KR20220113124A - Coupler with Integrated Dip Tube and Coupling System for Drum Container Including the Same - Google Patents

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KR20220113124A
KR20220113124A KR1020210016922A KR20210016922A KR20220113124A KR 20220113124 A KR20220113124 A KR 20220113124A KR 1020210016922 A KR1020210016922 A KR 1020210016922A KR 20210016922 A KR20210016922 A KR 20210016922A KR 20220113124 A KR20220113124 A KR 20220113124A
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Abstract

The present invention relates to a coupler detachably coupled to an opening of a drum container to supply chemicals inside the drum container to a place where the chemicals are needed or to inject the chemicals into the drum container. The coupler includes: a coupler head having a chemical passage formed therein, wherein a chemical pipeline is connected to the chemical passage; and a deep tube coupled to communicate with the chemical passage of the coupler head and inserted and drooped into the drum container when the coupled is coupled to the opening of the drum container. The coupler head and the dip tube are detachably coupled to the opening of the drum container together. According to the present invention, after using the coupler, the coupler including the dip tube can be separated from the opening of the drum container to easily clean the coupler including the dip tube.

Description

딥 튜브 통합형 커플러 및 이를 포함하는 드럼 용기용 커플링 시스템{Coupler with Integrated Dip Tube and Coupling System for Drum Container Including the Same}Coupler with Integrated Dip Tube and Coupling System for Drum Container Including the Same

본 발명은 반도체 공장이나 화학 공장 등 케미컬의 사용처 또는 공급처에서 케미컬을 이송하는 설비에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 드럼 용기에 담아 공급되는 케미컬을 사용처로 공급하거나 또는 공급처로부터 드럼 용기에 케미컬을 주입하기 위해 드럼 용기에 결합되는 커플러 및 이를 포함하는 드럼 용기용 커플링 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a facility for transporting chemicals from a place of use or a supplier, such as a semiconductor factory or a chemical plant, and more particularly, the chemical supplied in a drum container is supplied to the place of use or the chemical is injected from the supplier into the drum container It relates to a coupling system for a drum container including a coupler coupled to the drum container to do so.

반도체 공장이나 화학 공장 등에서는 다양한 종류의 케미컬을 대량으로 사용하거나 공급하고 있다. 여기서, 케미컬이라 함은, 순수나 산성, 알칼리성 또는 중성의 각종 용액과 같은 액체, 나아가 액체에 분말등이 혼합된 슬러리(slurry)와 같이 에멀젼 상태나 페이스트 상태의 것을 포함한다. Semiconductor factories and chemical factories use or supply various types of chemicals in large quantities. Here, the chemical includes liquids such as pure water or various acidic, alkaline or neutral solutions, and emulsion or paste, such as a slurry in which a powder is mixed with a liquid.

이러한 케미컬들은 통상적으로 탱크나 드럼 등의 용기에 담아 탱크로리나 트럭 등으로 운송된다. 따라서, 이러한 용기에 케미컬을 주입하거나 용기에 담긴 케미컬을 사용처로 공급하기 위해서는 용기의 입구에 커플러라는 연결 부품을 결합하고 커플러를 통해 용기에 케미컬을 주입하거나 용기 내부의 케미컬을 흡입하는 이송 과정을 거치게 된다. 이러한 커플러를 이용한 케미컬의 이송이 가능하게 하기 위해 용기(드럼 용기)와 커플러는 일반적으로 다음과 같이 구성된다.These chemicals are usually transported by tank trucks or trucks in containers such as tanks or drums. Therefore, in order to inject a chemical into such a container or to supply a chemical contained in the container to a place of use, a connection part called a coupler is coupled to the inlet of the container, and the chemical is injected into the container through the coupler or the chemical inside the container is sucked through a transport process. do. In order to enable chemical transfer using such a coupler, a container (drum container) and a coupler are generally configured as follows.

먼저, 드럼 용기의 편평한 상면에는 캡(마개)이 장착되는 입구가 마련되고, 드럼 용기의 내부에는 딥 튜브(dip tube)가 내장된다. 이 딥 튜브의 일단은 상기 입구와 연통되고 타단은 드럼 용기의 내부 바닥 근방까지 연장된다. 따라서, 케미컬은 딥 튜브를 통해 드럼 용기의 내부 바닥부터 채워지거나 흡입되어 배출된다. 또한, 상기 입구에는, 케미컬의 주입이나 흡입을 원활하게 하기 위해 드럼 용기 내부의 공기를 배출하거나 드럼 용기 내부로 압축 공기나 질소 등의 불활성 기체를 불어넣기 위한 기체 통로가, 상기 딥 튜브와는 구분되는 유로로 마련되어 있다.First, an inlet to which a cap (stopper) is mounted is provided on a flat upper surface of the drum container, and a dip tube is built in the drum container. One end of this dip tube communicates with the inlet and the other end extends to the vicinity of the inner bottom of the drum container. Thus, the chemical is filled or sucked out from the inner bottom of the drum container through the dip tube. In addition, in the inlet, a gas passage for discharging the air inside the drum container or blowing an inert gas such as compressed air or nitrogen into the drum container in order to facilitate the injection or suction of the chemical is separated from the dip tube Available in Euros.

커플러는 캡이 분리되어 개방된 입구에 착탈가능하게 결합되는 연결 부품으로서, 내부에는 일단이 드럼 용기의 딥 튜브 및 기체 통로와 각각 연통되는 케미컬 유로 및 기체 유로가 구분되어 형성되어 있다. 또한, 커플러의 케미컬 유로 및 기체 유로의 타단에는 각각 케미컬 배관 및 기체 배관이 연결되고, 이 케미컬 배관 및 기체 배관은 케미컬의 공급처 또는 사용처에 마련되는 케미컬 탱크 및 배기관 또는 압축 기체 공급원과 각각 유체 연결된다.The coupler is a connecting part that is detachably coupled to the open inlet with the cap separated, and has a chemical flow path and a gas flow path in which one end communicates with the dip tube and the gas passage of the drum container, respectively, are formed separately. In addition, a chemical pipe and a gas pipe are respectively connected to the other ends of the chemical flow path and the gas flow path of the coupler, and the chemical pipe and the gas pipe are respectively fluidly connected to a chemical tank and an exhaust pipe or a compressed gas supply source provided at a chemical supply or use place. .

한편, 케미컬 중에는, 예컨대 화학기계적 연마(CMP)용 슬러리와 같이 시간의 경과나 온도의 변화에 따라 침전되거나 굳는 것이 있다. 이렇게 케미컬이 침전되거나 굳게 되면 원활하게 이송되지 않을 뿐만 아니라, 심한 경우 딥 튜브나 커플러의 케미컬 유로가 폐색될 수가 있다. 이 경우 커플러는 사용 직후 분리하여 세척함으로써 케미컬 유로의 폐색을 방지할 수 있지만, 드럼 용기 내부에 내장된 딥 튜브는 손쉽게 분리하여 세척할 수가 없다.On the other hand, some chemicals precipitate or harden with the passage of time or change in temperature, such as slurries for chemical mechanical polishing (CMP). If the chemical is precipitated or hardened in this way, it may not be transported smoothly, and in severe cases, the chemical flow path of the dip tube or coupler may be blocked. In this case, the coupler can be separated and cleaned immediately after use to prevent clogging of the chemical flow path, but the dip tube built into the drum container cannot be easily separated and washed.

본 발명은 상기와 같은 기술적 배경을 고려하여 창안된 것으로서, 커플러의 사용후에 딥 튜브를 포함한 커플러를 손쉽게 세정할 수 있는 커플러를 제공하는 데에 그 목적이 있다. The present invention has been made in consideration of the technical background as described above, and an object of the present invention is to provide a coupler capable of easily cleaning a coupler including a dip tube after use of the coupler.

또한, 본 발명은 커플러를 세정할 수 있는 커플러 세정 유닛을 포함한 드럼 용기용 커플링 시스템을 제공하는 데에 그 목적이 있다.Another object of the present invention is to provide a coupling system for a drum container including a coupler cleaning unit capable of cleaning a coupler.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 커플러는, 드럼 용기 내부의 케미컬을 필요로 하는 곳으로 공급하거나 드럼 용기 내에 케미컬을 주입하기 위해 상기 드럼 용기의 입구에 착탈가능하게 결합되는 커플러로서, 내부에 케미컬 유로가 형성되어 있고, 상기 케미컬 유로에는 케미컬 배관이 연결되는 커플러 헤드; 및 상기 커플러 헤드의 상기 케미컬 유로와 연통되도록 결합되어, 상기 커플러가 상기 드럼 용기의 입구에 결합되었을 때 상기 드럼 용기 내부로 삽입되어 드리워지는 딥 튜브를 포함하여, 상기 커플러 헤드와 상기 딥 튜브가 함께 상기 드럼 용기의 입구에 착탈가능하게 결합된다.A coupler according to an aspect of the present invention for achieving the above object is detachably coupled to the inlet of the drum container in order to supply the chemical inside the drum container to a place that needs it or to inject the chemical into the drum container A coupler, comprising: a coupler head having a chemical flow path formed therein, and a chemical pipe connected to the chemical flow path; and a dip tube that is coupled to communicate with the chemical flow path of the coupler head, and is inserted into the drum container when the coupler is coupled to the inlet of the drum container and is hung, the coupler head and the dip tube together It is removably coupled to the inlet of the drum container.

또한, 커플러는, 상하로 관통된 중공 기둥 형태로 이루어지고, 상기 드럼 용기의 입구에 나사 결합되는 커플러 소켓을 더 포함하고, 상기 커플러 헤드는 상기 커플러 소켓의 상기 중공에 결합됨으로써 상기 커플러 소켓을 개재하여 드럼 용기의 입구에 결합될 수 있다.In addition, the coupler, made in the form of a hollow column penetrating up and down, further comprising a coupler socket screw-coupled to the inlet of the drum container, wherein the coupler head is coupled to the hollow of the coupler socket by interposing the coupler socket to be coupled to the inlet of the drum container.

이 경우, 상기 딥 튜브는 상기 커플러 헤드의 상기 케미컬 유로에 직접 결합되거나, 상기 커플러 소켓에, 상기 케미컬 유로와 연통되도록 결합될 수 있다.In this case, the dip tube may be directly coupled to the chemical flow path of the coupler head, or coupled to the coupler socket to communicate with the chemical flow path.

또한, 이 경우, 상기 커플러 헤드의 하부 외주면에는 적어도 2개의 결합돌기가 돌출 형성되어 있고, 상기 커플러 소켓의 상기 중공의 내주면에는 상기 결합돌기가 삽입되어 소정 각도만큼 회동가능한 결합홈이 형성되어 있어, 상기 커플러 소켓을 상기 드럼 용기의 입구에 나사결합한 다음, 상기 커플러 헤드의 상기 결합돌기를 상기 커플러 소켓의 상기 결합홈에 삽입하고 상기 커플러 헤드를 상기 소정 각도만큼 회동함으로써 상기 커플러 헤드를 상기 커플러 소켓에 결합하도록 구성될 수 있다.In addition, in this case, at least two coupling protrusions are protruded from the lower outer circumferential surface of the coupler head, and the coupling protrusions are inserted into the hollow inner circumferential surface of the coupler socket to form a coupling groove rotatable by a predetermined angle, After screwing the coupler socket to the inlet of the drum container, inserting the coupling protrusion of the coupler head into the coupling groove of the coupler socket and rotating the coupler head by the predetermined angle, the coupler head to the coupler socket may be configured to couple.

또는, 상기 커플러 헤드는 상기 커플러 소켓의 상기 중공의 내주면에 상기 커플러 소켓과 상대적으로 회전가능하게 결합되어, 상기 커플러 헤드가 상기 커플러 소켓에 결합된 상태로 상기 커플러 소켓만을 회전시켜 상기 드럼 용기의 입구에 상기 커플러가 결합되도록 구성될 수도 있다.Alternatively, the coupler head is relatively rotatably coupled to the coupler socket on the hollow inner circumferential surface of the coupler socket, and rotates only the coupler socket while the coupler head is coupled to the coupler socket to the inlet of the drum container The coupler may be configured to be coupled to.

또한, 상기 커플러 헤드의 내부에는, 상기 케미컬 유로와 구분되고, 상기 커플러가 상기 드럼 용기의 입구에 결합되었을 때 상기 드럼 용기의 내부와 연통되는 기체 유로가 더 형성되어 있어, 상기 드럼 용기 내부의 케미컬을 필요로 하는 곳으로 공급하거나 상기 드럼 용기 내에 케미컬을 주입할 때 상기 드럼 용기 안팎으로 기체가 출입하도록 구성될 수 있다.In addition, in the inside of the coupler head, a gas flow path that is separated from the chemical flow path and communicates with the inside of the drum container when the coupler is coupled to the inlet of the drum container is further formed, It may be configured so that gas enters and exits the drum container when supplying it to a place where it is needed or injecting a chemical into the drum container.

또한, 상기 커플러 헤드의 내부에는, 상기 케미컬 유로와 구분되고, 상기 커플러가 상기 드럼 용기의 입구에 결합되었을 때 상기 드럼 용기의 내부와 연통되는 케미컬 순환 유로가 더 형성되어 있어, 상기 케미컬 유로를 통해 상기 드럼 용기 외부로 배출되는 케미컬이 상기 케미컬 순환 유로를 통해 상기 드럼 용기 내부로 순환하도록 구성될 수 있다.In addition, in the inside of the coupler head, there is further formed a chemical circulation passage that is separated from the chemical passage and communicates with the inside of the drum container when the coupler is coupled to the inlet of the drum container, through the chemical passage The chemical discharged to the outside of the drum container may be configured to circulate into the drum container through the chemical circulation passage.

본 발명의 다른 측면에 따른 드럼 용기용 커플링 시스템은, 전술한 어느 하나의 커플러; 및 상기 커플러를 세정하기 위한 커플러 세정 유닛을 포함하고, 상기 커플러 세정 유닛은, 상기 커플러의 상기 딥 튜브를 수용하는 공간을 가지고, 상부에는 상기 딥 튜브가 상기 공간으로 드리워지게 상기 커플러 헤드를 거치하는 커플러 거치구가 형성되어 있으며, 하부에는 배수구가 형성된 세정 챔버; 및 상기 세정 챔버 내부에 마련되어, 상기 공간에 수용된 상기 딥 튜브를 향해 세정수를 분사하는 노즐을 포함한다.A coupling system for a drum container according to another aspect of the present invention includes any one of the couplers described above; and a coupler cleaning unit for cleaning the coupler, wherein the coupler cleaning unit has a space for accommodating the dip tube of the coupler, and the upper part of the coupler head is mounted so that the dip tube is drawn into the space a cleaning chamber having a coupler holder and a drain hole formed at a lower portion thereof; and a nozzle provided inside the cleaning chamber to spray cleaning water toward the dip tube accommodated in the space.

여기서, 상기 커플러 세정 유닛은, 상기 커플러의 세정시 상기 케미컬 배관을 통해 상기 케미컬 유로로 세정수를 공급할 수 있다.Here, the coupler cleaning unit may supply cleaning water to the chemical passage through the chemical pipe when the coupler is cleaned.

또한, 상기 커플러 거치구에는 상기 커플러 소켓과 동일한 구조의 거치용 소켓이 결합되어 있고, 상기 커플러의 세정시, 상기 커플러는 상기 커플러 소켓을 제외한 상기 커플러 헤드와 상기 딥 튜브가 상기 거치용 소켓에 결합됨으로써 상기 커플러 거치구에 거치될 수 있다.In addition, a socket for mounting having the same structure as that of the coupler socket is coupled to the coupler holder, and when the coupler is cleaned, the coupler is coupled to the coupler head and the dip tube except for the coupler socket. As such, it can be mounted on the coupler holder.

또는, 상기 커플러 거치구는 상기 드럼 용기의 입구와 동일한 구조로 이루어지고, 상기 커플러의 세정시, 상기 커플러는 상기 커플러 소켓이 상기 커플러 거치구에 결합됨으로써 상기 커플러 거치구에 거치될 수도 있다.Alternatively, the coupler holder may have the same structure as the inlet of the drum container, and when the coupler is cleaned, the coupler may be mounted on the coupler holder by coupling the coupler socket to the coupler holder.

본 발명의 커플러에 따르면, 커플러에 딥 튜브가 결합되어 있어 커플러의 사용후에 딥 튜브를 포함한 커플러를 드럼 용기의 입구에서 분리하여 딥 튜브를 포함한 커플러를 손쉽게 세정할 수 있다.According to the coupler of the present invention, since the dip tube is coupled to the coupler, the coupler including the dip tube can be separated from the inlet of the drum container after use of the coupler to easily clean the coupler including the dip tube.

또한, 본 발명의 드럼 용기용 커플링 시스템에 따르면, 커플러 세정 유닛을 구비함으로써, 커플러의 사용후 보관시에 커플러를 세정할 수 있다.Further, according to the coupling system for a drum container of the present invention, by providing the coupler cleaning unit, it is possible to clean the coupler during storage after use of the coupler.

따라서, 커플러에 케미컬이 고착되는 것을 방지할 수 있다.Accordingly, it is possible to prevent the chemical from adhering to the coupler.

본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 것이며, 후술되는 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니된다.
도 1은 본 발명의 일 실시형태에 따른 드럼 용기용 자동 커플링 시스템의 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 시스템의 하우징 패널과 도어를 제거하고 도시한 사시도이다.
도 3은 도 1에 도시된 시스템에서 일 실시예에 따른 커플러를 파지한 상태의 다축 로봇을 도시한 사시도이다.
도 4는 도 3에 도시된 커플러의 분해 사시도(a) 및 단면도(b)이다.
도 5는 드럼 용기의 캡을 분리하고 도 4에 도시된 커플러를 드럼 용기의 입구에 결합하는 과정을 도시한 사시도이다.
도 6은 다른 실시예에 따른 커플러의 분해 사시도(a) 및 단면도(b)이다.
도 7은 도 6에 도시된 커플러를 파지한 상태의 다축 로봇의 일부를 도시한 사시도이다.
도 8은 도 1에 도시된 시스템에서 배관 지지 유닛을 도시한 사시도이다.
도 9는 도 1에 도시된 시스템에서 다축 로봇을 제거한 상태를 도시한 상방 사시도이다.
도 10은 도 1에 도시된 시스템에서 세정기능을 구비한 커플러 보관 유닛을 도시한 전면 절개 사시도이다.
도 11은 도 1에 도시된 시스템에서 잔액 받이를 도시한 사시도이다.
도 12는 도 1에 도시된 시스템에서 드럼 탑재대, 드럼 가이드 유닛, 드럼 회전 유닛 및 드럼 정렬 유닛을 도시한 사시도이다.
도 13은 도 1에 도시된 시스템에서 도어가 개방된 상태를 도시한 사시도이다.
The following drawings attached to the present specification illustrate preferred embodiments of the present invention, and serve to further understand the technical spirit of the present invention together with the detailed description of the present invention to be described later, so the present invention is described in such drawings should not be construed as being limited only to
1 is a perspective view of an automatic coupling system for a drum container according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a perspective view of the system shown in FIG. 1 with the housing panel and door removed;
3 is a perspective view illustrating a multi-axis robot in a state of holding a coupler according to an embodiment in the system shown in FIG. 1 .
4 is an exploded perspective view (a) and a cross-sectional view (b) of the coupler shown in FIG. 3 .
5 is a perspective view illustrating a process of removing the cap of the drum container and coupling the coupler shown in FIG. 4 to the inlet of the drum container.
6 is an exploded perspective view (a) and a cross-sectional view (b) of a coupler according to another embodiment.
7 is a perspective view illustrating a part of the multi-axis robot in a state in which the coupler shown in FIG. 6 is gripped.
8 is a perspective view illustrating a pipe support unit in the system shown in FIG. 1 .
9 is a top perspective view illustrating a state in which the multi-axis robot is removed from the system shown in FIG. 1 .
10 is a front cut-away perspective view showing a coupler storage unit having a cleaning function in the system shown in FIG. 1 .
11 is a perspective view showing a balance receipt in the system shown in FIG.
12 is a perspective view illustrating a drum mount, a drum guide unit, a drum rotating unit, and a drum alignment unit in the system shown in FIG. 1 .
13 is a perspective view illustrating a state in which the door is opened in the system shown in FIG. 1 .

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Prior to this, the terms or words used in the present specification and claims should not be construed as being limited to conventional or dictionary meanings, and the inventor should properly understand the concept of the term in order to best describe his invention. Based on the principle that it can be defined, it should be interpreted as meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention. Therefore, the configuration shown in the embodiments and drawings described in the present specification is merely the most preferred embodiment of the present invention and does not represent all of the technical spirit of the present invention, so at the time of the present application, various It should be understood that there may be equivalents and variations.

본 명세서에서 사용되는 '결합', '착탈', '체결','장착', '고정' 또는 '연결'이라는 용어는, 하나의 부재와 다른 부재가 직접 결합, 착탈, 체결, 장착, 고정 또는 연결되는 경우뿐만 아니라 하나의 부재가 중간 부재를 개재하여 다른 부재에 간접적으로 결합, 착탈, 체결, 장착, 고정 또는 연결되는 경우도 포함한다.As used herein, the terms 'coupled', 'attached', 'fastened', 'mounted', 'fixed' or 'connected' means that one member and another member are directly coupled, detached, fastened, mounted, fixed, or In addition to the case of being connected, the case where one member is indirectly coupled, detached, fastened, mounted, fixed or connected to the other member through an intermediate member is also included.

또한, 본 명세서에서는 상, 하, 좌, 우, 전, 후, 수직, 수평 등과 같이 방향을 나타내는 용어를 사용하나, 이러한 방향은 사물이 놓여진 방향과 관찰 방향에 따라 달라질 수 있다. 다만, 본 명세서에서는 도 1과 같은 상태, 즉 탱크로리(10)가 경사지지 않은 지면(E)에 정상적으로 주차된 상태를 기준으로 방향을 설정하고 설명한다.In addition, although terms indicating directions such as up, down, left, right, front, back, vertical, and horizontal are used in this specification, these directions may vary depending on the direction in which the object is placed and the direction of observation. However, in the present specification, the direction is set and described based on the state as shown in FIG. 1 , that is, the state in which the tank lorry 10 is normally parked on the non-sloping ground (E).

도 1 및 도 2에는 본 발명의 일 실시형태에 따른 드럼 용기용 자동 커플링 시스템(이하, 간단히 '시스템'이라고도 한다)의 전체적인 구성이 도시되어 있다.1 and 2 show the overall configuration of an automatic coupling system for a drum container (hereinafter, simply referred to as a 'system') according to an embodiment of the present invention.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 실시형태에 따른 시스템은, 주요 구성요소가 하우징(20)내에 배치된다. 하우징(20)은 대략 입방체 형상을 가지는 부스 형태로 이루어지며, 프레임(21)과 하우징 패널(23)을 포함할 수 있다. 1 and 2 , in the system according to the present embodiment, main components are disposed in a housing 20 . The housing 20 is formed in a booth shape having a substantially cubic shape, and may include a frame 21 and a housing panel 23 .

하우징(20)의 전면에는 드럼 용기(10)의 출입시 개방되는 도어(27)가 설치될 수 있다. 이 도어(27)에 대해 상세히는 후술한다. A door 27 that is opened when the drum container 10 enters and exits may be installed on the front side of the housing 20 . This door 27 will be described in detail later.

또한, 하우징(20)의 전면 일측에는 조작 패널(29)이 설치될 수 있다. 조작 패널(29)에는 시스템의 조작을 위한 각종 스위치(버튼), 시스템의 상태나 비상 상황 등을 알리는 디스플레이나 스피커, 시스템 전반을 제어하는 제어부 등이 배치될 수 있다.In addition, the operation panel 29 may be installed on one side of the front side of the housing 20 . Various switches (buttons) for operating the system, a display or speaker for notifying the state of the system or an emergency situation, and a controller for controlling the overall system may be disposed on the operation panel 29 .

본 실시형태에 따른 시스템은, 케미컬의 이송, 즉 드럼 용기(10) 내부의 케미컬을 공정 라인 등 필요로 하는 곳으로 공급하거나 드럼 용기(10) 내에 케미컬을 주입하기 위해, 드럼 용기(10)의 입구(11)에 커플러(40)를 착탈가능하게 결합하기 위한 구성으로서 다축 로봇(30)을 구비한다.In the system according to the present embodiment, in order to transport the chemical, that is, supply the chemical inside the drum container 10 to a required place such as a process line, or inject the chemical into the drum container 10, the A multi-axis robot 30 is provided as a configuration for detachably coupling the coupler 40 to the inlet 11 .

도 2와 도 3을 참조하면, 다축 로봇(30)은 일단이 시스템의 일 개소인 테이블(25) 상에 고정되고, 복수의 회전축(R1 내지 R6)을 중심으로 회동가능한 복수의 아암(31)이 서로 연결되어 이루어지고, 타단에는 커플러(40)를 파지하는 그립퍼(33)가 장착된다. 예컨대, 다축 로봇(30)은 6개의 회전축(R1 내지 R6)을 가지는 6축 로봇으로 이루어질 수 있으며, 복수의 아암(31)의 운동 범위 내에서 그립퍼(33)에 의해 파지되는 커플러(40)를 임의의 위치와 방향으로 이동시킬 수 있다. 또한, 다축 로봇(30)과 그립퍼(33)의 동작은 미리 정해진 시퀀스로 정의하여 제어부나 메모리에 미리 기억시켜 둠으로써, 커플러(30)의 드럼 용기(10) 입구(11)에의 착탈 동작을 전자동화할 수 있다.2 and 3, the multi-axis robot 30 has one end fixed on the table 25, which is one point of the system, and a plurality of arms 31 rotatable about a plurality of rotation axes R1 to R6. These are connected to each other, and a gripper 33 for gripping the coupler 40 is mounted at the other end. For example, the multi-axis robot 30 may be composed of a 6-axis robot having six rotation axes R1 to R6, and the coupler 40 gripped by the gripper 33 within the range of motion of the plurality of arms 31. It can be moved in any position and direction. In addition, the operation of the multi-axis robot 30 and the gripper 33 is defined in a predetermined sequence and stored in advance in the control unit or memory, so that the attachment/detachment operation of the coupler 30 to the inlet 11 of the drum container 10 is electronically controlled. can assimilate

그립퍼(33)는 적어도 한 쌍의 핑거(33a)를 포함하여, 이 한 쌍의 핑거(33a)를 오므리거나 벌림으로써 커플러(40)를 파지하거나 놓을 수 있다. 또한, 그립퍼(33)는 드럼 용기(10)의 입구(11)에 체결되는 캡(15, 도 5 참조)을 파지할 수도 있다. 또한, 그립퍼(33)는 그 길이방향 중심축과 일치하는 회전축(R6)을 중심으로 회전할 수 있어, 파지한 커플러(40)나 캡(15)을 드럼 용기(10)의 입구(11)에 착탈할 수 있다. 다축 로봇(30)과 그립퍼(33)에 의한 커플러(40)와 캡(15)의 파지 및 드럼 용기(10) 입구(11)에의 착탈 동작의 상세에 대해서는 후술한다.The gripper 33 includes at least a pair of fingers 33a, and can grip or release the coupler 40 by closing or opening the pair of fingers 33a. In addition, the gripper 33 may grip the cap 15 (refer to FIG. 5 ) fastened to the inlet 11 of the drum container 10 . In addition, the gripper 33 can rotate about a rotational axis R6 coincident with its longitudinal central axis, so that the gripped coupler 40 or the cap 15 is attached to the inlet 11 of the drum container 10 . I can put on and take off it. The details of the gripping of the coupler 40 and the cap 15 by the multi-axis robot 30 and the gripper 33 and the attachment/detachment operation to the inlet 11 of the drum container 10 will be described later.

본 발명의 일 실시예에 따른 커플러(40)는 케미컬의 이송을 위해 드럼 용기(10)의 입구(11)에 결합되는 연결 부품으로서, 그 분해 사시도와 단면도를 도시한 도 4를 참조하면, 커플러 헤드(41)와 딥 튜브(43)를 포함하고, 선택적으로 커플러 소켓(45)을 더 포함할 수 있다. The coupler 40 according to an embodiment of the present invention is a connecting part coupled to the inlet 11 of the drum container 10 for chemical transport. Referring to FIG. 4 showing an exploded perspective view and a cross-sectional view, the coupler It includes a head 41 and a dip tube 43 , and may optionally further include a coupler socket 45 .

커플러 헤드(41)는 커플러(40)의 몸체를 이루는 부품으로서, 그 내부에는 케미컬 유로(41a)가 형성되어 있고, 선택적으로 기체 유로(41b) 및/또는 케미컬 순환 유로(41c)가 더 형성될 수 있다. The coupler head 41 is a component constituting the body of the coupler 40, and a chemical flow path 41a is formed therein, and optionally a gas flow path 41b and/or a chemical circulation flow path 41c are further formed. can

케미컬 유로(41a)는 커플러(40)를 통해 이송되는 케미컬이 통과하는 유로로서, 일단에는 딥 튜브(43)가, 예컨대 나사결합에 의해 분리가능하게 결합되고, 타단에는 케미컬 배관(42a, 도 2 참조. 나머지 도면에는 도시 생략)이 적절한 피팅을 개재하여 연결된다. 케미컬 배관(42a)은 케미컬의 공급처 또는 사용처에 마련되는 케미컬 탱크에 유체 연결된다.The chemical flow path 41a is a flow path through which the chemical transferred through the coupler 40 passes. At one end, the dip tube 43 is detachably coupled, for example, by screwing, and at the other end, the chemical pipe 42a, FIG. 2 See (not shown in the rest of the drawings) are connected via suitable fittings. The chemical pipe 42a is fluidly connected to a chemical tank provided at a supply or use point of a chemical.

기체 유로(41b)는 케미컬의 이송(주입이나 배출)을 원활하게 하기 위해 드럼 용기(10) 내부의 공기를 배출하거나 드럼 용기 내부로 압축 공기나 질소 등의 불활성 기체를 불어넣기 위한 유로이다. 기체 유로(41b)의 일단은 커플러(40)가 드럼 용기(10)의 입구(11)에 결합되었을 때 드럼 용기의 내부와 연통되고, 타단에는 기체 배관(42b, 도 2 참조. 나머지 도면에는 도시 생략)이 적절한 피팅을 개재하여 연결된다. 기체 배관(42b)은 케미컬의 공급처 또는 사용처에 마련되는 배기관 또는 압축 기체 공급원에 유체 연결된다.The gas flow path 41b is a flow path for discharging air inside the drum container 10 or blowing an inert gas such as compressed air or nitrogen into the drum container in order to facilitate chemical transport (injection or discharge). One end of the gas passage 41b communicates with the inside of the drum container when the coupler 40 is coupled to the inlet 11 of the drum container 10, and the other end of the gas pipe 42b, see Fig. 2. The remaining drawings are shown omitted) are connected through appropriate fittings. The gas pipe 42b is fluidly connected to an exhaust pipe or a compressed gas supply source provided at a point of supply or use of the chemical.

또한, 케미컬 순환 유로(41c)는 해당 케미컬을 사용하는 사용처에서 일시적으로 해당 케미컬을 받아들일 수 없는 상태인 경우 케미컬이 침전되거나 굳어 커플러(40) 내외부에 고착되는 것을 방지하기 위해, 케미컬 유로(41a)를 통해 흡입되어 드럼 용기(10) 외부로 배출되는 케미컬을 다시 드럼 용기(10) 내부로 순환시키는 유로이다. 케미컬 순환 유로(41c)의 일단은 커플러(40)가 드럼 용기(10)의 입구(11)에 결합되었을 때 드럼 용기의 내부와 연통되고, 타단에는 순환 배관(42c, 도 2 참조. 나머지 도면에는 도시 생략)이 적절한 피팅을 개재하여 연결된다. 순환 배관(42c)은 시스템 또는 케미컬의 공급처 또는 사용처에 마련되는 순환 펌프에 유체 연결된다.In addition, the chemical circulation flow path 41c is a chemical flow path 41a in order to prevent the chemical from being deposited or hardened and fixed inside and outside the coupler 40 when the chemical is temporarily unacceptable at the place of use using the chemical. ) is a flow path that circulates the chemicals that are sucked through and discharged to the outside of the drum container 10 back into the drum container 10 . One end of the chemical circulation passage 41c communicates with the inside of the drum container when the coupler 40 is coupled to the inlet 11 of the drum container 10, and the other end has a circulation pipe 42c, see Fig. 2. In the remaining drawings, not shown) are connected via suitable fittings. The circulation pipe 42c is fluidly connected to a circulation pump provided at the point of supply or use of the system or chemical.

한편, 커플러(40)(커플러 헤드(41))의 외주면에는 드럼 용기(10)에 충전된 또는 충전될 케미컬의 종류에 따라 고유한 패턴으로 돌기(41e) 또는 홈이 형성되어 있고, 그립퍼(33)(핑거(33a))의 내주면에는 커플러(40)의 외주면에 형성된 상기 돌기(41e) 또는 홈에 대응되는 패턴으로 홈(33e, 도 5 참조) 또는 돌기가 형성되어 있을 수 있다. 커플러(40)에 형성된 돌기(41e) 또는 홈과 그립퍼(33)에 형성된 홈(33e) 또는 돌기는, 그립퍼(33)가 커플러(40)를 파지하였을 때 서로 형합하여 잘못된 케미컬을 이송하는 것을 방지하는 일종의 키코드(key code)로서 기능할 수 있다.On the other hand, protrusions 41e or grooves are formed on the outer peripheral surface of the coupler 40 (coupler head 41) in a unique pattern according to the type of chemical filled or to be filled in the drum container 10, and the gripper 33 ) (finger 33a) may have grooves 33e (refer to FIG. 5) or projections formed on the outer peripheral surface of the coupler 40 in a pattern corresponding to the projections 41e or grooves. The protrusions 41e or grooves formed on the coupler 40 and the grooves 33e or protrusions formed on the gripper 33 mate with each other when the gripper 33 grips the coupler 40 to prevent the wrong chemical from being transferred. It can function as a kind of key code.

딥 튜브(43)는 커플러(40)가 드럼 용기(10)의 입구(11)에 결합되었을 때 드럼 용기 내부로 삽입되어 드리워져 하단이 드럼 용기(10)의 내부 바닥 근방까지 연장된다. 이러한 딥 튜브(43)에 의해, 드럼 용기(10)에 주입되거나 드럼 용기(10)로부터 배출되는 케미컬은 드럼 용기(10)의 바닥 근방부터 충전되거나 배출될 수 있다.The dip tube 43 is inserted into the drum container when the coupler 40 is coupled to the inlet 11 of the drum container 10 and hung so that the lower end extends to the vicinity of the inner bottom of the drum container 10 . By the dip tube 43 , chemicals injected into or discharged from the drum container 10 can be filled or discharged from the vicinity of the bottom of the drum container 10 .

이와 같이, 본 발명의 실시형태에서 딥 튜브(43)는 커플러 헤드(41)와 함께 드럼 용기(10)의 입구(11)에 착탈되도록 구성된다. 이러한 구성에 의하면, 커플러(40)의 사용후 딥 튜브(43)를 포함한 커플러(40)를 드럼 용기(10)로부터 분리하여 커플러 헤드(41)와 딥 튜브(43)를 세척할 수 있다. 이는, 예컨대 화학기계적 연마(CMP)용 슬러리와 같이 시간의 경과나 온도의 변화에 따라 침전되거나 굳는 성질의 케미컬의 경우에 딥 튜브(43)와 커플러 헤드(41)의 폐색을 방지하는 데에 매우 유용하다. 커플러 헤드(41)와 딥 튜브(43)의 세정에 대해 상세히는 후술한다.As such, in the embodiment of the present invention, the dip tube 43 is configured to be detachably attached to the inlet 11 of the drum container 10 together with the coupler head 41 . According to this configuration, after the coupler 40 is used, the coupler 40 including the dip tube 43 may be separated from the drum container 10 to wash the coupler head 41 and the dip tube 43 . This is very effective in preventing clogging of the dip tube 43 and the coupler head 41 in the case of a chemical that precipitates or hardens with the passage of time or temperature, such as a slurry for chemical mechanical polishing (CMP). useful. The cleaning of the coupler head 41 and the dip tube 43 will be described later in detail.

커플러 소켓(45)은 커플러 헤드(41)와 드럼 용기 입구(11) 사이에 개재되는 부품으로서, 도 4에 도시된 바와 같이, 상하로 관통된 중공 기둥 형태로 이루어지고, 상부는 각형(예건대 6각형)의 외주면을 가지고, 하부의 외주면은 원형으로 이루어지고 나사산(45a)이 형성되어 드럼 용기(10)의 입구(11)에 나사 결합될 수 있다. 또한, 중공에는 딥 튜브(43)가 관통되고 커플러 헤드(41)가 결합된다. The coupler socket 45 is a part interposed between the coupler head 41 and the drum container inlet 11, and is made in the form of a hollow column penetrating vertically as shown in FIG. Hexagonal) having an outer peripheral surface, the lower outer peripheral surface is made of a circular thread (45a) is formed can be screwed to the inlet (11) of the drum container (10). In addition, the dip tube 43 is penetrated in the hollow and the coupler head 41 is coupled.

구체적으로, 본 실시예에 따른 커플러(40)에서는 커플러 헤드(41)의 하부 외주면에 적어도 2개의 결합돌기(41d)가 돌출 형성되어 있고, 커플러 소켓(45)의 중공의 내주면에는 커플러 헤드(41)의 결합돌기(41d)가 삽입되어 소정 각도만큼 회동가능한 결합홈(45d)이 형성되어 있어, 커플러 헤드(41)의 결합돌기(41d)를 커플러 소켓(45)의 결합홈(45d)에 삽입하여 소정 각도만큼 회동함으로써 커플러 헤드(41)를 커플러 소켓(45)에 결합할 수 있다. Specifically, in the coupler 40 according to the present embodiment, at least two coupling protrusions 41d are protruded from the lower outer circumferential surface of the coupler head 41, and the hollow inner circumferential surface of the coupler socket 45 has the coupler head 41 ) is inserted and a coupling groove 45d rotatable by a predetermined angle is formed, so that the coupling protrusion 41d of the coupler head 41 is inserted into the coupling groove 45d of the coupler socket 45 The coupler head 41 can be coupled to the coupler socket 45 by rotating it by a predetermined angle.

여기서, 상기 소정 각도는 예컨대 45도 정도로서, 그다지 크지 않은 각도이다. 이는, 전술한 바와 같이 커플러 헤드(41)에는 케미컬 배관(42a), 기체 배관(42b) 및/또는 순환 배관(42c)이 연결되므로, 이들 배관이 플렉시블하다 하더라도 커플러 헤드(41)를 과도하게(예컨대 한 바퀴 이상) 회동시키면 배관이 꼬이거나 꺾일 수 있기 때문이다.Here, the predetermined angle is, for example, about 45 degrees, which is not very large. As described above, since the chemical pipe 42a, the gas pipe 42b, and/or the circulation pipe 42c are connected to the coupler head 41, even if these pipes are flexible, the coupler head 41 is excessively ( For example, if you rotate it more than one turn), the pipe may be twisted or bent.

이어서, 도 5를 참조하여 드럼 용기(10)의 입구(11)에 체결된 캡(15)을 분리하고 도 4에 도시된 커플러(40)를 드럼 용기(10)의 입구(11)에 결합하는 과정을 설명한다.Then, with reference to FIG. 5, the cap 15 fastened to the inlet 11 of the drum container 10 is separated and the coupler 40 shown in FIG. 4 is coupled to the inlet 11 of the drum container 10. Explain the process.

먼저, 드럼 용기(10)의 상면에는 케미컬의 출입을 위한 입구(11)가 마련되며, 이 입구(11)에는 캡(15)(마개)이 체결되어 있다. 본 실시예에서 입구(11)의 내주면과 캡(15)의 외주면에는 서로 대응되는 나사산이 형성되어 있어, 캡(15)은 입구(11)의 내주면에 나사결합된다. 또한, 캡(15)의 상면에는 다축 로봇(30)의 그립퍼(33)가 파지할 수 있도록 파지 홈이 형성되어 있을 수 있다.First, the upper surface of the drum container 10 is provided with an inlet 11 for entering and exiting the chemical, the cap 15 (stopper) is fastened to the inlet 11 . In this embodiment, threads corresponding to each other are formed on the inner circumferential surface of the inlet 11 and the outer circumferential surface of the cap 15 , so that the cap 15 is screwed to the inner circumferential surface of the inlet 11 . In addition, a gripping groove may be formed on the upper surface of the cap 15 to be gripped by the gripper 33 of the multi-axis robot 30 .

한편, 드럼 용기(10)의 상면에는, 다른 종류의 케미컬을 잘못 공급하거나 잘못 충전하는 사고를 방지하기 위해, 해당 드럼 용기(10)에 충전된 또는 충전될 케미컬의 종류에 따라 부여된 고유 코드(13)가 인쇄 또는 부착되어 있을 수 있다. 이 경우, 시스템에는 고유 코드(13)를 인식하기 위한 코드 리더기(도시 생략)가 마련되거나, 또는 후술하는 비전 유닛(39, 도 3 참조)이 코드 리더기의 역할을 수행할 수 있다.On the other hand, on the upper surface of the drum container 10, a unique code ( 13) may be printed or affixed. In this case, a code reader (not shown) for recognizing the unique code 13 may be provided in the system, or a vision unit 39 to be described later (refer to FIG. 3 ) may serve as a code reader.

전술한 바와 같이 그립퍼(33)는 한 쌍의 핑거(33a)를 이용하여 캡(15)을 파지하고, 회전축(R6)을 중심으로 회전할 수 있어, 파지한 캡(15)을 입구(11)에 착탈할 수 있다. 구체적으로, 도 3에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 핑거(33a)의 단부에는 캡(15)의 파지 홈에 삽입가능한 핑거 팁(33b)이 형성되어 있다. 따라서, 도 5의 (a)에 도시된 바와 같이, 그립퍼(33)의 길이방향 중심축(다축 로봇(30)의 회전축(R6))과 캡(15)의 중심축이 서로 일치하도록 하여 핑거 팁(33b)을 캡(15)의 파지 홈에 삽입하고, 한 쌍의 핑거(33a)를 약간 오므리거나 벌림으로써 캡(15)을 파지할 수 있다. 이어서, 회전축(R6)을 중심으로 그립퍼(33)를 캡(15)의 나사결합이 풀리는 방향으로 회전시킴으로써(화살표 a 참조) 캡(15)을 입구(11)에서 분리할 수 있다. 이때 캡(15)이 풀리면서 드럼 용기(10)의 상면에서 멀어지는 방향으로 조금씩 상승하므로, 이에 맞추어 다축 로봇(30)을 제어하여 그립퍼(33)도 동일한 속도로 상승하도록 한다. 캡(15)이 입구(11)에서 완전히 분리되면 다축 로봇(30)은 미리 정해진 곳(예컨대, 후술하는 잔액 받이(70, 도 2 참조)으로 이동하여 캡(15)을 놓는다.As described above, the gripper 33 grips the cap 15 using a pair of fingers 33a, and can rotate about the rotation axis R6, so that the gripped cap 15 is moved to the inlet 11. can be detached from Specifically, as shown in FIG. 3 , a finger tip 33b that can be inserted into the gripping groove of the cap 15 is formed at the ends of the pair of fingers 33a. Accordingly, as shown in FIG. 5A , the longitudinal central axis of the gripper 33 (rotational axis R6 of the multi-axis robot 30) and the central axis of the cap 15 coincide with each other, so that the finger tip The cap 15 can be gripped by inserting the 33b into the gripping groove of the cap 15 and slightly opening or closing the pair of fingers 33a. Then, the cap 15 can be separated from the inlet 11 by rotating the gripper 33 about the rotation shaft R6 in a direction in which the screw coupling of the cap 15 is loosened (refer to arrow a). At this time, since the cap 15 is loosened and rises little by little in a direction away from the upper surface of the drum container 10, the multi-axis robot 30 is controlled accordingly so that the gripper 33 also rises at the same speed. When the cap 15 is completely separated from the inlet 11 , the multi-axis robot 30 moves to a predetermined place (eg, a balance receiver 70 to be described later (see FIG. 2 )) and places the cap 15 .

이어서, 미리 정해진 곳(예컨대, 잔액 받이(70))에 놓여 있는 커플러 소켓(45)을 파지하여 캡(15)이 분리되어 개방된 입구(11)에 결합한다. 구체적으로, 도 5의 (b)에 도시된 바와 같이, 그립퍼(33)의 길이방향 중심축(다축 로봇(30)의 회전축(R6))과 커플러 소켓(45)의 중심축이 서로 일치하도록 하여 커플러 소켓(45)의 각형의 외주면을 가지는 상부를 한 쌍의 핑거(33a)로 감싸고, 한 쌍의 핑거(33a)를 약간 오므림으로써 커플러 소켓(45)을 파지한다. 이어서, 드럼 용기(10)의 입구(11) 위로 이동하여 커플러 소켓(45)의 나사산(45a)이 형성된 하부를 입구(11)에 삽입하고, 회전축(R6)을 중심으로 그립퍼(33)를 커플러 소켓(45)이 나사결합되는 방향으로 회전시킴으로써(화살표 a 참조) 커플러 소켓(45)을 입구(11)에 결합할 수 있다. 이때 커플러 소켓(45)이 입구(11)에 결합되면서 드럼 용기(10)의 내부 방향으로 조금씩 하강하므로, 이에 맞추어 다축 로봇(30)을 제어하여 그립퍼(33)도 동일한 속도로 하강하도록 한다.Then, by gripping the coupler socket 45 placed in a predetermined place (eg, the balance tray 70 ), the cap 15 is separated and coupled to the opened inlet 11 . Specifically, as shown in FIG. 5B, the longitudinal central axis of the gripper 33 (rotational axis R6 of the multi-axis robot 30) and the central axis of the coupler socket 45 coincide with each other. The coupler socket 45 is gripped by wrapping the upper portion having a prismatic outer circumferential surface of the coupler socket 45 with a pair of fingers 33a and closing the pair of fingers 33a slightly. Then, moving over the inlet 11 of the drum container 10, inserting the lower portion in which the thread 45a of the coupler socket 45 is formed is inserted into the inlet 11, and the gripper 33 is attached to the coupler around the rotation axis R6. The coupler socket 45 can be coupled to the inlet 11 by rotating it in the direction in which the socket 45 is screwed (see arrow a). At this time, as the coupler socket 45 is coupled to the inlet 11, it gradually descends in the inner direction of the drum container 10. Accordingly, the multi-axis robot 30 is controlled so that the gripper 33 also descends at the same speed.

이어서, 미리 정해진 곳(후술하는 커플러 보관 유닛(60, 도 2 및 도 9 참조)에 보관되어 있는 커플러 헤드(41)를 파지하여 입구(11)에 먼저 결합된 커플러 소켓(45)에 결합한다. 구체적으로, 도 5의 (c)에 도시된 바와 같이, 그립퍼(33)의 길이방향 중심축(다축 로봇(30)의 회전축(R6))과 커플러(40)의 길이방향 중심축(딥 튜브(43)의 중심축)이 서로 직교하도록 하여 커플러 헤드(41)의 외주면을 한 쌍의 핑거(33a)로 감싸고, 한 쌍의 핑거(33a)를 약간 오므림으로써 딥 튜브(43)가 결합되어 있는 커플러 헤드(41)를 파지한다. 이어서, 드럼 용기(10)의 입구(11)에 결합되어 있는 커플러 소켓(45) 위로 이동하여 커플러 소켓(45)의 중공에 딥 튜브(43)를 관통시켜 하강시킨 다음, 커플러 헤드(41)의 결합돌기(41d)를 커플러 소켓(45)의 결합홈(45d)에 삽입하여 커플러(40)의 길이방향 중심축을 중심으로 소정 각도만큼 회동함으로써(화살표 b 참조) 커플러 헤드(41)를 커플러 소켓(45)에 결합한다. 이때 커플러 헤드(41)의 소정 각도 회동은, 회전축(R6)을 중심으로 그립퍼(33)를 회전시키는 것이 아니라, 다축 로봇(30)의 복수의 아암(31) 중 일부를 이용하여 수행될 수 있다. 예컨대, 다축 로봇(30)의 두 회전축(R1, R5)을 서로 반대방향으로 회전시키면 한 쌍의 핑거(33a)가 이루는 평면이 수평을 유지하면서 커플러 헤드(41)가 커플러(40)의 길이방향 중심축을 중심으로 회동된다.Next, the coupler head 41 stored in a predetermined place (a coupler storage unit 60 to be described later, see FIGS. 2 and 9 ) is gripped and coupled to the coupler socket 45 first coupled to the inlet 11 . Specifically, as shown in Fig. 5 (c), the longitudinal central axis of the gripper 33 (rotation axis R6 of the multi-axis robot 30) and the longitudinal central axis of the coupler 40 (dip tube ( 43) so that the outer circumferential surface of the coupler head 41 is wrapped with a pair of fingers 33a so that they are perpendicular to each other, and the dip tube 43 is coupled by slightly closing the pair of fingers 33a. Gripping the coupler head 41. Then, it moves over the coupler socket 45 coupled to the inlet 11 of the drum container 10 and penetrates the dip tube 43 into the hollow of the coupler socket 45 to descend. Then, by inserting the coupling protrusion 41d of the coupler head 41 into the coupling groove 45d of the coupler socket 45 and rotating by a predetermined angle about the longitudinal central axis of the coupler 40 (see arrow b) The coupler head 41 is coupled to the coupler socket 45. At this time, the predetermined angle rotation of the coupler head 41 does not rotate the gripper 33 about the rotation axis R6, but rather of the multi-axis robot 30. This may be performed using some of the plurality of arms 31. For example, when the two rotation axes R1 and R5 of the multi-axis robot 30 are rotated in opposite directions, the plane formed by the pair of fingers 33a is horizontal. While maintaining the coupler head 41 is rotated about the longitudinal central axis of the coupler (40).

이와 같이, 그립퍼(33)를 수평방향으로 하여 커플러 헤드(41)의 측방에서 파지하고 수평방향으로 소정 각도 회동시켜 커플러 헤드(41)를 커플러 소켓(45)에 결합함으로써, 다축 로봇(30)의 크기를 대폭 감소시켜 시스템을 소형화할 수 있다. 즉, 본 실시형태에서 커플러(40)는 길이가 긴 딥 튜브(43)를 포함하는데, 커플러(40)(커플러 헤드(41))를 캡(15)이나 커플러 소켓(45)과 같이 상방에서 수직방향으로 파지하고 딥 튜브(43) 하단을 드럼 용기(10)의 입구(11)에 삽입하려면 다축 로봇(30)의 아암(31)이 상당히 길어야 하고 그에 따라 시스템(하우징)의 높이를 포함한 사이즈도 방대하여야 하지만, 위와 같이 커플러 헤드(41)를 측방에서 파지하게 되면 아암(31)을 짧게 할 수 있고 시스템도 소형화할 수 있다.In this way, by holding the gripper 33 in the horizontal direction from the side of the coupler head 41 and rotating the coupler head 41 by a predetermined angle in the horizontal direction to couple the coupler head 41 to the coupler socket 45, the multi-axis robot 30 The system can be miniaturized by significantly reducing the size. That is, in the present embodiment, the coupler 40 includes a long dip tube 43 , and the coupler 40 (coupler head 41 ) is vertical from above, such as the cap 15 or the coupler socket 45 . To grip in the direction and insert the bottom of the dip tube 43 into the inlet 11 of the drum container 10, the arm 31 of the multi-axis robot 30 must be quite long, and accordingly the size including the height of the system (housing) However, if the coupler head 41 is gripped from the side as above, the arm 31 can be shortened and the system can be miniaturized.

한편, 시스템에는 드럼 용기(10)의 상면을 촬상하는 비전 유닛(39)을 더 포함할 수 있다. 비전 유닛(39)은 CCD 카메라와 같은 촬상 수단을 구비하여, 촬상 수단에 의해 촬상된 영상을 데이터 처리함으로써 캡(15)이나 입구(11)의 정확한 위치와 각도 등을 산출하여, 다축 로봇(30)의 위치와 자세를 제어하도록 할 수 있다. 특히, 드럼 용기(10)는 내부 압력이나 기온 등의 외부 환경, 장기간의 사용에 따라 변형될 수 있고, 그에 따라 드럼 용기(10)의 상면이 수평을 이루지 못하여 캡(15)이나 입구(11)가 경사져 있을 수 있다. 이 경우 비전 유닛(39)에 의해 캡(15)이나 입구(11)의 정확한 위치와 경사 정도 등을 산출하고 그립퍼(33)의 위치나 파지 각도 등을 미세 제어함으로써 캡(15)이나 커플러(40)의 착탈을 원활하게 수행할 수 있다. 또한, 비전 유닛(39)은 드럼 용기(10)의 상면에 인쇄 또는 부착된 전술한 고유 코드(13)를 판독하는 코드 리더기를 겸할 수 있다.Meanwhile, the system may further include a vision unit 39 for imaging the upper surface of the drum container 10 . The vision unit 39 includes an imaging unit such as a CCD camera, and by processing the image captured by the imaging unit data processing, calculates the exact position and angle of the cap 15 or the inlet 11, and the like, and the multi-axis robot 30 ) to control the position and posture of In particular, the drum container 10 may be deformed according to the external environment such as internal pressure or temperature, and long-term use, and accordingly, the upper surface of the drum container 10 is not leveled, so that the cap 15 or the inlet 11 . may be inclined. In this case, by calculating the exact position and inclination degree of the cap 15 or the inlet 11 by the vision unit 39, and finely controlling the position or the gripping angle of the gripper 33, the cap 15 or coupler 40 ) can be removed smoothly. In addition, the vision unit 39 may also serve as a code reader for reading the above-described unique code 13 printed or affixed on the upper surface of the drum container 10 .

이상과 같이 커플러(40)가 드럼 용기(10)의 입구(11)에 결합되면, 시스템은 커플러(40)를 통해 드럼 용기(10)의 케미컬을 흡입 배출하여 케미컬의 사용처로 공급하거나 반대로 드럼 용기(10)에 케미컬을 주입 충전하는 케미컬 이송 작업을 실시할 수 있다.When the coupler 40 is coupled to the inlet 11 of the drum container 10 as described above, the system sucks and discharges the chemical of the drum container 10 through the coupler 40 and supplies it to the place of use of the chemical or, conversely, the drum container A chemical transfer operation of injecting and filling chemicals into (10) can be performed.

케미컬의 이송 작업이 완료되면 드럼 용기(10)의 입구(11)에 결합된 커플러(40)를 분리하고 입구(11)에 캡(15)을 결합한다. 커플러(40)의 분리와 캡(15)의 결합 작업은 도 5를 참조하여 설명한 캡(15)의 분리와 커플러(40)의 결합 작업의 역순으로 수행하면 되므로 상세한 설명은 생략한다.When the chemical transfer operation is completed, the coupler 40 coupled to the inlet 11 of the drum container 10 is separated and the cap 15 is coupled to the inlet 11 . Separation of the coupler 40 and the coupling operation of the cap 15 are performed in the reverse order of the separation of the cap 15 and the coupling operation of the coupler 40 described with reference to FIG. 5 , so a detailed description thereof will be omitted.

한편, 본 실시예에서 드럼 용기(10)의 입구(11)는 암나사로 이루어지고 캡(15)과 커플러 소켓(45)은 수나사로 이루어져 캡(15)과 커플러 소켓(45)의 외주면이 입구(11)의 내주면에 나사결합하는 것으로 도시하고 설명하였지만, 이들의 암수 결합관계는 반대가 될 수도 있다.On the other hand, in this embodiment, the inlet 11 of the drum container 10 is made of a female screw, and the cap 15 and the coupler socket 45 are made of a male screw so that the outer peripheral surface of the cap 15 and the coupler socket 45 is the inlet ( 11) has been illustrated and described as screwing to the inner circumferential surface, but their male-female coupling relationship may be reversed.

나아가, 본 실시예에서 커플러 소켓(45)은 케미컬을 이송할 때마다 드럼 용기(10)의 입구(11)에 착탈되는 것으로 도시하고 설명하였지만, 커플러 소켓(45)은 드럼 용기(10)의 입구(11)에 고정적으로 결합되어 있을 수 있다. 이 경우, 케미컬의 이송을 위해 커플러(40)를 드럼 용기(10)의 입구(11)에 결합할 때는, 드럼 용기(10)의 입구(11)에서 캡(15)을 분리하고(도 5의 (a) 참조), 입구(11)에 결합되어 있는 커플러 소켓(45)에 커플러 헤드(41)를 결합하는 작업(도 5의 (c) 참조)만을 수행하면 된다.Furthermore, in this embodiment, the coupler socket 45 is shown and described as being detachable from the inlet 11 of the drum container 10 whenever chemical is transferred, but the coupler socket 45 is the inlet of the drum container 10 . It may be fixedly coupled to (11). In this case, when coupling the coupler 40 to the inlet 11 of the drum container 10 for chemical transfer, remove the cap 15 from the inlet 11 of the drum container 10 (see FIG. 5 ). (a)), it is only necessary to perform the operation of coupling the coupler head 41 to the coupler socket 45 coupled to the inlet 11 (refer to (c) of FIG. 5).

도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 커플러(40')의 분해 사시도(a) 및 단면도(b)이고, 도 7은 도 6에 도시된 커플러(40')를 파지한 상태의 다축 로봇(30)의 일부를 도시한 사시도이다. 6 is an exploded perspective view (a) and a cross-sectional view (b) of a coupler 40' according to another embodiment of the present invention, and FIG. 7 is a multi-axis robot ( 30) is a perspective view showing a part of it.

도 6 및 도 7을 참조하여, 다른 실시예에 따른 커플러(40') 및 그립퍼(33')에 대해 설명한다. 도 6 및 도 7에서 도 3 내지 도 5와 동일한 참조부호는 전술한 실시예에 따른 커플러(40) 및 그립퍼(33)와 동일한 구성을 의미하므로 그 상세한 설명은 생략하고, 이하에서는 전술한 실시예와 다른 점을 중심으로 설명한다. 한편, 도 7에서는 비전 유닛(39, 도 3 참조)의 도시를 생략하였지만, 본 실시예의 시스템(그립퍼(33'))에도 마찬가지의 비전 유닛이 마련될 수 있다.6 and 7, a coupler 40' and a gripper 33' according to another embodiment will be described. In FIGS. 6 and 7 , the same reference numerals as those of FIGS. 3 to 5 mean the same configuration as the coupler 40 and the gripper 33 according to the above-described embodiment, and thus detailed description thereof will be omitted, and hereinafter, the above-described embodiment will be omitted. and different points will be explained. On the other hand, although illustration of the vision unit 39 (refer to FIG. 3) is omitted in FIG. 7, the same vision unit may be provided in the system (gripper 33') of the present embodiment.

본 실시예의 커플러(40')는 전술한 실시예의 커플러(40)와 마찬가지로, 커플러 헤드(41'), 딥 튜브(43') 및 커플러 소켓(45')을 포함한다. 본 실시예의 커플러 헤드(41'), 딥 튜브(43') 및 커플러 소켓(45')은 전술한 실시예의 커플러 헤드(41), 딥 튜브(43) 및 커플러 소켓(45)과 유사하나, 이들간의 결합 관계가 다르다.The coupler 40' of this embodiment includes a coupler head 41', a dip tube 43' and a coupler socket 45', like the coupler 40 of the above-described embodiment. The coupler head 41', the dip tube 43' and the coupler socket 45' of this embodiment are similar to the coupler head 41, the dip tube 43, and the coupler socket 45 of the above-described embodiment, but these the relationship between them is different.

구체적으로, 먼저 커플러 헤드(41')는 커플러 소켓(45')의 중공에 커플러 소켓(45')과 상대적으로 회전가능하게 결합된다. 이를 위해, 커플러 헤드(41')의 하부 외주면에는 복수개의 볼 플런저(41p)가 마련되고, 커플러 소켓(45')의 중공 내주면에는 볼 플런저(41p)에 대응되는 위치에 오목홈(45p)이 마련되어, 커플러 헤드(41')를 커플러 소켓(45')의 중공에 삽입하면 볼 플런저(41p)가 오목홈(45p)에 안착하여 커플러 헤드(41')와 커플러 소켓(45')은 상대 회전가능하게 된다. 여기서, 볼 플런저(41p)와 오목홈(45p)의 배치는 서로 바뀔 수 있다. 즉, 커플러 소켓(45')의 중공 내주면에 볼 플런저가 배치되고, 커플러 헤드(41')의 하부 외주면에 오목홈이 형성될 수 있다.Specifically, first, the coupler head 41' is relatively rotatably coupled to the coupler socket 45' in the hollow of the coupler socket 45'. To this end, a plurality of ball plungers 41p are provided on the lower outer circumferential surface of the coupler head 41', and the hollow inner circumferential surface of the coupler socket 45' has a concave groove 45p at a position corresponding to the ball plunger 41p. Provided, when the coupler head 41' is inserted into the hollow of the coupler socket 45', the ball plunger 41p is seated in the concave groove 45p, and the coupler head 41' and the coupler socket 45' are rotated relative to each other. it becomes possible Here, the arrangement of the ball plunger 41p and the concave groove 45p may be interchanged. That is, the ball plunger may be disposed on the hollow inner circumferential surface of the coupler socket 45 ′, and a concave groove may be formed on the lower outer circumferential surface of the coupler head 41 ′.

또한, 전술한 실시예에서 커플러 소켓(45)의 상부는 각형의 외주면을 가졌으나, 본 실시예에서 커플러 소켓(45')의 상부 외주면은 원형으로 이루어지고, 이 외주면에는 커플러 소켓(45')을 커플러 헤드(41')에 대해 상대 회전시키기 위한 기어(45t)가 형성된다.In addition, in the above embodiment, the upper portion of the coupler socket 45 has a prismatic outer circumferential surface, but in this embodiment, the upper outer circumferential surface of the coupler socket 45 'is circular, and the outer circumferential surface of the coupler socket 45') A gear 45t is formed for relative rotation with respect to the coupler head 41'.

또한, 전술한 실시예에서는 딥 튜브(43)가 케미컬 유로(41a)와 연통되도록, 예컨대 나사결합에 의해 커플러 헤드(41)에 분리가능하게 결합되었지만, 본 실시예서는 딥 튜브(43')가 커플러 헤드(41')의 케미컬 유로(41a)와 연통되도록 커플러 소켓(45')에 일체 성형된다. 물론, 본 실시예에서 딥 튜브(43')는 커플러 소켓(45')에 분리가능하게 결합될 수 있고, 나아가 전술한 실시예와 같이 커플러 헤드(41')에 결합될 수도 있다.In addition, in the above embodiment, the dip tube 43 is detachably coupled to the coupler head 41 by, for example, screwing so that it communicates with the chemical flow path 41a, but in this embodiment, the dip tube 43 ′ is It is integrally molded into the coupler socket 45' so as to communicate with the chemical flow path 41a of the coupler head 41'. Of course, in this embodiment, the dip tube 43' may be detachably coupled to the coupler socket 45', and further may be coupled to the coupler head 41' as in the above-described embodiment.

한편, 도 7을 참조하면, 본 실시예의 그립퍼(33')는 전술한 실시예에서의 그립퍼(33)에 비해, 커플러 소켓(45')을 회전시킬 수 있는 구성을 더 가진다. 구체적으로, 본 실시예의 그립퍼(33')의 하부에는 한 쌍의 핑거(33a)로 커플러(40')(커플러 헤드(41'))를 파지하였을 때 커플러 소켓(45')의 상부 외주면에 형성된 기어(45t)와 맞물리는 기어(33t)가 마련되고, 그립퍼(33')의 내부에는 이 기어(33t)를 회전구동하는 모터가 내장되어 있다. 따라서, 그립퍼(33')로 커플러 소켓(45')이 결합된 커플러 헤드(41')를 파지한 채로, 커플러 소켓(45')만을 회전시킴으로써 커플러(40')를 드럼 용기(10)의 입구(11)에 결합할 수 있다. 즉, 본 실시예에 따르면, 그립퍼(33')로 드럼 용기(10)의 입구(11)에 체결된 캡(15)을 분리하고(도 5의 (a) 참조), 커플러 소켓(45'), 딥 튜브(43') 및 커플러 헤드(41')가 결합된 상태로 한 번에 커플러(40')를 드럼 용기(10)의 입구(11)에 결합할 수 있다.Meanwhile, referring to FIG. 7 , the gripper 33 ′ of the present embodiment has a configuration capable of rotating the coupler socket 45 ′, compared to the gripper 33 of the aforementioned embodiment. Specifically, the lower portion of the gripper 33' of this embodiment is formed on the upper outer peripheral surface of the coupler socket 45' when the coupler 40' (coupler head 41') is gripped with a pair of fingers 33a. A gear 33t meshing with the gear 45t is provided, and a motor for rotationally driving the gear 33t is built in the gripper 33'. Accordingly, by rotating only the coupler socket 45' while holding the coupler head 41' to which the coupler socket 45' is coupled with the gripper 33', the coupler 40' is moved to the inlet of the drum container 10. (11) can be combined. That is, according to the present embodiment, the cap 15 fastened to the inlet 11 of the drum container 10 is separated by the gripper 33' (refer to FIG. 5(a)), and the coupler socket 45' , the dip tube 43' and the coupler head 41' can be coupled to the inlet 11 of the drum container 10 at a time with the coupler 40'.

본 실시형태에에서 커플러 헤드(41, 41')에는 플렉시블한 케미컬 배관(42a), 기체 배관(42b) 및/또는 순환 배관(42c)이 연결되고, 이들 배관(42a, 42b, 42c)은 커플러(40, 40')를 드럼 용기(10)의 입구(11)에 착탈할 때 커플러 헤드(41, 41')와 함께 움직이게 된다. 특히, 커플러(40, 40')가 딥 튜브(43, 43')를 포함하는 경우에 이 배관(42a, 42b, 42c)의 상하 이동범위는 딥 튜브(43, 43')의 길이 이상이 된다. 이에, 본 실시형태의 시스템은 커플러(40, 40')의 이동에 의해 움직이는 이 배관(42a, 42b, 42c)을 지탱하며 슬라이딩하는 배관 지지 유닛(50, 도 2 및 도 8 참조)을 더 포함할 수 있다.In this embodiment, a flexible chemical pipe 42a, a gas pipe 42b, and/or a circulation pipe 42c are connected to the coupler heads 41, 41', and these pipes 42a, 42b, 42c are couplers (40, 40') is moved together with the coupler heads (41, 41') when attaching and detaching the inlet 11 of the drum container (10). In particular, when the couplers 40 and 40' include the dip tubes 43 and 43', the vertical movement range of the pipes 42a, 42b, and 42c is greater than or equal to the length of the dip tubes 43 and 43'. . Accordingly, the system of the present embodiment further includes a pipe support unit 50 (refer to FIGS. 2 and 8) that slides while supporting the pipes 42a, 42b, and 42c that are moved by the movement of the couplers 40 and 40'. can do.

배관 지지 유닛(50)은, 도 8에 도시된 바와 같이, 적어도 배관(42a, 42b, 42c)의 상하 이동범위 이상의 길이를 가지고 하우징(20) 내부에 고정된 가이드 레일(53)과, 배관(42a, 42b, 42c)을 지탱하며 가이드 레일(53)을 따라 상하로 슬라이딩하는 슬라이딩 블록(51)을 포함할 수 있다. 슬라이딩 블록(51)은 별도의 동력 없이 커플러(40, 40')의 상하 이동을 추종하여 상하로 슬라이딩 하도록 구성될 수 있고, 별도의 동력(예컨대, 리니어 모터, 모터 및 랙과 피니언 기어, 또는 에어 실린더 등)에 의해 구동되어 커플러(40, 40')의 높이와 연동하여 자동으로 슬라이딩 하도록 구성될 수도 있다.The pipe support unit 50, as shown in FIG. 8, has a length equal to or greater than the vertical movement range of at least the pipe (42a, 42b, 42c) and a guide rail 53 fixed inside the housing 20, and a pipe ( It may include a sliding block 51 that supports the 42a, 42b, and 42c and slides up and down along the guide rail 53 . The sliding block 51 may be configured to slide up and down by following the up-and-down movement of the couplers 40 and 40' without separate power, and separate power (eg, a linear motor, a motor and a rack and pinion gear, or air cylinder, etc.) and may be configured to automatically slide in conjunction with the height of the couplers 40 and 40'.

또한, 배관 지지 유닛(50)은 슬라이딩 블록(51)에 결합된 배관 지탱 부재(52)를 더 포함할 수 있다. 배관 지탱 부재(52)에는 배관공(52a, 52b, 52c)이 형성되어 있어 각각의 배관(42a, 42b, 42c)이 삽입될 수 있다. 이때, 배관공(52a, 52b, 52c)은 배관공(52a, 52b, 52c)에 삽입된 배관(42a, 42b, 42c)이 어느 정도 움직일 수 있도록 그 내경이 배관(42a, 42b, 42c)의 외경보다 약간 크게 형성되는 것이 바람직하다. 또한, 배관 지탱 부재(52)는 슬라이딩 블록(51)의 표면이 이루는 평면상에서 360도 회동가능하게(도 8의 화살표 r 참조) 결합되는 것이 바람직하다.In addition, the pipe support unit 50 may further include a pipe support member 52 coupled to the sliding block 51 . The pipe support member 52 is formed with plumbing holes 52a, 52b, 52c, so that the respective pipes 42a, 42b, and 42c can be inserted therein. At this time, the plumbing (52a, 52b, 52c) has the inner diameter of the pipe (42a, 42b, 42c) than the outer diameter of the pipe (42a, 42b, 42c) so that the pipe (42a, 42b, 42c) inserted into the plumbing (52a, 52b, 52c) can move to some extent. It is preferable to be formed slightly larger. In addition, it is preferable that the pipe supporting member 52 is coupled to be rotatable 360 degrees on the plane formed by the surface of the sliding block 51 (see arrow r in FIG. 8 ).

이러한 배관 지지 유닛(50)을 구비함으로써 커플러(40, 40')의 착탈 동작에 따라 배관(42a, 42b, 42c)이 꺾여 접히거나 꼬이는 등의 문제를 방지할 수 있다.By providing such a pipe support unit 50, it is possible to prevent problems such as the pipe (42a, 42b, 42c) being bent or twisted according to the detachment operation of the coupler (40, 40').

또한, 본 실시형태에 따른 시스템에서는, 전술한 바와 같이 드럼 용기(10)의 입구(11)에서 분리된 커플러(40, 40')를 커플러 보관 유닛(60, 도 9 참조)에 거치하여 보관할 수 있다. 특히, 커플러(40, 40')가 딥 튜브(43, 43')를 포함하는 경우에 커플러 보관 유닛(60)은 딥 튜브(43, 43')를 포함한 커플러(40, 40')를 보관할 수 있으며, 나아가 커플러 보관 유닛(60)은 커플러(40, 40')에 세정수를 분사하여 세정하는 세정기능을 구비할 수 있다. 즉, 커플러 보관 유닛(60)은 커플러 세정 유닛을 겸할 수 있다.In addition, in the system according to the present embodiment, the couplers 40 and 40' separated from the inlet 11 of the drum container 10 as described above can be mounted and stored in the coupler storage unit 60 (refer to FIG. 9 ). have. In particular, when the couplers 40 and 40' include the dip tubes 43 and 43', the coupler storage unit 60 can store the couplers 40 and 40' including the dip tubes 43 and 43'. Further, the coupler storage unit 60 may have a cleaning function for cleaning by spraying cleaning water to the couplers 40 and 40'. That is, the coupler storage unit 60 may also serve as a coupler cleaning unit.

커플러 보관 유닛 겸 커플러 세정 유닛(60)은, 그 전면 절개 사시도인 도 10을 참조하면, 세정 챔버(61)와 노즐(63a)을 포함할 수 있다. 구체적으로, 세정 챔버(61)는 커플러(40, 40')의 딥 튜브(43, 43')를 수용하는 내부 공간을 가지고, 상부에는 딥 튜브(43, 43')가 상기 내부 공간으로 드리워지게 커플러 헤드(41, 41')를 거치하는 커플러 거치구가 형성되어 있으며, 하부에는 배수구(67)가 형성되어 있다. 노즐(63a)은 딥 튜브(43, 43')와 평행하게 상기 내부 공간에 드리워진 세정수 공급관(63)의 딥 튜브(43, 43')의 외면과 대향하는 쪽에 다수개가 형성되어 있다.The coupler storage unit and coupler cleaning unit 60 may include a cleaning chamber 61 and a nozzle 63a with reference to FIG. 10 , which is a front cutaway perspective view. Specifically, the cleaning chamber 61 has an inner space for accommodating the dip tubes 43 and 43' of the couplers 40 and 40', and the dip tubes 43 and 43' are drawn into the inner space at the top. A coupler holder for mounting the coupler heads 41 and 41' is formed, and a drain 67 is formed in the lower portion. A plurality of nozzles 63a are formed on the side opposite to the outer surfaces of the dip tubes 43 and 43' of the washing water supply pipe 63 hanging in the inner space in parallel with the dip tubes 43 and 43'.

따라서, 세정수 공급관(63)으로 세정수, 예컨대 순수를 공급하면 노즐(63a)을 통해 세정수가 딥 튜브(43, 43')를 향해 분사되어 딥 튜브(43, 43')의 외면을 세정할 수 있다. 또한, 이때 케미컬 배관(42a, 도 2 참조)를 통해 커플러 거치구에 거치된 커플러 헤드(41, 41')의 케미컬 유로(41a, 도 4 및 도 6 참조)로도 세정수를 공급하여 케미컬 유로(41a) 및 이에 연통된 딥 튜브(43, 43')의 내면도 동시에 세정할 수 있다. 나아가, 커플러 헤드(41, 41')가 케미컬 순환 유로(41c)를 가지는 경우에는 순환 배관(42c)으로도 세정수를 공급하여 케미컬 순환 유로(41c)도 동시에 세정할 수 있다. 또한, 커플러(40, 40')의 세정이 완료되면, 세정수를 공급했던 세정수 공급관(63), 케미컬 배관(42a) 및/또는 순환 배관(42c)으로, 또는 기체 배관(42b)으로 건조 공기 또는 건조 질소를 공급하여 커플러(40, 40')를 건조시킬 수 있다.Therefore, when washing water, for example, pure water is supplied to the washing water supply pipe 63, the washing water is sprayed toward the dip tubes 43 and 43' through the nozzle 63a to clean the outer surfaces of the dip tubes 43 and 43'. can In addition, at this time, the cleaning water is also supplied to the chemical flow path (41a, see FIGS. 4 and 6) of the coupler head 41, 41' mounted on the coupler holder through the chemical pipe (42a, see FIG. 2) to supply the washing water to the chemical flow path ( 41a) and the inner surfaces of the dip tubes 43 and 43' connected thereto can also be cleaned at the same time. Furthermore, when the coupler heads 41 and 41' have the chemical circulation passage 41c, washing water is also supplied to the circulation pipe 42c to simultaneously clean the chemical circulation passage 41c. In addition, when the cleaning of the couplers 40 and 40' is completed, the washing water supply pipe 63, the chemical pipe 42a and/or the circulation pipe 42c to which the washing water was supplied, or the gas pipe 42b is dried. The couplers 40 and 40' may be dried by supplying air or dry nitrogen.

한편, 커플러 거치구에 커플러(40, 40')를 거치/분리하는 것은 다축 로봇(30)에 의해 커플러(40, 40')를 드럼 용기(10)의 입구(11)에 착탈하는 것과 동일한 방식으로 수행될 수 있다. On the other hand, mounting/separating the couplers 40, 40' to the coupler holder is the same as attaching/detaching the couplers 40, 40' to the inlet 11 of the drum container 10 by the multi-axis robot 30. can be performed with

구체적으로, 커플러가 도 3 및 도 4를 참조하여 설명한 실시예의 커플러(40)인 경우에는, 커플러 거치구에 전술한 커플러 소켓(45)과 동일한 구조의 거치용 소켓(65)이 결합되어 있고, 다축 로봇(30)(그립퍼(33))은 도 5의 (c)를 참조하여 설명한 것과 동일한 방식으로, 커플러 소켓(45)을 제외하고 딥 튜브(43)가 결합된 커플러 헤드(41)를 파지하여 거치용 소켓(65)에 결합함으로써 딥 튜브(43)가 결합된 커플러 헤드(41)를 커플러 거치구에 거치할 수 있다.Specifically, when the coupler is the coupler 40 of the embodiment described with reference to FIGS. 3 and 4, the mounting socket 65 having the same structure as the coupler socket 45 described above is coupled to the coupler holder, The multi-axis robot 30 (gripper 33) grips the coupler head 41 to which the dip tube 43 is coupled, except for the coupler socket 45, in the same manner as described with reference to FIG. 5(c). By coupling to the socket 65 for mounting, the coupler head 41 to which the dip tube 43 is coupled can be mounted on the coupler holder.

또한, 커플러가 도 6 및 도 7을 참조하여 설명한 실시예의 커플러(40')인 경우에는, 커플러 거치구가 드럼 용기(10)의 입구(11)와 동일한 구조로 이루어지고, 다축 로봇(30)(그립퍼(33'))은 도 7을 참조하여 설명한 것과 동일한 방식으로, 커플러 소켓(45')과 딥 튜브(43')가 결합된 커플러 헤드(41')를 파지하고 커플러 소켓(45')만을 회전시켜 커플러 거치구에 결합함으로써 커플러 소켓(45')과 딥 튜브(43')가 결합된 커플러 헤드(41')를 커플러 거치구에 거치할 수 있다.In addition, when the coupler is the coupler 40' of the embodiment described with reference to FIGS. 6 and 7, the coupler holder has the same structure as the inlet 11 of the drum container 10, and the multi-axis robot 30 (Gripper 33') grips the coupler head 41' in which the coupler socket 45' and the dip tube 43' are coupled, and the coupler socket 45' in the same manner as described with reference to FIG. By rotating the bay and coupled to the coupler holder, the coupler head 41 ′ in which the coupler socket 45 ′ and the dip tube 43 ′ are coupled can be mounted on the coupler holder.

이와 같이, 본 실시형태에 따른 시스템은 커플러 보관 겸 세정 유닛(60)을 구비하여 커플러(40, 40')를 세정함으로써 커플러(40, 40') 내외부에 케미컬이 고착되는 것을 방지할 수 있다.As such, the system according to the present embodiment includes the coupler storage and cleaning unit 60 to clean the couplers 40 and 40', thereby preventing the chemicals from adhering to the inside and outside of the couplers 40 and 40'.

한편, 본 실시형태에 따른 시스템은 여분의 커플러 보관 유닛(커플러 세정 유닛)(60', 도 2 참조)을 더 포함할 수 있다. 이 여분의 커플러 보관 유닛(60')은 본래의 커플러 보관 유닛(60)의 청소 등 유지보수시에 본래의 커플러 보관 유닛(60)을 대체할 수 있다. 또는, 전술한 바와 같이 커플러(40, 40')가 드럼 용기(10)에 충전된 또는 충전될 케미컬의 종류에 따라 구분되어 사용하는 경우, 여분의 커플러 보관 유닛(60')은 케미컬의 종류에 따라 다른 커플러(40, 40')를 보관 및/또는 세정할 수 있다. 이 경우, 도 2에는 도시하지 않았으나, 여분의 커플러 보관 유닛(60')에는 대응되는 다른 커플러(40, 40')가 보관되고, 각 커플러(40, 40')별로 전술한 배관(42a, 42b, 42c)이 연결되어 다른 케미컬의 사용처 또는 공급처와 유체 연결되어 있고, 각 커플러(40, 40')별로 배관 지지 유닛(50)이 부가될 수 있다. 이 경우, 하나의 시스템(하나의 다축 로봇)으로 복수 종류의 케미컬 이송 작업을 수행할 수 있다.Meanwhile, the system according to the present embodiment may further include an extra coupler storage unit (coupler cleaning unit) 60' (refer to FIG. 2). This extra coupler storage unit 60 ′ can replace the original coupler storage unit 60 during maintenance such as cleaning of the original coupler storage unit 60 . Alternatively, as described above, when the couplers 40 and 40' are used separately according to the type of chemical filled or filled in the drum container 10, the extra coupler storage unit 60' is dependent on the type of chemical. Other couplers 40, 40' may be stored and/or cleaned accordingly. In this case, although not shown in FIG. 2, the other couplers 40 and 40' corresponding to the extra coupler storage unit 60' are stored, and the above-described pipes 42a and 42b for each coupler 40, 40'. , 42c) are connected and are fluidly connected to a place of use or a supplier of other chemicals, and a pipe support unit 50 may be added for each coupler 40, 40'. In this case, multiple types of chemical transfer operations can be performed with one system (one multi-axis robot).

본 실시형태의 시스템에서는 케미컬의 이송이 완료된 후 커플러(40, 40')를 드럼 용기(10)의 입구(11)에서 분리하여 커플러 보관 유닛(60)으로 이동하는 과정에서 커플러(40, 40')(딥 튜브(43, 43'))에서 케미컬이 낙하하여 하우징(20) 내부를 오염시킬 수 있다. 이에, 본 실시형태의 시스템은 딥 튜브(43, 43')로부터 낙하하는 케미컬 잔액을 받는 잔액 받이(70, 도 2 참조)를 더 포함할 수 있다.In the system of this embodiment, after the chemical transfer is completed, the couplers 40 and 40' are separated from the inlet 11 of the drum container 10 and in the process of moving to the coupler storage unit 60, the couplers 40 and 40' ) (dip tubes 43 and 43 ′) may drop chemicals to contaminate the inside of the housing 20 . Accordingly, the system of the present embodiment may further include a balance receiver 70 (refer to FIG. 2 ) for receiving the chemical balance falling from the dip tubes 43 and 43 ′.

잔액 받이(70)는, 도 2 및 도 9를 참조하면, 드럼 용기(10)의 입구(11)와 커플러 보관 유닛(60) 간의 커플러(40, 40')의 이동 경로에, 드럼 용기(10)의 입구(11)에서 분리되어 최대로 상승한 딥 튜브(43, 43')의 하단과 드럼 용기(10)의 상단 사이의 높이에 배치된다. The balance receiver 70 is, with reference to FIGS. 2 and 9 , in the movement path of the couplers 40 and 40 ′ between the inlet 11 of the drum container 10 and the coupler storage unit 60 , the drum container 10 ) is disposed at a height between the lower ends of the dip tubes 43 and 43 ′, which are separated from the inlet 11 and raised to the maximum, and the upper end of the drum container 10 .

구체적으로, 잔액 받이(70)는, 도 9 및 도 11을 참조하면, 평면 형상이 대략 'ㄴ'자 형상의 쟁반으로 이루어지고, 에어 실린더 등의 진퇴 구동수단(75)에 의해 수평방향으로 드럼 용기(10)를 향해 진퇴가능하게 구성된다(도 11의 화살표 c 참조). 따라서, 다축 로봇(30)이 커플러(40, 40')를 드럼 용기(10)의 입구(11)에서 분리하여 상승시킨 다음, 진퇴 구동수단(75)으로 잔액 받이(70)를 드럼 용기(10) 위로 전진시키면, 잔액 받이(70)는 드럼 용기(10)의 입구(11)와 커플러 보관 유닛(60)의 커플러 거치구를 가리게 되고, 그 위에 위치하는 딥 튜브(43, 43')로부터 낙하할 수 있는 케미컬 잔액을 받을 수 있게 된다. 이 상태에서 다축 로봇(30)이 커플러(40, 40')를 커플러 보관 유닛(60)의 커플러 거치구 위로 수평이동하면, 잔액 받이(70)는 진퇴 구동수단(75)에 의해 원래의 위치로 후퇴한다. 그러면, 잔액 받이(70)에 의해 가려졌던 커플러 보관 유닛(60)의 커플러 거치구가 노출되고, 다축 로봇(30)은 커플러(40, 40')를 하강시켜 커플러 보관 유닛(60)의 커플러 거치구에 삽입하여 거치한다. 이때, 도면에는 도시하지 않았지만, 다축 로봇(30)이 커플러(40, 40')를 커플러 보관 유닛(60)의 커플러 거치구에 거치할 때 잔액 받이(70)가 방해되지 않도록 잔액 받이(70)를 하강시키는 에어 실린더와 같은 잔액 받이 승강수단을 더 구비할 수도 있다.Specifically, the balance receiver 70, with reference to FIGS. 9 and 11, is made of a tray having an approximately 'L' shape in a plane shape, and is a drum in the horizontal direction by a forward and backward driving means 75 such as an air cylinder. It is configured to move forward and backward toward the container 10 (see arrow c in FIG. 11 ). Therefore, the multi-axis robot 30 separates the couplers 40 and 40' from the inlet 11 of the drum container 10 and raises it, and then moves the balance receiver 70 to the drum container 10 with the forward and backward driving means 75 . ) When moving forward, the balance receiver 70 covers the inlet 11 of the drum container 10 and the coupler holder of the coupler storage unit 60, and falls from the dip tubes 43 and 43' located thereon. You will be able to receive a chemical balance that you can do. In this state, when the multi-axis robot 30 moves the couplers 40 and 40' horizontally over the coupler holder of the coupler storage unit 60, the balance receiver 70 returns to the original position by the forward and backward driving means 75. retreat Then, the coupler holder of the coupler storage unit 60 that was covered by the balance receiver 70 is exposed, and the multi-axis robot 30 lowers the couplers 40 and 40' to mount the coupler of the coupler storage unit 60. Insert it into the sphere and mount it. At this time, although not shown in the drawing, when the multi-axis robot 30 mounts the couplers 40 and 40' to the coupler holder of the coupler storage unit 60, the balance receiver 70 is not disturbed. It may further include a balance receiving lifting means such as an air cylinder for lowering the.

또한, 잔액 받이(70)는 경사진 쟁반 형태를 가지고, 가장 낮은 곳에 배수구(71)를 구비하여 받은 케미컬 잔액을 배수할 수 있다. 또한, 잔액 받이(70)에 케미컬이 고착되는 것을 방지하기 위해, 세정수 공급관(73) 및 노즐(73a)을 통해 세정수를 잔액 받이(70) 바닥에 분사하여 케미컬 잔액을 원활하게 배수하도록 할 수 있다.In addition, the balance receiver 70 has an inclined tray shape, and a drain 71 is provided at the lowest position to drain the received chemical balance. In addition, in order to prevent the chemical from adhering to the residual liquid container 70, the cleaning water is sprayed on the bottom of the residual liquid container 70 through the cleaning water supply pipe 73 and the nozzle 73a to smoothly drain the chemical residual liquid. can

한편, 본 실시형태의 시스템에서 다축 로봇(30)에 의해 커플러(40, 40')의 착탈이 원활하게 이루어지기 위해서는, 드럼 용기(10)의 입구(11)가 미리 정해진 위치에 위치하도록 드럼 용기(10)를 정렬할 필요가 있다. 이를 위해 본 실시형태의 시스템은, 드럼 탑재대, 드럼 가이드 유닛, 드럼 회전 유닛 및/또는 드럼 정렬 유닛을 더 포함할 수 있다. 이하, 도 12를 참조하여 드럼 탑재대(81), 드럼 가이드 유닛(83), 드럼 회전 유닛(85) 및 드럼 정렬 유닛(90)에 대해 설명한다.On the other hand, in the system of the present embodiment, in order to smoothly attach and detach the couplers 40 and 40' by the multi-axis robot 30, the drum container so that the inlet 11 of the drum container 10 is located at a predetermined position. (10) needs to be sorted. To this end, the system of the present embodiment may further include a drum mount, a drum guide unit, a drum rotating unit, and/or a drum alignment unit. Hereinafter, the drum mounting table 81 , the drum guide unit 83 , the drum rotating unit 85 , and the drum alignment unit 90 will be described with reference to FIG. 12 .

드럼 탑재대(81)는 드럼 용기(10)의 하면보다 약간 더 큰 면적을 가지는 편평한 좌대의 형태로 이루어질 수 있다. 드럼 탑재대(81)의 상면에는 일부가 돌출된 다수의 볼 롤러(82)가 배치되어 있다. 따라서, 드럼 용기(10)는 드럼 탑재대(81) 상에서 임의의 수평방향으로 이동 및 회전이 가능하다. The drum mount 81 may be formed in the form of a flat pedestal having a slightly larger area than the lower surface of the drum container 10 . A plurality of ball rollers 82 partially protruding are disposed on the upper surface of the drum mounting table 81 . Accordingly, the drum container 10 can move and rotate in any horizontal direction on the drum mount 81 .

드럼 가이드 유닛(83)은 드럼 용기(10)의 외주면을 감싸 지지하는 구성요소로서, 로터리 실린더나 모터 및 필요한 동력전달기구를 포함하는 회동수단(83a)에 의해 벌려지거나 오므려지는 가이드 바(83b)와, 가이드 바(83b)에 회전가능하게 결합되어 드럼 용기(10)의 외주면에 접촉하는 아이들 롤러(83c)를 포함할 수 있다. 여기서, 가이드 바(83b)는 선단부가 오므려짐으로써 드럼 탑재대(81)에 탑재되는 드럼 용기(10)를 드럼 회전 유닛(85) 쪽으로 인입하고, 선단부가 벌려짐으로써 후단부가 오므려져 드럼 용기(10)를 드럼 회전 유닛(85)에서 멀어지는 쪽으로 밀어 배출하도록 구성될 수 있다.The drum guide unit 83 is a component that surrounds and supports the outer circumferential surface of the drum container 10, and is a guide bar 83b that is opened or closed by a rotating means 83a including a rotary cylinder or a motor and a necessary power transmission mechanism. ), and is rotatably coupled to the guide bar (83b) may include an idle roller (83c) in contact with the outer peripheral surface of the drum container (10). Here, the guide bar 83b draws in the drum container 10 mounted on the drum mounting table 81 toward the drum rotating unit 85 by closing the front end, and by opening the front end, the rear end is closed to the drum container ( 10) may be configured to push and eject away from the drum rotating unit 85 .

드럼 회전 유닛(85)은 드럼 가이드 유닛(83)에 의해 지지되는 드럼 용기(10)의 외주면에 밀착되고 내장된 모터에 의해 회전함으로써 드럼 용기(10)를 수직방향 중심축을 중심으로 회전시키는 구동 롤러로 이루어질 수 있다.The drum rotating unit 85 is closely attached to the outer circumferential surface of the drum container 10 supported by the drum guide unit 83 and rotates by a built-in motor, thereby rotating the drum container 10 about a vertical central axis. can be made with

드럼 정렬 유닛(90)은 드럼 회전 유닛(85)에 의해 회전하는 드럼 용기(10)의 입구(11)를 감지하여 드럼 용기(10)의 입구(11)가 미리 정해진 위치에 도달하면 드럼 회전 유닛(85)을 정지시키는 구성요소로서, 회동바(91)와, 회동바(91)를 승강시키는(화살표 d 참조) 에어 실린더와 같은 승강수단(97)과, 회동바(91)를 회동축(A1)을 중심으로 회동시키는(화살표 e 참조) 모터나 로터리 실린더와 같은 회동수단(99)을 포함할 수 있다. 회동바(91)의 선단에는 드럼 용기(10)의 입구(11)의 외경과 대략 동일하거나 약간 큰 내경을 가지는 반원형의 스토퍼(93)와, 스토퍼(93)의 대략 중앙에서 돌출되어 드럼 용기(10)의 입구(11) 외주면이 접촉되면 이를 감지하는 접촉 센서(95)가 마련될 수 있다.The drum aligning unit 90 detects the inlet 11 of the drum container 10 rotated by the drum rotating unit 85, and when the inlet 11 of the drum container 10 reaches a predetermined position, the drum rotating unit As a component for stopping (85), the rotation bar 91, the lifting means 97 such as an air cylinder for raising and lowering the rotation bar 91 (refer to arrow d), and the rotation bar 91 for the rotation shaft ( It may include a rotating means 99 such as a motor or a rotary cylinder for rotating about A1) (see arrow e). The tip of the rotating bar 91 has a semi-circular stopper 93 having an inner diameter approximately equal to or slightly larger than the outer diameter of the inlet 11 of the drum container 10, and a stopper 93 protruding from the center of the drum container ( 10) When the outer peripheral surface of the inlet 11 is in contact, a contact sensor 95 for detecting this may be provided.

이와 같이 구성되는 드럼 가이드 유닛(83), 드럼 회전 유닛(85) 및 드럼 정렬 유닛(90)에 의한 드럼 용기(10)의 인입, 정렬 및 배출 동작에 대해 설명한다.The operation of drawing in, aligning and discharging the drum container 10 by the drum guide unit 83, the drum rotating unit 85 and the drum aligning unit 90 configured in this way will be described.

먼저, 드럼 가이드 유닛(83)의 가이드 바(83b)가 회동수단(83a)에 의해 선단부가 벌려져 드럼 용기(10)를 받아들일 수 있는 상태가 된다. 이어서, 드럼 용기(10)가 대차(도시 생략)에 의해 드럼 탑재대(81)에 탑재되어 드럼 회전 유닛(85) 쪽으로 밀어진다. 드럼 용기(10)가 드럼 탑재대(81)에 탑재되면 가이드 바(83b)의 선단부가 회동수단(83a)에 의해 오므려지고 드럼 용기(10)는 인입되어 드럼 회전 유닛(85)에 밀착된 상태로 드럼 가이드 유닛(83)에 의해 지지된다.First, the guide bar 83b of the drum guide unit 83 is in a state capable of receiving the drum container 10 by having the tip of the guide bar 83b open by the rotation means 83a. Next, the drum container 10 is mounted on the drum mounting table 81 by a bogie (not shown) and pushed toward the drum rotating unit 85 . When the drum container 10 is mounted on the drum mount 81, the tip of the guide bar 83b is closed by the rotation means 83a, and the drum container 10 is drawn in and is in close contact with the drum rotation unit 85. is supported by the drum guide unit 83 in the state.

이어서 또는 전술한 동작과 병행하여, 드럼 정렬 유닛(90)의 승강수단(97)에 의해 회동바(91)가 상승하여, 스토퍼(93)가 드럼 용기(10)의 상단 턱보다 높게 위치하게 된다. 이어서, 드럼 정렬 유닛(90)의 회동수단(99)에 의해 회동바(91)가 회동축(A1)을 중심으로 도 12에서 시계방향으로 대략 90도 정도 회동된 다음, 드럼 정렬 유닛(90)의 승강수단(97)에 의해 회동바(91)가 하강하여, 스토퍼(93)가 드럼 용기(10)의 상면에 근접한 높이에서 드럼 용기(10) 입구(11)가 위치해야 할 미리 정해진 위치에 위치하게 된다. 이 상태에서 드럼 회전 유닛(85)이 드럼 용기(10)를 시계방향으로 회전시킨다. 드럼 용기(10)의 회전에 의해 드럼 용기(10)의 입구(11) 외주면이 스토퍼(93)에 의해 감싸지고 접촉 센서(95)에 접촉하면, 드럼 용기(10)의 입구(11)가 미리 정해진 위치에 정렬된 것이므로 드럼 회전 유닛(85)의 회전을 정지한다.Subsequently, or in parallel with the above-described operation, the rotating bar 91 is raised by the lifting means 97 of the drum aligning unit 90 , and the stopper 93 is positioned higher than the upper jaw of the drum container 10 . . Then, the rotation bar 91 is rotated about 90 degrees clockwise in FIG. 12 about the rotation axis A1 by the rotation means 99 of the drum alignment unit 90, and then the drum alignment unit 90 The rotating bar 91 is lowered by the lifting means 97 of will be located In this state, the drum rotating unit 85 rotates the drum container 10 clockwise. When the outer peripheral surface of the inlet 11 of the drum container 10 is surrounded by the stopper 93 by the rotation of the drum container 10 and comes into contact with the contact sensor 95, the inlet 11 of the drum container 10 is opened in advance. Since it is aligned at a predetermined position, the rotation of the drum rotating unit 85 is stopped.

이어서, 드럼 정렬 유닛(90)이 전술한 동작과 역순으로 동작하여 원위치(도 12에 도시된 상태)로 복귀하고, 전술한 바와 같이 다축 로봇(30)에 의해 드럼 용기(10)의 입구(11) 캡(15)이 분리되고, 커플러(40, 40')가 입구(11)에 결합되어 케미컬의 이송이 수행된다. 케미컬의 이송이 완료되면, 전술한 바와 같이 드럼 용기(10)의 입구(11)에서 커플러(40, 40')가 분리되고, 입구(11)에 캡(15)이 체결된다.Then, the drum aligning unit 90 operates in the reverse order to the above operation to return to the original position (the state shown in FIG. 12 ), and as described above, the inlet 11 of the drum container 10 by the multi-axis robot 30 ) The cap 15 is separated, and the couplers 40 and 40' are coupled to the inlet 11 to perform chemical transfer. When the chemical transfer is completed, the couplers 40 and 40' are separated from the inlet 11 of the drum container 10 as described above, and the cap 15 is fastened to the inlet 11 .

이어서, 드럼 가이드 유닛(83)의 회동수단(83a)에 의해 가이드 바(83b)의 선단부를 벌리고 후단부를 오므림으로써 드럼 용기(10)를 밀어 드럼 탑재대(81) 앞에 대기중인 대차(도시 생략)로 배출한다.Next, the drum container 10 is pushed by opening the leading end of the guide bar 83b by the rotating means 83a of the drum guide unit 83 and closing the rear end of the drum guide unit 83, and a cart (not shown) waiting in front of the drum mounting table 81. ) is discharged as

이와 같이, 본 실시형태의 시스템에 의하면, 드럼 용기(10)의 인입, 정렬, 배출이라는 전후 작업을 포함한 케미컬 이송의 전과정이 자동으로 이루어진다.As described above, according to the system of the present embodiment, the entire process of chemical transfer including the before and after operations such as drawing in, aligning, and discharging of the drum container 10 is automatically performed.

한편, 케미컬 이송 작업시 먼지 등의 이물질이 혼입되거나 작업자가 케미컬에 노출되는 것을 방지하기 위해, 본 실시형태에 따른 시스템은 부스 형태의 하우징(20) 전면에 드럼 용기(10)의 출입시에 열리고 케미컬 이송중에는 닫히는 자동 또는 수동의 도어(27)를 더 포함할 수 있다.On the other hand, in order to prevent the mixing of foreign substances such as dust or the worker exposure to chemicals during the chemical transfer operation, the system according to the present embodiment is opened at the time of entry and exit of the drum container 10 on the front of the housing 20 in the form of a booth. It may further include an automatic or manual door 27 that closes during chemical transfer.

도 1 및 도 13을 참조하면, 도어(27)는 하우징(20)의 내부에 설치된 가이드 레일(27b)을 따라 승강가능한 복수의 도어 패널(27a)을 포함할 수 있다. 또한, 도어 패널(27a)은 커플러(40, 40')의 드럼 용기(10) 입구(11)에의 커플링 과정과 케미컬 이송 과정을 작업자가 시인할 수 있도록 투명창을 구비할 수 있다.1 and 13 , the door 27 may include a plurality of door panels 27a that are movable along the guide rails 27b installed inside the housing 20 . In addition, the door panel 27a may have a transparent window so that the operator can visually recognize the coupling process of the couplers 40 and 40' to the inlet 11 of the drum container 10 and the chemical transfer process.

이상에서 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능함은 물론이다.In the above, although the present invention has been described with reference to limited embodiments and drawings, the present invention is not limited thereto and will be described below with the technical idea of the present invention by those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains. Of course, various modifications and variations are possible within the scope of equivalents of the claims.

10: 드럼 용기
11: 드럼 용기의 입구
20: 하우징
27: 도어
30: 다축 로봇
40, 40': 커플러
41, 41': 커플러 헤드
41a: 케미컬 유로
41b: 기체 유로
41c: 케미컬 순환 유로
41d: 결합돌기
41e: 돌기
41p: 볼 플런저
43, 43': 딥 튜브
45, 45': 커플러 소켓
45a: 나사산
45d: 결합홈
45p: 오목홈
45t: 기어
42a, 42b, 42c: 배관
50: 배관 지지 유닛
60, 60': 커플러 보관 유닛(커플러 세정 유닛)
70: 잔액 받이
81: 드럼 탑재대
83: 드럼 가이드 유닛
85: 드럼 회전 유닛
90: 드럼 정렬 유닛
10: drum container
11: Entrance of the drum container
20: housing
27: door
30: multi-axis robot
40, 40': coupler
41, 41': coupler head
41a: Chemical Euro
41b: gas flow path
41c: chemical circulation flow path
41d: bonding protrusion
41e: protrusion
41p: ball plunger
43, 43': dip tube
45, 45': coupler socket
45a: thread
45d: coupling groove
45p: concave groove
45t: gear
42a, 42b, 42c: piping
50: pipe support unit
60, 60': coupler storage unit (coupler cleaning unit)
70: receive the balance
81: drum mount
83: drum guide unit
85: drum rotating unit
90: drum alignment unit

Claims (12)

드럼 용기 내부의 케미컬을 필요로 하는 곳으로 공급하거나 드럼 용기 내에 케미컬을 주입하기 위해 상기 드럼 용기의 입구에 착탈가능하게 결합되는 커플러로서,
내부에 케미컬 유로가 형성되어 있고, 상기 케미컬 유로에는 케미컬 배관이 연결되는 커플러 헤드; 및
상기 커플러 헤드의 상기 케미컬 유로와 연통되도록 결합되어, 상기 커플러가 상기 드럼 용기의 입구에 결합되었을 때 상기 드럼 용기 내부로 삽입되어 드리워지는 딥 튜브를 포함하여,
상기 커플러 헤드와 상기 딥 튜브가 함께 상기 드럼 용기의 입구에 착탈가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 커플러.
As a coupler detachably coupled to the inlet of the drum container for supplying the chemical inside the drum container to a place where it is needed or for injecting the chemical into the drum container,
a coupler head having a chemical flow path formed therein, and a chemical pipe connected to the chemical flow path; and
Including a dip tube that is coupled to communicate with the chemical flow path of the coupler head, is inserted into the drum container when the coupler is coupled to the inlet of the drum container,
The coupler, characterized in that the coupler head and the dip tube are removably coupled to the inlet of the drum container together.
제1항에 있어서,
상하로 관통된 중공 기둥 형태로 이루어지고, 상기 드럼 용기의 입구에 나사 결합되는 커플러 소켓을 더 포함하고,
상기 커플러 헤드는 상기 커플러 소켓의 상기 중공에 결합됨으로써 상기 커플러 소켓을 개재하여 드럼 용기의 입구에 결합되는 것을 특징으로 하는 커플러.
The method of claim 1,
It is made in the form of a hollow column penetrating up and down, and further comprising a coupler socket screw-coupled to the inlet of the drum container,
The coupler head is coupled to the hollow of the coupler socket, characterized in that coupled to the inlet of the drum container via the coupler socket.
제2항에 있어서,
상기 딥 튜브가 상기 커플러 헤드의 상기 케미컬 유로에 직접 결합되는 것을 특징으로 하는 커플러.
3. The method of claim 2,
The coupler, characterized in that the dip tube is directly coupled to the chemical flow path of the coupler head.
제2항에 있어서,
상기 딥 튜브가 상기 커플러 소켓에, 상기 케미컬 유로와 연통되도록 결합되는 것을 특징으로 하는 커플러.
3. The method of claim 2,
A coupler, characterized in that the dip tube is coupled to the coupler socket to communicate with the chemical flow path.
제2항에 있어서,
상기 커플러 헤드의 하부 외주면에는 적어도 2개의 결합돌기가 돌출 형성되어 있고,
상기 커플러 소켓의 상기 중공의 내주면에는 상기 결합돌기가 삽입되어 소정 각도만큼 회동가능한 결합홈이 형성되어 있어,
상기 커플러 소켓을 상기 드럼 용기의 입구에 나사결합한 다음, 상기 커플러 헤드의 상기 결합돌기를 상기 커플러 소켓의 상기 결합홈에 삽입하고 상기 커플러 헤드를 상기 소정 각도만큼 회동함으로써 상기 커플러 헤드를 상기 커플러 소켓에 결합하도록 구성된 것을 특징으로 하는 커플러.
3. The method of claim 2,
At least two coupling protrusions are formed protruding from the lower outer circumferential surface of the coupler head,
The coupling protrusion is inserted into the hollow inner circumferential surface of the coupler socket and a coupling groove rotatable by a predetermined angle is formed,
After screwing the coupler socket to the inlet of the drum container, inserting the coupling protrusion of the coupler head into the coupling groove of the coupler socket and rotating the coupler head by the predetermined angle, the coupler head to the coupler socket A coupler, characterized in that it is configured to couple.
제2항에 있어서,
상기 커플러 헤드는 상기 커플러 소켓의 상기 중공의 내주면에 상기 커플러 소켓과 상대적으로 회전가능하게 결합되어,
상기 커플러 헤드가 상기 커플러 소켓에 결합된 상태로 상기 커플러 소켓만을 회전시켜 상기 드럼 용기의 입구에 상기 커플러가 결합되도록 구성된 것을 특징으로 하는 커플러.
3. The method of claim 2,
The coupler head is relatively rotatably coupled to the coupler socket on the hollow inner circumferential surface of the coupler socket,
Coupler, characterized in that the coupler is configured to be coupled to the inlet of the drum container by rotating only the coupler socket while the coupler head is coupled to the coupler socket.
제1항에 있어서,
상기 커플러 헤드의 내부에는, 상기 케미컬 유로와 구분되고, 상기 커플러가 상기 드럼 용기의 입구에 결합되었을 때 상기 드럼 용기의 내부와 연통되는 기체 유로가 더 형성되어 있어,
상기 드럼 용기 내부의 케미컬을 필요로 하는 곳으로 공급하거나 상기 드럼 용기 내에 케미컬을 주입할 때 상기 드럼 용기 안팎으로 기체가 출입하도록 구성된 것을 특징으로 하는 커플러.
According to claim 1,
Inside the coupler head, there is further formed a gas flow path that is separated from the chemical flow path and communicates with the inside of the drum container when the coupler is coupled to the inlet of the drum container,
A coupler, characterized in that the gas in and out of the drum container is configured to supply the chemical inside the drum container to a place where it is needed or when the chemical is injected into the drum container.
제1항에 있어서,
상기 커플러 헤드의 내부에는, 상기 케미컬 유로와 구분되고, 상기 커플러가 상기 드럼 용기의 입구에 결합되었을 때 상기 드럼 용기의 내부와 연통되는 케미컬 순환 유로가 더 형성되어 있어,
상기 케미컬 유로를 통해 상기 드럼 용기 외부로 배출되는 케미컬이 상기 케미컬 순환 유로를 통해 상기 드럼 용기 내부로 순환하도록 구성된 것을 특징으로 하는 커플러.
The method of claim 1,
Inside the coupler head, there is further formed a chemical circulation passage that is separated from the chemical passage and communicates with the inside of the drum container when the coupler is coupled to the inlet of the drum container,
A coupler, characterized in that the chemical discharged to the outside of the drum container through the chemical flow passage is configured to circulate into the drum container through the chemical circulation passage.
제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 기재된 커플러; 및
상기 커플러를 세정하기 위한 커플러 세정 유닛을 포함하고,
상기 커플러 세정 유닛은,
상기 커플러의 상기 딥 튜브를 수용하는 공간을 가지고, 상부에는 상기 딥 튜브가 상기 공간으로 드리워지게 상기 커플러 헤드를 거치하는 커플러 거치구가 형성되어 있으며, 하부에는 배수구가 형성된 세정 챔버; 및
상기 세정 챔버 내부에 마련되어, 상기 공간에 수용된 상기 딥 튜브를 향해 세정수를 분사하는 노즐을 포함하는 것을 특징으로 하는 드럼 용기용 커플링 시스템.
The coupler according to any one of claims 1 to 8; and
a coupler cleaning unit for cleaning the coupler;
The coupler cleaning unit,
a cleaning chamber having a space for accommodating the dip tube of the coupler, a coupler holder on an upper portion for mounting the coupler head so that the dip tube falls into the space, and a drain hole on the lower portion; and
A coupling system for a drum container, which is provided inside the cleaning chamber and includes a nozzle for spraying cleaning water toward the dip tube accommodated in the space.
제9항에 있어서,
상기 커플러 세정 유닛은, 상기 커플러의 세정시 상기 케미컬 배관을 통해 상기 케미컬 유로로 세정수를 공급하는 것을 특징으로 하는 드럼 용기용 커플링 시스템.
10. The method of claim 9,
The coupler cleaning unit, a coupling system for a drum container, characterized in that the cleaning water is supplied to the chemical passage through the chemical pipe when the coupler is cleaned.
제9항에 있어서,
상기 커플러가 제5항에 기재된 커플러이고,
상기 커플러 거치구에는 상기 커플러 소켓과 동일한 구조의 거치용 소켓이 결합되어 있고,
상기 커플러의 세정시, 상기 커플러는 상기 커플러 소켓을 제외한 상기 커플러 헤드와 상기 딥 튜브가 상기 거치용 소켓에 결합됨으로써 상기 커플러 거치구에 거치되는 것을 특징으로 하는 드럼 용기용 커플링 시스템.
10. The method of claim 9,
The coupler is the coupler according to claim 5,
A mounting socket having the same structure as the coupler socket is coupled to the coupler holder,
When the coupler is cleaned, the coupler is a coupling system for a drum container, characterized in that it is mounted on the coupler holder by coupling the coupler head and the dip tube to the mounting socket except for the coupler socket.
제9항에 있어서,
상기 커플러가 제6항에 기재된 커플러이고,
상기 커플러 거치구는 상기 드럼 용기의 입구와 동일한 구조로 이루어지고,
상기 커플러의 세정시, 상기 커플러는 상기 커플러 소켓이 상기 커플러 거치구에 결합됨으로써 상기 커플러 거치구에 거치되는 것을 특징으로 하는 드럼 용기용 커플링 시스템.
10. The method of claim 9,
The coupler is the coupler according to claim 6,
The coupler holder has the same structure as the inlet of the drum container,
When cleaning the coupler, the coupler is a coupling system for a drum container, characterized in that the coupler socket is coupled to the coupler holder, and is mounted on the coupler holder.
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