KR102575315B1 - Adjusting device for picker module - Google Patents
Adjusting device for picker module Download PDFInfo
- Publication number
- KR102575315B1 KR102575315B1 KR1020230058138A KR20230058138A KR102575315B1 KR 102575315 B1 KR102575315 B1 KR 102575315B1 KR 1020230058138 A KR1020230058138 A KR 1020230058138A KR 20230058138 A KR20230058138 A KR 20230058138A KR 102575315 B1 KR102575315 B1 KR 102575315B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- main body
- support
- supports
- picker
- ball screws
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67144—Apparatus for mounting on conductive members, e.g. leadframes or conductors on insulating substrates
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
본 발명은 픽 앤드 플레이스 장치에 설치되는 각 픽커모듈의 간격을 조절하기 위한 픽커모듈 간격 조절장치에 관한 것으로써, 상기 픽커모듈들을 각각 결합하기 위한 다수개의 지지대; 상기 각 지지대가 설치되어 좌우로 이동하도록 받쳐주는 본체; 및 상기 각 지지대에 대응하여 본체에 설치되고, 상기 각 지지대와 연결되어 상기 각 지지대의 좌우 이동 거리를 개별 제어하기 위한 조절수단을 포함하여 구성된 픽커모듈 간격 조절장치를 제공하게 된다.The present invention relates to a picker module spacing adjusting device for adjusting the spacing of each picker module installed in a pick and place device, comprising: a plurality of supports for coupling the picker modules to each other; A main body in which each support is installed and supports to move left and right; and an adjusting means installed on the main body corresponding to each of the supports and connected to each of the supports to individually control the left and right movement distances of each of the supports.
Description
본 발명은 픽 앤드 플레이스 장치에 설치되는 각 픽커모듈의 간격을 조절하기 위한 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a device for adjusting intervals between picker modules installed in a pick and place device.
대한민국 공개특허 제10-2013-0128500호(2013.11.27. 공개)에는 '테스트핸들러용 픽앤플레이스장치'가 발명되어 있다.Korean Patent Publication No. 10-2013-0128500 (published on November 27, 2013) discloses a 'pick and place device for test handler'.
상기 발명은 '수평 이동이 가능하고, 각각 적어도 하나 이상의 픽커를 구비한 다수의 픽커모듈; 상기 다수의 픽커모듈의 수평 이동을 안내하기 위한 제1 안내부재; 승강 가능하고, 승강에 의해 상기 다수의 픽커모듈들 각각의 수평 이동을 발생시킴으로써 상기 다수의 픽커모듈들 간의 간격이 조정될 수 있도록 하는 다수의 캠홈이 상기 다수의 픽커모듈들 각각에 대응되게 형성되어 있는 캠부재; 상기 캠부재의 승강을 안내하기 위한 제2 안내부재; 및 상기 캠부재의 승강에 필요한 구동력을 제공하는 구동원; 을 포함하고, 상기 캠부재는 상기 제2 안내부재에 승강 가능하게 결합되는 지지 프레임; 및 상기 지지 프레임에 탈착 가능하게 결합되며, 상기한 다수의 캠홈이 형성되는 있는 캠 플레이트; 를 포함하고, 상기 다수의 픽커모듈 각각에는 상기한 다수의 캠홈에 각각 삽입됨으로써 상기 캠부재의 승강에 연동하여 상기 다수의 픽커모듈 각각에 수평방향으로의 이동력을 발생시키는 삽입부분이 구비되어 있고, 상기 캠부재의 승강 상태에 따라 상기 다수의 픽커모듈들 간의 간격이 조절될 수 있도록, 상기한 다수의 캠홈 상호 간의 간격은 상기 캠부재의 승강에 따라 상기 다수의 픽커모듈의 삽입부분들을 지나는 수평선상에서 좁아지거나 넓어지도록 되어 있는 것'으로 구성되어 있다.The present invention is 'a plurality of picker modules capable of horizontal movement and each having at least one picker; a first guide member for guiding horizontal movement of the plurality of picker modules; A plurality of cam grooves are formed to correspond to each of the plurality of picker modules, which are capable of being lifted and allow the distance between the plurality of picker modules to be adjusted by horizontal movement of each of the plurality of picker modules by lifting cam member; a second guide member for guiding the elevation of the cam member; and a driving source providing a driving force necessary for the elevation of the cam member. Including, the cam member is a support frame coupled to the second guide member to be able to move up and down; and a cam plate detachably coupled to the support frame and having the plurality of cam grooves formed thereon. Including, each of the plurality of picker modules is provided with an insertion portion that is inserted into the plurality of cam grooves to generate a moving force in a horizontal direction in each of the plurality of picker modules in conjunction with the elevation of the cam member, , The interval between the plurality of cam grooves is a horizontal line passing through the insertion portions of the plurality of picker modules according to the elevation of the cam member so that the interval between the plurality of picker modules can be adjusted according to the elevation state of the cam member. It is composed of 'what is narrowed or widened on the top'.
상기 발명은 다수개의 픽커모듈 사이의 간격을 조절하기 위한 수단으로써 다수개의 캠홀이 형성된 캠부재가 구성된다. 따라서 픽커로 들어 올리기 위한 반도체 사이에 간격이 좁거나 넓은 경우 상기 다수개의 픽커모듈이 캠부재의 캠홀을 따라 승강 또는 하강함에 따라 각 픽커모듈 간의 간격이 조절되는 것이다.In the above invention, a cam member having a plurality of cam holes is configured as a means for adjusting a distance between a plurality of picker modules. Therefore, when the gap between the semiconductors to be lifted by the picker is narrow or wide, the gap between each picker module is adjusted as the plurality of picker modules move up or down along the cam hole of the cam member.
그러나 이와 같은 구성에 의하면 각 필커모듈이 설정된 캠홀을 따라 동시에 좁혀지거나 벌이지기 때문에 각 픽커모듈을 개별 조절할 수 없는 단점이 있다. 또한, 상기 캠홀의 가공 공차가 좋지 않은 경우 정밀한 위치제어가 어려운 단점이 있다.However, according to this configuration, since each picker module is simultaneously narrowed or widened along the set cam hole, each picker module cannot be individually adjusted. In addition, there is a disadvantage in that precise position control is difficult when the machining tolerance of the cam hole is not good.
본 발명은 다수개의 픽커모듈이 개별적으로 좌우 이동하면서 간격을 조절할 수 있도록 하려는 것이다.The present invention is intended to allow a plurality of picker modules to individually move left and right while adjusting the spacing.
본 발명은 각 픽커모듈의 간격 조절이 안정적으로 이루어지도록 하려는 것이다.The present invention is intended to stably adjust the spacing of each picker module.
본 발명은 반도체를 흡착하는 다수개의 픽커모듈 간의 간격을 조절하기 위한 픽 앤드 플레이스 장치에 있어서, 상기 픽커모듈들을 각각 결합하기 위한 다수개의 지지대; 상기 각 지지대가 설치되어 좌우로 이동하도록 받쳐주는 본체; 및 상기 각 지지대에 대응하여 본체에 설치되고, 상기 각 지지대와 연결되어 상기 각 지지대의 좌우 이동 거리를 개별 제어하기 위한 조절수단을 포함하여 구성되고, 상기 조절수단은 각 지지대에 대응하여 본체에 설치되는 다수개의 볼 스크루; 상기 각 볼 스크루와 연결되어 정역 회전시키는 다수개의 모터; 및 상기 각 지지대에 결합된 상태로 각 볼 스크루와 연결되어 상기 볼 스크루의 정역 회전에 따라 지지대를 좌우로 이동시키는 볼 너트;를 포함하여 구성된다.The present invention provides a pick-and-place device for adjusting a distance between a plurality of picker modules adsorbing semiconductors, comprising: a plurality of supports for coupling the picker modules, respectively; A main body in which each support is installed and supports to move left and right; and adjusting means installed in the main body corresponding to each of the supports and connected to each of the supports to individually control the horizontal movement distance of each of the supports, wherein the adjusting means is installed in the main body in correspondence with each support. a plurality of ball screws; A plurality of motors connected to each of the ball screws to forward and reverse rotation; and a ball nut connected to each ball screw in a state coupled to each support and moving the support to the left and right according to forward and reverse rotation of the ball screw.
상기 다수개의 볼 스크루는 본체의 전면에 좌우로 한 쌍이 설치되면서 상하로 배열 설치되고, 상기 다수개의 모터는 본체의 배면에 좌우로 한 쌍이 설치되면서 상하로 배열 설치되며, 상기 각 볼 스크루와 모터는 본체의 좌우측에서 벨트 풀리로 연결된다.The plurality of ball screws are arranged vertically with a pair installed on the left and right sides of the front surface of the main body, and the plurality of motors are arranged vertically with a pair installed on the left and right sides of the rear surface of the main body. It is connected to the belt pulley on the left and right sides of the main body.
상기 각 볼 스크루는 연결을 위한 지지대의 위치와 이동 범위에 따라 길이가 다르게 형성되는 한편, 상기 본체의 좌측 단부와 우측 단부에는 상기 좌우측 볼 스크루의 외측 단부를 축 결합하도록 형성되면서 동일 수직 선상에 결합되는 서포트 베어링 블록이 설치되고, 상기 좌우의 서포트 베어링 블록 사이의 본체에는 좌우측 볼 스크루의 내측 단부를 각각 축 결합하도록 좌우 한 쌍으로 이루어지면서 상하로 계단식 배열되도록 결합되는 앤드 베어링 블록이 설치되며, 상기 길이가 다른 각 볼 스크루의 외측 단부는 상기 서포트 베어링 블록과 축 결합을 통해 상하 동일한 길이로 정렬되고, 내측 단부는 상기 앤드 베어링 블록과 축 결합을 통해 상하 계단식으로 정렬되도록 배열 형성된다.Each of the ball screws has a different length depending on the position and range of movement of the support for connection, while the outer ends of the left and right ball screws are axially coupled to the left and right ends of the main body and coupled on the same vertical line. A support bearing block is installed, and an end bearing block is installed in the main body between the left and right support bearing blocks, and is formed in a pair of left and right so as to axially couple the inner ends of the left and right ball screws, respectively, and are coupled so as to be arranged in a stepwise manner. The outer ends of each ball screw having different lengths are arranged to have the same length up and down through shaft coupling with the support bearing block, and the inner ends are aligned in a stepwise manner up and down through shaft coupling with the end bearing block.
상기 본체의 상부와 하부에 각각 좌우로 설치되는 레일; 및 상기 각 지지대의 상부와 하부에 각각 설치되고, 상기 레일과 연결되어 좌우로 이동하는 슬라이더;를 포함하여 구성된다.Rails installed left and right on the upper and lower parts of the main body, respectively; and sliders installed on the upper and lower portions of the respective supports and connected to the rails to move left and right.
상기 본체에 설치되고 상기 각 지지대의 이동 범위를 감지하기 위한 한 쌍의 센서로 이루어진 다수개의 센서모듈; 및 상기 각 지지대에 설치되고, 상기 각 센서모듈 사이에서 이동하는 피감지부재;를 포함하여 구성된다.A plurality of sensor modules installed on the main body and composed of a pair of sensors for detecting a movement range of each support; and a sensing member installed on each of the supports and moving between each of the sensor modules.
본 발명에 의하면 각 픽커모듈을 개별적으로 좌우 이동할 수 있도록 함으로써 각 픽커모듈의 위치를 개별적으로 보다 정확하게 조절함은 물론이고 필요에 따라 보다 다양한 형태로 조절할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, by allowing each picker module to be individually moved left and right, the position of each picker module can be individually and more precisely adjusted, as well as adjusted in more diverse forms as needed.
본 발명에 의하면 각 픽커모듈의 간격 조절이 안정적으로 이루어지도록 함으로써 장치의 신뢰성이 더욱 향상되는 효과가 있다. According to the present invention, the reliability of the device is further improved by stably adjusting the distance between picker modules.
도 1 및 도 2는 본 발명을 도시한 전체 구성 설명도.
도 3은 본 발명의 요부를 분리한 구성 설명도.
도 4는 본 발명의 요부 구성을 도시한 설명도.
도 5는 본 발명의 요부 구성의 작동을 도시한 설명도.
도 6은 본 발명이 적용된 픽 앤 플레이스 장치를 도시한 설명도.1 and 2 are diagrams illustrating the entire configuration of the present invention.
Fig. 3 is a configuration explanatory diagram in which main parts of the present invention are separated;
Fig. 4 is an explanatory view showing a main part configuration of the present invention;
Figure 5 is an explanatory view showing the operation of the main components of the present invention.
6 is an explanatory diagram showing a pick and place device to which the present invention is applied;
본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부한 도면에 의거하여 구체적으로 살펴본다.A preferred embodiment of the present invention will be described in detail based on the accompanying drawings.
본 발명의 픽커모듈 간격 조절장치는 도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이 픽커모듈(10)들을 각각 결합하기 위한 다수개의 지지대(100), 상기 각 지지대가 설치되어 좌우로 이동하도록 받쳐주는 본체(200) 및 상기 각 지지대에 대응하여 본체에 설치되고, 상기 각 지지대와 연결되어 상기 각 지지대의 좌우 이동 거리를 개별 제어하기 위한 조절수단(300)을 포함하여 구성된다.As shown in FIGS. 1 to 5, the picker module spacing adjusting device of the present invention includes a plurality of supports 100 for coupling the picker modules 10, respectively, and a main body supporting each support to move left and right ( 200) and adjusting means 300 installed on the main body corresponding to each of the supports and connected to each of the supports to individually control the horizontal movement distance of each of the supports.
상기 픽커모듈(picker module:10)은 반도체를 흡착하여 들어올리기 위한 것으로서 도면에 도시된 바와 같이 다수개가 구비된다. 상기 다수개의 픽커모듈(10)은 도면과 같이 8개로 제한되지 않고, 2개 내지 10개 또는 12개 이상이 한 조로 이루어질 수 있다. 상기 픽커모듈(10)은 도면과 같이 하단에 흡착부가 형성되고, 상부에는 흡착을 위한 진공관이 연결된다.The picker module 10 is for adsorbing and lifting semiconductors, and as shown in the drawing, a plurality of picker modules are provided. The plurality of picker modules 10 are not limited to 8 as shown in the drawing, and may consist of 2 to 10 or 12 or more in a group. As shown in the drawing, the picker module 10 has an adsorption part formed at the lower end, and a vacuum tube for adsorption is connected to the upper part.
상기 지지대(100)는 도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이 각 픽커모듈(10)을 설치하기 위한 것으로써, 앞서 설명한 바와 같이 픽커모듈의 개수에 따라 2개 내지 10개 또는 12개 이상이 한 조로 이루어진다. 상기 각 지지대(100)는 도면에 도시된 실시 예와 같이 상하로 길게 형성되고, 그 상부와 하부에는 각각 슬라이더(110)가 결합되고, 상하 슬라이더 사이에는 볼 너트(330)가 결합되며, 상기 하부 슬라이더의 하측에는 피감지부재(410)가 결합된다. 따라서 상기 각 지지대(100)는 볼 너트에 의해 좌우로 이동하되 상하부의 슬라이더에 의해 정확하고 안정적인 이동이 가능하고, 상기 피감지부재에 의해 일정범위를 넘는 좌우 이동이 제한된다.As shown in FIGS. 1 to 5, the support 100 is for installing each picker module 10, and as described above, 2 to 10 or 12 or more picker modules are provided according to the number of picker modules. made up of joe Each of the supports 100 is formed vertically and long as shown in the drawing, and a slider 110 is coupled to the upper and lower portions thereof, and a ball nut 330 is coupled between the upper and lower sliders. The sensing target member 410 is coupled to the lower side of the slider. Therefore, each support 100 is moved left and right by the ball nut, but can be moved accurately and stably by the upper and lower sliders, and the left and right movement beyond a certain range is restricted by the sensing member.
상기 본체(200)는 도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이 상기 각 지지대가 설치되어 좌우로 이동하도록 받쳐준다. 또한, 상기 본체(200)는 후술하는 조절수단(300)을 설치할 수 있도록 구성된다. 이와 같은 본체(200)는 실시 예로써 도 6에 도시된 바와 같이 반도체용 픽 앤 플레이스장치(pick and place equipment)에 설치되고, 픽커모듈(10)을 승강시키기 위한 승강장치(20) 및 위치를 이동하기 위한 이동장치(30)에 의해 상하 승강 및 좌우 이동된다.As shown in FIGS. 1 to 5 , the main body 200 is provided with each of the supports to support it to move left and right. In addition, the body 200 is configured to be able to install the adjusting means 300 to be described later. As shown in FIG. 6 as an example, the main body 200 is installed in pick and place equipment for semiconductors, and the lifting device 20 for lifting the picker module 10 and the position thereof are installed. It is moved up and down and left and right by the moving device 30 for moving.
상기 본체(200)의 상부와 하부에는 각각 레일(210)이 설치되고, 상하 레일(210) 사이에는 볼 스크루(310)가 설치되며, 상기 하부 레일(210)의 하측에는 센서모듈(400)이 설치된다.Rails 210 are installed on the upper and lower portions of the main body 200, ball screws 310 are installed between the upper and lower rails 210, and the sensor module 400 is installed on the lower side of the lower rail 210. installed
상기 조절수단(300)은 도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이 상기 각 지지대(100)에 대응하여 본체(200)에 설치되고, 상기 각 지지대와 연결되어 상기 각 지지대의 좌우 이동 거리를 개별 제어하도록 형성된다. 구체적으로 상기 조절수단(300)은 각 지지대(100)에 대응하여 본체(200)에 설치되는 다수개의 볼 스크루(310), 상기 각 볼 스크루와 연결되어 정역 회전시키는 다수개의 모터(320) 및 상기 각 지지대에 결합된 상태로 각 볼 스크루와 연결되어 상기 볼 스크루의 정역 회전에 따라 지지대를 좌우로 이동시키는 볼 너트(330)를 포함하여 구성된다. 따라서 각각의 모터(320)의 정역 회전을 제어함으로써 각각의 볼 스크루(310)가 정역 회전하면서 각 볼 스크루에 연결된 볼 너트(330)를 좌우로 이동시기 때문에 각 볼 너트(330)에 연결된 지지대(100)와 픽커모듈(10)을 개별적으로 좌우 이동시킬 수 있는 것이다. 상기 볼 스크루(310)는 본체(200)에 설치는 서포트 베어링 블록과 앤드 베어링 블록에 의해 축 설치된 상태로 안정되게 회전할 수 있다.As shown in FIGS. 1 to 5 , the adjusting means 300 is installed on the main body 200 corresponding to each support 100 and is connected to each support to individually control the left and right movement distance of each support. is formed to Specifically, the adjusting means 300 includes a plurality of ball screws 310 installed on the main body 200 corresponding to each support 100, a plurality of motors 320 connected to each of the ball screws and rotating forward and backward, and It is configured to include a ball nut 330 that is connected to each ball screw in a state coupled to each support and moves the support to the left and right according to the normal and reverse rotation of the ball screw. Therefore, by controlling the normal and reverse rotation of each motor 320, each ball screw 310 moves forward and backward while moving the ball nut 330 connected to each ball screw to the left and right, so the support connected to each ball nut 330 ( 100) and the picker module 10 can be moved left and right individually. The ball screw 310 can stably rotate in a shaft-installed state by a support bearing block and an end bearing block installed in the body 200 .
상기 조절수단(300)은 실시 예로써 도 3에 도시된 바와 같이 다수개의 볼 스크루(310)는 본체(200)의 전면에 좌우로 한 쌍이 설치되면서 상하로 배열 설치되고, 상기 다수개의 모터(320)는 본체의 배면에 좌우로 한 쌍이 설치되면서 상하로 배열 설치되며, 상기 각 볼 스크루(310)와 모터(320)는 본체의 좌우측에서 벨트 풀리(340)로 연결된다. 예를 들어 도 3 및 도 6과 같이 8개의 픽커모듈(10)이 구비되는 경우 좌측에는 네개의 볼 스크루(310)를 우측에는 네개의 볼 스크루(310)를 각각 상하로 설치함으로써 볼 스크루(310)의 설치공간을 최소화함과 아울러 모터(320)의 효율적인 배치가 가능하게 된다.As shown in FIG. 3 as an example, the adjusting means 300 is arranged vertically with a pair of ball screws 310 installed on the left and right sides of the front surface of the main body 200, and the plurality of motors 320 ) are arranged vertically with a pair installed on the left and right sides of the rear surface of the main body, and each of the ball screws 310 and the motor 320 are connected to the belt pulley 340 on the left and right sides of the main body. For example, when eight picker modules 10 are provided as shown in FIGS. 3 and 6, four ball screws 310 on the left side and four ball screws 310 on the right side are installed up and down, respectively, so that the ball screws 310 ) In addition to minimizing the installation space, efficient arrangement of the motor 320 is possible.
상기 각 볼 스크루(310)는 도 3 및 도 5, 도 6에 도시된 바와 같이 상기 각 볼 스크루(310)는 연결을 위한 지지대(100)의 위치와 이동 범위에 따라 길이가 다르게 형성되는 한편, 상기 본체(200)의 좌측 단부와 우측 단부에는 상기 좌우측 볼 스크루의 외측 단부를 축 결합하도록 형성되면서 동일 수직 선상에 결합되는 서포트 베어링 블록(350)이 설치되고, 상기 좌우 서포트 베어링 블록 사이의 본체에는 좌우측 볼 스크루(310)의 내측 단부를 각각 축 결합하도록 좌우 한 쌍으로 이루어지면서 상하로 계단식 배열되도록 결합되는 앤드 베어링 블록(360)이 설치되며, 상기 길이가 다른 각 볼 스크루(310)는 상기 서포트 베어링 블록에 축 결합된 외측 단부가 상하 동일한 길이로 정렬되고, 상기 앤드 베어링 블록에 축 결합된 내측 단부가 상하 계단식으로 정렬되도록 배열 형성된다. 즉, 상기 각 볼 스크루(310)는 도면과 같이 좌측과 우측에 긴 것과 짧은 것을 서로 비례 조합하여 배열하는데, 외측 단부는 모터와의 연결을 위해 상하 길이를 동일하게 맞추고, 내측 단부는 계단식으로 일정하게 정렬되도록 배열하는 것이다.As shown in FIGS. 3, 5 and 6, each ball screw 310 has a different length depending on the position and movement range of the support 100 for connection, while Support bearing blocks 350 are installed at the left and right ends of the main body 200 so as to axially couple the outer ends of the left and right ball screws and are coupled on the same vertical line, and in the main body between the left and right support bearing blocks An end bearing block 360 is installed so as to axially couple the inner ends of the left and right ball screws 310, and are coupled in a stepwise arrangement up and down while forming a pair of left and right sides, and each ball screw 310 having a different length supports the support The outer ends axially coupled to the bearing block are aligned in the same vertical direction, and the inner ends axially coupled to the end bearing block are arranged in a stepwise manner. That is, as shown in the drawing, each of the ball screws 310 are arranged in proportion to each other on the left and right sides, with the outer end equalizing the upper and lower lengths for connection with the motor, and the inner end stepwise. Arrange them so that they are aligned.
이때, 도 5와 같이 8개의 픽커모듈(10) 중 중간 지점에 설치되는 픽커모듈(10)은 좌우 조절범위가 본체(200)의 중앙선을 넘나들기 때문에 이 픽커모듈과 연결되는 볼 스크루(310)는 본체(200)의 일측에서 타측 방향으로 본체(200)의 중앙선을 넙어까지 길게 형성되고, 상기 길게 형성된 볼 스크루(310)의 반대측에 설치되는 볼 스크루(310)는 상대적으로 짧을 수 밖에 없고 그 결과 외곽 지점에 설치되는 픽커모듈(10)이 연결된다. 이와 같은 구성에 의하면 제한적인 좌우 길이의 범위 내에서 각 픽커모듈(10)의 좌우 이동 범위를 최대한 확보할 수 있게 된다.At this time, as shown in FIG. 5, since the left and right adjustment range of the picker module 10 installed at the middle point among the eight picker modules 10 crosses the center line of the main body 200, the ball screw 310 connected to the picker module is formed long from one side of the body 200 to the other side until the center line of the body 200 is flattened, and the ball screw 310 installed on the opposite side of the long ball screw 310 is inevitably relatively short, and As a result, the picker module 10 installed at the outer point is connected. According to this configuration, it is possible to secure the maximum left and right movement range of each picker module 10 within a limited range of left and right lengths.
본 발명은 앞서 설명한 바와 같이 본체(200)의 상부와 하부에 각각 좌우로 설치되는 레일(210)이 설치되고, 상기 각 지지대의 상부와 하부에는 상기 레일과 연결되어 좌우로 이동하는 슬라이더(110)가 결합된다. 따라서 상기 각 지지대(100)가 상하의 레일(210)을 따라 이동하는 동시에 각 지지대의 상부와 하부가 레일에 의해 지지되기 때문에 지지대(100) 자체의 흔들림이나 유동을 방지할 수 있게 된다. 이때, 도 3 및 도 6에 도시된 바와 같이 상기 본체(200)의 상부에 설치되는 레일(210)과 하부에 설치되는 레일(210)은 각각 상하 2열로 형성하고, 상기 각 지지대(100)에 설치되는 슬라이더(110)는 이웃하는 지지대에 대하여 상하 교차되는 위치에 결합되도록 함으로써 슬라이더의 폭을 좌우롭게 조절하면서 이웃하는 지지대의 슬라이더 사이에 간섭되지 않도록 한다. As described above, in the present invention, rails 210 installed left and right are installed on the upper and lower parts of the main body 200, and the slider 110 moves left and right by being connected to the rails on the upper and lower parts of each support. is combined Therefore, since each support 100 moves along the upper and lower rails 210 and the upper and lower portions of each support are supported by the rail, shaking or movement of the support 100 itself can be prevented. At this time, as shown in FIGS. 3 and 6, the rails 210 installed on the upper part of the main body 200 and the rails 210 installed on the lower part are formed in two vertical rows, respectively, and each of the supports 100 The installed sliders 110 are coupled to adjacent supports at positions crossing each other so that the width of the sliders is adjusted left and right while preventing interference between the sliders of the adjacent supports.
본 발명은 상기 본체(200)에 설치되고 상기 각 지지대의 이동 범위를 감지하기 위한 한 쌍의 센서로 이루어진 다수개의 센서모듈(400) 및 상기 각 지지대에 설치되고, 상기 각 센서모듈 사이에서 이동하는 피감지부재(410)를 포함하여 구성된다. 즉, 상기 센서모듈(400)은 임의의 피감지부재(410)에 대하여 좌우 이동을 감지할 수 있도록 상기 피감지부재(410)의 양측에 위치하는 한 쌍의 센서로 구성된다. 이와 같이 한 쌍의 센서로 이루어진 센서모듈(400)은 상기 각 지지대에 대응하여 상하 및 좌우로 배열 설치된다. In the present invention, a plurality of sensor modules 400 installed on the main body 200 and composed of a pair of sensors for detecting the movement range of each support and installed on each support and moving between each sensor module It is configured to include the sensing member 410 . That is, the sensor module 400 is composed of a pair of sensors positioned on both sides of the sensing member 410 so as to detect left and right movement with respect to an arbitrary sensing member 410 . In this way, the sensor modules 400 composed of a pair of sensors are arranged vertically and horizontally to correspond to each of the supports.
이와 같은 구성의 본 발명에 의하면 각 픽커모듈을 개별적으로 좌우 이동할 수 있도록 함으로써 각 픽커모듈의 위치를 개별적으로 보다 정확하게 조절함은 물론이고 필요에 따라 보다 다양한 형태로 조절할 수 있게 된다.According to the present invention having such a configuration, each picker module can be moved left and right individually, so that the position of each picker module can be individually and more accurately adjusted, as well as can be adjusted in more diverse forms as needed.
또한, 각 픽커모듈의 간격 조절이 안정적으로 이루어짐으로써 장치의 신뢰성이 더욱 향상된다.In addition, the reliability of the device is further improved by stably adjusting the distance between each picker module.
10: 픽커모듈 20: 승강장치
30: 이동장치
100: 지지대 110: 슬라이더
200: 본체 210: 레일
300: 조절수단 310: 볼 스크루
320: 모터 330: 볼 너트
340: 벨트 풀리
400: 센서모듈 410: 피감지부재10: picker module 20: lifting device
30: moving device
100: support 110: slider
200: body 210: rail
300: adjusting means 310: ball screw
320: motor 330: ball nut
340: belt pulley
400: sensor module 410: sensed member
Claims (5)
상기 픽커모듈들을 각각 결합하기 위한 다수개의 지지대;
상기 각 지지대가 설치되어 좌우로 이동하도록 받쳐주는 본체; 및
상기 각 지지대에 대응하여 본체에 설치되고, 상기 각 지지대와 연결되어 상기 각 지지대의 좌우 이동 거리를 개별 제어하기 위한 조절수단을 포함하여 구성되고,
상기 조절수단은 각 지지대에 대응하여 본체에 설치되는 다수개의 볼 스크루;
상기 각 볼 스크루와 연결되어 정역 회전시키는 다수개의 모터; 및
상기 각 지지대에 결합된 상태로 각 볼 스크루와 연결되어 상기 볼 스크루의 정역 회전에 따라 지지대를 좌우로 이동시키는 볼 너트;를 포함하여 구성되고,
상기 다수개의 볼 스크루는 본체의 전면에 좌우로 한 쌍이 설치되면서 상하로 배열 설치되고,
상기 다수개의 모터는 본체의 배면에 좌우로 한 쌍이 설치되면서 상하로 배열 설치되며,
상기 각 볼 스크루와 모터는 본체의 좌우측에서 벨트 풀리로 연결되고,
상기 각 볼 스크루는 연결을 위한 지지대의 위치와 이동 범위에 따라 길이가 다르게 형성되는 한편,
상기 본체의 좌측 단부와 우측 단부에는 상기 좌우측 볼 스크루의 외측 단부를 축 결합하도록 형성되면서 동일 수직 선상에 결합되는 서포트 베어링 블록이 설치되고,
상기 좌우의 서포트 베어링 블록 사이의 본체에는 좌우측 볼 스크루의 내측 단부를 각각 축 결합하도록 좌우 한 쌍으로 이루어지면서 상하로 계단식 배열되도록 결합되는 앤드 베어링 블록이 설치되며,
상기 길이가 다른 각 볼 스크루의 외측 단부는 상기 서포트 베어링 블록과 축 결합을 통해 상하 동일한 길이로 정렬되고, 내측 단부는 상기 앤드 베어링 블록과 축 결합을 통해 상하 계단식으로 정렬되도록 배열 형성된 것을 특징으로 하는 픽커모듈 간격 조절장치.In the picker module spacing adjusting device for adjusting the spacing of each picker module installed in the pick and place device,
a plurality of supports for combining the picker modules, respectively;
A main body in which each support is installed and supports to move left and right; and
It is installed on the main body in correspondence with each of the supports and is configured to include an adjusting means for individually controlling the left and right movement distance of each of the supports connected to each of the supports,
The adjusting means includes a plurality of ball screws installed on the main body corresponding to each support;
A plurality of motors connected to each of the ball screws to forward and reverse rotation; and
It is configured to include; a ball nut connected to each ball screw in a state coupled to each support and moving the support to the left and right according to the forward and reverse rotation of the ball screw,
The plurality of ball screws are arranged vertically while a pair is installed on the left and right sides of the front surface of the main body,
The plurality of motors are arranged vertically with a pair installed on the left and right sides of the rear surface of the main body,
Each of the ball screws and motors are connected by belt pulleys on the left and right sides of the main body,
Each of the ball screws is formed with a different length depending on the position and movement range of the support for connection,
Support bearing blocks coupled to the same vertical line are installed at the left and right ends of the body so as to axially couple the outer ends of the left and right ball screws,
In the main body between the left and right support bearing blocks, end bearing blocks are installed in a pair of left and right so as to axially couple the inner ends of the left and right ball screws and are arranged in a stepwise manner,
The outer end of each ball screw having a different length is aligned at the same length up and down through shaft coupling with the support bearing block, and the inner end is aligned in a stepwise manner up and down through shaft coupling with the end bearing block. Characterized in that Picker module spacing control device.
상기 각 지지대의 상부와 하부에 각각 설치되고, 상기 레일과 연결되어 좌우로 이동하는 슬라이더;를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 픽커모듈 간격 조절장치.The method according to claim 1, Rails installed to the left and right on the upper and lower portions of the main body, respectively; and
The picker module distance adjusting device, characterized in that it is configured to include; sliders installed on the top and bottom of each support, respectively, connected to the rail and moving left and right.
상기 각 지지대에 설치되고, 상기 각 센서모듈 사이에서 이동하는 피감지부재;를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 픽커모듈 간격 조절장치.
The method according to claim 1, A plurality of sensor modules installed on the main body and consisting of a pair of sensors for detecting the movement range of each support; and
The picker module distance adjusting device, characterized in that it is configured to include; a sensed member installed on each of the supports and moving between each of the sensor modules.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020230058138A KR102575315B1 (en) | 2023-05-04 | 2023-05-04 | Adjusting device for picker module |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020230058138A KR102575315B1 (en) | 2023-05-04 | 2023-05-04 | Adjusting device for picker module |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR102575315B1 true KR102575315B1 (en) | 2023-09-07 |
Family
ID=87974841
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020230058138A KR102575315B1 (en) | 2023-05-04 | 2023-05-04 | Adjusting device for picker module |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR102575315B1 (en) |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20090010248U (en) * | 2008-04-04 | 2009-10-08 | 한미반도체 주식회사 | Sorting picker for transferring a semiconductor package |
| KR20100001395A (en) * | 2008-06-27 | 2010-01-06 | 한미반도체 주식회사 | Sorting picker for transferring semiconductor package |
| KR100981609B1 (en) * | 2008-07-18 | 2010-09-10 | 한국기계연구원 | Separation adjusting apparatus using belt mechanism |
| KR20200140158A (en) * | 2019-06-05 | 2020-12-15 | 주식회사 에이트론 | Apparatus for picker |
| KR20220023255A (en) * | 2020-08-20 | 2022-03-02 | 양해춘 | Picker device with automatic pitch adjustment |
| KR20220085275A (en) * | 2020-12-15 | 2022-06-22 | 이재웅 | Variable controlling apparatus for picker |
| KR20230001279A (en) * | 2021-06-28 | 2023-01-04 | 피에스엠피주식회사 | Apparatus for adjusting pitch of pickers for semiconductor device |
-
2023
- 2023-05-04 KR KR1020230058138A patent/KR102575315B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20090010248U (en) * | 2008-04-04 | 2009-10-08 | 한미반도체 주식회사 | Sorting picker for transferring a semiconductor package |
| KR20100001395A (en) * | 2008-06-27 | 2010-01-06 | 한미반도체 주식회사 | Sorting picker for transferring semiconductor package |
| KR100981609B1 (en) * | 2008-07-18 | 2010-09-10 | 한국기계연구원 | Separation adjusting apparatus using belt mechanism |
| KR20200140158A (en) * | 2019-06-05 | 2020-12-15 | 주식회사 에이트론 | Apparatus for picker |
| KR20220023255A (en) * | 2020-08-20 | 2022-03-02 | 양해춘 | Picker device with automatic pitch adjustment |
| KR20220085275A (en) * | 2020-12-15 | 2022-06-22 | 이재웅 | Variable controlling apparatus for picker |
| KR20230001279A (en) * | 2021-06-28 | 2023-01-04 | 피에스엠피주식회사 | Apparatus for adjusting pitch of pickers for semiconductor device |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100622415B1 (en) | Device Transfer for Semiconductor Test Handler | |
| US5825104A (en) | Small linear motor table | |
| US5760500A (en) | XY table using a linear electromagnetic actuator | |
| KR102092216B1 (en) | Industrial robot | |
| KR100432356B1 (en) | Picker for picking device in handler | |
| JP4219527B2 (en) | Head assembly for component mounter and component mounter equipped with the same | |
| TW201502545A (en) | Cross-bar unit for a test apparatus for circuit boards, and test apparatus containing the former | |
| CN107285007B (en) | Charging tray automatic feeder and Automatic-feeding method | |
| KR101830983B1 (en) | Apparatus for picking up semiconductor devices | |
| KR100446443B1 (en) | Picker for transferring semiconductor in handler | |
| KR101147575B1 (en) | Three dimensional robot system for led manufacturing apparatus | |
| KR102575315B1 (en) | Adjusting device for picker module | |
| US20090277002A1 (en) | Surface mounting apparatus | |
| KR101307954B1 (en) | Component transfer device comprising pitch-adjustable pickers | |
| KR100616459B1 (en) | Test robot system | |
| CN1203751C (en) | Device for mounting components on component supports | |
| KR102235451B1 (en) | Pitch control apparatus and pick-up device for semiconductor having the same | |
| KR100324006B1 (en) | Chucking Apparatus For Module Device With Function Of adjusting Gap | |
| KR100415823B1 (en) | Handler for semiconductor device test | |
| KR20090085741A (en) | Loading-hand | |
| KR102302518B1 (en) | Apparatus for pitch variable and pickup apparatus including same | |
| KR100567797B1 (en) | Apparatus for Adjusting Distance Between the Pickers of Handler | |
| CN217466981U (en) | Flying probe detection device and flying probe detection equipment | |
| KR100640279B1 (en) | Head system for transferring and sorting IC-Integrated Circuit | |
| KR20020094614A (en) | Pick up tool for semiconductor device |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant |