오정렬된 경우, 해당 반도체 스트립은 회수 판정을 받을 수 있다.For example, if a semiconductor strip other than the semiconductor strip that should be placed on the seating unit 1131 is placed, the semiconductor strip may be subject to a recall decision. In this regard, whether a semiconductor strip other than the semiconductor strip to be inserted is seated can be determined by recognizing the identification code (barcode) written on each strip by the sensor unit on the
이와 관련하여, 안착부(1131) 상에 안착된 반도체 스트립이 잘못된 안착 위치, 휘어짐 등으로 인해 픽업부(달리 말해, 안착부(1131)로부터 반도체 스트립을 절단 모듈(20) 측으로 이송하는 이송 유닛)에 픽업되지 못하는 경우, 해당 반도체 스트립은 회수 판정 받을 수 있다.In this regard, the pickup unit (in other words, a transfer unit that transfers the semiconductor strip from the seating unit 1131 to the cutting module 20) due to incorrect seating position, bending, etc. of the semiconductor strip seated on the seating unit 1131. If it is not picked up, the semiconductor strip may be recalled.
또한, 안착부(1131)에 안착되어 절단 모듈(20)로 이송되어 초기 가공된 후, 별도의 가공 장치에서 별도의 가공이 이루어져야 하는 반도체 스트립이 반환 스트립(110b)에 포함될 수 있다. 예를 들어, 안착부(1131)에 안착되어 절단 모듈(20)로 이송되어 1차 가공(예를 들어, 하프 커팅) 된 후 별도의 가공 장치에서 별도의 가공(예를 들어, 금도금)이 이루어져야 하는 반도체 스트립은 1차 가공 후 안착부(1131)로 재로딩되어 안착부(1131)로부터 빈 매거진(111b) 또는 제2매거진(111c)으로 이송되어 적재될 수 있으며, 이러한 반도체 스트립이 반환 스트립(110b)에 포함될 수 있다.In addition, a semiconductor strip that must be separately processed in a separate processing device after being seated on the seating portion 1131 and transferred to the cutting module 20 for initial processing may be included in the
또한, 스트립 회수부(11)는 매거진 안착 모듈(111)의 길이 방향으로의 일측에 구비되는 매거진 파지 모듈(112)을 구비할 수 있다. 매거진 파지 모듈(112)은 제1클램프 유닛(112a)을 포함할 수 있다. 또한, 매거진 파지 모듈(112)은 제2클램프 유닛(112b)을 포함할 수 있다. 또한, 매거진 파지 모듈(112)은 제1클램프 유닛(112a) 및 제2클램프 유닛(112b)을 상하 방향으로 구동하는 구동 레일 유닛(112c)을 포함할 수 있다.Additionally, the
구동 레일 유닛(112c)은 제1클램프 유닛(112a) 및 제2클램프 유닛(112b)이 상하 방향으로 구비되는 레일 유닛(115) 및 제1클램프 유닛(112a) 및 제2클램프 유닛(112b)이 레일 유닛(115)을 따라 상하 방향으로 이동하도록 동력을 제공하는 모터를 포함할 수 있다. 또한, 제2클램프 유닛(112b)은 제1클램프 유닛(112a)의 상측에 위치하도록 레일 유닛(115)에 대하여 구비될 수 있다.The driving
또한, 스트립 회수부(11)는 스트립 검사 모듈(113)을 구비할 수 있다. 스트립 검사 모듈(113)은 제1매거진(111a)으로부터 투입 스트립(110a)을 제공받거나, 반환 스트립(110b)을 빈 매거진(111b) 또는 제2매거진(111c)에 제공한다. 이하에서 구체적으로 설명한다.Additionally, the
도 5 내지 도 10을 참조하면, 스트립 검사 모듈(113)은 투입 스트립(110a) 또는 반환 스트립(110b)이 로딩(안착)되거나 언로딩(제거)되는 안착부(1131)를 구비할 수 있다. 예를 들어, 제1매거진(111a)으로부터 투입 스트립(110a)이 이송되어 안착부(1131)에 안착(로딩)될 수 있다. 또한, 안착부(1131)에 안착된 투입 스트립(110a)은 후속 공정을 위해 안착부(1131)로부터 제거(언로딩)되어 절단 모듈(20)로 이송될 수 있다. 또한, 안착부(1131)에는 상술한 바와 같이 회수 판정을 받은 스트립, 절단 모듈(20)로부터 가공된 후 별도의 가공 장치로 이송될 필요가 있는 스트립 등과 같은 반환 스트립(110b)이 안착부(1131)에 로딩될 수 있고, 이러한 반환 스트립(110b)은 안착부(1131)로부터 언로딩되어 빈 매거진(111b) 또는 제2매거진(111c)으로 이송될 수 있다.Referring to FIGS. 5 to 10 , the
이하에서는 투입 스트립(110a)의 안착부(1131)에 대한 로딩 동작에 대해 설명한다.Hereinafter, the loading operation for the seating portion 1131 of the
제1클램프 유닛(112a)은 제1매거진(111a)을 파지할 수 있다. 예를 들어, 제1클램프 유닛(112a)은 제1트레이(11a)에 적재된 제1매거진(111a)을 파지할 수 있다. 구체적으로, 제1클램프 유닛(112a)은 레일 유닛(115)을 따라 이동하여 제1트레이(11a)의 일측에 위치할 수 있고, 제1트레이(11a)의 일측에 배치되어 있는 제1매거진(111a)을 파지할 수 있다. 이때, 제1트레이(11a)는 제1매거진(111a)을 길이 방향 일측으로 이동시키는 컨베이어부를 포함할 수 있다. 컨베이어부에 의해 제1매거진(111a)은 제1트레이(11a) 내에서 제1클램프 유닛(112a)에 의해 파지되는 파지 위치로 이동될 수 있다.The
정리하면, 컨베이어부는 제1트레이(11a) 상에 적재된 제1매거진(111a)을 파지 위치로 이송시킬 수 있고, 제1트레이(11a)의 일측에 위치하던 제1클램프 유닛(112a)은 파지 위치에 위치한 제1매거진(111a)을 파지할 수 있다. 제1클램프 유닛(112a)에 의해 제1매거진(111a)이 파지 위치로부터 제거되면, 컨베이어부는 다른 반도체 스트립이 적재된 매거진을 파지 위치로 이동시킬 수 있다. 또한, 참고로, 제1트레이(11a)는 매거진이 파지 위치에 배치되었는지의 여부를 판단하는 센서를 포함할 수 있다.In summary, the conveyor unit can transport the first magazine (111a) loaded on the first tray (11a) to the gripping position, and the first clamp unit (112a) located on one side of the first tray (11a) can perform the gripping position. The
또한, 제1클램프 유닛(112a)은 제1매거진(111a)을 파지하여 준비 위치에 위치시킬 수 있다. 본원의 실시예에 관한 설명에서 준비 위치는 제1클램프 유닛(112a)이 파지한 제1매거진(111a) 내의 투입 스트립(110a)이 후술하는 푸시 유닛(114)에 의해 푸시될 수 있는 위치를 의미할 수 있다.Additionally, the
이와 관련하여, 스트립 회수부(11)는 제1매거진(111a)으로부터 투입 스트립(110a)을 안착부(1131) 측으로 푸시하는 푸시 유닛(114)을 포함할 수 있다. 제1클램프 유닛(112a)이 준비 위치에 위치하면, 푸시 유닛(114)은 제1클램프 유닛(112a)이 파지한 제1매거진(111a) 내의 투입 스트립(110a)을 안착부(1131) 측으로 푸시할 수 있다. 예를 들어, 푸시 유닛(114)은 그가 푸시하는 투입 스트립(110a)의 적어도 일부(예를 들어, 스트립 길이의 50%)가 장치의 내부로 유입되어 안착부(1131) 상에 안착되도록 푸시할 수 있다.In this regard, the
또한, 스트립 검사 모듈(113)은 안착부(1131) 측으로 푸시되는 투입 스트립(110a)을 안착부(1131)에 로딩시키는 그리퍼(132)를 포함할 수 있다. 푸시 유닛(114)의 푸시에 의해 투입 스트립(110a)의 적어도 일부가 안착부(1131) 상에 안착되면, 그리퍼(132)는 푸시된 투입 스트립(110a)을 파지하여 잡아당겨 안착부(1131) 에 로딩시킬 수 있다.Additionally, the
예를 들어, 그리퍼(132)는 반도체 스트립의 상면 및 하면 각각에 접촉하며 파지할 수 있다. 이를 위해, 그리퍼(132)는 반도체 스트립의 상면에 접촉하는 상측 부재 및 하면에 접촉하는 하측 부재를 포함할 수 있으며, 상측 부재와 하측 부재 사이의 간격(폭)은 반도체 스트립의 파지 및 파지 해제를 위해 조절될 수 있다. 이를 위해, 그리퍼(132)는 내측 방향(달리 말해, 푸시 유닛(114)을 향하는 방향)으로 이동하여 안착부(1131) 상에 안착된 반도체 스트립의 일부를 파지할 수 있고, 파지한 상태로 외측 방향(달리 말해, 푸시 유닛(114)으로부터 멀어지는 방향)으로 이동함으로써 투입 스트립(110a)이 온전히 안착부(1131)에 안착되게 할 수 있다.For example, the gripper 132 may contact and grip the upper and lower surfaces of the semiconductor strip, respectively. For this purpose, the gripper 132 may include an upper member in contact with the upper surface of the semiconductor strip and a lower member in contact with the lower surface, and the gap (width) between the upper member and the lower member is used to grip and release the semiconductor strip. can be adjusted for To this end, the gripper 132 may move in an inward direction (in other words, a direction toward the push unit 114) to grip a portion of the semiconductor strip seated on the seating portion 1131, and in the gripped state, move to the outside. By moving in a direction (in other words, a direction away from the push unit 114), the
참고로, 스트립 검사 모듈(113)은 그리퍼(132)의 내외측 방향 이동을 가이드하는 가이드 레일부(1321)를 포함할 수 있다. 가이드 레일부(1321)는 내외측 방향으로 연장 구비되는 레일 및 모터를 포함할 수 있다. 그리퍼(132)는 레일을 따라 내외측 방향으로 이동될 수 있고, 모터는 그리퍼(132)에 이동력을 제공할 수 있다.For reference, the
참고로, 제1매거진(111a) 내의 투입 스트립(110a) 하나를 푸시 유닛(114)이 푸시하여 하나의 투입 스트립(110a)이 제거되면, 푸시 유닛(114)은 하나의 투입 스트립(110a)의 하측 또는 상측에 위치하는 다른 투입 스트립(110a)을 푸시 할 수 있는데, 이러한 경우, 제1매거진(111a)을 파지하고 있는 제1클램프 유닛(112a)이 하측 또는 상측으로 이동하여 푸시 유닛(114)이 푸시해야 할 다른(다음 차례의) 투입 스트립(110a)의 높이(위치)를 푸시 유닛(114)이 푸시할 수 있는 높이에 대응하게 할 수 있다.For reference, when the
또한, 제1클램프 유닛(112a)은 빈 매거진(111b)을 파지할 수 있다. 예를 들어, 제1클램프 유닛(112a)이 파지하고 있던 제1매거진(111a) 내의 투입 스트립(110a)이 전부 제거되면, 제1클램프 유닛(112a)이 파지하고 있던 제1매거진(111a)은 빈 매거진(111b)이 될 수 있다.Additionally, the
또한, 제1클램프 유닛(112a)은 파지한 제1매거진(111a)이 빈 매거진(111b)이 되면, 제2트레이(11b)에 유입시킬 수 있다. 예를 들어, 제1클램프 유닛(112a)은 제1매거진(111a)을 파지하여 준비 위치에서 위치함으로써 파지한 제1매거진(111a) 내의 투입 스트립(110a)이 안착부(1131)에 제공되게 할 수 있다. 또한, 제1클림프 유닛(112a)은 파지한 제1매거진(111a) 내의 투입 스트립(110a)이 모두 안착부(1131)에 제공되어 적재된 반도체 스트립이 없는 빈 매거진(111b)이 되면, 해당 매거진을 파지한 상태를 유지하며 상향 이동되어 제2트레이(11b) 측으로 이동하고, 제2트레이(11b)의 대기 위치(즉, 제1클램프 유닛(112a)이 제2트레이(11b)에 빈 매거진(111b)을 적재할 수 있는 위치)로 거동할 수 있고, 제2트레이(11b)에 빈 매거진(111b)을 적재(유입)할 수 있다.Additionally, when the
또한, 제2트레이(11b)는 제1클램프 유닛(112a)이 빈 매거진(111b)을 파지하여 제2트레이(11b)의 대기 위치에 대기하면, 제1클램프 유닛(112a)이 파지한 빈 매거진(111b)의 적재 공간이 제2트레이(11b)의 길이 방향으로의 일측부에 확보되도록, 전에 유입되었던 빈 매거진(111b)을 제2트레이(11b)의 길이 방향 타측으로 이동시킬 수 있다. 또한, 제2트레이(11b)는 제2트레이(11b)의 일측부의 적재 공간이 확보되도록 제2트레이(11b)의 일측부의 적재 공간과 대응되는 정도(보다 구체적으로, 매거진의 폭 정도)로 빈 매거진(111b)을 이송시킬 수 있다. 또한, 제2클램프 유닛(112b)은 제2트레이(11b)의 일측부의 적재 공간에 배치된 빈 매거진(111b)을 후술할 반환 스트립(110b)의 적재를 위해 파지하여 제2트레이(11b)의 일측부의 적재 공간으로부터 제거할 수 있고, 제2트레이(11b)의 일측부의 적재 공간에 빈 매거진(111b)이 미존재하는 상태에서, 추가적으로 제2클램프 유닛(112b)이 다른 빈 매거진(111b)을 파지(확보)하려할 때, 제2트레이(11b)의 일측부의 적재 공간의 타측에 위치하는 다른 빈 매거진(111b)이 제2트레이(11b)의 일측부의 적재 공간으로 신속히 이동하여 제2클램프 유닛(112b)에게 제공되기 위함일 수 있다.In addition, when the
여기서 적재 공간은, 제1클램프 유닛(112a)이 제2트레이(11b)의 대기 위치에 위치할 때 제1클램프 유닛(112a)이 파지한 빈 매거진(111b)을 놓을 수 있는 제2트레이(11b)의 일부 공간을 의미할 수 있고, 또한, 제1클램프 유닛(112a)이 제2트레이(11b)의 대기 위치에 위치하면서 제2트레이(11b)로부터 파지할 수 있는 빈 매거진(111b)이 위치하는 공간을 의미할 수 있다. 또한, 제2트레이(11b)는 적재 공간에 대한 빈 매거진(111b)의 적재(배치) 여부를 판단하는 센서를 포함할 수 있다.Here, the loading space is a second tray (11b) on which the empty magazine (111b) held by the first clamp unit (112a) can be placed when the first clamp unit (112a) is located in the waiting position of the second tray (11b). ), and in addition, while the
이하에서는 반환 스트립(110b)의 안착부(1131)로부터의 언로딩에 대해 설명한다.Hereinafter, unloading from the seating portion 1131 of the
제2클램프 유닛(112b)은 빈 매거진(111b) 또는 제2매거진(111c)을 파지할 수 있다. 제2클램프 유닛(112b)은 매거진을 파지하지 않은 상태인 경우 제2트레이(11b) 측으로 이동하여 제2트레이(11b)에 적재된 빈 매거진(111b)을 파지할 수 있다. 또한, 제2클램프 유닛(112b)이 파지하고 있던 빈 매거진(111b)에 반환 스트립(110b)이 적재되면, 빈 매거진(111b)은 제2매거진(111c)이 될 수 있다.The
제2클램프 유닛(112b)은 빈 매거진(111b) 또는 반환 스트립(110b)이 일부 적재된 제2매거진(111c)을 파지하여 안착부(1131)로부터 반환 스트립(110b)이 그가 파지한 빈 매거진(111b) 또는 제2매거진(111c) 내로 이동되도록 준비 위치에 위치할 수 있다. 구체적으로, 제2클램프 유닛(112b)은 파지한 매거진이 없는 경우 제2트레이(11b) 측으로 이동하여 제2트레이(11b)에 적재된 빈 매거진(111b)을 파지하여 준비 위치로 이동할 수 있다. 또한, 제2클램프 유닛(112b)이 파지했던 빈 매거진(111b)에 안착부(1131) 측으로부터 이송된 반환 스트립(110b)이 적재되면 빈 매거진(111b)은 제2매거진(111c)이 될 수 있고, 제2클램프 유닛(112b)은 파지한 제2매거진(111c)에 대한 반환 스트립(110b)의 적재가 불가할 때까지 매거진을 파지하는 상태를 유지할 수 있다.The second clamp unit (112b) grips the empty magazine (111b) or the second magazine (111c) partially loaded with the return strip (110b) so that the return strip (110b) from the seating portion (1131) is held by the empty magazine (111c) held by the second clamp unit (112b). 111b) or may be positioned in a ready position to be moved into the
또한, 제2클램프 유닛(112b)은 파지한 매거진(빈 매거진(111b) 또는 제2매거진(111c)) 내로의 반환 스트립(110b)의 적재가 어려워지면(달리 말해, 반환 스트립(110b)으로 모두 채워진 상태 등), 파지하고 있던 제2매거진(111c)을 제3트레이(11c)에 유입시킬 수 있다.In addition, when loading the
또한, 참고로, 제1클램프 유닛(112a)이 준비 위치에 위치하는 상태에서 제2클램프 유닛(112b)이 준비 위치로 이동해야 하는 경우, 제1클램프 유닛(112a)은 준비 위치의 하측으로 이동할 수 있다. 레일 유닛(115)은 제2클램프 유닛(112b)이 준비 위치에 위치할 때, 하측에 제1클램프 유닛(112a)이 위치할 수 있도록 제1트레이(11a) 대비 하측으로 길게 연장 구비될 수 있다. 이에 따라, 같은 레일 유닛(115)을 공유하는 제1클램프 유닛(112a) 및 제2클램프 유닛(112b)이 상호 간섭되지 않고 필요할 때에 준비 위치에 위치되도록 할 수 있다.Also, for reference, if the
또한, 그리퍼(132)는 안착부(1131)에 안착된 반환 스트립(110b)을 빈 매거진(111b) 또는 제2매거진(111c) 측으로 푸시할 수 있다. 그리퍼(132)의 푸시에 의해 안착부(1131)에 안착된 반환 스트립(110b)은 빈 매거진(111b) 또는 제2매거진(111c) 내로 유입될 수 있다.Additionally, the gripper 132 may push the
도 7을 참조하면, 스트립 검사 모듈(113)은 그리퍼(132)가 푸시한 반환 스트립(110b)을 빈 매거진(111b) 또는 제2매거진(111c) 측으로 추가 푸시하는 내측 푸시 유닛(135)을 구비할 수 있다. 예를 들어, 그리퍼(132)의 푸시에 의해 안착부(1131)에 안착된 반환 스트립(110b)이 빈 매거진(111b) 또는 제2매거진(111c) 내로 유입되되, 적어도 일부가 빈 매거진(111b) 또는 제2매거진(111c) 내로 유입되지 못하는 경우, 내측 푸시 유닛(135)이 반환 스트립(110b)의 유입되지 못한 부분을 추가 푸시하여 반환 스트립(110b)을 해당 매거진 내로 온전히 유입시킬 수 있다.Referring to FIG. 7, the
종합하면, 반환 스트립(110b)이 안착부(1131)에 안착되면, 안착부(1131)에 안착된 반환 스트립(110b)은 빈 매거진(111b) 또는 제2매거진(111c) 내로 이송될 필요가 있고, 이러한 경우, 제2클램프 유닛(112b)은 빈 매거진(111b) 또는 제2매거진(111c)을 파지하여 준비 위치에 위치하게 되고, 그리퍼(132)는 안착부(1131)에 안착된 반환 스트립(110b)을 빈 매거진(111b) 또는 제2매거진(111c) 내로 푸시할 수 있으며, 이후, 푸시된 반환 스트립(110b)의 빈 매거진(111b) 또는 제2매거진(111c) 내로 인입되지 못한 나머지 부분을 내측 푸시 유닛(135)이 추가 푸시하여 빈 매거진(111b) 또는 제2매거진(111c) 내로 온전히 인입(이송)할 수 있다.In summary, when the
또한, 제2클램프 유닛(112b)은 제2매거진(111c)을 제3트레이(11c)에 유입시킬 수 있다. 예를 들어, 제2클램프 유닛(112b)은 파지한 제2매거진(111c)에 대한 반환 스트립(110b)의 추가 적재가 어려울 경우, 파지한 제2매거진(111c)을 제3트레이(11c) 측으로 이동시킬 수 있다. 이때, 제2클램프 유닛(112b)은 제3트레이(11c)에 유입시킨 제2매거진(111c)에 타측 방향으로 외력을 가하여 제2매거진(111c)이 제3트레이(11c) 내에 유입된 후, 제3트레이(11c)의 타측부로 이동되게 할 수 있다.Additionally, the
한편, 안착부(1131)는 로딩되는 투입 스트립(110a) 또는 반환 스트립(110b)의 테두리의 적어도 일부를 지지할 수 있다. 예를 들어, 안착부(1131)는 반도체 스트립의 폭 방향으로 간격을 두고 배치되어 반도체 스트립의 폭 방향 일측 테두리 및 폭 방향 타측 테두리 각각을 지지하는 한 쌍의 지지대(1311, 1312)를 포함할 수 있다.Meanwhile, the seating portion 1131 may support at least a portion of the edge of the loaded
또한, 참고로, 안착부(1131)에 안착된 투입 스트립(110a)을 절단 모듈(20)로 이송하는 픽업부는 안착부 상에 로딩되는 투입 스트립(110a)의 상면을 접촉하며 픽업할 수 있다.Also, for reference, the pickup unit that transfers the
또한, 스트립 검사 모듈(113)은 안착부(1131) 상에 로딩되는 투입 스트립(110a)의 상면에 픽업부(미도시)가 접촉될 때 안착부(1131) 상에 로딩되는 투입 스트립(110a)의 테두리를 제외한 부분의 적어도 일부를 하측에서 지지하는 리프트(134)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 리프트(134)는 한 쌍의 지지대(1311, 1312)의 사이에 구비되되, 상면이 안착부(1131)에 안착되는 반도체 스트립의 하면의 적어도 일부와 대향하도록 배치될 수 있다. 또한, 리프트(134)는 상하 방향 이동 가능하며 선택적으로 상측 방향으로 이동하여 투입 스트립(110a)을 하측에서 지지할 수 있다. 이에 따라, 후속 공정의 진행을 위하여 픽업부가 반도체 스트립의 상면에 접촉할 경우, 리프트(134)는 상향 이동하여 반도체 스트립의 하면을 접촉하며 지지할 수 있다. 이에 따르면, 픽업부의 반도체 스트립에 대한 접촉시, 반도체 스트립의 하면 및 상면 각각이 리프트(134) 및 픽업부 각각에 접촉되며 지지될 수 있으므로, 반도체 스트립이 휘지 않도록 픽업부에 픽업될 수 있다. 이와 같은 리프트(134)의 상하 구동을 위해 스트립 검사 모듈(113)은 리프트(134)를 상하 이동시키는 상하 이동 실린더 구조체를 안착부(1131)의 하부에 포함할 수 있다.In addition, the
또한, 내측 푸시 유닛(135)은 상술한 바와 같은 추가 푸시를 위해 상하 이동 및 내외측 방향으로 이동 가능하게 구비될 수 있다. 구체적으로, 내측 푸시 유닛(135)은 안착부(1131)에 안착되는 스트립 대비 낮은 위치에 위치할 수 있고, 그리퍼(132)가 반환 스트립(110b)을 푸시하여 반환 스트립(110b)의 1차 이동이 완료되면, 상향 이동되어 푸시되어 1차 이동된 반환 스트립(110b)의 내측(또는 후방)에 위치할 수 있고, 외측 방향으로 이동하여 푸시된 반환 스트립(110b)을 외측 방향으로 푸시하여 반환 스트립(110b)을 빈 매거진(111b) 또는 제2매거진(111c) 내로 인입시킬 수 있다.Additionally, the
또한, 내측 푸시 유닛(135)의 상하 구동은 상하 이동 실린더 구조체에 의해 이루어질 수 있다. 내측 푸시 유닛(135)은 리프트(134)의 상측 방향으로의 이동과 연동하여 상측 방향으로 이동하여 반환 스트립(110b)을 푸시할 수 있다. 구체적으로, 상하 이동 실린더 구조체에 리프트(134) 및 내측 푸시 유닛(135)이 연결될 수 있고, 상하 이동 실린더 구조체에 의해 리프트(134) 및 내측 푸시 유닛(135)은 연동하여 상하 이동될 수 있다.Additionally, the
또한, 내측 푸시 유닛(135)의 내외측 구동은 실린더부(1351)에 의해 이루어질 수 있는데, 예를 들어, 도 8을 참조하면, 내측 푸시 유닛(135)은 리프트(134)의 외면 상에 구비될 수 있고, 실린더부(1351)는 리프트(134)의 하측에서 내측 푸시 유닛(135)의 하부로부터 내측 방향으로 연장되며 구비되되, 외측 방향으로 길이 연장(증가)이 가능하도록 구비될 수 있다. 이에 따라, 실린더부(1351)가 외측 방향으로 길이가 연장되면 실린더부(1351)의 외측 부분과 연결된 내측 푸시 유닛(135)은 리프트(134)에 대해 상대적으로 외측 방향으로 이동될 수 있다.In addition, the inner and outer driving of the
또한, 도 9를 참조하면, 내측 푸시 유닛(135)이 리프트(134)로부터 외측 방향으로 이동되면 내측 푸시 유닛(135)의 상단의 위치 지점(레벨)은 높아질 수 있다. 예를 들어, 도 8을 참조하면, 내측 푸시 유닛(135)은 리프트(134)의 외면 상에서 상부가 그의 하부보다 외측에 위치하도록 상하 방향에 대해 비스듬하게 구비될 수 있고(초기 상태), 리프트(134)와의 접촉이 해제되면 상하 방향으로 연장 배치 될 수 있고, 내측 푸시 유닛(135)이 리프트(134)로부터 외측 방향으로 이동되면 내측 푸시 유닛(135)의 상단의 위치 지점(레벨)은 리프트(134)의 상면보다 높아질 수 있다(이동 후 상태). 이에 따라, 내측 푸시 유닛(135)의 상단은 내측 푸시 유닛(135)의 외측 방향으로의 이동시 리프트(134) 상에 안착되는 스트립 또는 1차 이동된 반환 스트립(110b)보다 높게 위치할 수 있고, 반환 스트립(110b)과 접촉하며 외측으로 이동될 수 있다.Additionally, referring to FIG. 9 , when the
참고로, 내측 푸시 유닛(135)의 하부와 실린더부(1351)는 연결된 부분을 중심으로 내측 푸시 유닛(135)이 외측 방향으로 소정 이상 회전 가능하도록 힌지 연결될 수 있다. 또한, 내측 푸시 유닛(135)의 하부 중 힌지 연결된 부분을 제외한 다른 부분과 실린더부(1351)의 힌지 연결된 부분을 제외한 다른 부분은 탄성체에 의해 연결될 수 있고, 탄성체는 내측 푸시 유닛(135)의 상기 회전을 제한하는 탄성력을 작용할 수 있다. 이에 따라, 내측 푸시 유닛(135)에 별도의 외력(예를 들어, 탄성체의 탄성력보다 큰 외력)이 작용하지 않는 경우, 내측 푸시 유닛(135)은 상하 방향으로 곧게(예를 들어, 수직) 연장 배치되는 상술한 이동 후 상태를 가질 수 있고, 내측 푸시 유닛(135)이 리프트(134)의 외면과 접촉되어 내측 푸시 유닛(135)의 상부에 리프트(134)에 의한 외측 방향으로의 지지력이 작용하면 내측 푸시 유닛(135)은 상술한 바와 같은 초기 상태를 가질 수 있다.For reference, the lower portion of the
정리하면, 초기 상태 시에, 내측 푸시 유닛(135)은 하부에 작용하는 내측 방향으로의 탄성력 및 상부에 작용하는 리프트(134)의 외측 방향으로의 지지력에 의해 그의 상부가 그의 하부보다 외측에 위치하도록 비스듬하게 구비될 수 있고, 실린더부(1351)의 길이 연장에 따라 외측 방향으로 이동되어 리프트(134)와의 접촉이 해제되어 이동후 상태가 되면 하부에 작용하는 내측 방향으로의 탄성력에 의해 상하 방향으로 연장 배치 됨으로써 초기 상태 시보다 높아진 상단 높이를 갖게 될 수 있으며, 이를 이용해, 스트립과 접촉하며 외측으로 이동될 수 있다.In summary, in the initial state, the upper part of the
또한, 도 10을 참조하면, 스트립 회수부(11)는 제1센서부(155)를 구비할 수 있다. 제1센서부(155)는 내측 푸시 유닛(135)이 푸시하는 반환 스트립(110b)이 빈 매거진(111b) 또는 제2매거진(111c) 내로 완전히 인입되었는지를 감지할 수 있고, 반환 스트립(110b)이 빈 매거진(111b) 또는 제2매거진(111c) 내로 인입 완료되었다고 판단되면 내측 푸시 유닛(135)의 내측 이동이 멈춰지도록 제어할 수 있다.Additionally, referring to Figure 10, the
또한, 도 5를 참조하면, 스트립 회수부(11)는 제2센서부(154)를 구비할 수 있다. 제2센서부(154)는 안착부(1131)에 대한 반도체 스트립의 안착 여부를 감지할 수 있다. 예를 들어, 제2센서부(154)는 한 쌍의 지지대(1311, 1312) 사이 중 안착부(1131)에 안착되는 반도체 스트립의 내측 부분의 하측에 구비될 수 있다. 이에 따라, 제2센서부(154)는 상측에 반도체 스트립의 내측 부분이 있는지의 여부를 감지함으로써, 안착부(1131)에 반도체 스트립이 안착되었는지의 여부를 판단할 수 있다.Additionally, referring to FIG. 5, the
또한, 도 10을 참조하면, 스트립 회수부(11)는 제3센서부(153)를 구비할 수 있다. 제3센서부(153)는 안착부(1131)에 대한 반도체 스트립의 안착 여부를 감지할 수 있다. 예를 들어, 제3센서부(153)는 한 쌍의 지지대(1311, 1312) 사이 중 안착부(1131)에 안착되는 반도체 스트립의 외측 부분의 하측에 구비될 수 있다. 이에 따라, 제3센서부(153)는 상측에 반도체 스트립의 외측 부분이 있는지의 여부를 감지함으로써, 안착부(1131)에 대한 반도체 스트립의 안착 여부를 판단할 수 있다.Additionally, referring to Figure 10, the
또한, 도 10을 참조하면, 스트립 회수부(11)는 제4센서부(151, 152)를 구비할 수 있다. 제4센서부(151, 152)는 안착부(1131)에 대한 반도체 스트립의 안착 여부를 감지할 수 있다. 예를 들어, 제4센서부(151, 152)는 센서 1(151) 및 센서 2(152)를 포함할 수 있는데, 센서 1(151)은 안착부(1131)의 상측에 구비되고 센서 2(152)는 안착부(1131)의 하측에 구비되되, 상호 송수신하는 신호의 경로(1511)(예를 들어, 광 스트림)가 한 쌍의 지지대(1311, 1312) 사이를 지나도록 구비될 수 있다. 예를 들어, 반도체 스트립은 종류에 따라 규격이 다를 수 있는데, 반도체 스트립의 길이가 짧을 경우, 제2센서부(154) 또는 제3센서부(153)에 의한 감지의 정확도가 저하될 수 있다. 이에 대하여, 스트립 회수부(11)는 제4센서부(151, 152)를 구비함으로써, 반도체 스트립의 규격에 관계없이, 반도체 스트립의 안착 여부를 정확하게 감지할 수 있다.Additionally, referring to Figure 10, the
상술한 바에 따르면, 회수해야 할 스트립, 별도의 가공 장치로 이송되어야 하는 스트립 등과 같은 반환 스트립(110b)이 스트립 검사 모듈(113)로부터 제2클램프 유닛(112b)이 파지한 빈 매거진 또는 반환 스트립(110b)이 적재된 매거진으로 이송될 수 있고, 반환 스트립(110b)이 수용되면, 제2클램프 유닛(112b)은 그가 파지한 빈 매거진 또는 회수 반도체 스트립이 적재된 매거진을 제3트레이(11c)로 유입시킬 수 있다. 이에 따라, 반환 스트립(110b)을 자동으로 회수하여 제3트레이(11c)에 별도로 적재할 수 있게 된다.According to the above, the
종합하면, 본 시스템(1)의 투입 모듈(10)의 스트립 회수부(11)는 반도체 스트립의 회수 필요 여부를 판단하고, 회수 필요 여부에 대한 판단 결과에 따라 투입되는 각각의 반도체 스트립이 회수되도록 하거나 반도체 스트립을 절단 모듈(20) 측으로 투입시키도록 동작할 수 있다.In summary, the
이하에서는 투입 모듈(10)의 스마트 정렬부(12)에 대하여 설명하도록 한다.Hereinafter, the smart alignment unit 12 of the
도 11은 본원의 일 실시예에 따른 패키지 절단 및 소팅 시스템의 스마트 정렬부를 나타낸 사시도이다.Figure 11 is a perspective view showing the smart alignment part of the package cutting and sorting system according to an embodiment of the present application.
도 11을 참조하면, 투입 모듈(10)은 스트립 회수부(11)에 의해 회수가 필요한 것으로 판단되지 않은 반도체 스트립을 절단 모듈(20) 측으로 이송하되, 투입되는 반도체 스트립의 투입 위치를 센싱한 결과에 따라 반도체 스트립의 이송 방향을 정렬하는 스마트 정렬부(12)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 11, the
구체적으로 도 11을 참조하면, 스마트 정렬부(12)는 준비된 반도체 스트립이 적재된 매거진으로부터 반출된 후 투입되는 반도체 스트립의 투입 위치를 센싱하는 방향 감지부(121) 및 방향 감지부(121)의 센싱 결과에 따라 미리 설정된 기준 투입 위치에 부합하도록 반도체 스트립의 이송 방향을 변경하는 스트립 조정부(122)를 포함할 수 있다.Specifically, referring to FIG. 11, the smart alignment unit 12 includes a direction detection unit 121 and a direction detection unit 121 that senses the insertion position of the semiconductor strip that is inserted after being taken out from the magazine in which the prepared semiconductor strip is loaded. It may include a strip adjustment unit 122 that changes the transfer direction of the semiconductor strip to match a preset reference insertion position according to the sensing result.
구체적으로 스트립 조정부(122)는 반도체 스트립을 파지할 수 있으며, 미리 설정된 기준 투입 위치과 방향 감지부(121)에 의해 센싱된 실제 투입 위치 간의 편차에 따라 파지된 반도체 스트립을 회전시킬 수 있다.Specifically, the strip adjusting unit 122 can grip the semiconductor strip and rotate the gripped semiconductor strip according to the difference between the preset reference insertion position and the actual insertion position sensed by the direction detection unit 121.
예를 들어, 스마트 정렬부(12)는 스트립 회수부(11)에 의해 회수 필요 여부가 판단되어, 회수가 불필요한 것으로 결정되어 투입되는 반도체 스트립을 파지하여 이송할 수 있는 스트립 픽커 형태의 모듈이되, 반도체 스트립의 투입 위치를 절단 모듈(20)에서의 스트립 커팅에 적합한 방향으로 조정하여 절단 모듈(20) 측으로 제공하거나 스트립 회수부(11)의 안착부(1131)로부터의 반출 시 반도체 스트립에 가해지는 외력 등에 의하여 반도체 스트립이 이송 영역 내에서 비스듬하게 거동하는 현상을 바로잡기 위한 것일 수 있다.For example, the smart alignment unit 12 is a module in the form of a strip picker that can grasp and transfer semiconductor strips that are input after determining whether recovery is necessary by the
예시적으로 방향 감지부(121)는 투입되는 반도체 스트립을 상측에서 바라보도록 배치되고, 반도체 스트립의 상면에 대한 영상을 촬영하도록 구비되는 이미지 센서(미도시)를 포함할 수 있으며, 스트립 조정부(122)는 이미지 센서(미도시)가 반도체 스트립의 상면을 촬영하는 시점에는 반도체 스트립의 상측에 배치되어 있다가, 이미지 센서(미도시)를 통한 영상 획득이 이루어지고 난 후 하측으로 이동하여 투입되는 반도체 스트립을 파지하도록 동작할 수 있다.For example, the direction detection unit 121 may be disposed to view the injected semiconductor strip from above, and may include an image sensor (not shown) provided to take an image of the upper surface of the semiconductor strip, and the strip adjustment unit 122 ) is placed on the upper side of the semiconductor strip when an image sensor (not shown) photographs the upper surface of the semiconductor strip, and then moves to the lower side after the image is acquired through the image sensor (not shown) and the semiconductor strip is injected. It is operable to grip the strip.
한편, 본원의 일 실시예에 따르면, 반도체 스트립에 대하여 미리 설정되는 기준 투입 위치는 투입 모듈(10)로부터 제공되는 반도체 스트립을 절단하기 위한 절단 모듈(20)에서 수행되는 절단 가공의 절단 패턴을 고려하여 설정될 수 있다. 예를 들어, 스트립 조정부(122)는 도 11의 A에 도시된 바와 같이 절단 모듈(20)의 반도체 스트립에 대한 절단 방향을 고려하여, 파지된 반도체 스트립의 길이 방향이 스트립 조정부(122)의 이동을 가이드 하기 위한 가이드부(123)의 연장 방향(즉, 도 11의 2시에서 8시 방향)과 직교하는 방향을 향하도록 조정된 후 절단 모듈(20)로 투입되도록 미리 설정된 기준 투입 위치(이하, 제1기준 방향이라 함)을 기초로 하여 반도체 스트립을 회전시키거나, 도 11의 B에 도시된 바와 같이 절단 모듈(20)의 반도체 스트립에 대한 절단 방향을 고려하여 파지된, 반도체 스트립의 길이 방향이 가이드부(123)의 연장 방향과 평행하는 방향을 향하도록 조정된 후 절단 모듈(20)로 투입되도록 미리 설정된 기준 투입 위치(이하, 제2기준 방향이라 함)을 기초로 하여 반도체 스트립을 회전시키는 것일 수 있다.Meanwhile, according to an embodiment of the present application, the reference insertion position preset for the semiconductor strip takes into account the cutting pattern of the cutting process performed in the cutting module 20 for cutting the semiconductor strip provided from the
한편, 본원의 일 실시예에 따르면, 스마트 정렬부(12)는 제1기준 방향에 따라 투입되는 반도체 스트립을 회전시키는 제1정렬 모듈 및 제2기준 방향에 따라 투입되는 반도체 스트립을 회전시키는 제2정렬 모듈을 별도로 구비(달리 말해, 도 11에 A에 도시된 정렬 모듈과 도 11의 B에 도시된 정렬 모듈이 독립적으로 마련되어 개별 구동하는 형태)하는 것일 수 있으나, 이에만 한정되는 것은 아니다. 다른 예로, 스마트 정렬부(12)는 방향 감지부(121) 및 스트립 조정부(122)를 구비하는 단일 정렬 모듈이 제1기준 방향 또는 제2기준 방향에 대응하여 가변적으로 반도체 스트립을 회전시키도록 구현(달리 말해, 단일 정렬 모듈이 도 11의 A에 도시된 방향 또는 도 11의 B에 도시된 방향으로 반도체 스트립을 가변적으로 회전시키도록 구현)될 수 있다.Meanwhile, according to an embodiment of the present application, the smart alignment unit 12 includes a first alignment module that rotates the semiconductor strip inputted according to the first reference direction and a second alignment module that rotates the semiconductor strip inputted according to the second reference direction. The alignment module may be provided separately (in other words, the alignment module shown in A in FIG. 11 and the alignment module shown in B in FIG. 11 are provided independently and driven individually), but is not limited to this. As another example, the smart alignment unit 12 is implemented so that a single alignment module including the direction detection unit 121 and the strip adjustment unit 122 variably rotates the semiconductor strip in response to the first reference direction or the second reference direction. (In other words, a single alignment module may be implemented to variably rotate the semiconductor strip in the direction shown in A of FIG. 11 or the direction shown in B of FIG. 11).
또한, 절단 모듈(20)은 블레이드 장착부(미도시)를 구비하는 커팅 어셈블리를 포함하며, 커팅 어셈블리는 투입 모듈(10)로부터 제공된 반도체 스트립으로부터 패키지를 커팅하여 복수의 패키지로 분할할 수 있으며, 세척 모듈(30)은 절단 모듈(20)에 의해 커팅된 복수의 패키지에 대하여 세척 공정을 수행할 수 있다.In addition, the cutting module 20 includes a cutting assembly having a blade mounting portion (not shown), and the cutting assembly can cut the package from the semiconductor strip provided from the
이하에서는 도 12 및 도 13을 참조하여 건조 모듈(40)에 대해 설명한다.Hereinafter, the drying
도 12 및 도 13은 본원의 일 실시예에 따른 패키지 절단 및 소팅 시스템의 건조 모듈을 설명하기 위한 도면이다.12 and 13 are diagrams for explaining the drying module of the package cutting and sorting system according to an embodiment of the present application.
참고로, 이하의 건조 모듈(40)의 설명과 관련하여, 방향이나 위치와 관련된 용어(상측, 하측, 전방, 후방 등)는 도 12 및 도 13에 나타나 있는 각 구성의 배치 상태를 기준으로 설정한 것이다. 예를 들면, 도 12에 도시된 사항을 기준으로 하여 전반적으로 12시 방향이 상측, 전반적으로 6시 방향이 하측, 전반적으로 8시 방향이 전방, 전반적으로 2시 방향이 후방, 4시에서 10시 방향이 길이 방향 등이 될 수 있다.For reference, in relation to the description of the drying
도 12 및 도 13을 참조하면, 건조 모듈(40)은 적재부(41)를 포함할 수 있다. 적재부(41)는 패키지가 적재되는 수용 상태 및 상측 방향으로 건조 기류를 형성하는 건조 상태가 가능하다. 다시 말해, 적재부(41)는 패키지가 적재되는 수용 상태를 갖거나, 또는 상측 방향으로 건조 기류를 형성하는 건조 상태를 가질 수 있다. 여기서, 적재부(41)의 수용 상태라는 것은 적재부(41)에 패키지가 적재되어 있는 상태를 의미할 수 있다.Referring to FIGS. 12 and 13 , the drying
구체적으로, 적재부(41)는 패키지가 적재되며 상하 방향 이동이 가능할 수 있다. 적재부(41)에 적재되는 복수의 패키지는 세척 모듈(30)에 의한 세척 공정을 거친 것일 수 있다. 달리 말해, 적재부(41)에는 세척 공정을 거쳐 세척 모듈(30)로부터 옮겨진 패키지가 적재될 수 있다. 또한, 패키지는 상면이 상측으로 노출되도록 적재부(41)에 적재될 수 있다. 적재부(41)는 패키지를 진공 흡착할 수 있다. 예를 들어, 패키지는 하면이 적재부(41)의 상면과 접촉되도록 적재부(41)에 안착될 수 있다. 예를 들어 패키지는 복수 개가 n행×m열로 적재부(41)에 배열될 수 있다.Specifically, the
또한, 도 12 및 도 13을 참조하면, 건조 모듈(40)은 플립부(42)를 포함할 수 있다. 플립부(42)는 적재부(41) 상에서 이동하며 하측 방향으로 건조 기류를 형성하여 적재부(41)에 적재되는 패키지의 상면을 건조시키는 건조 모드 및 적재부(41)에 적재되는 패키지를 픽업하여 적재부(41) 상에서 이동하는 픽업 모드의 제공이 가능하도록 구비될 수 있다.Additionally, referring to FIGS. 12 and 13 , the drying
또한, 도 12 및 도 13을 참조하면, 건조 모듈(40)은 적재부(41)와 플립부(42) 사이에 개재되고, 건조 기류를 배출하는 슬릿이 형성된 에어 나이프부(43)를 포함할 수 있다. 도 12 및 도 13을 참조하면, 에어 나이프부(43)는 건조 기류를 상측 방향을 향하여 배출하도록 적재부(41)에 대하여 배치되는 제1에어 나이프부(431) 및 건조 기류를 하측 방향을 향하여 배출하도록 플립부(42)에 대하여 배치되는 제2에어 나이프부(432)를 포함할 수 있다. 이와 관련하여 제1에어 나이프부(431)는 하측 에어 나이프(Bottom Air Knife)로, 제2에어 나이프부(432)는 상측 에어 나이프(Top Air Knife)로 달리 지칭될 수 있다.In addition, referring to FIGS. 12 and 13, the drying
이와 관련하여 적재부(41)의 건조 상태라 함은, 적재부(41)에 대하여 배치되는 제1에어 나이프부(431)가 상측 방향으로 기체를 배출하여 건조 기류를 형성하는 것을 의미할 수 있다. 예를 들어, 상측 방향은 수직 방향에서 좌측으로 소정 각도 기울어진 방향(대략 10시에서 11시 방향)을 포함하는 각도 범위일 수 있다. 이에 따라, 형성되는 건조 기류는 상측 방향뿐만 아니라 공간 내에서 다양한 방향으로 전파(전달)될 수 있다.In this regard, the dry state of the
구체적으로, 적재부(41)에 대하여 배치되는 제1에어 나이프부(431)는 상측 방향으로의 건조 기류를 형성할 수 있다. 예를 들어, 제1에어 나이프부(431)는 상측 방향으로 기체를 배출함으로써 공간 상에서 다양한 방향으로 전파되는 건조 기류를 형성할 수 있다. 예시적으로, 제1에어 나이프부(431)는 기체(건조 기류)를 배출하는 슬릿이 적재부(41)의 길이 방향을 따라 형성될 수 있다. 또한, 제1에어 나이프부(431)는 적재부(41)의 길이 방향을 따라 형성되는 슬릿을 구비함으로써, 건조 기류가 적재부(41)의 길이 방향에 대응되게 형성되도록 할 수 있다. 또한, 본원의 일 실시예에 따르면, 제1에어 나이프부(431)는 적재부(41)의 측면에서 상하방향으로 승강하거나 회전 거동하여 건조 기류를 다양한 방향으로 형성할 수 있다.Specifically, the first
구체적으로, 플립부(42)는 회전 가능하도록 구비되는 픽업부(421)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 픽업부(415)는 상면이 하측을 향하도록 회전될 수 있으며, 픽업부(421)는 전후 방향으로의 거동이 가능하게 구비될 수 있다. 이러한 픽업부(421)는 패키지를 흡착하여 픽업할 수 있으며, 예를 들어 픽업부(421)는 패키지가 흡착되는 상면이 하측을 향하도록 회전된 후, 전방 이동을 통해 적재부(41)의 상측으로 이동되어 적재부(41)에 적재된 패키지를 흡착하여 픽업할 수 있다. 또한, 픽업부(421)는 패키지를 픽업한 상태로 전후 방향 이동함으로써 픽업 모드를 수행할 수 있다. 또한, 픽업부(421)의 전후 방향 이동은 제2에어 나이프부(432)의 전후 방향 이동과 연동될 수 있다. 또한, 픽업부(421)의 회전은 제2에어 나이프부(432)와는 별개로 독립적으로 이루어질 수 있다. 플립부(42)는 픽업부(421)와 제2에어 나이프부(432)의 이러한 구동이 이루어지도록 픽업부(421)를 회전시킬 수 있고, 픽업부(421)와 제2에어 나이프부(432)를 전후 방향 이동시킬 수 있는 지그 유닛(422)을 포함할 수 있다.Specifically, the
보다 구체적으로, 픽업부(421)는 길이 방향이 적재부(41)의 길이 방향과 대응하도록 적재부(41)의 후방에 위치할 수 있다. 이에 따라, 픽업부(421)는 길이 방향으로의 이동 없이 전후 방향으로의 이동만으로도 적재부(41) 상으로 이동하여 적재부(41)에 적재된 패키지를 픽업할 수 있다. 다시 말해, 픽업부(421)는 길이 방향이 적재부(41)의 길이 방향과 대응하도록 적재부(41)의 후방에 위치됨으로써, 적재부(41) 상의 패키지를 픽업하기 위해 이동하는 이동 동선 및 적재부(41) 상에서의 전후 방향 이동 동선을 간명화할 수 있다.More specifically, the
또한, 플립부(42)는 제2에어 나이프부(432)를 포함할 수 있다. 제2에어 나이프부(432)는 픽업부(421)와 적재부(41) 사이에서 픽업부(421)의 길이 방향을 따라 구비되어 하측 방향으로 건조 기류를 형성할 수 있다. 예를 들어, 하측 방향은 하측 수직 방향에서 우측으로 소정 각도 기울어진 방향(약 5시 방향)을 포함하는 각도 범위일 수 있다. 예를 들어, 제2에어 나이프부(432)는 하측 방향으로 기체를 배출함으로써 공간 상에서 다양한 방향으로 전파되는 건조 기류를 형성할 수 있다. 예시적으로, 제2에어 나이프부(432)는 기체(건조 기류)를 배출하는 슬릿이 플립부(42)의 길이 방향을 따라 형성될 수 있다. 또한, 제2에어 나이프부(432)는 플립부(42)의 길이 방향을 따라 형성되는 슬릿을 구비함으로써, 건조 기류가 플립부(42)의 길이 방향에 대응되게 형성되도록 할 수 있다. 또한, 본원의 일 실시예에 따르면, 제2에어 나이프부(432)는 플립부(42)의 측면에서 상하방향으로 승강하거나 회전 거동하여 건조 기류를 다양한 방향으로 형성할 수 있다. 또한, 제2에어 나이프부(432)는 전후 방향으로 이동할 수 있다. 예를 들어, 제2에어 나이프부(432)는 픽업부(421)에 연결 구비될 수 있고, 이에 따라, 제2에어 나이프부(432)는 픽업부(421)의 전후 방향 이동과 연동되어 전후 방향으로 이동할 수 있다.Additionally, the
이와 같이, 본원의 일 실시예에 따르면, 패키지가 적재부(41)에 적재되었을 때 플립부(42)의 제2에어 나이프부(432)가 적재부(41) 상에서 이동하며 하측 방향으로 건조 기류를 형성함으로써 패키지의 상면을 포함하는 부분이 기류에 의해 건조될 수 있고, 패키지가 플립부(42)에 의해 픽업된 상태로 적재부(41) 상에서 이동될 때 적재부(41)에 대하여 배치되는 제1에어 나이프부(431)가 상측 방향으로 건조 기류를 형성함으로써 패키지의 하면을 포함하는 부분이 기류에 의해 건조될 수 있다. 이에 따라, 패키지 상면뿐만 아니라 하면까지 건조 기류에 의해 건조될 수 있으므로, 열에 의해 패키지의 수분을 제거하는 종래기술과 달리 패키지에 얼룩이 남는 현상이 방지될 수 있다. 또한, 패키지의 상면 및 하면을 모두 건조함으로써, 패키지의 최상의 건조 상태를 유지하고, 패키지의 건조 효율을 높일 수 있다As such, according to an embodiment of the present application, when the package is loaded on the
한편, 본원의 일 실시예에 따르면, 건조 모듈(40)은 적재부(41)에 대하여 설정되는 기준 위치와 플립부(42)에 대하여 설정되는 기준 위치 간의 거리 정보(예를 들면, 전후 방향을 기준으로 한 적재부(41)와 플립부(42)의 간격 등), 플립부(42)의 회전 상태 정보 등을 기초로 하여 제1에어 나이프부(431) 및/또는 제2에어 나이프부(432)의 건조 기류 배출 방향(달리 말해, 슬릿의 개구 방향)이 패키지가 위치하는 영역을 향하도록 조정하기 위하여 제1에어 나이프부(431) 및/또는 제2에어 나이프부(432)를 제어하는 기류 방향 조정 수단(미도시)을 구비할 수 있다.Meanwhile, according to an embodiment of the present application, the drying
상술한 바에 따르면, 건조 모듈(40)은 이하와 같은 프로세스로 건조 공정을 수행할 수 있다.According to the above, the drying
먼저, 적재부(41) 및 제1에어 나이프부(431)는 세척 모듈(30)로부터 전달되는 패키지가 적재되면, 하측으로 이동하여 제1소정 시간 동안 픽업부(421) 및 제2에어 나이프부(432)보다 낮은 위치에서 패키지를 적재하고 있음으로써 수용 상태를 가질 수 있고, 제2에어 나이프부(432)는 제1소정 시간 동안 적재부(41) 상에서 하측 방향으로의 건조 기류를 형성하며 전후 방향으로 이동함으로써 건조 모드를 수행할 수 있다. 이에 따라, 패키지의 상면의 적어도 일부를 포함하는 부분은 기류에 의해 건조될 수 있다.First, when the package delivered from the cleaning module 30 is loaded, the
제1소정 시간 이후, 픽업부(421)는 적재부(41) 상으로 이동하여 적재부(41)에 적재된 패키지를 픽업할 수 있고, 패키지를 픽업한 상태로 제2소정 시간 동안 제1에어 나이프부(431) 상에서 전후 방향으로 이동함으로써 픽업 모드를 수행할 수 있다. 이를 위해, 픽업부(421)는 패키지를 픽업하기 전에 상면이 하측을 향하도록 회전하여 적재부(41) 상의 패키지를 픽업할 수 있다. 이에 따르면, 패키지가 하면(하부)이 하측으로 노출된 상태로 제1에어 나이프부(431) 상에서 전후 방향으로 왕복 이동될 수 있다. 또한, 제2소정 시간 동안 제1에어 나이프부(431)는 상측 방향으로 건조 기류를 형성함으로써 건조 상태가 될 수 있다. 이에 따르면 제2소정 시간 동안 패키지가 하면이 하측으로 노출된 상태로 제1에어 나이프부(431)가 형성하는 건조 기류 상에서 전후 방향으로 왕복 이동될 수 있으므로, 패키지의 하면의 적어도 일부를 포함하는 부분은 기류에 의해 건조될 수 있다.After the first predetermined time, the
제2소정 시간 이후, 픽업부(421)는 파지했던 패키지를 적재부(41)에 재위치(재적재)할 수 있다. 패키지의 재위치 과정 또한, 패키지의 흡착 과정과 유사하게 픽업부(421)가 적재부(41) 상에 위치할 때, 적재부(41)가 상측 방향으로 이동되거나 픽업부(4221)가 하측 방향으로 이동되는 과정이 이루어질 수 있다. 참고로, 제1소정 시간은 건조 기류에 의해 패키지의 상면의 적어도 일부를 포함하는 부분이 건조될 수 있는 시간을 의미할 수 있으며, 보다 바람직하게는 상면 전체를 포함하는 부분이 건조될 수 있는 시간일 수 있다. 또한, 제2소정 시간은 건조 기류에 의해 패키지의 하면의 적어도 일부를 포함하는 부분이 건조될 수 있는 시간을 의미할 수 있으며, 보다 바람직하게는 하면 전체를 포함하는 부분이 건조될 수 있는 시간일 수 있다.After the second predetermined time, the
패키지가 적재부(41)에 재위치 되면, 픽업부(421) 및 픽업부(421)에 연결 구비된 제2에어 나이프부(432)는 초기 위치, 즉, 적재부(41) 및 제1에어 나이프부(431)의 후방으로 이동될 수 있고, 적재부(41) 및 적재부(41)에 연결 구비된 제1에어 나이프부(431)는 상향 이동되어 초기 위치, 즉, 적재부(41)와 같은 레벨(높이)의 위치로 복귀될 수 있다.When the package is repositioned in the
이와 같이, 패키지에 대한 건조 공정이 완료되면, 패키지는 후속 공정을 위해 제1픽커 모듈(50)에 의해 테이블(60)로 옮겨질 수 있다.In this way, when the drying process for the package is completed, the package can be moved to the table 60 by the first picker module 50 for subsequent processing.
상술한 바에 따르면, 패키지가 적재부(41)에 적재되었을 때 플립부(42)가 적재부(41) 상에서 이동하며 하측 방향으로 건조 기류를 형성함으로써 패키지의 상면을 포함하는 부분이 기류에 의해 건조될 수 있고, 패키지가 플립부(42)에 의해 픽업된 상태로 적재부(41) 상에서 이동될 때 적재부(41)가 상측 방향으로 건조 기류를 형성함으로써 패키지의 하면을 포함하는 부분이 기류에 의해 건조될 수 있다. 이에 따라, 패키지 상면뿐만 아니라 하면까지 건조 기류에 의해 건조될 수 있으므로, 패키지에 얼룩이 남는 현상이 방지될 수 있다.According to the above-mentioned, when the package is loaded on the
또한, 상술한 바에 따르면, 패키지가 적재부(41)에 적재되었을 때 플립부(42)가 적재부(41) 상에서 이동하며 하측 방향으로 건조 기류를 형성함으로써 패키지의 상면을 포함하는 부분이 기류에 의해 건조될 수 있고, 패키지가 플립부(42)에 의해 픽업된 상태로 적재부(41) 상에서 이동될 때 적재부(41)가 상측 방향으로 건조 기류를 형성함으로써 패키지의 상면 및 하면을 모두 건조함으로써, 패키지의 최상의 건조 상태를 유지하고, 패키지의 건조 효율을 높일 수 있다.In addition, according to the above-mentioned, when the package is loaded on the
또한, 이하에서는 테이블(60)에 대해 설명한다.Additionally, the table 60 will be described below.
참고로, 본 시스템(1)은 복수개의 패키지들이 형성된 반도체 스트립에서 개별 패키지로 절단하는 절단공정, 절단공정에서 절단된 패키지를 세척하는 세척공정, 세척공정에서 세척된 패키지를 건조하는 건조공정, 건조가 완료된 패키지의 불량 여부를 검사하는 패키지 검사공정 및 검사 결과에 따라 불량 여부 검사를 통과한 패키지와 통과하지 못한 패키지를 분류하는 오프로드 공정 등을 순차적으로 수행하여 반도체 자재에서 검사 완료된 개별 패키지가 제조될 수 있다. 본원의 일 실시예에 따른 테이블(60)은 전술한 바와 같이 패키지를 패키지 단위 별로 절단, 세척, 건조, 검사 및 분류시키는 작업을 수행하는 패키지 제조 장치에서, 개별 절단된 패키지를 안정적으로 진공 흡착하여 고정시켜 안착시킬 수 있는 테이블(60)에 관한 것으로, 패키지 제조 장치에서 건조공정을 마친 개발 절단된 패키지 복수개가 그리드 피커(Grid Picker)로 이송되어 본원의 일 실시예에 따른 테이블(60)에 안착될 수 있다.For reference, this system (1) includes a cutting process of cutting a semiconductor strip in which a plurality of packages are formed into individual packages, a cleaning process of cleaning the package cut in the cutting process, a drying process of drying the package cleaned in the washing process, and drying. Individual packages that have been inspected are manufactured from semiconductor materials by sequentially performing the package inspection process to check whether the completed package is defective and the off-load process to classify the package that passed the defect inspection and the package that did not pass the inspection result. It can be. As described above, the table 60 according to an embodiment of the present application is a package manufacturing device that performs the work of cutting, washing, drying, inspecting, and sorting packages by package unit, and stably vacuum-adsorbs individually cut packages. It relates to a table 60 that can be fixed and seated, and a plurality of developed cut packages that have completed the drying process in a package manufacturing device are transferred to a grid picker and seated on the table 60 according to an embodiment of the present application. It can be.
또한, 본 시스템의 테이블(60)은 패키지를 건조공정 후 검사위치로 반송하는 테이블로 사용되지만, 이에만 한정된 것은 아니며 개별화된 패키지가 건조되는 건조 테이블, 개별 패키지에 소정의 처리를 수행하기 위해 패키지가 일시적으로 안착되는 모든 안착용 테이블에 동일하거나 유사하게 적용할 수 있다.In addition, the table 60 of this system is used as a table to return the package to the inspection position after the drying process, but is not limited to this, and is a drying table for drying individualized packages, and a table for performing predetermined processing on individual packages. It can be applied equally or similarly to all seating tables where it is temporarily seated.
본원의 일 실시예에 따르면, 제2픽커 모듈(70)은 대상체(패키지)를 픽업하여 특정 위치에 플레이싱할 수 있다. 예를 들어, 대상체는 반도체 칩 등과 같은 전자 소자의 칩, 전자 소자의 패키지일 수 있다. 또한, 제2픽커 모듈(70)은 패키지가 부착된 필름으로부터 패키지를 분리할 수 있다. 이를 테면, 반도체 패키지의 제조 과정에서, 반도체 패키지는 링 형태의 프레임의 외주면에 부착된 필름으로부터 분리(탈거)될 필요가 있는데, 제2픽커 모듈(70)은 이러한 공정에 적용될 수 있다. 참고로, 이하에서 링은 필름이 부착된 링 형상의 프레임을 의미할 수 있다.According to an embodiment of the present application, the second picker module 70 can pick up an object (package) and place it at a specific location. For example, the object may be a chip of an electronic device, such as a semiconductor chip, or a package of an electronic device. Additionally, the second picker module 70 can separate the package from the film to which the package is attached. For example, in the process of manufacturing a semiconductor package, the semiconductor package needs to be separated (removed) from the film attached to the outer peripheral surface of the ring-shaped frame, and the second picker module 70 can be applied to this process. For reference, hereinafter, ring may refer to a ring-shaped frame to which a film is attached.
다만, 본 픽커가 픽업 및 플레이싱 하는 대상체는 상술한 바에 한정되지 않으며, 본 픽커는 다양한 물체를 픽업 및 플레이싱하는데 이용될 수 있다.However, the objects that this picker picks up and places are not limited to the above, and this picker can be used to pick up and place a variety of objects.
제2픽커 모듈(70)은 패키지를 픽업 가능한 픽커(미도시)를 적어도 하나 이상 구비할 수 있다. 또한, 제2픽커 모듈(70)에 있어서 복수 개의 픽커는 개별적으로 구동될 수 있다. 또한, 복수 개의 진공 생성부(미도시)는 개별적으로 구동될 수 있다. 예를 들어, 복수 개의 픽커 중 하나 이상이 파지할 때, 다른 픽커는 파지하지 않는 상태일 수 있는데, 이때, 파지하는 픽커와 연결된 진공 생성부(미도시)는 파지 상태일 수 있고, 파지하지 않는 상태의 다른 픽커와 연결된 진공 생성부(미도시)는 파지 해제 상태를 갖거나, 파지상태도 아니고 파지 해제 상태도 아닌 상태일 수 있다. The second picker module 70 may include at least one picker (not shown) capable of picking up a package. Additionally, in the second picker module 70, a plurality of pickers may be driven individually. Additionally, a plurality of vacuum generators (not shown) may be driven individually. For example, when one or more of the plurality of pickers is gripped, the other pickers may be in a state where they are not gripped. In this case, the vacuum generator (not shown) connected to the picker that is gripped may be in a grip state, and the vacuum generator (not shown) connected to the picker that is gripped may be in a state that is not gripped. The vacuum generator (not shown) connected to another picker in the state may have a grip release state, or may be neither in the grip state nor in the grip release state.
또한, 이하에서는 분류 모듈(90)에 대해 설명하며, 먼저 도 14 및 도 15를 참조하여 리젝트 빈(92)을 이용한 패키지 적재 방식에 대하여 설명하고, 도 16 및 도 17을 참조하여 트레이(91)를 이용한 패키지 적재 방식에 대하여 설명하도록 한다.In addition, the classification module 90 will be described below. First, the package loading method using the
본원에서 개시하는 분류 모듈(90)은 검사 모듈(80)에 의한 검사 결과에 따라 복수의 패키지 각각이 수용되는 수용 공간을 구비할 수 있다. 이와 관련하여 제2픽커 모듈(80)은 검사 모듈(80)에 의한 검사 결과에 기초하여 파지한 복수의 패키지 각각을 분류 모듈(90)에 형성된 수용 공간으로 이송할 수 있다.The classification module 90 disclosed herein may be provided with a receiving space in which each of a plurality of packages is accommodated according to the results of the inspection by the inspection module 80. In this regard, the second picker module 80 may transfer each of the plurality of packages held based on the inspection results by the inspection module 80 to the receiving space formed in the classification module 90.
구체적으로 검사 모듈(80)은 제2픽커 모듈(80)이 파지하는 복수의 패키지 각각을 정상 패키지 또는 불량 패키지로 분류하는 불량 유무 정보 및 불량 패키지로 분류된 패키지의 불량 유형에 대한 분류 유형 정보를 검사 결과로서 도출할 수 있다. 달리 말해, 검사 모듈(80)은 각 패키지를 정상 패키지 또는 불량 패키지로 분류하는 검사를 수행할 뿐만 아니라, 불량 패키지로 분류된 패키지의 불량 유형을 판단하는 기능까지 제공할 수 있다. 예시적으로 불량 유형 정보는 오염, 치수(사이즈) 불량, 볼 부착 불량 등을 포함할 수 있으나, 이에만 한정되는 것은 아니고, 본원의 구현예에 따라서 다양한 유형으로 설정될 수 있으며, 본원에서 개시하는 분류 모듈(90)에 구비되는 수용 공간은 불량 유무 정보 및 감지된 불량에 대한 분류 유형 정보에 따른 복수의 수용 공간을 포함할 수 있다.Specifically, the inspection module 80 provides information on the presence or absence of defects that classifies each of the plurality of packages held by the second picker module 80 as a normal package or a defective package, and classification type information on the defect type of the package classified as a defective package. It can be derived as a test result. In other words, the inspection module 80 not only performs an inspection to classify each package as a normal package or a defective package, but also provides a function to determine the defect type of the package classified as a defective package. By way of example, the defect type information may include contamination, dimension (size) defect, ball attachment defect, etc., but is not limited thereto, and may be set to various types according to implementation examples of the present application, and disclosed herein The accommodation space provided in the classification module 90 may include a plurality of accommodation spaces according to defect presence information and classification type information for the detected defect.
도 14 및 도 15는 본원의 일 실시예에 따른 패키지 절단 및 소팅 시스템의 분류 모듈의 리젝트 빈을 나타낸 도면이다.14 and 15 are diagrams showing a reject bin of a classification module of a package cutting and sorting system according to an embodiment of the present application.
도 14 및 도 15를 참조하면, 리젝트 빈(92)은 복수의 수용 공간을 구획 형성할 수 있다. 예시적으로 도 14 및 도 15는 4개의 수용 공간(92a, 92b, 92c, 92d)를 구획 형성하도록 설계된 리젝트 빈(Reject bin)을 나타낸 것이나, 리젝트 빈(92)에 형성되는 수용 공간의 개수 및 각각의 수용 공간의 규격(면적, 높이 등), 형상 등은 본원의 구현예에 따라서 다양하게 설정될 수 있음은 물론이다.Referring to FIGS. 14 and 15 , the
한편, 본원의 일 실시예에 따르면, 리젝트 빈(92)에 형성된 복수의 수용 공간 각각은 불량 패키지의 결함 유형 각각에 대응하는 것일 수 있으나, 이에만 한정되는 것은 아니고, 본원의 구현예에 따라서는 리젝트 빈(92)의 복수의 수용 공간 중 일부는 정상 패키지를 적재하기 위한 공간으로 활용되고, 나머지 수용 공간을 각각의 결함 유형에 대응하는 적재 공간으로 활용하는 형태 역시 적용될 수 있음은 물론이다. 예시적으로 도 14 및 도 15에 도시된 4개의 수용 공간 중 부피가 가장 큰 네 번째 수용 공간(92d)은 정상 패키지를 적재하기 위한 적재 공간이고, 상대적으로 작은 부피를 갖는 나머지 세 개의 수용 공간(92a, 92b, 92c) 각각이 개별 결함 유형에 대응하는 불량 패키지를 수용하도록 운용되는 것일 수 있다.Meanwhile, according to an embodiment of the present application, each of the plurality of accommodation spaces formed in the
또 다른 예로, 분류 모듈(90)은 정상 패키지는 후술하는 트레이(91)에 형성되는 수용 공간에 안착되도록 하고, 불량 패키지는 리젝트 빈(92)의 구획된 수용 공간 각각에 분류 유형 정보에 따라 구분되어 적재되도록 하는 것일 수 있다.As another example, the classification module 90 ensures that normal packages are seated in the receiving space formed in the tray 91, which will be described later, and defective packages are placed in each partitioned receiving space of the
한편, 도 15를 참조하면, 리젝트 빈(92)은 각각의 수용 공간을 형성하는 함체를 선택적으로 분리하도록 구비되는 개별 분리부(922) 및 수용 공간을 전체적으로 형성하는 몸체를 일괄 분리하도록 구비되는 전체 분리부(921)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 본 시스템(1)의 관리자 또는 작업자가 전체 분리부(921) 또는 개별 분리부(922)를 이용하여 각 수용 공간 또는 리젝트 빈(92) 전체에 적재된 불량 패키지를 비우는 작업이 이루어지는 것이거나 별도의 리젝트 빈 픽커 모듈(미도시)이 전체 분리부(921) 또는 개별 분리부(922)를 파지하여 불량 패키지를 별도의 공간으로 이송하는 작업이 이루어지는 것일 수 있다.Meanwhile, referring to FIG. 15, the
한편, 본원의 일 실시예에 따르면, 제2픽커 모듈(70)은 파지한 복수의 패키지 각각에 대한 불량 유무 정보 및 분류 유형 정보를 검사 모듈(80)로부터 획득하고, 리젝트 빈(92)의 상측 영역으로 이동한 후, 파지된 각 패키지의 파지 위치 정보 및 리젝트 빈(92)을 이루는 구획된 수용 공간 각각의 안착 위치 정보를 매칭한 결과에 따라, 해당 수용 공간에 대하여 지정된 불량 유무 정보 및 분류 유형 정보에 대응하는 패키지에 대한 파지 상태를 선택적으로 해제함으로써 각 패키지가 불량 유무 정보 및 분류 유형 정보에 따라 미리 지정된 수용 공간으로 적재(안착)되도록 할 수 있다.Meanwhile, according to an embodiment of the present application, the second picker module 70 obtains defect information and classification type information for each of the plurality of grasped packages from the inspection module 80, and selects the
또한, 본원의 일 실시예에 따르면, 제2픽커 모듈(70)은 파지한 복수의 패키지 각각에 대하여 판단된 불량 유무 정보 및 분류 유형 정보에 따라 분류 모듈(90)에 구비되는 각 수용 공간에 대한 이동 순서를 결정할 수 있다.In addition, according to an embodiment of the present application, the second picker module 70 selects each receiving space provided in the classification module 90 according to the defect information and classification type information determined for each of the plurality of packages held. You can decide the movement order.
예를 들어, 정상 패키지는 후술하는 트레이(91)에 대하여 적재(안착)되고, 불량 패키지가 리젝트 빈(92)에 형성된 각각의 수용 공간에 분류 유형 정보에 따라 적재(안착)되도록 분류 모듈(90)이 운용되는 상태에서, 검사 모듈(80)에 의해 제2픽커 모듈(70)이 현재 파지한 복수의 패키지가 모두 정상 패키지인 것으로 판단되는 경우, 제2픽커 모듈(70)은 트레이(91) 측으로만 이동하여 전체 패키지를 적재(안착)하는 동작을 수행한 후, 리젝트 빈(92) 측으로는 이동하지 않고, 다음 패키지들을 재차 파지하도록 거동하는 것일 수 있다. 또 다른 예로, 정상 패키지로 분류된 패키지의 수와 불량 패키지로 분류된 패키지의 수의 대소 관계에 따라 트레이(91) 또는 리젝트 빈(92)으로 제2픽커 모듈(70)이 우선적으로 이동하거나, 서로 다른 분류 유형 정보에 대응하는 복수의 불량 패키지가 파지된 상태에서 파지한 개수가 상대적으로 많은 분류 유형 정보에 대응하는 리젝트 빈(92)의 수용 공간을 향하여 제2픽커 모듈(70)이 우선적으로 이동하는 등의 패키지 각각에 대한 적재(안착) 순서가 본원의 구현예에 따라서 다양하게 가변 적용될 수 있다.For example, normal packages are loaded (seated) on the tray 91, which will be described later, and defective packages are loaded (seated) in each receiving space formed in the
도 16 및 도 17은 본원의 일 실시예에 따른 패키지 절단 및 소팅 시스템의 분류 모듈의 트레이를 이용한 패키지 적재 방식을 설명하기 위한 도면이다.Figures 16 and 17 are diagrams for explaining a package loading method using a tray of a classification module of a package cutting and sorting system according to an embodiment of the present application.
도 1, 도 16 및 도 17을 참조하면, 분류 모듈(90)은 검사 완료된 패키지가 적재되는 트레이(91)를 구비할 수 있다. 구체적으로, 트레이(91)는 복수 개의 트레이 각각이 적재되도록 복수개로 구비될 수 있다. 예시적으로, 복수개의 트레이(91)는 제1트레이(91a), 제2트레이(91b) 및 제3트레이(91c)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 제1트레이(91a) 내지 제3트레이(91c) 중 두 개에는 양품 판정 받은 패키지가 플레이싱되는 트레이가 안착되고, 나머지 하나에는 불량 판정 받은 패키지가 플레이싱되는 트레이가 안착될 수 있다. 예를 들어, 제1트레이(91a)에 배치되는 트레이에는 양품 판정 받은 패키지가 플레이싱될 수 있고, 제2트레이(91b)에 배치되는 트레이에는 양품 판정 받은 패키지가 플레이싱될 수 있으며, 제3트레이(91c)에 배치되는 트레이에는 불량 판정 받은 패키지가 플레이싱될 수 있다.Referring to FIGS. 1, 16, and 17, the classification module 90 may be provided with a tray 91 on which inspected packages are loaded. Specifically, the trays 91 may be provided in plural numbers so that each tray can be stacked. Illustratively, the plurality of trays 91 may include a first tray 91a, a second tray 91b, and a third tray 91c. For example, a tray on which a package determined to be good may be placed on two of the first trays 91a to 91c, and a tray on which a package determined as defective may be placed on the other tray. there is. For example, a package determined to be a good product may be placed on a tray placed in the first tray 91a, a package determined to be a good product may be placed in a tray placed in the second tray 91b, and the third A package that has been determined to be defective may be placed on the tray 91c.
또한, 분류 모듈(90)은 트레이(91)를 Y축 방향으로 이동시키는 트레이 트랜스퍼부(900)를 포함할 수 있다.Additionally, the classification module 90 may include a
예시적으로, 트레이 트랜스퍼부(900)는 Y축 방향으로 연장 배치되고, 제1트레이(91a)를 포함하는 트레이부(제1트레이부)의 이동을 가이드하는 제1레일(910a)을 포함할 수 있다. 또한, 트레이 트랜스퍼부(900)는 Y축 방향으로 연장 배치되되 제1레일(910a)의 X축 방향 타측에 배치되어 제2트레이(91b)를 포함하는 트레이부(제2트레이부)의 이동을 가이드하는 제2레일(910b) 및 Y축 방향으로 연장 배치되되 제2레일(910b)의 X축 방향 타측에 배치되어 제3트레이(91c)를 포함하는 트레이부(제3트레이부)의 이동을 가이드하는 제3레일(910c)을 포함할 수 있다.Illustratively, the
제1레일(910a) 내지 제3레일(910c) 각각의 Y축 방향 일측부에는 제1트레이(91a) 내지 제3트레이(91c) 각각에 안착된 트레이에 대한 패키지 플레이싱이 이루어지는 로딩 대기 영역이 형성되고, 제1레일(910a) 내지 제3레일(910c) 각각의 Y축 방향 타측부에는 제1트레이(91a) 내지 제3트레이(91c) 각각에 대한 트레이의 공급 및 수거가 이루어지는 교환 대기 영역이 형성될 수 있다. 예를 들어, 제1트레이(91a)의 교환 대기 영역 위치시 제1트레이(91a)에 새 트레이가 공급(안착)될 수 있고, 새 트레이를 공급받은 제1트레이(91a)가 로딩 대기 영역으로 이동되어 양품 판정 받은 패키지를 이송받을 수 있다. 또한, 제1트레이(91a)의 트레이에 대한 패키지 플레이싱이 최종적으로 완료되면, 제1트레이(91a)는 교환 대기 영역으로 이동될 수 있고, 제1트레이(91a) 상의 트레이는 회수될 수 있으며, 제1트레이(91a)에는 새 트레이가 공급될 수 있다. 제2트레이(91b)의 구동은 제1트레이(91a)의 구동과 유사하므로 상세한 설명은 생략한다. 또한, 제3트레이(91c)의 경우, 제3트레이(91c)의 교환 대기 영역 위치시 제3트레이(91c)에 새 트레이가 공급(안착)될 수 있고, 새 트레이를 공급받은 제3트레이(91c)가 로딩 대기 영역으로 이동되어 불량 판정 받은 패키지를 이송받을 수 있다. 또한, 제3트레이(91c)의 트레이에 대한 패키지 플레이싱이 최종적으로 완료되면, 제3트레이(91c)는 교환 대기 영역으로 이동될 수 있고, 제3트레이(91c) 상의 트레이는 회수될 수 있으며, 제3트레이(91c)에는 새 트레이가 공급될 수 있다. 참고로, 로딩 대기 영역은, 제2픽커 모듈(70)의 트레이(91)에 대한 패키지 플레이싱이 가능한 위치에 형성될 수 있다.On one side of each of the first rails (910a) to the third rails (910c) in the Y-axis direction, there is a loading waiting area where package placing is performed for the trays seated on each of the first trays (91a) to the third trays (91c). An exchange waiting area is formed on the other side of each of the first rails (910a) to the third rails (910c) in the Y-axis direction, where trays for each of the first trays (91a) to the third trays (91c) are supplied and collected. This can be formed. For example, when the first tray 91a is located in the exchange waiting area, a new tray may be supplied (seated) in the first tray 91a, and the first tray 91a supplied with the new tray will be moved to the loading waiting area. Packages that have been moved and judged to be good can be transferred. In addition, when the package placing for the tray of the first tray 91a is finally completed, the first tray 91a can be moved to the exchange waiting area, and the tray on the first tray 91a can be recovered. , a new tray may be supplied to the first tray 91a. Since the driving of the second tray 91b is similar to the driving of the first tray 91a, detailed description is omitted. In addition, in the case of the third tray 91c, a new tray may be supplied (seated) in the third tray 91c when the exchange waiting area of the third tray 91c is located, and the third tray supplied with the new tray ( 91c) is moved to the loading waiting area and can receive the package that has been judged defective. In addition, when the package placing for the tray of the third tray 91c is finally completed, the third tray 91c can be moved to the exchange waiting area, and the tray on the third tray 91c can be recovered. , a new tray can be supplied to the third tray 91c. For reference, the loading standby area may be formed at a location where package placement on the tray 91 of the second picker module 70 is possible.
한편, 본 시스템(1)에 의하면, 패키지의 트레이에 대한 플레이싱이 시작되기 전에, 트레이(91)는 빈 상태로 교환 대기 영역으로부터 로딩 대기 영역으로 이동되어, 로딩 대기 영역에 위치할 수 있다. 또한, 패키지의 트레이에 대한 플레이싱이 시작되면, 양품 판정받은 패키지는 제1트레이(91a) 및 제2트레이(91b) 중 하나에 플레이싱될 수 있고, 불량 판정받은 패키지는 제3트레이(91c)에 플레이싱될 수 있는데, 양품 판정받은 패키지는 제1트레이(91a) 및 제2트레이(91b) 중 하나에 대한 적재가 완료될 때까지 하나의 트레이에만 적재될 수 있고, 어느 하나의 트레이에 대한 적재가 완료되면, 양품 판정받은 패키지는 다른 트레이에 적재되기 시작할 수 있으며 먼저 적재가 완료된 트레이는 교환 대기 영역으로 이동되어 회수되고, 새 트레이를 공급받아 로딩 대기 영역으로 이동될 수 있다. 예를 들어, 패키지의 트레이에 대한 플레이싱이 시작되면, 양품 판정받은 패키지는 제1트레이(91a)의 트레이에 적재될 수 있는데, 이때 제1트레이(91a)의 트레이가 풀(full) 상태가 되기 전까지는 제1트레이(91a)의 트레이에 대해 패키지의 플레이싱이 이루어질 수 있다(이때, 제2트레이(91b)의 트레이는 대기 상태). 이후, 제1트레이(91a)의 트레이가 풀 상태가 되면, 제1트레이(91a)는 교환 대기 영역으로 이동되고 제2트레이(91b)의 트레이에 대한 패키지의 플레이싱이 시작될 수 있으며, 제1트레이(91a)의 트레이는 교환 대기 영역에서 적재하고 있던 풀 상태의 트레이가 회수되어 새 트레이를 공급받으면 로딩 대기 영역으로 이동하여 제2트레이(91b)의 트레이가 풀 상태가 될 때까지 대기할 수 있고, 제2트레이(91b)의 트레이가 풀 상태가 되면, 제2트레이(91b)는 교환 대기 영역으로 이동될 수 있고, 제1트레이(91a)의 새 트레이에 대한 패키지 플레이싱이 시작될 수 있다.Meanwhile, according to the present system 1, before the placing of the package on the tray begins, the tray 91 can be moved from the exchange waiting area to the loading waiting area in an empty state and positioned in the loading waiting area. In addition, when the placing of the package on the tray begins, the package determined to be good can be placed on one of the first tray 91a and the second tray 91b, and the package determined to be defective can be placed in the third tray 91c. ), a package judged to be good can be placed on only one tray until loading on one of the first tray (91a) and the second tray (91b) is completed, and may be placed on either tray. Once loading is completed, packages judged to be good quality can begin to be loaded onto other trays, and the tray on which loading was completed first can be moved to the exchange waiting area, collected, and then supplied with a new tray and moved to the loading waiting area. For example, when placing of a package on a tray begins, a package that has been determined to be good may be loaded on the tray of the first tray 91a. At this time, the tray of the first tray 91a is in a full state. Until this happens, the package can be placed on the tray of the first tray 91a (at this time, the tray of the second tray 91b is in a standby state). Thereafter, when the tray of the first tray 91a is in a full state, the first tray 91a is moved to the exchange waiting area and placing of the package on the tray of the second tray 91b may begin, and the first tray 91a When the full tray loaded in the exchange waiting area is retrieved and a new tray is supplied, the tray of the tray 91a moves to the loading waiting area and can wait until the tray of the second tray 91b becomes full. And when the tray of the second tray (91b) is in a full state, the second tray (91b) can be moved to the exchange waiting area, and package placing for a new tray of the first tray (91a) can be started. .
이와 같이, 불량 패키지에 비해 다량이라 빠르게 적재 완료되는 양품 패키지의 플레이싱과 관련하여, 2개의 트레이(91a, 91b) 중 하나의 트레이에 대한 양품 패키지 적재가 완료되어 트레이 회수가 이루어져야 할 때, 해당 트레이의 회수가 이루어지는 과정에서도 다른 트레이에 양품 패키지 적재가 연속적으로 이루어질 수 있으므로, 트레이 회수 및 새 트레이 공급시 작동이 멈추지 않고 패키지 적재가 이루어질 수 있다.In this way, in relation to the placing of good packages, which are loaded quickly because they are in large quantities compared to defective packages, when loading of the good packages on one of the two trays 91a and 91b is completed and the tray must be recovered, the tray must be recovered. Even in the process of tray recovery, good quality packages can be continuously loaded onto other trays, so package loading can be done without stopping operation when collecting trays and supplying new trays.
또한, 도 17을 참조하면, 분류 모듈(90)은 제1레일(910a) 내지 제3레일(910c)의 Y축 방향 타측에 구비되어 공급되거나 회수되는 트레이가 적재되는 트레이 적재부(930a, 930b, 930c)를 복수개를 구비할 수 있다. 예를 들어, 복수개의 트레이 적재부(930a, 930b, 930c)는 복수 개의 새 트레이가 적재되는 제1트레이 적재부(stacker)(930a), 양품 판정 받은 패키지가 플레이싱된 트레이가 적재되는 제2트레이 적재부(930b) 및 불량 판정 받은 패키지가 플레이싱된 트레이가 적재되는 제3트레이 적재부(930c)를 포함할 수 있다. 이에 따라, 교환 대기 영역으로 이동되어 회수되는 트레이는 제2트레이 적재부(930b)로 회수될 수 있고, 제3트레이(91c)의 불량 판정 받은 패키지가 플레이싱된 트레이는 제3트레이 적재부(930c)로 회수될 수 있으며, 제1트레이 적재부(930a)로부터 새로운 트레이가 공급될 수 있다.In addition, referring to FIG. 17, the classification module 90 is provided on the other side of the
참고로, 도 17을 참조하면, 트레이 적재부(930a, 930b, 930c)는 2 개의 받침 부재 상에 안착되는 트레이를 감지할 수 있는 센서를 포함할 수 있다. 센서는 2개의 받침 부재를 가로지르는 센서광(S)을 송수신함으로써, 2 개의 받침 부재 상에 안착되는 트레이 유무 및 트레이의 위치를 감지할 수 있다.For reference, referring to FIG. 17 , the tray loading units 930a, 930b, and 930c may include sensors capable of detecting trays seated on two support members. The sensor can detect the presence or absence of a tray seated on the two support members and the position of the tray by transmitting and receiving sensor light (S) crossing the two support members.
또한, 도 1을 참조하면, 트레이의 공급 및 회수는 트레이 피커부(940)에 의해 이루어질 수 있으며, 트레이 피커부(940)는, 제1트레이 적재부(930a)로부터 새 트레이를 파지하여 안착시키거나, 양품 판정 받은 패키지가 플레이싱된 트레이를 파지하여 제2트레이 적재부(930b)에 안착시키거나, 불량 판정 받은 패키지가 플레이싱된 트레이를 파지하여 제3트레이 적재부(930c)에 안착시킬 수 있다.Additionally, referring to FIG. 1, supply and recovery of trays can be performed by the tray picker unit 940, which holds and seats a new tray from the first tray loading unit 930a. Alternatively, the tray on which the package judged to be good is placed is held and placed in the second tray loading unit 930b, or the tray in which the package judged to be defective is placed is held and placed in the third tray loading unit 930c. You can.
도 1을 참조하면, 트레이 피커부(940)는 제1레일(910a) 내지 제3레일(910c)의 Y축 방향 타측부를 가로지르며 X축 방향으로 연장 배치되는 X축 레일 유닛(941), X축 레일 유닛(941)의 X축 방향 타측부에서 X축 레일 유닛(941)을 따라 이동 가능하게 구비되되, Y축 방향으로 연장 배치되는 Y축 레일 유닛 및 Y축 레일 유닛을 따라 이동 가능하며 트레이의 파지가 가능한 트레이 피커 유닛(942)을 포함할 수 있다. 정확히, x축 레일 유닛(941)은 제1레일(910a) 내지 제3레일(910c)의 상측에서 제1레일(910a) 내지 제3레일(910c)의 Y축 방향 타측부를 가로지를 수 있다.Referring to FIG. 1, the tray picker unit 940 includes an It is provided to be movable along the X-axis rail unit 941 on the other side of the X-axis rail unit 941 in the It may include a tray picker unit 942 capable of holding a tray. Precisely, the .
전술한 본원의 설명은 예시를 위한 것이며, 본원이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본원의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.The description of the present application described above is for illustrative purposes, and those skilled in the art will understand that the present application can be easily modified into other specific forms without changing its technical idea or essential features. Therefore, the embodiments described above should be understood in all respects as illustrative and not restrictive. For example, each component described as unitary may be implemented in a distributed manner, and similarly, components described as distributed may also be implemented in a combined form.
본원의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본원의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.The scope of the present application is indicated by the claims described below rather than the detailed description above, and all changes or modified forms derived from the meaning and scope of the claims and their equivalent concepts should be construed as being included in the scope of the present application.
1: 패키지 절단 및 소팅 시스템
10: 투입 모듈
11: 스트립 회수부
12: 스마트 정렬부
20: 절단 모듈
30: 세척 모듈
40: 건조 모듈
41: 적재부
42: 플립부
43: 에어 나이프부
50: 제1픽커 모듈
60: 테이블
70: 제2픽커 모듈
80: 검사 모듈
90: 분류 모듈
91: 트레이
92: 리젝트 빈1: Package cutting and sorting system
10: input module
11: Strip recovery unit
12: Smart alignment unit
20: cutting module
30: cleaning module
40: drying module
41: loading part
42: flip part
43: Air knife section
50: first picker module
60: table
70: Second picker module
80: Inspection module
90: Classification module
91: tray
92: Reject bin
Claims (7)
반도체 스트립을 공급하도록 구비되는 투입 모듈;
상기 반도체 스트립을 복수의 패키지로 절단하는 절단 모듈;
상기 복수의 패키지를 세척하는 세척 모듈;
상기 세척된 복수의 패키지를 건조하는 건조 모듈;
상기 건조된 복수의 패키지가 안착되는 테이블;
상기 복수의 패키지를 상기 건조 모듈로부터 상기 테이블로 이송하는 제1픽커 모듈;
상기 테이블에 안착된 상기 복수의 패키지 중 적어도 일부를 파지하여 이송하도록 구비되는 제2픽커 모듈;
상기 복수의 패키지를 검사하는 검사 모듈; 및
상기 검사 모듈에 의한 검사 결과에 따라 상기 복수의 패키지 각각이 수용되는 복수의 수용 공간을 구획 형성하는 리젝트 빈을 포함하는 분류 모듈,
을 포함하고,
상기 검사 모듈은,
상기 복수의 패키지 각각을 정상 패키지 또는 불량 패키지로 분류하는 불량 유무 정보 및 상기 불량 패키지로 분류된 패키지의 불량 유형에 대한 분류 유형 정보를 도출하고,
상기 리젝트 빈은,
상기 분류 유형 정보에 따라 상기 불량 패키지가 구분되어 안착되도록 상기 불량 유형 각각에 대응하는 상기 복수의 수용 공간을 구획 형성하고,
상기 제2픽커 모듈은,
상기 검사 결과를 기초로 하여 파지한 패키지를 상기 복수의 수용 공간 중 어느 하나에 안착되도록 이송하되, 상기 파지한 패키지 각각에 대하여 판단된 상기 불량 유무 정보 및 상기 분류 유형 정보에 따라 상기 복수의 수용 공간에 대한 이동 순서를 결정하는 것이고,
상기 이동 순서는, 서로 다른 상기 분류 유형 정보에 대응하는 복수의 불량 패키지가 파지된 상태에서 파지 개수가 상대적으로 많은 상기 분류 유형 정보에 대응하는 상기 수용 공간을 향하여 우선적으로 이동하도록 결정되는 것인, 시스템.In a package cutting and sorting system having a reject bin,
An input module provided to supply a semiconductor strip;
a cutting module that cuts the semiconductor strip into a plurality of packages;
a cleaning module that cleans the plurality of packages;
a drying module for drying the plurality of washed packages;
a table on which the plurality of dried packages are placed;
a first picker module transferring the plurality of packages from the drying module to the table;
a second picker module provided to grasp and transport at least some of the plurality of packages seated on the table;
an inspection module that inspects the plurality of packages; and
A classification module including a reject bin that divides a plurality of receiving spaces in which each of the plurality of packages is accommodated according to an inspection result by the inspection module,
Including,
The inspection module is,
Deriving defect presence information for classifying each of the plurality of packages as a normal package or a defective package and classification type information for the defect type of the package classified as a defective package,
The reject bean is,
Partitioning the plurality of receiving spaces corresponding to each defect type so that the defective packages are classified and seated according to the classification type information,
The second picker module,
The package grasped based on the inspection result is transported to be seated in one of the plurality of receiving spaces, and is placed in the plurality of receiving spaces according to the defect information and the classification type information determined for each of the grasped packages. is to determine the movement order for,
The movement order is determined to preferentially move toward the receiving space corresponding to the classification type information with a relatively large number of defective packages held while being held, system.
상기 복수의 수용 공간 중 적어도 일부에는 상기 정상 패키지가 수용되는 것을 특징으로 하는, 시스템.According to paragraph 1,
A system, characterized in that the normal package is accommodated in at least some of the plurality of accommodating spaces.
상기 투입 모듈은,
상기 반도체 스트립의 회수 필요 여부를 판단하고, 상기 회수 필요 여부에 대한 판단 결과에 따라 상기 반도체 스트립이 회수되도록 하거나 상기 반도체 스트립을 상기 절단 모듈 측으로 투입시키는 스트립 회수부,
를 포함하는 것인, 시스템.According to paragraph 1,
The input module is,
A strip recovery unit that determines whether the semiconductor strip needs to be recovered and, depending on the result of the determination as to whether the semiconductor strip needs to be recovered, recovers the semiconductor strip or inserts the semiconductor strip into the cutting module,
A system that includes a.
상기 투입 모듈은,
상기 반도체 스트립을 상기 절단 모듈 측으로 이송하되, 상기 반도체 스트립의 투입 위치를 센싱한 결과에 따라 상기 반도체 스트립의 이송 방향을 정렬하는 스마트 정렬부,
를 포함하는 것인, 시스템.According to paragraph 1,
The input module is,
A smart alignment unit that transfers the semiconductor strip to the cutting module and aligns the transfer direction of the semiconductor strip according to the result of sensing the insertion position of the semiconductor strip,
A system that includes a.
상기 건조 모듈은,
상기 세척된 복수의 패키지가 안착되는 적재부;
상기 적재부의 상측에 배치되고, 상기 적재부에 안착된 복수의 패키지를 파지하도록 회전 가능하게 구비되는 플립부; 및
상기 적재부와 상기 플립부 사이에 개재되고, 건조 기류를 배출하는 슬릿이 형성된 에어 나이프부,
를 포함하는 것인, 시스템.According to paragraph 1,
The drying module is,
a loading portion on which the plurality of washed packages are placed;
a flip portion disposed on an upper side of the loading unit and rotatable to hold a plurality of packages seated on the loading unit; and
An air knife part interposed between the loading part and the flip part and having a slit for discharging a dry air stream,
A system that includes a.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020230068107A KR102641625B1 (en) | 2023-05-26 | 2023-05-26 | Package cutting and sorting system with reject bin |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR1020230068107A KR102641625B1 (en) | 2023-05-26 | 2023-05-26 | Package cutting and sorting system with reject bin |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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KR102641625B1 true KR102641625B1 (en) | 2024-02-28 |
Family
ID=90052837
Family Applications (1)
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---|---|---|---|
KR1020230068107A KR102641625B1 (en) | 2023-05-26 | 2023-05-26 | Package cutting and sorting system with reject bin |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR102641625B1 (en) |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant |