KR102581070B1 - Method of manufacturing conductive powder with improved film density and conductive powder produced therefrom - Google Patents

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Abstract

본 발명은 ((A) 부도체 코어의 표면에 건식 스퍼터링으로 씨드층을 배치하는 단계; 및 (B) 상기 씨드층의 표면에 무전해 도금으로 도금층을 배치하는 단계; 를 포함하고, 상기 씨드층의 두께는 상기 도금층의 두께에 비해 작은 막 치밀도를 향상시킨 전도성 분말의 제조방법 및 이에 의하여 제조된 전도성 분말을 개시한다.The present invention includes ((A) disposing a seed layer on the surface of an insulator core by dry sputtering; and (B) disposing a plating layer on the surface of the seed layer by electroless plating; Disclosed is a method for producing conductive powder with improved film density, the thickness of which is smaller than that of the plating layer, and the conductive powder produced thereby.

Description

막 치밀도를 향상시킨 전도성 분말의 제조방법 및 이에 의하여 제조된 막 치밀도를 향상시킨 전도성 분말{METHOD OF MANUFACTURING CONDUCTIVE POWDER WITH IMPROVED FILM DENSITY AND CONDUCTIVE POWDER PRODUCED THEREFROM}Method for manufacturing conductive powder with improved film density and conductive powder with improved film density manufactured thereby {METHOD OF MANUFACTURING CONDUCTIVE POWDER WITH IMPROVED FILM DENSITY AND CONDUCTIVE POWDER PRODUCED THEREFROM}

본 발명은 막 치밀도를 향상시킨 전도성 분말의 제조방법 및 이에 의하여 제조된 막 치밀도를 향상시킨 전도성 분말에 관한 것이다. 구체적으로 본 발명은 부도체인 유리 분말의 표면에 전도체 금속인 은(Ag, Silver)을 코팅하여, 막 치밀도를 향상시킨 전도성 분말을 제조하는 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for producing conductive powder with improved membrane density and to the conductive powder with improved membrane density produced thereby. Specifically, the present invention relates to a manufacturing method for manufacturing conductive powder with improved film density by coating the surface of glass powder, which is an insulator, with silver (Ag, Silver), a conductive metal.

본 발명은 경기도경제과학진흥원의 경기도 소부장 기업육성 지원사업(과제번호: PJ20210140, 연구과제명: Ag coated Glass 필러를 이용한 전도성 가스켓 개발, 주관기관: (주)엠엠에스코퍼레이션, 연구기간: 2021.05.01~2021.12.31)의 일환으로 수행한 연구로부터 도출된 것이다.This invention was developed through the Gyeonggi-do Small and Medium Business Development Support Project of the Gyeonggi-do Economic and Science Promotion Agency (Project number: PJ20210140, Research project name: Development of a conductive gasket using Ag coated glass filler, Host organization: MS Corporation Co., Ltd., Research period: 2021.05. It was derived from research conducted as part of the project (01~2021.12.31).

최근에 이르기까지 스마트폰에서부터 태블릿 PC나 노트북 컴퓨터 등의 전자기기는 점차 경박 단소화되어 왔으며, 현재도, 현존 제품과 동등 이상의 성능을 발휘하면서도 더욱 더 가볍고 박형화 할 수 있는 소재의 개발을 위한 연구가 활발히 진행되고 있는 실정이다.Until recently, electronic devices such as smartphones, tablet PCs, and laptop computers have gradually become lighter and shorter, and even now, research is being conducted to develop materials that can be made lighter and thinner while still performing at par with existing products. It is actively progressing.

종래에는 전자부품 내 소재산업에서 높은 신뢰성을 제공하기에 은(Ag, Silver) 분말을 전도성 분말로 주로 사용하고 있다. 한편, 은(Ag, Silver)은 고가의 귀금속에 해당하며, 국제정세에 따라 가격은 등락을 반복하고 있어, 이에 대한 대체 소재의 개발은 계속해서 진행되어 왔으며, 이의 대안으로 Core-shell 구조의 분말을 제조하여, 가격 대비 성능이 우수한 전도성 분말의 개발이 진행되고 있다.Conventionally, silver (Ag, Silver) powder is mainly used as a conductive powder in the electronic component materials industry because it provides high reliability. Meanwhile, silver (Ag, silver) is an expensive precious metal, and its price fluctuates repeatedly depending on the international situation. As an alternative, the development of alternative materials has continued, and as an alternative, powder with a core-shell structure has been developed. The development of conductive powder with excellent price-performance ratio is in progress.

이러한 Core-shell 구조의 분말 중 대표적으로는 은이 코팅된 구리 분말이 있다. 구리 분말은 전도성이 우수하며 가격이 저렴하여 소재 산업에서 각광을 받고 있으나, 산화에 취약한 단점으로 고 신뢰성을 요구하는 스마트 전자기기의 소재로 사용하기에는 신뢰성이 저하되는 문제가 있다.Among these core-shell structure powders, a representative example is silver-coated copper powder. Copper powder is attracting attention in the materials industry due to its excellent conductivity and low price. However, due to its vulnerability to oxidation, it has the problem of reduced reliability when used as a material for smart electronic devices that require high reliability.

이에 대한 대안으로, Core인 구리를 대체하여 유리 분말을 적용한 후 유리 코어에 은을 코팅함으로써, 구리에 의한 산화로 저항이 상승하는 문제를 방지할 수 있게 되었다.As an alternative to this, by applying glass powder instead of copper as the core and then coating the glass core with silver, it was possible to prevent the problem of resistance increasing due to oxidation by copper.

다만, 종래의 은이 코팅된 구리 분말은 무전해 도금방법으로 제조를 하고 있다. 그래서 제조 공정이 최소 5~6단계 이상을 거쳐야 하며, 경우에 따라서는 고가의 촉매를 사용하고, 고농도의 환경 폐수가 발생하고 있다. 또한, 물리적인 특성 측면에서도 Core 인 유리 분말과 Shell인 은 코팅층 간의 밀착력이 취약하여, 페이스트 제조를 위한 물리적 분산 과정에서 코어에서 은 코팅층이 탈락되는 현상이 쉽게 발생한다.However, conventional silver-coated copper powder is manufactured using an electroless plating method. Therefore, the manufacturing process must go through at least 5 to 6 steps, and in some cases, expensive catalysts are used and a high concentration of environmental wastewater is generated. In addition, in terms of physical properties, the adhesion between the glass powder as the core and the silver coating layer as the shell is weak, so the silver coating layer easily falls off from the core during the physical dispersion process for paste production.

한편, 종래에는 전도성 분말(Core(유리)-Shell(은))의 표면 활성도를 높이고자 촉매로 주석을 코팅 후 고농도 알칼리의 은도금 용액을 만들어서 사용하여 전도성 분말을 제조하였으나, 이는 촉매로 사용한 주석의 활성도가 미약하여 은도금의 활성도가 떨어지고, 균일한 은 도금층을 형성하지 못하고, 자유 은(Free silver)이 석출되어 전기전도 특성이 취약해지는 문제점이 있다.Meanwhile, in the past, in order to increase the surface activity of the conductive powder (Core (glass)-Shell (silver)), conductive powder was manufactured by coating tin with a catalyst and then making a high-concentration alkali silver plating solution. There are problems in that the activity of silver plating is low due to low activity, a uniform silver plating layer cannot be formed, and free silver is precipitated, making electrical conductivity weak.

대한민국 공개특허 10-2012-0099587Republic of Korea Public Patent No. 10-2012-0099587 대한민국 공개특허 10-2007-0013982Republic of Korea Public Patent No. 10-2007-0013982 대한민국 공개특허 10-2010-0064429Republic of Korea Public Patent No. 10-2010-0064429

본 발명은 유리와 은으로 구성된 코어-쉘 구조를 가져, 유리와 은의 장점을 이용함으로써 저렴한 가격으로 뛰어난 성능을 구현할 수 있는 전도성 분말을 제공하는 것을 목적으로 한다.The purpose of the present invention is to provide a conductive powder that has a core-shell structure composed of glass and silver and can achieve excellent performance at a low price by taking advantage of the advantages of glass and silver.

또한, 본 발명은 오랜 시간 동안의 공기와의 접촉에도 산화에 따른 기능 저하의 염려가 없고, 우수한 전기전도성과 분산성을 유지하므로 신뢰성을 향상시킬 수 있는 전도성 분말을 제공하는 것을 목적으로 한다.In addition, the purpose of the present invention is to provide a conductive powder that can improve reliability by maintaining excellent electrical conductivity and dispersibility without fear of functional deterioration due to oxidation even after contact with air for a long period of time.

또한, 본 발명은 공정의 단계를 줄여 경제적이며, 제조 공정 시 산성액 등으로 유리를 처리하는 공정이 삭제됨에 따라 환경 폐수가 발생하는 문제를 해결할 수 있는 전도성 분말을 제공하는 것을 목적으로 한다.In addition, the present invention aims to provide a conductive powder that is economical by reducing the number of process steps and can solve the problem of environmental wastewater generated by eliminating the process of treating glass with an acidic solution during the manufacturing process.

한편, 본 발명에서 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.Meanwhile, the technical problems to be achieved in the present invention are not limited to the technical problems mentioned above, and other technical problems not mentioned will be clearly apparent to those skilled in the art from the description below. It will be understandable.

본 발명의 실시예에 따른 막 치밀도를 향상시킨 전도성 분말의 제조방법은 (A) 부도체 코어의 표면에 건식 스퍼터링으로 씨드층을 배치하는 단계; 및 (B) 상기 씨드층의 표면에 무전해 도금으로 도금층을 배치하는 단계; 를 포함하고, 상기 씨드층의 두께는 상기 도금층의 두께에 비해 작을 수 있다.A method of manufacturing conductive powder with improved film density according to an embodiment of the present invention includes the steps of (A) disposing a seed layer on the surface of an insulator core by dry sputtering; and (B) disposing a plating layer on the surface of the seed layer by electroless plating; It includes, and the thickness of the seed layer may be smaller than the thickness of the plating layer.

또한, 상기 씨드층과 상기 도금층은 동종 금속일 수 있다.Additionally, the seed layer and the plating layer may be made of the same metal.

또한, 상기 씨드층은 옹스트롬 단위의 금속 입자로 코팅되고, 상기 도금층은 나노 단위의 금속 입자로 코팅될 수 있다.Additionally, the seed layer may be coated with angstrom-scale metal particles, and the plating layer may be coated with nano-scale metal particles.

또한, 상기 씨드층의 두께와 상기 도금층의 두께 비율은 1:4 내지 1:30일 수 있다.Additionally, the ratio of the thickness of the seed layer to the thickness of the plating layer may be 1:4 to 1:30.

또한, 상기 (A)단계에서, 상기 씨드층의 두께는 10nm 내지 50nm일 수 있다.Additionally, in step (A), the seed layer may have a thickness of 10 nm to 50 nm.

또한, 상기 (B)단계에서, 상기 도금층의 두께는 0.2 ㎛ 내지 3㎛일 수 있다.Additionally, in step (B), the thickness of the plating layer may be 0.2 ㎛ to 3 ㎛.

또한, (C) 상기 도금층의 표면을 표면처리하여 분산성을 향상시키는 단계; 및 (D) 표면 처리된 전도성 분말을 건조하는 단계를 더 포함할 수 있다.Additionally, (C) surface treating the surface of the plating layer to improve dispersibility; and (D) drying the surface-treated conductive powder.

한편, 본 발명의 실시예에 따른 막 치밀도를 향상시킨 전도성 분말의 제조방법은 부도체 코어; 상기의 표면에 배치된 씨드층; 및 상기 씨드층의 표면에 배치된 도금층;을 포함하고, 상기 씨드층의 두께는 상기 도금층의 두께에 비해 작을 수 있다.Meanwhile, the method for manufacturing conductive powder with improved film density according to an embodiment of the present invention includes a non-conducting core; A seed layer disposed on the surface; and a plating layer disposed on the surface of the seed layer, wherein the thickness of the seed layer may be smaller than the thickness of the plating layer.

또한, 상기 씨드층은 상기 부도체 코어의 표면에 건식 스퍼터링으로 형성되고, 상기 도금층은 상기 씨드층의 표면에 무전해 도금으로 형성될 수 있다.Additionally, the seed layer may be formed on the surface of the insulator core through dry sputtering, and the plating layer may be formed on the surface of the seed layer through electroless plating.

또한, 상기 씨드층과 상기 도금층은 동종 금속일 수 있다.Additionally, the seed layer and the plating layer may be made of the same metal.

또한, 상기 씨드층은 옹스트롬 단위의 금속 입자로 코팅되고, 상기 도금층은 나노 단위의 금속 입자로 코팅될 수 있다.Additionally, the seed layer may be coated with angstrom-scale metal particles, and the plating layer may be coated with nano-scale metal particles.

또한, 상기 씨드층의 두께와 상기 도금층의 두께 비율은 1:4 내지 1:30일 수 있다.Additionally, the ratio of the thickness of the seed layer to the thickness of the plating layer may be 1:4 to 1:30.

또한, 상기 씨드층의 두께는 10nm 내지 50nm일 수 있다.Additionally, the seed layer may have a thickness of 10 nm to 50 nm.

또한, 상기 도금층의 두께는 0.2 ㎛ 내지 3㎛일 수 있다.Additionally, the thickness of the plating layer may be 0.2 ㎛ to 3 ㎛.

또한, 분산성을 향상시키기 위해 상기 도금층의 표면에 배치되는 코팅층을 더 포함할 수 있다.In addition, to improve dispersibility, a coating layer disposed on the surface of the plating layer may be further included.

본 발명의 실시예에 따르면, 유리와 은으로 구성된 코어-쉘 구조를 가져, 유리와 은의 장점을 이용함으로써 저렴한 가격으로 뛰어난 성능을 구현할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, by having a core-shell structure composed of glass and silver, excellent performance can be achieved at a low price by utilizing the advantages of glass and silver.

또한, 본 발명의 실시예에 따르면, 오랜 시간 동안의 공기와의 접촉에도 산화에 따른 기능 저하의 염려가 없고, 우수한 전기전도성과 분산성을 유지하므로 신뢰성을 향상시킬 수 있다.In addition, according to an embodiment of the present invention, there is no concern about functional deterioration due to oxidation even in contact with air for a long time, and reliability can be improved by maintaining excellent electrical conductivity and dispersibility.

또한, 본 발명의 실시예에 따르면, 공정의 단계를 줄여 경제적이며, 제조 공정 시 산성액 등으로 유리를 처리하는 공정이 삭제됨에 따라 환경 폐수가 발생하는 문제를 해결할 수 있다.In addition, according to an embodiment of the present invention, it is economical by reducing the number of process steps, and the problem of environmental wastewater generation can be solved by eliminating the process of treating glass with an acidic solution during the manufacturing process.

한편, 본 발명에서 얻을 수 있는 효과는 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 효과들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.Meanwhile, the effects that can be obtained from the present invention are not limited to the effects mentioned above, and other effects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the description below. You will be able to.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 전도성 분말의 제조방법을 순차적으로 나타낸 흐름도이고,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 전도성 분말의 제조방법에 의해 제조된 전도성 분말을 개략적으로 나타낸 단면도이고,
도 3 및 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 전도성 분말의 제조방법에 의해 제조된 전도성 분말을 개략적으로 나타낸 SEM 이미지이다.
1 is a flow chart sequentially showing a method for manufacturing conductive powder according to an embodiment of the present invention;
Figure 2 is a cross-sectional view schematically showing the conductive powder produced by the method for producing conductive powder according to an embodiment of the present invention;
Figures 3 and 4 are SEM images schematically showing conductive powder produced by the method for producing conductive powder according to an embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다. 본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형할 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the attached drawings. Embodiments of the present invention may be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited to the following embodiments. This example is provided to more completely explain the present invention to those skilled in the art. Therefore, the shapes of elements in the drawings are exaggerated to emphasize clearer explanation.

본 발명이 해결하고자 하는 과제의 해결 방안을 명확하게 하기 위한 발명의 구성을 본 발명의 바람직한 실시 예에 근거하여 첨부 도면을 참조하여 상세히 설명하되, 도면의 구성요소들에 참조 번호를 부여함에 있어서 동일 구성요소에 대해서는 비록 다른 도면상에 있더라도 동일 참조 번호를 부여하였으며 당해 도면에 대한 설명 시 필요한 경우 다른 도면의 구성요소를 인용할 수 있음을 미리 밝혀둔다.In order to clarify the solution to the problem to be solved by the present invention, the configuration of the invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings based on preferred embodiments of the present invention, and the reference numbers to the components in the drawings will be the same. Components are given the same reference numbers even if they are in different drawings, and it is stated in advance that components of other drawings can be cited when necessary when explaining the relevant drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 전도성 분말의 제조방법을 순차적으로 나타낸 흐름도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 전도성 분말의 제조방법에 의해 제조된 전도성 분말을 개략적으로 나타낸 단면도이고, 도 3 및 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 전도성 분말의 제조방법에 의해 제조된 전도성 분말을 개략적으로 나타낸 SEM 이미지이다.Figure 1 is a flow chart sequentially showing a method for producing conductive powder according to an embodiment of the present invention, and Figure 2 is a cross-sectional view schematically showing the conductive powder produced by the method for producing conductive powder according to an embodiment of the present invention. 3 and 4 are SEM images schematically showing the conductive powder produced by the method for producing conductive powder according to an embodiment of the present invention.

우선, 도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 전도성 분말의 제조방법은 코어 준비 단계(S10), 씨드층 배치 단계(S20), 도금층 배치 단계(S30), 표면 처리 단계(S40) 및 건조 단계(S50)를 포함할 수 있다.First, referring to Figure 1, the method for manufacturing conductive powder according to an embodiment of the present invention includes a core preparation step (S10), a seed layer placement step (S20), a plating layer placement step (S30), and a surface treatment step (S40). and a drying step (S50).

코어 준비 단계(S10)에서는 원료를 계량하여, 챔버 내 바렐(Barrel) 면적의 10~20vol%에 해당하는 수준으로 장입하여 코어(110)(Core)를 준비한다.In the core preparation step (S10), the raw materials are measured and charged at a level equivalent to 10 to 20 vol% of the barrel area in the chamber to prepare the core 110.

코어(110)는 구형으로 구성되는 것이 바람직하나, 다양한 형상으로 구성될 수 있는 바 본 발명에서 이를 한정하는 것은 아니다.The core 110 is preferably spherical, but may have various shapes and is not limited to this in the present invention.

여기서, 코어(110)의 원료는 부도체 입자이며, 이산화규소(SiO2), 알루미나(Al2O3), 과산화아연(ZnO2), 수산화인회석, 이트리아(Y2O3), YAG(Y3Al5O12), 이산화티탄(TiO2), 인산칼슘, 바이오 글래스, 지르코니아(ZrO2), 이트리아-지르코니아(YSZ, Yttria stabilized Zirconia), 디스프로시아(Dy2O3), 가돌리니아(Gd2O3), 세리아(CeO2), 가돌리니아-세리아(GDC, Gadolinia doped Ceria), 마그네시아(MgO), 티탄산 바륨(BaTiO3), 니켈 망가네이트(NiMn2O4), 포타슘 소듐 니오베이트(KNaNbO3), 비스무스 포타슘 티타네이트(BiKTiO3) 및 비스무스 소듐 티타네이트(BiNaTiO3)으로 이루어진 그룹 중 적어도 하나로 선택될 수 있다.Here, the raw materials of the core 110 are non-conducting particles, and include silicon dioxide (SiO 2 ), alumina (Al 2 O 3 ), zinc peroxide (ZnO 2 ), hydroxyapatite, yttria (Y 2 O 3 ), and YAG (Y 3 Al 5 O 12 ), titanium dioxide (TiO 2 ), calcium phosphate, bioglass, zirconia (ZrO 2 ), Yttria stabilized zirconia (YSZ), dysprosia (Dy 2 O 3 ), gadoli Niarium (Gd 2 O 3 ), Ceria (CeO 2 ), Gadolinia-Ceria (GDC, Gadolinia doped Ceria), Magnesia (MgO), Barium Titanate (BaTiO 3 ), Nickel Manganate (NiMn 2 O 4 ), Potassium It may be selected from at least one of the group consisting of sodium niobate (KNaNbO 3 ), bismuth potassium titanate (BiKTiO 3 ), and bismuth sodium titanate (BiNaTiO 3 ).

한편, 이러한 부도체 코어는 상술한 입자 외 소재의 종류에 제한이 없으며, 다양한 종류의 유리 분말의 사용이 충분히 가능하다.Meanwhile, this insulator core is not limited to the types of materials other than the particles described above, and various types of glass powder can be used.

한편, 이러한 부도체 코어는 평균 입자 사이즈(D)가 3㎛ 내지 100㎛인 것이 바람직하다.Meanwhile, this insulator core preferably has an average particle size (D) of 3 ㎛ to 100 ㎛.

한편, 코어 준비 단계(S10)에서는 원료의 우수한 분산효과를 위해서, 분산용 매질을 첨가할 수 있으며, 매질은 바렐(Barrel) 면적의 5~15vol%로 장입할 수 있다.Meanwhile, in the core preparation step (S10), a dispersion medium can be added for excellent dispersion effect of the raw materials, and the medium can be charged at 5 to 15 vol% of the barrel area.

여기서, 매질의 종류는 제한이 없으나, 상술한 원료의 밀도보다 2~4배 높은 재료를 사용하는 것이 바람직하다. 본 발명에서는 스테인리스 분말 혹은 금강사 분말 또는 스테인리스 분말과 금강사 분말을 혼합하여 사용하는 것이 가능하다.Here, the type of medium is not limited, but it is desirable to use a material with a density 2 to 4 times higher than the density of the above-mentioned raw materials. In the present invention, it is possible to use stainless steel powder, emery powder, or a mixture of stainless steel powder and emery powder.

씨드층 배치 단계(S20)에서는 코어 준비 단계(S10)에서 준비된 코어(10)의 표면에 건식 스퍼터링을 통해 씨드층(120)을 배치할 수 있다.In the seed layer placement step (S20), the seed layer 120 may be placed on the surface of the core 10 prepared in the core preparation step (S10) through dry sputtering.

여기서, 건식 스퍼터링 공정은 회전형 바렐에 계량된 씨드층 원료를 장입하고, 비활성 가스(예를 들어, 아르곤) 주입 및 플라즈마를 발생시킨 분위기에서 바렐을 회전시키며, 코팅하고자 하는 금속의 타겟(Target)에서 이온이 용출되어 모재(코어)의 표면에 안착을 시키는 공정이다.Here, in the dry sputtering process, a metered seed layer raw material is charged into a rotating barrel, the barrel is rotated in an atmosphere in which an inert gas (e.g., argon) is injected and plasma is generated, and the target of the metal to be coated is selected. This is a process in which ions are eluted from and settle on the surface of the base material (core).

씨드층(120)의 타겟(Target)의 소재는 은(Ag) 또는 니켈(Ni)이 사용될 수 있다. The target material of the seed layer 120 may be silver (Ag) or nickel (Ni).

한편, 씨드층(120)층의 두께(Thickness)(T1)는 10nm 내지 50nm의 범위를 가질 수 있다. 즉, 옹스트롬(Angstrom, ) 단위의 금속(은) 이온이 모재에 안착되어 우수한 막 치밀도를 형성하게 되며, 모재와의 밀착력이 향상될 수 있다.Meanwhile, the thickness (T1) of the seed layer 120 may range from 10 nm to 50 nm. In other words, Angstrom, ) units of metal (silver) ions are seated on the base material, forming excellent film density, and adhesion to the base material can be improved.

여기서, 씨드층(120)층의 두께(T1)가 10nm 미만이면 기전력이 저하되어, 이후 수행되는 습식 도금(무전해 도금)시 은도금의 활성도가 감소되는 문제가 있으며, 씨드층(120)층의 두께(T1)가 50nm를 초과하면 기전력은 우수하나, 제조원가 측면에서 과도한 비용의 낭비를 발생시키게 된다.Here, if the thickness (T1) of the seed layer 120 is less than 10 nm, the electromotive force is lowered, and there is a problem that the activity of silver plating is reduced during wet plating (electroless plating) performed later, and the If the thickness (T1) exceeds 50 nm, electromotive force is excellent, but excessive waste of money occurs in terms of manufacturing cost.

도금층 배치 단계(S30)에서는 습식 무전해 도금을 이용해 씨드층(120)의 표면 상에 도금층(130)을 배치할 수 있다.In the plating layer placement step (S30), the plating layer 130 may be placed on the surface of the seed layer 120 using wet electroless plating.

즉, 이렇게 형성된 막치밀도가 우수한 은 층을 씨드층(Seed layer)이라고 한다. 강한 밀착력으로 형성 된 씨드층 위에 습식 무전해 도금법을 이용하여, 추가적인 은 층을 형성함으로써, 전기전도특성을 더욱 향상시키게 된다.In other words, the silver layer formed in this way with excellent film density is called a seed layer. By forming an additional silver layer using a wet electroless plating method on the seed layer formed with strong adhesion, electrical conductivity characteristics are further improved.

도금층 배치 단계(S30)에서는 은도금을 위한 표면활성화를 위한 전처리 공정이 없이, 다이렉트로 은 코팅 공정을 실시할 수 있다. 여기서, 습식 공정에 사용되는 은 화합물은 질산은(AgNO3), 황산은(Ag2SO4) 등으로 구성되는 산성 타입의 은 화합물이 사용될 수 있으며, pH 1~2 수준의 도금액 분위기를 형성하기 위해 질산(HNO3), 황산(H2SO4), 염산(HCl) 등의 산성 물질이 첨가하고, 환원제를 투입하여, 건식코팅으로 형성된 씨드층(120)의 표면 상에 도금층(130)을 추가로 배치할 수 있다.In the plating layer arrangement step (S30), the silver coating process can be performed directly without a pretreatment process for surface activation for silver plating. Here, the silver compound used in the wet process may be an acidic type silver compound consisting of silver nitrate (AgNO 3 ), silver sulfate (Ag 2 SO 4 ), etc., and is used to form a plating solution atmosphere of pH 1-2. Acidic substances such as nitric acid (HNO 3 ), sulfuric acid (H 2 SO 4 ), and hydrochloric acid (HCl) are added, a reducing agent is added, and a plating layer 130 is added on the surface of the seed layer 120 formed by dry coating. It can be placed as .

여기서, 씨드층(120)의 두께(T1)와 도금층(130)의 두께(T2) 비율은 1:4 내지 1:30으로 구성될 수 있다.Here, the ratio of the thickness T1 of the seed layer 120 and the thickness T2 of the plating layer 130 may be 1:4 to 1:30.

즉, 도금층 배치 단계(S30)를 통해서 씨드층(120)의 표면 상에 추가로 형성되는 도금층(130)은 0.2㎛ 내지 3㎛ 범위를 가질 수 있다. That is, the plating layer 130 additionally formed on the surface of the seed layer 120 through the plating layer arrangement step (S30) may have a size of 0.2 μm to 3 μm.

한편, 바람직하게는 0.4㎛ 내지 2㎛으로 형성하는 것이 전기 전도 특성 및 제조 원가 측면에서 합리적일 수 있다. 또한, 습식코팅으로 도금층(130)을 1㎛ 이상의 두께를 형성하면 불규칙한 은 요철이 형성되어, 이웃한 전도성 분말들이 접촉 시 상호 불규칙 접점이 형성 되면서, 전기 전도 특성이 더 향상된다.Meanwhile, it may be reasonable to form the thickness at 0.4㎛ to 2㎛ in terms of electrical conductivity characteristics and manufacturing costs. In addition, when the plating layer 130 is formed to a thickness of 1 ㎛ or more by wet coating, irregular silver irregularities are formed, and mutual irregular contact points are formed when neighboring conductive powders come into contact, further improving electrical conduction characteristics.

한편, 씨드층(120)은 도금층(130)의 활성도를 높여서, 별도의 활성화 공정 혹은 촉매 공정을 제거하는 것이 목적인 바, 기전력이 높을수록 도금 활성도가 향상되기 때문에 상술한 비율로 최적의 효과를 발현할 수 있다.Meanwhile, the purpose of the seed layer 120 is to increase the activity of the plating layer 130 and eliminate a separate activation process or catalyst process. Since the higher the electromotive force, the plating activity improves, the optimal effect is achieved at the above-mentioned ratio. can do.

여기서, 도금층 배치 단계(S30)는 건식 스퍼터링 공정으로 형성된 씨드층(120)을 기반으로, 전도성 금속(은)으로 이루어진 층(122, 130)의 두께를 증대시켜 우수한 전기전도성을 구현하게 된다.Here, the plating layer arrangement step (S30) implements excellent electrical conductivity by increasing the thickness of the layers 122 and 130 made of conductive metal (silver) based on the seed layer 120 formed through a dry sputtering process.

이를 통해, 동일 소재로 두께를 증대시킴으로써 전기 전도 특성을 향상시킬 수 있고, 고가의 스퍼터링 공정과 별도로 보다 저렴한 습식공정으로 두께를 증대시킬 수 있어 공정 단가를 낮출 수 있다.Through this, electrical conduction characteristics can be improved by increasing the thickness of the same material, and the thickness can be increased through a cheaper wet process separately from the expensive sputtering process, thereby lowering the process cost.

또한, 스퍼터링 공정은 옹스트롬 단위의 입자 코팅으로 코팅 두께가 두꺼워지면 코팅층의 불균일성 및 크랙 발생 가능성이 높아져, 불량 발생률이 향상되는 문제가 있으며, 본 발명에서는 스퍼터링 공정 이후 습식공정으로 두께를 증대시킴으로써 제품의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.In addition, the sputtering process has the problem of increasing the defect rate by increasing the possibility of non-uniformity and cracks in the coating layer as the coating thickness increases due to particle coating in the angstrom unit. In the present invention, the thickness of the product is increased by a wet process after the sputtering process. Reliability can be improved.

한편, 스퍼터링으로 형성되는 씨드층(120)과 습식공정으로 형성되는 도금층(130)에서 코팅되는 핵 입자의 사이즈가 달라 씨드층(120)과 도금층(130) 사이 경계는 존재할 수 있다. Meanwhile, the size of the nuclear particles coated in the seed layer 120 formed by sputtering and the plating layer 130 formed by a wet process may be different, so a boundary may exist between the seed layer 120 and the plating layer 130.

구체적으로 습식 무전해 도금 방법은 나노 단위의 핵 석출 및 코팅이 형성되고, 스퍼터링 공정은 옹스트롬 단위의 코팅이 되기 때문에 이러한 계면으로 인해 씨드층(120)과 도금층(130) 사이의 밀착력이 저하되는 문제는 발생하지 않는다.Specifically, the wet electroless plating method produces nano-scale nuclei precipitation and coating, and the sputtering process produces angstrom-scale coating, so the adhesion between the seed layer 120 and the plating layer 130 is reduced due to this interface. does not occur.

종래의 습식 무전해 도금 공정은 모재의 표면의 양전하를 띄워 촉매의 결합력을 높인 후 촉매를 안착하고, 촉매의 활성도를 높이는 전처리 공정이 존재하나, 본 발명에 따른 실시예에서는 전처리 공정의 제거가 가능하여, 건식 스퍼터링 공정 후 즉시 금속 도금층의 형성이 가능하다.In the conventional wet electroless plating process, there is a pretreatment process to increase the binding force of the catalyst by floating the positive charge on the surface of the base material, then seat the catalyst, and increase the activity of the catalyst. However, in the embodiment according to the present invention, the pretreatment process can be eliminated. Therefore, it is possible to form a metal plating layer immediately after the dry sputtering process.

즉, 본 발명에 따른 실시예는 전처리 공정의 제거로, 다량의 환경 폐수 발생을 줄일 수 있고, 고가 촉매의 불용으로 제조 원가의 절감 효과도 얻을 수 있다.That is, the embodiment according to the present invention can reduce the generation of large amounts of environmental wastewater by eliminating the pretreatment process, and can also achieve a reduction in manufacturing costs by not using expensive catalysts.

또한, 본 발명에 따른 실시예는 습식 무전해 도금은 산성의 분위기에서 도금을 하는데, 이를 통해 알칼리 베이스에서 야기되는 입자의 응집 현상에 따른 문제를 억제할 수 있다. 여기서, 무전해 도금 방법은 pH 1~2의 산성의 도금 방법을 기준으로 하며, 필요한 도금 두께만큼 금속 화합물을 첨가하여 도금을 수행할 수 있다.In addition, in embodiments according to the present invention, wet electroless plating is performed in an acidic atmosphere, which can suppress problems caused by agglomeration of particles caused by an alkaline base. Here, the electroless plating method is based on an acidic plating method of pH 1 to 2, and plating can be performed by adding a metal compound to the required plating thickness.

표면 처리 단계(S40)에서는 도금층(130)까지 형성된 전도성 분말(100)의 표면을 유기물로 표면 처리된 코팅층(140)을 형성할 수 있다.In the surface treatment step (S40), a coating layer 140 may be formed on the surface of the conductive powder 100 formed up to the plating layer 130 with an organic material.

이를 통해, 제조된 전도성 분말(100)이 수분에 의해 산화되는 것을 방지하며, 전도성 분말(100)을 통해 페이스트 제조 시 수지(Resin)와의 분산효과를 향상시킬 수 있다.Through this, the manufactured conductive powder 100 is prevented from being oxidized by moisture, and the dispersion effect with the resin can be improved through the conductive powder 100 when producing paste.

한편, 본 발명은 제조된 전도성 분말(100)의 분산성을 향상시키기 위한 첨가제의 종류를 한정하는 것은 아니며, 일반적으로 사용되는 분산제를 사용하는 것이 가능하다.Meanwhile, the present invention does not limit the type of additive to improve the dispersibility of the manufactured conductive powder 100, and it is possible to use a commonly used dispersant.

이후, 건조 단계(S50)단계에서는 표면 처리된 전도성 분말(100)을 세척한 후, 건조를 수행하는 것으로, 여기서 건조는 열풍 혹은 진공 건조 모두 가능하고, 건조는 질소 분위기에서 실시하는 것이 바람직하다. 구체적으로 건조 온도는 150℃ 내지 300℃가 바람직하다.Thereafter, in the drying step (S50), the surface-treated conductive powder 100 is washed and then dried. Here, drying can be done with hot air or vacuum drying, and drying is preferably performed in a nitrogen atmosphere. Specifically, the drying temperature is preferably 150°C to 300°C.

한편, 이러한 설정 온도는 전도성 분말(100)의 크기 및 다수의 코팅층이 두께에 따라 최적으로 변경가능함은 물론이다.Meanwhile, of course, this set temperature can be optimally changed depending on the size of the conductive powder 100 and the thickness of the multiple coating layers.

<실시예><Example>

평균 입경 30㎛의 유리 분말 70g을 회전하는 바렐에 장입하고, 아르곤(Ar) 가스를 주입하면서 플라즈마를 발생시켜, 은 타겟(Silver Target)으로부터 은 이온을 용출 시킴으로써, 유리 분말의 표면에 은 이온을 부착시켜 씨드층을 형성한다.70g of glass powder with an average particle diameter of 30㎛ is charged into a rotating barrel, and plasma is generated while injecting argon (Ar) gas to elute silver ions from the silver target, thereby forming silver ions on the surface of the glass powder. Attach to form a seed layer.

유리 분말의 표면에 은 씨드층을 50nm 코팅한다.A 50nm silver seed layer is coated on the surface of the glass powder.

이후, 습식공정(무전해은도금)에서 질산은(AgNO3) 31.6g과 순수 1리터를 교반하고, 황산을 첨가하여 pH1~2로 조정하고, 환원제를 투입하여, 은 씨드층 상에 은 입자를 환원 석출시켜, 은 층의 두께를 0.7㎛ 내지 1 ㎛으로 형성한다.Afterwards, in a wet process (electroless silver plating), 31.6 g of silver nitrate (AgNO 3 ) and 1 liter of pure water were stirred, sulfuric acid was added to adjust pH to 1-2, and a reducing agent was added to reduce silver particles on the silver seed layer. By precipitation, the silver layer is formed to have a thickness of 0.7 μm to 1 μm.

이후, 표면처리용 유기물을 첨가하여 입자의 표면을 처리하여 분산도를 향상시킨 후, 순수로 세척한 후 이를 건조하여 전도성 입자를 완료한다. Afterwards, an organic material for surface treatment is added to treat the surface of the particles to improve dispersion, then washed with pure water and dried to complete the conductive particles.

<비교예><Comparative example>

평균 입경 30㎛의 구리 분말 70g을 무전해도금 방법으로 제조를 하였다. 1단계로 구리분말 표면의 Passivation 층을 제거하기 위한 탈지 및 박리공정을 실시하였다. 탈지 및 박리제 10ml와 순수 600ml에 구리분말 70g을 장입 후 10분간 교반하고, 데칸테이션하여 박리된 구리분말을 질산은(AgNO3) 47.4g과 EDTA-2Na를 황산을 이용, pH2~3으로 조절한 킬레이트제와 Ascorbic Acid 35g을 물 1.5L에 넣고 20분간 교반 후 데칸테이션하여 은도금 된 구리분말을 제조한다. 제조된 구리분말은 N2 분위기의 Dry oven에서 120분간 건조를 실시하였다. 70g of copper powder with an average particle diameter of 30㎛ was prepared by electroless plating method. In the first step, a degreasing and peeling process was performed to remove the passivation layer on the surface of the copper powder. After charging 70g of copper powder into 10ml of degreasing and stripping agent and 600ml of pure water, stirred for 10 minutes, decanted the peeled copper powder into 47.4g of silver nitrate (AgNO3) and EDTA-2Na as a chelating agent adjusted to pH 2~3 using sulfuric acid. Add 35 g of Ascorbic Acid to 1.5 L of water, stir for 20 minutes, and perform decantation to prepare silver-plated copper powder. The prepared copper powder was dried in a dry oven in an N2 atmosphere for 120 minutes.

<특성 평가><Characteristics Evaluation>

상술한 바와 같이, 실시예의 특성을 다음의 [표 1]에 기술하고, 비교예의 특성을 분석하여 다음의 [표 2]에 기술하였고, 30℃에 3hr, 6hr, 9hr, 12hr, 24hr 방치 후 분말의 저항을 측정한 특성을 다음의 [표 3]에 기술하였다.As described above, the characteristics of the examples are described in the following [Table 1], and the characteristics of the comparative example were analyzed and described in the following [Table 2], and the powder was left at 30°C for 3hr, 6hr, 9hr, 12hr, and 24hr. The resistance measurement characteristics are described in [Table 3] below.

겉보기밀도(Apparent Density)Apparent Density 탭밀도(Tap Density)Tap Density 전기전도성electrical conductivity 분말 사이즈(㎛)Powder size (㎛) D10D10 D50D50 D90D90 Avg.Avg. 1.2g/cm3 1.2g/ cm3 1.8g/cm3 1.8g/ cm3 7x10-3 ohm/cm7x10 -3 ohm/cm 2020 3535 5858 4141

겉보기밀도
Apparent Density
Apparent density
Apparent Density
탭 밀도
Tap Density
tap density
Tap Density
전기전도성electrical conductivity 분말사이즈(㎛)Powder size (㎛)
D10D10 D50D50 D90D90 Avg.Avg. 1.8 g/cm3 1.8g/ cm3 2.5 g/cm3 2.5g/ cm3 5x10-4ohm/cm5x10 -4 ohm/cm 1818 3030 5555 3434

3hr3hr 6hr6hrs 9hr9hr 12hr12hrs 24hr24hrs 실시예Example 8x10-3 ohm/cm8x10 -3 ohm/cm 9x10-3ohm/cm9x10 -3 ohm/cm 2x10-2
ohm/cm
2x10 -2
ohm/cm
5x10-2
ohm/cm
5x10 -2
ohm/cm
8x10-2
ohm/cm
8x10 -2
ohm/cm
비교예Comparative example 6x10-3ohm/cm6x10 -3 ohm/cm 4x10-2
ohm/cm
4x10 -2
ohm/cm
3x10-1
ohm/cm
3x10 -1
ohm/cm
8x10-1
ohm/cm
8x10 -1
ohm/cm
15
ohm/cm
15
ohm/cm

구리분말(비교예)도 유리분말(실시예)과 동일한 은함량으로 코팅을 실시하였다, [표 1] 및 [표 2]에서 확인되는 바와 같이, 비교예(Ag coated copper powder)는 코어인 구리(Cu(Copper))가 열에 의해 산화가 발생하여, 분말이 열에 노출되는 시간이 길어짐에 따라 저항이 상승하였으나, 반면, 실시예(Ag coated Glass powder)는 코어인 유리 분말이 열에 의한 충격(Damage)가 없어, 분말의 저항 상승이 단순 은층에서 은의 산화로 인하여 발생하여 저항 상승폭은 크지 않음을 확인할 수 있다.Copper powder (comparative example) was also coated with the same silver content as the glass powder (example). As can be seen in [Table 1] and [Table 2], the comparative example (Ag coated copper powder) was coated with copper as the core. (Cu (Copper)) was oxidized by heat, and the resistance increased as the time the powder was exposed to heat increased. On the other hand, in the example (Ag coated glass powder), the core glass powder suffered heat shock (Damage). ), it can be seen that the increase in resistance of the powder is caused by oxidation of silver in the simple silver layer, so the increase in resistance is not large.

이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내어 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 저술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.The above detailed description is illustrative of the present invention. Additionally, the foregoing is intended to illustrate preferred embodiments of the present invention, and the present invention can be used in various other combinations, modifications, and environments. That is, changes or modifications can be made within the scope of the inventive concept disclosed in this specification, a scope equivalent to the written disclosure, and/or within the scope of technology or knowledge in the art. The written examples illustrate the best state for implementing the technical idea of the present invention, and various changes required for specific application fields and uses of the present invention are also possible. Accordingly, the detailed description of the invention above is not intended to limit the invention to the disclosed embodiments. Additionally, the appended claims should be construed to include other embodiments as well.

100: 전도성 분말
110: 코어
120: 씨드층
130: 도금층
140: 코팅층
100: Conductive powder
110: core
120: Seed layer
130: Plating layer
140: Coating layer

Claims (15)

(A) 부도체 코어의 표면에 씨드층을 배치하는 단계; 및
(B) 상기 씨드층의 표면에 도금층을 배치하는 단계; 를 포함하되,
상기 씨드층은 건식 스퍼터링으로 형성하고 상기 도금층은 무전해 도금으로 형성하며,
상기 씨드층의 두께는 상기 도금층의 두께에 비해 작고,
상기 씨드층과 상기 도금층의 소재는 은(Ag)이고,
상기 씨드층의 두께는 10nm 내지 50nm의 범위를 갖는 것을 특징으로 하는 막 치밀도를 향상시킨 전도성 분말의 제조방법.
(A) disposing a seed layer on the surface of the insulator core; and
(B) disposing a plating layer on the surface of the seed layer; Including,
The seed layer is formed by dry sputtering and the plating layer is formed by electroless plating,
The thickness of the seed layer is smaller than the thickness of the plating layer,
The material of the seed layer and the plating layer is silver (Ag),
A method of producing a conductive powder with improved film density, wherein the seed layer has a thickness in the range of 10 nm to 50 nm.
삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 씨드층은 옹스트롬 단위의 금속 입자로 코팅되고,
상기 도금층은 나노 단위의 금속 입자로 코팅되는 막 치밀도를 향상시킨 전도성 분말의 제조방법.
According to clause 1,
The seed layer is coated with metal particles in Angstrom units,
A method of manufacturing a conductive powder with improved film density in which the plating layer is coated with nano-scale metal particles.
제 1항에 있어서,
상기 씨드층의 두께와 상기 도금층의 두께 비율은 1:4 내지 1:30인 막 치밀도를 향상시킨 전도성 분말의 제조방법.
According to clause 1,
A method of manufacturing a conductive powder with improved film density wherein the ratio of the thickness of the seed layer to the thickness of the plating layer is 1:4 to 1:30.
삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 (B)단계에서,
상기 도금층의 두께는 0.2㎛ 내지 3㎛인 막 치밀도를 향상시킨 전도성 분말의 제조방법.
According to clause 1,
In step (B) above,
A method of producing a conductive powder with improved film density wherein the thickness of the plating layer is 0.2㎛ to 3㎛.
제 1항에 있어서,
(C) 상기 도금층의 표면을 표면처리하여 분산성을 향상시키는 단계; 및
(D) 표면 처리된 전도성 분말을 건조하는 단계를 더 포함하는 막 치밀도를 향상시킨 전도성 분말의 제조방법.
According to clause 1,
(C) surface treating the surface of the plating layer to improve dispersibility; and
(D) A method for producing conductive powder with improved film density, further comprising drying the surface-treated conductive powder.
부도체 코어;
상기 부도체 코어의 표면에 배치된 씨드층; 및
상기 씨드층의 표면에 배치된 도금층;을 포함하고,
상기 씨드층의 두께는 상기 도금층의 두께에 비해 작고,
상기 씨드층은 상기 부도체 코어의 표면에 건식 스퍼터링으로 형성되고,
상기 도금층은 상기 씨드층의 표면에 무전해 도금으로 형성되고,
상기 씨드층과 상기 도금층의 소재는 은(Ag)이고,
상기 씨드층의 두께는 10nm 내지 50nm의 범위를 갖는 막 치밀도를 향상시킨 전도성 분말.
non-conducting core;
a seed layer disposed on the surface of the insulator core; and
It includes a plating layer disposed on the surface of the seed layer,
The thickness of the seed layer is smaller than the thickness of the plating layer,
The seed layer is formed on the surface of the insulator core by dry sputtering,
The plating layer is formed on the surface of the seed layer by electroless plating,
The material of the seed layer and the plating layer is silver (Ag),
A conductive powder with improved film density wherein the seed layer has a thickness ranging from 10 nm to 50 nm.
삭제delete 삭제delete 제 8항에 있어서,
상기 씨드층은 옹스트롬 단위의 금속 입자로 코팅되고,
상기 도금층은 나노 단위의 금속 입자로 코팅되는 막 치밀도를 향상시킨 전도성 분말.
According to clause 8,
The seed layer is coated with metal particles in Angstrom units,
The plating layer is a conductive powder with improved film density coated with nano-scale metal particles.
제 8항에 있어서,
상기 씨드층의 두께와 상기 도금층의 두께 비율은 1:4 내지 1:30인 막 치밀도를 향상시킨 전도성 분말.
According to clause 8,
A conductive powder with improved film density wherein the ratio of the thickness of the seed layer to the thickness of the plating layer is 1:4 to 1:30.
삭제delete 제 8항에 있어서,
상기 도금층의 두께는 0.2 ㎛ 내지 3㎛인 막 치밀도를 향상시킨 전도성 분말.
According to clause 8,
A conductive powder with improved film density wherein the thickness of the plating layer is 0.2 ㎛ to 3 ㎛.
제 8항에 있어서,
분산성을 향상시키기 위해 상기 도금층의 표면에 배치되는 코팅층을 더 포함하는 전도성 분말.
According to clause 8,
Conductive powder further comprising a coating layer disposed on the surface of the plating layer to improve dispersibility.
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