KR102626810B1 - 품질 관리가 개선된 타겟 대상물 분리 장치 및 이의 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
본 개시의 일 실시예는 미세입자를 포함하는 유체가 주입되는 주입부; 하나 이상의 제1 구조물을 포함하고, 상기 주입부에 주입된 유체가 유동하는 과정에서 타겟 대상물이 일정 방향으로 집중되어 유동하기 위한 제1 통로부; 상기 제1 통로부와 별도로 형성되는 제2 통로부; 및 상기 일정 방향으로 집중된 타겟 대상물을 획득하는 타겟 대상물 획득부를 포함하며, 상기 제2 통로부는, 상기 제1 통로부와 같은 높이를 가지며, 상기 하나 이상의 제1 구조물 각각과 같은 높이로 형성되는 하나 이상의 제2 구조물을 포함하는, 타겟 대상물 분리 장치를 제공하고자 한다.
Description
본 개시는 품질 관리(Quality Control; "QC")가 개선된 타겟 대상물 분리 장치 및 이의 제조 방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로, 제조 과정에서 개선된 QC가 가능한 타겟 대상물 분리 장치 및 방법에 관한 것이다.
세포 등과 같은 미세입자 또는 혈장을 분리 및 농축하는 시료 전처리 기술은 생물학적 연구, 체외진단, 치료, 제약 등 다양한 분야에 있어서 매우 중요한 역할을 한다. 이러한 특정 미세입자 또는 혈장을 분리 및 농축하기 위해 주로 세포 간 밀도차이를 통하여 미세입자 또는 혈장을 분리 및 농축하는 원심분리기가 사용되고 있다. 그러나 원심분리기는 많은 양의 샘플들을 처리할 때 유용하지만, 적은 양을 고효율로 처리하기에는 한계가 있고, 고가의 장비이며, 미세입자들 또는 혈장에 물리적으로 손상을 가할 위험도 존재한다.
이에 따라, 최근에는 마이크로 유체칩 기반의 미세입자 또는 혈장의 분리 및 농축 기술이 개발되고 있는데, 이는 수십 마이크로미터에서 수 밀리미터의 채널 내에 유동을 조작할 수 있는 임의의 구조물을 설치하여 미세입자 또는 혈장을 분리 및 농축하는 기술이다. 마이크로 유체칩 기반의 미세입자 또는 혈장 분리 및 농축 기술에 따르면, 적은 시약과 적은 동력으로 분리 및 농축이 가능하며 휴대성이 높고, 낮은 비용으로 빠른 분석 및 검출이 수행될 수 있다.
이러한 마이크로 유체칩은 유체가 분리되는 통로부와 미세패턴을 포함할 수 있다. 이러한 마이크로 유체칩은 통로부 및 미세패턴의 높이가 일정하지 않으면, 분리 효과가 급격히 감소되어 통로부 및 미세패턴의 높이를 일정하게 유지하는 것이 중요하다. 하지만 현존하는 마이크로 유체칩에는 통로부 및 미세패턴의 높이가 일정하게 형성되었는지 확인하는 구조가 존재하지 않아 이를 해결하기 위한 연구가 필요한 실정이다.
본 개시의 일 실시예는 우수한 타겟 대상물의 분리 및 농축 기능을 수행하는, 품질 관리(QC)가 개선된 타겟 대상물 분리 장치 및 이의 제조 방법을 제공하기 위한 것이다.
또한, 본 개시의 일 실시예는 타겟 대상물 분리 장치의 QC(Quality Control) 방법을 제공하고자 한다.
본 개시의 일 실시예는 QC가 개선된 타겟 대상물 분리 장치, 이의 제조 방법, 및 이의 QC 방법을 제공하고자 한다.
본 개시의 일 실시예는 미세입자를 포함하는 유체가 주입되는 주입부; 하나 이상의 제1 구조물을 포함하고, 상기 주입부에 주입된 유체가 유동하는 과정에서 타겟 대상물이 일정 방향으로 집중되어 유동하기 위한 제1 통로부; 상기 제1 통로부와 별도로 형성되는 제2 통로부; 및 상기 일정 방향으로 집중된 타겟 대상물을 획득하는 타겟 대상물 획득부를 포함하며, 상기 제2 통로부는, 상기 제1 통로부와 같은 높이를 가지며, 상기 하나 이상의 제1 구조물 각각과 같은 높이로 형성되는 하나 이상의 제2 구조물을 포함하는 것인, 타겟 대상물 분리 장치를 제공하고자 한다.
일 실시예에서, 제2 통로부는 상기 제1 통로부의 높이가 일정한 높이로 형성되었는지 확인하기 위하여 형성되는 것일 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제2 통로부는 제1 구역 및 제2 구역을 포함하고, 상기 제1 구역에 배치되는 제2 구조물은, 상기 제1 구역에 대응되는 제1 통로부 상의 구역에 배치되는 제1 구조물과 동일한 높이를 가지며, 상기 제2 구역에 배치되는 제2 구조물은, 상기 제2 구역에 대응되는 제1 통로부 상의 구역에 배치되는 제1 구조물과 동일한 높이를 가질 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제2 통로부는 복수의 구역을 포함하고, 상기 복수의 구역 각각에는 상기 복수의 구역 각각에 대한 식별자 구조물이 배치되며, 상기 복수의 구역 각각에 배치되는 제2 구조물 및 상기 식별자 구조물은, 상기 복수의 구역 각각에 대응되는 상기 제1 통로부의 구역 상에 위치하는 제1 구조물과 동일한 높이를 가질 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제1 통로부와 상기 제2 통로부 사이에는 차단벽이 형성될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제2 통로부는 품질 관리(Quality Control; QC) 용액을 채우기 위한 통로부이고, 상기 QC 용액은, 상기 제2 통로부에 채워진 후 경화되어 상기 타겟 대상물 분리 장치의 접합 강도를 향상시킬 수 있다.
일 실시예에서, 상기 QC 용액은 하나 이상의 바이닐(vinyl) 그룹을 가지면서 액체 상태인 주 물질, 상기 주 물질에 녹는 개시제, 및 상기 주 물질에 녹는 색소를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제1 통로부는 상기 유체의 주 유동 방향에 수직한 방향으로 홈 형태를 가지는 복수의 음각 구조물을 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 주입부, 상기 제1 통로부, 및 상기 타겟 대상물 획득부 중 적어도 하나는 상기 복수의 음각 구조물 외의 영역에 배치되는 기둥 구조물을 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 타겟 대상물 분리 장치는, 상기 주입부로부터 상기 타겟 대상물 획득부 사이 영역의 적어도 일부에 연장되어 형성되는 고속 채널부를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 타겟 대상물 분리 장치는, 논-타겟(non-target) 대상물 배출부를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 타겟 대상물은, 상기 복수의 음각 구조물에 의해 상기 유체의 주 유동 방향에 수직한 방향으로 이차 유동이 발생되어 일정 방향으로 집중될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 복수의 음각 구조물은, 상기 고속 채널부에는 배치되지 않을 수 있다. 예를 들어, 복수의 음각 구조물은 고속 채널부 이외의 통로부에 배치될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 고속 채널부는, 상기 미세입자가 농축되는 방향에 대응되는 상기 통로부의 일측에 깊이 방향의 도랑형 채널로 형성될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 고속 채널부는, 상기 통로부의 너비의 0.1% 내지 50%의 너비를 가질 수 있다.
일 실시예에서, 상기 복수의 음각 구조물에 의해 형성되는 미세 패턴은 곡선 형태를 가질 수 있다.
일 실시예에서, 상기 복수의 음각 구조물은 상기 미세입자 분리 장치의 바닥면 또는 천장면에 배치되고, 상기 복수의 음각 구조물은 복수개가 서로 단절되어 형성될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 복수의 음각 구조물은, 직선 형태의 미세 패턴을 형성하며, 상기 직선 형태의 미세 패턴은 상기 유체의 주 유동 방향에 대해 45도 내지 135도의 각도를 가질 수 있다.
일 실시예에서, 상기 복수의 음각 구조물은, 시작 지점인 제1 점으로부터 끝 지점인 제2 점까지 형성되는 곡선 형태의 미세 패턴을 형성하며, 상기 제1 점의 접선은 상기 유체의 주 유동 방향에 대해 45도 내지 135도의 각도를 가지며, 상기 제2 점의 접선은 상기 유체의 주 유동 방향에 대해 0도 내지 75도 또는 105도 내지 180도의 각도를 가질 수 있다.
본 개시의 일 실시예는 타겟 대상물 분리 장치의 제조 방법을 제공하고자 한다. 상기 타겟 대상물의 분리 장치의 제조 방법은 베이스 기판에 하나 이상의 제1 구조물 및 하나 이상의 제2 구조물을 형성하는 단계; 상기 베이스 기판에 상기 타겟 대상물 분리 장치의 기둥 및 차단벽을 형성하는 단계; 및 상기 기둥 및 상기 차단벽의 상부에 커버를 결합시키는 단계를 포함하고, 상기 차단벽은 제1 통로부와 제2 통로부 사이의 벽이고, 상기 제1 통로부는 주입부에 주입된 유체가 유동하는 과정에서 타겟 대상물이 일정 방향으로 집중되어 유동하기 위한 통로부이고, 상기 제2 통로부는 상기 제1 통로부와 별도로 형성되는 통로부이고, 상기 하나 이상의 제1 구조물 각각은 대응되는 제2 구조물과 동일한 높이를 가질 수 있다.
일 실시예에서, 제2 통로부는 상기 제1 통로부의 높이가 일정한 높이로 형성되었는지 확인하기 위하여 형성되는 것일 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제2 통로부는 제1 구역 및 제2 구역을 포함하고, 상기 제1 구역에 배치되는 제2 구조물은, 상기 제1 구역에 대응되는 제1 통로부 상의 구역에 배치되는 제1 구조물과 동일한 높이를 가지며, 상기 제2 구역에 배치되는 제2 구조물은, 상기 제2 구역에 대응되는 제1 통로부 상의 구역에 배치되는 제1 구조물과 동일한 높이를 가질 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제2 통로부는 복수의 구역을 포함하고, 상기 타겟 대상물 분리 장치의 제조 방법은, 상기 복수의 구역 각각에 상기 복수의 구역 각각에 대한 식별자 구조물을 형성하는 단계를 더 포함하며, 상기 복수의 구역 각각에 배치되는 제2 구조물 및 상기 식별자 구조물은, 상기 복수의 구역 각각에 대응되는 상기 제1 통로부의 구역 상에 위치하는 제1 구조물과 동일한 높이를 가질 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제2 통로부는 QC(Quality Control) 용액을 채우기 위한 통로부이고, 상기 QC 용액은, 상기 제2 통로부에 채워진 후 경화되어 상기 타겟 대상물 분리 장치의 접합 강도를 향상시킬 수 있다.
일 실시예에서, 상기 QC 용액은, 하나 이상의 바이닐(vinyl) 그룹을 가지면서 액체 상태인 주 물질, 상기 주 물질에 녹는 개시제, 및 상기 주 물질에 녹는 색소를 포함할 수 있다.
본 개시의 일 실시예는 상기 타겟 대상물 분리 장치의 제2 통로부에 QC 용액을 주입하는 단계; 상기 제2 통로부에서의 상기 QC 용액의 높이를 식별하는 단계; 및 상기 QC 용액의 높이가 기 정해진 범위 기준을 만족하지 않는 경우, 상기 타겟 대상물 분리 장치가 불량이라고 식별하는 단계를 포함하고, 상기 타겟 대상물 분리 장치는 미세입자를 포함하는 유체가 주입되는 주입부, 상기 주입부에 주입된 유체가 유동하는 과정에서 타겟 대상물이 일정 방향으로 집중되어 유동하기 위한 제1 통로부, 상기 제1 통로부와 별도로 형성되는 상기 제2 통로부, 및 상기 일정 방향으로 집중된 타겟 대상물을 획득하는 타겟 대상물 획득부를 포함하는, 타겟 대상물 분리 장치의 QC 방법을 제공하고자 한다.
일 실시예에서, 타겟 대상물 분리 장치의 QC 방법은 상기 제2 통로부에 주입된 QC 용액을 경화시키는 단계를 더 포함하고, 상기 제1 통로부는 하나 이상의 제1 구조물을 포함하고, 상기 제2 통로부는, 상기 제1 통로부와 같은 높이를 가지며, 상기 하나 이상의 제1 구조물 각각과 같은 높이로 형성되는 하나 이상의 제2 구조물을 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제2 통로부에서의 상기 QC 용액의 높이를 식별하는 단계는, 상기 제2 통로부의 높이, 상기 제2 구조물의 높이, 및 상기 제2 통로부와 제2 구조물의 높이 차 중 적어도 하나를 식별하는 단계를 포함하고, 상기 타겟 대상물 분리 장치가 불량이라고 식별하는 단계는, 상기 제2 통로부의 높이, 상기 제2 구조물의 높이, 및 상기 제2 통로부와 제2 구조물의 높이 차 중 적어도 하나가 기 정해진 범위 기준을 만족하지 않는 경우, 상기 타겟 대상물 분리 장치가 불량이라고 식별하는 단계를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제2 통로부에서의 상기 QC 용액의 높이를 식별하는 단계는, 상기 QC 용액에 광원을 조사하여 상기 QC 용액의 높이를 식별하는 단계를 포함할 수 있다.
본 개시의 일 실시예에 따르면, 불량의 타겟 대상물 분리 장치가 식별될 수 있다.
또한, 본 개시의 일 실시예에 따르면, 미세입자 분리 장치의 접합 강도가 강화될 수 있다.
도 1은 본 개시의 일 실시예에 따른 제1 통로부와 제2 통로부를 포함하는 타겟 대상물 분리 장치의 일부를 도시하는 도면이다.
도 2는 본 개시의 일 실시예에 따른 제2 통로부의 일부를 도시하는 도면이다.
도 3은 본 개시의 일 실시예에 따른 식별자 구조물을 포함하는 제2 통로부의 일부를 도시하는 도면이다.
도 4는 본 개시의 일 실시예에 따른 타겟 대상물 분리 장치의 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 5a는 도 4의 타겟 대상물 분리 장치의 일부를 확대한 도면이다.
도 5b는 본 개시의 일 실시예에 따른 기둥 구조물을 포함하는 타겟 대상물 분리 장치의 단면도를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 6은 본 개시의 일 실시예에 따른 타겟 대상물 분리 장치를 제조하는 방법을 도시하는 도면이다.
도 7은 본 개시의 일 실시예에 따른 통로부의 높이를 확인하는 방법을 나타내는 도면이다.
도 8은 본 개시의 일 실시예에 따른 QC (Quality Control) 용액이 경화되는 과정을 나타내는 도면이다.
도 2는 본 개시의 일 실시예에 따른 제2 통로부의 일부를 도시하는 도면이다.
도 3은 본 개시의 일 실시예에 따른 식별자 구조물을 포함하는 제2 통로부의 일부를 도시하는 도면이다.
도 4는 본 개시의 일 실시예에 따른 타겟 대상물 분리 장치의 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 5a는 도 4의 타겟 대상물 분리 장치의 일부를 확대한 도면이다.
도 5b는 본 개시의 일 실시예에 따른 기둥 구조물을 포함하는 타겟 대상물 분리 장치의 단면도를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 6은 본 개시의 일 실시예에 따른 타겟 대상물 분리 장치를 제조하는 방법을 도시하는 도면이다.
도 7은 본 개시의 일 실시예에 따른 통로부의 높이를 확인하는 방법을 나타내는 도면이다.
도 8은 본 개시의 일 실시예에 따른 QC (Quality Control) 용액이 경화되는 과정을 나타내는 도면이다.
본 개시의 기술적 사상을 명확하게 하기 위하여 첨부된 도면을 참조하여 본 개시의 실시예를 상세하게 설명하도록 한다. 본 개시를 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 또는 구성요소에 대한 구체적인 설명이 본 개시의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략할 것이다. 도면들 중 실질적으로 동일한 기능구성을 갖는 구성요소들에 대하여는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 참조번호들 및 부호들을 부여하였다. 설명의 편의를 위하여 필요한 경우에는 장치와 방법을 함께 서술하도록 한다. 본 개시의 각 동작은 반드시 기재된 순서대로 수행되어야 할 필요는 없고, 병렬적, 선택적, 또는 개별적으로 수행될 수 있다.
본 개시의 실시예들에서 사용되는 용어는 본 개시의 기능을 고려하면서 가능한 현재 널리 사용되는 일반적인 용어들을 선택하였으나, 이는 당 분야에 종사하는 기술자의 의도 또는 판례, 새로운 기술의 출현 등에 따라 달라질 수 있다. 또한, 특정한 경우는 출원인이 임의로 선정한 용어도 있으며, 이 경우 해당되는 실시예의 설명 부분에서 상세히 그 의미를 기재할 것이다. 따라서 본 명세서에서 사용되는 용어는 단순한 용어의 명칭이 아닌, 그 용어가 가지는 의미와 본 개시의 전반에 걸친 내용을 토대로 정의되어야 한다.
본 개시 전체에서 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함할 수 있다. "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 즉, 본 개시 전체에서 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있음을 의미한다.
"적어도 하나의"와 같은 표현은, 구성요소들의 리스트 전체를 수식하고, 그 리스트의 구성요소들을 개별적으로 수식하지 않는다. 예를 들어, "A, B, 및 C 중 적어도 하나" 및 "A, B, 또는 C 중 적어도 하나"는 오직 A, 오직 B, 오직 C, A와 B 모두, B와 C 모두, A와 C 모두, A와 B와 C 전체, 또는 그 조합을 가리킨다.
또한, 본 개시에 기재된 "...부", "...모듈" 등의 용어는 적어도 하나의 기능이나 동작을 처리하는 단위를 의미하며, 이는 하드웨어 또는 소프트웨어로 구현되거나 하드웨어와 소프트웨어의 결합으로 구현될 수 있다.
본 개시 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우 뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 "전기적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
본 개시 전체에서 사용된 표현 "~하도록 구성된(또는 설정된)(configured to)"은 상황에 따라, 예를 들면, "~에 적합한(suitable for)", "~하는 능력을 가지는(having the capacity to)", "~하도록 설계된(designed to)", "~하도록 변경된(adapted to)", "~하도록 만들어진(made to)", 또는 "~를 할 수 있는(capable of)"과 바꾸어 사용될 수 있다. 용어 "~하도록 구성된(또는 설정된)"은 하드웨어적으로 "특별히 설계된(specifically designed to)" 것만을 반드시 의미하지 않을 수 있다. 대신, 어떤 상황에서는, "~하도록 구성된 시스템"이라는 표현은, 그 시스템이 다른 장치 또는 부품들과 함께 "~할 수 있는" 것을 의미할 수 있다. 예를 들면, 문구 "A, B, 및 C를 수행하도록 구성된(또는 설정된) 프로세서"는 해당 동작을 수행하기 위한 전용 프로세서(예: 임베디드 프로세서), 또는 메모리에 저장된 하나 이상의 소프트웨어 프로그램들을 실행함으로써, 해당 동작들을 수행할 수 있는 범용 프로세서(generic-purpose processor)(예: CPU 또는 application processor)를 의미할 수 있다.
본 개시에서 사용되는 용어 "약"은 주어진 수치 또는 범위의 10% 이내, 바람직하게는 5% 이내, 더욱 바람직하게는 1% 이내를 의미한다.
본 개시의 일 실시예는 세포 등과 같은 특정 미세입자 또는 혈장을 원하는 방향으로 분리 및/또는 농축하기 위한 타겟 대상물 분리 장치 및 이의 제조 방법으로, QC가 개선된 타겟 대상물 분리 장치 및 이의 제조 방법을 제공하고자 한다.
본 개시 전체에서 "타겟 대상물" 또는 "타겟 대상"이란, 타겟 대상물 분리 장치를 통해 분리하고자 하는 목표 대상으로, 예를 들어, 미세입자, 혈장 등을 포함할 수 있다. 여기서, 미세입자는 적혈구, 혈소판, 백혈구, 순환 종양 세포, 줄기 세포, 무력해진 보관된 적혈구(effete stored erythrocytes), 자가 T-세포 팽창으로부터 유래되는 T-세포, 유기 미세입자, 무기 미세입자, 유기 금속성 미세입자, 금속성 미세입자, 에어로졸 입자, 박테리아, 효모, 진균, 해조류, 바이러스, 미세 무척추 동물 또는 이의 알(egg), 꽃가루, 세포 또는 조직 단편, 세포괴, 세포 파편(예컨대, DNA 또는 RNA 정제와 연관된 세포 파편), 생물반응기-생산 세포 또는 입상체, 단백질, 단백질 응집물, 프리온, 소포, 리포솜, 석출물(예컨대, 혈액 또는 혈액 분획으로부터의 석출물, 산업용 공정 석출물, 폐수 석출물 등), 발효 식품으로부터의 입상체 또는 세포(예컨대, 발효 음료로부터의 입상체 또는 세포), 거대분자, 거대분자 응집물, DNA, 세포 기관, 포자, 기포, 액적 및 엑소좀 등을 포함할 수 있다.
도 1은 본 개시의 일 실시예에 따른 제1 통로부와 제2 통로부를 포함하는 타겟 대상물 분리 장치의 일부를 도시하는 도면이다.
도 1을 참조하면, 타겟 대상물 분리 장치(100)는 유체가 유동하는 과정에서 타겟 대상물이 일정 방향으로 집중되어 유동하기 위한 제1 통로부(110) 및 제1 통로부(110)의 높이가 일정한 높이로 형성되었는지 확인하기 위하여 제1 통로부(110)와는 별도로 형성되는 제2 통로부(120)를 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 제1 통로부(110)와 제2 통로부(120) 사이에는 차단벽(130)이 형성될 수 있다. 이에 따라, 미세입자를 포함하는 유체가 통과하는 제1 통로부(110)와 QC (Quality Control) 용액이 통과하는 제2 통로부(120)는 서로 간의 유입 또는 간섭이 없는 독립적인 통로를 가질 수 있다. 즉, 제1 통로부(110)에는 미세유체만이 유동되고, 제2 통로부(120)에는 QC 용액만이 유동될 수 있다.
일 실시예에서, 제2 통로부(120)는 복수의 구역으로 분할되어 형성될 수 있다. 제2 통로부(120)의 복수의 구역 각각의 높이는 대응되는 제1 통로부(110)의 구역의 높이를 식별하는데 이용될 수 있다.
일 실시예에서, 제1 통로부(110)는 하나 이상의 제1 구조물을 포함하고, 제2 통로부(120)는 하나 이상의 제2 구조물(142, 144, 146, 148)을 포함할 수 있다. 또한, 제2 통로부(120)의 복수의 구역 각각에 포함되는 제2 구조물(142, 144, 146, 148)은 대응되는 제1 통로부(110)의 구역의 미세패턴의 높이(또는 제1 구조물의 높이)를 식별하는데 이용될 수 있다. 이를 위하여, 제1 통로부(110)는 제2 통로부(120)와 같은 높이를 가지며, 하나 이상의 제2 구조물(142, 144, 146, 148)은 하나 이상의 제1 구조물 각각과 같은 높이를 가질 수 있다.
예를 들어, 제2 통로부(120)는 제1 구역(162) 및 제2 구역(164)을 포함하는 복수의 구역을 포함할 수 있다. 제2 구역(164)에 배치되는 제2 구조물(144, 146)은 제2 구역(164)에 대응되는 제1 통로부(110)의 구역(160)의 제1 구조물과 동일한 높이를 가질 수 있다. 또한, 제2 구역(164)의 높이는 제2 구역(164)에 대응되는 제1 통로부(110)의 구역(160)의 높이와 동일할 수 있다. 일 실시예에 따르면, 제2 구역(164)의 높이 및 제2 구역(164) 내에 존재하는 제2 구조물(144, 146)의 높이에 기초하여, 제1 구역의 높이 및 제1 구조물의 높이가 식별될 수 있다.
일 실시예에 따르면, 제2 통로부(120)의 높이는 미세유체가 유동되는 제1 통로부(110)의 높이와 동일하여, 미세유체가 유동되는 제1 통로부(110)와 별도로 형성된 제2 통로부(120)를 통하여 제1 통로부(110)가 제대로 형성되어 타겟 대상물 분리 기능을 원활히 수행할 수 있는지가 확인될 수 있다.
일 실시예에서, 제2 통로부(120)는 식별자 구조물(150)을 더 포함할 수 있다. 식별자 구조물(150)은 제2 통로부의 복수의 구역 각각을 식별하기 위한 구조물일 수 있다. 예를 들어, 식별자 구조물(150)은 제1 구조물과 동일한 높이를 가지는 숫자 형태의 구조물일 수 있다. 일 실시예에 따르면, 제2 통로부(120)에 식별자 구조물(150)을 배치함으로써, 제1 통로부(110) 중에서 어디가 잘못 형성되었는지가 간접적으로 식별될 수 있다.
도 2는 본 개시의 일 실시예에 따른 제2 통로부의 일부를 도시하는 도면이다.
도 2를 참조하면, 제2 통로부(120)는 하나 이상의 제2 구조물(172, 174, 176, 178)을 포함할 수 있다. 하나 이상의 제2 구조물이 형성하는 패턴은 QC (Quality Control) 패턴으로 지칭될 수 있다. 일 실시예에서, 하나 이상의 제2 구조물(172, 174, 176, 178)은 제1 통로부(110)의 제1 구조물과 같은 높이를 가지되, 단면으로는 다양한 형태를 가질 수 있다. 예를 들어, 도 2의 xy 단면에서 제2 구조물은 다양한 크기를 가지는 원형, 타원형, 직사각형, 정사각형, 마름모 등일 수 있다. 예를 들어, 제2 구조물 중 일부(172, 176)는 제1 구조물과 같은 높이를 가지고, 제2 통로부(120)의 폭을 가지는 직육면체의 형상을 가지고, 제2 구조물 중 일부(174, 178)은 제1 구조물과 같은 높이를 가질 수 있다. 즉, 제2 구조물은 원기둥, 직육면체 등의 다양한 형태를 가질 수 있다. 물론, 제2 구조물이 모두 같은 형태를 가질 수도 있음은 물론이다. 이러한 하나 이상의 제2 구조물(172, 174, 176, 178)은 제2 통로부(120)의 전체 또는 일부에 배치될 수 있다.
일 실시예에서, 하나 이상의 제2 구조물(172, 174, 176, 178)이 형성하는 QC 패턴은 미세유체가 통과하는 제1 통로부의 미세패턴과 동일한 높이를 가지도록 형성될 수 있다. 이에 따라, QC 패턴의 높이가 제1 통로부의 미세패턴의 높이를 대변할 수 있다.
도 3은 본 개시의 일 실시예에 따른 식별자 구조물을 포함하는 제2 통로부의 일부를 도시하는 도면이다.
도 3을 참조하면, 제2 통로부(120)는 하나 이상의 구역들로 나누어질 수 있다. 일 실시예에서, 제2 통로부(120)는 하나 이상의 제2 구조물(182, 184, 186, 188) 및 식별자 구조물(190)을 포함할 수 있고, 식별자 구조물(190)은 제2 통로부(120)의 하나 이상의 구역 각각을 식별하기 위한 구조물일 수 있다. 또한, 식별자 구조물(190)은 하나 이상의 제2 구조물(182, 184, 186, 188)과 같은 높이로 형성될 수 있다. 일 실시예에 따르면, 제2 통로부(120)에 식별자 구조물(190)을 배치함으로써, QC 과정에서 구역을 식별할 수 있음과 동시에, 제2 통로부(120)에 QC 용액이 주입되면 식별자 구조물의 높이에서부터 제2 통로부(120)의 높이까지 채워져 식별자 구조물(190) 자체도 QC 과정에 도움을 줄 수 있다.
도 3의 상부 그림에서 제2 통로부(120)를 위에서 바라본 xy 단면은 하부 그림과 같다. 즉, 식별자 구조물(190)을 통하여 어느 구역에 해당되는지가 식별될 수 있다. 식별을 편리하게 하기 위하여, 식별자 구조물(190)은 불투명하게 형성될 수도 있다.
일 실시예에서, 제2 통로부(120)는 통로부의 길이(또는 채널의 길이)에 따라 n개의 구역들로 구분될 수 있다. 예를 들어, 채널 길이가 긴 경우 제2 통로부(120)는 200개의 구역들로 구분되고, 각 구역은 1부터 200까지를 지시하는 식별자 구조물(190)을 포함할 수 있다. 또는, 채널 길이가 짧은 경우, 제2 통로부(120)는 30개의 구역들로 구분되고, 각 구역은 1부터 30까지를 지시하는 식별자 구조물(190)을 포함할 수 있다. 해당 구역에 대응되는 식별자 구조물의 높이에 기초하여 대응되는 구역의 높이가 식별될 수 있다.
도 4는 본 개시의 일 실시예에 따른 타겟 대상물 분리 장치의 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 4를 참조하면, 타겟 대상물 분리 장치(200)는 주입구(210), 주입부(215), 제1 통로부(220), 제2 통로부(미도시), 타겟 대상물 획득부(230b), 논-타겟(non-target) 대상물 배출부(230a), 고속 채널부(250) 등을 포함할 수 있다(단, 고속 채널부(250)는 선택적 구성일 수 있음). 일 실시예에서, 미세입자를 포함하는 유체는 주입구(210)를 통하여 타겟 대상물 분리 장치(200)에 주입될 수 있다. 주입부(215)는 주입구(210) 근처의 유체 유동 통로를 지칭할 수 있다. 일 실시예에서, 주입된 유체가 주입부(215) 및 제1 통로부(220)를 통과하여 유동함에 따라 타겟 대상물이 집중적으로 일정 방향으로 분리될 수 있다. 또한, 분리된 타겟 대상물은 타겟 대상물 획득부(230b)로 집중될 수 있다. 또한, 타겟 대상물이 아닌 논-타겟 대상물은 논-타겟 대상물 배출부(230a)로 집중될 수 있다.
일 실시예에서, 주입부(215), 제1 통로부(220), 타겟 대상물 획득부(230b) 및 논-타겟 대상물 배출부(230a) 중 적어도 하나는 적어도 하나의 기둥 구조물을 포함할 수 있다. 예를 들어, 백혈구를 분리하기 위한 타겟 대상물 분리 장치에는 주입부(215)에 기둥 구조물이 존재하고, 혈장을 분리하기 위한 타겟 대상물 분리 장치에는 주입부(215), 제1 통로부(220)에 기둥 구조물이 존재하며, 세포를 분리하기 위한 타겟 대상물 분리 장치에는 주입부(215), 제1 통로부(220), 타겟 대상물 획득부(230b), 논-타겟 대상물 배출부(230a) 모두에 기둥 구조물이 존재할 수 있다. 이들 각 장치의 제2 통로부에도 역시 기둥 구조물이 선택적으로 존재할 수 있다. 또한, 각 영역에 기둥 구조물은 복수 개 존재할 수도 있다. 다만, 이는 일 예시일 뿐 기둥 구조물은 타겟 대상물 분리 장치의 다양한 영역에 다양한 개수로 존재할 수 있다. 본 개시의 일 실시예에 따른 기둥구조물은 채널 중앙부 처짐 현상에 의한 채널 변형을 방지하고 타겟 대상물의 손상 또는 유동에 악영향을 방지할 수 있다. 기둥 구조물과 관련하여는 도 5b를 참조하여 보다 자세히 후술하기로 한다.
도 4에서는 제2 통로부가 도시되지 않았지만, 도 1 내지 도 3을 참조하여 전술한 제1 통로부(110)의 높이가 일정한 높이로 형성되었는지 확인하기 위한 제2 통로부가 제1 통로부(220)와는 별도로 형성될 수 있다.
일 실시예에서, 주입구(210)에는 미세입자를 포함하는 유체가 주입될 수 있다. 예를 들어, 튜브, 주사기, 파이펫 등을 통하여 유체가 주입될 수 있다. 또한, 예를 들어, 유체는 백혈구 또는 혈장 획득을 목적으로 하는 전혈을 포함할 수 있다. 또는, 유체는 세포 배양액을 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 주입된 유체가 주입부(215) 및 제1 통로부(220)에서 유동하는 동안, 타겟 대상물이 특정 방향으로 분리될 수 있다. 이에 따라, 타겟 대상물 분리 장치(200)의 일정 방향의 끝단에 타겟 대상물 획득부(230b)가 구비됨으로써, 분리된 타겟 대상물이 획득될 수 있다. 또한, 타겟 대상물 분리 장치(200)의 유체 통로의 끝단에는 논-타겟 대상물 배출부(230a)가 구비되어 논-타겟 대상물이 획득될 수 있다.
또는, 타겟 대상물 분리 장치(200)의 유체 통로의 끝단에 타겟 대상물 획득부가 구비되고, 타겟 대상물 분리 장치(200)의 일정 방향의 끝단에 논-타겟 대상물 획득부가 구비될 수도 있다(도시 안됨). 예컨대 논-타겟 대상물 획득부는 타겟 대상물 분리 장치(200)의 유체 통로의 중간에 구비되도록 채널을 형성할 수 있다. 또한, 논-타겟 대상물 획득부는 복수 개 구비될 수도 있다.
일 실시예에서, 타겟 대상물 분리 장치(200)의 타겟 대상물은 타겟 대상물 분리 장치(200)의 제1 통로부(220)의 패턴에 따라 달라질 수 있다.
본 개시의 일 실시예에서는 타겟 대상물 획득부(230b) 및 논-타겟 대상물 배출부(230a)가 각각 1개씩인 경우를 도시하였으나, 이는 일 예시일 뿐 타겟 대상물 획득부 및 논-타겟 대상물 배출부 중 적어도 하나는 복수 개일 수도 있다. 예를 들어, 타겟 대상물 분리 장치(200)는 2개 이상, 예컨대 4개 내지 10개의 타겟 대상물 획득부를 포함할 수 있다. 또한, 다른 예에서, 타겟 대상물 분리 장치(200)는 3개 이상, 예컨대 4개 내지 30개, 보다 구체적으로는 8개 내지 15개의 논-타겟 대상물 배출부를 포함할 수 있다. 이러한 타겟 대상물 획득부 및 논타겟 대상물 배출부의 각각의 개수는 타겟 대상물에 따라 동일하거나 또는 상이하게 결정될 수 있다.
또한, 타겟 대상물 획득부(230b)가 제1 타겟 대상물 획득부로 지칭되고, 논-타겟 대상물 배출부(230a)가 제2 타겟 대상물 획득부로 지칭될 수도 있다. 타겟 대상물 획득부(230b) 또는 논-타겟 대상물 배출부(230a)의 개수에 관한 구성은 달리 언급이 없더라도 이하 언급되는 각 실시예에 따른 타겟 대상물 분리 장치의 타겟 대상물 획득부 및 논-타겟 대상물 배출부에도 동일하게 적용될 수 있다.
일 실시예에서, 타겟 대상물 분리 장치(200)에는 복수개의 채널이 형성될 수 있다. 채널이란 주입구로부터 타겟 대상물 획득부 또는 논-타겟 대상물 배출부까지 이어지는 통로로, 타겟 대상물에 따라 채널의 개수가 동일하거나 상이하게 결정될 수 있다. 채널의 개수는 1개 내지 40개, 상세하게는 2개 내지 30개, 보다 상세하게는 5개 내지 20개 일 수 있다. 예를 들어, 주입구로부터 타겟 대상물 획득부까지의 채널 개수에 있어, 백혈구 분리 장치는 채널 개수가 6개이고, 혈장 분리 장치는 채널 개수가 6개이며, 세포 분리 장치는 채널 개수가 2개일 수 있다. 다만, 이는 일 예시일 뿐 다양한 개수의 채널로 타겟 대상물 분리 장치(200)가 형성될 수 있다.
일 실시예에서, 각각의 채널은 주입구에서 시작하여 타겟 대상물 획득부 또는 논-타겟 대상물 배출부로 이어지는 통로 중간에 여러 개의 채널로 갈라질 수 있으며, 이에 따라 추가 채널이 생성될 수 있다. 예컨대, 채널 중간에 별도의 채널이 생성되어 그 말단에는 논-타겟 대상물 배출부가 형성될 수 있다. 예를 들어 논-타겟 대상물 배출구가 8개 존재하는 경우, 주입구에서 시작된 채널(들)에서 8개의 추가 채널이 생성될 수 있다.
일 실시예에서, 제1 통로부(220)에는 미세패턴이 형성될 수 있다. 미세 패턴은 하나 이상의 제1 구조물 및 복수의 음각 구조물에 의해 형성될 수 있다. 상기 음각 구조물은 유체의 주 유동 방향에 수직한 방향으로 홈 형태를 가지는데, 복수의 음각 구조물 사이의 양각 형태가 제1 구조물을 형성하게 된다. 일 실시예에서, 주입구(210)를 통해 타겟 대상물 분리 장치(200)에게 주입된 유체가 주입부(215) 및 제1 통로부(220)에서 유동함에 따라, 타겟 대상물은 집중적으로 일정 방향으로 분리될 수 있다. 이러한 타겟 대상물의 분리는 제1 통로부(220) 내에 구비된 채널의 천장 또는 바닥면에 배치된 복수의 음각 구조물에 의해 수행될 수 있다. 일 실시예에서, 음각 구조물은 음각 채널부 또는 홈으로 지칭될 수도 있다.
일 실시예에서, 복수의 음각 구조물은 복수개가 서로 단절되어 형성된 구조를 가질 수 있다. 일 실시예에 따르면, 음각 구조물은 유체가 주로 유동하는 방향에 수직한 방향으로 이차 유동(secondary flow)을 유도하여, 효율적으로 미세입자가 분리 및 농축될 수 있다.
일 실시예에서, 음각 구조물은 길이 방향으로 곡선 형태를 가지는 경사구조물일 수 있다. 예를 들어, 복수의 음각 구조물에 의해 형성되는 미세 패턴은 곡선 형태일 수 있다. 예를 들어, 곡선은 원의 적어도 일부, 타원의 적어도 일부, 싸이클로이드 형상의 적어도 일부, 임의의 곡선 형태 등을 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 타겟 대상물 분리 장치(200)의 미세패턴은 유체의 주 유동 방향을 기준으로, 45 내지 135도의 각도로 형성될 수 있다. 예를 들어, 유체의 주 유동 방향을 x축으로 잡는 경우, 미세패턴의 각도(θ)는 약 45도 내지 약 135도의 각도를 가질 수 있다. 이 때, 미세패턴의 각도(θ)는 타겟 대상물이 무엇인지에 따라 결정될 수 있다. 예를 들어, 타겟 대상물에 따라, 타겟 대상물 분리 장치 내 일 채널에서의 미세패턴의 각도(θ)는 약 45도이고, 다른 채널에서의 미세패턴의 각도(θ)는 약 135도일 수 있다. 또다른 예에서, 일 채널에서의 미세패턴의 각도(θ)는 약 60도이고 다른 채널는 약 120도일 수 있다. 또다른 예에서, 일 채널에서의 미세패턴의 각도(θ)는 약 75도이고 다른 채널는 약 105도일 수 있다. 다만, 이는 일 예시일 뿐 타겟 대상물에 따라 미세패턴의 각도(θ)는 적절히 선택될 수 있다.
일 실시예에서, 주입구(210)로부터 타겟 대상물 획득부 사이 영역의 적어도 일부에는 고속 채널부(250)가 형성될 수 있다. 또한, 고속 채널부(250)에는 음각 구조물 (또는 제1 구조물)이 배치되지 않고, 고속 채널부(250) 이외의 영역에만 복수의 음각 구조물 (또는 제1 구조물)이 배치될 수 있다. 고속 채널부(250)와 관련하여는 도 5를 참조하여 보다 자세히 후술하기로 한다.
도 4에서는 타겟 대상물 분리 장치의 끝단에 타겟 대상물 획득부 또는 논-타겟 대상물 배출부가 배치되는 것으로 도시되었으나 이는 예시일 뿐, 타겟 대상물 획득부 및 논-타겟 대상물 배출부 중 적어도 하나는 타겟 대상물 분리 장치의 중간 부분에 위치할 수도 있음은 물론이다. 예를 들어, 타겟 대상물 분리 장치가 혈장 분리 장치인 경우, 타겟 대상물인 혈장 획득부는 혈장 분리 장치의 끝단에 위치하고, 논-타겟 대상물인 적혈구 또는 백혈구 배출구는 분리 장치의 중간 부분에 위치할 수 있다. 유사하게, 타겟 대상물 분리 장치가 백혈구 분리 장치인 경우, 타겟 대상물인 백혈구 획득부는 분리 장치의 끝단에 위치하고, 논-타겟 대상물인 적혈구 배출구는 분리 장치의 중간 부분에 위치할 수 있다.
도 5a는 도 4의 타겟 대상물 분리 장치의 일부를 확대한 도면이다.
도 5a를 참조하면, 도 4의 제1 통로부(220)의 일부가 확대된 도면이 도시된다. 일 실시예에서, 통로부는 복수의 음각 구조물과 고속 채널부(250)를 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 복수의 음각 구조물은 길이 방향으로 곡선 형태를 가지고, 이러한 음각 구조물(및 양각 형태의 제1 구조물)에 의하여 곡선의 미세 패턴이 형성될 수 있다. 예를 들어, 복수의 음각 구조물로 인해 형성되는 미세 패턴은 아크 형태를 가질 수 있다. 또한, 예를 들어, 곡선은 원의 적어도 일부, 타원의 적어도 일부, 싸이클로이드 형상의 적어도 일부, 임의의 곡선 형태 등을 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 고속 채널부(250)에는 음각 구조물이 배치되지 않고, 복수의 음각 구조물은 고속 채널부(250) 이외의 통로부에만 배치될 수 있다. 일 실시예에 따르면, 고속 채널부(250)는 미세입자가 농축되는 방향에 깊이 방향으로 형성되는 도랑형 채널로, 도랑형 채널을 형성함에 따라 타겟 대상물의 농축 효율을 높이고 반대 방향으로의 손실을 감소시킬 수 있다. 즉, 고속 채널부(250)는 미세입자를 가두기 위한 구조물로서의 역할을 수행할 수 있다.
일 실시예에서, 고속 채널부(250)는 주입부로부터 타겟 대상물 획득부까지의 영역의 적어도 일부에 형성될 수 있다. 일 실시예에 따르면, 고속 채널부(250)의 존재로 인하여 유체 저항이 저하되고, 국부적 유속이 증가될 수 있다. 또한, 이에 따라 압력이 감소하여 고속 채널부(250) 방향으로의 흐름이 발생하여 타겟 대상물의 농축 효율이 증가될 수 있다.
도 5b는 본 개시의 일 실시예에 따른 기둥 구조물을 포함하는 타겟 대상물 분리 장치의 단면도를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 5b를 참조하면, 채널 중앙부 처짐 현상을 방지하기 위하여 타겟 대상물 분리 장치(200)에 기둥 구조물(270)이 설치될 수 있다. 일 실시예에서, 기둥 구조물(270)은 주입부, 제1 통로부, 제2 통로부, 타겟 대상물 획득부, 논-타겟 대상물 배출부 중 적어도 하나에 배치될 수 있으며, 복수 개의 기둥 구조물(270)이 배치될 수도 있다. 예를 들어, 백혈구를 분리하기 위한 타겟 대상물 분리 장치(200)에는 기둥 구조물(270)이 주입부에만 배치될 수 있다. 또한, 예를 들어, 혈장을 분리하기 위한 타겟 대상물 분리 장치(200)에는 주입부, 제1 통로부에 기둥 구조물(270)이 배치될 수 있다. 또한, 예를 들어, 세포를 분리하기 위한 타겟 대상물 분리 장치(200)에는 주입부, 제1 통로부, 타겟 대상물 획득부 모두에 기둥 구조물(270)이 배치될 수 있다. 이들 각 장치의 제2 통로부에도 역시 기둥 구조물이 선택적으로 존재할 수 있다. 예를 들어, 기둥 구조물(270)은 채널의 중앙에 배치되거나, 적정 간격으로 배치되거나, 음각 구조물들 사이에 배치되거나, 채널 중앙부에 적정 간격으로 기둥 구조물(270)이 설치될 수 있다.
일 실시예에서, 기둥 구조물(270)은 복수의 음각 구조물(280) 외의 영역에 배치될 수 있다. 예를 들어, 기둥 구조물(270)은 음각 구조물(280)을 형성하는 구조물들(260)(예를 들어, 제1 구조물 또는 제2 구조물)의 적어도 일부 사이에 배치될 수 있다. 일 실시예에서, 기둥 구조물(270)은 용혈(hemolysis) 현상이 나타나지 않고, 유동에 영향을 주지 않는 선에서 배치되어야 한다. 이에 따라, 기둥 구조물(270)의 높이는 통로부의 높이와 동일하되, 유체의 주 운동방향을 x축, 채널의 너비 방향을 y축으로 둘 때 xy 평면으로 자른 단면은 원, 타원, 유선형(예: 배 모양), 둥근 다각형 등일 수 있다. 단면이 다각형인 경우 꼭짓점 부분의 단면적이 작아 꼭짓점에 세포 등과 같은 타겟 대상물 또는 논-타겟 대상물이 부딪힐 경우 충격량이 크기 때문에 이들의 손상을 야기할 수 있다. 따라서 기둥 구조물(270)이 꼭짓점을 포함하는 다각형일 경우, 기둥 구조물(270)의 단면은 꼭짓점 부분을 둥글게 만든 둥근 다각형으로 형성될 수 있다.
일 실시예에서, 기둥 구조물(270)의 높이는 통로부의 높이와 동일할 수 있다. 이에 따라, 기둥 구조물(270)은 원기둥, 타원 기둥, 유선형 기둥, 또는 둥근 다각형 기둥의 형태를 가질 수 있다.
일 실시예에서, 복수의 기둥 구조물(270)이 존재하는 경우에는 미세입자의 손상을 방지하기 위하여 복수의 기둥 구조물 사이의 간격은 미세입자의 지름보다 넓어야 한다. 이는 기둥 구조물에 의한 미세입자 끼임 현상과 용혈과 같은 미세입자의 손상을 방지하기 위함이다.
일 실시예에서, 기둥 구조물(270)은 플라스틱으로 제작될 수 있다. 이 경우 기둥 구조물(270)의 종횡비(높이/단면의 길이; 즉, 통로부의 높이/단면의 최대 길이)는 특정 값 이하이어야 한다. 예를 들어, QDM (Quick Delivery Mold)의 방법으로 타겟 대상물 분리 장치(200)를 제작하는 경우, 기둥 구조물(270)의 종횡비가 3을 초과하면 제조 과정에서 기둥 구조물이 손상될 수 있다. 이에 따라, 통로부의 높이에 따라 구조물의 단면의 최대 길이가 결정될 수 있다. 예를 들어, 통로부의 높이가 약 40μm 인 경우 구조물 단면의 최대 길이는 약 13μm 이상이어야 한다.
일 실시예에서, 채널 중앙부 처짐 현상을 방지하기 위하여 채널의 양끝으로부터 채널 너비의 약 50%가 되는 지점 안에 적어도 하나의 기둥 구조물(270)이 배치될 수 있다. 예를 들어, 채널 중앙에 기둥 구조물(270)이 배치되거나, 채널 양끝으로부터 채널 너비의 약 1/3, 즉, 약 33%가 되는 지점들에 기둥 구조물(270)이 배치될 수 있다.
일 실시예에서, 미세입자의 유동에 영향을 주지 않기 위하여 기둥 구조물(270)이 복수개 존재하는 경우, 기둥 구조물(270)의 간격은 음각 구조물(280)의 길이보다 같거나 넓어야 한다. 타겟 대상물 분리 장치의 분리 원리에 의하면 시료가 타겟 대상물 분리 장치에 주입되면 음각 구조물(280)의 경사 방향을 따라 이차 유동(defocusing flow)이 형성되고, 통로부에서는 반대 방향의 흐름(focusing flow)이 발생할 수 있다. 이 때, 이 반대 방향의 흐름에 의해 미세 입자가 한쪽 벽면으로 치우치게 되어 입자가 분리될 수 있다. 이 과정에서 기둥 구조물(270)이 음각 구조물(280)의 길이에 비해 짧은 간격으로 존재하게 되면 음각 구조물 방향의 흐름(defocusing flow)이 기둥 구조물(270)에 의해 방해받게 되고, 이에 의해 반대 방향의 흐름(focusing flow)이 약해지기 때문에 타겟 대상물 분리 장치(200)의 분리 효율에 영향을 미칠 수 있다. 이에 따라, 기둥 구조물(270)들의 간격은 이차 유동을 방해하지 않도록 음각 구조물(280)의 길이보다 넓게 형성될 수 있다.
일 실시예에 따르면, 기둥 구조물(270)을 이용하여 타겟 대상물 분리 장치의 채널 중앙부 처짐 현상이 방지될 수 있다.
도 6은 본 개시의 일 실시예에 따른 타겟 대상물 분리 장치를 제조하는 방법을 도시하는 도면이다.
도 6을 참조하면, 타겟 대상물 분리 장치를 제조하는 방법은 베이스 기판(310)을 마련하고, 베이스 기판(310)에 하나 이상의 제1 구조물(330, 335) 및 하나 이상의 제2 구조물(320, 325)을 형성하는 제1 레이어를 큐어링(curing)하는 단계를 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 제1 구조물(330, 335)는 주입부에 주입된 유체가 유동하는 과정에서 타겟 대상물이 일정 방향으로 집중되어 유동하기 위한 제1 통로부(380)에 형성되는 구조물이고, 제2 구조물(320, 325)는 제1 통로부의 높이가 일정한 높이로 형성되었는지 확인하기 위하여 제1 통로부와는 별도로 형성되는 제2 통로부(370, 375)에 형성되는 구조물일 수 있다. 또한, 제1 구조물(330, 335)과 제2 구조물(320, 325)는 동일한 높이로 형성될 수 있다. 일 실시예에서, 제2 통로부(370, 375)는 일정 패턴으로 반복하여 혹은 복수개의 변형된 패턴으로 제2 통로부(370, 375)의 전체 또는 일부에 배치될 수도 있다.
일 실시예에서, 타겟 대상물 분리 장치를 제조하는 방법은 베이스 기판(310)에 타겟 대상물 분리 장치의 기둥(340, 345) 및 차단벽(350, 355)을 형성하는 제2 레이어를 큐어링(curing)하는 단계를 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 기둥(340, 345)과 차단벽(350, 355)은 동일한 높이로 형성될 수 있다. 차단벽(350, 355)은 제1 통로부(380)와 제2 통로부(370, 375) 사이의 벽으로, 제1 통로부(380)와 제2 통로부(370, 375)가 서로 간의 유체 통과, 유입, 간섭 등이 없도록 하는 독립적인 통로를 갖게 할 수 있다.
일 실시예에서, 타겟 대상물 분리 장치를 제조하는 방법은 상기와 같은 과정으로 만들어진 기둥 및 차단벽의 상부에 커버를 결합시키는 단계를 포함할 수 있다. 커버가 결합됨으로써, 제1 통로부(380)와 제2 통로부(370, 375)가 형성될 수 있다. 일 실시예에서, 제1 통로부(380)와 제2 통로부(370, 375)는 하나일 수도 있고 복수 개일 수도 있다.
일 실시예에서, 제2 통로부(370, 375)에 QC 용액을 채워 QC 프로세스가 진행될 수 있다. 또한, QC 용액에 광원을 조사하여, 제2 통로부(370, 375)의 높이 및 제2 구조물(320, 325)의 높이가 식별될 수 있다. 일 실시예에서, QC 용액에 대한 광원의 조사는 LED 또는 가시광선 등을 통해 수행될 수 있다.
일 실시예에서, 제2 통로부(370, 375)의 높이는 제1 통로부(370)의 높이와 동일하게 제작하였으므로, QC 용액을 통해 식별된 제2 통로부(370, 375)의 높이로 제1 통로부(370)의 높이가 간접적으로 구해질 수 있다. 마찬가지로, 제2 구조물(320, 325)의 높이는 제1 구조물(330, 335)의 높이와 동일하게 제작하였으므로, QC 용액을 통해 식별된 제2 구조물(320, 325)의 높이로 제1 구조물의 높이가 간접적으로 구해질 수 있다.
일 실시예에 따르면, 제2 통로부(370, 375)를 통해 타겟 대상물 분리 장치의 사용 전에 미세입자를 포함하는 유체가 통과하는 제1 통로부가 일정한 높이로 제작되었는지가 확인될 수 있다. 여기서, 일정한 높이라는 것은 특정 값을 지칭하는 것은 아니고 특정 범위 내의 높이를 포함하는 개념일 수 있다.
도 7은 본 개시의 일 실시예에 따른 통로부의 높이를 확인하는 방법(QC 방법)을 나타내는 도면이다.
일 실시예에서, 미세입자 분리 장치의 QC는 통로부의 높이 차에 따른 색 변화로 감지한다. 즉, 높이가 높은 통로에서는 색이 진하게 보이고, 높이가 낮은 통로에서는 연하게 보이는데, 이를 광학 센서로 감지하여 색 변화(흡광도 변화)로부터 높이를 산출한다. 이를 위해 우선 검량선(Reference curve)를 작성하여야 하는데, 이는 동일한 색소 용액을 각 높이 별로 이미지를 촬영하고 소프트웨어로 어두운 정도를 분석하여, 이를 바탕으로 x 축이 높이이고, y 축이 흡광도인 검량선(Reference curve)를 작성한다.
도 7을 참조하면, QC 용액에 광원을 조사하여 제2 통로부(QC 채널)의 높이와 제2 구조물의 높이가 식별되는 방법이 도시된다. 도 7을 참조한 설명에서는 비어-람베르트 법칙(Beer-Lambert Law)이 이용되나, 이에 한정되는 것은 아니고, 제2 통로부와 제2 구조물의 높이를 식별할 수 있는 다양한 방법이 이용될 수 있다.
일 실시예에서, 비어-람베르트 법칙에 의해, 물질을 통과한 빛의 세기는 다음의 [수학식 1]과 같이 표현될 수 있다.
[수학식 1]
여기서 I는 두께 x만큼의 QC 용액을 통과한 후의 빛(또는 광자)의 선량 또는 세기(intensity)이고, I0는 초기의 빛(또는 광자)의 선량 또는 세기(intensity)이고, μ는 선형 감쇠 계수(linear attenuation coefficient)이고, x는 QC 용액의 두께일 수 있다. [수학식 1]과 사전에 작성해둔 높이-흡광도 검량선(Reference curve)를 이용하여, 제2 통로부 및 제2 구조물 중 적어도 하나의 높이가 식별될 수 있다.
예를 들어, 제2 통로부에 QC 용액을 채운 후, 해당 이미지를 촬영한 후, 전용 소프트웨어를 통해 빛의 세기를 측정할 수 있다. 제1 지점(400)에서 제2 통로부를 통과한 후의 빛의 세기가 I1인 경우, 검량선을 통해 I1에 대응되는 높이가 X1임이 식별될 수 있다. 이에 따라, 제2 통로부의 높이에서 제2 구조물의 높이를 뺀 높이가 X1임을 알 수 있고, 더 나아가 이 높이가 제1 통로부의 높이에서 제1 구조물의 높이를 뺀 높이로 인식될 수 있다. 또한, 제2 지점(500)에서 제2 통로부를 통과한 후의 빛의 세기가 I2인 경우, 검량선을 통해 I2에 대응되는 높이가 X2임이 식별될 수 있다. 이에 따라, 제2 통로부의 높이가 X2임을 알 수 있고, 이 높이가 제1 통로부의 높이로 간접적으로 인식될 수 있다. 또한, 제2 구조물의 높이는 X2-X1으로 식별될 수 있으며, 이 높이는 곧 제1 구조물의 높이로 간접적으로 인식될 수 있다. 일 실시예에서, 제2 통로부의 높이 및 제2 구조물의 높이 중 적어도 하나가 기준 범위를 벗어나면 해당 타겟 대상물 분리 장치는 불량으로 판단되어 사용되지 않을 수 있다.
도 7을 참조하면, 비어-람베르트 법칙(Beer-Lambert Law)을 이용하여 QC 프로세스를 수행하는 방법이 도시되나, 이에 한정되는 것은 아니고 QC 용액의 높이를 측정할 수 있는 다양한 방법을 이용하여 QC 프로세스가 진행될 수 있다. 예를 들어, QC 용액을 채운 뒤 제2 통로부의 다양한 영역의 이미지를 획득하고, 전용 소프트웨어로 다양한 영역의 이미지를 분석하여 색의 밝기를 통해 제2 통로부의 다양한 영역의 높이가 식별될 수 있다.
도 8은 본 개시의 일 실시예에 따른 QC 용액이 경화되는 과정을 나타내는 도면이다.
도 8을 참조하면, 사용되는 QC 용액은 제2 통로부에 채워지고 QC 프로세스를 마친 후, 경화되어 타겟 대상물 분리 장치의 접합 강도를 향상시킬 수 있다. 이를 위하여 QC 용액은 하나 이상의 바이닐(vinyl) 그룹을 가지면서 액체 상태인 주 물질을 하나 이상 포함할 수 있다. 또한, QC 용액은 주 물질에 녹는 개시제, 주 물질에 녹는 색소 등을 더 포함할 수 있다.
이에 따라, 본 발명은 또한 하나 이상의 바이닐(vinyl) 그룹을 가지면서 액체 상태인 주 물질, 개시제, 및 색소를 포함하는 QC 용액을 제공한다.
일 실시예에서, 주 물질은 다음 중 어느 하나 이상을 포함하나, 이로 제한되는 것은 아니다: 2-히드록시에틸 메타크릴레이트, 2-히드록시에틸 아크릴레이트, 스티렌, 폴리(2-히드록시에틸 메타크릴레이트), 에틸렌 글리콜 디메타크릴레이트, 에틸렌 글리콜 디아크릴레이트, 메틸 메타크릴레이트, 부틸 메타크릴레이트, 디(에틸렌 글리콜) 디아크릴레이트, 트리(에틸렌 글리콜) 디아크릴레이트, 테트라(에틸렌 글리콜) 디아크릴레이트, 디(에틸렌 글리콜) 디메타크릴레이트, 트리(에틸렌 글리콜) 디메타크릴레이트, 테트라(에틸렌 글리콜) 디메타크릴레이트, 폴리(에틸렌 글리콜) 디아크릴레이트 (Mn 700 이하 제품군 ex. 250, 575, 700), 1,4-부탄디올 디아크릴레이트, 1,3-부탄디올 디아크릴레이트, 1,4-부탄디올 디메타크릴레이트, 1,6-헥산디올 디메타크릴레이트, 1,6-헥산디올 디아크릴레이트, 디우레탄 디메타크릴레이트, 비스페놀A 에톡실레이트 디메타크릴레이트, 비스페놀A 글리세롤레이트 디메타크릴레이트, 비스페놀A 글리세롤레이트 디아크릴레이트, 트리 (프로필렌 글리콜) 디아크릴레이트, 폴리(프로필렌 글리콜) 디아크릴레이트, 메틸 아크릴레이트, 에틸 아크릴레이트, 프로필 아크릴레이트, 부틸 아크릴레이트, 펜틸 아릴레이트, 헥실 아크릴레이트, 헵틸 아크릴레이트, 옥틸 아크릴레이트, 벤질 아크릴레이트, tert-부틸 아크릴레이트, 이소데실 아크릴레이트, 아크릴산, 메틸 2-(히드록시메틸)아크릴레이트, 2-에틸헥실 아크릴레이트, 2-카르복시에틸 아크릴레이트, 폴리(에틸렌 글리콜) 메틸 에테르 아크릴레이트, 에틸렌 글리콜 메틸 에테르 아크릴레이트, 에틸렌 글리콜 페닐 에테르 아크릴레이트, 2-(디메틸아미노)에틸 아크릴레이트, 4-히드록시부틸 아크릴레이트, 히드록시프로필 아크릴레이트, 트리메틸실릴 아크릴레이트, 2-클로로에틸 아크릴레이트, 에틸 2-(히드록시메틸)아크릴레이트, 3-(디메틸아미노)프로필 아크릴레이트, 2-테트라히드로피라닐 아크릴레이트, 메틸 2-(클로로메틸)아크릴레이트, 2-(디에틸아미노)에틸 아크릴레이트 , 염화비닐, 3,5,5-트리메틸헥실 아크릴레이트, 에틸2-(브로모메틸)아크릴레이트, 아크릴무수물, 3-(트리메톡시실릴)프로필 아크릴레이트, 글리세롤 디메타크릴레이트, 4-히드록시부틸 아크릴레이트
일 실시예에서, 개시제는 다음 중 어느 하나 이상을 포함할 수 있으나, 이로 제한되는 것은 아니다: 아조비스이소부티로니트릴, 벤조일 퍼옥사이드, 2-하이드록시-4'-(2-하이드록시에톡시)-2-메틸프로피오페논, 2-메틸-4'-(메틸티오)-2-모폴리노프로피오페논, 2-하이드록시-2-메틸프로피오페논, 2,2'-아조비스(2-메틸부티로니트릴), 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴), 4,4'-아조비스(4-시아노발레르산), 디메틸 2,2'-아조비스(2-메틸프로피오네이트), 2,2'-아조비스(2-메틸프로피온아미딘)디하이드로클로라이드, tert-부틸하이드로퍼옥사이드, 큐멘하이드로퍼옥사이드, 디-tert-부틸퍼옥사이드, 디쿠밀퍼옥사이드, 캄포르퀴논, 아세토페논, 3-아세토페놀, 4-아세토페놀, 벤조페논, 2-메틸벤조페논, 3-메틸벤조페논, 3-히드록시벤조페논, 3,4-디메틸벤조페논, 4-히드록시벤조페논, 4-벤조일벤조산, 2-벤조일벤조산, 메틸 2-벤조일벤조에이트, 4,4'-디히드록시벤조페논, 4-(디메틸아미노)-벤조페논, 4,4'-비스 (디메틸아미노)-벤조페논, 4,4'-비스(디에틸아미노)-벤조페논, 4,4'-디클로로벤조페논, 4-(p-톨릴티오)벤조페논, 4-페닐벤조페논, 1,4-디벤조일벤젠, 벤질, 4,4' -디메틸벤질, p-아니실, 2-벤조일-2-프로판올, 1-벤조일시클로헥산올, 벤조인, 아니소인, 벤조인메틸에테르, 벤조인에틸에테르, 벤조인이소프로필에테르, 벤조인이소부틸에테르, O-토실벤조인, 2,2-디에톡시아세토페논, 벤질 디메틸케탈, 2-벤질-2-(디메틸아미노)-4'-모폴리노부티로페논, 2-이소니트로소프로피오페논, 안트라퀴논, 2-에틸안트라퀴논, 나트륨 안트라퀴논-2-설포네이트 일수화물, 9,10-페난트렌퀴논, 디벤조수베레논, 2-클로로티오크산톤, 2-이소프로필티오크산톤 , 2,4-디에틸티오크산텐-9-온, 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸, 디페닐(2,4,6- 트리메틸벤조일)포스핀옥사이드, 페닐비스(2,4,6-트리메틸벤조일)포스핀옥사이드, 리튬페닐(2,4,6-트리메틸벤조일)포스피네이트
일 실시예에서, 색소는 다음 중 어느 하나 이상을 포함할 수 있으나, 이로 제한되는 것은 아니다: 오일 레드 O(Oil red O), 오일 레드 EGN, 수단 레드 B, 수단 I(Sudan I), 수단 II, 수단 III, 수단 IV, 수단 레드 7B, 수단 레드 G, 수단 레드 B, 수단 블랙 B, 수단 I-d5, 수단 IV-d6, 4-아미노아조벤젠, 패스트 가넷 GBC 베이스, 퀴날딘 레드, 페놀 레드, 파이로갈롤 레드, 크레졸 레드, 메틸 레드, 콩고 레드, 뉴트럴 레드, 다이렉트 레드 80, 나일 레드, 클로로페놀 레드, 애시드 레드 1, 디스퍼스 레드 19, 미토 레드, 파라 레드, 다이렉트 레드 23, 디스퍼스 레드 13, 디스퍼스 레드 1, 애시드 레드 33, 다이렉트 레드 81, 알루라 레드 AC, 피그먼트 레드 53, 시트러스 레드 2, 애시드 레드 73, 디스퍼스 레드 17, 메틸 오렌지, 리액티브 오렌지 16 , 아크리딘 오렌지 베이스, 오렌지 G, 티아졸 오렌지, 디스퍼스 오렌지 3, 수단 오렌지 G, 디스퍼스 오렌지 1, 피그먼트 오렌지 5, 퀴놀린 옐로우, 브릴리언트 옐로우, 메타닐 옐로우, 버터 옐로우, 애시드 옐로우 25, 니트라진 옐로우, 아크리딘 옐로우 G, 타이탄 옐로우, 디스퍼스 옐로우 3, 솔벤트 옐로우 124, 메틸 그린, 인도시아닌 그린, 솔벤트 그린 3, 야누스 그린 B, 류코말라카이트 그린, 말라카이트 그린 클로라이드, 나프톨 그린 B, 티몰 블루, 자일레놀 블루, 셀레스틴 블루, 브로모티몰 블루, 나일 블루 A, 트리판 블루, 톨루이딘 블루, 애시드 블루 129, 오일 블루 N, 수단 블루 II, 수단 블루 59, 인디고 블루, 에리오크롬 블루-블랙 B, 에틸 바이올렛, 파이로카테콜 바이올렛, 크리스탈 바이올렛, 메틸 바이올렛, 류코크리스탈 바이올렛, 메틸렌 바이올렛, 수단 블랙 B, 나프톨 블루 블랙, 솔벤트 블랙 28
예를 들어, QC 용액은 폴리(에틸렌 글리콜) 디아크릴레이트(Poly(ethylene glycol) diacrylate(PEGDA575))의 주 물질과 아조비스이소부티로니트릴 (Azobisisobutyronitrile(AIBN))의 개시제와, 오일 레드 O(Oil red O) 색소를 포함할 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 일 실시예는 Poly(ethylene glycol) diacrylate(PEGDA575); Azobisisobutyronitrile; 및 Oil red O 색소를 포함하는 QC 용액을 제공한다. 보다 구체적 실시예에서, 상기 QC 용액은, 전체 총 중량을 기준으로, 98.6 중량%의 PEGDA575, 1 중량%의 AIBN 개시제, 0.4 중량%의 Oil red O 색소를 포함할 수 있다.
전술한 본 개시의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 개시가 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.
본 개시의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 개시의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
Claims (15)
- 미세입자를 포함하는 유체가 주입되는 주입부;
하나 이상의 제1 구조물을 포함하고, 상기 주입부에 주입된 유체가 유동하는 과정에서 타겟 대상물이 일정 방향으로 집중되어 유동하기 위한 제1 통로부;
상기 제1 통로부와 별도로 형성되는 제2 통로부; 및
상기 일정 방향으로 집중된 타겟 대상물을 획득하는 타겟 대상물 획득부를 포함하며,
상기 제2 통로부는,
품질 관리(Quality Control; QC) 용액을 채우기 위한 통로부이고, 상기 제1 통로부와 같은 높이를 가지며, 상기 하나 이상의 제1 구조물 각각과 같은 높이로 형성되는 하나 이상의 제2 구조물을 포함하는 것인,
타겟 대상물 분리 장치. - 제1항에 있어서,
상기 제2 통로부는 제1 구역 및 제2 구역을 포함하고,
상기 제1 구역에 배치되는 제2 구조물은,
상기 제1 구역에 대응되는 제1 통로부 상의 구역에 배치되는 제1 구조물과 동일한 높이를 가지며,
상기 제2 구역에 배치되는 제2 구조물은,
상기 제2 구역에 대응되는 제1 통로부 상의 구역에 배치되는 제1 구조물과 동일한 높이를 가지는 것인,
타겟 대상물 분리 장치. - 제1항에 있어서,
상기 제2 통로부는 복수의 구역을 포함하고,
상기 복수의 구역 각각에는 상기 복수의 구역 각각에 대한 식별자 구조물이 배치되며,
상기 복수의 구역 각각에 배치되는 제2 구조물 및 상기 식별자 구조물은,
상기 복수의 구역 각각에 대응되는 상기 제1 통로부의 구역 상에 위치하는 제1 구조물과 동일한 높이를 가지는 것인,
타겟 대상물 분리 장치. - 제1항에 있어서, 상기 제1 통로부와 상기 제2 통로부 사이에는 차단벽이 형성되는, 타겟 대상물 분리 장치.
- 제1항에 있어서,
상기 QC 용액은,
상기 제2 통로부에 채워진 후 경화되어 상기 타겟 대상물 분리 장치의 접합 강도를 향상시키는 것인,
타겟 대상물 분리 장치. - 제5항에 있어서, 상기 QC 용액은 하나 이상의 바이닐(vinyl) 그룹을 가지면서 액체 상태인 주 물질, 상기 주 물질에 녹는 개시제, 및 상기 주 물질에 녹는 색소를 포함하는 것인, 타겟 대상물 분리 장치.
- 타겟 대상물 분리 장치의 제조 방법으로서,
베이스 기판에 하나 이상의 제1 구조물 및 하나 이상의 제2 구조물을 형성하는 단계;
상기 베이스 기판에 상기 타겟 대상물 분리 장치의 기둥 및 차단벽을 형성하는 단계; 및
상기 기둥 및 상기 차단벽의 상부에 커버를 결합시키는 단계를 포함하고,
상기 차단벽은 제1 통로부와 제2 통로부 사이의 벽이고,
상기 제1 통로부는 주입부에 주입된 유체가 유동하는 과정에서 타겟 대상물이 일정 방향으로 집중되어 유동하기 위한 통로부이고,
상기 제2 통로부는 품질 관리(Quality Control; QC) 용액을 채우기 위한 통로부이며 상기 제1 통로부와 별도로 형성되는 통로부이고,
상기 하나 이상의 제1 구조물 각각은 대응되는 제2 구조물과 동일한 높이를 가지는, 타겟 대상물 분리 장치의 제조 방법. - 제7항에 있어서,
상기 제2 통로부는 제1 구역 및 제2 구역을 포함하고,
상기 제1 구역에 배치되는 제2 구조물은,
상기 제1 구역에 대응되는 제1 통로부 상의 구역에 배치되는 제1 구조물과 동일한 높이를 가지며,
상기 제2 구역에 배치되는 제2 구조물은,
상기 제2 구역에 대응되는 제1 통로부 상의 구역에 배치되는 제1 구조물과 동일한 높이를 가지는, 타겟 대상물 분리 장치의 제조 방법. - 제7항에 있어서,
상기 제2 통로부는 복수의 구역을 포함하고,
상기 타겟 대상물 분리 장치의 제조 방법은,
상기 복수의 구역 각각에 상기 복수의 구역 각각에 대한 식별자 구조물을 형성하는 단계를 더 포함하며,
상기 복수의 구역 각각에 배치되는 제2 구조물 및 상기 식별자 구조물은,
상기 복수의 구역 각각에 대응되는 상기 제1 통로부의 구역 상에 위치하는 제1 구조물과 동일한 높이를 가지는 것인, 타겟 대상물 분리 장치의 제조 방법. - 제7항에 있어서,
상기 QC 용액은,
상기 제2 통로부에 채워진 후 경화되어 상기 타겟 대상물 분리 장치의 접합 강도를 향상시키는, 타겟 대상물 분리 장치의 제조 방법. - 제10항에 있어서, 상기 QC 용액은,
하나 이상의 바이닐(vinyl) 그룹을 가지면서 액체 상태인 주 물질, 상기 주 물질에 녹는 개시제, 및 상기 주 물질에 녹는 색소를 포함하는, 타겟 대상물 분리 장치의 제조 방법. - 타겟 대상물 분리 장치의 QC(Quality Control) 방법으로서,
상기 타겟 대상물 분리 장치의 제2 통로부에 QC 용액을 주입하는 단계;
상기 제2 통로부에서의 상기 QC 용액의 높이를 식별하는 단계; 및
상기 QC 용액의 높이가 기 정해진 범위 기준을 만족하지 않는 경우, 상기 타겟 대상물 분리 장치가 불량이라고 식별하는 단계를 포함하고,
상기 타겟 대상물 분리 장치는 미세입자를 포함하는 유체가 주입되는 주입부, 상기 주입부에 주입된 유체가 유동하는 과정에서 타겟 대상물이 일정 방향으로 집중되어 유동하기 위한 제1 통로부, 상기 제1 통로부와 별도로 형성되는 상기 제2 통로부, 및 상기 일정 방향으로 집중된 타겟 대상물을 획득하는 타겟 대상물 획득부를 포함하는, 타겟 대상물 분리 장치의 QC 방법. - 제12항에 있어서,
상기 제2 통로부에 주입된 QC 용액을 경화시키는 단계를 더 포함하고,
상기 제1 통로부는 하나 이상의 제1 구조물을 포함하고,
상기 제2 통로부는,
상기 제1 통로부와 같은 높이를 가지며, 상기 하나 이상의 제1 구조물 각각과 같은 높이로 형성되는 하나 이상의 제2 구조물을 포함하는 것인, 타겟 대상물 분리 장치의 QC 방법. - 제13항에 있어서, 상기 제2 통로부에서의 상기 QC 용액의 높이를 식별하는 단계는,
상기 제2 통로부의 높이, 상기 제2 구조물의 높이, 및 상기 제2 통로부와 제2 구조물의 높이 차 중 적어도 하나를 식별하는 단계를 포함하고,
상기 타겟 대상물 분리 장치가 불량이라고 식별하는 단계는,
상기 제2 통로부의 높이, 상기 제2 구조물의 높이, 및 상기 제2 통로부와 제2 구조물의 높이 차 중 적어도 하나가 기 정해진 범위 기준을 만족하지 않는 경우, 상기 타겟 대상물 분리 장치가 불량이라고 식별하는 단계를 포함하는, 타겟 대상물 분리 장치의 QC 방법. - 제12항에 있어서, 상기 제2 통로부에서의 상기 QC 용액의 높이를 식별하는 단계는,
상기 QC 용액에 광원을 조사하여 상기 QC 용액의 높이를 식별하는 단계를 포함하는, 타겟 대상물 분리 장치의 QC 방법.
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