KR102629750B1 - 멀티 셀 팔레트 스테이지 장치 - Google Patents

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Abstract

협소한 공간에서도 작업이 가능한 멀티 셀 팔레트 스테이지 장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 멀티 셀 팔레트 스테이지 장치는 상부면에 대상물이 놓인 상태로 작업 진행 및 이송이 이루어지는 복수개의 팔레트; 상기 복수개의 팔레트가 장착되어 이송 가능하도록 지지되고, 복수개의 팔레트가 무한궤도를 이루며 멈춘 상태에서 고정이 이루어지는 위치인 복수개의 스테이션 사이를 이송되도록 외벽 테두리가 구비된 프레임; 및 상기 복수개의 스테이션 사이마다 상기 복수개의 팔레트 하부에 설치되고, 상기 복수개의 팔레트를 정해진 방향으로 직선 이송시키는 작업을 반복하는 팔레트 이송부를 포함할 수 있다.

Description

멀티 셀 팔레트 스테이지 장치{Multi-cell pallet stage apparatus}
본 발명은 여러 공정 작업을 위하여 대상물을 이송하는 팔레트 스테이지 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 협소한 공간에서도 작업이 가능한 멀티 셀 팔레트 스테이지 장치에 관한 것이다.
일반적으로 제품을 조립하거나 검사할 때에는 제품을 검사 위치 또는 조립 위치로 이동시켜야 한다.
반송 장치, 이송 장치 등으로 불리는 장치는 공장 내의 다른 작업 위치 사이에 대상물을 이동시키기 위해서 사용되지만 반송 장치는 통상, 벨트 또는 체인의 형태의 반송 트랙을 구비한다. 반송되는 대상물은 직접 또는 팔레트로서 알려진 운반 수단을 통해, 반송 트랙에 대해서 슬라이드로 배치될 수 있다.
팔레트는 다른 복수의 워크스테이션을 구비하는 반송 장치에 따라서 반송된다. 워크스테이션에서는, 팔레트가 스토퍼 부재에 의해서 정지됨으로써, 이송되는 대상물에 대해서 정해진 조작이 실행될 수 있다. 경우에 따라서는, 대상물에 대한 조작이 행해지지 않고, 대상물이 특정한 워크스테이션을 통과하는 경우가 있다. 이 때문에, 스토퍼 부재는 팔레트를 정지하거나 또는 팔레트가 워크스테이션을 통과하도록 배치될 수 있다.
반송 장치가 모든 워크스테이션이 연속해서 배치되어 대상물에 대한 조작이 동기화해 실행되는 경우, 모든 팔레트는 각 워크스테이션으로 정지한다. 대상물에 대한 조작이 특정한 워크스테이션으로 실행되지 않는 경우, 대상물은 그 워크스테이션으로 전의 대상물에 대한 조작을 준비할 수 있을 때까지, 대상물을 속행할 수 있을 때까지 대기할 필요가 있다. 이 경우, 모든 팔레트는 동시에 정지 해제되고 동시에 이동한다. 그러한 시스템의 하나의 이점은 시스템의 성능을 예측하는 것이 간단한 것이다. 그러한 시스템의 하나의 결점은 유연성이 부족한 것이다. 워크스테이션에서의 조작 시간이 긴 경우, 모든 대상물에 대해서 조작이 실행되어 있지 않아도, 모든 대상물은 그 시간 대기해야 한다. 따라서, 그러한 시스템은 주로 단일의 제품에 사용되거나 또는 제품의 차이가 작을 때에 사용된다.
다른 시스템에서는, 대상물에 대한 조작은 비동기로 실행되고 즉, 팔레트는 조작이 실행되는 워크스테이션으로 정지하고, 조작한 준비를 할 수 있으면 정지 해제된다. 그러한 시스템에서는, 제품이 다른 통과시간 및 워크스테이션에서의 다른 조작 시간을 보상하기 위해서, 적어도 몇개의 워크스테이션으로 다수의 팔레트를 구비하는 장비가 필요하게 되는 경우가 있다.
종래 대상물 반송 장치는 컨베이어 시스템이나 체인 장비를 이용하여 직선 구간 또는 곡선 구간을 형성하여 대상물을 이송하게 되기 때문에 일정한 길이 이상의 공간 또는 일정 면적 이상의 공간이 필요하고, 협소한 공간에는 장비 설치가 불가능한 문제점이 있었다.
국제공개번호 WO2018/236283
본 발명에 따르면 대상물을 수용하는 팔레트가 무한궤도 방식으로 이송될 수 있도록 구비되어 협소한 공간에서도 반송 작업이 가능한 멀티 셀 팔레트 스테이지 장치를 제공하고자 한다.
본 발명의 일측면에 따른 멀티 셀 팔레트 스테이지 장치는, 상부면에 대상물이 놓인 상태로 작업 진행 및 이송이 이루어지는 복수개의 팔레트; 상기 복수개의 팔레트가 장착되어 이송 가능하도록 지지되고, 복수개의 팔레트가 무한궤도를 이루며 멈춘 상태에서 고정이 이루어지는 위치인 복수개의 스테이션 사이를 이송되도록 외벽 테두리가 구비된 프레임; 및 상기 복수개의 스테이션 사이마다 상기 복수개의 팔레트 하부에 설치되고, 상기 복수개의 팔레트를 정해진 방향으로 직선 이송시키는 작업을 반복하는 팔레트 이송부;를 포함할 수 있다.
이때, 상기 프레임은, 상기 팔레트가 상기 스테이션에서 멈출 수 있도록 프레임으로부터 벗어나는 것을 방지하는 외벽 테두리; 상기 팔레트를 지지하고, 상기 팔레트의 하부 일부가 삽입되어 이송방향으로 안내하는 가이드 홀이 형성된 베이스 패널;을 포함할 수 있다.
이때, 상기 프레임은 상기 팔레트가 상기 스테이션에 안착한 후에만 다음 스테이션으로 이동 가능하도록 안내하는 중앙 가이드 부재를 더 포함할 수 있다.
이때, 상기 중앙 가이드 부재와 상기 외벽 테두리에는 상기 팔레트의 일부가 상측 방향으로 빠지지 않도록 단부가 걸리는 걸림 턱이 형성될 수 있다.
이때, 상기 팔레트 이송부는, 상기 팔레트에 상단부가 접촉하고 하단부는 직선 구동될 수 있도록 레일에 안착된 푸싱 패널; 및 상기 푸싱 패널을 상기 레일을 따라 직선으로 왕복 구동하는 직선 구동 수단;을 포함할 수 있다.
이때, 상기 직선 구동 수단은 리니어 액추에이터일 수 있다.
이때, 상기 프레임의 일측에 고정되어 상기 팔레트가 다음 스테이션에 도착할 때 충격을 완화시켜주는 댐핑부를 더 포함할 수 있다.
이때, 상기 댐핑부는 가스 스프링을 포함할 수 있다.
이때, 상기 복수개의 스테이션에 팔레트가 도착해 있는지를 감지하는 팔레트 센서를 더 포함할 수 있다.
이때, 상기 복수개의 스테이션 위치마다 도착해 있는 팔레트의 종류를 인식할 수 있도록 상기 프레임에 고정된 RFID 센서를 더 포함할 수 있다.
상기의 구성에 따라, 본 발명에 따른 멀티 셀 팔레트 스테이지 장치는, 컨베이어 시설과 같이 길이 방향으로 길게 설계되지 않고 무한 궤도식으로 협소한 공간에 설치 및 작업이 가능하다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 멀티 셀 팔레트 스테이지 장치의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 멀티 셀 팔레트 스테이지 장치의 하부에서 바라본 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 멀티 셀 팔레트 스테이지 장치의 일부 구성요소인 직선 구동 수단의 사시도이다.
도 4 및 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 멀티 셀 팔레트 스테이지 장치의 일부 구성요소인 직선 구동 수단의 작동도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 멀티 셀 팔레트 스테이지 장치의 일부 구성요소인 댐퍼부의 사시도이다.
본 명세서 및 청구범위에 사용된 단어와 용어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정 해석되지 않고, 자신의 발명을 최선의 방법으로 설명하기 위해 발명자가 용어와 개념을 정의할 수 있는 원칙에 따라 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.
그러므로 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 해당하고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것이 아니므로 해당 구성은 본 발명의 출원시점에서 이를 대체할 다양한 균등물과 변형예가 있을 수 있다.
본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 설명하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
어떤 구성 요소가 다른 구성 요소의 "전방", "후방", "상부" 또는 "하부"에 있다는 것은 특별한 사정이 없는 한 다른 구성 요소와 바로 접하여 "전방", "후방", "상부" 또는 "하부"에 배치되는 것뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 구성 요소가 배치되는 경우도 포함한다. 또한, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소와 "연결"되어 있다는 것은 특별한 사정이 없는 한 서로 직접 연결되는 것뿐만 아니라 간접적으로 서로 연결되는 경우도 포함한다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명에 따른 멀티 셀 팔레트 스테이지 장치(1)를 설명한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 멀티 셀 팔레트 스테이지 장(1)치는, 복수개의 팔레트(20), 프레임(10). 팔레트 이송부(30), 중앙 가이드 부재(13), 댐퍼부(40), 그리고 RFID 센서(70)를 포함한다.
상기 복수개의 팔레트(20)는, 도 1 내지 도 5를 참고하면, 상부면에 대상물이 놓인 상태로 작업 진행 및 이송이 이루어지는 이동 작업대이다.
이때, 상기 복수개의 팔레트(20)는, 도 1을 참고하면, 평면 상 사각형 형태로 이루어져 있다. 또한 여기서는 프레임(10)에 4개가 설치되어 있으나 실제로는 3개가 설치되어 차례로 팔레트(20)들이 이동할 수 있는 공간을 확보할 수 있다.
이때, 상기 팔레트(20)는 4개의 위치가 각 스테이션을 이루도록 배치되어 있고, 스테이션 1에는 작업 대상물 로딩, 스테이션 2, 3 에서는 각각의 작업 진행, 그리고 마지막으로 스테이션 4에는 작업 완성된 대상물을 언로딩 하는 방식으로 작업이 이루어질 것이다.
이때, 상기 팔레트(20)는 상부의 작업 대상물이 지지되고 작업이 진행되는 작업대를 포함하고, 상기 작업대의 하부에는 작업대를 지지하는 지지판이 조립되어 있다. 여기서 상기 지지판은 테두리가 프레임(10)과 중간 가이드 부재(13)의 테두리에 의해 상측 방향으로 벗어나지 않도록 안내될 수 있다.이러한 구조의 걸림 턱 구조에 의해 팔레트(20)의 이송 시, 슬라이딩이 원활하고 안정되게 이루어질 수 있게 된다.
상기 프레임(10)은, 도 1 내지 도 5를 참고하면, 상기 복수개의 팔레트(20)가 장착되어 이송 가능하도록 지지되고, 복수개의 팔레트(20)가 무한궤도를 이루며 멈춘 상태에서 고정이 이루어지는 위치인 복수개의 스테이션 사이를 이송되도록 외벽 테두리가 구비될 수 있다.
이때, 상기 프레임(10)은, 상기 팔레트(20)가 상기 스테이션에서 멈출 수 있도록 프레임(10)으로부터 벗어나는 것을 방지하는 외벽 테두리(11)와, 상기 팔레트(20)를 지지하고, 상기 팔레트(20)의 하부 일부가 삽입되어 이송방향으로 안내하는 가이드 홀(14a)이 형성된 베이스 패널(14)을 포함할 수 있다.
이때, 상기 프레임(10)은 상기 팔레트(20)가 상기 스테이션에 안착한 후에만 다음 스테이션으로 이동 가능하도록 안내하는 중앙 가이드 부재(13)를 더 포함할 수 있다.
이때, 상기 중앙 가이드 부재(13)와 상기 외벽 테두리(11)에는 상기 팔레트(20)의 일부가 상측 방향으로 빠지지 않도록 단부가 걸리는 걸림 턱이 형성될 수 있다.
이때, 상기 프레임(10)은 복수개의 포스트(12)에 의해 지면으로부터 일정 높이에 지지되도록 설치되어 있다. 따라서 상기 프레임(10)에 의해 지지되는 모든 구성요소들은 프레임(10)을 거쳐 복수개의 포스트(12)를 매개로 하중을 지면으로 전달하면서 견고하게 설치될 수 있다.
상기 팔레트 이송부(30)는, 도 1 내지 도 5를 참고하면, 상기 복수개의 스테이션 사이마다 상기 복수개의 팔레트(20) 하부에 설치되고, 상기 복수개의 팔레트(20)를 정해진 방향으로 직선 이송시키는 작업을 반복할 수 있다.
이때, 상기 팔레트 이송부(30)는 상기 팔레트(20)에 상단부가 접촉하고 하단부는 직선 구동될 수 있도록 레일(33)에 안착된 푸싱 패널(34)과, 상기 푸싱 패널(34)을 상기 레일(33)을 따라 직선으로 왕복 구동하는 직선 구동 수단(32, 32a)을 포함할 수 있다.
이때, 상기 직선 구동 수단(32, 32a)은 리니어 액추에이터를 포함하여 직선으로 왕복 구동될 수 있는 디바이스, 예들 들면, 공압, 유압 실린더, 리니어 모터 등을 사용할 수 있을 것이다.
상기 댐퍼부(40)는, 도 1, 2, 6을 참고하면, 상기 프레임(10)의 일측에 고정되어 상기 팔레트(20)가 다음 스테이션에 도착할 때 충격을 완화시켜줄 수 있다.
이때, 상기 댐퍼부(40)는 가스 스프링을 포함하여 다양한 에어 댐핑 장비, 물리적인 스프링 장비 등을 적용할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 멀티 셀 팔레트 스테이지 장치(1)는, 상기 복수개의 스테이션에 팔레트(20)가 도착해 있는지를 감지하는 팔레트 센서(60)를 더 포함할 수 있다.
이때, 상기 팔레트 센서(60)에 의해 감지된 팔레트(20)의 도착, 출발 정보는 장치를 제어하는데 활용될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 멀티 셀 팔레트 스테이지 장치(1)는, 상기 복수개의 스테이션 위치마다 도착해 있는 팔레트(20)의 종류를 인식할 수 있도록 상기 프레임(10)에 고정된 RFID 센서(70)를 더 포함할 수 있다.
이때, RFID 센서(70)는 각 스테이션에 도착한 팔레트(20)의 종류 또는 번호를 인식하여 작업이 이루어진 이력을 알아낼 수 있고, 그에 따른 작업을 다음으로 개시할 수 있도록 정보를 제공하여 줄 수 있다. 물론 각 팔레트(20)에는 RFID가 설치되어 다른 팔레트와 서로 구별될 수 있도록 되어 있다.
한편, 도 7을 참고하면, 본 발명에 따른 멀티 셀 팔레트 스테이지 장치의 다른 실시예가 도시되어 있다. 비상 정지를 구현하기 위한 비상 정지 장치(130)의 기술 구성이 포함된 실시예이다. 중앙 가이드 패널(13)은 각 팔레트(20)가 상측 방향으로 이탈되는 것을 방지하면서 슬라이드 이동을 안내하게 되는데, 이때 비상 시 모든 팔레트(20)의 움직임을 멈추도록 하는 기능이 발휘할 수 있게 된다.
이때, 본 발명에 따른 멀티 셀 팔레트 스테이지 장치는, 상기 중앙 가이드 패널(13)의 하부 중앙에 일단이 결합 고정된 회전축(132)과, 상기 회전축의 하부에 설치되어 회전축(132)을 회전시키는 비상용 구동 모터(134)와, 상기 중앙 가이드 패널(13)의 하부에 하측 방향으로 돌출된 안내부(13a)가 형성되고, 상기 안내부(13a)의 측면 외면에 설치된 스톱 러버(13b)를 더 포함할 수 있다.
이때, 상기 비상용 구동 모터(134)와 안내부(13a) 사이에는 베어링(1321)을 매개로 슬리브(133)가 설치될 수 있다.
이때, 비상 시, 비상 버튼이 온되면 상기 비상용 구동 모터(134)가 구동하게 되고, 회전축(132)은 일방향으로 회전하게 된다. 물론 팔레트(20) 때문에 아주 작은 각도로 회전하면 고무 재질의 스톱 러버(13b)가 팔레트(20) 측면에 밀착될 것이다. 그에 따라 팔레트(20)의 이동은 완전히 멈추게 되고 비상 정지가 구현될 수 있다.
도 1 및 도 2를 참고하면, 팔레트(20), 프레임(10)의 베이스 패널(14), 외벽 테두리(11) 모두 평면 상 사각형 형태를 가지고 있다. 물론 중앙 가이드 부재(13) 또한 평면상 사각형 형태로 이루어져 있으며 총 4 곳의 스테이션이 있게 된다. 즉 베이스 패널(14) 모서리마다 스테이션이 존재하게 된다. 상기 복수개의 팔레트(20)는 필요한 제어 신호에 따라 하부에 설치된 팔레트 이송부(30)에 의해 직선으로 다음 스테이션으로 이동하게 된다. 이러한 이동은 동시에 또는 순차적으로 이루어질 수 있을 것이다. 이때 팔레트(20)는 하부의 일부가 베이스 패널(14)의 가이드 홀(14a)에 삽입된 상태에서 그 안내를 받아 직신으로 이송되고, 다음 스테이션에서는 댐퍼부에(40) 부딪혀 충격이 완화되면서 다음 스테이션에 안착하게 된다. 이때 상기 베이스 패널(14) 하부에는 각각의 스테이션마다 이송이 가능하도록 네 곳에 팔레트 이송부(30)가 프레임(10)에 의해 지지되도록 설치되어 있다. 물론 각 스테이션에 도착할 때마다 팔레트 센서(60)에 의해 팔레트(50)의 존재 유무가 감지되고, RFID 센서(70)에 의해 팔레트(20)의 종류와 이력이 감지될 수 있다. 도 2를 참고하면, 하부에서 바라보면, 베이스 패널(14)에는 상기 센서들 외에도 포지션 유닛(50)이 설치되어 있다.
도 3 내지 도 5를 참고하면, 상기 팔레트 이송부(30)가 도시되어 있다. 상기 팔레트 이송부(30)는 상기 푸싱 패널(34)이 상기 팔레트(20)의 측면에 직접 접촉하여 팔레트(20)를 현재 스테이션에서 다음 스테이션으로 밀게 된다. 이때 상기 푸싱 패널(34)은 슬라이더(34a) 상부에 세워진 형태로 이루어지고, 상기 슬라이더(34a)는 레일(33)에 빠지지 않도록 구속된 상태로 직선 슬라이딩을 하게 된다. 이때 상기 슬라이더(34a)의 일부는 직선 구동 수단(32, 32a)인 리니어 액추에이터의 이송체에 고정되고, 따라서 이송체(32a)와 슬라이더(34a)는 동일하게 구동되어 슬라이딩되면서 직선으로 왕복 이동할 수 있다. 이송체(32a)는 구동 실린더(32)의 외면에 설치되어 구동 실린더(32)를 따라 직선 구동될 수 있다. 또한 일단에는 말단 스위치(35)가 설치되어 팔레트(20)가 스테이션의 끝단에 도착했음을 감지하게 된다. 따라서 말단 스위치(35)가 물리적으로 온 되면 구동 실린더(32)의 작동이 멈추게 된다. 이러한 직선 구동 수단(32, 32a)과 레일(33)은 지지판(31)에 의해 지지되고 지지판(31)은 프레임(10)에 고정됨으로써 견고하게 그 위치를 유지할 수 있다.
도 6을 참고하면, 상기 댐퍼부(40)가 도시되어 있다. 댐퍼부(40)는 가스 스프링의 실린더(41)가 팔레트(20)와 접촉하여 충격을 완화시키도록 되어 있고, 가스 스프링의 작동단(42) 끝단에 고정부재(43)가 프레임(10)에 고정된 구조이다. 따라서 팔레트(20)가 팔레트 이송부(30)에 의해 이동하여 오면 팔레트(20)의 측면이 댐퍼 역할을 하는 가스 스프링의 실린더(41)에 부딪쳐 충격이 완화될 수 있다.
본 발명의 실시예에 대하여 설명하였으나, 본 발명의 사상은 본 명세서에 제시되는 실시예에 의해 제한되지 아니하며, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서, 구성요소의 부가, 변경, 삭제, 추가 등에 의해서 다른 실시예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본 발명의 사상범위 내에 든다고 할 것이다.
1 : 멀티 셀 팔레트 스테이지 장치
10 : 프레임 11 : 외벽 테두리
12 : 포스트 13 : 중앙 가이드 부재
14 : 베이스 패널 20 : 팔레트
30 : 팔레트 이송부 31 : 지지판
32 : 구동 실린더 32a : 이송체
33 : 레일 34 : 푸싱 패널
34a : 슬라이더 35 : 말단 스위치
40 : 댐퍼부 50 : 포지션 유닛
60 : 팔레트 센서 70 : RFID 센서

Claims (10)

  1. 상부면에 대상물이 놓인 상태로 작업 진행 및 이송이 이루어지는 복수개의 팔레트;
    상기 복수개의 팔레트가 장착되어 이송 가능하도록 지지되고, 복수개의 팔레트가 무한궤도를 이루며 멈춘 상태에서 고정이 이루어지는 위치인 복수개의 스테이션 사이를 이송되도록 외벽 테두리가 구비된 프레임;
    상기 복수개의 스테이션 사이마다 상기 복수개의 팔레트 하부에 설치되고, 상기 복수개의 팔레트를 정해진 방향으로 직선 이송시키는 작업을 반복하는 팔레트 이송부;
    상기 복수개의 팔레트가 상측 방향으로 이탈되는 것을 방지하면서 슬라이드 이동을 안내하는 중앙 가이드 패널; 및
    비상 시 상기 복수개의 팔레트의 움직임을 멈추도록 하는 비상 정지 장치를 포함하고,
    상기 비상 정지 장치는,
    상기 중앙 가이드 패널의 하부 중앙에 일단이 결합 고정된 회전축;
    상기 회전축의 하부에 설치되어 회전축을 회전시키는 비상용 구동 모터;
    상기 중앙 가이드 패널의 하부에 하측 방향으로 돌출 형성된 안내부의 측면 외면에 설치된 스톱 러버; 및
    상기 비상용 구동 모터와 안내부 사이에 베어링을 매개로 상기 중앙 가이드 패널을 지지하는 슬리브;를 포함하며,
    비상 시, 비상 버튼이 온되면 상기 비상용 구동 모터가 구동하게 되고, 상기 회전축은 일방향으로 회전하게 되며, 상기 스톱 러버가 상기 복수개의 팔레트 측면에 밀착됨으로써 비상 정지가 구현되는, 멀티 셀 팔레트 스테이지 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 프레임은,
    상기 팔레트가 상기 스테이션에서 멈출 수 있도록 프레임으로부터 벗어나는 것을 방지하는 외벽 테두리;
    상기 팔레트를 지지하고, 상기 팔레트의 하부 일부가 삽입되어 이송방향으로 안내하는 가이드 홀이 형성된 베이스 패널;을 포함하는, 멀티 셀 팔레트 스테이지 장치.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 프레임은 상기 팔레트가 상기 스테이션에 안착한 후에만 다음 스테이션으로 이동 가능하도록 안내하는 중앙 가이드 부재를 더 포함하는, 멀티 셀 팔레트 스테이지 장치.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 중앙 가이드 부재와 상기 외벽 테두리에는 상기 팔레트의 일부가 상측 방향으로 빠지지 않도록 단부가 걸리는 걸림 턱이 형성된, 멀티 셀 팔레트 스테이지 장치.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 팔레트 이송부는,
    상기 팔레트에 상단부가 접촉하고 하단부는 직선 구동될 수 있도록 레일에 안착된 푸싱 패널;
    상기 푸싱 패널을 상기 레일을 따라 직선으로 왕복 구동하는 직선 구동 수단;을 포함하는, 멀티 셀 팔레트 스테이지 장치.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 직선 구동 수단은 리니어 액추에이터인, 멀티 셀 팔레트 스테이지 장치.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 프레임의 일측에 고정되어 상기 팔레트가 다음 스테이션에 도착할 때 충격을 완화시켜주는 댐핑부를 더 포함하는, 멀티 셀 팔레트 스테이지 장치.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 댐핑부는 가스 스프링을 포함하는, 멀티 셀 팔레트 스테이지 장치.
  9. 제1 항에 있어서,
    상기 복수개의 스테이션에 팔레트가 도착해 있는지를 감지하는 팔레트 센서를 더 포함하는, 멀티 셀 팔레트 스테이지 장치.
  10. 제1 항에 있어서,
    상기 복수개의 스테이션 위치마다 도착해 있는 팔레트의 종류를 인식할 수 있도록 상기 프레임에 고정된 RFID 센서를 더 포함하는, 멀티 셀 팔레트 스테이지 장치.
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