KR102621299B1 - 에어 커튼 겸용 오토 셔터 - Google Patents

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Abstract

일 실시 예에 따른 에어 커튼 겸용 오토 셔터는, 제1챔버 및 제2챔버의 연결부위에 배치되는 도어부; 상기 연결부위가 개방 또는 폐쇄되도록 상기 도어부를 구동시키는 구동부; 상기 연결부위가 개방될 때, 상기 제1챔버 및 제2챔버의 연결부위에 에어 배리어가 형성되도록 에어를 분사하는 에어 분사부를 포함할 수 있다.

Description

에어 커튼 겸용 오토 셔터{AUTO SHUTTER COMBINED AIR CURTAIN}
아래의 실시 예는 에어 커튼 겸용 오토 셔터에 관한 것이다.
일반적으로 반도체는 리소그래피, 증착 및 에칭 등과 같은 일련의 공정들이 반복적으로 수행되어 제조된다. 각 공정 챔버들 사이를 격리시키기 위해 오토 셔터 등이 이용된다. 또한 각 격리된 챔버들 사이를 이동하는 기판을 따라, 일 챔버에서 타 챔버로 약액 또는 DI 등이 유입되는 것을 방지하기 위하여 에어 커튼 등이 이용된다. 다만, 오토 셔터 및 에어 커튼을 각각 설치하는 경우, 공간을 많이 차지하게 되며, 유지 보수에 불편함이 있다는 문제가 있었다. 따라서, 공간을 절약하고, 관리 시간을 단축시키며 유지 보수를 편리하게 할 수 있도록, 에어 커튼 겸용 오토 셔텨가 요구된다.
전술한 배경기술은 발명자가 본 발명의 도출과정에서 보유하거나 습득한 것으로서, 반드시 본 발명의 출원 전에 일반 공중에 공개된 공지기술이라고 할 수는 없다.
일 실시 예의 목적은, 공간을 절약할 수 있도록 각 챔버의 격리 기능과 각 챔버 간 이물질 유입 방지 기능을 동시에 수행하는 에어 커튼 겸용 오토 셔터를 제공하는 것이다.
일 실시 예의 목적은, 유지 보수가 용이한 에어 커튼 겸용 오토 셔터를 제공하는 것이다.
일 실시 예에 따른 에어 커튼 겸용 오토 셔터는, 제1챔버 및 제2챔버의 연결부위에 배치되는 도어부; 상기 연결부위가 개방 또는 폐쇄되도록 상기 도어부를 구동시키는 구동부; 상기 연결부위가 개방될 때, 상기 제1챔버 및 제2챔버의 연결부위에 에어 배리어가 형성되도록 에어를 분사하는 에어 분사부를 포함할 수 있다.
상기 도어부는 상기 구동부에 의하여 회전되고, 상기 도어부가 수직인 상태에서 상기 연결부위는 폐쇄되고, 상기 도어부가 수평인 상태에서 상기 연결부위는 개방될 수 있다.
상기 구동부는 실린더를 포함하고, 상기 도어부는 상기 실린더의 압축 또는 신장에 의해 회전될 수 있다.
상기 에어 배리어가 형성되는 경로와 상기 도어부의 회전 경로가 서로 간섭되지 않도록, 상기 에어 분사부는 위치 조절 가능할 수 있다.
상기 에어 분사부는, 상기 구동부에 의하여 위치 조절될 수 있다.
상기 실린더가 압축 또는 신장되면, 상기 도어부의 회전 및 상기 에어 분사부의 위치 조절이 동시에 수행될 수 있다.
상기 도어부의 단부 및 에어 배리어 사이의 이격 거리는 일정하게 유지될 수 있다.
상기 에어 분사부에서 분사된 에어를 흡입하는 에어 흡입부를 포함할 수 있다.
상기 에어 분사부는 상기 도어부보다 상측에 배치되고, 상기 에어 흡입부는 상기 도어부보다 하측에 배치될 수 있다.
상기 에어 흡입부에서 흡입된 에어를 상기 에어 분사부로 전달하여 에어를 순환시키는 에어 순환부를 더 포함할 수 있다.
상기 에어 순환부에는 이물질을 필터링하는 필터부가 구비될 수 있다.
상기 에어 분사부는 단부에 위치되는 슬릿을 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따른 에어 커튼 겸용 오토 셔터는, 각 챔버의 격리 기능과 각 챔버 간 이물질 유입 방지 기능을 동시에 수행할 수 있다.
일 실시 예에 따른 에어 커튼 겸용 오토 셔터를 이용하면 공간을 절약할 수 있다.
일 실시 예에 따른 에어 커튼 겸용 오토 셔터는, 유지 보수가 용이할 수 있다.
일 실시 예에 따른 에어 커튼 겸용 오토 셔터의 효과는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 효과들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 일 실시 예를 예시하는 것이며, 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술적 사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니 된다.
도 1은 일 실시 에에 따른 에어 커튼 겸용 오토 셔터의 개략도이다.
도 2는 일 실시 예에 따른 에어 커튼 겸용 오토 셔터의 부분 확대도이다.
도 3은 일 실시 예에 따른 에어 커튼 겸용 오토 셔터의 블록도이다.
이하, 실시 예들을 예시적인 도면을 통해 상세하게 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 실시 예를 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 실시 예에 대한 이해를 방해한다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
또한, 실시 예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
어느 하나의 실시 예에 포함된 구성요소와, 공통적인 기능을 포함하는 구성요소는, 다른 실시 예에서 동일한 명칭을 사용하여 설명하기로 한다. 반대되는 기재가 없는 이상, 어느 하나의 실시 예에 기재한 설명은 다른 실시 예에도 적용될 수 있으며, 중복되는 범위에서 구체적인 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 일 실시 에에 따른 에어 커튼 겸용 오토 셔터의 개략도이다. 도 2는 일 실시 예에 따른 에어 커튼 겸용 오토 셔터의 부분 확대도이다. 도 3은 일 실시 예에 따른 에어 커튼 겸용 오토 셔터의 블록도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 일 실시 예에 따른 에어 커튼 겸용 오토 셔터(1)는 제1챔버 및 제2챔버를 격리시킬 수 있다. 에어 커튼 겸용 오토 셔터(1)는 제1챔버 및 제2챔버의 연결부위를 개방 또는 폐쇄시킬 수 있다. 에어 커튼 겸용 오토 셔터(1)는 제1챔버 및 제2챔버 간 서로 이물질이 유입되지 않도록 에어 배리어를 형성할 수 있다. 에어 커튼 겸용 오토 셔터(1)를 이용하면, 공간을 절약할 수 있으며, 유지 보수가 용이할 수 있다.
일 실시 예에 따른 에어 커튼 겸용 오토 셔터(1)는 도어부(11), 구동부(12), 에어 분사부(13), 에어 흡입부(14) 및 에어 순환부(15)를 포함할 수 있다.
도어부(11)는 제1챔버 및 제2챔버의 연결부위에 배치될 수 있다. 도어부(11)는 제1챔버 및 제2챔버의 연결부위를 개방 또는 폐쇄시킬 수 있다. 도어부(11)는 구동부(12)에 의해 구동될 수 있다. 도어부(11)는 회전축 및 도어부재를 포함할 수 있다.
구동부(12)는 제1챔버 및 제2챔버의 연결부위가 개방 또는 폐쇄되도록 도어부(11)를 구동시킬 수 있다. 구동부(12)는 도어부(11)를 회전시킬 수 있다. 구동부(12)는 실린더(121)를 포함할 수 있다. 도어부(11)는 실린더(121)의 압축 또는 신장에 의해 회전될 수 있다. 도어부(11)가 수직인 상태에서 연결부위는 폐쇄될 수 있다. 도어부(11)가 수평인 상태에서 연결부위는 개방될 수 있다. 한편, 구동부(12)는 후술하는 에어 분사부(13)의 위치도 함께 조절할 수 있다.
에어 분사부(13)는 챔버 간 이물질이 유입되는 것이 방지되도록 에어를 분사할 수 있다. 에어 분사부(13)는 제1챔버 및 제2챔버의 연결부위에 에어 배리어가 형성되도록 에어를 분사할 수 있다. 에어 배리어는 제1챔버에서 제2챔버로 또는 제2챔버에서 제1챔버로 이물질이 유입되는 것을 방지할 수 있다. 예를 들어, 제1챔버는 린스액를 분사하고, 제2챔버는 약액을 분사할 수 있다. 에어 분사부(13)는 에어를 분사하여 에어 배리어를 형성함으로써, 기판 반송시 제1챔버의 린스액이 기판의 상부를 따라 제2챔버로 유입되는 것을 방지할 수 있다. 이와 동시에 에어 배리어는 제2챔버의 약액이 제1챔버로 유입되는 것을 방지할 수 있다. 에어 분사부(13)는 도어부(11)보다 상측에 배치될 수 있다. 에어 분사부(13)는 챔버 간 연결부위가 개방될 때 에어를 분사할 수 있다. 예를 들어, 에어 분사부(13)는 도어부(11)가 구동부에 의하여 회전하면서 연결부위가 개방될 때, 에어를 분사하여 에어 배리어를 형성할 수 있다. 에어 분사부(13)는 연결부위가 개방되는 시점부터 폐쇄되는 시점까지 에어를 분사할 수 있다. 즉, 에어 분사부(13)는 연결부위가 개방되어 있는 동안 에어를 분사하여 에어 배리어를 형성할 수 있다. 에어 분사부(13)의 단부에는 슬릿이 구비될 수 있다. 에어 분사부(13)에서 분사되는 에어는, 슬릿을 통과하면서 속도가 빨라질 수 있다. 이와 같은 구성에 의하면, 에어 배리어의 차단력이 더욱 강화될 수 있다.
에어 흡입부(14)는 에어 분사부(13)에서 분사된 에어를 흡입할 수 있다. 이와 같은 구조에 의하면, 에어 배리어가 형성되는 경로를 조절할 수 있다. 즉, 에어 분사부(13)에서 분사된 에어가 에어 흡입부(14)로 흡입되면서 그 사이의 경로에 에어 배리어가 형성될 수 있다. 제1챔버 및 제2챔버에서 각각 분사되는 액체들은 에어 배리어에 의해 가로막히고, 타 챔버로 유입되는 것이 방지될 수 있다. 에어 흡입부(14)는 도어부(11)보다 하측에 배치될 수 있다. 따라서, 에어 배리어는 도어부의 상측부터 하측까지 형성될 수 있다.
에어 순환부(15)는 에어를 순환시킬 수 있다. 에어 순환부(15)는 에어 흡입부(14)에서 흡입된 에어를 에어 분사부(13)로 전달할 수 있다. 에어는 에어 순환부(15)를 통하여 지속적으로 순환될 수 있다. 에어 순환부(15)는 이물질을 필터링하는 필터부(151)를 구비할 수 있다. 따라서, 에어가 지속적으로 순환되더라도 필터부(151)에 의하여 이물질이 필터링되므로, 에어가 오염되는 것을 방지할 수 있다.
한편, 에어 분사부(13)의 위치는 조절 가능할 수 있다. 에어 분사부(13)의 위치가 조절되면, 에어 배리어가 형성되는 경로가 변경될 수 있다. 도어부(11)의 회전 경로와 에어 배리어가 형성되는 경로가 서로 간섭되지 않도록, 에어 분사부(13)의 위치가 조절될 수 있다. 에어 배리어가 형성되는 경로와 도어부(11)의 회전 경로가 간섭을 일으키게 되면, 에어 배리어가 불완전하게 형성될 수 있으므로, 에어 배리어의 형성 경로와 도어부(11)의 회전 경로가 간섭되지 않는 것이 바람직할 수 있다. 에어 분사부(13)의 위치는 구동부(12)에 의하여 조절될 수 있다. 에어 분사부(13)의 위치는 에어 분사부(13)의 각도를 포함하는 개념일 수 있다. 구동부(12)의 실린더(121)가 압축 또는 신장되면, 도어부(11)의 회전과 함께 에어 분사부(13)의 위치 조절이 동시에 수행될 수 있다. 다시 말해, 실린더(121)는 한번의 움직임으로, 도어부(11)의 회전 및 에어 분사부(13)의 위치 조절을 동시에 수행할 수 있다. 이와 같은 구조에 의하면, 도어부(11)의 회전과 에어 분사부(13)의 위치 조절이 서로 동기화되어 구동될 수 있다. 또한, 하나의 구동부(12)로 구동되므로, 유지 보수가 편리해질 수 있으며, 공간이 절약될 수 있다. 예를 들어, 구동부(12)는 도어부(11)의 단부 및 에어 배리어 사이의 이격 거리가 일정하게 유지되도록, 에어 분사부(13)의 위치를 조절할 수 있다. 예를 들어, 도 2의 상태를 기준으로, 도어부(11)가 수직 상태에서 수평 상태로 회전하는 동안, 도어부(11)의 단부는 점차 우측으로 이동할 수 있다. 도어부(11)의 단부가 우측으로 이동되면, 에어 배리어가 형성되는 경로와 간섭을 일으키게 되므로, 구동부(12)는 에어 분사부(13)를 도어부(11)의 회전과 동시에 우측으로 이동시킬 수 있다. 이와 같은 구조에 의하면, 에어 분사부(13)에서 에어가 분사되는 위치가 우측으로 이동되므로, 에어 배리어는 도어부(11)와 간섭되지 않을 수 있다. 또한, 에어 분사부(13) 및 도어부(11)가 구동부(12)에 의해 동기화되어 구동되므로, 각 구동 타이밍에 오차가 생기지 않을 수 있다. 한편, 구동부(12)는 에어 분사부(13)뿐만 아니라, 에어 흡입부(14)의 위치도 조절할 수 있다. 예를 들어, 구동부(12)는 에어 분사부(13)와 대응되는 동작으로 에어 흡입부(14)를 조절할 수 있다. 도어부(11), 에어 분사부(13) 및 에어 흡입부(14)의 구동은 실린더(121)의 압축 또는 신장에 의해 동시에 수행될 수 있다. 이와 같은 구조에 의하면, 오토 셔터와 에어 커튼을 서로 연동 구동할 수 있고, 공간을 절약할 수 있다.
이상과 같이 비록 한정된 도면에 의해 실시 예들이 설명되었으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기의 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 구조, 장치 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다.
1: 에어 커튼 겸용 오토 셔터
11: 도어부
12: 구동부
121: 실린더
13: 에어 분사부
14: 에어 흡입부
15: 에어 순환부
151: 필터부

Claims (12)

  1. 제1챔버 및 제2챔버의 연결부위에 배치되는 도어부;
    상기 연결부위가 개방 또는 폐쇄되도록 상기 도어부를 구동시키는 구동부;
    상기 연결부위가 개방될 때, 상기 제1챔버 및 제2챔버의 연결부위에 에어 배리어가 형성되도록 에어를 분사하는 에어 분사부를 포함하고,
    상기 구동부는 실린더를 포함하고,
    상기 도어부는 상기 실린더의 압축 또는 신장에 의해 회전되고,
    상기 에어 배리어가 형성되는 경로와 상기 도어부의 회전 경로가 서로 간섭되지 않도록, 상기 에어 분사부는 위치 조절 가능하고,
    상기 에어 분사부는, 상기 구동부에 의하여 위치 조절되고,
    상기 실린더가 압축 또는 신장되면, 상기 도어부의 회전 및 상기 에어 분사부의 위치 조절이 동시에 수행되고,
    상기 도어부의 단부 및 에어 배리어 사이의 이격 거리는 일정하게 유지되는, 에어 커튼 겸용 오토 셔터.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 도어부는 상기 구동부에 의하여 회전되고, 상기 도어부가 수직인 상태에서 상기 연결부위는 폐쇄되고, 상기 도어부가 수평인 상태에서 상기 연결부위는 개방되는, 에어 커튼 겸용 오토 셔터.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 제1항에 있어서,
    상기 에어 분사부에서 분사된 에어를 흡입하는 에어 흡입부를 포함하는, 에어 커튼 겸용 오토 셔터.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 에어 분사부는 상기 도어부보다 상측에 배치되고, 상기 에어 흡입부는 상기 도어부보다 하측에 배치되는, 에어 커튼 겸용 오토 셔터.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 에어 흡입부에서 흡입된 에어를 상기 에어 분사부로 전달하여 에어를 순환시키는 에어 순환부를 더 포함하는, 에어 커튼 겸용 오토 셔터.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 에어 순환부에는 이물질을 필터링하는 필터부가 구비되는, 에어 커튼 겸용 오토 셔터.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 에어 분사부는 단부에 위치되는 슬릿을 포함하는, 에어 커튼 겸용 오토 셔터.

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