KR102610626B1 - Light emitting diode having solder bump - Google Patents

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Abstract

일 실시예에 따른 발광 다이오드는, 제1 도전형 반도체층; 상기 제1 도전형 반도체층 상에 배치된 활성층; 상기 활성층 상에 배치된 제2 도전형 반도체층; 상기 제1 도전형 반도체층에 전기적으로 접속된 제1 범프 패드; 상기 제2 도전형 반도체층에 전기적으로 접속된 제2 범프 패드; 상기 제1 범프 패드 상에 배치된 제1 솔더 범프; 및 상기 제2 범프 패드 상에 배치된 제2 솔더 범프를 포함하고, 상기 제1 및 제2 솔더 범프는 각각 상기 제1 범프 패드 및 제2 범프 패드의 두께의 10배 내지 80배 범위 내의 두께를 가진다.A light emitting diode according to an embodiment includes a first conductive semiconductor layer; an active layer disposed on the first conductive semiconductor layer; a second conductive semiconductor layer disposed on the active layer; a first bump pad electrically connected to the first conductive semiconductor layer; a second bump pad electrically connected to the second conductive semiconductor layer; a first solder bump disposed on the first bump pad; and a second solder bump disposed on the second bump pad, wherein the first and second solder bumps each have a thickness in the range of 10 to 80 times the thickness of the first bump pad and the second bump pad. have

Description

솔더 범프를 갖는 발광 다이오드{LIGHT EMITTING DIODE HAVING SOLDER BUMP}Light emitting diode with solder bumps {LIGHT EMITTING DIODE HAVING SOLDER BUMP}

본 발명은 발광 다이오드에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 솔더 범프를 갖는 발광 다이오드에 관한 것이다.The present invention relates to a light emitting diode, and more particularly to a light emitting diode having a solder bump.

일반적으로 질화갈륨(GaN), 질화알루미늄(AlN) 등과 같은 Ⅲ족 원소의 질화물은 열적 안정성이 우수하고 직접 천이형의 에너지 밴드(band) 구조를 가지므로, 최근 가시광선 및 자외선 영역의 광원용 물질로 많은 각광을 받고 있다. 특히, 질화인듐갈륨(InGaN)을 이용한 청색 및 녹색 발광 다이오드는 대규모 천연색 평판 표시 장치, 신호등, 실내조명, 고밀도광원, 고해상도 출력 시스템과 광통신 등 다양한 응용 분야에 활용되고 있다.In general, nitrides of group III elements such as gallium nitride (GaN) and aluminum nitride (AlN) have excellent thermal stability and have a direct transition energy band structure, so they have recently been used as light source materials in the visible and ultraviolet regions. is receiving a lot of attention. In particular, blue and green light-emitting diodes using indium gallium nitride (InGaN) are used in various application fields such as large-scale color flat panel displays, traffic lights, indoor lighting, high-density light sources, high-resolution output systems, and optical communications.

일반적으로, 발광 다이오드는 다양한 칩 형태로 제공되고, 발광 다이오드 칩이 패키지, 서브 마운트 또는 인쇄회로보드 등의 실장면에 실장된다. 예를 들어, 플립칩 형태의 발광 다이오드는 범프 패드들을 포함하며, 범프 패드들이 솔더 페이스트를 통해 인쇄회로보드 등의 접속 패드들에 실장된다.Generally, light emitting diodes are provided in various chip forms, and the light emitting diode chips are mounted on a mounting surface such as a package, submount, or printed circuit board. For example, a flip-chip type light emitting diode includes bump pads, and the bump pads are mounted on connection pads such as a printed circuit board through solder paste.

종래 기술에 따른 실장 공정은 일반적으로, 솔더 페이스트를 접속 패드들 상에 도포하고, 발광 다이오드 칩의 범프 패드들을 솔더 페이스트 상에 올로 놓은 후 리플로우 공정을 통해 수행되며, 이에 따라, 솔더에 의해 범프 패드들이 접속 패드들에 본딩된다.The mounting process according to the prior art is generally performed by applying solder paste on the connection pads, placing the bump pads of the light emitting diode chip on the solder paste, and then performing a reflow process, whereby the bumps are formed by solder. The pads are bonded to the connecting pads.

그런데 발광 다이오드 칩을 본딩하기 위해서는 상당한 양의 솔더 페이스트를 접속 패드들 상에 도포할 필요가 있다. 이를 위해, 하나의 접속 패드 상에 솔더 페이스트를 여러 번 도포하는 것이 요구되기도 한다. 따라서, 접속 패드들 상에 도포되는 솔더 페이스트의 양이 증가할수록 발광 다이오드 칩의 실장 공정이 복잡해지며, 공정 불량이 발생할 가능성도 커진다.However, in order to bond a light emitting diode chip, it is necessary to apply a significant amount of solder paste on the connection pads. For this purpose, it may be necessary to apply solder paste multiple times on one connection pad. Therefore, as the amount of solder paste applied on the connection pads increases, the mounting process of the light emitting diode chip becomes more complicated, and the possibility of process defects increases.

한편, 발광 다이오드 칩에 형성된 범프 패드들은 일반적으로 상대적으로 얇은 두께를 갖기 때문에, 발광 다이오드 칩을 핸들링하는데 도움을 주지 못한다. 이에 따라, 발광 다이오드 칩의 광도를 향상시키기 위한 화이트 월을 형성하기 어렵다. 또한, 상대적으로 작은 크기의 발광 다이오드 칩은 핸들링하는 것이 어려워 솔더 페이스트를 이용한 실장 공정이 어렵다.Meanwhile, since the bump pads formed on the light emitting diode chip generally have a relatively thin thickness, they do not help in handling the light emitting diode chip. Accordingly, it is difficult to form a white wall to improve the brightness of the light emitting diode chip. Additionally, relatively small-sized light emitting diode chips are difficult to handle, making the mounting process using solder paste difficult.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 솔더를 이용한 본딩 공정을 용이하게 수행할 수 있는 발광 다이오드 칩을 제공하는 것이다.The problem to be solved by the present invention is to provide a light emitting diode chip that can easily perform a bonding process using solder.

본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 과제는, 핸들링이 용이한 발광 다이오드 칩을 제공하는 것이다.Another problem to be solved by the present invention is to provide a light emitting diode chip that is easy to handle.

본 발명의 일 실시예에 따른 발광 다이오드는, 제1 도전형 반도체층; 상기 제1 도전형 반도체층 상에 배치된 활성층; 상기 활성층 상에 배치된 제2 도전형 반도체층; 상기 제1 도전형 반도체층에 전기적으로 접속된 제1 범프 패드; 상기 제2 도전형 반도체층에 전기적으로 접속된 제2 범프 패드; 상기 제1 범프 패드 상에 배치된 제1 솔더 범프; 및 상기 제2 범프 패드 상에 배치된 제2 솔더 범프를 포함하고, 상기 제1 및 제2 솔더 범프는 각각 상기 제1 범프 패드 및 제2 범프 패드의 두께의 10배 내지 80배 범위 내의 두께를 가진다.A light emitting diode according to an embodiment of the present invention includes a first conductivity type semiconductor layer; an active layer disposed on the first conductive semiconductor layer; a second conductive semiconductor layer disposed on the active layer; a first bump pad electrically connected to the first conductive semiconductor layer; a second bump pad electrically connected to the second conductive semiconductor layer; a first solder bump disposed on the first bump pad; and a second solder bump disposed on the second bump pad, wherein the first and second solder bumps each have a thickness in the range of 10 to 80 times the thickness of the first bump pad and the second bump pad. have

본 발명의 또 다른 실시예에 따른 발광 다이오드는, 기판; 상기 기판 상에 배치된 제1 도전형 반도체층; 상기 제1 도전형 반도체층 상에 배치된 활성층; 상기 활성층 상에 배치된 제2 도전형 반도체층; 상기 제2 도전형 반도체층 상에 배치되며, 전기적 접속을 허용하기 위한 개구부들을 가지는 상부 절연층; 및 상기 상부 절연층 상에 배치되며, 상기 상부 절연층의 개구부들을 통해 상기 제1 및 제2 도전형 반도체층들에 각각 전기적으로 접속된 제1 솔더 범프 및 제2 솔더 범프를 포함하되, 상기 제1 및 제2 솔더 범프는 각각 10um 내지 100um 범위 내의 두께를 가진다.A light emitting diode according to another embodiment of the present invention includes a substrate; a first conductive semiconductor layer disposed on the substrate; an active layer disposed on the first conductive semiconductor layer; a second conductive semiconductor layer disposed on the active layer; an upper insulating layer disposed on the second conductive semiconductor layer and having openings to allow electrical connection; and a first solder bump and a second solder bump disposed on the upper insulating layer and electrically connected to the first and second conductive semiconductor layers, respectively, through openings in the upper insulating layer, The first and second solder bumps each have a thickness in the range of 10um to 100um.

본 발명의 또 다른 실시예에 따른 발광 소자는, 접속 패드들을 갖는 실장면; 및 솔더들을 통해 상기 실장면 상에 실장된 발광 다이오드를 포함하되, 상기 발광 다이오드는 제1 도전형 반도체층; 상기 제1 도전형 반도체층 상에 배치된 활성층; 상기 활성층 상에 배치된 제2 도전형 반도체층; 상기 제1 도전형 반도체층에 전기적으로 접속된 제1 범프 패드; 및 상기 제2 도전형 반도체층에 전기적으로 접속된 제2 범프 패드를 포함하고, 상기 솔더들은 상기 접속 패드들과 상기 제1 및 제2 범프 패드들을 본딩하고, 상기 솔더는 상기 제1 범프 패드 및 상기 제2 범프 패드의 두께의 10배 내지 80배 범위 내의 두께를 가진다.A light emitting device according to another embodiment of the present invention includes a mounting surface having connection pads; and a light emitting diode mounted on the mounting surface through solders, wherein the light emitting diode includes: a first conductive semiconductor layer; an active layer disposed on the first conductive semiconductor layer; a second conductive semiconductor layer disposed on the active layer; a first bump pad electrically connected to the first conductive semiconductor layer; and a second bump pad electrically connected to the second conductive semiconductor layer, wherein the solder bonds the connection pads and the first and second bump pads, and the solder includes the first bump pad and the second bump pad. It has a thickness in the range of 10 to 80 times the thickness of the second bump pad.

본 발명의 또 다른 실시예에 따른 발광 다이오드는, 기판; 상기 기판 상에 배치되며, 각각 제1 도전형 반도체층, 활성층 및 제2 도전형 반도체층을 포함하는 적어도 4개의 발광셀들; 및 상기 발광셀들 상에 배치된 적어도 2개의 솔더 범프들을 포함하되, 상기 적어도 4개의 발광셀들은 상기 기판의 일측 가장자리에 가깝게 배치된 적어도 2개의 발광셀들 및 상기 기판의 타측 가장자리에 가깝게 배치된 적어도 2개의 발광셀들을 포함하고, 상기 기판의 일측 가장자리에 가깝게 배치된 적어도 2개의 발광셀들 중 2개 이상의 발광셀들 상에는 솔더 범프(들)이 제공되고, 상기 기판의 타측 가장자리에 가깝게 배치된 적어도 2개의 발광셀들 중 2개 이상의 발광셀들 상에는 솔더 범프(들)이 제공된다.A light emitting diode according to another embodiment of the present invention includes a substrate; At least four light emitting cells disposed on the substrate, each including a first conductivity type semiconductor layer, an active layer, and a second conductivity type semiconductor layer; and at least two solder bumps disposed on the light emitting cells, wherein the at least four light emitting cells are disposed close to one edge of the substrate and at least two light emitting cells are disposed close to the other edge of the substrate. It includes at least two light emitting cells, and solder bump(s) are provided on two or more of the at least two light emitting cells disposed close to one edge of the substrate, and disposed close to the other edge of the substrate. Solder bump(s) are provided on two or more of the at least two light emitting cells.

본 발명의 실시예들에 따르면, 발광 다이오드에 상대적으로 두꺼운 솔더 범프를 마련함으로써 본딩 공정을 쉽게 수행할 수 있으며, 발광 다이오드 칩의 핸들링을 용이하게 할 수 있다.According to embodiments of the present invention, by providing a relatively thick solder bump on the light emitting diode, the bonding process can be easily performed and the handling of the light emitting diode chip can be facilitated.

본 발명의 다른 장점 및 효과에 대해서는 상세한 설명을 통해 더 명확하게 될 것이다.Other advantages and effects of the present invention will become clearer through the detailed description.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 발광 다이오드를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 2는 도 1의 절취선 A-A를 따라 취해진 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 발광 다이오드의 솔더 범프를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 발광 다이오드를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 5a 내지 도 5f는 본 발명의 일 실시예에 따른 발광 소자 제조 공정을 설명하기 위한 개략적인 단면도들이다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 발광 다이오드를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 7은 도 6의 발광 다이오드를 설명하기 위한 개략적인 회로도이다.
도 8은 도 6의 절취선 B-B를 따라 취해진 개략적인 단면도이다.
도 9는 도 6의 절취선 C-C를 따라 취해진 개략적인 단면도이다.
도 10은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 발광 다이오드를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 11은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 발광 다이오드를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 발광 다이오드를 적용한 조명 장치를 설명하기 위한 분해 사시도이다.
도 13은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 발광 다이오드를 적용한 디스플레이 장치를 설명하기 위한 단면도이다.
도 14는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 발광 다이오드를 적용한 디스플레이 장치를 설명하기 위한 단면도이다.
도 15는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 발광 다이오드를 헤드 램프에 적용한 예를 설명하기 위한 단면도이다.
1 is a schematic plan view for explaining a light emitting diode according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a cross-sectional view taken along line AA in Figure 1.
Figure 3 is a schematic cross-sectional view illustrating a solder bump of a light emitting diode according to an embodiment of the present invention.
Figure 4 is a schematic plan view for explaining a light emitting diode according to an embodiment of the present invention.
Figures 5A to 5F are schematic cross-sectional views for explaining a light-emitting device manufacturing process according to an embodiment of the present invention.
Figure 6 is a schematic plan view for explaining a light emitting diode according to another embodiment of the present invention.
FIG. 7 is a schematic circuit diagram for explaining the light emitting diode of FIG. 6.
Figure 8 is a schematic cross-sectional view taken along line BB in Figure 6.
Figure 9 is a schematic cross-sectional view taken along line CC of Figure 6;
Figure 10 is a schematic cross-sectional view for explaining a light emitting diode according to another embodiment of the present invention.
Figure 11 is a schematic plan view for explaining a light emitting diode according to another embodiment of the present invention.
Figure 12 is an exploded perspective view to explain a lighting device using a light emitting diode according to an embodiment of the present invention.
Figure 13 is a cross-sectional view for explaining a display device using a light emitting diode according to another embodiment of the present invention.
Figure 14 is a cross-sectional view for explaining a display device using a light emitting diode according to another embodiment of the present invention.
Figure 15 is a cross-sectional view for explaining an example of applying a light emitting diode to a headlamp according to another embodiment of the present invention.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명한다. 다음에 소개되는 실시예들은 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 기술자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 예로서 제공되는 것이다. 따라서, 본 발명은 이하 설명되는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 그리고 도면들에 있어서, 구성요소의 폭, 길이, 두께 등은 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다. 또한, 하나의 구성요소가 다른 구성요소의 "상부에" 또는 "상에" 있다고 기재된 경우 각 부분이 다른 부분의 "바로 상부" 또는 "바로 상에" 있는 경우뿐만 아니라 각 구성요소와 다른 구성요소 사이에 또 다른 구성요소가 개재된 경우도 포함한다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the attached drawings. The embodiments introduced below are provided as examples so that the idea of the present invention can be sufficiently conveyed to those skilled in the art. Accordingly, the present invention is not limited to the embodiments described below and may be embodied in other forms. And in the drawings, the width, length, thickness, etc. of components may be exaggerated for convenience. Additionally, when one component is described as being "on top of" or "on" another component, it means that each component is "directly on" or "directly on" the other component, as well as when each component is described as being "directly on" or "directly on" the other component. This also includes cases where another component is interposed. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification.

본 발명의 일 실시예에 따른 발광 다이오드는, 제1 도전형 반도체층; 상기 제1 도전형 반도체층 상에 배치된 활성층; 상기 활성층 상에 배치된 제2 도전형 반도체층; 상기 제1 도전형 반도체층에 전기적으로 접속된 제1 범프 패드; 상기 제2 도전형 반도체층에 전기적으로 접속된 제2 범프 패드; 상기 제1 범프 패드 상에 배치된 제1 솔더 범프; 및 상기 제2 범프 패드 상에 배치된 제2 솔더 범프를 포함하고, 상기 제1 및 제2 솔더 범프는 각각 상기 제1 범프 패드 및 제2 범프 패드의 두께의 10배 내지 80배 범위 내의 두께를 가질 수 있다.A light emitting diode according to an embodiment of the present invention includes a first conductivity type semiconductor layer; an active layer disposed on the first conductive semiconductor layer; a second conductive semiconductor layer disposed on the active layer; a first bump pad electrically connected to the first conductive semiconductor layer; a second bump pad electrically connected to the second conductive semiconductor layer; a first solder bump disposed on the first bump pad; and a second solder bump disposed on the second bump pad, wherein the first and second solder bumps each have a thickness in the range of 10 to 80 times the thickness of the first bump pad and the second bump pad. You can have it.

나아가, 상기 제1 솔더 범프 및 제2 솔더 범프는 경사진 측면을 갖되, 상기 경사진 측면의 경사각은 바닥면에 대해 65도 내지 75도 범위 내일 수 있다.Furthermore, the first solder bump and the second solder bump have inclined sides, and the inclination angle of the inclined sides may be in the range of 65 degrees to 75 degrees with respect to the bottom surface.

한편, 상기 제1 솔더 범프와 제2 솔더 범프 사이의 간격은 상기 제1 솔더 범프 또는 상기 제2 솔더 범프의 두께의 2배 이상 10배 이하일 수 있다.Meanwhile, the gap between the first solder bump and the second solder bump may be 2 times or more and 10 times or less the thickness of the first solder bump or the second solder bump.

나아가, 상기 발광 다이오드는 상기 제1 도전형 반도체층 아래에 배치된 기판을 더 포함할 수 있으며, 상기 제1 솔더 범프 또는 상기 제2 솔더 범프와 상기 기판 사이의 수평 방향 최단 거리는 상기 제1 솔더 범프와 상기 제2 솔더 범프의 두께와 같거나 그보다 클 수 있다.Furthermore, the light emitting diode may further include a substrate disposed under the first conductive semiconductor layer, and the shortest horizontal distance between the first solder bump or the second solder bump and the substrate is the first solder bump. and may be equal to or greater than the thickness of the second solder bump.

상기 발광 다이오드는, 상기 제2 도전형 반도체층 상에 배치된 상부 절연층을 더 포함할 수 있으며, 상기 상부 절연층은 전기적 접속을 허용하기 위한 개구부들을 가지고, 상기 제1 및 제2 범프 패드들은 상기 상부 절연층 상에 배치되되, 상기 개구부들을 통해 제1 및 제2 도전형 반도체층들에 전기적으로 접속될 수 있다.The light emitting diode may further include an upper insulating layer disposed on the second conductive semiconductor layer, wherein the upper insulating layer has openings to allow electrical connection, and the first and second bump pads are It is disposed on the upper insulating layer and can be electrically connected to the first and second conductive semiconductor layers through the openings.

일 실시예에 있어서, 상기 제1 및 제2 솔더 범프들은 각각 상기 제1 및 제2 범프 패드들의 상면 전체를 덮을 수 있다.In one embodiment, the first and second solder bumps may cover the entire upper surfaces of the first and second bump pads, respectively.

상기 제1 범프 패드와 상기 제2 범프 패드 사이의 간격은 상기 제1 솔더 범프 또는 상기 제2 솔더 범프 두께의 2배 이상 10배 이하일 수 있다.The gap between the first bump pad and the second bump pad may be 2 to 10 times the thickness of the first or second solder bump.

상기 발광 다이오드는, 상기 제1 도전형 반도체층 아래에 배치된 기판을 더 포함할 수 있으며, 상기 제1 범프 패드 또는 상기 제2 범프 패드와 상기 기판의 가장자리 사이의 수평 방향 최단 거리는 상기 제1 솔더 범프와 상기 제2 솔더 범프의 두께와 같거나 그보다 클 수 있다.The light emitting diode may further include a substrate disposed under the first conductive semiconductor layer, and the shortest horizontal distance between the first bump pad or the second bump pad and an edge of the substrate is the first solder. It may be equal to or greater than the thickness of the bump and the second solder bump.

상기 발광 다이오드는, 상기 제2 도전형 반도체층에 전기적으로 접속된 투명한 도전성 산화물층; 상기 도전성 산화물층을 덮되, 상기 도전성 산화물층을 노출시키는 복수의 개구부들을 가지는 유전층; 상기 유전층 상에 배치되며, 상기 유전층의 개구부들을 통해 상기 도전성 산화물층에 접속하는 금속 반사층; 상기 금속 반사층 상에 배치되며, 상기 제1 도전형 반도체층을 노출시키는 제1 개구부 및 상기 금속 반사층을 노출시키는 제2 개구부를 포함하는 하부 절연층; 상기 하부 절연층 상에 배치되며, 상기 하부 절연층의 제1 개구부를 통해 상기 제1 도전형 반도체층에 전기적으로 접속하는 제1 패드 금속층; 및 상기 하부 절연층 상에 배치되며, 상기 하부 절연층의 제2 개구부를 통해 상기 제2 도전형 반도체층에 전기적으로 접속하는 제2 패드 금속층을 더 포함할 수 있으며, 상기 상부 절연층의 개구부들은 상기 제1 패드 금속층 및 제2 패드 금속층을 노출시킬 수 있다.The light emitting diode includes a transparent conductive oxide layer electrically connected to the second conductive semiconductor layer; a dielectric layer covering the conductive oxide layer and having a plurality of openings exposing the conductive oxide layer; a metal reflective layer disposed on the dielectric layer and connected to the conductive oxide layer through openings in the dielectric layer; a lower insulating layer disposed on the metal reflective layer and including a first opening exposing the first conductive semiconductor layer and a second opening exposing the metal reflective layer; a first pad metal layer disposed on the lower insulating layer and electrically connected to the first conductive semiconductor layer through a first opening in the lower insulating layer; and a second pad metal layer disposed on the lower insulating layer and electrically connected to the second conductive semiconductor layer through second openings in the lower insulating layer, wherein the openings in the upper insulating layer are The first pad metal layer and the second pad metal layer may be exposed.

몇몇 실시예들에 있어서, 상기 발광 다이오드는, 기판; 및 상기 기판 상에 배치된 복수의 발광셀들을 더 포함할 수 있으며, 상기 발광셀들 각각은 상기 제1 도전형 반도체층, 활성층 및 제2 도전형 반도체층을 포함하고, 상기 제1 범프 패드는 상기 복수의 발광셀들 중 하나의 발광셀의 제1 도전형 반도체층에 전기적으로 접속되고, 상기 제2 범프 패드는 상기 복수의 발광셀들 중 다른 하나의 발광셀의 제2 도전형 반도체층에 전기적으로 접속될 수 있다.In some embodiments, the light emitting diode includes: a substrate; and may further include a plurality of light emitting cells disposed on the substrate, wherein each of the light emitting cells includes the first conductivity type semiconductor layer, an active layer, and a second conductivity type semiconductor layer, and the first bump pad is It is electrically connected to a first conductivity type semiconductor layer of one light emitting cell among the plurality of light emitting cells, and the second bump pad is connected to a second conductivity type semiconductor layer of another light emitting cell among the plurality of light emitting cells. Can be electrically connected.

일 실시예에 있어서, 상기 발광 다이오드는 상기 복수의 발광셀들 중 또 다른 발광셀 상에 배치된 더미 범프 패드를 더 포함할 수 있으며, 상기 더미 범프 패드는 상기 발광셀들로부터 전기적으로 이격될 수 있다.In one embodiment, the light emitting diode may further include a dummy bump pad disposed on another light emitting cell among the plurality of light emitting cells, and the dummy bump pad may be electrically spaced from the light emitting cells. there is.

다른 실시예에 있어서, 상기 제1 범프 패드 및 제2 범프 패드는 각각 적어도 2개의 발광셀들에 걸쳐 배치될 수 있다.In another embodiment, the first bump pad and the second bump pad may each be disposed across at least two light emitting cells.

나아가, 상기 제1 및 제2 범프 패드는 발광셀들 사이의 영역에서 폭이 좁은 영역을 포함할 수 있다.Furthermore, the first and second bump pads may include narrow areas in the area between the light emitting cells.

본 발명의 또 다른 실시예에 따른 발광 다이오드는, 기판; 상기 기판 상에 배치된 제1 도전형 반도체층; 상기 제1 도전형 반도체층 상에 배치된 활성층; 상기 활성층 상에 배치된 제2 도전형 반도체층; 상기 제2 도전형 반도체층 상에 배치되며, 전기적 접속을 허용하기 위한 개구부들을 가지는 상부 절연층; 및 상기 상부 절연층 상에 배치되며, 상기 상부 절연층의 개구부들을 통해 상기 제1 및 제2 도전형 반도체층들에 각각 전기적으로 접속된 제1 솔더 범프 및 제2 솔더 범프를 포함하되, 상기 제1 및 제2 솔더 범프는 각각 10um 내지 100um 범위 내의 두께를 가질 수 있다.A light emitting diode according to another embodiment of the present invention includes a substrate; a first conductive semiconductor layer disposed on the substrate; an active layer disposed on the first conductive semiconductor layer; a second conductive semiconductor layer disposed on the active layer; an upper insulating layer disposed on the second conductive semiconductor layer and having openings to allow electrical connection; and a first solder bump and a second solder bump disposed on the upper insulating layer and electrically connected to the first and second conductive semiconductor layers, respectively, through openings in the upper insulating layer, The first and second solder bumps may each have a thickness in the range of 10um to 100um.

또한, 상기 제1 솔더 범프 및 제2 솔더 범프는 경사진 측면을 갖되, 상기 경사진 측면의 경사각은 바닥면에 대해 65도 내지 75도 범위 내일 수 있다.Additionally, the first solder bump and the second solder bump have inclined sides, and an inclination angle of the inclined sides may be in the range of 65 degrees to 75 degrees with respect to the bottom surface.

나아가, 상기 제1 솔더 범프와 제2 솔더 범프 사이의 간격은 상기 제1 솔더 범프 또는 제2 솔더 범프 두께의 2배 이상 10배 이하일 수 있다.Furthermore, the gap between the first solder bump and the second solder bump may be 2 to 10 times the thickness of the first or second solder bump.

상기 제1 솔더 범프 또는 상기 제2 솔더 범프와 상기 기판 사이의 수평 방향 최단 거리는 상기 제1 솔더 범프와 상기 제2 솔더 범프 사이의 간격의 1/2 이상일 수 있다.The shortest horizontal distance between the first solder bump or the second solder bump and the substrate may be more than 1/2 of the distance between the first solder bump and the second solder bump.

본 발명의 또 다른 실시예에 따른 발광 소자는, 접속 패드들을 갖는 실장면; 및 솔더들을 통해 상기 실장면 상에 실장된 발광 다이오드를 포함하되, 상기 발광 다이오드는, 제1 도전형 반도체층; 상기 제1 도전형 반도체층 상에 배치된 활성층; 상기 활성층 상에 배치된 제2 도전형 반도체층; 상기 제1 도전형 반도체층에 전기적으로 접속된 제1 범프 패드; 및 상기 제2 도전형 반도체층에 전기적으로 접속된 제2 범프 패드를 포함하고, 상기 솔더들은 상기 접속 패드들과 상기 제1 및 제2 범프 패드들을 본딩하고, 상기 솔더는 상기 제1 범프 패드 및 상기 제2 범프 패드의 두께의 10배 내지 80배 범위 내의 두께를 가진다.A light emitting device according to another embodiment of the present invention includes a mounting surface having connection pads; and a light emitting diode mounted on the mounting surface through solders, wherein the light emitting diode includes: a first conductive semiconductor layer; an active layer disposed on the first conductive semiconductor layer; a second conductive semiconductor layer disposed on the active layer; a first bump pad electrically connected to the first conductive semiconductor layer; and a second bump pad electrically connected to the second conductive semiconductor layer, wherein the solder bonds the connection pads and the first and second bump pads, and the solder includes the first bump pad and the second bump pad. It has a thickness in the range of 10 to 80 times the thickness of the second bump pad.

또한, 상기 발광 다이오드는 상기 제2 도전형 반도체층과 상기 제1 및 제2 범프 패드 사이에 위치하며, 전기적 접속을 허용하기 위한 개구부들을 가지는 상부 절연층을 더 포함할 수 있다.Additionally, the light emitting diode may further include an upper insulating layer positioned between the second conductive semiconductor layer and the first and second bump pads and having openings to allow electrical connection.

나아가, 상기 발광 다이오드는, 상기 제2 도전형 반도체층에 전기적으로 접속된 투명한 도전성 산화물층; 상기 도전성 산화물층을 덮되, 상기 도전성 산화물층을 노출시키는 복수의 개구부들을 가지는 유전층; 상기 유전층 상에 배치되며, 상기 유전층의 개구부들을 통해 상기 도전성 산화물층에 접속하는 금속 반사층; 상기 금속 반사층 상에 배치되며, 상기 제1 도전형 반도체층을 노출시키는 제1 개구부 및 상기 금속 반사층을 노출시키는 제2 개구부를 포함하는 하부 절연층; 및 상기 하부 절연층 상에 배치되며, 상기 하부 절연층의 제1 개구부를 통해 상기 제1 도전형 반도체층에 전기적으로 접속하는 제1 패드 금속층; 및 상기 하부 절연층 상에 배치되며, 상기 하부 절연층의 제2 개구부를 통해 상기 제2 도전형 반도체층에 전기적으로 접속하는 제2 패드 금속층을 더 포함하고, 상기 상부 절연층의 개구부들은 상기 제1 패드 금속층 및 제2 패드 금속층을 노출시킬 수 있다.Furthermore, the light emitting diode includes: a transparent conductive oxide layer electrically connected to the second conductive semiconductor layer; a dielectric layer covering the conductive oxide layer and having a plurality of openings exposing the conductive oxide layer; a metal reflective layer disposed on the dielectric layer and connected to the conductive oxide layer through openings in the dielectric layer; a lower insulating layer disposed on the metal reflective layer and including a first opening exposing the first conductive semiconductor layer and a second opening exposing the metal reflective layer; and a first pad metal layer disposed on the lower insulating layer and electrically connected to the first conductive semiconductor layer through a first opening in the lower insulating layer. and a second pad metal layer disposed on the lower insulating layer and electrically connected to the second conductive semiconductor layer through a second opening in the lower insulating layer, wherein the openings in the upper insulating layer are connected to the second conductive semiconductor layer. The first pad metal layer and the second pad metal layer may be exposed.

본 발명의 또 다른 실시예에 따른 발광 다이오드는, 기판; 상기 기판 상에 배치되며, 각각 제1 도전형 반도체층, 활성층 및 제2 도전형 반도체층을 포함하는 적어도 4개의 발광셀들; 및 상기 발광셀들 상에 배치된 적어도 2개의 솔더 범프들을 포함하되, 상기 적어도 4개의 발광셀들은 상기 기판의 일측 가장자리에 가깝게 배치된 적어도 2개의 발광셀들 및 상기 기판의 타측 가장자리에 가깝게 배치된 적어도 2개의 발광셀들을 포함하고, 상기 기판의 일측 가장자리에 가깝게 배치된 적어도 2개의 발광셀들 중 2개 이상의 발광셀들 상에는 솔더 범프(들)이 제공되고, 상기 기판의 타측 가장자리에 가깝게 배치된 적어도 2개의 발광셀들 중 2개 이상의 발광셀들 상에는 솔더 범프(들)이 제공된다.A light emitting diode according to another embodiment of the present invention includes a substrate; At least four light emitting cells disposed on the substrate, each including a first conductivity type semiconductor layer, an active layer, and a second conductivity type semiconductor layer; and at least two solder bumps disposed on the light emitting cells, wherein the at least four light emitting cells are disposed close to one edge of the substrate and at least two light emitting cells are disposed close to the other edge of the substrate. It includes at least two light emitting cells, and solder bump(s) are provided on two or more of the at least two light emitting cells disposed close to one edge of the substrate, and disposed close to the other edge of the substrate. Solder bump(s) are provided on two or more of the at least two light emitting cells.

솔더 범프들은 발광 다이오드를 안정하게 실장할 수 있도록 대칭 구조로 배치될 수 있다.Solder bumps can be arranged in a symmetrical structure to enable stable mounting of light emitting diodes.

한편, 상기 적어도 2개의 솔더 범프들은, 하나의 발광셀에 전기적으로 접속된 제1 솔더 범프; 및 다른 하나의 발광셀에 전기적으로 접속된 제2 솔더 범프를 포함할 수 있다.Meanwhile, the at least two solder bumps include: a first solder bump electrically connected to one light emitting cell; and a second solder bump electrically connected to another light emitting cell.

나아가, 상기 발광 다이오드는 상기 제1 솔더 범프와 발광셀 사이에 위치하는 제1 범프 패드; 및 상기 제2 솔더 범프와 발광셀 사이에 위치하는 제2 범프 패드를 더 포함할 수 있으며, 상기 제1 및 제2 솔더 범프는 각각 상기 제1 범프 패드 및 제2 범프 패드의 두께의 10배 내지 80배 범위 내의 두께를 가질 수 있다.Furthermore, the light emitting diode includes a first bump pad located between the first solder bump and the light emitting cell; And it may further include a second bump pad located between the second solder bump and the light emitting cell, wherein the first and second solder bumps have a thickness of 10 to 10 times the thickness of the first bump pad and the second bump pad, respectively. It can have a thickness within the range of 80 times.

이하 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 대해 구체적으로 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 발광 다이오드(100)를 설명하기 위한 개략적인 평면도이고, 도 2는 도 1의 절취선 A-A를 따라 취해진 단면도이다.FIG. 1 is a schematic plan view for explaining the light emitting diode 100 according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the cutting line A-A of FIG. 1.

도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 발광 다이오드는 기판(21), 제1 도전형 반도체층(23), 활성층(25), 제2 도전형 반도체층(27), 도전성 산화물층(28), 유전층(29), 금속 반사층(31), 하부 절연층(33), 제1 패드 금속층(35a), 제2 패드 금속층(35b)), 상부 절연층(37), 제1 범프 패드(39a), 제2 범프 패드(39b), 제1 솔더 범프(41a) 및 제2 솔더 범프(41b)를 포함할 수 있다.1 and 2, the light emitting diode includes a substrate 21, a first conductive semiconductor layer 23, an active layer 25, a second conductive semiconductor layer 27, a conductive oxide layer 28, Dielectric layer 29, metal reflection layer 31, lower insulating layer 33, first pad metal layer 35a, second pad metal layer 35b), upper insulating layer 37, first bump pad 39a, It may include a second bump pad 39b, a first solder bump 41a, and a second solder bump 41b.

상기 기판(21)은 질화갈륨계 반도체층을 성장시킬 수 있는 기판이면 특별히 제한되지 않는다. 기판(21)의 예로는 사파이어 기판, 질화갈륨 기판, SiC 기판 등 다양할 수 있으며, 패터닝된 사파이어 기판일 수 있다. 기판(21)은 평면도(a)에서 보듯이 직사각형 또는 정사각형의 외형을 가질 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 기판(21)의 크기는 특별히 한정되는 것은 아니며 다양하게 선택될 수 있다.The substrate 21 is not particularly limited as long as it is a substrate capable of growing a gallium nitride-based semiconductor layer. Examples of the substrate 21 may be various, such as a sapphire substrate, a gallium nitride substrate, or a SiC substrate, and may be a patterned sapphire substrate. The substrate 21 may have a rectangular or square outer shape as shown in plan view (a), but is not necessarily limited thereto. The size of the substrate 21 is not particularly limited and can be selected in various ways.

제1 도전형 반도체층(23)은 기판(21) 상에 배치된다. 제1 도전형 반도체층(23)은 기판(21) 상에서 성장된 층으로, 질화갈륨계 반도체층일 수 있다. 제1 도전형 반도체층(23)은 불순물, 예컨대 Si이 도핑된 질화갈륨계 반도체층일 수 있다.The first conductive semiconductor layer 23 is disposed on the substrate 21. The first conductive semiconductor layer 23 is a layer grown on the substrate 21 and may be a gallium nitride-based semiconductor layer. The first conductive semiconductor layer 23 may be a gallium nitride-based semiconductor layer doped with an impurity, for example, Si.

본 실시예에 있어서, 제1 도전형 반도체층(23)의 가장자리는 기판(21)의 가장자리로 둘러싸인 영역 내측에 위치한다. 이에 따라, 기판(21)의 상부면 중 일부 영역이 제1 도전형 반도체층(23)의 둘레를 따라 노출될 수 있다. 그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 제1 도전형 반도체층(23)의 가장자리는 기판(21)의 가장자리와 나란할 수도 있다. In this embodiment, the edge of the first conductivity type semiconductor layer 23 is located inside the area surrounded by the edge of the substrate 21. Accordingly, a portion of the upper surface of the substrate 21 may be exposed along the perimeter of the first conductivity type semiconductor layer 23. However, the present invention is not limited to this, and the edge of the first conductive semiconductor layer 23 may be parallel to the edge of the substrate 21.

제1 도전형 반도체층(23) 상에 메사(M)가 배치될 수 있다. 메사(M)는 제1 도전형 반도체층(23)으로 둘러싸인 영역 내측에 한정되어 위치할 수 있으며, 따라서, 제1 도전형 반도체층(23)의 가장자리 근처 영역들은 메사(M)에 의해 덮이지 않고 외부에 노출될 수 있다.A mesa (M) may be disposed on the first conductive semiconductor layer 23. The mesa (M) may be located limited to the inside of the area surrounded by the first conductivity type semiconductor layer 23, and therefore, areas near the edge of the first conductivity type semiconductor layer 23 are not covered by the mesa (M). may be exposed to the outside without

메사(M)는 제2 도전형 반도체층(27)과 활성층(25)을 포함한다. 도시하지는 않았지만, 메사(M)는 제1 도전형 반도체층(23)의 일부 두께를 포함할 수도 있다. 상기 활성층(25)은 제1 도전형 반도체층(23)과 제2 도전형 반도체층(27) 사이에 개재된다. 활성층(25)은 단일 양자우물 구조 또는 다중 양자우물 구조를 가질 수 있다. 활성층(25) 내에서 우물층의 조성 및 두께는 생성되는 광의 파장을 결정한다. 특히, 우물층의 조성을 조절함으로써 자외선, 청색광 또는 녹색광을 생성하는 활성층을 제공할 수 있다.The mesa (M) includes a second conductive semiconductor layer 27 and an active layer 25. Although not shown, the mesa M may include a portion of the thickness of the first conductivity type semiconductor layer 23. The active layer 25 is interposed between the first conductive semiconductor layer 23 and the second conductive semiconductor layer 27. The active layer 25 may have a single quantum well structure or a multiple quantum well structure. The composition and thickness of the well layer within the active layer 25 determines the wavelength of the light generated. In particular, by adjusting the composition of the well layer, an active layer that generates ultraviolet rays, blue light, or green light can be provided.

한편, 제2 도전형 반도체층(27)은 p형 불순물, 예컨대 Mg이 도핑된 질화갈륨계 반도체층일 수 있다. 제2 도전형 반도체층(27) 내의 p형 불순물 농도는 상기 범위 내에서 두께를 따라 변하는 농도 프로파일을 가질 수 있다. Meanwhile, the second conductive semiconductor layer 27 may be a gallium nitride-based semiconductor layer doped with a p-type impurity, for example, Mg. The p-type impurity concentration in the second conductive semiconductor layer 27 may have a concentration profile that varies along the thickness within the above range.

한편, 제1 도전형 반도체층(23) 및 제2 도전형 반도체층(27)은 각각 단일층일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 다중층일 수도 있으며, 초격자층을 포함할 수도 있다. 제1 도전형 반도체층(23), 활성층(25) 및 제2 도전형 반도체층(27)은 금속유기화학 기상 성장법(MOCVD) 또는 분자선 에피택시(MBE)와 같은 공지의 방법을 이용하여 챔버 내에서 기판(21) 상에 성장되어 형성될 수 있다. Meanwhile, the first conductivity type semiconductor layer 23 and the second conductivity type semiconductor layer 27 may each be a single layer, but are not limited thereto, and may be a multilayer, or may include a superlattice layer. The first conductive semiconductor layer 23, the active layer 25, and the second conductive semiconductor layer 27 are formed in a chamber using a known method such as metal organic chemical vapor deposition (MOCVD) or molecular beam epitaxy (MBE). It can be formed by growing on the substrate 21 within.

한편, 상기 메사(M)에, 도 1에 도시된 바와 같이, 제1 도전형 반도체층(23)을 노출하는 비아 홀(27a)을 가질 수 있다. 비아 홀(27a)은 제2 도전형 반도체층(27) 및 활성층(25)으로 둘러싸일 수 있다. 비아 홀(27a)은 도 1에 도시한 바와 같이 발광 다이오드의 중심을 지나는 기다란 형상을 가질 수 있다. 도시한 바와 같이, 비아 홀(27a)은 메사(M)의 중심을 지나며, 일측 가장자리 측에 치우쳐 배치될 수 있다. 비아 홀(27a)의 길이는 특별히 한정되지 않으며, 메사(M) 길이의 1/2 또는 그보다 길 수 있다. Meanwhile, as shown in FIG. 1, the mesa M may have a via hole 27a exposing the first conductivity type semiconductor layer 23. The via hole 27a may be surrounded by the second conductive semiconductor layer 27 and the active layer 25. The via hole 27a may have an elongated shape passing through the center of the light emitting diode, as shown in FIG. 1 . As shown, the via hole 27a passes through the center of the mesa (M) and may be disposed to be biased toward one edge. The length of the via hole 27a is not particularly limited and may be 1/2 the length of the mesa (M) or longer.

한편, 도시한 바와 같이, 비아 홀(27a)의 양측 단부는 상대적으로 폭이 넓으며 라운드 형상을 가질 수 있다. 비아 홀(27a)의 끝 단부들의 형상을 이와 같이 함으로써 유전층(29) 및 하부 절연층(33)을 유사한 형상으로 패터닝할 수 있다. 특히, 하부 절연층(33)이 분포 브래그 반사기를 포함하는 경우, 도 1과 같이 비아 홀(27a)의 끝 단부들에서 폭이 넓어지지 않으면 분포 브래그 반사기의 측벽에 심한 이중 단차가 형성되고, 측벽의 경사각이 커지기 때문에 제1 패드 금속층(35a)에 깨짐이 발생하기 쉽다. 따라서, 비아 홀(27a)의 끝 단부 형상 및 하부 절연층(33)의 제1 개구부(33a2)의 끝 단부 형상을 본 실시예와 같이 함으로써 하부 절연층(33)의 가장자리가 완만한 경사각을 가질 수 있어 발광 다이오드의 수율을 개선할 수 있다.Meanwhile, as shown, both ends of the via hole 27a are relatively wide and may have a round shape. By shaping the ends of the via hole 27a like this, the dielectric layer 29 and the lower insulating layer 33 can be patterned into similar shapes. In particular, when the lower insulating layer 33 includes a distributed Bragg reflector, if the width is not widened at the ends of the via hole 27a as shown in Figure 1, a severe double step is formed on the side wall of the distributed Bragg reflector, and the side wall Because the inclination angle of increases, cracks are likely to occur in the first pad metal layer 35a. Therefore, by keeping the shape of the end of the via hole 27a and the shape of the end of the first opening 33a2 of the lower insulating layer 33 as in the present embodiment, the edge of the lower insulating layer 33 has a gentle inclination angle. This can improve the yield of light emitting diodes.

메사(M)가 단일의 비아 홀(27a)을 갖는 것에 대해 도시 및 설명하나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 복수의 비아 홀들이 메사(M) 내부에 배열될 수도 있다. 비아 홀(27a)의 개수가 증가할수록 발광 다이오드의 전류 분산 성능을 개선할 수 있다. 또한, 비아 홀(27a) 대신 메사(M) 둘레에서 메사(M) 내부로 침투하는 만입부가 형성될 수도 있다. 만입부는 메사(M)의 일측 가장자리로부터 그것에 대향하는 타측 가장자리를 향해 메사(M) 내부로 길게 형성될 수 있다.Although the mesa (M) is shown and described as having a single via hole (27a), the present invention is not limited thereto. For example, a plurality of via holes may be arranged inside the mesa (M). As the number of via holes 27a increases, the current dispersion performance of the light emitting diode can be improved. Additionally, instead of the via hole 27a, an indentation penetrating into the interior of the mesa M may be formed around the mesa M. The indentation may be formed long inside the mesa (M) from one edge of the mesa (M) toward the other edge opposite to it.

한편, 도전성 산화물층(28)은 메사(M) 상부에 배치되어 제2 도전형 반도체층(27)에 콘택한다. 도전성 산화물층(28)은 메사(M) 상부 영역에서 메사(M)의 거의 전 영역에 걸쳐 배치될 수 있다. 예를 들어, 도전성 산화물층(28)은 메사(M) 상부 영역의 80% 이상, 나아가 90% 이상을 덮을 수 있다.Meanwhile, the conductive oxide layer 28 is disposed on the mesa (M) and contacts the second conductive semiconductor layer 27. The conductive oxide layer 28 may be disposed over almost the entire area of the mesa (M) in the upper area of the mesa (M). For example, the conductive oxide layer 28 may cover more than 80%, and even more than 90%, of the upper area of the mesa (M).

도전성 산화물층(28)은 활성층(25)에 생성된 광을 투과하는 산화물층으로 형성된다. 도전성 산화물층(28)은 예컨대, ITO(인디움주석산화물) 또는 ZnO 등으로 형성될 수 있다. 도전성 산화물층(28)은 제2 도전형 반도체층(27)에 오믹 콘택하기에 충분한 두께로 형성되며, 예를 들어 3nm 내지 50nm 두께 범위 내에서, 구체적으로는, 6nm 내지 30nm의 두께 범위 내에서 형성될 수 있다. 도전성 산화물층(28)의 두께가 너무 얇으면 충분한 오믹 특성을 제공하지 못해 순방향 전압이 증가한다. 또한, 도전성 산화물층(28)의 두께가 너무 두꺼우면 광 흡수에 의한 손실이 발생해 발광 효율을 떨어뜨린다.The conductive oxide layer 28 is formed of an oxide layer that transmits light generated in the active layer 25. The conductive oxide layer 28 may be formed of, for example, ITO (indium tin oxide) or ZnO. The conductive oxide layer 28 is formed to a thickness sufficient to make ohmic contact with the second conductive semiconductor layer 27, for example, within a thickness range of 3 nm to 50 nm, specifically, within a thickness range of 6 nm to 30 nm. can be formed. If the thickness of the conductive oxide layer 28 is too thin, it does not provide sufficient ohmic properties and the forward voltage increases. Additionally, if the thickness of the conductive oxide layer 28 is too thick, loss due to light absorption occurs, reducing luminous efficiency.

한편, 유전층(29)은 도전성 산화물층(28)을 덮는다. 나아가, 유전층(29)은 제2 도전형 반도체층(27) 및 활성층(25)의 측면을 덮을 수 있다. 유전층(29)의 가장자리는 하부 절연층(33)으로 덮일 수 있다. 따라서, 유전층(29)의 가장자리는 하부 절연층(33)의 가장자리에 비해 기판(21)의 가장자리로부터 더 멀리 위치한다. 이에 따라, 후술하듯이, 하부 절연층(33)의 일부는 메사(M) 주위에서 제1 도전형 반도체층(23)에 접할 수 있다. 더욱이, 유전층(29)은 제2 도전형 반도체층(27)의 상부 영역 내에 한정될 수 있으며, 하부 절연층(33)이 제2 도전형 반도체층(27) 및 활성층(25)의 측면에 접할 수도 있다.Meanwhile, the dielectric layer 29 covers the conductive oxide layer 28. Furthermore, the dielectric layer 29 may cover the side surfaces of the second conductive semiconductor layer 27 and the active layer 25. The edge of the dielectric layer 29 may be covered with the lower insulating layer 33. Accordingly, the edge of the dielectric layer 29 is located farther from the edge of the substrate 21 than the edge of the lower insulating layer 33. Accordingly, as will be described later, a portion of the lower insulating layer 33 may be in contact with the first conductivity type semiconductor layer 23 around the mesa (M). Moreover, the dielectric layer 29 may be defined within the upper region of the second conductive semiconductor layer 27, and the lower insulating layer 33 may be in contact with the sides of the second conductive semiconductor layer 27 and the active layer 25. It may be possible.

유전층(29)은 도전성 산화물층(28)을 노출시키는 개구부들(29a)을 가진다. 복수의 개구부들(29a)이 도전성 산화물층(28) 상부에 배치될 수 있다. 개구부들(29a)은 금속 반사층(31)이 도전성 산화물층(28)에 접속할 수 있도록 접속 통로로 사용된다. 유전층(29)은 또한, 메사(M) 주위에서 제1 도전형 반도체층(23)을 노출시키며 비아 홀(27a) 내에서 제1 도전형 반도체층(23)을 노출시키는 개구부(29b)를 가질 수 있다.The dielectric layer 29 has openings 29a exposing the conductive oxide layer 28. A plurality of openings 29a may be disposed on the conductive oxide layer 28. The openings 29a are used as connection passages so that the metal reflection layer 31 can be connected to the conductive oxide layer 28. The dielectric layer 29 also has an opening 29b exposing the first conductivity type semiconductor layer 23 around the mesa M and exposing the first conductivity type semiconductor layer 23 within the via hole 27a. You can.

유전층(29)은 제2 도전형 반도체층(27) 및 도전성 산화물층(28)보다 낮은 굴절률을 가지는 절연 물질로 형성된다. 유전층(29)은 예컨대 SiO2로 형성될 수 있다.The dielectric layer 29 is formed of an insulating material having a lower refractive index than the second conductive semiconductor layer 27 and the conductive oxide layer 28. The dielectric layer 29 may be formed of, for example, SiO 2 .

유전층(29)의 두께는 200nm 내지 1000nm 범위 내의 두께를 가질 수 있으며, 구체적으로 300nm 내지 800nm 범위 내의 두께를 가질 수 있다. 유전층(29)의 두께가 200nm 미만일 경우, 순방향 전압이 높고 광 출력이 낮아 좋지 않다. 한편, 유전층(29) 두께가 400nm를 초과하면 광 출력이 포화되며, 순방향 전압이 다시 증가하는 경향을 보인다. 따라서, 유전층(29)의 두께는 1000nm를 초과하지 않는 것이 유리하고, 특히 800nm 이하일 수 있다.The thickness of the dielectric layer 29 may range from 200 nm to 1000 nm, and specifically may range from 300 nm to 800 nm. If the thickness of the dielectric layer 29 is less than 200 nm, the forward voltage is high and the light output is low, which is not good. Meanwhile, when the thickness of the dielectric layer 29 exceeds 400 nm, the light output is saturated and the forward voltage tends to increase again. Therefore, it is advantageous that the thickness of the dielectric layer 29 does not exceed 1000 nm, and in particular may be 800 nm or less.

한편, 금속 반사층(31)은 유전층(29) 상에 배치되어 개구부들(29a)을 통해 오믹 콘택층(28)에 접속한다. 금속 반사층(31)은 반사성 금속을 포함하며, 예컨대 Ag 또는 Ni/Ag를 포함할 수 있다. 나아가, 금속 반사층(32)은 반사 금속 물질층을 보호하기 위한 장벽층, 예컨대 Ni을 포함할 수 있으며, 또한, 금속층의 산화 방지를 위해 Au층을 포함할 수 있다. 나아가, Au층의 접착력을 향상시키기 위해, Au층 하부에 Ti층을 포함할 수도 있다. 금속 반사층(31)은 유전층(29)의 상면에 접하며, 따라서, 상기 유전층(29)의 두께는 도전성 산화물층(28)과 금속 반사층(31) 사이의 이격거리와 같다.Meanwhile, the metal reflective layer 31 is disposed on the dielectric layer 29 and connected to the ohmic contact layer 28 through the openings 29a. The metal reflective layer 31 includes a reflective metal, for example, Ag or Ni/Ag. Furthermore, the metal reflective layer 32 may include a barrier layer, such as Ni, to protect the reflective metal material layer, and may also include an Au layer to prevent oxidation of the metal layer. Furthermore, in order to improve the adhesion of the Au layer, a Ti layer may be included under the Au layer. The metal reflective layer 31 is in contact with the upper surface of the dielectric layer 29, and therefore, the thickness of the dielectric layer 29 is equal to the separation distance between the conductive oxide layer 28 and the metal reflective layer 31.

도전성 산화물층(28)으로 오믹 콘택을 형성하고, 유전층(29) 상에 금속 반사층(31)을 배치함으로써 솔더 등에 의해 오믹 저항이 높아지는 것을 방지할 수 있다. 나아가, 도전성 산화물층(28), 유전층(29) 및 금속 반사층(31)을 제2 도전형 반도체층(27) 상에 배치함으로써 광의 반사율을 향상시킬 수 있어 발광 효율을 개선할 수 있다.By forming an ohmic contact with the conductive oxide layer 28 and disposing the metal reflection layer 31 on the dielectric layer 29, it is possible to prevent the ohmic resistance from increasing due to solder, etc. Furthermore, by disposing the conductive oxide layer 28, the dielectric layer 29, and the metal reflection layer 31 on the second conductive semiconductor layer 27, the reflectance of light can be improved, thereby improving luminous efficiency.

하부 절연층(33)은 메사(M) 및 금속 반사층(31)을 덮는다. 하부 절연층(33)은 또한 메사(M) 둘레를 따라 제1 도전형 반도체층(23)을 덮을 수 있으며, 메사(M) 내부의 비아 홀(27a) 내에서 제1 도전형 반도체층(23)을 덮을 수 있다. 하부 절연층(33)은 특히 메사(M)의 측면을 덮는다. 하부 절연층(33)은 또한 유전층(29)을 덮을 수 있다.The lower insulating layer 33 covers the mesa (M) and the metal reflection layer 31. The lower insulating layer 33 may also cover the first conductivity type semiconductor layer 23 along the perimeter of the mesa (M), and the first conductivity type semiconductor layer (23) within the via hole (27a) inside the mesa (M). ) can be covered. The lower insulating layer 33 covers in particular the sides of the mesa (M). Bottom insulating layer 33 may also cover dielectric layer 29.

한편, 하부 절연층(33)은 제1 도전형 반도체층을 노출시키는 제1 개구부(33a1, 33a2) 및 금속 반사층(31)을 노출시키는 제2 개구부(33b)를 가진다. 제1 개구부(33a1)는 메사(M) 둘레를 따라 제1 도전형 반도체층(23)을 노출시키며, 제1 개구부(33a2)는 상기 비아 홀(27a) 내에서 제1 도전형 반도체층(23)을 노출시킨다. Meanwhile, the lower insulating layer 33 has first openings 33a1 and 33a2 exposing the first conductive semiconductor layer and a second opening 33b exposing the metal reflection layer 31. The first opening 33a1 exposes the first conductive semiconductor layer 23 along the perimeter of the mesa (M), and the first opening 33a2 exposes the first conductive semiconductor layer 23 within the via hole 27a. ) is exposed.

도 1에 도시한 바와 같이, 복수의 제1 개구부들(33a1)이 메사(M) 둘레를 따라 배열될 수 있으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 메사(M) 둘레를 따라 단일의 제1 개구부(33a1)가 형성될 수도 있다. As shown in FIG. 1, a plurality of first openings 33a1 may be arranged along the perimeter of the mesa M, but the present invention is not limited thereto. For example, a single first opening 33a1 may be formed along the perimeter of the mesa M.

본 실시예에서, 하부 절연층(33)의 제1 개구부들(33a1)이 메사(M) 둘레를 따라 배치된 것으로 도시 및 설명하지만, 하부 절연층(33)은 제1 도전형 반도체층(23)의 가장자리를 포함하여 그 주변 영역을 모두 노출하도록 형성될 수도 있다. 즉, 본 실시예에서, 하부 절연층(33)의 가장자리가 기판(21)의 가장자리와 나란한 것으로 도시되지만, 하부 절연층(33)의 가장자리가 제1 도전형 반도체층(23) 상에 위치할 수도 있다.In this embodiment, the first openings 33a1 of the lower insulating layer 33 are shown and described as being disposed along the perimeter of the mesa (M), but the lower insulating layer 33 is formed by the first conductive semiconductor layer 23. ) may be formed to expose the entire surrounding area, including the edges. That is, in this embodiment, the edge of the lower insulating layer 33 is shown as being parallel to the edge of the substrate 21, but the edge of the lower insulating layer 33 may be located on the first conductivity type semiconductor layer 23. It may be possible.

제2 개구부(33b)는 금속 반사층(31)을 노출시킨다. 복수의 제2 개구부들(33b)이 형성될 수 있으며, 이들 제2 개구부들(33b)은 메사(M)의 중앙 영역 근처에 배치될 수 있다.The second opening 33b exposes the metal reflective layer 31. A plurality of second openings 33b may be formed, and these second openings 33b may be disposed near the central area of the mesa M.

한편, 하부 절연층(33)은 SiO2 또는 Si3N4의 단일층으로 형성될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 다중층으로 형성될 수도 있다. 나아가, 하부 절연층(33)은 분포 브래그 반사기를 포함할 수 있다. 분포 브래그 반사기는 굴절률이 서로 다른 절연층들을 적층하여 형성될 수 있다. 예를 들어, 분포 브래그 반사기는 실리콘산화막과 타이타늄산화막을 교대로 반복 적층하여 형성될 수 있다. 하부 절연층(33)은 또한 캐핑층을 포함할 수 있다. 캐핑층은 분포 브래그 반사기의 상면을 덮어 분포 브래그 반사기를 보호하는 보호층으로 기능할 수 있다. 또한, 캐핑층은 분포 브래그 반사기 상에 배치되는 패드 금속층들(35a, 35b)의 접착력을 향상시킨다. 상기 캐핑층은 SiO2로 형성될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, SiO2-TiO2 혼합층 또는 MgF2층으로 형성될 수도 있다. SiO2-TiO2 혼합층 또는 MgF2층은 방수 특성을 가지므로, 고온 고습 환경에서 발광 다이오드의 신뢰성을 향상시킨다.Meanwhile, the lower insulating layer 33 may be formed as a single layer of SiO2 or Si3N4, but is not limited thereto and may be formed as a multiple layer. Furthermore, the lower insulating layer 33 may include a distributed Bragg reflector. A distributed Bragg reflector may be formed by stacking insulating layers with different refractive indices. For example, a distributed Bragg reflector may be formed by alternately stacking silicon oxide films and titanium oxide films. The lower insulating layer 33 may also include a capping layer. The capping layer may function as a protective layer that covers the upper surface of the distributed Bragg reflector and protects the distributed Bragg reflector. Additionally, the capping layer improves the adhesion of the pad metal layers 35a and 35b disposed on the distributed Bragg reflector. The capping layer may be formed of SiO2, but is not limited thereto, and may be formed of a SiO2-TiO2 mixed layer or an MgF2 layer. The SiO2-TiO2 mixed layer or MgF2 layer has waterproof properties, improving the reliability of the light emitting diode in a high temperature and high humidity environment.

한편, 제1 패드 금속층(35a)은 상기 하부 절연층(33) 상에 배치되며, 하부 절연층(33)에 의해 메사(M) 및 금속 반사층(31)으로부터 절연된다. 제1 패드 금속층(35a)은 하부 절연층(33)의 제1 개구부들(33a1, 33a2)을 통해 제1 도전형 반도체층(23)에 접촉한다. 제1 패드 금속층(35a)은 메사(M) 둘레를 따라 제1 개구부들(33a1)을 통해 제1 도전형 반도체층(23)에 접촉할 수 있으며, 또한, 제2 개구부(33a2)를 통해 비아 홀(27a) 내에서 제1 도전형 반도체층(23)에 접촉할 수 있다.Meanwhile, the first pad metal layer 35a is disposed on the lower insulating layer 33 and is insulated from the mesa (M) and the metal reflection layer 31 by the lower insulating layer 33. The first pad metal layer 35a contacts the first conductive semiconductor layer 23 through the first openings 33a1 and 33a2 of the lower insulating layer 33. The first pad metal layer 35a may contact the first conductive semiconductor layer 23 through first openings 33a1 along the perimeter of the mesa (M), and may also contact the via through the second opening 33a2. It may be in contact with the first conductivity type semiconductor layer 23 within the hole 27a.

한편, 제2 패드 금속층(35b)은 하부 절연층(33) 상에서 메사(M) 상부 영역에 배치되며, 하부 절연층(33)의 제2 개구부(33b)를 통해 금속 반사층(31)에 전기적으로 접속된다. 제2 패드 금속층(35b)은 제1 패드 금속층(35a)으로 둘러싸일 수 있으며, 이들 사이에 경계 영역이 형성될 수 있다. 도 1에 도시한 바와 같이, 경계 영역은 고리 형상으로 형성될 수 있다. 경계 영역에 하부 절연층(33)이 노출되며, 이 경계 영역은 후술하는 상부 절연층(37)으로 덮인다.Meanwhile, the second pad metal layer 35b is disposed in the upper area of the mesa (M) on the lower insulating layer 33, and is electrically connected to the metal reflection layer 31 through the second opening 33b of the lower insulating layer 33. Connected. The second pad metal layer 35b may be surrounded by the first pad metal layer 35a, and a boundary area may be formed between them. As shown in FIG. 1, the boundary area may be formed in a ring shape. The lower insulating layer 33 is exposed in the boundary area, and this boundary area is covered with the upper insulating layer 37, which will be described later.

제1 패드 금속층(35a)과 제2 패드 금속층(35b)은 동일 공정에서 동일 재료로 함께 형성될 수 있다. 제1 및 제2 패드 금속층(35a, 35b)은 Al층과 같은 오믹 반사층을 포함할 수 있으며, 오믹 반사층은 Ti, Cr 또는 Ni 등의 접착층 상에 형성될 수 있다. 또한, 상기 오믹 반사층 상에 Ni, Cr, Au 등의 단층 또는 복합층 구조의 보호층이 형성될 수 있다. 제1 및 제2 패드 금속층(35a, 35b)은 예컨대, Cr/Al/Ni/Ti/Ni/Ti/Au/Ti의 다층 구조를 가질 수 있다. The first pad metal layer 35a and the second pad metal layer 35b may be formed together with the same material in the same process. The first and second pad metal layers 35a and 35b may include an ohmic reflective layer such as an Al layer, and the ohmic reflective layer may be formed on an adhesive layer such as Ti, Cr, or Ni. Additionally, a protective layer having a single or multiple layer structure of Ni, Cr, Au, etc. may be formed on the ohmic reflection layer. The first and second pad metal layers 35a and 35b may have a multilayer structure of, for example, Cr/Al/Ni/Ti/Ni/Ti/Au/Ti.

상부 절연층(37)은 제1 및 제2 패드 금속층(35a, 35b)을 덮는다. 또한, 상부 절연층(37)은 메사(M) 둘레를 따라 제1 도전형 반도체층(23)을 덮을 수 있다. 본 실시예에서, 상부 절연층(37)은 기판(21)의 가장자리와 나란한다. 그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 상부 절연층(37)이 기판(21)의 가장자리 영역을 노출하도록 상부 절연층(37)의 가장자리가 기판(21)의 가장자리로 둘러싸인 영역의 내측에 위치할 수도 있다.The upper insulating layer 37 covers the first and second pad metal layers 35a and 35b. Additionally, the upper insulating layer 37 may cover the first conductive semiconductor layer 23 along the perimeter of the mesa (M). In this embodiment, the top insulating layer 37 is parallel to the edge of the substrate 21. However, the present invention is not limited to this, and the edge of the upper insulating layer 37 may be located inside the area surrounded by the edge of the substrate 21 so that the upper insulating layer 37 exposes the edge area of the substrate 21. It may be possible.

한편, 상부 절연층(37)은 제1 패드 금속층(35a)을 노출시키는 제1 개구부(37a) 및 제2 패드 금속층(35b)을 노출시키는 제2 개구부(37b)를 가진다. 제1 개구부(37a) 및 제2 개구부(37b)는 메사(M) 상부 영역에 배치될 수 있으며, 서로 대향하도록 배치될 수 있다. 특히, 제1 개구부(37a) 및 제2 개구부(37b)는 메사(M)의 양측 가장자리에 근접하여 배치될 수 있다. 또한, 도시한 바와 같이, 상부 절연층(37)의 제2 개구부(37a 37b)는 하부 절연층(33)의 제2 개구부(33b)로부터 횡방향으로 이격될 수 있다. 하부 절연층(33)의 제2 개구부(33b)와 상부 절연층(37)의 제2 개구부(37b)를 횡방향으로 이격시킴으로써 솔더에 의해 금속 반사층(31) 및 도전성 산화물층(28)이 손상되는 것을 방지할 수 있다.Meanwhile, the upper insulating layer 37 has a first opening 37a exposing the first pad metal layer 35a and a second opening 37b exposing the second pad metal layer 35b. The first opening 37a and the second opening 37b may be disposed in the upper area of the mesa (M) and may be disposed to face each other. In particular, the first opening 37a and the second opening 37b may be disposed close to both edges of the mesa M. Additionally, as shown, the second openings 37a and 37b of the upper insulating layer 37 may be laterally spaced from the second openings 33b of the lower insulating layer 33. By separating the second opening 33b of the lower insulating layer 33 from the second opening 37b of the upper insulating layer 37 in the horizontal direction, the metal reflection layer 31 and the conductive oxide layer 28 are damaged by solder. You can prevent it from happening.

상부 절연층(37)은 SiO2 또는 Si3N4의 단일층으로 형성될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니며, SiO2-TiO2 혼합층 또는 MgF2층을 포함할 수도 있다. SiO2-TiO2 혼합층이나 MgF2층은 방수 특성이 우수하여 발광 다이오드의 고온 고습 환경에서의 신뢰성을 향상시킬 수 있다. 또한, 상부 절연층(37)은 실리콘질화막과 실리콘산화막을 포함하는 다층 구조를 가질 수도 있으며, 실리콘산화막과 타이타늄산화막을 교대로 적층한 분포브래그 반사기를 포함할 수도 있다.The upper insulating layer 37 may be formed of a single layer of SiO 2 or Si 3 N 4 , but is not limited thereto, and may include a SiO 2 -TiO 2 mixed layer or an MgF 2 layer. The SiO2-TiO2 mixed layer or MgF2 layer has excellent waterproof properties and can improve the reliability of light emitting diodes in high temperature and high humidity environments. Additionally, the upper insulating layer 37 may have a multilayer structure including a silicon nitride film and a silicon oxide film, and may include a distributed Bragg reflector in which silicon oxide films and titanium oxide films are alternately stacked.

한편, 제1 범프 패드(39a)는 상부 절연층(37)의 제1 개구부(37a)를 통해 노출된 제1 패드 금속층(35a)에 전기적으로 접촉하고, 제2 범프 패드(39b)는 제2 개구부(37b)를 통해 노출된 제2 패드 금속층(35b)에 전기적으로 접촉한다. 도 1에 도시한 바와 같이, 제1 범프 패드(39a) 및 제2 범프 패드(39b)가 각각 상부 절연층(37)의 제1 개구부(37a) 및 제2 개구부(37b)를 모두 덮어 밀봉할 수 있다. 그러나 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니며, 제1 범프 패드(39a)는 상부 절연층(37)의 제1 개구부(37a) 내에 배치되고, 제2 범프 패드(39b)는 상부 절연층(37)의 제2 개구부(37b) 내에 배치될 수 있다. Meanwhile, the first bump pad 39a is in electrical contact with the first pad metal layer 35a exposed through the first opening 37a of the upper insulating layer 37, and the second bump pad 39b is in electrical contact with the second pad metal layer 35a. It electrically contacts the second pad metal layer 35b exposed through the opening 37b. As shown in FIG. 1, the first bump pad 39a and the second bump pad 39b cover and seal both the first opening 37a and the second opening 37b of the upper insulating layer 37, respectively. You can. However, the present invention is not limited to this, and the first bump pad 39a is disposed in the first opening 37a of the upper insulating layer 37, and the second bump pad 39b is disposed in the upper insulating layer 37. It may be disposed within the second opening 37b.

또한, 도 1에 도시한 바와 같이, 제2 범프 패드(39b)는 제2 패드 금속층(35a)의 상부 영역 내에 한정되어 위치할 수 있다. 그러나 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니며, 제2 범프 패드(39b)의 일부가 제1 패드 금속층(35a)과 중첩할 수도 있다. 다만, 상부 절연층(37)이 제1 패드 금속층(35a)과 제2 범프 패드(39b) 사이에 배치되어 이들을 절연시킬 수 있다.Additionally, as shown in FIG. 1, the second bump pad 39b may be located limited to the upper region of the second pad metal layer 35a. However, the present invention is not limited to this, and a portion of the second bump pad 39b may overlap the first pad metal layer 35a. However, the upper insulating layer 37 may be disposed between the first pad metal layer 35a and the second bump pad 39b to insulate them.

제1 및 제2 범프 패드들(39a, 39b)은 금속층으로 형성될 수 있으며, 복수의 층들을 포함할 수 있다. 특히, 제1 및 제2 범프 패드들(39a, 39b)은 Au 또는 Pt를 포함할 수 있다.The first and second bump pads 39a and 39b may be formed of a metal layer and may include a plurality of layers. In particular, the first and second bump pads 39a and 39b may include Au or Pt.

제1 솔더 범프(41a)는 제1 범프 패드(39a) 상에 배치되고, 제2 솔더 범프(41b)는 제2 범프 패드(39b) 상에 배치된다. 제1 및 제2 솔더 범프들(41a, 41b)은 예를 들어, AgCuSn을 포함할 수 있다.The first solder bump 41a is disposed on the first bump pad 39a, and the second solder bump 41b is disposed on the second bump pad 39b. The first and second solder bumps 41a and 41b may include AgCuSn, for example.

제1 및 제2 솔더 범프(41a, 41b)는 각각 솔더 파우더와 플럭스를 포함하는 솔더 페이스트를 제1 및 제2 범프 패드들(39a, 39b)들 상에 배치한 후 리플로우 공정을 이용하여 플럭스를 제거함으로써 형성될 수 있다. 이에 따라, 제1 및 제2 솔더 범프(41a, 41b)는 각각 제1 범프 패드(39a, 39b)의 면적과 동일한 바닥 면적을 가질 수 있다.The first and second solder bumps 41a and 41b are formed by placing solder paste containing solder powder and flux on the first and second bump pads 39a and 39b, respectively, and then applying flux using a reflow process. It can be formed by removing . Accordingly, the first and second solder bumps 41a and 41b may have a bottom area that is the same as the area of the first bump pads 39a and 39b, respectively.

한편, 제1 및 제2 솔더 범프(41a, 41b)는 제1 및 제2 범프 패드들(39a, 39b)에 비해 상대적으로 두껍다. 예를 들어, 제1 또는 제2 솔더 범프(41a 또는 41b)의 두께(T2)는 제1 또는 제2 범프 패드(39a 또는 39b)의 두께(T1)의 10배 내지 80배일 수 있다. 구체적으로, 상기 제1 및 제2 범프 패드들(39a, 39b)은 대략 1um 정도의 두께를 가지는데 반해, 제1 및 제2 솔더 범프(41a, 41b)는 10um 내지 100um의 두께를 가질 수 있다.Meanwhile, the first and second solder bumps 41a and 41b are relatively thicker than the first and second bump pads 39a and 39b. For example, the thickness T2 of the first or second solder bump 41a or 41b may be 10 to 80 times the thickness T1 of the first or second bump pad 39a or 39b. Specifically, the first and second bump pads 39a and 39b may have a thickness of approximately 1 um, while the first and second solder bumps 41a and 41b may have a thickness of 10 um to 100 um. .

또한, 제1 및 제2 솔더 범프(41a, 41b)는 경사진 측면을 가질 수 있으며, 대체로 사다리꼴 형상의 단면 형상을 가질 수 있다. 도 3에 도시한 바와 같이, 제1 및 제2 솔더 범프(41a, 41b)의 바닥면에 대한 측면의 경사각(θ)은 약 65도 내지 75도 범위 내일 수 있다. 경사각(θ)이 위 범위 내일 때, 솔더 범프들(41a, 41b)을 쉽게 형성할 수 있으며, 나아가, 발광 다이오드(100)를 쉽게 전사(transfer)시킬 수 있다.Additionally, the first and second solder bumps 41a and 41b may have inclined side surfaces and a generally trapezoidal cross-sectional shape. As shown in FIG. 3, the inclination angle θ of the side surface of the first and second solder bumps 41a and 41b with respect to the bottom surface may be in the range of about 65 degrees to 75 degrees. When the inclination angle θ is within the above range, the solder bumps 41a and 41b can be easily formed, and further, the light emitting diode 100 can be easily transferred.

한편, 도 4에 도시한 바와 같이, 제1 솔더 범프(41a)와 제2 솔더 범프(41b) 사이의 간격(s1), 제1 및 제2 솔더 범프들(41a, 41b)와 기판(21)의 가장자리 사이의 간격들(s2, S3)이 제어될 필요가 있다. 예를 들어, 간격(s1)은 제1 및 제2 솔더 범프들(41a, 41b)의 두께의 2배 이상이다. 간격(s1)의 상한은 특별히 한정되는 것은 아니지만, 충분한 솔더 범프들(41a, 41b)의 면적을 확보하기 위해 10배를 넘지 않을 수 있다.Meanwhile, as shown in FIG. 4, the gap s1 between the first solder bump 41a and the second solder bump 41b, the first and second solder bumps 41a and 41b and the substrate 21 The gaps s2 and S3 between the edges need to be controlled. For example, the gap s1 is more than twice the thickness of the first and second solder bumps 41a and 41b. The upper limit of the gap s1 is not particularly limited, but may not exceed 10 times in order to secure a sufficient area of the solder bumps 41a and 41b.

한편, 간격들(s2, s3)은 간격(s1)의 1/2 이상일 수 있다. 나아가, 간격들(s2, s3)은 제1 및 제2 솔더 범프들(41a, 41b)의 두께(T2)와 같거나 그보다 클 수 있다. 간격들(s1, s2, s3)을 제어함으로써 제1 및 제2 솔더 범프들(41a, 41b)를 스크린 프린팅 기술을 이용하여 쉽게 형성할 수 있으며, 솔더 범프들 사이의 전기적 단락을 방지할 수 있다.Meanwhile, the intervals s2 and s3 may be 1/2 or more of the interval s1. Furthermore, the gaps s2 and s3 may be equal to or greater than the thickness T2 of the first and second solder bumps 41a and 41b. By controlling the gaps s1, s2, and s3, the first and second solder bumps 41a, 41b can be easily formed using screen printing technology, and electrical short circuits between the solder bumps can be prevented. .

본 발명의 실시예에 따르면, 종래의 오믹 반사층 대신에 도전성 산화물층(28), 유전층(29) 및 금속 반사층(31)의 반사 구조가 사용된다. 이에 따라, 솔더 등의 본딩재가 콘택 영역으로 침투하는 것을 차단할 수 있으며, 안정한 오믹 콘택 저항을 확보하여 발광 다이오드의 신뢰성을 향상시킬 수 있다. 더욱이, 유전층(29)의 두께를 300nm 이상으로 함으로써 높은 광 출력 및 낮은 순방향 전압을 달성할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, a reflective structure of a conductive oxide layer 28, a dielectric layer 29, and a metal reflective layer 31 is used instead of the conventional ohmic reflective layer. Accordingly, penetration of bonding materials such as solder into the contact area can be prevented, and stable ohmic contact resistance can be secured to improve the reliability of the light emitting diode. Moreover, by setting the thickness of the dielectric layer 29 to 300 nm or more, high light output and low forward voltage can be achieved.

나아가, 제1 및 제2 범프 패드들(39a, 39b) 상에 제1 및 제2 솔더 범프들(41a, 41b)을 형성함으로써, 발광 다이오드의 실장 공정에서 사용되는 솔더 페이스트의 양을 줄일 수 있어, 발광 다이오드 실장 공정을 단순화할 수 있다.Furthermore, by forming the first and second solder bumps 41a and 41b on the first and second bump pads 39a and 39b, the amount of solder paste used in the mounting process of the light emitting diode can be reduced. , the light emitting diode mounting process can be simplified.

또한, 제1 및 제2 범프 패드들(39a, 39b)에 비해 10배 이상의 두께를 갖는 솔더 범프들(41a, 41b)을 배치함으로써 발광 다이오드의 핸들링을 쉽게 할 수 있다.In addition, the light emitting diode can be easily handled by disposing the solder bumps 41a and 41b with a thickness of more than 10 times that of the first and second bump pads 39a and 39b.

도 5a 내지 도 5f는 본 발명의 일 실시예에 따른 발광 소자 제조 공정을 설명하기 위한 개략적인 단면도들이다. 여기서는 스크린 프린팅 기술을 이용하여 솔더 범프들(41a, 41b)을 형성하고, 이를 이용하여 실장면 상에 실장하는 공정이 설명된다.Figures 5A to 5F are schematic cross-sectional views for explaining a light-emitting device manufacturing process according to an embodiment of the present invention. Here, a process of forming solder bumps 41a and 41b using screen printing technology and mounting them on a mounting surface using the solder bumps 41a and 41b is described.

우선, 도 5a를 참조하면, 범프 패드들(39a, 39b)이 형성된 기판(21)이 준비된다. 도시하지는 않았지만, 기판(21) 상에는 도 1 및 도 2를 참조하여 설명한 바와 같은 제1 도전형 반도체층(23), 활성층(25), 제2 도전형 반도체층(27), 도전성 산화물층(28), 유전층(29), 금속 반사층(31), 하부 절연층(33), 제1 패드 금속층(35a), 제2 패드 금속층(35b)) 및 상부 절연층(37)이 형성될 수 있다. 제1 및 제2 범프 패드들(39a, 39b)은 상부 절연층(37) 상에 배치될 수 있다.First, referring to FIG. 5A, a substrate 21 on which bump pads 39a and 39b are formed is prepared. Although not shown, on the substrate 21, a first conductive semiconductor layer 23, an active layer 25, a second conductive semiconductor layer 27, and a conductive oxide layer 28 as described with reference to FIGS. 1 and 2 are formed. ), a dielectric layer 29, a metal reflection layer 31, a lower insulating layer 33, a first pad metal layer 35a, a second pad metal layer 35b), and an upper insulating layer 37 may be formed. The first and second bump pads 39a and 39b may be disposed on the upper insulating layer 37.

기판(21) 상에는 복수의 발광 다이오드 영역들이 배치되며, 각 영역에 제1 및 제2 범프 패드들(39a, 39b)이 형성될 수 있다.A plurality of light emitting diode regions are disposed on the substrate 21, and first and second bump pads 39a and 39b may be formed in each region.

도 5b를 참조하면, 기판(21) 상에 마스크(110)가 배치된다. 마스크(110)는 범프 패드들(39a, 39b)을 노출시키는 개구부들을 가지며, 개구부들이 범프 패드들(39a, 39b)에 정렬되도록 마스크(110)가 배치된다. 개구부들의 높이는 약 20um 이상일 수 있으며, 약 300um 이하일 수 있다.Referring to FIG. 5B, a mask 110 is disposed on the substrate 21. The mask 110 has openings that expose the bump pads 39a and 39b, and the mask 110 is disposed so that the openings are aligned with the bump pads 39a and 39b. The height of the openings may be about 20um or more, and may be about 300um or less.

이어서, 솔더 페이스트(40)가 마스크(110)의 개구부들을 채운다. 솔더 페이스트(40)는 예를 들어 스퀴즈 프린팅 기술을 이용하여 도포될 수 있다. 이에 따라, 대략 개구부의 높이에 상응하는 두께의 솔더 페이스트(40)가 범프 패드들 상에 배치된다.Next, solder paste 40 fills the openings of mask 110. Solder paste 40 may be applied using, for example, a squeeze printing technique. Accordingly, solder paste 40 having a thickness approximately corresponding to the height of the opening is disposed on the bump pads.

도 5c를 참조하면, 마스크(110)가 제거되고, 리플로우 공정을 통해 솔더 페이스가 리플로우된다. 이에 따라, 솔더 페이스트가 응집되어 측면이 경사지고 상면이 볼록한 형상의 솔더 범프(40a)가 형성된다. 리플로우 공정에서 솔더 페이스트 내의 플럭스가 대부분 제거될 수 있다.Referring to FIG. 5C, the mask 110 is removed and the solder face is reflowed through a reflow process. Accordingly, the solder paste is aggregated to form a solder bump 40a having an inclined side and a convex upper surface. During the reflow process, most of the flux in the solder paste can be removed.

마스크(110)를 제거하기 위해 솔더 페이스트(40) 사이의 간격은 솔더 페이스트(40)의 두께 이상일 필요가 있다. 솔더 페이스트(40)의 사이의 간격이 너무 좁으면, 솔더 페이스트들(40)이 서로 연결될 수 있어, 마스크(110)를 제거하기 어렵다.In order to remove the mask 110, the gap between the solder pastes 40 needs to be greater than or equal to the thickness of the solder paste 40. If the gap between the solder pastes 40 is too narrow, the solder pastes 40 may be connected to each other, making it difficult to remove the mask 110.

한편, 리플로우 공정에서 제1 및 제2 범프 패드들(39a, 39b)과 솔더들이 서로 확산하여 혼합될 수도 있다. 이에 따라, 제1 및 제2 범프 패드들(39a, 39b)과 솔더 범프(40a) 사이의 경계가 명확하지 않을 수도 있다. 다만, 제1 및 제2 범프 패드들(39a, 39b)이 다층의 금속층으로 형성된 경우, 일부가 솔더와 혼합되고 일부는 잔류할 수 있다.Meanwhile, during the reflow process, the first and second bump pads 39a and 39b and the solder may diffuse and mix with each other. Accordingly, the boundary between the first and second bump pads 39a and 39b and the solder bump 40a may not be clear. However, when the first and second bump pads 39a and 39b are formed of multiple metal layers, some may be mixed with the solder and some may remain.

도 5d를 참조하면, 솔더 범프들(40a)의 두께 일부를 제거하여 제1 및 제2 솔더 범프들(41a, 41b)가 형성된다. 솔더 범프들(40a)은 예를 들어 플라잉 컷 기술과 같은 절삭 공정을 이용하여 절삭될 수 있다.Referring to FIG. 5D, first and second solder bumps 41a and 41b are formed by removing part of the thickness of the solder bumps 40a. Solder bumps 40a may be cut using a cutting process such as flying cut technology, for example.

특히, 솔더 범프들(40a)은 50% 이상 절삭될 수 있다. 이에 따라, 제1 및 제2 솔더 범프들(41a, 41b)은 마스크(110)의 개구부의 높이의 1/2 이하의 두께로 형성될 수 있다. 솔더 범프들(40a)의 절삭을 50% 미만으로 할 경우, 발광 다이오드들을 전사할 때, 솔더 범프들(41a, 41b)의 접착력이 좋지 않아 공정 불량이 발생하기 쉽다.In particular, the solder bumps 40a can be cut by more than 50%. Accordingly, the first and second solder bumps 41a and 41b may be formed to have a thickness of less than 1/2 the height of the opening of the mask 110. If the cutting of the solder bumps 40a is less than 50%, process defects are likely to occur due to poor adhesion of the solder bumps 41a and 41b when transferring the light emitting diodes.

도 5e를 참조하면, 기판(21)을 분할하여 개별 발광 다이오드들(100)이 완성된다. 기판(21)을 분할하기 전에 기판(21)의 바닥면을 그라인딩하여 두께를 감소시키는 공정이 추가될 수 있다. 기판(21)의 두께를 감소시키는 공정은 솔더 페이스트를 프린팅하기 전에 수행될 수도 있다.Referring to FIG. 5E, individual light emitting diodes 100 are completed by dividing the substrate 21. Before dividing the substrate 21, a process of reducing the thickness by grinding the bottom surface of the substrate 21 may be added. The process of reducing the thickness of the substrate 21 may be performed before printing the solder paste.

한편, 도면에 2개의 발광 다이오드들(100)이 형성되는 것을 도시하지만, 하나의 기판(21)에서 수백개 또는 수천개의 발광 다이오드들(100)이 형성될 수 있다.Meanwhile, although the drawing shows two light emitting diodes 100 being formed, hundreds or thousands of light emitting diodes 100 may be formed on one substrate 21.

도 5f를 참조하면, 발광 다이오드(100)가 접속 패드들(51a, 51b)을 갖는 서브 마운트 기판(51) 상에 본딩된다. 발광 다이오드(100)의 솔더 범프들(41a, 41b)이 접속 패드들(51a, 51b) 상에 정렬되고, 리플로우 공정을 이용한 본딩 기술에 의해 발광 다이오드(100)가 서브 마운트 기판(51)에 본딩될 수 있다.'Referring to FIG. 5F, the light emitting diode 100 is bonded on the sub-mount substrate 51 having connection pads 51a and 51b. The solder bumps 41a and 41b of the light emitting diode 100 are aligned on the connection pads 51a and 51b, and the light emitting diode 100 is attached to the sub-mount substrate 51 by bonding technology using a reflow process. It can be bonded.'

이 경우, 접속 패드들(51a, 51b) 상에 솔더 페이스트가 미리 도포될 수 있다. 다만, 발광 다이오드(100)에 솔더 범프들(41a, 41b)이 배치됨에 따라, 접속 패드들(51a, 51b) 상에 도포되는 솔더 페이스트의 양은 종래 기술에 비해 대폭 감소될 수 있다.In this case, solder paste may be applied in advance on the connection pads 51a and 51b. However, as the solder bumps 41a and 41b are disposed on the light emitting diode 100, the amount of solder paste applied on the connection pads 51a and 51b can be significantly reduced compared to the prior art.

이에 따라, 접속 패드들(51a, 51b)과 제1 및 제2 범프 패드들(41a, 41b)이 솔더(141a, 141b)에 의해 서로 본딩된 발광 소자가 제공된다.Accordingly, a light emitting device is provided in which the connection pads 51a and 51b and the first and second bump pads 41a and 41b are bonded to each other by solder 141a and 141b.

여기서, 발광 다이오드(100)가 서브 마운트 기판(51)에 실장되는 것을 설명하지만, 서브 마운트 기판(51) 대신 인쇄 회로 보드가 사용될 수도 있으며, 또는 리드들을 갖는 패키지가 사용될 수도 있다.Here, it is described that the light emitting diode 100 is mounted on the sub-mount board 51, but a printed circuit board may be used instead of the sub-mount board 51, or a package having leads may be used.

이에 따라, 발광 다이오드(100)가 실장된 발광 다이오드 패키지, 또는 발광 모듈 등 다양한 종류의 발광 소자가 제공될 수 있다. Accordingly, various types of light-emitting devices, such as a light-emitting diode package or a light-emitting module in which the light-emitting diode 100 is mounted, can be provided.

도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 발광 다이오드(200)를 설명하기 위한 개략적인 평면도이고, 도 7은 도 6의 발광 다이오드를 설명하기 위한 개략적인 회로도이며, 도 8은 도 6의 절취선 B-B를 따라 취해진 개략적인 단면도이고, 도 9는 도 6의 절취선 C-C를 따라 취해진 개략적인 단면도이다.FIG. 6 is a schematic plan view for explaining a light emitting diode 200 according to another embodiment of the present invention, FIG. 7 is a schematic circuit diagram for explaining the light emitting diode of FIG. 6, and FIG. 8 is a perforated line of FIG. 6. It is a schematic cross-sectional view taken along line B-B, and Figure 9 is a schematic cross-sectional view taken along line C-C of Figure 6.

도 6 내지 도 9를 참조하면, 본 실시예에 따른 발광 다이오드는 앞서 도 1을 참조하여 설명한 실시예와 대체로 유사하나, 기판(21) 상에 복수의 발광셀들(C1, C2, C3, C4)이 배열된 것에 차이가 있다. 이들 발광셀들(C1, C2, C3, C4)은 도 7에 도시한 바와 같이 제1 범프 패드(39a)와 제2 범프 패드(39b) 사이에서 직렬 연결될 수 있다.Referring to FIGS. 6 to 9, the light emitting diode according to this embodiment is generally similar to the embodiment previously described with reference to FIG. 1, but has a plurality of light emitting cells C1, C2, C3, and C4 on the substrate 21. ) There is a difference in how they are arranged. These light emitting cells (C1, C2, C3, C4) may be connected in series between the first bump pad (39a) and the second bump pad (39b) as shown in FIG. 7.

제1 내지 제4 발광셀들(C1, C2, C3, C4)은 기판(21) 상에 배치된다. 제1 내지 제4 발광셀들(C1, C2, C3, C4)은 기판(21)을 노출시키는 분리 영역에 의해 서로 이격된다. 발광셀들 사이의 영역에서 기판(21)의 상면이 노출될 수 있다.The first to fourth light emitting cells C1, C2, C3, and C4 are disposed on the substrate 21. The first to fourth light emitting cells C1, C2, C3, and C4 are spaced apart from each other by a separation area exposing the substrate 21. The upper surface of the substrate 21 may be exposed in the area between the light emitting cells.

본 실시예에서, 제1 및 제2 발광셀들(C1, C2)이 아래에 배치되고, 제3 및 제4 발광셀들(C3, C4)이 위쪽에 배치된 것으로 도시하지만, 제1 내지 제4 발광셀들(C1, C2, C3, C4)는 다양한 방식으로 배열될 수 있다. 또한, 본 실시예에서, 4개의 발광셀들이 기판(21) 상에 배열된 것에 대해 도시 및 설명하지만, 발광셀들의 개수는 특별히 한정되지 않는다. 예를 들어, 기판(21) 상에 2개의 발광셀들이 배치될 수도 있고, 7개의 발광셀들이 배치될 수도 있다.In this embodiment, the first and second light emitting cells C1 and C2 are shown as being disposed below and the third and fourth light emitting cells C3 and C4 are shown as being placed above. The four light emitting cells (C1, C2, C3, C4) can be arranged in various ways. Additionally, in this embodiment, four light emitting cells are shown and described arranged on the substrate 21, but the number of light emitting cells is not particularly limited. For example, two light-emitting cells or seven light-emitting cells may be arranged on the substrate 21.

각 발광셀은 제1 도전형 반도체층(23) 및 메사(M)를 포함한다. 제1 도전형 반도체층(23) 및 메사(M)는 앞서 도 1 및 도 2를 참조하여 설명한 바와 같으므로 중복을 피하기 위해 동일한 사항에 대한 상세한 설명은 생략한다.Each light emitting cell includes a first conductive semiconductor layer 23 and a mesa (M). Since the first conductive semiconductor layer 23 and the mesa (M) are the same as previously described with reference to FIGS. 1 and 2, detailed descriptions of the same items will be omitted to avoid duplication.

메사(M)는 제1 도전형 반도체층(23)으로 둘러싸인 영역 내측에 한정되어 위치할 수 있으며, 따라서, 제1 도전형 반도체층(23)의 외측면들에 인접한 가장자리 근처 영역들은 메사(M)에 의해 덮이지 않고 외부에 노출된다. The mesa (M) may be located limited to the inside of the area surrounded by the first conductive semiconductor layer 23, and therefore, the areas near the edge adjacent to the outer surfaces of the first conductive semiconductor layer 23 are the mesa (M). ) and is exposed to the outside.

본 실시예에서, 각 메사(M)는 비아 홀들(27a)을 포함할 수 있으며, 각 비아 홀(27a) 내에서 제1 도전형 반도체층(23)이 노출된다.In this embodiment, each mesa M may include via holes 27a, and the first conductivity type semiconductor layer 23 is exposed within each via hole 27a.

한편, 각 메사(M) 상에 도전성 산화물층(28)이 배치되고, 유전층들(29)은 각각 발광셀(C1, C2, C3, C4) 상의 도전성 산화물층(28) 및 메사(M)를 덮는다. 도전성 산화물층(28)은 제2 도전형 반도체층(27)에 오믹 콘택한다. 도전성 산화물층(28)은 메사(M) 상부 영역에서 메사(M)의 거의 전 영역에 걸쳐 배치될 수 있다. 다만, 도전성 산화물층(28)은 메사(M)의 가장자리로부터 이격될 수 있다.Meanwhile, a conductive oxide layer 28 is disposed on each mesa (M), and the dielectric layers 29 form the conductive oxide layer 28 and the mesa (M) on the light emitting cells (C1, C2, C3, C4), respectively. Cover. The conductive oxide layer 28 makes ohmic contact with the second conductive semiconductor layer 27. The conductive oxide layer 28 may be disposed over almost the entire area of the mesa (M) in the upper area of the mesa (M). However, the conductive oxide layer 28 may be spaced apart from the edge of the mesa (M).

유전층(29)은 메사(M) 상부 영역 및 측면을 덮으며, 메사(M) 주위에 노출된 제1 도전형 반도체층을 덮을 수 있다. 유전층(29)은 또한 도전성 산화물층(28)을 노출시키는 개구부들(29a)을 가진다. 유전층(29)은 제1 도전형 반도체층(23)의 상부 영역 내에 위치하며, 따라서, 서로 다른 발광셀들 상의 유전층들(29)은 서로 이격될 수 있다. 그러나 본 발명이 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 인접한 발광셀들 상의 유전층들이 서로 연결될 수도 있다.The dielectric layer 29 covers the upper area and side surfaces of the mesa (M), and may cover the first conductive semiconductor layer exposed around the mesa (M). Dielectric layer 29 also has openings 29a exposing conductive oxide layer 28. The dielectric layer 29 is located in the upper region of the first conductivity type semiconductor layer 23, and therefore, the dielectric layers 29 on different light emitting cells can be spaced apart from each other. However, the present invention is not necessarily limited to this, and dielectric layers on adjacent light-emitting cells may be connected to each other.

금속 반사층(31)은 유전층(29) 상에 배치되며, 유전층(29)의 개구부들(29a)을 통해 도전성 산화물층(28)에 접속한다. 금속 반사층(31)은 각 발광셀(C1, C2, C3, C4)의 메사(M) 상부 영역 내에 배치된다.The metal reflective layer 31 is disposed on the dielectric layer 29 and connects to the conductive oxide layer 28 through the openings 29a of the dielectric layer 29. The metal reflective layer 31 is disposed in the upper area of the mesa (M) of each light emitting cell (C1, C2, C3, C4).

하부 절연층(33)은 메사들(M)을 덮으며 금속 반사층(31) 및 유전층(29)을 덮는다. 하부 절연층(33)은 또한, 유전층(29) 외부에 노출된 제1 도전형 반도체층(23) 및 기판(21)을 덮는다. 기판(21)이 패터닝된 사파이어 기판인 경우, 하부 절연층(33)은 기판(21) 상의 돌출부들의 형상을 따라 형성될 수 있다.The lower insulating layer 33 covers the mesas M and covers the metal reflective layer 31 and the dielectric layer 29. The lower insulating layer 33 also covers the first conductive semiconductor layer 23 and the substrate 21 exposed to the outside of the dielectric layer 29. When the substrate 21 is a patterned sapphire substrate, the lower insulating layer 33 may be formed along the shape of the protrusions on the substrate 21.

하부 절연층(33)의 가장자리는 도시한 바와 같이, 각 발광셀의 제1 도전형 반도체층(23) 상에 위치할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아이며, 제1 도전형 반도체층(23)의 측면을 덮고 기판(21) 상에 위치할 수도 있다.As shown, the edge of the lower insulating layer 33 may be located on the first conductive semiconductor layer 23 of each light-emitting cell, but is not limited to this, and the first conductive semiconductor layer 23 It may cover the side of and be located on the substrate 21.

하부 절연층(33)은 각 메사(M)의 비아 홀들(27a) 내에서 제1 도전형 반도체층(23)을 노출시키는 제1 개구부들(33a)을 가지며, 또한, 제1 발광셀(C1) 상에서 금속 반사층(31)을 노출시키는 제2 개구부(33b1) 및 제2 내지 제3 발광셀들(C2, C3, C4) 상에서 금속 반사층(31)을 노출시키는 제2 개구부들(33b2)을 가진다.The lower insulating layer 33 has first openings 33a exposing the first conductivity type semiconductor layer 23 within the via holes 27a of each mesa (M), and also has first openings 33a exposing the first light emitting cell C1. ) and second openings 33b1 exposing the metal reflection layer 31 on the second to third light emitting cells C2, C3, and C4. .

본 실시예에서, 하부 절연층(33)은 메사(M) 주위의 제1 도전형 반도체층(23)을 노출시키는 개구부를 포함하지 않는다. 그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 하부 절연층(33)이 메사 주위의 제1 도전형 반동체층(23)을 노출시키는 개구부를 포함할 수도 있다.In this embodiment, the lower insulating layer 33 does not include an opening exposing the first conductivity type semiconductor layer 23 around the mesa (M). However, the present invention is not limited to this, and the lower insulating layer 33 may include an opening that exposes the first conductive semi-couple layer 23 around the mesa.

제2 개구부(33b1)는 제1 발광셀(C1) 상에 배치되며, 제2 개구부들(33b2)은 발광셀들의 분리 영역 근처에서 각 발광셀들의 금속 반사층(31)을 노출시킨다. 제2 개구부들(33b2)은 대체로 분리 영역을 따라 기다란 형상을 가질 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 다양한 형상을 가질 수 있다.The second opening 33b1 is disposed on the first light emitting cell C1, and the second openings 33b2 expose the metal reflective layer 31 of each light emitting cell near the separation area of the light emitting cells. The second openings 33b2 may generally have an elongated shape along the separation area, but are not limited thereto and may have various shapes.

한편, 제2 개구부(33b1)는 제1 발광셀(C1) 상에 위치하며, 제2 범프 패드(39b) 하부 영역 내에 위치할 수 있다. 그러나 다른 실시예에서, 제2 개구부(33b1)는 제1 발광셀(C1) 상에서 제2 범프 패드(39b)로부터 수평 방향으로 이격되어 배치될 수도 있다.Meanwhile, the second opening 33b1 is located on the first light emitting cell C1 and may be located in a lower area of the second bump pad 39b. However, in another embodiment, the second opening 33b1 may be arranged to be spaced apart in the horizontal direction from the second bump pad 39b on the first light emitting cell C1.

하부 절연층(33)은 도 1 및 도 2를 참조하여 설명한 바와 같이, 단일층 또는 다중층으로 형성될 수 있으며, 또는 분포 브래그 반사기를 포함할 수 있다. 또한, 하부 절연층(33)은 상기 분포 브래그 반사기를 덮는 캐핑층을 더 포함할 수 있다.The lower insulating layer 33 may be formed of a single layer or multiple layers, as described with reference to FIGS. 1 and 2, or may include a distributed Bragg reflector. Additionally, the lower insulating layer 33 may further include a capping layer covering the distributed Bragg reflector.

한편, 제1 패드 금속층(35a), 제2 패드 금속층(35b) 및 연결 금속층(35c)이 하부 절연층(33) 상에 배치된다. Meanwhile, the first pad metal layer 35a, the second pad metal layer 35b, and the connection metal layer 35c are disposed on the lower insulating layer 33.

제1 패드 금속층(35a)은 제4 발광셀(C4) 상에 배치되며, 메사(M)의 비아 홀들(27a) 내에 노출된 제1 도전형 반도체층(23)에 오믹 콘택한다. 본 실시예에서는, 비아 홀들(27a) 내에서 제1 패드 금속층(35a)이 제1 도전형 반도체층(23)에 접촉하는 것을 도시하지만, 메사(M) 주위에서 제1 도전형 반도체층(23)에 접촉할 수도 있다. 다만, 제1 패드 금속층(35a)을 메사(M)의 상부 영역 내에 배치함으로써 기판(21)의 가장자리로부터 멀리 이격시킬 수 있으며, 이에 따라, 제1 패드 금속층(35a)이 기판(21)의 측면측으로부터 진입하는 수분에 의해 손상되는 것을 방지할 수 있다.The first pad metal layer 35a is disposed on the fourth light emitting cell C4 and makes ohmic contact with the first conductive semiconductor layer 23 exposed in the via holes 27a of the mesa (M). In this embodiment, the first pad metal layer 35a is shown contacting the first conductivity type semiconductor layer 23 within the via holes 27a, but the first conductivity type semiconductor layer 23 is around the mesa (M). ) may come into contact with. However, by disposing the first pad metal layer 35a in the upper area of the mesa (M), it can be spaced far away from the edge of the substrate 21, and accordingly, the first pad metal layer 35a is positioned on the side of the substrate 21. It can prevent damage from moisture entering from the side.

제2 패드 금속층(35b)은 제1 발광셀(C1) 상에 배치되며, 제2 개구부(33b1)를 통해 금속 반사층(31)에 전기적으로 접속할 수 있다. 이에 따라, 제2 패드 금속층(35b)은 제1 발광셀(C1)의 제2 도전형 반도체층(27)에 전기적으로 접속한다.The second pad metal layer 35b is disposed on the first light emitting cell C1 and can be electrically connected to the metal reflection layer 31 through the second opening 33b1. Accordingly, the second pad metal layer 35b is electrically connected to the second conductive semiconductor layer 27 of the first light emitting cell C1.

제2 패드 금속층(35b)은 메사(M) 상에 위치하며, 제1 도전형 반도체층(23)으로부터 절연된다. 나아가, 제2 패드 금속층(35b)은 제1 발광셀(C1) 상의 메사(M)의 측면들로부터 이격될 수 있다. 이에 따라, 제2 패드 금속층(35b)이 기판(21)의 측면측으로부터 진입하는 수분에 의해 손상되는 것을 방지할 수 있다.The second pad metal layer 35b is located on the mesa (M) and is insulated from the first conductive semiconductor layer 23. Furthermore, the second pad metal layer 35b may be spaced apart from the sides of the mesa M on the first light emitting cell C1. Accordingly, the second pad metal layer 35b can be prevented from being damaged by moisture entering from the side of the substrate 21.

한편, 연결 금속층들(35c)은 이웃하는 발광셀들을 서로 직렬 연결한다. 연결 금속층들(35c)은 하부 절연층(33)의 제1 개구부(33a) 및 제2 개구부(33b2)를 통해 이웃하는 발광셀들의 제1 도전형 반도체층(23) 및 제2 도전형 반도체층(27)에 전기적으로 접속할 수 있다. 예를 들어, 하나의 연결 금속층(35c)은 제1 발광셀(C1) 내의 제1 도전형 반도체층(23)에 전기적으로 접속함과 아울러, 제2 발광셀(C2) 상의 금속 반사층(31)에 전기적으로 접속할 수 있다. 이에 따라, 제1 발광셀(C1)과 제2 발광셀(C2)이 연결 금속층(33c)을 통해 서로 직렬 연결된다. 이와 같이, 제2 발광셀(C2)과 제3 발광셀(C3)이 연결 금속층(35c)을 통해 직렬 연결될 수 있으며, 제3 발광셀(C3)과 제4 발광셀(C4) 연결 금속층(35c)을 통해 직렬 연결될 수 있다.Meanwhile, the connecting metal layers 35c connect neighboring light emitting cells to each other in series. The connecting metal layers 35c connect the first conductive semiconductor layer 23 and the second conductive semiconductor layer of neighboring light emitting cells through the first opening 33a and the second opening 33b2 of the lower insulating layer 33. It can be electrically connected to (27). For example, one connection metal layer 35c is electrically connected to the first conductive semiconductor layer 23 in the first light emitting cell C1, and the metal reflection layer 31 on the second light emitting cell C2 can be electrically connected to. Accordingly, the first light emitting cell (C1) and the second light emitting cell (C2) are connected in series to each other through the connecting metal layer (33c). In this way, the second light emitting cell (C2) and the third light emitting cell (C3) can be connected in series through the connecting metal layer (35c), and the third light emitting cell (C3) and the fourth light emitting cell (C4) can be connected in series through the connecting metal layer (35c). ) can be connected in series.

연결 금속층들(35c)은 제1 패드 금속층(35a) 및 제2 패드 금속층(35b)으로부터 이격된다. 나아가, 연결 금속층들(35c)은 메사(M)보다 좁은 폭을 갖도록 형성될 수 있으며, 따라서, 기판(21)의 가장자리로부터 메사(M)보다 멀리 이격될 수 있다.The connecting metal layers 35c are spaced apart from the first pad metal layer 35a and the second pad metal layer 35b. Furthermore, the connecting metal layers 35c may be formed to have a width narrower than the mesa M, and thus may be spaced farther from the edge of the substrate 21 than the mesa M.

제1, 제2 패드 금속층(35a, 35b) 및 연결 금속층들(35c)은 동일 공정에 의해 동일 재료로 함께 형성될 수 있다. 예를 들어, 제1, 제2 패드 금속층(35a, 35b) 및 연결 금속층들(35c)은 Al층과 같은 오믹 반사층을 포함할 수 있으며, 오믹 반사층은 Ti, Cr 또는 Ni 등의 접착층 상에 형성될 수 있다. 또한, 상기 오믹 반사층 상에 Ni, Cr, Au 등의 단층 또는 복합층 구조의 보호층이 형성될 수 있다. 제1, 제2 패드 금속층(35a, 35b) 및 연결 금속층들(35c)은 예컨대, Cr/Al/Ni/Ti/Ni/Ti/Au/Ti의 다층 구조를 가질 수 있다. The first and second pad metal layers 35a and 35b and the connecting metal layers 35c may be formed together with the same material through the same process. For example, the first and second pad metal layers 35a, 35b and the connecting metal layers 35c may include an ohmic reflective layer such as an Al layer, and the ohmic reflective layer is formed on an adhesive layer such as Ti, Cr, or Ni. It can be. Additionally, a protective layer having a single or multiple layer structure of Ni, Cr, Au, etc. may be formed on the ohmic reflection layer. The first and second pad metal layers 35a and 35b and the connecting metal layers 35c may have a multilayer structure of, for example, Cr/Al/Ni/Ti/Ni/Ti/Au/Ti.

상부 절연층(37)은 제1 패드 금속층(35a), 제2 패드 금속층(35b) 및 연결 금속층들(35c) 상에 배치되며, 제1 패드 금속층(35a)을 노출시키는 제1 개구부(37a) 및 제2 패드 금속층(35b)를 노출시키는 제2 개구부(37b)를 가진다. 상부 절연층(37)은 발광셀들(21) 주위에 노출된 기판(21) 상면을 덮을 수 있다. 상부 절연층(37)은 도시한 바와 같이 기판(21)의 가장자리를 덮을 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 상부 절연층(37)의 가장자리가 기판(21)의 가장자리 내측에 위치할 수도 있다.The upper insulating layer 37 is disposed on the first pad metal layer 35a, the second pad metal layer 35b, and the connecting metal layers 35c, and has a first opening 37a exposing the first pad metal layer 35a. and a second opening 37b exposing the second pad metal layer 35b. The upper insulating layer 37 may cover the upper surface of the substrate 21 exposed around the light emitting cells 21. The upper insulating layer 37 may cover the edge of the substrate 21 as shown, but is not limited to this, and the edge of the upper insulating layer 37 may be located inside the edge of the substrate 21.

한편, 상기 제1 개구부(37a)는 제1 패드 금속층(35a)의 상부 영역 내에 배치되며, 따라서, 연결 금속층(35c) 및 하부 절연층(33)의 제2 개구부(33b2)로부터 이격된다. 또한, 상기 제2 개구부(37b) 또한 제2 패드 금속층(35b) 상에 한정되어 위치하며, 연결 금속층(35c)으로부터 이격된다. Meanwhile, the first opening 37a is disposed in the upper region of the first pad metal layer 35a, and is thus spaced apart from the connecting metal layer 35c and the second opening 33b2 of the lower insulating layer 33. Additionally, the second opening 37b is also located limited on the second pad metal layer 35b and is spaced apart from the connection metal layer 35c.

본 실시예에 있어서, 상부 절연층(37)의 제1 및 제2 개구부(37a, 37b)를 통해 노출된 상기 제1 및 제2 패드 금속층(35a, 35b)은 그 위에 솔더 범프들(41a, 41b)이 형성되는 범프 패드들로 사용될 수 있다. 이와 달리, 도 1 및 도 2를 참조하여 설명한 바와 같이, 제1 및 제2 범프 패드들(39a, 39b)이 상부 절연층(37)의 제1 및 제2 개구부(37a, 37b)를 통해 노출된 제1 및 제2 패드 금속층들(35a, 35b)을 각각 덮을 수 있다. 상기 제1 및 제2 범프 패드(39a, 39b)는 각각 복수의 발광셀들에 걸쳐 배치될 수 있으며, 제1 및 제2 개구부(37a, 37b)를 덮어 밀봉할 수 있다.In this embodiment, the first and second pad metal layers 35a, 35b exposed through the first and second openings 37a, 37b of the upper insulating layer 37 have solder bumps 41a, 41b) can be used as formed bump pads. In contrast, as described with reference to FIGS. 1 and 2, the first and second bump pads 39a and 39b are exposed through the first and second openings 37a and 37b of the upper insulating layer 37. may cover the first and second pad metal layers 35a and 35b, respectively. The first and second bump pads 39a and 39b may be disposed across a plurality of light emitting cells, respectively, and may cover and seal the first and second openings 37a and 37b.

제1 솔더 범프(41a) 및 제2 솔더 범프(41b)는 각각 제1 범프 패드(39a) 및 제2 범프 패드(39b) 상에 배치된다. 제1 및 제2 솔더 범프들(41a, 41b)은 제1 범프 패드(39a) 및 제2 범프 패드(39b)와 동일한 형상의 바닥면을 가질 수 있다. 한편, 제1 솔더 범프(41a) 및 제2 솔더 범프(41b)의 두께, 및 이들 사이의 간격 및 이들과 기판(21)의 가장자리 사이의 간격들은 도 3 및 도 4를 참조하여 설명한 바와 같으므로 중복을 피하기 위해 상세한 설명은 생략한다.The first solder bump 41a and the second solder bump 41b are disposed on the first bump pad 39a and the second bump pad 39b, respectively. The first and second solder bumps 41a and 41b may have bottom surfaces of the same shape as the first bump pad 39a and the second bump pad 39b. Meanwhile, the thickness of the first solder bump 41a and the second solder bump 41b, the gap between them, and the gap between them and the edge of the substrate 21 are as described with reference to FIGS. 3 and 4. To avoid duplication, detailed descriptions are omitted.

도 10 및 도 11은 본 발명의 또 다른 실시예들에 따른 발광 다이오드들(200a, 200b)을 설명하기 위한 개략적인 평면도들이다.10 and 11 are schematic plan views for explaining light emitting diodes 200a and 200b according to still other embodiments of the present invention.

도 10을 참조하면, 본 실시예에 따른 발광 다이오드(200a)는 도 6 내지 도 9를 참조하여 설명한 발광 다이오드와 대체로 유사하나, 제1 및 제2 범프 패드들(39a, 39b)의 형상에 차이가 있으며, 이에 따라, 제1 및 제2 솔더 범프들(41a, 41b)의 형상에 차이가 있다.Referring to FIG. 10, the light emitting diode 200a according to this embodiment is generally similar to the light emitting diode described with reference to FIGS. 6 to 9, but there is a difference in the shapes of the first and second bump pads 39a and 39b. There is a difference in the shapes of the first and second solder bumps 41a and 41b.

즉, 발광 다이오드(200)에서 제1 및 제2 범프 패드들(39a, 39b)은 대체로 기다란 직사각형 형상을 가지며, 각각 복수개의 발광셀들에 걸쳐 배치된다. 이에 대해, 발광 다이오드(200a)에서 제1 및 제2 범프 패드들(39a, 39b)은 각각 복수개의 발광셀들에 걸쳐 배치되지만, 발광셀들 사이의 영역에서 폭이 좁은 영역을 포함한다.That is, in the light emitting diode 200, the first and second bump pads 39a and 39b have a generally elongated rectangular shape and are each arranged across a plurality of light emitting cells. In contrast, in the light emitting diode 200a, the first and second bump pads 39a and 39b are each disposed across a plurality of light emitting cells, but include a narrow region in the area between the light emitting cells.

제1 및 제2 솔더 범프들(41a, 41b)은 제1 및 제2 범프 패드들(39a, 39a)을 덮으며, 제1 및 제2 범프 패드들(39a, 39b)과 동일한 형상으로 형성될 수 있다.The first and second solder bumps 41a and 41b cover the first and second bump pads 39a and 39a and may be formed in the same shape as the first and second bump pads 39a and 39b. You can.

도 11을 참조하면, 본 실시예에 따른 발광 다이오드(200b)는 도 6 내지 도 9를 참조하여 설명한 발광 다이오드(200)와 대체로 유사하나, 제1 및 제2 범프 패드들(39a, 39b)이 각각 단일의 발광셀들(C4, C1) 상에 배치되고, 다른 발광셀들(C2, C3) 상에 더미 범프 패드들(39c)이 배치된 것에 차이가 있다.Referring to FIG. 11, the light emitting diode 200b according to this embodiment is generally similar to the light emitting diode 200 described with reference to FIGS. 6 to 9, but the first and second bump pads 39a and 39b are The difference is that dummy bump pads 39c are disposed on single light emitting cells C4 and C1, respectively, and dummy bump pads 39c are disposed on other light emitting cells C2 and C3.

더미 범프 패드들(39c)은 상부 절연층(37) 상에 제1 및 제2 범프 패드들(39a, 39b)과 동일 공정에서 함께 형성된다. 다만, 더미 범프 패드들(39c)은 상부 절연층(37)에 의해 제1 내지 제4 발광셀들(C1, C2, C3, C4)로부터 전기적으로 이격된다.The dummy bump pads 39c are formed on the upper insulating layer 37 together with the first and second bump pads 39a and 39b in the same process. However, the dummy bump pads 39c are electrically separated from the first to fourth light emitting cells C1, C2, C3, and C4 by the upper insulating layer 37.

한편, 제1 및 제2 솔더 범프들(41a, 41b)은 각각 제1 및 제2 범프 패드들(39a, 39b) 상에 배치되며, 더미 솔더 범프(41c)가 더미 범프 패드(39c) 상에 배치될 수 있다. 더미 솔더 범프(41c)는 생략될 수도 있으며, 따라서, 솔더 범프를 형성하기 위한 솔더 페이스트의 양을 절감할 수 있다.Meanwhile, the first and second solder bumps 41a and 41b are disposed on the first and second bump pads 39a and 39b, respectively, and a dummy solder bump 41c is disposed on the dummy bump pad 39c. can be placed. The dummy solder bump 41c may be omitted, thus reducing the amount of solder paste for forming the solder bump.

본 실시예에서, 4개의 발광셀들을 포함하는 발광 다이오드를 예를 들어 설명하지만, 발광 다이오드는 4개보다 더 많은 발광셀들을 포함할 수 있다. 이 경우, 솔더 범프들은 발광 다이오드의 실장 공정을 안정하게 할 수 있도록 배치될 수 있다. 예컨대, 기판의 일측 가장자리에 가깝게 배치된 적어도 2개의 발광셀들에 걸쳐 제1 솔더 범프가 배치되고, 기판의 타측 가장자리에 가깝게 배치된 적어도 2개의 발광셀들에 걸쳐 제2 솔더 범프가 배치될 수 있다. 또는 기판의 일측 가장자리에 가깝게 배치된 적어도 2개의 발광셀들 중 적어도 하나에 더미 솔더 범프가 배치되고, 다른 발광셀들 중 적어도 하나에 제1 솔더 범프가 배치될 수 있다. 또한, 기판의 타측 가장자리에 가깝게 배치된 적어도 2개의 발괄셀들 중 적어도 하나에 더미 솔더 범프가 배치되고, 다른 발광셀들 중 적어도 하나에 제2 솔더 범프가 배치될 수 있다. In this embodiment, a light emitting diode including four light emitting cells is taken as an example, but the light emitting diode may include more light emitting cells than four. In this case, the solder bumps can be arranged to stabilize the mounting process of the light emitting diode. For example, a first solder bump may be disposed across at least two light emitting cells arranged close to one edge of the substrate, and a second solder bump may be disposed across at least two light emitting cells arranged close to the other edge of the substrate. there is. Alternatively, a dummy solder bump may be disposed on at least one of at least two light emitting cells disposed close to one edge of the substrate, and a first solder bump may be disposed on at least one of the other light emitting cells. Additionally, a dummy solder bump may be disposed on at least one of at least two light emitting cells disposed close to the other edge of the substrate, and a second solder bump may be disposed on at least one of the other light emitting cells.

도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 발광 다이오드를 적용한 조명 장치를 설명하기 위한 분해 사시도이다.Figure 12 is an exploded perspective view to explain a lighting device using a light emitting diode according to an embodiment of the present invention.

도 12를 참조하면, 본 실시예에 따른 조명 장치는, 확산 커버(1010), 발광 소자 모듈(1020) 및 바디부(1030)를 포함한다. 바디부(1030)는 발광 소자 모듈(1020)을 수용할 수 있고, 확산 커버(1010)는 발광 소자 모듈(1020)의 상부를 커버할 수 있도록 바디부(1030) 상에 배치될 수 있다.Referring to FIG. 12, the lighting device according to this embodiment includes a diffusion cover 1010, a light emitting device module 1020, and a body portion 1030. The body portion 1030 may accommodate the light emitting device module 1020, and the diffusion cover 1010 may be disposed on the body portion 1030 to cover the top of the light emitting device module 1020.

바디부(1030)는 발광 소자 모듈(1020)을 수용 및 지지하여, 발광 소자 모듈(1020)에 전기적 전원을 공급할 수 있는 형태이면 제한되지 않는다. 예를 들어, 도시된 바와 같이, 바디부(1030)는 바디 케이스(1031), 전원 공급 장치(1033), 전원 케이스(1035), 및 전원 접속부(1037)를 포함할 수 있다. The body portion 1030 is not limited as long as it can accommodate and support the light emitting device module 1020 and supply electrical power to the light emitting device module 1020. For example, as shown, the body portion 1030 may include a body case 1031, a power supply device 1033, a power case 1035, and a power connection unit 1037.

전원 공급 장치(1033)는 전원 케이스(1035) 내에 수용되어 발광 소자 모듈(1020)과 전기적으로 연결되며, 적어도 하나의 IC칩을 포함할 수 있다. 상기 IC칩은 발광 소자 모듈(1020)로 공급되는 전원의 특성을 조절, 변환 또는 제어할 수 있다. 전원 케이스(1035)는 전원 공급 장치(1033)를 수용하여 지지할 수 있고, 전원 공급 장치(1033)가 그 내부에 고정된 전원 케이스(1035)는 바디 케이스(1031)의 내부에 위치할 수 있다. 전원 접속부(115)는 전원 케이스(1035)의 하단에 배치되어, 전원 케이스(1035)와 결속될 수 있다. 이에 따라, 전원 접속부(1037)는 전원 케이스(1035) 내부의 전원 공급 장치(1033)와 전기적으로 연결되어, 외부 전원이 전원 공급 장치(1033)에 공급될 수 있는 통로 역할을 할 수 있다.The power supply device 1033 is accommodated in the power case 1035 and is electrically connected to the light emitting device module 1020, and may include at least one IC chip. The IC chip can adjust, convert, or control the characteristics of the power supplied to the light emitting device module 1020. The power case 1035 may accommodate and support the power supply device 1033, and the power case 1035 with the power supply device 1033 fixed therein may be located inside the body case 1031. . The power connection unit 115 may be disposed at the bottom of the power case 1035 and coupled to the power case 1035. Accordingly, the power connection unit 1037 is electrically connected to the power supply device 1033 inside the power case 1035 and can serve as a passage through which external power can be supplied to the power supply device 1033.

발광 소자 모듈(1020)은 기판(1023) 및 기판(1023) 상에 배치된 발광 소자(1021)를 포함한다. 발광 소자 모듈(1020)은 바디 케이스(1031) 상부에 마련되어 전원 공급 장치(1033)에 전기적으로 연결될 수 있다.The light emitting device module 1020 includes a substrate 1023 and a light emitting device 1021 disposed on the substrate 1023. The light emitting device module 1020 may be provided on the upper part of the body case 1031 and electrically connected to the power supply device 1033.

기판(1023)은 발광 소자(1021)를 지지할 수 있는 기판이면 제한되지 않으며, 예를 들어, 배선을 포함하는 인쇄회로기판일 수 있다. 기판(1023)은 바디 케이스(1031)에 안정적으로 고정될 수 있도록, 바디 케이스(1031) 상부의 고정부에 대응하는 형태를 가질 수 있다. 발광 소자(1021)는 상술한 본 발명의 실시예들에 따른 발광 다이오드들 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. The substrate 1023 is not limited as long as it can support the light emitting device 1021, and may be, for example, a printed circuit board including wiring. The substrate 1023 may have a shape corresponding to the fixing portion on the upper part of the body case 1031 so that it can be stably fixed to the body case 1031. The light emitting device 1021 may include at least one of the light emitting diodes according to the embodiments of the present invention described above.

확산 커버(1010)는 발광 소자(1021) 상에 배치되되, 바디 케이스(1031)에 고정되어 발광 소자(1021)를 커버할 수 있다. 확산 커버(1010)는 투광성 재질을 가질 수 있으며, 확산 커버(1010)의 형태 및 광 투과성을 조절하여 조명 장치의 지향 특성을 조절할 수 있다. 따라서 확산 커버(1010)는 조명 장치의 이용 목적 및 적용 태양에 따라 다양한 형태로 변형될 수 있다.The diffusion cover 1010 may be placed on the light emitting device 1021 and may be fixed to the body case 1031 to cover the light emitting device 1021. The diffusion cover 1010 may be made of a light-transmitting material, and the directivity characteristics of the lighting device may be adjusted by adjusting the shape and light transmittance of the diffusion cover 1010. Accordingly, the diffusion cover 1010 may be transformed into various forms depending on the purpose of use and application of the lighting device.

도 13은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 발광 다이오드를 적용한 디스플레이 장치를 설명하기 위한 단면도이다.Figure 13 is a cross-sectional view for explaining a display device using a light emitting diode according to another embodiment of the present invention.

본 실시예의 디스플레이 장치는 표시패널(2110), 표시패널(2110)에 광을 제공하는 백라이트 유닛 및, 상기 표시패널(2110)의 하부 가장자리를 지지하는 패널 가이드를 포함한다.The display device of this embodiment includes a display panel 2110, a backlight unit that provides light to the display panel 2110, and a panel guide that supports a lower edge of the display panel 2110.

표시패널(2110)은 특별히 한정되지 않고, 예컨대, 액정층을 포함하는 액정표시패널일 수 있다. 표시패널(2110)의 가장자리에는 상기 게이트 라인으로 구동신호를 공급하는 게이트 구동 PCB가 더 위치할 수 있다. 여기서, 게이트 구동 PCB는 별도의 PCB에 구성되지 않고, 박막 트랜지스터 기판상에 형성될 수도 있다.The display panel 2110 is not particularly limited and may be, for example, a liquid crystal display panel including a liquid crystal layer. A gate driving PCB that supplies a driving signal to the gate line may be further positioned at the edge of the display panel 2110. Here, the gate driving PCB may not be formed on a separate PCB but may be formed on a thin film transistor substrate.

백라이트 유닛은 적어도 하나의 기판 및 복수의 발광 소자(2160)를 포함하는 광원 모듈을 포함한다. 나아가, 백라이트 유닛은 바텀커버(2180), 반사 시트(2170), 확산 플레이트(2131) 및 광학 시트들(2130)을 더 포함할 수 있다.The backlight unit includes a light source module including at least one substrate and a plurality of light emitting devices 2160. Furthermore, the backlight unit may further include a bottom cover 2180, a reflective sheet 2170, a diffusion plate 2131, and optical sheets 2130.

바텀커버(2180)는 상부로 개구되어, 기판, 발광 소자(2160), 반사 시트(2170), 확산 플레이트(2131) 및 광학 시트들(2130)을 수납할 수 있다. 또한, 바텀커버(2180)는 패널 가이드와 결합될 수 있다. 기판은 반사 시트(2170)의 하부에 위치하여, 반사 시트(2170)에 둘러싸인 형태로 배치될 수 있다. 다만, 이에 한정되지 않고, 반사 물질이 표면에 코팅된 경우에는 반사 시트(2170) 상에 위치할 수도 있다. 또한, 기판은 복수로 형성되어, 복수의 기판들이 나란히 배치된 형태로 배치될 수 있으나, 이에 한정되지 않고, 단일의 기판으로 형성될 수도 있다.The bottom cover 2180 is opened upward and can accommodate a substrate, a light emitting element 2160, a reflective sheet 2170, a diffusion plate 2131, and optical sheets 2130. Additionally, the bottom cover 2180 may be combined with a panel guide. The substrate may be positioned below the reflective sheet 2170 and surrounded by the reflective sheet 2170. However, it is not limited to this, and if a reflective material is coated on the surface, it may be located on the reflective sheet 2170. In addition, the substrate may be formed in plural, and the plurality of substrates may be arranged side by side, but the present invention is not limited to this and may be formed as a single substrate.

발광 소자(2160)는 상술한 본 발명의 실시예들에 따른 발광 다이오드를 포함할 수 있다. 발광 소자(2160)들은 기판 상에 일정한 패턴으로 규칙적으로 배열될 수 있다. 또한, 각각의 발광 소자(2160) 상에는 렌즈(2210)가 배치되어, 복수의 발광 소자(2160)들로부터 방출되는 광을 균일성을 향상시킬 수 있다.The light emitting device 2160 may include a light emitting diode according to the embodiments of the present invention described above. The light emitting elements 2160 may be regularly arranged in a certain pattern on the substrate. Additionally, a lens 2210 is disposed on each light-emitting device 2160 to improve the uniformity of light emitted from the plurality of light-emitting devices 2160.

확산 플레이트(2131) 및 광학 시트들(2130)은 발광 소자(2160) 상에 위치한다. 발광 소자(2160)로부터 방출된 광은 확산 플레이트(2131) 및 광학 시트들(2130)을 거쳐 면 광원 형태로 표시패널(2110)로 공급될 수 있다. The diffusion plate 2131 and the optical sheets 2130 are located on the light emitting device 2160. Light emitted from the light emitting device 2160 may be supplied to the display panel 2110 in the form of a planar light source through the diffusion plate 2131 and the optical sheets 2130.

이와 같이, 본 발명의 실시예들에 따른 발광 소자는 본 실시예와 같은 직하형 디스플레이 장치에 적용될 수 있다.As such, the light emitting device according to the embodiments of the present invention can be applied to a direct display device such as the present embodiment.

도 14는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 발광 다이오드를 적용한 디스플레이 장치를 설명하기 위한 단면도이다. Figure 14 is a cross-sectional view for explaining a display device using a light emitting diode according to another embodiment of the present invention.

본 실시예에 따른 백라이트 유닛이 구비된 디스플레이 장치는 영상이 디스플레이되는 표시패널(3210), 표시패널(3210)의 배면에 배치되어 광을 조사하는 백라이트 유닛을 포함한다. 나아가, 상기 디스플레이 장치는, 표시패널(3210)을 지지하고 백라이트 유닛이 수납되는 프레임(240) 및 상기 표시패널(3210)을 감싸는 커버(3240, 3280)를 포함한다.A display device equipped with a backlight unit according to this embodiment includes a display panel 3210 on which an image is displayed, and a backlight unit disposed on the back of the display panel 3210 to irradiate light. Furthermore, the display device includes a frame 240 that supports the display panel 3210 and houses a backlight unit, and covers 3240 and 3280 that surround the display panel 3210.

표시패널(3210)은 특별히 한정되지 않고, 예컨대, 액정층을 포함하는 액정표시패널일 수 있다. 표시패널(3210)의 가장자리에는 상기 게이트 라인으로 구동신호를 공급하는 게이트 구동 PCB가 더 위치할 수 있다. 여기서, 게이트 구동 PCB는 별도의 PCB에 구성되지 않고, 박막 트랜지스터 기판상에 형성될 수도 있다. 표시패널(3210)은 그 상하부에 위치하는 커버(3240, 3280)에 의해 고정되며, 하부에 위치하는 커버(3280)는 백라이트 유닛과 결속될 수 있다.The display panel 3210 is not particularly limited and may be, for example, a liquid crystal display panel including a liquid crystal layer. A gate driving PCB that supplies a driving signal to the gate line may be further positioned at the edge of the display panel 3210. Here, the gate driving PCB may not be formed on a separate PCB but may be formed on a thin film transistor substrate. The display panel 3210 is fixed by covers 3240 and 3280 located at the top and bottom, and the cover 3280 located at the bottom can be coupled to the backlight unit.

표시패널(3210)에 광을 제공하는 백라이트 유닛은 상면의 일부가 개구된 하부 커버(3270), 하부 커버(3270)의 내부 일 측에 배치된 광원 모듈 및 상기 광원 모듈과 나란하게 위치되어 점광을 면광으로 변환하는 도광판(3250)을 포함한다. 또한, 본 실시예의 백라이트 유닛은 도광판(3250) 상에 위치되어 광을 확산 및 집광시키는 광학 시트들(3230), 도광판(3250)의 하부에 배치되어 도광판(3250)의 하부방향으로 진행하는 광을 표시패널(3210) 방향으로 반사시키는 반사시트(3260)를 더 포함할 수 있다.The backlight unit that provides light to the display panel 3210 includes a lower cover 3270 with a portion of the upper surface opened, a light source module disposed on one inner side of the lower cover 3270, and a light source module positioned in parallel with the light source module to emit point light. It includes a light guide plate 3250 that converts to surface light. In addition, the backlight unit of this embodiment includes optical sheets 3230 located on the light guide plate 3250 to diffuse and converge light, and disposed below the light guide plate 3250 to transmit light traveling in the lower direction of the light guide plate 3250. It may further include a reflective sheet 3260 that reflects in the direction of the display panel 3210.

광원 모듈은 기판(3220) 및 상기 기판(3220)의 일면에 일정 간격으로 이격되어 배치된 복수의 발광 소자(3110)를 포함한다. 기판(3220)은 발광 소자(3110)를 지지하고 발광 소자(3110)에 전기적으로 연결된 것이면 제한되지 않으며, 예컨대, 인쇄회로기판일 수 있다. 발광 소자(3110)는 상술한 본 발명의 실시예들에 따른 발광 다이오드를 적어도 하나 포함할 수 있다. 광원 모듈로부터 방출된 광은 도광판(3250)으로 입사되어 광학 시트들(3230)을 통해 표시패널(3210)로 공급된다. 도광판(3250) 및 광학 시트들(3230)을 통해, 발광 소자(3110)들로부터 방출된 점 광원이 면 광원으로 변형될 수 있다.The light source module includes a substrate 3220 and a plurality of light emitting elements 3110 arranged on one surface of the substrate 3220 at regular intervals. The substrate 3220 is not limited as long as it supports the light emitting device 3110 and is electrically connected to the light emitting device 3110. For example, it may be a printed circuit board. The light emitting device 3110 may include at least one light emitting diode according to the embodiments of the present invention described above. Light emitted from the light source module is incident on the light guide plate 3250 and supplied to the display panel 3210 through the optical sheets 3230. Through the light guide plate 3250 and the optical sheets 3230, a point light source emitted from the light emitting elements 3110 may be transformed into a planar light source.

이와 같이, 본 발명의 실시예들에 따른 발광 소자는 본 실시예와 같은 에지형 디스플레이 장치에 적용될 수 있다.In this way, the light emitting device according to the embodiments of the present invention can be applied to an edge-type display device such as this embodiment.

도 15는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 발광 다이오드를 헤드 램프에 적용한 예를 설명하기 위한 단면도이다.Figure 15 is a cross-sectional view illustrating an example of applying a light emitting diode to a headlamp according to another embodiment of the present invention.

도 15를 참조하면, 상기 헤드 램프는, 램프 바디(4070), 기판(4020), 발광 소자(4010) 및 커버 렌즈(4050)를 포함한다. 나아가, 상기 헤드 램프는, 방열부(4030), 지지랙(4060) 및 연결 부재(4040)를 더 포함할 수 있다.Referring to FIG. 15, the headlamp includes a lamp body 4070, a substrate 4020, a light emitting element 4010, and a cover lens 4050. Furthermore, the headlamp may further include a heat dissipation unit 4030, a support rack 4060, and a connection member 4040.

기판(4020)은 지지랙(4060)에 의해 고정되어 램프 바디(4070) 상에 이격 배치된다. 기판(4020)은 발광 소자(4010)를 지지할 수 있는 기판이면 제한되지 않으며, 예컨대, 인쇄회로기판과 같은 도전 패턴을 갖는 기판일 수 있다. 발광 소자(4010)는 기판(4020) 상에 위치하며, 기판(4020)에 의해 지지 및 고정될 수 있다. 또한, 기판(4020)의 도전 패턴을 통해 발광 소자(4010)는 외부의 전원과 전기적으로 연결될 수 있다. 또한, 발광 소자(4010)는 상술한 본 발명의 실시예들에 따른 발광 다이오드를 적어도 하나 포함할 수 있다. The substrate 4020 is fixed by a support rack 4060 and spaced apart from the lamp body 4070. The substrate 4020 is not limited as long as it can support the light emitting device 4010, and may be, for example, a substrate with a conductive pattern such as a printed circuit board. The light emitting device 4010 is located on the substrate 4020 and can be supported and fixed by the substrate 4020. Additionally, the light emitting device 4010 can be electrically connected to an external power source through the conductive pattern of the substrate 4020. Additionally, the light emitting device 4010 may include at least one light emitting diode according to the embodiments of the present invention described above.

커버 렌즈(4050)는 발광 소자(4010)로부터 방출되는 광이 이동하는 경로 상에 위치한다. 예컨대, 도시된 바와 같이, 커버 렌즈(4050)는 연결 부재(4040)에 의해 발광 소자(4010)로부터 이격되어 배치될 수 있고, 발광 소자(4010)로부터 방출된 광을 제공하고자하는 방향에 배치될 수 있다. 커버 렌즈(4050)에 의해 헤드 램프로부터 외부로 방출되는 광의 지향각 및/또는 색상이 조절될 수 있다. 한편, 연결 부재(4040)는 커버 렌즈(4050)를 기판(4020)과 고정시킴과 아울러, 발광 소자(4010)를 둘러싸도록 배치되어 발광 경로(4045)를 제공하는 광 가이드 역할을 할 수도 있다. 이때, 연결 부재(4040)는 광 반사성 물질로 형성되거나, 광 반사성 물질로 코팅될 수 있다. 한편, 방열부(4030)는 방열핀(4031) 및/또는 방열팬(4033)을 포함할 수 있고, 발광 소자(4010) 구동 시 발생하는 열을 외부로 방출시킨다.The cover lens 4050 is located on the path along which light emitted from the light emitting device 4010 travels. For example, as shown, the cover lens 4050 may be arranged to be spaced apart from the light-emitting device 4010 by the connecting member 4040, and may be placed in a direction to provide light emitted from the light-emitting device 4010. You can. The beam angle and/or color of light emitted from the headlamp to the outside may be adjusted by the cover lens 4050. Meanwhile, the connecting member 4040 fixes the cover lens 4050 to the substrate 4020 and may also serve as a light guide that is arranged to surround the light emitting element 4010 and provides a light emission path 4045. At this time, the connecting member 4040 may be formed of a light-reflective material or coated with a light-reflective material. Meanwhile, the heat dissipation unit 4030 may include a heat dissipation fin 4031 and/or a heat dissipation fan 4033, and radiates heat generated when the light emitting device 4010 is driven to the outside.

이와 같이, 본 발명의 실시예들에 따른 발광 소자는 본 실시예와 같은 헤드 램프, 특히, 차량용 헤드 램프에 적용될 수 있다.As such, the light-emitting device according to the embodiments of the present invention can be applied to a headlamp like this embodiment, especially a headlamp for a vehicle.

이상에서, 본 발명의 다양한 실시예들에 대해 설명하였으나, 본 발명은 이들 실시예들에 한정되는 것은 아니다. 또한, 하나의 실시예에 대해서 설명한 사항이나 구성요소는 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 한, 다른 실시예에도 적용될 수 있다.In the above, various embodiments of the present invention have been described, but the present invention is not limited to these embodiments. Additionally, matters or components described in one embodiment may be applied to other embodiments as long as they do not depart from the technical spirit of the present invention.

Claims (23)

접속 패드들을 갖는 실장면; 및
제1 솔더 및 제2 솔더를 통해 상기 실장면 상에 실장된 발광 다이오드를 포함하되,
상기 발광 다이오드는
제1 도전형 반도체층;
상기 제1 도전형 반도체층 상에 배치된 활성층;
상기 활성층 상에 배치된 제2 도전형 반도체층;
상기 제2 도전형 반도체층에 전기적으로 접속된 투명한 도전성 산화물층;
상기 도전성 산화물층을 덮되, 상기 도전성 산화물층을 노출시키는 복수의 개구부들을 가지는 유전층;
상기 유전층 상에 배치되며, 상기 유전층의 개구부들을 통해 상기 도전성 산화물층에 접속하는 금속 반사층;
상기 금속 반사층 상에 배치되며, 상기 제1 도전형 반도체층을 노출시키는 제1 개구부 및 상기 금속 반사층을 노출시키는 제2 개구부를 포함하는 하부 절연층;
상기 하부 절연층 상에 배치되며, 상기 하부 절연층의 제1 개구부를 통해 상기 제1 도전형 반도체층에 전기적으로 접속하는 제1 패드 금속층;
상기 하부 절연층 상에 배치되며, 상기 하부 절연층의 제2 개구부를 통해 상기 제2 도전형 반도체층에 전기적으로 접속하는 제2 패드 금속층;
상기 제1 패드 금속층 및 제2 패드 금속층 상에 배치되며 상기 제1 패드 금속층 및 제2 패드 금속층을 노출시키는 개구부들을 가지는 상부 절연층;
상기 상부 절연층의 개구부를 통해 상기 제1 패드 금속층에 상기 제1 도전형 반도체층에 전기적으로 접속된 제1 범프 패드; 및
상기 상부 절연층의 개구부를 통해 상기 제2 패드 금속층에 상기 제2 도전형 반도체층에 전기적으로 접속된 제2 범프 패드를 포함하고,
상기 제1 및 제2 솔더들은 상기 접속 패드들과 상기 제1 및 제2 범프 패드들을 본딩하고,
상기 제1 솔더 및 제2 솔더는 상기 제1 범프 패드 및 상기 제2 범프 패드의 두께의 10배 내지 80배 범위 내의 두께를 가지는 발광 소자.
Mounting surface with connection pads; and
It includes a light emitting diode mounted on the mounting surface through a first solder and a second solder,
The light emitting diode is
A first conductive semiconductor layer;
an active layer disposed on the first conductive semiconductor layer;
a second conductive semiconductor layer disposed on the active layer;
a transparent conductive oxide layer electrically connected to the second conductive semiconductor layer;
a dielectric layer covering the conductive oxide layer and having a plurality of openings exposing the conductive oxide layer;
a metal reflective layer disposed on the dielectric layer and connected to the conductive oxide layer through openings in the dielectric layer;
a lower insulating layer disposed on the metal reflective layer and including a first opening exposing the first conductive semiconductor layer and a second opening exposing the metal reflective layer;
a first pad metal layer disposed on the lower insulating layer and electrically connected to the first conductive semiconductor layer through a first opening in the lower insulating layer;
a second pad metal layer disposed on the lower insulating layer and electrically connected to the second conductive semiconductor layer through a second opening in the lower insulating layer;
an upper insulating layer disposed on the first pad metal layer and the second pad metal layer and having openings exposing the first pad metal layer and the second pad metal layer;
a first bump pad electrically connected to the first pad metal layer and the first conductive semiconductor layer through an opening in the upper insulating layer; and
a second bump pad electrically connected to the second pad metal layer and the second conductive semiconductor layer through an opening in the upper insulating layer;
The first and second solders bond the connection pads and the first and second bump pads,
The first solder and the second solder have a thickness in the range of 10 to 80 times the thickness of the first bump pad and the second bump pad.
청구항 1에 있어서,
상기 제1 솔더 및 제2 솔더는 경사진 측면을 갖되, 상기 경사진 측면의 경사각은 바닥면에 대해 65도 내지 75도 범위 내인 발광 소자.
In claim 1,
The first solder and the second solder have inclined sides, and the inclination angle of the inclined sides is in the range of 65 degrees to 75 degrees with respect to the bottom surface.
청구항 1에 있어서,
상기 제1 솔더와 제2 솔더 사이의 간격은 상기 제1 솔더 또는 상기 제2 솔더의 두께의 2배 이상 10배 이하인 발광 소자.
In claim 1,
A light emitting device wherein the gap between the first solder and the second solder is 2 to 10 times the thickness of the first solder or the second solder.
청구항 1에 있어서,
상기 제1 도전형 반도체층 아래에 배치된 기판을 더 포함하되,
상기 제1 솔더 또는 상기 제2 솔더와 상기 기판의 가장자리 사이의 수평 방향 최단 거리는 상기 제1 솔더와 상기 제2 솔더의 두께와 같거나 그보다 큰 발광 소자.
In claim 1,
Further comprising a substrate disposed under the first conductive semiconductor layer,
A light emitting device wherein the shortest distance in the horizontal direction between the first solder or the second solder and an edge of the substrate is equal to or greater than the thickness of the first solder and the second solder.
삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 제1 및 제2 솔더들은 각각 상기 제1 및 제2 범프 패드들의 상면 전체를 덮는 발광 소자.
In claim 1,
The first and second solders cover the entire upper surfaces of the first and second bump pads, respectively.
청구항 1에 있어서,
상기 제1 범프 패드와 상기 제2 범프 패드 사이의 간격은 상기 제1 솔더 또는 상기 제2 솔더 두께의 2배 이상 10배 이하인 발광 소자.
In claim 1,
A light emitting device wherein a gap between the first bump pad and the second bump pad is 2 to 10 times the thickness of the first solder or the second solder.
청구항 1에 있어서,
상기 제1 도전형 반도체층 아래에 배치된 기판을 더 포함하되,
상기 제1 범프 패드 또는 상기 제2 범프 패드와 상기 기판의 가장자리 사이의 수평 방향 최단 거리는 상기 제1 솔더와 상기 제2 솔더의 두께와 같거나 그보다 큰 발광 소자.
In claim 1,
Further comprising a substrate disposed under the first conductive semiconductor layer,
A light emitting device wherein the shortest horizontal distance between the first bump pad or the second bump pad and an edge of the substrate is equal to or greater than the thickness of the first solder and the second solder.
삭제delete 청구항 1에 있어서,
기판; 및
상기 기판 상에 배치된 복수의 발광셀들을 더 포함하되,
상기 발광셀들 각각은 상기 제1 도전형 반도체층, 활성층 및 제2 도전형 반도체층을 포함하고,
상기 제1 범프 패드는 상기 복수의 발광셀들 중 하나의 발광셀의 제1 도전형 반도체층에 전기적으로 접속되고,
상기 제2 범프 패드는 상기 복수의 발광셀들 중 다른 하나의 발광셀의 제2 도전형 반도체층에 전기적으로 접속되는 발광 소자.
In claim 1,
Board; and
Further comprising a plurality of light emitting cells arranged on the substrate,
Each of the light emitting cells includes the first conductivity type semiconductor layer, the active layer, and the second conductivity type semiconductor layer,
The first bump pad is electrically connected to a first conductivity type semiconductor layer of one light emitting cell among the plurality of light emitting cells,
The second bump pad is a light emitting device electrically connected to a second conductive semiconductor layer of another light emitting cell among the plurality of light emitting cells.
청구항 10에 있어서,
상기 복수의 발광셀들 중 또 다른 발광셀 상에 배치된 더미 범프 패드를 더 포함하되,
상기 더미 범프 패드는 상기 발광셀들로부터 전기적으로 이격된 발광 소자.
In claim 10,
Further comprising a dummy bump pad disposed on another light emitting cell among the plurality of light emitting cells,
The dummy bump pad is a light emitting device that is electrically spaced apart from the light emitting cells.
청구항 10에 있어서,
상기 제1 범프 패드 및 제2 범프 패드는 각각 적어도 2개의 발광셀들에 걸쳐 배치된 발광 소자.
In claim 10,
The first bump pad and the second bump pad are each disposed across at least two light emitting cells.
청구항 12에 있어서,
상기 제1 및 제2 범프 패드는 발광셀들 사이의 영역에서 폭이 좁은 영역을 포함하는 발광 소자.
In claim 12,
The first and second bump pads are a light emitting device including narrow areas in areas between light emitting cells.
삭제delete 삭제delete 삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 제1 도전형 반도체층 아래에 배치된 기판을 더 포함하되,
상기 제1 솔더 또는 상기 제2 솔더와 상기 기판 사이의 수평 방향 최단 거리는 상기 제1 솔더와 상기 제2 솔더 사이의 간격의 1/2 이상인 발광 소자.
In claim 1,
Further comprising a substrate disposed under the first conductive semiconductor layer,
A light emitting device wherein the shortest distance in the horizontal direction between the first solder or the second solder and the substrate is more than 1/2 of the gap between the first solder and the second solder.
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