KR20090085741A - Loading-hand - Google Patents

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Abstract

A loading hand is provided to have streamlined configuration and the facilitated operation step by controlling a variable pitch to the X-Y direction at once. A loading hand comprises a supporting member(20), a guide plate(100), a plurality of picker modules(200), a connecting member(250), a head unit(300), and a driving unit(400). The supporting member has a LM(Linear Motion) rail(10) installed in both sides at regular intervals. The guide plate is connected to the supporting member. The guide plate has a plurality of cam grooves(102) at the front side and a plurality of LM guides(30) at the rear side. A plurality of picker modules is moved according to the cam groove of the guide plate. The picker module picks and places a semiconductor. One side of the connecting member is connected to the top one side of the picker module. The connecting member connects the cam groove of the guide plate and the picker module. The head unit is connected to the picker module. The head unit has a plurality of air ports(294). The driving unit transfers the guide plate to the fixed position.

Description

로딩 핸드{Loading-Hand}Loading hand {Loading-Hand}

본 발명은 로딩 핸드에 관한 것으로, 특히 반도체 디바이스를 테스트 트레이에 로딩하는 로딩 핸드에 관한 것이다.The present invention relates to a loading hand, and more particularly to a loading hand for loading a semiconductor device into a test tray.

종래, 핸들러는 로딩부의 고객트레이(customer tray)에 담겨진 반도체 소자들을 소자 반송장치를 이용하여 테스트 트레이(test tray)에 재치한 후, 테스트 트레이를 테스트 사이트(test site)로 반송하여 테스트를 수행하고, 다시 소자 반송장치를 이용하여 테스트 트레이의 테스트 완료된 반도체 소자들을 언로딩부의 고객트레이에 테스트 결과별로 재수납시키는 동작을 수행하게 된다.Conventionally, the handler loads the semiconductor elements contained in the customer tray of the loading unit in a test tray using an element carrier, and then returns the test tray to a test site to perform a test. Then, the semiconductor device of the test tray is again stored in the customer tray of the unloading unit for each test result by using the device carrier.

상기 고객 트레이에 정렬된 각 반도체 소자간의 피치(pitch)는 테스트 트레이에 정렬되는 반도체 소자 간의 피치와 다르기 때문에 소자 반송장치가 고객 트레이의 반도체 소자를 테스트 트레이로 옮겨서 장착시키기 위해서는 반도체 소자를 흡착하는 각 픽커간의 간격이 가변되어야 한다. 즉, 소자 반송장치는 각 픽커 간의 간격이 고객 트레이의 반도체 소자의 피치와 테스트 트레이의 반도체 소자 간의 피치로 각각 가변되어야 한다.Since the pitch between the semiconductor devices arranged in the customer tray is different from the pitch between the semiconductor devices arranged in the test tray, the device conveying device absorbs the semiconductor devices in order to transfer and mount the semiconductor devices of the customer trays to the test tray. The interval between pickers should be variable. That is, in the device conveying apparatus, the distance between each picker should be varied with the pitch between the semiconductor elements of the customer tray and the pitch between the semiconductor elements of the test tray.

한편, 링크를 사용하지 않고 픽커 간격을 조절하는 것으로 국내 등록특허공 보 10-0248704호에 복수개의 캠홈이 경사지게 형성된 캠축 또는 캠판에 설치하고, 상기 캠축 또는 캠판의 각 캠홈에 각각의 픽커의 일부분을 상대 이동 가능하게 결합시킨 반도체 소자 검사기의 소자 간격조절장치(로딩 핸드)가 공지되어 있다.On the other hand, by adjusting the picker spacing without using a link is installed in the camshaft or cam plate in which a plurality of cam grooves are inclined in Korea Patent Publication No. 10-0248704, a portion of each picker in each cam groove of the cam shaft or cam plate Background Art Device spacing devices (loading hands) of semiconductor device inspectors coupled to be movable relative to each other are known.

상기 소자 간격조절장치는 픽커의 끝단부가 캠축 또는 캠판의 캠홈의 일단부에 위치했을 때는 픽커의 간격이 최소로 되고, 회전실린더 또는 공압실린더에 의해 캠축이 회전하거나 캠판이 직선 운동하여 픽커의 끝단부가 캠홈의 타단부로 이동했을 때는 픽커 간격이 최대로 되면서 픽커 간 피치 조절이 2단계로 이루어지게 된다. In the device gap adjusting device, when the end of the picker is positioned at one end of the cam shaft or the cam groove of the cam plate, the interval between the pickers is minimized, and the end of the picker is rotated by the rotary cylinder or the pneumatic cylinder or the cam plate is linearly moved. When moving to the other end of the cam groove, the picker interval is maximized, the pitch between the pickers is made in two stages.

그러나, 상기와 같이 이루어진 구성의 종래의 소자 간격조절장치는 픽커 간의 간격 조절이 최소와 최대의 2단계로만 이루어지기 때문에 테스트 하는 반도체 소자의 종류 또는 크기가 변경되면 캠축 또는 캠판을 해당 반도체 소자에 유효한 것으로 교체해 주어야 하는 단점을 가지고 있다. However, the conventional device spacing device of the above-described configuration is effective in adjusting the camshaft or cam plate to the semiconductor device when the type or size of the semiconductor device to be tested is changed because the distance between the pickers is made in only two steps. It has the disadvantage of replacing it with one.

또한, 종래의 소자 간격조절장치는 Y축의 간격을 조절할 수 없고 X축의 간격만을 조정하는 문제점도 내포하고 있다.In addition, the conventional device gap adjusting device also includes a problem in that it is impossible to adjust the spacing of the Y-axis, and only the spacing of the X-axis is adjusted.

본 발명은 이러한 종래기술의 문제점을 감안하여 안출된 것으로, 그 목적은 로딩핸드의 구조를 모듈화하고 로딩핸드를 X-Y방향으로 한번에 이동하여 그 X축 및 Y축의 간격을 간단하게 조절할 수 있는 로딩핸드를 제공함에 있다.The present invention has been made in view of the problems of the prior art, the object of which is to modularize the structure of the loading hand and to move the loading hand in the XY direction at once, the loading hand that can easily adjust the distance between the X axis and Y axis In providing.

본 발명의 그 양측에 LM 레일(10)이 소정 간격을 두고 설치되는 지지부재(20)와; 지지부재(20)에 연결되고, 그 후면에 복수개의 LM 가이드(30)가 설치되고, 그 전면에 복수개의 캠홈(102)이 형성된 가이드 플레이트(100)와; 가이드 플레이트(100)에 형성된 캠홈(102)을 따라 이동가능하게 설치되며, 반도체 소자를 픽 앤 플레이스하는 복수개의 픽커모듈(200)와; 그 일측이 상기 픽커모듈(200)의 상부 일측에 연결되고, 상기 픽커모듈(200)과 가이드 플레이트(100)의 캠홈(102)를 연결하는 연결부재(250)와; 픽커모듈(200)과 연결되고, 복수개의 에어 포트(294)가 형성되는 헤드부(300)와; 가이드 플레이트(100)를 소정 위치로 이송시키는 구동부(400)로 구성되는 점에 있다. Support members 20 which are installed at both sides of the LM rail 10 at predetermined intervals of the present invention; A guide plate 100 connected to the support member 20, on which a plurality of LM guides 30 are installed, and a plurality of cam grooves 102 formed on the front surface thereof; A plurality of picker modules 200 installed to move along the cam grooves 102 formed in the guide plate 100 and pick and place semiconductor elements; One side thereof is connected to an upper side of the picker module 200, and a connecting member 250 connecting the picker module 200 and the cam groove 102 of the guide plate 100; A head part 300 connected to the picker module 200 and having a plurality of air ports 294 formed therein; It is composed of a drive unit 400 for transferring the guide plate 100 to a predetermined position.

본 발명의 로딩핸드는 종래의 로딩핸드에 비하여 구성이 간단하고, 한번에 X-Y방향으로 가변피치를 조절 가능하므로 작업이 용이한 이점이 있다. The loading hand of the present invention is simpler in construction than the conventional loading hand, and the adjustable pitch can be adjusted in the X-Y direction at a time, thereby making it easy to work.

그리고, 본 발명의 로딩핸드는 헤드부와 픽커모듈을 원터치로 해제할 수 있게 구성되므로 로딩핸드의 불량으로 인한 교체작업이 용이한 이점이 있다.In addition, since the loading hand of the present invention is configured to release the head and the picker module by one touch, there is an advantage in that the replacement operation due to the failure of the loading hand is easy.

(실시예)(Example)

본 발명의 로딩핸드의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.An embodiment of the loading hand of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 로딩핸드는 도1 및 도2에 도시된 바와 같이, 그 양측에 LM 레일(10)이 소정 간격을 두고 설치되는 지지부재(20)와; 지지부재(20)에 연결되고, 그 후면에 복수개의 LM 가이드(30)가 설치되고, 그 전면에 복수개의 캠홈(102)이 형성된 가이드 플레이트(100)와; 가이드 플레이트(100)에 형성된 캠홈(102)을 따라 이동가능하게 설치되며, 반도체 소자를 픽 앤 플레이스하는 복수개의 픽커모듈(200)과; 그 일측이 상기 픽커모듈(200)의 상부 일측에 연결되고, 픽커모듈(200)과 가이드 플레이트(100)의 캠홈(102)을 연결하는 연결부재(250)와; 픽커모듈(200)과 연결되고, 복수개의 에어 포트(294)가 형성되는 헤드부(300)와; 가이드 플레이트(100)를 소정 위치로 이송시키는 구동부(400)로 구성된다.As shown in Figs. 1 and 2, the loading hand of the present invention includes a support member 20 having LM rails 10 installed at predetermined intervals on both sides thereof; A guide plate 100 connected to the support member 20, on which a plurality of LM guides 30 are installed, and a plurality of cam grooves 102 formed on the front surface thereof; A plurality of picker modules 200 installed to move along the cam grooves 102 formed in the guide plate 100 and pick and place semiconductor elements; One side thereof is connected to an upper side of the picker module 200, and a connecting member 250 connecting the picker module 200 and the cam groove 102 of the guide plate 100; A head part 300 connected to the picker module 200 and having a plurality of air ports 294 formed therein; It consists of a drive unit 400 for transferring the guide plate 100 to a predetermined position.

상기 지지부재(20)는 그 후면이 로봇(도시되지 않음)의 브라켓(40)에 연결되고, 그 전면은 LM 레일(10)이 소정 간격을 두고 양측에 설치된다. 그리고, 상기 지지부재(20)의 전방에는 복수개의 LM 가이드(30)를 구비한 가이드 플레이트(100)가 설치되고, 상기 가이드 플레이트(100)의 LM 가이드(30)는 지지부재(20)의 LM 레일(10)과 상호 연결되어 소정방향으로 이동가능하게 되어 있다. The support member 20 is connected to the bracket 40 of the robot (not shown) at its rear side, and the front side of the support member 20 is installed at both sides at predetermined intervals. In addition, a guide plate 100 having a plurality of LM guides 30 is installed in front of the support member 20, and the LM guide 30 of the guide plate 100 is an LM of the support member 20. Interconnected with the rail 10 is movable in a predetermined direction.

상기 픽커모듈(200)의 상부에는 헤드부(300)가 설치되고, 상기 헤드부(300)의 상부가 가이드 플레이트(100)의 캠홈(102)(도 2참조)에 연결부재(250)에 의해 연결된다. 상기 헤드부(300)와 픽커모듈(200)은 가이드 플레이트(100)의 캠홈(102)을 따라 구동부(400)의 동작에 따라 이동하면서 X방향으로 폭조절이 가능하게 구성된다. 상기 헤드부(300)의 상부의 일측에는 보조 지지부재(254)가 설치되고, 상기 보조 지지부재(254)에는 복수개의 에어포트(256)가 설치된다. 또한, 헤드부(300)는 그 내측에 복수개의 에어포트(294)가 설치된다.The head portion 300 is installed above the picker module 200, and the upper portion of the head portion 300 is connected to the cam groove 102 (see FIG. 2) of the guide plate 100 by the connecting member 250. Connected. The head unit 300 and the picker module 200 may be configured to be width-adjustable in the X direction while moving according to the operation of the driving unit 400 along the cam groove 102 of the guide plate 100. An auxiliary support member 254 is installed at one side of the upper portion of the head part 300, and a plurality of air ports 256 are installed at the auxiliary support member 254. In addition, the head part 300 is provided with a plurality of airports 294 therein.

상기 구동부(400)는 고정판(410)의 일측에 고정되며 로드(414)를 갖는 실린 더(412)와, 도시되지 않은 구동모터로 이루어진다. 그리고, 상기 로드(414)는 가이드 플레이트(100)의 상부 일측에 설치된 연결판(422)과 연결부재(420)에 의해 상호 연결된다.The driving unit 400 is fixed to one side of the fixing plate 410 and consists of a cylinder 412 having a rod 414 and a driving motor (not shown). In addition, the rod 414 is connected to each other by the connecting plate 422 and the connecting member 420 installed on the upper side of the guide plate 100.

한편, 픽커모듈(200)은 브라켓(202)과, 상기 브라켓(202)의 내측에 설치되며, 가이드 샤프트(220)에 끼워지게 되는 복수개의 실린더(230)와, 상기 실린더(230)에 각기 연결되는 픽커(240)와, 상기 실린더(230)의 연결부(232)와 브라켓(202)의 내측에 각기 형성된 복수개의 포트(234,204)로 이루어지며, 가이드 샤프트에 끼워진 실린더들의 폭을 조절할 수 있다. On the other hand, the picker module 200 is installed on the bracket 202, the inside of the bracket 202, a plurality of cylinders 230 to be fitted to the guide shaft 220 and connected to the cylinder 230, respectively The picker 240 and the connection portion 232 of the cylinder 230 and the plurality of ports 234 and 204 respectively formed on the inside of the bracket 202 are formed, and the width of the cylinders fitted to the guide shaft can be adjusted.

상기 브라켓(202)은 사각형 형태이고, 그 내부가 2개의 작은 사각형으로 구분되어 있다. 그리고, 상기 브라켓(202)의 상부에는 원터치 결합부(260)가 형성되고, 상기 원터치 결합부(260)에는 복수개의 에어 관통홀(262)이 형성되며, 이들은 밀봉수단(도시되지 않음)에 의해 밀봉된다. 그리고, 상기 에어 관통홀(262)의 주변에는 원주방향으로 O-링부재 안착부(261)가 형성되고, 상기 O-링부재 안착부(261)에는 밀봉을 확실하게 하기 위해 O-링부재(263)가 설치된다.The bracket 202 has a rectangular shape and is divided into two small squares. In addition, a one-touch coupling part 260 is formed at an upper portion of the bracket 202, and a plurality of air through holes 262 are formed in the one-touch coupling part 260, and these are formed by sealing means (not shown). Is sealed. In addition, an O-ring member seating portion 261 is formed around the air through hole 262 in the circumferential direction, and the O-ring member seating portion 261 has an O-ring member (2) to ensure sealing. 263 is installed.

상기 헤드부(300)는 픽커모듈(200)에 이상 유무가 발견되거나 픽커(240)를 교환하고자 할 경우, 로딩핸드의 전체를 교환하는 것이 아니고, 원터치 결합부(260)를 해제함으로써 간단히 픽커모듈(200)이나 픽커(240)를 교환할 수 있다.When the head unit 300 is found to have an abnormality in the picker module 200 or when the picker 240 is to be replaced, the head unit 300 does not replace the entire loading hand, but simply releases the picker module 260 by simply releasing the picker module 260. The 200 and the picker 240 can be replaced.

한편, 브라켓(202)의 내측에는 복수개의 가이드 샤프트(220)가 설치되고, 상기 가이드 샤프트(220)에는 복수개의 실린더(230)가 끼워지게 된다. 상기 실린더(230)의 하부에는 복수개의 픽커(240)가 설치되고, 실린더(230)의 상부에는 연결 부(232)가 형성되고, 상기 연결부(232)에는 복수개의 포트(234)가 형성된다. 상기 연결부(232)의 복수개의 포트(234)는 각기 원터치 결합부(260)의 하부에 형성된 포트(204)와 상호 연결되어 에어를 공급할 수 있게 구성된다.Meanwhile, a plurality of guide shafts 220 are installed inside the bracket 202, and a plurality of cylinders 230 are fitted to the guide shaft 220. A plurality of pickers 240 are installed below the cylinder 230, a connection portion 232 is formed on the upper portion of the cylinder 230, and a plurality of ports 234 are formed on the connection portion 232. The plurality of ports 234 of the connection unit 232 are connected to the port 204 formed at the lower portion of the one-touch coupling unit 260 is configured to supply air.

상기 실린더(230)들은 가이드 샤프트(220)에 의해 연결되므로 제어부(도시되지 않음)의 제어신호에 따라 실린더(230)의 폭을 조절할 수 있다. 즉, 실린더(230)의 일측에 각기 설치된 고정부(255)에 설치된 센서(244)에 의해 그들 사이의 Y축 방향의 간격을 조절 할 수 있다. 여기서, 상기 실린더(230)는 픽커모듈(200)내에서 Y축 방향의 간격을 정확하게 조절할 수 있다.Since the cylinders 230 are connected by the guide shaft 220, the width of the cylinder 230 may be adjusted according to a control signal of a controller (not shown). That is, by the sensor 244 installed in the fixing part 255 respectively installed on one side of the cylinder 230, it is possible to adjust the interval in the Y-axis direction therebetween. Here, the cylinder 230 can accurately adjust the interval in the Y-axis direction in the picker module 200.

상기 가이드 플레이트(100)에 대하여 수직되는 방향으로 Y프레임(500)이 설치되고, 상기 Y프레임(500)의 일측에는 픽커(240)가 전자부품(도시되지 않음)의 픽 앤드 플레이스(PICK AND PLACE)동작을 정확하게 하는지를 확인하기 위한 비젼 카메라(510)가 설치된다. A Y frame 500 is installed in a direction perpendicular to the guide plate 100, and a picker 240 is a pick and place of an electronic component (not shown) on one side of the Y frame 500. Vision camera 510 is installed to check whether the operation is correct.

상기와 같이 구성된 본 발명의 로딩핸드의 실시예의 동작관계를 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation relationship of the embodiment of the loading hand of the present invention configured as described above are as follows.

도1 및 도2에 도시된 바와 같이, 복수개의 픽커(240)가 설치된 픽커모듈(200)에 연결된 헤드부(300)가 가이드 플레이트(100)의 캠홈(102)의 상단의 설정위치(A1)에 위치되며, 각 픽커(240)들은 소정 간격을 유지하게 된다.1 and 2, the head portion 300 connected to the picker module 200 in which the plurality of pickers 240 is installed is set at the upper end of the cam groove 102 of the guide plate 100. The pickers 240 may be spaced apart from each other.

로딩핸드가 이동하는 동안 핸들러의 제어부에 의해 도시되지 않은 모터가 구동하게 되면 구동부(400)의 실린더(412)가 동작하게 된다. 상기 실린더(412)의 로드(414)가 가이드 플레이트(100)를 밀게 되면 가이드 플레이트(100)의 LM 가이 드(30)가 지지부재(20)의 LM 레일(10)을 따라 아래 방향으로 이동하게 된다. 즉, 픽커모듈(200)과 연결된 헤드부(300)가 가이드 플레이트(100)의 캠홈(102)의 궤적을 따라 X방향 폭을 조절하면서 이동하게 된다. 이때, 픽커모듈(200)의 실린더(230)도 핸들러의 제어부에 의해 제어신호가 입력되면 센서(244)에 의해 실린더(230)가 소정 간격으로 Y축 폭조절을 하게 된다.When the motor (not shown) is driven by the controller of the handler while the loading hand moves, the cylinder 412 of the driving unit 400 operates. When the rod 414 of the cylinder 412 pushes the guide plate 100, the LM guide 30 of the guide plate 100 moves downward along the LM rail 10 of the support member 20. do. That is, the head unit 300 connected to the picker module 200 moves while adjusting the width in the X direction along the trajectory of the cam groove 102 of the guide plate 100. At this time, the cylinder 230 of the picker module 200 also controls the Y-axis width at predetermined intervals by the sensor 244 when the control signal is input by the controller of the handler.

이와 같이 픽커(240)가 가이드 플레이트(100)의 캠홈(102)을 따라 이동하면서 X축 폭을 조절할 수 있고, 픽커모듈(200)의 실린더(230)의 동작에 의해 픽커(240)의 Y축 폭을 동시에 조절할 수 있게 된다. As such, the picker 240 may move along the cam groove 102 of the guide plate 100 to adjust the X-axis width, and the Y-axis of the picker 240 may be controlled by the cylinder 230 of the picker module 200. The width can be adjusted at the same time.

상기 헤드부(300)가 가이드 플레이트(100)의 캠홈(102)의 하단의 설정위치(A2)에 위치하게 되면 X축 방향의 폭 조절의 최대 한계범위에 도달하게 된 것이다. 픽커(240)의 X축 및 Y축 폭을 조절한 상태에서 로딩핸드는 픽커(240)에 흡착된 반도체 소자를 테스트 트레이(도시되지 않음)로 옮겨서 장착하게 된다.When the head portion 300 is located at the set position A2 of the lower end of the cam groove 102 of the guide plate 100, the maximum limit of width control in the X-axis direction is reached. In the state in which the X and Y axis widths of the picker 240 are adjusted, the loading hand moves the semiconductor element adsorbed on the picker 240 to a test tray (not shown) to be mounted.

상기와 같이 로딩핸드가 테스트 트레이 위치에서 고객 트레이 위치로 이동할 경우에는 구동부(400)의 동작을 반대로 하게 되면 가이드 플레이트(100)가 다시 A2위치에서 A1의 위치로 승강하면서 캠홈(102)을 따라서 이동하므로 헤드부(300) 및 픽커모듈(200)이 오므라들게 된다. As described above, when the loading hand moves from the test tray position to the customer tray position, when the operation of the driving unit 400 is reversed, the guide plate 100 moves along the cam groove 102 while raising and lowering from the A2 position to the A1 position. Therefore, the head unit 300 and the picker module 200 are retracted.

한편, 픽커(240)의 종류를 교체하거나 픽커(240)에 이상 유무가 발생되었을 경우에는 종래에는 소자 반송장치(로딩핸드) 전체를 교환해야 하지만, 본 발명에서는 헤드부(300)와 픽커모듈(200)을 도 2에 도시된 바와 같이 분리할 수 있다. 즉, 원터치 결합부(260)를 분리할 수 있으므로 픽커(240)의 교체나 이상 유무의 처리를 손쉽게 할 수 있다.On the other hand, when the type of picker 240 is replaced or if there is an abnormality in the picker 240, the entire element transfer device (loading hand) has to be replaced conventionally, but in the present invention, the head unit 300 and the picker module ( 200 may be separated as shown in FIG. 2. That is, since the one-touch coupling unit 260 can be separated, the picker 240 can be easily replaced or processed for abnormality.

따라서, 본 발명의 로딩핸드는 가이드 플레이트(100)의 캠홈(102)을 따라 내려오면서 X축 방향의 폭을 조절할 수 있고, 복수개의 실린더(230)가 가이드 샤프트(220)를 따라 이동하면서 Y축 방향의 폭을 조절할 수 있다. 그래서, 본 발명의 로딩핸드는 한번에 X축 및 Y축 방향의 폭을 조절할 수 있다.Therefore, the loading hand of the present invention can adjust the width in the X-axis direction while descending along the cam groove 102 of the guide plate 100, the Y-axis while moving the plurality of cylinders 230 along the guide shaft 220 The width of the direction can be adjusted. Thus, the loading hand of the present invention can adjust the width in the X-axis and Y-axis direction at a time.

본 발명의 로딩핸드는 전자부품을 전기적으로 신속하게 테스트 할 수 있는 테스트 핸들러 및 전자부품을 픽 앤 플레이스할 수 있는 반도체 장비분야에 적용할 수 있다.The loading hand of the present invention can be applied to the field of semiconductor equipment that can pick and place electronic components and test handlers that can quickly and electrically test electronic components.

도 1은 본 발명의 로딩핸드를 나타낸 사시도,1 is a perspective view showing a loading hand of the present invention,

도 2는 본 발명의 로딩핸드의 요부인 픽커모듈이 분리된 상태를 나타낸 사시도.Figure 2 is a perspective view showing a state in which the picker module is a main portion of the loading hand of the present invention separated.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

100: 가이드 플레이트 200: 픽커 모듈100: guide plate 200: picker module

220: 가이드 샤프트 240: 픽커220: guide shaft 240: picker

250: 연결부재 260: 원터치 결합부 250: connecting member 260: one-touch coupling portion

300: 헤드부 400: 구동부300: head portion 400: drive portion

Claims (6)

그 양측에 LM 레일(10)이 소정 간격을 두고 설치되는 지지부재(20)와;A support member 20 on which both sides of the LM rail 10 are installed at predetermined intervals; 상기 지지부재(20)에 연결되고, 그 후면에 복수개의 LM 가이드(30)가 설치되고, 그 전면에 복수개의 캠홈(102)이 형성된 가이드 플레이트(100)와;A guide plate (100) connected to the support member (20), a plurality of LM guides (30) are installed on a rear surface thereof, and a plurality of cam grooves (102) formed on a front surface thereof; 상기 가이드 플레이트(100)에 형성된 캠홈(102)을 따라 이동가능하게 설치되며, 반도체 소자를 픽 앤 플레이스하는 복수개의 픽커모듈(200)과;A plurality of picker modules (200) installed to be movable along the cam groove (102) formed in the guide plate (100) to pick and place semiconductor elements; 그 일측이 상기 픽커모듈(200)의 상부 일측에 연결되고, 상기 픽커모듈(200)과 헤드부(300)가 가이드 플레이트(100)의 캠홈(102)에 연결되는 연결부재(250)와;A connection member 250 whose one side is connected to an upper side of the picker module 200 and the picker module 200 and the head part 300 is connected to the cam groove 102 of the guide plate 100; 상기 픽커모듈(200)과 연결되고, 복수개의 에어 포트(294)가 형성되는 헤드부(300)와;A head part 300 connected to the picker module 200 and having a plurality of air ports 294 formed therein; 상기 가이드 플레이트(100)를 상,하방향의 위치로 이송시키는 구동부(400)와;A driving unit 400 for transferring the guide plate 100 to an upward and downward position; 상기 가이드 플레이트(100)에 대하여 수직되는 방향으로 비젼 카메라(510)를 구비한 Y프레임(500)으로 구성되고,It is composed of a Y frame 500 having a vision camera 510 in a direction perpendicular to the guide plate 100, 상기 픽커모듈(200)은 브라켓(202)과, 상기 브라켓(202)의 내측에 설치되며, 가이드 샤프트(220)에 끼워지게 되는 복수개의 실린더(230)와, 상기 실린더(230)에 각기 연결되는 픽커(240)와, 상기 실린더(230)의 연결부(232)와 브라켓(202)의 내측에 각기 형성된 복수개의 포트(234,204)로 이루어지며, 가이드 샤프트에 끼워진 실린더들의 폭을 조절할 수 있는 것을 특징으로 하는 로딩핸드. The picker module 200 is installed inside the bracket 202, the bracket 202, a plurality of cylinders 230 to be fitted to the guide shaft 220 and connected to the cylinder 230, respectively The picker 240, the connection portion 232 of the cylinder 230 and the plurality of ports 234, 204 formed on the inside of the bracket 202, respectively, characterized in that the adjustable width of the cylinders fitted to the guide shaft Loading hand. 제1항에 있어서, 상기 헤드부(300)는 픽커모듈(200)과 원터치 결합부(260)에 의해 밀봉 가능하게 연결되는 것을 특징으로 하는 로딩핸드. The loading hand according to claim 1, wherein the head part (300) is sealably connected by a picker module (200) and a one-touch coupling part (260). 제2항에 있어서, 상기 원터치 결합부(260)는 복수개의 에어 관통홀(262)과, 상기 에어 관통홀(262)의 주위에 설치된 O-링부재 안착부(261)과, 상기 O-링부재 안착부(261)에 삽설되어 밀봉을 하는 O-링부재(263)를 구비하는 것을 특징으로 하는 로딩핸드.The method of claim 2, wherein the one-touch coupling portion 260 is a plurality of air through hole 262, the O-ring member seating portion 261 provided around the air through hole 262, and the O-ring And a O-ring member (263) inserted into the member seating portion (261) for sealing. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 헤드부(300)는 그 일측에 복수개의 에어 포트가 설치되는 보조 지지부재(254)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 로딩핸드. The loading hand according to claim 1 or 2, wherein the head part (300) further comprises an auxiliary support member (254) on which one air port is installed. 제1항에 있어서, 상기 픽커모듈(200)의 실린더(230)는 그 일측에 실린더간의 거리를 감지하기 위한 센서(244)가 설치되는 것을 특징으로 하는 로딩핸드.The loading hand of claim 1, wherein the cylinder (230) of the picker module (200) has a sensor (244) installed on one side thereof to detect a distance between cylinders. 제1항에 있어서, 상기 구동부(400)는 고정판(410)의 일측에 고정되며 로드(414)를 갖는 실린더(412)와, 구동모터로 이루어지며, 상기 로드(414)는 가이드 플레이트(100)의 상부 일측에 설치된 연결판(422)과 연결부재(420)에 의해 상호 연결되는 것을 특징으로 하는 로딩핸드.According to claim 1, The drive unit 400 is fixed to one side of the fixed plate 410 and consists of a cylinder 412 having a rod 414, a drive motor, the rod 414 is a guide plate 100 Loading hand, characterized in that interconnected by the connecting plate 422 and the connecting member 420 installed on the upper side of the.
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