KR102598307B1 - Coupler with Integrated Dip Tube and Coupling System for Drum Container Including the Same - Google Patents

Coupler with Integrated Dip Tube and Coupling System for Drum Container Including the Same Download PDF

Info

Publication number
KR102598307B1
KR102598307B1 KR1020210016922A KR20210016922A KR102598307B1 KR 102598307 B1 KR102598307 B1 KR 102598307B1 KR 1020210016922 A KR1020210016922 A KR 1020210016922A KR 20210016922 A KR20210016922 A KR 20210016922A KR 102598307 B1 KR102598307 B1 KR 102598307B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
coupler
drum container
inlet
socket
coupled
Prior art date
Application number
KR1020210016922A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20220113124A (en
Inventor
김가인
Original Assignee
한양이엔지 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 한양이엔지 주식회사 filed Critical 한양이엔지 주식회사
Priority to KR1020210016922A priority Critical patent/KR102598307B1/en
Publication of KR20220113124A publication Critical patent/KR20220113124A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102598307B1 publication Critical patent/KR102598307B1/en

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B67OPENING, CLOSING OR CLEANING BOTTLES, JARS OR SIMILAR CONTAINERS; LIQUID HANDLING
    • B67DDISPENSING, DELIVERING OR TRANSFERRING LIQUIDS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B67D7/00Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes
    • B67D7/02Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes for transferring liquids other than fuel or lubricants
    • B67D7/0288Container connection means
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/02Cleaning by the force of jets or sprays
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B67OPENING, CLOSING OR CLEANING BOTTLES, JARS OR SIMILAR CONTAINERS; LIQUID HANDLING
    • B67BAPPLYING CLOSURE MEMBERS TO BOTTLES JARS, OR SIMILAR CONTAINERS; OPENING CLOSED CONTAINERS
    • B67B3/00Closing bottles, jars or similar containers by applying caps
    • B67B3/20Closing bottles, jars or similar containers by applying caps by applying and rotating preformed threaded caps
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B67OPENING, CLOSING OR CLEANING BOTTLES, JARS OR SIMILAR CONTAINERS; LIQUID HANDLING
    • B67BAPPLYING CLOSURE MEMBERS TO BOTTLES JARS, OR SIMILAR CONTAINERS; OPENING CLOSED CONTAINERS
    • B67B7/00Hand- or power-operated devices for opening closed containers
    • B67B7/18Hand- or power-operated devices for opening closed containers for removing threaded caps
    • B67B7/182Hand- or power-operated devices for opening closed containers for removing threaded caps power-operated
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B67OPENING, CLOSING OR CLEANING BOTTLES, JARS OR SIMILAR CONTAINERS; LIQUID HANDLING
    • B67DDISPENSING, DELIVERING OR TRANSFERRING LIQUIDS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B67D7/00Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes
    • B67D7/02Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes for transferring liquids other than fuel or lubricants
    • B67D7/0238Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes for transferring liquids other than fuel or lubricants utilising compressed air or other gas acting directly or indirectly on liquids in storage containers

Abstract

본 발명은 드럼 용기 내부의 케미컬을 필요로 하는 곳으로 공급하거나 드럼 용기 내에 케미컬을 주입하기 위해 드럼 용기의 입구에 착탈가능하게 결합되는 커플러에 관한 것으로서, 내부에 케미컬 유로가 형성되어 있고, 케미컬 유로에는 케미컬 배관이 연결되는 커플러 헤드; 및 커플러 헤드의 케미컬 유로와 연통되도록 결합되어, 커플러가 드럼 용기의 입구에 결합되었을 때 드럼 용기 내부로 삽입되어 드리워지는 딥 튜브를 포함하여, 커플러 헤드와 딥 튜브가 함께 드럼 용기의 입구에 착탈가능하게 결합된다. 본 발명에 따르면, 커플러의 사용후에 딥 튜브를 포함한 커플러를 드럼 용기의 입구에서 분리하여 딥 튜브를 포함한 커플러를 손쉽게 세정할 수 있다.The present invention relates to a coupler that is detachably coupled to the inlet of a drum container to supply chemicals inside a drum container to a place where it is needed or to inject chemicals into the drum container. A chemical flow path is formed therein, and the chemical flow path is There is a coupler head to which the chemical pipe is connected; And a dip tube that is coupled to communicate with the chemical flow path of the coupler head and is inserted into the drum container when the coupler is coupled to the inlet of the drum container, including a dip tube that is draped, so that the coupler head and the dip tube are both attachable and detachable to the inlet of the drum container. are combined together. According to the present invention, after use of the coupler, the coupler including the dip tube can be easily cleaned by separating the coupler including the dip tube from the inlet of the drum container.

Description

딥 튜브 통합형 커플러 및 이를 포함하는 드럼 용기용 커플링 시스템{Coupler with Integrated Dip Tube and Coupling System for Drum Container Including the Same}Dip tube integrated coupler and coupling system for drum container including the same {Coupler with Integrated Dip Tube and Coupling System for Drum Container Including the Same}

본 발명은 반도체 공장이나 화학 공장 등 케미컬의 사용처 또는 공급처에서 케미컬을 이송하는 설비에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 드럼 용기에 담아 공급되는 케미컬을 사용처로 공급하거나 또는 공급처로부터 드럼 용기에 케미컬을 주입하기 위해 드럼 용기에 결합되는 커플러 및 이를 포함하는 드럼 용기용 커플링 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to equipment for transporting chemicals from a place of use or supply of chemicals, such as a semiconductor factory or a chemical factory. More specifically, the present invention relates to equipment for supplying chemicals supplied in drum containers to the place of use or injecting chemicals into drum containers from the place of supply. It relates to a coupler coupled to a drum container and a coupling system for a drum container including the same.

반도체 공장이나 화학 공장 등에서는 다양한 종류의 케미컬을 대량으로 사용하거나 공급하고 있다. 여기서, 케미컬이라 함은, 순수나 산성, 알칼리성 또는 중성의 각종 용액과 같은 액체, 나아가 액체에 분말등이 혼합된 슬러리(slurry)와 같이 에멀젼 상태나 페이스트 상태의 것을 포함한다. Semiconductor factories and chemical factories use or supply various types of chemicals in large quantities. Here, chemicals include liquids such as pure water or various acidic, alkaline, or neutral solutions, as well as those in an emulsion or paste state, such as a slurry where powder is mixed with a liquid.

이러한 케미컬들은 통상적으로 탱크나 드럼 등의 용기에 담아 탱크로리나 트럭 등으로 운송된다. 따라서, 이러한 용기에 케미컬을 주입하거나 용기에 담긴 케미컬을 사용처로 공급하기 위해서는 용기의 입구에 커플러라는 연결 부품을 결합하고 커플러를 통해 용기에 케미컬을 주입하거나 용기 내부의 케미컬을 흡입하는 이송 과정을 거치게 된다. 이러한 커플러를 이용한 케미컬의 이송이 가능하게 하기 위해 용기(드럼 용기)와 커플러는 일반적으로 다음과 같이 구성된다.These chemicals are usually placed in containers such as tanks or drums and transported by tankers or trucks. Therefore, in order to inject chemicals into such a container or supply the chemicals contained in the container to the point of use, a connecting part called a coupler is coupled to the inlet of the container, and the chemical is injected into the container through the coupler or the chemical inside the container is sucked in. do. To enable chemical transfer using this coupler, the container (drum container) and coupler are generally configured as follows.

먼저, 드럼 용기의 편평한 상면에는 캡(마개)이 장착되는 입구가 마련되고, 드럼 용기의 내부에는 딥 튜브(dip tube)가 내장된다. 이 딥 튜브의 일단은 상기 입구와 연통되고 타단은 드럼 용기의 내부 바닥 근방까지 연장된다. 따라서, 케미컬은 딥 튜브를 통해 드럼 용기의 내부 바닥부터 채워지거나 흡입되어 배출된다. 또한, 상기 입구에는, 케미컬의 주입이나 흡입을 원활하게 하기 위해 드럼 용기 내부의 공기를 배출하거나 드럼 용기 내부로 압축 공기나 질소 등의 불활성 기체를 불어넣기 위한 기체 통로가, 상기 딥 튜브와는 구분되는 유로로 마련되어 있다.First, an inlet where a cap (stopper) is mounted is provided on the flat upper surface of the drum container, and a dip tube is built inside the drum container. One end of this dip tube communicates with the inlet and the other end extends near the inner bottom of the drum container. Accordingly, the chemical is filled or sucked in from the bottom of the drum container through the dip tube and discharged. In addition, at the inlet, there is a gas passage for discharging air inside the drum container or blowing inert gas such as compressed air or nitrogen into the drum container to facilitate injection or suction of chemicals, separate from the dip tube. It is available in euros.

커플러는 캡이 분리되어 개방된 입구에 착탈가능하게 결합되는 연결 부품으로서, 내부에는 일단이 드럼 용기의 딥 튜브 및 기체 통로와 각각 연통되는 케미컬 유로 및 기체 유로가 구분되어 형성되어 있다. 또한, 커플러의 케미컬 유로 및 기체 유로의 타단에는 각각 케미컬 배관 및 기체 배관이 연결되고, 이 케미컬 배관 및 기체 배관은 케미컬의 공급처 또는 사용처에 마련되는 케미컬 탱크 및 배기관 또는 압축 기체 공급원과 각각 유체 연결된다.The coupler is a connecting part that is detachably coupled to an inlet whose cap is separated and opened. Inside, one end is formed into a separate chemical flow path and a gas flow path that communicate with the dip tube and gas passage of the drum container, respectively. In addition, chemical piping and gas piping are connected to the other ends of the chemical flow path and gas flow path of the coupler, respectively, and these chemical piping and gas piping are fluidly connected to a chemical tank and exhaust pipe or compressed gas supply source provided at the chemical supply or use site, respectively. .

한편, 케미컬 중에는, 예컨대 화학기계적 연마(CMP)용 슬러리와 같이 시간의 경과나 온도의 변화에 따라 침전되거나 굳는 것이 있다. 이렇게 케미컬이 침전되거나 굳게 되면 원활하게 이송되지 않을 뿐만 아니라, 심한 경우 딥 튜브나 커플러의 케미컬 유로가 폐색될 수가 있다. 이 경우 커플러는 사용 직후 분리하여 세척함으로써 케미컬 유로의 폐색을 방지할 수 있지만, 드럼 용기 내부에 내장된 딥 튜브는 손쉽게 분리하여 세척할 수가 없다.On the other hand, among chemicals, there are those that precipitate or harden over time or change in temperature, such as slurries for chemical mechanical polishing (CMP). If chemicals settle or harden in this way, not only will they not be transported smoothly, but in severe cases, the chemical flow path of the dip tube or coupler may be blocked. In this case, the coupler can be removed and cleaned immediately after use to prevent blockage of the chemical channel, but the dip tube built into the drum container cannot be easily removed and cleaned.

본 발명은 상기와 같은 기술적 배경을 고려하여 창안된 것으로서, 커플러의 사용후에 딥 튜브를 포함한 커플러를 손쉽게 세정할 수 있는 커플러를 제공하는 데에 그 목적이 있다. The present invention was created in consideration of the above technical background, and its purpose is to provide a coupler that can easily clean the coupler, including the dip tube, after use of the coupler.

또한, 본 발명은 커플러를 세정할 수 있는 커플러 세정 유닛을 포함한 드럼 용기용 커플링 시스템을 제공하는 데에 그 목적이 있다.Another object of the present invention is to provide a coupling system for a drum container including a coupler cleaning unit capable of cleaning the coupler.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 커플러는, 드럼 용기 내부의 케미컬을 필요로 하는 곳으로 공급하거나 드럼 용기 내에 케미컬을 주입하기 위해 상기 드럼 용기의 입구에 착탈가능하게 결합되는 커플러로서, 내부에 케미컬 유로가 형성되어 있고, 상기 케미컬 유로에는 케미컬 배관이 연결되는 커플러 헤드; 및 상기 커플러 헤드의 상기 케미컬 유로와 연통되도록 결합되어, 상기 커플러가 상기 드럼 용기의 입구에 결합되었을 때 상기 드럼 용기 내부로 삽입되어 드리워지는 딥 튜브를 포함하여, 상기 커플러 헤드와 상기 딥 튜브가 함께 상기 드럼 용기의 입구에 착탈가능하게 결합된다.The coupler according to one aspect of the present invention for achieving the above object is detachably coupled to the inlet of the drum container to supply chemicals inside the drum container to a place where they are needed or to inject chemicals into the drum container. As a coupler, a coupler head having a chemical flow path formed therein and a chemical pipe connected to the chemical flow path; and a dip tube that is coupled to communicate with the chemical flow path of the coupler head and is inserted and draped into the drum container when the coupler is coupled to the inlet of the drum container, wherein the coupler head and the dip tube are together. It is detachably coupled to the inlet of the drum container.

또한, 커플러는, 상하로 관통된 중공 기둥 형태로 이루어지고, 상기 드럼 용기의 입구에 나사 결합되는 커플러 소켓을 더 포함하고, 상기 커플러 헤드는 상기 커플러 소켓의 상기 중공에 결합됨으로써 상기 커플러 소켓을 개재하여 드럼 용기의 입구에 결합될 수 있다.In addition, the coupler is formed in the form of a hollow pillar penetrating upward and downward, and further includes a coupler socket screwed to the inlet of the drum container, and the coupler head is coupled to the hollow of the coupler socket to interpose the coupler socket. Thus, it can be coupled to the inlet of the drum container.

이 경우, 상기 딥 튜브는 상기 커플러 헤드의 상기 케미컬 유로에 직접 결합되거나, 상기 커플러 소켓에, 상기 케미컬 유로와 연통되도록 결합될 수 있다.In this case, the dip tube may be directly coupled to the chemical flow path of the coupler head, or may be coupled to the coupler socket so as to communicate with the chemical flow path.

또한, 이 경우, 상기 커플러 헤드의 하부 외주면에는 적어도 2개의 결합돌기가 돌출 형성되어 있고, 상기 커플러 소켓의 상기 중공의 내주면에는 상기 결합돌기가 삽입되어 소정 각도만큼 회동가능한 결합홈이 형성되어 있어, 상기 커플러 소켓을 상기 드럼 용기의 입구에 나사결합한 다음, 상기 커플러 헤드의 상기 결합돌기를 상기 커플러 소켓의 상기 결합홈에 삽입하고 상기 커플러 헤드를 상기 소정 각도만큼 회동함으로써 상기 커플러 헤드를 상기 커플러 소켓에 결합하도록 구성될 수 있다.In addition, in this case, at least two engaging protrusions are protruding from the lower outer peripheral surface of the coupler head, and a coupling groove is formed on the inner peripheral surface of the hollow of the coupler socket into which the engaging protrusions are inserted and can be rotated by a predetermined angle, The coupler socket is screwed into the inlet of the drum container, then the coupler head is connected to the coupler socket by inserting the engaging protrusion of the coupler head into the engaging groove of the coupler socket and rotating the coupler head by the predetermined angle. It can be configured to combine.

또는, 상기 커플러 헤드는 상기 커플러 소켓의 상기 중공의 내주면에 상기 커플러 소켓과 상대적으로 회전가능하게 결합되어, 상기 커플러 헤드가 상기 커플러 소켓에 결합된 상태로 상기 커플러 소켓만을 회전시켜 상기 드럼 용기의 입구에 상기 커플러가 결합되도록 구성될 수도 있다.Alternatively, the coupler head is rotatably coupled to the hollow inner peripheral surface of the coupler socket relative to the coupler socket, so that only the coupler socket is rotated while the coupler head is coupled to the coupler socket, thereby rotating the coupler socket to the entrance of the drum container. The coupler may be configured to be coupled to.

또한, 상기 커플러 헤드의 내부에는, 상기 케미컬 유로와 구분되고, 상기 커플러가 상기 드럼 용기의 입구에 결합되었을 때 상기 드럼 용기의 내부와 연통되는 기체 유로가 더 형성되어 있어, 상기 드럼 용기 내부의 케미컬을 필요로 하는 곳으로 공급하거나 상기 드럼 용기 내에 케미컬을 주입할 때 상기 드럼 용기 안팎으로 기체가 출입하도록 구성될 수 있다.In addition, a gas flow path is further formed inside the coupler head, which is separate from the chemical flow path and communicates with the inside of the drum container when the coupler is coupled to the inlet of the drum container, so that the chemical inside the drum container It may be configured to allow gas to enter and exit the drum container when supplying it to a place where it is needed or injecting chemicals into the drum container.

또한, 상기 커플러 헤드의 내부에는, 상기 케미컬 유로와 구분되고, 상기 커플러가 상기 드럼 용기의 입구에 결합되었을 때 상기 드럼 용기의 내부와 연통되는 케미컬 순환 유로가 더 형성되어 있어, 상기 케미컬 유로를 통해 상기 드럼 용기 외부로 배출되는 케미컬이 상기 케미컬 순환 유로를 통해 상기 드럼 용기 내부로 순환하도록 구성될 수 있다.In addition, a chemical circulation flow path is further formed inside the coupler head, which is separate from the chemical flow path and communicates with the inside of the drum container when the coupler is coupled to the inlet of the drum container, so that the chemical circulation flow path is formed through the chemical flow path. Chemicals discharged to the outside of the drum container may be configured to circulate inside the drum container through the chemical circulation passage.

본 발명의 다른 측면에 따른 드럼 용기용 커플링 시스템은, 전술한 어느 하나의 커플러; 및 상기 커플러를 세정하기 위한 커플러 세정 유닛을 포함하고, 상기 커플러 세정 유닛은, 상기 커플러의 상기 딥 튜브를 수용하는 공간을 가지고, 상부에는 상기 딥 튜브가 상기 공간으로 드리워지게 상기 커플러 헤드를 거치하는 커플러 거치구가 형성되어 있으며, 하부에는 배수구가 형성된 세정 챔버; 및 상기 세정 챔버 내부에 마련되어, 상기 공간에 수용된 상기 딥 튜브를 향해 세정수를 분사하는 노즐을 포함한다.A coupling system for a drum container according to another aspect of the present invention includes any of the above-described couplers; and a coupler cleaning unit for cleaning the coupler, wherein the coupler cleaning unit has a space for accommodating the dip tube of the coupler, and holds the coupler head at the top so that the dip tube is draped into the space. A cleaning chamber having a coupler holder and a drain at the bottom; and a nozzle provided inside the cleaning chamber to spray cleaning water toward the dip tube accommodated in the space.

여기서, 상기 커플러 세정 유닛은, 상기 커플러의 세정시 상기 케미컬 배관을 통해 상기 케미컬 유로로 세정수를 공급할 수 있다.Here, the coupler cleaning unit may supply cleaning water to the chemical flow path through the chemical pipe when cleaning the coupler.

또한, 상기 커플러 거치구에는 상기 커플러 소켓과 동일한 구조의 거치용 소켓이 결합되어 있고, 상기 커플러의 세정시, 상기 커플러는 상기 커플러 소켓을 제외한 상기 커플러 헤드와 상기 딥 튜브가 상기 거치용 소켓에 결합됨으로써 상기 커플러 거치구에 거치될 수 있다.In addition, a mounting socket having the same structure as the coupler socket is coupled to the coupler holder, and when cleaning the coupler, the coupler head and the dip tube excluding the coupler socket are coupled to the mounting socket. As a result, it can be mounted on the coupler holder.

또는, 상기 커플러 거치구는 상기 드럼 용기의 입구와 동일한 구조로 이루어지고, 상기 커플러의 세정시, 상기 커플러는 상기 커플러 소켓이 상기 커플러 거치구에 결합됨으로써 상기 커플러 거치구에 거치될 수도 있다.Alternatively, the coupler holder may have the same structure as the inlet of the drum container, and when cleaning the coupler, the coupler may be mounted on the coupler holder by coupling the coupler socket to the coupler holder.

본 발명의 커플러에 따르면, 커플러에 딥 튜브가 결합되어 있어 커플러의 사용후에 딥 튜브를 포함한 커플러를 드럼 용기의 입구에서 분리하여 딥 튜브를 포함한 커플러를 손쉽게 세정할 수 있다.According to the coupler of the present invention, a dip tube is coupled to the coupler, so after use of the coupler, the coupler including the dip tube can be easily cleaned by separating the coupler including the dip tube from the inlet of the drum container.

또한, 본 발명의 드럼 용기용 커플링 시스템에 따르면, 커플러 세정 유닛을 구비함으로써, 커플러의 사용후 보관시에 커플러를 세정할 수 있다.Additionally, according to the coupling system for a drum container of the present invention, by providing a coupler cleaning unit, the coupler can be cleaned when stored after use.

따라서, 커플러에 케미컬이 고착되는 것을 방지할 수 있다.Therefore, it is possible to prevent chemicals from sticking to the coupler.

본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 것이며, 후술되는 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니된다.
도 1은 본 발명의 일 실시형태에 따른 드럼 용기용 자동 커플링 시스템의 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 시스템의 하우징 패널과 도어를 제거하고 도시한 사시도이다.
도 3은 도 1에 도시된 시스템에서 일 실시예에 따른 커플러를 파지한 상태의 다축 로봇을 도시한 사시도이다.
도 4는 도 3에 도시된 커플러의 분해 사시도(a) 및 단면도(b)이다.
도 5는 드럼 용기의 캡을 분리하고 도 4에 도시된 커플러를 드럼 용기의 입구에 결합하는 과정을 도시한 사시도이다.
도 6은 다른 실시예에 따른 커플러의 분해 사시도(a) 및 단면도(b)이다.
도 7은 도 6에 도시된 커플러를 파지한 상태의 다축 로봇의 일부를 도시한 사시도이다.
도 8은 도 1에 도시된 시스템에서 배관 지지 유닛을 도시한 사시도이다.
도 9는 도 1에 도시된 시스템에서 다축 로봇을 제거한 상태를 도시한 상방 사시도이다.
도 10은 도 1에 도시된 시스템에서 세정기능을 구비한 커플러 보관 유닛을 도시한 전면 절개 사시도이다.
도 11은 도 1에 도시된 시스템에서 잔액 받이를 도시한 사시도이다.
도 12는 도 1에 도시된 시스템에서 드럼 탑재대, 드럼 가이드 유닛, 드럼 회전 유닛 및 드럼 정렬 유닛을 도시한 사시도이다.
도 13은 도 1에 도시된 시스템에서 도어가 개방된 상태를 도시한 사시도이다.
The following drawings attached to this specification illustrate preferred embodiments of the present invention, and serve to further understand the technical idea of the present invention together with the detailed description of the invention described later, so the present invention includes the matters described in such drawings. It should not be interpreted as limited to only .
1 is a perspective view of an automatic coupling system for a drum container according to one embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a perspective view of the system shown in FIG. 1 with the housing panel and door removed.
FIG. 3 is a perspective view showing a multi-axis robot in a state in which a coupler is held in the system shown in FIG. 1 according to an embodiment.
Figure 4 is an exploded perspective view (a) and cross-sectional view (b) of the coupler shown in Figure 3.
Figure 5 is a perspective view showing the process of removing the cap of a drum container and coupling the coupler shown in Figure 4 to the inlet of the drum container.
Figure 6 is an exploded perspective view (a) and cross-sectional view (b) of a coupler according to another embodiment.
FIG. 7 is a perspective view showing a portion of the multi-axis robot in a state in which the coupler shown in FIG. 6 is held.
Figure 8 is a perspective view showing a piping support unit in the system shown in Figure 1.
Figure 9 is an upward perspective view showing a state in which the multi-axis robot is removed from the system shown in Figure 1.
FIG. 10 is a front cut-away perspective view showing a coupler storage unit with a cleaning function in the system shown in FIG. 1.
FIG. 11 is a perspective view showing a balance receiver in the system shown in FIG. 1.
FIG. 12 is a perspective view showing a drum mount, a drum guide unit, a drum rotation unit, and a drum alignment unit in the system shown in FIG. 1.
FIG. 13 is a perspective view illustrating a state in which the door is opened in the system shown in FIG. 1.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the attached drawings. Prior to this, the terms or words used in this specification and claims should not be construed as limited to their usual or dictionary meanings, and the inventor should appropriately use the concept of terms to explain his or her invention in the best way. It must be interpreted as meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention based on the principle of definability. Accordingly, the embodiments described in this specification and the configurations shown in the drawings are only one of the most preferred embodiments of the present invention and do not represent the entire technical idea of the present invention, so at the time of filing this application, various alternatives are available to replace them. It should be understood that equivalents and variations may exist.

본 명세서에서 사용되는 '결합', '착탈', '체결','장착', '고정' 또는 '연결'이라는 용어는, 하나의 부재와 다른 부재가 직접 결합, 착탈, 체결, 장착, 고정 또는 연결되는 경우뿐만 아니라 하나의 부재가 중간 부재를 개재하여 다른 부재에 간접적으로 결합, 착탈, 체결, 장착, 고정 또는 연결되는 경우도 포함한다.The terms 'coupling', 'attachment/detachment', 'fastening', 'installation', 'fixing', or 'connection' used in this specification mean that one member and another member are directly coupled, detached, fastened, mounted, fixed, or It includes not only cases of connection, but also cases where one member is indirectly coupled, detached, fastened, mounted, fixed, or connected to another member through an intermediate member.

또한, 본 명세서에서는 상, 하, 좌, 우, 전, 후, 수직, 수평 등과 같이 방향을 나타내는 용어를 사용하나, 이러한 방향은 사물이 놓여진 방향과 관찰 방향에 따라 달라질 수 있다. 다만, 본 명세서에서는 도 1과 같은 상태, 즉 탱크로리(10)가 경사지지 않은 지면(E)에 정상적으로 주차된 상태를 기준으로 방향을 설정하고 설명한다.Additionally, in this specification, terms indicating direction such as up, down, left, right, front, back, vertical, horizontal, etc. are used, but these directions may vary depending on the direction in which the object is placed and the direction of observation. However, in this specification, the direction is set and explained based on the state shown in FIG. 1, that is, the tank lorry 10 is normally parked on the non-sloping ground E.

도 1 및 도 2에는 본 발명의 일 실시형태에 따른 드럼 용기용 자동 커플링 시스템(이하, 간단히 '시스템'이라고도 한다)의 전체적인 구성이 도시되어 있다.1 and 2 show the overall configuration of an automatic coupling system for drum containers (hereinafter, simply referred to as 'system') according to an embodiment of the present invention.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 실시형태에 따른 시스템은, 주요 구성요소가 하우징(20)내에 배치된다. 하우징(20)은 대략 입방체 형상을 가지는 부스 형태로 이루어지며, 프레임(21)과 하우징 패널(23)을 포함할 수 있다. 1 and 2, in the system according to this embodiment, the main components are disposed within a housing 20. The housing 20 is made in the form of a booth having a substantially cubic shape and may include a frame 21 and a housing panel 23.

하우징(20)의 전면에는 드럼 용기(10)의 출입시 개방되는 도어(27)가 설치될 수 있다. 이 도어(27)에 대해 상세히는 후술한다. A door 27 that opens when the drum container 10 is entered or exited may be installed on the front of the housing 20. This door 27 will be described in detail later.

또한, 하우징(20)의 전면 일측에는 조작 패널(29)이 설치될 수 있다. 조작 패널(29)에는 시스템의 조작을 위한 각종 스위치(버튼), 시스템의 상태나 비상 상황 등을 알리는 디스플레이나 스피커, 시스템 전반을 제어하는 제어부 등이 배치될 수 있다.Additionally, an operation panel 29 may be installed on one front side of the housing 20. The operation panel 29 may be equipped with various switches (buttons) for operating the system, a display or speaker that reports the status of the system or emergency situations, and a control unit that controls the overall system.

본 실시형태에 따른 시스템은, 케미컬의 이송, 즉 드럼 용기(10) 내부의 케미컬을 공정 라인 등 필요로 하는 곳으로 공급하거나 드럼 용기(10) 내에 케미컬을 주입하기 위해, 드럼 용기(10)의 입구(11)에 커플러(40)를 착탈가능하게 결합하기 위한 구성으로서 다축 로봇(30)을 구비한다.The system according to this embodiment is for transporting chemicals, that is, supplying chemicals inside the drum container 10 to a place where they are needed, such as a process line, or injecting chemicals into the drum container 10. A multi-axis robot 30 is provided as a component for detachably coupling the coupler 40 to the inlet 11.

도 2와 도 3을 참조하면, 다축 로봇(30)은 일단이 시스템의 일 개소인 테이블(25) 상에 고정되고, 복수의 회전축(R1 내지 R6)을 중심으로 회동가능한 복수의 아암(31)이 서로 연결되어 이루어지고, 타단에는 커플러(40)를 파지하는 그립퍼(33)가 장착된다. 예컨대, 다축 로봇(30)은 6개의 회전축(R1 내지 R6)을 가지는 6축 로봇으로 이루어질 수 있으며, 복수의 아암(31)의 운동 범위 내에서 그립퍼(33)에 의해 파지되는 커플러(40)를 임의의 위치와 방향으로 이동시킬 수 있다. 또한, 다축 로봇(30)과 그립퍼(33)의 동작은 미리 정해진 시퀀스로 정의하여 제어부나 메모리에 미리 기억시켜 둠으로써, 커플러(30)의 드럼 용기(10) 입구(11)에의 착탈 동작을 전자동화할 수 있다.Referring to Figures 2 and 3, the multi-axis robot 30 has a plurality of arms 31, one end of which is fixed on a table 25, which is one part of the system, and rotatable about a plurality of rotation axes R1 to R6. They are connected to each other, and a gripper 33 for gripping the coupler 40 is mounted on the other end. For example, the multi-axis robot 30 may be composed of a 6-axis robot with six rotation axes (R1 to R6), and includes a coupler 40 held by the gripper 33 within the range of motion of the plurality of arms 31. It can be moved to any location and direction. In addition, the operations of the multi-axis robot 30 and the gripper 33 are defined in a predetermined sequence and stored in advance in the control unit or memory, so that the attachment and detachment operation of the coupler 30 to the inlet 11 of the drum container 10 is performed electronically. It can be assimilated.

그립퍼(33)는 적어도 한 쌍의 핑거(33a)를 포함하여, 이 한 쌍의 핑거(33a)를 오므리거나 벌림으로써 커플러(40)를 파지하거나 놓을 수 있다. 또한, 그립퍼(33)는 드럼 용기(10)의 입구(11)에 체결되는 캡(15, 도 5 참조)을 파지할 수도 있다. 또한, 그립퍼(33)는 그 길이방향 중심축과 일치하는 회전축(R6)을 중심으로 회전할 수 있어, 파지한 커플러(40)나 캡(15)을 드럼 용기(10)의 입구(11)에 착탈할 수 있다. 다축 로봇(30)과 그립퍼(33)에 의한 커플러(40)와 캡(15)의 파지 및 드럼 용기(10) 입구(11)에의 착탈 동작의 상세에 대해서는 후술한다.The gripper 33 includes at least one pair of fingers 33a, and can grip or release the coupler 40 by closing or opening the pair of fingers 33a. Additionally, the gripper 33 may grip the cap 15 (see FIG. 5) fastened to the inlet 11 of the drum container 10. In addition, the gripper 33 can rotate around a rotation axis R6 that coincides with the longitudinal central axis, so that the gripped coupler 40 or cap 15 is placed at the inlet 11 of the drum container 10. It is removable. Details of the gripping of the coupler 40 and the cap 15 by the multi-axis robot 30 and the gripper 33 and the attachment and detachment operation to the inlet 11 of the drum container 10 will be described later.

본 발명의 일 실시예에 따른 커플러(40)는 케미컬의 이송을 위해 드럼 용기(10)의 입구(11)에 결합되는 연결 부품으로서, 그 분해 사시도와 단면도를 도시한 도 4를 참조하면, 커플러 헤드(41)와 딥 튜브(43)를 포함하고, 선택적으로 커플러 소켓(45)을 더 포함할 수 있다. The coupler 40 according to an embodiment of the present invention is a connecting part coupled to the inlet 11 of the drum container 10 for chemical transfer. Referring to FIG. 4 showing an exploded perspective view and cross-sectional view, the coupler It includes a head 41 and a dip tube 43, and may optionally further include a coupler socket 45.

커플러 헤드(41)는 커플러(40)의 몸체를 이루는 부품으로서, 그 내부에는 케미컬 유로(41a)가 형성되어 있고, 선택적으로 기체 유로(41b) 및/또는 케미컬 순환 유로(41c)가 더 형성될 수 있다. The coupler head 41 is a part that forms the body of the coupler 40, and has a chemical flow path 41a formed therein, and optionally a gas flow path 41b and/or a chemical circulation flow path 41c may be further formed. You can.

케미컬 유로(41a)는 커플러(40)를 통해 이송되는 케미컬이 통과하는 유로로서, 일단에는 딥 튜브(43)가, 예컨대 나사결합에 의해 분리가능하게 결합되고, 타단에는 케미컬 배관(42a, 도 2 참조. 나머지 도면에는 도시 생략)이 적절한 피팅을 개재하여 연결된다. 케미컬 배관(42a)은 케미컬의 공급처 또는 사용처에 마련되는 케미컬 탱크에 유체 연결된다.The chemical flow path 41a is a flow path through which chemicals transported through the coupler 40 pass, and at one end is a dip tube 43 detachably coupled, for example, by screwing, and at the other end is a chemical pipe 42a (Figure 2). (not shown in the remaining drawings) are connected via appropriate fittings. The chemical pipe 42a is fluidly connected to a chemical tank provided at a chemical supply or use location.

기체 유로(41b)는 케미컬의 이송(주입이나 배출)을 원활하게 하기 위해 드럼 용기(10) 내부의 공기를 배출하거나 드럼 용기 내부로 압축 공기나 질소 등의 불활성 기체를 불어넣기 위한 유로이다. 기체 유로(41b)의 일단은 커플러(40)가 드럼 용기(10)의 입구(11)에 결합되었을 때 드럼 용기의 내부와 연통되고, 타단에는 기체 배관(42b, 도 2 참조. 나머지 도면에는 도시 생략)이 적절한 피팅을 개재하여 연결된다. 기체 배관(42b)은 케미컬의 공급처 또는 사용처에 마련되는 배기관 또는 압축 기체 공급원에 유체 연결된다.The gas flow path 41b is a flow path for discharging air inside the drum container 10 or blowing inert gas such as compressed air or nitrogen into the drum container to facilitate chemical transfer (injection or discharge). One end of the gas flow path 41b is in communication with the inside of the drum container when the coupler 40 is coupled to the inlet 11 of the drum container 10, and the other end is a gas pipe 42b, see Figure 2. Shown in the remaining drawings. omitted) are connected through appropriate fittings. The gas pipe 42b is fluidly connected to an exhaust pipe or compressed gas supply source provided at a chemical supply or use location.

또한, 케미컬 순환 유로(41c)는 해당 케미컬을 사용하는 사용처에서 일시적으로 해당 케미컬을 받아들일 수 없는 상태인 경우 케미컬이 침전되거나 굳어 커플러(40) 내외부에 고착되는 것을 방지하기 위해, 케미컬 유로(41a)를 통해 흡입되어 드럼 용기(10) 외부로 배출되는 케미컬을 다시 드럼 용기(10) 내부로 순환시키는 유로이다. 케미컬 순환 유로(41c)의 일단은 커플러(40)가 드럼 용기(10)의 입구(11)에 결합되었을 때 드럼 용기의 내부와 연통되고, 타단에는 순환 배관(42c, 도 2 참조. 나머지 도면에는 도시 생략)이 적절한 피팅을 개재하여 연결된다. 순환 배관(42c)은 시스템 또는 케미컬의 공급처 또는 사용처에 마련되는 순환 펌프에 유체 연결된다.In addition, the chemical circulation flow path (41c) is a chemical flow path (41a) to prevent the chemical from settling or hardening and sticking to the inside and outside of the coupler (40) when the chemical is temporarily unacceptable at the place where the chemical is used. ) is a flow path that circulates the chemicals that are sucked in and discharged to the outside of the drum container (10) back into the drum container (10). One end of the chemical circulation flow path 41c is in communication with the inside of the drum container when the coupler 40 is coupled to the inlet 11 of the drum container 10, and the other end is a circulation pipe 42c, see Figure 2. In the remaining drawings, (not shown) are connected via appropriate fittings. The circulation pipe 42c is fluidly connected to a circulation pump provided in the system or at the supply or use site of the chemical.

한편, 커플러(40)(커플러 헤드(41))의 외주면에는 드럼 용기(10)에 충전된 또는 충전될 케미컬의 종류에 따라 고유한 패턴으로 돌기(41e) 또는 홈이 형성되어 있고, 그립퍼(33)(핑거(33a))의 내주면에는 커플러(40)의 외주면에 형성된 상기 돌기(41e) 또는 홈에 대응되는 패턴으로 홈(33e, 도 5 참조) 또는 돌기가 형성되어 있을 수 있다. 커플러(40)에 형성된 돌기(41e) 또는 홈과 그립퍼(33)에 형성된 홈(33e) 또는 돌기는, 그립퍼(33)가 커플러(40)를 파지하였을 때 서로 형합하여 잘못된 케미컬을 이송하는 것을 방지하는 일종의 키코드(key code)로서 기능할 수 있다.Meanwhile, on the outer peripheral surface of the coupler 40 (coupler head 41), protrusions 41e or grooves are formed in a unique pattern depending on the type of chemical filled or to be filled in the drum container 10, and the gripper 33 ) (Finger 33a) may have grooves 33e (see FIG. 5) or grooves formed on the inner peripheral surface of the coupler 40 in a pattern corresponding to the protrusions 41e or grooves formed on the outer peripheral surface of the coupler 40. The protrusion 41e or groove formed on the coupler 40 and the groove 33e or protrusion formed on the gripper 33 are aligned with each other when the gripper 33 grips the coupler 40 to prevent wrong chemicals from being transferred. It can function as a kind of key code.

딥 튜브(43)는 커플러(40)가 드럼 용기(10)의 입구(11)에 결합되었을 때 드럼 용기 내부로 삽입되어 드리워져 하단이 드럼 용기(10)의 내부 바닥 근방까지 연장된다. 이러한 딥 튜브(43)에 의해, 드럼 용기(10)에 주입되거나 드럼 용기(10)로부터 배출되는 케미컬은 드럼 용기(10)의 바닥 근방부터 충전되거나 배출될 수 있다.The dip tube 43 is inserted into the drum container when the coupler 40 is coupled to the inlet 11 of the drum container 10 and is draped so that its lower end extends near the inner bottom of the drum container 10. By this dip tube 43, chemicals injected into or discharged from the drum container 10 can be charged or discharged from near the bottom of the drum container 10.

이와 같이, 본 발명의 실시형태에서 딥 튜브(43)는 커플러 헤드(41)와 함께 드럼 용기(10)의 입구(11)에 착탈되도록 구성된다. 이러한 구성에 의하면, 커플러(40)의 사용후 딥 튜브(43)를 포함한 커플러(40)를 드럼 용기(10)로부터 분리하여 커플러 헤드(41)와 딥 튜브(43)를 세척할 수 있다. 이는, 예컨대 화학기계적 연마(CMP)용 슬러리와 같이 시간의 경과나 온도의 변화에 따라 침전되거나 굳는 성질의 케미컬의 경우에 딥 튜브(43)와 커플러 헤드(41)의 폐색을 방지하는 데에 매우 유용하다. 커플러 헤드(41)와 딥 튜브(43)의 세정에 대해 상세히는 후술한다.As such, in the embodiment of the present invention, the dip tube 43 is configured to be attached to and detached from the inlet 11 of the drum container 10 together with the coupler head 41. According to this configuration, after use of the coupler 40, the coupler 40 including the dip tube 43 can be separated from the drum container 10 and the coupler head 41 and the dip tube 43 can be cleaned. This is very effective in preventing blockage of the dip tube 43 and the coupler head 41 in the case of chemicals that precipitate or harden over time or change in temperature, such as slurry for chemical mechanical polishing (CMP). useful. Cleaning of the coupler head 41 and dip tube 43 will be described in detail later.

커플러 소켓(45)은 커플러 헤드(41)와 드럼 용기 입구(11) 사이에 개재되는 부품으로서, 도 4에 도시된 바와 같이, 상하로 관통된 중공 기둥 형태로 이루어지고, 상부는 각형(예건대 6각형)의 외주면을 가지고, 하부의 외주면은 원형으로 이루어지고 나사산(45a)이 형성되어 드럼 용기(10)의 입구(11)에 나사 결합될 수 있다. 또한, 중공에는 딥 튜브(43)가 관통되고 커플러 헤드(41)가 결합된다. The coupler socket 45 is a part interposed between the coupler head 41 and the drum container inlet 11. As shown in FIG. 4, the coupler socket 45 is formed in the form of a hollow pillar penetrating upward and downward, and the upper part is square (Yegeondae). It has a hexagonal outer peripheral surface, the lower outer peripheral surface is circular, and a screw thread 45a is formed so that it can be screwed to the inlet 11 of the drum container 10. In addition, the dip tube 43 penetrates the hollow and the coupler head 41 is coupled thereto.

구체적으로, 본 실시예에 따른 커플러(40)에서는 커플러 헤드(41)의 하부 외주면에 적어도 2개의 결합돌기(41d)가 돌출 형성되어 있고, 커플러 소켓(45)의 중공의 내주면에는 커플러 헤드(41)의 결합돌기(41d)가 삽입되어 소정 각도만큼 회동가능한 결합홈(45d)이 형성되어 있어, 커플러 헤드(41)의 결합돌기(41d)를 커플러 소켓(45)의 결합홈(45d)에 삽입하여 소정 각도만큼 회동함으로써 커플러 헤드(41)를 커플러 소켓(45)에 결합할 수 있다. Specifically, in the coupler 40 according to this embodiment, at least two engaging protrusions 41d are formed protruding on the lower outer peripheral surface of the coupler head 41, and the coupler head 41 is formed on the hollow inner peripheral surface of the coupler socket 45. ) of the coupling protrusion (41d) is inserted to form a coupling groove (45d) that can be rotated by a predetermined angle, so that the coupling protrusion (41d) of the coupler head 41 is inserted into the coupling groove (45d) of the coupler socket 45. By rotating the coupler head 41 by a predetermined angle, the coupler head 41 can be coupled to the coupler socket 45.

여기서, 상기 소정 각도는 예컨대 45도 정도로서, 그다지 크지 않은 각도이다. 이는, 전술한 바와 같이 커플러 헤드(41)에는 케미컬 배관(42a), 기체 배관(42b) 및/또는 순환 배관(42c)이 연결되므로, 이들 배관이 플렉시블하다 하더라도 커플러 헤드(41)를 과도하게(예컨대 한 바퀴 이상) 회동시키면 배관이 꼬이거나 꺾일 수 있기 때문이다.Here, the predetermined angle is, for example, about 45 degrees, which is not a very large angle. This is because, as described above, the chemical pipe 42a, the gas pipe 42b, and/or the circulation pipe 42c are connected to the coupler head 41, so even if these pipes are flexible, the coupler head 41 may be excessively ( This is because if you rotate it (for example, more than one turn), the pipe may become twisted or bent.

이어서, 도 5를 참조하여 드럼 용기(10)의 입구(11)에 체결된 캡(15)을 분리하고 도 4에 도시된 커플러(40)를 드럼 용기(10)의 입구(11)에 결합하는 과정을 설명한다.Next, referring to FIG. 5, the cap 15 fastened to the inlet 11 of the drum container 10 is separated and the coupler 40 shown in FIG. 4 is coupled to the inlet 11 of the drum container 10. Explain the process.

먼저, 드럼 용기(10)의 상면에는 케미컬의 출입을 위한 입구(11)가 마련되며, 이 입구(11)에는 캡(15)(마개)이 체결되어 있다. 본 실시예에서 입구(11)의 내주면과 캡(15)의 외주면에는 서로 대응되는 나사산이 형성되어 있어, 캡(15)은 입구(11)의 내주면에 나사결합된다. 또한, 캡(15)의 상면에는 다축 로봇(30)의 그립퍼(33)가 파지할 수 있도록 파지 홈이 형성되어 있을 수 있다.First, an inlet 11 for chemical entry and exit is provided on the upper surface of the drum container 10, and a cap 15 (stopper) is fastened to this inlet 11. In this embodiment, corresponding screw threads are formed on the inner peripheral surface of the inlet 11 and the outer peripheral surface of the cap 15, so that the cap 15 is screwed to the inner peripheral surface of the inlet 11. Additionally, a gripping groove may be formed on the upper surface of the cap 15 so that the gripper 33 of the multi-axis robot 30 can grip it.

한편, 드럼 용기(10)의 상면에는, 다른 종류의 케미컬을 잘못 공급하거나 잘못 충전하는 사고를 방지하기 위해, 해당 드럼 용기(10)에 충전된 또는 충전될 케미컬의 종류에 따라 부여된 고유 코드(13)가 인쇄 또는 부착되어 있을 수 있다. 이 경우, 시스템에는 고유 코드(13)를 인식하기 위한 코드 리더기(도시 생략)가 마련되거나, 또는 후술하는 비전 유닛(39, 도 3 참조)이 코드 리더기의 역할을 수행할 수 있다.Meanwhile, on the upper surface of the drum container 10, a unique code ( 13) may be printed or attached. In this case, the system may be provided with a code reader (not shown) to recognize the unique code 13, or a vision unit 39 (see FIG. 3), which will be described later, may serve as a code reader.

전술한 바와 같이 그립퍼(33)는 한 쌍의 핑거(33a)를 이용하여 캡(15)을 파지하고, 회전축(R6)을 중심으로 회전할 수 있어, 파지한 캡(15)을 입구(11)에 착탈할 수 있다. 구체적으로, 도 3에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 핑거(33a)의 단부에는 캡(15)의 파지 홈에 삽입가능한 핑거 팁(33b)이 형성되어 있다. 따라서, 도 5의 (a)에 도시된 바와 같이, 그립퍼(33)의 길이방향 중심축(다축 로봇(30)의 회전축(R6))과 캡(15)의 중심축이 서로 일치하도록 하여 핑거 팁(33b)을 캡(15)의 파지 홈에 삽입하고, 한 쌍의 핑거(33a)를 약간 오므리거나 벌림으로써 캡(15)을 파지할 수 있다. 이어서, 회전축(R6)을 중심으로 그립퍼(33)를 캡(15)의 나사결합이 풀리는 방향으로 회전시킴으로써(화살표 a 참조) 캡(15)을 입구(11)에서 분리할 수 있다. 이때 캡(15)이 풀리면서 드럼 용기(10)의 상면에서 멀어지는 방향으로 조금씩 상승하므로, 이에 맞추어 다축 로봇(30)을 제어하여 그립퍼(33)도 동일한 속도로 상승하도록 한다. 캡(15)이 입구(11)에서 완전히 분리되면 다축 로봇(30)은 미리 정해진 곳(예컨대, 후술하는 잔액 받이(70, 도 2 참조)으로 이동하여 캡(15)을 놓는다.As described above, the gripper 33 grips the cap 15 using a pair of fingers 33a and can rotate around the rotation axis R6, allowing the gripped cap 15 to enter the inlet 11. It can be put on and taken off. Specifically, as shown in FIG. 3, finger tips 33b are formed at the ends of the pair of fingers 33a, which can be inserted into the gripping groove of the cap 15. Therefore, as shown in (a) of FIG. 5, the longitudinal central axis of the gripper 33 (rotation axis (R6) of the multi-axis robot 30) and the central axis of the cap 15 are aligned with each other so that the finger tip The cap 15 can be gripped by inserting (33b) into the gripping groove of the cap 15 and slightly retracting or opening the pair of fingers 33a. Next, the cap 15 can be separated from the inlet 11 by rotating the gripper 33 around the rotation axis R6 in the direction in which the screw coupling of the cap 15 is loosened (see arrow a). At this time, as the cap 15 is released and gradually rises in a direction away from the upper surface of the drum container 10, the multi-axis robot 30 is controlled accordingly so that the gripper 33 also rises at the same speed. When the cap 15 is completely separated from the inlet 11, the multi-axis robot 30 moves to a predetermined location (for example, a balance receiver 70 (see FIG. 2), which will be described later) and places the cap 15 thereon.

이어서, 미리 정해진 곳(예컨대, 잔액 받이(70))에 놓여 있는 커플러 소켓(45)을 파지하여 캡(15)이 분리되어 개방된 입구(11)에 결합한다. 구체적으로, 도 5의 (b)에 도시된 바와 같이, 그립퍼(33)의 길이방향 중심축(다축 로봇(30)의 회전축(R6))과 커플러 소켓(45)의 중심축이 서로 일치하도록 하여 커플러 소켓(45)의 각형의 외주면을 가지는 상부를 한 쌍의 핑거(33a)로 감싸고, 한 쌍의 핑거(33a)를 약간 오므림으로써 커플러 소켓(45)을 파지한다. 이어서, 드럼 용기(10)의 입구(11) 위로 이동하여 커플러 소켓(45)의 나사산(45a)이 형성된 하부를 입구(11)에 삽입하고, 회전축(R6)을 중심으로 그립퍼(33)를 커플러 소켓(45)이 나사결합되는 방향으로 회전시킴으로써(화살표 a 참조) 커플러 소켓(45)을 입구(11)에 결합할 수 있다. 이때 커플러 소켓(45)이 입구(11)에 결합되면서 드럼 용기(10)의 내부 방향으로 조금씩 하강하므로, 이에 맞추어 다축 로봇(30)을 제어하여 그립퍼(33)도 동일한 속도로 하강하도록 한다.Next, the coupler socket 45 placed at a predetermined location (for example, the balance receiver 70) is grasped, and the cap 15 is separated and coupled to the opened inlet 11. Specifically, as shown in (b) of FIG. 5, the longitudinal central axis of the gripper 33 (rotation axis (R6) of the multi-axis robot 30) and the central axis of the coupler socket 45 are aligned with each other. The upper part of the coupler socket 45 having a square outer peripheral surface is wrapped around a pair of fingers 33a, and the coupler socket 45 is gripped by slightly retracting the pair of fingers 33a. Next, move over the inlet 11 of the drum container 10 and insert the lower part of the coupler socket 45 with the thread 45a into the inlet 11, and attach the gripper 33 to the coupler around the rotation axis R6. The coupler socket 45 can be coupled to the inlet 11 by rotating the socket 45 in the direction in which it is screwed (see arrow a). At this time, the coupler socket 45 is coupled to the inlet 11 and gradually descends toward the inside of the drum container 10, so the multi-axis robot 30 is controlled accordingly so that the gripper 33 also descends at the same speed.

이어서, 미리 정해진 곳(후술하는 커플러 보관 유닛(60, 도 2 및 도 9 참조)에 보관되어 있는 커플러 헤드(41)를 파지하여 입구(11)에 먼저 결합된 커플러 소켓(45)에 결합한다. 구체적으로, 도 5의 (c)에 도시된 바와 같이, 그립퍼(33)의 길이방향 중심축(다축 로봇(30)의 회전축(R6))과 커플러(40)의 길이방향 중심축(딥 튜브(43)의 중심축)이 서로 직교하도록 하여 커플러 헤드(41)의 외주면을 한 쌍의 핑거(33a)로 감싸고, 한 쌍의 핑거(33a)를 약간 오므림으로써 딥 튜브(43)가 결합되어 있는 커플러 헤드(41)를 파지한다. 이어서, 드럼 용기(10)의 입구(11)에 결합되어 있는 커플러 소켓(45) 위로 이동하여 커플러 소켓(45)의 중공에 딥 튜브(43)를 관통시켜 하강시킨 다음, 커플러 헤드(41)의 결합돌기(41d)를 커플러 소켓(45)의 결합홈(45d)에 삽입하여 커플러(40)의 길이방향 중심축을 중심으로 소정 각도만큼 회동함으로써(화살표 b 참조) 커플러 헤드(41)를 커플러 소켓(45)에 결합한다. 이때 커플러 헤드(41)의 소정 각도 회동은, 회전축(R6)을 중심으로 그립퍼(33)를 회전시키는 것이 아니라, 다축 로봇(30)의 복수의 아암(31) 중 일부를 이용하여 수행될 수 있다. 예컨대, 다축 로봇(30)의 두 회전축(R1, R5)을 서로 반대방향으로 회전시키면 한 쌍의 핑거(33a)가 이루는 평면이 수평을 유지하면서 커플러 헤드(41)가 커플러(40)의 길이방향 중심축을 중심으로 회동된다.Next, the coupler head 41 stored in a predetermined location (a coupler storage unit 60 (see FIGS. 2 and 9) to be described later) is grasped and coupled to the coupler socket 45 previously coupled to the inlet 11. Specifically, as shown in (c) of FIG. 5, the longitudinal central axis of the gripper 33 (rotation axis R6 of the multi-axis robot 30) and the longitudinal central axis of the coupler 40 (dip tube ( The outer peripheral surface of the coupler head 41 is wrapped with a pair of fingers 33a so that the central axes of 43) are perpendicular to each other, and the dip tube 43 is coupled by slightly retracting the pair of fingers 33a. Hold the coupler head 41. Next, move over the coupler socket 45 coupled to the inlet 11 of the drum container 10 and lower it by penetrating the dip tube 43 through the hollow of the coupler socket 45. Then, the coupling protrusion 41d of the coupler head 41 is inserted into the coupling groove 45d of the coupler socket 45 and rotated by a predetermined angle around the longitudinal central axis of the coupler 40 (see arrow b). The coupler head 41 is coupled to the coupler socket 45. At this time, rotation of the coupler head 41 at a predetermined angle does not rotate the gripper 33 around the rotation axis R6, but rather rotates the gripper 33 around the rotation axis R6. It can be performed using some of the plurality of arms 31. For example, when the two rotation axes (R1, R5) of the multi-axis robot 30 are rotated in opposite directions, the plane formed by the pair of fingers 33a is horizontal. The coupler head 41 is rotated around the longitudinal central axis of the coupler 40 while maintaining .

이와 같이, 그립퍼(33)를 수평방향으로 하여 커플러 헤드(41)의 측방에서 파지하고 수평방향으로 소정 각도 회동시켜 커플러 헤드(41)를 커플러 소켓(45)에 결합함으로써, 다축 로봇(30)의 크기를 대폭 감소시켜 시스템을 소형화할 수 있다. 즉, 본 실시형태에서 커플러(40)는 길이가 긴 딥 튜브(43)를 포함하는데, 커플러(40)(커플러 헤드(41))를 캡(15)이나 커플러 소켓(45)과 같이 상방에서 수직방향으로 파지하고 딥 튜브(43) 하단을 드럼 용기(10)의 입구(11)에 삽입하려면 다축 로봇(30)의 아암(31)이 상당히 길어야 하고 그에 따라 시스템(하우징)의 높이를 포함한 사이즈도 방대하여야 하지만, 위와 같이 커플러 헤드(41)를 측방에서 파지하게 되면 아암(31)을 짧게 할 수 있고 시스템도 소형화할 수 있다.In this way, the gripper 33 is held from the side of the coupler head 41 in the horizontal direction and rotated at a predetermined angle in the horizontal direction to couple the coupler head 41 to the coupler socket 45, thereby forming the multi-axis robot 30. The system can be miniaturized by drastically reducing its size. That is, in this embodiment, the coupler 40 includes a long dip tube 43, and the coupler 40 (coupler head 41) is vertically connected from above, such as the cap 15 or the coupler socket 45. In order to grip in this direction and insert the lower end of the dip tube (43) into the inlet (11) of the drum container (10), the arm (31) of the multi-axis robot (30) must be quite long, and the size including the height of the system (housing) must be considerably long accordingly. Although it must be massive, if the coupler head 41 is held from the side as above, the arm 31 can be shortened and the system can also be miniaturized.

한편, 시스템에는 드럼 용기(10)의 상면을 촬상하는 비전 유닛(39)을 더 포함할 수 있다. 비전 유닛(39)은 CCD 카메라와 같은 촬상 수단을 구비하여, 촬상 수단에 의해 촬상된 영상을 데이터 처리함으로써 캡(15)이나 입구(11)의 정확한 위치와 각도 등을 산출하여, 다축 로봇(30)의 위치와 자세를 제어하도록 할 수 있다. 특히, 드럼 용기(10)는 내부 압력이나 기온 등의 외부 환경, 장기간의 사용에 따라 변형될 수 있고, 그에 따라 드럼 용기(10)의 상면이 수평을 이루지 못하여 캡(15)이나 입구(11)가 경사져 있을 수 있다. 이 경우 비전 유닛(39)에 의해 캡(15)이나 입구(11)의 정확한 위치와 경사 정도 등을 산출하고 그립퍼(33)의 위치나 파지 각도 등을 미세 제어함으로써 캡(15)이나 커플러(40)의 착탈을 원활하게 수행할 수 있다. 또한, 비전 유닛(39)은 드럼 용기(10)의 상면에 인쇄 또는 부착된 전술한 고유 코드(13)를 판독하는 코드 리더기를 겸할 수 있다.Meanwhile, the system may further include a vision unit 39 that captures an image of the upper surface of the drum container 10. The vision unit 39 is equipped with an imaging means such as a CCD camera, and processes the image captured by the imaging means to calculate the exact position and angle of the cap 15 and the entrance 11, thereby producing a multi-axis robot 30. ) can be used to control the position and posture. In particular, the drum container 10 may be deformed depending on the external environment such as internal pressure or temperature, and long-term use, and as a result, the upper surface of the drum container 10 may not be horizontal, causing the cap 15 or the inlet 11 to be damaged. may be inclined. In this case, the vision unit 39 calculates the exact position and inclination of the cap 15 or the inlet 11, and finely controls the position or gripping angle of the gripper 33 to control the cap 15 or the coupler 40. ) can be attached and detached smoothly. In addition, the vision unit 39 may also serve as a code reader that reads the above-described unique code 13 printed or attached to the upper surface of the drum container 10.

이상과 같이 커플러(40)가 드럼 용기(10)의 입구(11)에 결합되면, 시스템은 커플러(40)를 통해 드럼 용기(10)의 케미컬을 흡입 배출하여 케미컬의 사용처로 공급하거나 반대로 드럼 용기(10)에 케미컬을 주입 충전하는 케미컬 이송 작업을 실시할 수 있다.When the coupler 40 is coupled to the inlet 11 of the drum container 10 as described above, the system inhales and discharges the chemicals in the drum container 10 through the coupler 40 and supplies them to the place of use or, conversely, inhales and discharges the chemicals from the drum container 10. Chemical transfer work can be performed by injecting and charging chemicals into (10).

케미컬의 이송 작업이 완료되면 드럼 용기(10)의 입구(11)에 결합된 커플러(40)를 분리하고 입구(11)에 캡(15)을 결합한다. 커플러(40)의 분리와 캡(15)의 결합 작업은 도 5를 참조하여 설명한 캡(15)의 분리와 커플러(40)의 결합 작업의 역순으로 수행하면 되므로 상세한 설명은 생략한다.When the chemical transfer operation is completed, the coupler 40 coupled to the inlet 11 of the drum container 10 is separated and the cap 15 is coupled to the inlet 11. Since the separation of the coupler 40 and the assembly of the cap 15 can be performed in the reverse order of the operations of separating the cap 15 and the assembly of the coupler 40 described with reference to FIG. 5, detailed descriptions will be omitted.

한편, 본 실시예에서 드럼 용기(10)의 입구(11)는 암나사로 이루어지고 캡(15)과 커플러 소켓(45)은 수나사로 이루어져 캡(15)과 커플러 소켓(45)의 외주면이 입구(11)의 내주면에 나사결합하는 것으로 도시하고 설명하였지만, 이들의 암수 결합관계는 반대가 될 수도 있다.Meanwhile, in this embodiment, the inlet 11 of the drum container 10 is made of female threads, and the cap 15 and the coupler socket 45 are made of male threads, so that the outer peripheral surface of the cap 15 and the coupler socket 45 is the inlet ( Although it is shown and explained as being screwed to the inner peripheral surface of 11), their male-female coupling relationship may be reversed.

나아가, 본 실시예에서 커플러 소켓(45)은 케미컬을 이송할 때마다 드럼 용기(10)의 입구(11)에 착탈되는 것으로 도시하고 설명하였지만, 커플러 소켓(45)은 드럼 용기(10)의 입구(11)에 고정적으로 결합되어 있을 수 있다. 이 경우, 케미컬의 이송을 위해 커플러(40)를 드럼 용기(10)의 입구(11)에 결합할 때는, 드럼 용기(10)의 입구(11)에서 캡(15)을 분리하고(도 5의 (a) 참조), 입구(11)에 결합되어 있는 커플러 소켓(45)에 커플러 헤드(41)를 결합하는 작업(도 5의 (c) 참조)만을 수행하면 된다.Furthermore, in this embodiment, the coupler socket 45 is shown and described as being attached to and detached from the inlet 11 of the drum container 10 each time chemicals are transferred, but the coupler socket 45 is attached to the inlet 11 of the drum container 10. It may be fixedly coupled to (11). In this case, when coupling the coupler 40 to the inlet 11 of the drum container 10 for chemical transfer, remove the cap 15 from the inlet 11 of the drum container 10 (see Figure 5). (a)), the operation of coupling the coupler head 41 to the coupler socket 45 coupled to the inlet 11 (see (c) of FIG. 5) is sufficient.

도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 커플러(40')의 분해 사시도(a) 및 단면도(b)이고, 도 7은 도 6에 도시된 커플러(40')를 파지한 상태의 다축 로봇(30)의 일부를 도시한 사시도이다. Figure 6 is an exploded perspective view (a) and cross-sectional view (b) of the coupler 40' according to another embodiment of the present invention, and Figure 7 is a multi-axis robot in a state holding the coupler 40' shown in Figure 6 ( This is a perspective view showing part of 30).

도 6 및 도 7을 참조하여, 다른 실시예에 따른 커플러(40') 및 그립퍼(33')에 대해 설명한다. 도 6 및 도 7에서 도 3 내지 도 5와 동일한 참조부호는 전술한 실시예에 따른 커플러(40) 및 그립퍼(33)와 동일한 구성을 의미하므로 그 상세한 설명은 생략하고, 이하에서는 전술한 실시예와 다른 점을 중심으로 설명한다. 한편, 도 7에서는 비전 유닛(39, 도 3 참조)의 도시를 생략하였지만, 본 실시예의 시스템(그립퍼(33'))에도 마찬가지의 비전 유닛이 마련될 수 있다.With reference to FIGS. 6 and 7 , a coupler 40' and a gripper 33' according to another embodiment will be described. In FIGS. 6 and 7, the same reference numerals as those in FIGS. 3 to 5 indicate the same configuration as the coupler 40 and the gripper 33 according to the above-described embodiment, so detailed description thereof is omitted, and hereinafter, the above-described embodiment The explanation will focus on the differences. Meanwhile, although the vision unit 39 (see FIG. 3) is omitted in FIG. 7, a similar vision unit may be provided in the system (gripper 33') of this embodiment.

본 실시예의 커플러(40')는 전술한 실시예의 커플러(40)와 마찬가지로, 커플러 헤드(41'), 딥 튜브(43') 및 커플러 소켓(45')을 포함한다. 본 실시예의 커플러 헤드(41'), 딥 튜브(43') 및 커플러 소켓(45')은 전술한 실시예의 커플러 헤드(41), 딥 튜브(43) 및 커플러 소켓(45)과 유사하나, 이들간의 결합 관계가 다르다.The coupler 40' of this embodiment, like the coupler 40 of the above-described embodiment, includes a coupler head 41', a dip tube 43', and a coupler socket 45'. The coupler head 41', dip tube 43', and coupler socket 45' of this embodiment are similar to the coupler head 41, dip tube 43, and coupler socket 45 of the above-described embodiment, but these The bonding relationship between them is different.

구체적으로, 먼저 커플러 헤드(41')는 커플러 소켓(45')의 중공에 커플러 소켓(45')과 상대적으로 회전가능하게 결합된다. 이를 위해, 커플러 헤드(41')의 하부 외주면에는 복수개의 볼 플런저(41p)가 마련되고, 커플러 소켓(45')의 중공 내주면에는 볼 플런저(41p)에 대응되는 위치에 오목홈(45p)이 마련되어, 커플러 헤드(41')를 커플러 소켓(45')의 중공에 삽입하면 볼 플런저(41p)가 오목홈(45p)에 안착하여 커플러 헤드(41')와 커플러 소켓(45')은 상대 회전가능하게 된다. 여기서, 볼 플런저(41p)와 오목홈(45p)의 배치는 서로 바뀔 수 있다. 즉, 커플러 소켓(45')의 중공 내주면에 볼 플런저가 배치되고, 커플러 헤드(41')의 하부 외주면에 오목홈이 형성될 수 있다.Specifically, first, the coupler head 41' is rotatably coupled to the coupler socket 45' in the hollow of the coupler socket 45'. For this purpose, a plurality of ball plungers 41p are provided on the lower outer peripheral surface of the coupler head 41', and a concave groove 45p is provided on the hollow inner peripheral surface of the coupler socket 45' at a position corresponding to the ball plunger 41p. Provided, when the coupler head 41' is inserted into the hollow of the coupler socket 45', the ball plunger 41p is seated in the concave groove 45p, and the coupler head 41' and the coupler socket 45' rotate relative to each other. It becomes possible. Here, the arrangement of the ball plunger 41p and the concave groove 45p can be changed. That is, a ball plunger may be disposed on the hollow inner peripheral surface of the coupler socket 45', and a concave groove may be formed on the lower outer peripheral surface of the coupler head 41'.

또한, 전술한 실시예에서 커플러 소켓(45)의 상부는 각형의 외주면을 가졌으나, 본 실시예에서 커플러 소켓(45')의 상부 외주면은 원형으로 이루어지고, 이 외주면에는 커플러 소켓(45')을 커플러 헤드(41')에 대해 상대 회전시키기 위한 기어(45t)가 형성된다.In addition, in the above-described embodiment, the upper part of the coupler socket 45 had a square outer peripheral surface, but in this embodiment, the upper outer peripheral surface of the coupler socket 45' is circular, and the coupler socket 45' is formed on this outer peripheral surface. A gear 45t is formed to rotate relative to the coupler head 41'.

또한, 전술한 실시예에서는 딥 튜브(43)가 케미컬 유로(41a)와 연통되도록, 예컨대 나사결합에 의해 커플러 헤드(41)에 분리가능하게 결합되었지만, 본 실시예서는 딥 튜브(43')가 커플러 헤드(41')의 케미컬 유로(41a)와 연통되도록 커플러 소켓(45')에 일체 성형된다. 물론, 본 실시예에서 딥 튜브(43')는 커플러 소켓(45')에 분리가능하게 결합될 수 있고, 나아가 전술한 실시예와 같이 커플러 헤드(41')에 결합될 수도 있다.In addition, in the above-described embodiment, the dip tube 43 is detachably coupled to the coupler head 41, for example, by screwing, so as to communicate with the chemical flow path 41a, but in the present embodiment, the dip tube 43' is It is integrally molded into the coupler socket 45' so as to communicate with the chemical flow path 41a of the coupler head 41'. Of course, in this embodiment, the dip tube 43' may be detachably coupled to the coupler socket 45', and further may be coupled to the coupler head 41' as in the above-described embodiment.

한편, 도 7을 참조하면, 본 실시예의 그립퍼(33')는 전술한 실시예에서의 그립퍼(33)에 비해, 커플러 소켓(45')을 회전시킬 수 있는 구성을 더 가진다. 구체적으로, 본 실시예의 그립퍼(33')의 하부에는 한 쌍의 핑거(33a)로 커플러(40')(커플러 헤드(41'))를 파지하였을 때 커플러 소켓(45')의 상부 외주면에 형성된 기어(45t)와 맞물리는 기어(33t)가 마련되고, 그립퍼(33')의 내부에는 이 기어(33t)를 회전구동하는 모터가 내장되어 있다. 따라서, 그립퍼(33')로 커플러 소켓(45')이 결합된 커플러 헤드(41')를 파지한 채로, 커플러 소켓(45')만을 회전시킴으로써 커플러(40')를 드럼 용기(10)의 입구(11)에 결합할 수 있다. 즉, 본 실시예에 따르면, 그립퍼(33')로 드럼 용기(10)의 입구(11)에 체결된 캡(15)을 분리하고(도 5의 (a) 참조), 커플러 소켓(45'), 딥 튜브(43') 및 커플러 헤드(41')가 결합된 상태로 한 번에 커플러(40')를 드럼 용기(10)의 입구(11)에 결합할 수 있다.Meanwhile, referring to FIG. 7, the gripper 33' of the present embodiment further has a configuration capable of rotating the coupler socket 45' compared to the gripper 33 in the above-described embodiment. Specifically, in the lower part of the gripper 33' of this embodiment, when the coupler 40' (coupler head 41') is gripped by a pair of fingers 33a, a groove is formed on the upper outer peripheral surface of the coupler socket 45'. A gear 33t that meshes with the gear 45t is provided, and a motor that rotates the gear 33t is built into the gripper 33'. Therefore, while gripping the coupler head 41' to which the coupler socket 45' is coupled with the gripper 33', the coupler 40' is moved to the inlet of the drum container 10 by rotating only the coupler socket 45'. It can be combined with (11). That is, according to this embodiment, the cap 15 fastened to the inlet 11 of the drum container 10 is separated with the gripper 33' (see (a) of FIG. 5), and the coupler socket 45' is connected. , the coupler 40' can be coupled to the inlet 11 of the drum container 10 at once while the dip tube 43' and the coupler head 41' are combined.

본 실시형태에에서 커플러 헤드(41, 41')에는 플렉시블한 케미컬 배관(42a), 기체 배관(42b) 및/또는 순환 배관(42c)이 연결되고, 이들 배관(42a, 42b, 42c)은 커플러(40, 40')를 드럼 용기(10)의 입구(11)에 착탈할 때 커플러 헤드(41, 41')와 함께 움직이게 된다. 특히, 커플러(40, 40')가 딥 튜브(43, 43')를 포함하는 경우에 이 배관(42a, 42b, 42c)의 상하 이동범위는 딥 튜브(43, 43')의 길이 이상이 된다. 이에, 본 실시형태의 시스템은 커플러(40, 40')의 이동에 의해 움직이는 이 배관(42a, 42b, 42c)을 지탱하며 슬라이딩하는 배관 지지 유닛(50, 도 2 및 도 8 참조)을 더 포함할 수 있다.In this embodiment, a flexible chemical pipe (42a), a gas pipe (42b), and/or a circulation pipe (42c) are connected to the coupler heads (41, 41'), and these pipes (42a, 42b, 42c) are connected to the coupler head (41, 41'). When (40, 40') is attached to or detached from the inlet (11) of the drum container (10), it moves together with the coupler head (41, 41'). In particular, when the couplers (40, 40') include dip tubes (43, 43'), the vertical movement range of the pipes (42a, 42b, 42c) is longer than the length of the dip tubes (43, 43'). . Accordingly, the system of the present embodiment further includes a pipe support unit 50 (see FIGS. 2 and 8) that slides while supporting the pipes 42a, 42b, and 42c moving by the movement of the couplers 40 and 40'. can do.

배관 지지 유닛(50)은, 도 8에 도시된 바와 같이, 적어도 배관(42a, 42b, 42c)의 상하 이동범위 이상의 길이를 가지고 하우징(20) 내부에 고정된 가이드 레일(53)과, 배관(42a, 42b, 42c)을 지탱하며 가이드 레일(53)을 따라 상하로 슬라이딩하는 슬라이딩 블록(51)을 포함할 수 있다. 슬라이딩 블록(51)은 별도의 동력 없이 커플러(40, 40')의 상하 이동을 추종하여 상하로 슬라이딩 하도록 구성될 수 있고, 별도의 동력(예컨대, 리니어 모터, 모터 및 랙과 피니언 기어, 또는 에어 실린더 등)에 의해 구동되어 커플러(40, 40')의 높이와 연동하여 자동으로 슬라이딩 하도록 구성될 수도 있다.As shown in FIG. 8, the pipe support unit 50 includes a guide rail 53 fixed inside the housing 20 and a pipe ( It may include a sliding block 51 that supports 42a, 42b, 42c) and slides up and down along the guide rail 53. The sliding block 51 may be configured to slide up and down by following the vertical movement of the couplers 40, 40' without separate power, and may be configured to slide up and down without separate power (e.g., linear motor, motor, rack and pinion gear, or air). It may be driven by a cylinder, etc.) and configured to automatically slide in conjunction with the height of the coupler (40, 40').

또한, 배관 지지 유닛(50)은 슬라이딩 블록(51)에 결합된 배관 지탱 부재(52)를 더 포함할 수 있다. 배관 지탱 부재(52)에는 배관공(52a, 52b, 52c)이 형성되어 있어 각각의 배관(42a, 42b, 42c)이 삽입될 수 있다. 이때, 배관공(52a, 52b, 52c)은 배관공(52a, 52b, 52c)에 삽입된 배관(42a, 42b, 42c)이 어느 정도 움직일 수 있도록 그 내경이 배관(42a, 42b, 42c)의 외경보다 약간 크게 형성되는 것이 바람직하다. 또한, 배관 지탱 부재(52)는 슬라이딩 블록(51)의 표면이 이루는 평면상에서 360도 회동가능하게(도 8의 화살표 r 참조) 결합되는 것이 바람직하다.Additionally, the pipe support unit 50 may further include a pipe support member 52 coupled to the sliding block 51 . Plumbing holes 52a, 52b, and 52c are formed in the pipe support member 52, so that the respective pipes 42a, 42b, and 42c can be inserted. At this time, the inner diameter of the plumbers 52a, 52b, 52c is larger than the outer diameter of the pipes 42a, 42b, 42c so that the pipes 42a, 42b, 42c inserted into the plumbers 52a, 52b, 52c can move to some extent. It is desirable to form it slightly larger. In addition, it is preferable that the pipe support member 52 is rotatable 360 degrees on the plane formed by the surface of the sliding block 51 (see arrow r in FIG. 8).

이러한 배관 지지 유닛(50)을 구비함으로써 커플러(40, 40')의 착탈 동작에 따라 배관(42a, 42b, 42c)이 꺾여 접히거나 꼬이는 등의 문제를 방지할 수 있다.By providing such a pipe support unit 50, it is possible to prevent problems such as the pipes 42a, 42b, and 42c being bent or twisted when the couplers 40 and 40' are attached and detached.

또한, 본 실시형태에 따른 시스템에서는, 전술한 바와 같이 드럼 용기(10)의 입구(11)에서 분리된 커플러(40, 40')를 커플러 보관 유닛(60, 도 9 참조)에 거치하여 보관할 수 있다. 특히, 커플러(40, 40')가 딥 튜브(43, 43')를 포함하는 경우에 커플러 보관 유닛(60)은 딥 튜브(43, 43')를 포함한 커플러(40, 40')를 보관할 수 있으며, 나아가 커플러 보관 유닛(60)은 커플러(40, 40')에 세정수를 분사하여 세정하는 세정기능을 구비할 수 있다. 즉, 커플러 보관 유닛(60)은 커플러 세정 유닛을 겸할 수 있다.Additionally, in the system according to the present embodiment, the couplers 40 and 40' separated from the inlet 11 of the drum container 10, as described above, can be stored by mounting them on the coupler storage unit 60 (see FIG. 9). there is. In particular, when the couplers 40, 40' include dip tubes 43, 43', the coupler storage unit 60 can store the couplers 40, 40' including the dip tubes 43, 43'. Furthermore, the coupler storage unit 60 may be provided with a cleaning function that cleans the couplers 40 and 40' by spraying cleaning water. That is, the coupler storage unit 60 can also serve as a coupler cleaning unit.

커플러 보관 유닛 겸 커플러 세정 유닛(60)은, 그 전면 절개 사시도인 도 10을 참조하면, 세정 챔버(61)와 노즐(63a)을 포함할 수 있다. 구체적으로, 세정 챔버(61)는 커플러(40, 40')의 딥 튜브(43, 43')를 수용하는 내부 공간을 가지고, 상부에는 딥 튜브(43, 43')가 상기 내부 공간으로 드리워지게 커플러 헤드(41, 41')를 거치하는 커플러 거치구가 형성되어 있으며, 하부에는 배수구(67)가 형성되어 있다. 노즐(63a)은 딥 튜브(43, 43')와 평행하게 상기 내부 공간에 드리워진 세정수 공급관(63)의 딥 튜브(43, 43')의 외면과 대향하는 쪽에 다수개가 형성되어 있다.Referring to FIG. 10 , which is a front cutaway perspective view, the coupler storage unit and coupler cleaning unit 60 may include a cleaning chamber 61 and a nozzle 63a. Specifically, the cleaning chamber 61 has an internal space for accommodating the dip tubes 43 and 43' of the couplers 40 and 40', and the dip tubes 43 and 43' at the top are draped into the internal space. A coupler holder is formed to hold the coupler heads 41 and 41', and a drain hole 67 is formed at the bottom. A plurality of nozzles 63a are formed on the side opposite to the outer surface of the dip tubes 43 and 43' of the washing water supply pipe 63 hanging in the inner space in parallel with the dip tubes 43 and 43'.

따라서, 세정수 공급관(63)으로 세정수, 예컨대 순수를 공급하면 노즐(63a)을 통해 세정수가 딥 튜브(43, 43')를 향해 분사되어 딥 튜브(43, 43')의 외면을 세정할 수 있다. 또한, 이때 케미컬 배관(42a, 도 2 참조)를 통해 커플러 거치구에 거치된 커플러 헤드(41, 41')의 케미컬 유로(41a, 도 4 및 도 6 참조)로도 세정수를 공급하여 케미컬 유로(41a) 및 이에 연통된 딥 튜브(43, 43')의 내면도 동시에 세정할 수 있다. 나아가, 커플러 헤드(41, 41')가 케미컬 순환 유로(41c)를 가지는 경우에는 순환 배관(42c)으로도 세정수를 공급하여 케미컬 순환 유로(41c)도 동시에 세정할 수 있다. 또한, 커플러(40, 40')의 세정이 완료되면, 세정수를 공급했던 세정수 공급관(63), 케미컬 배관(42a) 및/또는 순환 배관(42c)으로, 또는 기체 배관(42b)으로 건조 공기 또는 건조 질소를 공급하여 커플러(40, 40')를 건조시킬 수 있다.Therefore, when washing water, such as pure water, is supplied to the washing water supply pipe 63, the washing water is sprayed toward the dip tubes 43 and 43' through the nozzle 63a to clean the outer surface of the dip tubes 43 and 43'. You can. In addition, at this time, washing water is supplied to the chemical flow path (41a, see Figures 4 and 6) of the coupler head (41, 41') mounted on the coupler holder through the chemical pipe (42a, see Figure 2) to create a chemical flow path ( The inner surfaces of 41a) and the dip tubes 43 and 43' connected thereto can also be cleaned at the same time. Furthermore, when the coupler heads 41 and 41' have a chemical circulation passage 41c, the chemical circulation passage 41c can be cleaned at the same time by supplying cleaning water through the circulation pipe 42c. In addition, when cleaning of the couplers 40, 40' is completed, drying is performed using the cleaning water supply pipe 63, the chemical pipe 42a and/or the circulation pipe 42c, or the gas pipe 42b that supplied the washing water. The couplers 40 and 40' can be dried by supplying air or dry nitrogen.

한편, 커플러 거치구에 커플러(40, 40')를 거치/분리하는 것은 다축 로봇(30)에 의해 커플러(40, 40')를 드럼 용기(10)의 입구(11)에 착탈하는 것과 동일한 방식으로 수행될 수 있다. Meanwhile, mounting/dismounting the couplers (40, 40') on the coupler holder is the same as attaching/detaching the couplers (40, 40') to the inlet (11) of the drum container (10) using the multi-axis robot (30). It can be performed as:

구체적으로, 커플러가 도 3 및 도 4를 참조하여 설명한 실시예의 커플러(40)인 경우에는, 커플러 거치구에 전술한 커플러 소켓(45)과 동일한 구조의 거치용 소켓(65)이 결합되어 있고, 다축 로봇(30)(그립퍼(33))은 도 5의 (c)를 참조하여 설명한 것과 동일한 방식으로, 커플러 소켓(45)을 제외하고 딥 튜브(43)가 결합된 커플러 헤드(41)를 파지하여 거치용 소켓(65)에 결합함으로써 딥 튜브(43)가 결합된 커플러 헤드(41)를 커플러 거치구에 거치할 수 있다.Specifically, when the coupler is the coupler 40 of the embodiment described with reference to FIGS. 3 and 4, a mounting socket 65 having the same structure as the coupler socket 45 described above is coupled to the coupler holder, The multi-axis robot 30 (gripper 33) grips the coupler head 41 to which the dip tube 43 is coupled in the same manner as described with reference to (c) of FIG. 5, except for the coupler socket 45. By coupling it to the mounting socket 65, the coupler head 41 to which the dip tube 43 is coupled can be mounted on the coupler holder.

또한, 커플러가 도 6 및 도 7을 참조하여 설명한 실시예의 커플러(40')인 경우에는, 커플러 거치구가 드럼 용기(10)의 입구(11)와 동일한 구조로 이루어지고, 다축 로봇(30)(그립퍼(33'))은 도 7을 참조하여 설명한 것과 동일한 방식으로, 커플러 소켓(45')과 딥 튜브(43')가 결합된 커플러 헤드(41')를 파지하고 커플러 소켓(45')만을 회전시켜 커플러 거치구에 결합함으로써 커플러 소켓(45')과 딥 튜브(43')가 결합된 커플러 헤드(41')를 커플러 거치구에 거치할 수 있다.In addition, when the coupler is the coupler 40' of the embodiment described with reference to FIGS. 6 and 7, the coupler holder has the same structure as the inlet 11 of the drum container 10, and the multi-axis robot 30 (Gripper 33') grips the coupler head 41' to which the coupler socket 45' and the dip tube 43' are combined in the same manner as described with reference to FIG. 7 and grips the coupler socket 45'. By rotating the bay and coupling it to the coupler holder, the coupler head 41', in which the coupler socket 45' and the dip tube 43' are combined, can be mounted on the coupler holder.

이와 같이, 본 실시형태에 따른 시스템은 커플러 보관 겸 세정 유닛(60)을 구비하여 커플러(40, 40')를 세정함으로써 커플러(40, 40') 내외부에 케미컬이 고착되는 것을 방지할 수 있다.As such, the system according to this embodiment can prevent chemicals from sticking to the inside and outside of the couplers (40, 40') by cleaning the couplers (40, 40') by providing a coupler storage and cleaning unit (60).

한편, 본 실시형태에 따른 시스템은 여분의 커플러 보관 유닛(커플러 세정 유닛)(60', 도 2 참조)을 더 포함할 수 있다. 이 여분의 커플러 보관 유닛(60')은 본래의 커플러 보관 유닛(60)의 청소 등 유지보수시에 본래의 커플러 보관 유닛(60)을 대체할 수 있다. 또는, 전술한 바와 같이 커플러(40, 40')가 드럼 용기(10)에 충전된 또는 충전될 케미컬의 종류에 따라 구분되어 사용하는 경우, 여분의 커플러 보관 유닛(60')은 케미컬의 종류에 따라 다른 커플러(40, 40')를 보관 및/또는 세정할 수 있다. 이 경우, 도 2에는 도시하지 않았으나, 여분의 커플러 보관 유닛(60')에는 대응되는 다른 커플러(40, 40')가 보관되고, 각 커플러(40, 40')별로 전술한 배관(42a, 42b, 42c)이 연결되어 다른 케미컬의 사용처 또는 공급처와 유체 연결되어 있고, 각 커플러(40, 40')별로 배관 지지 유닛(50)이 부가될 수 있다. 이 경우, 하나의 시스템(하나의 다축 로봇)으로 복수 종류의 케미컬 이송 작업을 수행할 수 있다.Meanwhile, the system according to this embodiment may further include an extra coupler storage unit (coupler cleaning unit) 60' (see FIG. 2). This extra coupler storage unit 60' can replace the original coupler storage unit 60 during maintenance such as cleaning of the original coupler storage unit 60. Alternatively, as described above, when the couplers 40 and 40' are used separately according to the type of chemical filled or to be filled in the drum container 10, the extra coupler storage unit 60' is stored according to the type of chemical. Accordingly, other couplers 40 and 40' may be stored and/or cleaned. In this case, although not shown in Figure 2, other corresponding couplers (40, 40') are stored in the spare coupler storage unit (60'), and the above-described pipes (42a, 42b) for each coupler (40, 40') , 42c) is connected and fluidly connected to a place of use or supply of other chemicals, and a piping support unit 50 may be added to each coupler (40, 40'). In this case, multiple types of chemical transfer tasks can be performed with one system (one multi-axis robot).

본 실시형태의 시스템에서는 케미컬의 이송이 완료된 후 커플러(40, 40')를 드럼 용기(10)의 입구(11)에서 분리하여 커플러 보관 유닛(60)으로 이동하는 과정에서 커플러(40, 40')(딥 튜브(43, 43'))에서 케미컬이 낙하하여 하우징(20) 내부를 오염시킬 수 있다. 이에, 본 실시형태의 시스템은 딥 튜브(43, 43')로부터 낙하하는 케미컬 잔액을 받는 잔액 받이(70, 도 2 참조)를 더 포함할 수 있다.In the system of this embodiment, after the transfer of chemicals is completed, the couplers (40, 40') are separated from the inlet (11) of the drum container (10) and moved to the coupler storage unit (60). ) (Chemicals may fall from the dip tubes 43, 43') and contaminate the inside of the housing 20. Accordingly, the system of this embodiment may further include a balance receiver 70 (see FIG. 2) that receives the chemical balance falling from the dip tubes 43 and 43'.

잔액 받이(70)는, 도 2 및 도 9를 참조하면, 드럼 용기(10)의 입구(11)와 커플러 보관 유닛(60) 간의 커플러(40, 40')의 이동 경로에, 드럼 용기(10)의 입구(11)에서 분리되어 최대로 상승한 딥 튜브(43, 43')의 하단과 드럼 용기(10)의 상단 사이의 높이에 배치된다. Referring to FIGS. 2 and 9, the balance receiver 70 is located on the movement path of the couplers 40 and 40' between the inlet 11 of the drum container 10 and the coupler storage unit 60. ) is separated from the inlet 11 and is placed at a height between the bottom of the maximally raised dip tubes 43 and 43' and the top of the drum container 10.

구체적으로, 잔액 받이(70)는, 도 9 및 도 11을 참조하면, 평면 형상이 대략 'ㄴ'자 형상의 쟁반으로 이루어지고, 에어 실린더 등의 진퇴 구동수단(75)에 의해 수평방향으로 드럼 용기(10)를 향해 진퇴가능하게 구성된다(도 11의 화살표 c 참조). 따라서, 다축 로봇(30)이 커플러(40, 40')를 드럼 용기(10)의 입구(11)에서 분리하여 상승시킨 다음, 진퇴 구동수단(75)으로 잔액 받이(70)를 드럼 용기(10) 위로 전진시키면, 잔액 받이(70)는 드럼 용기(10)의 입구(11)와 커플러 보관 유닛(60)의 커플러 거치구를 가리게 되고, 그 위에 위치하는 딥 튜브(43, 43')로부터 낙하할 수 있는 케미컬 잔액을 받을 수 있게 된다. 이 상태에서 다축 로봇(30)이 커플러(40, 40')를 커플러 보관 유닛(60)의 커플러 거치구 위로 수평이동하면, 잔액 받이(70)는 진퇴 구동수단(75)에 의해 원래의 위치로 후퇴한다. 그러면, 잔액 받이(70)에 의해 가려졌던 커플러 보관 유닛(60)의 커플러 거치구가 노출되고, 다축 로봇(30)은 커플러(40, 40')를 하강시켜 커플러 보관 유닛(60)의 커플러 거치구에 삽입하여 거치한다. 이때, 도면에는 도시하지 않았지만, 다축 로봇(30)이 커플러(40, 40')를 커플러 보관 유닛(60)의 커플러 거치구에 거치할 때 잔액 받이(70)가 방해되지 않도록 잔액 받이(70)를 하강시키는 에어 실린더와 같은 잔액 받이 승강수단을 더 구비할 수도 있다.Specifically, referring to FIGS. 9 and 11, the balance receiver 70 is made of a tray with a planar shape of approximately 'ㄴ' shape, and is moved horizontally by a drum in the horizontal direction by a forward and backward driving means 75 such as an air cylinder. It is configured to be able to advance and retreat toward the container 10 (see arrow c in FIG. 11). Therefore, the multi-axis robot 30 separates the couplers 40 and 40' from the inlet 11 of the drum container 10 and raises them, and then moves the balance receiver 70 to the drum container 10 using the forward and backward driving means 75. ) When advanced upward, the balance receiver 70 covers the inlet 11 of the drum container 10 and the coupler holder of the coupler storage unit 60, and falls from the dip tubes 43 and 43' located above it. You will be able to receive the chemical balance you can. In this state, when the multi-axis robot 30 horizontally moves the couplers 40 and 40' onto the coupler holder of the coupler storage unit 60, the balance receiver 70 is returned to its original position by the forward and backward drive means 75. retreat. Then, the coupler holder of the coupler storage unit 60, which was covered by the balance receiver 70, is exposed, and the multi-axis robot 30 lowers the couplers 40 and 40' to mount the coupler of the coupler storage unit 60. Insert it into the sphere and place it. At this time, although not shown in the drawing, when the multi-axis robot 30 places the couplers 40 and 40' on the coupler holder of the coupler storage unit 60, the balance receiver 70 is installed so that the balance receiver 70 is not disturbed. It may also be further provided with balance receiving lifting means such as an air cylinder that lowers.

또한, 잔액 받이(70)는 경사진 쟁반 형태를 가지고, 가장 낮은 곳에 배수구(71)를 구비하여 받은 케미컬 잔액을 배수할 수 있다. 또한, 잔액 받이(70)에 케미컬이 고착되는 것을 방지하기 위해, 세정수 공급관(73) 및 노즐(73a)을 통해 세정수를 잔액 받이(70) 바닥에 분사하여 케미컬 잔액을 원활하게 배수하도록 할 수 있다.In addition, the balance receiver 70 has an inclined tray shape and is provided with a drain 71 at the lowest position to drain the received chemical balance. In addition, in order to prevent chemicals from sticking to the balance receiver 70, the chemical balance can be drained smoothly by spraying washing water on the bottom of the balance receiver 70 through the washing water supply pipe 73 and the nozzle 73a. You can.

한편, 본 실시형태의 시스템에서 다축 로봇(30)에 의해 커플러(40, 40')의 착탈이 원활하게 이루어지기 위해서는, 드럼 용기(10)의 입구(11)가 미리 정해진 위치에 위치하도록 드럼 용기(10)를 정렬할 필요가 있다. 이를 위해 본 실시형태의 시스템은, 드럼 탑재대, 드럼 가이드 유닛, 드럼 회전 유닛 및/또는 드럼 정렬 유닛을 더 포함할 수 있다. 이하, 도 12를 참조하여 드럼 탑재대(81), 드럼 가이드 유닛(83), 드럼 회전 유닛(85) 및 드럼 정렬 유닛(90)에 대해 설명한다.Meanwhile, in order to smoothly attach and detach the couplers 40 and 40' by the multi-axis robot 30 in the system of this embodiment, the drum container 10 is installed so that the inlet 11 of the drum container 10 is located at a predetermined position. (10) needs to be sorted. To this end, the system of this embodiment may further include a drum mount, a drum guide unit, a drum rotation unit, and/or a drum alignment unit. Hereinafter, the drum mount 81, drum guide unit 83, drum rotation unit 85, and drum alignment unit 90 will be described with reference to FIG. 12.

드럼 탑재대(81)는 드럼 용기(10)의 하면보다 약간 더 큰 면적을 가지는 편평한 좌대의 형태로 이루어질 수 있다. 드럼 탑재대(81)의 상면에는 일부가 돌출된 다수의 볼 롤러(82)가 배치되어 있다. 따라서, 드럼 용기(10)는 드럼 탑재대(81) 상에서 임의의 수평방향으로 이동 및 회전이 가능하다. The drum mount 81 may be in the form of a flat seat with an area slightly larger than the lower surface of the drum container 10. A plurality of ball rollers 82, some of which protrude, are disposed on the upper surface of the drum mount 81. Accordingly, the drum container 10 can move and rotate in any horizontal direction on the drum mount 81.

드럼 가이드 유닛(83)은 드럼 용기(10)의 외주면을 감싸 지지하는 구성요소로서, 로터리 실린더나 모터 및 필요한 동력전달기구를 포함하는 회동수단(83a)에 의해 벌려지거나 오므려지는 가이드 바(83b)와, 가이드 바(83b)에 회전가능하게 결합되어 드럼 용기(10)의 외주면에 접촉하는 아이들 롤러(83c)를 포함할 수 있다. 여기서, 가이드 바(83b)는 선단부가 오므려짐으로써 드럼 탑재대(81)에 탑재되는 드럼 용기(10)를 드럼 회전 유닛(85) 쪽으로 인입하고, 선단부가 벌려짐으로써 후단부가 오므려져 드럼 용기(10)를 드럼 회전 유닛(85)에서 멀어지는 쪽으로 밀어 배출하도록 구성될 수 있다.The drum guide unit 83 is a component that surrounds and supports the outer peripheral surface of the drum container 10, and is a guide bar (83b) that is opened or retracted by a rotating means (83a) including a rotary cylinder, a motor, and the necessary power transmission mechanism. ) and an idle roller (83c) that is rotatably coupled to the guide bar (83b) and contacts the outer peripheral surface of the drum container (10). Here, the leading end of the guide bar 83b is retracted to allow the drum container 10 mounted on the drum mount 81 to be drawn toward the drum rotation unit 85, and the front end is opened to retract the rear end to retract the drum container ( 10) may be configured to be discharged by pushing it away from the drum rotation unit 85.

드럼 회전 유닛(85)은 드럼 가이드 유닛(83)에 의해 지지되는 드럼 용기(10)의 외주면에 밀착되고 내장된 모터에 의해 회전함으로써 드럼 용기(10)를 수직방향 중심축을 중심으로 회전시키는 구동 롤러로 이루어질 수 있다.The drum rotation unit 85 is a drive roller that is in close contact with the outer peripheral surface of the drum container 10 supported by the drum guide unit 83 and rotates by a built-in motor to rotate the drum container 10 about the vertical central axis. It can be done with

드럼 정렬 유닛(90)은 드럼 회전 유닛(85)에 의해 회전하는 드럼 용기(10)의 입구(11)를 감지하여 드럼 용기(10)의 입구(11)가 미리 정해진 위치에 도달하면 드럼 회전 유닛(85)을 정지시키는 구성요소로서, 회동바(91)와, 회동바(91)를 승강시키는(화살표 d 참조) 에어 실린더와 같은 승강수단(97)과, 회동바(91)를 회동축(A1)을 중심으로 회동시키는(화살표 e 참조) 모터나 로터리 실린더와 같은 회동수단(99)을 포함할 수 있다. 회동바(91)의 선단에는 드럼 용기(10)의 입구(11)의 외경과 대략 동일하거나 약간 큰 내경을 가지는 반원형의 스토퍼(93)와, 스토퍼(93)의 대략 중앙에서 돌출되어 드럼 용기(10)의 입구(11) 외주면이 접촉되면 이를 감지하는 접촉 센서(95)가 마련될 수 있다.The drum alignment unit 90 detects the inlet 11 of the drum container 10 rotated by the drum rotation unit 85, and when the inlet 11 of the drum container 10 reaches a predetermined position, the drum rotation unit 85 As a component for stopping (85), a rotating bar 91, a lifting means 97 such as an air cylinder that elevates and lowers the rotating bar 91 (see arrow d), and a rotating shaft ( It may include a rotation means 99 such as a motor or rotary cylinder that rotates around A1) (see arrow e). At the tip of the rotating bar 91, there is a semicircular stopper 93 having an inner diameter that is approximately equal to or slightly larger than the outer diameter of the inlet 11 of the drum container 10, and a semicircular stopper 93 that protrudes from approximately the center of the stopper 93 to form a drum container ( A contact sensor 95 may be provided to detect when the outer peripheral surface of the inlet 11 of 10) is contacted.

이와 같이 구성되는 드럼 가이드 유닛(83), 드럼 회전 유닛(85) 및 드럼 정렬 유닛(90)에 의한 드럼 용기(10)의 인입, 정렬 및 배출 동작에 대해 설명한다.The insertion, alignment, and discharge operations of the drum container 10 by the drum guide unit 83, drum rotation unit 85, and drum alignment unit 90 configured as described above will be described.

먼저, 드럼 가이드 유닛(83)의 가이드 바(83b)가 회동수단(83a)에 의해 선단부가 벌려져 드럼 용기(10)를 받아들일 수 있는 상태가 된다. 이어서, 드럼 용기(10)가 대차(도시 생략)에 의해 드럼 탑재대(81)에 탑재되어 드럼 회전 유닛(85) 쪽으로 밀어진다. 드럼 용기(10)가 드럼 탑재대(81)에 탑재되면 가이드 바(83b)의 선단부가 회동수단(83a)에 의해 오므려지고 드럼 용기(10)는 인입되어 드럼 회전 유닛(85)에 밀착된 상태로 드럼 가이드 유닛(83)에 의해 지지된다.First, the tip of the guide bar 83b of the drum guide unit 83 is opened by the rotating means 83a, so that the drum container 10 can be received. Next, the drum container 10 is mounted on the drum mount 81 by a cart (not shown) and pushed toward the drum rotation unit 85. When the drum container 10 is mounted on the drum mount 81, the tip of the guide bar 83b is retracted by the rotation means 83a, and the drum container 10 is retracted and brought into close contact with the drum rotation unit 85. It is supported by the drum guide unit 83 in this state.

이어서 또는 전술한 동작과 병행하여, 드럼 정렬 유닛(90)의 승강수단(97)에 의해 회동바(91)가 상승하여, 스토퍼(93)가 드럼 용기(10)의 상단 턱보다 높게 위치하게 된다. 이어서, 드럼 정렬 유닛(90)의 회동수단(99)에 의해 회동바(91)가 회동축(A1)을 중심으로 도 12에서 시계방향으로 대략 90도 정도 회동된 다음, 드럼 정렬 유닛(90)의 승강수단(97)에 의해 회동바(91)가 하강하여, 스토퍼(93)가 드럼 용기(10)의 상면에 근접한 높이에서 드럼 용기(10) 입구(11)가 위치해야 할 미리 정해진 위치에 위치하게 된다. 이 상태에서 드럼 회전 유닛(85)이 드럼 용기(10)를 시계방향으로 회전시킨다. 드럼 용기(10)의 회전에 의해 드럼 용기(10)의 입구(11) 외주면이 스토퍼(93)에 의해 감싸지고 접촉 센서(95)에 접촉하면, 드럼 용기(10)의 입구(11)가 미리 정해진 위치에 정렬된 것이므로 드럼 회전 유닛(85)의 회전을 정지한다.Subsequently or in parallel with the above-described operation, the rotating bar 91 is raised by the lifting means 97 of the drum alignment unit 90, so that the stopper 93 is positioned higher than the upper jaw of the drum container 10. . Next, the rotation bar 91 is rotated approximately 90 degrees clockwise in FIG. 12 about the rotation axis A1 by the rotation means 99 of the drum alignment unit 90, and then the drum alignment unit 90 is rotated clockwise by approximately 90 degrees. The rotating bar 91 is lowered by the lifting means 97, so that the stopper 93 is positioned at a predetermined position where the inlet 11 of the drum container 10 should be located at a height close to the upper surface of the drum container 10. It is located. In this state, the drum rotation unit 85 rotates the drum container 10 clockwise. When the outer circumferential surface of the inlet 11 of the drum container 10 is wrapped by the stopper 93 and contacts the contact sensor 95 by the rotation of the drum container 10, the inlet 11 of the drum container 10 is Since it is aligned at the designated position, the rotation of the drum rotation unit 85 is stopped.

이어서, 드럼 정렬 유닛(90)이 전술한 동작과 역순으로 동작하여 원위치(도 12에 도시된 상태)로 복귀하고, 전술한 바와 같이 다축 로봇(30)에 의해 드럼 용기(10)의 입구(11) 캡(15)이 분리되고, 커플러(40, 40')가 입구(11)에 결합되어 케미컬의 이송이 수행된다. 케미컬의 이송이 완료되면, 전술한 바와 같이 드럼 용기(10)의 입구(11)에서 커플러(40, 40')가 분리되고, 입구(11)에 캡(15)이 체결된다.Next, the drum alignment unit 90 operates in the reverse order of the above-described operation to return to the original position (state shown in FIG. 12), and the inlet 11 of the drum container 10 is moved by the multi-axis robot 30 as described above. ) The cap 15 is separated, the couplers 40 and 40' are coupled to the inlet 11, and chemical transfer is performed. When the chemical transfer is completed, the couplers 40 and 40' are separated from the inlet 11 of the drum container 10, and the cap 15 is fastened to the inlet 11, as described above.

이어서, 드럼 가이드 유닛(83)의 회동수단(83a)에 의해 가이드 바(83b)의 선단부를 벌리고 후단부를 오므림으로써 드럼 용기(10)를 밀어 드럼 탑재대(81) 앞에 대기중인 대차(도시 생략)로 배출한다.Next, the drum container 10 is pushed by opening the front end of the guide bar 83b and retracting the rear end by the rotation means 83a of the drum guide unit 83, and then pushing the drum container 10 to the waiting cart (not shown) in front of the drum mounting table 81. ) is discharged.

이와 같이, 본 실시형태의 시스템에 의하면, 드럼 용기(10)의 인입, 정렬, 배출이라는 전후 작업을 포함한 케미컬 이송의 전과정이 자동으로 이루어진다.In this way, according to the system of this embodiment, the entire process of chemical transfer, including the back and forth operations of inserting, aligning, and discharging the drum container 10, is performed automatically.

한편, 케미컬 이송 작업시 먼지 등의 이물질이 혼입되거나 작업자가 케미컬에 노출되는 것을 방지하기 위해, 본 실시형태에 따른 시스템은 부스 형태의 하우징(20) 전면에 드럼 용기(10)의 출입시에 열리고 케미컬 이송중에는 닫히는 자동 또는 수동의 도어(27)를 더 포함할 수 있다.Meanwhile, in order to prevent foreign substances such as dust from being mixed in or workers being exposed to chemicals during chemical transfer work, the system according to this embodiment opens the front of the booth-shaped housing 20 when the drum container 10 is entered and exited. It may further include an automatic or manual door 27 that closes during chemical transfer.

도 1 및 도 13을 참조하면, 도어(27)는 하우징(20)의 내부에 설치된 가이드 레일(27b)을 따라 승강가능한 복수의 도어 패널(27a)을 포함할 수 있다. 또한, 도어 패널(27a)은 커플러(40, 40')의 드럼 용기(10) 입구(11)에의 커플링 과정과 케미컬 이송 과정을 작업자가 시인할 수 있도록 투명창을 구비할 수 있다.Referring to FIGS. 1 and 13 , the door 27 may include a plurality of door panels 27a that can be raised and lowered along a guide rail 27b installed inside the housing 20. Additionally, the door panel 27a may be provided with a transparent window so that the operator can view the coupling process of the couplers 40 and 40' to the inlet 11 of the drum container 10 and the chemical transfer process.

이상에서 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능함은 물론이다.Although the present invention has been described above with limited examples and drawings, the present invention is not limited thereto, and the technical idea of the present invention and the description below will be understood by those skilled in the art to which the present invention pertains. Of course, various modifications and variations are possible within the scope of equivalence of the patent claims.

10: 드럼 용기
11: 드럼 용기의 입구
20: 하우징
27: 도어
30: 다축 로봇
40, 40': 커플러
41, 41': 커플러 헤드
41a: 케미컬 유로
41b: 기체 유로
41c: 케미컬 순환 유로
41d: 결합돌기
41e: 돌기
41p: 볼 플런저
43, 43': 딥 튜브
45, 45': 커플러 소켓
45a: 나사산
45d: 결합홈
45p: 오목홈
45t: 기어
42a, 42b, 42c: 배관
50: 배관 지지 유닛
60, 60': 커플러 보관 유닛(커플러 세정 유닛)
70: 잔액 받이
81: 드럼 탑재대
83: 드럼 가이드 유닛
85: 드럼 회전 유닛
90: 드럼 정렬 유닛
10: drum container
11: Inlet of drum container
20: housing
27: door
30: Multi-axis robot
40, 40': Coupler
41, 41': Coupler head
41a: Chemical Euro
41b: Gas flow path
41c: Chemical circulation flow path
41d: combining protrusion
41e: projection
41p: Ball plunger
43, 43': Dip tube
45, 45': Coupler socket
45a: thread
45d: Coupling groove
45p: concave groove
45t: gear
42a, 42b, 42c: Piping
50: Piping support unit
60, 60': Coupler storage unit (coupler cleaning unit)
70: Receive balance
81: Drum mount
83: Drum guide unit
85: Drum rotation unit
90: Drum alignment unit

Claims (12)

드럼 용기 내부의 케미컬을 필요로 하는 곳으로 공급하거나 드럼 용기 내에 케미컬을 주입하기 위해 상기 드럼 용기의 입구에 착탈가능하게 결합되는 커플러로서,
케미컬 배관과 연통될 수 있는 케미컬 유로가 내부에 형성되고, 하부 외주면에 돌출된 적어도 2개의 결합돌기를 포함하는, 커플러 헤드;
상기 케미컬 유로와 연통되도록 상기 커플러 헤드에 선택적으로 탈착가능하게 결합될 수 있고, 상기 커플러가 상기 드럼 용기의 입구에 결합될 때 상기 드럼 용기 내부로 삽입되어 드리워질 수 있고, 상기 커플러 헤드와 함께 상기 드럼 용기의 입구에 착탈가능하게 결합되도록 구성된, 딥 튜브; 및
상기 결합돌기가 삽입되어 미리결정된 각도만큼 회동가능한 결합홈이 내주면에 형성된 중공의 기둥 형태로 구성되고, 상기 드럼 용기의 입구에 나사 결합가능한, 커플러 소켓을 구비하고,
상기 커플러 헤드는 상기 커플러 소켓의 상기 중공에 결합됨으로써 상기 커플러 소켓을 개재하여 드럼 용기의 입구에 결합되며,
상기 커플러 소켓이 상기 드럼 용기의 입구에 나사결합된 상태에서, 상기 커플러 헤드의 상기 결합돌기를 상기 커플러 소켓의 상기 결합홈에 삽입하고 상기 커플러 헤드가 상기 미리결정된 각도만큼 회동함으로써 상기 커플러 소켓에 상기 커플러 헤드가 결합가능한, 커플러.
A coupler detachably coupled to the inlet of the drum container to supply chemicals inside the drum container to a required location or to inject chemicals into the drum container,
A coupler head having a chemical flow path capable of communicating with a chemical pipe formed therein and including at least two engaging protrusions protruding from the lower outer peripheral surface;
It can be selectively and detachably coupled to the coupler head to communicate with the chemical flow path, and when the coupler is coupled to the inlet of the drum container, it can be inserted and draped inside the drum container, and the coupler head and the a dip tube configured to be removably coupled to the inlet of the drum container; and
A coupling groove in which the coupling protrusion is inserted and can be rotated at a predetermined angle is formed in the form of a hollow pillar formed on the inner peripheral surface, and is provided with a coupler socket that can be screwed to the inlet of the drum container,
The coupler head is coupled to the hollow of the coupler socket and is coupled to the inlet of the drum container via the coupler socket,
With the coupler socket screwed to the inlet of the drum container, the coupling protrusion of the coupler head is inserted into the coupling groove of the coupler socket and the coupler head is rotated by the predetermined angle to connect the coupler socket to the coupler socket. A coupler with coupler heads that can be combined.
삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 딥 튜브가 상기 커플러 소켓에, 상기 케미컬 유로와 연통되도록 결합되는, 커플러.
According to paragraph 1,
A coupler wherein the dip tube is coupled to the coupler socket in communication with the chemical flow path.
삭제delete 드럼 용기 내부의 케미컬을 필요로 하는 곳으로 공급하거나 드럼 용기 내에 케미컬을 주입하기 위해 상기 드럼 용기의 입구에 착탈가능하게 결합되는 커플러로서,
케이컬 배관과 연통될 수 있는 케미컬 유로가 내부에 형성된, 커플러 헤드;
상기 케미컬 유로와 연통되도록 상기 커플러 헤드에 선택적으로 탈착가능하게 결합될 수 있고, 상기 커플러가 상기 드럼 용기의 입구에 결합될 때 상기 드럼 용기 내부로 삽입되어 드리워질 수 있고, 상기 커플러 헤드와 함께 상기 드럼 용기의 입구에 착탈가능하게 결합되도록 구성된, 딥 튜브; 및
중공의 기둥 형태로 구성되고, 상기 드럼 용기의 입구에 나사결합가능한, 커플러 소켓을 구비하고,
상기 커플러 헤드는 상기 커플러 소켓의 상기 중공에 결합됨으로써 상기 커플러 소켓을 개재하여 상기 드럼 용기의 입구에 결합되며,
상기 커플러 헤드는 상기 커플러 소켓의 상기 중공의 내주면에 상기 커플러 소켓과 상대적으로 회전가능하게 결합되고,
상기 커플러 헤드가 상기 커플러 소켓에 결합된 상태로 상기 커플러 소켓만을 회전시켜 상기 드럼 용기의 입구에 상기 커플러가 결합되도록 구성된, 커플러.
A coupler detachably coupled to the inlet of the drum container to supply chemicals inside the drum container to a required location or to inject chemicals into the drum container,
A coupler head formed inside a chemical flow path that can communicate with the cable piping;
It can be selectively and detachably coupled to the coupler head to communicate with the chemical flow path, and when the coupler is coupled to the inlet of the drum container, it can be inserted and draped inside the drum container, and the coupler head and the a dip tube configured to be removably coupled to the inlet of the drum container; and
It is configured in the form of a hollow pillar and is provided with a coupler socket that can be screwed to the inlet of the drum container,
The coupler head is coupled to the hollow of the coupler socket and is coupled to the inlet of the drum container via the coupler socket,
The coupler head is rotatably coupled to the coupler socket on the hollow inner peripheral surface of the coupler socket,
A coupler configured to couple the coupler to the inlet of the drum container by rotating only the coupler socket while the coupler head is coupled to the coupler socket.
제1항에 있어서,
상기 커플러 헤드는, 상기 커플러가 상기 드럼 용기의 입구에 결합되었을 때 상기 드럼 용기의 내부와 연통되고, 상기 드럼 용기 내부의 케미컬을 필요로 하는 곳으로 공급하거나 상기 드럼 용기 내에 케미컬을 주입할 때 상기 드럼 용기 안팎으로 기체가 출입할 수 있도록 상기 케미컬 유로와 구분되도록 내부에 형성된, 기체 유로를 더 포함하는, 커플러.
According to paragraph 1,
The coupler head is in communication with the inside of the drum container when the coupler is coupled to the inlet of the drum container, and supplies the chemical inside the drum container to a place where it is needed or injects the chemical into the drum container. A coupler further comprising a gas flow path formed internally to be separated from the chemical flow path to allow gas to enter and exit the drum container.
제1항에 있어서,
상기 커플러 헤드는, 상기 커플러가 상기 드럼 용기의 입구에 결합되었을 때 상기 드럼 용기의 내부와 연통되고, 상기 케미컬 유로를 통해 상기 드럼 용기 외부로 배출되는 케미컬이 상기 케미컬 순환 유로를 통해 상기 드럼 용기 내부로 순환할 수 있도록 상기 케미컬 유로와 구분되도록 내부에 형성된 케미컬 순환 유로를 더 포함하는, 커플러.
According to paragraph 1,
The coupler head is in communication with the inside of the drum container when the coupler is coupled to the inlet of the drum container, and the chemical discharged to the outside of the drum container through the chemical flow path is inside the drum container through the chemical circulation flow path. A coupler further comprising a chemical circulation flow path formed therein to be separated from the chemical flow path so that the coupler can circulate.
제1항 또는 제4항 또는 제6항 내지 제8항 중 어느 한 항의 커플러; 및
상기 커플러를 세정하기 위한 커플러 세정 유닛을 구비하고,
상기 커플러 세정 유닛은,
상기 커플러의 상기 딥 튜브를 수용하는 공간을 가지고, 상기 딥 튜브가 상기 공간으로 드리워지게 상기 커플러 헤드를 거치하는 커플러 거치구 및 배수구를 포함하는 세정 챔버; 및
상기 공간에 수용된 상기 딥 튜브를 향해 세정수를 분사할 수 있도록 상기 세정 챔버 내부에 설치된 노즐을 구비하는, 드럼 용기용 커플링 시스템.
The coupler of any one of claims 1 or 4 or 6 to 8; and
Equipped with a coupler cleaning unit for cleaning the coupler,
The coupler cleaning unit,
a cleaning chamber having a space for accommodating the dip tube of the coupler and including a coupler holder and a drain for mounting the coupler head so that the dip tube is draped into the space; and
A coupling system for a drum container, comprising a nozzle installed inside the cleaning chamber to spray cleaning water toward the dip tube accommodated in the space.
제9항에 있어서,
상기 커플러 세정 유닛은, 상기 커플러의 세정시 상기 케미컬 배관을 통해 상기 케미컬 유로로 세정수를 공급하는, 드럼 용기용 커플링 시스템.
According to clause 9,
The coupler cleaning unit is a coupling system for a drum container that supplies cleaning water to the chemical flow path through the chemical pipe when cleaning the coupler.
제9항에 있어서,
상기 커플러는 제1항의 커플러이고,
상기 커플러 거치구에는 상기 커플러 소켓과 동일한 구조의 거치용 소켓이 결합되어 있고,
상기 커플러의 세정시, 상기 커플러 소켓을 제외한 상기 커플러 헤드와 상기 딥 튜브가 상기 거치용 소켓에 결합됨으로써 상기 커플러가 상기 커플러 거치구에 거치되도록 구성된, 드럼 용기용 커플링 시스템.
According to clause 9,
The coupler is the coupler of claim 1,
A mounting socket having the same structure as the coupler socket is coupled to the coupler holder,
When cleaning the coupler, the coupler head and the dip tube excluding the coupler socket are coupled to the mounting socket, thereby allowing the coupler to be mounted on the coupler holder.
제9항에 있어서,
상기 커플러는 제6항의 커플러이고,
상기 커플러 거치구는 상기 드럼 용기의 입구와 동일한 구조로 이루어지고,
상기 커플러의 세정시, 상기 커플러 소켓이 상기 커플러 거치구에 결합됨으로써 상기 커플러가 상기 커플러 거치구에 거치되도록 구성된, 드럼 용기용 커플링 시스템.
According to clause 9,
The coupler is the coupler of claim 6,
The coupler holder has the same structure as the inlet of the drum container,
When cleaning the coupler, the coupler socket is coupled to the coupler holder, thereby allowing the coupler to be mounted on the coupler holder.
KR1020210016922A 2021-02-05 2021-02-05 Coupler with Integrated Dip Tube and Coupling System for Drum Container Including the Same KR102598307B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210016922A KR102598307B1 (en) 2021-02-05 2021-02-05 Coupler with Integrated Dip Tube and Coupling System for Drum Container Including the Same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210016922A KR102598307B1 (en) 2021-02-05 2021-02-05 Coupler with Integrated Dip Tube and Coupling System for Drum Container Including the Same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20220113124A KR20220113124A (en) 2022-08-12
KR102598307B1 true KR102598307B1 (en) 2023-11-03

Family

ID=82803869

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020210016922A KR102598307B1 (en) 2021-02-05 2021-02-05 Coupler with Integrated Dip Tube and Coupling System for Drum Container Including the Same

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102598307B1 (en)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101537252B1 (en) * 2014-04-10 2015-07-16 아이세로미림화학주식회사 Coupler of drum
KR101625186B1 (en) * 2014-08-14 2016-05-30 주식회사 프로텍 Supporting Unit of Coupler for Drum Container, Method for Connecting and Disconnecting Coupler to Drum Container Using the Same and Apparatus for Connecting Fluid Line to Drum Container Having the Same

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19990018616A (en) * 1997-08-28 1999-03-15 윤종용 Bottles for chemical supply
KR20010092088A (en) * 2000-03-20 2001-10-24 윤종용 Quick coupler storage apparatus having cleaning function.
KR101847272B1 (en) * 2016-07-05 2018-04-10 이형주 Quantified emission and accident-proof lid

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101537252B1 (en) * 2014-04-10 2015-07-16 아이세로미림화학주식회사 Coupler of drum
KR101625186B1 (en) * 2014-08-14 2016-05-30 주식회사 프로텍 Supporting Unit of Coupler for Drum Container, Method for Connecting and Disconnecting Coupler to Drum Container Using the Same and Apparatus for Connecting Fluid Line to Drum Container Having the Same

Also Published As

Publication number Publication date
KR20220113124A (en) 2022-08-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101485603B1 (en) Workpiece surface treatment system
TWM557582U (en) Base for wet cleaning equipment
EP3012368B1 (en) Portable laundry treating apparatus
KR101635705B1 (en) Golf club head cleaner
KR102092609B1 (en) Coupling apparatus for drum container
KR102110403B1 (en) Apparatus for sampling chemical
CN112053972A (en) Wafer cleaning system and wafer cleaning method
KR102598307B1 (en) Coupler with Integrated Dip Tube and Coupling System for Drum Container Including the Same
WO2023065902A1 (en) Cleaning apparatus and cleaning system
CN109068922B (en) Ground processing system
KR102626378B1 (en) Automatic Coupling System for Drum Container
KR101969466B1 (en) Filter changing apparatus of chemical supply facility
US20080028567A1 (en) Cleaning device for fiber optic connectors
KR102468828B1 (en) Module for injecting chemical
KR20160072414A (en) Apparatus and method for automatic charging chemical
KR102529670B1 (en) Apparatus for automatic emptying, cleaning and drying of sample bottle
TWI704963B (en) Pumping apparatus, treatment solution supplying device, substrate treating apparatus, liquid draining method, and liquid replacing method
KR102529674B1 (en) Apparatus for automatic emptying, cleaning and drying of sample bottle
CN203778252U (en) Device for washing spray gun
KR102521457B1 (en) Apparatus for automatic sampling
US20190234092A1 (en) Tool for cleaning a pool, particularly in a radioactive environment, comprising a tank
KR102353833B1 (en) Clamping and removal method for high pressure gas cylinder in Cabinet
JP2003019466A (en) Work cleaning apparatus having jetting nozzle changeable with a plurality of jetting nozzles
CN113369229A (en) Wafer scrubbing machine
KR102485609B1 (en) Apparatus for automatic sampling

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant