KR102582241B1 - 커브드 lm 오토 레벨링 제어장치 - Google Patents

커브드 lm 오토 레벨링 제어장치 Download PDF

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KR102582241B1 KR1020230030843A KR20230030843A KR102582241B1 KR 102582241 B1 KR102582241 B1 KR 102582241B1 KR 1020230030843 A KR1020230030843 A KR 1020230030843A KR 20230030843 A KR20230030843 A KR 20230030843A KR 102582241 B1 KR102582241 B1 KR 102582241B1
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윤해근
이동섭
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(주)네오스테크놀로지스
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Abstract

본 발명은 공정챔버의 내측에 배치되는 소위 히터베이스의 틸팅시 그 히터베이스의 수평이동을 막고자 하는 기술로서, 히터베이스를 틸팅할 때 히터베이스의 하부를 지지하는 챔버출입 샤프트부재의 틸팅 움직임 관련하여 그 챔버출입 샤프트부재의 상단부를 기준으로 챔버출입 샤프트부재가 시계추와 같이 움직이도록 함에 따라 그 히터베이스를 틸팅되는 과정에서 수평방향으로는 이동되지 않도록 하는 기술에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 커브드 무빙블록 부재가 전후방향 커브드 LM 부재와 좌우방향 커브드 LM 부재를 구비하고, 전후방향 커브드 LM 부재와 좌우방향 커브드 LM 부재의 전후/좌우 커브드 원운동을 자동 제어하는 커브드 무빙 제어부재를 구비함에 따라 히터베이스의 중앙부를 회전 중심부로 하여 챔버출입 샤프트부재의 커브드 원운동을 정밀하게 제어할 수 있다는 장점이 있다.

Description

커브드 LM 오토 레벨링 제어장치 {a control device for auto leveling of curved LM}
본 발명은 공정챔버의 내측에 배치되는 소위 히터베이스의 틸팅시 그 히터베이스의 수평이동을 막고자 하는 기술이다.
더욱 상세하게는, 본 발명은 히터베이스를 틸팅할 때 히터베이스의 하부를 지지하는 챔버출입 샤프트부재의 틸팅 움직임 관련하여 그 챔버출입 샤프트부재의 상단부를 기준으로 챔버출입 샤프트부재가 시계추와 같이 움직이도록 함에 따라 그 히터베이스가 틸팅되는 과정에서 수평방향으로는 이동되지 않도록 하는 기술로서, 히터베이스 상면의 웨이퍼 공정 두께에 반응하여 그 챔버출입 샤프트부재가 전후방향과 좌우방향으로 기울어지는 각도를 제어하는 기술이다.
일반적으로 웨이퍼의 표면 가공은 공정챔버 내에서 이루어진다. 그 공정챔버의 내부에는 웨이퍼를 안착시킨 상태에서 소위 히터베이스가 구비된다.
이 히터베이스를 공정챔버의 내부 공간에서 상하방향 움직임 가능하도록 히터베이스의 하부에는 그 히터베이스를 지지하는 소위 챔버출입 샤프트부재가 공정챔버의 하부를 관통하여 히터베이스의 하면과 연결되도록 설치된다.
이렇게 공정챔버의 내부에 위치한 히터베이스의 상면에 웨이퍼가 안착된 상태로 그 웨이퍼의 표면 공정(예: 플라즈마 처리)을 거치는데, 그 웨이퍼의 표면 처리 공정에서 불균일한 도포 두께를 줄이기 위해 웨이퍼가 안착된 히터베이스의 수평을 맞춤에 따라 결과적으로 웨이퍼의 수평을 조정하게 된다.
한편, 그 히터베이스의 수평을 조정하기 위해서는 그 히터베이스의 하부로 연장되는 챔버출입 샤프트부재를 전후좌우로 움직여 조정하게 되는데, 이 챔버출입 샤프트부재의 수평을 조정함에 따라 결과적으로 히터베이스의 수평을 조절할 수 있게 된다.
여기서, [도 1]은 종래기술인 3축 기반의 오토레벨링 장치의 일부 구성을 도시한 예시도 1이다. [도 1]을 참조하면, 예컨대 고정 포인트 부재(1a)를 통해 한 곳은 고정되고 제 1,2 높이조정 틸팅포인트 부재(1b, 1c)를 통해 2 곳의 높낮이를 조정함에 따라 결과적으로 틸팅베이스 부재(1)의 기울기를 조정한다는 것이다.
그런데, [도 1]과 같이 2 지점의 업/다운을 조합하여 만들어 낼 수 있는 틸팅베이스 부재(1)의 3차원 각도에는 한계가 있으며, 틸팅베이스 부재(1)의 목표하는 3차원 각도가 주어졌을 때 제 1,2 높이조정 틸팅포인트 부재(1b, 1c)를 각각 얼마만큼 높이조절 하면 그 목표하는 3차원 각도를 만들어낼 수 있는지에 대한 매핑(mapping)이 난해하다는 것이다.
결과적으로, [도 1]과 같은 3축 기반의 오토레벨링 장치를 통해 목표하는 틸팅베이스 부재(1)의 3차원 각도를 맞추려면 해당 작업자들의 경험과 수작업(시행착오의 반복)에 의존할 수 밖에 없는 문제가 있다.
이러한 종래의 문제점을 극복하기 위하여 [도 2] 및 [도 3]과 같은 오토레벨링 장치가 구현되었는데, [도 2]는 종래기술인 오토레벨링 장치를 도시한 예시도 2이고, [도 3]은 종래기술인 오토레벨링 장치를 도시한 예시도 3을 나타낸다.
그런데, [도 2]와 [도 3]과 같은 오토레벨링 장치가 3축 기반의 오토레벨링 장치에 대한 단점을 어느 정도는 극복하였지만, [도 2]와 [도 3]과 같은 오토레벨링 장치도 챔버출입 샤프트부재(20)의 움직임(예: 틸팅)을 조정하는 과정에서 히터베이스(10)의 틸팅이 이루어짐과 아울러 그 히터베이스(10)가 수평방향으로 소폭 이동함에 따라 애초의 디폴트 위치가 변경되는 문제점이 발생한다.
예컨대, 챔버출입 샤프트부재(20)와 샤프트 지지부재(30)가 만나는 지점을 회전 중심부로 구성한 상태에서 [도 2] (b)에서와 같이 좌측으로 소정 각도 틸팅하게 되면 히터베이스(10)도 그에 대응하여 틸팅되겠지만 [도 2]의 (a)에서와 같이 히터베이스(10)는 화살표와 같이 좌측으로 소정거리 수평이동하게 되는 문제가 발생한다.
또한, 챔버출입 샤프트부재(20)와 샤프트 지지부재(30)가 만나는 지점을 회전 중심부로 구성한 상태에서 [도 3] (a)에서와 같이 우측으로 소정 각도 틸팅하게 되면 히터베이스(10)도 그에 대응하여 틸팅되겠지만 [도 3]의 (b)에서와 같이 히터베이스(10)는 화살표와 같이 우측으로 소정거리 수평이동하게 되는 문제가 발생한다.
이처럼, 히터베이스(10)를 틸팅시키는 과정에서 [도 2]와 [도 3]에서와 같이 그 히터베이스(10)의 본래 위치가 수평이동을 하게 되면 그 오프셋(offset)된 만큼 다시 보정해 주는 별도의 장치가 필요하였다.
그에 따라, 히터베이스의 수평과 틸팅을 담당하는 챔버출입 샤프트부재의 움직임 조작 과정에서 히터베이스의 수평방향 이동이 발생하지 않도록 하되, 외부로부터 제공되는 웨이퍼의 표면 공정 두께에 반응하여 챔버출입 샤프트부재의 틸팅 각도를 자동으로 제어하는 기술구현이 요구된다.
본 발명은 상기한 점을 감안하여 제안된 것으로, 본 발명의 목적은 공정챔버 내의 히터베이스를 틸팅시키는 과정에서 히터베이스의 수평방향 디폴트 위치가 변경되지 않도록 챔버출입 샤프트부재의 전후/좌우방향 틸팅 각도를 자동 제어하는 커브드 LM 오토 레벨링 제어장치를 제공함에 있다.
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 커브드 LM 오토 레벨링 제어장치는 웨이퍼의 공정챔버 하부에 배치되어 공정챔버의 하부를 지지하며 자신 몸체의 중앙부가 개구된 베이스 부재(100); 공정챔버 내부에 배치되는 히터베이스의 몸체 중앙부에 자신 몸체의 상단부가 연결된 상태로 자신 몸체의 하부는 연직 하방향인 -Z축 방향으로 연장되는 챔버출입 샤프트부재(200); 베이스 부재의 하부에서 챔버출입 샤프트부재와 연결되며 히터베이스의 중앙부를 회전 중심부로 하여 챔버출입 샤프트부재를 전후방향 또는 좌우방향으로 커브드 원운동시킴에 따라 히터베이스의 중앙부를 회전 중심부로 하여 히터베이스를 전후방향 또는 좌우방향으로 틸팅시키는 커브드 무빙블록 부재(300); 웨이퍼 상의 코팅 두께 측정 결과에 따른 커브드 무빙블록 부재의 틸팅 요청 정보를 외부로부터 제공받고 틸팅 요청 정보에 기초하여 커브드 무빙블록 부재의 움직임을 제어하는 커브드 무빙 제어부재(400);를 포함하여 구성될 수 있다.
여기서, 커브드 무빙블록 부재(300)는, 베이스 부재의 하부에서 챔버출입 샤프트부재에 고정 연결된 상태로 챔버출입 샤프트부재가 히터베이스의 중앙부를 회전 중심부로 하여 전후방향 커브드 원운동이 가능하도록 베이스 부재에 대해 간접으로 커브드 기어물림되는 전후방향 커브드 LM 부재(310); 전후방향 커브드 LM 부재에 의한 전후방향 커브드 원운동이 가능하도록 전후방향 커브드 LM 부재와 커브드 기어물림되고 챔버출입 샤프트부재가 히터베이스의 중앙부를 회전 중심부로 하여 좌우방향 커브드 원운동이 가능하도록 베이스 부재에 대해 커브드 기어물림되는 좌우방향 커브드 LM 부재(320);를 구비할 수 있다.
이때, 커브드 무빙 제어부재(400)는, 챔버출입 샤프트부재가 히터베이스의 중앙부를 회전 중심부로 하여 전후방향 커브드 원운동이 가능하도록 틸팅 요청 정보에 기초하여 전후방향 커브드 LM 부재의 전후방향 커브드 원운동을 제어하도록 구성되고, 챔버출입 샤프트부재가 히터베이스의 중앙부를 회전 중심부로 하여 좌우방향 커브드 원운동이 가능하도록 틸팅 요청 정보에 기초하여 좌우방향 커브드 LM 부재의 좌우방향 커브드 원운동을 제어하도록 구성된다.
그리고, 전후방향 커브드 LM 부재(310)는, 자신 몸체인 전후방향 커브드 LM 부재의 일측벽에 전후방향으로 배치되며 히터베이스의 중앙부를 회전 중심부로 하여 챔버출입 샤프트부재가 전후방향으로 커브드 원운동하는 곡률 반경으로 커브드 형성된 전후방향 커브드 기어레일 부재(311); 좌우방향 커브드 LM 부재에 고정 연결되고 전후방향 커브드 기어레일 부재에 기어물림된 상태로 구동됨에 따라 자신 몸체인 전후방향 커브드 LM 부재와 히터베이스를 전후방향으로 틸팅시키는 전후방향 기어물림 구동부재(312); 자신 몸체인 전후방향 커브드 LM 부재의 측벽에 전후방향으로 배치되며 히터베이스의 중앙부를 회전 중심부로 하여 챔버출입 샤프트부재가 전후방향으로 커브드 원운동하는 곡률 반경으로 커브드 형성된 하나이상의 전후방향 LM 커브드 레일 부재(313); 전후방향 LM 커브드 레일 부재와 인접하는 좌우방향 커브드 LM 부재의 내측벽에 배치된 상태로 전후방향 LM 커브드 레일 부재를 따라 움직임이도록 구성되는 전후방향 LM 블록 부재(314);를 구비할 수 있다.
또한, 좌우방향 커브드 LM 부재(320)는, 자신 몸체인 좌우방향 커브드 LM 부재의 일측벽에 좌우방향으로 배치되며 히터베이스의 중앙부를 회전 중심부로 하여 챔버출입 샤프트부재가 좌우방향으로 커브드 원운동하는 곡률 반경으로 커브드 형성된 좌우방향 커브드 기어레일 부재(321); 베이스 부재에 고정 연결되고 좌우방향 커브드 기어레일 부재에 기어물림된 상태로 구동됨에 따라 전후방향 커브드 LM 부재, 자신 몸체인 좌우방향 커브드 LM 부재, 히터베이스를 좌우방향으로 틸팅시키는 좌우방향 기어물림 구동부재(322); 자신 몸체인 좌우방향 커브드 LM 부재의 측벽에 좌우방향으로 배치되며 히터베이스의 중앙부를 회전 중심부로 하여 챔버출입 샤프트부재가 좌우방향으로 커브드 원운동하는 곡률 반경으로 커브드 형성된 하나이상의 좌우방향 LM 커브드 레일 부재(323); 좌우방향 LM 커브드 레일 부재와 인접하는 베이스 부재의 내측벽에 배치된 상태로 좌우방향 LM 커브드 레일 부재를 따라 움직임이도록 구성되는 하나이상의 좌우방향 LM 블록 부재(324);를 구비할 수 있다.
이때, 커브드 무빙 제어부재(400)는, 챔버출입 샤프트부재가 히터베이스의 중앙부를 회전 중심부로 하여 전후방향 커브드 원운동이 가능하도록 틸팅 요청 정보에 기초하여 전후방향 LM 커브드 레일 부재의 곡률 반경을 따르는 전후방향 LM 블록 부재의 전후방향 커브드 원운동을 제어하도록 구성되고, 챔버출입 샤프트부재가 히터베이스의 중앙부를 회전 중심부로 하여 좌우방향 커브드 원운동이 가능하도록 틸팅 요청 정보에 기초하여 좌우방향 LM 커브드 레일 부재의 곡률 반경을 따르는 좌우방향 LM 블록 부재의 좌우방향 커브드 원운동을 제어하도록 구성될 수 있다.
한편, 본 발명은 커브드 무빙블록 부재가 움직인 거리를 센싱하는 커브드 무빙센서 부재;를 더 포함하여 구성될 수 있다.
그리고, 커브드 무빙센서 부재는, 전후방향 커브드 LM 부재가 움직인 거리를 센싱하는 전후방향 무빙센서 부재(510); 좌우방향 커브드 LM 부재가 움직인 거리를 센싱하는 좌우방향 무빙센서 부재(520);를 구비할 수 있다.
여기서, 전후방향 무빙센서 부재(510)는, 전후방향 커브드 LM 부재의 외측벽에 전후방향으로 길게 배치되는 전후방향 이동접촉식 센서부재(511); 좌우방향 커브드 LM 부재의 외측벽에 고정 연결된 상태로 전후방향 이동접촉식 센서부재의 센싱부에 접촉하는 위치까지 연장 형성되는 전후방향 센서브라켓 부재(512);를 구비할 수 있다.
이때, 좌우방향 무빙센서 부재(520)는, 베이스 부재의 외측벽에 좌우방향으로 길게 배치되는 좌우방향 이동접촉식 센서부재(521); 전후방향 커브드 LM 부재의 외측벽에 고정 연결된 상태로 좌우방향 이동접촉식 센서부재의 센싱부에 접촉하는 위치까지 연장 형성되는 좌우방향 센서브라켓 부재(522);를 구비할 수 있다.
본 발명은 베이스 부재, 챔버출입 샤프트부재, 커브드 무빙블록 부재, 커브드 무빙 제어부재를 구비함에 따라 공정챔버 내의 히터베이스를 틸팅시키는 과정에서 히터베이스의 수평방향 디폴트 위치가 변경되지 않도록 자동 제어하는 장점을 나타낸다.
또한, 본 발명은 커브드 무빙블록 부재가 전후방향 커브드 LM 부재와 좌우방향 커브드 LM 부재를 구비하고, 전후방향 커브드 LM 부재와 좌우방향 커브드 LM 부재의 전후/좌우 커브드 원운동을 자동 제어하는 커브드 무빙 제어부재를 구비함에 따라 히터베이스의 중앙부를 회전 중심부로 하여 챔버출입 샤프트부재의 커브드 원운동을 정밀하게 제어할 수 있다는 장점도 나타낸다.
[도 1]은 종래기술인 3축 기반의 오토레벨링 장치의 일부 구성을 도시한 예시도 1,
[도 2]는 종래기술인 오토레벨링 장치를 도시한 예시도 2,
[도 3]은 종래기술인 오토레벨링 장치를 도시한 예시도 3,
[도 4]는 본 발명에 따른 커브드 LM 오토 레벨링 제어장치를 도시한 예시도,
[도 5]는 [도 4]에서 커브드 무빙센서 부재를 제거한 상태를 위에서 아래로 바라본 도면,
[도 6]은 [도 5]를 아래에서 위로 바라 본 도면,
[도 7]은 [도 6]을 비스듬히 바라 본 도면,
[도 8]은 [도 7]에서 일부 구성을 제거하고 그 [도 7]과 다른 각도에서 바라 본 도면,
[도 9]는 [도 8]을 위에서 아래로 비스듬히 바라 본 도면,
[도 10]은 [도 9]에서 좌우방향 커브드 LM 부재의 일부 구성을 제거한 상태를 도시한 도면,
[도 11]은 본 발명의 구성인 커브드 무빙 제어부재의 하나의 동작 예시를 [도 5] 상에 표시한 도면,
[도 12] 내지 [도 14]는 본 발명의 구성인 커브드 무빙 제어부재의 다른 동작 예시를 개략적으로 표시한 도면으로서, [도 12]는 본 발명의 커브드 무빙 제어부재가 동작하기 전에 챔버출입 샤프트부재가 연직방향으로 세워져 배치된 상태를 나타낸 도면,
[도 13]은 본 발명의 커브드 무빙 제어부재가 동작함에 따라 챔버출입 샤프트부재의 하부가 우측으로 기울어진 상태를 나타낸 도면,
[도 14]는 본 발명의 커브드 무빙 제어부재가 동작함에 따라 챔버출입 샤프트부재의 하부가 좌측으로 기울어진 상태를 나타낸 도면,
[도 15]는 [도 4]의 다른 각도에서 그 [도 4]의 일부분을 발췌하여 확대 도시한 도면,
[도 16]은 [도 15]에서 탄성복원부재를 추가 도시한 후 그 [도 15]를 다른 각도에서 바라 본 도면이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.
[도 4]는 본 발명에 따른 커브드 LM 오토 레벨링 제어장치를 도시한 예시도이고, [도 5]는 [도 4]에서 커브드 무빙센서 부재를 제거한 상태를 위에서 아래로 바라본 도면, [도 6]은 [도 5]를 아래에서 위로 바라 본 도면이다.
본 명세서에서 LM은 Linear Motion의 약자이다. 직선이나 곡선 모양의 레일을 형성하고 그 위에 LM 블록이 올라가서 그 레일을 따라 움직이도록 하는 구성을 'LM'이라고 표기하였다.
본 발명에 따른 커브드(curved) LM 오토 레벨링 장치는 히터베이스(210)가 [도 5]에서와 같이 '전후방향' 또는 '좌우방향'으로 틸팅될 때 [도 5] 상의 히터베이스(210)가 자신 몸체의 수평면인 '전후방향' 또는 '좌우방향'으로 움직임이 발생하지 않도록 하는 것이다.
이를 위해, 본 발명에 따른 커브드 LM 오토 레벨링 제어장치는 바람직하게는 챔버출입 샤프트부재(200)와 히터베이스(210)가 연결되는 그 히터베이스(210)의 중앙부를 기준으로 챔버출입 샤프트부재(200)가 [도 4]에서와 같이 회동하도록 구성될 수 있다.
여기서, [도 4]를 참조하면 챔버출입 샤프트부재(200)가 연결되는 히터베이스(210)의 중앙부를 기준으로 챔버출입 샤프트부재(200)가 소위 시계추와 같이 회동하기 위해서는 바람직하게는 히터베이스(210)의 중앙부로부터 챔버출입 샤프트부재(200)의 하단부 까지의 거리(L)가 그 챔버출입 샤프트부재(200)의 회동에 따른 곡률 반경(R)과 동일하게 배치될 수 있다.
그리고, 챔버출입 샤프트부재(200)가 [도 4]에서와 같이 히터베이스(210)의 중앙부를 기준으로 '좌우방향' 또는 '전후방향'으로 회동하기 위해서는 그 챔버출입 샤프트부재(200)의 하부에 연결되는 개별 구성이 독특한 배치 구조로 구비되어 있어야 한다.
또한, 웨이퍼(211) 상의 코팅 두께 측정 결과에 따른 커브드 무빙블록 부재(300)의 틸팅 요청 정보를 외부로부터 제공받고 그 틸팅 요청 정보에 기초하여 커브드 무빙블록 부재(300)의 움직임을 자동으로 제어하게 된다.
이하에서는 그 챔버출입 샤프트부재(200)의 하부에 연결되는 커브드 무빙블록 부재(300) 및 커브드 무빙 제어부재(400)에 대해 구체적으로 살펴보기로 한다.
한편, 본 명세서에서 연직 상하방향은 [도 4]에서 챔버출입 샤프트부재(200)가 세워진 방향과 일치한다. 예컨대, 챔버출입 샤프트부재(200)의 중간 부분에서 볼 때 상단부는 히터베이스(210)와 연결되는 연직 상방향을 의미하고 그 하단부는 커브드 무빙블록 부재(300) 중 [도 4] 상의 좌우방향 LM 커브드 레일 부재(323)와 간접으로 연결되는 연직하방향을 의미한다.
그리고, 본 명세서에서 '-Z'는 챔버출입 샤프트부재(200)의 길이방향 중간에서 볼 때 히터베이스(210)의 중앙부와 대향하는 방향으로서의 연직하방향을 나타낸다.
이하에서는 챔버출입 샤프트부재(200)가 히터베이스(210)의 중앙부를 중심으로 회동 가능하도록 그 챔버출입 샤프트부재(200)의 하부에 연결되는 커브드 무빙블록 부재(300) 및 커브드 무빙 제어부재(400)에 대해 구체적으로 살펴보기로 한다.
[도 7]은 [도 6]을 비스듬히 바라 본 도면이고, [도 8]은 [도 7]에서 일부 구성을 제거하고 그 [도 7]과 다른 각도에서 바라 본 도면이고, [도 9]는 [도 8]을 위에서 아래로 비스듬히 바라 본 도면이고, [도 10]은 [도 9]에서 좌우방향 커브드 LM 부재의 일부 구성을 제거한 상태를 도시한 도면이고, [도 11]은 본 발명의 구성인 커브드 무빙 제어부재의 하나의 동작 예시를 [도 5] 상에 표시한 도면을 나타낸다.
[도 7] 내지 [도 11]을 참조하면, 본 발명에 따른 커브드 LM 오토 레벨링 제어장치는 베이스 부재(100), 챔버출입 샤프트부재(200), 커브드 무빙블록 부재(300), 커브드 무빙 제어부재(400)를 포함하여 구성될 수 있다.
베이스 부재(100)는 반도체의 공정챔버(미도시) 하부에 배치되어 그 공정챔버의 하부를 지지하며 자신 몸체의 중앙부는 [도 7] 내지 [도 10]에서와 같이 개구된다.
챔버출입 샤프트부재(200)는 공정챔버 내부에 배치되는 히터베이스(210)의 몸체 중앙부에 자신 몸체의 상단부가 연결된 상태로 자신 몸체의 하부는 연직 하방향인 -Z축 방향으로 [도 4]와 [도 10]에서와 같이 연장 형성될 수 있다.
커브드 무빙블록 부재(300)는 바람직하게는 [도 4]에서와 같이 전후방향 커브드 LM 부재(310)와 좌우방향 커브드 LM 부재(320)를 구비할 수 있으며 [도 4] 및 [도 10]에서와 같이 베이스 부재(100)의 하부에서 챔버출입 샤프트부재(200)와 연결될 수 있다.
커브드 무빙블록 부재(300)는 [도 4]에서와 같이 히터베이스(210)의 중앙부를 회전 중심부로 하여 챔버출입 샤프트부재(200)를 전후방향 또는 좌우방향으로 커브드 원운동시킨다.
그 결과, 커브드 무빙블록 부재(300)는 [도 4]에서와 같이 히터베이스(210)의 중앙부를 회전 중심부로 하여 히터베이스(210)를 전후방향 또는 좌우방향으로 틸팅시키게 된다.
이때, 히터베이스(210)는 커브드 무빙블록 부재(300)를 통한 틸팅 과정에서 히터베이스(210)의 본래 위치로부터 수평방향으로 움직이지 않게 된다.
커브드 무빙 제어부재(400)는 웨이퍼 상의 코팅 두께 측정 결과에 따른 커브드 무빙블록 부재(300)의 틸팅 요청 정보를 외부로부터 제공받고 바람직하게는 그 틸팅 요청 정보에 기초하여 커브드 무빙블록 부재(300)의 움직임을 제어하도록 구성될 수 있다.
여기서, [표 1]을 참조하면 '틸팅 요청 정보'라 함은 외부의 장비가 히터베이스(210)의 상면에 안착된 상태로 공정이 이루어지는 웨이퍼(211)의 예컨대 공정 두께에 대한 정보를 획득한 후 그 공정 두께에 대한 정보를 기초하여 생성하는 히터베이스(210)의 타겟 틸팅값을 의미한다.
그리고, 그 외부의 장비가 [표 1]에서와 같은 히터베이스(210)의 타겟 틸팅값에 대응하는 '틸팅 요청 정보'를 본 발명의 커브드 무빙 제어부재(400)에 전달하면, 커브드 무빙 제어부재(400)는 그 획득한 '틸팅 요청 정보'를 기초하여 커브드 무빙블록 부재(300)가 실제로 동작해야 할 [표 1] 상의 '틸팅 제어 정보'를 3차원으로 매핑한 후 그 매핑한 '틸팅 제어 정보'에 따라 커브드 무빙블록 부재(300)의 동작을 자동 제어하게 된다.
[도 11]과 [표 1]을 참조하면, 예컨대 [표 1] 상의 'case 1'에서와 같이 히터베이스(210)의 중앙부를 가로지르는 좌우방향을 기준으로 θ(예: 45°)만큼 회전하는 가상의 'leveling 회전축'을 기준으로 알파(예: 0.5°)만큼 회전하라는 '틸팅 요청 정보'를 외부로부터 커브드 무빙 제어부재(400)가 전달받을 수 있다.
이때, 커브드 무빙 제어부재(400)는 [표 1]에서와 같이 '틸팅 요청 정보'에 대응하는 [표 1] 상의 '틸팅 제어 정보'에 따라 히터베이스(210)의 '좌우방향 회전각도'와 '전후방향 회전각도'를 매핑하여 챔버출입 샤프트부재(200)를 좌우방향으로 0.35355°만큼 회전시키고 전후방향으로도 0.35355°만큼 회전시켜서 3차원 틸팅이 가능하게 된다.
그리고, 예컨대, [표 1] 상의 'case 2'에서와 같이 히터베이스(210)의 중앙부를 가로지르는 좌우방향을 기준으로 θ(예: 30°)만큼 회전하는 가상의 'leveling 회전축'을 기준으로 알파(예: 0.5°)만큼 회전하라는 '틸팅 요청 정보'를 외부로부터 커브드 무빙 제어부재(400)가 전달받을 수 있다.
이때, 커브드 무빙 제어부재(400)는 [표 1]에서와 같이 '틸팅 요청 정보'에 대응하는 [표 1] 상의 '틸팅 제어 정보'에 따라 히터베이스(210)의 '좌우방향 회전각도'와 '전후방향 회전각도'를 3차원으로 매핑하여 챔버출입 샤프트부재(200)를 좌우방향으로 0.433°만큼 회전시키고 전후방향으로는 0.25°만큼 회전시켜서 결국 3차원 틸팅이 가능하게 된다.
앞서 살펴 본 바와 같이, 커브드 무빙 제어부재(400)의 제어를 통해 챔버출입 샤프트부재(200)가 좌우방향과 전후방향으로 틸팅되도록 하기 위해 커브드 무빙블록 부재(300)는 전후방향 커브드 LM 부재(310)와 좌우방향 커브드 LM 부재(320)를 구비할 수 있다.
그리고, 전후방향 커브드 LM 부재(310)는 [도 7] 내지 [도 10]을 참조하면 베이스 부재(100)의 하부에서 챔버출입 샤프트부재(200)에 고정 연결된 상태로 챔버출입 샤프트부재(200)가 히터베이스(210)의 중앙부를 회전 중심부로 하여 전후방향 커브드(curved) 원운동이 가능하도록 베이스 부재(100)에 대해 간접으로 커브드 기어물림된다.
또한, 좌우방향 커브드 LM 부재(320)는 전후방향 커브드 LM 부재(310)에 의한 전후방향 커브드 원운동이 가능하도록 전후방향 커브드 LM 부재(310)와 커브드 기어물림되고 챔버출입 샤프트부재(200)가 히터베이스(210)의 중앙부를 회전 중심부로 하여 좌우방향 커브드 원운동이 가능하도록 베이스 부재(100)에 대해 커브드 기어물림된다.
여기서, 커브드 무빙 제어부재(400)는, 챔버출입 샤프트부재(200)가 히터베이스(210)의 중앙부를 회전 중심부로 하여 전후방향 커브드(curved) 원운동이 가능하도록 [표 1] 상의 '틸팅 요청 정보'에 기초하여 해당 '틸팅 제어 정보'를 3차원으로 매핑한 후 그 매핑한 '틸팅 제어 정보'에 따라 전후방향 커브드 LM 부재(310)의 전후방향 커브드 원운동을 제어한다.
그리고, 커브드 무빙 제어부재(400)는 챔버출입 샤프트부재(200)가 히터베이스(210)의 중앙부를 회전 중심부로 하여 좌우방향 커브드(curved) 원운동이 가능하도록 [표 1] 상의 '틸팅 요청 정보'에 기초하여 해당 '틸팅 제어 정보'를 3차원으로 매핑한 후 그 매핑한 '틸팅 제어 정보'에 따라 좌우방향 커브드 LM 부재(320)의 좌우방향 커브드 원운동을 제어한다.
한편, 전후방향 커브드 LM 부재(310)는 바람직하게는 [도 7] 내지 [도 10]에서와 같이, 전후방향 커브드 기어레일 부재(311), 전후방향 기어물림 구동부재(312), 전후방향 LM 커브드 레일 부재(313), 전후방향 LM 블록 부재(314)를 구비할 수 있다.
전후방향 커브드 기어레일 부재(311)는 [도 7]에서와 같이 자신 몸체인 전후방향 커브드 LM 부재(310)의 일측벽에 전후방향으로 배치될 수 있다.
전후방향 커브드 기어레일 부재(311)는 히터베이스(210)의 중앙부를 회전 중심부로 하여 챔버출입 샤프트부재(200)가 전후방향으로 커브드 원운동하는 곡률로 [도 7]에서와 같이 커브드 형성될 수 있다.
전후방향 기어물림 구동부재(312)는 [도 7]에서와 같이 좌우방향 커브드 LM 부재(320)에 고정 연결되고 전후방향 커브드 기어레일 부재(311)에 기어물림된 상태로 구동될 수 있다.
그 결과, 전후방향 기어물림 구동부재(312)는 좌우방향 커브드 LM 부재(320)와 베이스 부재(100)를 기반으로 자신 몸체인 전후방향 커브드 LM 부재(310)와 히터베이스(210)를 소정의 곡률로 회동시킴에 따라 결국 전후방향으로 히터베이스(210)를 틸팅시키게 된다.
전후방향 LM 커브드 레일 부재(313)는 [도 8]과 [도 10]을 참조하면 바람직하게는 자신 몸체인 전후방향 커브드 LM 부재(310)의 양쪽 측벽에 전후방향으로 배치되며 히터베이스(210)의 중앙부를 회전 중심부로 하여 챔버출입 샤프트부재(200)가 전후방향으로 커브드 원운동하는 곡률로 커브드(curved) 형성될 수 있다.
전후방향 LM 블록 부재(314)는 [도 8]과 [도 10]을 참조하면 전후방향 LM 커브드 레일 부재(313)와 인접하는 좌우방향 커브드 LM 부재(320)의 내측벽에 배치된 상태로 전후방향 LM 커브드 레일 부재(313)를 따라 움직임이도록 구성된다.
다른 한편, 좌우방향 커브드 LM 부재(320)는 [도 7] 내지 [도 10]을 참조하면 전후방향 커브드 LM 부재(310)에 의한 전후방향 커브드 원운동이 가능하도록 전후방향 커브드 LM 부재(310)와 커브드 기어물림된다.
그 결과, [도 4]와 같이 챔버출입 샤프트부재(200)가 히터베이스(210)의 중앙부를 회전 중심부로 하여 좌우방향 커브드 원운동이 가능하도록 [도 7] 내지 [도 10]에서와 같이 베이스 부재(100)에 대해 커브드 기어물림된다.
이를 위해, 좌우방향 커브드 LM 부재(320)는 바람직하게는 [도 7] 내지 [도 10]에서와 같이 좌우방향 커브드 기어레일 부재(321), 좌우방향 기어물림 구동부재(322), 좌우방향 LM 커브드 레일 부재(323), 좌우방향 LM 블록 부재(324)를 구비할 수 있다.
좌우방향 커브드 기어레일 부재(321)는 [도 7]에서와 같이 자신 몸체인 좌우방향 커브드 LM 부재(320)의 일측벽에 좌우방향으로 배치되며 [도 4]에서와 같이 히터베이스(210)의 중앙부를 회전 중심부로 하여 챔버출입 샤프트부재(200)가 좌우방향으로 커브드 원운동하는 곡률로 [도 7]과 [도 11]에서와 같이 커브드 형성될 수 있다.
좌우방향 기어물림 구동부재(322)는 [도 7]에서와 같이 베이스 부재(100)에 고정 연결되고 좌우방향 커브드 기어레일 부재(321)에 기어물림된 상태로 구동됨에 따라 베이스 부재(100)를 기반으로 전후방향 커브드 LM 부재(310), 자신 몸체인 좌우방향 커브드 LM 부재(320), 히터베이스(210)를 [도 4]에서와 같이 좌우방향으로 틸팅시키게 된다.
좌우방향 LM 커브드 레일 부재(323)는 [도 8]과 [도 10]을 참조하면 바람직하게는 자신 몸체인 좌우방향 커브드 LM 부재(320)의 양쪽 측벽에 좌우방향으로 배치되며 히터베이스(210)의 중앙부를 회전 중심부로 하여 챔버출입 샤프트부재(200)가 좌우방향으로 커브드 원운동하는 곡률로 커브드(curved) 형성될 수 있다.
좌우방향 LM 블록 부재(324)는 [도 8]과 [도 10]을 참조하면 좌우방향 LM 커브드 레일 부재(323)와 인접하는 베이스 부재(100)의 내측벽에 배치된 상태로 좌우방향 LM 커브드 레일 부재(323)를 따라 움직임이도록 구성된다.
여기서, 커브드 무빙 제어부재(400)는, 챔버출입 샤프트부재(200)가 히터베이스(210)의 중앙부를 회전 중심부로 하여 전후방향 커브드 원운동이 가능하도록 [표 1] 상의 '틸팅 요청 정보'에 기초하여 해당 '틸팅 제어 정보'를 3차원으로 매핑한 후, 그 매핑한 '틸팅 제어 정보'에 따라 전후방향 LM 커브드 레일 부재(313)의 곡률을 따르는 전후방향 LM 블록 부재(314)의 전후방향 커브드 원운동을 제어하도록 구성된다.
그리고, 커브드 무빙 제어부재(400)는, 챔버출입 샤프트부재(200)가 히터베이스(210)의 중앙부를 회전 중심부로 하여 좌우방향 커브드 원운동이 가능하도록 [표 1] 상의 '틸팅 요청 정보'에 기초하여 해당 '틸팅 제어 정보'를 3차원으로 매핑한 후, 그 매핑한 '틸팅 제어 정보'에 따라 좌우방향 LM 커브드 레일 부재(323)의 곡률을 따르는 좌우방향 LM 블록 부재(324)의 좌우방향 커브드 원운동을 제어하도록 구성된다.
다른 한편, [도 12] 내지 [도 14]는 본 발명의 구성인 커브드 무빙 제어부재의 다른 동작 예시를 개략적으로 표시한 도면으로서, [도 12]는 본 발명의 커브드 무빙 제어부재가 동작하기 전에 챔버출입 샤프트부재가 연직방향으로 세워져 배치된 상태를 나타낸 도면이고, [도 13]은 본 발명의 커브드 무빙 제어부재가 동작함에 따라 챔버출입 샤프트부재의 하부가 우측으로 기울어진 상태를 나타낸 도면이고, [도 14]는 본 발명의 커브드 무빙 제어부재가 동작함에 따라 챔버출입 샤프트부재의 하부가 좌측으로 기울어진 상태를 나타낸 도면이다.
먼저, 위에서 [표 1]을 통해 살펴 본 바와 같이 커브드 무빙 제어부재(400)는 외부로부터의 '틸팅 요청 정보'에 기초하여 3차원 정보인 '틸팅 제어 정보'를 매핑함에 있어서 예컨대 '좌우방향 회전각도'와 '전후방향 회전각도'를 매핑할 수 있다.
그런데, 커브드 무빙 제어부재(400)가 외부로부터의 '틸팅 요청 정보'에 기초하여 3차원 정보인 '틸팅 제어 정보'를 매핑함에 있어서 예컨대 '좌우방향 회전각도'와 '전후방향 회전각도' 중 어느 하나에 대해서만 매핑해야 하는 경우도 생길 수 있을 것이다.
예컨대, [표 2]에서 'case 1,3,6,8'은 '좌우방향 회전각도'에 대해서만 커브드 무빙 제어부재(400)가 외부로부터의 '틸팅 요청 정보'에 기초하여 '틸팅 제어 정보'를 매핑한 경우이고, 'case 2,4,7,9'는 '전후방향 회전각도'에 대해서만 커브드 무빙 제어부재(400)가 외부로부터의 '틸팅 요청 정보'에 기초하여 '틸팅 제어 정보'를 매핑한 경우이다.
그리고, [도 13]과 [도 14]는 [표 2] 상의 'case 1,3,6,8'에 대응하는 '좌우방향 회전각도'에 대해서만 커브드 무빙 제어부재(400)가 외부로부터 전달받은 '틸팅 요청 정보'에 기초하여 해당 '틸팅 제어 정보'를 매핑한 경우를 나타낸다.
즉, [도 12]에서와 같이 커브드 무빙 제어부재(400)가 동작하기 전에 챔버출입 샤프트부재(200)가 연직방향으로 세워져 배치된 상태로부터 [표 2] 상의 'case 1,6'과 [도 13]에서와 같이 커브드 무빙 제어부재(400)가 커브드 무빙블록 부재(300)의 동작을 제어하여 챔버출입 샤프트부재(200)의 하부가 좌우방향으로 틸팅시킬 수 있다.
또한, 즉, [도 12]에서와 같이 커브드 무빙 제어부재(400)가 동작하기 전에 챔버출입 샤프트부재(200)가 연직방향으로 세워져 배치된 상태로부터 [표 2] 상의 'case 3,8'과 [도 14]에서와 같이 커브드 무빙 제어부재(400)가 커브드 무빙블록 부재(300)의 동작을 제어하여 챔버출입 샤프트부재(200)의 하부가 좌우방향으로 틸팅시킬 수도 있다.
다른 한편, 본 발명에 따른 커브드 LM 오토 레벨링 제어장치는 [도 4]와 [도 15]를 참조하면 커브드 무빙블록 부재(300)가 움직인 거리를 센싱하는 커브드 무빙센서 부재를 더 포함하여 구성될 수 있다.
커브드 무빙센서 부재는 [도 4]와 [도 15]를 참조하면 바람직하게는 전후방향 커브드 LM 부재(310)가 움직인 거리를 센싱하는 전후방향 무빙센서 부재(510)와, 좌우방향 커브드 LM 부재(320)가 움직인 거리를 센싱하는 좌우방향 무빙센서 부재(520)를 구비할 수 있다.
여기서, 전후방향 무빙센서 부재(510)는 이동접촉식 센서부재(511)와 전후방향 센서브라켓 부재(512)를 구비할 수 있다.
전후방향 이동접촉식 센서부재(511)는 [도 15]에서와 같이 전후방향 커브드 LM 부재(310)의 외측벽에 전후방향으로 길게 배치될 수 있다.
전후방향 센서브라켓 부재(512)는 [도 15]에서와 같이 좌우방향 커브드 LM 부재(320)의 외측벽에 고정 연결된 상태로 전후방향 이동접촉식 센서부재(511)의 센싱부에 접촉하는 위치까지 연장 형성될 수 있다.
그리고, 좌우방향 무빙센서 부재(520)는 좌우방향 이동접촉식 센서부재(521)와 좌우방향 센서브라켓 부재(522)를 구비할 수 있다.
좌우방향 이동접촉식 센서부재(521)는 [도 15]에서와 같이 베이스 부재(100)의 외측벽에 좌우방향으로 길게 배치될 수 있다.
좌우방향 센서브라켓 부재(522)는 [도 15]에서와 같이 전후방향 커브드 LM 부재(310)의 외측벽에 고정 연결된 상태로 좌우방향 이동접촉식 센서부재(521)의 센싱부에 접촉하는 위치까지 연장 형성될 수 있다.
[도 16]은 [도 15]에서 탄성복원부재를 추가 도시한 후 그 [도 15]를 다른 각도에서 바라 본 도면이다.
본 발명의 구성인 전후방향 커브드 LM 부재(310)는 [도 13]에서와 같이 전후방향 탄성복원부재(311a)를 구비할 수 있다.
전후방향 탄성복원부재(311a)는 전후방향 커브드 기어레일 부재(311)와 전후방향 기어물림 구동부재(312) 사이의 기어 간극(backlash)을 제거하여 그 제어의 정밀도를 높이게 된다.
본 발명의 구성인 좌우방향 커브드 LM 부재(320)는 [도 13]에서와 같이 좌우방향 탄성복원부재(321a)를 구비할 수 있다.
좌우방향 탄성복원부재(321a)는 좌우방향 커브드 기어레일 부재(321)와 좌우방향 기어물림 구동부재(322) 사이의 기어 간극(backlash)을 제거하여 그 제어의 정밀도를 높이게 된다.
1 : 틸팅베이스 부재
1a : 고정 포인트 부재
1b : 제 1 높이조정 틸팅포인트 부재
1c : 제 2 높이조정 틸팅포인트 부재
10 : 히터베이스
20 : 챔버출입 샤프트부재
30 : 샤프트 지지부재
100 : 베이스 부재
200 : 챔버출입 샤프트부재
210 : 히터베이스
211 : 웨이퍼
300 : 커브드 무빙블록 부재
310 : 전후방향 커브드 LM 부재
311 : 전후방향 커브드 기어레일 부재
311a : 전후방향 탄성복원부재
312 : 전후방향 기어물림 구동부재
313 : 전후방향 LM 커브드 레일 부재
314 : 전후방향 LM 블록 부재
320 : 좌우방향 커브드 LM 부재
321 : 좌우방향 커브드 기어레일 부재
321a : 좌우방향 탄성복원부재
322 : 좌우방향 기어물림 구동부재
323 : 좌우방향 LM 커브드 레일 부재
324 : 좌우방향 LM 블록 부재
400 : 커브드 무빙 제어부재
510 : 전후방향 무빙센서 부재
511 : 전후방향 이동접촉식 센서부재
512 : 전후방향 센서브라켓 부재
520 : 좌우방향 무빙센서 부재
521 : 좌우방향 이동접촉식 센서부재
522 : 좌우방향 센서브라켓 부재

Claims (4)

  1. 웨이퍼의 공정챔버 하부에 배치되어 상기 공정챔버의 하부를 지지하며 자신 몸체의 중앙부가 개구된 베이스 부재(100);
    상기 공정챔버 내부에 배치되는 히터베이스의 몸체 중앙부에 자신 몸체의 상단부가 연결된 상태로 자신 몸체의 하부는 연직 하방향인 -Z축 방향으로 연장되는 챔버출입 샤프트부재(200);
    상기 베이스 부재의 하부에서 상기 챔버출입 샤프트부재와 연결되며 상기 히터베이스의 중앙부를 회전 중심부로 하여 상기 챔버출입 샤프트부재를 전후방향 또는 좌우방향으로 커브드 원운동시킴에 따라 상기 히터베이스의 중앙부를 회전 중심부로 하여 상기 히터베이스를 전후방향 또는 좌우방향으로 틸팅시키는 커브드 무빙블록 부재(300);
    상기 웨이퍼 상의 코팅 두께 측정 결과에 따른 상기 커브드 무빙블록 부재의 틸팅 요청 정보를 외부로부터 제공받고 상기 틸팅 요청 정보에 기초하여 상기 커브드 무빙블록 부재의 움직임을 제어하는 커브드 무빙 제어부재(400);
    를 포함하여 구성되고,
    상기 커브드 무빙블록 부재(300)는,
    상기 베이스 부재의 하부에서 상기 챔버출입 샤프트부재에 고정 연결된 상태로 상기 챔버출입 샤프트부재가 상기 히터베이스의 중앙부를 회전 중심부로 하여 전후방향 커브드 원운동이 가능하도록 상기 베이스 부재에 대해 간접으로 커브드 기어물림되는 전후방향 커브드 LM 부재(310);
    상기 전후방향 커브드 LM 부재에 의한 상기 전후방향 커브드 원운동이 가능하도록 상기 전후방향 커브드 LM 부재와 커브드 기어물림되고 상기 챔버출입 샤프트부재가 상기 히터베이스의 중앙부를 회전 중심부로 하여 좌우방향 커브드 원운동이 가능하도록 상기 베이스 부재에 대해 커브드 기어물림되는 좌우방향 커브드 LM 부재(320);
    를 구비하며,
    상기 커브드 무빙 제어부재(400)는,
    상기 챔버출입 샤프트부재가 상기 히터베이스의 중앙부를 회전 중심부로 하여 전후방향 커브드 원운동이 가능하도록 상기 틸팅 요청 정보에 기초하여 상기 전후방향 커브드 LM 부재의 전후방향 커브드 원운동을 제어하고,
    상기 챔버출입 샤프트부재가 상기 히터베이스의 중앙부를 회전 중심부로 하여 좌우방향 커브드 원운동이 가능하도록 상기 틸팅 요청 정보에 기초하여 상기 좌우방향 커브드 LM 부재의 좌우방향 커브드 원운동을 제어하며,
    상기 커브드 무빙 제어부재(400)는,
    상기 히터베이스의 중앙부를 가로지르는 좌우방향으로부터 상기 히터베이스의 중앙부를 회전 중심축으로 하여 소정의 각도인 세타()만큼 회전시킨 가상의 '레벨링 회전축'에 대해 상기 레벨링 회전축을 소정의 각도인 알파()만큼 제자리 회전하라는 상기 틸팅 요청 정보를 외부로부터 제공받는 경우, 상기 틸팅 요청 정보에 대응하여 상기 전후방향 커브드 LM 부재의 전후방향 커브드 원운동을 제어할 틸팅 제어 정보를

    에 의해 생성하고 상기 좌우방향 커브드 LM 부재의 좌우방향 커브드 원운동을 제어할 틸팅 제어 정보를

    에 의해 생성하는 틸팅 제어정보 생성부재(410);
    를 구비하는 것을 특징으로 하는 커브드 LM 오토 레벨링 제어장치.
  2. 삭제
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 전후방향 커브드 LM 부재(310)는,
    자신 몸체인 상기 전후방향 커브드 LM 부재의 일측벽에 전후방향으로 배치되며 상기 히터베이스의 중앙부를 회전 중심부로 하여 상기 챔버출입 샤프트부재가 전후방향으로 커브드 원운동하는 곡률 반경으로 커브드 형성된 전후방향 커브드 기어레일 부재(311);
    상기 좌우방향 커브드 LM 부재에 고정 연결되고 상기 전후방향 커브드 기어레일 부재에 기어물림된 상태로 구동됨에 따라 자신 몸체인 상기 전후방향 커브드 LM 부재와 상기 히터베이스를 전후방향으로 틸팅시키는 전후방향 기어물림 구동부재(312);
    자신 몸체인 상기 전후방향 커브드 LM 부재의 측벽에 전후방향으로 배치되며 상기 히터베이스의 중앙부를 회전 중심부로 하여 상기 챔버출입 샤프트부재가 전후방향으로 커브드 원운동하는 곡률 반경으로 커브드 형성된 하나이상의 전후방향 LM 커브드 레일 부재(313);
    상기 전후방향 LM 커브드 레일 부재와 인접하는 상기 좌우방향 커브드 LM 부재의 내측벽에 배치된 상태로 상기 전후방향 LM 커브드 레일 부재를 따라 움직임이도록 구성되는 전후방향 LM 블록 부재(314);
    를 구비하고,
    상기 좌우방향 커브드 LM 부재(320)는,
    자신 몸체인 상기 좌우방향 커브드 LM 부재의 일측벽에 좌우방향으로 배치되며 상기 히터베이스의 중앙부를 회전 중심부로 하여 상기 챔버출입 샤프트부재가 좌우방향으로 커브드 원운동하는 곡률 반경으로 커브드 형성된 좌우방향 커브드 기어레일 부재(321);
    상기 베이스 부재에 고정 연결되고 상기 좌우방향 커브드 기어레일 부재에 기어물림된 상태로 구동됨에 따라 상기 전후방향 커브드 LM 부재, 자신 몸체인 상기 좌우방향 커브드 LM 부재, 상기 히터베이스를 좌우방향으로 틸팅시키는 좌우방향 기어물림 구동부재(322);
    자신 몸체인 상기 좌우방향 커브드 LM 부재의 측벽에 좌우방향으로 배치되며 상기 히터베이스의 중앙부를 회전 중심부로 하여 상기 챔버출입 샤프트부재가 좌우방향으로 커브드 원운동하는 곡률 반경으로 커브드 형성된 하나이상의 좌우방향 LM 커브드 레일 부재(323);
    상기 좌우방향 LM 커브드 레일 부재와 인접하는 상기 베이스 부재의 내측벽에 배치된 상태로 상기 좌우방향 LM 커브드 레일 부재를 따라 움직임이도록 구성되는 하나이상의 좌우방향 LM 블록 부재(324);
    를 구비하며,
    상기 커브드 무빙 제어부재(400)는,
    상기 챔버출입 샤프트부재가 상기 히터베이스의 중앙부를 회전 중심부로 하여 전후방향 커브드 원운동이 가능하도록 상기 틸팅 요청 정보에 기초하여 상기 전후방향 LM 커브드 레일 부재의 곡률 반경을 따르는 상기 전후방향 LM 블록 부재의 전후방향 커브드 원운동을 제어하고,
    상기 챔버출입 샤프트부재가 상기 히터베이스의 중앙부를 회전 중심부로 하여 좌우방향 커브드 원운동이 가능하도록 상기 틸팅 요청 정보에 기초하여 상기 좌우방향 LM 커브드 레일 부재의 곡률 반경을 따르는 상기 좌우방향 LM 블록 부재의 좌우방향 커브드 원운동을 제어하는 것을 특징으로 하는 커브드 LM 오토 레벨링 제어장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 커브드 무빙블록 부재가 움직인 거리를 센싱하는 커브드 무빙센서 부재;
    를 더 포함하여 구성되고,
    상기 커브드 무빙센서 부재는,
    상기 전후방향 커브드 LM 부재가 움직인 거리를 센싱하는 전후방향 무빙센서 부재(510);
    상기 좌우방향 커브드 LM 부재가 움직인 거리를 센싱하는 좌우방향 무빙센서 부재(520);
    를 구비하고,
    상기 전후방향 무빙센서 부재(510)는,
    상기 전후방향 커브드 LM 부재의 외측벽에 전후방향으로 길게 배치되는 전후방향 이동접촉식 센서부재(511);
    상기 좌우방향 커브드 LM 부재의 외측벽에 고정 연결된 상태로 상기 전후방향 이동접촉식 센서부재의 센싱부에 접촉하는 위치까지 연장 형성되는 전후방향 센서브라켓 부재(512);
    를 구비하고,
    상기 좌우방향 무빙센서 부재(520)는,
    상기 베이스 부재의 외측벽에 좌우방향으로 길게 배치되는 좌우방향 이동접촉식 센서부재(521);
    상기 전후방향 커브드 LM 부재의 외측벽에 고정 연결된 상태로 상기 좌우방향 이동접촉식 센서부재의 센싱부에 접촉하는 위치까지 연장 형성되는 좌우방향 센서브라켓 부재(522);
    를 구비하는 것을 특징으로 하는 커브드 LM 오토 레벨링 제어장치.
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180127536A (ko) * 2016-04-22 2018-11-28 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 화학 기상 증착 프로세스 동안의 동적 웨이퍼 레벨링/틸팅/스위블링
KR20200097414A (ko) * 2019-02-08 2020-08-19 (주)마이크로모션텍 고니오 스테이지 및 곡선 안내 유닛
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