KR102592138B1 - 기판 컨테이너에 대한 검사 시스템 및 검사 방법 - Google Patents
기판 컨테이너에 대한 검사 시스템 및 검사 방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR102592138B1 KR102592138B1 KR1020207000340A KR20207000340A KR102592138B1 KR 102592138 B1 KR102592138 B1 KR 102592138B1 KR 1020207000340 A KR1020207000340 A KR 1020207000340A KR 20207000340 A KR20207000340 A KR 20207000340A KR 102592138 B1 KR102592138 B1 KR 102592138B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- substrate container
- inspection system
- camera
- container
- mirror
- Prior art date
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 56
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 56
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 15
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims description 11
- 238000010191 image analysis Methods 0.000 claims description 5
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 10
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 9
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 8
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 6
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 5
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 4
- 238000004320 controlled atmosphere Methods 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 1
- -1 reticles Substances 0.000 description 1
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/9501—Semiconductor wafers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67288—Monitoring of warpage, curvature, damage, defects or the like
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T7/00—Image analysis
- G06T7/0002—Inspection of images, e.g. flaw detection
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T2207/00—Indexing scheme for image analysis or image enhancement
- G06T2207/30—Subject of image; Context of image processing
- G06T2207/30108—Industrial image inspection
- G06T2207/30148—Semiconductor; IC; Wafer
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Pathology (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Quality & Reliability (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Abstract
본 발명은 기판 컨테이너 또는 기판 컨테이너의 구성 요소를 검사하도록 구성되고 적응된 검사 시스템에 관한 것으로, 컨테이너 또는 상기 구성 요소는 복수의 표면을 포함하고, 시스템은 복수의 표면 중 적어도 하나의 제1 표면과 제2 표면의 동시 뷰를 제공하도록 배열되고 구성된 적어도 하나의 거울(110)을 포함한다.
Description
본 출원은 하위 상태(substate) 캐리어 또는 컨테이너의 상태를 결정하기 위한 검사 시스템 및 대응하는 방법에 관한 것이다.
기판(예를 들어, 레티클, 반도체 웨이퍼, 평판 디스플레이, 또는 전자 장치의 제조에 사용되는 다른 기판)을 유지하기 위한 이러한 캐리어 및 컨테이너(이하, "컨테이너")는 일반적으로 큐브 형상인 컨테이너 본체(body)를 보통 포함하고, 컨테이너의 측면 중 하나는 개구로서 제공되고, 개구를 통해 기판이 컨테이너 본체에 삽입될 수 있다. 컨테이너는 이 개구를 폐쇄하도록 구성되고 구성된 예를 들어 덮개(lid) 또는 도어 부재를 추가로 포함하여, 예를 들어 제어된 분위기가 제공될 수 있도록 컨테이너 본체 내의 공간을 단단히 밀봉한다. 컨테이너 본체와 덮개 사이를 단단히 밀봉하기 위해 개스킷이 제공된다. 이 개스킷은 일반적으로 덮개에 제공되지만, 컨테이너 본체의 전면, 즉 개구를 둘러싸는 표면에 배치될 수도 있다.
본 출원은 바람직한 예로서 전면 개구 통합 포드(front opening unified pod, FOUP)를 언급하지만, 본 발명은 임의의 종류의 기판 컨테이너에 적용 가능하다. 다른 예로서, 전면 개방 운송 박스(front opening shipping box, FOSB)가 언급된다.
반도체 웨이퍼 처리에서, 로봇 메커니즘은 웨이퍼 및 웨이퍼 컨테이너, 예컨대 전면 개구 통합 포드(FOUP)를 끊임없이 배열, 구성, 및 처리한다. FOUP는 공정에서 손상될 수 있다(예를 들어, 스크래치, 파손, 변형 등). 이러한 손상 및/또는 결함에 대해 FOUP와 같은 컨테이너를 효율적으로 검사 할 필요가 있다.
FOUP와 같은 기판 컨테이너는 또한 오염되기 쉬우므로, 예를 들어 웨이퍼 제조 공정이 덜 효과적이게 된다. 이러한 이유로, 예를 들어 컨테이너 내부에 제어되고 오염되지 않은 분위기를 제공 할 수 있도록 컨테이너 본체 또는 덮개에 제공된 개스킷에 결함이 없는 것이 매우 중요하다.
이하에서, 컨테이너 또는 구성 요소, 즉 컨테이너의 구성 요소, 예를 들어 컨테이너 본체 또는 덮개가 사용될 때마다, 이는 기판 컨테이너 및 그 구성 요소, 즉 기판을 수용 및/또는 운송하도록 구성되고 적응된 컨테이너를 지칭할 것이다.
본 발명에 따르면, 청구항 11의 특징을 포함하는 방법과 함께 청구항 1의 특징을 포함하는 검사 시스템이 제안된다.
본 발명에 따르면, 기판 컨테이너 또는 기판 컨테이너의 구성 요소를 검사하도록 구성되고 적응된 검사 시스템이 제안되며, 컨테이너 또는 구성 요소가 복수의 표면을 포함하고, 시스템은 복수의 표면 중 적어도 하나의 제1 표면과 제2 표면의 동시 뷰(view)를 제공하도록 배열되고 구성된 적어도 하나의 거울을 포함한다. 이러한 동시 관찰은 가능한 결함에 관한 기판 컨테이너의 매우 효과적인 검사를 제공한다. 종래의 솔루션에서, 컨테이너 또는 컨테이너의 구성 요소를 제1 측면으로부터, 즉 제1 표면을 검사한 다음, 제2 측면으로부터, 즉 제2 표면을 검사하는 것이 통상적이었다. 이를 위해서는 예를 들어 컨테이너 또는 구성 요소를 재배치해야 하므로 검사 시간이 길어지고 처리가 더 번거로워졌다. 유리하게는, 본 발명에 따른 검사 시스템은 전면 및 복수의 내부 및/또는 외부 측면을 포함하는 컨테이너 또는 구성 요소를 검사하도록 적응되고 구성되며, 적어도 하나의 거울은 전면 및 복수의 측면 중 적어도 하나의 동시 뷰를 제공하도록 배열된다. 예로서, 컨테이너 본체에 기판이 삽입되는 개구를 포함하고 이 개구를 밀봉식으로 폐쇄하도록 구성된 덮개 부재와 상호 작용하는 개구를 포함하는 컨테이너 본체의 전면에는 일반적으로 밀봉부(seal) 또는 개스킷이 제공된다. 따라서, 본 발명에 따르면, 예를 들어 이 밀봉부 또는 개스킷을 동시에 양 측면에서 관찰하고 결함을 검사할 수 있다. 또한, 덮개 부재에는 이러한 밀봉부 또는 개스킷이 제공될 수 있으며, 이는 본 발명에 따라 양 측면에서 동시에 관찰 및 검사될 수 있다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 적어도 하나의 거울은 병진 및/또는 피봇 가능한(pivotable) 방식으로 컨테이너 또는 구성 요소에 대해 이동 가능하도록 제공된다. 이 측정을 통해 컨테이너 또는 구성 요소를 이동하지 않고도 컨테이너 또는 구성 요소의 다른 구역을 효율적으로 볼 수 있다. 예를 들어, 제1 모드에서, 거울은 컨테이너의 전면 및 인접 외부 표면의 동시 뷰를 제공하도록 위치될 수 있다. 후속하여 거울을 병진 및/또는 피봇 방식으로 이동시킴으로써, 예를 들어 전면 및 내부 표면의 동시 뷰가 제공될 수 있다.
유리하게는, 검사 시스템은 컨테이너 또는 구성 요소의 복수의 표면 중 적어도 제1 표면 및 제2 표면의 적어도 하나의 동시 뷰의 이미지를 캡처하도록 구성되고 적응된 카메라를 포함한다. 카메라 이미지는 특히 컴퓨터 기반 이미지 분석과 관련하여 사용될 수 있으며, 이는 표면 및/또는 표면 구조의 상태, 특히 표면 또는 표면 구조 내에서 발생하는 결함을 평가하기 위한 강력한 도구를 구성한다. 다수의 카메라를 제공할 수도 있다. 하나의 카메라만 제공하면 시스템 비용을 최소화 할 수 있고 동시에 처리 복잡성을 줄일 수 있다는 이점이 있다. 그러나, 적어도 2개의 카메라를 시스템에 제공할 수 있으며, 이들 중 적어도 하나는 가변 시야를 제공하도록 구성된다. 예를 들어, 제1 카메라보다 실질적으로 작을 수 있는 가변 시야를 제공하기 위한 제2 카메라와 함께, 컨테이너의 전체 표면 또는 측면의 전경을 제공하도록 구성된 제1 카메라가 제공될 수 있다. 이러한 구성에 의해, 컨테이너의 일반적인 특징은 상세한 특징과 동시에 검출될 수 있다. 시야의 크기를 변화시키기 위해 줌 시스템 내에 카메라가 제공될 수 있다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 카메라는 전면 또는 컨테이너 또는 구성 요소의 복수의 측면 중 적어도 하나의 이미지를 캡처하도록 구성되고 적응된다. 이를 통해 컨테이너 또는 구성 요소를 특히 효율적이고 빠르게 검사할 수 있어 검사 중 컨테이너 처리가 줄어든다.
카메라는 유리하게는 라인 스캔 카메라로서 제공되어, 관심 구역의 고해상도 이미지를 효과적으로 캡처할 수 있다. 유리하게는 카메라를 영역 스캔 카메라로서 제공하는 것이 또한 가능하다. 영역 스캔 카메라를 사용하면 관심 구역의 이미지를 효과적이고 빠르게 캡처할 수 있다.
유리하게는, 카메라는 이동 가능하고 따라서 컨테이너 또는 구성 요소에 대해 병진 및/또는 피봇 가능한 방식으로 위치 가능하도록 제공된다. 특히 병진 및/또는 피봇 가능한 방식으로 이동 가능한 적어도 하나의 거울과 조합하여, 이는 컨테이너 또는 구성 요소의 임의의 표면 또는 표면 구역의 매우 효과적인 검사를 가능하게 한다. 특정 응용 분야에서는 카메라의 이동성 또는 위치 지정이 필요하지 않을 수 있다. 따라서, 1, 2, 또는 3개의 축선을 중심으로 한 피봇 이동에만 적합한 카메라 및 1, 2, 또는 3개의 방향으로의 병진 이동에만 적합한 카메라를 포함하는 검사 시스템은 본 발명의 범위 내에서 가능한 실시예를 구성한다. 카메라가 이동할 수 없고, 예를 들어 장착 프레임에 고정 부착되는 본 발명에 따른 검사 시스템을 제공할 수도 있다.
바람직한 실시예에 따르면, 검사 시스템은 카메라에 의해 캡처된 적어도 하나의 이미지에 기초하여 컨테이너 또는 구성 요소의 상태를 평가하도록 적응되고 구성된 평가 유닛을 포함한다. 평가 유닛은 유리하게 컴퓨터로서 제공된다. 이러한 평가 유닛은 유리하게는 적어도 하나의 거울 및/또는 카메라의 위치를 제어하도록 구성되고 적응된 제어기를 또한 포함한다.
바람직하게는, 평가 유닛은 카메라에 의해 캡처된 적어도 하나의 이미지의 이미지 분석을 제공하도록 적응되고 구성된다. 전술한 바와 같이, 이러한 이미지 분석은 예를 들어 구성 요소 컨테이너의 표면의 상태, 특히 컨테이너 또는 구성 요소를 사용할 수 없게 하는 결함을 식별하기 위한 상태를 평가하기 위한 강력한 도구를 구성한다.
본 발명에 따른 검사 시스템은 특히 전면 개구 통합 포드(FOUP), 특히 본체 부재 및/또는 FOUP의 덮개 부재를 검사하도록 적응 및 구성될 수 있다. 웨이퍼 처리 동안 웨이퍼의 효과적인 취급을 제공하기 위해, 웨이퍼의 임의의 종류의 잘못 취급 또는 오염을 피하기 위해 FOUP가 무결한(immaculate) 상태에 있는 것이 가장 중요하다.
기판 컨테이너 또는 복수의 표면을 포함하는 기판 컨테이너의 구성 요소를 검사하기 위한 본 발명에 따른 방법은 다음의 단계를 포함한다:
- 복수의 표면 중 적어도 하나의 제1 및 제2 하나의 동시 뷰를 제공하기 위한 적어도 하나의 거울을 포함하는 검사 시스템의 내부 또는 근처에 검사 될 컨테이너 또는 구성 요소를 위치시키는 단계;
- 특히 카메라를 사용하여, 복수의 표면 중 제1 표면 및 제2 표면의 동시 뷰의 이미지를 캡처하는 단계; 및
- 특히 평가 유닛을 사용하여 컨테이너 또는 구성 요소의 상태를 평가하는 단계.
이러한 방법을 이용할 때 달성될 수 있는 이점은 본질적으로 검사 장치와 관련하여 상기 개략적으로 설명한 것과 상응한다.
유리하게는, 본 발명에 따른 방법을 구현하기 위해, 전술한 적어도 일부, 특히 모든 특징을 포함하는 검사 시스템이 사용된다.
바람직하게는, 검출 시스템에 사용되는 카메라는 컨테이너의 표면, 특히 FOUP 표면에서 관심 영역의 디지털 이미지를 생성하도록 구성되고 적응되며, 검사 시스템은 컨테이너에 상태 및/또는 내용물을 식별하기 위해 메모리에 연결된 알고리즘 및 데이터 처리 유닛의 프로세서에 의해 생성된 디지털 이미지를 처리하도록 구성된 데이터 처리 유닛을 더 포함한다. 이와 관련하여, 개스킷, 그로밋(grommet) 또는 핸들링 플랜지(handling flange)와 같은 FOUP의 파손 또는 손상과 같은 FOUP의 손상 및 예를 들어 열이나 다른 외부 영향에 노출됨으로 인한 특히 왜곡과 같은 결함을 결정할 수 있다.
또한, 예를 들어, FOUP 및 다른 컨테이너는 컨테이너 내용물의 오염을 방지하기 위해 예를 들어 N2를 사용하여 정기적으로 퍼지될(purge) 수 있다. N2 퍼지는 전형적으로 컨테이너의 베이스에 제공된 노즐에 의해 수행된다. 오염을 방지하기 위해, 노즐은 그로밋과 상호 작용한다. 이러한 노즐은 본 발명에 따른 검사 장치로 효과적으로 검사될 수 있다.
유리하게는, 검사 시스템은 하나 이상의 광원을 포함한다. 특히, 이러한 광원은 컨테이너, 특히 FOUP의 내부 및/또는 내부에 위치 및/또는 이동될 수 있으며, 상태 및/또는 내용이 점검되어야 한다. 일부 경우에, 2개 이상의 광원이 사용되며, 광원은 컨테이너의 내부 및/또는 내부에서 조명 패턴을 변경하기 위해 개별 광원을 켜거나 끄거나 어둡게 하거나 이동시키도록 독립적으로 제어될 수 있다.
적어도 하나의 실시예에서, 본 발명은 카메라를 사용하여 시야를 스캐닝함으로써 FOUP에 대한 손상 및/또는 결함을 결정하는 시스템 및 방법을 개시한다. 하나 이상의 카메라가 웨이퍼 처리 시스템의 육안 검사 챔버 내에 설치될 수 있으며, 하나 이상의 FOUP가 위치될 수 있다. 카메라는 하나 이상의 선형 가이드를 따라 이동하도록 구성될 수 있다. 카메라의 이동은 FOUP의 특정 관심 영역의 더 넓은 스캐닝을 허용할 수 있다. 특정 관심 영역은 FOUP의 내부 또는 외부 표면일 수 있다. 특정 관심 영역의 스캐닝은 특정 관심 영역의 디지털 이미지를 생성할 수 있다. 생성된 이미지는 손상 및/또는 결함을 식별하기 위해 메모리 및 데이터 처리 장치의 프로세서에 연결된 알고리즘에 의해 사용될 수 있다.
바람직한 실시예가 첨부 도면을 참조하여 설명될 것이다. 여기서:
도 1은 본 발명에 따른 검사 시스템의 실시예의 개략적인 사시도를 도시하고,
도 2는 도 1에 따른 검사 시스템의 개략적으로 단순화된 측면도를 도시하고,
도 3은 본 발명에 따른 검사 시스템의 다른 실시예의 개략적으로 단순화된 측면도를 도시하고,
도 4는 도 3에 따른 검사 시스템의 정면도를 도시하고,
도 5는 도 3 및 도 4에 따른 검사 시스템의 추가 응용을 도시하고,
도 6은 도 5의 응용을 수행하는 도 3 내지 5에 따른 검사 시스템의 정면도를 도시한다.
도 1은 본 발명에 따른 검사 시스템의 실시예의 개략적인 사시도를 도시하고,
도 2는 도 1에 따른 검사 시스템의 개략적으로 단순화된 측면도를 도시하고,
도 3은 본 발명에 따른 검사 시스템의 다른 실시예의 개략적으로 단순화된 측면도를 도시하고,
도 4는 도 3에 따른 검사 시스템의 정면도를 도시하고,
도 5는 도 3 및 도 4에 따른 검사 시스템의 추가 응용을 도시하고,
도 6은 도 5의 응용을 수행하는 도 3 내지 5에 따른 검사 시스템의 정면도를 도시한다.
도 1을 참조하면, 일반적으로 10으로 지정된 검사 시스템은 기판을 수용하기(holding) 위한 컨테이너의 컨테이너 본체(20)를 검사하도록 구성된다. 이러한 컨테이너의 전형적인 예로서 도 1에는 FOUP의 본체(20)가 부분적으로 도시되어 있다. 컨테이너 본체(20)는 본체의 개구를 형성하는 전면(20a)을 포함하고, 이를 통해 컨테이너 본체(20)의 내부(21)에 웨이퍼가 삽입될 수 있다. 개구는 도 1에 도시되지 않았지만 도 5 및 도 6에 개략적으로 도시된 덮개 부재(21)에 의해 전면(20a)과 상호 작용하여 컨테이너 본체(20)의 내부(21)에 제어된 분위기를 제공할 수 있도록 폐쇄될 수 있다.
덮개 부재(21)로 개구를 폐쇄한 후 내부(21)에 이러한 제어된 분위기를 제공하기 위해, 밸브 부재(22)는 컨테이너 본체(20)의 하부 내부 표면(20b)에 제공된다. 도 1에 도시된 바와 같이, 이들 밸브는 전면(20a) 부근의 내부 표면(20b)에 제공된다.
검사 시스템(10)은 카메라(140) 및 거울 요소(120)를 포함한다. 검사 시스템은 카메라(140)에 의해 캡처된 이미지를 평가하기 위한 평가 유닛을 더 포함한다. 평가 유닛은 도 1에 도시되어 있지 않지만, 도 2, 도 3, 및 도 5에 개략적으로 도시되어 있고 참조 번호 160으로 표시되어 있다.
카메라(140)는 프레임(150)에 피봇 가능하게 장착된다. 카메라의 피봇 이동을 제공하기 위해, 카메라는 피봇팅 메커니즘(142)에 부착되는데, 피봇팅 메커니즘(142)은 1, 2 또는 3개의 축, 특히 수평 및/또는 수직 축에 대해 카메라(140)의 피봇 이동을 가능하게 한다.
카메라(140)가 1 방향, 2 방향 또는 3 방향으로 병진 이동 가능하게 제공할 수도 있다. 예를 들어, 수직 이동을 달성하기 위해, 카메라(140)는 프레임(150)의 수직 부재를 따라 이동 가능한 슬레지(sledge) 상에 장착될 수 있다. 프레임(140)의 수직 부재를 프레임(150)의 수평 부재를 따라 수평으로 이동 가능하게 함으로써 수평 이동이 달성될 수 있다. 이는 도 1에 명시적으로 도시되어 있지 않다.
거울(120)은 수평 길이를 따라 연장되는, 즉 예를 들어 컨테이너 본체(20)의 상부 수평 연장 에지(20c)에 평행하게 연장되는 수평 축을 중심으로 피봇 가능하게 제공된다. 도 1에서, 거울(12)은 이러한 수평 축을 중심으로 거울(12)의 피봇 이동을 제공하도록 구성된 피봇팅 메커니즘(121)에 고정 부착된다.
거울(120) 및 카메라(140)는 컨테이너 본체(20)의 내부 표면(20b) 상에/내부에 제공된 밸브 부재(22)의 거울 이미지가 컨테이너 본체의 전면(20a)의 이미지와 동시에 캡처될 수 있도록 배치된다.
거울(120)의 전형적인 위치는 도 2에 도시되어 있으며, 도 1의 검사 시스템의 단순화된 측면 단면도가 도시되어 있다. 여기서, 곡선 화살표(120e)로 표시된 바와 같이 피봇 이동을 허용하는 거울(120)의 피봇 축(120a)이 개략적으로 도시되어 있다. 거울이 병진 이동 없이 피봇 가능하게 되는 이러한 피봇 축은 도 1에 도시된 바와 같이 피봇팅 메커니즘(121)에 의해 실현될 수 있음에 유의한다. 그러나, 피봇팅 메커니즘(121)의 특정 구성으로 인해 작은 피봇 이동과 함께 이러한 피봇 이동을 제공하는 것도 가능하다. 또한, 화살표(120b, 120c)에 의해 거울(120)의 가능한 병진 이동 방향이 표시된다. 알 수 있는 바와 같이, 거울(120)은 카메라(140)에 대해 컨테이너 본체(20)의 전방에 약간 위치된 수평 방향(화살표(120b)로 표시됨)이다. 축(120a)을 중심으로 거울(120)의 올바른 배향을 선택함으로써, 컨테이너 본체(20)의 내부 하부 표면상의 밸브 부재(22a)로부터 나오는 광이 반사되어 카메라(140)(점선으로 표시됨)에 의해 캡처될 수 있다. 동시에, 카메라(140)는 점선으로 표시된 바와 같이 컨테이너 본체(20)의 전면(20a)의 이미지를 캡처할 수 있다. 수평 연장 표면(내면(20b)) 및 수직 연장 표면(전면(20a))의 이미지의 이러한 동시 캡처는 이전 솔루션에 비해 컨테이너 본체(20)의 보다 빠르고 효과적인 검사로 이어진다.
카메라(140)는 또한 화살표 140a, 140b(x 및 y 방향의 병진 이동을 나타냄), 원(140c)(z 방향, 즉 도면 층 내외로의 병진 이동을 나타냄), 곡선 화살표 140d(z 방향으로 축을 중심으로 피봇 이동을 나타냄)로 나타내어진 바와 같이, 병진 또는 피봇 방식으로 이동 가능하도록 제공된다. 전술한 바와 같이, 다른 축들, 예를 들어 x 및 y 방향으로 연장되는 축들에 대한 추가 피봇 이동이 고려될 수 있다.
도 2에서, 카메라(140)에 의해 캡처된 이미지가 예를 들어 이미지 분석에 의해 평가될 수 있는 평가 유닛(160)이 개략적으로 도시되어 있다. 평가 유닛(160)은 또한 카메라(140) 및/또는 거울(120)의 이동을 제어하도록 구성 및 적응될 수 있다.
도 3 및 4는 본 발명에 따른 검사 시스템의 다른 실시예를 도시한다. 여기서, 도 4에 도시된 바와 같이, 컨테이너 본체(20) 주위에 4개의 거울(120)이 제공된다. 도 3에는 이들 거울(120)의 상부 및 하부만이 도시되어 있다.
이 실시예에서, 거울(120)은 카메라(140)가 컨테이너 본체(20)의 외부 표면(20c)의 이미지를 캡처할 수 있도록 배열된다. 이를 달성하기 위해, 도 1 및 도 2의 실시예와 비교하여, 거울(120)은 카메라(140)에 대해 컨테이너 본체(20)의 위 또는 측면에 수평 방향으로 배치된다. 다시, 피봇 축(120a)에 대해 정확한 각도를 설정함으로써, 상기 외부 표면(20c)의 이미지는(점선으로 표시된 바와 같이) 카메라(140)에 의해 캡처될 수 있다. 동시에, 카메라(140)는 다시 점선으로 표시된 전면(20a)의 이미지를 캡처할 수 있다.
도 1 및 도 2 및 도 3 및 도 4의 실시예는 동일한 검사 시스템에 의해 제공될 수 있음에 유의한다. 첫 번째 경우, 도 1 및 2의 실시예에 대응하여, 하나의 거울(120)만이 사용되는 반면, 두 번째 경우에서는 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 다수의 거울(120)이 사용된다.
도 3 및 도 4의 검사 시스템은 또한 전술한 바와 같이 컨테이너 본체(20)의 개구를 폐쇄하도록 구성되고 적응된 덮개 부재(30)를 검사하는데 이용될 수 있다. 도 5 및 도 6에서, 이러한 덮개 부재(30)는 본질적으로 도 3 및 4의 것에 대응하는 검사 시스템과 함께 도시되어 있다.
덮개 부재(30)는 외부 표면(30b)뿐만 아니라 전면(30a)을 포함한다. 이는 외부 표면(30b)의 전체 둘레를 따라, 즉 덮개 부재(30)의 전체 둘레를 따라 연장되는 홈(35)을 구비한다. 이 홈(35)에는 개스킷 부재(30c)가 제공되며, 이 개스킷 부재(30c)는 덮개 부재(30)의 전체 둘레 주위로 연장된다. 덮개 부재(30)와 컨테이너 본체(20) 사이의 밀봉 상호 작용을 보장하기 위해, 개스킷 부재(30c)는 결함이 없는 것이 매우 중요하다. 예를 들어, 개스킷 부재(30c)가 홈(35) 내에 정확하게 장착되고/되거나 자체적으로 결함이 없는 것이 보장되어야 한다. 본 발명의 검사 시스템에 의해, 개스킷(30c)은 점선으로 표시된 바와 같이 거울(120)를 사용하여 평면 뷰에서, 동시에 점선으로 표시된 바와 같이 정면 뷰에서 검사될 수 있다. 동시에, 덮개(30a)의 전면도 또한 점선으로 표시되어 검사될 수 있다.
전술한 바와 같이, 도 5 및 도 6에 따른 검사 시스템은 본질적으로 이전 도면의 검사 시스템에 대응한다. 동일한 검사 시스템은 거울(120) 및/또는 카메라(140)의 병진 및/또는 피봇식 위치 설정에 의해 전술한 바와 같이 다양한 목적에 적합할 수 있다.
컨테이너 본체를 검사하는 방법 및 컨테이너 본체를 검사하기 위한 검사 시스템에 관한 것이며, 특히 반사기 요소 및 관련 장치 및 방법에 관한 내용이 참조에 의해 본 명세서에 포함되었으며, 관리번호 BA 037 P-EP이고, 본 출원과 동일자에 "Method for inspecting a container and inspection system"라는 발명의 명칭으로 유럽특허청에 출원된 유럽 특허 출원은 본 출원에서 설명되고/되거나 청구된 검사 시스템 및 방법과 함께 사용될 수 있다.
전술한 설명은 개시된 실시예의 양태의 예시일 뿐이라는 것을 이해해야 한다. 개시된 실시예의 양태로부터 벗어나지 않고 본 기술분야의 통상의 기술자에 의해 다양한 대안 및 수정이 고안될 수 있다. 따라서, 개시된 실시예의 양태는 첨부된 청구 범위의 범주 내에 속하는 모든 이러한 대안, 수정, 및 변형을 포함하도록 의도된다. 또한, 서로 다른 종속 청구항 또는 독립 청구항에서 서로 다른 특징이 인용된다는 사실은 이러한 특징의 조합이 유리하게 사용될 수 없다는 것을 나타내지 않으며, 이러한 조합은 본 발명의 양태의 범위 내에 있다.
Claims (12)
- 복수의 표면을 포함하는 기판 컨테이너(20)를 검사하도록 구성되고 적응된 검사 시스템에 있어서,
상기 기판 컨테이너(20)의 전면(20a) 및 상기 기판 컨테이너(20)의 적어도 하나의 측면(20b, 20c)의 동시 뷰를 제공하도록 배열되고 구성된 적어도 하나의 거울(120), 및,
상기 기판 컨테이너(20)의 전면(20a) 및 상기 기판 컨테이너(20)의 적어도 하나의 측면(20b, 20c)의 동시 뷰의 이미지를 캡처하도록 구성되고 적응된 카메라(140),
를 포함하는 기판 컨테이너 검사 시스템. - 제1항에 있어서,
상기 기판 컨테이너의 구성 요소, 또는
상기 기판 컨테이너의 복수의 내부 또는 외부 측면,
을 검사하도록 추가적으로 구성되고 적응된 기판 컨테이너 검사 시스템. - 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 적어도 하나의 거울(120)은 기판 컨테이너(20)의 다른 구역을 보도록 병진 또는 피봇 가능한 방식으로 상기 기판 컨테이너(20)에 대해 이동 가능하도록 제공되는 기판 컨테이너 검사 시스템. - 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 적어도 하나의 거울(120)은 상기 기판 컨테이너(20) 외부에 배열되는 기판 컨테이너 검사 시스템. - 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 적어도 하나의 거울(120)은 상기 기판 컨테이너(20)의 전면(20a) 및 상기 기판 컨테이너(20)의 내부 측면(20b) 또는 기판 컨테이너(20)의 외부 측면(20c)의 동시 뷰를 제공하도록 배열되고 구성되고,
상기 카메라(140)는 상기 기판 컨테이너(20)의 전면(20a)의 이미지를 캡처하는 동시에 상기 기판 컨테이너(20)의 내부 측면(20b) 또는 기판 컨테이너(20)의 외부 측면(20c)의 이미지를 캡처하도록 구성되고 적응되는,
기판 컨테이너 검사 시스템. - 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 적어도 하나의 카메라(140)는 라인 스캔 카메라 또는 영역 스캔 카메라로서 제공되는 기판 컨테이너 검사 시스템. - 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 카메라(140)는 병진 또는 피봇 가능한 방식으로 상기 기판 컨테이너에 대해 이동 가능하도록 제공되는 기판 컨테이너 검사 시스템. - 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 카메라(140)에 의해 캡처된 적어도 하나의 이미지에 기초하여 상기 기판 컨테이너의 상태를 평가하도록 적응되고 구성된 평가 유닛(160)을 포함하는 기판 컨테이너 검사 시스템. - 제8항에 있어서,
상기 평가 유닛(160)은 상기 카메라(140)에 의해 캡처된 적어도 하나의 이미지의 이미지 분석을 제공하도록 적응되고 구성되는 기판 컨테이너 검사 시스템. - 제1항 또는 제2항에 있어서,
전면 개구 통합 포드(FOUP)를 검사하도록 적응되고 구성된 기판 컨테이너 검사 시스템. - 복수의 표면을 포함하는 기판 컨테이너(20)를 검사하는 방법에 있어서,
- 상기 기판 컨테이너(20)의 전면(20a) 및 상기 기판 컨테이너(20)의 적어도 하나의 측면(20b, 20c)의 동시 뷰를 제공하기 위한 적어도 하나의 거울(120)을 포함하는 기판 컨테이너 검사 시스템의 내부 또는 근처에 검사될 상기 기판 컨테이너(20)를 위치시키는 단계;
- 상기 기판 컨테이너(20)의 전면(20a) 및 상기 기판 컨테이너(20)의 적어도 하나의 측면(20b, 20c)의 동시 뷰의 이미지를 캡처하도록 구성되고 적응된, 상기 기판 컨테이너 검사 시스템에 구비된, 카메라(140)를 사용하여 상기 기판 컨테이너(20)의 전면(20a) 및 상기 기판 컨테이너(20)의 적어도 하나의 측면(20b, 20c)의 동시 뷰의 이미지를 캡처하는 단계; 및
- 상기 기판 컨테이너의 상태를 평가하는 단계;를 포함하는,
기판 컨테이너 검사 방법. - 제11항에 있어서,
상기 기판 컨테이너 검사 시스템은 제1항 또는 제2항 중 어느 한 항에 따른 기판 컨테이너 검사 시스템인 것을 특징으로 하는 기판 컨테이너 검사 방법.
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EP17174967.4 | 2017-06-08 | ||
| EP17174967.4A EP3413339B1 (en) | 2017-06-08 | 2017-06-08 | Inspection system and method of inspection for substrate containers |
| PCT/EP2018/065089 WO2018224619A1 (en) | 2017-06-08 | 2018-06-07 | Inspection system and method of inspection for substrate containers |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20200014899A KR20200014899A (ko) | 2020-02-11 |
| KR102592138B1 true KR102592138B1 (ko) | 2023-10-20 |
Family
ID=59053961
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020207000340A KR102592138B1 (ko) | 2017-06-08 | 2018-06-07 | 기판 컨테이너에 대한 검사 시스템 및 검사 방법 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20200158661A1 (ko) |
| EP (1) | EP3413339B1 (ko) |
| JP (1) | JP7356359B2 (ko) |
| KR (1) | KR102592138B1 (ko) |
| CN (1) | CN110914967A (ko) |
| TW (1) | TWI805588B (ko) |
| WO (1) | WO2018224619A1 (ko) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6755603B1 (ja) * | 2019-12-25 | 2020-09-16 | 上野精機株式会社 | 電子部品の処理装置 |
| EP4002008A1 (en) * | 2020-11-23 | 2022-05-25 | Brooks Automation (Germany) GmbH | Method and system for inspection of an inner pod or an outer pod of an euv pod |
| TWI769737B (zh) * | 2021-03-12 | 2022-07-01 | 旭東機械工業股份有限公司 | 盒蓋裝卸機構及盒蓋檢測方法 |
| CN116592765A (zh) * | 2023-06-27 | 2023-08-15 | 广东天行测量技术有限公司 | 一种多方位同步影像测量设备 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004266221A (ja) * | 2003-03-04 | 2004-09-24 | Honda Electron Co Ltd | ウエハ収納カセットの検査装置及び方法 |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001291054A (ja) | 2000-04-07 | 2001-10-19 | Nec Corp | 半導体ウエハのｉｄ認識装置及びｉｄ認識ソータシステム |
| US6637998B2 (en) * | 2001-10-01 | 2003-10-28 | Air Products And Chemicals, Inc. | Self evacuating micro environment system |
| JP4046030B2 (ja) * | 2002-08-30 | 2008-02-13 | 株式会社村田製作所 | 部品装着方法および部品装着装置 |
| US7015492B2 (en) * | 2003-08-15 | 2006-03-21 | Asm International N.V. | Method and apparatus for mapping of wafers located inside a closed wafer cassette |
| JP4592070B2 (ja) | 2004-10-14 | 2010-12-01 | 株式会社日本マイクロニクス | 液晶パネルの外観検査装置及び外観検査方法 |
| US20080013820A1 (en) * | 2006-07-11 | 2008-01-17 | Microview Technology Ptd Ltd | Peripheral inspection system and method |
| WO2008069191A1 (ja) * | 2006-12-07 | 2008-06-12 | Shibaura Mechatronics Corporation | ウエーハ収納カセット検査装置及び方法 |
| KR101445911B1 (ko) * | 2009-04-13 | 2014-09-29 | 히라따기꼬오 가부시키가이샤 | 기판캐리어 측정 지그, 충돌방지 지그 및 그것을 이용한 충돌방지 방법 |
| JP5484981B2 (ja) * | 2010-03-25 | 2014-05-07 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板載置台及び基板処理装置 |
| JP5479253B2 (ja) * | 2010-07-16 | 2014-04-23 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、基板処理方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 |
| JP5880265B2 (ja) * | 2012-05-07 | 2016-03-08 | 株式会社ダイフク | 基板収納設備 |
| JP6539035B2 (ja) * | 2014-01-08 | 2019-07-03 | ローム株式会社 | チップ部品 |
| CN107408520B (zh) * | 2015-03-03 | 2022-02-25 | 卢茨·瑞布斯道克 | 检查系统 |
-
2017
- 2017-06-08 EP EP17174967.4A patent/EP3413339B1/en active Active
-
2018
- 2018-06-07 US US16/619,707 patent/US20200158661A1/en active Pending
- 2018-06-07 JP JP2019567604A patent/JP7356359B2/ja active Active
- 2018-06-07 KR KR1020207000340A patent/KR102592138B1/ko active IP Right Grant
- 2018-06-07 WO PCT/EP2018/065089 patent/WO2018224619A1/en active Application Filing
- 2018-06-07 CN CN201880037965.4A patent/CN110914967A/zh active Pending
- 2018-06-08 TW TW107119925A patent/TWI805588B/zh active
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004266221A (ja) * | 2003-03-04 | 2004-09-24 | Honda Electron Co Ltd | ウエハ収納カセットの検査装置及び方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TWI805588B (zh) | 2023-06-21 |
| EP3413339B1 (en) | 2023-05-24 |
| US20200158661A1 (en) | 2020-05-21 |
| KR20200014899A (ko) | 2020-02-11 |
| WO2018224619A1 (en) | 2018-12-13 |
| EP3413339A1 (en) | 2018-12-12 |
| CN110914967A (zh) | 2020-03-24 |
| JP2020524896A (ja) | 2020-08-20 |
| TW201903927A (zh) | 2019-01-16 |
| JP7356359B2 (ja) | 2023-10-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR102592138B1 (ko) | 기판 컨테이너에 대한 검사 시스템 및 검사 방법 | |
| US6822734B1 (en) | Apparatus and method for fabricating flat workpieces | |
| KR102351528B1 (ko) | 기판 처리 장치의 관리 방법, 및 기판 처리 시스템 | |
| KR102286315B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 기판 처리 장치의 처리 방법 | |
| TWI713130B (zh) | 半導體晶片線上檢驗的系統及方法 | |
| US20210225680A1 (en) | Systems and methods for orientator based wafer defect sensing | |
| US20230187244A1 (en) | Method for inspecting a container and inspection system | |
| US11901202B2 (en) | Substrate inspection system and method of use thereof | |
| US20100159372A1 (en) | Substrate processing apparatus and substrate processing method | |
| TW201432252A (zh) | 基板之缺陷檢查方法、基板之缺陷檢查裝置、程式及電腦記憶媒體 | |
| CN114235684A (zh) | 巨观及微观检测设备及检测方法 | |
| TW202402415A (zh) | 基板處理裝置及基板處理方法 | |
| JP3963572B2 (ja) | 基板搬入搬出装置 | |
| KR102228058B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 기판 상태 검출 방법 | |
| US10923377B2 (en) | Load port and method of detecting abnormality in FOUP lid of load port | |
| KR20230021892A (ko) | 기판 검사 장치 및 기판 검사 방법 | |
| TW202344811A (zh) | 光罩表面檢查裝置 | |
| KR20080076486A (ko) | 기판 검사 장치 및 방법 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant |