KR102606069B1 - 웨이퍼 검사 방법 - Google Patents

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Abstract

웨이퍼 검사 방법이 개시된다. 상기 웨이퍼 검사 방법은, 웨이퍼의 에지 부위로부터 검사 이미지를 획득하는 단계와, 상기 웨이퍼의 반경 방향으로 상기 검사 이미지의 컬러 프로파일을 생성하는 단계와, 상기 웨이퍼의 측면으로부터 상기 웨이퍼의 중심을 향하는 제1 방향으로 상기 컬러 프로파일의 변화에 기초하여 상기 웨이퍼 상에 형성된 막의 측면을 검출하는 단계와, 상기 막의 측면과 상기 웨이퍼의 측면 사이의 거리를 산출하는 단계를 포함한다.

Description

웨이퍼 검사 방법{WAFER INSPECTION METHOD}
본 발명의 실시예들은 웨이퍼 검사 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 웨이퍼 상에 형성된 막의 측면과 상기 웨이퍼의 측면 사이의 거리를 검사하기 위한 웨이퍼 검사 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 장치는 실리콘 웨이퍼에 대하여 다수의 공정들을 수행함으로써 제조될 수 있다. 예를 들면, 증착 공정은 상기 웨이퍼 상에 막을 형성하기 위해 수행되며, 포토리소그래피(photolithography) 공정은 상기 웨이퍼 상에 포토레지스트 패턴을 형성하기 위해 수행되고, 식각 공정은 상기 포토레지스트 패턴을 식각 마스크로 하여 상기 웨이퍼 상에 형성된 막을 패터닝하기 위해 수행되고, 평탄화 공정은 상기 웨이퍼 상에 형성된 막을 평탄화시키기 위해 수행될 수 있다.
상기 포토리소그래피 공정은 상기 웨이퍼 상에 포토레지스트 막을 형성하기 위한 코팅 공정과 상기 포토레지스트 막을 패터닝하기 위한 노광 공정 및 현상 공정을 포함할 수 있다. 한편, 상기 포토레지스트 막의 에지 부위는 후속하는 공정들에서 파티클 발생을 감소시키기 위해 에지 비드 제거(Edge Bead Removal; EBR) 공정 또는 에지 노광 (Edge Exposure of Wafer; EEW) 공정을 통해 제거될 수 있다.
아울러, 상기 포토레지스트 막의 에지 부위가 제거되어 노출되는 웨이퍼의 에지 영역(이하, ‘EBR 영역’이라 한다)에 대한 검사 공정이 추가적으로 수행될 수 있다. 구체적으로, 상기 EBR 영역에 대한 검사 공정을 수행하기 위한 장치는 상기 EBR 영역 상으로 광을 조사하고, 상기 EBR 영역으로부터 반사되는 광을 검출하며, 상기 검출된 광을 분석하여 상기 EBR 영역의 폭을 산출할 수 있다.
그러나, 상기와 같은 EBR 검사를 수행하기 위하여 별도의 검사 장치가 요구되며 상기 웨이퍼를 상기 검사 장치로 이송하고 상기 검사 장치를 이용하여 검사 공정을 수행하는데 상당한 시간이 소요되므로 이를 단축시키기 위한 방법이 요구되고 있다. 아울러, 상기 웨이퍼를 회전시키면서 상기 EBR 영역에 대하여 반복적으로 검사 공정을 수행해야 하므로 상기 EBR 영역에 대한 검사에 소요되는 시간이 증가될 수 있다.
본 발명의 실시예들은 웨이퍼의 검사에 소요되는 시간과 비용을 절감할 수 있고 아울러 검사 결과에 대한 신뢰도를 개선할 수 있는 웨이퍼 검사 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 웨이퍼 검사 방법은, 웨이퍼의 에지 부위로부터 검사 이미지를 획득하는 단계와, 상기 웨이퍼의 반경 방향으로 상기 검사 이미지의 컬러 프로파일을 생성하는 단계와, 상기 웨이퍼의 측면으로부터 상기 웨이퍼의 중심을 향하는 제1 방향으로 상기 컬러 프로파일의 변화에 기초하여 상기 웨이퍼 상에 형성된 막의 측면을 검출하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 검사 이미지를 획득하는 단계는, 상기 웨이퍼를 촬상하여 상기 웨이퍼에 대한 컬러 이미지를 획득하는 단계와, 상기 컬러 이미지로부터 상기 웨이퍼의 에지 영역에 대한 링 형태의 제1 이미지를 추출하는 단계와, 상기 제1 이미지를 리본 형태의 제2 이미지로 변환하는 단계와, 상기 제2 이미지의 일부를 추출하여 상기 검사 이미지를 획득하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 컬러 프로파일은 상기 검사 이미지를 구성하는 컬러 레벨 값들과 그레이 레벨 값들을 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 컬러 프로파일은 상기 컬러 레벨 값들로부터 산출되는 컬러 비율 값들을 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 컬러 프로파일을 생성하는 단계는, 상기 검사 이미지를 구성하는 픽셀들의 레드 레벨 값들, 그린 레벨 값들, 블루 레벨 값들 및 그레이 레벨 값들을 검출하는 단계와, 상기 제1 방향에 대하여 수직하는 제2 방향으로 상기 레드 레벨 값들, 그린 레벨 값들, 블루 레벨 값들 및 그레이 레벨 값들의 레벨 평균값들을 산출하는 단계와, 상기 레벨 평균값들을 이용하여 상기 제1 방향으로 상기 검사 이미지의 컬러 레벨 프로파일들과 그레이 레벨 프로파일을 생성하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 컬러 프로파일을 생성하는 단계는, 상기 검사 이미지의 컬러 레벨 프로파일들을 이용하여 상기 검사 이미지의 컬러 비율 프로파일들을 생성하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 막의 측면을 검출하는 단계는, 상기 막의 컬러에 따라 레드와 그린 및 블루 중에서 하나의 컬러를 선택하는 단계와, 상기 컬러 비율 프로파일들 중에서 상기 선택된 컬러에 대응하는 컬러 비율 프로파일을 상기 제1 방향으로 검색하여 기 설정된 컬러 비율을 갖는 픽셀을 검출하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 웨이퍼 검사 방법은, 상기 검출된 픽셀의 상기 선택된 컬러의 레벨 값 또는 그레이 레벨 값이 기 설정된 값보다 낮은 경우 상기 제1 방향으로 상기 기 설정된 컬러 비율을 갖는 픽셀을 재검색하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 선택된 컬러의 레벨 값 또는 그레이 레벨 값이 기 설정된 값보다 낮은 픽셀들에 대하여 상기 제1 방향으로의 검색을 스킵할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 컬러 비율 프로파일에서 상기 기 설정된 컬러 비율보다 높은 구간 또는 낮은 구간에 변곡점이 있는 경우 상기 변곡점으로부터 상기 제1 방향으로 상기 컬러 비율 프로파일을 검색하여 상기 기 설정된 비율을 갖는 픽셀을 검출할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 웨이퍼 검사 방법은, 상기 막의 측면과 상기 웨이퍼의 측면 사이의 거리를 산출하는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따른 웨이퍼 검사 방법은, 웨이퍼를 촬상하여 상기 웨이퍼에 대한 컬러 이미지를 획득하는 단계와, 상기 컬러 이미지로부터 상기 웨이퍼의 에지 영역에 대한 검사 이미지를 추출하는 단계와, 상기 웨이퍼의 반경 방향으로 상기 검사 이미지의 컬러 비율 프로파일들을 생성하는 단계와, 상기 웨이퍼의 측면으로부터 상기 웨이퍼의 중심을 향하는 제1 방향으로 상기 컬러 비율 프로파일들 중 하나의 변화에 기초하여 상기 웨이퍼 상에 형성된 막의 측면을 검출하는 단계와, 상기 웨이퍼의 측면과 상기 막의 측면 사이의 거리를 산출하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 검사 이미지를 추출하는 단계는, 상기 컬러 이미지로부터 상기 웨이퍼의 에지 영역에 대한 링 형태의 제1 이미지를 추출하는 단계와, 상기 제1 이미지를 리본 형태의 제2 이미지로 변환하는 단계와, 상기 제2 이미지로부터 상기 검사 이미지를 추출하여 상기 검사 이미지를 획득하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 컬러 비율 프로파일들을 생성하는 단계는, 상기 검사 이미지를 구성하는 픽셀들의 레드 레벨 값들과 그린 레벨 값들 및 블루 레벨 값들을 검출하는 단계와, 상기 제1 방향에 대하여 수직하는 제2 방향으로 상기 레드 레벨 값들과 그린 레벨 값들 및 블루 레벨 값들의 레벨 평균값들을 산출하는 단계와, 상기 레벨 평균값들을 이용하여 상기 제1 방향으로 상기 검사 이미지의 레드 레벨 프로파일과 그린 레벨 프로파일 및 블루 레벨 프로파일을 생성하는 단계와, 상기 레벨 평균값들을 이용하여 상기 제1 방향으로 상기 검사 이미지의 레드 비율 프로파일과 그린 비율 프로파일 및 블루 비율 프로파일을 생성하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 막의 측면을 검출하는 단계는, 상기 막의 컬러에 따라 레드와 그린 및 블루 중에서 하나의 컬러를 선택하는 단계와, 상기 컬러 비율 프로파일들 중에서 상기 선택된 컬러에 대응하는 컬러 비율 프로파일을 상기 제1 방향으로 검색하여 기 설정된 컬러 비율을 갖는 픽셀을 검출하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 웨이퍼 검사 방법은, 상기 웨이퍼의 반경 방향으로 상기 검사 이미지의 그레이 레벨 프로파일을 생성하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 그레이 레벨 프로파일을 생성하는 단계는, 상기 검사 이미지를 구성하는 픽셀들의 그레이 레벨 값들을 검출하는 단계와, 상기 제1 방향에 대하여 수직하는 제2 방향으로 상기 그레이 레벨 값들의 레벨 평균값들을 산출하는 단계와, 상기 레벨 평균값들을 이용하여 상기 제1 방향으로 상기 그레이 레벨 프로파일을 생성하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 웨이퍼 검사 방법은, 상기 검출된 픽셀의 그레이 레벨 값이 기 설정된 값보다 낮은 경우 상기 제1 방향으로 상기 제1 방향으로 상기 기 설정된 컬러 비율을 갖는 픽셀을 재검색하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 기 설정된 값보다 낮은 그레이 레벨 값을 갖는 픽셀들에 대하여 상기 제1 방향으로의 검색을 스킵할 수 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 또 다른 측면에 따른 웨이퍼 검사 방법은, 웨이퍼를 촬상하여 상기 웨이퍼에 대한 컬러 이미지를 획득하는 단계와, 상기 컬러 이미지로부터 상기 웨이퍼의 에지 영역에 대한 링 형태의 제1 이미지를 추출하는 단계와, 상기 제1 이미지를 리본 형태의 제2 이미지로 변환하는 단계와, 상기 제2 이미지의 일부를 추출하여 검사 이미지를 획득하는 단계와, 상기 웨이퍼의 측면으로부터 상기 웨이퍼의 중심을 향하는 제1 방향에 수직하는 제2 방향으로 상기 검사 이미지의 픽셀들을 병합하여 라인 형태를 갖는 제2 검사 이미지를 획득하는 단계와, 상기 제1 방향으로 상기 제2 검사 이미지의 컬러 프로파일을 생성하는 단계와, 상기 제1 방향으로 상기 컬러 프로파일의 변화에 기초하여 상기 웨이퍼 상에 형성된 막의 측면을 검출하는 단계를 포함할 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, EBR 공정이 완료된 후 상기 웨이퍼의 이송 과정에서 획득되는 상기 웨이퍼의 컬러 이미지를 이용하여 검사 공정을 수행할 수 있으므로 별도의 검사 장치를 이용하는 종래 기술과 비교하여 검사 시간과 검사 비용을 크게 절감할 수 있다. 특히, 상기 웨이퍼 상에 형성된 막의 컬러 비율에 따라 상기 막의 측면을 검출하기 위한 컬러를 선택할 수 있으므로 상기 검사 공정의 신뢰도를 크게 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 검사 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 2는 도 1에 도시된 웨이퍼 검사 방법을 수행하기 위한 웨이퍼 검사 장치를 설명하기 위한 개략도이다.
도 3은 도 2에 도시된 웨이퍼를 설명하기 위한 개략도이다.
도 4는 도 1에 도시된 이미지 처리 유닛에 의해 획득된 검사 이미지의 일 예이다.
도 5는 도 4에 도시된 검사 이미지로부터 생성된 컬러 레벨 프로파일들과 그레이 레벨 프로파일을 설명하기 위한 그래프이다.
도 6은 도 5에 도시된 컬러 레벨 프로파일들로부터 생성된 컬러 비율 프로파일들을 설명하기 위한 그래프이다.
도 7은 도 1에 도시된 이미지 처리 유닛에 의해 획득된 검사 이미지의 다른 예이다.
도 8은 도 7에 도시된 검사 이미지로부터 생성된 컬러 레벨 프로파일들과 그레이 레벨 프로파일을 설명하기 위한 그래프이다.
도 9는 도 8에 도시된 컬러 레벨 프로파일들로부터 생성된 컬러 비율 프로파일들을 설명하기 위한 그래프이다.
이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.
본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 검사 방법을 설명하기 위한 순서도이고, 도 2는 도 1에 도시된 웨이퍼 검사 방법을 수행하기 위한 웨이퍼 검사 장치를 설명하기 위한 개략도이며, 도 3은 도 2에 도시된 웨이퍼를 설명하기 위한 개략도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 검사 방법은 반도체 장치의 제조 공정에서 웨이퍼(10)를 검사하기 위해 사용될 수 있다. 특히, 상기 웨이퍼 검사 방법은 상기 웨이퍼(10) 상에 형성된 포토레지스트 막(20)의 에지 부위를 제거한 후 상기 웨이퍼(10)의 에지 부위 즉 EBR 영역(12)의 폭을 검사하기 위해 사용될 수 있다.
상기 웨이퍼 검사 방법을 수행하기 위한 웨이퍼 검사 장치(100)는 상기 포토레지스트 막(20)의 에지 부위를 제거하기 위한 EBR 공정 모듈(220)과 상기 웨이퍼(10)의 이송을 위한 웨이퍼 이송 모듈(210) 사이에 배치될 수 있다. 즉 상기 웨이퍼 검사 장치(100)는 상기 EBR 공정을 수행하기 위한 EBR 공정 장치(200) 내에 배치될 수 있다. 상기 웨이퍼 이송 모듈(210)은 상기 웨이퍼(10)의 수납을 위한 카세트(50)가 놓여지는 로드 포트(212) 및 상기 카세트(50)와 상기 EBR 공정 모듈(220) 사이에서 상기 웨이퍼(10)를 이송하기 위한 웨이퍼 이송 로봇(214)을 포함할 수 있으며, 상기 웨이퍼 검사 장치(100)는 상기 웨이퍼 이송 로봇(214)에 의해 이송되는 상기 웨이퍼(10)를 촬상하여 상기 웨이퍼(10)에 대한 컬러 이미지를 획득할 수 있다.
구체적으로, 상기 EBR 공정 모듈(220) 내에서 상기 EBR 공정이 완료된 후 상기 웨이퍼(10)는 상기 웨이퍼 이송 로봇(214)에 의해 상기 카세트(50)로 이송될 수 있으며, 상기 웨이퍼 검사 장치(100)는 상기 웨이퍼 이송 로봇(214)에 의해 이송되는 상기 웨이퍼(10)를 촬상할 수 있다. 예를 들면, 상기 웨이퍼 이송 로봇(214)은 상기 웨이퍼(10)를 이송하기 위한 로봇 암(216)을 구비할 수 있으며, 상기 웨이퍼 검사 장치(100)는 상기 로봇 암(216)에 의한 상기 웨이퍼(10)의 이송 경로 상부에 배치되며 상기 웨이퍼(10)를 촬상하기 위한 카메라 유닛(110)을 포함할 수 있다.
상기 카메라 유닛(110)으로는 라인 스캔 카메라가 사용될 수 있으며, 상기 라인 스캔 카메라(110)의 일측에는 상기 웨이퍼(10) 상으로 조명광을 제공하기 위한 조명 유닛(112)이 배치될 수 있다. 또한, 상기 웨이퍼 검사 장치(100)는 상기 카메라 유닛(110)과 상기 조명 유닛(112)의 동작을 제어하기 위한 제어 유닛(120)을 포함할 수 있다. 상기 제어 유닛(120)은 상기 웨이퍼 이송 로봇(214)의 동작에 연동하여 상기 조명 유닛(112)을 동작시킬 수 있으며, 아울러 상기 조명 유닛(112)의 동작 이후 상기 카메라 유닛(110)이 상기 웨이퍼(10)의 이송 경로를 기 설정된 시간 동안 촬상하도록 상기 카메라 유닛(110)의 동작을 제어할 수 있다.
예를 들면, 상기 EBR 공정 장치(200)는 상기 웨이퍼 이송 로봇(214)의 동작에 관한 이벤트 로그 파일을 생성할 수 있으며, 상기 제어 유닛(120)은 상기 이벤트 로그 파일에 기초하여 상기 조명 유닛(112)을 동작시킬 수 있다. 구체적으로, 상기 EBR 공정 장치(200)에 의해 상기 웨이퍼 이송 로봇(214)에 의한 상기 웨이퍼(10)의 이송이 시작됨을 기록하는 이벤트 로그 파일이 생성되면, 상기 이벤트 로그 파일에 기록된 상기 웨이퍼(10)의 이송 시작 시간에 기초하여 상기 조명 유닛(112)이 온 상태가 되도록 할 수 있으며, 아울러 상기 조명 유닛(112)이 온 상태로 동작된 후 상기 카메라 유닛(110)에 의한 촬상이 시작되도록 할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 웨이퍼 검사 장치(100)는 상기 카메라 유닛(110)에 의해 획득된 상기 웨이퍼(10)의 컬러 이미지를 처리하기 위한 이미지 처리 유닛(130)을 포함할 수 있다. 상기 이미지 처리 유닛(130)은, 상기 웨이퍼(10)의 컬러 이미지로부터 상기 웨이퍼(10)의 에지 부위에 대한 링 형태의 제1 이미지를 추출할 수 있으며, 상기 제1 이미지를 길게 연장하는 리본 형태의 제2 이미지로 변환할 수 있다. 또한, 상기 이미지 처리 유닛(130)은 상기 제2 이미지의 일부를 추출하여 검사 이미지(30; 도 4 참조)를 획득할 수 있다. 특히, 상기 이미지 처리 유닛(130)은 상기 EBR 영역(12)의 폭 검사를 위해 상기 제2 이미지로부터 복수개의 검사 이미지들(30)을 추출할 수 있다. 예를 들면, 상기 검사 이미지(30)는 상기 웨이퍼(10)의 측면으로부터 상기 웨이퍼(10)의 중심을 향하는 제1 방향으로 300개의 픽셀들을 포함할 수 있으며, 상기 제1 방향에 대하여 수직하는 제2 방향으로 100개의 픽셀들을 포함할 수 있다. 즉, 상기 검사 이미지(30)는 300×100의 크기를 가질 수 있다. 그러나, 상기와 다르게, 상기 검사 이미지(30)는 상기 제1 방향으로 300개의 픽셀들을 포함하는 라인 형태를 가질 수도 있다.
도 4는 도 1에 도시된 이미지 처리 유닛에 의해 획득된 검사 이미지의 일 예이며, 도 5는 도 4에 도시된 검사 이미지로부터 생성된 컬러 레벨 프로파일들과 그레이 레벨 프로파일을 설명하기 위한 그래프이고, 도 6은 도 5에 도시된 컬러 레벨 프로파일들로부터 생성된 컬러 비율 프로파일들을 설명하기 위한 그래프이다. 도 7은 도 1에 도시된 이미지 처리 유닛에 의해 획득된 검사 이미지의 다른 예이며, 도 8은 도 7에 도시된 검사 이미지로부터 생성된 컬러 레벨 프로파일들과 그레이 레벨 프로파일을 설명하기 위한 그래프이고, 도 9는 도 8에 도시된 컬러 레벨 프로파일들로부터 생성된 컬러 비율 프로파일들을 설명하기 위한 그래프이다.
도 4 내지 도 9를 참조하면, 상기 이미지 처리 유닛(130)은 상기 포토레지스트 막(20)의 측면을 검출하기 위하여 상기 검사 이미지(30)의 컬러 프로파일을 생성할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 이미지 처리 유닛(130)은, 상기 검사 이미지(30)를 구성하는 픽셀들의 컬러 레벨 값들과 그레이 레벨 값들을 검출할 수 있으며, 상기 컬러 레벨 값들과 그레이 레벨 값들로부터 상기 검사 이미지(30)의 컬러 레벨 프로파일들과 그레이 레벨 프로파일을 생성할 수 있다. 또한, 상기 이미지 처리 유닛(130)은 상기 컬러 레벨 값들로부터 컬러 비율 값들을 산출할 수 있으며, 상기 컬러 비율 값들로부터 컬러 비율 프로파일들을 생성할 수 있다.
예를 들면, 상기 이미지 처리 유닛(130)은, 상기 검사 이미지(30)를 구성하는 픽셀들의 레드 레벨 값들, 그린 레벨 값들, 블루 레벨 값들 및 그레이 레벨 값들을 검출하고, 상기 제1 방향에 대하여 수직하는 제2 방향으로 상기 레드 레벨 값들, 상기 그린 레벨 값들, 블루 레벨 값들 및 그레이 레벨 값들의 레벨 평균값들을 산출할 수 있다.
상기 이미지 처리 유닛(130)은 상기 레벨 평균값들을 이용하여 상기 제1 방향으로 상기 검사 이미지(30)의 레드 레벨 프로파일, 그린 레벨 프로파일, 블루 레벨 프로파일 및 그레이 레벨 프로파일을 생성할 수 있다. 또한, 상기 이미지 처리 유닛(130)은 상기 컬러 레벨 평균값들 즉 레드 레벨 평균값들과 그린 레벨 평균값들 및 블루 레벨 평균값들로부터 레드 비율 값들과 그린 비율 값들 및 블루 비율 값들을 산출할 수 있으며, 상기 레드 비율 값들과 그린 비율 값들 및 블루 비율 값들로부터 레드 비율 프로파일과 그린 비율 프로파일 및 블루 비율 프로파일을 생성할 수 있다.
다른 예로서, 상기 이미지 처리 유닛(130)은, 상기 검사 이미지(30)를 구성하는 픽셀들을 상기 제2 방향으로 병합하여 라인 형태를 갖는 제2 검사 이미지(미도시)를 생성할 수 있다. 즉, 상기 300×100 크기를 갖는 검사 이미지(30)로부터 300×1 크기를 갖는 제2 검사 이미지를 생성할 수 있으며, 상기 제2 검사 이미지로부터 컬러 레벨 프로파일들과 그레이 레벨 프로파일 및 컬러 비율 프로파일들을 생성할 수 있다.
상기 제어 유닛(120)은 상기 컬러 프로파일의 변화에 기초하여 상기 웨이퍼(10) 상에 형성된 막(20) 즉 상기 포토레지스트 막의 측면을 검출할 수 있다. 예를 들면, 상기 제어 유닛(120)은 상기 막(20)의 컬러에 따라 레드와 그린 및 블루 중에서 하나의 컬러를 선택할 수 있으며, 상기 컬러 비율 프로파일들 중에서 상기 선택된 컬러에 대응하는 컬러 비율 프로파일을 상기 제1 방향으로 검색하여 기 설정된 컬러 비율을 갖는 픽셀을 검출할 수 있다. 이때, 상기 웨이퍼(10) 상에 형성된 막(20)의 컬러는 상기 막(20)을 구성하는 물질에 의해 결정될 수 있다.
예를 들면, 상기 포토레지스트 막(20)의 경우 레드 레벨이 그린 레벨과 블루 레벨에 비하여 상대적으로 높기 때문에 상기 제어 유닛(120)은 상기 레드와 그린 및 블루 중에서 레드를 선택할 수 있다. 이 경우, 상기 제어 유닛(120)은 상기 레드 비율 프로파일을 상기 제1 방향으로 검색하여 기 설정된 레드 비율을 갖는 픽셀을 검출할 수 있으며, 상기 검출된 픽셀을 상기 포토레지스트 막(20)의 측면으로 검출할 수 있다. 또한, 상기 제어 유닛(120)은 상기 포토레지스트 막(20)의 측면으로부터 상기 웨이퍼(10)의 측면까지의 거리 즉 상기 EBR 영역(12)의 폭을 산출할 수 있다.
한편, 상기 검사 이미지의 EBR 영역(12)은 상기 웨이퍼(10) 상의 포토레지스트 막(20)과 비교하여 상기 컬러 레벨 값들이 상대적으로 낮을 수 있다. 따라서, 상기 검출된 픽셀의 레드 비율 값이 상기 기 설정된 비율 값과 동일하거나 상기 기 설정된 비율 값보다 높은 경우라도 상기 검출된 픽셀의 레드 레벨이 기 설정된 레벨 값보다 낮은 경우라면 상기 제어 유닛(120)은 상기 검출된 픽셀이 상기 포토레지스트 막(20)의 측면이 아닌 것으로 판단할 수 있다. 즉, 기 설정된 레벨 값보다 낮은 컬러 레벨 값들을 갖는 픽셀들은 상기 EBR 영역(12)에 포함될 수 있으므로 상기 레드 비율 값이 기 설정된 비율 값 이상이 되는 픽셀이 검출되더라도 이를 상기 포토레지스트 막(20)의 측면으로 판단하지 않는 것이 바람직하다.
또한, 상기 검사 이미지의 EBR 영역(12)은 상기 웨이퍼(10) 상의 포토레지스트 막(20)과 비교하여 상대적으로 어둡게 보여지며, 이에 따라 상기 제어 유닛(120)은 상기 그레이 레벨 값이 기 설정된 값보다 낮은 경우 상기 검출된 픽셀이 상기 포토레지스트 막(20)의 측면이 아닌 것으로 판단할 수 있다. 예를 들면, 상기 레드 레벨 값과 그레이 레벨 값이 기 설정된 레벨 값보다 높은 영역에서 상기 레드 비율 값이 상기 기 설정된 비율 값과 동일하거나 그 이상인 경우 상기 제어 유닛(120)은 해당 픽셀이 상기 포토레지스트 막(20)의 측면인 것으로 판단할 수 있다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 상기 EBR 영역(12) 내에서 레드 비율 값이 기 설정된 비율 값 이상인 픽셀들이 검출될 수 있다. 그러나, 이 경우 상기 검출된 픽셀들의 레드 레벨 값들 및 그레이 레벨 값들이 기 설정된 레벨 값, 예를 들면, 100 이하일 수 있으며, 이에 따라 상기 검출된 픽셀들은 상기 포토레지스트 막(20)의 측면이 아닌 것으로 판단될 수 있다.
또한, 도 8 및 도 9를 참조하면, 상기 레드 비율 값이 기 설정된 비율 값 이상인 픽셀들이 검출된 후 상기 레드 비율 값이 상기 기 설정된 비율 값 이하인 픽셀들이 검출될 수 있으며, 이 경우 상기 검출된 픽셀들은 상기 EBR 영역(12)에 포함되는 것으로 판단될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 기 설정된 비율 값 이상의 레드 비율 값을 갖는 픽셀들이 기 설정된 개수만큼 연속적으로 검출되는 경우 상기 연속적으로 검출되는 픽셀들이 포토레지스트 막(20)인 것으로 판단할 수 있다. 또한, 상기 연속적으로 검출되는 픽셀들의 첫 번째 픽셀을 상기 포토레지스트 막(20)의 측면으로 판단할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 도 9에서와 같이 레드 비율 프로파일이 복수의 변곡점들을 갖는 경우 상기 기 설정된 비율 값보다 높은 변곡점 또는 상기 기 설정된 비율 값보다 낮은 변곡점으로부터 상기 제1 방향으로 상기 레드 비율 프로파일을 검색하여 상기 기 설정된 비율 값을 갖는 픽셀을 검출할 수 있다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 검사 방법을 설명하기로 한다.
도 1을 참조하면, S110 단계에서, 상기 웨이퍼(10)의 에지 부위로부터 검사 이미지(30)를 획득할 수 있다. 구체적으로, 도시되지는 않았으나, 상기 S110 단계는, 상기 웨이퍼(10)를 촬상하여 상기 웨이퍼(10)에 대한 컬러 이미지를 획득하는 단계와, 상기 컬러 이미지로부터 상기 웨이퍼(10)의 에지 영역에 대한 대략 원형 링 형태의 제1 이미지(미도시)를 추출하는 단계와, 상기 제1 이미지를 상기 제2 방향으로 연장하는 리본 형태의 제2 이미지(미도시)로 변환하는 단계와, 상기 제2 이미지의 일부를 추출하여 상기 제1 방향으로 연장하는 상기 검사 이미지(30)를 획득하는 단계를 포함할 수 있다. 도시되지는 않았으나, 상기 EBR 영역(12)의 폭을 검사하기 위하여 상기 제2 이미지로부터 복수의 검사 이미지들(30)이 추출될 수 있다. 일 예로서, 상기 검사 이미지(30)는 300×100 정도의 크기를 갖도록 상기 제2 이미지로부터 추출될 수 있다.
상기 컬러 이미지는 상기 웨이퍼 이송 로봇(214)에 의해 상기 웨이퍼(10)가 이동되는 동안 상기 카메라 유닛(110)에 의해 획득될 수 있으며, 상기 검사 이미지(30)는 상기 이미지 처리 유닛(130)에 의해 획득될 수 있다.
S120 단계에서, 상기 웨이퍼(10)의 반경 방향으로 상기 검사 이미지(30)의 컬러 프로파일을 생성할 수 있다. 예를 들면, 도시되지는 않았으나, 상기 S120 단계는, 상기 검사 이미지(30)를 구성하는 픽셀들의 레드 레벨 값들, 그린 레벨 값들, 블루 레벨 값들 및 그레이 레벨 값들을 검출하는 단계와, 상기 제2 방향으로 상기 레드 레벨 값들, 그린 레벨 값들, 블루 레벨 값들 및 그레이 레벨 값들의 레벨 평균값들을 산출하는 단계와, 상기 레벨 평균값들을 이용하여 상기 제1 방향으로 상기 검사 이미지(30)의 컬러 레벨 프로파일들과 그레이 레벨 프로파일을 생성하는 단계와, 상기 컬러 레벨 프로파일들을 이용하여 상기 검사 이미지(30)의 컬러 비율 프로파일들을 생성하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 S120 단계는 상기 이미지 처리 유닛(130)에 의해 수행될 수 있으며, 상기 이미지 처리 유닛(130)은 상기 검사 이미지(30)의 레드 레벨 프로파일, 그린 레벨 프로파일, 블루 레벨 프로파일, 그레이 레벨 프로파일, 레드 비율 프로파일, 그린 비율 프로파일 및 블루 비율 프로파일을 생성할 수 있다.
다른 예로서, 상기 이미지 처리 유닛(130)은 상기 검사 이미지(30)의 픽셀들을 상기 제2 방향으로 병합하여 라인 형태의 제2 검사 이미지를 생성할 수 있다. 즉, 상기 이미지 처리 유닛(130)은 상기 검사 이미지(30)로부터 300×1 크기를 갖는 제2 검사 이미지를 생성할 수 있으며, 상기 제2 검사 이미지로부터 컬러 레벨 프로파일들과 그레이 레벨 프로파일 및 컬러 비율 프로파일들을 생성할 수 있다.
다시 도 1을 참조하면, S130 단계에서, 상기 제1 방향으로 상기 컬러 프로파일의 변화에 기초하여 상기 웨이퍼(10) 상에 형성된 막, 예를 들면, 포토레지스트 막(20)의 측면을 검출할 수 있다. 구체적으로, 도시되지는 않았으나, 상기 S130 단계는, 상기 막(20)의 컬러에 따라 레드와 그린 및 블루 중에서 하나의 컬러를 선택하는 단계와, 상기 컬러 비율 프로파일들 중에서 상기 선택된 컬러에 대응하는 컬러 비율 프로파일을 상기 제1 방향으로 검색하여 기 설정된 컬러 비율을 갖는 픽셀을 검출하는 단계를 포함할 수 있다.
예를 들면, 상기 제어 유닛(120)은, 상기 레드와 그린 및 블루 중에서 레드를 선택할 수 있으며, 상기 레드 비율 프로파일을 상기 제1 방향으로 검색하여 기 설정된 레드 비율을 갖는 픽셀을 검출할 수 있다.
특히, 상기 제어 유닛(120)은 상기 검출된 픽셀의 레드 레벨 값 또는 그레이 레벨 값이 기 설정된 레벨 값보다 낮은 경우 상기 검출된 픽셀이 상기 포토레지스트 막(20)의 측면이 아닌 것으로 판단할 수 있으며, 상기 제1 방향으로 상기 기 설정된 레드 비율을 갖는 픽셀을 재검색할 수 있다.
다른 예로서, 상기 제어 유닛(120)은 상기 레드 레벨 값 또는 그레이 레벨 값이 기 설정된 레벨 값보다 낮은 경우 상기 제1 방향으로의 검색을 스킵(skip)할 수 있다. 즉, 상기 검사 이미지(30)의 픽셀들 중에서 상기 레드 레벨 값 또는 그레이 레벨 값이 기 설정된 값보다 낮은 픽셀들은 상기 EBR 영역(12)에 해당하므로 상기 레드 레벨 값 또는 그레이 레벨 값이 기 설정된 값보다 낮은 구간에 대한 검색을 스킵할 수 있다. 또한, 상기 레드 비율 프로파일에서 상기 기 설정된 비율보다 높은 구간 또는 낮은 구간에 변곡점이 있는 경우 상기 변곡점으로부터 상기 제1 방향으로 상기 레드 비율 프로파일을 검색하여 상기 기 설정된 비율을 갖는 픽셀을 검출할 수 있다. 상기와 같이 선택된 컬러의 레벨 또는 그레이 레벨이 기 설정된 레벨 값보다 낮은 구간에서 검색을 스킵하거나 상기 변곡점 이후부터 검색을 시작함으로써 상기 포토레지스트 막(20)의 측면 검출에 소요되는 시간을 단축할 수 있다.
상기와 같이 포토레지스트 막(20)의 측면을 검출한 후 S140 단계에서 상기 막(20)의 측면과 상기 웨이퍼(10)의 측면 사이의 거리를 산출할 수 있으며, 상기 산출된 거리로부터 상기 EBR 공정이 정상적으로 수행되었는지 여부를 판단할 수 있다.
특히, 상기와 같은 검사 단계들은 상기 복수의 검사 이미지들(30)에 대하여 반복적으로 수행될 수 있다. 이때, 상기 EBR 영역(12)의 컬러 프로파일이 각각의 검사 이미지들(30)에서 서로 다르게 나타날 수 있으므로, 상기 검사 이미지들(30)에 대한 검사 레시피가 서로 다르게 설정될 수 있다. 즉, 상기 검사 이미지들(30)의 컬러 비율 프로파일들에 따라 각 검사 이미지들(30)에서 선택되는 색상이 달라질 수 있으며, 검출하고자 하는 색상의 컬러 비율 값이 달라질 수 있다. 또한, 검색의 스킵을 위한 컬러 레벨 값 및 그레이 레벨 값이 상기 검사 이미지들(30)마다 다르게 설정될 수 있다. 상기와 같이 검사 이미지들(30)마다 서로 다른 검사 레시피들이 설정될 수 있으며, 상기 검사 이미지들(30)과 이에 대응하는 검사 레시피들이 데이터 저장 장치에 저장될 수 있다.
상기 검사 이미지들(30)은 후속하는 웨이퍼들의 검사 공정에서 기준 이미지들로서 사용될 수 있다. 예를 들면, 후속하는 검사 공정에서 웨이퍼(10)로부터 검사 이미지를 획득한 후 상기 검사 이미지와 상기 기준 이미지들을 비교하여 상기 기준 이미지들 중에서 이미지 매칭률이 가장 높은 기준 이미지를 선택하고, 상기 선택된 기준 이미지에 대응하는 검사 레시피를 이용하여 상기 검사 이미지에 대한 검사를 수행할 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 별도의 검사 장치를 이용하지 않고 EBR 공정이 완료된 후 상기 웨이퍼(10)의 이송 과정에서 획득되는 상기 웨이퍼(10)의 컬러 이미지를 이용하여 검사 공정을 수행할 수 있으므로 종래 기술과 비교하여 검사 시간과 검사 비용을 크게 절감할 수 있다. 특히, 상기 웨이퍼(10) 상에 형성된 막(20)의 컬러 비율에 따라 상기 막(20)의 측면을 검출하기 위한 컬러를 선택할 수 있으므로 상기 검사 공정의 신뢰도를 크게 향상시킬 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 웨이퍼 12 : EBR 영역
20 : 포토레지스트 막 30 : 검사 이미지
50 : 카세트 100 : 웨이퍼 검사 장치
110 : 카메라 유닛 112 : 조명 유닛
120 : 제어 유닛 130 : 이미지 처리 유닛
200 : EBR 공정 장치 210 : 웨이퍼 이송 모듈
212 : 로드 포트 214 : 웨이퍼 이송 로봇
216 : 로봇 암 220 : EBR 공정 모듈

Claims (20)

  1. 웨이퍼의 에지 부위로부터 검사 이미지를 획득하는 단계;
    상기 웨이퍼의 반경 방향으로 상기 검사 이미지의 컬러 프로파일을 생성하는 단계; 및
    상기 웨이퍼의 측면으로부터 상기 웨이퍼의 중심을 향하는 제1 방향으로 상기 컬러 프로파일의 변화에 기초하여 상기 웨이퍼 상에 형성된 막의 측면을 검출하는 단계를 포함하되,
    상기 검사 이미지를 획득하는 단계는, 상기 웨이퍼를 촬상하여 상기 웨이퍼에 대한 컬러 이미지를 획득하는 단계와, 상기 컬러 이미지로부터 상기 웨이퍼의 에지 영역에 대한 링 형태의 제1 이미지를 추출하는 단계와, 상기 제1 이미지를 리본 형태의 제2 이미지로 변환하는 단계와, 상기 제2 이미지의 일부를 추출하여 상기 검사 이미지를 획득하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 방법.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 상기 컬러 프로파일은 상기 검사 이미지를 구성하는 컬러 레벨 값들과 그레이 레벨 값들을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 방법.
  4. 제3항에 있어서, 상기 컬러 프로파일은 상기 컬러 레벨 값들로부터 산출되는 컬러 비율 값들을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 컬러 프로파일을 생성하는 단계는,
    상기 검사 이미지를 구성하는 픽셀들의 레드 레벨 값들, 그린 레벨 값들, 블루 레벨 값들 및 그레이 레벨 값들을 검출하는 단계와,
    상기 제1 방향에 대하여 수직하는 제2 방향으로 상기 레드 레벨 값들, 그린 레벨 값들, 블루 레벨 값들 및 그레이 레벨 값들의 레벨 평균값들을 산출하는 단계와,
    상기 레벨 평균값들을 이용하여 상기 제1 방향으로 상기 검사 이미지의 컬러 레벨 프로파일들과 그레이 레벨 프로파일을 생성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 방법.
  6. 제5항에 있어서, 상기 컬러 프로파일을 생성하는 단계는,
    상기 검사 이미지의 컬러 레벨 프로파일들을 이용하여 상기 검사 이미지의 컬러 비율 프로파일들을 생성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 방법.
  7. 제6항에 있어서, 상기 막의 측면을 검출하는 단계는,
    상기 막의 컬러에 따라 레드와 그린 및 블루 중에서 하나의 컬러를 선택하는 단계와,
    상기 컬러 비율 프로파일들 중에서 상기 선택된 컬러에 대응하는 컬러 비율 프로파일을 상기 제1 방향으로 검색하여 기 설정된 컬러 비율을 갖는 픽셀을 검출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 검출된 픽셀의 상기 선택된 컬러의 레벨 값 또는 그레이 레벨 값이 기 설정된 값보다 낮은 경우 상기 제1 방향으로 상기 기 설정된 컬러 비율을 갖는 픽셀을 재검색하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 방법.
  9. 제7항에 있어서, 상기 선택된 컬러의 레벨 값 또는 그레이 레벨 값이 기 설정된 값보다 낮은 픽셀들에 대하여 상기 제1 방향으로의 검색을 스킵하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 방법.
  10. 제7항에 있어서, 상기 컬러 비율 프로파일에서 상기 기 설정된 컬러 비율보다 높은 구간 또는 낮은 구간에 변곡점이 있는 경우 상기 변곡점으로부터 상기 제1 방향으로 상기 컬러 비율 프로파일을 검색하여 상기 기 설정된 비율을 갖는 픽셀을 검출하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 방법.
  11. 제1항에 있어서, 상기 막의 측면과 상기 웨이퍼의 측면 사이의 거리를 산출하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 방법.
  12. 웨이퍼를 촬상하여 상기 웨이퍼에 대한 컬러 이미지를 획득하는 단계;
    상기 컬러 이미지로부터 상기 웨이퍼의 에지 영역에 대한 검사 이미지를 추출하는 단계;
    상기 웨이퍼의 반경 방향으로 상기 검사 이미지의 컬러 비율 프로파일들을 생성하는 단계;
    상기 웨이퍼의 측면으로부터 상기 웨이퍼의 중심을 향하는 제1 방향으로 상기 컬러 비율 프로파일들 중 하나의 변화에 기초하여 상기 웨이퍼 상에 형성된 막의 측면을 검출하는 단계; 및
    상기 웨이퍼의 측면과 상기 막의 측면 사이의 거리를 산출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 방법.
  13. 제12항에 있어서, 상기 검사 이미지를 추출하는 단계는,
    상기 컬러 이미지로부터 상기 웨이퍼의 에지 영역에 대한 링 형태의 제1 이미지를 추출하는 단계와,
    상기 제1 이미지를 리본 형태의 제2 이미지로 변환하는 단계와,
    상기 제2 이미지로부터 상기 검사 이미지를 추출하여 상기 검사 이미지를 획득하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 방법.
  14. 제12항에 있어서, 상기 컬러 비율 프로파일들을 생성하는 단계는,
    상기 검사 이미지를 구성하는 픽셀들의 레드 레벨 값들과 그린 레벨 값들 및 블루 레벨 값들을 검출하는 단계와,
    상기 제1 방향에 대하여 수직하는 제2 방향으로 상기 레드 레벨 값들과 그린 레벨 값들 및 블루 레벨 값들의 레벨 평균값들을 산출하는 단계와,
    상기 레벨 평균값들을 이용하여 상기 제1 방향으로 상기 검사 이미지의 레드 레벨 프로파일과 그린 레벨 프로파일 및 블루 레벨 프로파일을 생성하는 단계와,
    상기 레벨 평균값들을 이용하여 상기 제1 방향으로 상기 검사 이미지의 레드 비율 프로파일과 그린 비율 프로파일 및 블루 비율 프로파일을 생성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 방법.
  15. 제12항에 있어서, 상기 막의 측면을 검출하는 단계는,
    상기 막의 컬러에 따라 레드와 그린 및 블루 중에서 하나의 컬러를 선택하는 단계와,
    상기 컬러 비율 프로파일들 중에서 상기 선택된 컬러에 대응하는 컬러 비율 프로파일을 상기 제1 방향으로 검색하여 기 설정된 컬러 비율을 갖는 픽셀을 검출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 방법.
  16. 제15항에 있어서, 상기 웨이퍼의 반경 방향으로 상기 검사 이미지의 그레이 레벨 프로파일을 생성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 방법.
  17. 제16항에 있어서, 상기 그레이 레벨 프로파일을 생성하는 단계는,
    상기 검사 이미지를 구성하는 픽셀들의 그레이 레벨 값들을 검출하는 단계와,
    상기 제1 방향에 대하여 수직하는 제2 방향으로 상기 그레이 레벨 값들의 레벨 평균값들을 산출하는 단계와,
    상기 레벨 평균값들을 이용하여 상기 제1 방향으로 상기 그레이 레벨 프로파일을 생성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 방법.
  18. 제16항에 있어서, 상기 검출된 픽셀의 그레이 레벨 값이 기 설정된 값보다 낮은 경우 상기 제1 방향으로 상기 제1 방향으로 상기 기 설정된 컬러 비율을 갖는 픽셀을 재검색하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 방법.
  19. 제16항에 있어서, 기 설정된 값보다 낮은 그레이 레벨 값을 갖는 픽셀들에 대하여 상기 제1 방향으로의 검색을 스킵하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 방법.
  20. 웨이퍼를 촬상하여 상기 웨이퍼에 대한 컬러 이미지를 획득하는 단계;
    상기 컬러 이미지로부터 상기 웨이퍼의 에지 영역에 대한 링 형태의 제1 이미지를 추출하는 단계;
    상기 제1 이미지를 리본 형태의 제2 이미지로 변환하는 단계;
    상기 제2 이미지의 일부를 추출하여 검사 이미지를 획득하는 단계;
    상기 웨이퍼의 측면으로부터 상기 웨이퍼의 중심을 향하는 제1 방향에 수직하는 제2 방향으로 상기 검사 이미지의 픽셀들을 병합하여 라인 형태를 갖는 제2 검사 이미지를 획득하는 단계;
    상기 제1 방향으로 상기 제2 검사 이미지의 컬러 프로파일을 생성하는 단계; 및
    상기 제1 방향으로 상기 컬러 프로파일의 변화에 기초하여 상기 웨이퍼 상에 형성된 막의 측면을 검출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 방법.
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